JPH10249663A - Vacuum suction table - Google Patents

Vacuum suction table

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JPH10249663A
JPH10249663A JP6329397A JP6329397A JPH10249663A JP H10249663 A JPH10249663 A JP H10249663A JP 6329397 A JP6329397 A JP 6329397A JP 6329397 A JP6329397 A JP 6329397A JP H10249663 A JPH10249663 A JP H10249663A
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closing
vacuum suction
suction table
closing body
magnet
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Ibiden Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum suction table that is excellent in working properties at the time of altering a suction area. SOLUTION: A table body 2 constituting a vacuum suction table 1 has a suction surface 3a for sucking a sucked work 5. Plural evacuating connective paths 7 are opened in this suction surface 3a. Each of blockers 14 blockades a part of these connective paths 7. These blockers 14 are made up of materials to be attracted to a magnet 15. Each of traveling spaces 13 is installed on these connective paths 7. Subsequently, each of these blockers 14 is stored in these traveling spaces 13 shiftably in an interval between both blockading and opening positions.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、真空吸着テーブル
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum suction table.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、フライス加工機等の各種加工機に
使用される真空吸着テーブルが知られている。図10,
11に、従来の真空吸着テーブル41の一例を示す。
2. Description of the Related Art Conventionally, vacuum suction tables used for various processing machines such as milling machines have been known. FIG.
FIG. 11 shows an example of a conventional vacuum suction table 41.

【0003】この真空吸着テーブル41を構成するテー
ブル本体42の上面は、被吸着物46を吸着するための
吸着面42aとなっている。テーブル本体42には多数
の真空引き用連通路43が形成されている。各連通路4
3の一端は、吸着面42aにおいて開口している。連通
路43の開口部には収容凹部44が形成されている。図
10では、収容凹部44は格子状にかつ等間隔に配列さ
れている。これらの収容凹部44には、連通路43を閉
塞する閉塞体としてのゴム栓45が嵌着可能である。そ
して、各連通路43の下側から真空引きをすることによ
り、被吸着物46が吸着面42aに吸着されるようにな
っている。
The upper surface of a table body 42 constituting the vacuum suction table 41 is a suction surface 42a for sucking an object 46 to be sucked. A large number of evacuation communication paths 43 are formed in the table body 42. Each communication passage 4
One end of 3 is open at the suction surface 42a. A housing recess 44 is formed in the opening of the communication passage 43. In FIG. 10, the accommodating recesses 44 are arranged in a grid and at equal intervals. A rubber plug 45 as a closing body that closes the communication passage 43 can be fitted into these housing recesses 44. Then, a vacuum is evacuated from the lower side of each communication passage 43, so that the adsorption object 46 is adsorbed on the adsorption surface 42a.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の真
空吸着テーブル41を使用する場合、被吸着物46の大
小に合わせて、吸着面42aの吸着エリアを変更したい
場合がある。そのためには、収容凹部44内に嵌着され
ているゴム栓45を一つ一つ穿り出したり、それらを一
つ一つ別の箇所に埋め込む作業が必要とされる。
When using this kind of vacuum suction table 41, it may be desired to change the suction area of the suction surface 42a according to the size of the object 46 to be sucked. For that purpose, it is necessary to pierce the rubber plugs 45 fitted in the accommodation recesses 44 one by one or to embed them in different places.

【0005】また、ゴム栓45の出し入れの際には、針
の使用によってゴム栓45に穴があくことからゴム栓4
5を定期的に更新する必要があり、さらにかかる作業は
ゴム栓45の保管場所を確保しながら行う必要がある。
When the rubber stopper 45 is taken in and out, a hole is formed in the rubber stopper 45 due to the use of a needle.
5 needs to be updated periodically, and furthermore, such work needs to be performed while securing a storage place for the rubber stopper 45.

【0006】しかしながら、上記のような作業は極めて
面倒であり、かつ時間がかかるものであったため、作業
性の悪化を招いていた。また、前記穿り出し作業は、ゴ
ム栓45が深く埋め込まれている場合や、ゴム栓45自
体が小さい場合にとくに面倒になることが指摘されてい
た。
[0006] However, the above-mentioned work is extremely troublesome and time-consuming, so that the workability is deteriorated. In addition, it has been pointed out that the piercing operation is particularly troublesome when the rubber stopper 45 is deeply embedded or when the rubber stopper 45 itself is small.

【0007】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、吸着エリアの変更を行う
際の作業性に優れた真空吸着テーブルを提供することに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a vacuum suction table which is excellent in workability when changing a suction area.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明では、被吸着物を吸着する
ための吸着面を有するテーブル本体と、その吸着面にお
いて開口する複数の真空引き用連通路と、前記連通路の
うちの少なくとも一部のものを閉塞する閉塞体とを備え
た真空吸着テーブルであって、前記閉塞体を磁石に対し
て吸着される材料または反発する材料からなるものと
し、同閉塞体を前記各連通路上に設けられた移動空間内
に閉塞位置と開放位置との間を移動可能に収容したこと
を特徴とする真空吸着テーブルをその要旨とする。
According to the first aspect of the present invention, there is provided a table body having an adsorbing surface for adsorbing an object to be adsorbed, and a table body having an opening at the adsorbing surface. A vacuum suction table comprising a vacuum communication path and a closing body for closing at least a part of the communication path, wherein the closing body is attracted to a magnet or repelled. The gist of the present invention is a vacuum suction table which is made of a material and wherein the closing member is movably accommodated between a closing position and an opening position in a moving space provided on each of the communication paths.

【0009】請求項2に記載の発明では、請求項1にお
いて、前記テーブル本体は上板及び下板からなり、前記
上板の接合面及び前記下板の接合面のうちの少なくとも
いずれかに前記移動空間の一部となる溝部を形成した。
[0009] In the invention described in claim 2, in claim 1, the table main body comprises an upper plate and a lower plate, and the table main body is provided on at least one of a joint surface of the upper plate and a joint surface of the lower plate. A groove which became a part of the moving space was formed.

【0010】請求項3に記載の発明では、請求項2にお
いて、前記各移動空間は前記吸着面に対して水平方向に
かつ平行に延びているとした。請求項4に記載の発明で
は、請求項1乃至3のいずれか1項において、前記閉塞
体を閉塞位置または開放位置に固定保持するための位置
決め凸部を前記移動空間内に形成した。
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect, each of the moving spaces extends horizontally and parallel to the suction surface. According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, a positioning projection for fixing and holding the closing body at a closing position or an opening position is formed in the moving space.

【0011】請求項5に記載の発明では、請求項1乃至
4のいずれか1項において、前記閉塞体は鉄製の円板状
閉塞片であるとした。以下、本発明の「作用」を説明す
る。
According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the closing body is a disc-shaped closing piece made of iron. Hereinafter, the “action” of the present invention will be described.

【0012】請求項1に記載の発明によると、移動空間
内にある閉塞体が閉塞位置に移動している連通路は閉塞
状態となるため、当該連通路がある領域では真空引きが
なされず、そこが非吸着エリアとなる。一方、移動空間
内にある閉塞体が開放位置に移動している連通路は開放
状態となるため、当該連通路がある領域では真空引きが
なされ、そこが吸着エリアとなる。この場合、磁石等を
用いて比較的簡単に閉塞体の位置を移動することができ
るため、従来と比べて吸着エリアの変更を行う際の作業
性が向上する。
According to the first aspect of the present invention, since the communication path in which the closing body in the moving space is moving to the closing position is in a closed state, the area where the communication path is located is not evacuated. This is the non-suction area. On the other hand, since the communication path in which the closing body in the moving space is moving to the open position is in an open state, the area where the communication path is located is evacuated, and that area becomes the suction area. In this case, since the position of the closing body can be relatively easily moved using a magnet or the like, the workability when changing the suction area is improved as compared with the related art.

【0013】請求項2に記載の発明によると、上体と下
板とを接合することにより、溝部のある箇所に簡単に移
動空間を形成することができる。また、この構成である
と、移動空間内への閉塞体の収容が簡単になる。従っ
て、製造の容易化を図ることができる。
According to the second aspect of the present invention, the moving space can be easily formed at a location where the groove is formed by joining the upper body and the lower plate. In addition, with this configuration, it is easy to accommodate the closing body in the moving space. Therefore, the production can be facilitated.

【0014】請求項3に記載の発明によると、磁石等を
吸着面に対して水平な特定方向に移動させることによ
り、開放位置にある各閉塞体を閉塞位置に移動させるこ
とができる。また、磁石等を前記特定方向とは反対方向
に移動させることにより、閉塞位置にある各閉塞体を開
放位置に移動させることができる。従って、より作業性
の向上を図ることができる。
According to the third aspect of the present invention, by moving the magnet or the like in a specific direction horizontal to the attraction surface, each closing body at the open position can be moved to the closing position. Further, by moving the magnet or the like in the direction opposite to the specific direction, each closed body at the closed position can be moved to the open position. Therefore, the workability can be further improved.

【0015】請求項4に記載の発明によると、位置決め
凸部があることにより、閉塞体が閉塞位置または開放位
置に固定保持される。このため、真空吸着テーブルに振
動や衝撃等が加わった場合であっても閉塞体の位置ずれ
を起こすことがなく、被吸着物の吸着状態も安定化す
る。
According to the fourth aspect of the present invention, the closing body is fixedly held at the closing position or the opening position due to the presence of the positioning projection. For this reason, even when vibrations, shocks, or the like are applied to the vacuum suction table, no displacement of the closing body occurs, and the suction state of the object to be suctioned is stabilized.

【0016】請求項5に記載の発明によると、鉄は廉価
かつ磁石に吸着等される好適な材料であることに加え、
形状的にも製造が容易であるため、真空吸着テーブルの
低コスト化及び製造容易化を図ることができる。
According to the fifth aspect of the present invention, iron is an inexpensive and preferable material which is adsorbed by a magnet, etc.
Since it is easy to manufacture even in shape, the cost and manufacturing of the vacuum suction table can be reduced.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態の真空吸着テーブル1を図1〜図7に基づき詳細に
説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A vacuum suction table 1 according to an embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS.

【0018】図1,図6等に示されるように、本実施形
態の真空吸着テーブル1を構成するテーブル本体2は、
上板3と下板4とを図示しない皿ねじを用いて接合する
ことによって形成されている。
As shown in FIGS. 1 and 6, etc., a table main body 2 constituting a vacuum suction table 1 of the present embodiment comprises:
The upper plate 3 and the lower plate 4 are formed by joining using flathead screws (not shown).

【0019】図2には、被吸着物5を吸着するための吸
着面3aである上板3の上面3aが示されている。図3
には、上板3の下面(即ち接合面)3bが示されてい
る。上板3には多数の貫通孔6が形成されている。これ
らの貫通孔6は上板3の上下面3a,3bを貫通してい
る。また、前記貫通孔6は格子状に規則的に配列されて
いる。なお、これらの貫通孔6は真空引き用連通路7の
一部を構成する。
FIG. 2 shows an upper surface 3a of the upper plate 3, which is an adsorption surface 3a for adsorbing the object 5 to be adsorbed. FIG.
Shows a lower surface (ie, a joint surface) 3b of the upper plate 3. Many through holes 6 are formed in the upper plate 3. These through holes 6 penetrate the upper and lower surfaces 3a and 3b of the upper plate 3. The through holes 6 are regularly arranged in a lattice. In addition, these through holes 6 constitute a part of the communication path 7 for evacuation.

【0020】上板3の下面3bには、多数の溝部8が従
来公知の溝加工により形成されている。これらの溝部8
は図3の左右方向に延びており、互いに平行関係にあ
る。また、溝部8の両端はラウンドした形状になってい
る。貫通孔6の開口部は溝部8の底面に位置している。
なお、図3に示されるように貫通孔6の開口部は図3の
右側寄りの位置にある。
On the lower surface 3b of the upper plate 3, a number of grooves 8 are formed by well-known groove processing. These grooves 8
Extend in the left-right direction of FIG. 3 and are in parallel with each other. Further, both ends of the groove 8 are rounded. The opening of the through hole 6 is located on the bottom surface of the groove 8.
As shown in FIG. 3, the opening of the through hole 6 is located at a position closer to the right side in FIG.

【0021】具体的寸法をいうと本実施形態では、上板
3の厚さが8.6mm、貫通孔6の長さが6.0mm、貫通
孔6の径が8.0mm、貫通孔6のピッチが40mm、溝部
8の深さが2.6mm、溝部8の長さが30mm、溝部8の
幅が12.5mmである。また、本実施形態の上板3は黒
鉛製である。黒鉛はそれほど硬質ではないので、切削刃
が吸着面3aに当たったときでも破損しにくいからであ
る。上板3に強度性が要求される場合には、例えば等方
性黒鉛を材料として選択すればよい。また、前記上板3
は磁石に対して吸着されない材質、または磁石に対して
反発する材質からなることが望ましい。その点、黒鉛は
かかる条件を満たしている。さらに、前記上板3の厚さ
(より詳細には溝部8の底部から吸着面3aまでの厚
さ)は、後述する閉塞体移動手段の磁力線を充分に透過
しうる厚さであることが好ましい。その点、この厚さを
6.0mm{=(上板3の厚さ)8.6mm−(溝部8の深
さ)2.6mm}に設定した本実施形態の上板3は、かか
る条件を満たしている。また、黒鉛自体も透磁性材料と
して好ましい。さらに、強度を高めた吸着テーブル1と
するには、例えばC/Cコンポジットや、C/Cコンポ
ジットと等方性黒鉛材料とを組み合わせた材料を用いる
ことがよい。
Specifically, in the present embodiment, the thickness of the upper plate 3 is 8.6 mm, the length of the through hole 6 is 6.0 mm, the diameter of the through hole 6 is 8.0 mm, and The pitch is 40 mm, the depth of the groove 8 is 2.6 mm, the length of the groove 8 is 30 mm, and the width of the groove 8 is 12.5 mm. Further, the upper plate 3 of the present embodiment is made of graphite. This is because graphite is not so hard, so that it is hard to break even when the cutting blade hits the suction surface 3a. When strength is required for the upper plate 3, for example, isotropic graphite may be selected as a material. The upper plate 3
Is preferably made of a material that is not attracted to the magnet or a material that repels the magnet. In that respect, graphite satisfies such conditions. Further, the thickness of the upper plate 3 (more specifically, the thickness from the bottom of the groove 8 to the suction surface 3a) is preferably a thickness that can sufficiently transmit the magnetic field lines of the closing body moving means described later. . In this regard, the upper plate 3 of the present embodiment in which this thickness is set to 6.0 mm {= (thickness of the upper plate 3) 8.6 mm- (depth of the groove 8) 2.6 mm}, Meets Graphite itself is also preferable as the magnetically permeable material. Furthermore, in order to make the adsorption table 1 with increased strength, for example, it is preferable to use a C / C composite or a material obtained by combining a C / C composite with an isotropic graphite material.

【0022】図4には、下板4の上面(即ち接合面)4
aが示されている。図5には、下板4の下面4bが示さ
れている。下板4にも多数の貫通孔9が形成されてい
る。これらの貫通孔9は下板4の上下面4a,4bを貫
通している。また、前記貫通孔9は格子状に規則的に配
列されている。なお、これらの貫通孔9は、前記上板3
側の貫通孔6とともに真空引き用連通路7を構成する。
下板4の下面4aには、真空引きの均一化を図るために
吸引用スリット10が格子状に形成されている。各貫通
孔9の開口は、ちょうど吸引用スリット10の交点に位
置している。本実施形態では、かかる吸引用スリット
(深さ10mm,幅8mm)10をスリット加工により形成
している。
FIG. 4 shows the upper surface (that is, the joining surface) 4 of the lower plate 4.
a is shown. FIG. 5 shows the lower surface 4 b of the lower plate 4. Many through holes 9 are also formed in the lower plate 4. These through holes 9 penetrate the upper and lower surfaces 4a, 4b of the lower plate 4. The through holes 9 are regularly arranged in a lattice. In addition, these through holes 9 are provided in the upper plate 3.
A communication passage 7 for evacuation is formed together with the through hole 6 on the side.
On the lower surface 4a of the lower plate 4, suction slits 10 are formed in a lattice shape in order to uniformize the evacuation. The opening of each through hole 9 is located exactly at the intersection of the suction slits 10. In the present embodiment, the suction slit (depth 10 mm, width 8 mm) 10 is formed by slit processing.

【0023】下板4の上面4aには、多数の溝部11が
溝加工により形成されている。これらの溝部11は図4
の左右方向に延びており、互いに平行関係にある。ま
た、溝部11の両端は、前記溝部8のときと同じくラウ
ンドした形状になっている。各溝部11の底面中央部に
は、略鼓状をした位置決め凸部12が形成されている。
これらの位置決め凸部12は、後述する閉塞体を閉塞位
置または開放位置に固定保持するための役割を果たす。
このような位置決め凸部12は、例えば前記溝部11の
両端部を中央部に比べてやや深めにざぐり加工すること
等により形成されることができる。また、溝部11の底
面において位置決め凸部12の右側には、貫通孔9が位
置している。
A large number of grooves 11 are formed on the upper surface 4a of the lower plate 4 by groove processing. These grooves 11 are shown in FIG.
And extend in the left-right direction, and are in parallel with each other. Further, both ends of the groove 11 have a round shape as in the case of the groove 8. At the center of the bottom surface of each groove 11, a substantially drum-shaped positioning projection 12 is formed.
These positioning projections 12 serve to fix and hold an after-mentioned closing body at a closing position or an open position.
Such positioning projections 12 can be formed by, for example, boring both ends of the groove 11 slightly deeper than the center. Further, a through hole 9 is located on the bottom surface of the groove 11 on the right side of the positioning protrusion 12.

【0024】具体的寸法をいうと本実施形態では、下板
4の厚さが7.3mm、貫通孔9の長さが4.0mm、貫通
孔9の径が8.0mm、貫通孔9のピッチが40mm、溝部
11の底面の深さが2.6mm、溝部11の長さが30m
m、溝部11の幅が12.5mm、位置決め凸部12の高
さが1.3mmである。また、本実施形態では下板4も等
方性黒鉛製である。
To be specific, in this embodiment, the thickness of the lower plate 4 is 7.3 mm, the length of the through hole 9 is 4.0 mm, the diameter of the through hole 9 is 8.0 mm, and The pitch is 40 mm, the depth of the bottom of the groove 11 is 2.6 mm, and the length of the groove 11 is 30 m.
m, the width of the groove 11 is 12.5 mm, and the height of the positioning projection 12 is 1.3 mm. In this embodiment, the lower plate 4 is also made of isotropic graphite.

【0025】図6(a)〜図6(c)には、上板3及び
下板4を接合してテーブル本体2を構成した状態が示さ
れている。その結果、上板3の下面3bに形成された溝
部8と、下板4の上面4aに形成された溝部11とによ
り、移動空間13がテーブル本体2内に区画される。こ
のようにしてできる移動空間13は、吸着面である上面
3aに対して水平方向にかつ平行に延びている。
FIGS. 6A to 6C show a state in which the table body 2 is formed by joining the upper plate 3 and the lower plate 4 together. As a result, the moving space 13 is defined in the table main body 2 by the groove 8 formed on the lower surface 3b of the upper plate 3 and the groove 11 formed on the upper surface 4a of the lower plate 4. The moving space 13 formed in this way extends horizontally and parallel to the upper surface 3a, which is the suction surface.

【0026】そして、各移動空間13内には、磁石に吸
着される材料からなる閉塞体14が収容されている。本
実施形態の閉塞体14は鉄製である。また、本実施形態
の閉塞体14は円形状をした板片である。その厚さは
1.0mm〜2.0mm程度、直径は10mm〜12mmとなっ
ている。この厚さ及び直径が大きすぎると重量が増加す
るため、移動しにくくなったり、移動に際して大きな磁
力が必要となる。一方、この厚さ及び直径が小さくなる
と、上記の問題は解消される反面、真空引き用連通路7
を確実に閉塞できなくなるおそれがある。
Each moving space 13 accommodates a closing member 14 made of a material that is attracted to the magnet. The closing body 14 of the present embodiment is made of iron. Further, the closing body 14 of the present embodiment is a plate piece having a circular shape. Its thickness is about 1.0 mm to 2.0 mm, and its diameter is 10 mm to 12 mm. If the thickness and the diameter are too large, the weight increases, so that it is difficult to move or a large magnetic force is required for the movement. On the other hand, when the thickness and the diameter are reduced, the above problem is solved, but the communication path 7 for evacuation is reduced.
May not be reliably closed.

【0027】上記のような円形状閉塞片14は、移動空
間13内において閉塞位置及び開放位置のうちのいずれ
かに配置される。図6において位置決め凸部12の右側
の位置のことを閉塞位置と呼び、位置決め凸部12の左
側の位置のことを開放位置と呼ぶ。ちなみに図6(a)
では、3つある円形状閉塞片14の全てが開放位置にあ
る。円形状閉塞片14が開放位置にある場合、それに対
応する連通路7は閉塞されることがなく開放状態とな
る。このため、当該連通路7がある領域では真空引きが
なされる。図6(b)では、3つある円形状閉塞片14
のうち右側のもの1つが閉塞位置に移行しつつあり、他
の2つが開放位置にある。従って、同図の右側に位置す
る連通路7については、円形状閉塞片14の移動が完了
すれば閉塞状態となる。このため、当該連通路7がある
領域では真空引きがなされない状態になる。なお、不使
用時のように真空引きが全く不要なときには、前記円形
状閉塞体14を全て閉塞位置に配置しておくこともでき
る。
The circular closing piece 14 as described above is disposed in the moving space 13 at one of a closed position and an open position. In FIG. 6, the position on the right side of the positioning protrusion 12 is called a closed position, and the position on the left side of the positioning protrusion 12 is called an open position. By the way, FIG. 6 (a)
In the figure, all three circular closing pieces 14 are in the open position. When the circular closing piece 14 is at the open position, the corresponding communication path 7 is opened without being closed. For this reason, vacuum evacuation is performed in a region where the communication path 7 is located. In FIG. 6B, three circular closing pieces 14 are provided.
One of the right ones is transitioning to the closed position and the other two are in the open position. Therefore, the communication path 7 located on the right side of the drawing is closed when the movement of the circular closing piece 14 is completed. For this reason, in a region where the communication path 7 is located, no vacuum is drawn. When no evacuation is required, as in the case of non-use, all the circular closing members 14 may be arranged at the closing position.

【0028】図6(a)の状態から図6(c)の状態に
変更する場合には、以下のようにすればよい。即ち、円
形状閉塞片14を移動させるために、例えば磁石15等
のような閉塞体移動手段を用いる。磁石15は永久磁石
であってもよく、電磁石であってもよい。この場合、磁
力の強い磁石15を用いることが好ましい。
When changing from the state shown in FIG. 6A to the state shown in FIG. 6C, the following operation may be performed. That is, in order to move the circular closing piece 14, a closing body moving means such as a magnet 15 is used. The magnet 15 may be a permanent magnet or an electromagnet. In this case, it is preferable to use a magnet 15 having a strong magnetic force.

【0029】まず、図6(b)に示されるように、開放
位置から閉塞位置へと移動させたい円形状閉塞片14の
上方に、磁石15を近づける。すると、円形状閉塞片1
4は磁石15の磁力によって吸い上げられ、上板3の溝
部8の底面に当接する。この状態で磁石15を右側方向
へ水平移動させる。すると、その磁石15の移動に伴
い、円形状閉塞片14も溝部8内を右側方向に摺動す
る。次いで、磁石15を遠ざけることにより、円形状閉
塞片14に作用する磁力の大きさを減少させる。その結
果、溝部8の底面から円形状閉塞片14が離れ、位置決
め凸部12の右側の位置(即ち閉塞位置)に落下する。
なお、閉塞状態から開放状態に変更するときには、これ
と逆の操作を行えばよい。また、磁石15の形状とし
て、吸着エリアの大小等に応じて、例えば棒状やへら状
等のものを使用してもよい。このような形状であると、
複数の閉塞片14を一挙に移動させることができて便利
なものとなる。
First, as shown in FIG. 6 (b), the magnet 15 is brought closer to above the circular closing piece 14 to be moved from the open position to the closed position. Then, the circular closing piece 1
4 is sucked up by the magnetic force of the magnet 15 and contacts the bottom surface of the groove 8 of the upper plate 3. In this state, the magnet 15 is horizontally moved rightward. Then, as the magnet 15 moves, the circular closing piece 14 also slides in the groove 8 to the right. Next, by moving the magnet 15 away, the magnitude of the magnetic force acting on the circular closing piece 14 is reduced. As a result, the circular closing piece 14 separates from the bottom surface of the groove 8 and falls to a position on the right side of the positioning protrusion 12 (that is, a closing position).
When changing from the closed state to the open state, the reverse operation may be performed. Further, as the shape of the magnet 15, for example, a bar-like or spatula-like one may be used according to the size of the attraction area. With such a shape,
The plurality of closing pieces 14 can be moved at once, which is convenient.

【0030】図7には、上記のようにして吸着面3a内
に吸着エリアを設定した状態が示されている。同図に示
された25個の真空引き用連通路7のうち16個は閉塞
され、残りの9個は開放されている。従って、後者9個
が属する領域が吸着エリアとなり、そこに被吸着物5を
載置すれば、真空引きによって発生する負圧により被吸
着物5が吸着されるようになっている。
FIG. 7 shows a state in which the suction area is set in the suction surface 3a as described above. Of the 25 evacuation communication paths 7 shown in the figure, 16 are closed, and the remaining 9 are open. Therefore, the area to which the latter nine belong is an adsorption area, and if the object 5 is placed thereon, the object 5 is adsorbed by the negative pressure generated by evacuation.

【0031】さて、以下に本実施形態において特徴的な
作用効果を列挙する。 (イ)この真空吸着テーブル1では、磁石15を用いて
比較的簡単に閉塞片14の位置を移動することができ
る。このため、ゴム栓を一つ一つ穿り出したりそれらを
一つ一つ別の箇所に埋め込む作業が必須であった従来と
比べて、作業が面倒なものではなくなり、かつ時間も短
縮される。従って、吸着エリアの変更を行う際の作業性
が確実に向上する。
Now, the characteristic effects of the present embodiment will be enumerated below. (A) In the vacuum suction table 1, the position of the closing piece 14 can be relatively easily moved using the magnet 15. For this reason, the work is not troublesome and the time is shortened as compared with the related art where it is necessary to pierce the rubber stoppers one by one or embed them in different places one by one. . Therefore, workability when changing the suction area is reliably improved.

【0032】(ロ)本実施形態のテーブル本体2は、上
板3と下板4とを接合することにより構成されている。
このため、両者3,4を接合することによって、溝部
8,11のある箇所に簡単に移動空間13を形成するこ
とができる。また、この構成であると、あらかじめいず
れかの溝部8,11内に閉塞片14を配置した状態で接
合をすれば足りるので、移動空間13内への閉塞片14
の収容が極めて簡単になる。従って、製造の容易化を図
ることができる。なお、上板3及び下板4に対する溝加
工自体が安価であることも、製造容易化及び低コスト化
の達成に貢献している。
(B) The table body 2 of this embodiment is constituted by joining the upper plate 3 and the lower plate 4 together.
Therefore, by joining the two 3 and 4, the moving space 13 can be easily formed at a position where the grooves 8 and 11 are present. In addition, with this configuration, it is sufficient to perform the joining in a state where the closing piece 14 is arranged in one of the groove portions 8 and 11 in advance.
Accommodation becomes extremely simple. Therefore, the production can be facilitated. In addition, the fact that the groove processing itself for the upper plate 3 and the lower plate 4 is inexpensive also contributes to facilitation of manufacture and achievement of cost reduction.

【0033】(ハ)本実施形態では、各移動空間13は
吸着面3aに対して水平方向にかつ平行に延びている。
それゆえ、図6では磁石15を吸着面3aに対して右側
方向に水平移動させることにより、開放位置にある閉塞
片14を閉塞位置に移動させることができる。また、磁
石15を左側方向に水平移動させることにより、閉塞位
置にある閉塞片14を開放位置に移動させることができ
る。従って、移動空間13の延びる方向が一定でない場
合に比べて、確実に作業性が向上する。つまり、磁石1
5を移動させるべき方向が把握しやすく、間違えにくい
からである。
(C) In the present embodiment, each moving space 13 extends horizontally and parallel to the suction surface 3a.
Therefore, in FIG. 6, the closing piece 14 at the open position can be moved to the closing position by moving the magnet 15 horizontally to the right with respect to the attraction surface 3a. Further, by horizontally moving the magnet 15 to the left, the closing piece 14 at the closing position can be moved to the opening position. Therefore, workability is reliably improved as compared with the case where the direction in which the moving space 13 extends is not constant. That is, magnet 1
This is because it is easy to grasp the direction in which 5 should be moved, and it is difficult to make a mistake.

【0034】(ニ)この実施形態では、移動空間13内
に位置決め凸部12が形成されているため、閉塞片14
が閉塞位置または開放位置に固定保持される。そのた
め、真空吸着テーブル1に振動や衝撃等が加わった場合
や、真空吸着テーブル1が傾斜した場合等であっても、
閉塞片14が水平方向に位置ずれすることがない。ゆえ
に、吸着エリアが不用意に変動してしまうこともなく、
被吸着物5の吸着状態も安定化する。
(D) In this embodiment, since the positioning projection 12 is formed in the moving space 13, the closing piece 14
Is fixedly held in the closed position or the open position. Therefore, even when vibrations or shocks are applied to the vacuum suction table 1 or when the vacuum suction table 1 is tilted,
The closing piece 14 is not displaced in the horizontal direction. Therefore, the suction area does not fluctuate carelessly,
The adsorption state of the object 5 is also stabilized.

【0035】(ホ)本実施形態では、鉄製の円板状閉塞
片14を閉塞体として用いている。鉄は廉価かつ磁石に
吸着される好適な材料であることに加え、形状的にも製
造が容易であるため、真空吸着テーブル1の低コスト化
及び製造容易化を図ることができる。また、円形状閉塞
体14に黄色か赤色等を着色しておけば、真空吸着テー
ブル1においてどの部分が吸着エリアであるかを一目で
確認することができ、極めて便利なものとなる。
(E) In this embodiment, the disc-shaped closing piece 14 made of iron is used as a closing body. Iron is an inexpensive and suitable material that can be adsorbed by a magnet, and is easy to manufacture in terms of shape, so that the vacuum suction table 1 can be reduced in cost and easily manufactured. If the circular closing member 14 is colored yellow or red, it is possible to confirm at a glance which part of the vacuum suction table 1 is the suction area, which is extremely convenient.

【0036】(ヘ)本実施形態では、閉塞片14が収容
空間13内に離脱不能に収容されているため、吸着エリ
アの変更作業を実施したときに閉塞片14をなくしてし
まう心配もない。このことも作業性の向上に寄与してい
る。
(F) In the present embodiment, since the closing piece 14 is irremovably housed in the housing space 13, there is no fear that the closing piece 14 will be lost when the suction area is changed. This also contributes to improvement in workability.

【0037】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ことはなく、例えば次のような形態に変更することが可
能である。 ◎ 図8に示される別例の真空吸着テーブル21は、テ
ーブル本体22が上板23及び下板24の接合によって
形成されている点において、前記実施形態と共通する。
ただし、この別例では上板23の側のみに溝部8が形成
されている。従って、かかる溝部8はいくぶん深くなっ
ている。それに対して下板24の側の対応する箇所には
溝部11は形成されておらず、そこには位置決め凸部1
2のみが突設されている。このような構成であると、下
板24がより単純な形状になるので、実施形態のときよ
りも製造が簡単になるという利点がある。
The present invention is not limited to the above embodiment, but can be changed to, for example, the following forms. The vacuum suction table 21 of another example shown in FIG. 8 is common to the above embodiment in that the table body 22 is formed by joining an upper plate 23 and a lower plate 24.
However, in this alternative example, the groove 8 is formed only on the upper plate 23 side. Therefore, such groove 8 is somewhat deeper. On the other hand, the groove 11 is not formed at the corresponding position on the side of the lower plate 24, and the positioning protrusion 1 is formed there.
Only 2 are protruding. With such a configuration, since the lower plate 24 has a simpler shape, there is an advantage that manufacturing is easier than in the embodiment.

【0038】◎ 閉塞体14は必ずしも円形状の板片で
なくてもよく、例えば三角形状や四角形状等の板片であ
ってもよい。ただし、実施形態のような円形状の閉塞片
14は、移動空間13内をよりスムーズに移動すること
ができ、かつ確実に閉塞位置または開放位置に保持され
ることができる。
The closing body 14 does not necessarily have to be a circular plate, but may be a triangular or square plate. However, the circular closing piece 14 as in the embodiment can move more smoothly in the moving space 13 and can be reliably held at the closing position or the open position.

【0039】◎ 閉塞体14は実施形態のような板片状
に限定されることはなく、その他の形状(例えば球状、
棒状、立方体状、円錐状など)であってもよい。例え
ば、図9に示される別例の真空吸着テーブル31では、
テーブル本体32が上板33及び下板34の接合によっ
て形成されている点において前記実施形態と共通する。
この別例においても、上板33の側のみに深い溝部8が
形成されている。下板34にはすり鉢状凹部35が形成
されている。前記すり鉢状凹部35は1つの移動空間1
3について2つ形成されている。両すり鉢状凹部35間
にある高い部分は、位置決め凸部36としての役割を果
たす。そして、移動空間13内には、閉塞体としての閉
塞用鋼球37が移動可能に収容されている。このような
構成であっても、磁石15の使用によって閉塞用鋼球3
7を簡単に移動させることができるため、可吸着エリア
の変更を行う際の作業性の向上を図ることができる。
The closing body 14 is not limited to a plate-like shape as in the embodiment, but may have other shapes (for example, spherical,
Rod-like, cubic, conical, etc.). For example, in another example of the vacuum suction table 31 shown in FIG.
The point that the table main body 32 is formed by joining the upper plate 33 and the lower plate 34 is common to the above embodiment.
Also in this alternative example, the deep groove 8 is formed only on the upper plate 33 side. A mortar-shaped recess 35 is formed in the lower plate 34. The mortar-shaped recess 35 has one moving space 1.
Two are formed for 3. The high portion between the mortar-shaped recesses 35 serves as a positioning projection 36. In the moving space 13, a closing steel ball 37 as a closing body is movably accommodated. Even with such a configuration, the closing steel ball 3
7 can be easily moved, so that the workability when changing the attractable area can be improved.

【0040】◎ 閉塞体14,37は磁石に対して吸着
等される材料からなるものであれば足りるため、必ずし
も鉄製でなくてもよい。例えば、鉄合金製であってもよ
く、さらには磁石でもよい。ただし、鉄製または鉄合金
製であるほうが、製造容易化及び低コスト化にとって好
都合である。なお、閉塞体14,37を磁石とした場合
には、単なる鉄の固まり等を閉塞体移動手段として用い
ることも可能である。
The closing members 14 and 37 are not necessarily made of iron, because they only need to be made of a material that can be attracted to the magnet. For example, it may be made of an iron alloy, or may be a magnet. However, those made of iron or an iron alloy are more advantageous for ease of production and cost reduction. When the closing members 14 and 37 are magnets, it is also possible to use a simple mass of iron or the like as the closing member moving means.

【0041】◎ 閉塞体14を磁石15に吸着すること
によりその位置を移動させていた前記実施形態の構成に
代え、閉塞体14を磁石15に対して反発させることに
よりその位置を移動させる構成することも勿論可能であ
る。ただし、前者のほうが後者に比べて装置を構成しや
すいという利点がある。
The position of the closing member 14 is moved by attracting the magnet 15 to the magnet 15, instead of moving the position of the closing member 14 to the magnet 15. Of course, it is possible. However, there is an advantage that the former is easier to configure the device than the latter.

【0042】◎ テーブル本体2,22,32は黒鉛製
に限定されることはなく、磁石に吸着等されないその他
の材料(樹脂等の有機材料、セラミックスや金属等の無
機材料など)からなるものであってもよい。
The table bodies 2, 22, and 32 are not limited to graphite, but may be made of other materials (such as organic materials such as resins and inorganic materials such as ceramics and metals) that are not attracted to magnets. There may be.

【0043】◎ 移動空間13の一部となる溝部11を
下板4の上面4aのみに形成した構成を採ることも可能
である。ここで、特許請求の範囲に記載された技術的思
想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術
的思想をその効果とともに以下に列挙する。
It is also possible to adopt a configuration in which the groove 11 which is a part of the moving space 13 is formed only on the upper surface 4a of the lower plate 4. Here, in addition to the technical ideas described in the claims, technical ideas grasped by the above-described embodiments are listed below together with their effects.

【0044】(1) 請求項1乃至4のいずれか1項に
おいて、前記閉塞体は円形状閉塞片であることを特徴と
する真空吸着テーブル。この構成であると、真空吸着テ
ーブルの製造容易化を図ることができる。
(1) The vacuum suction table according to any one of claims 1 to 4, wherein the closing body is a circular closing piece. With this configuration, manufacturing of the vacuum suction table can be facilitated.

【0045】(2) 請求項1乃至4のいずれか1項に
おいて、前記閉塞体は鉄製であることを特徴とする真空
吸着テーブル。この構成であると、真空吸着テーブルの
低コスト化を図ることができる。
(2) The vacuum suction table according to any one of claims 1 to 4, wherein the closing member is made of iron. With this configuration, the cost of the vacuum suction table can be reduced.

【0046】(3) 請求項2乃至5,技術的思想1,
2のいずれか1項において、前記テーブル本体を構成す
る上板は黒鉛製であることを特徴とする真空吸着テーブ
ル。この構成であると、切削刃が吸着面に当たったとき
に生じる破損を防止することができる。
(3) Claims 2 to 5, Technical idea 1,
3. The vacuum suction table according to claim 2, wherein an upper plate constituting the table main body is made of graphite. With this configuration, it is possible to prevent breakage that occurs when the cutting blade hits the suction surface.

【0047】(4) 請求項1乃至5,技術的思想1乃
至3のいずれか1項において、前記閉塞体は前記収容空
間内に離脱不能に収容されていることを特徴とする真空
吸着テーブル。この構成であると、吸着エリアの変更作
業を実施したときに閉塞体をなくしてしまう心配がない
ため、よりいっそう作業性を向上できる。
(4) The vacuum suction table according to any one of claims 1 to 5, wherein the closing body is irremovably housed in the housing space. With this configuration, there is no need to worry about losing the blockage when the work of changing the suction area is performed, so that the workability can be further improved.

【0048】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「磁石に対して吸着等される材料: 鉄や鉄合金ばかり
でなく磁石を含み、さらにはこれらを分散した樹脂材料
等も含む。」
The technical terms used in the present specification are defined as follows. "Materials that are attracted to magnets: not only iron and iron alloys but also magnets, and resin materials in which these are dispersed."

【0049】[0049]

【発明の効果】以上詳述したように、請求項1〜5に記
載の発明によれば、吸着エリアの変更を行う際の作業性
に優れた真空吸着テーブルを提供することができる。
As described above in detail, according to the first to fifth aspects of the present invention, it is possible to provide a vacuum suction table excellent in workability when changing the suction area.

【0050】請求項2に記載の発明によれば、製造容易
化を図ることができる。請求項3に記載の発明によれ
ば、より作業性の向上を図ることができる。請求項4に
記載の発明によれば、閉塞体の位置ずれが防止されるた
め、被吸着物の吸着状態の安定化を図ることができる。
According to the second aspect of the invention, manufacturing can be facilitated. According to the third aspect of the invention, workability can be further improved. According to the fourth aspect of the present invention, since the displacement of the closing body is prevented, the adsorption state of the adsorption target can be stabilized.

【0051】請求項5に記載の発明によれば、真空吸着
テーブルの低コスト化及び製造容易化を図ることができ
る。
According to the fifth aspect of the present invention, it is possible to reduce the cost and manufacture the vacuum suction table.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を具体化した一実施形態において、真空
吸着テーブルの要部を示す部分分解斜視図。
FIG. 1 is a partially exploded perspective view showing a main part of a vacuum suction table according to an embodiment of the present invention.

【図2】テーブル本体を構成する上板の平面図。FIG. 2 is a plan view of an upper plate constituting the table main body.

【図3】テーブル本体を構成する上板の底面図。FIG. 3 is a bottom view of an upper plate constituting the table main body.

【図4】テーブル本体を構成する下板の平面図。FIG. 4 is a plan view of a lower plate constituting the table main body.

【図5】テーブル本体を構成する下板の底面図。FIG. 5 is a bottom view of a lower plate constituting the table body.

【図6】(a)〜(c)は、閉塞体の位置変更を説明す
るための真空吸着テーブルの部分概略断面図。
FIGS. 6A to 6C are partial schematic cross-sectional views of a vacuum suction table for explaining a position change of a closing body.

【図7】吸着エリアを限定した場合の真空吸着テーブル
の平面図。
FIG. 7 is a plan view of a vacuum suction table when a suction area is limited.

【図8】別例の真空吸着テーブルの概略断面図。FIG. 8 is a schematic sectional view of another example of a vacuum suction table.

【図9】別例の真空吸着テーブルの概略断面図。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of another example of a vacuum suction table.

【図10】従来例の真空吸着テーブルの平面図。FIG. 10 is a plan view of a conventional vacuum suction table.

【図11】従来例の真空吸着テーブルの概略断面図。FIG. 11 is a schematic sectional view of a conventional vacuum suction table.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,21,31…真空吸着テーブル、2,22,32…
テーブル本体、3,23,33…上板、3a…吸着面、
3b…上板の接合面、4,24,34…下板、4a…下
板の接合面、5…被吸着物、7…真空引き用連通路、
8,11…溝部、12,36…位置決め凸部、13…移
動空間、14…閉塞体としての円板状閉塞片、15…磁
石、37…閉塞体としての閉塞用鋼球。
1, 21, 31 ... vacuum suction table, 2, 22, 32 ...
Table body, 3, 23, 33 ... upper plate, 3a ... suction surface,
3b: joining surface of upper plate, 4, 24, 34: joining surface of lower plate, 4a: joining surface of lower plate, 5: object to be adsorbed, 7: communication path for evacuation,
8, 11 ... groove, 12, 36 ... positioning projection, 13 ... moving space, 14 ... disk-shaped closing piece as closing body, 15 ... magnet, 37 ... closing steel ball as closing body.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被吸着物を吸着するための吸着面を有する
テーブル本体と、その吸着面において開口する複数の真
空引き用連通路と、前記連通路のうちの少なくとも一部
のものを閉塞する閉塞体とを備えた真空吸着テーブルで
あって、 前記閉塞体を磁石に対して吸着される材料または反発す
る材料からなるものとし、同閉塞体を前記各連通路上に
設けられた移動空間内に閉塞位置と開放位置との間を移
動可能に収容したことを特徴とする真空吸着テーブル。
1. A table body having an adsorption surface for adsorbing an object to be adsorbed, a plurality of evacuation communication passages opened on the adsorption surface, and at least a part of the communication passages being closed. A vacuum suction table including a closing body, wherein the closing body is made of a material that is attracted to a magnet or a material that repels the closing body, and the closing body is placed in a moving space provided on each of the communication paths. A vacuum suction table which is movably accommodated between a closed position and an open position.
【請求項2】前記テーブル本体は上板及び下板からな
り、前記上板の接合面及び前記下板の接合面のうちの少
なくともいずれかに前記移動空間の一部となる溝部を形
成したことを特徴とする請求項1に記載の真空吸着テー
ブル。
2. The table body includes an upper plate and a lower plate, and at least one of a joint surface of the upper plate and a joint surface of the lower plate has a groove formed as a part of the moving space. The vacuum suction table according to claim 1, wherein:
【請求項3】前記各移動空間は前記吸着面に対して水平
方向にかつ平行に延びていることを特徴とする請求項2
に記載の真空吸着テーブル。
3. The apparatus according to claim 2, wherein each of the moving spaces extends in a horizontal direction and in parallel with the suction surface.
Vacuum suction table according to 1.
【請求項4】前記閉塞体を閉塞位置または開放位置に固
定保持するための位置決め凸部を前記移動空間内に形成
したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に
記載の真空吸着テーブル。
4. A vacuum according to claim 1, wherein a positioning projection for fixing and holding said closing body at a closing position or an opening position is formed in said moving space. Suction table.
【請求項5】前記閉塞体は鉄製の円板状閉塞片であるこ
とを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の
真空吸着テーブル。
5. The vacuum suction table according to claim 1, wherein the closing body is a disc-shaped closing piece made of iron.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103551898A (en) * 2013-10-18 2014-02-05 昆山思拓机器有限公司 Magnetic vacuum absorption platform
KR102382815B1 (en) * 2021-01-29 2022-04-08 박정희 Laser Cutting Apparatus Having Hybrid Clamping System for Manufacturing Magnetic and Non-Magnetic Materials

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