JPH10259454A - Ferrum-nickel base alloy sheet excellent in etching pierceability - Google Patents
Ferrum-nickel base alloy sheet excellent in etching pierceabilityInfo
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- JPH10259454A JPH10259454A JP9084666A JP8466697A JPH10259454A JP H10259454 A JPH10259454 A JP H10259454A JP 9084666 A JP9084666 A JP 9084666A JP 8466697 A JP8466697 A JP 8466697A JP H10259454 A JPH10259454 A JP H10259454A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、エッチング穿孔性
に優れたシャドウマスク用Fe−Ni系合金に関し、特
に、酸化物系介在物組成を制御することでエッチング穿
孔性を向上させたFe−Ni系合金板に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an Fe-Ni alloy for a shadow mask having excellent etching piercing properties, and more particularly to an Fe-Ni alloy having improved etching piercing properties by controlling the composition of an oxide-based inclusion. Related to an alloy plate.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から、高鮮明TVのシャドウマスク
材としてのFe−Ni系合金冷延板には、膨張率が低い
こと、およびエッチング穿孔時に欠陥が発生しないこと
が要求されている。2. Description of the Related Art Heretofore, cold rolled Fe—Ni alloys as shadow mask materials for high-definition TVs have been required to have a low expansion coefficient and to be free from defects during etching perforation.
【0003】エッチング穿孔時に発生する欠陥の多くは
酸化物系介在物に起因するため、Fe−Ni系合金板に
おいて酸化物系介在物の組成、形状、大きさ、および量
を制御する方法が種々提案されている。[0003] Since many defects generated at the time of etching drilling are caused by oxide-based inclusions, there are various methods for controlling the composition, shape, size, and amount of oxide-based inclusions in an Fe-Ni-based alloy plate. Proposed.
【0004】特開昭63−231844号公報では、シ
ャドウマスクの圧延方向に平行な断面、および表面にお
いて、JIS法によりA系非金属介在物の幅が5.0μ
m以下、長さが50μm以下、B系非金属介在物の粒状
介在物集合体の幅が5.0μm以下、長さが50μm以
下、C系非金属介在物の単一介在物平均直径が5.0μ
m以下、d(A+B+C)60X400の値が0.01
以下の清浄度を有するFe−Ni系合金板から製造され
た鋼板により、エッチング穿孔時の欠陥発生を低減させ
ることが提案されている。In Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-231844, the width of the non-metallic A-type inclusions in the cross section and the surface parallel to the rolling direction of the shadow mask is 5.0 μm by the JIS method.
m or less, a length of 50 μm or less, a width of the granular inclusion aggregate of B-based nonmetallic inclusions of 5.0 μm or less, a length of 50 μm or less, and an average diameter of a single inclusion of C-based nonmetallic inclusions of 5 μm or less. 0.0μ
m or less, the value of d (A + B + C) 60X400 is 0.01
It has been proposed to reduce the occurrence of defects at the time of etching perforation by using a steel plate manufactured from an Fe-Ni-based alloy plate having the following cleanliness.
【0005】また、特開昭62−161936号公報で
は、シャドウマスク用Fe−Ni系合金冷延板中に含ま
れる非金属介在物を図3に示すAl2O3−MnO−Si
O2系三元系状態図において ポイント1: Al2O3:4wt% MnO:58wt% SiO2:38wt% ポイント2: Al2O3:5wt% MnO:49wt% SiO2:46wt% ポイント3: Al2O3:23wt% MnO:23wt% SiO2:54wt% ポイント4: Al2O3:27wt% MnO:31wt% SiO2:42wt% ポイント5: Al2O3:17wt% MnO:54wt% SiO2:29wt% を順次に結ぶ線によって囲まれた領域内の組成にするこ
とにより、エッチング穿孔時の欠陥発生を低減させる方
法が提案されている。In Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-161936, non-metallic inclusions contained in a cold rolled Fe—Ni alloy for a shadow mask are shown in FIG. 3 as Al 2 O 3 —MnO—Si.
Points in O 2 ternary system phase diagram 1: Al 2 O 3: 4wt % MnO: 58wt% SiO 2: 38wt% points 2: Al 2 O 3: 5wt % MnO: 49wt% SiO 2: 46wt% point 3: Al 2 O 3: 23wt% MnO : 23wt% SiO 2: 54wt% points 4: Al 2 O 3: 27wt % MnO: 31wt% SiO 2: 42wt% points 5: Al 2 O 3: 17wt % MnO: 54wt% SiO A method has been proposed for reducing the occurrence of defects at the time of etching perforation by making the composition in a region surrounded by a line connecting 2 : 29 wt% sequentially.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、カラー
テレビの高精細化の動きやパソコンにおけるシャドウマ
スク使用の増加に伴い、シャドウマスクの高精細化の要
求が一層高まっており、上述したような対策を施したF
e−Ni系合金冷延板をもってしても、介在物に起因す
るエッチング穿孔時の欠陥を抑えることができなくなっ
てきている。そのため、現在要求されている高精細化に
対して問題となるエッチング穿孔時の欠陥発生のないF
e−Ni系合金冷延板は未だ提案されていない。However, with the trend toward higher definition of color televisions and the increase in the use of shadow masks in personal computers, the demand for higher definition of shadow masks has been further increased. F applied
Even with an e-Ni-based alloy cold-rolled sheet, it has become impossible to suppress defects at the time of etching perforation caused by inclusions. Therefore, there is no defect at the time of etching perforation, which is a problem with respect to the currently required high definition.
An e-Ni alloy cold rolled sheet has not yet been proposed.
【0007】エッチング穿孔時の欠陥発生を抑えるため
に、介在物の量を極力低減させることは当然有効である
が、介在物低減を現状レベルよりもさらに進展させるこ
とはかなりの製造コストアップにつながり、現実的でな
い。[0007] It is naturally effective to reduce the amount of inclusions as much as possible in order to suppress the occurrence of defects at the time of etching perforation. However, further reduction of inclusions from the current level leads to a considerable increase in manufacturing cost. , Not realistic.
【0008】本発明はかかる事情に鑑みてなされたもの
であって、エッチング穿孔時に欠陥が発生せず、高精細
度カラーテレビ用およびパソコン用シャドウマスクに使
用することができ、低コストのエッチング穿孔性に優れ
たFe−Ni系合金板を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has no defects at the time of etching perforation, and can be used for a shadow mask for a high-definition color television and a personal computer. It is an object of the present invention to provide an Fe-Ni-based alloy plate having excellent properties.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた。この結果、エッチング
時に発生する穴形異常や線状欠陥と、鋼板中の酸化物系
介在物の組成との間に極めて強い相関があることを見い
出した。Means for Solving the Problems The present inventors have intensively studied to solve the above problems. As a result, it has been found that there is an extremely strong correlation between the hole shape abnormality and the linear defect generated at the time of etching and the composition of the oxide-based inclusions in the steel sheet.
【0010】すなわち、シャドウマスク等に適用される
Fe−Ni合金は、通常、電気炉で精錬し、さらにVA
D(真空−電弧脱ガス法)、VOD(真空−酸素脱炭
法)で精錬した後の鋼塊を分解圧延、熱間圧延、冷間圧
延することにより得られるか、または転炉出鋼後二次精
錬において成分調整して得られた溶鋼を連続鋳造して得
られたスラブを熱間圧延および冷間圧延することにより
得られるが、最終的に得られるFe−Ni合金板中に含
まれる酸化物系介在物の組成を制御することにより、エ
ッチング穿孔時に発生する欠陥を防止することができる
ことを見出した。That is, an Fe—Ni alloy applied to a shadow mask or the like is usually refined in an electric furnace,
D (vacuum-arc degassing), VOD (vacuum-oxygen decarburization) can be obtained by cracking, hot rolling, cold rolling the ingot after refining, or after exiting the converter. It is obtained by hot rolling and cold rolling a slab obtained by continuously casting molten steel obtained by adjusting the components in the secondary refining, but is included in the finally obtained Fe-Ni alloy plate. It has been found that by controlling the composition of the oxide-based inclusions, it is possible to prevent defects generated at the time of etching perforation.
【0011】本発明はこのような知見に基づいてなされ
たものであり、酸化物系介在物の含有量が酸素換算で
0.003wt%以下であり、MgO/Al2O3重量比
率が0.25以上であること特徴とする、エッチング穿
孔性に優れたFe−Ni系合金板を提供するものであ
る。The present invention has been made based on such findings, and the content of oxide-based inclusions is 0.003% by weight or less in terms of oxygen, and the MgO / Al 2 O 3 weight ratio is 0.1%. An object of the present invention is to provide an Fe—Ni-based alloy plate excellent in etching piercing property, which is characterized by being 25 or more.
【0012】また、上記発明において、酸化物系介在物
中のMgO/Al2O3重量比率が0.4以上であること
を特徴とする、エッチング穿孔性に優れたFe−Ni系
合金板を提供するものである。Further, in the above invention, there is provided an Fe—Ni-based alloy plate excellent in etching piercing property, wherein the weight ratio of MgO / Al 2 O 3 in the oxide-based inclusions is 0.4 or more. To provide.
【0013】さらに、上記いずれかの発明において、酸
化物系介在物のうち、MgO及びAl2O3以外の酸化物
の割合が重量比で20%以下であることを特徴とするF
e−Ni系合金板を提供するものである。Further, in any one of the above inventions, the proportion of oxides other than MgO and Al 2 O 3 among oxide-based inclusions is not more than 20% by weight.
An object of the present invention is to provide an e-Ni-based alloy plate.
【0014】さらにまた、上記いずれかの発明におい
て、酸化物系介在物の比率が、試料を溶解して酸化物系
介在物のみ抽出し、その抽出物から金属元素を定量分析
することにより求められたものであることを特徴とする
Fe−Ni系合金板を提供するものである。Further, in any of the above inventions, the ratio of oxide-based inclusions can be determined by dissolving a sample, extracting only oxide-based inclusions, and quantitatively analyzing a metal element from the extract. It is intended to provide an Fe-Ni-based alloy plate characterized by the following.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。まず、エッチング時に発生する穴形異常や線状欠
陥の実態を調査した。この部位に存在する介在物は、そ
のほとんどがAl2O3主体の酸化物系介在物であり、大
きさは数μm〜数十μm程度のものであった。本発明者
らは、上記知見をもとに、素材中に含まれる酸化物系介
在物の組成と、欠陥率との関連に注目して調査を行っ
た。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail. First, the actual state of hole-shaped abnormalities and linear defects generated during etching was investigated. Almost all of the inclusions present at this site were oxide-based inclusions mainly composed of Al 2 O 3 , and had a size of about several μm to several tens μm. The present inventors conducted an investigation based on the above findings, focusing on the relationship between the composition of oxide-based inclusions contained in the material and the defect rate.
【0016】まず、種々の条件で製造したシャドウマス
ク用Fe−Ni系合金冷間圧延板を用い、実験室にてエ
ッチング穿孔を実施した。実験室でのエッチング穿孔の
場合、エッチング不良率が1%以下であれば、実際のエ
ッチングラインにおいては全く問題のない水準である。First, etching drilling was carried out in a laboratory using cold rolled Fe—Ni alloys for shadow masks manufactured under various conditions. In the case of etching perforation in a laboratory, if the etching defect rate is 1% or less, there is no problem in an actual etching line.
【0017】次に、エッチング穿孔に供した冷間圧延板
から試料5g程度をサンプリングし、10%Br2−メ
タノール溶液で溶解して介在物を抽出し、抽出後の介在
物を定量した。本来、鋼中には酸化物系介在物の他に、
硫化物系介在物、炭化物系介在物、窒化物系介在物が含
まれ、これら介在物を抽出するには、酸溶解法、ハロゲ
ン−有機溶媒溶解法、電解抽出法等がある。これら介在
物のうち、エッチング穿孔性に影響を与えるのは酸化物
系介在物であるから、Fe−Ni系合金中の酸化物系介
在物のみを選択的に抽出する必要があり、また抽出した
介在物を定量する必要があるが、そのためには、酸溶解
抽出およびハロゲン−有機溶媒抽出が適している。Next, about 5 g of a sample was sampled from the cold-rolled plate subjected to the etching perforation, dissolved in a 10% Br 2 -methanol solution to extract inclusions, and the inclusions after the extraction were quantified. Originally, besides oxide inclusions in steel,
Sulfide-based inclusions, carbide-based inclusions, and nitride-based inclusions are included, and methods for extracting these inclusions include acid dissolution, halogen-organic solvent dissolution, and electrolytic extraction. Of these inclusions, the oxide-based inclusions that affect the etching piercing property, it is necessary to selectively extract only the oxide-based inclusions in the Fe-Ni-based alloy, and the extracted It is necessary to quantify the inclusions, and for that purpose, acid dissolution extraction and halogen-organic solvent extraction are suitable.
【0018】図1に、酸化物系介在物中のMgO/Al
2O3重量比率とエッチング不良率との関係を示す。酸化
物系介在物はAl2O3、MgOが主体で、それ以外にわ
ずかのSiO2、CaO、MnO等で構成されている
が、この図からこれらの酸化物系介在物のうちのMgO
/Al2O3比率がエッチング不良率との間に極めて強い
相関があることが確認される。FIG. 1 shows MgO / Al in oxide-based inclusions.
The relationship between the 2 O 3 weight ratio and the etching failure rate is shown. The oxide-based inclusions are mainly composed of Al 2 O 3 and MgO, and are composed of a small amount of SiO 2 , CaO, MnO and the like.
It is confirmed that the / Al 2 O 3 ratio has a very strong correlation with the etching failure rate.
【0019】すなわち、酸化物系介在物の総量が酸素換
算で30ppm以下(0.003wt%以下)の領域に
おいて、MgO/Al2O3重量比率が0.25以上にな
ると不良率は1%以下に抑えられており、さらに0.4
0以上では全く不良が発生していない。図2にAl2O3
−MgO2元系状態図を示すが、この図から、MgO/
Al2O3重量比率が0.25以上では、平衡状態におけ
る介在物組成がSpinelもしくはSpinel+P
ericlose領域であることがわかる。That is, in the region where the total amount of oxide-based inclusions is 30 ppm or less (0.003 wt% or less) in terms of oxygen, the defect rate is 1% or less when the MgO / Al 2 O 3 weight ratio is 0.25 or more. And 0.4
If it is 0 or more, no defect occurs. FIG. 2 shows Al 2 O 3
A MgO binary system phase diagram is shown, from which the MgO /
When the Al 2 O 3 weight ratio is 0.25 or more, the inclusion composition in the equilibrium state is Spinel or Spinel + P
It can be seen that this is an ericrose area.
【0020】一方、MgO/Al2O3重量比率が0.2
5より低い範囲では不良率が1%を超えている。この領
域は、図2の状態図から明らかなように、平衡状態にお
ける介在物組成がCorundum+Spinelもし
くはCorundum領域である。On the other hand, when the weight ratio of MgO / Al 2 O 3 is 0.2
In the range lower than 5, the defective rate exceeds 1%. As apparent from the phase diagram of FIG. 2, this region is a region in which the inclusion composition in the equilibrium state is Corundum + Spinel or Corundum.
【0021】これらの結果に基づき、本発明では、エッ
チング不良率を実際のエッチングラインにおいて全く問
題のない水準に抑える観点から、酸化物系介在物の総量
を酸素換算で30ppm以下とし、かつその領域におい
て酸化物系介在物中のMgO/Al2O3重量比率を0.
25以上とした。また、この重量比率が0.40以上で
は全くッチング不良が発生しないことから、より好まし
くはMgO/Al2O3重量比率が0.40以上である。Based on these results, in the present invention, the total amount of the oxide-based inclusions is set to 30 ppm or less in terms of oxygen, and from the viewpoint of suppressing the etching failure rate to a level having no problem in an actual etching line. In the above, the weight ratio of MgO / Al 2 O 3 in the oxide-based inclusions was set to 0.
25 or more. If the weight ratio is 0.40 or more, no etching failure occurs at all, so the MgO / Al 2 O 3 weight ratio is more preferably 0.40 or more.
【0022】以上のように酸化物系介在物の総量および
その中のMgO/Al2O3重量比率を規定することによ
り、エッチング穿孔の際の不良発生を抑えることができ
るが、酸化物系介在物に占めるMgOおよびAl2O3以
外の酸化物の割合を少なくし、重量比で20%以下とす
ることにより、一層エッチング穿孔性を良好にすること
ができる。As described above, by defining the total amount of the oxide-based inclusions and the weight ratio of MgO / Al 2 O 3 therein, the occurrence of defects at the time of etching drilling can be suppressed. By reducing the proportion of oxides other than MgO and Al 2 O 3 in the material and setting the weight ratio to 20% or less, the etching piercing property can be further improved.
【0023】本発明において、酸化物系介在物の比率を
求めるためには、試料を溶解して酸化物系介在物のみ抽
出し、その抽出物から金属元素を定量分析することが好
ましい。走査型電子顕微鏡写真などから定量することも
可能ではあるが、このように試料を溶解して酸化物系介
在物を抽出するほうが分析精度が高い。この場合に、試
料の量は1g以上であることが好ましい。また、酸化物
系介在物を抽出する方法としては、上述した酸溶解抽出
およびハロゲン−有機溶媒抽出が適しており、これらの
いずれかの方法を用いることが好ましい。In the present invention, in order to determine the ratio of the oxide-based inclusions, it is preferable to dissolve the sample, extract only the oxide-based inclusions, and quantitatively analyze the metal element from the extract. Although it is possible to quantify it from a scanning electron micrograph or the like, the analysis accuracy is higher when the sample is dissolved and the oxide-based inclusions are extracted. In this case, the amount of the sample is preferably 1 g or more. As the method for extracting the oxide-based inclusions, the above-described acid dissolution extraction and halogen-organic solvent extraction are suitable, and it is preferable to use any of these methods.
【0024】本発明においては、このように酸化物系介
在物の量をある程度低くした上で酸化物系介在物の組成
を制御することにより、エッチング欠陥を防止するもの
であり、極端に酸化物系介在物の量を低くすることなく
エッチング欠陥を防止することができ、低コストでエッ
チング欠陥の低いFe−Ni系合金板を得ることができ
る。In the present invention, etching defects are prevented by controlling the composition of the oxide-based inclusions after reducing the amount of the oxide-based inclusions to a certain extent as described above. Etching defects can be prevented without reducing the amount of system inclusions, and an Fe-Ni-based alloy plate with low etching defects can be obtained at low cost.
【0025】本発明においては、酸化物介在物の総量お
よび比率以外の合金組成に関しては特に限定するもので
はなく、通常シャドウマスク等に用いられる組成のFe
−Ni系合金であればよく、例えば重量%で、C:0.
005%以下、Si:0.4%以下、Mn:0.1〜1
%、Ni:30〜45%、Cr:0.1%以下、O:
0.003%以下、S:0.005%以下、N:0.0
05%以下、Al:0.001〜0.2%、残部実質的
にFeからなるFe−Ni系合金を用いることができ
る。また、Niの一部を重量%で6%までのCoで置換
したものを用いることもできる。その他、必要に応じて
Ca、Mg等の合金元素を添加しても、本発明の効果を
損なうものではない。In the present invention, the alloy composition other than the total amount and the ratio of the oxide inclusions is not particularly limited.
-Ni-based alloy, for example, by weight%, C: 0.
005% or less, Si: 0.4% or less, Mn: 0.1 to 1
%, Ni: 30 to 45%, Cr: 0.1% or less, O:
0.003% or less, S: 0.005% or less, N: 0.0
It is possible to use an Fe-Ni-based alloy containing 0.05% or less, Al: 0.001 to 0.2%, and the balance substantially Fe. In addition, a material in which a part of Ni is replaced by up to 6% by weight of Co can be used. In addition, the effects of the present invention are not impaired even if alloy elements such as Ca and Mg are added as necessary.
【0026】また、製造方法に関しても、転炉および二
次精錬等により所定の組成に調整された鋼を連続鋳造に
よりスラブとしてもよいし、電気炉で精錬し、さらにV
AD(真空−電弧脱ガス法)、VOD(真空−酸素脱炭
法)で精錬した鋼を造塊後分解圧延を行いスラブとして
もよい。Regarding the production method, steel adjusted to a predetermined composition by a converter and secondary refining may be used as a slab by continuous casting, or may be refined in an electric furnace,
A steel smelted by AD (vacuum-arc degassing) or VOD (vacuum-oxygen decarburization) may be formed into a slab by ingot cracking and rolling after ingot casting.
【0027】このようにして得られたスラブは、常法に
従って熱間圧延、冷間圧延等が施され、所定の厚さのF
e−Ni合金板とされる。具体的には、例えば、スラブ
を熱間圧延、酸洗、冷間圧延、焼鈍、冷間仕上圧延して
製品とする。The slab thus obtained is subjected to hot rolling, cold rolling, etc., according to a conventional method, so that a slab having a predetermined thickness is obtained.
It is an e-Ni alloy plate. Specifically, for example, the slab is hot rolled, pickled, cold rolled, annealed, and cold finish rolled to obtain a product.
【0028】[0028]
【実施例】電気炉およびVAD炉(真空−電弧脱ガス
炉)およびVOD炉(真空−酸素脱炭炉)を用い、C:
0.005%以下、Si:0.4%以下、Mn:0.1
〜1%、Ni:30〜45%、Cr:0.1%以下、
O:0.003%以下、S:0.005%以下、N:
0.005%以下、Al:0.002〜0.03%、残
部Feおよび不可避不純物からなるFe−Ni系合金を
溶解して成分調整を行い、鋳造して鋼塊を得た。この鋼
塊に対し、熱間圧延、酸洗、冷間圧延、焼鈍、冷間仕上
圧延の工程を施し、板厚0.13mmのシャドウマスク
用鋼板とした。この際に、脱酸剤の量、スラグ組成、精
錬条件等を調整することにより、酸化物系介在物の組成
を種々変化させた。EXAMPLE An electric furnace, a VAD furnace (vacuum-arc degassing furnace) and a VOD furnace (vacuum-oxygen decarburizing furnace) were used.
0.005% or less, Si: 0.4% or less, Mn: 0.1
11%, Ni: 30 to 45%, Cr: 0.1% or less,
O: 0.003% or less, S: 0.005% or less, N:
0.005% or less, Al: 0.002 to 0.03%, Fe-Ni-based alloy consisting of the balance Fe and unavoidable impurities was dissolved to adjust the components, and cast to obtain a steel ingot. The ingots were subjected to hot rolling, pickling, cold rolling, annealing, and cold finish rolling to obtain a 0.13 mm-thick steel sheet for a shadow mask. At this time, the composition of the oxide-based inclusions was variously changed by adjusting the amount of the deoxidizing agent, the slag composition, the refining conditions, and the like.
【0029】この鋼板から介在物測定用試料を採取し、
5g程度を10%Br2−メタノール溶液で溶解して酸
化物系介在物を抽出し、抽出後の酸化物系介在物を定量
して介在物中のMgO/Al2O3比、および酸化物系介
在物に占めるMgOおよびAl2O3以外の酸化物の割合
を求めた。A sample for inclusion measurement was collected from the steel sheet,
About 5 g is dissolved in a 10% Br 2 -methanol solution to extract oxide inclusions, determine the amount of the extracted oxide inclusions, determine the MgO / Al 2 O 3 ratio in the inclusions, The proportion of oxides other than MgO and Al 2 O 3 in the system inclusions was determined.
【0030】同時にこの鋼板をシャドウマスクにエッチ
ング穿孔を施し、穴形異常や線状欠陥等の不良率を調査
し、酸素換算による酸化物系介在物の量、介在物中のM
gO/Al2O3比、および酸化物系介在物に占めるMg
OおよびAl2O3以外の酸化物の割合に対応させて評価
を行った。その結果を表1に示す。At the same time, the steel plate was subjected to etching perforation in a shadow mask, the defect rate such as abnormal hole shape or linear defect was investigated, and the amount of oxide-based inclusions in terms of oxygen and the amount of M in the inclusions were determined.
gO / Al 2 O 3 ratio and Mg in oxide-based inclusions
The evaluation was made in accordance with the ratio of oxides other than O and Al 2 O 3 . Table 1 shows the results.
【0031】比較例1,2は酸化物系介在物量が酸素換
算で30ppmを超えているため、エッチング不良率が
高い例である。また、比較例3,4は酸化物系介在物量
が酸素換算で30ppm以下であるが、MgO/Al2
O3比が0.25以下のためエッチング不良率が高い例
である。さらに、比較例5,6は、酸化物系介在物量お
よびMgO/Al2O3比のいずれもが本発明の範囲を外
れるものであり、特にエッチング不良率が高い。Comparative Examples 1 and 2 are examples in which the rate of defective etching is high because the amount of oxide-based inclusions exceeds 30 ppm in terms of oxygen. In Comparative Examples 3 and 4, the amount of oxide-based inclusions was 30 ppm or less in terms of oxygen, but MgO / Al 2
This is an example in which the etching failure rate is high because the O 3 ratio is 0.25 or less. In Comparative Examples 5 and 6, both the amount of the oxide-based inclusions and the ratio of MgO / Al 2 O 3 are out of the range of the present invention, and the etching failure rate is particularly high.
【0032】これに対して、本発明の範囲内である実施
例1〜11はいずれも、エッチング不良率が低く、良好
なエッチング性が得られていることがわかる。中でもM
gO/Al2O3重量比率が0.4以上であり、かつMg
OおよびAl2O3以外の酸化物の割合が重量比で20%
以下である実施例1〜4、7〜9はいずれもエッチング
不良率が0であった。On the other hand, in Examples 1 to 11 which are within the scope of the present invention, it can be seen that the defective etching rate is low and good etching properties are obtained. Above all, M
gO / Al 2 O 3 weight ratio is 0.4 or more and Mg
20% by weight of oxides other than O and Al 2 O 3
The following Examples 1 to 4 and 7 to 9 all had an etching failure rate of 0.
【0033】[0033]
【表1】 [Table 1]
【0034】[0034]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
酸化物介在物の量をある程度低くした上で、その組成を
特定範囲に規定することにより、高精細度カラーテレビ
用およびパソコン用シャドウマスクに使用することがで
きる、エッチング穿孔性に優れたFe−Ni系合金板を
低コストで得ることができる。したがって、本発明を適
用することにより、酸化物系介在物を極端に低減するこ
となく、酸化物系介在物に起因する穴形異常や線状欠陥
等のエッチング不良を低減させることができ、低コスト
でありながら、エッチング穿孔の能力を著しく向上させ
ることができる。As described above, according to the present invention,
By reducing the amount of oxide inclusions to some extent and defining its composition in a specific range, it can be used for shadow masks for high-definition color televisions and personal computers, and has excellent etching piercing properties. A Ni-based alloy plate can be obtained at low cost. Therefore, by applying the present invention, it is possible to reduce etching defects such as hole-shaped abnormalities and linear defects caused by oxide-based inclusions without extremely reducing oxide-based inclusions. While at a cost, the ability to etch perforations can be significantly improved.
【図1】酸素換算の酸化物系介在物の量および酸化物系
介在物中のMgO/Al2O3重量比と、エッチング不良
率との関係を示す図。FIG. 1 is a graph showing the relationship between the amount of oxide-based inclusions in terms of oxygen, the weight ratio of MgO / Al 2 O 3 in oxide-based inclusions, and the etching failure rate.
【図2】Al2O3−MgO二元系状態図。FIG. 2 is an Al 2 O 3 —MgO binary system phase diagram.
【図3】従来のFe−Ni系合金鋼板中に存在する酸化
物系介在物の組成の領域を示すAl2O3−MnO3−S
iO2三元系状態図。FIG. 3 shows Al 2 O 3 —MnO 3 —S showing the region of the composition of oxide-based inclusions present in a conventional Fe—Ni-based alloy steel sheet.
iO 2 ternary phase diagram.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近藤 恒雄 東京都千代田区丸の内一丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 内野 知彦 東京都千代田区丸の内一丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 山本 彰 東京都千代田区丸の内一丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Tsuneo Kondo 1-2-1, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan Inside Nihon Kokan Co., Ltd. (72) Inventor Tomohiko Uchino 1-2-1, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, Japan (72) Inventor Akira Yamamoto 1-1-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Kokan Co., Ltd.
Claims (4)
0.003wt%以下であり、酸化物系介在物中のMg
O/Al2O3重量比率が0.25以上であることを特徴
とするエッチング穿孔性に優れたFe−Ni系合金板。1. The method according to claim 1, wherein the content of the oxide-based inclusion is 0.003 wt% or less in terms of oxygen, and the content of Mg in the oxide-based inclusion is
O / Al 2 O 3 Fe- Ni alloy plate having excellent etching perforated, wherein the weight ratio is 0.25 or more.
O3重量比率が0.4以上であることを特徴とする、請
求項1に記載のエッチング穿孔性に優れたFe−Ni系
合金板。2. MgO / Al 2 in the oxide-based inclusions
O 3 wherein the weight ratio is 0.4 or more, Fe-Ni alloy plate having excellent etching perforation of claim 1.
びAl2O3以外の酸化物の割合が重量比で20%以下で
あることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載
のエッチング穿孔性に優れたFe−Ni系合金板。3. The method according to claim 1, wherein the proportion of oxides other than MgO and Al 2 O 3 in the oxide-based inclusions is not more than 20% by weight. Fe-Ni alloy plate with excellent etching piercing property.
て酸化物系介在物のみ抽出し、その抽出物から金属元素
を定量分析することにより求められたものであることを
特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記
載のエッチング穿孔性に優れたFe−Ni系合金板。4. The ratio of oxide inclusions is determined by dissolving a sample, extracting only oxide inclusions, and quantitatively analyzing a metal element from the extract. The Fe-Ni-based alloy plate according to any one of claims 1 to 3, wherein the Fe-Ni-based alloy plate has excellent etching piercing properties.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9084666A JPH10259454A (en) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | Ferrum-nickel base alloy sheet excellent in etching pierceability |
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ID=13837046
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JP9084666A Pending JPH10259454A (en) | 1997-03-19 | 1997-03-19 | Ferrum-nickel base alloy sheet excellent in etching pierceability |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH10259454A (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1997
- 1997-03-19 JP JP9084666A patent/JPH10259454A/en active Pending
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