JPH10284338A - Electronic component of laminated ceramic and manufacture of the same - Google Patents

Electronic component of laminated ceramic and manufacture of the same

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JPH10284338A
JPH10284338A JP9089181A JP8918197A JPH10284338A JP H10284338 A JPH10284338 A JP H10284338A JP 9089181 A JP9089181 A JP 9089181A JP 8918197 A JP8918197 A JP 8918197A JP H10284338 A JPH10284338 A JP H10284338A
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JP
Japan
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ceramic
electrode
conductive paste
extraction
electrodes
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Application number
JP9089181A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshiki Nishiyama
俊樹 西山
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH10284338A publication Critical patent/JPH10284338A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly reliable electronic component of laminated ceramic capable of improving the sealability of the ceramic laminate. SOLUTION: Extraction electrodes 6 and 7 connected to the internal electrodes 4 and 5, and extended to external faces 8 and 9 of a laminate 3, are comprised by a conductive paste containing resin to improve the sealability of the ceramic laminate 3. As a conductive paste, the material, for instance, 10 to 30 wt.% of polyimide resin and 70 to 90 wt.% of metal powder are used.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、積層セラミック
電子部品およびその製造方法に関するもので、特に、積
層セラミック電子部品に備えるセラミック積層体の内部
に形成される内部電極と外面上に形成される外部電極と
の接続構造およびこの接続構造を得るための方法に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer ceramic electronic component and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an internal electrode formed inside a ceramic laminate provided in a multilayer ceramic electronic component and an external electrode formed on an outer surface. The present invention relates to a connection structure with an electrode and a method for obtaining the connection structure.

【0002】[0002]

【従来の技術】たとえば積層セラミックコンデンサのよ
うな積層セラミック電子部品は、積層されたセラミック
層を含むセラミック積層体を備えている。セラミック積
層体の内部には、特定のセラミック層間の界面に沿って
延びるように、内部電極が形成される。また、同じくこ
の内部電極が形成されたセラミック層間の界面に沿うよ
うに、内部電極に連なりかつこの界面の端部にまで延び
る引出電極が形成される。なお、通常の積層セラミック
コンデンサにおいては、これら内部電極および引出電極
は、一連の導電膜をもって形成されている。
2. Description of the Related Art A multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor includes a ceramic laminate including laminated ceramic layers. Internal electrodes are formed inside the ceramic laminate so as to extend along interfaces between specific ceramic layers. Similarly, an extraction electrode is formed along the interface between the ceramic layers on which the internal electrode is formed and connected to the internal electrode and extending to the end of the interface. In a normal multilayer ceramic capacitor, these internal electrodes and lead electrodes are formed of a series of conductive films.

【0003】また、上述の引出電極に電気的に接続され
るように、セラミック積層体の外面上には、外部電極が
形成される。外部電極は、一般的には、ガラスフリット
および金属粉体を含有するペーストをセラミック積層体
の外面上に付与し、これを焼き付けることにより形成さ
れる。また、上述した外部電極上には、半田付け性の向
上、外部電極との密着性および膜相互間の密着性の向
上、あるいは、外部電極がAgを含む場合にはAgの半
田食われの抑制、等を目的として、半田または錫等から
なる膜を電気めっきにより形成したり、あるいは、Ni
またはCu等からなる膜を電気めっきにより形成した
後、さらに、半田または錫等からなる膜を電気めっきに
より形成したりしているのが通常である。
An external electrode is formed on the outer surface of the ceramic laminate so as to be electrically connected to the above-mentioned extraction electrode. The external electrode is generally formed by applying a paste containing glass frit and metal powder on the outer surface of the ceramic laminate and baking the paste. Further, on the external electrodes described above, the solderability is improved, the adhesion with the external electrodes and the adhesion between the films are improved, or when the external electrodes contain Ag, the solder erosion of Ag is suppressed. For the purpose of forming a film made of solder or tin by electroplating,
Or, usually, a film made of Cu or the like is formed by electroplating, and then a film made of solder or tin is formed by electroplating.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ように焼付けにより形成された外部電極は比較的ポーラ
スであるため、このめっき工程において、めっき液が外
部電極を通ってセラミック積層体内に浸入することがあ
る。このように、めっき液がセラミック積層体内に浸入
したとき、得られた積層セラミックコンデンサの絶縁抵
抗(IR)や耐湿負荷特性等を劣化させたり、セラミッ
ク積層体に含まれるセラミック層間の剥がれを生じさせ
たりする、といった不都合がもたらされることがある。
However, since the external electrodes formed by baking as described above are relatively porous, in this plating step, the plating solution may penetrate into the ceramic laminate through the external electrodes. There is. As described above, when the plating solution enters the ceramic laminate, the obtained multilayer ceramic capacitor deteriorates the insulation resistance (IR), the moisture resistance characteristic, and the like, and peels off the ceramic layers included in the ceramic laminate. Or inconveniences.

【0005】従来、上述したような外部電極がポーラス
であるという不具合は、外部電極を形成すべきペースト
に含有されるガラスフリットが焼付け時に外部電極中に
存在するポアを埋めるように作用することから、その解
決が図られているのが通常である。しかしながら、ガラ
スフリットの種類や粒子径、あるいは焼付け条件、等に
よっては、外部電極のポアをガラスによって十分に埋め
られないこと、すなわち外部電極によってはめっき液に
対するシール性を十分に確保できないことがある。
Conventionally, the disadvantage that the external electrode is porous as described above is because the glass frit contained in the paste for forming the external electrode acts to fill the pores present in the external electrode at the time of baking. The solution is usually attempted. However, depending on the type and particle size of the glass frit, or the baking conditions, etc., the pores of the external electrode may not be sufficiently filled with glass, that is, the external electrode may not be able to sufficiently secure the sealing property against the plating solution. .

【0006】この問題を解決するため、導電性ペースト
中のガラスフリットの含有量を増すことが考えられる
が、この場合には、ガラス成分が、外部電極の外表面お
よび外部電極とセラミック積層体との界面に過多に析出
することがあり、そのため、外部電極とこれに接続され
るべき外部の導電要素との電気的導通が阻害されたり、
外部電極と引出電極との導通、ひいては外部電極と引出
電極を介しての内部電極との導通が阻害されたりするこ
とがある。
In order to solve this problem, it is conceivable to increase the content of glass frit in the conductive paste. In this case, however, the glass component contains the outer surface of the external electrode and the external electrode and the ceramic laminate. May be excessively precipitated at the interface of the electrode, thereby hindering the electrical conduction between the external electrode and the external conductive element to be connected thereto,
In some cases, conduction between the external electrode and the extraction electrode, and eventually conduction between the external electrode and the internal electrode via the extraction electrode, may be hindered.

【0007】なお、セラミック積層体に要求されるシー
ル性は、上述したようなめっき液に対するものには限ら
ない。たとえば高湿下で積層セラミック電子部品が使用
されるときにも、セラミック積層体のシール性が劣る場
合には、IRや耐湿負荷特性等を劣化させたりすること
がある。そこで、この発明の目的は、上述したような問
題を解決し得る、積層セラミック電子部品およびその製
造方法を提供しようとすることである。
[0007] The sealing property required for the ceramic laminate is not limited to the plating solution as described above. For example, even when the multilayer ceramic electronic component is used under high humidity, if the sealing performance of the ceramic laminate is poor, the IR, the humidity resistance, and the like may be deteriorated. Therefore, an object of the present invention is to provide a multilayer ceramic electronic component and a method of manufacturing the same that can solve the above-described problems.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この発明は、積層された
複数のセラミック層、ならびに、特定のセラミック層間
の界面に沿ってそれぞれ形成される、内部電極および内
部電極に連なりかつ界面の端部にまで延びる引出電極を
含む、セラミック積層体と、引出電極に電気的に接続さ
れるようにセラミック積層体の外面上に形成される外部
電極とを備える、積層セラミック電子部品にまず向けら
れるものであって、上述した技術的課題を解決するた
め、引出電極が、樹脂を含有する導電性ペーストによっ
て構成されていることを特徴とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a plurality of stacked ceramic layers, and an internal electrode formed along the interface between the specific ceramic layers and connected to the internal electrode and provided at an end of the interface. A ceramic multilayer body including an extraction electrode extending to the outside and an external electrode formed on an outer surface of the ceramic laminate so as to be electrically connected to the extraction electrode. In order to solve the above-mentioned technical problem, the extraction electrode is made of a conductive paste containing a resin.

【0009】この発明は、以下のような着眼の下になさ
れたものである。すなわち、この発明をなすにあたり、
前述しためっき液や外部の湿気がセラミック積層体の内
部へ浸入する態様を調査した結果、内部電極および引出
電極とこれらに接するセラミック層とは互いに密に焼結
していないため、めっき液や湿気の浸入経路が、内部電
極および引出電極が位置するセラミック層間の界面に沿
って形成される傾向があることを見出した。したがっ
て、この界面を外部に対して適正にシールすれば、セラ
ミック積層体の耐めっき液性や耐湿性の向上に効果的に
作用することになり、この発明では、上述のように、樹
脂を含有する導電性ペーストをもって引出電極を形成
し、これによって、引出電極に導電性を与えるととも
に、シール効果を担わせようしている。
The present invention has been made under the following viewpoints. That is, in making the present invention,
As a result of investigating the manner in which the above-mentioned plating solution and external moisture penetrate into the inside of the ceramic laminate, the internal electrode and the extraction electrode and the ceramic layer in contact with them are not densely sintered with each other. Has a tendency to form along the interface between the ceramic layers where the internal and extraction electrodes are located. Therefore, if this interface is properly sealed to the outside, it will effectively act to improve the plating solution resistance and moisture resistance of the ceramic laminate. An extraction electrode is formed from the conductive paste to be applied, thereby imparting conductivity to the extraction electrode and attaining a sealing effect.

【0010】上述した導電性ペーストに含有される樹脂
としては、その後に実施される外部電極の焼付け時の温
度に耐え得る耐熱性を有しているものを用いるのが好ま
しい。たとえば、ポリイミド系樹脂が有利に用いられ得
る。導電性ペーストに含有される樹脂としてポリイミド
樹脂を用いる場合、好ましくは、導電性ペーストは、ポ
リイミド系樹脂を10〜30wt%および金属粉体を70
〜90wt%含むものとされる。
As the resin contained in the above-mentioned conductive paste, it is preferable to use a resin having heat resistance that can withstand the temperature at the time of baking of the external electrode performed later. For example, a polyimide resin can be advantageously used. When a polyimide resin is used as the resin contained in the conductive paste, preferably, the conductive paste contains 10 to 30% by weight of a polyimide resin and 70% by weight of a metal powder.
9090 wt%.

【0011】この発明は、また、上述したような積層セ
ラミック電子部品の製造方法にも向けられる。この発明
に係る製造方法は、次のような工程を備えることを特徴
としている。すなわち、積層された複数のセラミック
層、ならびに、特定のセラミック層間の界面に沿ってそ
れぞれ形成される、内部電極および内部電極に接触しか
つ界面の端部にまで延びる引出部材を含み、引出部材が
焼失可能な材料からなる、生のセラミック積層体が用意
される。次いで、この生のセラミック積層体が焼成され
る。このとき、上述の焼失可能な材料が焼失され、それ
によって引出部材が形成されていた部分に空洞が形成さ
れる。次いで、この空洞に樹脂を含有する導電性ペース
トが充填され、それによって内部電極に接触する引出電
極が形成される。次いで、引出電極に電気的に接続され
るようにセラミック積層体の外面上に外部電極が形成さ
れる。
[0011] The present invention is also directed to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component as described above. The manufacturing method according to the present invention includes the following steps. That is, a plurality of stacked ceramic layers, and an internal electrode formed along the interface between the specific ceramic layers, including an internal electrode and a drawing member that extends to the end of the interface and extends to the end of the interface. A raw ceramic laminate of a burnable material is provided. Next, the green ceramic laminate is fired. At this time, the above-mentioned burnable material is burned off, thereby forming a cavity in the portion where the drawer member was formed. Next, the cavity is filled with a conductive paste containing a resin, thereby forming an extraction electrode in contact with the internal electrode. Next, an external electrode is formed on the outer surface of the ceramic laminate so as to be electrically connected to the extraction electrode.

【0012】上述した焼失可能な材料としては、生のセ
ラミック積層体の焼成工程において焼失可能なものであ
れば、何でもよいが、たとえばカーボン、樹脂等が有利
に用いられる。
As the above-mentioned burnable material, any material can be used as long as it can be burned off in the firing step of the green ceramic laminate. For example, carbon, resin and the like are advantageously used.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】この発明は、積層された複数のセ
ラミック層、ならびに、特定のセラミック層間の界面に
沿ってそれぞれ形成される、内部電極および内部電極に
連なりかつ界面の端部にまで延びる引出電極を含む、セ
ラミック積層体と、引出電極に電気的に接続されるよう
にセラミック積層体の外面上に形成される外部電極とを
備える、積層セラミック電子部品であれば、積層セラミ
ックコンデンサに限らず、たとえば積層型セラミックバ
リスタ、積層型セラミックフィルタ、セラミック多層回
路基板等の他の積層セラミック電子部品にも等しく適用
することができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention is directed to a plurality of stacked ceramic layers, and an internal electrode formed along the interface between the specific ceramic layers and extending to the end of the interface. A multilayer ceramic electronic component including an extraction electrode, a ceramic laminate, and an external electrode formed on an outer surface of the ceramic laminate so as to be electrically connected to the extraction electrode. Instead, the present invention can be equally applied to other multilayer ceramic electronic components such as a multilayer ceramic varistor, a multilayer ceramic filter, and a ceramic multilayer circuit board.

【0014】以下には、この発明の実施形態の説明を積
層セラミックコンデンサに関連して行なう。図1には、
この発明の一実施形態による積層セラミック電子部品と
しての積層セラミックコンデンサ1の断面が示されてい
る。積層セラミックコンデンサ1は、周知のように、積
層された複数のセラミック層2を含む直方体状のセラミ
ック積層体3を備える。セラミック積層体3の内部に
は、特定のセラミック層2間の複数の界面に沿ってそれ
ぞれ延びるように、複数の内部電極4および5が形成さ
れる。また、内部電極4および5が形成されたセラミッ
ク層2間の界面に沿うように、内部電極4および5の各
々に連なりかつこの界面の端部にまで延びる引出電極6
および7が形成される。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to a multilayer ceramic capacitor. In FIG.
1 shows a cross section of a multilayer ceramic capacitor 1 as a multilayer ceramic electronic component according to an embodiment of the present invention. As is well known, the multilayer ceramic capacitor 1 includes a rectangular parallelepiped ceramic laminate 3 including a plurality of laminated ceramic layers 2. A plurality of internal electrodes 4 and 5 are formed inside the ceramic laminate 3 so as to extend along a plurality of interfaces between the specific ceramic layers 2. In addition, an extraction electrode 6 connected to each of the internal electrodes 4 and 5 and extending to the end of this interface so as to be along the interface between the ceramic layers 2 on which the internal electrodes 4 and 5 are formed.
And 7 are formed.

【0015】内部電極4および5ならびに引出電極6お
よび7は、それぞれ、2つのグループに分類される。す
なわち、引出電極6および7は、セラミック積層体3の
外面、より特定的には、セラミック積層体3の相対向す
る第1および第2の端面8および9のいずれか一方にま
で引き出されるが、第1の端面8上にまで引き出される
第1グループの引出電極6と、第2の端面9にまで引き
出される第2グループの引出電極7とがあり、また、内
部電極4および5に関しても、第1グループの引出電極
6に連なる第1グループの内部電極4と、第2グループ
の引出電極7に連なる第2グループの内部電極5とがあ
り、これら第1グループの内部電極4および引出電極6
と第2グループの内部電極5および引出電極7とは、積
層方向に関して交互に配置されている。
The internal electrodes 4 and 5 and the extraction electrodes 6 and 7 are each classified into two groups. That is, the extraction electrodes 6 and 7 are extracted to the outer surface of the ceramic multilayer body 3, more specifically, to one of the first and second end surfaces 8 and 9 of the ceramic multilayer body 3 facing each other. There is a first group of extraction electrodes 6 extending to the first end face 8 and a second group of extraction electrodes 7 extending to the second end face 9. There is a first group of internal electrodes 4 connected to one group of extraction electrodes 6 and a second group of internal electrodes 5 connected to a second group of extraction electrodes 7. These first group of internal electrodes 4 and extraction electrodes 6 are provided.
The internal electrodes 5 and the extraction electrodes 7 of the second group are alternately arranged in the stacking direction.

【0016】また、上述の引出電極6および7にそれぞ
れ電気的に接続されるように、セラミック積層体3の第
1および第2の端面8および9には、それぞれ、第1お
よび第2の外部電極10および11が形成される。外部
電極10および11は、たとえば、ガラスフリットおよ
び金属粉体を含有するペーストを端面8および9上に付
与し、これを焼き付けることにより形成される。
The first and second end faces 8 and 9 of the ceramic laminate 3 are respectively connected to the first and second external electrodes 6 and 7 so as to be electrically connected to the extraction electrodes 6 and 7, respectively. Electrodes 10 and 11 are formed. External electrodes 10 and 11 are formed, for example, by applying paste containing glass frit and metal powder on end faces 8 and 9, and baking the paste.

【0017】また、上述した外部電極10および11上
には、めっき膜12および13が、たとえば電気めっき
により形成される。これらめっき膜12および13は、
外部電極10および11の半田付け性の向上、あるい
は、外部電極10および11がAgを含む場合にはAg
の半田食われの抑制、等を目的として形成されるもので
あって、たとえば、半田または錫等からなる膜であった
り、あるいは、NiまたはCu等からなる膜と半田また
は錫等からなる膜との多層膜であったりする。
Plating films 12 and 13 are formed on external electrodes 10 and 11 by, for example, electroplating. These plating films 12 and 13
Improvement of the solderability of the external electrodes 10 and 11 or Ag when the external electrodes 10 and 11 contain Ag
Is formed for the purpose of suppressing solder erosion, etc., for example, a film made of solder or tin or a film made of Ni or Cu and a film made of solder or tin or the like Or a multilayer film.

【0018】このような積層セラミックコンデンサ1に
おいて、この実施形態では、引出電極6および7が、樹
脂を含有する導電性ペーストによって構成されることを
特徴としている。この導電性ペーストとしては、たとえ
ば市販の導電性接着剤等を用いることができる。この導
電性ペーストは、引出電極6および7に導電性を与える
とともに、シール効果を担わせるように機能している。
したがって、上述しためっき膜12および13の形成の
ためのめっき液や外部の湿気が、比較的ポーラスな外部
電極10および11を通してセラミック積層体3の内部
へ浸入する経路となる、内部電極4または5および引出
電極6または7が位置するセラミック層2間の界面は、
導電性ペーストからなる引出電極6または7によって、
外部に対して有利にシールされることができる。
In such a multilayer ceramic capacitor 1, this embodiment is characterized in that the extraction electrodes 6 and 7 are made of a conductive paste containing a resin. As this conductive paste, for example, a commercially available conductive adhesive or the like can be used. The conductive paste functions to impart conductivity to the extraction electrodes 6 and 7 and to provide a sealing effect.
Therefore, the internal electrodes 4 or 5 serve as paths through which the plating solution for forming the above-described plating films 12 and 13 and external moisture penetrate into the inside of the ceramic laminate 3 through the relatively porous external electrodes 10 and 11. And the interface between the ceramic layers 2 where the extraction electrodes 6 or 7 are located,
With the extraction electrode 6 or 7 made of conductive paste,
It can be advantageously sealed to the outside.

【0019】次に、上述したような積層セラミックコン
デンサ1の製造方法の一実施形態について、図1ととも
に、図2ないし図6を参照して説明する。まず、図2に
示すように、セラミック層2となるセラミックグリーン
シート14が用意される。なお、図2に図示したセラミ
ックグリーンシート14は、説明の便宜上、1つの積層
セラミックコンデンサ1を得るための寸法しか有してい
ないが、工場規模の生産では、複数の積層セラミックコ
ンデンサ1を同時に得るようにするため、後でカットす
ることを前提として、マザーの状態にあるより大きな寸
法のセラミックグリーンシートが用意される。
Next, one embodiment of a method of manufacturing the above-described multilayer ceramic capacitor 1 will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 2, a ceramic green sheet 14 to be the ceramic layer 2 is prepared. Although the ceramic green sheet 14 shown in FIG. 2 has only dimensions for obtaining one multilayer ceramic capacitor 1 for convenience of explanation, a plurality of multilayer ceramic capacitors 1 are simultaneously obtained in factory-scale production. In order to do so, a ceramic green sheet of a larger size in a mother state is prepared on the assumption that it will be cut later.

【0020】次いで、同じく図2に示すように、セラミ
ックグリーンシート14上に、たとえば第1グループの
内部電極4が形成される。この内部電極4は、セラミッ
クグリーンシート14の端部にまで届かないように形成
される。次いで、図3に示すように、セラミックグリー
ンシート14上には、内部電極4に接触するように、引
出部材15がさらに形成される。引出部材15は、引出
電極6が形成されるべき部分に形成されるものであっ
て、セラミックグリーンシート14の一方の端部にまで
延びるように形成される。
Next, as shown in FIG. 2, for example, a first group of internal electrodes 4 is formed on the ceramic green sheet 14. The internal electrode 4 is formed so as not to reach the end of the ceramic green sheet 14. Next, as shown in FIG. 3, a drawing member 15 is further formed on the ceramic green sheet 14 so as to contact the internal electrode 4. The extraction member 15 is formed at a portion where the extraction electrode 6 is to be formed, and is formed to extend to one end of the ceramic green sheet 14.

【0021】引出部材15は、後述する生のセラミック
積層体3の焼成時において焼失可能な材料からなるもの
で、たとえば、カーボン粉を有機バインダで混練したカ
ーボンペースト、あるいは樹脂などから構成される。引
出部材15は、後述する図5に示した形態から類推でき
るように、その端部における所定の寸法部分が内部電極
4の端部上に重なるように形成されても、その端面にお
いてのみ内部電極4の端面に接するように形成されても
よい。
The draw-out member 15 is made of a material that can be burned out during firing of the green ceramic laminate 3 described later, and is made of, for example, a carbon paste obtained by kneading carbon powder with an organic binder, or a resin. As can be inferred from the configuration shown in FIG. 5 described later, the extraction member 15 is formed such that a predetermined dimension at its end overlaps the end of the internal electrode 4, but only at the end face of the internal electrode 4. 4 may be formed so as to be in contact with the end face.

【0022】以上の操作が、複数のセラミックグリーン
シート14に対して実施され、また、第2グループの内
部電極5に関連する同様の操作も実施された後、複数の
セラミックグリーンシート14が所定の順序で積み重ね
られ、それによって、図4に示すような生のセラミック
積層体3が用意される。このセラミック積層体3は、図
4に示すように、積層されたセラミックグリーンシート
14によって形成される複数のセラミック層2を備える
とともに、特定のセラミック層2間の界面に沿ってそれ
ぞれ形成される、内部電極4およびこれに接触する引出
部材15と内部電極5およびこれに接触する引出部材1
6とを備えている。
After the above operation is performed on the plurality of ceramic green sheets 14 and the same operation related to the second group of internal electrodes 5 is performed, the plurality of ceramic green sheets 14 Stacked in order, thereby providing a green ceramic laminate 3 as shown in FIG. As shown in FIG. 4, the ceramic laminate 3 includes a plurality of ceramic layers 2 formed by laminated ceramic green sheets 14 and is formed along an interface between specific ceramic layers 2. Internal electrode 4 and extraction member 15 contacting it and internal electrode 5 and extraction member 1 contacting it
6 is provided.

【0023】なお、生のセラミック積層体3を得ると
き、複数のセラミックグリーンシートを積み重ねた後、
プレスすることが行なわれる。このとき、図3に示した
工程において、引出部材15および16を内部電極4お
よび5の各厚みの倍程度の厚みをもって形成するのが好
ましい。なぜなら、このようにすることにより、図4に
示すように、内部電極4および5の双方が位置する領域
とそうでない領域との厚みの差が引出部材15または1
6の厚みによって有利に吸収され、セラミック積層体3
全体にほぼ均等なプレスが及ぼされるようになるからで
ある。
When a green ceramic laminate 3 is obtained, after stacking a plurality of ceramic green sheets,
Pressing is performed. At this time, in the step shown in FIG. 3, it is preferable that the extraction members 15 and 16 are formed to have a thickness which is about twice the thickness of each of the internal electrodes 4 and 5. Because of this, as shown in FIG. 4, the difference in thickness between the region where both the internal electrodes 4 and 5 are located and the region where the internal electrodes 4 and 5 are not located is reduced.
6 is advantageously absorbed by the thickness of the ceramic laminate 3
This is because a substantially even press is exerted on the whole.

【0024】次いで、生のセラミック積層体3は焼成さ
れる。このとき、引出部材15および16を構成してい
たカーボンのような焼失可能な材料が焼失し、それによ
って、図5に第1の端面8側を拡大して示すように、引
出部材15および16が形成されていた部分に空洞17
が形成される。次いで、図6に示すように、空洞17
に、樹脂を含有する導電性ペーストを充填することによ
って、内部電極4に接触する引出電極6が形成される。
図6において図示しないが、同様にして、内部電極5に
接触する引出電極7が形成される。このような導電性ペ
ーストの充填操作は、セラミック積層体3の端面8およ
び9に導電性ペーストを付与したり、導電性ペースト中
にセラミック積層体3を浸漬し、減圧下にもたらすこと
によって達成される。
Next, the green ceramic laminate 3 is fired. At this time, the burnable material, such as carbon, constituting the extraction members 15 and 16 is burned off, and as a result, as shown in FIG. Was formed in the part where
Is formed. Next, as shown in FIG.
Is filled with a conductive paste containing a resin, thereby forming the extraction electrode 6 that contacts the internal electrode 4.
Although not shown in FIG. 6, the extraction electrode 7 that contacts the internal electrode 5 is formed in the same manner. Such a filling operation of the conductive paste is achieved by applying a conductive paste to the end faces 8 and 9 of the ceramic laminate 3 or immersing the ceramic laminate 3 in the conductive paste and bringing it under reduced pressure. You.

【0025】次に、図1に示すように、セラミック積層
体3の外面上に付着した不要な導電性ペーストを除去し
た後、引出電極6および7にそれぞれ電気的に接続され
るように、セラミック積層体3の端面8および9に、外
部電極10および11がそれぞれ焼付けにより形成さ
れ、さらに、外部電極10および11上には、めっき膜
12および13がそれぞれ電気めっきにより形成され
る。
Next, as shown in FIG. 1, after removing unnecessary conductive paste adhered to the outer surface of the ceramic laminate 3, the ceramic laminate 3 is electrically connected to the extraction electrodes 6 and 7, respectively. External electrodes 10 and 11 are formed on end surfaces 8 and 9 of laminate 3 by baking, respectively, and plating films 12 and 13 are formed on external electrodes 10 and 11 by electroplating, respectively.

【0026】このようにして、所望の積層セラミックコ
ンデンサ1が完成される。上述した導電性ペーストに含
有される樹脂としては、その後に形成される外部電極1
0および11の焼付け温度に耐え得る耐熱性を有してい
るものを用いるのが好ましい。たとえば、ポリイミド系
樹脂は、500℃程度の温度に耐え得るので、有利に用
いられることができる。
Thus, a desired multilayer ceramic capacitor 1 is completed. As the resin contained in the above-mentioned conductive paste, an external electrode 1 formed thereafter is used.
It is preferable to use a material having heat resistance that can withstand the baking temperatures of 0 and 11. For example, a polyimide resin can be advantageously used because it can withstand a temperature of about 500 ° C.

【0027】導電性ペーストに含有される樹脂としてポ
リイミド系樹脂を用いる場合、後述する実験例からわか
るように、ポリイミド系樹脂を10〜30wt%および金
属粉体を70〜90wt%それぞれ含む導電性ペーストを
用いることが好ましい。なお、外部電極10および11
は、スパッタリング、蒸着、イオンプレーティングのよ
うな乾式めっき方法、無電解めっき方法などの焼付け以
外の方法で形成されてもよい。焼付け以外の方法で外部
電極10および11を形成するとき、引出電極6および
7を含むセラミック積層体3がそれほどの高温にはさら
されないことがあるので、この場合には、導電性ペース
トに含有される樹脂は、特別に耐熱性を有している必要
はない。
When a polyimide resin is used as the resin contained in the conductive paste, as will be understood from the experimental examples described later, the conductive paste contains 10 to 30 wt% of the polyimide resin and 70 to 90 wt% of the metal powder, respectively. It is preferable to use The external electrodes 10 and 11
May be formed by a method other than baking, such as a dry plating method such as sputtering, vapor deposition, or ion plating, or an electroless plating method. When the external electrodes 10 and 11 are formed by a method other than baking, the ceramic laminate 3 including the extraction electrodes 6 and 7 may not be exposed to such a high temperature. In this case, the ceramic laminate 3 is contained in the conductive paste. The resin does not need to have special heat resistance.

【0028】また、導電性ペーストは、積層セラミック
コンデンサ1が完成されて引出電極6および7を構成し
た段階において、固化されていても、あるいは、ペース
ト状の性状をなおも維持していてもよい。また、導電性
ペーストには、ガラス成分が含有されていてもよい。ま
た、めっき膜12および13は、電気めっきのような湿
式めっきによらず、乾式めっきによって形成されてもよ
い。
The conductive paste may be solidified at the stage when the multilayer ceramic capacitor 1 is completed and the extraction electrodes 6 and 7 are formed, or the paste-like property may be maintained. . Further, the conductive paste may contain a glass component. Further, the plating films 12 and 13 may be formed by dry plating instead of wet plating such as electroplating.

【0029】以下に、この発明に従って実施した実験例
について、図1ないし図6を適宜参照しながら説明す
る。
An experimental example carried out according to the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0030】[0030]

【実験例1】BaTiO3 を主成分とする複数の誘電体
セラミックグリーンシート14上に、Ag/Pdからな
る金属成分を含む内部電極4および5をそれぞれ形成
し、さらに内部電極4および5にそれぞれ接触するよう
に引出部材15および16をそれぞれ形成した。次に、
これらグリーンシート14を積み重ね、プレスし、次い
でカットして、複数のチップ状の生のセラミック積層体
3を得た後、これらセラミック積層体3を1250℃で
焼成した。このとき、引出部材15および16が形成さ
れていた部分に空洞17が形成されていた。
EXPERIMENTAL EXAMPLE 1 Internal electrodes 4 and 5 each containing a metal component of Ag / Pd were formed on a plurality of dielectric ceramic green sheets 14 containing BaTiO 3 as a main component. The drawing members 15 and 16 were formed so as to be in contact with each other. next,
These green sheets 14 were stacked, pressed, and then cut to obtain a plurality of chip-shaped raw ceramic laminates 3, and then fired at 1250 ° C. At this time, the cavity 17 was formed in the portion where the extraction members 15 and 16 were formed.

【0031】次に、セラミック積層体3の端面8および
9に、Ag/Pd金属粉体およびポリイミド系樹脂を含
有する導電性ペーストを塗布し、減圧下とすることによ
り、この導電性ペーストを空洞17内に注入し、それに
よって、引出電極6および7を形成した。なお、この導
電性ペーストとしては、そこに含有される金属粉体の添
加量を、以下の表1に示すように、60〜95wt%の範
囲で変えたものを用意し、それぞれについて試料を作製
した。また、各試料について、同じく表1に示すよう
に、引出電極6および7のセラミック積層体3の端面8
および9の各々からの形成距離も110〜280μmの
範囲で変えた。
Next, a conductive paste containing Ag / Pd metal powder and a polyimide resin is applied to the end surfaces 8 and 9 of the ceramic laminate 3 and the pressure is reduced so that the conductive paste is hollow. 17 and thereby, extraction electrodes 6 and 7 were formed. In addition, as this conductive paste, as shown in the following Table 1, the amount of the metal powder contained therein was changed in the range of 60 to 95% by weight, and a sample was prepared for each. did. As shown in Table 1, the end faces 8 of the ceramic laminate 3 of the extraction electrodes 6 and 7 were also set for each sample.
And the formation distance from each of 9 was also varied in the range of 110-280 μm.

【0032】次に、セラミック積層体3の外面に付着し
た不要な導電性ペーストを、バレル研磨を適用すること
により、除去した後、Agおよびガラスフリットを含有
するペーストを、セラミック積層体3の端面8および9
上に塗布し、450℃で焼き付け、外部電極10および
11を形成した。次いで、外部電極10および11上
に、NiおよびSnの各電気めっきを順次施し、めっき
膜12および13を形成した。
Next, unnecessary conductive paste adhered to the outer surface of the ceramic laminate 3 is removed by applying barrel polishing, and then the paste containing Ag and glass frit is removed from the end face of the ceramic laminate 3. 8 and 9
The external electrodes 10 and 11 were formed by coating on the substrate and baking at 450 ° C. Next, electroplating of Ni and Sn was sequentially performed on the external electrodes 10 and 11 to form plating films 12 and 13.

【0033】このようにして得られた積層セラミックコ
ンデンサ1の各試料につき、等価直列抵抗(ESR)、
剥がれなどの構造欠陥発生率、および耐湿負荷不良数を
評価し、これらの結果を表1に示した。なお、構造欠陥
発生率の算出の母数は100K個であり、また、耐湿負
荷試験は、温度85℃、相対湿度85%および印加電圧
50V(=2WV)の条件で行ない、耐湿負荷不良数
は、1000時間経過時点での不良発生数を示してい
る。
For each sample of the multilayer ceramic capacitor 1 thus obtained, the equivalent series resistance (ESR),
The rate of occurrence of structural defects such as peeling and the number of defective moisture-resistant loads were evaluated. The results are shown in Table 1. The parameter for calculating the structural defect occurrence rate is 100K, and the humidity resistance load test is performed under the conditions of a temperature of 85 ° C., a relative humidity of 85%, and an applied voltage of 50 V (= 2 WV). , The number of defective occurrences after 1000 hours have passed.

【0034】[0034]

【表1】 [Table 1]

【0035】表1から明らかなように、すべての試料に
ついて、引出電極6および7の各々が、セラミック積層
体3の端面8および9の各々から内部に向かって300
μm以下の距離で形成されている。これらのうち、導電
性ペースト中の金属含有量が70〜90wt%である試料
2〜4が、ESR、構造欠陥発生率、および耐湿負荷不
良数のすべてについて良好な結果を示している。
As can be seen from Table 1, for all the samples, each of the extraction electrodes 6 and 7 is inward from each of the end faces 8 and 9 of the ceramic laminate 3 by 300.
It is formed at a distance of less than μm. Among them, Samples 2 to 4 in which the metal content in the conductive paste is 70 to 90 wt% show favorable results in all of the ESR, the structural defect occurrence rate, and the number of moisture resistance load defects.

【0036】これらに対して、導電性ペースト中の金属
含有量が60wt%である試料1の場合には、樹脂の含有
量が増加するため、構造欠陥発生率および耐湿負荷不良
数に関して問題がなく、シール性が良好であることがわ
かるが、ESR値が増加するので好ましくない。他方、
導電性ペースト中の金属含有量が90wt%を越える試料
5の場合には、ESR値を低くできるが、構造欠陥発生
率および耐湿負荷不良数に関して問題があり、導電性ペ
ーストによるシール性向上の効果をあまり期待できな
い。
On the other hand, in the case of Sample 1 in which the metal content in the conductive paste was 60% by weight, since the content of the resin was increased, there was no problem with respect to the structural defect occurrence rate and the number of defective moisture resistant loads. It can be seen that the sealing performance is good, but it is not preferable because the ESR value increases. On the other hand,
In the case of Sample 5 in which the metal content in the conductive paste exceeds 90 wt%, the ESR value can be lowered, but there are problems with the structural defect occurrence rate and the number of defective moisture-resistant loads. Can not expect much.

【0037】なお、内部電極4および5、引出電極6お
よび7、ならびに外部電極10および11のそれぞれに
含有される金属粉体種に関して、上述した実験例で用い
たもの以外のものを用いても、同様の結果が得られるこ
とが確認されている。
The metal powders contained in the internal electrodes 4 and 5, the extraction electrodes 6 and 7, and the external electrodes 10 and 11 may be other than those used in the above-described experimental examples. It has been confirmed that similar results can be obtained.

【0038】[0038]

【実験例2】以下の点を除いて、実験例1と同様に、積
層セラミックコンデンサ1を作製した。すなわち、この
実験例2では、導電性ペーストとして、すべて80wt%
の金属粉体含有量を有するものを用いながら、引出電極
6および7の形成距離を、以下の表2に示すように、9
0〜330μmの範囲で変えた試料を作製した。
EXPERIMENTAL EXAMPLE 2 A multilayer ceramic capacitor 1 was manufactured in the same manner as in Experimental Example 1 except for the following points. That is, in this experimental example 2, the conductive paste was all 80 wt%.
As shown in Table 2 below, while using a metal powder having a metal powder content of
Samples varied in the range of 0 to 330 μm were prepared.

【0039】[0039]

【表2】 [Table 2]

【0040】表2から明らかなように、導電性ペースト
として、80wt%の金属粉体含有量を有するものを用い
る場合であっても、引出電極6および7の各形成距離が
330μmの試料9にあっては、実験例1における試料
1の場合と同様、構造欠陥発生率および耐湿負荷不良数
に関して問題がなく、シール性が良好であるが、ESR
値が増加するので好ましくない。
As is clear from Table 2, even when a conductive paste having a metal powder content of 80 wt% is used, the sample 9 in which the formation distances of the extraction electrodes 6 and 7 are 330 μm is obtained. As in the case of the sample 1 in the experimental example 1, there is no problem regarding the structural defect occurrence rate and the number of defective moisture-resistant loads, and the sealing property is good.
It is not preferable because the value increases.

【0041】これに対して、試料6〜8のように、引出
電極6および7の各形成距離が300μm以下とされる
ときには、ESR、構造欠陥発生率、および耐湿負荷不
良数のすべてについて良好な結果を示している。
On the other hand, when the formation distances of the extraction electrodes 6 and 7 are set to 300 μm or less as in Samples 6 to 8, good results are obtained in all of the ESR, the structural defect occurrence rate, and the number of defective moisture-resistant loads. The results are shown.

【0042】[0042]

【発明の効果】このように、この発明に係る積層セラミ
ック電子部品によれば、外部電極に接続されるようにセ
ラミック積層体の外面に端部を届かせて形成される引出
電極が、樹脂を含有する導電性ペーストによって構成さ
れているので、この導電性ペーストによって、引出電極
に導電性が与えられるばかりでなく、シール効果が発現
される。それゆえ、めっき液や外部の湿気がセラミック
積層体の内部へ浸入する経路となる、内部電極および引
出電極が位置するセラミック層間の界面が、引出電極を
構成する導電性ペーストによって有利にシールされるの
で、セラミック積層体のシール性を向上させることがで
き、その結果、高信頼性の積層セラミック電子部品を得
ることができる。
As described above, according to the multilayer ceramic electronic component of the present invention, the extraction electrode formed by reaching the end to the outer surface of the ceramic laminate so as to be connected to the external electrode is made of resin. Since the conductive paste is included, the conductive paste not only gives conductivity to the extraction electrode but also exhibits a sealing effect. Therefore, the interface between the ceramic layer where the internal electrode and the extraction electrode are located, which is a path through which the plating solution or external moisture enters the inside of the ceramic laminate, is advantageously sealed by the conductive paste constituting the extraction electrode. Therefore, the sealing performance of the ceramic laminate can be improved, and as a result, a highly reliable laminated ceramic electronic component can be obtained.

【0043】また、この発明において、導電性ペースト
に含有される樹脂としてポリイミド樹脂を用いるととも
に、導電性ペーストにおいて、ポリイミド系樹脂を10
〜30wt%および金属粉体を70〜90wt%含むように
されると、その後に実施される外部電極の焼付け時の温
度に十分に耐え得る耐熱性を引出電極に与えることがで
きるばかりでなく、セラミック積層体のシール性および
電気的特性において一層良好な積層セラミック電子部品
を得ることができる。
In the present invention, a polyimide resin is used as a resin contained in the conductive paste, and a polyimide resin is used in the conductive paste.
When the content of the metal powder is 30 to 90 wt% and the metal powder content is 70 to 90 wt%, not only can the extraction electrode be provided with heat resistance enough to withstand the temperature at which the external electrode is baked thereafter, A multilayer ceramic electronic component having better sealing properties and electrical characteristics of the ceramic laminate can be obtained.

【0044】また、この発明に係る積層セラミック電子
部品の製造方法によれば、引出電極を形成するため、こ
の引出電極を形成すべき部分において、焼失可能な引出
部材を生のセラミック積層体に予め形成し、セラミック
積層体を焼成したとき、引出部材を焼失させることによ
って、引出部材が形成されていた部分に空洞を形成し、
この空洞に導電性ペーストを充填する工程が採用される
ので、所望の部分に引出電極を容易にかつ能率的に形成
することができる。
Further, according to the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component of the present invention, in order to form an extraction electrode, a burnable extraction member is previously added to a raw ceramic laminate at a portion where the extraction electrode is to be formed. Forming and firing the ceramic laminate, by burning out the drawer member, forming a cavity in the portion where the drawer member was formed,
Since the step of filling the cavity with the conductive paste is employed, the extraction electrode can be easily and efficiently formed at a desired portion.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施形態による積層セラミックコ
ンデンサ1を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a multilayer ceramic capacitor 1 according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した積層セラミックコンデンサ1を得
るために用意される、内部電極4が形成されたセラミッ
クグリーンシート14を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a ceramic green sheet 14 on which an internal electrode 4 is formed, which is prepared for obtaining the multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG.

【図3】図2に示したセラミックグリーンシート14上
にさらに引出部材15を形成した状態を示す斜視図であ
る。
FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a drawing member 15 is further formed on the ceramic green sheet 14 shown in FIG.

【図4】図3に示したセラミックグリーンシート14を
積み重ねて得られた生のセラミック積層体3を示す断面
図である。
4 is a cross-sectional view showing a green ceramic laminate 3 obtained by stacking the ceramic green sheets 14 shown in FIG.

【図5】図4に示した生のセラミック積層体3を焼成す
ることによって空洞17が形成された、焼成後のセラミ
ック積層体3の一部を拡大して示す断面図である。
5 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the fired ceramic laminate 3 in which a cavity 17 is formed by firing the raw ceramic laminate 3 shown in FIG.

【図6】図5に示した空洞17に導電性ペーストが充填
されることによって引出電極6が形成された、図5に相
当の図である。
6 is a diagram corresponding to FIG. 5, in which the extraction electrode 6 is formed by filling a cavity 17 shown in FIG. 5 with a conductive paste.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 積層セラミックコンデンサ(積層セラミック電子部
品) 2 セラミック層 3 セラミック積層体 4,5 内部電極 6,7 引出電極 8,9 端面(外面) 10,11 外部電極 15,16 引出部材 17 空洞
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Multilayer ceramic capacitor (multilayer ceramic electronic component) 2 Ceramic layer 3 Ceramic laminated body 4,5 Internal electrode 6,7 Leader electrode 8,9 End face (outer surface) 10,11 External electrode 15,16 Leader member 17 Cavity

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 積層された複数のセラミック層、ならび
に、特定の前記セラミック層間の界面に沿ってそれぞれ
形成される、内部電極および前記内部電極に連なりかつ
前記界面の端部にまで延びる引出電極を含む、セラミッ
ク積層体と、 前記引出電極に電気的に接続されるように前記セラミッ
ク積層体の外面上に形成される外部電極とを備える、積
層セラミック電子部品において、 前記引出電極は、樹脂を含有する導電性ペーストによっ
て構成されていることを特徴とする、積層セラミック電
子部品。
A plurality of stacked ceramic layers; and an internal electrode formed along an interface between the specific ceramic layers and an extraction electrode connected to the internal electrode and extending to an end of the interface. A ceramic laminate, and an external electrode formed on an outer surface of the ceramic laminate so as to be electrically connected to the extraction electrode, wherein the extraction electrode contains a resin. A multilayer ceramic electronic component, comprising: a conductive paste comprising:
【請求項2】 前記導電性ペーストは、ポリイミド系樹
脂を10〜30wt%および金属粉体を70〜90wt%含
む、請求項1に記載の積層セラミック電子部品。
2. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the conductive paste contains 10 to 30% by weight of a polyimide resin and 70 to 90% by weight of a metal powder.
【請求項3】 積層された複数のセラミック層、ならび
に、特定の前記セラミック層間の界面に沿ってそれぞれ
形成される、内部電極および前記内部電極に接触しかつ
前記界面の端部にまで延びる引出部材を含み、前記引出
部材が焼失可能な材料からなる、生のセラミック積層体
を用意し、 前記生のセラミック積層体を焼成するとともに、前記焼
失可能な材料を焼失させ、それによって前記引出部材が
形成されていた部分に空洞を形成し、 前記空洞に樹脂を含有する導電性ペーストを充填し、そ
れによって前記内部電極に接触する引出電極を形成し、 前記引出電極に電気的に接続されるように前記セラミッ
ク積層体の外面上に外部電極を形成する、各工程を備え
る、積層セラミック電子部品の製造方法。
3. A plurality of laminated ceramic layers, and a drawing member formed along an interface between the specific ceramic layers and extending to an end of the interface in contact with the internal electrode and to the end of the interface. Preparing a raw ceramic laminate, wherein the draw-out member is made of a burnable material, firing the green ceramic laminate and burning out the burnable material, thereby forming the draw-out member Forming a cavity in the portion that has been formed, filling the cavity with a conductive paste containing a resin, thereby forming an extraction electrode that contacts the internal electrode, and electrically connected to the extraction electrode. A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising: forming an external electrode on an outer surface of the ceramic laminate.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015188046A (en) * 2014-03-27 2015-10-29 株式会社村田製作所 Multilayer ceramic capacitor and mounting structure thereof
WO2020175168A1 (en) * 2019-02-27 2020-09-03 京セラ株式会社 Laminated ceramic electronic component
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