JPH10213756A - Optical switching element - Google Patents

Optical switching element

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Publication number
JPH10213756A
JPH10213756A JP1829697A JP1829697A JPH10213756A JP H10213756 A JPH10213756 A JP H10213756A JP 1829697 A JP1829697 A JP 1829697A JP 1829697 A JP1829697 A JP 1829697A JP H10213756 A JPH10213756 A JP H10213756A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fluid
base
hole
optical switching
holes
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP1829697A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kimiaki Nakamura
公昭 中村
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPH10213756A publication Critical patent/JPH10213756A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical switching element capable of obtaining a display device having bright display and a five visual angle characteristic. SOLUTION: Plural recessed parts 12 are formed on one face side of a substrate 11 consisting of stainless steel or the like so as to be arrayed like a matrix. Holes 13 penetrated from the bottom parts of respective recessed parts 12 to the other face sides are formed on the substrate 11. Respective holes 13 are filled with oil into which dyestuff or pigment is dispersed as fluid 14, which is supported in the holes 13 by surface tension. A pressure diaphragm 16 is joined with the other face side of the substrate 11 and electrostatic valves 15 are arranged so as to be matched with the end parts of respective holes 13. When the valves 15 are opened and the inner pressure of the diaphragm 16 is increased, the fluid in the holes 13 of which valves 15 are opened is moved to one face side of the substrate 11 and covers the surfaces of the recessed parts 12. Consequently an image or the like is displayed on the surface of the substrate 11.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、表示パネルなどに
適用可能な光スイッチング素子に関し、特に屋外で使用
する携帯端末の表示装置として好適な光スイッチング素
子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical switching element applicable to a display panel and the like, and more particularly to an optical switching element suitable as a display device of a portable terminal used outdoors.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、情報機器の普及に伴い、各種の表
示装置が開発されている。なかでも、反射型表示装置は
光源が不要であるので、消費電力が少ないとともに装置
の小型化が可能である等の利点を有している。従来、反
射型表示装置としては、一対の透明電極間に液晶を封入
し、これを一対の偏光板で挟んだ構造の液晶表示装置
や、一対の透明電極の間に棒状の分子形状を有する色素
(二色性色素)と液晶とを混合して封入したゲスト・ホ
スト型液晶表示装置が開発されている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the spread of information devices, various display devices have been developed. Above all, since the reflection type display device does not require a light source, it has advantages such as low power consumption and downsizing of the device. Conventionally, as a reflective display device, a liquid crystal display device having a structure in which liquid crystal is sealed between a pair of transparent electrodes and sandwiched between a pair of polarizing plates, and a dye having a rod-like molecular shape between the pair of transparent electrodes. A guest-host type liquid crystal display device in which (a dichroic dye) and a liquid crystal are mixed and sealed has been developed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の反射型表示装置は、いずれも液晶による偏向に
より光の透過量を制御するため、光の利用効率が低いと
いう欠点がある。また、液晶表示装置では複屈折により
光の透過率を制御するため、表示パネルの正面では良好
な表示が得られるものの、斜め方向から見たときのコン
トラストが低下し、視角特性が悪いという欠点もある。
However, all of the above-mentioned conventional reflection type display devices have a drawback that the efficiency of light utilization is low because the amount of transmitted light is controlled by deflection by liquid crystal. Further, in the liquid crystal display device, since the transmittance of light is controlled by birefringence, a good display can be obtained in front of the display panel, but the contrast when viewed from an oblique direction is reduced, and the viewing angle characteristic is poor. is there.

【0004】本発明の目的は、表示が明るく、且つ視角
特性が良好な表示装置が得られる光スイッチング素子を
提供することである。
[0004] It is an object of the present invention to provide an optical switching element capable of providing a display device with a bright display and good viewing angle characteristics.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記した課題は、基盤
と、この基盤の一方の面から他方の面に貫通する孔と、
前記孔内に充填されて表面張力により前記孔内に支持さ
れる流動体と、前記基盤の前記一方の面側と他方の面側
との間に圧力差を与えて、前記孔内の流動体の少なくと
も一部を前記基盤の一方の面側に移動させる圧力調整手
段とを有することを特徴とする光スイッチング素子によ
り解決する。
SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned object is to provide a base, a hole penetrating from one side of the base to the other side,
A fluid filled in the hole and supported in the hole by surface tension, and a pressure difference is applied between the one surface side and the other surface side of the base to provide a fluid in the hole. And pressure adjusting means for moving at least a part of the substrate to one surface side of the base.

【0006】上記した課題は、基盤と、マトリックス状
に配置され、前記基盤の一方の面から他方の面に貫通す
る複数の孔と、前記孔内に充填されて表面張力により前
記孔内に支持される流動体と、各孔内の流動体毎に前記
基盤の一方の面側と他方の面側との間に圧力差を与え
て、流動体の少なくとも一部を前記基盤の一方の面側に
移動させる選択的圧力調整手段とを有することを特徴と
する光スイッチング素子により解決する。
The above-mentioned problem is solved by a base, a plurality of holes arranged in a matrix and penetrating from one surface of the base to the other surface, and filled in the holes and supported in the holes by surface tension. And a pressure difference between one surface side and the other surface side of the base for each of the fluids in each hole, so that at least a part of the fluid is on one side of the base. And a selective pressure adjusting means for moving the optical switching element to the optical switching element.

【0007】以下、本発明の作用について説明する。本
発明においては、基盤に設けられた孔内に流動体が充填
されており、この流動体は表面張力により前記孔内に支
持されている。そして、圧力調整手段により基盤の一方
の面側と他方の面側との間に圧力差を与えて孔内の流動
体を基盤の一方の面側に移動させると、基盤の一方の面
側の孔の周囲がこの流動体で覆われる。従って、流動体
が例えば染料又は顔料を分散させたオイル等からなる場
合は、基盤表面の流動体に覆われた部分の光反射率が低
くなる。これにより、基盤表面の流動体に覆われた部分
と流動体に覆われていない部分との間でコントラストが
得られ、画像等の表示が可能になる。
Hereinafter, the operation of the present invention will be described. In the present invention, a fluid is filled in a hole provided in the base, and the fluid is supported in the hole by surface tension. Then, by applying a pressure difference between one surface side and the other surface side of the base by the pressure adjusting means to move the fluid in the hole to the one surface side of the base, the one surface side of the base is The perimeter of the hole is covered with this fluid. Therefore, when the fluid is made of, for example, oil in which a dye or a pigment is dispersed, the light reflectance of the portion of the substrate surface covered with the fluid is low. Thereby, a contrast is obtained between a portion of the substrate surface covered with the fluid and a portion not covered with the fluid, and an image or the like can be displayed.

【0008】前記流動体としては、水銀等のように光を
反射する物質を用いてもよい。この場合は、基盤表面に
光を吸収する膜(黒色塗膜等)を形成しておく。また、
前記流動体としては、屈折により光の反射方向を変える
透明のオイル等を使用することもできる。これらの場合
も、基盤表面の流動体に覆われた部分と流動体に覆われ
ていない部分との間でコントラストが得られ、画像等の
表示が可能になる。
As the fluid, a substance that reflects light, such as mercury, may be used. In this case, a light-absorbing film (such as a black coating film) is formed on the surface of the substrate. Also,
As the fluid, a transparent oil or the like that changes the direction of light reflection by refraction may be used. Also in these cases, a contrast is obtained between a portion of the substrate surface covered with the fluid and a portion not covered with the fluid, and an image or the like can be displayed.

【0009】このように、本発明においては、基盤表面
への流動体の移動を制御し、流動体による光の吸収、反
射又は屈折等により基盤表面に画像等を表示させるの
で、液晶を使用した従来の表示装置と異なり、光の利用
効率が高く、また視角特性も優れている。
As described above, in the present invention, since the movement of the fluid to the surface of the substrate is controlled and an image or the like is displayed on the surface of the substrate by absorption, reflection or refraction of light by the fluid, liquid crystal is used. Unlike conventional display devices, it has high light use efficiency and excellent viewing angle characteristics.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付の図面を参照して説明する。図1は本発明の実
施の形態の光スイッチング素子を示す断面図である。基
盤11はステンレス等のように表面に光沢を有する板材
からなる。この基盤11の一方の面側には円錐状又は角
錐状の凹部12がマトリックス状に配置されている。ま
た、基盤11には、各凹部12の底部から他方の面側に
貫通する孔13が設けられている。そして、各孔13内
には流動体14として、黒の染料又は顔料を分散させた
オイルが充填されている。この流動体14は、表面張力
により孔13内に支持されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a sectional view showing an optical switching element according to an embodiment of the present invention. The base 11 is made of a plate material having a glossy surface such as stainless steel. On one surface side of the base 11, conical or pyramidal concave portions 12 are arranged in a matrix. Further, the base 11 is provided with holes 13 penetrating from the bottom of each recess 12 to the other surface side. Each of the holes 13 is filled with an oil in which a black dye or pigment is dispersed as a fluid 14. The fluid 14 is supported in the hole 13 by surface tension.

【0011】基盤11の下側には、圧力隔壁16が接合
されており、基盤11の下側にこの圧力隔壁16と孔1
3内の流動体14とにより外部空間と遮断された密閉空
間が形成されている。そして、各孔13の下側にはそれ
ぞれ静電弁15が配置されている。これらの静電弁15
により、孔13の他端側の端部が開閉される。圧力隔壁
16の一部にはベローズ(又は、ダイヤフラム)17が
取り付けられており、電磁アクチュエータ18によりこ
のベローズ17を稼動させることにより、圧力隔壁16
内の空間の圧力を変化させることができる。
A pressure bulkhead 16 is joined to the lower side of the base 11, and the pressure bulkhead 16 and the hole 1 are formed below the base 11.
The fluid 14 inside 3 forms a closed space which is isolated from the external space. An electrostatic valve 15 is arranged below each hole 13. These electrostatic valves 15
Thereby, the other end of the hole 13 is opened and closed. A bellows (or a diaphragm) 17 is attached to a part of the pressure bulkhead 16.
The pressure of the space inside can be changed.

【0012】本実施の形態の光スイッチング素子におい
ては、各凹部12が画素となり、各画素の明暗により画
像等を表示する。図2(a)は、静電弁の一例を示す断
面図である。この静電弁15aは、ほぼ中心位置で屈曲
した形状の可動片21と、この可動片21をほぼ中心位
置で揺動可能に支持する支持部材22と、可動片21を
静電力により作動させるための電極23とにより構成さ
れている。可動片21の一端側は孔13の端部を閉塞可
能になっており、電極23は可動片21の他端側に対応
して配置されている。そして、電極23は電源24の正
極側に接続されており、可動片21はスイッチ部25の
一端側に接続され、このスイッチ部25の他端側は電源
24の負極側に接続される。
In the optical switching element of the present embodiment, each recess 12 serves as a pixel, and an image or the like is displayed by the brightness of each pixel. FIG. 2A is a cross-sectional view illustrating an example of the electrostatic valve. The electrostatic valve 15a has a movable piece 21 that is bent at a substantially central position, a support member 22 that swingably supports the movable piece 21 at a substantially central position, and a movable piece 21 that is operated by electrostatic force. Electrodes 23. One end of the movable piece 21 can close the end of the hole 13, and the electrode 23 is arranged corresponding to the other end of the movable piece 21. The electrode 23 is connected to the positive electrode of the power supply 24, the movable piece 21 is connected to one end of the switch 25, and the other end of the switch 25 is connected to the negative electrode of the power 24.

【0013】この静電弁15aは、スイッチ部25がオ
フのときは、可動片21の一端側が孔13の端部を閉塞
する。スイッチ部25がオンになると、可動片21の他
端側が電極23に引き付けられて、その結果、孔13の
端部が開放される。図2(b)は、静電弁の他の例を示
す断面図である。この静電弁15bは、一端側が圧力隔
壁16に固定され、他端側により孔13の端部を閉塞可
能の平板状の可動片26と、可動片26の他端側に整合
して配置されて静電力により可動片26を作動させるた
めの電極27とにより構成されている。そして、可動片
26は電源29aの正極側に接続され、電極27は切換
スイッチ部28の中立接点cに接続されている。この切
換スイッチ部28の第1の切替え接点aは接地に接続さ
れ、第2の切替え接点bは電源29bの正極に接続され
る。
In the electrostatic valve 15a, one end of the movable piece 21 closes the end of the hole 13 when the switch 25 is turned off. When the switch 25 is turned on, the other end of the movable piece 21 is attracted to the electrode 23, and as a result, the end of the hole 13 is opened. FIG. 2B is a cross-sectional view illustrating another example of the electrostatic valve. The electrostatic valve 15b has a flat plate-shaped movable piece 26, one end of which is fixed to the pressure partition 16 and the end of the hole 13 can be closed by the other end, and is arranged in alignment with the other end of the movable piece 26. And an electrode 27 for operating the movable piece 26 by electrostatic force. The movable piece 26 is connected to the positive electrode side of the power supply 29a, and the electrode 27 is connected to the neutral contact c of the switch 28. The first switching contact a of the switching unit 28 is connected to the ground, and the second switching contact b is connected to the positive electrode of the power supply 29b.

【0014】この静電弁15bは、切換スイッチ部28
が第1の切替え接点a側に接続されているときは、可動
片26の他端側が電極27に引き付けられて、これによ
り孔13が可動片26により閉塞される。また、切換ス
イッチ部28が第2の切替え接点b側に接続されている
ときは、電極27と可動片26の他端側とが反発し可動
片26が破線で示すように湾曲して、孔13の端部が開
放される。
The electrostatic valve 15b is provided with a changeover switch unit 28
Is connected to the first switching contact a, the other end of the movable piece 26 is attracted to the electrode 27, whereby the hole 13 is closed by the movable piece 26. When the switch 28 is connected to the second switching contact b, the electrode 27 and the other end of the movable piece 26 are repelled, and the movable piece 26 is bent as shown by a broken line to form a hole. 13 is opened.

【0015】以下、このように構成された本実施の形態
の光スイッチング素子の動作について説明する。まず、
図3に示すように、暗表示すべき画素の静電弁15を開
状態にしておく。その後、アクチュエータ18に電流I
を流してベローズ17を押し上げると、圧力隔壁16内
の密閉空間の圧力が高くなる。その結果、静電弁15が
開状態の孔13内の流動体14が凹部12に押し出さ
れ、凹部12の表面を覆う。
Hereinafter, the operation of the thus configured optical switching element of the present embodiment will be described. First,
As shown in FIG. 3, the electrostatic valve 15 of the pixel to be displayed in a dark state is kept open. Then, the current I is applied to the actuator 18.
And the bellows 17 is pushed up to increase the pressure in the closed space inside the pressure partition 16. As a result, the fluid 14 in the hole 13 in which the electrostatic valve 15 is open is pushed out into the recess 12, and covers the surface of the recess 12.

【0016】これにより、凹部12の表面の光の反射率
が低下し、その部分の画素は暗表示となる。一方、静電
弁15が閉状態の孔13では、孔13内に流動体14が
留まっているため、凹部12の表面の反射率が高い。す
なわち、その部分の画素は明表示となる。このように、
本実施の形態では、静電弁15の開閉により基盤11の
表面における反射率を画素(凹部12)毎に制御するの
で、明暗により画像等の表示が可能になる。この場合
に、静電弁15が閉状態の画素では凹部12表面でほぼ
100%の光が反射されるので、光の利用効率が高く表
示の認識性が高い。また、液晶表示装置のような視角の
方向依存性がない。
As a result, the reflectance of light on the surface of the concave portion 12 is reduced, and the pixel in that portion is displayed in a dark state. On the other hand, in the hole 13 in which the electrostatic valve 15 is closed, the fluid 14 stays in the hole 13, so that the reflectance of the surface of the concave portion 12 is high. That is, the pixels in that part are displayed brightly. in this way,
In the present embodiment, the reflectance on the surface of the base 11 is controlled for each pixel (recess 12) by opening and closing the electrostatic valve 15, so that an image or the like can be displayed by light and dark. In this case, since almost 100% of the light is reflected on the surface of the concave portion 12 in the pixel where the electrostatic valve 15 is in the closed state, the light use efficiency is high and the display recognizability is high. Further, there is no direction dependency of the viewing angle unlike the liquid crystal display device.

【0017】以下、本実施の形態の光スイッチング素子
の製造方法について説明する。まず、厚さが約100μ
mのステンレス板を用意し、このステンレス板を放電加
工して、直径が約20μmで約100μmのピッチでマ
トリックス状に配列した複数の孔13を形成する。次
に、一方の面側の孔13の周囲をテーパー状にエッチン
グすることにより、凹部12を形成する。
Hereinafter, a method for manufacturing the optical switching element of the present embodiment will be described. First, the thickness is about 100μ
A stainless steel plate having a diameter of about 20 μm is prepared, and a plurality of holes 13 having a diameter of about 20 μm and arranged in a matrix at a pitch of about 100 μm are formed. Next, the concave portion 12 is formed by etching the periphery of the hole 13 on one surface side into a tapered shape.

【0018】一方、シリコン基板を用いて圧力隔壁16
を形成する。この場合、マイクロマシニング技術を利用
して、基盤11の各孔13に対応する位置に静電弁15
を形成する。また、圧力隔壁16にベローズ17を取り
付ける。このベローズ17は、例えば金属薄板を同心円
状(断面が波状)に曲げ加工したものでもよく、シリコ
ン基板の一部をエッチングにより薄膜化したものでもよ
い。
On the other hand, the pressure barrier 16 is formed by using a silicon substrate.
To form In this case, using a micromachining technique, the electrostatic valve 15 is placed at a position corresponding to each hole 13 of the base 11.
To form A bellows 17 is attached to the pressure bulkhead 16. The bellows 17 may be, for example, a metal sheet that is bent concentrically (corrugated in cross section) or a silicon substrate that is partly thinned by etching.

【0019】次に、基盤11を、オイル中に黒の染料又
は顔料を分散させたインク(流動体)中に浸漬し、各孔
13内にインクを充填する。このとき、基盤11をイン
クの槽から引き上げた後、必要に応じて基盤11の表面
をブローして、過剰なインクを除去する。インクは、各
孔13内に表面張力により支持される。次いで、ベロー
ズ17が取り付けられた圧力隔壁16を基盤11の下面
側に接合し、ベローズ17と電磁アクチュエータ18と
を連結する。これにより、本実施の形態の光スイッチン
グ素子が完成する。
Next, the substrate 11 is immersed in an ink (fluid) in which a black dye or pigment is dispersed in oil, and the holes 13 are filled with the ink. At this time, after the substrate 11 is lifted from the ink tank, the surface of the substrate 11 is blown as necessary to remove excess ink. The ink is supported in each hole 13 by surface tension. Next, the pressure partition 16 to which the bellows 17 is attached is joined to the lower surface side of the base 11, and the bellows 17 and the electromagnetic actuator 18 are connected. Thereby, the optical switching element of the present embodiment is completed.

【0020】なお、流動体に使用するオイルは揮発しに
くいものであることが好ましく、例えばシリコン系(特
にシロキサン系)オイルを使用することができる。ま
た、流動体として水銀を使用してもよい。この場合は、
基盤11の表面に例えばブラックポリイミド膜等のよう
に光を反射しにくい膜を形成し、水銀が孔13から押し
出されたときに、水銀による光の反射により画素が明状
態になるようにする。
It is preferable that the oil used for the fluid is hardly volatilized. For example, a silicon-based (particularly, siloxane-based) oil can be used. Also, mercury may be used as the fluid. in this case,
On the surface of the base 11, a film such as a black polyimide film, which hardly reflects light, is formed so that when mercury is extruded from the hole 13, the light is reflected by the mercury so that the pixel is in a bright state.

【0021】更に、流動体14として、透明なオイルを
使用してもよい。このオイルにより光が屈折又は反射さ
れて反射方向が変化し、基盤11の表面のオイルに覆わ
れた部分と、オイルに覆われていない部分とでコントラ
ストが得られる。更にまた、上述の実施例においてはベ
ローズ17により孔13内の流動体14を基盤11の上
側に押し出す場合について説明したが、透明材料により
形成される圧力隔壁を基盤11の上側に形成し、負の圧
力により孔13内の流動体14を基盤11上に引き出す
ようにしてもよい。この場合も、上記の実施の形態と同
様の効果が得られる。
Further, a transparent oil may be used as the fluid 14. The light is refracted or reflected by the oil to change the reflection direction, and a contrast is obtained between a portion of the surface of the base 11 covered with the oil and a portion not covered with the oil. Furthermore, in the above-described embodiment, the case where the fluid 14 in the hole 13 is pushed out to the upper side of the base 11 by the bellows 17 has been described. The fluid 14 in the hole 13 may be drawn out onto the base 11 by the pressure of (1). In this case, the same effect as in the above embodiment can be obtained.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光スイッ
チング素子は、基盤に設けられた孔内に流動体を配置
し、圧力調整手段により前記流動体を前記孔内から基板
表面に移動させることにより、基盤表面の光の反射率を
選択的に変化させて画像等を表示するので、光の利用効
率が優れ、且つ斜め方向からの視角特性が優れている。
これにより、小型で消費電力が少なく、携帯用端末のデ
ィスプレイとして好適な表示装置が得られるという効果
を奏する。
As described above, in the optical switching element of the present invention, the fluid is arranged in the hole provided in the base, and the fluid is moved from the inside of the hole to the substrate surface by the pressure adjusting means. Thereby, an image or the like is displayed by selectively changing the light reflectance of the substrate surface, so that the light use efficiency is excellent and the viewing angle characteristics from an oblique direction are excellent.
Thus, there is an effect that a display device which is small, consumes little power, and is suitable as a display of a portable terminal can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態の光スイッチング素子を示
す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an optical switching element according to an embodiment of the present invention.

【図2】(a)は静電弁の一例を示す断面図、(b)は
静電弁の他の例を示す断面図である。
2A is a cross-sectional view illustrating an example of an electrostatic valve, and FIG. 2B is a cross-sectional view illustrating another example of the electrostatic valve.

【図3】本発明の実施の形態の光スイッチング素子の動
作を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an operation of the optical switching element according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 基盤 12 凹部 13 孔 14 流動体 15,15a,15b 静電弁 16 圧力隔壁 17 ベローズ 18 電磁アクチュエータ 21,26 可動片 22 支持部材 23,27 電極 24,29a,29b 電源 25 スイッチ部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Substrate 12 Recess 13 Hole 14 Fluid 15, 15a, 15b Electrostatic valve 16 Pressure partition 17 Bellows 18 Electromagnetic actuator 21, 26 Movable piece 22 Supporting member 23, 27 Electrode 24, 29a, 29b Power supply 25 Switch part

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基盤と、 この基盤の一方の面から他方の面に貫通する孔と、 前記孔内に充填されて表面張力により前記孔内に支持さ
れる流動体と、 前記基盤の前記一方の面側と他方の面側との間に圧力差
を与えて、前記孔内の流動体の少なくとも一部を前記基
盤の一方の面側に移動させる圧力調整手段とを有するこ
とを特徴とする光スイッチング素子。
1. A base, a hole penetrating from one side of the base to the other side, a fluid filled in the hole and supported in the hole by surface tension, and the one of the bases Pressure adjusting means for giving a pressure difference between the surface side and the other surface side to move at least a part of the fluid in the hole to one surface side of the base. Optical switching element.
【請求項2】 前記流動体は、前記基盤の一方の側の表
面に比べて光の吸収率が高い物質からなることを特徴と
する請求項1に記載の光スイッチング素子。
2. The optical switching element according to claim 1, wherein the fluid is made of a material having a higher light absorptivity than a surface on one side of the base.
【請求項3】 前記流動体は、前記基盤の一方の側の表
面に比べて光の反射率が高い物質からなることを特徴と
する請求項1に記載の光スイッチング素子。
3. The optical switching device according to claim 1, wherein the fluid is made of a material having a higher light reflectance than a surface of the substrate on one side.
【請求項4】 前記流動体は、透明の不揮発性オイルか
らなることを特徴とする請求項1に記載の光スイッチン
グ素子。
4. The optical switching device according to claim 1, wherein the fluid is made of a transparent nonvolatile oil.
【請求項5】 前記基盤の一方の側には前記孔に連通
し、前記孔の外側に移動した流動体を溜める凹部が設け
られていることを特徴とする請求項1に記載の光スイッ
チング素子。
5. The optical switching element according to claim 1, wherein a concave portion is provided on one side of the base, the concave portion communicating with the hole and storing a fluid moved outside the hole. .
【請求項6】 基盤と、 マトリックス状に配置され、前記基盤の一方の面から他
方の面に貫通する複数の孔と、 前記孔内に充填されて表面張力により前記孔内に支持さ
れる流動体と、 各孔内の流動体毎に前記基盤の一方の面側と他方の面側
との間に圧力差を与えて、流動体の少なくとも一部を前
記基盤の一方の面側に移動させる選択的圧力調整手段と
を有することを特徴とする光スイッチング素子。
6. A base, a plurality of holes arranged in a matrix and penetrating from one surface of the base to the other surface, and a flow filled in the holes and supported in the holes by surface tension. And applying a pressure difference between one surface side and the other surface side of the base for each fluid in each hole to move at least a portion of the fluid to the one surface side of the base. An optical switching element comprising: a selective pressure adjusting unit.
【請求項7】 基盤と、 マトリックス状に配置され、前記基盤の一方の面から他
方の面に貫通する複数の孔と、 前記孔内に充填されて表面張力により前記孔内に支持さ
れる流動体と、 各孔内の流動体毎に前記基盤の一方の面側と他方の面側
との間に圧力差を与えて、流動体の少なくとも一部を前
記基盤の一方の面側に移動させる選択的圧力調整手段と
を有し、 前記選択的圧力調整手段は、各孔毎に孔の他端側の端部
を開閉する開閉手段を備え、各開閉手段の開閉により各
孔内の流動体に選択的に圧力を加えるものであることを
特徴とする光スイッチング素子。
7. A base, a plurality of holes arranged in a matrix and penetrating from one surface of the base to the other surface, and a flow filled in the holes and supported in the holes by surface tension. And applying a pressure difference between one surface side and the other surface side of the base for each fluid in each hole to move at least a portion of the fluid to the one surface side of the base. Selective pressure adjusting means, wherein the selective pressure adjusting means includes an opening / closing means for opening and closing the other end of the hole for each hole, and a fluid in each hole by opening / closing the opening / closing means. An optical switching element for selectively applying pressure to the optical switching element.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001075845A1 (en) * 2000-04-04 2001-10-11 Richard Cooke Screen display device
AU2001243956B2 (en) * 2000-04-04 2006-05-11 Richard Cooke Screen display device
JP2012518198A (en) * 2009-02-13 2012-08-09 アドレンズ ビーコン インコーポレイテッド Variable focus liquid-filled lens mechanism
US9033495B2 (en) 2009-02-13 2015-05-19 Adlens Beacon, Inc. Variable focus liquid filled lens apparatus

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