JPH10283796A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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JPH10283796A
JPH10283796A JP9088509A JP8850997A JPH10283796A JP H10283796 A JPH10283796 A JP H10283796A JP 9088509 A JP9088509 A JP 9088509A JP 8850997 A JP8850997 A JP 8850997A JP H10283796 A JPH10283796 A JP H10283796A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
redundant
circuit
fuse
memory cell
address
Prior art date
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Pending
Application number
JP9088509A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuhisa Hirano
勝久 平野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPH10283796A publication Critical patent/JPH10283796A/en
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  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device which can shorten the blowing-out time of a fuse during redundant processing, can improve the versatility of a program for redundancy, and can be manufactured at an improved productivity. SOLUTION: In an ASIC 10a composed of a logic circuit 20 and memory cores 30a and 40a, the blowing-out time of a fuse is shortened during redundant work and the versatility of a program for redundancy is improved, and then, program making and verifying time is reduced by arranging the common fuse circuit 50 of the redundancy circuits of the memory cores 30a and 40a at a specific position on a board separately from the memory cores 30a and 40a.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、冗長メモリを含む
メモリ装置を有する半導体装置、例えば、ASICに関
するものである。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a semiconductor device having a memory device including a redundant memory, for example, an ASIC.

【0002】[0002]

【従来の技術】ASIC(Application Specific Integ
rated Circuit )は論理演算などの処理を行う演算回路
とデータ記憶を行うメモリ回路両方を持ち、特定の使用
目的に応じて開発された集積回路であり、簡単な回路構
成で複雑な処理を行えることが特徴である。ASICの
設計において、メモリセルの配置は回路の特性やチップ
面積を優先して行われるため、そのつど任意の場所にメ
モリセルが配置され得る。
2. Description of the Related Art ASIC (Application Specific Integ
A rated circuit is an integrated circuit that has both an arithmetic circuit that performs logical operations and a memory circuit that stores data.It is an integrated circuit that has been developed for specific uses and can perform complex processing with a simple circuit configuration. Is the feature. In the design of an ASIC, the memory cells are arranged with priority given to the characteristics of the circuit and the chip area.

【0003】ASICに内蔵されているメモリコアの容
量が大きくなるに従って、メモリコアに不良メモリセル
が生じる可能性が大きくなり、生産歩留りが低下する傾
向がある。これを解決するために、メモリコアの不良メ
モリセルを他のメモリセルに置き換える、いわゆる冗長
作業を行い、メモリアクセス時に不良メモリセルの代わ
りに代替用のメモリセルにアクセスさせる方式が一般的
に採用されている。不良メモリセルを代替するメモリセ
ルを冗長メモリセルという。出荷前に、メモリコアを検
査して、不良メモリセルが検出された場合に、例えば、
レーザあるいは過電流によるヒューズ溶断などの方法
で、冗長メモリのアドレス指定などの作業を行う。これ
は通常冗長メモリのプログラミングという。冗長作業に
より不良メモリセルの救済ができ、半導体装置の生産歩
留りの改善を実現できる。
As the capacity of a memory core built in an ASIC increases, the possibility of defective memory cells in the memory core increases, and the production yield tends to decrease. In order to solve this, a method of replacing the defective memory cell of the memory core with another memory cell, that is, performing a so-called redundant operation, and accessing a substitute memory cell instead of the defective memory cell at the time of memory access is generally adopted. Have been. A memory cell that replaces a defective memory cell is called a redundant memory cell. Before shipping, if the memory core is inspected and a defective memory cell is detected, for example,
An operation such as addressing of a redundant memory is performed by a method such as a fuse blown by a laser or an overcurrent. This is usually referred to as redundant memory programming. Defective memory cells can be relieved by the redundant operation, and the production yield of semiconductor devices can be improved.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のASICにおいては、メモリコアの配置場所が任意
に指定され、LSIの種類あるいは使用するASICの
メモリの容量などに応じて、冗長用ヒューズの配置場所
が異なるので、冗長作業を行う場合には、基板上におけ
るヒューズの座標を一々抽出する必要があるという不利
益がある。半導体装置の出荷前の生産工程として、メモ
リコアの検査と、不良メモリセルが検出された場合の冗
長プログラムの作成および動作検証がある。これらの作
業の効率の面から考えると、複数メモリコアの冗長用ヒ
ューズの座標にあわせてレーザ装置を移動する場合に、
例えば、半導体装置基板上に直行する方向にそれぞれX
/Y座標軸を定義して、レーザなどの冗長装置をXとY
の両方を移動するより、XまたはYのどちらか一方にの
み移動する方が処理時間が短くて済む。
In the above-described conventional ASIC, the location of the memory core is arbitrarily specified, and the redundancy fuse is determined according to the type of LSI or the capacity of the ASIC memory to be used. Since the arrangement locations are different, there is a disadvantage in that when performing a redundant operation, it is necessary to extract the coordinates of the fuses on the substrate one by one. As a production process before shipment of a semiconductor device, there are inspection of a memory core and creation and operation verification of a redundant program when a defective memory cell is detected. From the viewpoint of the efficiency of these operations, when the laser device is moved in accordance with the coordinates of the redundant fuses of a plurality of memory cores,
For example, in the direction perpendicular to the semiconductor device substrate,
/ Y coordinate axes are defined and redundant devices such as lasers are
Moving only to either X or Y requires less processing time than moving both.

【0005】図8は従来のASICの基板上のレイアウ
トの配置例を示している。図示のように、ASIC10
は、例えば、論理演算などの処理を行う論理回路20
と、データの記憶を行うメモリコア30,40により構
成されている。さらに、メモリコア30に冗長用ヒュー
ズ31,32、メモリコア40に冗長用ヒューズ41,
42,43がそれぞれ配置されている。
FIG. 8 shows an example of a layout on a conventional ASIC board. As shown, the ASIC 10
Is, for example, a logic circuit 20 that performs a process such as a logical operation.
And memory cores 30 and 40 for storing data. Further, redundant fuses 31 and 32 are provided in the memory core 30, and redundant fuses 41 and 32 are provided in the memory core 40.
42 and 43 are arranged respectively.

【0006】図示のように、冗長用ヒューズの配置場所
はそれぞれ基板上任意の位置に設定されており、冗長作
業時にこれらのヒューズの座標をすべて抽出して、抽出
した座標にあわせてレーザ装置を移動してプログラミン
グを行う。このため、個別のASICに対して座標の抽
出とプログラミングの制御を行う必要があり、さらに冗
長作業時抽出した座標に応じてレーザ装置を基板上のX
とY軸の両方を移動する必要があり、作業効率の低下を
招く。また、冗長回路のレイアウト配置によってアクセ
ス時間の悪化あるいは誤動作を引き起こすこともある。
As shown in the figure, the locations of the redundant fuses are set at arbitrary positions on the substrate, and all the coordinates of these fuses are extracted during the redundancy operation, and the laser device is adjusted in accordance with the extracted coordinates. Go and program. For this reason, it is necessary to control the extraction and programming of coordinates for each ASIC.
And the Y-axis must be moved, which leads to a reduction in work efficiency. Further, the access time may be deteriorated or malfunction may occur depending on the layout arrangement of the redundant circuit.

【0007】図9は冗長回路を含むメモリ回路の構成を
示す回路図である。図9に示すように、メモリコアに入
力されたアドレスデータA0,A1,…,An(nは正
整数)はそれぞれアドレスバッファADRBUF0,A
DRBUF1,…,ADRBUFnを介してプリデコー
ダPRDEC0,PRDEC1,…,PRDECnに入
力される。これらのプリデコーダからの出力信号は各デ
コーダDEC0,DEC1,…,DECm(mは正整
数)および冗長回路RDC0,RDC1,…,RDCn
に入力される。例えば、デコーダDEC0〜DEC3の
出力信号はそれぞれドライバーDRV0〜DRV3に出
力され、また、冗長回路RDC0の出力信号は、それぞ
れドライバーDRV0〜DRV3および冗長ドライバー
RDRV0に出力される。ドライバーDRV0〜RDV
3により、それぞれワード線WL0〜WL3が駆動さ
れ、冗長ドライバーRDRV0により冗長ワード線RW
L0が駆動される。
FIG. 9 is a circuit diagram showing a configuration of a memory circuit including a redundant circuit. As shown in FIG. 9, address data A0, A1,..., An (n is a positive integer) input to the memory core are respectively addressed to address buffers ADRBUF0, ADRBUF.
, ADRBUFn are input to predecoders PRDEC0, PRDEC1,..., PRDECn. .., DECm (m is a positive integer) and redundant circuits RDC0, RDC1,.
Is input to For example, output signals of the decoders DEC0 to DEC3 are output to the drivers DRV0 to DRV3, respectively, and output signals of the redundant circuit RDC0 are output to the drivers DRV0 to DRV3 and the redundant driver RDRV0, respectively. Driver DRV0-RDV
3 drives the word lines WL0 to WL3, and the redundant driver RDRV0 drives the redundant word lines RW.
L0 is driven.

【0008】また、デコーダDEC4〜DEC7、冗長
回路RDC1およびドライバーDRV4〜RDV7、冗
長ドライバーRDRV1の部分も上記同様の構成を有す
る。
The decoders DEC4 to DEC7, the redundant circuit RDC1, the drivers DRV4 to RDV7, and the redundant driver RDRV1 also have the same configuration.

【0009】外部からのアドレスデータA0,A1,
…,AnはアドレスバッファADRBUF0,ADRB
UF1,…,ADRBUFnにより保持され、プリデコ
ーダおよびデコーダに出力される。デコーダ回路は入力
アドレスデータA0,A1,…,Anに応じてワード線
の選択信号を出力し、ドライバーによりワード線が選択
される。また、冗長回路では、ヒューズ切断情報などに
基づきプリデコーダから入力されたアドレス情報とを照
合し、アドレスが一致した場合、冗長処理を行い、所定
のワード線ドライバーを停止させ、冗長ドライバーを動
作させることにより、不良メモリセルの代わりに冗長ワ
ード線により選択された冗長メモリセルへアクセスす
る。
Address data A0, A1,
…, An is the address buffer ADRBUF0, ADRB
., ADRBUFn and output to the pre-decoder and the decoder. The decoder circuit outputs a word line selection signal according to the input address data A0, A1,..., An, and the word line is selected by the driver. In the redundant circuit, the address information input from the pre-decoder is collated based on fuse cutting information and the like, and if the addresses match, redundancy processing is performed, a predetermined word line driver is stopped, and the redundant driver is operated. Thereby, the redundant memory cell selected by the redundant word line is accessed instead of the defective memory cell.

【0010】冗長ヒューズを含む冗長回路の数は、メモ
リコアのメモリセルブロック数や用意された冗長メモリ
ブロックの数により決まる。例えば、図9に示す回路例
では、ワード線ごとの冗長が行われ、ワード線4本毎に
1本の冗長ワード線が設けられている。
The number of redundant circuits including redundant fuses is determined by the number of memory cell blocks of the memory core and the number of prepared redundant memory blocks. For example, in the circuit example shown in FIG. 9, redundancy is performed for each word line, and one redundant word line is provided for every four word lines.

【0011】図10は冗長回路RDCの一例を示してい
る。冗長回路RDCはプリセット用pMOSトランジス
タPTR、出力用バッファBUF1、インバータINV
1、ヒューズH0,H1,H2,H3およびnMOSト
ランジスタNT0,NT1,NT2,NT3により構成
されている。pMOSトランジスタPTRのソースは電
源電圧VCCの供給線に接続され、ドレインはノードND
aに接続され、ゲートはリセット信号RESETの入力
端子に接続されている。バッファBUF1およびインバ
ータINV1の入力端子はノードNDaに接続され、出
力端子はそれぞれ出力信号OUTおよび反転出力信号O
UTBの端子に接続されている。
FIG. 10 shows an example of the redundant circuit RDC. The redundant circuit RDC includes a preset pMOS transistor PTR, an output buffer BUF1, and an inverter INV.
1, fuses H0, H1, H2, H3 and nMOS transistors NT0, NT1, NT2, NT3. The source of the pMOS transistor PTR is connected to the supply line of the power supply voltage V CC, the drain node ND
a, and the gate is connected to the input terminal of the reset signal RESET. The input terminals of the buffer BUF1 and the inverter INV1 are connected to the node NDa, and the output terminals are the output signal OUT and the inverted output signal O, respectively.
It is connected to the terminal of UTB.

【0012】ヒューズH0,H1,H2,H3の一方の
端子はノードNDaに接続され、他方の端子はそれぞれ
nMOSトランジスタNT0,NT1,NT2,NT3
のドレインに接続されている。nMOSトランジスタN
T0,NT1,NT2,NT3ののゲートはそれぞれア
ドレス信号IN0,IN1,IN2,IN3の入力端子
に接続され、ソースは接地されている。
One terminal of fuses H0, H1, H2, H3 is connected to node NDa, and the other terminal is connected to nMOS transistors NT0, NT1, NT2, NT3, respectively.
Connected to the drain of nMOS transistor N
The gates of T0, NT1, NT2, and NT3 are connected to input terminals of address signals IN0, IN1, IN2, and IN3, respectively, and the sources are grounded.

【0013】リセット時に、リセット信号RESETが
一旦ローレベルに保持される。これに応じてpMOSト
ランジスタPTRが導通し、ノードNDaは電源電圧V
CCレベルにプリチャージされる。動作時にプリデコーダ
からのアドレス情報IN0,IN1,IN2,IN3が
入力される。冗長プログラミングが行われた場合、冗長
アドレスに応じてヒューズが溶断され、そのアドレスが
入力された場合、ノードNDaはプリチャージされたレ
ベル(VCCレベル)に保持され、バッファBUF1の出
力端子からハイレベルの信号が出力され、これに応じて
冗長ドライバーが動作し、冗長ワード線が選択され、冗
長回路RDCの出力信号に応じて通常のワード線を選択
するドライバーが停止状態に保持されるので、欠陥のあ
るメモリセルを含む通常のメモリセル行が非選択とし、
代わりに冗長メモリセル行が選択される。
At the time of reset, the reset signal RESET is temporarily held at a low level. In response, pMOS transistor PTR is turned on, and node NDa is at power supply voltage V
Precharged to CC level. During operation, address information IN0, IN1, IN2, IN3 from the predecoder is input. When the redundancy programming is performed, the fuse is blown in accordance with the redundancy address, and when the address is input, the node NDa is held at the precharged level (V CC level), and the node NDa is set to the high level from the output terminal of the buffer BUF1. A level signal is output, a redundant driver operates in response to this, a redundant word line is selected, and a driver that selects a normal word line according to the output signal of the redundant circuit RDC is held in a stopped state. A normal memory cell row including a defective memory cell is deselected,
Instead, a redundant memory cell row is selected.

【0014】図11は、図9に示すメモリ回路の動作タ
イミングを示している。図示のように、入力アドレスA
0,A1,…,Anに応じてプリデコーダの出力信号が
設定される。リセット時にリセット信号RESETに応
じて冗長回路の出力がプリセットされる。そして、動作
時に冗長回路におけるヒューズの切断情報およびプリデ
コーダからのアドレス信号に応じてドライバーおよび冗
長ドライバーの動作状態が制御される。メモリセルが正
常なとき、通常のメモリセルに対してアクセスが行わ
れ、メモリセルに欠陥があってヒューズ切断によりアド
レス情報が登録されたとき、冗長メモリセルに対してア
クセスが行われる。
FIG. 11 shows the operation timing of the memory circuit shown in FIG. As shown, the input address A
The output signal of the predecoder is set according to 0, A1,..., An. At the time of reset, the output of the redundant circuit is preset according to the reset signal RESET. Then, during operation, the operating states of the driver and the redundant driver are controlled in accordance with the information of cutting the fuse in the redundant circuit and the address signal from the predecoder. When the memory cell is normal, the normal memory cell is accessed, and when the memory cell is defective and the address information is registered by blowing the fuse, the redundant memory cell is accessed.

【0015】図9および図10に示すASICの例で
は、メモリコアの冗長回路が基板上の任意の場所に配置
され得る。このため、冗長作業におけるプログラミング
は、冗長回路のヒューズの座標抽出と、抽出座標による
ヒューズ溶断時のレーザ装置の移動などの複雑な作業か
らなり、生産工程の効率化を妨げる結果となる。また、
冗長回路の配置位置により、メモリアクセス時間の悪化
あるいは誤動作を招く可能性もある。
In the example of the ASIC shown in FIGS. 9 and 10, the redundant circuit of the memory core can be arranged at an arbitrary position on the substrate. For this reason, the programming in the redundant operation includes complicated operations such as the extraction of the coordinates of the fuses of the redundant circuit and the movement of the laser device when the fuses are blown by the extracted coordinates, which hinders the efficiency of the production process. Also,
Depending on the position of the redundant circuit, there is a possibility that the memory access time may be deteriorated or malfunction may occur.

【0016】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、冗長回路のヒューズ部をメモリ
回路から分離して基板上の特定の位置に配置することに
より、座標抽出およびヒューズ切断の時間を短縮でき、
冗長用プログラムの汎用性の向上が図れ、生産性の向上
を実現できる半導体装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to separate a fuse portion of a redundant circuit from a memory circuit and arrange it at a specific position on a substrate so that coordinate extraction and fuse extraction can be performed. Cutting time can be shortened,
It is an object of the present invention to provide a semiconductor device capable of improving the versatility of a redundancy program and realizing an improvement in productivity.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は少なくとも一つのメモリセルを有する半導
体装置であって、上記メモリ回路にある不良メモリセル
を置き換える冗長メモリセルを有する冗長メモリ回路
と、上記不良メモリセルへのアクセスを上記冗長メモリ
セルへ切り替える切り替え制御手段とを有し、上記切り
替え制御手段は、上記メモリ回路と分離して、基板上の
所定の領域に配置されている。
To achieve the above object, the present invention relates to a semiconductor device having at least one memory cell, wherein the redundant memory circuit has a redundant memory cell for replacing a defective memory cell in the memory circuit. And switching control means for switching access to the defective memory cell to the redundant memory cell. The switching control means is arranged in a predetermined area on the substrate separately from the memory circuit.

【0018】また、本発明では、上記メモリ回路は、回
路特性とチップ面積を優先して基板上に配置され、上記
切り替え制御手段は、ヒューズにより構成され、アドレ
ス登録により上記置き換えられる不良メモリセルのアド
レスが指定される。
Further, in the present invention, the memory circuit is arranged on the substrate with priority given to circuit characteristics and chip area, and the switching control means is constituted by a fuse, and is used for the defective memory cell to be replaced by address registration. The address is specified.

【0019】さらに、本発明では、上記アドレス登録
は、例えば、レーザビームの照射により上記ヒューズを
溶断することにより行われる。
Further, in the present invention, the address registration is performed, for example, by blowing the fuse by irradiating a laser beam.

【0020】本発明によれば、メモリ回路とメモリ回路
以外の論理回路などにより構成されている半導体装置、
例えば、ASICでは、冗長回路のヒューズ部分をメモ
リ回路から分離して、基板上の所定の領域に配置され
る。これにより、冗長処理におけるヒューズ溶断などの
作業では、レーザ装置の移動が所定の方向のみで良く、
処理時間の短縮が図れる。
According to the present invention, a semiconductor device comprising a memory circuit and a logic circuit other than the memory circuit,
For example, in an ASIC, a fuse portion of a redundant circuit is separated from a memory circuit and arranged in a predetermined region on a substrate. This allows the laser device to move only in a predetermined direction in operations such as fuse blowing in the redundancy processing.
Processing time can be reduced.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】図1は本発明に係る半導体装置の
一実施例を示す回路図である。図1に示すように、本実
施例の半導体装置、例えば、ASIC10aは論理演算
などの処理を行う論理回路20と、データの記憶を行う
メモリコア30a,40aおよびメモリコア30aと4
0aの共通のヒューズ回路50により構成されている。
メモリコア30aと40aの共通のヒューズ50は、こ
れらのメモリコアから分離して基板上の特定の位置に配
置されている。ヒューズ回路50には、アドレス登録用
のヒューズが設けられ、冗長作業のプログラミング処理
によりヒューズの切断が行われ、冗長アドレスの登録が
行われる。
FIG. 1 is a circuit diagram showing one embodiment of a semiconductor device according to the present invention. As shown in FIG. 1, a semiconductor device according to the present embodiment, for example, an ASIC 10a includes a logic circuit 20 that performs a process such as a logical operation, memory cores 30a and 40a that store data, and memory cores 30a and 4a.
0a is constituted by a common fuse circuit 50.
The common fuse 50 of the memory cores 30a and 40a is arranged at a specific position on the substrate separately from these memory cores. The fuse circuit 50 is provided with a fuse for registering an address, and the fuse is cut by a programming process for a redundant operation to register a redundant address.

【0022】本実施例は、メモリコア30a,40aの
共通のヒューズ回路50はメモリコア30a,40aか
ら分離して基板上の特定の領域に配置されることが特徴
である。こうすることによって、冗長作業時にヒューズ
の座標の抽出が簡単になり、さらにヒューズの座標が固
定なので、レーザによるヒューズ溶断の作業において
は、レーザ装置の移動がXまたはY軸の片方のみで済
み、プログラミングの処理時間の短縮が実現および生産
効率の向上が図れる。
The present embodiment is characterized in that the common fuse circuit 50 of the memory cores 30a and 40a is arranged separately from the memory cores 30a and 40a in a specific area on the substrate. By doing so, it is easy to extract the coordinates of the fuse during the redundant operation, and since the coordinates of the fuse are fixed, in the operation of blowing the fuse with the laser, the laser device needs to move only one of the X or Y axis, The programming processing time can be reduced and the production efficiency can be improved.

【0023】図2は本実施例における冗長回路を含むメ
モリ回路の回路図である。本例のメモリ回路は、アドレ
スバッファADRBUF0,ADRBUF1,…,AD
RBUFn、プリデコーダPRDEC0,PRDEC
1,…,PRDECn、冗長比較回路RDCM0,RD
CM1,…,RDCMn、デコーダDEC0,DEC
1,…,DECmおよびドライバーDRV0,DRV
1,…,DRVmと冗長ドライバーRDRV0,RDR
V1,…,RDRVnにより構成されている。
FIG. 2 is a circuit diagram of a memory circuit including a redundant circuit in this embodiment. The memory circuit of this example includes address buffers ADRBUF0, ADRBUF1,.
RBUFn, predecoders PRDEC0, PRDEC
1,..., PRDECn, redundant comparison circuit RDCM0, RD
CM1,..., RDCMn, decoders DEC0, DEC
1, ..., DECm and drivers DRV0, DRV
1, ..., DRVm and redundant driver RDRV0, RDR
, RDRVn.

【0024】アドレスデータA0,A1,…,Anはそ
れぞれアドレスバッファADRBUF0,ADRBUF
1,…,ADRBUFnを介してプリデコーダPRDE
C0,PRDEC1,…,PRDECnに入力される。
これらのプリデコーダからの出力信号は各デコーダDE
C0,DEC1,…,DECmに入力される。デコーダ
DEC0〜DECmの出力信号はそれぞれドライバーD
RV0〜DRVmに出力される。冗長比較回路RDCM
0,RDCM1,…,RDCMnに、それぞれアドレス
データA0,A1,…,Anとヒューズ回路50からの
冗長アドレスデータA0R,A1R,…,AnRが入力
される。これらの冗長比較回路により、アドレスデータ
と冗長アドレスデータとが比較され、比較結果に応じて
ドライバーと冗長ドライバーの動作状態が制御される。
Address data A0, A1,..., An are address buffers ADRBUF0, ADRBUF, respectively.
1,..., Predecoder PRDE via ADRBUFn
C0, PRDEC1,..., PRDECn.
Output signals from these predecoders are output to each decoder DE.
, DECm. The output signals of the decoders DEC0 to DECm are respectively
Output to RV0 to DRVm. Redundancy comparison circuit RDCM
, RDCMn, address data A0, A1,..., An and redundant address data A0R, A1R,. These redundant comparison circuits compare the address data with the redundant address data, and control the operating states of the driver and the redundant driver according to the comparison result.

【0025】例えば、図2に示すように、冗長比較回路
RDCM0の出力信号はそれぞれドライバーDRV0〜
DRV3および冗長ドライバーDRRV0に入力され
る。冗長比較回路RDCM0に入力されたアドレスデー
タと冗長アドレスデータが一致しないとき、ドライバー
DRV0〜DRV3が動作状態に設定され、冗長ドライ
バーRDRV0が非動作状態に設定される。一方、冗長
比較回路RDCM0に入力されたアドレスデータと冗長
アドレスデータが一致しているとき、ドライバーDRV
0〜DRV3が非動作状態に設定され、冗長ドライバー
RDRV0が動作状態に設定される。
For example, as shown in FIG. 2, the output signals of the redundancy comparison circuit RDCM0 are output from drivers DRV0 to DRV0, respectively.
Input to DRV3 and redundant driver DRRV0. When the address data input to the redundancy comparison circuit RDCM0 and the redundancy address data do not match, the drivers DRV0 to DRV3 are set to the operation state, and the redundancy driver RDRV0 is set to the non-operation state. On the other hand, when the address data input to the redundancy comparison circuit RDCM0 matches the redundancy address data, the driver DRV
0 to DRV3 are set to the non-operation state, and the redundant driver RDRV0 is set to the operation state.

【0026】ドライバーDRV0〜RDVmにより、ワ
ード線WL0〜WLmがそれぞれ駆動され、冗長ドライ
バーRDRV0〜RDRVnにより、冗長ワード線RW
L0〜RWLnがそれぞれ駆動される。この結果、例え
ば、ワード線WL0〜WL3に接続されているメモリセ
ルに不良メモリセルがある場合、冗長プログラミングに
より、不良メモリセルに応じたアドレス情報がヒューズ
回路50に登録される。アクセス時に、冗長比較回路R
DCM0により、入力されたアドレスデータと冗長アド
レスデータとの一致が検出され、その出力信号により、
ドライバーDRV0〜RDV3が非動作状態に設定さ
れ、冗長ドライバーRDRV0が動作状態に設定され
る。メモリアクセス時に、不良メモリセルに接続された
ワード線が駆動されず、その代わりに冗長ワード線RW
L0が駆動されるので、不良メモリセルの代わりに冗長
メモリセルがアクセスされる。
Word lines WL0 to WLm are driven by drivers DRV0 to RDVm, respectively, and redundant word lines RW are driven by redundant drivers RDRV0 to RDRVn.
L0 to RWLn are respectively driven. As a result, for example, when there is a defective memory cell in the memory cells connected to the word lines WL0 to WL3, address information corresponding to the defective memory cell is registered in the fuse circuit 50 by redundant programming. At the time of access, the redundancy comparison circuit R
DCM0 detects a match between the input address data and the redundant address data.
Drivers DRV0 to RDV3 are set to a non-operation state, and redundant driver RDRV0 is set to an operation state. At the time of memory access, the word line connected to the defective memory cell is not driven, and instead, the redundant word line RW
Since L0 is driven, a redundant memory cell is accessed instead of a defective memory cell.

【0027】図3はアドレスバッファADRBUFx
(x=1,2,…,n)とプリデコーダPRDECxの
構成を示す回路図である。図3(a)はアドレスバッフ
ァの回路図である。図示のように、アドレスバッファは
入力バッファBUFIN1、インバータINVL1,I
NVL2、インバータINVO1および出力バッファB
UFO1により構成されている。
FIG. 3 shows an address buffer ADRBUFx.
(X = 1, 2,..., N) and a circuit diagram showing a configuration of a predecoder PRDECx. FIG. 3A is a circuit diagram of the address buffer. As shown, the address buffer includes an input buffer BUFIN1, an inverter INVL1, and an inverter INVL1.
NVL2, inverter INVO1, and output buffer B
It is composed of UFO1.

【0028】バッファBUFIN1の入力端子はアドレ
スデータAxの入力端子に接続され、出力端子はノード
ND1に接続されている。インバータINVL1の入力
端子はノードND1に接続され、出力端子はノードND
2に接続されている。インバータINVL2の入力端子
はノードND2に接続され、出力端子はノードND1に
接続されている。即ち、インバータINVL1とINV
L2はラッチ回路が構成されている。アドレスデータA
xの入力端子に入力されたアドレスデータがラッチ回路
によりラッチされ、ノードND1はAxと同じ論理レベ
ル、ノードND2はAxと論理反転レベルの信号が保持
される。
The input terminal of the buffer BUFIN1 is connected to the input terminal of the address data Ax, and the output terminal is connected to the node ND1. The input terminal of the inverter INVL1 is connected to the node ND1, and the output terminal is the node ND.
2 are connected. The input terminal of the inverter INVL2 is connected to the node ND2, and the output terminal is connected to the node ND1. That is, the inverters INVL1 and INV
L2 constitutes a latch circuit. Address data A
The address data input to the input terminal of x is latched by the latch circuit, and the node ND1 holds the signal of the same logic level as Ax, and the node ND2 holds the signal of Ax and the logic inversion level.

【0029】出力バッファBUFO1およびインバータ
INVO1の入力端子はノードND2に接続され、イン
バータINVO1の出力端子はアドレスAAxの端子
に、バッファBUFO1の出力端子は反転アドレスAB
xの端子にそれぞれ接続されている。
The input terminals of the output buffer BUFO1 and the inverter INVO1 are connected to the node ND2, the output terminal of the inverter INVO1 is connected to the address AAx terminal, and the output terminal of the buffer BUFO1 is the inverted address AB.
x terminal.

【0030】図3(b)はプリデコーダPRDECxの
回路図である。プリデコーダPRDECxはANDゲー
トAND1、インバータINVP1,INVP2により
構成されている。ANDゲートAND1の入力端子に、
アドレスバッファからのアドレスAAx,AAy(y=
1,2,…,n)が入力される。ANDゲートAND1
の出力端子がインバータINVP1の入力端子に接続さ
れ、インバータINVP1の出力端子はインバータIN
VP2の入力端子に接続され、インバータINVP2の
出力端子はプリデコーダの出力端子POUTに接続され
ている。
FIG. 3B is a circuit diagram of the predecoder PRDECx. The predecoder PRDECx includes an AND gate AND1 and inverters INVP1 and INVP2. The input terminal of the AND gate AND1 is
Addresses AAx, AAy (y =
1, 2,..., N) are input. AND gate AND1
Is connected to the input terminal of the inverter INVP1, and the output terminal of the inverter INVP1 is connected to the inverter INVP1.
The output terminal of the inverter INVP2 is connected to the output terminal POUT of the predecoder.

【0031】なお、図3(b)の回路例では、ANDゲ
ートAND1に二つのアドレス信号が入力されている状
況を例示しているが、実際のプリデコーダ回路では、ア
ドレスデータのビット数に応じて複数のアドレス信号が
入力されることがある。各プリデコーダの出力信号はデ
コーダに入力され、デコーダによりドライバーの制御信
号が出力される。ドライバーによって制御信号に応じて
所定のワード線が駆動される。この結果、入力したアド
レスデータA,A1,…,Anに応じてアドレスデータ
により指定されたワード線が駆動される。
In the circuit example of FIG. 3B, a situation where two address signals are input to the AND gate AND1 is illustrated. However, in an actual predecoder circuit, the number of bits of address data depends on the number of address data bits. In some cases, a plurality of address signals are input. The output signal of each predecoder is input to the decoder, and the decoder outputs a driver control signal. A predetermined word line is driven by the driver according to the control signal. As a result, the word line specified by the address data is driven according to the input address data A, A1,..., An.

【0032】図4は冗長比較回路RDCMxおよびドラ
イバーDRVxまたは冗長ドライバーRDRVxの回路
図である。図4(a)は冗長比較回路RDCMxの回路
図である。図示のように、冗長比較回路RDCMxはエ
クスクルーシブORゲートEXOR0,EXOR1およ
びANDゲートAND2、インバータINVO2により
構成されている。エクスクルーシブORゲートEXOR
0の入力端子にアドレスデータA0と冗長アドレスデー
タA0Rがそれぞれ入力され、エクスクルーシブORゲ
ートEXOR1の入力端子にアドレスデータA1と冗長
アドレスデータA1Rがそれぞれ入力されている。
FIG. 4 is a circuit diagram of the redundancy comparison circuit RDCMx and the driver DRVx or the redundancy driver RDRVx. FIG. 4A is a circuit diagram of the redundant comparison circuit RDCMx. As shown in the figure, the redundancy comparison circuit RDCMx includes exclusive OR gates EXOR0 and EXOR1, an AND gate AND2, and an inverter INVO2. Exclusive OR gate EXOR
Address data A0 and redundant address data A0R are respectively input to input terminals of 0, and address data A1 and redundant address data A1R are input to input terminals of an exclusive OR gate EXOR1.

【0033】エクスクルーシブORゲートEXOR0,
EXOR1の出力信号はANDゲートAND2に入力さ
れる。さらに、冗長イネーブル信号RENBもANDゲ
ートAND2に入力される。ANDゲートAND2の出
力端子は冗長信号ROUTの出力端子に接続され、さら
にインバータINVO2の入力端子に接続されている。
インバータINVO2の出力端子は冗長反転信号ROU
TBの出力端子に接続されている。
Exclusive OR gate EXOR0,
The output signal of EXOR1 is input to AND gate AND2. Further, the redundancy enable signal RENB is also input to the AND gate AND2. The output terminal of the AND gate AND2 is connected to the output terminal of the redundant signal ROUT, and further connected to the input terminal of the inverter INVO2.
The output terminal of the inverter INVO2 is a redundant inversion signal ROU.
It is connected to the output terminal of TB.

【0034】図4(b)はドライバーおよび冗長ドライ
バーの回路図である。通常のワード線のドライバーと冗
長ワード線のドライバーは同じ構成を有し、ここで、図
4(b)によりその両方を示している。なお、通常のド
ライバー、例えば、図2に示すドライバーDRV0〜D
RV3においては、一方の入力端子はデコーダの出力端
子に接続され、他方の入力端子は、例えば、冗長比較回
路RDCM0の反転信号ROUTBの出力端子に接続さ
れている。一方、冗長ドライバーの場合、例えば、図2
に示す冗長ドライバーRDRV0において、入力端子は
それぞれ冗長比較回路RDCM0の出力信号ROUTお
よび冗長イネーブル信号RENBが入力される。
FIG. 4B is a circuit diagram of the driver and the redundant driver. The driver for the normal word line and the driver for the redundant word line have the same configuration, and both are shown in FIG. 4B. Note that a normal driver, for example, the drivers DRV0 to DRVD shown in FIG.
In RV3, one input terminal is connected to the output terminal of the decoder, and the other input terminal is connected to, for example, the output terminal of the inverted signal ROUTB of the redundant comparison circuit RDCM0. On the other hand, in the case of a redundant driver, for example, FIG.
In the redundant driver RDRV0 shown in FIG. 7, the input terminal receives the output signal ROUT and the redundant enable signal RENB of the redundant comparison circuit RDCM0.

【0035】冗長比較回路RDCM0〜RDCMnによ
り、入力されたアドレスデータA0〜Anとヒューズ回
路50からの冗長アドレスデータRA0〜RAnとが比
較され、両方のアドレスデータが一致した場合に、冗長
比較回路RDCMxから、例えば、ハイレベルの冗長信
号ROUTが出力され、その反転信号ROUTBの出力
端子はローレベルに保持される。これに応じて、冗長比
較回路RDCMxの出力信号により制御されているドラ
イバーでは出力信号がローレベルに保持され、それによ
り駆動されている通常のワード線もローレベルに保持さ
れる。冗長比較回路RDCMxの出力信号により制御さ
れている冗長ドライバーにおいては出力信号がハイレベ
ルに保持されるので、冗長ワード線がハイレベルに駆動
される。即ち、入力されたアドレス信号とヒューズ回路
50からの冗長アドレス信号が一致した場合、通常のメ
モリセルへのアクセスが停止され、代わりにアドレス登
録により指定された冗長メモリセルへのアクセスが行わ
れる。
The redundancy comparators RDCM0 to RDCMn compare the input address data A0 to An with the redundancy address data RA0 to RAn from the fuse circuit 50. If both address data match, the redundancy comparators RDCMx Thus, for example, a high-level redundant signal ROUT is output, and the output terminal of the inverted signal ROUTB is kept at a low level. In response, the driver controlled by the output signal of the redundancy comparison circuit RDCMx holds the output signal at a low level, and the normal word line driven thereby is also held at a low level. In the redundancy driver controlled by the output signal of the redundancy comparison circuit RDCMx, the output signal is held at a high level, so that the redundancy word line is driven to a high level. That is, when the input address signal matches the redundant address signal from the fuse circuit 50, the access to the normal memory cell is stopped, and the access to the redundant memory cell specified by the address registration is performed instead.

【0036】図5はヒューズ回路50の構成例を示す回
路図である。なお、前述したように、ヒューズ回路50
はメモリコアとは分離して別々に配置されており、アド
レス登録により冗長アドレスの指定を行う。図示のよう
に、本例のヒューズ回路50は、アドレスデータA0,
A1および冗長アドレスデータA0R,A1Rの指定を
行う。なお、実際のヒューズ回路50は、メモリコアの
アドレスのビット数に応じて複数のヒューズが配置され
ている。
FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration example of the fuse circuit 50. Note that, as described above, the fuse circuit 50
Are arranged separately from the memory core, and specify a redundant address by address registration. As shown, the fuse circuit 50 of the present example includes address data A0,
A1 and redundant address data A0R and A1R are specified. In the actual fuse circuit 50, a plurality of fuses are arranged according to the number of bits of the address of the memory core.

【0037】ヒューズH0の一方の端子は電源電圧VCC
の供給線に接続され、他方の端子はノードNDH0に接
続されている。nMOSトランジスタNT0のドレイン
はノードNDH0に接続され、ゲートはリセット信号R
ESETの入力端子に接続され、ソースは接地されてい
る。インバータINVL4の入力端子はノードNDH0
に接続され、出力端子はインバータINVL3の入力端
子に接続され、インバータINVL3の出力端子はノー
ドNDH0に接続されている。即ち、インバータINV
L3,INVL4によりラッチ回路が構成され、ノード
NDH0の電位はこのラッチ回路によりラッチされ、ラ
ッチ信号はアドレスデータA0として出力される。
One terminal of the fuse H0 is connected to the power supply voltage V CC.
And the other terminal is connected to the node NDH0. The drain of the nMOS transistor NT0 is connected to the node NDH0, and the gate of the nMOS transistor NT0 is a reset signal R.
It is connected to the input terminal of ESET, and the source is grounded. The input terminal of the inverter INVL4 is connected to the node NDH0.
, The output terminal is connected to the input terminal of the inverter INVL3, and the output terminal of the inverter INVL3 is connected to the node NDH0. That is, the inverter INV
L3 and INVL4 form a latch circuit, the potential of the node NDH0 is latched by this latch circuit, and a latch signal is output as address data A0.

【0038】ヒューズH0Rの一方の端子は電源電圧V
CCの供給線に接続され、他方の端子はノードNDH0R
に接続されている。nMOSトランジスタNT0Rのド
レインはノードNDH0Rに接続され、ゲートはリセッ
ト信号RESETの入力端子に接続され、ソースは接地
されている。インバータINVL6の入力端子はノード
NDH0Rに接続され、出力端子はインバータINVL
5の入力端子に接続され、インバータINVL5の出力
端子はノードNDH0Rに接続されている。即ち、イン
バータINVL5,INVL6によりラッチ回路が構成
され、ノードNDH0Rの電位はこのラッチ回路により
ラッチされる。ラッチ信号はアドレスデータA0Rとし
て、例えば、冗長比較回路に出力される。
One terminal of the fuse HOR is connected to the power supply voltage V
Connected to the CC supply line and the other terminal is connected to the node NDH0R
It is connected to the. The drain of the nMOS transistor NT0R is connected to the node NDH0R, the gate is connected to the input terminal of the reset signal RESET, and the source is grounded. The input terminal of the inverter INVL6 is connected to the node NDH0R, and the output terminal is connected to the inverter INVL.
5, and the output terminal of the inverter INVL5 is connected to the node NDH0R. That is, a latch circuit is formed by the inverters INVL5 and INVL6, and the potential of the node NDH0R is latched by the latch circuit. The latch signal is output as address data A0R, for example, to a redundancy comparison circuit.

【0039】上述した部分と同様に、ヒューズH1,H
1R、nMOSトランジスタNT1,NT1Rおよびイ
ンバータINVL7,INVL8,INVL9,INV
L10からなるラッチ回路によりアドレスデータA1、
A1Rの生成回路が構成されている。
As in the above-described portion, the fuses H1, H
1R, nMOS transistors NT1 and NT1R and inverters INVL7, INVL8, INVL9, INV
The address data A1,
An A1R generation circuit is configured.

【0040】回路リセット時に、リセット信号RESE
Tがわずかな時間でハイレベルに保持されている。これ
に応じて、nMOSトランジスタNT0,NT0R,N
T1,NT1Rなどが導通状態に保持され、ノードND
H0,NDH0R,NDH1,NDH1Rなどがローレ
ベルに設定される。リセット動作後、リセット信号RE
SETがローレベルに切り替えられ、nMOSトランジ
スタNT0,NT0R,NT1,NT1Rなどが非導通
状態に保持される。レーザなどのプログラミングによ
り、ヒューズH0,H0R,H1,H1Rの状態が設定
されている。ヒューズが溶断された場合、それに対応す
るノードの電位がラッチ回路によりラッチされ、リセッ
ト時のローレベルが保持される。一方、ヒューズが溶断
されていない場合、それに対応するノードの電位が電源
電圧VCCレベルに保持され、ラッチ回路によりそのレベ
ルがラッチされる。このように、プログラミングにより
アドレス登録が行われ、ヒューズ回路50から登録され
たアドレスが出力される。アドレス登録は検出された不
良メモリセルの位置に応じて行われるので、アドレス登
録後、入力アドレスにより不良メモリセルへのアクセス
が指定されたとき、不良メモリセルの代わりに冗長メモ
リセルへのアクセスが行われ、不良メモリセルの救済が
行われる。
At the time of circuit reset, a reset signal RESE
T is held at a high level for a short time. Accordingly, nMOS transistors NT0, NT0R, N
T1, NT1R and the like are kept conductive, and the node ND
H0, NDH0R, NDH1, NDH1R and the like are set to low level. After reset operation, reset signal RE
SET is switched to the low level, and the nMOS transistors NT0, NT0R, NT1, NT1R and the like are kept in a non-conductive state. The states of the fuses H0, H0R, H1, and H1R are set by programming with a laser or the like. When the fuse is blown, the potential of the corresponding node is latched by the latch circuit, and the low level at the time of reset is maintained. On the other hand, if the fuse is not blown, the potential of the node corresponding thereto are held at the power supply voltage V CC level, its level is latched by the latch circuit. As described above, the address registration is performed by programming, and the registered address is output from the fuse circuit 50. Since the address registration is performed in accordance with the position of the detected defective memory cell, after the address registration, when the access to the defective memory cell is specified by the input address, the access to the redundant memory cell instead of the defective memory cell is performed. Then, relief of the defective memory cell is performed.

【0041】図6は複数ビットのアドレスデータA0,
A1,…,Anと冗長アドレスデータA0R,A1R,
…,AnRとを比較する冗長比較回路の構成例を示す回
路図である。図6の冗長比較回路は、図4(a)に示す
冗長比較回路RDCMxに対してビット数を拡張したも
のである。図示のように、アドレス比較回路はエクスク
ルーシブORゲートEXOR0,EXOR1,…,EX
ORnおよびANDゲートAND4、インバータINV
O3により構成されている。エクスクルーシブORゲー
トEXOR0の入力端子にアドレスデータA0と冗長ア
ドレスデータA0Rがそれぞれ入力され、エクスクルー
シブORゲートEXOR1の入力端子にアドレスデータ
A1と冗長アドレスデータA1Rがそれぞれ入力され、
さらにエクスクルーシブORゲートEXORnの入力端
子にアドレスデータAnと冗長アドレスデータAnRが
それぞれ入力されている。エクスクルーシブORゲート
EXOR0,EXOR1,…,EXORnの出力信号は
ANDゲートAND4に入力される。さらに、冗長イネ
ーブル信号RENBもANDゲートAND4に入力され
る。ANDゲートAND4の出力端子は冗長信号ROU
Tの出力端子に接続され、さらにインバータINVO3
の入力端子に接続され、インバータINVO3の出力端
子は冗長反転信号ROUTBの出力端子に接続されてい
る。
FIG. 6 shows a plurality of bits of address data A0,
A1,..., An and redundant address data A0R, A1R,
FIG. 9 is a circuit diagram showing a configuration example of a redundancy comparison circuit for comparing with .AnR. The redundancy comparison circuit of FIG. 6 is obtained by extending the number of bits to the redundancy comparison circuit RDCMx shown in FIG. As shown, the address comparison circuit includes exclusive OR gates EXOR0, EXOR1,.
ORn, AND gate AND4, inverter INV
It is composed of O3. Address data A0 and redundant address data A0R are respectively input to the input terminals of the exclusive OR gate EXOR0, and address data A1 and redundant address data A1R are respectively input to the input terminals of the exclusive OR gate EXOR1.
Further, address data An and redundant address data AnR are input to input terminals of the exclusive OR gate EXORn. The output signals of the exclusive OR gates EXOR0, EXOR1,..., EXORn are input to the AND gate AND4. Further, the redundancy enable signal RENB is also input to the AND gate AND4. The output terminal of the AND gate AND4 is connected to the redundant signal ROU.
T is connected to the output terminal of the
And the output terminal of the inverter INVO3 is connected to the output terminal of the redundant inversion signal ROUTB.

【0042】図6に示す冗長比較回路により、入力され
たアドレスデータA0,A1,…,Anと冗長アドレス
データA0R,A1R,…,AnRとが比較され、両方
が一致した場合、冗長比較回路により、例えば、ハイレ
ベルの冗長信号ROUTが出力され、その反転信号RO
UTBの出力端子はローレベルに保持される。一方、両
方が一致していない場合、冗長比較回路により、例え
ば、ローレベルの冗長信号ROUTが出力され、その反
転信号ROUTBの出力端子はハイレベルに保持され
る。冗長比較回路の比較結果に応じて、ドライバーまた
は冗長ドライバーの何れかが動作状態に設定され、通常
のメモリセルまたは冗長メモリセルへのアクセスが行わ
れる。
The input address data A0, A1,..., An and the redundant address data A0R, A1R,..., AnR are compared by the redundancy comparison circuit shown in FIG. For example, a high-level redundant signal ROUT is output, and its inverted signal RO is output.
The output terminal of UTB is held at low level. On the other hand, if they do not match, the redundancy comparison circuit outputs, for example, a low-level redundancy signal ROUT, and the output terminal of the inverted signal ROUTB is kept at a high level. According to the comparison result of the redundancy comparison circuit, either the driver or the redundancy driver is set to the operation state, and the normal memory cell or the redundant memory cell is accessed.

【0043】図7は本実施例のメモリ回路の動作を示す
タイミング図である。図示のように、入力されたアドレ
スデータA0,A1,…,Anに応じてバッファの出力
が設定され、さらにプリデコーダの出力信号が設定され
る。入力されたアドレスデータとヒューズ回路50によ
り出力された登録アドレスデータとの比較に応じて冗長
比較回路の出力が確定し、それに応じてドライバーまた
は冗長ドライバーの出力信号が確定される。
FIG. 7 is a timing chart showing the operation of the memory circuit of this embodiment. As shown, the output of the buffer is set according to the input address data A0, A1,..., An, and the output signal of the predecoder is set. The output of the redundant comparison circuit is determined according to the comparison between the input address data and the registered address data output by the fuse circuit 50, and the output signal of the driver or the redundant driver is determined accordingly.

【0044】以上説明したように、本実施例によれば、
論理回路20とメモリコア30a、40aからなるAS
IC10aにおいて、メモリコア30aと40aの共通
のヒューズ回路50をメモリコアと分離して基板上の特
定の位置に配置することにより、冗長作業におけるヒュ
ーズ溶断の時間を短縮でき、冗長用プログラムの汎用性
とプログラムの作成および検証時間の短縮が図れる。
As described above, according to this embodiment,
AS composed of a logic circuit 20 and memory cores 30a and 40a
In the IC 10a, by disposing the common fuse circuit 50 of the memory cores 30a and 40a at a specific position on the substrate separately from the memory core, it is possible to reduce the time for blowing the fuse in the redundant operation, and to make the redundancy program versatile. And the time required to create and verify the program can be reduced.

【0045】[0045]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体装
置によれば、メモリ冗長処理用のヒューズをメモリコア
から分離して特定の位置に配置することで、冗長作業に
おけるヒューズの溶断の時間などの短縮を実現でき、冗
長用プログラムの汎用性の向上とプログラムの作成およ
び検証時間の短縮が図れ、生産性の向上が実現できる利
点がある。
As described above, according to the semiconductor device of the present invention, the fuse for the memory redundancy processing is separated from the memory core and arranged at a specific position, so that the time required to blow the fuse in the redundancy operation is reduced. This has the advantage that the versatility of the redundancy program can be improved, the time for creating and verifying the program can be shortened, and the productivity can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る半導体装置の一実施例を示す回路
図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing one embodiment of a semiconductor device according to the present invention.

【図2】冗長回路を含むメモリ回路の回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram of a memory circuit including a redundant circuit.

【図3】アドレスバッファおよびプリデコーダの回路図
である。
FIG. 3 is a circuit diagram of an address buffer and a predecoder.

【図4】冗長比較回路、ドライバーまたは冗長ドライバ
ーの回路図である。
FIG. 4 is a circuit diagram of a redundant comparison circuit, a driver, or a redundant driver.

【図5】ヒューズ回路の回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram of a fuse circuit.

【図6】冗長比較回路の回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram of a redundant comparison circuit.

【図7】メモリ回路の動作タイミング図である。FIG. 7 is an operation timing chart of the memory circuit;

【図8】従来の半導体装置のレイアウト図である。FIG. 8 is a layout diagram of a conventional semiconductor device.

【図9】従来の半導体装置におけるメモリ回路の回路図
である。
FIG. 9 is a circuit diagram of a memory circuit in a conventional semiconductor device.

【図10】従来の冗長回路の回路図である。FIG. 10 is a circuit diagram of a conventional redundant circuit.

【図11】従来のメモリ回路の動作タイミング図であ
る。
FIG. 11 is an operation timing chart of a conventional memory circuit.

【符号の説明】 10…ASIC、20…論理回路、30,30a,4
0,40a…メモリコア、50…ヒューズ回路、ADR
BUF0,ADRBUF1,…,ADRBUFn…アド
レスバッファ、PRDEC0,PRDEC1,…,PR
DECn…プリデコーダ、DEC0,DEC1,…,D
ECm…デコーダ、RDC0,RDC1,…,RDCn
…冗長回路、DRV0,DRV1,…,DRVm…ドラ
イバー、RDRV0,RDRV1,…,RDRVn…冗
長ドライバー、RDCM0,RDCM1,…,RDCM
n…冗長比較回路、VCC…電源電圧、GND…接地電
位。
[Description of Signs] 10 ... ASIC, 20 ... Logic circuit, 30, 30a, 4
0, 40a: memory core, 50: fuse circuit, ADR
BUF0, ADRBUF1,..., ADRBUFn... Address buffer, PRDEC0, PRDEC1,.
DECn... Predecoder, DEC0, DEC1,.
ECm: decoder, RDC0, RDC1,..., RDCn
... redundant circuit, DRV0, DRV1, ..., DRVm ... driver, RDRV0, RDRV1, ..., RDRVn ... redundant driver, RDCM0, RDCM1, ..., RDCM
n ... redundant comparison circuit, V CC ... power supply voltage, GND ... ground potential.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくとも一つのメモリセルを有する半導
体装置であって、 上記メモリ回路にある不良メモリセルを置き換える冗長
メモリセルを有する冗長メモリ回路と、 上記不良メモリセルへのアクセスを上記冗長メモリセル
へ切り替える切り替え制御手段とを有し、 上記切り替え制御手段は、上記メモリ回路と分離して、
基板上の所定の領域に配置されている半導体装置。
1. A semiconductor device having at least one memory cell, comprising: a redundant memory circuit having a redundant memory cell replacing a defective memory cell in the memory circuit; and accessing the defective memory cell by the redundant memory cell. Switching control means for switching to the memory circuit, wherein the switching control means is separated from the memory circuit,
A semiconductor device arranged in a predetermined area on a substrate.
【請求項2】上記メモリ回路は、回路特性とチップ面積
を優先して基板上に配置されている請求項1記載の半導
体装置。
2. The semiconductor device according to claim 1, wherein said memory circuit is disposed on a substrate with priority given to circuit characteristics and chip area.
【請求項3】上記切り替え制御手段は、ヒューズにより
構成され、アドレス登録により上記置き換えられる不良
メモリセルのアドレスが指定される請求項1記載の半導
体装置。
3. The semiconductor device according to claim 1, wherein said switching control means comprises a fuse, and an address of said defective memory cell to be replaced is specified by address registration.
【請求項4】上記アドレス登録は、上記ヒューズの溶断
により行われる請求項3記載の半導体装置。
4. The semiconductor device according to claim 3, wherein said address registration is performed by blowing said fuse.
【請求項5】上記ヒューズの溶断はレーザビームの照射
により行われる請求項4記載の半導体装置。
5. The semiconductor device according to claim 4, wherein the fuse is blown by irradiating a laser beam.
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JP (1) JPH10283796A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6518593B2 (en) 2000-09-11 2003-02-11 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Integrated circuit and method of designing integrated circuit

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US6518593B2 (en) 2000-09-11 2003-02-11 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Integrated circuit and method of designing integrated circuit

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