JPH1021508A - Magnetic head and its production - Google Patents
Magnetic head and its productionInfo
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- JPH1021508A JPH1021508A JP17690296A JP17690296A JPH1021508A JP H1021508 A JPH1021508 A JP H1021508A JP 17690296 A JP17690296 A JP 17690296A JP 17690296 A JP17690296 A JP 17690296A JP H1021508 A JPH1021508 A JP H1021508A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に対
して記録及び／又は再生を行う磁気ヘッド及びその製造
方法に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a magnetic head for recording and / or reproducing data on and from a magnetic recording medium and a method of manufacturing the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、磁気ヘッドでは、例えば、ハード
ディスク等の磁気記録媒体の高密度記録の進行に伴い、
狭トラック幅化、高性能化が進行している。この従来の
磁気ヘッド１００は、図１０に示すように、磁気抵抗効
果（以下、ＭＲと称する。）素子１０１を有するＭＲヘ
ッド１０２と、このＭＲヘッド１０２上に形成されたイ
ンダクティブヘッド１０３とから構成されている。この
磁気ヘッド１００は、ハードディスク等の磁気記録媒体
に対して、ＭＲヘッド１０２で情報信号を再生し、イン
ダクティブヘッド１０３で情報信号を記録する。2. Description of the Related Art In recent years, with the progress of high-density recording on a magnetic recording medium such as a hard disk,
Narrow track widths and higher performance are in progress. As shown in FIG. 10, the conventional magnetic head 100 includes an MR head 102 having a magneto-resistance effect (hereinafter, referred to as MR) element 101, and an inductive head 103 formed on the MR head 102. Have been. The magnetic head 100 reproduces an information signal on a magnetic recording medium such as a hard disk with an MR head 102 and records the information signal with an inductive head 103.
【０００３】従来の磁気ヘッド１００を構成するＭＲヘ
ッド１０２は、磁性体からなる下層シールド１０４と、
この下層シールド１０４上に非磁性体１０５を介して積
層されたＭＲ素子１０１と、このＭＲ素子１０１上に非
磁性体１０５を介して積層された上層シールド１０６と
から構成されている。この下層シールド１０４と上層シ
ールド１０６とは、磁性体から形成されている。An MR head 102 constituting a conventional magnetic head 100 includes a lower shield 104 made of a magnetic material,
An MR element 101 is stacked on the lower shield 104 via a non-magnetic material 105, and an upper shield 106 is stacked on the MR element 101 via a non-magnetic material 105. The lower shield 104 and the upper shield 106 are formed of a magnetic material.
【０００４】また、この磁気ヘッド１００を構成するイ
ンダクティブヘッド１０３は、上述した上層シールド１
０６上に成膜された磁気ギャップ１０７と、上層シール
ド１０６上にこの磁気ギャップ１０７を介して形成され
た上部ポール１０８と、これら上層シールド１０６と上
部ポール１０８との間に配設された図示しないコイルと
から構成されている。また、これら上層シールド１０６
と上部ポール１０８とは、コイルの内周側の基端部付近
で磁気的に接続されている。すなわち、このインダクテ
ィブヘッド１０３では、上層シールド１０６と上部ポー
ル１０８とにより磁気コアを形成するような構成となっ
ている。Further, the inductive head 103 constituting the magnetic head 100 is provided with the above-described upper shield 1.
6, an upper pole 108 formed on the upper shield 106 via the magnetic gap 107, and a not-shown disposed between the upper shield 106 and the upper pole 108. And a coil. Also, these upper shields 106
The upper pole 108 is magnetically connected near the base end on the inner peripheral side of the coil. That is, the inductive head 103 is configured such that a magnetic core is formed by the upper shield 106 and the upper pole 108.
【０００５】そして、このインダクティブヘッド１０３
では、コイルに電流を供給することにより磁界を発生さ
せ、上層シールド１０６と上部ポール１０８とからなる
磁気コアに閉磁路を形成し、上層シールド１０６と上部
ポール１０８との間に配される磁気ギャップで漏れ磁界
が発生する。そして、磁気記録媒体は、この漏れ磁界が
印加されることによって、情報信号が記録されることと
なる。[0005] The inductive head 103
Then, a magnetic field is generated by supplying a current to the coil, a closed magnetic path is formed in the magnetic core including the upper shield 106 and the upper pole 108, and a magnetic gap disposed between the upper shield 106 and the upper pole 108 is formed. Generates a leakage magnetic field. An information signal is recorded on the magnetic recording medium by applying the leakage magnetic field.
【０００６】このとき、インダクティブヘッド１０３で
は、磁気記録媒体に記録する際のトラック幅が上部ポー
ル１０８の幅寸法により規制される。すなわち、インダ
クティブヘッド１０３では、図１０中Ｗで示す上部ポー
ル１０８の幅寸法で規制された領域に漏れ磁界を発生
し、この漏れ磁界を磁気記録媒体に印加する。At this time, in the inductive head 103, the track width at the time of recording on the magnetic recording medium is regulated by the width of the upper pole 108. That is, in the inductive head 103, a leakage magnetic field is generated in a region regulated by the width of the upper pole 108 indicated by W in FIG. 10, and the leakage magnetic field is applied to the magnetic recording medium.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の磁気ヘッド１００では、実際にインダクティブ
ヘッド１０３で磁気信号を記録する際、記録されるトラ
ック幅が上部ポール１０８の幅寸法Ｗにより規制される
領域を越えて幅広になってしまっていた。これは、漏れ
磁界が上部ポール１０８の幅方向の両端部付近で上層シ
ールド１０６に分散して形成されてしまうことに起因す
る。However, in the above-described conventional magnetic head 100, when a magnetic signal is actually recorded by the inductive head 103, the track width to be recorded is regulated by the width dimension W of the upper pole 108. It was wider than the area. This is because the leakage magnetic field is dispersedly formed in the upper shield 106 near both ends of the upper pole 108 in the width direction.
【０００８】これを解決するためには、上層シールド１
０６の上部ポール１０８と対向する位置に突出して形成
される下部ポールを設けることが考えられる。このイン
ダクティブヘッド１０３では、下部ポールを設けること
により、下部ポールと上部ポール１０８との間でのみ漏
れ磁界を発生させ、トラック幅が規制されることとな
る。しかしながら、この下部ポールを設けたインダクテ
ィブヘッド１０３では、下部ポールと上部ポール１０８
との正確な位置決めが困難であった。これにより、この
下部ポールを設けたインダクティブヘッド１０３でも、
記録されるトラック幅を正確に規制することが困難であ
った。To solve this, the upper shield 1
It is conceivable to provide a lower pole protrudingly formed at a position facing the upper pole 108 of FIG. In the inductive head 103, by providing the lower pole, a leakage magnetic field is generated only between the lower pole and the upper pole 108, and the track width is regulated. However, in the inductive head 103 provided with the lower pole, the lower pole and the upper pole 108 are not provided.
It was difficult to position accurately. Thereby, even in the inductive head 103 provided with the lower pole,
It has been difficult to accurately control the track width to be recorded.
【０００９】したがって、従来の磁気ヘッド１００で
は、トラック幅を正確に規制することができないため
に、幅方向に隣接する記録トラックを書き換えてしま
い、正確に記録を行うことが困難であるといった問題点
があった。Therefore, in the conventional magnetic head 100, since the track width cannot be regulated accurately, a recording track adjacent in the width direction is rewritten, and it is difficult to perform accurate recording. was there.
【００１０】そこで、本発明は、上述のような問題点に
鑑みてなされたものであり、下部ポールと上部ポールと
が正確に位置決めされ、正確にトラック幅を規制するこ
とが可能となり、記録や再生が正確に行われる磁気ヘッ
ド及びその製造方法の提供を目的とする。Therefore, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and the lower pole and the upper pole can be accurately positioned, and the track width can be regulated accurately. It is an object of the present invention to provide a magnetic head capable of accurately reproducing data and a method of manufacturing the same.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成した
本発明に係る磁気ヘッドは、各々磁性薄膜により形成さ
れる上層コア及び下層コアと、薄膜コイルとを備えてな
る誘導型の磁気ヘッドであって、上記下層コアには、磁
気記録媒体摺動面に臨んでトラック幅に対応した幅寸法
を有する下部ポールが上層コアに向かって突出するよう
に形成されるとともに、上層コアには、磁気記録媒体摺
動面に臨んで上記下部ポールよりも幅広の上部ポールが
下層コアに向かって突出するように形成され、これら下
部ポールと上部ポールとの対向面間に磁気ギャップが形
成されていることを特徴とする。A magnetic head according to the present invention which has achieved the above-mentioned objects is an inductive magnetic head comprising an upper core and a lower core each formed of a magnetic thin film, and a thin film coil. A lower pole having a width corresponding to the track width is formed on the lower core so as to project toward the upper core, and a lower pole having a width corresponding to a track width is formed on the lower core. An upper pole wider than the lower pole is formed so as to protrude toward the lower core facing the recording medium sliding surface, and a magnetic gap is formed between opposing surfaces of the lower pole and the upper pole. It is characterized by.
【００１２】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッドでは、上部ポールと下部ポールとの間に漏れ磁界
が発生する際、この漏れ磁界が上部ポール及び下部ポー
ルの幅方向に分散することがなく、上部ポールの幅寸法
に規制されて発生する。これにより、本発明に係る磁気
ヘッドは、磁気記録媒体に印加する漏れ磁界の幅を正確
に規制することができる。In the magnetic head according to the present invention configured as described above, when a leakage magnetic field is generated between the upper pole and the lower pole, the leakage magnetic field is dispersed in the width direction of the upper pole and the lower pole. Occurs due to the restriction of the width of the upper pole. Thus, the magnetic head according to the present invention can accurately regulate the width of the leakage magnetic field applied to the magnetic recording medium.
【００１３】また、上述した目的を達成した本発明に係
る磁気ヘッドの製造方法は、下層コアの磁気記録媒体が
摺動する側面の少なくとも一部に、下部ポールが形成さ
れるとともに、この下部ポールを挟んでトラック幅方向
に離間して一対の突部が形成される工程と、上記下部ポ
ール及び上記一対の突部を埋め込むように非磁性体が形
成される工程と、上記下部ポールと対向する位置に、磁
気ギャップを介して下部ポールより大の幅寸法を有する
上部ポールを形成する工程とを備える。Further, according to a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention that achieves the above-mentioned object, a lower pole is formed on at least a part of a side surface of a lower core on which a magnetic recording medium slides, and the lower pole is formed on the lower core. Forming a pair of protrusions spaced apart from each other in the track width direction, forming a nonmagnetic material so as to embed the lower pole and the pair of protrusions, and facing the lower pole. Forming an upper pole having a greater width dimension than the lower pole via the magnetic gap.
【００１４】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッドの製造方法では、下層コアに形成された下部ポー
ルを埋め込むように非磁性体が形成され、その後、下部
ポールと対向する位置に上部ポールを形成する。これに
より、この手法では、下部ポールと上部ポールとの位置
決めが正確に行われる。また、このとき、上部ポール
は、その幅寸法が下部ポールの幅より大とされてなる。
これにより、この手法では、上部ポールと下部ポールと
の間にのみ漏れ磁界が発生するように図られた磁気ヘッ
ドを形成することができる。In the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention having the above-described structure, a non-magnetic material is formed so as to fill a lower pole formed in a lower core. Form a pole. Thus, in this method, the positioning between the lower pole and the upper pole is accurately performed. At this time, the width of the upper pole is larger than the width of the lower pole.
Thus, according to this method, it is possible to form a magnetic head in which a leakage magnetic field is generated only between the upper pole and the lower pole.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気ヘッドの
好適な実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a magnetic head according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１６】本実施の形態に係る磁気ヘッド１は、図１
及び図２に示すように、磁気記録媒体２に記録された磁
気信号を再生する磁気抵抗効果型磁気ヘッド３（以下、
ＭＲヘッド３を称する。）と、磁気記録媒体２に磁気信
号を記録するインダクティブヘッド４とを備える。The magnetic head 1 according to the present embodiment has a structure shown in FIG.
As shown in FIG. 2, a magneto-resistance effect type magnetic head 3 (hereinafter, referred to as a magnetic head) for reproducing a magnetic signal recorded on the magnetic recording medium 2.
The MR head 3 is called. ), And an inductive head 4 for recording a magnetic signal on the magnetic recording medium 2.
【００１７】このＭＲヘッド３は、磁気抵抗効果素子５
（以下、ＭＲ素子５と呼ぶ。）を有し、このＭＲ素子５
が感磁部となり磁気記録媒体２に記録された信号磁界を
検出する。このＭＲヘッド３は、下層シールド６と、こ
の下層シールド６上に、非磁性体を介して成膜されるＭ
Ｒ素子５と、このＭＲ素子５上に非磁性体を介して設け
られる上層シールド８とを有している。また、このＭＲ
素子５は、図示しないが、その長手方向の両端部に一対
の電極が設けられており、一定のセンス電流が供給され
る構成となっている。The MR head 3 has a magnetoresistive effect element 5
(Hereinafter, referred to as an MR element 5).
Becomes a magnetic sensing part and detects a signal magnetic field recorded on the magnetic recording medium 2. The MR head 3 includes a lower shield 6 and an M layer formed on the lower shield 6 via a non-magnetic material.
It has an R element 5 and an upper shield 8 provided on the MR element 5 via a non-magnetic material. Also, this MR
Although not shown, the element 5 is provided with a pair of electrodes at both ends in the longitudinal direction, so that a constant sense current is supplied.
【００１８】このＭＲヘッド３では、ＭＲ素子５の抵抗
値が磁気記録媒体２からの信号磁界により変化し、一定
のセンス電流が供給されることによって、その抵抗値の
変化を電圧変化として示す。そして、磁気ヘッド１で
は、センス電流の電圧変化を検出することにより信号磁
界を再生することとなる。In the MR head 3, when the resistance of the MR element 5 changes due to the signal magnetic field from the magnetic recording medium 2 and a constant sense current is supplied, the change in the resistance is indicated as a voltage change. Then, the magnetic head 1 reproduces the signal magnetic field by detecting the voltage change of the sense current.
【００１９】このとき、ＭＲヘッド３では、再生する信
号磁界のみをＭＲ素子５に印加させるために、ＭＲ素子
５の上下方向に上層シールド８と下層シールド６とを配
している。これら上層シールド８及び下層シールド６
は、磁性体からなり、媒体摺動面Ｄに露出するように形
成されている。そして、これら上層シールド８及び下層
シールド６は、磁気記録媒体２からの信号磁界のうち、
ＭＲ素子５に印加する目的以外の信号磁界を引き込む。
これにより、ＭＲ素子５には、磁気記録媒体２の再生対
象の磁気信号のみが印加され、それ以外の信号磁界は上
層シールド８及び下層シールド６に引き込まれる。At this time, in the MR head 3, the upper shield 8 and the lower shield 6 are arranged in the vertical direction of the MR element 5 so that only the signal magnetic field to be reproduced is applied to the MR element 5. These upper shield 8 and lower shield 6
Is made of a magnetic material and formed so as to be exposed on the medium sliding surface D. The upper shield 8 and the lower shield 6 form a signal magnetic field from the magnetic recording medium 2.
A signal magnetic field other than the purpose applied to the MR element 5 is drawn.
As a result, only the magnetic signal to be reproduced from the magnetic recording medium 2 is applied to the MR element 5, and the other signal magnetic fields are drawn into the upper shield 8 and the lower shield 6.
【００２０】一方、上述したＭＲヘッド３上に設けられ
るインダクティブヘッド４は、下層コア１０と、この下
層コア１０に対向する位置に設けられる上層コア１１と
を備える。ここで、この下層コア１０は、上述したＭＲ
ヘッド３における上層シールド８と同一の部材である。On the other hand, the inductive head 4 provided on the above-described MR head 3 includes a lower core 10 and an upper core 11 provided at a position facing the lower core 10. Here, the lower core 10 is formed by the above-described MR.
This is the same member as the upper shield 8 in the head 3.
【００２１】また、インダクティブヘッド４は、上層コ
ア１１と一体に形成されて媒体摺動面Ｄ側に突設される
上部ポール１２と、下層コア１０の媒体摺動面Ｄ側に突
設される下部ポール１３と、これら上部ポール１２と下
部ポール１３との間に設けられる磁気ギャップ１４とを
備える。これら上部ポール１２と下部ポール１３とは、
それぞれ相対向する位置に設けられており、磁気ギャッ
プ１４により磁気的に絶縁されている。The inductive head 4 is formed integrally with the upper core 11 and protrudes from the medium sliding surface D side, and protrudes from the lower core 10 on the medium sliding surface D side. It has a lower pole 13 and a magnetic gap 14 provided between the upper pole 12 and the lower pole 13. These upper pole 12 and lower pole 13 are
They are provided at positions facing each other, and are magnetically insulated by the magnetic gap 14.
【００２２】さらに、このインダクティブヘッド４は、
上層コア１１と下層コア１０との間に導電材料からなる
コイル１５を備える。このコイル１５は、スパイラル状
に形成されており、内周側の基端部１５Ａと、図示しな
い外周側の基端部とが外部の電源とボンディングワイヤ
１６を介して接続されている。インダクティブヘッド４
では、このコイル１５の内周側の基端部１５Ａ付近で上
層コア１１と下層コア１０とが磁気的に結合している。Further, this inductive head 4
A coil 15 made of a conductive material is provided between the upper core 11 and the lower core 10. The coil 15 is formed in a spiral shape, and an inner peripheral base 15A and an outer peripheral base (not shown) are connected to an external power supply via a bonding wire 16. Inductive head 4
In this case, the upper core 11 and the lower core 10 are magnetically coupled in the vicinity of the inner peripheral base 15A of the coil 15.
【００２３】このインダクティブヘッド４において、上
層コア１１、下層コア１０、上部ポール１２及び下部ポ
ール１３は、磁性体からなる。また、磁気ギャップ１４
は、非磁性体からなる。さらに、インダクティブヘッド
４において、コイル１５は、導電材料からなり、断線或
いは短絡等の発生を防止するために、絶縁材料１７によ
り埋め込まれるように形成されている。In the inductive head 4, the upper core 11, the lower core 10, the upper pole 12, and the lower pole 13 are made of a magnetic material. The magnetic gap 14
Is made of a non-magnetic material. Further, in the inductive head 4, the coil 15 is made of a conductive material, and is formed so as to be embedded with an insulating material 17 in order to prevent the occurrence of disconnection or short circuit.
【００２４】このインダクティブヘッド４では、図１中
Ａで示す上部ポール１２の幅寸法が図１中Ｂで示す下部
ポール１３の幅寸法に対してやや大（Ａ＞Ｂ）となるよ
うに形成されている。また、この上部ポール１２は、下
部ポール１３に対して正確に位置決めされ、下部ポール
１３の幅方向の端部より均等に突出するように位置して
いる。In the inductive head 4, the width of the upper pole 12 indicated by A in FIG. 1 is formed to be slightly larger (A> B) than the width of the lower pole 13 indicated by B in FIG. ing. Further, the upper pole 12 is accurately positioned with respect to the lower pole 13, and is positioned so as to protrude evenly from the widthwise end of the lower pole 13.
【００２５】例えば、磁気記録媒体２のトラックピッチ
が１．５μｍとされ、ガードバンドが０．１μｍとされ
る場合、上部ポール１２の幅寸法Ａが約１．４μｍとさ
れ、下部ポール１３の幅寸法Ｂが約１．２μｍとされる
ことが望ましい。すなわち、上部ポール１２は、下部ポ
ール１３の幅方向の両端部からそれぞれ約０．１μｍ突
出するように形成されている。For example, when the track pitch of the magnetic recording medium 2 is 1.5 μm and the guard band is 0.1 μm, the width A of the upper pole 12 is about 1.4 μm, and the width of the lower pole 13 is It is desirable that the dimension B be about 1.2 μm. That is, the upper pole 12 is formed so as to protrude by about 0.1 μm from both ends of the lower pole 13 in the width direction.
【００２６】以上のように構成された本発明に係る磁気
ヘッド１は、上述したインダクティブヘッド４におい
て、磁気記録媒体２へ磁気信号を記録する。The magnetic head 1 according to the present invention configured as described above records a magnetic signal on the magnetic recording medium 2 in the inductive head 4 described above.
【００２７】このインダクティブヘッド４では、磁気記
録媒体２に磁気信号を記録する際、コイル１５に所望の
電流が供給される。これにより、コイル１５は、供給さ
れた電流に応じて磁界を発生する。そして、インダクテ
ィブヘッド４では、この磁界によって、上層コア１１−
上部ポール１２−下部ポール１３−下層コア１０といっ
た経路の閉磁路を形成することとなる。In the inductive head 4, when recording a magnetic signal on the magnetic recording medium 2, a desired current is supplied to the coil 15. Thereby, the coil 15 generates a magnetic field according to the supplied current. In the inductive head 4, this magnetic field causes the upper core 11-.
A closed magnetic path of a path such as the upper pole 12, the lower pole 13, and the lower core 10 is formed.
【００２８】そして、インダクティブヘッド４では、磁
気ギャップ１４を介して対向するように設けられた上部
ポール１２と下部ポール１３との間に漏れ磁界が発生す
る。インダクティブヘッド４では、この漏れ磁界を磁気
記録媒体２に印加することにより磁気信号の記録を行
う。In the inductive head 4, a leakage magnetic field is generated between the upper pole 12 and the lower pole 13 provided to face each other via the magnetic gap 14. The inductive head 4 records a magnetic signal by applying the leakage magnetic field to the magnetic recording medium 2.
【００２９】このとき、このインダクティブヘッド４で
は、上述したように上部ポール１２の幅寸法Ａと下部ポ
ール１３の幅寸法Ｂとを規定しているために、記録トラ
ック幅を正確に規定することができる。すなわち、上部
ポール１２と下部ポール１３との間に発生する漏れ磁界
が幅方向の両端部で分散されることなく、漏れ磁界が磁
気記録媒体２に印加されることとなる。At this time, in the inductive head 4, since the width A of the upper pole 12 and the width B of the lower pole 13 are defined as described above, the recording track width can be accurately defined. it can. That is, the leakage magnetic field generated between the upper pole 12 and the lower pole 13 is not dispersed at both ends in the width direction, and the leakage magnetic field is applied to the magnetic recording medium 2.
【００３０】上述した実施の形態に係る磁気ヘッド１の
製造方法について図面を参照して詳細に説明する。上述
した磁気ヘッド１は、まず、ＭＲヘッド３を形成した後
に、そのＭＲヘッド３上にインダクティブヘッド４を形
成する。A method for manufacturing the magnetic head 1 according to the above-described embodiment will be described in detail with reference to the drawings. In the magnetic head 1 described above, first, after the MR head 3 is formed, the inductive head 4 is formed on the MR head 3.
【００３１】ここで、ＭＲヘッド３は、スパッタリング
法等の薄膜形成法やフォトリソグラフィー等を用いたエ
ッチング等の手段を用いて形成される。したがって、本
発明に係る磁気ヘッド１の製造方法の説明において、Ｍ
Ｒヘッド３の製造工程の詳細な説明は省略する。なお、
このＭＲヘッド３は、図３に示すように、その最上層が
磁性体からなる上層シールド８とされて形成される。Here, the MR head 3 is formed by using a method such as a thin film forming method such as a sputtering method or etching using photolithography or the like. Therefore, in the description of the method for manufacturing the magnetic head 1 according to the present invention, M
A detailed description of the manufacturing process of the R head 3 will be omitted. In addition,
As shown in FIG. 3, the MR head 3 is formed such that the uppermost layer is an upper shield 8 made of a magnetic material.
【００３２】先ず、図４に示すように、上層シールド８
が形成されたＭＲヘッド３上に下部ポール１３を形成す
る。この下部ポール１３は、ＭＲヘッド３の上層シール
ド８と同一の材料により形成されることが好ましい。ま
た、この下部ポール１３は、ＭＲ素子５の直上に位置
し、上層シールド８の媒体摺動面Ｄ側の端部に露出する
ように形成される。このとき、下部ポール１３は、後述
する研磨加工により高さ方向の上端部より研磨されるた
めに、予めやや大の高さ寸法を有して形成される。First, as shown in FIG.
The lower pole 13 is formed on the MR head 3 on which is formed. This lower pole 13 is preferably formed of the same material as the upper shield 8 of the MR head 3. The lower pole 13 is formed directly above the MR element 5 and is formed so as to be exposed at the end of the upper layer shield 8 on the side of the medium sliding surface D. At this time, since the lower pole 13 is polished from the upper end in the height direction by a polishing process described later, the lower pole 13 is formed to have a slightly large height dimension in advance.
【００３３】なお、例えば、磁気記録媒体２の記録トラ
ック幅を１．２μｍとする場合には、下部ポール１３
は、その幅寸法Ｂが約１．２μｍとなるように形成され
る。また、このとき、下部ポール１３は、研磨加工後の
高さ寸法が約０．５μｍ以下となるように、約１．０μ
ｍの高さ寸法を有するように形成されることが好まし
い。For example, when the recording track width of the magnetic recording medium 2 is 1.2 μm, the lower pole 13
Is formed such that its width dimension B is about 1.2 μm. At this time, the lower pole 13 has a height of about 1.0 μm so that the height after polishing is about 0.5 μm or less.
It is preferably formed to have a height dimension of m.
【００３４】一方、このとき、上層シールド８上には、
下部ポール１３と略々同寸法の高さ寸法を有する一対の
突部２０Ａ，２０Ｂを設ける。これら一対の突部２０
Ａ，２０Ｂは、下部ポール１３と同一の材料により形成
されることが好ましい。なお、これら一対の突部２０
Ａ，２０Ｂは、上層シールド８との磁気的な絶縁を図る
ために非磁性材料からなる層を上層シールド上に設け、
その非磁性材料からなる層上に形成されてもよい。At this time, on the upper shield 8,
A pair of protrusions 20A and 20B having substantially the same height as the lower pole 13 are provided. These pair of protrusions 20
A and 20B are preferably formed of the same material as lower pole 13. In addition, these pair of protrusions 20
A and 20B respectively provide a layer made of a non-magnetic material on the upper shield in order to magnetically insulate the upper shield 8 from the upper shield.
It may be formed on the layer made of the nonmagnetic material.
【００３５】次に、図５に示すように、上層シールド８
の下部ポール１３及び一対の突部２０Ａ，２０Ｂが形成
された面に対して、Ａｌ2Ｏ3等の非磁性絶縁材料からな
る絶縁膜２１を形成する。この絶縁膜２１は、後述する
研磨加工により規定される下部ポール１３の高さ寸法よ
りやや大の厚み寸法を有するように成膜される。Next, as shown in FIG.
An insulating film 21 made of a non-magnetic insulating material such as Al 2 O 3 is formed on the surface on which the lower pole 13 and the pair of protrusions 20A and 20B are formed. The insulating film 21 is formed so as to have a thickness slightly larger than the height of the lower pole 13 defined by polishing described later.
【００３６】例えば、磁気記録媒体２の記録トラック幅
を１．２μｍとする場合には、絶縁膜２１は、その高さ
寸法が約０．５μｍ程度とされることが好ましい。For example, when the recording track width of the magnetic recording medium 2 is 1.2 μm, it is preferable that the height of the insulating film 21 is about 0.5 μm.
【００３７】次に、図６に示すように、下部ポール１
３、一対の突部２０Ａ，２０Ｂ及び絶縁膜２１が形成さ
れた面に対して研磨加工が施される。この研磨加工は、
例えば、バフ研磨等により行われ、下部ポール１２の高
さが所望の高さ寸法になるまで行われる。Next, as shown in FIG.
3. The surface on which the pair of protrusions 20A and 20B and the insulating film 21 are formed is polished. This polishing process,
For example, it is performed by buffing or the like until the height of the lower pole 12 reaches a desired height.
【００３８】例えば、磁気記録媒体２の記録トラック幅
を１．２μｍとする場合には、この研磨加工は、下部ポ
ール１３の高さ寸法が約０．５μｍとされるまで行われ
ることが好ましい。For example, when the recording track width of the magnetic recording medium 2 is set to 1.2 μm, this polishing is preferably performed until the height of the lower pole 13 is about 0.5 μm.
【００３９】このとき、下部ポール１３と一対の突部２
０Ａ，２０Ｂとは、同一の材料で形成されているため
に、研磨効率がほぼ同一とされる。これにより、この研
磨加工では、下部ポール１３と一対の突部２０Ａ，２０
Ｂとが均一に研磨される。この結果、下部ポール１３、
一対の突部２０Ａ，２０Ｂ及び絶縁膜２１は、上層シー
ルド８上において面一に形成される。At this time, the lower pole 13 and the pair of protrusions 2
Since 0A and 20B are formed of the same material, the polishing efficiency is substantially the same. Thereby, in this polishing process, the lower pole 13 and the pair of protrusions 20A, 20A are formed.
B is uniformly polished. As a result, the lower pole 13,
The pair of protrusions 20 </ b> A and 20 </ b> B and the insulating film 21 are formed flush on the upper shield 8.
【００４０】また、上述したような一対の突部２０Ａ，
２０Ｂを形成しない場合には、研磨加工により高度な平
面性を付与することが困難であり、研磨加工により円弧
面となってしまう。そして、一対の突部２０Ａ，２０Ｂ
を形成することによって、下部ポール１３、一対の突部
２０Ａ，２０Ｂ及び絶縁膜２１は、高度に平坦化された
状態となる 次に、図７に示すように、上述した研磨加工により平坦
化された面に対してＳｉＯ2等の非磁性絶縁材料からな
る薄膜２２を成膜する。この薄膜２２は、インダクティ
ブヘッド４における磁気ギャップ１４となるものであ
り、その厚み寸法が磁気ギャップ１４と略同寸法となる
ように成膜される。そして、薄膜２２を形成した後に、
下部ポール１３と対向する位置に上層コア１１を形成す
る。この上層コア１１には、媒体摺動面Ｄ側に突出して
なる上部ポール１２が一体に形成されている。この上部
ポール１２は、下部ポール１３の幅寸法よりもやや大の
幅寸法を有するように形成される。この上部ポール１２
は、磁性体からなり、望ましくは下部ポール１３と同一
の材料からなることが好ましい。また、この上部ポール
１２を有する上層コア１１は、非磁性絶縁材料により埋
め込まれるように形成される。Further, the pair of protrusions 20A,
If 20B is not formed, it is difficult to impart a high degree of flatness by polishing, and the polishing results in an arcuate surface. And a pair of protrusions 20A, 20B
Is formed, the lower pole 13, the pair of protrusions 20A and 20B, and the insulating film 21 are in a highly planarized state. Next, as shown in FIG. The thin film 22 made of a nonmagnetic insulating material such as SiO 2 is formed on the surface. The thin film 22 is to be the magnetic gap 14 in the inductive head 4, and is formed such that its thickness dimension is substantially the same as the magnetic gap 14. Then, after forming the thin film 22,
The upper core 11 is formed at a position facing the lower pole 13. An upper pole 12 projecting toward the medium sliding surface D is integrally formed with the upper core 11. The upper pole 12 is formed to have a width slightly larger than the width of the lower pole 13. This upper pole 12
Is preferably made of the same material as the lower pole 13. The upper core 11 having the upper pole 12 is formed so as to be embedded with a nonmagnetic insulating material.
【００４１】このとき、磁気ギャップ１４は、絶縁膜２
１を成膜することにより高度に平坦化された薄膜２２上
に形成される。そして、上部ポール１２は、この薄膜２
２上に形成されるために、図８及び図９に示すように、
磁気ギャップ１４と接する幅方向の少なくとも一方端部
が湾曲するようなことはない。At this time, the magnetic gap 14 is
1 is formed on the highly planarized thin film 22 by forming a film. The upper pole 12 is formed by the thin film 2
2, as shown in FIGS. 8 and 9,
At least one end in the width direction in contact with the magnetic gap 14 does not curve.
【００４２】なお、絶縁層２１を形成せずに上部ポール
１２の位置がずれてしまった場合、図８に示すように、
上部ポール１２は、磁気ギャップ１４の表面形状に影響
されて形成される。すなわち、上部ポール１２は、下部
ポール１３に対して突出した端部１２Ａが磁気ギャップ
１４の表面形状に沿って湾曲してしまう。When the position of the upper pole 12 is shifted without forming the insulating layer 21, as shown in FIG.
The upper pole 12 is formed by being influenced by the surface shape of the magnetic gap 14. That is, the end 12A of the upper pole 12 protruding from the lower pole 13 is curved along the surface shape of the magnetic gap 14.
【００４３】また、絶縁層２１を形成せず、上部ポール
１２の幅寸法が下部ポールの幅寸法よりも大とされる場
合、図９に示すように、上部ポール１２は、磁気ギャッ
プ１４と接する幅方向の両端部１２Ａ，１２Ｂにおい
て、磁気ギャップ１４の表面形状に沿って湾曲してしま
う。If the width of the upper pole 12 is larger than the width of the lower pole without forming the insulating layer 21, the upper pole 12 contacts the magnetic gap 14, as shown in FIG. At both ends 12A and 12B in the width direction, the magnetic gap 14 is curved along the surface shape.
【００４４】したがって、インダクティブヘッドは、絶
縁膜２１を設けないことにより磁気ギャップの形状が湾
曲してしまうと、磁気記録媒体に対して正確に記録でき
ないといった不都合が生じてしまう。Therefore, in the inductive head, if the shape of the magnetic gap is curved by not providing the insulating film 21, there arises a disadvantage that accurate recording cannot be performed on the magnetic recording medium.
【００４５】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法では、
絶縁膜２１を形成することにより磁気ギャップ１４の表
面形状を平坦面とすることができるため、上述したよう
な不都合が生じることはない。In the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention,
Since the surface shape of the magnetic gap 14 can be made flat by forming the insulating film 21, the above-described inconvenience does not occur.
【００４６】上述した磁気ヘッドの製造方法によれば、
下部ポール１３、一対の突部２０Ａ，２０Ｂ及び絶縁膜
２１により磁気ギャップ１４が高度に平坦化され、この
磁気ギャップ１４に上部ポール１２を有する上層コア１
１が形成される。したがって、上述のような磁気ヘッド
の製造方法では、上部ポール１２を有する上層コアを形
成する際に位置ズレが発生し難く、歩留まりを向上させ
ることができる。According to the method of manufacturing a magnetic head described above,
The magnetic gap 14 is highly flattened by the lower pole 13, the pair of protrusions 20A and 20B, and the insulating film 21, and the upper core 1 having the upper pole 12 in the magnetic gap 14 is formed.
1 is formed. Therefore, in the method of manufacturing a magnetic head as described above, when forming the upper layer core having the upper pole 12, displacement does not easily occur, and the yield can be improved.
【００４７】また、上述した磁気ヘッドの製造方法によ
れば、下部ポール１３、一対の突部２０Ａ，２０Ｂ及び
絶縁層２１により磁気ギャップ１４が高度に平坦化さ
れ、この磁気ギャップ１４に上部ポール１２を有する上
層コア１１が形成される。したがって、上述した磁気ヘ
ッドの製造方法によれば、例えば、２．０μｍ以下のト
ラックピッチを有する磁気記録媒体に対応可能な磁気ヘ
ッドを製造することができる。According to the above-described method of manufacturing a magnetic head, the magnetic gap 14 is highly flattened by the lower pole 13, the pair of protrusions 20A and 20B, and the insulating layer 21, and the upper pole 12 Is formed. Therefore, according to the above-described method of manufacturing a magnetic head, it is possible to manufacture a magnetic head capable of supporting a magnetic recording medium having a track pitch of, for example, 2.0 μm or less.
【００４８】なお、上述した実施の形態に係る磁気ヘッ
ド及びその製造方法においては、インダクティブヘッド
４の下にＭＲヘッド３を配し、ＭＲヘッド３の上層シー
ルド８がインダクティブヘッドの下層コア１０と同一の
部材であるような磁気ヘッド１を用いたが、本発明に係
る実施の形態は、このようなものに限定されるものでは
ない。In the magnetic head and the method of manufacturing the same according to the above-described embodiment, the MR head 3 is disposed below the inductive head 4, and the upper shield 8 of the MR head 3 is the same as the lower core 10 of the inductive head. Although the magnetic head 1 is used as the member, the embodiment according to the present invention is not limited to this.
【００４９】すなわち、本発明に係る実施の形態は、Ｍ
Ｒヘッドがなくインダクティブヘッドのみからなるよう
な構成であってもよい。この場合、本発明に係る磁気ヘ
ッド及びその製造方法は、非磁性材料等からなる基板上
に形成されるような構成であればよい。このように構成
された磁気ヘッドは、記録専用の磁気ヘッドとして用い
られ、磁気記録媒体に対して正確にトラック幅を規制す
ることができる。That is, the embodiment according to the present invention employs M
A configuration in which there is no R head but only an inductive head may be used. In this case, the magnetic head and the method of manufacturing the same according to the present invention may have any configuration as long as they are formed on a substrate made of a nonmagnetic material or the like. The magnetic head thus configured is used as a recording-only magnetic head, and can accurately regulate the track width of the magnetic recording medium.
【００５０】[0050]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明に係
る磁気ヘッドでは、正確に位置合わせされた上部ポール
と下部ポールとが磁気ギャップを介して配設されるため
に、磁気ギャップを介して発生する漏れ磁界が記録トラ
ック幅を越えることなく規制される。これにより、この
磁気ヘッドでは、磁気記録媒体に対して正確に記録を行
うことができる。As described above in detail, in the magnetic head according to the present invention, since the upper pole and the lower pole that are accurately aligned are disposed through the magnetic gap, the magnetic head is not disposed through the magnetic gap. The generated leakage magnetic field is regulated without exceeding the recording track width. Thereby, this magnetic head can accurately perform recording on the magnetic recording medium.
【００５１】また、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法
によれば、上部ポールと下部ポールとの対向する面を高
度に平坦化することができ、トラック幅の形状を正確に
規定することができる。これにより、この手法では、上
部ポールと下部ポールとの間に発生する漏れ磁界が記録
トラック幅を越えることがなく、正確に規制された漏れ
磁界を発生する磁気ヘッドを製造することができる。Further, according to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, the surfaces of the upper pole and the lower pole facing each other can be highly flattened, and the shape of the track width can be precisely defined. . Thus, according to this method, it is possible to manufacture a magnetic head that generates a precisely regulated leakage magnetic field without causing the leakage magnetic field generated between the upper pole and the lower pole to exceed the recording track width.
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの一構成例を示す要部
斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an essential part showing one configuration example of a magnetic head according to the present invention.
【図２】同磁気ヘッドの要部断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a main part of the magnetic head.
【図３】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための要部断面図である。FIG. 3 is a fragmentary cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the magnetic head according to the present invention.
【図４】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための要部断面図である。FIG. 4 is a fragmentary cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the magnetic head according to the present invention.
【図５】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための要部断面図である。FIG. 5 is a fragmentary cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the magnetic head according to the present invention.
【図６】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための要部断面図である。FIG. 6 is a fragmentary cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the magnetic head according to the present invention.
【図７】本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を説明する
ための要部断面図である。FIG. 7 is a fragmentary cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the magnetic head according to the present invention.
【図８】絶縁層を配さない場合において、上部ポールが
下部ポールに対して位置ズレを起こした状態を示す要部
断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a main part showing a state in which an upper pole is displaced from a lower pole when an insulating layer is not provided.
【図９】絶縁層を配さない場合において、上部ポールが
下部ポールに対してやや幅広である状態を示す要部断面
図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of a main part showing a state where the upper pole is slightly wider than the lower pole when no insulating layer is provided.
【図１０】従来の磁気ヘッドの要部断面図である。FIG. 10 is a sectional view of a main part of a conventional magnetic head.
１ 磁気ヘッド、２ 磁気記録媒体、３ ＭＲヘッド、
４ インダクティブヘッド、１０ 下層コア、１１ 上
層コア、１２ 上部ポール、１３ 下部ポール、１４
磁気ギャップ、１５ コイル、２０Ａ，２０Ｂ 突部、
２１ 絶縁層1 magnetic head, 2 magnetic recording medium, 3 MR head,
4 inductive head, 10 lower core, 11 upper core, 12 upper pole, 13 lower pole, 14
Magnetic gap, 15 coils, 20A, 20B protrusion,
21 Insulating layer
Claims (4)
及び下層コアと、薄膜コイルとを備えてなる誘導型の磁
気ヘッドにおいて、 上記下層コアには、磁気記録媒体摺動面に臨んで下部ポ
ールが上層コアに向かって突出するように形成されると
ともに、 上層コアには、磁気記録媒体摺動面に臨んで上記下部ポ
ールよりも幅広で、トラック幅に対応した幅寸法を有す
る上部ポールが下層コアに向かって突出するように一体
に形成され、 これら下部ポールと上部ポールとの対向面間に磁気ギャ
ップが形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。1. An induction type magnetic head comprising an upper core and a lower core each formed of a magnetic thin film, and a thin film coil, wherein the lower core has a lower pole facing a sliding surface of a magnetic recording medium. Is formed so as to protrude toward the upper layer core. The upper layer core has an upper pole wider than the lower pole facing the magnetic recording medium sliding surface and having a width corresponding to the track width. A magnetic head which is integrally formed so as to protrude toward a core, and wherein a magnetic gap is formed between opposing surfaces of the lower pole and the upper pole.
んでトラック幅方向に離間して配設される一対の突部を
有することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。2. The magnetic head according to claim 1, further comprising a pair of protrusions disposed on the lower core in a track width direction with the lower pole interposed therebetween.
下に形成される下層シールドとの間に磁気抵抗効果素子
が形成され、磁気抵抗効果型磁気ヘッドが形成されてい
ることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。3. A magnetoresistive element is formed between the lower core as an upper shield and a lower shield formed below the lower core, thereby forming a magnetoresistive magnetic head. Item 7. The magnetic head according to Item 1.
の少なくとも一部に、下部ポールが形成されるととも
に、この下部ポールを挟んでトラック幅方向に離間して
一対の突部が形成される工程と、 上記下部ポール及び上記一対の突部を埋め込むように非
磁性体が形成される工程と、 上記下部ポールと対向する位置に、磁気ギャップを介し
て下部ポールより大の幅寸法を有する上部ポールを形成
する工程とを備えることを特徴とする磁気ヘッドの製造
方法。4. A lower pole is formed on at least a part of a side surface of the lower core on which the magnetic recording medium slides, and a pair of protrusions are formed in the track width direction with the lower pole interposed therebetween. Forming a non-magnetic material so as to embed the lower pole and the pair of protrusions; and having a width dimension larger than the lower pole via a magnetic gap at a position facing the lower pole. Forming a top pole.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17690296A JPH1021508A (en) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | Magnetic head and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17690296A JPH1021508A (en) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | Magnetic head and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1021508A true JPH1021508A (en) | 1998-01-23 |
Family
ID=16021759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17690296A Withdrawn JPH1021508A (en) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | Magnetic head and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1021508A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002023539A3 (en) * | 2000-09-13 | 2002-10-10 | Storage Technology Corp | Inverted write head with high-precision track width definition |
-
1996
- 1996-07-05 JP JP17690296A patent/JPH1021508A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002023539A3 (en) * | 2000-09-13 | 2002-10-10 | Storage Technology Corp | Inverted write head with high-precision track width definition |
| US6563669B1 (en) | 2000-09-13 | 2003-05-13 | Storage Technology Corporation | Inverted write head with high-precision track width definition |
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