JPH10163703A - Multilayer dielectric circuit - Google Patents

Multilayer dielectric circuit

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JPH10163703A
JPH10163703A JP8338940A JP33894096A JPH10163703A JP H10163703 A JPH10163703 A JP H10163703A JP 8338940 A JP8338940 A JP 8338940A JP 33894096 A JP33894096 A JP 33894096A JP H10163703 A JPH10163703 A JP H10163703A
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circuit
layer
dielectric
phase shift
line
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JP8338940A
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Satoshi Kainuma
沼 聡 開
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the integration and miniaturization of microwave circuit for a switched line type phase shifter or the like. SOLUTION: This multilayered microwave circuit is composed of a 1st layer 1 mounting electric circuit parts on a microstrip line formed on a dielectric, 3rd layer 3 having a bias circuit on the stripline circuit formed in the dielectric between 2nd and 4th layers being ground electrode, and 5th layer 5 having a reference phase circuit and a phase shift line circuit on the strip line circuit formed in the dielectric between 4th and 6th layers being ground electrode. Thus, the microwave circuit is integrated and this circuit can be miniaturized.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、多層誘電体回路に
関し、多層構造を有する高周波用多層誘電体回路に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer dielectric circuit, and more particularly to a high-frequency multilayer dielectric circuit having a multilayer structure.

【従来の技術】[Prior art]

【0002】誘電体を用いて電気回路を多層構造とした
ハイブリッド集積回路の場合、電気配線のみを多層化し
ているため集積、小型化面で限界があった。この限界を
解決し、より一層の高密度化を可能とするとともに電磁
界結合による高周波数特性の劣化を回避する構造が特開
平6ー291521号公報に開示されている。同公報に
開示されている多層誘電体回路が図7に示されている。
[0002] In the case of a hybrid integrated circuit in which an electric circuit has a multi-layer structure using a dielectric, only electric wiring is multi-layered, so that there is a limit in terms of integration and miniaturization. Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 6-291521 discloses a structure that solves this limitation, enables higher density, and avoids deterioration of high frequency characteristics due to electromagnetic field coupling. FIG. 7 shows a multilayer dielectric circuit disclosed in the publication.

【0003】図7に示す高周波多層集積回路構造の略断
面図であり、回路の小型化と電磁界結合による高周波特
性の劣化を回避できる高周波多層集積回路を提供するこ
とを目的とし、接地電極23及び24を有する誘電体2
2にはストリップライン回路部21が埋め込まれ、接地
電極23上の誘電体25上には電気回路部27が形成さ
れ、接地電極23を貫通する高周波減衰特性を有するビ
アホール26によりストリップライン回路部21及び電
気回路部27を電気的に接続している。また、表面の電
気回路部27には、個別電子部品28が実装され、スト
リップライン回路部21の露出部にトランジスタ29が
実装されている。
FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of the high-frequency multilayer integrated circuit structure shown in FIG. 7 with the object of providing a high-frequency multilayer integrated circuit capable of miniaturizing the circuit and avoiding deterioration of high-frequency characteristics due to electromagnetic field coupling. Dielectric 2 having
2, a strip line circuit portion 21 is buried, an electric circuit portion 27 is formed on the dielectric 25 on the ground electrode 23, and the strip line circuit portion 21 is And the electric circuit section 27 are electrically connected. Further, individual electronic components 28 are mounted on the electric circuit portion 27 on the front surface, and transistors 29 are mounted on exposed portions of the strip line circuit portion 21.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述の構成は、回路規
模が小さく、回路面積も小さい場合には有効であるが、
回路規模が大きくなり回路面積が大きくなると小型化の
点で限界が生じる。
The above arrangement is effective when the circuit scale is small and the circuit area is small.
As the circuit scale increases and the circuit area increases, there is a limit in terms of miniaturization.

【0005】例えば、スイッチドライン型の移相器など
を構成する場合、ビット数に応じて多数のバイアス回路
及び移相量を取り出すための大きい面積の移相回路が必
要となり、スイッチドライン型の移相器等を構成する場
合、小型化の実現に限界が生じる。また、比較的低い周
波数(例えばL帯付近)の回路を構成する場合には、小
型化の実現が困難となる。例えば、周波数を1GHZと
すると、誘電率を10と仮定しても、1/4波長で24
mm程度の長さが必要となるからである。
For example, when a switched line type phase shifter is constructed, a large number of bias circuits and a large area phase shift circuit for extracting the amount of phase shift are required according to the number of bits. When configuring a phaser or the like, there is a limit in realizing miniaturization. In addition, when a circuit having a relatively low frequency (for example, near the L band) is configured, it is difficult to reduce the size. For example, assuming that the frequency is 1 GHZ, even if the dielectric constant is assumed to be 10, it is 24 at a quarter wavelength.
This is because a length of about mm is required.

【0006】本発明の目的は、比較的低いマイクロ波周
波数において小型化をに有利な多層誘電体回路を提供す
ることにある。
An object of the present invention is to provide a multilayer dielectric circuit which is advantageous for miniaturization at a relatively low microwave frequency.

【0007】本発明の具体的な目的は、比較的低いマイ
クロ波周波数においてスイッチドライン型移相器などの
回路面積が大きくなるマイクロ波回路を高集積化し、マ
イクロ波回路の小型化を実現する多層誘電体回路を提供
することにある。
A specific object of the present invention is to provide a highly integrated microwave circuit having a large circuit area, such as a switched line type phase shifter, at a relatively low microwave frequency, and to realize a multilayered circuit for realizing miniaturization of the microwave circuit. It is to provide a dielectric circuit.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め、本発明による多層誘電体回路は、多層構造の誘電体
を有し、少なくとも各誘電体層間には接地電極が形成さ
れ、第1の誘電体層上にストリップライン形成された回
路パターンとともに電気回路部品が搭載され、第2の誘
電体層内にバイアス信号が供給されるバイアス回路がス
トリップライン形成され、他の少なくとも1つの誘電体
層内に前記バイアス信号により移相量が制御される移相
回路がストリップライン形成され、前記回路パターン、
バイアス回路、移相回路の所定部間が前記誘電体の厚み
方向に形成されたスルーホールにより接続されて構成さ
れる。
In order to solve the above-mentioned problems, a multilayer dielectric circuit according to the present invention has a dielectric having a multilayer structure, and a ground electrode is formed at least between each dielectric layer. An electric circuit component is mounted together with a circuit pattern formed on the dielectric layer of the strip line, a bias circuit for supplying a bias signal in the second dielectric layer is formed on the strip line, and at least one other dielectric is formed. A phase shift circuit in which a phase shift amount is controlled by the bias signal in a layer is formed as a strip line, and the circuit pattern,
Predetermined portions of the bias circuit and the phase shift circuit are connected by through holes formed in the thickness direction of the dielectric.

【0009】ここで、前記バイアス回路と前記回路パタ
ーン、及び前記移相回路と前記回路パターンとがスルー
ホールを介して接続される。
Here, the bias circuit and the circuit pattern, and the phase shift circuit and the circuit pattern are connected via a through hole.

【0010】本発明の他の態様による多層誘電体回路
は、誘電体上に形成されたマイクロストリップライン回
路上に電気回路部品を実装した第1層と、接地電極であ
る第2層及び第4層間の誘電体内に形成されたストリッ
プライン回路上にバイアス回路を有する第3層と、接地
電極である第4層及び第6層間の誘電体内に形成された
ストリップライン回路上に基準位相回路及び位相ライン
回路を有する第5層とから構成されている。
A multilayer dielectric circuit according to another aspect of the present invention comprises a first layer in which electric circuit components are mounted on a microstrip line circuit formed on a dielectric, and a second layer and a fourth layer which are ground electrodes. A third layer having a bias circuit on a strip line circuit formed in the dielectric between the layers, and a reference phase circuit and a phase on the strip line circuit formed in the dielectric between the fourth and sixth layers as ground electrodes. And a fifth layer having a line circuit.

【0011】更に、接地電極である第6層及び第8層間
の誘電体内に形成されたストリップライン回路上に基準
位相回路及び移相ライン回路を有する第7層を備える。
また、ストリップライン回路上に形成された基準位相回
路及び移相ライン回路が、同一ビットを同一層内に有す
る。
Further, a seventh layer having a reference phase circuit and a phase shift line circuit is provided on a strip line circuit formed in a dielectric between a sixth layer and an eighth layer which are ground electrodes.
Further, the reference phase circuit and the phase shift line circuit formed on the strip line circuit have the same bit in the same layer.

【0012】上記のような構成とすることにより、スイ
ッチドライン型移相器などにおける大きい面積を要する
バイアス回路及び移相回路を高集積化することができ、
マイクロ波回路の小型化を実現できる。
With the above configuration, a bias circuit and a phase shift circuit requiring a large area in a switched line type phase shifter or the like can be highly integrated.
The size of the microwave circuit can be reduced.

【0013】また、基準位相回路と移相ライン回路が、
同一ビットを同一層に構成する手段により、得られる振
幅誤差がライン長差の損失分となり、振幅誤差の低減を
実現できる効果もある。
Further, the reference phase circuit and the phase shift line circuit
By means of configuring the same bit in the same layer, the obtained amplitude error becomes the loss of the line length difference, and there is an effect that the amplitude error can be reduced.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明によ
る多層誘電体回路の一実施形態を示す断面図である。図
1を参照すると、本実施形態は、誘電体10、11、1
2が3層積層され、誘電体10の上面には電気部品9が
実装された第1層としての電気部品実装回路1が形成さ
れ、誘電体10と11間には第2層としての接地電極2
が、誘電体11内には第3層としてのバイアス回路3
が、誘電体11と12間には第4層としての接地電極4
が、誘電体12内には第5層としての移相回路5が、誘
電体12の下面には接地電極6が形成されている。ま
た、電気部品実装回路1と移相回路5間は誘電体10、
12を貫通するスルーホール7で接続され、接地電極2
と6間はスルーホール8で接続されている。
Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of a multilayer dielectric circuit according to the present invention. Referring to FIG. 1, the present embodiment includes dielectrics 10, 11, 1
2 are laminated, an electric component mounting circuit 1 as a first layer on which an electric component 9 is mounted is formed on an upper surface of a dielectric 10, and a ground electrode as a second layer is provided between the dielectrics 10 and 11. 2
However, the bias circuit 3 as a third layer is provided in the dielectric 11.
However, a ground electrode 4 as a fourth layer is provided between the dielectrics 11 and 12.
However, a phase shift circuit 5 as a fifth layer is formed in the dielectric 12, and a ground electrode 6 is formed on the lower surface of the dielectric 12. A dielectric 10 is provided between the electric component mounting circuit 1 and the phase shift circuit 5,
12 are connected through a through hole 7 passing through the ground electrode 2.
And 6 are connected by a through hole 8.

【0015】図2は、図1における第1層の電気部品実
装回路1、第3層のバイアス回路3及び第5層の移相回
路5の平面図である。
FIG. 2 is a plan view of the electric component mounting circuit 1 of the first layer, the bias circuit 3 of the third layer, and the phase shift circuit 5 of the fifth layer in FIG.

【0016】図2において、第1層の電気部品実装回路
1は、ストリップライン形成され、入力端子91、出力
端子92、制御信号端子93が同様にストリップライン
形成され、電気部品9が載置、接続されている。また、
第3層のバイアス回路3は、ストリップライン形成さ
れ、高インピーダンスの1/4波長ライン31及び低イ
ンピーダンスの先端開放1/4波長ライン32がストリ
ップライン形成される。更に、他の層と接続するスルー
ホール7、接地電極と接続するスルーホール8を有す
る。第5層の移相回路5もストリップライン形成され、
基準位相ライン51及び所望の移相量を作るための移相
ライン52,53から構成され、他の層とスルーホール
7を介して接続される。
In FIG. 2, the electric component mounting circuit 1 of the first layer is formed by strip lines, input terminals 91, output terminals 92, and control signal terminals 93 are similarly formed by strip lines, and the electric components 9 are mounted. It is connected. Also,
The bias circuit 3 in the third layer is formed as a strip line, and a high-impedance quarter-wave line 31 and a low-impedance open-ended quarter-wave line 32 are formed as strip lines. Further, there is a through hole 7 connected to another layer and a through hole 8 connected to a ground electrode. The fifth layer phase shift circuit 5 is also formed as a strip line,
It is composed of a reference phase line 51 and phase shift lines 52 and 53 for producing a desired amount of phase shift, and is connected to another layer via a through hole 7.

【0017】上述構成の実施形態の回路例について図3
を参照して説明する。図3は、電気部品として図示のよ
うなダイオードを使用した移相器であり、入力端子91
から入力されたマイクロ波信号は、制御信号端子93か
ら供給されたバイアス信号により電気部品であるダイオ
ード9をON/OFF制御して、基準位相ライン51と
移相ライン52のどちらかを通過させる。このとき、移
相ライン52は、基準位相ライン51よりも所望の移相
量だけ遅れるようなライン長を設定する。同様に、基準
位相ライン51よりも異なる所望の移相量だけ遅れるよ
うに移相ライン53を設定することにより、2ビットの
移相器の動作が可能となり、出力端子92から所望の移
相量のマイクロ波信号を出力できる。
FIG. 3 shows a circuit example of the embodiment having the above-described configuration.
This will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows a phase shifter using a diode as illustrated as an electric component, and an input terminal 91.
The microwave signal input from the controller 9 controls ON / OFF of the diode 9 as an electric component by the bias signal supplied from the control signal terminal 93, and passes either the reference phase line 51 or the phase shift line 52. At this time, the line length of the phase shift line 52 is set so as to be delayed from the reference phase line 51 by a desired phase shift amount. Similarly, by setting the phase shift line 53 so as to be delayed by a desired phase shift amount different from the reference phase line 51, the operation of the 2-bit phase shifter becomes possible, and the desired phase shift amount is output from the output terminal 92. Microwave signal can be output.

【0018】図3において、マイクロ波信号の通過ライ
ンに接続される1/4波長ライン31と32は、マイク
ロ波信号に対しては回路上ショートとなる動作をし、バ
イアス信号に対してはDCリターン又は制御信号供給の
動作をする。
In FIG. 3, quarter-wavelength lines 31 and 32 connected to a microwave signal passing line operate to be short-circuited with respect to a microwave signal, and have a DC voltage with respect to a bias signal. The operation of returning or supplying a control signal is performed.

【0019】本発明の実施形態の動作について更に説明
する。図3において、22.5°と45°の2ビット移
相器を仮定すると、入力端子91から入力されたマイク
ロ波信号は、制御信号端子93から供給されたバイアス
信号によりダイオード9をON/OFF制御し、基準位
相ステートの場合には、基準位相ライン51側のダイオ
ードをONとし、移相ライン52,53側のダイオード
をOFFとし、入力信号は2つの基準位相ラインを通過
して出力端子92から出力される。
The operation of the embodiment of the present invention will be further described. In FIG. 3, assuming a 2-bit phase shifter of 22.5 ° and 45 °, the microwave signal input from the input terminal 91 turns on / off the diode 9 by the bias signal supplied from the control signal terminal 93. In the reference phase state, the diode on the side of the reference phase line 51 is turned on, the diodes on the side of the phase shift lines 52 and 53 are turned off, and the input signal passes through the two reference phase lines and passes through the output terminal 92. Output from

【0020】22.5°の移相制御をする場合には、入
力端子91から入力されたマイクロ波信号は、1ビット
目の基準位相ライン51側のダイオードをOFF、移相
ライン52側のダイオードをON、2ビット目の基準位
相ライン51側のダイオードをON、移相ライン53側
のダイオードをOFFとすることにより、出力端子92
から基準位相ステートから22.5°の移相遅れで出力
される。
In the case of performing the 22.5 ° phase shift control, the microwave signal input from the input terminal 91 turns off the diode on the reference phase line 51 side of the first bit, and turns off the diode on the phase shift line 52 side. Is turned on, the diode on the side of the reference phase line 51 of the second bit is turned on, and the diode on the side of the phase shift line 53 is turned off.
From the reference phase state with a phase shift of 22.5 °.

【0021】同様に、45°の移相制御をする場合、1
ビット目の基準位相ライン51側のダイオードをON、
移相ライン52側のダイオードをOFF、2ビット目の
基準位相ライン51側のダイオードをOFF、移相ライ
ン53側のダイオードをONとすることにより、入力端
子91から入力されたマイクロ波信号は45°の位相遅
れで出力される。
Similarly, when performing 45 ° phase shift control, 1
Turn on the diode on the reference phase line 51 side of the bit,
By turning off the diode on the side of the phase shift line 52 and turning off the diode on the side of the reference phase line 51 for the second bit and turning on the diode on the side of the phase shift line 53, the microwave signal input from the input terminal 91 becomes 45 Output with a phase delay of °.

【0022】また、22.5°+45°の移相制御をす
る場合には、1,2ビット目の基準位相ライン51側の
ダイオードをOFF、移相ライン52,53側のダイオ
ードをONとすることにより、入力端子91から入力さ
れたマイクロ波信号は、67.5°の移相遅れで出力端
子92から出力される。
When performing the phase shift control of 22.5 ° + 45 °, the diodes on the side of the reference phase line 51 of the first and second bits are turned off, and the diodes on the side of the phase shift lines 52 and 53 are turned on. Thus, the microwave signal input from the input terminal 91 is output from the output terminal 92 with a phase shift of 67.5 °.

【0023】図1を参照してより具体的に本実施形態を
説明すると、第1層の電気部品実装回路1は、例えば、
誘電体の誘電率を7.1、誘電体の厚さを0.4mmと
すると、50Ωインピーダンスのマイクロストリップラ
イン幅は0.51mmで形成される。また、電気部品9
は、例えば、リード付きのピンダイオードやピンダイオ
ードチップである。第3層のバイアス回路3は、高イン
ピーダンスの1/4波長ライン31や低インピーダンス
先端開放1/4波長ライン32がストリップライン形成
される。例えば、誘電体の誘電率を7.1、誘電体の厚
さを0.8mmとすると、74Ω程度の高インピーダン
スライン幅は約50μmであり、30Ω程度の低インピ
ーダンスライン幅は約0.5mmとなる。また、1/4
波長は、周波数を1GHZと仮定すると、約28mmで
ある。第5層の移相回路5は、50Ωインピーダンスの
基準位相ライン51と移相ライン52,53のストリッ
プラインで構成される。誘電体の誘電率を7.1、誘電
体の厚さを0.8mmと仮定すると、ライン幅は約0.
19mmである。また、移相量を22.5°及び45°
とすると、移相ライン長は、使用周波数1GHZとして
22.5°で約7mm,45°で約14mm以上の長さ
が必要である。移相量は、基準位相ライン51の長さ
と、移相ライン52,53の長さとの差であるから、具
体的には基準移相ラインが5mmであれば、22.5°
の移相ライン長は約12mm,45°の位相ライン長は
約19mmとなる。このように、本実施形態によれば、
小型化の面で有利であることは明らかである。
Referring to FIG. 1, the present embodiment will be described more specifically.
Assuming that the dielectric constant of the dielectric is 7.1 and the thickness of the dielectric is 0.4 mm, the width of the microstrip line having the impedance of 50Ω is 0.51 mm. In addition, electric parts 9
Is, for example, a pin diode with a lead or a pin diode chip. In the bias circuit 3 of the third layer, a high-impedance quarter-wave line 31 and a low-impedance open-end quarter-wave line 32 are formed as strip lines. For example, if the permittivity of the dielectric is 7.1 and the thickness of the dielectric is 0.8 mm, the high impedance line width of about 74Ω is about 50 μm, and the low impedance line width of about 30Ω is about 0.5 mm. Become. Also, 1/4
The wavelength is about 28 mm, assuming a frequency of 1 GHZ. The phase shift circuit 5 of the fifth layer includes a reference phase line 51 having 50Ω impedance and strip lines of phase shift lines 52 and 53. Assuming that the dielectric constant of the dielectric is 7.1 and the thickness of the dielectric is 0.8 mm, the line width is about 0.5 mm.
19 mm. Further, the phase shift amount is 22.5 ° and 45 °.
Then, the phase shift line length needs to be about 7 mm at 22.5 ° and about 14 mm or more at 45 ° as the operating frequency 1 GHZ. The amount of phase shift is the difference between the length of the reference phase line 51 and the length of the phase shift lines 52 and 53. Specifically, if the reference phase shift line is 5 mm, 22.5 °
Is about 12 mm, and the phase line length at 45 ° is about 19 mm. Thus, according to the present embodiment,
Obviously, it is advantageous in terms of miniaturization.

【0024】次に、本発明の第2の実施の形態について
図面を参照して説明する。図4は本発明の第2の実施形
態を示す平面図で、第1の実施形態に1ビット分の回路
を追加した構成となっている。第1層の電気部品実装回
路1は、マイクロストリップライン形成され、電気部品
9及びスルーホール7、制御信号端子13が1ビット分
追加されている。第3層のバイアス回路3もストリップ
ライン形成され、高インピーダンスの1/4波長ライン
31及び低インピーダンスの先端開放1/4波長ライン
32、他の層と接続するスルーホール7、接地電極と接
続するスルーホール8が1ビット分追加されている。さ
らに、ストリップライン形成された第5層の移相回路5
は、基準位相ライン51及び所望の移相量を得るための
移相ライン54、他の層と接続するスルーホール7が1
ビット分追加された構成である。かかる構成により、3
ビットのスイッチドライン型移相回路が実現できる。さ
らに、同様に回路構成を追加することにより、Nビット
のスイッチドライン型移相回路を実現できる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 4 is a plan view showing a second embodiment of the present invention, which has a configuration in which a 1-bit circuit is added to the first embodiment. The electrical component mounting circuit 1 of the first layer is formed as a microstrip line, and an electrical component 9, a through hole 7, and a control signal terminal 13 are added for one bit. The bias circuit 3 of the third layer is also formed as a strip line, and is connected to the high impedance quarter-wave line 31 and the low impedance open end quarter-wave line 32, the through hole 7 connected to another layer, and the ground electrode. A through hole 8 is added for one bit. Further, a fifth-layer phase shift circuit 5 formed with strip lines
The reference phase line 51, the phase shift line 54 for obtaining a desired phase shift amount, and the through hole 7 connected to another layer
This is a configuration in which bits are added. With this configuration, 3
A bit switched line type phase shift circuit can be realized. Furthermore, an N-bit switched line type phase shift circuit can be realized by adding a circuit configuration in the same manner.

【0025】図5と図6は、本発明の第1の実施の形態
の変形例を示す断面図と平面図である。図5に示す実施
形態は、本発明の第1の実施の形態に、第6層として接
地電極6と、接地電極23として示す第8層との間の誘
電体21内に形成されるストリップライン移相回路22
としての第7層が追加された構成となっている。
FIGS. 5 and 6 are a sectional view and a plan view, respectively, showing a modification of the first embodiment of the present invention. The embodiment shown in FIG. 5 is different from the first embodiment of the present invention in that a strip line formed in a dielectric 21 between a ground electrode 6 as a sixth layer and an eighth layer shown as a ground electrode 23. Phase shift circuit 22
As a seventh layer.

【0026】また、図6に示す実施形態は、第5層の移
相回路5と第7層の移相回路22のパターン図を示して
おり、第7層の位相ライン54のように所望の移相量が
大きい場合、長い位相ラインを形成する必要があり、第
5層及び第7層の移相回路5,22により小型化が実現
可能となる。さらに、同様にして層構造を追加すること
も可能である。
The embodiment shown in FIG. 6 shows a pattern diagram of the phase shift circuit 5 of the fifth layer and the phase shift circuit 22 of the seventh layer. When the phase shift amount is large, it is necessary to form a long phase line, and the phase shift circuits 5 and 22 of the fifth layer and the seventh layer can realize miniaturization. Furthermore, a layer structure can be added in the same manner.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の多層誘電
体回路は、多層基板の構成を、バイアス回路の層と移相
回路の層と電気部品実装回路の層として形成することに
より集積化が可能となり、スイッチドライン型の移相器
などを構成する場合に、多数のバイアス回路及び移相量
を取り出すための大きい面積の移相回路を集積化でき、
マイクロ波回路の小型ができる。また、移相ラインの長
い回路を複数の層へ多層化できるので、比較的低い周波
数で回路を構成する場合に、移相ラインの長い回路を多
層化して他の層に構成することにより回路の集積化が可
能となる。
As described above, the multilayer dielectric circuit of the present invention is integrated by forming the structure of the multilayer substrate as a layer of the bias circuit, a layer of the phase shift circuit, and a layer of the electric component mounting circuit. When a switched line type phase shifter or the like is configured, a large number of bias circuits and a large area phase shift circuit for extracting a phase shift amount can be integrated,
Microwave circuit can be downsized. In addition, since a circuit having a long phase shift line can be multilayered into a plurality of layers, when a circuit is configured at a relatively low frequency, a circuit having a long phase shift line is multilayered and configured on another layer. Integration becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の多層誘電体回路の一実施形態を示す略
断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing one embodiment of a multilayer dielectric circuit of the present invention.

【図2】図1に示す実施形態を示す層パターン図であ
る。
FIG. 2 is a layer pattern diagram showing the embodiment shown in FIG.

【図3】図1に示す多層誘電体回路を示す回路図であ
る。
FIG. 3 is a circuit diagram showing the multilayer dielectric circuit shown in FIG. 1;

【図4】本発明の他の実施の形態を示す層パターン図で
ある。
FIG. 4 is a layer pattern diagram showing another embodiment of the present invention.

【図5】本発明の更に他の実施の形態を示す略断面図で
ある。
FIG. 5 is a schematic sectional view showing still another embodiment of the present invention.

【図6】図5に示す実施形態の第5層と第7層パターン
図である。
FIG. 6 is a pattern diagram of a fifth layer and a seventh layer of the embodiment shown in FIG.

【図7】従来の高周波多層集積回路の構造を示す略断面
図である。
FIG. 7 is a schematic sectional view showing the structure of a conventional high-frequency multilayer integrated circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 電気部品実装回路 2,4,6,23 接地電極 3 バイアス回路 5,22 移相回路 7,8 スルーホール 9 電気部品 10 誘電体 11 電気部品実装回路 12 接地電極 31 高インピーダンスの1/4波長ライン 32 低インピーダンスの先端開放1/4波長ライ
ン 51 基準位相ライン 52,53,54 移相ライン 91 入力端子 92 出力端子 93 制御信号端子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electric component mounting circuit 2, 4, 6, 23 Ground electrode 3 Bias circuit 5, 22 Phase shift circuit 7, 8 Through hole 9 Electric component 10 Dielectric 11 Electric component mounting circuit 12 Ground electrode 31 1/4 wavelength of high impedance Line 32 Low impedance open end 1/4 wavelength line 51 Reference phase line 52, 53, 54 Phase shift line 91 Input terminal 92 Output terminal 93 Control signal terminal

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】多層構造の誘電体を有し、少なくとも各誘
電体層間には接地電極が形成され、第1の誘電体層上に
ストリップライン形成された回路パターンとともに電気
回路部品が搭載され、第2の誘電体層内にバイアス信号
が供給されるバイアス回路がストリップライン形成さ
れ、他の少なくとも1つの誘電体層内に前記バイアス信
号により移相量が制御される移相回路がストリップライ
ン形成され、前記回路パターン、バイアス回路、移相回
路の所定部間が前記誘電体の厚み方向に形成されたスル
ーホールにより接続されて成ることを特徴とする多層誘
電体回路。
An electric circuit component is mounted on a first dielectric layer together with a circuit pattern formed by a strip line, wherein a ground electrode is formed at least between each dielectric layer. A bias circuit for supplying a bias signal is formed in the second dielectric layer as a strip line, and a phase shift circuit whose phase shift amount is controlled by the bias signal in another at least one dielectric layer is formed as a strip line. A multilayer dielectric circuit, wherein predetermined portions of the circuit pattern, the bias circuit, and the phase shift circuit are connected by through holes formed in the thickness direction of the dielectric.
【請求項2】前記バイアス回路と前記回路パターン、及
び前記移相回路と前記回路パターンとがスルーホールを
介して接続される請求項1に記載の多層誘電体回路。
2. The multilayer dielectric circuit according to claim 1, wherein said bias circuit and said circuit pattern, and said phase shift circuit and said circuit pattern are connected via through holes.
【請求項3】誘電体上に形成されたマイクロストリップ
ライン回路上に電気回路部品を実装した第1層と、接地
電極である第2層及び第4層間の誘電体内に形成された
ストリップライン回路上にバイアス回路を有する第3層
と、接地電極である第4層及び第6層間の誘電体内に形
成されたストリップライン回路上に基準位相回路及び位
相ライン回路を有する第5層とから構成されることを特
徴とする多層誘電体回路。
3. A strip line circuit formed in a dielectric between a first layer in which electric circuit components are mounted on a microstrip line circuit formed on a dielectric and a second layer and a fourth layer which are ground electrodes. A third layer having a bias circuit thereon and a fifth layer having a reference phase circuit and a phase line circuit on a strip line circuit formed in a dielectric between the fourth and sixth layers serving as ground electrodes. A multilayer dielectric circuit characterized by:
【請求項4】接地電極である第6層及び第8層間の誘電
体内に形成されたストリップライン回路上に基準位相回
路及び移相ライン回路を有する第7層を備えて成ること
を特徴とする請求項3に記載の多層誘電体回路。
4. The semiconductor device according to claim 1, further comprising a seventh layer having a reference phase circuit and a phase shift line circuit on a strip line circuit formed in a dielectric between a sixth layer and an eighth layer which are ground electrodes. The multilayer dielectric circuit according to claim 3.
【請求項5】ストリップライン回路上に形成された基準
位相回路及び移相ライン回路が、同一ビットを同一層内
に有することを特徴とする請求項3に記載の多層誘電体
回路。
5. The multilayer dielectric circuit according to claim 3, wherein the reference phase circuit and the phase shift line circuit formed on the strip line circuit have the same bit in the same layer.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011044774A (en) * 2009-08-19 2011-03-03 Japan Aerospace Exploration Agency Analog/digital laminated variable phase shifter
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CN110011005B (en) * 2019-05-10 2022-03-29 常州仁千电气科技股份有限公司 Miniaturized power division phase shifter applied to circularly polarized antenna

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