JPH10202860A - Ink jet recording head - Google Patents

Ink jet recording head

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Publication number
JPH10202860A
JPH10202860A JP9009296A JP929697A JPH10202860A JP H10202860 A JPH10202860 A JP H10202860A JP 9009296 A JP9009296 A JP 9009296A JP 929697 A JP929697 A JP 929697A JP H10202860 A JPH10202860 A JP H10202860A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
film layer
jet recording
recording head
electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP9009296A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideo Yasutomi
英雄 保富
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Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Minolta Co Ltd filed Critical Minolta Co Ltd
Priority to JP9009296A priority Critical patent/JPH10202860A/en
Publication of JPH10202860A publication Critical patent/JPH10202860A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily and inexpensively produce an ink emitting actuator in an ink jet recording head. SOLUTION: An ink jet recording head is equipped with an ink cavity 16 housing ink, the film 14 composed of a halogen-containing org. compd. opposed to the ink cavity 16 and having a common electrode 30 provided to the surface opposed to the ink cavity thereof and also having drive voltage applying individual electrodes 32 provided to the opposite surface thereof and the base electrode 40 provided to the individual electrodes 32 of the film 14 in a non-adhesive state and receiving the application of bias electrode having the same polarity as the drive voltage to form an electric field between the common electrode 30 and the base electrode 40.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、画像信号に応じて
吐出したインク滴を記録紙等の記録媒体に付着させて画
像を記録するインクジェット記録ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head for recording an image by attaching ink droplets discharged according to an image signal to a recording medium such as recording paper.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、インクジェット方式の画像記
録装置において、画像信号に応じてインク滴を吐出させ
るためのアクチュエータに圧電部材を用いたインクジェ
ット記録ヘッドが知られている。この種のヘッドは、一
般に、インクを収容する複数のインクキャビティと、各
インクキャビティに対向して配置され、電圧印加時の変
形に基づきインクキャビティ内のインクを加圧してノズ
ルからインク滴を吐出させる複数の圧電部材とを備えて
いる。そして、これら圧電部材は、基板上に固定した一
枚の圧電プレートにダイシングソーで複数の溝加工を施
すことにより分割形成される場合が多かった。
2. Description of the Related Art Conventionally, in an ink jet type image recording apparatus, an ink jet recording head using a piezoelectric member as an actuator for discharging ink droplets according to an image signal has been known. In general, this type of head is arranged so as to face a plurality of ink cavities for accommodating ink and each of the ink cavities, and pressurizes the ink in the ink cavities based on deformation when a voltage is applied to eject ink droplets from nozzles. And a plurality of piezoelectric members. In many cases, these piezoelectric members are divided and formed by applying a plurality of grooves to a single piezoelectric plate fixed on a substrate using a dicing saw.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
圧電部材の形成方法は、高度な加工精度を保ちながら圧
電プレートから圧電部材を一本づつ分離形成するもので
あるため、加工効率が非常に悪かった。また、圧電部材
は例えば100μm程度の微小幅で長尺状に形成される
ため加工途中に折れやすく、歩留まりを上げることが困
難でコスト高を招くという問題もあった。
However, the above-mentioned method for forming a piezoelectric member separates and forms piezoelectric members one by one from a piezoelectric plate while maintaining high processing accuracy, and therefore, the processing efficiency is extremely low. Was bad. Further, since the piezoelectric member is formed in a long shape with a minute width of, for example, about 100 μm, there is also a problem that the piezoelectric member is easily broken during processing, it is difficult to increase the yield, and the cost is increased.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明にかかる
インクジェット記録ヘッドは上記問題点を解消すべく、
インクを収容するインクキャビティと、このインクキャ
ビティに対向し、上記インクキャビティ側の面に第1電
極層を有するとともにその反対面に駆動電圧印加用の第
2電極層を有する含ハロゲン有機化合物からなるフィル
ム層と、このフィルム層の第2電極層に対して非接着状
態で設けられ、上記駆動用電圧と同極性のバイアス電圧
が印加されて第1電極層との間に電界を形成する第3電
極層とを備えたものである。
Accordingly, an ink jet recording head according to the present invention has been developed in order to solve the above-mentioned problems.
An ink cavity containing the ink and a halogen-containing organic compound having a first electrode layer on the surface facing the ink cavity and facing the ink cavity and having a second electrode layer for applying a driving voltage on the opposite surface. A third layer, which is provided in a non-adhered state with respect to the film layer and the second electrode layer of the film layer, and is applied with a bias voltage having the same polarity as the driving voltage to form an electric field between the first electrode layer and the third electrode layer; And an electrode layer.

【0005】このインクジェット記録ヘッドでは上記含
ハロゲン有機化合物を含フッ素有機化合物とすることが
好ましい。
In the ink jet recording head, the halogen-containing organic compound is preferably a fluorine-containing organic compound.

【0006】また、上記フィルム層が上記インクキャビ
ティに収容されたインクと直接接触するように構成して
もよい。
Further, the film layer may be configured to be in direct contact with the ink contained in the ink cavity.

【0007】さらに、上記フィルム層のインクキャビテ
ィ対向領域における周辺部の厚みをその内側領域のアク
チュエータ部よりも薄く成形してもよい。
Further, the thickness of the peripheral portion of the film layer in the region facing the ink cavity may be formed thinner than the actuator portion in the inner region.

【0008】[0008]

【発明の作用および効果】本発明にかかるインクジェッ
ト記録ヘッドでは、第3電極層に印加されたバイアス電
圧により第1電極層との間に電界が形成され、第3電極
層内部の第2電極側には上記バイアス電圧と同極性の電
荷が発生している。この状態で、フィルム層の第2電極
層に上記バイアス電圧と同極性の駆動電圧を印加する
と、フィルム層を構成する含ハロゲン有機化合物は通常
の樹脂材料に比べて誘電率が大きいために第2電極層に
は駆動電圧と同極性でかつ多量の電荷が貯えられ、同極
性の電荷が発生している第3電極層表面との間に静電反
発力が生じる。フィルム層は第3電極層に対して非接着
状態にあるため、上記反発力によって第3電極層から離
れる方向に変位する。このフィルム層の変位によりイン
クキャビティ内の容積が減少し、これにより加圧された
インクがインク滴となって吐出する。
In the ink jet recording head according to the present invention, an electric field is formed between the third electrode layer and the first electrode layer by the bias voltage applied to the third electrode layer. Generates a charge having the same polarity as the bias voltage. In this state, when a drive voltage having the same polarity as the above-mentioned bias voltage is applied to the second electrode layer of the film layer, the halogen-containing organic compound constituting the film layer has a higher dielectric constant than the ordinary resin material, and thus the second electrode layer has a higher dielectric constant. A large amount of electric charge having the same polarity as the driving voltage is stored in the electrode layer, and an electrostatic repulsion is generated between the electrode layer and the surface of the third electrode layer where the electric charge of the same polarity is generated. Since the film layer is not adhered to the third electrode layer, the film layer is displaced away from the third electrode layer by the repulsive force. This displacement of the film layer reduces the volume in the ink cavity, whereby the pressurized ink is ejected as ink droplets.

【0009】このように本発明のインクジェット記録ヘ
ッドでは含ハロゲン有機化合物からなるフィルム層をイ
ンク吐出用アクチュエータとして用いている。このフィ
ルム層は型成形等により所望の形状に容易に形成するこ
とができ、しかも安価であるため、ヘッドの量産に極め
て有利である。また、上記フィルム層は変位応答性に優
れるため、高周期の駆動電圧を印加して時間当たりのイ
ンク滴吐出数を増やすことにより画像形成速度を上げる
ことができる。
As described above, in the ink jet recording head of the present invention, the film layer made of a halogen-containing organic compound is used as an actuator for ejecting ink. Since this film layer can be easily formed into a desired shape by molding or the like and is inexpensive, it is extremely advantageous for mass production of heads. Further, since the film layer has excellent displacement response, the image forming speed can be increased by applying a high-period driving voltage to increase the number of ink droplets ejected per time.

【0010】また、上記フィルム層を構成する含ハロゲ
ン有機化合物として含フッ素有機化合物を用いれば、誘
電率が大きいため、より大きな静電反発力を得ることが
でき、インク吐出効率を高めることができる。
Further, when a fluorine-containing organic compound is used as the halogen-containing organic compound constituting the film layer, since the dielectric constant is large, a larger electrostatic repulsion can be obtained, and the ink ejection efficiency can be improved. .

【0011】また、上記フィルム層がインクキャビティ
に収容されたインクと直接接触するインクジェット記録
ヘッドでは、上記フィルム層の材料に耐水性をもたせる
ことが可能であるため、アクチュエータに圧電部材を用
いた場合のようにインク浸透による悪影響を防止するた
めの耐水コートや保護部材が不要となり、部品コストを
安価にできる。
In an ink jet recording head in which the film layer comes into direct contact with the ink contained in the ink cavity, the material of the film layer can be made water-resistant. As described above, there is no need for a water-resistant coat or a protective member for preventing adverse effects due to ink permeation, and component costs can be reduced.

【0012】さらに、上記フィルム層のインクキャビテ
ィ対向領域における周辺部の厚みをその内側領域のアク
チュエータ部よりも薄く形成したインクジェット記録ヘ
ッドでは、上記周辺部を薄くしたことによりフィルム層
のアクチュエータ部が変位する際の抵抗が小さくて済む
ので、同じ駆動電圧でもアクチュエータ部の変位量を大
きくとることができ、インク吐出効率が良くなる。
Further, in the ink jet recording head in which the peripheral portion of the film layer in the region facing the ink cavity is formed thinner than the actuator portion in the inner region, the actuator portion of the film layer is displaced by making the peripheral portion thinner. Since the resistance at the time of the driving is small, the displacement of the actuator can be increased even with the same driving voltage, and the ink ejection efficiency is improved.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態について説明する。図1から図3は本発明
の一実施形態であるインクジェット記録ヘッド10を示
す。このヘッド10は、記録媒体(図示せず)の対向部
に天板12を備えている。天板12はセラミック、合成
樹脂、金属等からなり、その裏面を微細加工して複数の
溝状凹部が形成されている。この天板12には各凹部を
覆ってフィルム層14が接着固定されている。このフィ
ルム層14で覆われた各凹部の内部がそれぞれ、インク
を収容するインクキャビティ16、補給用インクを収容
するインク供給室18、各インクキャビティ16をイン
ク供給室18に連通させるインクインレット20として
形成されている。各インクキャビティ14はそれぞれ平
行に、かつ等ピッチで形成されており、インク供給室1
6は図示しないインクタンクに接続されている。 ま
た、天板12にはインクインレット20の反対側におい
てインクキャビティ16に連通するノズル22がエキシ
マレーザ加工等によりそれぞれ形成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 1 to 3 show an ink jet recording head 10 according to one embodiment of the present invention. The head 10 includes a top plate 12 at a portion facing a recording medium (not shown). The top plate 12 is made of ceramic, synthetic resin, metal, or the like, and has a plurality of groove-shaped concave portions formed by finely processing the back surface. A film layer 14 is bonded and fixed to the top plate 12 so as to cover each recess. The inside of each concave portion covered with the film layer 14 is an ink cavity 16 for storing ink, an ink supply chamber 18 for storing replenishment ink, and an ink inlet 20 for communicating each ink cavity 16 with the ink supply chamber 18. Is formed. The ink cavities 14 are formed in parallel and at equal pitches, respectively.
Reference numeral 6 is connected to an ink tank (not shown). On the top plate 12, nozzles 22 communicating with the ink cavities 16 are formed on the opposite side of the ink inlets 20 by excimer laser processing or the like.

【0014】上記フィルム層14は誘電体である含ハロ
ゲン有機化合物からなり、特に、含フッ素有機化合物で
形成するのが好ましい。変位応答性に優れた好ましい具
体的材料としては、ポリテトラフルオロエチレン(PT
FE)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTF
E)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピ
レン共重合体(FEP)、ポリフッ化ビニリデン(PV
DF)、ポリフッ化ビニル(PVF)、ポリフッ化ビニ
リデン中に圧電材料粒子を分散したもの等が挙げられ
る。また、ポリウレタン、ポリシリコーン、ポリブタジ
エン、ポリフルオロシリコーン等のゴム材料中に圧電材
料粒子を分散したものもフィルム層14の材料として使
用できる。
The film layer 14 is made of a halogen-containing organic compound which is a dielectric, and is particularly preferably formed of a fluorine-containing organic compound. A preferable specific material having excellent displacement response is polytetrafluoroethylene (PT).
FE), polychlorotrifluoroethylene (PCTF
E), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), polyvinylidene fluoride (PV
DF), polyvinyl fluoride (PVF), and a dispersion of piezoelectric material particles in polyvinylidene fluoride. Further, a material in which piezoelectric material particles are dispersed in a rubber material such as polyurethane, polysilicone, polybutadiene, and polyfluorosilicone can also be used as the material of the film layer 14.

【0015】上記フィルム層14は上記インクキャビテ
ィ16等の一壁面を形成するように対向して設けてあ
り、インクキャビティ16等に収容されたインクと直接
接触している。また、フィルム層14のインクキャビテ
ィ対向領域における周辺部の厚みがその内側領域のアク
チュエータ部28よりも薄く形成されている。換言する
と、アクチュエータ部28は各インクキャビティ16に
対応してフィルム層14の下面から突出した矩形凸状部
からなり、その長さおよび幅はインクキャビティ16よ
り僅かに小さく形成されているので、フィルム層14に
おいてアクチュエータ部28は厚く形成され、その周辺
部を含むその他の部分はアクチュエータ部28よりも薄
く形成されている。このようなフィルム層14の形状
は、押出成形、圧縮成形、カレンダー成形、キャスティ
ング成形等の公知の樹脂一体成形技術により形成するこ
とができる。
The film layer 14 is provided so as to face one wall of the ink cavity 16 and the like, and is in direct contact with the ink contained in the ink cavity 16 and the like. In addition, the thickness of the peripheral portion of the film layer 14 in the ink cavity facing region is formed to be smaller than that of the actuator portion 28 in the inner region. In other words, the actuator portion 28 is formed of a rectangular convex portion protruding from the lower surface of the film layer 14 corresponding to each ink cavity 16, and its length and width are formed slightly smaller than the ink cavity 16. In the layer 14, the actuator section 28 is formed to be thick, and other portions including the peripheral portion are formed to be thinner than the actuator section 28. Such a shape of the film layer 14 can be formed by a known resin integral molding technique such as extrusion molding, compression molding, calendar molding, and casting molding.

【0016】また、上記フィルム層14はインクキャビ
ティ16側の面に例えばAuスッパタ膜からなる共通電
極(第1電極層)30を有しており、その反対面である
アクチュエータ部28の下面に同じくAuスッパタ膜か
らなる駆動電圧印加用の個別電極(第2電極層)32を
有している。共通電極30はフィルム層14の全面にわ
たって形成され、ヘッド側部から突出したフィルム層1
4の端部24からアースに接続されている。他方、個別
電極32は各アクチュエータ部28に対応してパターン
形成されており、上記フィルム層14の端部24までそ
れぞれ引き出されてフレキシブル配線等を介して画像信
号制御回路36に個別に接続されている。なお、共通電
極30および個別電極32の形成にはスパッタリング以
外に塗布、蒸着、イオンプレーティング、導電ペースト
印刷等の各種公知の方法が利用できる。
The film layer 14 has a common electrode (first electrode layer) 30 made of, for example, an Au sputter film on the surface on the ink cavity 16 side, and the common electrode (first electrode layer) 30 is formed on the lower surface of the actuator section 28 on the opposite side. It has an individual electrode (second electrode layer) 32 made of an Au sputtering film for applying a driving voltage. The common electrode 30 is formed over the entire surface of the film layer 14 and projects from the side of the head.
4 is connected to the ground from the end 24. On the other hand, the individual electrodes 32 are formed in a pattern corresponding to the respective actuator sections 28, are respectively drawn out to the ends 24 of the film layer 14, and are individually connected to an image signal control circuit 36 via a flexible wiring or the like. I have. For forming the common electrode 30 and the individual electrode 32, various known methods such as coating, vapor deposition, ion plating, and conductive paste printing can be used other than sputtering.

【0017】上記フィルム層14の各アクチュエータ部
28の個別電極32形成面には、金属板からなるベース
電極(第3電極層)40が非接着状態で当接してそれぞ
れ設けてある。各ベース電極40はセラミック、合成樹
脂等からなる基板42に固定されている。また、基板4
2には複数のスペーサ部材44,46,48,50がベ
ース電極40の周囲に固定され、上記フィルム層14を
介して天板12を支持している。
A base electrode (third electrode layer) 40 made of a metal plate is provided on the surface of the film layer 14 on which the individual electrode 32 of each actuator section 28 is formed in a non-adhered state. Each base electrode 40 is fixed to a substrate 42 made of ceramic, synthetic resin, or the like. Also, the substrate 4
A plurality of spacer members 44, 46, 48, 50 are fixed around the base electrode 40, and support the top plate 12 via the film layer 14.

【0018】次に、上記構成からなるインクジェット記
録ヘッド10のインク吐出動作について図4,5を参照
して説明する。図4,5はフィルム層14のアクチュエ
ータ部28が変位する際の作用を説明するための模式図
である。なお、以下の説明ではアクチュエータ部28の
駆動電圧およびその他の電圧の極性をプラスとして説明
するが、マイナス極性とした場合でもアクチュエータ部
28について同様の変位動作および効果を得ることがで
きる。
Next, the ink discharging operation of the ink jet recording head 10 having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. FIGS. 4 and 5 are schematic diagrams for explaining the operation when the actuator section 28 of the film layer 14 is displaced. In the following description, the polarity of the drive voltage of the actuator unit 28 and the other voltages will be described as plus. However, even when the polarity is minus, the same displacement operation and effect can be obtained for the actuator unit 28.

【0019】上記ヘッド10がインク吐出可能な状態に
あるとき、ベース電極40には電源54により一定のバ
イアス電圧(例えば、350ボルト)が印加されてい
る。このバイアス電圧は後述するアクチュエータ部28
の駆動電圧と同極性の電圧である。このバイアス電圧に
よりベース電極40と共通電極30との間には共通電極
30へ向かう方向の電界が形成され、ベース電極40内
部の個別電極32側にはプラスの電荷が発生している。
また、個別電極32はベース電極40と接触して導通し
ており、個別電極32にも同様にプラスの電荷が発生し
ている。
When the head 10 is in a state where ink can be ejected, a constant bias voltage (for example, 350 volts) is applied to the base electrode 40 by the power supply 54. This bias voltage is applied to an actuator 28 described later.
Is a voltage having the same polarity as the drive voltage. An electric field in the direction toward the common electrode 30 is formed between the base electrode 40 and the common electrode 30 by the bias voltage, and a positive charge is generated on the individual electrode 32 side inside the base electrode 40.
Further, the individual electrode 32 is in contact with the base electrode 40 so as to conduct, and the individual electrode 32 similarly generates a positive charge.

【0020】この状態で、画像信号制御回路36から個
別電極32に駆動電圧が印加される。この駆動電圧とし
ては、例えば、立ち上がり時間6μsec、最大電圧値
400ボルト、最大電圧印加時間100μsecの矩形
パルス電圧が印加される。すると、アクチュエータ部2
8を構成する含ハロゲン有機化合物は通常の樹脂材料に
比べて誘電率が大きいため、個別電極32に急速に多量
のプラス電荷が貯えられ、同じくプラス電荷が発生して
いるベース電極40との間に静電反発力が生じる。アク
チュエータ部28はベース電極40に対して非接触状態
にあるため、この反発力によってアクチュエータ部28
がベース電極40から離れる方向(矢印56方向)に変
位する。この変位によりインクキャビティ16の容積が
減少して内部のインクが加圧され、ノズル22からイン
ク滴となって吐出する。このインク滴が図示しない記録
媒体に付着して画像が記録される。
In this state, a drive voltage is applied from the image signal control circuit 36 to the individual electrodes 32. As the driving voltage, for example, a rectangular pulse voltage having a rise time of 6 μsec, a maximum voltage value of 400 volts, and a maximum voltage application time of 100 μsec is applied. Then, the actuator unit 2
Since the halogen-containing organic compound composing 8 has a higher dielectric constant than a normal resin material, a large amount of positive charges are rapidly stored in the individual electrode 32, and a large amount of positive charges are generated between the individual electrode 32 and the base electrode 40 which also generates positive charges. Generates an electrostatic repulsion. Since the actuator unit 28 is not in contact with the base electrode 40, the repulsive force causes the actuator unit 28
Is displaced away from the base electrode 40 (in the direction of the arrow 56). Due to this displacement, the volume of the ink cavity 16 is reduced and the ink inside is pressurized, and is ejected from the nozzle 22 as an ink droplet. The ink droplets adhere to a recording medium (not shown) to record an image.

【0021】以上に説明したように本実施形態のインク
ジェット記録ヘッド10では、インク吐出用アクチュエ
ータとして含ハロゲン有機化合物からなるフィルム層1
4を用いている。このフィルム層14は型成形等により
所望の形状に容易に形成することができ、しかも安価で
あるため、アクチュエータに圧電部材を用いた場合に比
べてヘッドの量産に極めて有利である。また、上記フィ
ルム層14は変位応答性が良いので、高周期の駆動電圧
を印加して時間あたりのインク滴吐出数を増やすことに
より画像形成速度を上げることができる。
As described above, in the ink jet recording head 10 of the present embodiment, the film layer 1 made of a halogen-containing organic compound is used as an ink ejection actuator.
4 is used. Since the film layer 14 can be easily formed into a desired shape by molding or the like and is inexpensive, it is extremely advantageous for mass production of a head as compared with the case where a piezoelectric member is used for an actuator. Further, since the film layer 14 has good displacement response, the image forming speed can be increased by applying a high-period driving voltage to increase the number of ink droplets ejected per time.

【0022】また、上記フィルム層を構成する含ハロゲ
ン有機化合物として含フッ素有機化合物を用いた場合に
は、ベース電極40に対してより大きな静電反発力を得
ることができ、インク吐出効率を高めることができる。
Further, when a fluorine-containing organic compound is used as the halogen-containing organic compound constituting the film layer, a larger electrostatic repulsion can be obtained with respect to the base electrode 40, and the ink ejection efficiency can be improved. be able to.

【0023】また、上記フィルム層14の材料に耐水性
をもたせることができるので、アクチュエータに圧電部
材を用いた場合のようにインク浸透による悪影響を防止
するための耐水コーティングや保護部材が不要となり、
部品コストを安価にすることができる。
Further, since the material of the film layer 14 can be made water-resistant, there is no need for a water-resistant coating or a protective member for preventing an adverse effect due to ink penetration as in the case of using a piezoelectric member for the actuator.
Parts cost can be reduced.

【0024】さらに、上記フィルム層14ではアクチュ
エータ部28よりもその周辺部の膜厚を薄く形成してあ
るので、アクチュエータ部28が変位する際の抵抗が小
さくて済み、同じ駆動電圧でもアクチュエータ部28の
変位量を大きくすることができ、インク吐出効率を上げ
ることができる。
Further, since the film layer 14 is formed to have a smaller thickness at the peripheral portion than the actuator portion 28, the resistance when the actuator portion 28 is displaced is small, and the actuator portion 28 has the same driving voltage. Can be increased, and the ink ejection efficiency can be increased.

【0025】なお、上記フィルム層14の耐水性が高す
ぎて撥水性が強い場合には、フィルム層14の表面に親
水性処理を施してインクに対するぬれ性を良くすること
により、インクキャビティ16内での気泡の発生を防止
できるとともに、フィルム層14が復元する際のインク
供給室18からインクキャベティ16へのインク補給応
答性を向上させることができる。
If the water resistance of the film layer 14 is too high and the water repellency is strong, the surface of the film layer 14 is subjected to a hydrophilic treatment to improve the wettability with respect to the ink. Can be prevented, and the responsiveness of ink supply from the ink supply chamber 18 to the ink cabbage 16 when the film layer 14 is restored can be improved.

【0026】また、上記インクジェット記録ヘッド10
では、ベース電極40をフィルム層14の各アクチュエ
ータ部28に対応して個別に設けたが、図6に示すよう
に、ベース電極プレート60をすべてのアクチュエータ
部28に共通するように設ければ製造が容易になる。
The ink jet recording head 10
In the above, the base electrodes 40 are individually provided corresponding to the respective actuator portions 28 of the film layer 14. However, as shown in FIG. 6, if the base electrode plate 60 is provided so as to be common to all the actuator portions 28, manufacturing is possible. Becomes easier.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明にかかるインクジェット記録ヘッドの
記録媒体対向部の部分平面図である。
FIG. 1 is a partial plan view of a recording medium facing portion of an ink jet recording head according to the present invention.

【図2】 図1におけるII−II線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.

【図3】 図2におけるIII−III線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 2;

【図4】 フィルム層のアクチュエータ部が変位する際
の作用を説明するための模式図である。
FIG. 4 is a schematic diagram for explaining an operation when an actuator section of a film layer is displaced.

【図5】 図4と同様に、フィルム層のアクチュエータ
部が変位する際の作用を説明するための模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram for explaining an operation when an actuator section of a film layer is displaced, similarly to FIG. 4;

【図6】 ベース電極を各アクチュエータ部に共通する
プレート状に形成した変形例を示す図である。
FIG. 6 is a view showing a modification in which a base electrode is formed in a plate shape common to each actuator unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…インクジェット記録ヘッド、12…天板、14…
フィルム層、16…インクキャビティ、28…アクチュ
エータ部、30…共通電極(第1電極層)、32…個別
電極(第2電極層)、40…ベース電極(第3電極
層)。
10 ... inkjet recording head, 12 ... top plate, 14 ...
Film layer, 16: ink cavity, 28: actuator section, 30: common electrode (first electrode layer), 32: individual electrode (second electrode layer), 40: base electrode (third electrode layer).

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インクを収容するインクキャビティと、
このインクキャビティに対向し、上記インクキャビティ
側の面に第1電極層を有するとともにその反対面に駆動
電圧印加用の第2電極層を有する含ハロゲン有機化合物
からなるフィルム層と、このフィルム層の第2電極層に
対して非接着状態で設けられ、上記駆動用電圧と同極性
のバイアス電圧が印加されて第1電極層との間に電界を
形成する第3電極層とを備えたインクジェット記録ヘッ
ド。
An ink cavity containing ink;
A film layer made of a halogen-containing organic compound having a first electrode layer on the ink cavity side surface opposite to the ink cavity and having a second electrode layer for applying a driving voltage on the opposite surface; An ink jet recording method comprising: a third electrode layer provided in a non-adhesive state with respect to the second electrode layer, and to which a bias voltage having the same polarity as the driving voltage is applied to form an electric field with the first electrode layer. head.
【請求項2】 上記含ハロゲン有機化合物が含フッ素有
機化合物であることを特徴とする請求項1に記載のイン
クジェット記録ヘッド。
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein said halogen-containing organic compound is a fluorine-containing organic compound.
【請求項3】 上記フィルム層が上記インクキャビティ
に収容されたインクと直接接触することを特徴とする請
求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the film layer is in direct contact with the ink contained in the ink cavity.
【請求項4】 上記フィルム層のインクキャビティ対向
領域における周辺部の厚みをその内側領域のアクチュエ
ータ部よりも薄く形成したことを特徴とする請求項1に
記載のインクジェット記録ヘッド。
4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a thickness of a peripheral portion of the film layer in a region facing the ink cavity is made thinner than an actuator portion in an inner region thereof.
JP9009296A 1997-01-22 1997-01-22 Ink jet recording head Pending JPH10202860A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007105971A (en) * 2005-10-13 2007-04-26 Seiko Epson Corp Electrostatic actuator, liquid droplet delivering head equipped with it, liquid droplet delivering apparatus and device, and method for driving liquid droplet delivering head

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007105971A (en) * 2005-10-13 2007-04-26 Seiko Epson Corp Electrostatic actuator, liquid droplet delivering head equipped with it, liquid droplet delivering apparatus and device, and method for driving liquid droplet delivering head
JP4604953B2 (en) * 2005-10-13 2011-01-05 セイコーエプソン株式会社 Electrostatic actuator, droplet discharge head including the same, droplet discharge apparatus and device, and method for driving droplet discharge head

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