JPH10233193A - 電子ビーム励起エキシマランプ - Google Patents
電子ビーム励起エキシマランプInfo
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- JPH10233193A JPH10233193A JP3190097A JP3190097A JPH10233193A JP H10233193 A JPH10233193 A JP H10233193A JP 3190097 A JP3190097 A JP 3190097A JP 3190097 A JP3190097 A JP 3190097A JP H10233193 A JPH10233193 A JP H10233193A
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- rare gas
- light
- pulse
- electron
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Abstract
(57)【要約】
【課題】電磁雑音電波の影響を少なくする構成の誘電体
バリア放電ランプの構成では、誘電体バリア放電ランプ
の全体の構成が大きくなり取り扱いが不便であった。ま
た、その作業中にエキシマ光を被照射物に照射して測定
器側と同期をとるなどの作業が極めて困難であった。 【解決手段】放電容器２と、この放電容器内に隣接して
設けた真空領域４および希ガス封入領域６と、前記真空
領域に設けた電子ビームを発生する電子ビーム発生手段
３と、この電子ビーム発生手段により発生した電子を通
過させる前記真空領域の一端に設けた電子用窓部５と、
前記希ガス封入領域の一端に設けた光用窓部７とを備え
た電子ビーム励起エキシマランプとして構成した。
バリア放電ランプの構成では、誘電体バリア放電ランプ
の全体の構成が大きくなり取り扱いが不便であった。ま
た、その作業中にエキシマ光を被照射物に照射して測定
器側と同期をとるなどの作業が極めて困難であった。 【解決手段】放電容器２と、この放電容器内に隣接して
設けた真空領域４および希ガス封入領域６と、前記真空
領域に設けた電子ビームを発生する電子ビーム発生手段
３と、この電子ビーム発生手段により発生した電子を通
過させる前記真空領域の一端に設けた電子用窓部５と、
前記希ガス封入領域の一端に設けた光用窓部７とを備え
た電子ビーム励起エキシマランプとして構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、真空紫外線を利
用し、塗料の硬化、プラスチックなどの部材の表面洗
浄、除電、殺菌を行い、さらに、分光測定用、光化学反
応用あるいはスペクトルスコピー計測用などの真空紫外
線光源に係り、特に、電子ビームによって希ガスを励起
させエキシマ分子を形成し、そのエキシマ分子から放射
される光を利用する電子ビーム励起エキシマランプに関
する。
用し、塗料の硬化、プラスチックなどの部材の表面洗
浄、除電、殺菌を行い、さらに、分光測定用、光化学反
応用あるいはスペクトルスコピー計測用などの真空紫外
線光源に係り、特に、電子ビームによって希ガスを励起
させエキシマ分子を形成し、そのエキシマ分子から放射
される光を利用する電子ビーム励起エキシマランプに関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、真空紫外線光源として、誘電体
バリア放電を利用してエキシマ分子を形成し、そのエキ
シマ分子から放射される光を取り出す誘導体バリア放電
ランプ装置が種々提案されている。
バリア放電を利用してエキシマ分子を形成し、そのエキ
シマ分子から放射される光を取り出す誘導体バリア放電
ランプ装置が種々提案されている。
【０００３】従来の誘電体バリア放電ランプ装置は、例
えば、特開平７−１６９４４４号に記載されているよう
に、誘電体バリア放電によってエキシマを形成するガス
が充填された放電容器と、そのガスを放電用ガスとした
誘電体バリア放電を行うための電極と、その誘電体バリ
ア放電によって発生した紫外線エキシマ光を取り出す窓
部材を有する誘電体バリア放電ランプと、その誘電体バ
リア放電ランプを収納するためのランプハウスと、商用
周波数を高周波に変換する周波数コンバータおよび、昇
圧トランスからなるその誘電体バリア放電を行うための
電源装置とから構成され、前記昇圧トランスを前記誘電
体バリア放電ランプの直近に設置するか、あるいはその
ランプハウス内に設置するように構成している。
えば、特開平７−１６９４４４号に記載されているよう
に、誘電体バリア放電によってエキシマを形成するガス
が充填された放電容器と、そのガスを放電用ガスとした
誘電体バリア放電を行うための電極と、その誘電体バリ
ア放電によって発生した紫外線エキシマ光を取り出す窓
部材を有する誘電体バリア放電ランプと、その誘電体バ
リア放電ランプを収納するためのランプハウスと、商用
周波数を高周波に変換する周波数コンバータおよび、昇
圧トランスからなるその誘電体バリア放電を行うための
電源装置とから構成され、前記昇圧トランスを前記誘電
体バリア放電ランプの直近に設置するか、あるいはその
ランプハウス内に設置するように構成している。
【０００４】そのため、昇圧トランスと誘電体バリア放
電ランプを結ぶ高電圧給電ケーブルが短くて済み、その
高電圧給電ケーブルの電気絶縁が容易になり、かつ、そ
の高電圧給電ケーブルを電磁的にシールドすることが容
易になるため、発生される電磁雑音電波の放射が少な
く、かつ安全性の高い誘電体バリア放電ランプとして使
用することができるものである。
電ランプを結ぶ高電圧給電ケーブルが短くて済み、その
高電圧給電ケーブルの電気絶縁が容易になり、かつ、そ
の高電圧給電ケーブルを電磁的にシールドすることが容
易になるため、発生される電磁雑音電波の放射が少な
く、かつ安全性の高い誘電体バリア放電ランプとして使
用することができるものである。
【０００５】また、従来の他の構成の誘電体バリア放電
ランプとして、図４で示すようなものも提案されてい
る。すなわち、誘電体バリア放電ランプ５０は、有底円
筒形の放電容器５１と、この放電容器５１の外周と内周
に設けた金属電極５２、５３と、前記放電容器５１内に
充満させた誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形
成する放電用ガス５５と、前記放電容器５１の一端に設
けた光の取り出し窓５６と、前記両金属電極５２、５３
に電圧をかける電源装置５４などから構成されている。
ランプとして、図４で示すようなものも提案されてい
る。すなわち、誘電体バリア放電ランプ５０は、有底円
筒形の放電容器５１と、この放電容器５１の外周と内周
に設けた金属電極５２、５３と、前記放電容器５１内に
充満させた誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形
成する放電用ガス５５と、前記放電容器５１の一端に設
けた光の取り出し窓５６と、前記両金属電極５２、５３
に電圧をかける電源装置５４などから構成されている。
【０００６】そして、前記放電用ガス５５は、キセノン
とクリプトンの混合ガスであり、その割合が、キセノン
／クリプトンが原子比で０．０１から０．１の範囲に規
定されている。この誘電体バリア放電ランプは、いわゆ
るヘッドオン型で、前記光取り出し窓５６側からエキシ
マ光を照射するものである。
とクリプトンの混合ガスであり、その割合が、キセノン
／クリプトンが原子比で０．０１から０．１の範囲に規
定されている。この誘電体バリア放電ランプは、いわゆ
るヘッドオン型で、前記光取り出し窓５６側からエキシ
マ光を照射するものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の誘電体
バリア放電ランプの構成では、次のような問題点が存在
していた。
バリア放電ランプの構成では、次のような問題点が存在
していた。
【０００８】 電磁雑音電波の影響を少なくする構成
の誘電体バリア放電ランプの構成では、誘電体バリア放
電ランプの全体の構成が大きくなり、それぞれの作業を
行う場合に扱いにくく不都合であった。また、ヘッドオ
ン型の誘電体バリア放電ランプの構成であっても、測定
する分野によっては、さらにその構成を小さくすること
が望まれていた。
の誘電体バリア放電ランプの構成では、誘電体バリア放
電ランプの全体の構成が大きくなり、それぞれの作業を
行う場合に扱いにくく不都合であった。また、ヘッドオ
ン型の誘電体バリア放電ランプの構成であっても、測定
する分野によっては、さらにその構成を小さくすること
が望まれていた。
【０００９】 誘電体バリア放電ランプは、可視光の
放射が著しく少なく、その誘電体バリア放電ランプが発
光しているかどうか作業者の目で判断することが極めて
困難であり、その作業中にエキシマ光を被照射物に照射
して測定器側と同期をとるなどの作業が極めて困難であ
った。
放射が著しく少なく、その誘電体バリア放電ランプが発
光しているかどうか作業者の目で判断することが極めて
困難であり、その作業中にエキシマ光を被照射物に照射
して測定器側と同期をとるなどの作業が極めて困難であ
った。
【００１０】この発明は、前述の問題点を解決すべく創
案されたもので、小型で作業性に優れ、作業中にランプ
が発光していることが確認できると共に、外部信号と同
期をとるなどの作業が容易にでき、さらに、容易に発光
スペクトルの強度を変化でき、かつ、照射光の幅を自在
に変更することが可能な電子ビーム励起エキシマランプ
を提供することを目的とする。
案されたもので、小型で作業性に優れ、作業中にランプ
が発光していることが確認できると共に、外部信号と同
期をとるなどの作業が容易にでき、さらに、容易に発光
スペクトルの強度を変化でき、かつ、照射光の幅を自在
に変更することが可能な電子ビーム励起エキシマランプ
を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、この発明は、放電容器と、この放電容器内に隣接し
て設けた真空領域および希ガス封入領域と、前記真空領
域に設けた電子ビームを発生する電子ビーム発生手段
と、この電子ビーム発生手段により発生した電子を通過
させる前記真空領域の一端に設けた電子用窓部と、前記
希ガス封入領域の一端に設けた光用窓部とを備えた電子
ビーム励起エキシマランプとして構成した。
め、この発明は、放電容器と、この放電容器内に隣接し
て設けた真空領域および希ガス封入領域と、前記真空領
域に設けた電子ビームを発生する電子ビーム発生手段
と、この電子ビーム発生手段により発生した電子を通過
させる前記真空領域の一端に設けた電子用窓部と、前記
希ガス封入領域の一端に設けた光用窓部とを備えた電子
ビーム励起エキシマランプとして構成した。
【００１２】また、前記電子ビーム発生手段は、電源装
置から送られてくるパルスにより、その発生させる電子
ビームをパルス的に駆動し、任意のタイミングで発光さ
せる構成とすることや、前記放電容器の周縁には、その
発生した電子ビームの方向を偏向する偏向手段を設る構
成としても構わない。
置から送られてくるパルスにより、その発生させる電子
ビームをパルス的に駆動し、任意のタイミングで発光さ
せる構成とすることや、前記放電容器の周縁には、その
発生した電子ビームの方向を偏向する偏向手段を設る構
成としても構わない。
【００１３】さらに、前記電子ビーム発生手段は、複数
を並設し、面発光させる構成とすることや、前記希ガス
封入領域には、その内部に封入した希ガスの種類を置換
する置換手段を接続する構成とすると都合が良い。
を並設し、面発光させる構成とすることや、前記希ガス
封入領域には、その内部に封入した希ガスの種類を置換
する置換手段を接続する構成とすると都合が良い。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
図面に基づいて説明する。図１は電子ビーム励起エキシ
マランプの全体を示す原理図、図２は第２の形態の電子
ビーム励起エキシマランプの全体を示す原理図、図３は
電子ビーム励起エキシマランプの応用例の原理を示す斜
視図である。
図面に基づいて説明する。図１は電子ビーム励起エキシ
マランプの全体を示す原理図、図２は第２の形態の電子
ビーム励起エキシマランプの全体を示す原理図、図３は
電子ビーム励起エキシマランプの応用例の原理を示す斜
視図である。
【００１５】図１で示すように、電子ビーム励起エキシ
マランプ１は、放電容器２と、この放電容器２の内部を
二分して構成した真空領域４と希ガス封入領域６と、前
記真空領域４内に設けた電子ビーム発生手段としての電
子銃３と、この電子銃３から発生された電子を通過させ
る電子用窓部５と、前記希ガス封入領域６の一端に設け
た光用窓部７と、前記電子銃に高圧パルスを与える電源
装置１０などから構成されている。
マランプ１は、放電容器２と、この放電容器２の内部を
二分して構成した真空領域４と希ガス封入領域６と、前
記真空領域４内に設けた電子ビーム発生手段としての電
子銃３と、この電子銃３から発生された電子を通過させ
る電子用窓部５と、前記希ガス封入領域６の一端に設け
た光用窓部７と、前記電子銃に高圧パルスを与える電源
装置１０などから構成されている。
【００１６】前記電源装置１０は、パルスジェネレータ
１０ａや、フライバックトランス１０ｂなどから構成さ
れている。そして、前記放電容器２の後部側に接続した
接続部（電極）１０ｃに任意のパルスが与えられると、
そのパルスによって前記した電子銃３が作動し、電子ビ
ームを発生する構成としている。
１０ａや、フライバックトランス１０ｂなどから構成さ
れている。そして、前記放電容器２の後部側に接続した
接続部（電極）１０ｃに任意のパルスが与えられると、
そのパルスによって前記した電子銃３が作動し、電子ビ
ームを発生する構成としている。
【００１７】前記放電容器２は、例えば、石英ガラス管
などの誘電体から構成され、前記真空領域４と、希ガス
封入領域６とを、仕切板８により仕切って構成されてい
る。そして、前記真空領域４は、後部側壁２ｂと電極封
止部分２ａおよび仕切板８で囲繞されて構成されてい
る。前記仕切板８の中央位置には、前記電子銃３から発
生された電子が通過できる貫通孔８ａが形成され、その
貫通孔８ａに、前記電子銃３で発生した電子が通過する
ことのできる電子用窓部５が設けられている。さらに、
前記希ガス封入領域６は、前記仕切板８と、前部側壁２
ｃおよび光窓用板９により囲繞されて構成されている。
そして、前記光窓用板９の中央位置には、貫通孔９ａが
形成され、その貫通孔９ａには、光用窓部７が設けられ
ている。
などの誘電体から構成され、前記真空領域４と、希ガス
封入領域６とを、仕切板８により仕切って構成されてい
る。そして、前記真空領域４は、後部側壁２ｂと電極封
止部分２ａおよび仕切板８で囲繞されて構成されてい
る。前記仕切板８の中央位置には、前記電子銃３から発
生された電子が通過できる貫通孔８ａが形成され、その
貫通孔８ａに、前記電子銃３で発生した電子が通過する
ことのできる電子用窓部５が設けられている。さらに、
前記希ガス封入領域６は、前記仕切板８と、前部側壁２
ｃおよび光窓用板９により囲繞されて構成されている。
そして、前記光窓用板９の中央位置には、貫通孔９ａが
形成され、その貫通孔９ａには、光用窓部７が設けられ
ている。
【００１８】前記電子用窓部５は、電子銃３で発生した
電子を通過できる部材、例えば、ＳｉＮ4 （ちっ化ケイ
素）や、ＳｉＣ（炭化ケイ素）や、Ｔｉ（チタン）など
の部材で形成されている。なお、この電子用窓部５は、
電子銃３で発生させた電子を適正に通過させ、その通過
した電子で後述する希ガスを励起させることができる部
材であれば他のものでも構わない。また、前記光窓用板
９の中心側に設けた光用窓部７は、ＭｇＦ2 （フッ化マ
グネシウム）や、ＣａＦ2 （フッ化カルシウム）などの
部材により構成されると都合が良い。
電子を通過できる部材、例えば、ＳｉＮ4 （ちっ化ケイ
素）や、ＳｉＣ（炭化ケイ素）や、Ｔｉ（チタン）など
の部材で形成されている。なお、この電子用窓部５は、
電子銃３で発生させた電子を適正に通過させ、その通過
した電子で後述する希ガスを励起させることができる部
材であれば他のものでも構わない。また、前記光窓用板
９の中心側に設けた光用窓部７は、ＭｇＦ2 （フッ化マ
グネシウム）や、ＣａＦ2 （フッ化カルシウム）などの
部材により構成されると都合が良い。
【００１９】また、前記希ガス封入領域６には、エキシ
マ発光のできる希ガスとして、例えば、Ｈｅ（ヘリウ
ム）、Ｎｅ（ネオン），Ａｒ（アルゴン）、Ｋｒ（クリ
プトン）、Ｘｅ（キセノン）、ＡｒＦ（フッ化アルゴ
ン），ＫｒＦ（フッ化クリプトン）、ＸｅＣｌ（塩化キ
セノン）、ＸｅＦ（フッ化キセノン）、および前記した
希ガスの混合ガスなどが封入されている。
マ発光のできる希ガスとして、例えば、Ｈｅ（ヘリウ
ム）、Ｎｅ（ネオン），Ａｒ（アルゴン）、Ｋｒ（クリ
プトン）、Ｘｅ（キセノン）、ＡｒＦ（フッ化アルゴ
ン），ＫｒＦ（フッ化クリプトン）、ＸｅＣｌ（塩化キ
セノン）、ＸｅＦ（フッ化キセノン）、および前記した
希ガスの混合ガスなどが封入されている。
【００２０】したがって、電子銃３から発生した電子が
真空領域４で加速されてその電子用窓部５を通過する
と、その電子が希ガスを励起させエキシマ発光が発生
し、前記光用窓部７から真空紫外線エキシマ光が取り出
される。
真空領域４で加速されてその電子用窓部５を通過する
と、その電子が希ガスを励起させエキシマ発光が発生
し、前記光用窓部７から真空紫外線エキシマ光が取り出
される。
【００２１】なお、真空紫外線エキシマ光は、電源装置
１０のパルスの発信により任意の時間で取り出すことが
可能となるため、真空紫外線エキシマ光を照射して測定
する側の測定器と同期が確実にとれ、外部信号と同期が
容易にとることが可能となる。
１０のパルスの発信により任意の時間で取り出すことが
可能となるため、真空紫外線エキシマ光を照射して測定
する側の測定器と同期が確実にとれ、外部信号と同期が
容易にとることが可能となる。
【００２２】また、図１で示すように、前記希ガスが封
入されている位置には、外部からその希ガスを置換でき
る置換手段１５が接続可能に構成されると都合が良い。
すなわち、前記置換手段１５は、各希ガスを密閉した希
ガスボンベ１５ａと、これら希ガスボンベ１５ａを接続
する接続パイプ１５ｂおよび各バルブ１５ｃと、前記接
続パイプ１５ｂの所定位置に前記バルブ１５ｃを介して
接続した真空ポンプ１５ｅと、前記接続パイプ１５ｂに
接続した圧力計１５ｄなどから構成されている。そし
て、前記接続パイプ１５ｂの先端側を前記希ガス封入領
域６に接続する構成としている。前記した置換手段１５
により希ガスの種類を交換することで、真空紫外線エキ
シマ光の単色光の選択が容易にできる。
入されている位置には、外部からその希ガスを置換でき
る置換手段１５が接続可能に構成されると都合が良い。
すなわち、前記置換手段１５は、各希ガスを密閉した希
ガスボンベ１５ａと、これら希ガスボンベ１５ａを接続
する接続パイプ１５ｂおよび各バルブ１５ｃと、前記接
続パイプ１５ｂの所定位置に前記バルブ１５ｃを介して
接続した真空ポンプ１５ｅと、前記接続パイプ１５ｂに
接続した圧力計１５ｄなどから構成されている。そし
て、前記接続パイプ１５ｂの先端側を前記希ガス封入領
域６に接続する構成としている。前記した置換手段１５
により希ガスの種類を交換することで、真空紫外線エキ
シマ光の単色光の選択が容易にできる。
【００２３】つぎに、この発明の第２の実施の態様を図
２に基づいて説明する。図２で示すように、電子ビーム
励起エキシマランプ２１は、放電容器２２と、この放電
容器２２の内部を二分して構成した真空領域２４と希ガ
ス封入領域２６と、前記真空領域２４内に設けた電子ビ
ーム発生手段としての電子銃２３と、この電子銃２３か
ら発生された電子を通過させる電子用窓部２５と、前記
希ガス封入領域２６の一端に設けた光用窓部２７と、前
記希ガス封入領域２６の外周に設けた偏向装置３６と、
前記電子銃に高圧パルスを与える電源装置３０などから
構成されている。
２に基づいて説明する。図２で示すように、電子ビーム
励起エキシマランプ２１は、放電容器２２と、この放電
容器２２の内部を二分して構成した真空領域２４と希ガ
ス封入領域２６と、前記真空領域２４内に設けた電子ビ
ーム発生手段としての電子銃２３と、この電子銃２３か
ら発生された電子を通過させる電子用窓部２５と、前記
希ガス封入領域２６の一端に設けた光用窓部２７と、前
記希ガス封入領域２６の外周に設けた偏向装置３６と、
前記電子銃に高圧パルスを与える電源装置３０などから
構成されている。
【００２４】前記放電容器２２内は、真空領域２４と希
ガス封入領域２６が、仕切板３８および、その仕切板３
８の中央側に形成した貫通孔３８ａに設けた電子用窓部
３５により仕切られる構成としている。そして、前記希
ガス封入領域２６は、前記電子用窓部３５を通過して来
た電子の方向を上下左右に移動させる空間的広さを備え
ており、内部にはエキシマ発光のできる希ガスとして、
例えば、Ｈｅ（ヘリウム）、Ｎｅ（ネオン），Ａｒ（ア
ルゴン）、Ｋｒ（クリプトン）、Ｘｅ（キセノン）、Ａ
ｒＦ（フッ化アルゴン），ＫｒＦ（フッ化クリプト
ン）、ＸｅＣｌ（塩化キセノン）、ＸｅＦ（フッ化キセ
ノン）、および前記した希ガスの混合ガスなどが封入さ
れている。
ガス封入領域２６が、仕切板３８および、その仕切板３
８の中央側に形成した貫通孔３８ａに設けた電子用窓部
３５により仕切られる構成としている。そして、前記希
ガス封入領域２６は、前記電子用窓部３５を通過して来
た電子の方向を上下左右に移動させる空間的広さを備え
ており、内部にはエキシマ発光のできる希ガスとして、
例えば、Ｈｅ（ヘリウム）、Ｎｅ（ネオン），Ａｒ（ア
ルゴン）、Ｋｒ（クリプトン）、Ｘｅ（キセノン）、Ａ
ｒＦ（フッ化アルゴン），ＫｒＦ（フッ化クリプト
ン）、ＸｅＣｌ（塩化キセノン）、ＸｅＦ（フッ化キセ
ノン）、および前記した希ガスの混合ガスなどが封入さ
れている。
【００２５】また、前記希ガス封入領域２６は、前記仕
切板３８に対面する位置を光窓用板２９として形成し、
側壁２２ａの一端を前記支持板２８に支持させて形成し
ている。前記光窓用板２９には、貫通孔２９ａが形成さ
れ、その貫通孔２９ａに光用窓部２７が設けられ、前記
電子用窓２８を通過した電子により励起する真空紫外線
エキシマ光を通過させ構成としている。
切板３８に対面する位置を光窓用板２９として形成し、
側壁２２ａの一端を前記支持板２８に支持させて形成し
ている。前記光窓用板２９には、貫通孔２９ａが形成さ
れ、その貫通孔２９ａに光用窓部２７が設けられ、前記
電子用窓２８を通過した電子により励起する真空紫外線
エキシマ光を通過させ構成としている。
【００２６】前記偏向装置３６は、前記希ガス封入領域
２６の側壁２２ａの基端側に偏向コイル３６ａが設けら
れており、この偏向コイル３６ａに電流を流すことで磁
界を発生させ、その磁界により、電子を上下左右に偏向
させる構成としている。
２６の側壁２２ａの基端側に偏向コイル３６ａが設けら
れており、この偏向コイル３６ａに電流を流すことで磁
界を発生させ、その磁界により、電子を上下左右に偏向
させる構成としている。
【００２７】なお、前記電源装置３０は、パルスジェネ
レータ３０ａ、フライバックトランス３０ｂなどから構
成されており、高圧パルスを前記した電子銃３３に供給
することで電子銃３３から電子を発生させている。
レータ３０ａ、フライバックトランス３０ｂなどから構
成されており、高圧パルスを前記した電子銃３３に供給
することで電子銃３３から電子を発生させている。
【００２８】したがって、電源装置３０によりパルスが
供給され、電子銃２３から発生した電子が真空領域２４
で加速されてその電子用窓部２５を通過すると、その電
子が偏向装置３６により振り回されて広げられ、希ガス
を励起させるため、光用窓部３７から面発光する真空紫
外線エキシマ光が取り出される。
供給され、電子銃２３から発生した電子が真空領域２４
で加速されてその電子用窓部２５を通過すると、その電
子が偏向装置３６により振り回されて広げられ、希ガス
を励起させるため、光用窓部３７から面発光する真空紫
外線エキシマ光が取り出される。
【００２９】なお、真空紫外線エキシマ光は、電源装置
のパルスの発信により任意の時間で取り出すことが可能
となるため、真空紫外線エキシマ光を照射して測定する
側の測定器と同期が確実にとることが可能となる。
のパルスの発信により任意の時間で取り出すことが可能
となるため、真空紫外線エキシマ光を照射して測定する
側の測定器と同期が確実にとることが可能となる。
【００３０】また、図２で示すように、前記希ガスが封
入されている位置には、外部からその希ガスを置換でき
る置換手段２５が接続可能に構成されていると都合が良
い。すなわち、前記置換手段２５は、各希ガスを密閉し
た希ガスボンベ２５ａと、接続パイプ２５ｂおよび各バ
ルブ２５ｃと、真空ポンプ２５ｅと、圧力計２５ｄなど
から構成されている。そして、前記接続パイプ１２の先
端側を前記希ガス封入領域２６の側壁２２ｃ側に接続す
る構成としている。
入されている位置には、外部からその希ガスを置換でき
る置換手段２５が接続可能に構成されていると都合が良
い。すなわち、前記置換手段２５は、各希ガスを密閉し
た希ガスボンベ２５ａと、接続パイプ２５ｂおよび各バ
ルブ２５ｃと、真空ポンプ２５ｅと、圧力計２５ｄなど
から構成されている。そして、前記接続パイプ１２の先
端側を前記希ガス封入領域２６の側壁２２ｃ側に接続す
る構成としている。
【００３１】なお、上記した構成の電子ビーム励起エキ
シマランプは、図３で示すように、希ガス封入領域４６
に、電子銃２３を有する真空領域２４の部分を複数並設
させ、前記希ガス封入領域４６の周縁に偏向装置３６を
設け、前記希ガス封入領域４６の大きさに合わせて設け
た仕切板４８と、光用窓部４９を備え、前記仕切り板４
８の所定位置に電子が通過できる貫通孔４８ａを形成す
ると共に、その貫通孔４８に電子用窓部（図２参照）を
設ける構成としても良い。このように、複数の電子銃２
３により発生する電子ビームを偏向装置３６で振り回す
ことで、取り出す真空紫外線エキシマ光をさらに大きな
面発光として取り出すことが可能となる。
シマランプは、図３で示すように、希ガス封入領域４６
に、電子銃２３を有する真空領域２４の部分を複数並設
させ、前記希ガス封入領域４６の周縁に偏向装置３６を
設け、前記希ガス封入領域４６の大きさに合わせて設け
た仕切板４８と、光用窓部４９を備え、前記仕切り板４
８の所定位置に電子が通過できる貫通孔４８ａを形成す
ると共に、その貫通孔４８に電子用窓部（図２参照）を
設ける構成としても良い。このように、複数の電子銃２
３により発生する電子ビームを偏向装置３６で振り回す
ことで、取り出す真空紫外線エキシマ光をさらに大きな
面発光として取り出すことが可能となる。
【００３２】また、図３の構成の電子ビーム励起エキシ
マランプも図２で示すような希ガスの置換装置２５を設
ける構成とすることで、エキシマ発光させる紫外線波長
の大きさを変換することができる。
マランプも図２で示すような希ガスの置換装置２５を設
ける構成とすることで、エキシマ発光させる紫外線波長
の大きさを変換することができる。
【００３３】
【発明の効果】この発明は上記したように構成している
ため、以下の優れた効果を奏する。 電子ビーム励起エキシマランプは、そのエキシマ発
光を、パルスにより発生する電子ビームにより行うため
小型に形成でき、設置位置に簡単に取り付けられるなど
作業性に優れている。また、電子ビームを発生させる電
源側にパルスを使用することにより、測定する側の装置
との同期が簡単に取ることが可能となり、測定作業が容
易となる。
ため、以下の優れた効果を奏する。 電子ビーム励起エキシマランプは、そのエキシマ発
光を、パルスにより発生する電子ビームにより行うため
小型に形成でき、設置位置に簡単に取り付けられるなど
作業性に優れている。また、電子ビームを発生させる電
源側にパルスを使用することにより、測定する側の装置
との同期が簡単に取ることが可能となり、測定作業が容
易となる。
【００３４】 電子ビーム励起エキシマランプは、電
子ビーム発生手段から発生した電子ビームを偏向装置に
より自在に偏向させることで、面発光の真空紫外線エキ
シマ光を照射させることが可能となる。また、電子ビー
ム発生手段を複数並設することでも、さらに大きな面発
光の真空紫外線エキシマ光を照射させることが可能とな
る。
子ビーム発生手段から発生した電子ビームを偏向装置に
より自在に偏向させることで、面発光の真空紫外線エキ
シマ光を照射させることが可能となる。また、電子ビー
ム発生手段を複数並設することでも、さらに大きな面発
光の真空紫外線エキシマ光を照射させることが可能とな
る。
【００３５】 電子ビーム励起エキシマランプは、封
入した希ガスを置換手段により取り替える構成とするこ
とで、所望の単色光を選択的に使用することができ、作
業の状況に対応して真空紫外線エキシマ光を使用するこ
とが可能となる。
入した希ガスを置換手段により取り替える構成とするこ
とで、所望の単色光を選択的に使用することができ、作
業の状況に対応して真空紫外線エキシマ光を使用するこ
とが可能となる。
【００３６】 電子ビーム励起エキシマランプは、電
子ビーム発生手段にパルスを供給することで、発生する
電子が希ガスを励起させて真空紫外線エキシマ光を照射
できるため、その真空紫外線エキシマ光の半値全幅が１
０ｎｍ〜２０ｎｍ前後になるために、立ち上がり立ち下
がりが急峻な波形となり、照射される被照射物あるいは
測定する試料への余分な放射スペクトルによる悪影響を
与えることが解消される。
子ビーム発生手段にパルスを供給することで、発生する
電子が希ガスを励起させて真空紫外線エキシマ光を照射
できるため、その真空紫外線エキシマ光の半値全幅が１
０ｎｍ〜２０ｎｍ前後になるために、立ち上がり立ち下
がりが急峻な波形となり、照射される被照射物あるいは
測定する試料への余分な放射スペクトルによる悪影響を
与えることが解消される。
【図１】この発明の電子ビーム励起エキシマランプの構
成を示す原理図である。
成を示す原理図である。
【図２】この発明の電子ビーム励起エキシマランプの第
２の実施態様の構成を示す原理図である。
２の実施態様の構成を示す原理図である。
【図３】この発明の電子ビーム励起エキシマランプの応
用例の構成を示す一部断面にした斜視図である。
用例の構成を示す一部断面にした斜視図である。
【図４】従来の誘電体バリア放電ランプの構成を示す原
理図である。
理図である。
１ 電子ビーム励起エキシマランプ ２ 放電容器 ２ａ 電極封止部分 ２ｂ 後部側壁 ２ｃ 前部側壁 ３ 電子銃（電子ビーム発生手段） ４ 真空領域 ５ 電子用窓部 ６ 希ガス封入領域 ７ 光用窓部 ８ 仕切板 ９ 光窓用板 １０ 電源装置 １０ａ パルスジェネレータ １０ｂ フライバックトランス １０ｃ 電極 １５ 置換手段 １５ａ 希ガスボンベ １５ｂ 接続パイプ １５ｃ バルブ １５ｄ 圧力計 １５ｅ 真空ポンプ
Claims (5)
- 【請求項１】放電容器と、この放電容器内に隣接して設
けた真空領域および希ガス封入領域と、前記真空領域に
設けた電子ビームを発生する電子ビーム発生手段と、こ
の電子ビーム発生手段により発生した電子を通過させる
前記真空領域の一端に設けた電子用窓部と、前記希ガス
封入領域の一端に設けた光用窓部とを備えたことを特徴
とする電子ビーム励起エキシマランプ。 - 【請求項２】前記電子ビーム発生手段は、電源装置から
送られてくるパルスにより、その発生させる電子ビーム
をパルス的に駆動し、任意のタイミングで発光させる請
求項１に記載の電子ビーム励起エキシマランプ。 - 【請求項３】前記放電容器の周縁には、その発生した電
子ビームの方向を偏向する偏向手段を設けた請求項１に
記載の電子ビーム励起エキシマランプ。 - 【請求項４】前記電子ビーム発生手段は、複数を並設
し、面発光させる請求項１、２または３に記載の電子ビ
ーム励起エキシマランプ。 - 【請求項５】前記希ガス封入領域には、その内部に封入
した希ガスの種類を置換する置換手段を接続する請求項
１、２、３または４に記載の電子ビーム励起エキシマラ
ンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3190097A JPH10233193A (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 電子ビーム励起エキシマランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3190097A JPH10233193A (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 電子ビーム励起エキシマランプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10233193A true JPH10233193A (ja) | 1998-09-02 |
Family
ID=12343892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3190097A Pending JPH10233193A (ja) | 1997-02-17 | 1997-02-17 | 電子ビーム励起エキシマランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10233193A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007018769A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Toshiba Corp | 紫外光源装置 |
| EP1794856A2 (en) * | 2004-08-30 | 2007-06-13 | Rutgers, The State University | Corona discharge lamps |
| JP2007522843A (ja) * | 2004-02-11 | 2007-08-16 | レスラー，バリー | 紫外線光源を使用した製品滅菌システム並びに方法 |
-
1997
- 1997-02-17 JP JP3190097A patent/JPH10233193A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007522843A (ja) * | 2004-02-11 | 2007-08-16 | レスラー，バリー | 紫外線光源を使用した製品滅菌システム並びに方法 |
| EP1794856A2 (en) * | 2004-08-30 | 2007-06-13 | Rutgers, The State University | Corona discharge lamps |
| EP1794856A4 (en) * | 2004-08-30 | 2008-01-09 | Univ Rutgers | CORONA DISCHARGE |
| JP2007018769A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Toshiba Corp | 紫外光源装置 |
| JP4568183B2 (ja) * | 2005-07-05 | 2010-10-27 | 株式会社東芝 | 紫外光源装置 |
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