JPH10170314A - Fluid vibration-type flowmeter - Google Patents
Fluid vibration-type flowmeterInfo
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- JPH10170314A JPH10170314A JP33234596A JP33234596A JPH10170314A JP H10170314 A JPH10170314 A JP H10170314A JP 33234596 A JP33234596 A JP 33234596A JP 33234596 A JP33234596 A JP 33234596A JP H10170314 A JPH10170314 A JP H10170314A
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- fluid vibration
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、二次元流路のノ
ズルより噴出される噴流に生じる流体振動から流量を検
出する流体振動形流量計に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid vibration type flow meter for detecting a flow rate from a fluid vibration generated in a jet ejected from a nozzle of a two-dimensional flow path.
【0002】[0002]
【従来の技術】この種の流体振動形流量計としては、例
えば図3に示すものが知られている。この図に示す流体
振動形流量計FMは、カバー5で閉じられるハウジング
1内に一対のノズル部材2、2を設けることにより、同
ハウジング1内にノズル流路210を構成するととも
に、このノズル流路210の上流側及び下流側にぞれぞ
れ上流側流路200及び下流側流路220を構成する構
造になっている。下流側流路220には、ノズル流路2
10の延長線上(中心線C上)にターゲット3が設けら
れている。そして、ノズル流路210を通って噴出する
ガス(流体)がターゲット3に衝突することによって流
体振動が発生し、この流体振動に基づいて流量を検出す
る原理になっている。2. Description of the Related Art As this type of fluid vibration type flow meter, for example, the one shown in FIG. 3 is known. In the fluid vibration type flowmeter FM shown in FIG. 1, a pair of nozzle members 2 and 2 are provided in a housing 1 closed by a cover 5 so that a nozzle flow path 210 is formed in the housing 1 and the nozzle flow An upstream channel 200 and a downstream channel 220 are formed on the upstream side and the downstream side of the path 210, respectively. The downstream flow path 220 includes the nozzle flow path 2
The target 3 is provided on an extension of 10 (on the center line C). The gas (fluid) ejected through the nozzle flow path 210 collides with the target 3 to generate fluid vibration, and the principle is to detect the flow rate based on the fluid vibration.
【0003】上記ハウジング1は、凹状に形成された箱
型矩形状の溝1aによって構成されている。そして、溝
1aの表面をカバー5で覆うことによって、上流側流路
200、ノズル流路210及び下流側流路220からな
る二次元流路を構成する。すなわち、上流側流路20
0、ノズル流路210及び下流側流路220は、溝1a
の底面である基準面10からの高さ(図3の紙面に直交
する方向の寸法)が一定で、中心線Cを介して左右対称
の二次元流路を構成している。The housing 1 is formed by a box-shaped rectangular groove 1a formed in a concave shape. Then, by covering the surface of the groove 1a with the cover 5, a two-dimensional flow path including the upstream flow path 200, the nozzle flow path 210, and the downstream flow path 220 is formed. That is, the upstream flow path 20
0, the nozzle flow path 210 and the downstream flow path 220
The height (dimension in the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 3) from the reference surface 10 as the bottom surface is constant, and a left-right symmetric two-dimensional flow path is formed via the center line C.
【0004】さらに、ハウジング1は、流入口1b及び
流出口1cを介して他の流路に接続できるように構成さ
れている。また、ハウジング1には、下流側流路220
におけるノズル流路210の近傍に圧力取出し口4が2
つ設けられている。これらの圧力取出し口4には圧力セ
ンサが接続されており、この圧力センサによってノズル
流路210から噴出する噴流の流体振動を検出するよう
になっている。[0004] Further, the housing 1 is configured to be connectable to another flow path via an inlet 1b and an outlet 1c. Further, the housing 1 has a downstream flow path 220.
The pressure outlet 4 is located near the nozzle flow path 210 in FIG.
One is provided. A pressure sensor is connected to these pressure outlets 4, and the pressure sensor detects the fluid vibration of the jet jetting from the nozzle flow channel 210.
【0005】ターゲット3は、設置台30に一体に形成
されたものである。設置台30は、四角形の板状に形成
されたものであり、基準面10に形成された四角形状の
設置凹部10aに嵌合されている。設置凹部10aは、
設置台30の上面30aが基準面10と同一面になるよ
うに、同設置台30を納めるようになっている。[0005] The target 3 is formed integrally with the mounting table 30. The mounting table 30 is formed in a rectangular plate shape, and is fitted into a rectangular mounting recess 10 a formed on the reference surface 10. The installation recess 10a
The mounting table 30 is placed so that the upper surface 30a of the mounting table 30 is flush with the reference plane 10.
【0006】また、ハウジング1には、カバー5を固定
するためのねじ穴1eが形成されているとともに、ノズ
ル部材2を固定するためのねじ穴(図示せず)が形成さ
れている。ねじ穴1eには、カバー5を固定するための
ボルト6がねじ込まれるようになっている。また、ノズ
ル部材2には、上記ボルト6の通る貫通孔2aが形成さ
れているとともに、ノズル部材2をハウジング1に固定
するためのボルト7の貫通孔2bが形成されている。The housing 1 has a screw hole 1e for fixing the cover 5 and a screw hole (not shown) for fixing the nozzle member 2. A bolt 6 for fixing the cover 5 is screwed into the screw hole 1e. The nozzle member 2 has a through hole 2a through which the bolt 6 passes, and a through hole 2b of a bolt 7 for fixing the nozzle member 2 to the housing 1.
【0007】そして、流体振動形流量計FMは、流体振
動の周波数と、ガス(流体)の流量あるいは流速が比例
関係にあることから、上記圧力センサを介して流体振動
の周波数を検出することによって、流量を測定する方式
になっている。なお、上記流体振動形流量計FMは、L
Pガスの流量を測定するものであり、LPガスの流体振
動を測定することになる。ただし、上記構造の流体振動
形流量計FMにあっては、LPガス以外の他の気体や、
液体の流量を測定することも可能である。The fluid vibration type flow meter FM detects the frequency of the fluid vibration through the pressure sensor because the frequency of the fluid vibration is proportional to the flow rate or flow velocity of the gas (fluid). , Which measures the flow rate. The above-mentioned fluid vibration type flow meter FM is L
This measures the flow rate of the P gas, and measures the fluid vibration of the LP gas. However, in the fluid vibration type flow meter FM having the above structure, other gases other than the LP gas,
It is also possible to measure the flow rate of the liquid.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】そして、上述したよう
な流体振動形流量計FMにおいては、測定範囲が広く、
かつ計測精度の優れたものを得ることが重要である。そ
して、測定範囲や計測精度がターゲット3の形状の影響
を受けるため、いままでに多くの形状のターゲット3が
開発されてきた。しかし、ターゲット3の形状が複雑な
ために、同ターゲット3の形状を寸法によって表示する
のが難しいという問題があった。しかも、形状が複雑な
ために、ターゲット3の製造工数が多くかかり、かつ不
良品の発生率も高いという問題があった。In the fluid vibration type flow meter FM as described above, the measurement range is wide,
And it is important to obtain one with excellent measurement accuracy. Since the measurement range and the measurement accuracy are affected by the shape of the target 3, many targets 3 having various shapes have been developed so far. However, since the shape of the target 3 is complicated, there is a problem that it is difficult to display the shape of the target 3 by dimension. In addition, since the shape is complicated, the number of manufacturing steps of the target 3 is increased, and the occurrence rate of defective products is high.
【0009】この発明は上述した問題を解消するために
なされたもので、ターゲットの形状を単純化することに
より、ターゲットの形状を寸法によって容易に表示する
ことができ、かつターゲットの製造工数及び不良率の低
減を図ることのできる流体振動形流量計を提供すること
を目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problem. By simplifying the shape of a target, the shape of the target can be easily displayed by its dimensions. It is an object of the present invention to provide a fluid vibration type flow meter capable of reducing the rate.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に係る発明は、基準面からの高さが一定に
形成され、かつ中心線を介して左右対称に形成された二
次元流路としての上流側流路、ノズル流路及び下流側流
路を有し、前記ノズル流路から下流側流路に噴出する流
体の流体振動に基づいて流量を検出するように構成され
た流体振動形流量計であって、前記下流側流路における
前記中心線の位置にターゲットを設けてなり、このター
ゲットは、円柱状に形成されたものであって、その円柱
の中心に達する断面円弧状の凹面が側面に形成されてお
り、この凹面を前記ノズル流路側に向けると共に、同凹
面の中心を前記中心線に一致させるようにして、前記基
準面から垂直に立てられており、前記ノズル流路の幅を
W、前記基準面からのターゲットの高さをH、ターゲッ
トの径をΦ、ターゲットの凹面の半径をRtとした場
合、H/W=2.483〜5.033、Φ/W=1.8
17〜3.7、Rt/W=0.667〜1.33の関係
を有することを特徴としている。In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 is an invention in which a height from a reference plane is formed to be constant and a bilaterally symmetric shape is formed through a center line. It has an upstream flow path as a dimensional flow path, a nozzle flow path and a downstream flow path, and is configured to detect a flow rate based on fluid vibration of a fluid ejected from the nozzle flow path to the downstream flow path. A fluid vibration type flowmeter, wherein a target is provided at a position of the center line in the downstream flow path, and the target is formed in a columnar shape, and has a cross-sectional circle reaching the center of the column. An arcuate concave surface is formed on the side surface, and the concave surface is directed toward the nozzle flow path side, and the center of the concave surface is made to coincide with the center line so as to be perpendicular to the reference surface, and the nozzle is Set the width of the flow path to W, the reference plane For the height of the target H, the size of the target [Phi, the radius of the concave surface of the target was set to Rt, H / W = 2.483~5.033, Φ / W = 1.8
17 to 3.7, and Rt / W = 0.667 to 1.33.
【0011】請求項2に係る発明は、基準面からの高さ
が一定に形成され、かつ中心線を介して左右対称に形成
された二次元流路としての上流側流路、ノズル流路及び
下流側流路を有し、前記ノズル流路から下流側流路に噴
出する流体の流体振動に基づいて流量を検出するように
構成された流体振動形流量計であって、前記下流側流路
における前記中心線の位置にターゲットを設けてなり、
このターゲットは、円柱状に形成されたものであって、
その円柱の中心に達する断面円弧状の凹面が側面に形成
されており、この凹面を前記ノズル流路側に向けると共
に、同凹面の中心を前記中心線に一致させるようにし
て、前記基準面から垂直に立てられており、前記ノズル
流路の幅をW、前記基準面からのターゲットの高さを
H、ターゲットの径をΦ、ターゲットの凹面の半径をR
t、ターゲットの凹面の深さをhとした場合、H/W=
1.65〜5.033、Φ/W=1.817〜3.7、
Rt/W=0.667〜1.33、h/W=0.316
7〜0.7の関係を有することを特徴としている。The invention according to a second aspect is characterized in that an upstream flow path, a nozzle flow path, and a two-dimensional flow path which are formed at a constant height from the reference plane and are formed symmetrically with respect to the center line. A fluid vibration type flow meter having a downstream flow path and configured to detect a flow rate based on a fluid vibration of a fluid ejected from the nozzle flow path to the downstream flow path, wherein the downstream flow path A target is provided at the position of the center line in
This target is formed in a cylindrical shape,
A concave surface having an arcuate cross section reaching the center of the cylinder is formed on the side surface, and this concave surface is directed toward the nozzle flow path side, and the center of the concave surface coincides with the center line, and is perpendicular to the reference surface. The width of the nozzle flow path is W, the height of the target from the reference plane is H, the diameter of the target is Φ, and the radius of the concave surface of the target is R.
t, when the depth of the concave surface of the target is h, H / W =
1.65-5.033, Φ / W = 1.817-3.7,
Rt / W = 0.667 to 1.33, h / W = 0.316
It is characterized by having a relationship of 7 to 0.7.
【0012】そして、上記のように構成された請求項1
に係る発明においては、ターゲットの形状が単純にな
る。すなわち、ターゲットは、円柱状に形成されたもの
であって、その側面に円柱の中心に達する断面円弧状の
凹面を有しており、この凹面を前記ノズル流路側に向け
ると共に、同凹面の中心を二次元流路の中心線に一致さ
せるようにして、基準面から垂直に立てられたものであ
るため、形状が単純である。[0012] The present invention is configured as described above.
In the invention according to the first aspect, the shape of the target is simplified. That is, the target is formed in a columnar shape, and has a concave surface with a circular cross section reaching the center of the column on the side surface, and this concave surface is directed toward the nozzle flow path side, and the center of the concave surface is formed. Is made to be perpendicular to the center plane of the two-dimensional flow path and is set up vertically from the reference plane, so that the shape is simple.
【0013】このため、ターゲットの形状は、基準面か
らの高さH、径Φ、凹面の半径Rt、凹面の深さhを設
定することにより、簡単に寸法表示することができる。
しかも、形状が単純であるため、プラスチック等の高分
子材料を用いて、例えば射出成形により大量生産するこ
とができ、かつこのような成形によって不良品の発生率
を低減することができる。したがって、製造工数及び不
良率の低減を図ることができる。また、形状が単純であ
るため、フライス等の機械加工によっても容易に製造す
ることができ、この場合も製造工数及び不良率の低減を
図ることができる。Therefore, the dimensions of the shape of the target can be easily displayed by setting the height H from the reference plane, the diameter Φ, the radius Rt of the concave surface, and the depth h of the concave surface.
Moreover, since the shape is simple, it can be mass-produced by using, for example, injection molding using a polymer material such as plastic, and the occurrence of defective products can be reduced by such molding. Therefore, the number of manufacturing steps and the defect rate can be reduced. Further, since the shape is simple, it can be easily manufactured by machining such as a milling machine. In this case, the number of manufacturing steps and the defective rate can be reduced.
【0014】また、ノズル流路の幅をW、基準面からの
ターゲットの高さをH、ターゲットの径をΦ、ターゲッ
トの凹面の半径をRtとした場合、H/W=2.483
〜5.033、Φ/W=1.817〜3.7、Rt/W
=0.667〜1.33となっているから、測定範囲が
広くかつ計測精度の良好なターゲットが得られる。した
がって、上記各パラメータの数値を有するターゲットを
用いることによって、測定範囲の異なるものを容易に開
発するすることができる。When the width of the nozzle channel is W, the height of the target from the reference plane is H, the diameter of the target is Φ, and the radius of the concave surface of the target is Rt, H / W = 2.483.
55.033, Φ / W = 1.817-3.7, Rt / W
= 0.667 to 1.33, a target having a wide measurement range and good measurement accuracy can be obtained. Therefore, by using a target having the numerical value of each of the above parameters, a target having a different measurement range can be easily developed.
【0015】また、請求項2に係る発明においては、請
求項1に係る発明と同様に、ターゲットの形状が単純に
なると共に、ノズル流路の幅をW、基準面からのターゲ
ットの高さをH、ターゲットの径をΦ、ターゲットの凹
面の半径をRt、ターゲットの凹面の深さをhとした場
合、H/W=1.65〜5.033、Φ/W=1.81
7〜3.7、Rt/W=0.667〜1.33、h/W
=0.3167〜0.7となっているから、測定範囲が
広くかつ計測精度の良好なターゲットが得られる。した
がって、上記各パラメータの数値を有するターゲットを
用いることによって、測定範囲の異なるものを容易に開
発することができる。Further, in the invention according to claim 2, similarly to the invention according to claim 1, the shape of the target is simplified, the width of the nozzle flow path is set to W, and the height of the target from the reference plane is set to W. H, when the diameter of the target is Φ, the radius of the concave surface of the target is Rt, and the depth of the concave surface of the target is h, H / W = 1.65 to 5.033, and Φ / W = 1.81.
7 to 3.7, Rt / W = 0.667 to 1.33, h / W
= 0.3167 to 0.7, a target having a wide measurement range and good measurement accuracy can be obtained. Therefore, by using a target having the numerical value of each of the above parameters, a target having a different measurement range can be easily developed.
【0016】さらに、ターゲットの高さHの設定範囲が
広いので、この高さHに対応する二次元流路としてのノ
ズル流路の高さの設定範囲も広くなる。したがって、測
定範囲の異なるものを容易に開発することができる。Further, since the setting range of the target height H is wide, the setting range of the height of the nozzle flow path as a two-dimensional flow path corresponding to this height H is also widened. Therefore, it is possible to easily develop one having a different measurement range.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を実
施例に基づき図1及び図2を参照して説明する。ただ
し、図3に示す構成要素と共通する要素には同一の符号
を付して説明を省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. However, the same components as those shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
【0018】まず、第1実施例を図面を参照しながら説
明する。この実施例で示す流体振動形流量計FMには、
図1及び図2に示すようなターゲット3が用いられてい
る。すなわち、設置台30は、ノズル流路210から噴
出する噴流の流れ方向に長く形成されており、噴流方向
の長さXが19.95〜20.0mmであり、噴流に直
交する方向の幅Yが14.95〜15.0mmであり、
厚さZが2.95〜3.0mmである。なお、設置台3
0は、図3に示す設置凹部10aに嵌合することによっ
て、その中心線C1が図3に示す二次元流路の中心線C
に一致するようになっている。そして、設置台30は、
その上面30aが基準面10と同一面上にある。このた
め、ターゲット3は、実質的に基準面10から垂直に立
てられた状態になっている。First, a first embodiment will be described with reference to the drawings. The fluid vibration type flow meter FM shown in this embodiment includes:
A target 3 as shown in FIGS. 1 and 2 is used. That is, the mounting table 30 is formed to be long in the flow direction of the jet flow ejected from the nozzle flow path 210, the length X in the jet direction is 19.95 to 20.0 mm, and the width Y in the direction orthogonal to the jet flow. Is 14.95 to 15.0 mm,
The thickness Z is 2.95 to 3.0 mm. In addition, installation stand 3
0 is the center line C1 of the two-dimensional flow channel shown in FIG. 3 by fitting into the installation recess 10a shown in FIG.
Is to be matched. And the installation base 30 is
The upper surface 30a is on the same plane as the reference plane 10. For this reason, the target 3 is substantially in a state of standing upright from the reference plane 10.
【0019】ターゲット3は、円柱状に形成されたもの
であって、その円柱の中心C2に達する断面円弧状の凹
面3aが側面に形成されており、この凹面3aを前記ノ
ズル流路210に向けると共に、同凹面3aの中心C2
が中心線C、C1に一致している。すなわち、ターゲッ
ト3は中心線C1に対して左右対称に形成されており、
その円柱の中心C2と凹面3aの中心C2とが一致して
いる。また、ターゲット3の外周面3bと凹面3aと
は、滑らかな凸状曲面3cによって連続的につながって
いる。The target 3 is formed in a columnar shape, and has a concave surface 3a having an arc-shaped cross section reaching the center C2 of the column on the side surface. The concave surface 3a is directed to the nozzle flow path 210. At the same time, the center C2 of the concave surface 3a
Correspond to the center lines C and C1. That is, the target 3 is formed symmetrically with respect to the center line C1,
The center C2 of the cylinder coincides with the center C2 of the concave surface 3a. The outer peripheral surface 3b and the concave surface 3a of the target 3 are continuously connected by a smooth convex curved surface 3c.
【0020】そして、ターゲット3の外周面3bの径Φ
=5.45〜5.55mm、ターゲット3の高さH=
7.45〜7.55mm、凹面3aの半径Rt=2m
m、凹面3aの深さh=0.95〜1.05mm、凸状
曲面3cの半径Re=0.95〜1.05mm、設置台
30の上流側の端面からターゲット3の中心C2までの
寸法Lt=8〜10mm、ノズル流路210のノズル助
走距離Lnにおける幅W=1.5〜3.0mm、ノズル
距離区間Ln=0〜30mm、ノズル流路210の下流
端からターゲット3の中心C2までの寸法Lj=13〜
15mmに形成したものは、測定範囲が広くかつ計測精
度が良いものとして許容される。なお、二次元流路の高
さはターゲット3の高さHと一致している。The diameter Φ of the outer peripheral surface 3b of the target 3
= 5.55-5.55 mm, height H of target 3 =
7.45 to 7.55 mm, radius Rt of concave surface 3a = 2 m
m, the depth h of the concave surface 3a = 0.95 to 1.05 mm, the radius Re of the convex curved surface 3c = 0.95 to 1.05 mm, and the dimension from the upstream end face of the mounting table 30 to the center C2 of the target 3. Lt = 8 to 10 mm, width W of nozzle passage 210 at nozzle approach distance Ln = 1.5 to 3.0 mm, nozzle distance section Ln = 0 to 30 mm, from the downstream end of nozzle passage 210 to center C2 of target 3 Dimensions Lj = 13 to
The one formed to 15 mm is acceptable as having a wide measurement range and good measurement accuracy. Note that the height of the two-dimensional flow path matches the height H of the target 3.
【0021】また、H/W=2.483〜5.033、
Φ/W=1.817〜3.7、Rt/W=0.667〜
1.33のように設定したものも、測定範囲が広くかつ
計測精度が良いものとして許容される。H / W = 2.483-5.033,
Φ / W = 1.817-3.7, Rt / W = 0.667-
The one set as 1.33 is also acceptable as having a wide measurement range and good measurement accuracy.
【0022】そして、Φ=5.45〜5.55mmに設
定すると、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるの
は、Φが5.45mm未満であると、ターゲット3に衝
突した噴流が下流側流路220を通過して、流出口1c
から系外へ流出しやすくなるからであり、Φが5.55
mmを超えると、ターゲット3に衝突した後、下流側流
路220の底より上流側に当たるため、系外に流出しや
すくなるからである。そして、好ましくは、Φ=5.5
mmに設定することがよい。When Φ is set to 5.45 to 5.55 mm, the measurement range is wide and the measurement accuracy is improved. When Φ is less than 5.45 mm, the jet colliding with the target 3 is located on the downstream side. After passing through the flow path 220, the outlet 1c
Is more likely to flow out of the system, and Φ is 5.55
If it exceeds mm, it collides with the target 3 and hits the upstream side from the bottom of the downstream channel 220, so that it easily flows out of the system. And preferably, Φ = 5.5
mm.
【0023】H=7.45〜7.55mmに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Hが
7.45mm未満であると、流路の表面のカバーあるい
は基準面10である底面の影響により流速分布が高さ方
向に生ずるからであり、Hが7.55mmを超えると、
二次元流れを保持するのが困難となるからである。そし
て、好ましくは、H=7.5mmに設定することがよ
い。When H is set to 7.45 to 7.55 mm, the measurement range is wide and the measurement accuracy is improved. When H is less than 7.45 mm, the cover or the reference surface 10 on the surface of the flow path is not used. This is because the flow velocity distribution occurs in the height direction due to the influence of a certain bottom surface, and when H exceeds 7.55 mm,
This is because it becomes difficult to maintain the two-dimensional flow. Then, it is preferable to set H = 7.5 mm.
【0024】Rt=2mmに設定すると、測定範囲が広
くかつ計測精度が良くなるのは、Rtが2mm未満であ
ると、流体振動の切換えが不安定となるからであり、R
tが2mmを超えると、切換えが起こりづらくなるから
である。When Rt is set to 2 mm, the measurement range is wide and the measurement accuracy is improved. When Rt is less than 2 mm, the switching of the fluid vibration becomes unstable.
This is because if t exceeds 2 mm, switching is difficult to occur.
【0025】h=0.95〜1.05mmに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、hが
0.95mm未満であると、流体振動の切換えが安定し
なくなるからであり、hが1.05mmを超えると、切
換えが発生しづらくなるからである。そして、好ましく
は、h=1.0mmに設定することがよい。When h is set to 0.95 to 1.05 mm, the measurement range is wide and the measurement accuracy is improved because when h is less than 0.95 mm, the switching of the fluid vibration becomes unstable. , H exceeds 1.05 mm, the switching is difficult to occur. Preferably, h is set to 1.0 mm.
【0026】Re=0.95〜1.05mmに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Re
が0.95mm未満であると、流体振動が安定しなくな
るからであり、Reが1.05mmを超えると、流体振
動が発生しづらくなるからである。そして、好ましく
は、Re=1.0mmに設定することがよい。When Re is set to 0.95 to 1.05 mm, the measurement range is wide and the measurement accuracy is high because Re is
Is less than 0.95 mm, the fluid vibration becomes unstable, and when Re exceeds 1.05 mm, it is difficult to generate the fluid vibration. Preferably, Re is set to 1.0 mm.
【0027】W=1.5〜3.0mmに設定すると、測
定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Wが1.5
mm未満であると、流速が高くなりすぎて、二次元噴流
を形成できなくなるからであり、Wが3.0mmを超え
ると、ノズル流路210の断面が三次元に近くなるた
め、二次元噴流を形成できなくなるからである。そし
て、好ましくは、W=2.0〜3.0mmに設定するこ
とがよい。When W is set to 1.5 to 3.0 mm, the measurement range is wide and the measurement accuracy is improved because W is 1.5 to 3.0 mm.
If W is less than 3.0 mm, the flow velocity becomes too high to form a two-dimensional jet, and if W exceeds 3.0 mm, the cross section of the nozzle flow path 210 becomes close to three-dimensional. Is not formed. Then, it is preferable to set W = 2.0 to 3.0 mm.
【0028】Lj=13.0〜15.0mmに設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Lj
が13mm未満であると、ノズルより噴射される噴流が
ターゲットに衝突する速度が高くなりすぎ、流体振動が
安定しなくなるからであり、Ljが15mmを超える
と、噴流がターゲットに衝突する速度が、低流量で低く
なりすぎるからである。そして、好ましくは、Lj=1
3〜15mmに設定することがよい。When Lj = 13.0 to 15.0 mm is set, the measurement range is wide and the measurement accuracy is improved because of Lj
Is less than 13 mm, the speed at which the jet jet from the nozzle collides with the target becomes too high, and the fluid vibration becomes unstable. When Lj exceeds 15 mm, the speed at which the jet collides with the target becomes This is because the flow rate is too low at a low flow rate. And preferably, Lj = 1
It is good to set to 3 to 15 mm.
【0029】一方、H/W=2.483〜5.033に
設定すると、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるの
は、Hが2.483未満であると、下流側流路220内
で上・下のカバーと基準面10の影響で流速分布が生ず
るからであり、H/Wが5.033を超えると、下流側
流路220内における二次元流水が三次元流れに近づく
からである。そして、好ましくは、H/W=3mmに設
定することがよい。On the other hand, when H / W = 2.483 to 5.033, the reason why the measurement range is wide and the measurement accuracy is improved is that when H is less than 2.483, the flow rate in the downstream flow path 220 is reduced. This is because the flow velocity distribution is generated due to the influence of the upper and lower covers and the reference surface 10, and when the H / W exceeds 5.033, the two-dimensional flowing water in the downstream flow path 220 approaches the three-dimensional flow. . Preferably, H / W = 3 mm.
【0030】Φ/W=1.817〜3.7に設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Φ/
Wが1.817未満であると、噴流がターゲット3に衝
突した後、流出口1cから系外へ流出しやすくなるから
であり、Φ/Wが3.7を超えると、下流側流路220
の底部より上流側の壁面に衝突するため、流出口1cか
ら流出しやすくなり、流体振動が不安定となるからであ
る。そして、好ましくは、Φ/W=2.2に設定するこ
とがよい。When Φ / W is set to 1.817 to 3.7, the reason why the measurement range is wide and the measurement accuracy is good is that Φ / W
If W is less than 1.817, the jet collides with the target 3 and then easily flows out of the system from the outlet 1c. If Φ / W exceeds 3.7, the downstream flow path 220
This is because it collides with the wall surface on the upstream side from the bottom of the fluid, so that it easily flows out from the outlet 1c, and the fluid vibration becomes unstable. Preferably, Φ / W is set to 2.2.
【0031】Rt/W=0.667〜1.33に設定す
ると、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、R
t/Wが0.667未満であると、流体振動が不規則と
なるからであり、Rt/Wが1.33を超えると、流体
振動が起こりにくくなるからである。そして、好ましく
は、Rt/W=0.8に設定することがよい。If Rt / W is set to 0.667 to 1.33, the measurement range is wide and the measurement accuracy is good because
When t / W is less than 0.667, fluid vibration becomes irregular, and when Rt / W exceeds 1.33, fluid vibration becomes difficult to occur. Then, it is preferable to set Rt / W = 0.8.
【0032】さらに、上記Wを分母とし、H、Φ、Rt
を分子とする無次元数をパラメータに選んだ理由は、次
の通りである。Further, using W as a denominator, H, Φ, Rt
The reason for choosing a dimensionless number with the numerator as the parameter is as follows.
【0033】すなわち、Wを選んだ理由はノズルより噴
射される噴流の二次元性を決定する最重要寸法であるか
らである。That is, W is selected because it is the most important dimension for determining the two-dimensionality of the jet jet from the nozzle.
【0034】Hを選んだ理由は二次元流路の決定及び最
大流量の決定に関して重要となる因子であるからであ
る。The reason for choosing H is that it is an important factor in determining the two-dimensional flow path and the maximum flow rate.
【0035】Φを選んだ理由はターゲット3に衝突した
噴流が、流体振動を起こした後に系外へ流出する度合を
決定する因子である。The reason for choosing Φ is a factor that determines the degree to which the jet colliding with the target 3 flows out of the system after causing fluid vibration.
【0036】Rtを選んだ理由はターゲット3に衝突す
る噴流が、流体振動する難易度あるいは、頻度を決定す
るからである。The reason for choosing Rt is that the jet colliding with the target 3 determines the difficulty or frequency of fluid oscillation.
【0037】以上のように構成された流体振動形流量計
FMにおいては、ターゲット3の形状が単純になり、同
ターゲット3の寸法、形状決定が非常に容易に行なえ
る。すなわち、ターゲット3は、径Φ=5.45〜5.
55mmの円柱状の外形を有し、その側面に半径Rt=
2mmの凹面3aを有し、凹面の深さh=0.95〜
1.05に形成され、凸状曲面3cの半径Re=0.9
5〜1.05mm、高さH=7.45〜7.55mmを
有する、寸法で容易に表示し得る単純な形状になってい
る。したがって、製造が容易となり、不良品の発生率を
低減することが可能となる。In the fluid vibration type flow meter FM configured as described above, the shape of the target 3 is simplified, and the size and shape of the target 3 can be determined very easily. That is, the target 3 has a diameter Φ = 5.45-5.
It has a cylindrical outer shape of 55 mm, and a radius Rt =
It has a concave surface 3a of 2 mm, and the depth h of the concave surface is 0.95 to 0.95.
1.05, radius Re = 0.9 of convex curved surface 3c
It has a simple shape that can be easily displayed in dimensions, having a size of 5 to 1.05 mm and a height H of 7.45 to 7.55 mm. Therefore, manufacturing becomes easy, and the incidence of defective products can be reduced.
【0038】また、プラスチック等の高分子材料を用い
て、例えば射出成形により成形することにより、大量に
能率よく製造することができると共に、不良品の発生率
を低減することができる。Further, by molding a high-molecular material such as plastic by, for example, injection molding, it is possible to efficiently produce a large number of products and reduce the incidence of defective products.
【0039】次に、この発明の第2実施例を説明する。
この第2実施例が第1実施例と異なる点は、ターゲット
3の高さHが相違している点である。Next, a second embodiment of the present invention will be described.
The second embodiment is different from the first embodiment in that the height H of the target 3 is different.
【0040】すなわち、ターゲット3は、H=4.95
〜5.05mm、とH=7.45〜7.55mmのもの
が適用されている。このため、H=4.95〜7.55
mm、径Φ=5.45〜5.55mm、Rt=2mm、
h=0.95〜1.05mm、Re=0.95〜1.0
5mm、Lt=8〜10mm、W=1.5〜3.0m
m、寸法Lj=13.0〜15.0mmに形成したもの
は、測定範囲が広くかつ計測精度が良いものとして許容
される。That is, the target 3 has H = 4.95.
To 5.05 mm and H = 7.45 to 7.55 mm. Therefore, H = 4.95 to 7.55
mm, diameter Φ = 5.55-5.55 mm, Rt = 2 mm,
h = 0.95 to 1.05 mm, Re = 0.95 to 1.0
5 mm, Lt = 8 to 10 mm, W = 1.5 to 3.0 m
m and dimensions Lj = 13.0 to 15.0 mm are permissible as having a wide measurement range and good measurement accuracy.
【0041】しかも、W=1.5〜3.0mmの範囲に
おいて、H/W=1.65〜5.033、Φ/W=1.
817〜3.7、Rt/W=0.667〜1.33、h
/W=0.3167〜0.7の関係にあれば、測定範囲
が広くかつ良好な計測精度の流体振動形流量計が得られ
る。Further, in the range of W = 1.5 to 3.0 mm, H / W = 1.65 to 5.033, and Φ / W = 1.
817-3.7, Rt / W = 0.667-1.33, h
If /W=0.3167 to 0.7, a fluid vibration type flowmeter having a wide measurement range and good measurement accuracy can be obtained.
【0042】そして、H=4.95〜5.05mmのタ
ーゲット3、及びこのターゲット3の高さHに一致する
深さの二次元流路により、この実施例においては最大計
測流量Qmax=2.5m3/hになる。また、H=
7.45〜7.55mmのターゲット3、及びこのター
ゲット3の高さHに一致する深さの二次元流路により、
この実施例においては最大計測流量Qmax=4m3/
hになる。すなわち、最大計測流量Qmaxが2.5m
3/hと、4m3/hとの異なる測定範囲において計測
精度の良好な流体振動形流量計が得られる。The target 3 having a height H of 4.95 to 5.05 mm and a two-dimensional flow path having a depth corresponding to the height H of the target 3 have a maximum measured flow rate Qmax = 2. 5 m 3 / h. Also, H =
With a target 3 of 7.45 to 7.55 mm and a two-dimensional flow path having a depth corresponding to the height H of the target 3,
In this embodiment, the maximum measured flow rate Qmax = 4 m 3 /
h. That is, the maximum measured flow rate Qmax is 2.5 m
And 3 / h, good fluid oscillatory flowmeter measurement accuracy at different measurement range of 4m 3 / h is obtained.
【0043】また、H=7.45〜7.55mmの場合
は、Lj=13.0〜15.0mmとすることにより計
測精度が良好になる。また、H=4.95〜5.05m
mの場合は、Lj=13.5〜14.0mmとすること
により計測精度が良好になる。When H = 7.45 to 7.55 mm, the measurement accuracy is improved by setting Lj = 13.0 to 15.0 mm. H = 4.95 to 5.05 m
In the case of m, the measurement accuracy is improved by setting Lj = 13.5 to 14.0 mm.
【0044】そして、H=4.95〜5.05mmに設
定すると、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるの
は、Hが4.95mm未満であると、下流側流路220
の上・下の壁面の影響により流速分布が生ずるからであ
り、Hが5.05mmを超えると、下流側流路220の
流れが三次元流れに近づくからである。そして、好まし
くは、H=5.0mmに設定することがよい。When H is set to 4.95 to 5.05 mm, the measurement range is wide and the measurement accuracy is improved.
This is because the flow velocity distribution is generated due to the influence of the upper and lower wall surfaces. If H exceeds 5.05 mm, the flow in the downstream flow path 220 approaches a three-dimensional flow. Then, it is preferable to set H = 5.0 mm.
【0045】H/W=1.65〜5.033に設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、Hが
1.65未満であると、上・下の壁面の影響により二次
元流れを保持することができなくなるからであり、H/
Wが5.033を超えると、下流側流路220内の流れ
が三次元流れに近づき、流体振動が安定しなくなるから
である。そして、好ましくは、H/W=2.0〜3.0
に設定することがよい。When H / W = 1.65-5.033, the reason why the measurement range is wide and the measurement accuracy is improved is that when H is less than 1.65, the effect of the upper and lower wall surfaces is two. This is because it becomes impossible to hold the dimensional flow,
If W exceeds 5.033, the flow in the downstream flow path 220 approaches a three-dimensional flow, and the fluid vibration becomes unstable. And, preferably, H / W = 2.0-3.0.
It is good to set to.
【0046】h/W=0.3167〜0.7に設定する
と、測定範囲が広くかつ計測精度が良くなるのは、h/
Wが0.3167未満であると、流体振動が不安定とな
り、計測精度が低下するからであり、h/Wが0.7を
超えると、流体振動が発生しづらくなるからである。そ
して、好ましくは、h/W=0.4に設定することがよ
い。When h / W = 0.3167 to 0.7, the reason why the measurement range is wide and the measurement accuracy is good is that h / W
If W is less than 0.3167, the fluid vibration becomes unstable, and the measurement accuracy decreases. If h / W exceeds 0.7, the fluid vibration is hardly generated. Then, it is preferable to set h / W = 0.4.
【0047】ここで、hを選んだ理由は噴流の流れが切
換わる現象に重要な因子となるからである。Here, h is selected because it is an important factor in the phenomenon that the flow of the jet is switched.
【0048】上記のように構成された流体振動形流量計
FMにおいては、ターゲット3その他の寸法を上述の通
り設定しているため、二次元流路の深さに合わせて、タ
ーゲット3の高さHを変えるだけで、各種の最大流量の
流体振動形流量計として使用できる。しかも、ターゲッ
ト3の設置位置Ljの範囲を広くすることができるた
め、位置の多少の誤差に対応できる。さらに、素材をダ
イカストあるいはプラスチック等の成形により製造する
時、良好な測定精度が得られるターゲット3の位置が多
少変化しても対応できる。In the fluid vibration type flow meter FM configured as described above, since the dimensions of the target 3 and other dimensions are set as described above, the height of the target 3 is adjusted according to the depth of the two-dimensional flow path. By simply changing H, it can be used as a fluid vibration type flow meter with various maximum flow rates. Moreover, since the range of the installation position Lj of the target 3 can be widened, it is possible to cope with a slight error in the position. Further, when the raw material is manufactured by molding such as die casting or plastic, it can cope with a slight change in the position of the target 3 at which good measurement accuracy can be obtained.
【0049】[0049]
【発明の効果】請求項1に係る発明においては、ターゲ
ットの形状が単純になる。すなわち、ターゲットは、円
柱状に形成されたものであって、その側面に円柱の中心
に達する断面円弧状の凹面を有しており、この凹面を前
記ノズル流路側に向けると共に、同凹面の中心を二次元
流路の中心線に一致させるようにして、基準面から垂直
に立てられたものであるため、形状が単純である。According to the first aspect of the present invention, the shape of the target is simplified. That is, the target is formed in a columnar shape, and has a concave surface with a circular cross section reaching the center of the column on the side surface, and this concave surface is directed toward the nozzle flow path side, and the center of the concave surface is formed. Is made to be perpendicular to the center plane of the two-dimensional flow path and is set up vertically from the reference plane, so that the shape is simple.
【0050】このため、ターゲットの形状は、基準面か
らの高さH、径Φ、凹面の半径Rt、凹面の深さh及び
凸状曲面3cの半径Reを設定することにより、簡単に
寸法表示することができる。しかも、形状が単純である
ため、プラスチック等の高分子材料を用いて、例えば射
出成形により大量生産することができ、かつこのような
成形によって不良品の発生率を低減することができる。
したがって、製造工数及び不良率の低減を図ることがで
きる。また、形状が単純であるため、フライス等の機械
加工によっても容易に製造することができ、この場合も
製造工数及び不良率の低減を図ることができる。For this reason, the shape of the target can be simply displayed by setting the height H from the reference plane, the diameter Φ, the radius Rt of the concave surface, the depth h of the concave surface, and the radius Re of the convex curved surface 3c. can do. Moreover, since the shape is simple, it can be mass-produced by using, for example, injection molding using a polymer material such as plastic, and the occurrence of defective products can be reduced by such molding.
Therefore, the number of manufacturing steps and the defect rate can be reduced. Further, since the shape is simple, it can be easily manufactured by machining such as a milling machine. In this case, the number of manufacturing steps and the defective rate can be reduced.
【0051】また、ノズル流路の幅をW、基準面からの
ターゲットの高さをH、ターゲットの径をΦ、ターゲッ
トの凹面の半径をRtとした場合、H/W=2.483
〜5.033、Φ/W=1.817〜3.7、Rt/W
=0.667〜1.33となっているから、測定範囲が
広くかつ計測精度の良好な流体振動形流量計が得られ
る。したがって、上記各パラメータの数値を有するター
ゲットを用いることによって、測定範囲の異なるものを
容易に開発するすることができる。When the width of the nozzle flow path is W, the height of the target from the reference plane is H, the diameter of the target is Φ, and the radius of the concave surface of the target is Rt, H / W = 2.483.
55.033, Φ / W = 1.817-3.7, Rt / W
= 0.667 to 1.33, it is possible to obtain a fluid vibration type flowmeter having a wide measurement range and good measurement accuracy. Therefore, by using a target having the numerical value of each of the above parameters, a target having a different measurement range can be easily developed.
【0052】また、請求項2に係る発明においては、請
求項1に係る発明と同様に、ターゲットの形状が単純に
なると共に、ノズル流路の幅をW、基準面からのターゲ
ットの高さをH、ターゲットの径をΦ、ターゲットの凹
面の半径をRt、ターゲットの凹面の深さをhとした場
合、H/W=1.65〜5.033、Φ/W=1.81
7〜3.7、Rt/W=0.667〜1.33、h/W
=0.3167〜0.7となっているから、測定範囲が
広くかつ計測精度の良好な流体振動形流量計が得られ
る。したがって、上記各パラメータの数値を有するター
ゲットを用いることによって、測定範囲の異なる流体振
動形流量計を容易に開発することができる。According to the second aspect of the invention, similarly to the first aspect of the invention, the shape of the target is simplified, the width of the nozzle flow path is set to W, and the height of the target from the reference surface is set to W. H, when the diameter of the target is Φ, the radius of the concave surface of the target is Rt, and the depth of the concave surface of the target is h, H / W = 1.65 to 5.033, and Φ / W = 1.81.
7 to 3.7, Rt / W = 0.667 to 1.33, h / W
= 0.3167 to 0.7, it is possible to obtain a fluid vibration type flowmeter having a wide measurement range and good measurement accuracy. Therefore, by using the targets having the numerical values of the respective parameters, it is possible to easily develop a fluid vibration type flow meter having a different measurement range.
【0053】さらに、ターゲットの高さHの設定範囲が
広いから、この高さHに対応する二次元流路としてのノ
ズル流路の高さの設定範囲も広くなる。したがって、測
定範囲の異なる流体振動形流量計を容易に開発すること
ができる。Further, since the setting range of the height H of the target is wide, the setting range of the height of the nozzle flow path as a two-dimensional flow path corresponding to this height H is also widened. Therefore, it is possible to easily develop a fluid vibration type flow meter having a different measurement range.
【図1】この発明の第1及び第2実施例として示した流
体振動形流量計のターゲットを示す平面図。FIG. 1 is a plan view showing a target of a fluid vibration type flow meter shown as a first and a second embodiment of the present invention.
【図2】同流体振動形流量計のターゲットを示す図であ
って、図1のII−II線に沿う断面図。FIG. 2 is a view showing a target of the fluid vibration type flow meter, and is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1;
【図3】従来例として示した流体振動形流量計の平面
図。FIG. 3 is a plan view of a fluid vibration type flow meter shown as a conventional example.
2 ノズル部材 3 ターゲット 3a 凹面 10 基準面 200 上流側流路 210 ノズル流路 220 下流側流路 C 中心線 C2 中心 FM 流体振動形流量計 2 Nozzle member 3 Target 3a Concave surface 10 Reference surface 200 Upstream flow path 210 Nozzle flow path 220 Downstream flow path C Center line C2 Center FM Fluid vibration type flow meter
Claims (2)
つ中心線を介して左右対称に形成された二次元流路とし
ての上流側流路、ノズル流路及び下流側流路を有し、前
記ノズル流路から下流側流路に噴出する流体の流体振動
に基づいて流量を検出するように構成された流体振動形
流量計であって、 前記下流側流路における前記中心線の位置にターゲット
を設けてなり、 このターゲットは、円柱状に形成されたものであって、
その円柱の中心に達する断面円弧状の凹面が側面に形成
されており、この凹面を前記ノズル流路側に向けると共
に、同凹面の中心を前記中心線に一致させるようにし
て、前記基準面から垂直に立てられており、 前記ノズル流路の幅をW、前記基準面からのターゲット
の高さをH、ターゲットの径をΦ、ターゲットの凹面の
半径をRtとした場合、 H/W=2.483〜5.033 Φ/W=1.817〜3.7 Rt/W=0.667〜1.33 の関係を有することを特徴とする流体振動形流量計。An upstream flow path, a nozzle flow path, and a downstream flow path as two-dimensional flow paths formed at a constant height from a reference plane and symmetrically about a center line are provided. A fluid vibration type flowmeter configured to detect a flow rate based on fluid vibration of a fluid ejected from the nozzle flow path to the downstream flow path, wherein the position of the center line in the downstream flow path The target is provided in the shape of a column,
A concave surface having an arcuate cross section reaching the center of the cylinder is formed on the side surface, and this concave surface is directed toward the nozzle flow path side, and the center of the concave surface coincides with the center line, and is perpendicular to the reference surface. When the width of the nozzle flow path is W, the height of the target from the reference surface is H, the diameter of the target is Φ, and the radius of the concave surface of the target is Rt, H / W = 2. 483-5.033 Φ / W = 1.817-3.7 Rt / W = 0.667-1.33 A fluid vibration type flowmeter characterized by the following relationship.
つ中心線を介して左右対称に形成された二次元流路とし
ての上流側流路、ノズル流路及び下流側流路を有し、前
記ノズル流路から下流側流路に噴出する流体の流体振動
に基づいて流量を検出するように構成された流体振動形
流量計であって、 前記下流側流路における前記中心線の位置にターゲット
を設けてなり、 このターゲットは、円柱状に形成されたものであって、
その円柱の中心に達する断面円弧状の凹面が側面に形成
されており、この凹面を前記ノズル流路側に向けると共
に、同凹面の中心を前記中心線に一致させるようにし
て、前記基準面から垂直に立てられており、 前記ノズル流路の幅をW、前記基準面からのターゲット
の高さをH、ターゲットの径をΦ、ターゲットの凹面の
半径をRt、ターゲットの凹面の深さをhとした場合、 H/W=1.65〜5.033 Φ/W=1.817〜3.7 Rt/W=0.667〜1.33 h/W=0.3167〜0.7 の関係を有することを特徴とする流体振動形流量計。2. An upstream flow path, a nozzle flow path, and a downstream flow path as two-dimensional flow paths which are formed at a constant height from a reference plane and are formed symmetrically with respect to a center line. A fluid vibration type flowmeter configured to detect a flow rate based on fluid vibration of a fluid ejected from the nozzle flow path to the downstream flow path, wherein the position of the center line in the downstream flow path The target is provided in the shape of a column,
A concave surface having an arcuate cross section reaching the center of the cylinder is formed on the side surface, and this concave surface is directed toward the nozzle flow path side, and the center of the concave surface coincides with the center line, and is perpendicular to the reference surface. The width of the nozzle flow path is W, the height of the target from the reference surface is H, the diameter of the target is Φ, the radius of the concave surface of the target is Rt, and the depth of the concave surface of the target is h. H / W = 1.65-5.033 Φ / W = 1.817-3.7 Rt / W = 0.667-1.33 h / W = 0.3167-0.7 A fluid vibration type flow meter, comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33234596A JPH10170314A (en) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | Fluid vibration-type flowmeter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33234596A JPH10170314A (en) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | Fluid vibration-type flowmeter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10170314A true JPH10170314A (en) | 1998-06-26 |
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ID=18253930
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---|---|---|---|
JP33234596A Pending JPH10170314A (en) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | Fluid vibration-type flowmeter |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JPH10170314A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102022117253A1 (en) | 2022-07-11 | 2024-01-11 | Esters-Elektronik GmbH | Measuring device, arrangement, use, fluid supply unit |
-
1996
- 1996-12-12 JP JP33234596A patent/JPH10170314A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102022117253A1 (en) | 2022-07-11 | 2024-01-11 | Esters-Elektronik GmbH | Measuring device, arrangement, use, fluid supply unit |
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