JPH1027027A - Internal voltage dropping circuit - Google Patents

Internal voltage dropping circuit

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JPH1027027A
JPH1027027A JP8179371A JP17937196A JPH1027027A JP H1027027 A JPH1027027 A JP H1027027A JP 8179371 A JP8179371 A JP 8179371A JP 17937196 A JP17937196 A JP 17937196A JP H1027027 A JPH1027027 A JP H1027027A
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internal
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Tadaaki Yamauchi
忠昭 山内
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an internal voltage dropping circuit which can supply an internal power-supply voltage stably maintained at a level by suppressing the dropping of the internal powersupply voltage caused by the fluctuation of the current consumption in an internal circuit which uses the internal power- supply voltage as operating power. SOLUTION: A differential amplifier 10 outputs a control voltage VOUT by differentially amplifying the voltage levels of a reference voltage VREF and internal power-supply voltage VDD by using first external power-supply voltage VCC and second external power-supply voltage VBB having a negative potential. A PMOS PT3 receives the control voltage VOUT through its gate and supplies the voltage VOUT to the internal power-supply voltage VDD from the first external power-supply voltage VCC.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置にお
ける基準電圧を発生する回路に関し、特に、外部電源電
圧を降圧して内部電源電圧を生成する内部降圧回路に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit for generating a reference voltage in a semiconductor device, and more particularly to an internal step-down circuit for generating an internal power supply voltage by lowering an external power supply voltage.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体記憶装置では、記憶容量の増大に
伴い、高密度化および高集積化が進められている。この
高密度および高集積を実現するのが構成素子の微細化技
術である。
2. Description of the Related Art In a semiconductor memory device, with an increase in storage capacity, higher density and higher integration have been promoted. The technology for realizing the high density and the high integration is the technology for miniaturizing the constituent elements.

【0003】しかし、構成素子の微細化が進む一方で、
構成素子である絶縁ゲート型電界トランジスタ(以下、
MOSトランジスタと呼ぶ)の耐圧能力は低下してい
る。したがって、動作電源電圧として外部から受ける電
源電圧をそのままMOSトランジスタに与えると、その
耐圧能力を超えてしまうため、絶縁膜耐圧等の信頼性を
十分に確保することができない。
[0003] However, while the miniaturization of the constituent elements is progressing,
The insulated gate type electric field transistor (hereafter,
MOS transistors) have been reduced. Therefore, if a power supply voltage received from the outside as an operating power supply voltage is applied to a MOS transistor as it is, the MOS transistor exceeds its withstand voltage capability, so that it is not possible to sufficiently secure the reliability such as the withstand voltage of the insulating film.

【0004】このため、たとえば16Mビット以上のダ
イナミック型半導体記憶装置(以下、DRAMと記す)
などにおいては、外部電源電圧を内部で降圧した内部電
源電圧を用いて各構成素子を動作することで、各構成素
子の信頼性を確保することが行なわれている。
For this reason, for example, a dynamic semiconductor memory device of 16 Mbits or more (hereinafter referred to as DRAM)
In such a case, the reliability of each component is ensured by operating each component using an internal power supply voltage internally reduced from an external power supply voltage.

【0005】図11は、従来の半導体記憶装置の一例と
してのDRAM90の全体構成を示す概略ブロック図で
ある。図11において、DRAM90は、内部降圧回路
91と、内部回路92と、外部電源使用回路93とを含
む。
FIG. 11 is a schematic block diagram showing an overall configuration of a DRAM 90 as an example of a conventional semiconductor memory device. 11, DRAM 90 includes an internal voltage down converter 91, an internal circuit 92, and an external power supply use circuit 93.

【0006】内部降圧回路91は、VCC電源ノード上
に与えられた外部電源電圧VCCを降圧して、VDD電
源ノード上に内部電源電圧VDDを生成する。
Internal voltage down converter 91 lowers external power supply voltage VCC applied on the VCC power supply node to generate internal power supply voltage VDD on the VDD power supply node.

【0007】内部回路92は、VDD電源ノード上の内
部電源電圧VDDを動作電源として動作する。このよう
な内部回路92として、複数のMOSトランジスタを構
成素子とするメモリセルアレイが挙げられる。
The internal circuit 92 operates using the internal power supply voltage VDD on the VDD power supply node as an operation power supply. An example of such an internal circuit 92 is a memory cell array including a plurality of MOS transistors as constituent elements.

【0008】外部電源使用回路93は、VCC電源ノー
ド上の外部電源電圧VCCを動作電源として動作する。
このような外部電源使用回路93として、データの入出
力を行なう回路が挙げられる。
The external power supply use circuit 93 operates using the external power supply voltage VCC on the VCC power supply node as an operation power supply.
As such an external power supply use circuit 93, a circuit for inputting / outputting data is exemplified.

【0009】なお、内部降圧回路91、内部回路92お
よび外部電源使用回路93は、外部電源電圧VCCと異
なる電源電圧VSS(以下、接地電圧と呼ぶ)をVSS
電源ノード上から受ける。
The internal step-down circuit 91, the internal circuit 92, and the external power supply use circuit 93 use a power supply voltage VSS (hereinafter referred to as a ground voltage) different from the external power supply voltage VCC.
Receive from power supply node.

【0010】したがって、内部回路92であるメモリセ
ルアレイにあっては、その構成素子であるMOSトラン
ジスタは、外部電源電圧VCCを降圧した内部電源電圧
VDDを動作電源電圧として受ける。
Therefore, in the memory cell array which is the internal circuit 92, the MOS transistor which is a component thereof receives the internal power supply voltage VDD obtained by stepping down the external power supply voltage VCC as an operation power supply voltage.

【0011】すなわち、メモリセルアレイの高密度化お
よび高集積化が進み、構成素子であるMOSトランジス
タが微細化して耐圧が低下しても、そのゲート絶縁膜に
印加する電圧は低く抑えられるので、構成素子の信頼性
を確保することができ、DRAM90全体として信頼性
のある安定した動作が望める。
That is, even if the density of the memory cell array is increased and the integration thereof is advanced and the MOS transistor as a constituent element is miniaturized and the withstand voltage is reduced, the voltage applied to the gate insulating film can be kept low. The reliability of the elements can be ensured, and reliable and stable operation can be expected as the whole DRAM 90.

【0012】図12は、図11に示した従来の内部降圧
回路91の構成を示す回路図である。図12において、
内部降圧回路91は、差動増幅器11と、PチャネルM
OSトランジスタ(以下、PMOSと記す)PT3とを
含む。
FIG. 12 is a circuit diagram showing a configuration of the conventional internal voltage down converter 91 shown in FIG. In FIG.
The internal step-down circuit 91 includes a differential amplifier 11 and a P-channel M
OS transistor (hereinafter, referred to as PMOS) PT3.

【0013】差動増幅器11は、その正入力に内部降圧
回路91の出力である内部電源電圧VDDを受け、その
負入力に図示しない基準電圧発生回路から基準電圧VR
EFを受ける。差動増幅器11は、基準電圧VREFと
内部電源電圧VDDとを差動的に増幅して出力ノード1
から制御電圧VOUTを出力する。
The differential amplifier 11 receives the internal power supply voltage VDD, which is the output of the internal voltage down converter 91, at its positive input, and receives a reference voltage VR from a reference voltage generating circuit (not shown) at its negative input.
Receive EF. Differential amplifier 11 differentially amplifies reference voltage VREF and internal power supply voltage VDD to output node 1
Outputs the control voltage VOUT from the controller.

【0014】PMOS PT3は、制御電圧VOUTの
制御を受けて、VCC電源ノードからVDD電源ノード
に電流を供給することによりVDD電源ノード上の内部
電源電圧VDDの電圧レベルを調整する。
The PMOS PT3 adjusts the voltage level of the internal power supply voltage VDD on the VDD power supply node by supplying a current from the VCC power supply node to the VDD power supply node under the control of the control voltage VOUT.

【0015】さて、差動増幅器11は、図12に示すよ
うにPMOS PT1、PT2、NチャネルMOSトラ
ンジスタ(以下、NMOSと記す)NT1、NT2およ
び定電流源回路I2を含むカレントミラー型差動増幅器
を構成する。
As shown in FIG. 12, the differential amplifier 11 is a current mirror type differential amplifier including PMOSs PT1 and PT2, N-channel MOS transistors (hereinafter referred to as NMOS) NT1 and NT2, and a constant current source circuit I2. Is configured.

【0016】PMOS PT1およびNMOS NT1
と、PMOS PT2およびNMOS NT2とは互い
に並列に接続され、ともにVCC電源ノードと定電流源
I2の一方の端子との間に接続される。
[0016] PMOS PT1 and NMOS NT1
And the PMOS PT2 and the NMOS NT2 are connected in parallel with each other, and both are connected between the VCC power supply node and one terminal of the constant current source I2.

【0017】NMOS NT1はそのゲートに基準電圧
VREFを受け、一方、NMOSNT2はそのゲートに
VDD電源ノード上の内部電源電圧VDDを受ける。
NMOS NT1 receives at its gate the reference voltage VREF, while NMOS NT2 receives at its gate the internal power supply voltage VDD on the VDD power supply node.

【0018】定電流源回路I2は、その他方の端子をV
SS電源ノードと接続する。定電流源回路I2は、NM
OS NT1から流れる電流量とNMOS NT2から
流れる電流量との和が常に一定値となるよう差動増幅器
11の電流量を制御する。
The constant current source circuit I2 has the other terminal connected to V
Connect to SS power supply node. The constant current source circuit I2 is NM
The current amount of the differential amplifier 11 is controlled such that the sum of the current amount flowing from the OS NT1 and the current amount flowing from the NMOS NT2 always becomes a constant value.

【0019】PMOS PT1とNMOS NT1との
接続点である出力ノード1から差動増幅器11の制御電
圧VOUTが出力される。
A control voltage VOUT of the differential amplifier 11 is output from an output node 1 which is a connection point between the PMOS PT1 and the NMOS NT1.

【0020】一方、PMOS PT2とNMOS NT
2との接続点である接続ノード2は、PMOS PT1
とPMOS PT2のそれぞれのゲートと接続される。
On the other hand, PMOS PT2 and NMOS NT
A connection node 2 which is a connection point with the PMOS PT1
And PMOS PT2.

【0021】この差動増幅器11は、外部電源電圧VC
Cおよび接地電圧VSSを動作電源として、内部電源電
圧VDDの電圧レベルが基準電圧VREFよりも上昇す
ると、出力ノード1の電圧レベルすなわち制御電圧VO
UTを最大で外部電源電圧VCCの電圧レベルにまで上
げる。
The differential amplifier 11 has an external power supply voltage VC
When the voltage level of internal power supply voltage VDD rises above reference voltage VREF using C and ground voltage VSS as an operation power supply, the voltage level of output node 1, that is, control voltage VO
The UT is raised up to the voltage level of the external power supply voltage VCC at the maximum.

【0022】この結果、制御電圧VOUTをゲートに受
けるPMOS PT3はチャネル抵抗が大きくなり、V
DD電源ノード上へのVCC電源ノード上からの電流供
給を減らして内部電源電圧VDDの電圧レベルを下げて
いく。
As a result, the PMOS PT3 receiving the control voltage VOUT at its gate has a large channel resistance,
The current supply from the VCC power supply node to the DD power supply node is reduced to lower the voltage level of the internal power supply voltage VDD.

【0023】一方で、差動増幅器11は、内部電源電圧
VDDが基準電圧VREFよりも低くなると、制御電圧
VOUTを最小で接地電圧VSS(=0V)まで下げ
る。
On the other hand, when the internal power supply voltage VDD becomes lower than the reference voltage VREF, the differential amplifier 11 lowers the control voltage VOUT to the ground voltage VSS (= 0V) at a minimum.

【0024】この結果、PMOS PT3は導通し、V
CC電源ノード上からVDD電源ノード上への電流供給
を増やし内部電源電圧VDDの電圧レベルを上げてい
く。
As a result, the PMOS PT3 conducts, and V
The current supply from the CC power supply node to the VDD power supply node is increased to increase the voltage level of the internal power supply voltage VDD.

【0025】すなわち、内部降圧回路91は、内部電源
電圧VDDをフィードバックして基準電圧VREFと比
較して、その結果を増幅した制御電圧VOUTで電源駆
動用PMOS PT3を制御することにより、内部電源
電圧VDDを一定の電圧レベルすなわち基準電圧レベル
に保持するように動作する。
That is, the internal step-down circuit 91 feeds back the internal power supply voltage VDD, compares it with the reference voltage VREF, and controls the power supply driving PMOS PT3 with the control voltage VOUT obtained by amplifying the result. It operates to keep VDD at a constant voltage level, that is, a reference voltage level.

【0026】[0026]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図12
における内部降圧回路91においては、その出力である
内部電源電圧VDDを動作電源とする内部回路92の動
作状況によって、内部電源電圧VDDの電圧レベルが基
準電圧VREFよりも大幅に低下したままで、目標値と
する基準電圧VREFの電圧レベルを確保することがで
きないという問題があった。以下、この問題について具
体的に説明する。
However, FIG.
In the internal step-down circuit 91, the internal power supply voltage VDD, which is the output of the internal step-down circuit 91, is operated by the operation state of the internal circuit 92, and the voltage level of the internal power supply voltage VDD remains substantially lower than the reference voltage VREF. There is a problem that the voltage level of the reference voltage VREF as the value cannot be secured. Hereinafter, this problem will be specifically described.

【0027】内部回路92が動作することにより、VD
D電源ノード上の電流を消費したとする。
When the internal circuit 92 operates, VD
Assume that the current on the D power supply node has been consumed.

【0028】前述したように、図12における内部降圧
回路91は、このVDD電源ノード上の電圧レベルの変
化を受けて、内部電源電圧VDDが基準電圧VREFよ
り低くなると、制御電圧VOUTを下げて、電源駆動用
のPMOS PT3を導通させる。
As described above, the internal step-down circuit 91 in FIG. 12 receives the change in the voltage level on the VDD power supply node, and when the internal power supply voltage VDD becomes lower than the reference voltage VREF, reduces the control voltage VOUT. The power supply driving PMOS PT3 is turned on.

【0029】図13は、従来の内部降圧回路91におけ
る制御電圧VOUTと内部電源電圧VDDのタイミング
チャート図である。縦軸は電圧Vを示し、横軸は時間を
示す。
FIG. 13 is a timing chart of the control voltage VOUT and the internal power supply voltage VDD in the conventional internal voltage down converter 91. The vertical axis indicates voltage V, and the horizontal axis indicates time.

【0030】時刻t1からt2の期間は、内部回路92
の動作期間を表わす。ここで、内部回路92のVDD電
源ノードからの電流消費量が大きい場合を仮定する。
During the period from time t1 to t2, the internal circuit 92
Operating period. Here, it is assumed that the current consumption from the VDD power supply node of the internal circuit 92 is large.

【0031】この場合、制御電圧VOUTは、時刻t1
からの内部電源電圧VDDの低下を受けてその電圧レベ
ルを下げ、PMOS PT3からVDD電源ノード上へ
の電流の供給を促進する。
In this case, the control voltage VOUT changes at time t1
In response to the decrease in internal power supply voltage VDD, the voltage level is lowered, and the supply of current from PMOS PT3 to the VDD power supply node is promoted.

【0032】しかし、前述したように、出力ノード1の
電圧すなわち制御電圧VOUTは、接地電圧VSS(=
0V)以下にならない。
However, as described above, the voltage of output node 1, that is, control voltage VOUT, is equal to ground voltage VSS (=
0V).

【0033】この結果、制御電圧VOUTをそのゲート
に受けるPMOS PT3のチャネル抵抗の影響により
VCC電源ノード上からVDD電源ノード上に供給でき
る電流量は制限される。
As a result, the amount of current that can be supplied from the VCC power supply node to the VDD power supply node is limited by the influence of the channel resistance of PMOS PT3 receiving control voltage VOUT at its gate.

【0034】図13における時刻t1からt2間の内部
電源電圧VDDと基準電圧VREFの差△Vは、この結
果を表わしている。
The difference ΔV between the internal power supply voltage VDD and the reference voltage VREF between times t1 and t2 in FIG. 13 indicates this result.

【0035】すなわち、図12における従来例の内部降
圧回路91では、内部電源電圧VDDが基準電圧VRE
Fに対して大幅に低下すると、外部電源電圧VCCを持
ってもその電圧レベルを目的とする基準電圧VREFま
で回復することができないという問題が生じる。
That is, in the internal voltage down converter 91 of the conventional example in FIG. 12, the internal power supply voltage VDD is changed to the reference voltage VRE.
When the power supply voltage is greatly reduced with respect to F, there is a problem that even if the external power supply voltage VCC is held, the voltage level cannot be restored to the target reference voltage VREF.

【0036】また、この結果、内部電源電圧VDDを動
作電源とする内部回路92の動作に重大な影響を与える
ことにもなる。
As a result, the operation of the internal circuit 92 using the internal power supply voltage VDD as an operation power supply is seriously affected.

【0037】本発明は、上記問題の解決を図るためにな
されたものであり、内部電源電圧を動作電源とする内部
回路での消費電流が大きくなった場合でも、安定した電
圧レベルの内部電源電圧を供給する内部降圧回路を提供
することを目的とするものである。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problem. Even when the current consumption in an internal circuit using an internal power supply voltage as an operation power supply becomes large, the internal power supply voltage having a stable voltage level can be obtained. It is an object of the present invention to provide an internal step-down circuit for supplying the voltage.

【0038】[0038]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る内部降圧
回路は、第1のノード上の第1の外部電源電圧を降圧し
て内部電源電圧を第2のノード上に生成して、内部電源
電圧で内部回路を動作させる内部降圧回路であって、内
部基準電圧と第2のノード上の内部電源電圧とを比較し
た結果を差動増幅して出力する比較手段と、比較手段の
出力を受けて、第1の外部電源電圧を降圧して第2のノ
ード上に内部電源電圧を生成する降圧手段とを含み、比
較手段は、第1の外部電源電圧と、第1の外部電源電圧
とは異なる負の電位を有する第2の外部電源電圧とを動
作電源とする。
An internal step-down circuit according to claim 1 steps down a first external power supply voltage on a first node to generate an internal power supply voltage on a second node. An internal step-down circuit for operating an internal circuit with a power supply voltage, comprising: a comparison unit that differentially amplifies and outputs a result of comparing an internal reference voltage with an internal power supply voltage on a second node; Step-down means for receiving the first external power supply voltage and the first external power supply voltage to generate the internal power supply voltage on the second node by lowering the first external power supply voltage. And a second external power supply voltage having a different negative potential as an operating power supply.

【0039】請求項2に係る内部降圧回路は、請求項1
の内部降圧回路において、比較手段と降圧手段とを接続
する第3のノードに接続され、内部回路の動作状況を示
すクロック信号の論理レベルに基づき、比較手段の出力
を選択的に降圧する制御手段をさらに含む。
The internal step-down circuit according to claim 2 is based on claim 1
Control means connected to a third node connecting the comparing means and the step-down means, and selectively stepping down an output of the comparing means based on a logic level of a clock signal indicating an operation state of the internal circuit. Further included.

【0040】請求項3に係る内部降圧回路は、請求項2
の内部降圧回路において、制御手段を、クロック信号を
一方の電極に受け、その他方の電極は第3のノードと接
続する容量素子とする。
The internal step-down circuit according to claim 3 is based on claim 2
In the internal step-down circuit, the control means receives a clock signal on one electrode, and the other electrode is a capacitor connected to the third node.

【0041】請求項4に係る内部降圧回路は、請求項2
の内部降圧回路において、制御手段を、第1の外部電源
電圧と第2の外部電源電圧とを動作電源として、クロッ
ク信号の電圧レベルを反転増幅するレベルシフト回路
と、レベルシフト回路の出力をゲートに受け、一方の導
通端子を第3のノードと接続し、かつ他方の導通端子に
は第2の外部電源電圧を受ける絶縁ゲート型電界トラン
ジスタとする。
The internal step-down circuit according to claim 4 is based on claim 2
In the internal step-down circuit, the control means uses the first external power supply voltage and the second external power supply voltage as operation power supplies, and inverts and amplifies the voltage level of the clock signal; and gates the output of the level shift circuit. , An insulated gate field-effect transistor having one conduction terminal connected to the third node and the other conduction terminal receiving a second external power supply voltage.

【0042】請求項5の内部降圧回路は、請求項1の内
部降圧回路において、比較手段をセンスアンプとし、降
圧手段を、一方の導通端子を第1のノードと接続し、他
方の導通端子を第2のノードと接続しかつそのゲートを
第3のノードと接続する絶縁ゲート型電界トランジスタ
とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the internal step-down circuit of the first aspect, the comparing means is a sense amplifier, the step-down means is connected to one of the conductive terminals to the first node, and connected to the other conductive terminal. An insulated-gate field-effect transistor connected to the second node and having a gate connected to the third node.

【0043】請求項6に係る内部降圧回路は、第1のノ
ード上の第1の外部電源電圧を降圧して内部電源電圧を
第2のノード上に生成して、内部電源電圧で内部回路を
動作させる内部降圧回路であって、内部基準電圧と第2
のノード上の内部電源電圧とを比較した結果を差動増幅
して出力する比較手段と、第1の外部電源電圧を降圧し
て第2のノード上に前記内部電源電圧を生成する降圧手
段とを含み、比較手段と降圧手段との間に接続され、比
較手段の出力に基づいて降圧手段を制御する制御手段と
を含む。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an internal step-down circuit which steps down a first external power supply voltage on a first node to generate an internal power supply voltage on a second node, and controls the internal circuit with the internal power supply voltage. An internal step-down circuit to be operated, comprising: an internal reference voltage;
Comparison means for differentially amplifying and outputting the result of comparison with the internal power supply voltage on the second node, and step-down means for lowering the first external power supply voltage to generate the internal power supply voltage on the second node And control means connected between the comparing means and the step-down means, for controlling the step-down means based on the output of the comparing means.

【0044】請求項7に係る内部降圧回路は、請求項6
の内部降圧回路において、制御手段を、第1の外部電源
電圧と、第1の外部電源電圧とは異なる負の電位を有す
る第2の外部電源電圧とを動作電源として、比較手段の
出力を反転増幅して出力するインバータ回路と、インバ
ータ回路と第2の外部電源電圧を受けるノードとの間に
接続される定電流源回路とする。
The internal step-down circuit according to claim 7 is based on claim 6
In the internal step-down circuit, the control means uses the first external power supply voltage and the second external power supply voltage having a negative potential different from the first external power supply voltage as an operation power supply, and inverts the output of the comparison means. An inverter circuit that amplifies and outputs the output signal, and a constant current source circuit connected between the inverter circuit and a node that receives the second external power supply voltage.

【0045】請求項8に係る内部降圧回路は、請求項6
の内部降圧回路において、比較手段を第1の外部電源電
圧と接地電圧とを動作電源とするセンスアンプとし、降
圧手段を、一方の導通端子を第1のノードと接続し、他
方の導通端子を第2のノードと接続し、かつそのゲート
にインバータ回路の出力を受ける絶縁ゲート型電界トラ
ンジスタとする。
The internal step-down circuit according to claim 8 is based on claim 6
In the internal step-down circuit, the comparing means is a sense amplifier using the first external power supply voltage and the ground voltage as operating power supplies, the step-down means has one conduction terminal connected to the first node, and the other conduction terminal connected to the other conduction terminal. An insulated gate type electric field transistor connected to the second node and having its gate receiving the output of the inverter circuit.

【0046】請求項9に係る内部降圧回路は、第1のノ
ード上の第1の外部電源電圧を降圧して内部電源電圧を
第2のノード上に生成して、内部電源電圧で内部回路を
動作させる内部降圧回路であって、内部基準電圧と第2
のノード上の内部電源電圧とを比較した結果を差動増幅
して出力する比較手段と、比較手段の出力の制御を受け
て、第1の外部電源電圧を降圧して第2のノード上に前
記内部電源電圧を生成する降圧手段と、内部回路の動作
状況を示すクロック信号の論理レベルに基づき、内部基
準電圧の電圧レベルを選択的に切換える基準電圧制御手
段とを含む。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided an internal voltage step-down circuit which steps down a first external power supply voltage on a first node to generate an internal power supply voltage on a second node. An internal step-down circuit to be operated, comprising: an internal reference voltage;
A comparison means for differentially amplifying and outputting the result of comparison with the internal power supply voltage on the second node, and receiving the control of the output of the comparison means to lower the first external power supply voltage and A step-down unit that generates the internal power supply voltage; and a reference voltage control unit that selectively switches a voltage level of an internal reference voltage based on a logic level of a clock signal indicating an operation state of an internal circuit.

【0047】請求項10に係る内部降圧回路は、請求項
9の内部降圧回路において、基準電圧制御手段を、クロ
ック信号をゲートに受けて、第1の基準電圧を一方の導
通端子に受けて、他方の導通端子から内部基準電圧を出
力する第1の絶縁ゲート型電界トランジスタと、クロッ
ク信号を反転するインバータ回路と、インバータ回路の
出力をゲートに受けて、第1の基準電圧と電圧レベルの
異なる第2の基準電圧を一方の導通端子に受けて、他方
の導通端子から内部基準電圧を出力する第2の絶縁ゲー
ト型電界トランジスタとする。
According to a tenth aspect of the present invention, in the internal step-down circuit according to the ninth aspect, the reference voltage control means receives the clock signal at the gate and receives the first reference voltage at one of the conduction terminals. A first insulated gate type electric field transistor for outputting an internal reference voltage from the other conduction terminal, an inverter circuit for inverting a clock signal, and a gate receiving an output of the inverter circuit and having a voltage level different from the first reference voltage. A second insulated gate electric field transistor that receives the second reference voltage at one conduction terminal and outputs an internal reference voltage from the other conduction terminal.

【0048】請求項11に係る内部降圧回路は、請求項
9の内部降圧回路において、比較手段を第1の外部電源
電圧と接地電圧とを動作電源とするセンスアンプとし、
降圧手段を、一方の導通端子を第1のノードと接続し、
他方の導通端子を第2のノードと接続し、かつそのゲー
トに比較手段の出力を受ける絶縁ゲート型電界トランジ
スタとする。
An internal step-down circuit according to claim 11 is the internal step-down circuit according to claim 9, wherein the comparing means is a sense amplifier using the first external power supply voltage and the ground voltage as operating power supplies,
A step-down means having one of the conduction terminals connected to the first node;
The other conduction terminal is connected to the second node, and an insulated gate type electric field transistor receiving the output of the comparison means at its gate.

【0049】請求項12に係る内部降圧回路は、請求項
9の内部降圧回路において、比較手段を、第1の外部電
源電圧と第1の外部電源電圧とは異なる負の電位を有す
る第2の外部電源電圧とを動作電源とするセンスアンプ
とし、降圧手段を、一方の導通端子を第1のノードと接
続し、他方の導通端子を第2のノードと接続し、かつそ
のゲートに比較手段の出力を受ける絶縁ゲート型電界ト
ランジスタとする。
According to a twelfth aspect of the present invention, in the internal step-down circuit according to the ninth aspect, the comparing means includes the first external power supply voltage and the second external power supply voltage having a negative potential different from the first external power supply voltage. A sense amplifier using an external power supply voltage as an operating power supply; and a step-down means having one conductive terminal connected to the first node, the other conductive terminal connected to the second node, and a gate of the comparison means connected to its gate. It is an insulated gate type electric field transistor that receives an output.

【0050】[0050]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

[実施の形態1]図1は、本発明の実施の形態1による
内部降圧回路100の全体構成を示す回路図であり、図
12の従来例と共通する構成要素には同一の参照番号お
よび参照符号を付し、その説明を省略する。
[First Embodiment] FIG. 1 is a circuit diagram showing an entire configuration of an internal voltage down converting circuit 100 according to a first embodiment of the present invention. Components in common with the conventional example of FIG. The reference numerals are used and the description is omitted.

【0051】本実施の形態1による内部降圧回路100
が図12の従来例と異なる点は、図12の差動増幅器1
1が一方の動作電源電圧として接地電圧VSSを受ける
のに対して、図1の差動増幅器10は負の電位を有する
動作電圧VBBを受けることにある。
Internal voltage down converter 100 according to the first embodiment
12 is different from the conventional example of FIG.
1 receives the ground voltage VSS as one operation power supply voltage, whereas the differential amplifier 10 of FIG. 1 receives an operation voltage VBB having a negative potential.

【0052】すなわち、図12における差動増幅器11
の出力ノード1の電圧レベルは0V以下にはならない
が、図1の本実施の形態1における差動増幅器10の出
力ノード1の電圧レベルは0V以下になる。
That is, the differential amplifier 11 shown in FIG.
Does not fall below 0V, but the voltage level at the output node 1 of the differential amplifier 10 in the first embodiment of FIG. 1 falls below 0V.

【0053】図2は、本発明の実施の形態1における内
部降圧回路100の内部電源電圧VDDと制御電圧VO
UTのタイミングチャート図である。
FIG. 2 shows internal power supply voltage VDD and control voltage VO of internal voltage down converter 100 according to the first embodiment of the present invention.
It is a timing chart figure of UT.

【0054】時刻t1からt2の期間は、内部回路92
の動作期間を示す。ここで、内部回路92のVDD電源
ノードからの消費電流が大きいと仮定する。
During the period from time t1 to t2, the internal circuit 92
The operation period of FIG. Here, it is assumed that current consumption from the VDD power supply node of internal circuit 92 is large.

【0055】この場合、出力ノード1の電圧である制御
電圧VOUTは、負の電位まで下げることができる。
In this case, control voltage VOUT, which is the voltage of output node 1, can be reduced to a negative potential.

【0056】この結果、制御電圧VOUTをそのゲート
に受けるPMOS PT3のチャネル抵抗は、制御電圧
VOUTが接地電圧VSS(=0V)以下にならない図
12におけるPMOS PT3のチャネル抵抗より小さ
くなる。
As a result, the channel resistance of the PMOS PT3 receiving the control voltage VOUT at its gate becomes smaller than the channel resistance of the PMOS PT3 in FIG. 12 in which the control voltage VOUT does not fall below the ground voltage VSS (= 0V).

【0057】すなわち、本実施の形態1の内部降圧回路
100では、電源駆動用のPMOSPT3のチャネル抵
抗の影響を抑えることができる。
That is, in the internal step-down circuit 100 of the first embodiment, the effect of the channel resistance of the power supply driving PMOS PT3 can be suppressed.

【0058】したがって、VCC電源ノードから図12
の従来例よりも多くの電流をVDD電源ノードに供給す
ることができるので、時刻t1からt2の間の内部電源
電圧VDDの基準電圧VREFに対する電圧レベルの低
下△V1は、図13における△Vよりも小さく抑えられ
る(△V1<△V)。
Therefore, FIG.
13 can supply a larger amount of current to the VDD power supply node than in the conventional example of FIG. 13, the voltage level decrease ΔV1 of the internal power supply voltage VDD with respect to the reference voltage VREF between time t1 and t2 is smaller than ΔV in FIG. (ΔV1 <ΔV).

【0059】すなわち、内部回路92の消費電流が大き
くなった場合にあっても、内部降圧回路100は基準電
圧VREFに極めて近い電圧レベルの内部電源電圧VD
Dを提供することができる。
That is, even when the current consumption of internal circuit 92 increases, internal step-down circuit 100 operates at internal power supply voltage VD of a voltage level very close to reference voltage VREF.
D can be provided.

【0060】[実施の形態2]図3は、本発明の実施の
形態2による内部降圧回路200の全体構成を示す回路
図であり、図1と共通する構成要素には同一の参照番号
および参照符号を付し、その説明を省略する。
[Second Embodiment] FIG. 3 is a circuit diagram showing an overall configuration of an internal voltage down converting circuit 200 according to a second embodiment of the present invention. The reference numerals are used and the description is omitted.

【0061】本実施の形態2による内部降圧回路200
が図12の従来例と異なる点は、実施の形態1と同様に
差動増幅器10が負の電位を有する動作電圧VBBを接
地電圧VSSに代わって受けること、およびコンデンサ
C1を含むことである。
Internal voltage down converter 200 according to the second embodiment
However, the difference from the conventional example of FIG. 12 is that, like Embodiment 1, differential amplifier 10 receives operating voltage VBB having a negative potential instead of ground voltage VSS, and includes capacitor C1.

【0062】コンデンサC1は、その出力ノードが差動
増幅器10とPMOS PT3との接続点であるノード
3と接続され、その入力ノード4には外部から信号(以
下、/PB信号と記す)を受ける。
The output node of the capacitor C1 is connected to the node 3 which is a connection point between the differential amplifier 10 and the PMOS PT3, and the input node 4 receives a signal (hereinafter referred to as a / PB signal) from the outside. .

【0063】ここで、差動増幅器10の出力する制御電
圧VOUTは、実施の形態1で説明したように負の電位
まで下がる。
Here, the control voltage VOUT output from the differential amplifier 10 falls to the negative potential as described in the first embodiment.

【0064】一方、コンデンサC1は、入力ノード4か
らLレベルにある/PB信号を受けると、そのチャージ
ポンプ機能によりノード3上の電圧すなわち制御電圧V
OUTをさらに引下げる。
On the other hand, upon receiving the / PB signal at L level from input node 4, capacitor C1 receives the voltage on node 3, ie, control voltage V, by its charge pump function.
OUT is further reduced.

【0065】ここで、この/PB信号として、たとえば
内部回路92の1つであるDRAMのメモリセルアレイ
の動作時にDRAM内で発生する信号、すなわちDRA
Mのメモリセルアレイの動作状況を示す信号が挙げられ
る。
Here, as the / PB signal, for example, a signal generated in the DRAM when the memory cell array of the DRAM, which is one of the internal circuits 92, operates, that is, DRA.
A signal indicating the operation status of the M memory cell array is given.

【0066】図示しないDRAMは、複数のメモリセル
を有し、かつメモリセルは行方向にワード線で接続さ
れ、列方向にビット線で接続される。各メモリセルは1
の行アドレスと1の列アドレスを指定することにより、
1本のワード線と1本のビット線を活性化して特定され
る。このメモリセルを特定してデータの読出動作等をす
るために内部電源電圧VDDが用いられる。
A DRAM (not shown) has a plurality of memory cells, and the memory cells are connected by word lines in the row direction and by bit lines in the column direction. Each memory cell is 1
By specifying the row address of 1 and the column address of 1,
One word line and one bit line are activated and specified. Internal power supply voltage VDD is used to specify the memory cell and perform a data read operation or the like.

【0067】このワード線の活性化を制御するクロック
信号として/RAS信号(RASとはロウアドレススト
ローブ信号を指す)と、このビット線の活性化を制御す
るクロック信号といて/CAS(CASとはコラムアド
レスストローブ信号を指す)とがある。
A / RAS signal (RAS indicates a row address strobe signal) as a clock signal for controlling the activation of the word line, and a / CAS (CAS for CAS) is a clock signal for controlling the activation of the bit line. Column address strobe signal).

【0068】/RAS信号がHレベルからLレベルに移
行すると、図示しない行系回路が活性化する。さらに続
いて/CAS信号がHレベルからLレベルに移行する
と、図示しない列系回路が活性化されて、特定のメモリ
セルの読出動作等を行なう。
When the / RAS signal shifts from the H level to the L level, a row-related circuit (not shown) is activated. Subsequently, when the / CAS signal shifts from the H level to the L level, a column-related circuit (not shown) is activated to perform a read operation of a specific memory cell and the like.

【0069】まず、DRAM内のクロックバッファ96
が発生する/RAS信号と同期した信号が、/PB信号
として挙げられる。この/PB信号は、行アドレスを受
けて内部行アドレス信号を生成する図示しないDRAM
内における行アドレスバッファを制御する。
First, the clock buffer 96 in the DRAM
A signal synchronized with the / RAS signal in which the occurs occurs as the / PB signal. This / PB signal receives a row address and generates an internal row address signal (not shown).
Controls the row address buffer in the.

【0070】図4は、クロックバッファ96と、/RA
S信号と、/PB信号との関係を示す概略ブロック図で
ある。
FIG. 4 shows clock buffer 96 and / RA
FIG. 4 is a schematic block diagram illustrating a relationship between an S signal and a / PB signal.

【0071】さらに図5は、図4における/PB信号を
コンデンサC1に入力した場合の/RAS信号と、/P
B信号と、制御電圧VOUTとの関係を示すタイミング
チャート図である。
Further, FIG. 5 shows the / RAS signal when the / PB signal in FIG.
FIG. 4 is a timing chart illustrating a relationship between a B signal and a control voltage VOUT.

【0072】図5において、時刻t1で/RAS信号が
HレベルからLレベルに移行すると、これを受けたクロ
ックバッファ96は、時刻t2でHレベル(=VDD)
からLレベル(=VSS)に移行する/PB信号を出力
する。これをコンデンサC1に入力するとそのチャージ
ポンプ機能により、ノード3の電圧レベルがさらに下が
り、これを受けてPMOS PT3のチャネル抵抗がさ
らに小さくなる。
In FIG. 5, when the / RAS signal shifts from the H level to the L level at time t1, the clock buffer 96 receiving the signal shifts to the H level (= VDD) at time t2.
To the L level (= VSS). When this is input to the capacitor C1, the voltage level of the node 3 is further reduced by the charge pump function, and accordingly, the channel resistance of the PMOS PT3 is further reduced.

【0073】この結果、メモリセルアレイの動作期間に
VDD電源ノード上からの消費電流が大きくなった場合
にあっても、内部降圧回路200の電源駆動用PMOS
PT3を介したVCC電源ノード上からVDD電源ノ
ード上への電流供給量を、図12の従来例より十分に確
保することができる。したがって、基準電圧VREFに
対する内部電源電圧VDDの低下(△V2)を小さく抑
えることができる(△V2<△V)。
As a result, even if the current consumption from the VDD power supply node increases during the operation period of the memory cell array, the power supply driving PMOS of the internal voltage down converter 200
The amount of current supplied from above the VCC power supply node to above the VDD power supply node via the PT3 can be sufficiently ensured compared to the conventional example of FIG. Therefore, a decrease in internal power supply voltage VDD with respect to reference voltage VREF (ΔV2) can be suppressed to a small value (ΔV2 <ΔV).

【0074】さらに/PB信号として、CDE信号(コ
ラムデコーダ活性化信号)を反転した信号が挙げられ
る。このCDE信号は、DRAM内における内部制御回
路97において発生する信号で、図示しないDRAM内
における列デコーダを活性化する。ここで列デコーダ
は、アドレスバッファから内部列アドレス信号をデコー
ドしてメモリセルの列(ビット線)を選択する。
Further, as the / PB signal, a signal obtained by inverting the CDE signal (column decoder activating signal) can be mentioned. This CDE signal is a signal generated in the internal control circuit 97 in the DRAM, and activates a column decoder in the DRAM (not shown). Here, the column decoder decodes an internal column address signal from the address buffer and selects a column (bit line) of the memory cell.

【0075】図6は、内部制御回路97と、/RAS信
号と、/CAS信号と、CDE信号と、/PB信号との
関係を示す概略ブロック図である。ここでインバータN
2はCDE信号を反転する。
FIG. 6 is a schematic block diagram showing the relationship among the internal control circuit 97, the / RAS signal, the / CAS signal, the CDE signal, and the / PB signal. Where inverter N
2 inverts the CDE signal.

【0076】さらに図7は、図6における/PB信号を
コンデンサC1に入力した場合の/RAS信号と、/C
AS信号と、CDE信号と、/PB信号と、制御電圧V
OUTとの関係を示すタイミングチャート図である。
FIG. 7 shows a / RAS signal when the / PB signal in FIG. 6 is input to the capacitor C1, and a / C signal.
AS signal, CDE signal, / PB signal and control voltage V
FIG. 4 is a timing chart illustrating a relationship with OUT.

【0077】図7において、時刻t1で/RAS信号が
HレベルからLレベルに移行し、時刻t2で/CAS信
号がHレベルからLレベルに移行する。これを受けて、
時刻t3で、内部制御回路97がCDE信号を発生す
る。このCDE信号をインバータN2で反転した/PB
信号をコンデンサC1に入力すると、そのチャージポン
プ機能により、ノード3の電圧レベルは図12の従来例
よりも下がる。
In FIG. 7, at time t1, the / RAS signal shifts from the H level to the L level, and at time t2, the / CAS signal shifts from the H level to the L level. In response,
At time t3, the internal control circuit 97 generates a CDE signal. This CDE signal is inverted by the inverter N2 / PB
When a signal is input to the capacitor C1, the voltage level of the node 3 is lower than that of the conventional example of FIG. 12 due to the charge pump function.

【0078】したがって、図4と図5の場合と同じく、
DRAMのメモリセルアレイの動作によってVDD電源
ノード上からの消費電流が大きくなった場合、基準電圧
VREFに対する内部電源電圧VDDの低下(△V3)
を小さく抑えることができる(△V3<△V)。
Therefore, as in the case of FIGS. 4 and 5,
When the current consumption from the VDD power supply node increases due to the operation of the memory cell array of the DRAM, the internal power supply voltage VDD decreases with respect to the reference voltage VREF (△ V3)
Can be kept small (小 さ く V3 <△ V).

【0079】以上の結果から、内部回路92の消費電流
が大きくなった場合にあっても、内部降圧回路200は
基準電圧VREFに極めて近い電圧レベルの内部電源電
圧VDDを提供することができる。
From the above results, even when the current consumption of the internal circuit 92 increases, the internal voltage down converting circuit 200 can provide the internal power supply voltage VDD at a voltage level very close to the reference voltage VREF.

【0080】[実施の形態3]図8は、本発明の実施の
形態3による内部降圧回路300の全体構成を示す回路
図であり、図1と共通する構成要素には同一の参照番号
および同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
[Third Embodiment] FIG. 8 is a circuit diagram showing an entire configuration of an internal voltage down converter 300 according to a third embodiment of the present invention. Components common to FIG. 1 have the same reference numerals and the same components. And the description thereof is omitted.

【0081】本実施の形態3による内部降圧回路300
が図12の従来例と異なる点は、実施の形態1と同様に
差動増幅器10が負の電位を有する動作電圧VBBを接
地電位VSSに代わって受けること、およびNMOS
NT3と、レベルシフト回路20とを含むことにある。
Internal voltage down converter 300 according to the third embodiment
12 is different from the conventional example of FIG. 12 in that differential amplifier 10 receives operating voltage VBB having a negative potential instead of ground potential VSS as in the first embodiment.
NT3 and a level shift circuit 20.

【0082】図8におけるレベルシフト回路は、PMO
S PT4、PT5、NMOS NT4、NT5および
インバータN1とを含む。
The level shift circuit shown in FIG.
SPT4, PT5, NMOS NT4, NT5 and inverter N1.

【0083】PMOS PT4とNMOS NT4とが
直列に接続され、PMOS PT5とNMOS NT5
とが直列に接続される。
The PMOS PT4 and the NMOS NT4 are connected in series, and the PMOS PT5 and the NMOS NT5 are connected.
Are connected in series.

【0084】PMOS PT4とPT5の一方の導通端
子はともにVCC電源ノードと接続され、一方NMOS
NT4とNT5の一方の導通端子はともにVBB電源
ノードと接続される。
One of the conduction terminals of PMOSs PT4 and PT5 is both connected to the VCC power supply node, while
One of the conduction terminals of NT4 and NT5 is connected to the VBB power supply node.

【0085】PMOS PT4のゲートは、PMOS
PT5とNMOS NT5との接続点に当たる接続ノー
ド5と接続される。一方、PMOS PT5のゲート
は、PMOS PT4とNMOS NT4との接続点に
当たる接続ノード4と接続される。
The gate of the PMOS PT4 is a PMOS
It is connected to a connection node 5 corresponding to a connection point between PT5 and NMOS NT5. On the other hand, the gate of the PMOS PT5 is connected to a connection node 4 corresponding to a connection point between the PMOS PT4 and the NMOS NT4.

【0086】NMOS NT4のゲートは、外部から入
力した/PB信号を受ける。一方、NMOS NT5の
ゲートは、/PB信号をインバータN1で反転した信号
を受ける。したがって、/PB信号の論理レベルに従っ
て、NMOS NT4、NT5のいずれか一方が導通状
態となり、他方は非導通状態となる。
The gate of NMOS NT4 receives the / PB signal input from the outside. On the other hand, the gate of NMOS NT5 receives a signal obtained by inverting the / PB signal by inverter N1. Therefore, according to the logic level of the / PB signal, one of the NMOSs NT4 and NT5 is turned on and the other is turned off.

【0087】NMOS NT3は、その一方の導通端子
が差動増幅器10とPMOS PT3との接続点に当た
るノード3と接続され、他方の導通端子が動作電圧VB
Bを供給するVBB電源ノードと接続される。さらに、
NMOS NT3のゲートは、レベルシフト回路20の
接続ノード4と接続される。
The NMOS NT3 has one conduction terminal connected to the node 3 corresponding to the connection point between the differential amplifier 10 and the PMOS PT3, and the other conduction terminal connected to the operating voltage VB.
B is connected to a VBB power supply node. further,
The gate of the NMOS NT3 is connected to the connection node 4 of the level shift circuit 20.

【0088】/PB信号としては、実施の形態1の図
4、図6で説明したDRAMのメモリセルアレイの動作
状況を示す信号が挙げられる。
As the / PB signal, there is a signal indicating the operation status of the memory cell array of the DRAM described with reference to FIGS.

【0089】ここで、図4に示すクロックバッファ96
から出力される/PB信号がレベルシフト回路20に入
力するものとして本実施の形態3における内部降圧回路
300の動作を説明する。
Here, the clock buffer 96 shown in FIG.
The operation of internal step-down circuit 300 according to the third embodiment will be described assuming that the / PB signal output from is input to level shift circuit 20.

【0090】前述したように、/PB信号は、DRAM
内の行系回路が活性化する際にHレベルからLレベルに
移行する。
As described above, the / PB signal is output from the DRAM
When the row-related circuit is activated, it shifts from H level to L level.

【0091】/PB信号の電圧レベルがHレベルである
ならば、NMOS NT4が導通(NMOS NT5が
非導通)して、接続ノード4の電圧レベルが動作電圧V
BBに従って負の値を取る。この結果、接続ノード4の
電圧をゲートに受けるPMOS PT5が導通して、接
続ノード5の電圧レベルが外部電源電圧VCCに従って
正の値を取る。一方、接続ノード5の電圧をゲートに受
けるPMOS PT4は非導通となるので、接続ノード
4の電圧レベルは負の値を保持する。
If the voltage level of the / PB signal is at the H level, NMOS NT4 becomes conductive (NMOS NT5 becomes non-conductive), and the voltage level of connection node 4 becomes operating voltage V.
Take a negative value according to BB. As a result, PMOS PT5 receiving the voltage of connection node 4 at its gate conducts, and the voltage level of connection node 5 takes a positive value according to external power supply voltage VCC. On the other hand, PMOS PT4 receiving the voltage of connection node 5 at its gate becomes non-conductive, so that the voltage level of connection node 4 holds a negative value.

【0092】この場合、接地ノード4の負の電圧をゲー
トに受けるNMOS NT3は非導通であるので、ノー
ド3の電圧レベル(=制御電圧VOUT)に変化はな
い。
In this case, NMOS NT3 receiving the negative voltage of ground node 4 at its gate is non-conductive, so that the voltage level of node 3 (= control voltage VOUT) does not change.

【0093】ところが、/PB信号の電圧レベルがLレ
ベルであるならば、NMOS NT5が導通(NMOS
NT4は非導通)して、接続ノード5の電圧レベルが
動作電圧VBBに従って負の値を取る。この結果、接続
ノード5の電圧をゲートに受けるPMOS PT4が導
通して、接続ノード4の電圧レベルが外部電源電圧VC
Cに従って正の値を取る。一方、接続ノード4の電圧を
ゲートに受けるPMOS PT5は非導通となるので、
接続ノード5の電圧レベルは負の値を保持する。
However, if the voltage level of the / PB signal is at the L level, the NMOS NT5 becomes conductive (NMOS
NT4 is turned off), and the voltage level of connection node 5 takes a negative value according to operating voltage VBB. As a result, PMOS PT4 which receives the voltage of connection node 5 at its gate conducts, and the voltage level of connection node 4 becomes external power supply voltage VC.
Take a positive value according to C. On the other hand, the PMOS PT5 that receives the voltage of the connection node 4 at its gate becomes non-conductive,
The voltage level of connection node 5 holds a negative value.

【0094】この場合、接続ノード4の正の電圧をゲー
トに受けるNMOS NT3は導通する。この結果、ノ
ード3の電圧レベル(=制御電圧VOUT)は、NMO
SNT3の一方の導通端子における負の動作電圧VBB
に従って下がる。
In this case, NMOS NT3, which receives the positive voltage of connection node 4 at its gate, conducts. As a result, the voltage level of node 3 (= control voltage VOUT) becomes NMO
Negative operating voltage VBB at one conduction terminal of SNT3
Go down according to.

【0095】すなわち、DRAMのメモリセルアレイの
動作期間中、VDD電源ノード上からの消費電流が大き
くなった場合、差動増幅器10の出力する制御電圧VO
UTは実施の形態1で説明したように負の電位まで下が
るが、さらにNMOS NT3によりその電圧レベルを
下げることになる。これを受けて、図12の従来例に比
べ、内部降圧回路300の電源駆動用PMOS PT3
のチャネル抵抗が小さくなるので、VCC電源ノード上
からVDD電源ノード上への電流供給量を十分に確保す
ることができる。
That is, if the current consumption from the VDD power supply node increases during the operation of the DRAM memory cell array, the control voltage VO output from the differential amplifier 10
Although the UT drops to the negative potential as described in the first embodiment, the voltage level is further lowered by the NMOS NT3. In response to this, compared to the conventional example of FIG.
, The current supply from the VCC power supply node to the VDD power supply node can be sufficiently ensured.

【0096】したがって、基準電圧VREFに対する内
部電源電圧VDDの低下(△V4)を小さく抑えること
ができる(△V4<△V)。
Therefore, a decrease in internal power supply voltage VDD with respect to reference voltage VREF (ΔV4) can be suppressed to a small value (ΔV4 <ΔV).

【0097】[実施の形態4]図9は、本発明の実施の
形態4による内部降圧回路400の全体構成を示す回路
図であり、図1と共通する構成要素には同一の参照番号
および同一の参照符号を付して、その説明を省略する。
[Fourth Embodiment] FIG. 9 is a circuit diagram showing an entire configuration of an internal voltage down converter 400 according to a fourth embodiment of the present invention. Components in common with FIG. And the description thereof is omitted.

【0098】本実施の形態4による内部降圧回路400
が従来例と異なる点は、差動増幅器11に代わって差動
増幅器12を用いること、および差動増幅器12とPM
OSPT3との間にインバータ回路30と定電流源回路
I3とを含むことである。ここで差動増幅器12は、接
続ノード2から制御電圧VOUTを出力し、出力ノード
1はPMOS PT1とPT2のそれぞれのゲートと接
続される。ここで、以下簡単のため、接続ノード2を出
力ノード2と読替え、出力ノード1を接続ノード1と読
替える。
Internal voltage down converter 400 according to the fourth embodiment
Is different from the conventional example in that a differential amplifier 12 is used in place of the differential amplifier 11,
In other words, the inverter circuit 30 and the constant current source circuit I3 are included between the OSPT3. Here, the differential amplifier 12 outputs the control voltage VOUT from the connection node 2, and the output node 1 is connected to the respective gates of the PMOSs PT1 and PT2. Here, for simplicity, the connection node 2 is replaced with the output node 2 and the output node 1 is replaced with the connection node 1.

【0099】インバータ回路30は、PMOS PT6
とNMOS NT6とを含み、それぞれのゲートは出力
ノード2と接続される。また、PMOS PT6とNM
OSNT6との接続点である接続ノード4はPMOS
PT3のゲートと接続される。
The inverter circuit 30 includes a PMOS PT6
And NMOS NT6, and each gate is connected to output node 2. In addition, PMOS PT6 and NM
A connection node 4 which is a connection point with the OSNT 6 is a PMOS.
Connected to the gate of PT3.

【0100】PMOS PT6の一方の導通端子はVC
C電源ノードと接続され、NMOSNT6の一方の導通
端子は定電流源回路I3の一方の端子と接続される。さ
らに、定電流源回路I3の他方の端子は、VBB電源ノ
ードと接続される。
One conduction terminal of PMOS PT6 is connected to VC
Connected to the C power supply node, one conduction terminal of NMOS NT6 is connected to one terminal of constant current source circuit I3. Further, the other terminal of constant current source circuit I3 is connected to a VBB power supply node.

【0101】差動増幅器12は、内部電源電圧VDDの
電圧レベルが基準電圧VREFよりも上昇すると、出力
ノード2の電圧レベルすなわち制御電圧VOUTを下げ
る。一方、内部電源電圧VDDの電圧レベルが基準電圧
VREFよりも下がると、制御電圧VOUTを上げる。
When the voltage level of internal power supply voltage VDD rises above reference voltage VREF, differential amplifier 12 lowers the voltage level of output node 2, ie, control voltage VOUT. On the other hand, when the voltage level of internal power supply voltage VDD falls below reference voltage VREF, control voltage VOUT increases.

【0102】一方、インバータ回路30は、制御電圧V
OUTを反転増幅して、接続ノード4を介して電源駆動
用PMOS PT3を制御する。
On the other hand, the inverter circuit 30 controls the control voltage V
OUT is inverted and amplified, and the power supply driving PMOS PT3 is controlled via the connection node 4.

【0103】なお、定電流源回路I3は、PMOS P
T6とNMOS NT6とに流れる電流量を調整する。
The constant current source circuit I3 is a PMOS P
The amount of current flowing through T6 and NMOS NT6 is adjusted.

【0104】ここで、本実施の形態4における内部降圧
回路400の動作を説明する。基準電圧VREFに比べ
て内部電源電圧VDDの電圧レベルが上がると、差動増
幅器12は制御電圧VOUTを下げる。この制御電圧V
OUTをゲートに受けるPMOS PT6は導通して、
同じくゲートに受けるNMOS NT6は非導通とな
り、接続ノード4の電圧レベルを外部電源電圧VCCに
従って上げる。この結果、これをゲートに受ける電源駆
動用PMOS PT3は非導通となりVCC電源ノード
上からVDD電源ノード上への電流供給を減らす。
Here, the operation of internal voltage down converter 400 in the fourth embodiment will be described. When the voltage level of the internal power supply voltage VDD is higher than the reference voltage VREF, the differential amplifier 12 lowers the control voltage VOUT. This control voltage V
PMOS PT6 receiving OUT at its gate conducts,
Similarly, NMOS NT6 received at the gate is rendered non-conductive, and raises the voltage level of connection node 4 in accordance with external power supply voltage VCC. As a result, the power-supply driving PMOS PT3 receiving this at the gate becomes nonconductive and reduces the current supply from the VCC power supply node to the VDD power supply node.

【0105】一方、内部回路92が動作してVDD電源
ノードから電流を消費すると、VDD電源ノード上の内
部電源電圧VDDが基準電圧VREFよりも下がる。こ
れを受けて、差動増幅器12は制御電圧VOUTを上げ
る。この制御電圧VOUTをゲートに受けるPMOS
PT6は非導通となり、同じくゲートに受けるNMOS
NT6は導通して、接続ノード4の電圧レベルを負の
動作電圧VBBに従って下げる。この結果、これをゲー
トに受ける電源駆動用PMOS PT3のチャネル抵抗
は、図12の従来例に比べ小さくなるので、VCC電源
ノード上からVDD電源ノード上への電流供給量を十分
に確保することができる。
On the other hand, when the internal circuit 92 operates to consume current from the VDD power supply node, the internal power supply voltage VDD on the VDD power supply node falls below the reference voltage VREF. In response, the differential amplifier 12 increases the control voltage VOUT. PMOS receiving this control voltage VOUT at its gate
PT6 becomes non-conductive, and also receives NMOS at the gate
NT6 conducts, and lowers the voltage level of connection node 4 according to negative operating voltage VBB. As a result, the channel resistance of power supply driving PMOS PT3 receiving the gate thereof is smaller than that of the conventional example of FIG. 12, so that a sufficient amount of current can be supplied from above the VCC power supply node to above the VDD power supply node. it can.

【0106】したがって、VDD電源ノード上からの消
費電流が大きくなった場合にあっても、基準電圧VRE
Fに対する内部電源電圧VDDの低下(△V5)を小さ
く抑えることができる(△V5<△V)。
Therefore, even when the current consumption from the VDD power supply node increases, the reference voltage VRE
A decrease in internal power supply voltage VDD with respect to F (ΔV5) can be suppressed (ΔV5 <ΔV).

【0107】[実施の形態5]図10は、本発明の実施
の形態5による内部降圧回路500の全体構成を示す回
路図であり、図1と共通する構成要素には同一の参照番
号および同一の参照符号を付して、その説明を省略す
る。
[Fifth Embodiment] FIG. 10 is a circuit diagram showing the entire structure of an internal voltage down converter 500 according to a fifth embodiment of the present invention. And the description thereof is omitted.

【0108】本実施の形態5による内部降圧回路500
が図12の従来例と異なる点は、基準電圧制御回路40
を含むことにある。
Internal voltage down converter 500 according to the fifth embodiment
The difference from the conventional example of FIG.
Is to include.

【0109】図10における基準電圧制御回路40は、
PMOS PT7と、PMOS PT8と、インバータ
回路N3とを含む。
The reference voltage control circuit 40 in FIG.
It includes a PMOS PT7, a PMOS PT8, and an inverter circuit N3.

【0110】PMOS PT7は、一方の導通端子に図
示しない基準電圧発生回路から発生した基準電圧VRE
H を受け、そのゲートに外部から/PB信号を受け
る。
The PMOS PT7 has, on one conductive terminal, a reference voltage VRE generated from a reference voltage generation circuit (not shown).
Receiving the F H, receiving external from / PB signal at its gate.

【0111】PMOS PT8は、一方の導通端子に図
示しない基準電圧発生回路から発生した基準電圧VRE
L を受け、そのゲートに外部から受ける/PB信号を
インバータ回路N3で反転した信号をうける。ここで、
VREFH >VREFL の関係を有する。
The PMOS PT8 has one conduction terminal connected to a reference voltage VRE generated from a reference voltage generation circuit (not shown).
Receiving the F L, receiving a signal obtained by inverting the receiving / PB signal from the outside to the gate with an inverter circuit N3. here,
Have a relationship of VREF H> VREF L.

【0112】さらに、PMOS PT7の他の導通端子
とPMOS PT8の他の導通端子は入力ノード5で接
続される。入力ノード5は差動増幅器11のNMOS
NT1のゲートと接続される。
Further, another conduction terminal of PMOS PT7 and another conduction terminal of PMOS PT8 are connected at input node 5. Input node 5 is NMOS of differential amplifier 11
Connected to the gate of NT1.

【0113】/PB信号としては、実施の形態2の図
4、図6で説明したDRAMのメモリセルアレイの動作
状況を示す信号が挙げられる。
As the / PB signal, there is a signal indicating the operation status of the memory cell array of the DRAM described in FIGS. 4 and 6 of the second embodiment.

【0114】ここで、図4に示すクロックバッファ96
から出力される/PB信号が基準電圧制御回路40に入
力するものとして本実施の形態5における内部降圧回路
500の動作を説明する。
Here, the clock buffer 96 shown in FIG.
The operation of internal step-down circuit 500 in the fifth embodiment will be described assuming that the / PB signal output from FB is input to reference voltage control circuit 40.

【0115】前述したように、/PB信号はDRAMの
行系回路が活性化する際に、HレベルからLレベルに移
行する。
As described above, the / PB signal shifts from the H level to the L level when the row circuit of the DRAM is activated.

【0116】この場合、PMOS PT7が導通して
(PMOS PT8は非導通)、入力ノード5の電圧レ
ベルはVREFH となる。したがって、差動増幅器11
の基準電圧VREFは、高い電圧レベル(=VRE
H )に設定される。
[0116] In this case, the PMOS PT7 is conducting (PMOS PT8 is nonconductive), the voltage level of the input node 5 becomes VREF H. Therefore, the differential amplifier 11
Reference voltage VREF is at a high voltage level (= VREF
F H ).

【0117】一方、/PB信号がHレベルにある期間
は、PMOS PT8が導通して(PMOS PT7が
非導通)、入力ノード5上の電圧レベルはVREFL
なる。したがって、差動増幅器11の基準電圧VREF
は、低い電圧レベル(=VREFL )に設定される。
On the other hand, while the / PB signal is at the H level, the PMOS PT8 is conductive (the PMOS PT7 is nonconductive), and the voltage level on the input node 5 is at VREF L. Therefore, the reference voltage VREF of the differential amplifier 11
Are set to a low voltage level (= VREF L ).

【0118】すなわち、DRAMのメモリセルアレイが
非動作の期間、基準電圧VREFは低い電圧レベルに設
定される。
That is, while the DRAM memory cell array is not operating, reference voltage VREF is set to a low voltage level.

【0119】一方で、VREFH を図12の従来例の基
準電圧VREFより高い値に設定すれば、DRAMのメ
モリセルアレイが内部降圧回路500のVDD電源ノー
ド上の電流を消費して動作する期間、基準電圧VREF
は通常より高い電圧レベルに設定されるので、消費電流
が大きくなった場合でも内部電源電圧VDDの電圧レベ
ルの低下(△V6)を抑えることができる(△V6<△
V)。
On the other hand, if VREF H is set to a value higher than the reference voltage VREF of the conventional example of FIG. 12, while the memory cell array of the DRAM operates by consuming the current on the VDD power supply node of the internal voltage down converter 500, Reference voltage VREF
Is set to a higher voltage level than usual, so that even if the current consumption increases, a decrease in the voltage level of the internal power supply voltage VDD (△ V6) can be suppressed (△ V6 <△).
V).

【0120】なお、差動増幅器11の代わりに差動増幅
器10を用いた構成でもよい。
Note that a configuration using the differential amplifier 10 instead of the differential amplifier 11 may be used.

【0121】[0121]

【発明の効果】以上のように、本発明の内部降圧回路に
あっては、内部電源電圧を動作電源とする内部回路での
消費電流が大きくなった場合でも、安定した電圧レベル
の内部電源電圧を供給することができる。
As described above, in the internal voltage down converter of the present invention, even when the current consumption in the internal circuit using the internal power supply voltage as the operating power supply increases, the internal power supply voltage at a stable voltage level is obtained. Can be supplied.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の実施の形態1による内部降圧回路の
全体構成を示す回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing an overall configuration of an internal voltage down converter according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の実施の形態1における内部降圧回路
の内部電源電圧と制御電圧のタイミングチャート図であ
る。
FIG. 2 is a timing chart of an internal power supply voltage and a control voltage of the internal step-down circuit according to the first embodiment of the present invention.

【図3】 本発明の実施の形態2による内部降圧回路の
全体構成を示す回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram showing an overall configuration of an internal voltage down converter according to a second embodiment of the present invention.

【図4】 クロックバッファと/RAS信号と/PB信
号との関係を示す概略ブロック図である。
FIG. 4 is a schematic block diagram showing a relationship among a clock buffer, a / RAS signal, and a / PB signal.

【図5】 本発明の実施の形態2における/PB信号を
コンデンサC1に入力した場合の/RAS信号と/PB
信号と制御電圧との関係を示すタイミングチャート図で
ある。
FIG. 5 shows the / RAS signal and / PB when the / PB signal is input to capacitor C1 according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a timing chart illustrating a relationship between a signal and a control voltage.

【図6】 内部制御回路と/RAS信号と/CAS信号
とCDE信号と/PB信号との関係を示す概略ブロック
図である。
FIG. 6 is a schematic block diagram showing a relationship among an internal control circuit, a / RAS signal, a / CAS signal, a CDE signal, and a / PB signal.

【図7】 本発明の実施の形態2における/PB信号を
コンデンサC1に入力した場合の/RAS信号と/CA
S信号とCDE信号と/PB信号と制御電圧との関係を
示すタイミングチャート図である。
FIG. 7 shows the / RAS signal and / CA when the / PB signal is input to capacitor C1 according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a timing chart illustrating a relationship among an S signal, a CDE signal, a / PB signal, and a control voltage.

【図8】 本発明の実施の形態3による内部降圧回路の
全体構成を示す回路図である。
FIG. 8 is a circuit diagram showing an entire configuration of an internal voltage down converter according to a third embodiment of the present invention.

【図9】 本発明の実施の形態4による内部降圧回路の
全体構成を示す回路図である。
FIG. 9 is a circuit diagram showing an overall configuration of an internal voltage down converter according to a fourth embodiment of the present invention.

【図10】 本発明の実施の形態5による内部降圧回路
の全体構成を示す回路図である。
FIG. 10 is a circuit diagram showing an overall configuration of an internal voltage down converter according to a fifth embodiment of the present invention.

【図11】 従来のDRAMの全体構成を示す概略ブロ
ック図である。
FIG. 11 is a schematic block diagram showing the entire configuration of a conventional DRAM.

【図12】 従来の内部降圧回路の構成を示す回路図で
ある。
FIG. 12 is a circuit diagram showing a configuration of a conventional internal voltage down converter.

【図13】 従来の内部降圧回路における制御電圧と内
部電源電圧のタイミングチャート図である。
FIG. 13 is a timing chart of a control voltage and an internal power supply voltage in a conventional internal voltage down converter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

91、100、200、300、400、500 内部
降圧回路、20 レベルシフト回路、30 インバータ
回路、40 基準電圧制御回路、10、11、12 差
動増幅器、90 DRAM、92 内部回路、93 外
部電源使用回路、96 クロックバッファ、97 内部
制御回路、PT1〜PT8 PチャネルMOSトランジ
スタ、NT1〜NT6 NチャネルMOSトランジス
タ、N1、N2、N3 インバータ回路、I2、I3
定電流源回路、C1 コンデンサ。
91, 100, 200, 300, 400, 500 Internal step-down circuit, 20 level shift circuit, 30 inverter circuit, 40 reference voltage control circuit, 10, 11, 12 differential amplifier, 90 DRAM, 92 internal circuit, 93 using external power supply Circuit, 96 clock buffer, 97 internal control circuit, PT1 to PT8 P channel MOS transistor, NT1 to NT6 N channel MOS transistor, N1, N2, N3 inverter circuit, I2, I3
Constant current source circuit, C1 capacitor.

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1のノード上の第1の外部電源電圧を
降圧して内部電源電圧を第2のノードに生成して、前記
内部電源電圧で内部回路を動作させる内部降圧回路であ
って、 内部基準電圧と前記第2のノード上の前記内部電源電圧
とを比較した結果を差動増幅して出力する比較手段と、 前記比較手段の出力を受けて、前記第1の外部電源電圧
を降圧して前記第2のノード上に前記内部電源電圧を生
成する降圧手段とを含み、 前記比較手段は、 前記第1の外部電源電圧と、前記第1の外部電源電圧と
は異なる負の電位を有する第2の外部電源電圧とを動作
電源とする、内部降圧回路。
1. An internal step-down circuit for stepping down a first external power supply voltage on a first node to generate an internal power supply voltage at a second node, and operating an internal circuit with the internal power supply voltage. Comparison means for differentially amplifying and outputting the result of comparing an internal reference voltage with the internal power supply voltage on the second node; receiving the output of the comparison means, Step-down means for stepping down to generate the internal power supply voltage on the second node, wherein the comparing means includes: a first external power supply voltage; and a negative potential different from the first external power supply voltage. An internal step-down circuit using a second external power supply voltage as an operating power supply.
【請求項2】 前記比較手段と前記降圧手段とを接続す
る第3のノードに接続され、前記内部回路の動作状況を
示すクロック信号の論理レベルに基づき、前記比較手段
の出力を選択的に降圧する制御手段をさらに含む、請求
項1記載の内部降圧回路。
2. The method according to claim 1, further comprising: a third node connected to said comparing means and said step-down means, for selectively stepping down an output of said comparing means based on a logic level of a clock signal indicating an operation state of said internal circuit. 2. The internal step-down circuit according to claim 1, further comprising control means for performing the operation.
【請求項3】 前記制御手段は、前記クロック信号を一
方の電極に受け、その他方の電極は前記第3のノードと
接続する容量素子である、請求項2記載の内部降圧回
路。
3. The internal step-down circuit according to claim 2, wherein said control means receives said clock signal at one electrode, and said other electrode is a capacitive element connected to said third node.
【請求項4】 前記制御手段は、 前記第1の外部電源電圧と前記第2の外部電源電圧とを
動作電源として、前記クロック信号の電圧レベルを反転
増幅するレベルシフト回路と、 前記レベルシフト回路の出力をゲートに受け、一方の導
通端子を前記第3のノードと接続し、かつ他方の導通端
子には前記第2の外部電源電圧を受ける絶縁ゲート型電
界トランジスタとを含む、請求項2記載の内部降圧回
路。
4. A level shift circuit that inverts and amplifies a voltage level of the clock signal using the first external power supply voltage and the second external power supply voltage as an operation power supply, and the level shift circuit. 3. An insulated gate field-effect transistor receiving the output of the gate of the first transistor, connecting one conductive terminal to the third node, and the other conductive terminal including the second external power supply voltage. Internal buck circuit.
【請求項5】 前記比較手段は、センスアンプであり、 前記降圧手段は、一方の導通端子を前記第1のノードと
接続し、他方の導通端子を前記第2のノードと接続しか
つそのゲートを前記第3のノードと接続する絶縁ゲート
型電界トランジスタである、請求項1記載の内部降圧回
路。
5. The comparison means is a sense amplifier, and the step-down means connects one conduction terminal to the first node, connects the other conduction terminal to the second node, and sets a gate thereof. 2. The internal step-down circuit according to claim 1, wherein the internal step-down circuit is an insulated gate type electric field transistor that connects the third node to the third node.
【請求項6】 第1のノード上の第1の外部電源電圧を
降圧して内部電源電圧を第2のノード上に生成して、前
記内部電源電圧で内部回路を動作させる内部降圧回路で
あって、 内部基準電圧と前記第2のノード上の前記内部電源電圧
とを比較した結果を差動増幅して出力する比較手段と、 前記第1の外部電源電圧を降圧して前記第2のノード上
に前記内部電源電圧を生成する降圧手段と、 前記比較手段と前記降圧手段との間に接続され、前記比
較手段の出力に基づいて前記降圧手段を制御する制御手
段とを含む、内部降圧回路。
6. An internal step-down circuit for lowering a first external power supply voltage on a first node to generate an internal power supply voltage on a second node and operating an internal circuit with the internal power supply voltage. Comparing means for differentially amplifying and outputting a result of comparing an internal reference voltage with the internal power supply voltage on the second node; and reducing the first external power supply voltage to generate the second node. An internal step-down circuit including: a step-down unit for generating the internal power supply voltage; and a control unit connected between the comparison unit and the step-down unit, for controlling the step-down unit based on an output of the comparison unit. .
【請求項7】 前記制御手段は、 前記第1の外部電源電圧と、前記第1の外部電源電圧と
は異なる負の電位を有する第2の外部電源電圧とを動作
電源として、前記比較手段の出力を反転増幅して出力す
るインバータ回路と、 前記インバータ回路と前記第2の外部電源電圧を受ける
ノードとの間に接続される定電流源回路とを含む、請求
項6記載の内部降圧回路。
7. The comparison means according to claim 1, wherein said control means uses said first external power supply voltage and a second external power supply voltage having a negative potential different from said first external power supply voltage as an operation power supply. 7. The internal voltage step-down circuit according to claim 6, further comprising: an inverter circuit that inverts and amplifies an output to output the constant current source circuit connected between the inverter circuit and a node receiving the second external power supply voltage.
【請求項8】 前記比較手段は、前記第1の外部電源電
圧と接地電圧とを動作電源とするセンスアンプであり、 前記降圧手段は、一方の導通端子を前記第1のノードと
接続し、他方の導通端子を前記第2のノードと接続し、
かつそのゲートに前記インバータ回路の出力を受ける絶
縁ゲート型電界トランジスタである、請求項6記載の内
部降圧回路。
8. The comparing means is a sense amplifier using the first external power supply voltage and a ground voltage as operating power supplies, and the step-down means connects one conduction terminal to the first node, Connecting the other conduction terminal to the second node;
7. The internal step-down circuit according to claim 6, wherein the gate is an insulated gate type electric field transistor receiving an output of the inverter circuit.
【請求項9】 第1のノード上の第1の外部電源電圧を
降圧して内部電源電圧を第2のノード上に生成して、前
記内部電源電圧で内部回路を動作させる内部降圧回路で
あって、 内部基準電圧と前記第2のノード上の前記内部電源電圧
とを比較した結果を差動増幅して出力する比較手段と、 前記比較手段の出力の制御を受けて、前記第1の外部電
源電圧を降圧して前記第2のノード上に前記内部電源電
圧を生成する降圧手段と、 前記内部回路の動作状況を示すクロック信号の論理レベ
ルに基づき、前記内部基準電圧の電圧レベルを選択的に
切換える基準電圧制御手段とを含む、内部降圧回路。
9. An internal step-down circuit that steps down a first external power supply voltage on a first node to generate an internal power supply voltage on a second node and operates an internal circuit with the internal power supply voltage. Comparing means for differentially amplifying and outputting the result of comparing an internal reference voltage with the internal power supply voltage on the second node; and receiving the control of the output of the comparing means, Step-down means for stepping down a power supply voltage to generate the internal power supply voltage on the second node; and selectively selecting a voltage level of the internal reference voltage based on a logic level of a clock signal indicating an operation state of the internal circuit. And a reference voltage control means for switching to the internal voltage step-down circuit.
【請求項10】 前記基準電圧制御手段は、 前記クロック信号をゲートに受けて、第1の基準電圧を
一方の導通端子に受けて、他方の導通端子から前記内部
基準電圧を出力する第1の絶縁ゲート型電界トランジス
タと、 前記クロック信号を反転するインバータ回路と、 前記インバータ回路の出力をゲートに受けて、前記第1
の基準電圧と電圧レベルの異なる第2の基準電圧を一方
の導通端子に受けて、他方の導通端子から前記内部基準
電圧を出力する第2の絶縁ゲート型電界トランジスタと
を含む、請求項9記載の内部降圧回路。
10. The first reference voltage control means receives a clock signal at a gate, receives a first reference voltage at one conduction terminal, and outputs the internal reference voltage from the other conduction terminal. An insulated gate electric field transistor; an inverter circuit for inverting the clock signal;
10. A second insulated-gate field-effect transistor receiving a second reference voltage having a voltage level different from that of the second reference voltage at one conduction terminal and outputting the internal reference voltage from the other conduction terminal. Internal buck circuit.
【請求項11】 前記比較手段は、前記第1の外部電源
電圧と接地電圧とを動作電源とするセンスアンプであ
り、前記降圧手段は、一方の導通端子を前記第1のノー
ドと接続し、他方の導通端子を前記第2のノードと接続
し、かつそのゲートに前記比較手段の出力を受ける絶縁
ゲート型電界トランジスタである、請求項9記載の内部
降圧回路。
11. The comparison means is a sense amplifier using the first external power supply voltage and a ground voltage as operation power supplies, and the step-down means connects one conduction terminal to the first node, 10. The internal step-down circuit according to claim 9, wherein the other step-down terminal is an insulated gate type electric field transistor connected to the second node and receiving the output of the comparing means at its gate.
【請求項12】 前記比較手段は、前記第1の外部電源
電圧と、前記第1の外部電源電圧とは異なる負の電位を
有する第2の外部電源電圧とを動作電源とするセンスア
ンプであり、 前記降圧手段は、一方の導通端子を前記第1のノードと
接続し、他方の導通端子を前記第2のノードと接続し、
かつそのゲートに前記比較手段の出力を受ける絶縁ゲー
ト型電界トランジスタである、請求項9記載の内部降圧
回路。
12. The sense amplifier using the first external power supply voltage and a second external power supply voltage having a negative potential different from the first external power supply voltage as an operation power supply. The step-down means connects one conduction terminal to the first node, and connects the other conduction terminal to the second node;
10. The internal step-down circuit according to claim 9, wherein the internal step-down circuit is an insulated gate type electric field transistor whose gate receives the output of the comparing means.
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