JPH10186375A - Production of liquid crystal display device - Google Patents

Production of liquid crystal display device

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JPH10186375A
JPH10186375A JP34936696A JP34936696A JPH10186375A JP H10186375 A JPH10186375 A JP H10186375A JP 34936696 A JP34936696 A JP 34936696A JP 34936696 A JP34936696 A JP 34936696A JP H10186375 A JPH10186375 A JP H10186375A
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spacer
substrate
liquid crystal
display device
crystal display
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Kanetaka Sekiguchi
関口  金孝
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to control the number of spacer materials to be attracted to the projecting parts of a stamp part for transfer by utilizing a tray to be closest-packed with the spacer materials. SOLUTION: Striped first transparent conductor 4 to be formed providing a prescribed space 3 to be a first electrode 2 is formed in pattern on a first substrate 1 consisting of a glass substrate. An oriented film 5 consisting of a polymide resin is formed on the first transparent conductor 4. Next, spacers 6 consisting of plastic beads are arranged in a closest packing state on the tray. These spacers 6 are pressed onto the projecting parts 9 of the stamp part 8 for transfer to transfer the spacers 6 onto the projecting parts 9. Since the projecting parts 9 of the stamp part 8 for transfer are formed by utilizing synthetic rubber, surface tacky adhesiveness may be assured. Next, the spacers 6 to be adhered on the projecting parts 9 of the stamp part 8 for transfer are pressed onto the oriented film 5 corresponding to the spacers 3 on the first substrate 1, by which the spacers 6 are transferred onto the oriented film 5.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置の製造
方法に関し、第1の基板と第2の基板を所定の間隙を有
して張り合わせるために利用するスペーサーを形成する
方法に関するものである。特に、液晶表示装置の表示品
質の均一性と改善のためにスペーサーを第1の基板、あ
るいは第2の基板の少なくとも一方の基板上の所定の位
置に設けるための製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to a method for forming a spacer used to bond a first substrate and a second substrate with a predetermined gap. . In particular, the present invention relates to a manufacturing method for providing a spacer at a predetermined position on at least one of a first substrate and a second substrate for uniformity and improvement of display quality of a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、液晶パネルを用いた液晶表示装置
の表示容量は、大容量化の一途をたどっている。その液
晶表示装置の構造は、第1の基板上に設ける信号電極に
液晶画素の表示電極を直接に接続するパッシブマトリク
ス型と、信号電極と表示電極の間に非線形抵抗素子を有
するアクティブマトリクス型がある。さらに、第1の基
板上の表示電極と対向するように液晶を介して対向電極
を設け、複数の信号電極と複数の対向電極をマトリクス
状に配置し、信号電極と、対向電極に接続するデーター
電極に外部回路より所定の信号を印加する構造からな
る。
2. Description of the Related Art In recent years, the display capacity of a liquid crystal display device using a liquid crystal panel has been steadily increasing. The structure of the liquid crystal display device includes a passive matrix type in which a display electrode of a liquid crystal pixel is directly connected to a signal electrode provided on a first substrate, and an active matrix type having a non-linear resistance element between the signal electrode and the display electrode. is there. Further, a counter electrode is provided via a liquid crystal so as to face the display electrode on the first substrate, a plurality of signal electrodes and a plurality of counter electrodes are arranged in a matrix, and the data electrode connected to the signal electrode and the counter electrode is arranged. It has a structure in which a predetermined signal is applied to the electrode from an external circuit.

【0003】そして、単純マトリクス構成(パッシブマ
トリクス型)の液晶表示装置にマルチプレクス駆動を用
いる手段は、高時分割化するに従ってコントラストの低
下あるいは応答速度の低下が生じ、200本程度の走査
線を有する場合では、充分なコントラストを得ることが
難しくなる。
[0005] The means of using multiplex driving in a liquid crystal display device having a simple matrix configuration (passive matrix type) causes a decrease in contrast or a reduction in response speed as time division is increased, so that about 200 scanning lines are required. If it does, it will be difficult to obtain sufficient contrast.

【0004】そこで、このような欠点を除去するため
に、個々の画素にスイッチング素子を設けるアクティブ
マトリクスの液晶表示パネルが採用されている。
Therefore, in order to eliminate such a defect, an active matrix liquid crystal display panel in which switching elements are provided in individual pixels has been adopted.

【0005】このアクティブマトリクスの液晶表示パネ
ルには、大別すると薄膜トランジスタを用いる三端子系
と、非線系抵抗素子を用いる二端子系とがある。これら
のうち構造や製造方法が簡単な点で、二端子系が優れて
いる。
The active matrix liquid crystal display panel is roughly classified into a three-terminal system using a thin film transistor and a two-terminal system using a non-linear resistance element. Among them, the two-terminal system is superior in that the structure and the manufacturing method are simple.

【0006】この二端子系のスイッチング素子として
は、ダイオード型や、バリスタ型や、TFD型などが開
発されている。
As the two-terminal switching element, a diode type, a varistor type, a TFD type and the like have been developed.

【0007】このうちTFD型は、とくに構造が簡単
で、そのうえ製造工程が短いという特徴を備えている。
[0007] Among them, the TFD type has a feature that the structure is particularly simple and the manufacturing process is short.

【0008】液晶表示装置は、第1の基板上に設ける信
号電極と信号電極と一体構造の表示電極と、第2の基板
上に設ける対向電極と、第1の基板と第2の基板上に液
晶を配向するための配向膜とを有し、第1の基板と第2
の基板を所定の間隙を有してシール等を利用し張り合わ
せて、第1の基板と第2の基板との間に液晶を封入する
構造を有する。そのため、第1の基板と第2の基板とを
所定の間隙にするために例えば、プラスチック材、ある
いはガラス材からなるスペーサーが利用される。
The liquid crystal display device includes a signal electrode provided on a first substrate, a display electrode integrated with the signal electrode, a counter electrode provided on a second substrate, and a signal electrode provided on the first substrate and the second substrate. An alignment film for aligning the liquid crystal, the first substrate and the second
Are bonded to each other with a predetermined gap using a seal or the like, and a liquid crystal is sealed between the first substrate and the second substrate. Therefore, for example, a spacer made of a plastic material or a glass material is used to make a predetermined gap between the first substrate and the second substrate.

【0009】もっとも、一般的なスペーサーの形成方法
は、プラスチック材あるいはガラス材のビーズからなる
スペーサー材を基板上に平均して散布する方法である。
散布の方法は、スペーサー材のみを散布する方法。ある
いは、溶剤とスペーサー材とを混合して利用し散布する
方法等がある。
However, a general method of forming a spacer is a method in which a spacer material composed of beads of a plastic material or a glass material is sprayed on a substrate on average.
The method of spraying is a method of spraying only the spacer material. Alternatively, there is a method in which a solvent and a spacer material are mixed and used for spraying.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】液晶表示装置の表示品
質は、第1の基板と第2の基板の間隙の分布により均一
性が左右される。さらにスペーサーの無い部分と、スペ
ーサーの部分とで透過率が異なる。例えば、スペーサー
が透過性であれば、黒の表示の時にスペーサーは白とな
り黒表示を劣化させる。また、スペーサーが非透過性で
あれば、白表示の時に黒となり、暗くなる。さらに、ス
ペーサーの分布により以上の影響に分布が発生するた
め、表示のムラとなる。
The uniformity of the display quality of the liquid crystal display device depends on the distribution of the gap between the first substrate and the second substrate. Further, the transmittance is different between the portion without the spacer and the portion with the spacer. For example, if the spacer is transparent, the spacer becomes white during black display, deteriorating black display. If the spacer is non-transmissive, it becomes black and dark when white is displayed. Further, since the distribution of the above-mentioned influences is caused by the distribution of the spacers, the display becomes uneven.

【0011】さらに、スペーサーの周囲とスペーサーの
無い部分とで、液晶の配向状態が異なるため、スペーサ
ーの周囲も表示品質に影響することが実験で分かってい
る。
Further, it has been experimentally found that the orientation of the liquid crystal is different between the periphery of the spacer and the portion without the spacer, so that the periphery of the spacer also affects the display quality.

【0012】そのため、スペーサーを所定の位置に設け
る方法は種々考案されている。例えば、電極と電極間の
電位に差を設けて、スペーサー材の電位との相互採用に
より電極間に選択的にスペーサー材を設ける。あるい
は、感光性樹脂を利用し、フォトリソグラフィー法によ
り所定の位置に凸部を形成する方法、開口部を有する金
属マスクを利用し、開口部に相当する部分に選択的にス
ペーサー材を設ける方法、等がある。しかし、電極と電
極間の電位差によりスペーサー材を選択的に形成する方
法は電極の幅の広い場合、スペーサー材の帯電性等によ
り効果の差が大きく、さらにスペーサー材の帯電能もス
ペーサー材の材質により異なるため、スペーサー材の選
定等が必要になる。
For this reason, various methods have been devised for providing the spacer at a predetermined position. For example, a potential difference between the electrodes is provided, and the spacer material is selectively provided between the electrodes by mutual adoption of the potential of the spacer material. Alternatively, using a photosensitive resin, a method of forming a convex portion at a predetermined position by a photolithography method, a method of using a metal mask having an opening, and selectively providing a spacer material in a portion corresponding to the opening, Etc. However, the method of selectively forming the spacer material based on the potential difference between the electrodes has a large difference in effect due to the chargeability of the spacer material when the electrode width is wide, and furthermore, the chargeability of the spacer material is also different from the material of the spacer material. Therefore, it is necessary to select a spacer material.

【0013】また、感光性樹脂を利用し、凸部を設ける
方式では、感光性樹脂の凸部の均一性が問題となり、さ
らに凸部が一般的なパッシブマトリクス方式に利用して
いる表示モードでは、例えば、ツイストネマチック(T
N)方式、あるいは、スーパーツイストネマチック(S
TN)方式では、4から7μm程度の高さが必要とな
る。そのため、感光性樹脂の膜厚の制御と、粘度との関
係により高さ分布が制御しにくい。ここで、上下の基板
に分割して感光性樹脂の凸部を設ける方式も在るが、凸
部を設ける工程が2倍となり、複雑になる。さらに、凸
部を設ける工程により、液晶の配向がみだれ均一な表示
が難しくなる。また、金属マスクの開口部を利用し、ス
ペーサーを散布する方式では、スペーサーの個数の制
御、あるいは、金属マスクと基板との距離等によりばら
つきが発生する。
Further, in the method in which the convex portion is provided using the photosensitive resin, the uniformity of the convex portion of the photosensitive resin poses a problem. Further, in the display mode in which the convex portion is used in a general passive matrix system, , For example, twisted nematic (T
N) or super twisted nematic (S
The TN) method requires a height of about 4 to 7 μm. Therefore, it is difficult to control the height distribution due to the relationship between the control of the thickness of the photosensitive resin and the viscosity. Here, there is also a method in which the convex portion of the photosensitive resin is provided by dividing the upper and lower substrates, but the process of providing the convex portion is doubled and complicated. Further, the step of providing the convex portions makes it difficult to perform uniform display because the orientation of the liquid crystal is lost. Further, in the method in which the spacers are scattered using the openings of the metal mask, variations occur due to the control of the number of spacers or the distance between the metal mask and the substrate.

【0014】本発明の目的は、上記課題を解決して、上
記の液晶表示装置の表示品質を左右するスペーサー材を
所定の位置に簡単設けるための製造方法を提供し、液晶
表示装置の表示品質の向上を行うためのものである。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a manufacturing method for simply providing a spacer material at a predetermined position which affects the display quality of the liquid crystal display device. It is for improving the quality.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の液晶表示装置においては、下記記載の製造
方法を採用する。
In order to achieve the above object, the liquid crystal display of the present invention employs the following manufacturing method.

【0016】本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1
の基板と第2の基板の少なくとも一方の基板上にスペー
サーを設ける工程を有する液晶表示装置の製造方法にお
いて、前記第1の基板と第2の基板上の少なくとも一方
にスペーサーを設ける工程は、スペーサー用のトレイ上
にスペーサーをほぼ最密充填する工程と、所定の部所に
凸部を有する転写用スタンプ部に前記トレイより前記凸
部をスペーサーに押しつけスペーサーをトレイより転写
する工程と、第1の基板と第2の基板上の少なくとも一
方に転写用スタンプ部を押しつけ、前記基板の所定の位
置にスペーサーを転写する工程を有することを特徴とす
る。
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises:
Providing a spacer on at least one of the first substrate and the second substrate, wherein the step of providing a spacer on at least one of the first substrate and the second substrate comprises: A step of substantially closely filling the spacers on a tray for transfer, a step of pressing the protrusions from the tray onto the spacers on a transfer stamp portion having a protrusion at a predetermined location, and transferring the spacers from the tray, A step of pressing a transfer stamp portion against at least one of the substrate and the second substrate to transfer a spacer to a predetermined position of the substrate.

【0017】本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1
の基板と第2の基板の少なくとも一方の基板上にスペー
サーを設ける工程を有する液晶表示装置の製造方法にお
いて、前記第1の基板と第2の基板上の少なくとも一方
にスペーサーを設ける工程は、スペーサー用のトレイ上
にスペーサーをほぼ最密充填する工程と、所定の部所に
凸部を有する転写用スタンプ部の凸部上をクリーニング
する工程と、前記凸部上にスペーサーを接着する処理を
行う工程と、第1の基板あるいは第2の基板の少なくと
も一方にスペーサーを接着するための処理を行う工程
と、前記トレイより前記凸部上の接着部にスペーサーに
押しつけスペーサーをトレイより転写する工程と、前記
第1の基板あるいは、第2の基板上の接着処理部に転写
用スタンプ部を押しつけ、前記基板の所定の位置にスペ
ーサーを転写する工程を有することを特徴とする。
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises:
Providing a spacer on at least one of the first substrate and the second substrate, wherein the step of providing a spacer on at least one of the first substrate and the second substrate comprises: A step of almost completely filling the spacers on the tray for cleaning, a step of cleaning the protrusions of the transfer stamp portion having the protrusions at predetermined positions, and a process of bonding the spacers on the protrusions. A step of performing a process for bonding a spacer to at least one of the first substrate and the second substrate, and a process of pressing the spacer on the bonding portion on the protrusion from the tray and transferring the spacer from the tray. A step of pressing a transfer stamp portion against an adhesion processing portion on the first substrate or the second substrate and transferring a spacer to a predetermined position on the substrate. Characterized in that it has a.

【0018】本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1
の基板と第2の基板上の少なくとも一方にスペーサーを
設ける方法は、スペーサー用のトレイ上にスペーサーを
ほぼ最密充填する工程と、前記転写用スタンプ部の凸部
上をクリーニングする工程と、凸部上に粘着剤を塗布す
る工程と、前記凸部上の粘着剤をトレイ上のスペーサー
上に押し付けスペーサーを接着する工程と、第1の基板
と第2の基板の少なくとも一方に前記凸部上のスペーサ
ーを接触する工程と、スペーサーあるいは凸部の少なく
とも一方を加熱する工程と、加熱により前記接着剤の粘
性を低下し、凸部より前記基板上に前記粘着剤とスペー
サーを転写する工程と、冷却し前記接着剤の粘性を増加
しスペーサーを前記基板上に接着剤により固定化する工
程とを有することを特徴とする。
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises:
The method of providing a spacer on at least one of the substrate and the second substrate includes the steps of: filling a spacer for a spacer on a spacer tray in a close-packed manner; cleaning the convex portion of the transfer stamp portion; Applying a pressure-sensitive adhesive on the convex portion, pressing the pressure-sensitive adhesive on the convex portion onto a spacer on a tray, and adhering a spacer, and applying the adhesive on at least one of a first substrate and a second substrate. The step of contacting the spacer, the step of heating at least one of the spacer or the convex portion, and reducing the viscosity of the adhesive by heating, the step of transferring the adhesive and the spacer from the convex portion to the substrate, Cooling and increasing the viscosity of the adhesive to fix the spacer on the substrate with the adhesive.

【0019】本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1
の基板と第2の基板上の少なくとも一方にスペーサーを
設ける方法は、スペーサー用のトレイ上にスペーサーを
ほぼ最密充填する工程と、前記転写用スタンプ部の凸部
上を帯電させる工程と、前記帯電させた凸部上にトレイ
よりスペーサーを吸着する工程と、第1の基板と第2の
基板の少なくとも一方に前記凸部上のスペーサーを接触
する工程と、前記凸部の帯電を除去し、前記基板にスペ
ーサーを押し付け基板上に転写する工程とを有すること
特徴とする。
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises the following steps:
The method of providing a spacer on at least one of the substrate and the second substrate includes a step of almost closely filling the spacer on a tray for spacer, a step of charging the convex portion of the transfer stamp portion, A step of adsorbing a spacer from a tray on the charged convex portion, a step of contacting a spacer on the convex portion with at least one of a first substrate and a second substrate, and removing the electrification of the convex portion; Pressing a spacer on the substrate and transferring the spacer onto the substrate.

【0020】[0020]

【作用】スペーサー材を最密充填するトレイを利用する
ことにより、転写用スタンプ部の凸部に吸着するスペー
サー材の個数を制御することができる。さらに、トレイ
は、多数の部屋の分割し、必要な箇所にのみスペーサー
を最密充填的に並べることにより、スペーサー材の大気
に放置される時間の短時間化に効果があり、スペーサー
材を大気からの汚染を防止できる。
The number of spacers adsorbed on the projections of the transfer stamp can be controlled by using a tray for filling the spacers in the closest packing. Furthermore, the tray is divided into a large number of rooms, and the spacers are arranged in a close-packed manner only at the necessary places, which is effective in shortening the time of being left in the air of the spacer material. Pollution can be prevented.

【0021】さらに、転写用スタンプ部の凸部を利用す
ることにより、必要な部分のみに、効率よくスペーサー
材を転写することができると同時に、基板上の不必要な
部分に転写用スタンプ部が接触しないため、配向膜等へ
の不純物イオンの汚染を防止できる。
Furthermore, by utilizing the convex portion of the transfer stamp portion, the spacer material can be efficiently transferred only to the necessary portion, and at the same time, the transfer stamp portion can be transferred to the unnecessary portion on the substrate. Since there is no contact, contamination of the alignment film and the like with impurity ions can be prevented.

【0022】さらに、第1の基板、あるいは/と第2の
基板上にスペーサーを形成する部分に転写用スタンプ部
の凸部を利用し、接着層を形成し、さらに、転写用スタ
ンプ部の凸部を利用し、スペーサーを前記接着層上に転
写することにより、スペーサーを固定化できるため、製
造工程でのスペーサーの移動を防止できる。
Furthermore, an adhesive layer is formed on the first substrate and / or the second substrate by using a convex portion of the transfer stamp portion at a portion where a spacer is formed, and further, a convex portion of the transfer stamp portion is formed. By transferring the spacer onto the adhesive layer using the part, the spacer can be fixed, so that the movement of the spacer in the manufacturing process can be prevented.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下に本発明の液晶表示装置の製
造方法を実施するための最良の形態を図面を使用して説
明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The best mode for carrying out the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0024】はじめに本発明の第1の実施形態における
液晶表示装置の製造工程を図面に基づいて説明する。図
1と図2と図3と図4と図5と図6を用いて説明する。
図1は本発明の実施形態を示す液晶表示装置の一部の拡
大する平面図である。図2から図6は本発明の図1に示
すA−A線における断面の工程順に示す断面図である。
以下、図1と図2と図3と図4と図5と図6とを用いて
本発明の第1の実施形態を説明する。
First, the manufacturing process of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. This will be described with reference to FIGS. 1, 2, 3, 4, 5 and 6.
FIG. 1 is a partially enlarged plan view of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 2 to 6 are cross-sectional views showing the steps of the cross section taken along line AA shown in FIG. 1 of the present invention.
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1, 2, 3, 4, 5, and 6. FIG.

【0025】まず、図1に示すように、第1の基板1上
の第1の電極2と第2の基板11上の第2の電極14と
が対向し、画素電極部を構成する。この構造を形成する
ために、図2に示すように、ガラス基板からなる第1の
基板1上には、第1の電極2となる所定のスペース3を
設けて形成するストライプ状の第1の透明導電体4をパ
ターン形成する。第1の透明導電体4上には、ポリイミ
ド樹脂からなる配向膜5を形成する。配向膜5上は、例
えば、布で擦り微小の凹凸が形成されている。図2には
配向膜5上の凹凸は省略してある。
First, as shown in FIG. 1, the first electrode 2 on the first substrate 1 and the second electrode 14 on the second substrate 11 face each other to form a pixel electrode portion. In order to form this structure, as shown in FIG. 2, on a first substrate 1 made of a glass substrate, a predetermined space 3 serving as a first electrode 2 is provided to form a first stripe-shaped first substrate 2. The transparent conductor 4 is patterned. On the first transparent conductor 4, an alignment film 5 made of a polyimide resin is formed. On the alignment film 5, for example, fine irregularities are formed by rubbing with a cloth. In FIG. 2, the irregularities on the alignment film 5 are omitted.

【0026】つぎに、図3に示すように、5μmのプラ
スチック製ビーズからなるスペーサー6をトレイ7上に
最密充填的に配置し、転写用スタンプ部8の凸部9をス
ペーサー6に押し当て、凸部9上にスペーサー6を転写
する。転写用スタンプ部8の凸部9は、合成ゴムを利用
するため、表面粘着性は確保できる。
Next, as shown in FIG. 3, a spacer 6 made of 5 μm plastic beads is placed on the tray 7 in a close-packed manner, and the convex portion 9 of the transfer stamp portion 8 is pressed against the spacer 6. Then, the spacer 6 is transferred onto the projection 9. Since the convex portion 9 of the transfer stamp portion 8 uses synthetic rubber, surface tackiness can be ensured.

【0027】つぎに、図4に示すように、第1の基板1
上のスペース3に相当する配向膜5上に転写用スタンプ
部8の凸部9上に付着するスペーサー6を押し当て、ス
ペーサー6を配向膜5上に転写する。以上により、透明
導電体4上の配向膜5上にはスペーサー6は設けない。
Next, as shown in FIG.
The spacer 6 attached on the projection 9 of the transfer stamp portion 8 is pressed onto the alignment film 5 corresponding to the upper space 3, and the spacer 6 is transferred onto the alignment film 5. As described above, the spacer 6 is not provided on the alignment film 5 on the transparent conductor 4.

【0028】同様に図5に示すように、第2の基板11
上には、第1の電極2と交差するように設け、かつ所定
のスペース13を設けて形成するストライプ状の透明導
電体14をパターン形成して第2の電極12とする。透
明導電体14上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜1
5を形成する。配向膜15上は、例えば、布で擦り微小
の凹凸が形成されている。図5には配向膜15上の凹凸
は省略してある。さらに、第2の基板11上の配向膜1
5上には、第1の基板1と第2の基板11とを所定の間
隙と設ける張り合わせるためにシール材17を印刷法を
用いて形成する。シール材17には、液晶18を注入す
るための開口部19を有する。
Similarly, as shown in FIG.
On the upper surface, a stripe-shaped transparent conductor 14 provided so as to intersect with the first electrode 2 and provided with a predetermined space 13 is formed into a pattern to form the second electrode 12. An alignment film 1 made of a polyimide resin is formed on the transparent conductor 14.
5 is formed. On the alignment film 15, fine irregularities are formed by rubbing with a cloth, for example. In FIG. 5, the irregularities on the alignment film 15 are omitted. Further, the alignment film 1 on the second substrate 11
A sealing material 17 is formed on the substrate 5 by using a printing method in order to bond the first substrate 1 and the second substrate 11 with a predetermined gap. The sealing material 17 has an opening 19 for injecting a liquid crystal 18.

【0029】さらに、図6に示すように、液晶表示装置
とし利用する場合には、第1の基板1と第2の基板11
とをスペーサー6とシール材(図示せず)により所定の
間隙を設ける張り合わせ、シール材の開口部より液晶1
8を注入し、開口部を封孔材(図示せず)により密閉す
ることにより液晶表示装置が形成できる。また、第1の
電極2と第2の電極12の交差部が画素電極となる。第
1の電極2と第2の電極12の電極間に所定の電圧を印
加して画素電極の液晶18の電圧−透過率変化を利用
し、表示を行う。
Further, as shown in FIG. 6, when used as a liquid crystal display device, the first substrate 1 and the second substrate 11 are used.
And a gap provided by a spacer 6 and a sealing material (not shown) to provide a predetermined gap.
8 is injected, and the opening is sealed with a sealing material (not shown), whereby a liquid crystal display device can be formed. The intersection of the first electrode 2 and the second electrode 12 becomes a pixel electrode. A predetermined voltage is applied between the first electrode 2 and the second electrode 12, and display is performed by utilizing the change in the voltage-transmittance of the liquid crystal 18 of the pixel electrode.

【0030】以上の工程により、転写用スタンプ部8の
凸部9を利用し、簡単にスペーサー6を第1の電極2の
スペース3と第2の電極14のスペース13の部分に形
成できる。さらに、凸部9の位置を画素電極の周囲にす
る事により、画素電極の周囲のみにスペーサー6を配置
することができる。そのため、スペーサー6の周囲に発
生する液晶18の配向不良等を表示に影響しない領域に
設けることができるため、表示品質の向上ができる。
According to the above steps, the spacer 6 can be easily formed in the space 3 of the first electrode 2 and the space 13 of the second electrode 14 by using the projection 9 of the transfer stamp portion 8. Further, by setting the position of the projection 9 around the pixel electrode, the spacer 6 can be arranged only around the pixel electrode. For this reason, poor alignment of the liquid crystal 18 or the like generated around the spacer 6 can be provided in a region that does not affect display, so that display quality can be improved.

【0031】さらに、スペーサー6の個数の制御と位置
の制御ができるため、第1の基板1と第2の基板11と
の間隙の均一性が改善でき、液晶表示装置の表示品質の
均一化ができる。
Further, since the number and position of the spacers 6 can be controlled, the uniformity of the gap between the first substrate 1 and the second substrate 11 can be improved, and the display quality of the liquid crystal display device can be made uniform. it can.

【0032】つぎに本発明の第2の実施形態における液
晶表示装置の製造工程を図面に基づいて説明する。図7
と図8と図9と図10と図11とを用いて説明する。図
7から図11は本発明の第2の実施形態における液晶表
示装置の一部を拡大する断面を示す断面図である。以
下、図7と図8と図9と図10と図11とを用いて本発
明の第2の実施形態を説明する。また、第1の実施形態
と同様な工程においては、第1の実施形態の図面を参照
し、第2の実施形態を説明する。
Next, a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG.
8, FIG. 9, FIG. 9, FIG. 10, and FIG. FIG. 7 to FIG. 11 are cross-sectional views each showing an enlarged cross section of a part of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention. Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7, 8, 9, 10, and 11. FIG. Further, in steps similar to those in the first embodiment, the second embodiment will be described with reference to the drawings of the first embodiment.

【0033】まず第1の実施形態の図2と同様に、ガラ
ス基板からなる第1の基板1上には、第1の電極2とな
る所定のスペース3を設けて形成するストライプ状の第
1の透明導電体4をパターン形成する。第1の透明導電
体4上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜5を形成す
る。配向膜5上は、例えば、布で擦り微小の凹凸が形成
されている。
First, as in FIG. 2 of the first embodiment, a first stripe-shaped first substrate 2 is formed on a first substrate 1 made of a glass substrate by forming a predetermined space 3 serving as a first electrode 2. Of the transparent conductor 4 is patterned. On the first transparent conductor 4, an alignment film 5 made of a polyimide resin is formed. On the alignment film 5, for example, fine irregularities are formed by rubbing with a cloth.

【0034】つぎに、図7に示すように、まず、転写用
スタンプ部8の凸部9上に感光性樹脂をスタンプ方式に
より形成し、つぎに、第1の電極2のスペース3の部分
に感光性樹脂を接触させ接着層22を形成する。感光性
樹脂はポリイミド樹脂を主成分とするため、配向膜5へ
の影響は最小限にできる。また、感光性樹脂は印刷後に
50℃で乾燥するため、粘性は維持できる。
Next, as shown in FIG. 7, first, a photosensitive resin is formed on the convex portion 9 of the transfer stamp portion 8 by a stamp method, and then the photosensitive resin is formed on the space 3 of the first electrode 2. The adhesive layer 22 is formed by contacting the photosensitive resin. Since the photosensitive resin is mainly composed of a polyimide resin, the influence on the alignment film 5 can be minimized. Further, since the photosensitive resin is dried at 50 ° C. after printing, the viscosity can be maintained.

【0035】つぎに、図8に示すように、7μmのプラ
スチック製ビーズからなるスペーサー6をトレイ7上に
最密充填的に配置する。最密充填にするために、トレイ
7の下部には振動部23が形成されており、さらに、ト
レイ7の上面にはスキージ24を設ける。トレイ7とス
キージ24との間はスペーサー6の径のばらつきを含
め、スペーサー6の大きさの1.5倍(10.5μm)
の間隙を設けて配置する。さらに、スペーサー6の補給
は、間欠的に所定の数をスキージ24の回転方向の前方
に補給する。これにより、トレイ7上のスペーサー6は
最密充填的に配置される。
Next, as shown in FIG. 8, spacers 6 made of 7 μm plastic beads are arranged on the tray 7 in a close-packed manner. A vibrating part 23 is formed at the lower part of the tray 7 for the closest packing, and a squeegee 24 is provided on the upper surface of the tray 7. The distance between the tray 7 and the squeegee 24 is 1.5 times the size of the spacer 6 (10.5 μm), including the variation in the diameter of the spacer 6.
Are arranged with a gap. Further, the replenishment of the spacers 6 is intermittently replenished in the rotation direction of the squeegee 24 in a predetermined number. Thereby, the spacers 6 on the tray 7 are arranged in a close-packed manner.

【0036】つぎに、図9に示すように、転写用スタン
プ部8の凸部9をスペーサー6に押し当て、凸部9上に
スペーサー6を転写する。転写用スタンプ部8の凸部9
は、合成ゴムを利用するため、表面粘着性は確保でき
る。
Next, as shown in FIG. 9, the convex portion 9 of the transfer stamp portion 8 is pressed against the spacer 6 to transfer the spacer 6 onto the convex portion 9. Convex part 9 of transfer stamp part 8
Since synthetic rubber is used, surface tackiness can be ensured.

【0037】つぎに、図10に示すように、第1の基板
1上のスペース3に相当する接着層22上に転写用スタ
ンプ部8の凸部9上に付着するスペーサー6を押し当
て、スペーサー6を接着層22上に転写する。以上によ
り、透明導電体4上の配向膜5上にはスペーサー6は設
けることを防止できる。
Next, as shown in FIG. 10, the spacer 6 attached to the projection 9 of the transfer stamp portion 8 is pressed onto the adhesive layer 22 corresponding to the space 3 on the first substrate 1, and the spacer 6 is pressed. 6 is transferred onto the adhesive layer 22. As described above, it is possible to prevent the spacer 6 from being provided on the alignment film 5 on the transparent conductor 4.

【0038】ここで、紫外線25を第1の基板1の第1
の電極2の反対の面(裏面)より照射し、感光性樹脂か
らなる接着層22を硬化する。そのため、接着層22に
よりスペーサー6がスペース3に固定化することができ
る。
Here, the ultraviolet light 25 is applied to the first substrate 1
From the opposite side (back side) of the electrode 2 to cure the adhesive layer 22 made of a photosensitive resin. Therefore, the spacer 6 can be fixed to the space 3 by the adhesive layer 22.

【0039】つぎに第1の実施形態の図5と同様に、第
2の基板11上には、第1の電極2と交差するように設
け、かつ所定のスペースを設けて形成するストライプ状
の透明導電体14をパターン形成して第2の電極12と
する。透明導電体14上には、ポリイミド樹脂からなる
配向膜15を形成する。配向膜15上は、例えば、布で
擦り微小の凹凸が形成されている。さらに、第2の基板
11上の配向膜15上には、第1の基板1と第2の基板
11とを所定の間隙と設ける張り合わせるためにシール
材(図示せず)を印刷法を用いて形成する。シール材に
は、液晶18を注入するための開口部(図示せず)を有
する。
Next, as in FIG. 5 of the first embodiment, a stripe-like pattern is formed on the second substrate 11 so as to intersect with the first electrode 2 and to form a predetermined space. The transparent conductor 14 is formed into a pattern to form the second electrode 12. An alignment film 15 made of a polyimide resin is formed on the transparent conductor 14. On the alignment film 15, fine irregularities are formed by rubbing with a cloth, for example. Further, a sealing material (not shown) is formed on the alignment film 15 on the second substrate 11 by a printing method in order to bond the first substrate 1 and the second substrate 11 with a predetermined gap. Formed. The sealing material has an opening (not shown) for injecting the liquid crystal 18.

【0040】最後に図11に示すように、液晶表示装置
とし利用する場合には、第1の基板1と第2の基板11
とをスペーサー6とシール材により所定の間隙を設ける
張り合わせ、シール材の開口部より液晶18を注入し、
開口部を封孔材により密閉することにより形成できる。
また、第1の電極2と第2の電極12の交差部が画素電
極となる。第1の電極2と第2の電極12の電極間に所
定の電圧を印加して画素電極の液晶18の電圧−透過率
変化を利用し、表示を行う。
Finally, as shown in FIG. 11, when used as a liquid crystal display device, the first substrate 1 and the second substrate 11 are used.
Are bonded by providing a predetermined gap with the spacer 6 and the sealing material, and the liquid crystal 18 is injected from the opening of the sealing material.
It can be formed by sealing the opening with a sealing material.
The intersection of the first electrode 2 and the second electrode 12 becomes a pixel electrode. A predetermined voltage is applied between the first electrode 2 and the second electrode 12, and display is performed by utilizing the change in the voltage-transmittance of the liquid crystal 18 of the pixel electrode.

【0041】以上の工程により、トレイ7には、スペー
サー6をトレイ7の裏面に設ける振動部23とスキージ
24によりスペーサー6を最密充填的にトレイ7上に簡
単に設けることができる。そのため、転写用スタンプ部
8上の凸部9上にスペーサー6を設けることが可能とな
る。
According to the above steps, the spacers 6 can be easily provided on the tray 7 in a close-packed manner by the vibrating portion 23 and the squeegee 24 in which the spacers 6 are provided on the back surface of the tray 7. Therefore, it is possible to provide the spacer 6 on the convex portion 9 on the transfer stamp portion 8.

【0042】さらに、接着層22を印刷法により第1の
基板1上のスペース部3に設け、凸部9上のスペーサー
6を接着層22上に接触させ、さらに第1の基板1の裏
面より紫外線25を照射し、接着層22を硬化すること
ができ、スペーサー6を固定化することができる。さら
に、接着層22を半乾燥でスペーサー6を接触するた
め、接着層22の膜厚分布はほとんど問題とならず、下
地の膜厚の安定する部分を利用することができる。
Further, the adhesive layer 22 is provided in the space portion 3 on the first substrate 1 by a printing method, the spacer 6 on the convex portion 9 is brought into contact with the adhesive layer 22, and furthermore, from the back of the first substrate 1 The adhesive layer 22 can be cured by irradiating ultraviolet rays 25, and the spacer 6 can be fixed. Further, since the spacer 6 is brought into contact with the adhesive layer 22 in a semi-dry state, the thickness distribution of the adhesive layer 22 hardly causes a problem, and a portion where the thickness of the underlayer is stable can be used.

【0043】つぎに本発明の第3の実施形態における液
晶表示装置の製造工程を図面に基づいて説明する。図1
2と図13と図14と図15とを用いて説明する。図1
2から図15は本発明の第3の実施形態における液晶表
示装置の一部を拡大する断面を示す断面図である。以
下、図12と図13と図14と図15とを用いて本発明
の第3の実施形態を説明する。また、第1の実施形態と
同様な工程においては、第1の実施形態の図面を参照
し、第3の実施形態を説明する。
Next, a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG.
2, FIG. 13, FIG. 14, and FIG. FIG.
2 to 15 are cross-sectional views showing a cross-sectional view in which a part of the liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention is enlarged. Hereinafter, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 12, 13, 14, and 15. FIG. Further, in steps similar to those of the first embodiment, the third embodiment will be described with reference to the drawings of the first embodiment.

【0044】まず、第1の実施形態の図2と同様に、ガ
ラス基板からなる第1の基板1上には、第1の電極2と
なる所定のスペース3を設けて形成するストライプ状の
第1の透明導電体4をパターン形成する。第1の透明導
電体4上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜5を形成
する。配向膜5上は、例えば、布で擦り微小の凹凸が形
成されている。
First, similarly to FIG. 2 of the first embodiment, a stripe-shaped third substrate formed by providing a predetermined space 3 to be a first electrode 2 on a first substrate 1 made of a glass substrate. One transparent conductor 4 is patterned. On the first transparent conductor 4, an alignment film 5 made of a polyimide resin is formed. On the alignment film 5, for example, fine irregularities are formed by rubbing with a cloth.

【0045】つぎに、図12に示すように、転写用スタ
ンプ部8の凸部9上にポリイミド樹脂からなる粘着材2
6を形成するために、ポリイミド樹脂を満たす容器27
に凸部9を接触する。ポリイミド樹脂を満たす容器27
は、転写用スタンプ部8を接触していない時に回転を行
うことにより、容器27のポリイミド樹脂表面を平坦に
することができる。さらに、転写用スタンプ部8の凸部
9に形成するポリイミド樹脂を回転して振り切ることに
より膜厚の均一は粘着材26を形成できる。さらに、転
写用スタンプ部8の凸部9上の粘着材26をスペーサー
6に押し当てスペーサー6を粘着材26中にめり込ませ
る。
Next, as shown in FIG. 12, an adhesive 2 made of a polyimide resin is formed on the projection 9 of the transfer stamp 8.
Container 27 filled with polyimide resin to form 6
To the convex portion 9. Container 27 filled with polyimide resin
By rotating when the transfer stamp portion 8 is not in contact, the polyimide resin surface of the container 27 can be flattened. Further, the adhesive 26 having a uniform thickness can be formed by rotating and shaking off the polyimide resin formed on the convex portion 9 of the transfer stamp portion 8. Further, the adhesive 26 on the convex portion 9 of the transfer stamp portion 8 is pressed against the spacer 6 so that the spacer 6 is sunk into the adhesive 26.

【0046】つぎに、図13に示すように、第1の基板
1上のスペース3に相当する配向膜5上に転写用スタン
プ部8の凸部9上に形成する粘着材26にめり込むスペ
ーサー6を押し当て、赤外線ランプ28を第1の基板1
の裏面より照射し、凸部9上の粘着材26の粘度を低下
させ、スペーサー6を介して配向膜5に粘着材26を移
動させ冷却しスペーサー6を配向膜5上に固着させる。
Next, as shown in FIG. 13, a spacer 6 is cut into the adhesive 26 formed on the projection 9 of the transfer stamp 8 on the alignment film 5 corresponding to the space 3 on the first substrate 1. And presses the infrared lamp 28 to the first substrate 1
Irradiation is performed from the back surface of the adhesive, the viscosity of the adhesive 26 on the convex portion 9 is reduced, and the adhesive 26 is moved to the alignment film 5 via the spacer 6 and cooled to fix the spacer 6 on the alignment film 5.

【0047】つぎに、図14に示すように、転写用スタ
ンプ部8の凸部9上の粘着材26を除去し、凸部9をク
リーニングするために、ピロリドン溶剤を40℃に熱す
る容器29内に回転ロール30を設け、凸部9を少なく
ともピロリドン溶剤に浸積し、回転ロール30による擦
り洗浄と超音波洗浄を併用する。さらに、アセトンによ
り置換を行い、凸部9および転写用スタンプ部8の表面
を洗浄する。
Next, as shown in FIG. 14, a container 29 in which a pyrrolidone solvent is heated to 40 ° C. in order to remove the adhesive 26 on the projection 9 of the transfer stamp section 8 and clean the projection 9. A rotating roll 30 is provided therein, the protrusion 9 is immersed in at least a pyrrolidone solvent, and rubbing cleaning and ultrasonic cleaning by the rotating roll 30 are used in combination. Further, the surface is replaced with acetone, and the surfaces of the projections 9 and the transfer stamp 8 are washed.

【0048】つぎに第1の実施形態の図5と同様に、第
2の基板11上には、第1の電極2と交差するように設
け、かつ所定のスペース13を設けて形成するストライ
プ状の透明導電体14をパターン形成して第2の電極1
2とする。透明導電体14上には、ポリイミド樹脂から
なる配向膜15を形成する。配向膜15上は、例えば、
布で擦り微小の凹凸が形成されている。さらに、第2の
基板2上の配向膜15上には、第1の基板1と第2の基
板11とを所定の間隙と設ける張り合わせるためにシー
ル材17を印刷法を用いて形成する。シール材17に
は、液晶18を注入するための開口部19を有する。
Next, similarly to FIG. 5 of the first embodiment, a stripe shape is formed on the second substrate 11 so as to intersect with the first electrode 2 and to form a predetermined space 13. Patterning the transparent conductor 14 of the second electrode 1
Let it be 2. An alignment film 15 made of a polyimide resin is formed on the transparent conductor 14. On the alignment film 15, for example,
Fine irregularities are formed by rubbing with a cloth. Further, a sealing material 17 is formed on the alignment film 15 on the second substrate 2 by using a printing method so as to bond the first substrate 1 and the second substrate 11 with a predetermined gap. The sealing material 17 has an opening 19 for injecting a liquid crystal 18.

【0049】最後に図15に示すように、液晶表示装置
として利用する場合には、第1の基板1と第2の基板1
1とをスペーサー6とシール材(図示せず)により所定
の間隙を設けて張り合わせ、シール材の開口部より液晶
18を注入し、開口部を封孔材により密閉することによ
り形成できる。また、第1の電極2と第2の電極12の
交差部が画素電極となる。第1の電極2と第2の電極1
2の電極間に所定の電圧を印加して画素電極の液晶18
の電圧−透過率変化を利用し表示を行う。
Finally, as shown in FIG. 15, when used as a liquid crystal display device, the first substrate 1 and the second substrate 1 are used.
1 can be formed by providing a predetermined gap between the spacer 6 and a sealing material (not shown), injecting a liquid crystal 18 through an opening of the sealing material, and sealing the opening with a sealing material. The intersection of the first electrode 2 and the second electrode 12 becomes a pixel electrode. First electrode 2 and second electrode 1
A predetermined voltage is applied between the two electrodes and the liquid crystal 18 of the pixel electrode is applied.
Is displayed by using the change in the voltage-transmittance.

【0050】以上の工程により、ポリイミド樹脂の容器
27を回転させポリイミド樹脂の表面を平坦化できるた
め、凸部9上に粘着材26を均一に形成できる。さら
に、凸部9をポリイミド樹脂にスタンプ方式にて形成す
るのみでは、凸部9上の粘着材26は部分的にうねりが
発生するため、凸部9上に粘着材26を形成した後に回
転処理を行い、余分な粘着材26を振り切り平坦化する
ことができる。
According to the above steps, the surface of the polyimide resin can be flattened by rotating the container 27 of the polyimide resin, so that the adhesive 26 can be uniformly formed on the projection 9. Furthermore, if the protrusions 9 are only formed on the polyimide resin by a stamp method, the adhesive 26 on the protrusions 9 will be partially undulated. Is performed, the excess adhesive material 26 can be shaken off and flattened.

【0051】さらに、凸部9上の粘着材26を熱処理に
より第1の基板1に転写することによりスペーサー6と
粘着材26を同時に第1の基板1上に固定化することが
できる。
Further, the spacer 6 and the adhesive 26 can be simultaneously fixed on the first substrate 1 by transferring the adhesive 26 on the projection 9 to the first substrate 1 by heat treatment.

【0052】つぎに本発明の第4の実施形態における液
晶表示装置の製造工程を図面に基づいて説明する。本第
4の実施形態は、二端子型の非線形抵抗素子を第1の基
板1上に設ける例である。さらにスペーサー6を第2の
基板に設ける例である。図16は本実施形態の液晶表示
装置の一部を拡大する平面図であり、図17と図18と
図19と図20とは、図16のB−B線における断面に
相当する部分の製造工程を示す断面図である。以下、図
16と図17と図18と図19と図20を用いて本発明
の第4の実施形態を説明する。
Next, a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The fourth embodiment is an example in which a two-terminal nonlinear resistance element is provided on a first substrate 1. In this example, a spacer 6 is provided on the second substrate. FIG. 16 is a plan view enlarging a part of the liquid crystal display device of the present embodiment. FIGS. 17, 18, 19, and 20 show the manufacture of a portion corresponding to a cross section taken along line BB of FIG. It is sectional drawing which shows a process. Hereinafter, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 16, 17, 18, 19, and 20.

【0053】まず図16に示すように、ガラス基板から
なる第1の基板1上には、タンタル(Ta)膜からなる
信号電極31と信号電極31と一体構造の下部電極32
をパターン形成する。さらに、信号電極31と下部電極
32上にはタンタル膜の陽極酸化膜である酸化タンタル
(TaOx)膜からなる非線形抵抗層33を形成する。
さらに、信号電極31と所定の間隙を有し、孤立する表
示電極36と表示電極36と一体構造であり、下部電極
32上の非線形抵抗層33と重なり合う上部電極34と
をパターン形成する。下部電極32と非線形抵抗層33
と上部電極34とにより非線形抵抗素子35を形成す
る。第1の基板1上に微少の凹凸を有する配向膜15を
形成する。
First, as shown in FIG. 16, on a first substrate 1 composed of a glass substrate, a signal electrode 31 composed of a tantalum (Ta) film and a lower electrode 32 integrated with the signal electrode 31 are formed.
Is patterned. Further, a non-linear resistance layer 33 made of a tantalum oxide (TaOx) film, which is an anodized tantalum film, is formed on the signal electrode 31 and the lower electrode 32.
Further, the display electrode 36 having a predetermined gap with the signal electrode 31 and the upper electrode 34 which is an integral structure with the display electrode 36 and which overlaps with the nonlinear resistance layer 33 on the lower electrode 32 are formed by patterning. Lower electrode 32 and nonlinear resistance layer 33
And the upper electrode 34 form a nonlinear resistance element 35. An alignment film 15 having minute unevenness is formed on the first substrate 1.

【0054】つぎに、図17に示すように、第2の基板
11上には、第1の基板1上の表示電極36と一部重な
り合うように設けるクロム(Cr)膜からなるブラック
マトリクス37をパターン形成する。ブラックマトリク
ス37の一部と重なり合い、さらに第2の基板11上に
は、緑色カラーフイルター39と赤色カラーフイルター
40と青色カラーフイルター(図示せず)とをパターン
形成する。相互のカラーフイルターはブラックマトリク
ス37上で間隙42を有する。さらに、カラーフイルタ
ー39、40上とブラックマトリクス37上には保護用
絶縁膜41をパターン形成する。カラーフイルター3
9、40の間隙に設ける保護用絶縁膜41はカラーフイ
ルターに比較し、膜厚分布が非常に小さい。そのため、
ブラックマトリクス37上のカラーフイルターの間隙に
スペーサー6を設ける方法を採用する。
Next, as shown in FIG. 17, a black matrix 37 made of a chromium (Cr) film provided on the second substrate 11 so as to partially overlap the display electrodes 36 on the first substrate 1. Form a pattern. A green color filter 39, a red color filter 40, and a blue color filter (not shown) are formed on the second substrate 11 so as to overlap a part of the black matrix 37. The mutual color filters have gaps 42 on the black matrix 37. Further, a protective insulating film 41 is formed on the color filters 39 and 40 and the black matrix 37 by patterning. Color filter 3
The protective insulating film 41 provided in the gap between 9 and 40 has a very small thickness distribution as compared with the color filter. for that reason,
A method of providing the spacer 6 in the gap between the color filters on the black matrix 37 is adopted.

【0055】さらに、保護用絶縁膜41上と第2の基板
11上に第2の電極(対向電極)43をストライプ状に
パターン形成する。第2の電極43上には、ポリイミド
樹脂からなる配向膜15を形成する。配向膜15上は、
例えば、布で擦り微小の凹凸が形成されている。図面に
は配向膜15上の凹凸は省略してある。
Further, a second electrode (counter electrode) 43 is formed on the protective insulating film 41 and on the second substrate 11 in a stripe pattern. On the second electrode 43, the alignment film 15 made of a polyimide resin is formed. On the alignment film 15,
For example, fine irregularities are formed by rubbing with a cloth. In the drawing, irregularities on the alignment film 15 are omitted.

【0056】つぎに、図18に示すように、転写用スタ
ンプ部8上の凸部9に帯電処理を行う。帯電する方法
は、合成繊維同志を高速で擦り合わせ合成繊維を帯電さ
せる。つぎに、合成繊維を凸部9と接触することにより
凸部9は帯電する。このとき、前記凸部9と合成繊維を
接触させた状態で合成繊維48を回転させることにより
凸部9の帯電性を維持している。さらに、図19に示す
ように、5μmのプラスチック製ビーズからなるスペー
サー6をトレイ7上に配置し、転写用スタンプ部8の帯
電する凸部9をスペーサー6に押しあてることにより、
凸部9上にスペーサー6を吸着することができる。
Next, as shown in FIG. 18, the projection 9 on the transfer stamp 8 is subjected to a charging process. As for the method of charging, synthetic fibers are rubbed at high speed to charge the synthetic fibers. Next, the convex portion 9 is charged by bringing the synthetic fiber into contact with the convex portion 9. At this time, the chargeability of the projection 9 is maintained by rotating the synthetic fiber 48 in a state where the projection 9 is in contact with the synthetic fiber. Further, as shown in FIG. 19, a spacer 6 made of 5 μm plastic beads is arranged on the tray 7 and the charged convex portion 9 of the transfer stamp portion 8 is pressed against the spacer 6.
The spacer 6 can be adsorbed on the projection 9.

【0057】つぎに、図20に示すように、スペーサー
6を吸着する転写用スタンプ部8の上下を反転し、加湿
ノズル49より水蒸気をチャンバー50に流し、加湿雰
囲気51に放置することにより凸部9の帯電を消去した
後、凸部9上のスペーサー6を第2の基板11上の配向
膜15に押しあてることによりスペーサー6を配向膜1
5に転写することができる。
Next, as shown in FIG. 20, the transfer stamp portion 8 for adsorbing the spacer 6 is turned upside down, steam is flowed from the humidifying nozzle 49 into the chamber 50, and the humidified atmosphere 51 is left. After erasing the charge of the spacer 9, the spacer 6 on the projection 9 is pressed against the alignment film 15 on the second substrate 11, so that the spacer 6 is aligned with the alignment film 1.
5 can be transferred.

【0058】つぎに第1の実施形態の図5に示すよう
に、液晶表示装置とし利用する場合には、第1の基板1
と第2の基板11とをスペーサー6とシール材17によ
り所定の間隙を設ける張り合わせ、シール材17の開口
部19より液晶18を注入し、開口部19を封孔材によ
り密閉することにより形成できる。また、表示電極36
と第2の電極43の交差部が画素電極となる。表示電極
36と第2の電極43の電極間に所定の電圧を印加して
画素電極の液晶18の電圧−透過率変化を利用し、表示
を行う。
Next, as shown in FIG. 5 of the first embodiment, when used as a liquid crystal display device, the first substrate 1
The second substrate 11 is bonded to the second substrate 11 by providing a predetermined gap with the spacer 6 and the sealing material 17, the liquid crystal 18 is injected from the opening 19 of the sealing material 17, and the opening 19 is sealed with a sealing material. . The display electrode 36
The intersection between the first electrode 43 and the second electrode 43 becomes a pixel electrode. A predetermined voltage is applied between the display electrode 36 and the second electrode 43, and display is performed by utilizing a change in the voltage-transmittance of the liquid crystal 18 of the pixel electrode.

【0059】以上の工程により、転写用スタンプ部8上
の凸部9を帯電させる工程により、有効に凸部9上にス
ペーサー6を吸着することができる。さらに、凸部9と
スペーサー6とを加湿雰囲気に放置することにより帯電
能を減少させ、配向膜15上に簡単にスペーサー6を転
写することができる。
Through the steps described above, the spacers 6 can be effectively adsorbed on the projections 9 by charging the projections 9 on the transfer stamp section 8. Furthermore, by leaving the projections 9 and the spacers 6 in a humidified atmosphere, the charging ability is reduced, and the spacers 6 can be easily transferred onto the alignment film 15.

【0060】以上に示す液晶表示装置の製造方法を利用
することにより、非線形抵抗素子35を形成する第1の
基板1上には特殊な工程を使用しないため、非線形抵抗
素子35の特性を劣化することがない。さらに、転写用
スタンプ部8とその凸部9をスペーサー6を吸着する際
に帯電させておき、基板1、11上へ接触させる以前に
帯電を消去する工程を採用するため、基板へのダメージ
を発生することがない。
By utilizing the above-described method of manufacturing the liquid crystal display device, since no special process is used on the first substrate 1 on which the non-linear resistance element 35 is formed, the characteristics of the non-linear resistance element 35 are deteriorated. Nothing. Further, since the transfer stamp portion 8 and its convex portion 9 are charged when the spacer 6 is adsorbed, and the charge is erased before the spacer is brought into contact with the substrates 1 and 11, damage to the substrate is reduced. Does not occur.

【0061】つぎに本発明に利用する転写用スタンプ部
8と凸部9の実施形態を図面に基づいて説明する。図2
1は、転写用スタンプ部8と凸部9を示す平面図であ
り、図22は、図21のC−C線に示す断面図である。
以下に図21と図22とを用いて転写用スタンプ部8と
凸部9を説明する。
Next, an embodiment of the transfer stamp portion 8 and the projection 9 used in the present invention will be described with reference to the drawings. FIG.
1 is a plan view showing the transfer stamp portion 8 and the convex portion 9, and FIG. 22 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG.
Hereinafter, the transfer stamp portion 8 and the convex portion 9 will be described with reference to FIGS. 21 and 22.

【0062】転写用スタンプ部8と凸部9には、多孔質
の孔53が複数個設けてある。この孔53は、転写用ス
タンプ部8と凸部9の上下の面まで到達している。しか
し、凸部9以外の転写用スタンプ部8には孔53を塞ぐ
ための気密層54を設けている。そのため、凸部9にて
スペーサー(図示せず)を吸着する場合には、凸部9と
反対側の面より吸引することによりスペーサーは凸部9
上に吸着する。さらに、基板上にスペーサーを付着する
際には、わずかに孔53に窒素を噴射することによりス
ペーサーは凸部9より離脱して基板上に転移する。
The transfer stamp portion 8 and the projection 9 are provided with a plurality of porous holes 53. The hole 53 reaches the upper and lower surfaces of the transfer stamp portion 8 and the convex portion 9. However, an airtight layer 54 for closing the hole 53 is provided on the transfer stamp portion 8 other than the convex portion 9. Therefore, when a spacer (not shown) is sucked by the convex portion 9, the spacer is sucked from the surface on the opposite side to the convex portion 9 so that the spacer 9
Adsorb on top. Further, when attaching the spacer on the substrate, the spacer is detached from the projection 9 and transferred onto the substrate by slightly injecting nitrogen into the hole 53.

【0063】そのため、多孔質を利用し、転写用スタン
プ部8と凸部9を構成することは有効である。さらに、
第1の基板と第2の基板の間を均一にするためには、平
均してスペーサーが分散する必要があり、さらに、目的
とする部分にスペーサーが無いと第1の基板と第2の基
板の間隙を均一にするための工程にて均一の加圧するこ
とができないため、少なくとも1個以上のスペーサーを
設けることが重要である。そのため、転写用スタンプ部
8上の凸部9は使用するスペーサー5の直径の2倍以上
の大きさとする。これにより、凸部9上には、標準で2
個のスペーサーを吸着することができ、1個以上のスペ
ーサーを吸着することができる。
Therefore, it is effective to form the transfer stamp portion 8 and the convex portion 9 using a porous material. further,
In order to make the space between the first substrate and the second substrate uniform, the spacers need to be dispersed on average, and further, if there is no spacer in the target portion, the first substrate and the second substrate are not dispersed. It is important to provide at least one or more spacers because uniform pressure cannot be applied in the process for making the gap uniform. Therefore, the size of the projection 9 on the transfer stamp 8 is at least twice the diameter of the spacer 5 used. As a result, the projections 9 are provided with 2
One spacer can be adsorbed and one or more spacers can be adsorbed.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上の説明から明かなように、スペーサ
ー材を最密充填するトレイを利用することにより、転写
用スタンプ部の凸部に吸着するスペーサー材の個数を制
御することができる。さらに、トレイは、多数の部屋の
分割し、必要な箇所にのみスペーサーを最密充填的に並
べることにより、スペーサー材の大気に放置される時間
の短時間化に効果があり、スペーサー材を大気からの汚
染を防止できる。
As is apparent from the above description, the number of spacer materials adsorbed on the projections of the transfer stamp portion can be controlled by using the tray in which the spacer materials are closest packed. Furthermore, the tray is divided into a large number of rooms, and the spacers are arranged in a close-packed manner only at the necessary places, which is effective in shortening the time of being left in the air of the spacer material. Pollution can be prevented.

【0065】さらに、転写用スタンプ部の凸部を利用す
ることにより、必要な部分のみに、効率よくスペーサー
材を転写することができると同時に、基板上の不必要な
部分に転写用スタンプ部が接触しないため、配向膜等へ
の不純物イオンの汚染を防止できる。
Further, by utilizing the convex portion of the transfer stamp portion, the spacer material can be efficiently transferred only to the necessary portion, and at the same time, the transfer stamp portion can be transferred to the unnecessary portion on the substrate. Since there is no contact, contamination of the alignment film and the like with impurity ions can be prevented.

【0066】さらに、第1の基板と第2の基板上の少な
くとも一方にスペーサーを形成する部分に転写用スタン
プ部の凸部を利用し、接着層を形成し、さらに、転写用
スタンプ部の凸部を利用し、スペーサーを前記接着層上
に転写することにより、スペーサーを固定化できるた
め、製造工程でのスペーサーの移動を防止できる。
Further, an adhesive layer is formed on at least one of the first substrate and the second substrate at a portion where a spacer is to be formed by using a convex portion of the transfer stamp portion. By transferring the spacer onto the adhesive layer using the part, the spacer can be fixed, so that the movement of the spacer in the manufacturing process can be prevented.

【0067】本発明の第4の実施形態においては、二端
子型の非線形抵抗素子を用いる場合に関して製造方法を
説明したが、三端子型の非線形抵抗素子を用いる場合に
関して本実施形態を利用する場合においても、本発明の
製造方法の効果は当然有効である。三端子型の場合に
は、非線形抵抗素子を設ける領域は段差が大きいため、
スペーサー6は設けず、さらに、信号電極に接続するゲ
ート電極、あるいはデーター電極に接続するソース電極
上では、段差があるため設けず、スペーサー6は、表示
電極の中央部に設けることにより第1の基板と第2の基
板の間隙を均一にすることができる。
In the fourth embodiment of the present invention, the manufacturing method has been described with respect to the case where a two-terminal type nonlinear resistance element is used. However, the case where the present embodiment is used with the case where a three-terminal type nonlinear resistance element is used. Also in this case, the effect of the production method of the present invention is naturally effective. In the case of the three-terminal type, since the area where the nonlinear resistance element is provided has a large step,
The spacer 6 is not provided. Further, the spacer 6 is not provided on the gate electrode connected to the signal electrode or the source electrode connected to the data electrode because there is a step, and the spacer 6 is provided at the center of the display electrode. The gap between the substrate and the second substrate can be made uniform.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置
の一部を拡大する平面図である。
FIG. 1 is an enlarged plan view of a part of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置
の製造工程を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置
の製造工程を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置
の製造工程を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置
の製造工程を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置
の製造工程を示す断面図である。
FIG. 6 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第2の実施形態における液晶表示装置
の製造工程を示す断面図である。
FIG. 7 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第2の実施形態に使用するスペーサー
用トレイを示す概略図である。
FIG. 8 is a schematic diagram showing a spacer tray used in the second embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第2の実施形態における液晶表示装置
の製造工程を示す断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第2の実施形態における液晶表示装
置の製造工程を示す断面図である。
FIG. 10 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第2の実施形態における液晶表示装
置の製造工程を示す断面図である。
FIG. 11 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第3の実施形態における液晶表示装
置の製造工程を示す断面図である。
FIG. 12 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.

【図13】本発明の第3の実施形態における液晶表示装
置の製造工程を示す断面図である。
FIG. 13 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第3の実施形態における液晶表示装
置の製造工程を示す断面図である。
FIG. 14 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.

【図15】本発明の第3の実施形態における液晶表示装
置の製造工程を示す断面図である。
FIG. 15 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.

【図16】本発明の第4の実施形態における液晶表示装
置の平面形状を示す図である。
FIG. 16 is a diagram illustrating a planar shape of a liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図17】本発明の第4の実施形態における液晶表示装
置の最終形態を示す断面図である。
FIG. 17 is a sectional view showing a final form of a liquid crystal display device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図18】本発明の第4の実施形態に使用する転写用ス
タンプ部上の凸部を帯電させる機構を示す概念図であ
る。
FIG. 18 is a conceptual diagram illustrating a mechanism for charging a convex portion on a transfer stamp unit used in a fourth embodiment of the present invention.

【図19】本発明の第4の実施形態における液晶表示装
置の製造工程を示す断面図である。
FIG. 19 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the fourth embodiment of the present invention.

【図20】本発明の第4の実施形態における液晶表示装
置の製造工程を示す断面図である。
FIG. 20 is a sectional view illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the fourth embodiment of the present invention.

【図21】本発明の転写用スタンプ部上の凸部の平面形
状を示す平面図である。
FIG. 21 is a plan view showing a planar shape of a convex portion on a transfer stamp portion of the present invention.

【図22】本発明の転写用スタンプ部上の凸部の断面形
状を示す断面図である。
FIG. 22 is a cross-sectional view showing a cross-sectional shape of a projection on the transfer stamp unit of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 第1の基板 2 第1の電極 3 スペース 6 スペーサー 7 トレイ 8 転写用スタンプ部 9 凸部 22 接着層 23 振動部 24 スキージ 25 紫外線ランプ 26 粘着層 28 赤外線ランプ 31 信号電極 32 下部電極 33 非線形抵抗層 34 上部電極 35 非線形抵抗素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st board | substrate 2 1st electrode 3 Space 6 Spacer 7 Tray 8 Transfer stamp part 9 Convex part 22 Adhesive layer 23 Vibration part 24 Squeegee 25 Ultraviolet lamp 26 Adhesive layer 28 Infrared lamp 31 Signal electrode 32 Lower electrode 33 Nonlinear resistance Layer 34 upper electrode 35 non-linear resistance element

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶表示装置の第1の基板と第2の基板
の少なくとも一方の基板上にスペーサーを設ける工程を
有する液晶表示装置の製造方法において、前記第1の基
板と第2の基板上の少なくとも一方にスペーサーを設け
る工程は、スペーサー用のトレイ上にスペーサーをほぼ
最密充填する工程と、所定の部所に凸部を有する転写用
スタンプ部に前記トレイより前記凸部をスペーサーに押
しつけスペーサーをトレイより転写する工程と、第1の
基板と第2の基板上の少なくとも一方に転写用スタンプ
部を押しつけ、前記基板の所定の位置にスペーサーを転
写する工程を有することを特徴とする液晶表示装置の製
造方法。
1. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: providing a spacer on at least one of a first substrate and a second substrate of the liquid crystal display device. The step of providing a spacer on at least one of the steps includes a step of substantially closely filling the spacer on a spacer tray, and pressing the convex part from the tray against the spacer against a transfer stamp part having a convex part in a predetermined part. A liquid crystal comprising: a step of transferring a spacer from a tray; and a step of pressing a transfer stamp portion on at least one of the first substrate and the second substrate to transfer the spacer to a predetermined position on the substrate. A method for manufacturing a display device.
【請求項2】 液晶表示装置の第1の基板と第2の基板
の少なくとも一方の基板上にスペーサーを設ける工程を
有する液晶表示装置の製造方法において、前記第1の基
板と第2の基板上の少なくとも一方にスペーサーを設け
る工程は、スペーサー用のトレイ上にスペーサーをほぼ
最密充填する工程と、所定の部所に凸部を有する転写用
スタンプ部の凸部上をクリーニングする工程と、前記凸
部上にスペーサーを接着する処理を行う工程と、第1の
基板あるいは第2の基板の少なくとも一方にスペーサー
を接着するための処理を行う工程と、前記トレイより前
記凸部上の接着部にスペーサーに押しつけスペーサーを
トレイより転写する工程と、前記第1の基板あるいは、
第2の基板上の接着処理部に転写用スタンプ部を押しつ
け、前記基板の所定の位置にスペーサーを転写する工程
を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
2. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: providing a spacer on at least one of a first substrate and a second substrate of a liquid crystal display device. The step of providing a spacer on at least one of the step, a step of substantially close-packing the spacer on the tray for the spacer, a step of cleaning the convex portion of the transfer stamp portion having a convex portion at a predetermined position, A step of performing a process of bonding a spacer on the convex portion, a process of performing a process of bonding the spacer on at least one of the first substrate and the second substrate, and a process of bonding the spacer on the convex portion from the tray. Transferring the spacer from the tray by pressing the spacer against the spacer, and the first substrate or
A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a step of pressing a transfer stamp section against an adhesion processing section on a second substrate to transfer a spacer to a predetermined position on the substrate.
【請求項3】 前記第1の基板と第2の基板上の少なく
とも一方にスペーサーを設ける方法は、スペーサー用の
トレイ上にスペーサーをほぼ最密充填する工程と、前記
転写用スタンプ部の凸部上をクリーニングする工程と、
凸部上に粘着剤を塗布する工程と、前記凸部上の粘着剤
をトレイ上のスペーサー上に押し付けスペーサーを接着
する工程と、第1の基板と第2の基板の少なくとも一方
に前記凸部上のスペーサーを接触する工程と、スペーサ
ーあるいは凸部の少なくとも一方を加熱する工程と、加
熱により前記接着剤の粘性を低下し、凸部より前記基板
上に前記粘着剤とスペーサーを転写する工程と、冷却し
前記接着剤の粘性を増加しスペーサーを前記基板上に接
着剤により固定化する工程とを有することを特徴とする
請求項1または2に記載の液晶表示装置の製造方法。
3. A method of providing a spacer on at least one of the first substrate and the second substrate, wherein the step of substantially closely filling the spacer on a spacer tray, and the step of projecting the transfer stamp portion. Cleaning the top,
A step of applying an adhesive on the convex portion, a step of pressing the adhesive on the convex portion onto a spacer on the tray and bonding the spacer, and a step of applying the convex portion to at least one of a first substrate and a second substrate. A step of contacting the upper spacer, a step of heating at least one of the spacer or the convex part, and a step of reducing the viscosity of the adhesive by heating and transferring the adhesive and the spacer from the convex part onto the substrate. 3. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, further comprising a step of cooling, increasing a viscosity of the adhesive, and fixing a spacer on the substrate with the adhesive.
【請求項4】 前記第1の基板と第2の基板上の少なく
とも一方にスペーサーを設ける方法は、スペーサー用の
トレイ上にスペーサーをほぼ最密充填する工程と、前記
転写用スタンプ部の凸部上を帯電させる工程と、前記帯
電させた凸部上にトレイよりスペーサーを吸着する工程
と、第1の基板と第2の基板の少なくとも一方に前記凸
部上のスペーサーを接触する工程と、前記凸部の帯電を
除去し、前記基板にスペーサーを押し付け基板上に転写
する工程とを有すること特徴とする請求項1または2に
記載の液晶表示装置の製造方法。
4. A method of providing a spacer on at least one of the first substrate and the second substrate, comprising the steps of: filling a spacer on a tray for spacers in a closest-closed manner; Charging a top, adsorbing a spacer from a tray on the charged protrusion, contacting a spacer on the protrusion with at least one of a first substrate and a second substrate, 3. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, further comprising: removing a charge of the convex portion, and pressing a spacer on the substrate to transfer the spacer onto the substrate.
【請求項5】 前記転写用スタンプ部の凸部の面積はス
ペーサーの断面積の少なくとも2個以上であることを特
徴とする請求項1、2、3または4に記載の液晶表示装
置の製造方法。
5. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the area of the protrusion of the transfer stamp portion is at least two or more of the cross-sectional area of the spacer. .
【請求項6】 前記第1の基板と第2の基板上の少なく
とも一方にスペーサーを転写する領域は表示電極と対向
電極の重なる部分からなる画素電極の周囲の非表示領域
であることを特徴とする請求項1、2、3または4に記
載の液晶表示装置の製造方法。
6. A non-display area around a pixel electrode comprising a portion where a display electrode and a counter electrode overlap each other, wherein an area where a spacer is transferred to at least one of the first substrate and the second substrate is provided. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, 2, 3, or 4.
【請求項7】 前記第1の基板と第2の基板上の少なく
とも一方にスペーサーを転写する部分は、前記基板の最
も高さ分布の少ない部分に設けることを特徴とする請求
項1、2、3または4に記載の液晶表示装置の製造方
法。
7. The method according to claim 1, wherein a portion for transferring a spacer to at least one of the first substrate and the second substrate is provided in a portion of the substrate having a minimum height distribution. 5. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to 3 or 4.
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