JPH10227717A - Support device for horizontal vibrating table - Google Patents

Support device for horizontal vibrating table

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JPH10227717A
JPH10227717A JP9047128A JP4712897A JPH10227717A JP H10227717 A JPH10227717 A JP H10227717A JP 9047128 A JP9047128 A JP 9047128A JP 4712897 A JP4712897 A JP 4712897A JP H10227717 A JPH10227717 A JP H10227717A
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JP
Japan
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hydrostatic
hydrostatic bearings
bearing
horizontal
bearings
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Application number
JP9047128A
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Japanese (ja)
Inventor
Naotake Yasuyama
尚武 安山
Takahisa Shibata
孝久 柴田
Eiji Furuta
英二 古田
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Akashi Corp
Original Assignee
Akashi Corp
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Publication date
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Publication of JPH10227717A publication Critical patent/JPH10227717A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the overconstraint among hydrostatic bearings to each other, in a support device of a horizontal vibrating table which supports each overturning moment in the pitching and rolling directions, of the horizontal vibrating table, by plural hydrostatic bearings. SOLUTION: This support device comprises the hydrostatic bearings P1 , P2 for supporting the overturning moment in a pitching direction, besides of the hydrostatic bearings R1 -R4 , between a horizontal vibrating table and a base, and the feedback systems of the hydrostatic bearings are connected with each other, so that the feedback amount corresponding to the correlation of the pistons, is to be added. Thereby the overturning moment of the horizontal vibrating table can be supported without generating the overconstraint among the hydrostatic bearings R1 -R4 , P1 and P2 .

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、水平振動台の支持
装置に関し、特に水平加振時のピッチングおよびローリ
ング方向の転倒モーメントを支持可能な水平振動台の支
持装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a supporting device for a horizontal shaking table, and more particularly to a supporting device for a horizontal shaking table capable of supporting a tilting moment in the pitching and rolling directions during horizontal vibration.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば人工衛星の水平振動試験システム
のように、大型の水平振動台の上に大型の供試体(人工
衛星)を搭載して水平方向に振動を加える試験システム
では、供試体の重心が高いと非常に大きな転倒モーメン
トが発生する。これを支えるために、従来、図3,4に
示すように、図5に示すような静圧軸受(この静圧軸受
については後に詳述する)を4個、水平振動台2と基盤
010との間に設置している。
2. Description of the Related Art In a test system in which a large test object (artificial satellite) is mounted on a large horizontal shaking table and vibrates in a horizontal direction, such as a horizontal vibration test system for an artificial satellite, for example, If the center of gravity is high, a very large overturning moment occurs. To support this, conventionally, as shown in FIGS. 3 and 4, four hydrostatic bearings (the hydrostatic bearings will be described in detail later) as shown in FIG.
Installed between 010.

【0003】すなわち、等容量の各静圧軸受(上記構成
の静圧軸受を配設位置に応じて、R1〜R4の符号を付
し、以下静圧軸受R1〜R4と呼ぶ)が、水平振動台05の
下側に、正方形状に配設されていて、矢印02方向のロー
リングを静圧軸受R3,R4で支持させ、矢印03方向のピ
ッチングを静圧軸受R1,R4で支持させるようになって
いる(反対方向のローリングおよびピッチングについて
は、それぞれ静圧軸受R1,R2およびR2,R3が支持す
る)。矢印01は水平加振軸(加振方向)を示している。
また図3中の符号06は供試体,矢印07は倒れ方向をそれ
ぞれ示している。ここで、静圧軸受について、図5によ
り説明する。
[0003] That is, each of the hydrostatic bearings having the same capacity (the reference numerals R 1 to R 4 are assigned in accordance with the positions of the hydrostatic bearings having the above-described configuration, and hereinafter referred to as hydrostatic bearings R 1 to R 4 ). Are arranged below the horizontal shaking table 05 in a square shape. The rolling in the direction of arrow 02 is supported by the hydrostatic bearings R 3 and R 4 , and the pitching in the direction of arrow 03 is performed by the hydrostatic bearings R 1 and R 1 . and it is adapted to support at R 4 (for the opposite direction of rolling and pitching, a hydrostatic bearing R 1, R 2 and R 2, R 3 are each supported). Arrow 01 indicates the horizontal vibration axis (the vibration direction).
In addition, reference numeral 06 in FIG. 3 indicates a specimen, and arrow 07 indicates a falling direction. Here, the hydrostatic bearing will be described with reference to FIG.

【0004】この静圧軸受は内部凹所62をもつ可動体6
と、内部凹所62に嵌入された上方パッド7と、上方パッ
ド7に一端部をナット81を介して取付けられて内部凹所
62からピストン20(詳細は後述)を貫通して下方へ延在
するプリロードボルト8と、下方パッド9と、内部凹所
62の底面62aと上方パッド7の下面に突設されたランド
73a,73bとで形成される第1ポケット10とをそなえる
とともに、ポケット10に圧油供給源11からの圧油を供給
する油路82,91aならびに絞り72をもつ圧油通路71がそ
れぞれ設けられている。
[0004] This hydrostatic bearing has a movable body 6 having an internal recess 62.
And an upper pad 7 fitted into the inner recess 62, and one end of the upper pad 7
A preload bolt 8 extending downward from 62 through a piston 20 (described in detail below), a lower pad 9 and an internal recess
Land protruding from bottom surface 62a of 62 and lower surface of upper pad 7
A first pocket 10 formed by the pressure oil supply source 11 is provided in the pocket 10 and a pressure oil passage 71 having a throttle 72 is provided in the pocket 10. ing.

【0005】同様にして、ピストン20の下面にも第2ポ
ケット92が設けられてポケット92に油圧供給源11からの
圧油を供給するために油路94および絞り94aが設けられ
ている。
Similarly, a second pocket 92 is also provided on the lower surface of the piston 20, and an oil passage 94 and a throttle 94a are provided for supplying pressure oil from the hydraulic pressure supply source 11 to the pocket 92.

【0006】ピストン20は、可動体6のそのほかの部分
とは別の部材から構成されるとともに、可動体6に形成
された開口部65に突設されている一対の突起64によって
開口部65内を上下動可能に案内される一方、外周縁にフ
ランジ部20aが突設され、フランジ部20aの上下面と突
起64, 64との間で油室66a,66bを形成している。
The piston 20 is formed of a member different from the other parts of the movable body 6, and is formed inside the opening 65 by a pair of projections 64 projecting from the opening 65 formed in the movable body 6. Is vertically movably guided, and a flange portion 20a is protruded from the outer peripheral edge to form oil chambers 66a, 66b between the upper and lower surfaces of the flange portion 20a and the projections 64, 64.

【0007】油室66a,66bにそれぞれ連通する一対の
圧油供給通路67a, 67bは電気油圧式サーボ弁21に接続
されている。符号22はピストン20の可動体6に対する相
対変位量を検知する変位検出器を示している。また符号
24は油室66a,66bにサーボ弁21を介して圧油を供給す
るための油圧ユニットを示していて、サーボ弁21には変
位検出器22の信号が、比較器27およびサーボ増幅器29を
介して伝達されるよう構成されている。符号26はピスト
ン20の位置設定信号の入力手段としてのポテンショメー
タを、また符号28はサーボ増幅器を示している。
A pair of pressure oil supply passages 67a, 67b communicating with the oil chambers 66a, 66b are connected to the electrohydraulic servo valve 21. Reference numeral 22 denotes a displacement detector for detecting a relative displacement amount of the piston 20 with respect to the movable body 6. Also sign
Reference numeral 24 denotes a hydraulic unit for supplying hydraulic oil to the oil chambers 66a and 66b via the servo valve 21. The servo valve 21 receives a signal from the displacement detector 22 via a comparator 27 and a servo amplifier 29. It is configured to be transmitted. Reference numeral 26 denotes a potentiometer as input means for a position setting signal of the piston 20, and reference numeral 28 denotes a servo amplifier.

【0008】上述の構成により、可動体6が油室66a,
66bとにそれぞれ供給される圧油の圧力差に応じて上下
方向に移動し、その結果、ピストン20の相対位置が調節
され、これにより支持面61と取付け面2との間隔調整が
行なわれる。ここで、油室66aと66bとに対する供給圧
油の制御は、ポテンショメータ26を操作してサーボ弁21
を制御することによって行なわれる。
[0008] With the above configuration, the movable body 6 is provided with the oil chamber 66a,
The piston 20 moves in the vertical direction in accordance with the pressure difference between the pressure oil supplied to each of the pistons 66b and 66b. As a result, the relative position of the piston 20 is adjusted, whereby the distance between the support surface 61 and the mounting surface 2 is adjusted. Here, the supply pressure oil to the oil chambers 66a and 66b is controlled by operating the potentiometer 26 and the servo valve 21.
Is controlled by controlling

【0009】また、供給圧油の制御により静圧軸受の剛
性ダンピング性能の調整を行なうことができ、さらに固
有振動数や応答レベルの調節も行なうことができる。そ
して、サーボ弁21によりピストン20の位置が制御される
とともに、ピストン20の位置を検出する変位検出器22の
信号がフィードバック信号として加えられているので、
ベースパッド9などの固定部からの外乱振動が可動体6
の制御にフィードバックされて外乱振動に対する免振効
果をもたせることができる。
Further, the rigid damping performance of the hydrostatic bearing can be adjusted by controlling the supply pressure oil, and the natural frequency and the response level can also be adjusted. Since the position of the piston 20 is controlled by the servo valve 21 and the signal of the displacement detector 22 for detecting the position of the piston 20 is added as a feedback signal,
Disturbance vibration from a fixed portion such as the base pad 9 causes the movable body 6
Is fed back to the control of (1), and a vibration isolation effect against disturbance vibration can be provided.

【0010】つまり、変位検出器22,比較器27,サーボ
弁21とからなるフィードバック制御系により、支持面61
の位置(取付け面2に対する相対位置)を取付け面2等
の振動などの外乱に対して所定の目標値に保持する作用
が行なわれるようになっていて、取付け面2を振動試験
装置の基盤に据付けるとともに支持面61上に水平振動台
が取付けられる。
That is, the feedback control system including the displacement detector 22, the comparator 27, and the servo valve 21 provides the support surface 61
The position (relative position with respect to the mounting surface 2) is maintained at a predetermined target value against disturbances such as vibrations of the mounting surface 2 and the like. At the same time, the horizontal vibration table is mounted on the support surface 61.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、水平振動試
験の場合、供試体の重心が高いと、加振軸方向に倒れよ
うとするピッチングモーメントは非常に大きく、加振軸
の直角方向へ倒れようとするローリングモーメントの2
〜3倍くらい(例えばローリングモーメント40ton f
・m,ピッチングモーメント100ton f・m)になる。
By the way, in the case of the horizontal vibration test, if the center of gravity of the test specimen is high, the pitching moment for falling in the direction of the excitation axis is very large, and the specimen may fall in the direction perpendicular to the excitation axis. Of the rolling moment
About 3 times (for example, rolling moment 40ton f
M, pitching moment 100tonfm).

【0012】なお上述のような、4基の等容量の静圧軸
受を正方形状に配設した水平振動台支持装置では、ロー
リングモーメントの支持能力(支持容量)とピッチング
モーメントの支持能力(支持容量)とは等しく且つ各モ
ーメントは2対の静圧軸受で支持されるようになってい
るため、各静圧軸受の容量を、ローリングモーメント
(上記の例では40ton f・m)を基準に選定したと
き、ピッチングモーメント(上記の例では100ton f
・m)を支持するには、60ton f・m(1対の静圧軸受
については30ton f・m)不足することとなる。
In the above-described horizontal shaking table supporting apparatus in which four equal-capacity hydrostatic bearings are arranged in a square shape, the rolling moment supporting capacity (supporting capacity) and the pitching moment supporting capacity (supporting capacity). ) And each moment is supported by two pairs of hydrostatic bearings. Therefore, the capacity of each hydrostatic bearing is selected based on the rolling moment (40 ton · f · m in the above example). Then, the pitching moment (100 tonf in the above example)
M) is insufficient to support 60 ton fm (30 ton fm for a pair of hydrostatic bearings).

【0013】この不足分を補うため、静圧軸受を単に追
設しただけでは、各静圧軸受が互いに過拘束となって水
平振動台に歪みが生じるという問題点がある。本発明
は、このような課題を解決しようとするものである。
If the hydrostatic bearings are simply added to compensate for this shortage, there is a problem that the hydrostatic bearings are over-constrained to each other and the horizontal shaking table is distorted. The present invention is intended to solve such a problem.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、水平振動台へ
の取付け面を有する可動体と、同可動体の内部凹所に浮
動状に配設されるピストンと、同ピストンの外側面に対
向配置され基盤に対する取付け面を有するベースパッド
とをそなえるとともに、上記ピストンの内側面と外側面
とにそれぞれ圧油を供給する一対の圧油供給通路と、同
各圧油供給通路に供給される圧油の圧力を調節して上記
ピストンの上記ベースパッドに対する位置を調節可能な
サーボ弁と、上記ピストンと上記可動体との間の相対変
位検出用の変位検出器と、同変位検出器の信号を入力さ
れるとともに上記サーボ弁を制御して上記ピストンの位
置を所定位置に保持するように作動するフィードバック
制御系と、上記ピストンの位置設定信号の入力手段とし
てのポテンショメータとで構成した静圧軸受の複数基を
水平振動台と上記基盤との間に設置し、上記複数の静圧
軸受の各ピストンの相関関係に見合ったフィードバック
量が加わるように、上記各静圧軸受の各フィードバック
系を相互に接続したフィードバック制御回路を設けて課
題解決の手段としている。
According to the present invention, there is provided a movable body having a mounting surface to a horizontal shaking table, a piston disposed in an internal recess of the movable body in a floating state, and an outer surface of the piston. A pair of pressure oil supply passages for supplying pressure oil to the inner surface and the outer surface of the piston, respectively, and a pair of pressure oil supply passages for supplying the pressure oil to the inner surface and the outer surface of the piston. A servo valve capable of adjusting the position of the piston with respect to the base pad by adjusting the pressure of pressure oil, a displacement detector for detecting a relative displacement between the piston and the movable body, and a signal of the displacement detector And a feedback control system for controlling the servo valve to maintain the position of the piston at a predetermined position, and a potentiometer as an input means for a position setting signal of the piston. A plurality of hydrostatic bearings composed of a plurality of hydrostatic bearings are installed between the horizontal shaking table and the base, and each of the hydrostatic bearings is adjusted so that a feedback amount commensurate with the correlation of each piston of the hydrostatic bearings is added. A feedback control circuit that interconnects the feedback systems of the pressure bearings is provided as a means for solving the problem.

【0015】また、上記複数基の静圧軸受を、上記水平
振動台の幾何学的中心点を中心とした正方形の各角部に
設置された4基のピッチングおよびローリング方向の各
転倒モーメントを支持する第1静圧軸受と、上記水平振
動台の水平加振軸上で上記水平振動台の幾何学的中心点
に関して対称設置した2基の第2静圧軸受とで構成して
課題解決の手段としている。
Further, the plurality of hydrostatic bearings support four overturning moments in the pitching and rolling directions provided at each corner of a square centered on the geometric center point of the horizontal shaking table. A first hydrostatic bearing, and two second hydrostatic bearings symmetrically mounted on a horizontal vibration axis of the horizontal shaking table with respect to a geometric center point of the horizontal shaking table. And

【0016】さらに、上記2基の第2静圧軸受の軸受間
隔Pを、上記水平加振軸方向の2基の第1静圧軸受の軸
受間隔Rよりも大きく設定して課題解決の手段としてい
る。
Further, the bearing interval P between the two second hydrostatic bearings is set to be larger than the bearing interval R between the two first hydrostatic bearings in the horizontal vibration axis direction. I have.

【0017】さらにまた、上記2基の第2静圧軸受の各
軸受容量を上記第1静圧軸受の各軸受容量よりも大きく
設定して課題解決の手段としている。
Further, each bearing capacity of the two second hydrostatic bearings is set to be larger than each bearing capacity of the first hydrostatic bearing as a means for solving the problem.

【0018】上述の本発明の水平振動台の支持装置で
は、自己のピストン位置を所定位置に保持するように作
動するフィードバック系をそなえた静圧軸受を複数基水
平振動台と基盤との間に設置するとともに、各ピストン
の相関関係に見合ったフィードバック量が加わるように
各静圧軸受の各フィードバック系を相互に接続したた
め、各静圧軸受を互いに過拘束とならないようにしなが
ら上記水平振動台のピッチングおよびローリング方向の
各モーメントを支持させることが可能となる。
In the horizontal vibration table support device of the present invention described above, a plurality of hydrostatic bearings each having a feedback system that operates to maintain its own piston position at a predetermined position are provided between the horizontal vibration table and the base. In addition to the installation, the feedback systems of each hydrostatic bearing were connected to each other so that a feedback amount commensurate with the correlation of each piston was added. Each moment in the pitching and rolling directions can be supported.

【0019】また、水平振動台の幾何学的中心点を中心
とした正方形の各角部に4基の第1静圧軸受を設置する
とともに、水平加振軸上で水平振動台の幾何学的中心点
に関し対称位置にピッチングモーメント支持用の2基の
第2静圧軸受を設置したため、第2静圧軸受をピッチン
グモーメント支持専用としてローリングモーメント支持
を行なわせない構成とすることができる。
In addition, four first hydrostatic bearings are installed at each corner of a square centered on the geometric center point of the horizontal shaking table, and the geometrical shape of the horizontal shaking table is set on the horizontal vibration axis. Since the two second hydrostatic bearings for supporting the pitching moment are installed at symmetric positions with respect to the center point, it is possible to use the second static pressure bearing exclusively for supporting the pitching moment and not to perform the rolling moment support.

【0020】さらに、水平振動台の幾何学的中心点を中
心とした正方形の各角部に4基の第1静圧軸受を設置す
るとともに、水平加振軸上で水平振動台の幾何学的中心
点に関し対称位置にピッチングモーメント支持用の2基
の第2静圧軸受を設置するとともに、2基の第2静圧軸
受の軸受間隔Pを水平加振方向に設置された2基の第1
静圧軸受の軸受間隔Rよりも大きく、例えば1.5倍に
設定したことにより、第2静圧軸受による大きな対ピッ
チングモーメント支持力を得ることができる。
Further, four first hydrostatic bearings are installed at each corner of a square centered on the geometric center point of the horizontal shaking table, and the geometrical shape of the horizontal shaking table is set on the horizontal vibration axis. Two second hydrostatic bearings for supporting a pitching moment are installed at symmetrical positions with respect to the center point, and two first hydrostatic bearings are arranged in the horizontal vibration direction with a bearing interval P between the two second hydrostatic bearings.
By setting it larger than the bearing interval R of the hydrostatic bearing, for example, 1.5 times, a large supporting force against pitching moment by the second hydrostatic bearing can be obtained.

【0021】また、第2静圧軸受の各軸受容量を第1静
圧軸受の各軸受容量の2倍としたことにより、第2静圧
軸受の軸受間間隔を大きくとらずに第2静圧軸受による
大きな対ピッチングモーメント支持力が得られる。
Further, since each bearing capacity of the second hydrostatic bearing is twice as large as each bearing capacity of the first hydrostatic bearing, the second static pressure bearing can be formed without increasing the distance between the bearings of the second hydrostatic bearing. A large bearing capacity against pitching moment by the bearing is obtained.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、図面により本発明の一実施
形態としての水平振動台の支持装置について説明する
と、図1はその模式平面図、図2はそのフィードバック
制御回路図である。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic plan view of a horizontal shaking table supporting device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a feedback control circuit diagram thereof.

【0023】この実施形態のものは、図3,4に示した
従来の水平振動台において、ピッチングモーメント支持
能力の不足分を補うために、図1に示すように、水平振
動台05の水平加振軸線上の、水平振動台05の中心点05A
を通るピッチング中心線05Pからの距離(支点距離)P
/2が、静圧軸受R1〜R4の支点距離R/2の1.5倍の
ところに、第1静圧軸受R1〜R4の2倍の軸受容量をも
ち、互いに対称配設される2基の第2静圧軸受P1,P2
を設置し、4基の第1静圧軸受R1〜R4と2基の第2静
圧軸受P1,P2とが協同してピッチングモーメントを担
持する時に、ピッチングモーメントの負荷容量(担持能
力)を満たすようにするとともに、各静圧軸受が互いに
競合することがないようなフィードバック回路を設けて
構成されている。
In this embodiment, as shown in FIG. 1, in order to compensate for the shortage of the pitching moment supporting ability in the conventional horizontal shaking table shown in FIGS. Center point 05A of horizontal shaking table 05 on the axis of vibration
From the pitching center line 05P (support point distance) P
/ 2, where 1.5 times the fulcrum distance R / 2 in the hydrostatic bearing R 1 to R 4, has twice the bearing capacity of the first hydrostatic bearing R 1 to R 4, symmetrically arranged with each other The two second hydrostatic bearings P 1 , P 2
When the four first hydrostatic bearings R 1 to R 4 and the two second hydrostatic bearings P 1 and P 2 cooperate to carry a pitching moment, the load capacity of the pitching moment Capacity) and a feedback circuit is provided so that the hydrostatic bearings do not compete with each other.

【0024】すなわち図1に示すように、この実施形態
では、図4に示した支持装置の静圧軸受R1〜R4のほか
に、水平加振軸01上に、静圧軸受R1〜R4の軸受容量の
2倍の軸受容量をもつ2基の静圧軸受P1,P2が、水平
振動台05の中心点05Aを通り、且つ水平加振軸01と直交
するピッチング中心線05Pに関し対称位置に設置されて
いる。
[0024] That is, as shown in FIG. 1, in this embodiment, in addition to the hydrostatic bearing R 1 to R 4 of the supporting device shown in FIG. 4, on the horizontal pressure generating shafts 01, the hydrostatic bearing R 1 ~ Two hydrostatic bearings P 1 and P 2 having a bearing capacity twice as large as the bearing capacity of R 4 are provided with a pitching center line 05P passing through the center point 05A of the horizontal shaking table 05 and orthogonal to the horizontal vibration axis 01. It is installed in a symmetrical position with respect to.

【0025】なお、4基の第1静圧軸受R1〜R4は、水
平振動台05の幾何学的中心点05Aを中心とした正方形の
各角部に設置されており、ここで静圧軸受R1とR2(お
よびR3とR4)との間の水平加振軸方向の距離(以下
「軸受間間隔」という。この軸受間間隔の1/2がレバ
ー長さとなる)Rと、静圧軸受P1とP2との間の距離
(以下「軸受間間隔」という)Pとは、P=1.5Rの
関係にある。
The four first static pressure bearings R 1 to R 4 are installed at the respective corners of a square centered on the geometric center point 05 A of the horizontal shaking table 05. The distance between the bearings R 1 and R 2 (and R 3 and R 4 ) in the horizontal vibration axis direction (hereinafter referred to as “bearing distance”. 1/2 of the bearing distance is the lever length). , and the distance (hereinafter referred to as "bearing spacing") P between the hydrostatic bearing P 1 and P 2, a relation of P = 1.5R.

【0026】このように、第2静圧軸受P1,P2のレバ
ー長さを第1静圧軸受R1〜R4のレバー長さの1.5倍
に設定することにより、第2静圧軸受P1,P2の負担力
(静圧軸受の容量×レバー長さ)を大きく設定すること
ができる。
As described above, by setting the lever length of the second hydrostatic bearings P 1 and P 2 to be 1.5 times the lever length of the first hydrostatic bearings R 1 to R 4 , the second hydrostatic bearing P 1 , P 2 is set to 1.5 times the lever length of the first hydrostatic bearings R 1 to R 4. The burden force (capacity of hydrostatic bearing × lever length) of the pressure bearings P 1 and P 2 can be set large.

【0027】上述の構成において、第2静圧軸受P1
2は水平加振軸01上に配設されているため、第2静圧
軸受P1,P2が水平振動台2のローリングを拘束する作
用はない。したがって、第2静圧軸受P1,P2と第1静
圧軸受R1〜R4とが競合することはない。
In the above configuration, the second hydrostatic bearings P 1 ,
Since P 2 is disposed on the horizontal vibration shaft 01, the second hydrostatic bearings P 1 and P 2 do not act to restrict the rolling of the horizontal vibration table 2. Therefore, there is no possibility that the second static pressure bearing P 1, P 2 and the first hydrostatic bearing R 1 to R 4 are competing.

【0028】また、第2静圧軸受P1、P2の各軸受容量
を第1静圧軸受R1〜R4の各軸受容量の2倍としたこと
により、第2静圧軸受の軸受間間隔を大きくとらずに第
2静圧子軸受による大きな対ピッチングモーメント支持
力が得られる。
Further, by setting each bearing capacity of the second hydrostatic bearings P 1 and P 2 to twice that of each of the first hydrostatic bearings R 1 to R 4 , the distance between the bearings of the second hydrostatic bearing is reduced. A large supporting force against pitching moment by the second hydrostatic bearing can be obtained without increasing the interval.

【0029】なお、水平振動台05のローリングは、第1
水平軸受R1とR2,あるいは第1水平軸受R3とR4とが
1組となって支える。
The rolling of the horizontal shaking table 05 is performed in the first
The horizontal bearings R 1 and R 2 or the first horizontal bearings R 3 and R 4 are supported as a set.

【0030】したがって、各第1静圧軸受R1〜R4のポ
ジション(ピストン位置)の調節は、R1,R2およびR
3,R4を一緒に扱うようにすれば、4基の第1静圧軸受
に競合関係が生じることはない。
Therefore, the position (piston position) of each of the first hydrostatic bearings R 1 to R 4 is adjusted by R 1 , R 2 and R 1
If 3 and R 4 are handled together, there will be no competition between the four first hydrostatic bearings.

【0031】一方、ピッチングに関しては、第1静圧軸
受R1,R4および第2静圧軸受P1(あるいは静圧軸受
2,R3,P2)がそれぞれ1組となって支えるように
作用することになる。
On the other hand, regarding the pitching, the first hydrostatic bearings R 1 , R 4 and the second hydrostatic bearing P 1 (or the hydrostatic bearings R 2 , R 3 , P 2 ) are supported as one set. Will work.

【0032】したがって、例えば第2静圧軸受P1のポ
テンショメータ26を操作して、第2静圧軸受P1のピス
トンを1mmだけ上方に上げたとすると、その結果によっ
て第1静圧軸受R1,R4をそれぞれ 1mm ×(R/P)
(ただしR/Pは軸受間隔比)だけ上げなければ、過
拘束となる。
[0032] Thus, for example, by operating the second hydrostatic bearing P 1 of the potentiometer 26, when the second hydrostatic bearing P 1 piston raised upward by 1 mm, a hydrostatic bearing R 1 first by a result, R 4 is 1mm each (R / P)
If R / P is not increased by (R / P is the bearing interval ratio), it will be over-constrained.

【0033】そのために、第1静圧軸受R1,R4の各フ
ィードバック制御系は、図2に示すように、第2静圧軸
受P1の変位に見合ったフィードバック量が加わるよう
に、すなわち第2静圧軸受P1の変位量(a)を軸受間
間隔比に按分した量(a×R/P)が第1静圧軸受
1,R4の各フィードバック制御系に入力されるよう
に、第2静圧軸受P1のフィードバック制御系と第1静
圧軸受R1,R4の各フィードバック制御系とを接続した
フィードバック制御回路が設けられている。符号30はゲ
インをR/Pに減算するゲイン調節器を示している。
For this purpose, the feedback control systems of the first hydrostatic bearings R 1 and R 4 are designed so that a feedback amount commensurate with the displacement of the second hydrostatic bearing P 1 is added, as shown in FIG. An amount (a × R / P) obtained by apportioning the displacement amount (a) of the second hydrostatic bearing P 1 to the inter-bearing spacing ratio is input to each feedback control system of the first hydrostatic bearings R 1 and R 4. the feedback control circuit is provided which is connected to the second feedback control system of the hydrostatic bearing P 1 and the respective feedback control system of the first hydrostatic bearing R 1, R 4. Reference numeral 30 indicates a gain adjuster for subtracting the gain from R / P.

【0034】したがって、第2静圧軸受P1を第2静圧
軸受P2に対して水平出しのために、第2静圧軸受P1
1mm上方へ移動させたとすると、第1静圧軸受R1,R4
も所定量(1mm × R/P)だけ上方に移動し、水平振
動台2に歪みが加わること(過拘束となること)をなく
すことができる。
[0034] Accordingly, the second static pressure bearing P 1 for leveling the second hydrostatic bearing P 2, when the second static pressure bearing P 1 and is moved to 1mm upwards, first hydrostatic bearing R 1 , R 4
Also moves upward by a predetermined amount (1 mm × R / P), and it is possible to prevent the horizontal shaking table 2 from being distorted (over-constrained).

【0035】静圧軸受P2と静圧軸受R2,R3とについ
ても、同様のフィードバック制御回路が設けられてい
る。
A similar feedback control circuit is provided for the static pressure bearing P 2 and the static pressure bearings R 2 and R 3 .

【0036】このように、この実施形態では、水平振動
台05と基盤010との間に、水平加振時のピッチングおよ
びローリング方向の各転倒モーメントを支持させるべく
複数基の静圧軸受を設置した支持装置において、各静圧
軸受を互いに過拘束とならないように保ちながら、各静
圧軸受のポテンシャル(高さ)調整を行なうことができ
る。
As described above, in this embodiment, a plurality of hydrostatic bearings are installed between the horizontal shaking table 05 and the base 010 in order to support each overturning moment in the pitching and rolling directions during horizontal vibration. In the support device, the potential (height) of each hydrostatic bearing can be adjusted while maintaining each hydrostatic bearing so as not to be excessively restricted.

【0037】なお、各静圧軸受が外乱に対して、各静圧
軸受のフィードバック系によって自己の変位を抑制でき
ることはいうまでもない。また、静圧軸受の容量(負担
能力)は、ピストン20の外周縁に突設されたフランジ部
20aの面積と油室66a,66bに供給される油圧の圧力と
の積により、決定される。
Needless to say, each static pressure bearing can suppress its own displacement with respect to disturbance by the feedback system of each static pressure bearing. The capacity (bearing capacity) of the hydrostatic bearing is determined by the flange portion protruding from the outer peripheral edge of the piston 20.
It is determined by the product of the area of 20a and the pressure of the hydraulic pressure supplied to the oil chambers 66a and 66b.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の水平振動
台の支持装置によれば、次のような効果ないし利点が得
られる。 (1) 自己のピストン位置を所定位置に保持するように作
動するフィードバック系をそなえた静圧軸受を複数基水
平振動台と基盤との間に設置して、各静圧軸受を互いに
過拘束とならないように保ちながら上記水平振動台のピ
ッチングおよびローリング方向の各モーメントを支持さ
せることが可能となる。 (2) 水平振動台の幾何学的中心点を中心とした正方形の
各角部に4基の第1静圧軸受を設置するとともに、水平
加振軸上で水平振動台の幾何学的中心点に関し対称位置
にピッチングモーメント支持用の2基の第2静圧軸受を
設置したため、第2静圧軸受をピッチングモーメント支
持専用としてローリングモーメント支持を行なわせない
構成とすることができる。 (3) 水平振動台の幾何学的中心点を中心とした正方形の
各角部に4基の第1静圧軸受を設置するとともに、水平
加振軸上で水平振動台の幾何学的中心点に関し対称位置
にピッチングモーメント支持用の2基の第2静圧軸受を
設置するとともに、2基の第2静圧軸受の軸受間隔Pを
水平加振方向に設置された2基の第1静圧軸受の軸受間
隔Rよりも大きく設定したことにより、第2静圧軸受に
よる大きな対ピッチングモーメント支持力を得ることが
できる。 (4) 第2静圧軸受の各軸受容量を第1静圧軸受の各軸受
容量の2倍としたことにより、第2静圧軸受の軸受間間
隔を大きくとらずに第2静圧軸受による大きな対ピッチ
ングモーメント支持力が得られる。
As described above, according to the horizontal shaking table support apparatus of the present invention, the following effects and advantages can be obtained. (1) Install a plurality of hydrostatic bearings with a feedback system that operates to maintain their own piston position at a predetermined position between the horizontal shaking table and the base, and over-constrain each hydrostatic bearing to each other. It is possible to support each moment in the pitching and rolling directions of the horizontal vibrating table while keeping the horizontal vibration table from becoming inconsistent. (2) Four first hydrostatic bearings are installed at each corner of a square centered on the geometric center of the horizontal shaking table, and the geometric center of the horizontal shaking table is set on the horizontal vibration axis. Since the two second hydrostatic bearings for supporting the pitching moment are installed at symmetrical positions with respect to the above, it is possible to adopt a configuration in which the second static pressure bearing is dedicated to the pitching moment support and does not perform the rolling moment support. (3) Four first hydrostatic bearings are installed at each corner of the square centered on the geometric center point of the horizontal shaking table, and the geometric center point of the horizontal shaking table is set on the horizontal vibration axis. , Two second hydrostatic bearings for supporting the pitching moment are installed at symmetrical positions with respect to each other, and the two first hydrostatic bearings installed in the horizontal vibration direction with the bearing interval P between the two second hydrostatic bearings By setting the distance between the bearings to be larger than the bearing interval R, a large bearing force against pitching moment by the second hydrostatic bearing can be obtained. (4) Since each bearing capacity of the second hydrostatic bearing is twice as large as each bearing capacity of the first hydrostatic bearing, the second hydrostatic bearing can be used without increasing the distance between the bearings of the second hydrostatic bearing. A large supporting force against pitching moment is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態としての水平振動台の支持
装置の模式平面図。
FIG. 1 is a schematic plan view of a horizontal vibration table support device according to an embodiment of the present invention.

【図2】同フィードバック制御回路図。FIG. 2 is a diagram of the feedback control circuit.

【図3】従来の水平振動台の支持装置の模式側面図。FIG. 3 is a schematic side view of a conventional horizontal shaking table support device.

【図4】同模式平面図。FIG. 4 is a schematic plan view of the same.

【図5】静圧軸受の縦断面図。FIG. 5 is a longitudinal sectional view of a hydrostatic bearing.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

01 水平加振軸 02 ローリング方向 03 ピッチング方向 04 軸受 05 水平振動台 05A 水平振動台の幾何学的中心点 05P 水平振動台のピッチング中心軸 06 供試体 010 基盤(浮き基礎) 2 取付け面 6 可動体 7 上方パッド 8 プリロードボルト 9 ベースパッド 20 ピストン 21 電気油圧式サーボ弁 22 変位検出器 24 油圧ユニット 26 ポテンショメータ 27 比較器 30 ゲイン調節器 61 支持面(据付け面) 67a,67b 圧油供給通路 R1,R2,R3,R4 第1静圧軸受 P1,P2 第2静圧軸受01 Horizontal excitation axis 02 Rolling direction 03 Pitching direction 04 Bearing 05 Horizontal shaking table 05A Geometric center point of horizontal shaking table 05P Pitching center axis of horizontal shaking table 06 Specimen 010 Base (floating foundation) 2 Mounting surface 6 Moving body 7 pAD 8 preload bolt 9 base pad 20 piston 21 electro-hydraulic servo valve 22 displacement detector 24 hydraulic unit 26 the potentiometer 27 comparator 30 gain adjuster 61 supporting surface (mounting surface) 67a, 67b pressure oil supply passage R 1, R 2 , R 3 , R 4 First hydrostatic bearing P 1 , P 2 Second hydrostatic bearing

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 水平振動台を支持すべく、同水平振動台
と基盤との間に複数基の静圧軸受が設置され、同各静圧
軸受が、いずれも上記水平振動台への取付け面を有する
可動体と、同可動体の内部凹所に浮動状に配設されるピ
ストンと、 同ピストンの外側面に対向配置され上記基盤に対する取
付け面を有するベースパッドとをそなえるとともに、 上記ピストンの内側面と外側面とにそれぞれ圧油を供給
する一対の圧油供給通路と、 同各圧油供給通路に供給される圧油の圧力を調節して上
記ピストンの上記ベースパッドに対する位置を調節可能
なサーボ弁と、 上記ピストンと上記可動体との間の相対変位検出用の変
位検出器と、 同変位検出器の信号を入力されるとともに上記サーボ弁
を制御して上記ピストンの位置を所定位置に保持するよ
うに作動するフィードバック制御系と、 上記ピストンの位置設定信号の入力手段としてのポテン
ショメータとで構成され、 上記複数の静圧軸受の各ピストンの相関関係に見合った
フィードバック量が加わるように、上記各静圧軸受の各
フィードバック制御系を相互に接続したフィードバック
制御回路が設けられていることを特徴とする、水平振動
台の支持装置。
1. A plurality of hydrostatic bearings are installed between a horizontal shaking table and a base to support the horizontal shaking table, and each of the hydrostatic bearings has a mounting surface on the horizontal shaking table. A movable body having: a piston disposed in a floating manner in an internal recess of the movable body; and a base pad disposed opposite to an outer surface of the piston and having a mounting surface with respect to the base. A pair of pressure oil supply passages for supplying pressure oil to the inner surface and the outer surface, respectively, and the position of the piston with respect to the base pad can be adjusted by adjusting the pressure of the pressure oil supplied to the respective pressure oil supply passages Servo valve, a displacement detector for detecting a relative displacement between the piston and the movable body, and a signal from the displacement detector is input and the servo valve is controlled to position the piston at a predetermined position. To hold And a potentiometer as input means for the piston position setting signal. The static pressures are adjusted so that a feedback amount corresponding to the correlation between the pistons of the plurality of hydrostatic bearings is added. A horizontal vibration table support device, comprising: a feedback control circuit that interconnects the feedback control systems of the bearings.
【請求項2】 上記複数基の静圧軸受が、上記水平振動
台の幾何学的中心点を中心とした正方形の各角部に設置
された4基のピッチングおよびローリング方向の各転倒
モーメントを支持する第1静圧軸受と、上記水平振動台
の水平加振軸上で上記水平振動台の幾何学的中心点に関
して対称設置した2基の第2静圧軸受とで構成されてい
ることを特徴とする、請求項1に記載の水平振動台の支
持装置。
2. The plurality of hydrostatic bearings support four overturning moments in the pitching and rolling directions provided at each corner of a square centered on the geometric center point of the horizontal shaking table. A first hydrostatic bearing, and two second hydrostatic bearings symmetrically arranged on the horizontal vibration axis of the horizontal shaking table with respect to the geometric center point of the horizontal shaking table. The horizontal vibration table support device according to claim 1, wherein:
【請求項3】 上記2基の第2静圧軸受の軸受間隔P
が、上記水平加振軸方向の2基の第1静圧軸受の軸受間
隔Rよりも大きく設定されていることを特徴とする、請
求項2に記載の水平振動台の支持装置。
3. A bearing interval P between the two second hydrostatic bearings.
The horizontal vibrating table support device according to claim 2, wherein a distance between the first and second hydrostatic bearings in the horizontal vibration axis direction is set to be larger than a bearing interval R of the first hydrostatic bearing.
【請求項4】 上記2基の第2静圧軸受の各軸受容量
が、いずれも上記第1静圧軸受の各軸受容量よりも大き
く設定されていることを特徴とする、請求項2または3
のいずれかに記載の水平振動台の支持装置。
4. The bearing capacity of each of the two second hydrostatic bearings is set to be larger than the bearing capacity of each of the first hydrostatic bearings.
The support device for a horizontal vibration table according to any one of the above.
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