JPH10193154A - Nozzle device in laser beam machine - Google Patents

Nozzle device in laser beam machine

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Publication number
JPH10193154A
JPH10193154A JP8351394A JP35139496A JPH10193154A JP H10193154 A JPH10193154 A JP H10193154A JP 8351394 A JP8351394 A JP 8351394A JP 35139496 A JP35139496 A JP 35139496A JP H10193154 A JPH10193154 A JP H10193154A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
work
center electrode
laser
gap sensor
Prior art date
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Pending
Application number
JP8351394A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takaaki Yamanashi
貴昭 山梨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Amada Co Ltd filed Critical Amada Co Ltd
Priority to JP8351394A priority Critical patent/JPH10193154A/en
Publication of JPH10193154A publication Critical patent/JPH10193154A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Laser Beam Processing (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To change the shape of the tip end part of a nozzle and a sensor in accordance with a machining purpose. SOLUTION: The tip end 7L or the entirety of a gap sensor 5 as well as a guard electrode 9 can be exchanged in accordance with a machining purpose; therefore, a proper machining is made possible by efficiently detecting a gap between a nozzle 3 and a work W depending on the shape of the work W. At least the tip end 7L can be exchanged in accordance with the shape of the work W; hence, the shape and the sensing area can be selected by exchanging the tip end 7L for a machining purpose.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ加工時に
レーザ光を照射するノズルと加工されるワークの間隔を
検出してレーザ加工を行うための、レーザ加工機におけ
るノズル装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nozzle apparatus in a laser processing machine for performing laser processing by detecting a distance between a nozzle for irradiating laser light during laser processing and a work to be processed.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、レーザ加工時において適正な
加工を行うために、レーザ発振器により発せられたレー
ザ光をワークに照射して加工を行うノズルと加工される
ワークとの間隔を検出する必要がある。このため、対象
物であるワークとセンサとの間の静電容量が両者の間隔
に反比例することを利用した静電容量型近接センサを用
いたギャップセンサがノズルに設けられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in order to perform proper processing during laser processing, it is necessary to detect a distance between a nozzle for processing by irradiating a laser beam emitted from a laser oscillator onto the work and the work to be processed. There is. For this reason, a gap sensor using a capacitance-type proximity sensor that utilizes the fact that the capacitance between the target workpiece and the sensor is inversely proportional to the distance between them is provided in the nozzle.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術にあっては、ギャップセンサがノズルに
一体で設けられているので、加工用途に合せてギャップ
センサの形状やノズルの形状を選択することができない
という問題がある。
However, in such a conventional technique, since the gap sensor is provided integrally with the nozzle, the shape of the gap sensor and the shape of the nozzle are selected according to the processing application. There is a problem that you can not.

【0004】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、加工用途に合せてノ
ズルおよびセンサの先端部分形状を変更できるようなレ
ーザ加工機におけるノズル装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to pay attention to the above-mentioned conventional technology, and to provide a nozzle apparatus in a laser processing machine capable of changing the shape of the tip of a nozzle and a sensor according to a processing application. To provide.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1による発明のレーザ加工機におけるノズ
ル装置は、レーザ発振器により発せられたレーザ光をワ
ークに照射してレーザ加工を行うノズルに、このノズル
とワークの間隔を検出する静電容量型のギャップセンサ
を備えたレーザ加工機におけるノズル装置であって、前
記ギャップセンサが、少なくとも先端部と基端部に分割
・取外し可能な中心電極と、前記先端部中心電極の外周
にガード電極とで構成されていること、を特徴とするも
のである。
In order to achieve the above object, a nozzle device in a laser processing machine according to the present invention performs laser processing by irradiating a workpiece with laser light emitted by a laser oscillator. A nozzle device in a laser beam machine provided with a capacitance type gap sensor for detecting an interval between the nozzle and a workpiece on a nozzle, wherein the gap sensor is divided / removable at least at a distal end portion and a proximal end portion. It is characterized by comprising a center electrode and a guard electrode on the outer periphery of the front end center electrode.

【0006】従って、ノズルの先端からワークに対して
レーザ光を照射してレーザ加工を行う際に、加工用途に
合せてギャップセンサの先端部中心電極あるいは全体お
よびガード電極を交換することができるので、ワークの
形状に合せて効率良くノズルとワークとの間隔を検出し
て適正な加工を行うことができる。
Therefore, when laser processing is performed by irradiating the workpiece with laser light from the tip of the nozzle, the center electrode or the entirety of the tip of the gap sensor or the entire guard electrode can be replaced according to the processing application. In addition, appropriate processing can be performed by efficiently detecting the distance between the nozzle and the work according to the shape of the work.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0008】図1には、この発明に係るレーザ加工機に
おけるノズル装置1が示されている。このノズル装置1
では、、図示省略のレーザ発振器から送られてきたレー
ザ光LBをワークWに照射してレーザ加工を行うノズル
3の周囲に、静電容量型のギャップセンサ5が設けられ
ている。
FIG. 1 shows a nozzle device 1 in a laser beam machine according to the present invention. This nozzle device 1
In FIG. 1, a capacitance type gap sensor 5 is provided around a nozzle 3 for irradiating a laser beam LB sent from a laser oscillator (not shown) to a work W to perform laser processing.

【0009】ギャップセンサ5は、ワークWとの間隔を
測定するための中心電極7および測定すべき電流を中心
電極7に流すようにして間隔の測定を助けるガード電極
9を有している。前記中心電極7は2つの部分に分割さ
れており、先端部中心電極としての下部中心電極7L
と、この下部中心電極7Lの上側に設けられている上部
中心電極7Uを有している。また、前記ガード電極9
は、下部中心電極7Lの外側に設けられている。
The gap sensor 5 has a center electrode 7 for measuring the distance from the workpiece W and a guard electrode 9 for flowing a current to be measured to the center electrode 7 to help measure the distance. The center electrode 7 is divided into two parts, and a lower center electrode 7L as a front end center electrode
And an upper central electrode 7U provided above the lower central electrode 7L. Further, the guard electrode 9
Are provided outside the lower center electrode 7L.

【0010】上部中心電極7Uは、上連結部11Uにお
いてネジ13U等の連結材によりノズル3に着脱自在に
取付けられている。下部中心電極7Lの上端部は、下連
結部11Lにおいてネジ13L等の連結材により上部中
心電極7Uの下端部およびノズル3に着脱自在に取付け
られている。さらに、同じく下連結部11Lにおいて前
記下部中心電極7Lの外側にガード電極9が前述のネジ
13Lにより着脱自在に取付けられている。
The upper center electrode 7U is removably attached to the nozzle 3 with a connecting member such as a screw 13U at the upper connecting portion 11U. The upper end of the lower center electrode 7L is detachably attached to the lower end of the upper center electrode 7U and the nozzle 3 by a connecting material such as a screw 13L at the lower connecting portion 11L. Further, a guard electrode 9 is detachably attached to the outside of the lower central electrode 7L in the lower connecting portion 11L by the screw 13L.

【0011】前記中心電極7の外周面およびガード電極
9の内周面は共に絶縁コーティングが施されている。
The outer peripheral surface of the center electrode 7 and the inner peripheral surface of the guard electrode 9 are both coated with an insulating coating.

【0012】以上の結果から、ギャップセンサ5のガー
ド電極9および下部中心電極7Lを取外してワークWの
形状に対応した種々の形状のものと交換することができ
る。すなわち、図2に示されるギャップセンサ15のよ
うにワークWが立体物である場合には先端が細い形状の
下部中心電極17Lを取付けることによりコーナー部分
においても適正な加工を行うことができる。
From the above results, the guard electrode 9 and the lower central electrode 7L of the gap sensor 5 can be removed and replaced with various shapes corresponding to the shape of the work W. That is, when the work W is a three-dimensional object as in the gap sensor 15 shown in FIG. 2, by attaching the lower center electrode 17L having a thin tip, proper processing can be performed even at a corner portion.

【0013】また、図3に示されるギャップセンサ19
のようにワークWが平板の場合には、下部中心電極21
Lの下端面が広いものを用いて加工を行うことができ
る。これにより、ギャップセンサ19の応答性を向上さ
せることができる。
The gap sensor 19 shown in FIG.
When the work W is a flat plate as shown in FIG.
The processing can be performed using a material having a wide lower end surface of L. Thereby, the responsiveness of the gap sensor 19 can be improved.

【0014】さらに、図4に示されるギャップセンサ2
3のように傾斜しているワークWに対しては先端が傾斜
している下部中心電極25Lを用いて加工を行うことが
できる。この結果、種々のワークWの形状に対して適正
なレーザ加工を行うことができる。
Further, the gap sensor 2 shown in FIG.
The work W that is inclined as shown in FIG. 3 can be processed using the lower center electrode 25L whose tip is inclined. As a result, appropriate laser processing can be performed on various shapes of the work W.

【0015】なお、この発明は前述の実施の形態に限定
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。すなわち、前述の実
施の形態において示されなかった形状をしたワークWに
対しては、適宜下部中心電極7Lの形状を変化させて適
用することが可能である。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be embodied in other modes by making appropriate changes. That is, it is possible to change the shape of the lower center electrode 7L as appropriate and apply it to the work W having a shape not shown in the above-described embodiment.

【0016】また、前述の実施の形態においては、中心
電極7を上部と下部の2つの部分に分割した場合につい
て説明したが、2つ以上に分割することも可能である。
In the above-described embodiment, the case where the center electrode 7 is divided into two parts, an upper part and a lower part, has been described. However, the center electrode 7 can be divided into two or more parts.

【0017】さらに、前述の実施の形態においては、連
結部11においてボルト13U、13Lにより着脱自在
に取付けた場合について説明したが、この他、上部中心
電極7Uの上下端部や、下部中心電極7Lおよびガード
電極9の上端部の外周面または内周面にネジ部を構成し
ておき、全体をレーザ光の光軸LB回りに回転させるこ
とによりねじ込んで取付けるようにすることも可能であ
る。
Further, in the above-described embodiment, the case where the connecting portion 11 is detachably attached by the bolts 13U and 13L has been described. In addition, the upper and lower end portions of the upper center electrode 7U and the lower center electrode 7L In addition, a screw portion may be formed on the outer peripheral surface or the inner peripheral surface of the upper end portion of the guard electrode 9, and the whole may be rotated around the optical axis LB of the laser light so as to be screwed and attached.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よるレーザ加工機におけるノズル装置では、ギャップセ
ンサの先端部中心電極あるいは全体およびガード電極を
加工用途に合わせて交換することができるので、ワーク
の形状に合せて効率良くノズルとワークとの間隔を検出
して適正な加工を行うことができる。
As described above, in the nozzle device of the laser processing machine according to the first aspect of the present invention, the center electrode or the whole tip end of the gap sensor and the guard electrode can be replaced according to the processing application. Appropriate processing can be performed by efficiently detecting the distance between the nozzle and the work according to the shape of the work.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明に係るレーザ加工機におけるノズル装
置を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing a nozzle device in a laser beam machine according to the present invention.

【図2】この発明に係るレーザ加工機におけるノズル装
置の実施の形態の別の一例を示す断面図である。
FIG. 2 is a sectional view showing another example of the embodiment of the nozzle device in the laser beam machine according to the present invention.

【図3】この発明に係るレーザ加工機におけるノズル装
置の実施の形態のさらに別の例を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing still another example of the embodiment of the nozzle device in the laser beam machine according to the present invention.

【図4】この発明に係るレーザ加工機におけるノズル装
置の実施の形態のさらに別の例を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing still another example of the embodiment of the nozzle device in the laser beam machine according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ノズル装置 3 ノズル 15、19、23 ギャップセンサ 7L、17L、21L、25L 下部中心電極(先端部
中心電極) W ワーク
1 Nozzle device 3 Nozzle 15, 19, 23 Gap sensor 7L, 17L, 21L, 25L Lower center electrode (tip center electrode) W Work

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ発振器により発せられたレーザ光
をワークに照射してレーザ加工を行うノズルに、このノ
ズルとワークの間隔を検出する静電容量型のギャップセ
ンサを備えたレーザ加工機におけるノズル装置であっ
て、前記ギャップセンサが、少なくとも先端部と基端部
に分割・取外し可能な中心電極と、前記先端部中心電極
の外周にガード電極とで構成されていること、を特徴と
するレーザ加工機におけるノズル装置。
1. A nozzle in a laser processing machine, comprising: a nozzle for performing laser processing by irradiating a laser beam emitted from a laser oscillator onto a workpiece; and a capacitance type gap sensor for detecting an interval between the nozzle and the workpiece. A laser, wherein the gap sensor is constituted by a center electrode that can be divided and detached at least at a distal end portion and a proximal end portion, and a guard electrode on an outer periphery of the distal end portion central electrode. Nozzle device in processing machine.
JP8351394A 1996-12-27 1996-12-27 Nozzle device in laser beam machine Pending JPH10193154A (en)

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