JPH10160980A - Optical transmission and reception module - Google Patents
Optical transmission and reception moduleInfo
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- JPH10160980A JPH10160980A JP31598496A JP31598496A JPH10160980A JP H10160980 A JPH10160980 A JP H10160980A JP 31598496 A JP31598496 A JP 31598496A JP 31598496 A JP31598496 A JP 31598496A JP H10160980 A JPH10160980 A JP H10160980A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は双方向光通信システ
ムを構成する光送受信モジュールにおいて、安定かつ簡
便な光送受信モジュールに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stable and simple optical transmission / reception module constituting a bidirectional optical communication system.
【０００２】[0002]
【従来の技術】最近、双方向の通信システムに対する必
要性が高まり、家庭までこのシステムを導入することが
望まれ、情報量、高速性から光によるシステムの検討が
行われている。光を用いた双方向通信のデバイスとして
光の送信器と受信器が必要になるが、これらを個別に構
成していたのでは光送受信装置が大型化し、システム普
及の妨げになる。さらに送信、受信装置の情報を伝送す
る光ファイバもこれらと個別に構成していたのでは不経
済であり、１本の光ファイバで双方向通信を行うことが
望ましい。従って１本の光ファイバで、かつ光送信器、
受信器を集積化したデバイスが望まれる。また波長の異
なる光を１本の光ファイバに多重し、この光を分波し取
り出すことにより、双方向通信用信号とは別にこの波長
の異なる光に映像信号等の別の機能を持った信号をのせ
ることができる。2. Description of the Related Art Recently, the necessity of a two-way communication system has been increasing, and it has been desired to introduce this system to homes. A system using light has been studied from the viewpoint of information volume and high speed. Optical transmitters and receivers are required as devices for bidirectional communication using light. However, if these devices are individually configured, the size of the optical transmitter / receiver increases, which hinders the spread of the system. Furthermore, it is uneconomical to construct the optical fibers for transmitting the information of the transmitting and receiving devices separately from each other, and it is desirable to perform two-way communication with one optical fiber. Therefore, with one optical fiber and an optical transmitter,
A device with an integrated receiver is desired. Also, by multiplexing light having different wavelengths into one optical fiber, and demultiplexing and extracting the light, a signal having a different function, such as a video signal, is output from the light having different wavelength separately from the signal for bidirectional communication. Can be placed.
【０００３】この様な背景から、小型化、高集積化、低
コスト化を目指す構造として光導波路を用いた光送受信
モジュールの検討が行われている。図９にこの構造を用
いた光送受信モジュールの平面図を示す。図９の光送受
信モジュールでは基板１上に光導波路２が形成され、こ
の光導波路２には光分岐部３が構成されている。一般に
この光分岐部３は低損失かつ構造が単純なＹ分岐を用い
て構成される。また光分岐部３の分岐前の導波路２に光
ファイバ４が光学結合され、分岐後の２本の導波路にそ
れぞれ信号光を送信するための光送信器５及び信号光を
受信するための光受信器６が光学結合されている。From such a background, an optical transceiver module using an optical waveguide has been studied as a structure aiming at miniaturization, high integration, and low cost. FIG. 9 shows a plan view of an optical transceiver module using this structure. In the optical transmitting / receiving module of FIG. 9, an optical waveguide 2 is formed on a substrate 1, and an optical branching section 3 is formed in the optical waveguide 2. Generally, the optical branching unit 3 is configured using a Y-branch having a low loss and a simple structure. An optical fiber 4 is optically coupled to the waveguide 2 before branching of the optical branching unit 3, and an optical transmitter 5 for transmitting signal light to the two waveguides after branching and a signal transmitter for receiving signal light. An optical receiver 6 is optically coupled.
【０００４】図１０は図９の光送受信モジュールに合分
波機能を付加した構造を有する光送受信モジュールの平
面図である。図１０の光送受信モジュールでは図９の構
造にさらに光導波路２を用いて光合分波器８が付加され
ている。この光合分波器８は、一般に方向性結合器や、
マッハツエンダー光干渉計型等の導波路型や、あるいは
導波路中に溝を形成しその中に誘電体多層膜フィルタ等
を挿入する等の方法により構成される。この光合分波器
８により分波された一方の光は光ファイバ９と光学的に
結合し外部に出力され、映像信号モニタ等、様々な用途
に用いられる。FIG. 10 is a plan view of an optical transceiver module having a structure in which a multiplexing / demultiplexing function is added to the optical transceiver module of FIG. In the optical transmission / reception module of FIG. 10, an optical multiplexer / demultiplexer 8 is further added to the structure of FIG. The optical multiplexer / demultiplexer 8 generally includes a directional coupler,
It is constituted by a waveguide type such as a Mach-Zehnder optical interferometer type, or a method of forming a groove in a waveguide and inserting a dielectric multilayer filter or the like into the groove. One of the lights split by the optical multiplexer / demultiplexer 8 is optically coupled to the optical fiber 9 and output to the outside, and is used for various purposes such as a video signal monitor.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記のように、双方向
通信を行なうシステムに用いる光送受信モジュールには
小型化、高集積化、低コスト化を目指す構造として光導
波路を用いたものが有望である。しかしながらこの双方
向光通信システムを普及させるためには光送受信モジュ
ールは各家庭に必要であり、そのためには今以上の量産
化、低コスト化が必須である。現状の光導波路を用いた
光送受信モジュールでは図９、図１０に示したように光
導波路を用いることにより光分岐、光合分波といった機
能を１つの基板上で集積化できるが、光送受信モジュー
ルの組み立てに関しては非常に複雑である。すなわち、
光導波路と光ファイバの光学的結合、光導波路と光送信
器の光学的結合、光導波路と光受信器の光学的結合等は
それぞれ個別に精密な位置合わせを行う必要があるた
め、多大な時間と労力を要するため小型化、高集積化、
低コスト化のネックとなっている。As described above, an optical transmission / reception module used in a system for performing bidirectional communication is expected to use an optical waveguide as a structure aiming at miniaturization, high integration, and low cost. is there. However, in order to spread this two-way optical communication system, an optical transmission / reception module is required in each home. For that purpose, mass production and cost reduction are indispensable. In the current optical transceiver module using an optical waveguide, functions such as optical branching and optical multiplexing / demultiplexing can be integrated on a single substrate by using an optical waveguide as shown in FIGS. 9 and 10. The assembly is very complicated. That is,
The optical coupling between the optical waveguide and the optical fiber, the optical coupling between the optical waveguide and the optical transmitter, and the optical coupling between the optical waveguide and the optical receiver, etc., need to be individually and precisely aligned. And labor, it requires miniaturization, high integration,
This is a bottleneck for cost reduction.
【０００６】従来においてもこれらの個々の光学的結合
を簡便に行なう方式として様々なものが提案、実行さ
れ、例えば、光ファイバと光導波路の光学的結合に関し
ては、本発明者らが光導波路基板上に基板の異方性エッ
チングを利用し精密なファイバガイドを形成し、光ファ
イバをこのガイドにあわせて設置することで無調整で光
学的結合を行なう方法を先に提案している（特開平０７
−０３５９４８号公報）。Conventionally, various methods have been proposed and implemented as a method for easily performing these individual optical couplings. For example, regarding the optical coupling between an optical fiber and an optical waveguide, the present inventors have proposed an optical waveguide substrate. A method has been previously proposed in which a precise fiber guide is formed using anisotropic etching of a substrate, and an optical fiber is installed in accordance with the guide to perform optical coupling without adjustment (Japanese Patent Application Laid-Open No. HEI 9-163572). 07
-0359848).
【０００７】また光送信器と光導波路の光学的結合、及
び光受信器と光導波路の光学的結合に関しては、ＮＴ
Ｔ、山田等の文献（１９９６年電子情報通信学会総合大
会予稿集ＳＣ−２−５）にあるように、光送信器として
モードフィールド径を光導波路のそれに近づけ、結合効
率及び位置精度の許容誤差を高めたスポットサイズ変換
レーザーダイオード（ＳＳＣ−ＬＤ）や、導波路型の光
受信器（ＷＧ−ＰＤ）を用い導波路が形成された基板上
に直接これらのチップを実装することにより光学的結合
を行う方法がある。As for the optical coupling between the optical transmitter and the optical waveguide and the optical coupling between the optical receiver and the optical waveguide, NT
As described in T. Yamada et al.'S document (Proceedings of the 1996 IEICE General Conference SC-2-5), the mode field diameter of the optical transmitter is made closer to that of the optical waveguide, and the coupling error and the positional accuracy tolerance are allowed. Optical coupling by mounting these chips directly on a substrate on which a waveguide is formed by using a spot size conversion laser diode (SSC-LD) or a waveguide type optical receiver (WG-PD) with increased There is a way to do it.
【０００８】以上のような方法を用いることで個々の光
学的結合は簡単になるが、１つのモジュールについて１
つ１つの光学的結合を別々の工程で行なう必要があるた
め、１つのモジュールの組み立てには時間を要する。本
発明の目的は、従来の光送受信モジュールに比べて、組
み立てが簡単な光送受信モジュールを提供することにあ
る。[0008] The use of the above-described method simplifies the optical coupling of individual components.
Since each optical coupling needs to be performed in a separate step, it takes time to assemble one module. An object of the present invention is to provide an optical transceiver module that is easier to assemble than a conventional optical transceiver module.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決する手
段として、本発明の光送受モジュールは、第１の基板上
に光分岐部を形成する光導波路を有する光分岐ユニット
と、第２の基板上に光送信器及び光受信器と前記光送信
器及び光受信器にそれぞれ光学的に結合する光ファイバ
が配置された光送受信ユニットとから構成され、分岐後
の光導波路が前記光ファイバと光学的に結合しているこ
とを特徴とする。As a means for solving the above problems, an optical transmitting / receiving module according to the present invention comprises: an optical branching unit having an optical waveguide forming an optical branching portion on a first substrate; An optical transmitter and an optical receiver on a substrate and an optical transmitting and receiving unit in which an optical fiber optically coupled to each of the optical transmitter and the optical receiver are arranged, and the optical waveguide after branching is the optical fiber. It is characterized by being optically coupled.
【００１０】また第１の基板上に光分岐部及び光合分波
部を形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第２
の基板上に光送信器及び光受信器と前記光送信器及び光
受信器にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置さ
れた光送受信ユニットとから構成され、分岐後の光導波
路が前記光ファイバと光学的に結合し、光合分波部によ
り分波された光導波路が前記第２基板上に配置された第
２の光ファイバと光学的に結合していることを特徴とす
る。An optical branching unit having an optical waveguide for forming an optical branching section and an optical multiplexing / demultiplexing section on a first substrate;
An optical transmitter and an optical receiver, and an optical transmitting and receiving unit in which optical fibers that are optically coupled to the optical transmitter and the optical receiver are arranged. And an optical waveguide demultiplexed by the optical multiplexing / demultiplexing section is optically coupled to a second optical fiber disposed on the second substrate.
【００１１】さらに第１の基板上に光分岐部及び光合分
波部を形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第
２の基板上に光送信器及び第１、第２の光受信器と前記
光送信器及び第１の光受信器にそれぞれ光学的に結合す
る光ファイバと前記第２の光受信器と光学的に結合する
第２の光ファイバが配置された光送受信ユニットとから
構成され、前記分岐後の光導波路が前記光送信器及び第
１の光受信器と光ファイバにより光学的に結合し、前記
分波後の光導波路が前記第２の光ファイバと光学的に結
合していることを特徴とする。Further, an optical branching unit having an optical waveguide forming an optical branching section and an optical multiplexing / demultiplexing section on a first substrate, an optical transmitter and first and second optical receivers on a second substrate. An optical fiber optically coupled to the optical transmitter and the first optical receiver, respectively, and an optical transceiver unit in which a second optical fiber optically coupled to the second optical receiver is disposed. The optical waveguide after branching is optically coupled to the optical transmitter and the first optical receiver by an optical fiber, and the optical waveguide after branching is optically coupled to the second optical fiber. It is characterized by being.
【００１２】また第１の基板上に光分岐部を形成する光
導波路にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置さ
れた光分岐ユニットと、第２の基板上の光送信器及び光
受信器有する光送受信ユニットとから構成され、前記光
送受信ユニットの光送信器及び光受信器が前記光ファイ
バと光学的に結合していることを特徴とする。An optical branch unit in which optical fibers respectively optically coupled to optical waveguides forming an optical branch on the first substrate are arranged, and an optical transmitter and an optical receiver on the second substrate are provided. And an optical transmitter / receiver of the optical transceiver unit, wherein an optical transmitter and an optical receiver of the optical transceiver unit are optically coupled to the optical fiber.
【００１３】さらに前記１又は第２の基板上には光ファ
イバを位置決めするためのファイバガイドが設けられて
いることを特徴とする。Further, a fiber guide for positioning an optical fiber is provided on the first or second substrate.
【００１４】また第１の基板上に光分岐部を形成する光
導波路と前記光導波路が光ファイバと光学的に結合する
ように基板上に形成されたファイバガイドを有する光分
岐ユニットと、第２の基板上に配置された光送信器及び
光受信器と前記光送信器及び光受信器がそれぞれ光ファ
イバと光学的に結合するように形成されたファイバガイ
ドを有する光送受信ユニットとから構成され、前記光送
受信ユニットの光送信器及び光受信器と前記光分岐ユニ
ットの分岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に
結合していることを特徴とする。An optical waveguide forming an optical branch on the first substrate; an optical branch unit having a fiber guide formed on the substrate such that the optical waveguide is optically coupled to an optical fiber; An optical transmitter and an optical receiver disposed on a substrate, and an optical transceiver unit having a fiber guide formed so that each of the optical transmitter and the optical receiver is optically coupled to an optical fiber, An optical transmitter and an optical receiver of the optical transmitting and receiving unit and an optical waveguide after branching of the optical branching unit are optically coupled by an optical fiber.
【００１５】さらに第１の基板上に光分岐部及び光合分
波部を形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと
光学的に結合するように基板上に形成されたファイバガ
イドを有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置さ
れた光送信器及び光受信器と前記前記光送信器及び光受
信器がそれぞれ光ファイバと光学的に結合するように形
成されたファイバガイドを有する光送受信ユニットから
構成され、前記光送受信ユニットの光送信器及び光受信
器と前記光分岐ユニットの分岐後の光導波路とが光ファ
イバにより光学的に結合し、光合分波部により分波され
た光導波路は前記第２基板上に形成されたファイバガイ
ドに配置された第２の光ファイバと光学的に結合してい
ることを特徴とする。Further, an optical branch having an optical waveguide forming an optical branching portion and an optical multiplexing / demultiplexing portion on a first substrate and a fiber guide formed on the substrate so that the optical waveguide is optically coupled to an optical fiber. An optical transceiver comprising a unit, an optical transmitter and an optical receiver disposed on a second substrate, and a fiber guide formed such that the optical transmitter and the optical receiver are each optically coupled to an optical fiber. An optical waveguide composed of a unit, wherein an optical transmitter and an optical receiver of the optical transmitting and receiving unit and an optical waveguide after branching of the optical branching unit are optically coupled by an optical fiber and demultiplexed by an optical multiplexing / demultiplexing unit. Is optically coupled to a second optical fiber disposed on a fiber guide formed on the second substrate.
【００１６】また第１の基板上に光分岐部及び光合分波
部を形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと光
学的に結合するように基板上に形成されたファイバガイ
ドを有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置され
た光送信器及び第１、第２の光受信器と前記前記光送信
器及び第１、第２の光受信器がそれぞれ光ファイバと光
学的に結合するように形成されたファイバガイドを有す
る光送受信ユニットから構成され、前記光送受信ユニッ
トの光送信器及び第１の光受信器と前記光分岐ユニット
の分岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に結合
し、分波後の光導波路と前記第２の光受信器とが第２の
光ファイバにより光学的に結合していることを特徴とす
る。An optical branch having an optical waveguide forming an optical branching section and an optical multiplexing / demultiplexing section on a first substrate, and a fiber guide formed on the substrate so that the optical waveguide is optically coupled to an optical fiber. A unit, an optical transmitter disposed on a second substrate, and first and second optical receivers, and the optical transmitter and the first and second optical receivers are each optically coupled to an optical fiber; The optical transmitter and the first optical receiver of the optical transmitter / receiver unit and the optical waveguide after branching of the optical branching unit are optically connected by an optical fiber. And the optical waveguide after demultiplexing and the second optical receiver are optically coupled by a second optical fiber.
【００１７】さらに前記ファイバガイドは基板の異方性
エッチングにより形成されたものであることを特徴とす
る。Further, the fiber guide is formed by anisotropic etching of the substrate.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】本発明の光送受信モジュールは、
導波路基板上に分岐部が形成された光導波路有する光分
岐ユニットと、該導波路基板と異なる基板上に光送信器
及び光受信器、を有した光送受信ユニットから構成さ
れ、光送受信ユニットの光送信器及び光受信器と光分岐
ユニットの光導波路との光学的な結合が光ファイバを介
して行う。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An optical transceiver module according to the present invention comprises
An optical branching unit having an optical waveguide having a branch portion formed on a waveguide substrate, and an optical transmitting and receiving unit having an optical transmitter and an optical receiver on a substrate different from the waveguide substrate. Optical coupling between the optical transmitter and the optical receiver and the optical waveguide of the optical branching unit is performed via an optical fiber.
【００１９】本発明の光送受信モジュールは光分岐ユニ
ットと、光送受信ユニットとを異なる基板上に形成し、
それぞれの光学的な結合を光ファイバを介して行う構成
であるので、各ユニットをそれぞれを別のラインで製造
できる。またこれにより多種多様な光送受信モジュール
を光送受信ユニットあるいは光分岐ユニットの組み合わ
せを変えるだけで簡単に提供できるというメリットがあ
る。In the optical transceiver module of the present invention, the optical branching unit and the optical transceiver unit are formed on different substrates,
Since each optical coupling is performed via an optical fiber, each unit can be manufactured on a separate line. In addition, there is a merit that various kinds of optical transmitting / receiving modules can be provided simply by changing the combination of the optical transmitting / receiving unit or the optical branching unit.
【００２０】光送受信ユニットと光分岐ユニットにおけ
る光学的結合は、例えば光送受信ユニットにおいて光フ
ァイバと光送信器及び光受信器を予め光学的に実装し、
かつ、光ファイバの相対位置を光分岐ユニットの光導波
路の相対位置に合わせて実装しておくことで、該光ファ
イバと、光分岐ユニットの光導波路との光学的結合を簡
易にできる。The optical coupling between the optical transmitting / receiving unit and the optical branching unit is performed, for example, by optically mounting an optical fiber, an optical transmitter, and an optical receiver in the optical transmitting / receiving unit in advance.
In addition, by mounting the optical fiber so that the relative position of the optical fiber matches the relative position of the optical waveguide of the optical branching unit, the optical coupling between the optical fiber and the optical waveguide of the optical branching unit can be simplified.
【００２１】さらに上記の光送受信ユニットの基板上に
予めファイバガイドを設けることにより、基板上の光送
信器及び光受信器と、光ファイバとの位置合わせを簡略
化できる。また光分岐ユニットの光導波路基板にも予め
ファイバガイドを設けることで光送受信ユニットの光送
信器及び光受信器と、光分岐ユニットの光導波路との光
学的結合も簡易な光ファイバ実装だけで一括して行うこ
とができる。ファイバガイドは光送受信ユニット又は光
受信ユニットの一方だけもよく、あるいは両方に形成さ
れていてもよい。Further, by providing a fiber guide in advance on the substrate of the optical transmission / reception unit, the alignment of the optical transmitter and the optical receiver on the substrate with the optical fiber can be simplified. In addition, by providing a fiber guide in advance also on the optical waveguide substrate of the optical branching unit, the optical coupling between the optical transmitter and optical receiver of the optical transmitting and receiving unit and the optical waveguide of the optical branching unit can be collectively performed only by simple optical fiber mounting. You can do it. The fiber guide may be formed on only one of the optical transmitting / receiving unit and the optical receiving unit, or may be formed on both.
【００２２】光ファイバとしてはシングルモードファイ
バに限らず、光受信器と分岐後の光導波路を結合する光
ファイバとしてマルチモードファイバを用いることで、
光ファイバのコア径の大きさを利用し光受信器と光学的
に結合した光ファイバと分岐後の光導波路の接続をより
簡便にすることも可能である。The optical fiber is not limited to a single mode fiber, but a multimode fiber is used as an optical fiber for coupling an optical receiver and a branched optical waveguide.
Using the size of the core diameter of the optical fiber, the connection between the optical fiber optically coupled to the optical receiver and the branched optical waveguide can be further simplified.
【００２３】このように本発明では光送受信モジュール
の製造上の組立工程に要する時間を短縮化できる構成を
提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a configuration capable of shortening the time required for an assembling step in manufacturing an optical transceiver module.
【００２４】[0024]
【実施例】本発明の第１の実施例を図１に基づいて説明
する。第１の実施例における光分岐ユニットでは基板１
上に光導波路２が形成され、光導波路２には光分岐部３
が設けられている。一般にこの光分岐部３は低損失かつ
簡単な構造のＹ分岐を用いて構成する。光分岐部３の分
岐前の光導波路には光ファイバ４が接続される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the optical branching unit in the first embodiment, the substrate 1
The optical waveguide 2 is formed thereon, and the optical waveguide 2 has an optical branching section 3.
Is provided. Generally, the optical branching unit 3 is configured using a Y-branch having a low-loss and simple structure. An optical fiber 4 is connected to the optical waveguide before branching of the optical branching unit 3.
【００２５】光送受信ユニットは基板１とは別の基板１
１上に光送信器５、光受信器６、２つの光ファイバ１０
が配置されている。光ファイバ１０は基板１１上に形成
されたファイバガイド１３により光送信器５、光受信器
６とそれぞれ光学的に結合しており、２本の光ファイバ
１０の相対位置は、光分岐部の分岐後の２本の光導波路
２の相対位置と一致させている。The optical transmitting / receiving unit is a substrate 1 different from the substrate 1.
1, an optical transmitter 5, an optical receiver 6, and two optical fibers 10
Is arranged. The optical fiber 10 is optically coupled to the optical transmitter 5 and the optical receiver 6 by a fiber guide 13 formed on a substrate 11, and the relative positions of the two optical fibers 10 are determined by the branching of the optical branching unit. The relative position of the latter two optical waveguides 2 is matched.
【００２６】分岐後の２本の光導波路２はそれぞれ送信
用の光送信器５及び受信用の光受信器６と光学結合さ
れ、これらの光学的結合は２本の光ファイバ１０を通し
て行われる。２本の光ファイバ１０と光導波路の光学的
結合は一括して高精度で行われる。The two optical waveguides 2 after branching are optically coupled to an optical transmitter 5 for transmission and an optical receiver 6 for reception, respectively, and these optical couplings are performed through two optical fibers 10. The optical coupling between the two optical fibers 10 and the optical waveguide is performed at once with high precision.
【００２７】次に本実施例の光送受信ユニットにおける
光ファイバ１０の基板１１への実装と光ファイバ１０と
光送信器５、光受信器６との結合について説明する。初
めに光ファイバ１０の基板１１への実装について説明す
る。基板１１上にＶ溝のファイバガイド１３は光ファイ
バを設置する結晶基板の面方位（１００）面に通常のフ
ォトリソグラフィーの工程でマスクを形成し、異方性エ
ッチングにより除去し、面方位（１１１）面からなるＶ
字状の溝を形成することにより得られる。異方性エッチ
ングは一括処理が可能であるため量産性に適し、異方性
エッチングにより得られるＶ溝は、光ファイバ５の設置
面を作製するため設置面の角度が正確でありまた面精度
がよく、光ファイバをこのＶ溝上に置くだけで、光導波
路との光結合に最適な位置に光ファイバ５を設置でき
る。この溝に２本のファイバ１０を実装する。Next, mounting of the optical fiber 10 on the substrate 11 and coupling of the optical fiber 10 with the optical transmitter 5 and the optical receiver 6 in the optical transmission / reception unit of this embodiment will be described. First, mounting of the optical fiber 10 on the substrate 11 will be described. The V-groove fiber guide 13 on the substrate 11 forms a mask on the (100) plane of the crystal substrate on which the optical fiber is to be installed by a usual photolithography process, removes the mask by anisotropic etching, and removes the mask by the anisotropic etching. ) V consisting of
It is obtained by forming a letter-shaped groove. Anisotropic etching is suitable for mass production because batch processing is possible, and the V-groove obtained by anisotropic etching has an accurate installation surface angle for producing the installation surface of the optical fiber 5 and has high surface accuracy. Only by placing the optical fiber on the V-groove, the optical fiber 5 can be installed at an optimal position for optical coupling with the optical waveguide. Two fibers 10 are mounted in this groove.
【００２８】基板として一般にＳｉ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ
等の結晶基板があり、Ｓｉ基板の場合光導波路として
Ｐ、Ｇｅ、Ｂ、Ｔｉ等をドープした石英系の光導波路が
用いられ、その作製方法にはＣＶＤ法、ＥＢ蒸着法、ス
パッタ法、火炎堆積法等がある。ＩｎＰ、ＧａＡｓ基板
の場合はＩｎＧａＡｓＰ、ＡｌＧａＡｓ等の半導体系の
光導波路がよく用いられる。また異方性エッチング液と
してＳｉ結晶基板に対しては一般にＫＯＨ、ＫＯＨ＋ア
ルコール、エチレンジアミン＋ピロカテコール等の溶液
が用いられ、ＧａＡｓ，ＩｎＰ結晶基板に対してはＨ2
ＳＯ4 ＋Ｈ2 Ｏ2＋Ｈ2 Ｏ、ＨＣｌ、ＨＢｒ等の溶液が
用いられる。さらにマスク材には上記エッチング液に対
して基板結晶の（１００）面よりエッチング速度の遅い
材料が選ばれ、主に金属膜や誘電体膜、特にＳｉ基板の
場合Ｓｉの熱酸化膜等が用いられる。As the substrate, generally, Si, GaAs, InP
In the case of a Si substrate, a quartz-based optical waveguide doped with P, Ge, B, Ti, or the like is used as an optical waveguide, and the manufacturing method is a CVD method, an EB evaporation method, a sputtering method, a flame method, or the like. There is a deposition method and the like. In the case of an InP or GaAs substrate, a semiconductor optical waveguide such as InGaAsP or AlGaAs is often used. As an anisotropic etching solution, a solution of KOH, KOH + alcohol, ethylenediamine + pyrocatechol or the like is generally used for a Si crystal substrate, and H 2 is used for a GaAs or InP crystal substrate.
A solution of SO 4 + H 2 O 2 + H 2 O, HCl, HBr or the like is used. Further, as the mask material, a material having an etching rate lower than that of the (100) plane of the substrate crystal with respect to the above-described etching solution is selected. Can be
【００２９】光ファイバの高さ方向の調節はＶ溝を用い
たファイバガイド１３の場合、Ｖ溝の幅を調整すること
で光ファイバ１０を基板１１に実装する際に所望の高さ
で設置することができる。すなわち、基板１１上に実装
する光送信器５の発光部の基板表面からの位置、又は光
受信器６の受光部の位置を決定し、その位置に光ファイ
バ１０の中心が位置するようにＶ溝のマスク幅を設定す
る。このように高さ方向の位置決めに関してはＶ溝を用
いることにより無調整で決定することができる。In the case of the fiber guide 13 using a V-groove, the height of the optical fiber is adjusted by adjusting the width of the V-groove so that the optical fiber 10 is installed at a desired height when mounted on the substrate 11. be able to. That is, the position of the light emitting unit of the optical transmitter 5 mounted on the substrate 11 from the substrate surface or the position of the light receiving unit of the optical receiver 6 is determined, and V is set so that the center of the optical fiber 10 is located at that position. Set the mask width of the groove. As described above, the positioning in the height direction can be determined without adjustment by using the V-groove.
【００３０】さらに基板１１の平面方向の位置合わせも
無調整で行なうことが望ましい。これを実現する方法と
して、基板１１及び光送信器５に位置合わせ用のマーカ
ーを設け、赤外光を用いて両者のマーカー位置を検出し
位置合わせを行なう方法がある。この方法によると通常
のプロセスで行われているフォトリソグラフィ工程と同
様であるため位置決めの自動化が可能となる。Further, it is desirable that the alignment of the substrate 11 in the plane direction is also performed without adjustment. As a method for realizing this, there is a method of providing a positioning marker on the substrate 11 and the optical transmitter 5, detecting the positions of both markers using infrared light, and performing positioning. According to this method, the positioning is automated because it is the same as the photolithography step performed in the normal process.
【００３１】次に光送信器５と光ファイバ１０の結合に
ついて説明する。一般的に光送信器として用いられるレ
ーザーダイオードと通常の光ファイバと結合した場合、
結合効率は１０ｄＢ程度となる。この結合効率を改善す
る方法としてレーザーダイオードのスポットサイズを変
換したタイプのもの開発が進められており、これを用い
ることにより結合効率を２ｄＢ程度まで改善することが
できる。Next, the connection between the optical transmitter 5 and the optical fiber 10 will be described. When combined with a normal optical fiber and a laser diode generally used as an optical transmitter,
The coupling efficiency is about 10 dB. As a method of improving the coupling efficiency, a laser diode of a type in which the spot size of the laser diode is converted has been developed, and by using this, the coupling efficiency can be improved to about 2 dB.
【００３２】また一般的なレーザーダイオードの場合で
も、結合する光ファイバの先端を球状に加工しレーザー
ダイオードのスポットサイズに近づけることにより４ｄ
Ｂ程度の結合効率が得えられる。Also, in the case of a general laser diode, the tip of the optical fiber to be coupled is processed into a spherical shape so as to be close to the spot size of the laser diode, thereby obtaining a 4d laser.
A coupling efficiency of about B can be obtained.
【００３３】次に光受信器６と光ファイバ１０の結合に
関して説明する。現在、光受信器として用いられている
フォトダイオードは面受光が一般的である。フォトダイ
オードの受光面は比較的広いため、レーザーダイオード
と光ファイバの結合ほど位置精度は厳しくない。一般的
なフォトダイオードを用いた場合の基板１１上の光ファ
イバ１０との結合を図３に示す。この例ではファイバガ
イド１３によるＶ溝が基板の側面まで形成され、側面に
配置された面受光のフォトダイオードである光受信器６
と光ファイバ１０が結合している。Next, the connection between the optical receiver 6 and the optical fiber 10 will be described. At present, surface photodiodes are generally used for photodiodes used as optical receivers. Since the light receiving surface of the photodiode is relatively large, the positional accuracy is not as strict as coupling between the laser diode and the optical fiber. FIG. 3 shows coupling with the optical fiber 10 on the substrate 11 when a general photodiode is used. In this example, a V-groove formed by the fiber guide 13 is formed up to the side surface of the substrate, and the light receiver 6 which is a surface-receiving photodiode disposed on the side surface.
And the optical fiber 10 are coupled.
【００３４】しかしながらこのフォトダイオードを光フ
ァイバと結合させる場合、図３に示すように受光面１４
を縦にして光ファイバ１０と結合させる必要がある。こ
のような場合、上述したようなマーカーによる位置合わ
せが不可能であるため、低コストかつ簡易な製造プロセ
スが要求される量産化の点で支障をきたすことになる。However, when this photodiode is coupled to an optical fiber, as shown in FIG.
Must be coupled vertically to the optical fiber 10. In such a case, it is impossible to perform the alignment using the marker as described above, which hinders mass production in which a low-cost and simple manufacturing process is required.
【００３５】面受光のフォトダイオードを用いながら量
産化を図る方法としては図４のような方法がある。基板
１１上には異方性エッチングによるＶ溝のファイバガイ
ド１３が設けられ、光ファイバ１０がこのＶ溝で位置決
めされている。基板１１上にはさらにフォトダイオード
キャリア１５が設けられ、光ファイバ１０からの出射光
を反射面１６に反射させた後、フォトダイオードキャリ
ア上に設けられた光受信器６の受光面１４と結合させて
いる。FIG. 4 shows a method for mass production using a photodiode for surface light reception. A fiber guide 13 having a V-groove formed by anisotropic etching is provided on the substrate 11, and the optical fiber 10 is positioned in the V-groove. A photodiode carrier 15 is further provided on the substrate 11, and the light emitted from the optical fiber 10 is reflected by a reflection surface 16, and then coupled to the light receiving surface 14 of the optical receiver 6 provided on the photodiode carrier. ing.
【００３６】フォトダイオードキャリア１５は上述した
異方性エッチングにより形成されるＶ溝と同様の方法を
用いることで、結晶の異方性を反映した正確な５４．７
４°の角度を持つ平滑な面が容易に作製できる。反射面
１６はこの面に反射膜としてＡｕ、Ａｇ、Ａｌ等の薄膜
を成膜することで得る。この上に光受信器６を実装する
ことにより容易に光ファイバ１０と面受光のフォトダイ
オードの光学的結合が達成される。The photodiode carrier 15 uses a method similar to that for the V-groove formed by the above-described anisotropic etching, thereby providing an accurate 54.7 reflecting crystal anisotropy.
A smooth surface having an angle of 4 ° can be easily manufactured. The reflection surface 16 is obtained by forming a thin film of Au, Ag, Al, or the like as a reflection film on this surface. By mounting the optical receiver 6 thereon, the optical coupling between the optical fiber 10 and the surface-receiving photodiode can be easily achieved.
【００３７】なお基板１１とフォトダイオードキャリア
１５の間、及びフォトダイオードキャリア１５とフォト
ダイオード６の間にＡｕＳｎ半田等を形成することで光
受信器の設置を簡単に行うことができる。The optical receiver can be easily installed by forming AuSn solder or the like between the substrate 11 and the photodiode carrier 15 and between the photodiode carrier 15 and the photodiode 6.
【００３８】また本発明の場合、結合する２本の光導波
路２は同じ高さにあるため、２本のファイバ１０も同じ
高さに設定する必要がある。したがって光ファイバ１０
からの出射光は、隣に実装されるレーザーダイオードの
出射位置と同じ位置となり、この位置で上方に出射され
るようにフォトダイオードキャリア１５を設定し配置す
ればよい。In the case of the present invention, since the two optical waveguides 2 to be coupled are at the same height, the two fibers 10 also need to be set at the same height. Therefore, the optical fiber 10
Is emitted from the laser diode mounted at the same position as that of the laser diode mounted next, and the photodiode carrier 15 may be set and arranged so as to be emitted upward at this position.
【００３９】ここで一般に面受光のフォトダイオードの
受光面は数十μm から百μm 程度の径を持つため、光フ
ァイバ１０はシングルモードファイバのみならずマルチ
モードファイバも適用することが可能である。マルチモ
ードファイバのコア径はシングルモードファイバのコア
径よりも大きいため、分岐後の光導波路との光学的結合
が取りやすく、位置合わせ精度を緩くできるため低コス
ト化することができる。Here, since the light receiving surface of the photodiode for surface light reception generally has a diameter of about several tens μm to about 100 μm, not only a single mode fiber but also a multimode fiber can be applied to the optical fiber 10. Since the core diameter of the multi-mode fiber is larger than the core diameter of the single-mode fiber, optical coupling with the optical waveguide after branching can be easily achieved, and positioning accuracy can be reduced, so that cost can be reduced.
【００４０】また光受信器として一般的な面受光のフォ
トダイオードではなく、レーザーダイオード等と同様に
導波路構造を持ったフォトダイオードを用いることでも
量産化の問題に対処できる。The problem of mass production can be dealt with by using a photodiode having a waveguide structure like a laser diode or the like instead of a general surface receiving photodiode as an optical receiver.
【００４１】上述のように、光導波路が形成された基板
とは別の基板に光ファイバと光送信器及び光受信器を予
め光学的に実装し、かつ、光導波路の位置に合わせて光
ファイバの位置決めを行っておくことにより、光導波路
と光送信器及び光受信器の光学的結合は光ファイバと光
導波路を一括して光学的に結合するだけで簡単に達成さ
れる。As described above, the optical fiber, the optical transmitter and the optical receiver are optically mounted in advance on a substrate different from the substrate on which the optical waveguide is formed, and the optical fiber is aligned with the position of the optical waveguide. The optical coupling between the optical waveguide and the optical transmitter and the optical receiver can be easily achieved simply by optically coupling the optical fiber and the optical waveguide together.
【００４２】次に本発明の第２の実施例を図５に示す。
第２の実施例は第１の実施例と光分岐ユニットの構成が
異なり、光送受信ユニットの構成は同様である。このた
め第２の実施例の光送受信ユニットの説明は省略する。Next, a second embodiment of the present invention is shown in FIG.
The second embodiment differs from the first embodiment in the configuration of the optical branching unit, and the configuration of the optical transmission / reception unit is the same. Therefore, the description of the optical transmission / reception unit of the second embodiment is omitted.
【００４３】第２の実施例では基板１上に光導波路２と
結合する光ファイバ用のファイバガイド１２が設けられ
ている。第２の実施例のファイバガイドは第１の実施例
のファイバガイドと同様な手法で形成される。第２の実
施例ではこのファイバガイドを設けることにより、分岐
前の光導波路２と光ファイバ４の光学的結合及び分岐後
の光導波路２と光送受信ユニットからの２本の光ファイ
バ１０の光学的結合は無調整で簡単に行なうことができ
る。In the second embodiment, a fiber guide 12 for an optical fiber to be coupled to the optical waveguide 2 is provided on the substrate 1. The fiber guide of the second embodiment is formed in the same manner as the fiber guide of the first embodiment. In the second embodiment, by providing this fiber guide, the optical coupling between the optical waveguide 2 before branching and the optical fiber 4 and the optical coupling between the optical waveguide 2 after branching and the two optical fibers 10 from the optical transceiver unit are performed. Coupling can be easily performed without adjustment.
【００４４】次に第３の実施例を図６に基づいて説明す
る。Next, a third embodiment will be described with reference to FIG.
【００４５】第３の実施例における光分岐ユニットには
図６に示すように基板１上に光分岐部３、さらに光合分
波器８を構成する光導波路２が形成されている。本実施
例の光合分波器８は方向性結合器であり、方向性結合器
を構成する２本の導波路のうちの一方の導波路は分岐前
の光導波路を用いている。また光合分波器８の一方には
光ファイバ４が接続される。In the optical branching unit according to the third embodiment, an optical branching section 3 and an optical waveguide 2 constituting an optical multiplexer / demultiplexer 8 are formed on a substrate 1 as shown in FIG. The optical multiplexer / demultiplexer 8 of the present embodiment is a directional coupler, and one of the two waveguides forming the directional coupler uses the optical waveguide before branching. The optical fiber 4 is connected to one side of the optical multiplexer / demultiplexer 8.
【００４６】第３の実施例の光送受信ユニットは基板１
とは別の基板１１上に設けられた光送信器５、光受信器
６、光送信器及び光受信器と結合する光ファイバ１０、
光ファイバ９から構成される。光ファイバ１０及び光フ
ァイバ９は第１の実施例の光送受信ユニットと同様に基
板１上に形成されたファイバガイド１３により位置決め
されている。The optical transmission / reception unit of the third embodiment comprises a substrate 1
An optical transmitter 5, an optical receiver 6, an optical transmitter and an optical fiber 10 coupled to the optical receiver provided on a separate substrate 11,
It is composed of an optical fiber 9. The optical fiber 10 and the optical fiber 9 are positioned by a fiber guide 13 formed on the substrate 1 similarly to the optical transmission / reception unit of the first embodiment.
【００４７】ファイバガイド１３により位置決めされた
光ファイバ１０は光送信器５、光受信器６とそれぞれ光
学的に結合しており、２本の光ファイバ１０、光ファイ
バ９の相対位置は、分岐後の２本の光導波路２及び方向
性結合器からの延長された光導波路２の相対位置と一致
させている。The optical fiber 10 positioned by the fiber guide 13 is optically coupled to the optical transmitter 5 and the optical receiver 6, respectively. The relative positions of the two optical fibers 10 and 9 are And the relative positions of the two optical waveguides 2 and the optical waveguide 2 extended from the directional coupler.
【００４８】分波された信号光と結合する光ファイバ９
の実装、光ファイバ１０と光送信器５及び光受信器６と
の光学的結合は別の基板１１上で予め行われ、３本の光
ファイバの相対位置を分波及び分岐後の３本の光導波路
の相対位置と一致させておくことにより、３本の光ファ
イバと光導波路の光学的結合は一括して高精度で行われ
る。Optical fiber 9 for coupling with the demultiplexed signal light
And the optical coupling between the optical fiber 10 and the optical transmitter 5 and the optical receiver 6 is performed in advance on another substrate 11, and the relative positions of the three optical fibers are demultiplexed and divided into three. By matching the relative positions of the optical waveguides, the optical coupling of the three optical fibers and the optical waveguides is performed at a time with high precision.
【００４９】第３の実施例では光合分波器８における方
向性結合器の光導波路の間隔、長さあるいは屈折率を変
えることにより、所望の波長のＷＤＭを構成でき、異な
る波長の信号光をファイバ４に多重し、光合分波器８に
波長分波機能を持たせることによりこの信号を双方向通
信とは別に映像信号等の用途に用い、システムを拡張さ
せることができる。この時、実装される光ファイバがさ
らに１本増え、組み立てが非常に煩雑になるが、本発明
を用いることにより簡単にモジュールの組み立てを行な
うことができる。In the third embodiment, by changing the interval, length or refractive index of the optical waveguides of the directional coupler in the optical multiplexer / demultiplexer 8, a WDM having a desired wavelength can be formed, and signal lights having different wavelengths can be formed. The signal is multiplexed on the fiber 4 and the optical multiplexer / demultiplexer 8 is provided with a wavelength demultiplexing function, so that this signal can be used for applications such as video signals separately from bidirectional communication, and the system can be expanded. At this time, the number of optical fibers to be mounted is increased by one, and the assembly becomes very complicated. However, by using the present invention, the module can be easily assembled.
【００５０】また光合分波器８として比較的簡単に構成
できる方向性結合器を用いたがこれに限らずマッハツェ
ンダー光干渉計型等を用いてもよい。Although a directional coupler which can be relatively easily configured is used as the optical multiplexer / demultiplexer 8, the invention is not limited to this, and a Mach-Zehnder optical interferometer type or the like may be used.
【００５１】本発明の第４の実施例を図７に基づいて説
明する。第４の実施例では第２の実施例と同様に光導波
路２が形成された基板１上にファイバガイド１２を設け
ている。基板１上にファイバガイド１２を設けることに
より、第３の実施例と比較して３本の光ファイバと光導
波路の光学的結合は無調整で簡単に行なうことができ
る。A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the fourth embodiment, a fiber guide 12 is provided on the substrate 1 on which the optical waveguide 2 is formed, as in the second embodiment. By providing the fiber guide 12 on the substrate 1, the optical coupling between the three optical fibers and the optical waveguide can be easily performed without adjustment as compared with the third embodiment.
【００５２】本発明の第５の実施例を図８に基づいて説
明する。第５の実施例では第４の実施例のうち光送受信
ユニットが異なっている。第４の実施例では光合分波器
８により分波された信号光は光ファイバ９に結合した
後、そのまま光ファイバ９で光送受信モジュールの外に
取り出される形態であったが、第５の実施例の光送受信
ユニットのように図８に示すように上述した光受信器６
との結合と同様に、基板上にさらに別の光受信器１７を
実装し、モジュールの中で信号光を処理してもよい。A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The fifth embodiment differs from the fourth embodiment in the optical transmission / reception unit. In the fourth embodiment, the signal light demultiplexed by the optical multiplexer / demultiplexer 8 is coupled to the optical fiber 9 and then taken out of the optical transmission / reception module by the optical fiber 9 as it is. The optical receiver 6 described above as shown in FIG.
Similarly to the above, another optical receiver 17 may be mounted on the substrate, and the signal light may be processed in the module.
【００５３】[0053]
【発明の効果】本発明によると、モジュールの組み立て
が簡単な、光送受信モジュールを構成することができ
る。その理由として、本発明では光送信器及び光受信器
と光導波路の光学的結合はそれぞれ２本の光ファイバを
介して行われ、光ファイバと光送信器及び光受信器は、
導波路基板に形成された光導波路と光学的に結合する前
に、予めファイバガイドが形成された別の基板上で光学
的に結合させ、さらに光ファイバと光導波路の結合は該
導波路基板上に予め形成されたファイバガイドを介して
行われるため、一括して光導波路と光送信器及び光受信
器の結合が可能になるためである。According to the present invention, it is possible to construct an optical transceiver module in which the module can be easily assembled. The reason is that in the present invention, the optical coupling between the optical transmitter and the optical receiver and the optical waveguide is performed via two optical fibers, respectively, and the optical fiber, the optical transmitter and the optical receiver are
Before optically coupling with the optical waveguide formed on the waveguide substrate, optical coupling is performed on another substrate on which a fiber guide is formed in advance, and further, coupling between the optical fiber and the optical waveguide is performed on the waveguide substrate. This is because the optical waveguide and the optical transmitter and the optical receiver can be collectively coupled together through the fiber guide formed beforehand.
【図１】本発明による光送受信モジュールの第１の実施
例を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of an optical transceiver module according to the present invention.
【図２】本実施例で用いた光送受信ユニットを示す側面
図である。FIG. 2 is a side view showing the optical transmission / reception unit used in the present embodiment.
【図３】本実施例で用いた他の光送受信ユニットを示す
側面図である。FIG. 3 is a side view showing another optical transmission / reception unit used in the present embodiment.
【図４】本実施例で用いた他の光送受信ユニットを示す
側面図である。FIG. 4 is a side view showing another optical transmission / reception unit used in the present embodiment.
【図５】本発明による光送受信モジュールの第２の実施
例を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a second embodiment of the optical transceiver module according to the present invention.
【図６】本発明による光送受信モジュールの第３の実施
例を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a third embodiment of the optical transceiver module according to the present invention.
【図７】本発明による光送受信モジュールの第４の実施
例を示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing a fourth embodiment of the optical transceiver module according to the present invention.
【図８】本発明による光送受信モジュール第５の実施例
を示す平面図である。FIG. 8 is a plan view showing a fifth embodiment of the optical transceiver module according to the present invention.
【図９】従来の光送受信モジュールを示す平面図であ
る。FIG. 9 is a plan view showing a conventional optical transceiver module.
【図１０】従来の光送受信モジュールを示す平面図であ
る。FIG. 10 is a plan view showing a conventional optical transceiver module.
１ 基板 ２ 光導波路 ３ 光分岐部 ４ 光ファイバ ５ 光送信器 ６ 光受信器 ８ 光合分波器 ９ 光ファイバ １０ 光ファイバ １１ 基板 １２ ファイバガイド １３ ファイバガイド １４ フォトダイオード受光面 １５ フォトダイオードキャリア １６ 反射面 １７ 光受信器 Reference Signs List 1 substrate 2 optical waveguide 3 optical branching 4 optical fiber 5 optical transmitter 6 optical receiver 8 optical multiplexer / demultiplexer 9 optical fiber 10 optical fiber 11 substrate 12 fiber guide 13 fiber guide 14 photodiode light receiving surface 15 photodiode carrier 16 reflection Face 17 optical receiver
Claims (9)
路を有する光分岐ユニットと、第２の基板上に光送信器
及び光受信器と前記光送信器及び光受信器にそれぞれ光
学的に結合する光ファイバが配置された光送受信ユニッ
トとから構成され、分岐後の光導波路が前記光ファイバ
と光学的に結合していることを特徴とする光送受信モジ
ュール。1. An optical branching unit having an optical waveguide forming an optical branching part on a first substrate, an optical transmitter and an optical receiver, and an optical transmitter and an optical receiver on a second substrate. An optical transmission / reception module, comprising: an optical transmission / reception unit in which an optical fiber that is optically coupled is disposed, wherein the branched optical waveguide is optically coupled to the optical fiber.
形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第２の基
板上に光送信器及び光受信器と前記光送信器及び光受信
器にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置された
光送受信ユニットとから構成され、分岐後の光導波路が
前記光ファイバと光学的に結合し、光合分波部により分
波された光導波路が前記第２基板上に配置された第２の
光ファイバと光学的に結合していることを特徴とする光
送受信モジュール。2. An optical branching unit having an optical waveguide forming an optical branching section and an optical multiplexing / demultiplexing section on a first substrate, and an optical transmitter, an optical receiver, and the optical transmitter on a second substrate. An optical transmitting and receiving unit in which optical fibers respectively optically coupled to the optical receiver are arranged. The optical waveguide after branching is optically coupled to the optical fiber, and the optical waveguide split by the optical multiplexer / demultiplexer. An optical transceiver module, wherein a wave path is optically coupled to a second optical fiber disposed on the second substrate.
形成する光導波路を有する光分岐ユニットと、第２の基
板上に光送信器及び第１、第２の光受信器と前記光送信
器及び第１の光受信器にそれぞれ光学的に結合する光フ
ァイバと前記第２の光受信器と光学的に結合する第２の
光ファイバが配置された光送受信ユニットとから構成さ
れ、前記分岐後の光導波路が前記光送信器及び第１の光
受信器と光ファイバにより光学的に結合し、前記分波後
の光導波路が前記第２の光ファイバと光学的に結合して
いることを特徴とする光送受信モジュール。3. An optical branching unit having an optical waveguide forming an optical branching section and an optical multiplexing / demultiplexing section on a first substrate, an optical transmitter and first and second optical receivers on a second substrate. And an optical fiber optically coupled to the optical transmitter and the first optical receiver, respectively, and an optical transmitting / receiving unit having a second optical fiber optically coupled to the second optical receiver. The branched optical waveguide is optically coupled to the optical transmitter and the first optical receiver by an optical fiber, and the demultiplexed optical waveguide is optically coupled to the second optical fiber. An optical transceiver module, comprising:
路にそれぞれ光学的に結合する光ファイバが配置された
光分岐ユニットと、第２の基板上の光送信器及び光受信
器有する光送受信ユニットとから構成され、前記光送受
信ユニットの光送信器及び光受信器が前記光ファイバと
光学的に結合していることを特徴とする光送受信モジュ
ール。4. An optical branching unit in which optical fibers respectively optically coupled to optical waveguides forming an optical branching portion on a first substrate are arranged, and an optical transmitter and an optical receiver on a second substrate. An optical transmitting and receiving unit comprising: an optical transmitting and receiving unit, wherein an optical transmitter and an optical receiver of the optical transmitting and receiving unit are optically coupled to the optical fiber.
位置決めするためのファイバガイドが設けられているこ
とを特徴とする請求項１又は２又は３又は４記載の光送
受信モジュール。5. The optical transceiver module according to claim 1, wherein a fiber guide for positioning an optical fiber is provided on the first or second substrate.
路と前記光導波路が光ファイバと光学的に結合するよう
に基板上に形成されたファイバガイドを有する光分岐ユ
ニットと、第２の基板上に配置された光送信器及び光受
信器と前記光送信器及び光受信器がそれぞれ光ファイバ
と光学的に結合するように形成されたファイバガイドを
有する光送受信ユニットとから構成され、前記光送受信
ユニットの光送信器及び光受信器と前記光分岐ユニット
の分岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に結合
していることを特徴とする光送受信モジュール。6. An optical branch unit having an optical waveguide forming an optical branch on a first substrate, and a fiber guide formed on the substrate so that the optical waveguide is optically coupled to an optical fiber. An optical transmitter and an optical receiver disposed on two substrates, and an optical transmitting and receiving unit having a fiber guide formed so that the optical transmitter and the optical receiver are each optically coupled to an optical fiber. An optical transceiver module, wherein an optical transmitter and an optical receiver of the optical transceiver unit and an optical waveguide after branching of the optical branching unit are optically coupled by an optical fiber.
形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと光学的
に結合するように基板上に形成されたファイバガイドを
有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置された光
送信器及び光受信器と前記前記光送信器及び光受信器が
それぞれ光ファイバと光学的に結合するように形成され
たファイバガイドを有する光送受信ユニットから構成さ
れ、前記光送受信ユニットの光送信器及び光受信器と前
記光分岐ユニットの分岐後の光導波路とが光ファイバに
より光学的に結合し、光合分波部により分波された光導
波路は前記第２基板上に形成されたファイバガイドに配
置された第２の光ファイバと光学的に結合していること
を特徴とする光送受信モジュール。7. A light having an optical waveguide forming an optical branching portion and an optical multiplexing / demultiplexing portion on a first substrate, and a fiber guide formed on the substrate so that the optical waveguide is optically coupled to an optical fiber. A light having a branching unit, an optical transmitter and an optical receiver disposed on a second substrate, and a fiber guide formed such that the optical transmitter and the optical receiver are each optically coupled to an optical fiber. The optical transmitter / receiver of the optical transmission / reception unit is optically coupled to the optical waveguide after branching of the optical branching unit by an optical fiber, and the optical waveguide split by the optical multiplexing / demultiplexing unit. An optical transceiver module, wherein the optical path is optically coupled to a second optical fiber disposed in a fiber guide formed on the second substrate.
形成する光導波路と前記光導波路が光ファイバと光学的
に結合するように基板上に形成されたファイバガイドを
有する光分岐ユニットと、第２の基板上に配置された光
送信器及び第１、第２の光受信器と前記前記光送信器及
び第１、第２の光受信器がそれぞれ光ファイバと光学的
に結合するように形成されたファイバガイドを有する光
送受信ユニットから構成され、前記光送受信ユニットの
光送信器及び第１の光受信器と前記光分岐ユニットの分
岐後の光導波路とが光ファイバにより光学的に結合し、
分波後の光導波路と前記第２の光受信器とが第２の光フ
ァイバにより光学的に結合していることを特徴とする光
送受信モジュール。8. A light having an optical waveguide forming an optical branching portion and an optical multiplexing / demultiplexing portion on a first substrate, and a fiber guide formed on the substrate so that the optical waveguide is optically coupled to an optical fiber. A branching unit, an optical transmitter and first and second optical receivers disposed on a second substrate, and the optical transmitter and the first and second optical receivers are each optically connected to an optical fiber. An optical transmitter / receiver unit having a fiber guide formed so as to be coupled, wherein an optical transmitter and a first optical receiver of the optical transmitter / receiver unit and an optical waveguide after branching of the optical branching unit are optically coupled by an optical fiber. To combine
An optical transceiver module, wherein the optical waveguide after demultiplexing and the second optical receiver are optically coupled by a second optical fiber.
ングにより形成されたものであることを特徴とする請求
項５又は６又は７又は８記載の光送受信モジュール。9. The optical transceiver module according to claim 5, wherein said fiber guide is formed by anisotropic etching of a substrate.
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| JP31598496A JP2897742B2 (en) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | Optical transceiver module |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31598496A JP2897742B2 (en) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | Optical transceiver module |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10160980A true JPH10160980A (en) | 1998-06-19 |
| JP2897742B2 JP2897742B2 (en) | 1999-05-31 |
Family
ID=18071946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31598496A Expired - Lifetime JP2897742B2 (en) | 1996-11-27 | 1996-11-27 | Optical transceiver module |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2897742B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010069282A (en) * | 2001-02-28 | 2001-07-25 | 신현국 | Optical transmitting/receiving module of line contact type |
| WO2002018995A1 (en) * | 2000-08-31 | 2002-03-07 | Photonixnet Kabushiki Kaisha | Asymmetric optical coupler, optical transceiver, and wavelength multiplexing device |
| WO2008123285A1 (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | National University Corporation Chiba University | Composite material and method for manufacturing the same |
-
1996
- 1996-11-27 JP JP31598496A patent/JP2897742B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002018995A1 (en) * | 2000-08-31 | 2002-03-07 | Photonixnet Kabushiki Kaisha | Asymmetric optical coupler, optical transceiver, and wavelength multiplexing device |
| KR20010069282A (en) * | 2001-02-28 | 2001-07-25 | 신현국 | Optical transmitting/receiving module of line contact type |
| WO2008123285A1 (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | National University Corporation Chiba University | Composite material and method for manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2897742B2 (en) | 1999-05-31 |
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