JPH10160707A - Liquid chromatograph mass analyzing device - Google Patents

Liquid chromatograph mass analyzing device

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JPH10160707A
JPH10160707A JP8319703A JP31970396A JPH10160707A JP H10160707 A JPH10160707 A JP H10160707A JP 8319703 A JP8319703 A JP 8319703A JP 31970396 A JP31970396 A JP 31970396A JP H10160707 A JPH10160707 A JP H10160707A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
intermediate exhaust
exhaust chamber
pipe
liquid chromatograph
Prior art date
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Application number
JP8319703A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroaki Wake
弘明 和気
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid chromatograph mass analyzing device with an interface part in which neutral particles are removed and only ions are sent into a mass analyzing chamber in a liquid chromatograph mass analyzing device by an atmospheric pressure ionizing method. SOLUTION: This mass analyzing device comprises a pipe 32 which is provided for a partition wall 12 between an atmosphere ionizing chamber 43 and intermediate exhaust chamber 44 and connects both chambers and a gap 14 provided for a partition wall between the intermediate exhaust chamber 44 and a mass analyzing chamber 46. The pipe 32 and gap 14 are arranged coaxially in opposing locations in the intermediate exhaust chamber 44. A pipe end face in the intermediate exhaust chamber 44 is cut to form an inclined face 32a. In addition, an evacuating means 50 of the intermediate exhaust chamber is provided so that evacuation is tilted toward the side of the inclined face 32a. By these and by performing evacuation tilted toward the side of the inclined face 32a, neutral particles are diagonally moved so that only ions are electrically derived from the gap.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液体クロマトグラ
フ質量分析装置(以下LC/MSという)に関し、さら
に詳しくはLC/MSの液体クロマトグラフ部と質量分
析部とのインタフェースに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid chromatograph mass spectrometer (hereinafter referred to as "LC / MS"), and more particularly to an interface between a liquid chromatograph unit and a mass spectrometric unit of LC / MS.

【0002】[0002]

【従来の技術】液体クロマトグラフ質量分析装置(LC
/MS)では、液体クロマトグラフ部で分離された成分
をイオン化して質量分析部に導入する。したがって、分
離成分をイオン化するインタフェースが必要である。L
C/MSに一般的に用いられるインタフェースとして
は、近年、エレクトロスプレイインタフェース(ES
I)や大気圧化学イオン化インタフェース(APCI)
等の大気圧下でのイオン化を行う方法が用いられるよう
になっている。一方、これらのインターフェースの後段
に設けられる質量分析計は一般に高真空状態下で用いら
れる。したがって、大気圧イオン化法によるLC/MS
では通常、液体クロマトグラフ部から導入される液体を
大気圧下でイオン化するための大気圧イオン化室と、質
量分析計を内蔵する質量分析室との間に中間排気室を設
けた構成とし、中間排気室とその後段の高真空排気室と
に別々の真空排気系を設けて、前段側から後段側になる
につれて段階的に高真空状態になるようにしてある。図
2はこのようなLC/MSの従来例の概略構成図であ
る。図において、10は液体クロマトグラフ部、20は
質量分析部、30はインタフェース部である。31はエ
レクトロスプレーイオン化部のエレクトロスプレープロ
ーブであり、液体クロマトグラフ部10からのイオン化
試料導入管として機能している。43は大気圧イオン化
室、44は油回転ポンプ(RP)50により粗引排気さ
れる中間排気室、45はイオンを収束するレンズ機構を
備えた第2中間排気室、46は四重極や分析計を内蔵す
る質量分析室であり、ターボ分子ポンプ(TMP)51
により中間排気室44より高真空に維持されている。な
お、第2中間排気室45と質量分析室46とは1つの真
空排気ポンプを共用してもよい。また、第2中間排気室
45と質量分析室46と隔壁で仕切らずに一体としても
よい。つまり、第2中間排気室45は構成上は質量分析
室46に含まれるものでもよい。
2. Description of the Related Art Liquid chromatograph mass spectrometer (LC)
/ MS), the components separated in the liquid chromatograph section are ionized and introduced into the mass spectrometry section. Therefore, an interface for ionizing the separated components is needed. L
In recent years, as an interface generally used for C / MS, an electrospray interface (ES
I) and atmospheric pressure chemical ionization interface (APCI)
For example, a method of performing ionization under atmospheric pressure has been used. On the other hand, mass spectrometers provided after these interfaces are generally used under high vacuum. Therefore, LC / MS by atmospheric pressure ionization method
Usually, an intermediate exhaust chamber is provided between the atmospheric pressure ionization chamber for ionizing the liquid introduced from the liquid chromatograph section at atmospheric pressure and the mass spectrometer containing the mass spectrometer. Separate evacuation systems are provided in the evacuation chamber and the subsequent high-vacuum evacuation chamber, so that a high-vacuum state is obtained in a stepwise manner from the front stage to the rear stage. FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a conventional example of such LC / MS. In the figure, 10 is a liquid chromatograph unit, 20 is a mass analysis unit, and 30 is an interface unit. Reference numeral 31 denotes an electrospray probe of the electrospray ionization unit, which functions as a tube for introducing an ionized sample from the liquid chromatograph unit 10. 43 is an atmospheric pressure ionization chamber, 44 is an intermediate exhaust chamber roughly exhausted by an oil rotary pump (RP) 50, 45 is a second intermediate exhaust chamber provided with a lens mechanism for converging ions, 46 is a quadrupole or an analyzer. It is a mass spectrometry room with a built-in meter, and a turbo molecular pump (TMP) 51
Thus, a higher vacuum is maintained than the intermediate exhaust chamber 44. Note that the second intermediate exhaust chamber 45 and the mass spectrometry chamber 46 may share one vacuum exhaust pump. Further, the second intermediate exhaust chamber 45, the mass spectrometry chamber 46, and the partition may be integrated without being partitioned by the partition. That is, the second intermediate exhaust chamber 45 may be included in the mass spectrometry chamber 46 in terms of configuration.

【0003】大気圧イオン化室43と中間排気室44と
の間は隔壁12で仕切られるとともに、互いにパイプ3
2を介してのみ連通するようになっているので、それぞ
れの室に対して独立の排気系を設けることにより、前段
から後段になるにつれて高真空状態が維持できるように
なっている。
A partition 12 is provided between the atmospheric pressure ionization chamber 43 and the intermediate exhaust chamber 44, and the pipes 3 are connected to each other.
Since the two chambers communicate only with each other, an independent exhaust system is provided for each chamber, so that a high vacuum state can be maintained from the front stage to the rear stage.

【0004】このパイプ32には図示しないヒータ機構
が取り付けてあり、エレクトロスプレープローブ31で
生成された荷電液滴の脱溶媒化を促進するための脱溶媒
化手段として機能する。すなわち、エレクトロスプレー
プローブ31は液体クロマトグラフ部10から送られて
くる試料液体が通過する細管を有し、パイプ32に対向
する側の先端はニードル状にしてあり、細管を通過した
液体がニードル先端のノズル部分から噴出されるように
なっている。そして図示しない高電圧発生回路よりエレ
クトロスプレープローブ31に数KV程度の高電圧が印
加される。このような構造を有することにより液体クロ
マトグラフ部10から送られてくる液体試料は、ニード
ル先端のノズル付近に形成された強い電界によりスプレ
ー状に引き出され、その際、液体試料の一部はイオンや
荷電液滴となってパイプ32に入る。荷電液滴はパイプ
32内でヒータにより加熱されることにより溶媒が蒸発
し、他の粒子との衝突等を経ることによりさらに微小化
してイオン化が促進され、生成されたイオンがパイプ3
2から引き出されて中間排気室44に送られる。
[0004] A heater mechanism (not shown) is attached to the pipe 32 and functions as a desolvation means for accelerating the desolvation of charged droplets generated by the electrospray probe 31. That is, the electrospray probe 31 has a thin tube through which the sample liquid sent from the liquid chromatograph unit 10 passes, and the tip on the side facing the pipe 32 has a needle shape. Nozzles. Then, a high voltage of about several KV is applied to the electrospray probe 31 from a high voltage generating circuit (not shown). With such a structure, the liquid sample sent from the liquid chromatograph unit 10 is drawn out in a spray form by a strong electric field formed near the nozzle at the tip of the needle. At this time, a part of the liquid sample is ionized. And into the pipe 32 as charged droplets. The charged droplets are heated by the heater in the pipe 32 to evaporate the solvent, collide with other particles and the like, and are further miniaturized to promote ionization.
2 and is sent to the intermediate exhaust chamber 44.

【0005】中間排気室44において、パイプ32が取
り付けてある壁面12と対向する壁面13にはちょうど
パイプ32と同軸上にスキマ14が形成されていて、パ
イプ32を通過してきた粒子がそのまままっすぐ進行す
るとスキマ14を通過して第2中間排気室45に入り込
めるようになっている。 このようにして、パイプ32
を通過する際に脱溶媒化、イオン化が促進された上でイ
オンが中間排気室44、第2中間排気室45を介して質
量分析室46に導入されることになる。
In the intermediate exhaust chamber 44, a gap 14 is formed on the wall 13 opposite to the wall 12 on which the pipe 32 is mounted, just coaxially with the pipe 32, and the particles passing through the pipe 32 travel straight as it is. Then, it is possible to pass through the gap 14 and enter the second intermediate exhaust chamber 45. Thus, the pipe 32
When the solvent passes through, desolvation and ionization are promoted, and ions are introduced into the mass spectrometry chamber 46 via the intermediate exhaust chamber 44 and the second intermediate exhaust chamber 45.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記のLC/MSで
は、パイプ32とスキマ14が同軸的に配置されている
のでパイプを通過したイオンのうち直進するイオンはそ
のままスキマを通過して質量分析室に入り込む。しかし
ながら、このときにイオンのみならず中性粒子までもが
スキマを通過するため、これら中性粒子がノイズとなっ
て測定感度を悪化させていた。このノイズを低減する目
的で、パイプの軸線とスキマの軸線とを異ならせること
もある。しかし、この場合、中性粒子がスキマを通過す
る量を低減することはできるのであるが、同時に分析対
象となるイオンの通過量も低減することとなり、結果と
して、高感度な分析が行えないこととなった。
In the above-mentioned LC / MS, since the pipe 32 and the gap 14 are coaxially arranged, of the ions passing through the pipe, ions traveling straight ahead pass through the gap as they are, and the mass spectrometry room. Get into it. However, at this time, not only the ions but also the neutral particles pass through the gap, so that these neutral particles become noise and deteriorate the measurement sensitivity. In order to reduce this noise, the axis of the pipe may be different from the axis of the gap. However, in this case, although the amount of neutral particles passing through the gap can be reduced, the amount of ions to be analyzed also decreases at the same time, and as a result, high-sensitivity analysis cannot be performed. It became.

【0007】したがって、本発明はこのような問題を解
決し、イオンのスキマ通過量は低減させず、中性粒子の
スキマ通過量のみを低減することができるLC/MSを
提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an LC / MS capable of solving such a problem and reducing only the amount of neutral particles passing without reducing the amount of ions passing through the space. I do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
になされた本発明の液体クロマトグラフ質量分析装置
(LC/MS)は、大気圧イオン化室で生成したイオン
を、中間排気室を介して高真空状態に維持された質量分
析室に導いて検出するLC/MSにおいて、大気イオン
化室と中間排気室との間の隔壁に設けられ、互いの室間
を連通するパイプと、中間排気室と質量分析室との間に
ある隔壁に設けたスキマとを有し、前記パイプと前記ス
キマとは中間排気室内で対向するとともに同軸的に配設
され、かつ、中間排気室内のパイプ端面は傾斜するよう
に切り出され、さらにこの傾斜面側に偏って真空排気が
されるように中間排気室の真空排気手段が設けられたこ
とを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION A liquid chromatograph mass spectrometer (LC / MS) according to the present invention, which has been made to solve the above-mentioned problem, converts ions generated in an atmospheric pressure ionization chamber through an intermediate exhaust chamber. In LC / MS for detection by guiding to a mass spectrometry chamber maintained in a high vacuum state, a pipe provided on a partition wall between an atmospheric ionization chamber and an intermediate exhaust chamber and communicating between the chambers; A gap provided in a partition wall between the mass spectrometer and the pipe, and the pipe and the gap are disposed coaxially and opposed to each other in the intermediate exhaust chamber, and a pipe end surface in the intermediate exhaust chamber is inclined. And an evacuation means for the intermediate evacuation chamber is provided so that the evacuation is performed on the inclined surface side.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明のLC/MSでは、中間排
気室内のパイプ端面が斜めにカットされ、このカット面
側が強く真空排気されるように排気系が構成されてい
る。したがって、パイプを流れてきた粒子はカット面側
にやや偏って流れることになる。このとき、イオンは電
気的にスキマー側に引かれているので、そのまま直進し
やすいが、中性粒子は電気的な力を受けないので、真空
排気側に偏ることとなり、結果として、中性粒子につい
ては中間室内で斜め方向に進行する一方、イオンは電気
的力によりそのままスキマ側に進行する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In an LC / MS according to the present invention, an exhaust system is configured such that a pipe end face in an intermediate exhaust chamber is obliquely cut, and the cut surface side is strongly evacuated. Therefore, the particles that have flowed through the pipe flow with a slight bias toward the cut surface. At this time, since the ions are electrically attracted to the skimmer side, the ions easily travel straight, but the neutral particles are not subjected to the electric force and are biased toward the evacuation side. About, the ions proceed obliquely in the intermediate chamber, while the ions directly travel to the gap side by the electric force.

【0010】したがって、イオンのみがスキマを通過
し、ほとんどの中性粒子がスキマを通過させないように
することができる。
Therefore, it is possible to prevent only the ions from passing through the gap and prevent most of the neutral particles from passing through the gap.

【0011】以下、本発明の実施例を図を用いて説明す
る。図1は本発明の一実施例を示すLC/MSの断面構
成図である。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of an LC / MS showing one embodiment of the present invention.

【0012】なお、図において従来例と同じものについ
ては図2と同符号を付することにより説明を省略する。
In the drawings, the same components as those in the conventional example are denoted by the same reference numerals as in FIG. 2 and their description is omitted.

【0013】図に示すように大気圧イオン化室43と中
間排気室44との間の隔壁12には図示しないヒータが
取り付けられたパイプ32が設けられていて、大気圧イ
オン化室43と中間排気室44とはこのパイプ32によ
り連通されている。
As shown in the drawing, a pipe 32 to which a heater (not shown) is attached is provided on the partition wall 12 between the atmospheric pressure ionization chamber 43 and the intermediate exhaust chamber 44, and the atmospheric pressure ionization chamber 43 and the intermediate exhaust chamber are provided. 44 is communicated with this pipe 32.

【0014】パイプ32の大気圧イオン化室43側の端
部は従来例と同じくエレクトロスプレープローブ31に
対向するようにしてある。一方、パイプ32の中間排気
室44側の端部は斜めに切り出されて、傾斜面32aを
形成している。そして、この傾斜面32aは中間排気室
44の真空ポンプの排気口側に向くように取り付ける。
このようにすることにより、パイプ32を通過してきた
中性粒子が排気口側に偏って流れやすくなるようにして
おく。なお、傾斜面32a近傍に排気のためのガイドと
なるダクトを設けて、偏った排気が行われやすいように
してもよい。この場合は、排気ガイドとなるダクトの開
口に対して傾斜面32aが対向するにしておく。ただ
し、電気的にイオンがスキマへ引かれるのを妨害しない
ようにダクトにはガラスなどの非導電性材料を用いる。
The end of the pipe 32 on the side of the atmospheric pressure ionization chamber 43 faces the electrospray probe 31 as in the conventional example. On the other hand, the end of the pipe 32 on the side of the intermediate exhaust chamber 44 is cut out obliquely to form an inclined surface 32a. The inclined surface 32a is attached to the intermediate exhaust chamber 44 so as to face the exhaust port of the vacuum pump.
By doing so, the neutral particles that have passed through the pipe 32 are easily biased toward the exhaust port side. Note that a duct serving as a guide for exhaust may be provided near the inclined surface 32a to facilitate uneven exhaust. In this case, the inclined surface 32a faces the opening of the duct serving as the exhaust guide. However, a non-conductive material such as glass is used for the duct so as not to hinder the ions from being electrically attracted to the gap.

【0015】このような構成のLC/MSによれば、液
体クロマトグラフ部10から送られてくる液体試料は、
エレクトロスプレープローブ31のニードル先端のノズ
ル付近に形成された強い電界によりスプレー状に引き出
され、その際、液体試料の一部はイオンや荷電液滴とな
ってパイプ32に入る。荷電液滴はパイプ32内で図示
しないヒータにより加熱されることにより溶媒が蒸発
し、他の粒子との衝突等を経ることによりさらに微小化
してイオン化が促進され、生成されたイオンがパイプ3
2から引き出されて中間排気室44に送られる。このと
き、イオンとともに中性粒子も中間排気室44に導入さ
れる。ここで、イオンは電気的にスキマー側に引かれて
いくので、そのまま直進しやすいが、中性粒子は電気的
な力を受けないので、真空排気口側に偏って移動するこ
ととなり、結果として、中性粒子については中間排気室
44内で斜め方向に進行するため、スキマを通過しなく
なる。このようにして、中性粒子以外のイオンのみがス
キマを通過して質量分析室46に送られ、四重極にて質
量分離された上で図示しない検出器により検出される。
本実施例では質量分析室46の他に第2中間排気室45
を有していたが、もちろん、第2中間排気室45と質量
分析室46を1つとしてもよい。つまり、第2中間排気
室45と質量分析室46とを有するときは、第2中間排
気室45と質量分析室46との全体で本発明にいう質量
分析室を構成するものである。
According to the LC / MS having such a configuration, the liquid sample sent from the liquid chromatograph unit 10 is:
A strong electric field formed near the nozzle at the tip of the needle of the electrospray probe 31 causes the liquid to be drawn out in a spray form. At this time, a part of the liquid sample enters the pipe 32 as ions or charged droplets. The charged droplets are heated by a heater (not shown) in the pipe 32 to evaporate the solvent, and further collide with other particles to be further miniaturized to promote ionization.
2 and is sent to the intermediate exhaust chamber 44. At this time, neutral particles are also introduced into the intermediate exhaust chamber 44 together with the ions. Here, the ions are electrically attracted to the skimmer side, so it is easy to go straight, but the neutral particles do not receive the electric force, so they move toward the vacuum exhaust port side, and as a result, The neutral particles travel obliquely in the intermediate exhaust chamber 44 and do not pass through the gap. In this way, only ions other than neutral particles pass through the gap and are sent to the mass spectrometry chamber 46, where they are separated by mass at the quadrupole and detected by a detector (not shown).
In the present embodiment, in addition to the mass spectrometry chamber 46, a second intermediate exhaust chamber 45
However, as a matter of course, the second intermediate exhaust chamber 45 and the mass analysis chamber 46 may be provided as one. That is, when the second intermediate exhaust chamber 45 and the mass spectrometry chamber 46 are provided, the second intermediate exhaust chamber 45 and the mass spectrometry chamber 46 together constitute a mass spectrometry chamber according to the present invention.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上、説明したように本発明のLC/M
Sでは、中間排気室側のパイプ端面を傾斜させるととも
に、この傾斜面側に偏って真空排気するようにしたの
で、中間排気室において電気的に引かれない中性粒子は
スキマを通過せず、イオンのみがスキマを通過させるこ
とができて、中性粒子の存在に起因するノイズが大幅に
低減させることができる。特に傾斜するように切り出さ
れたパイプを用い、この傾斜面を真空排気側に向けるだ
けでよいので、簡単な構成で中性粒子を除去することが
できるので、、パイプの軸合わせなどの作業も容易とな
って装置の調整等も簡単に行える。
As described above, as described above, the LC / M according to the present invention is used.
In S, the pipe end face on the intermediate exhaust chamber side is inclined, and the vacuum exhaust is performed on the inclined surface side, so that neutral particles that are not electrically drawn in the intermediate exhaust chamber do not pass through the gap, Only ions can pass through the gap, and noise due to the presence of neutral particles can be significantly reduced. In particular, it is only necessary to use a pipe cut so as to be inclined and turn this inclined surface toward the vacuum exhaust side, so that neutral particles can be removed with a simple configuration, so work such as pipe alignment can also be performed It becomes easy, and adjustment of the device can be easily performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例である液体クロマトグラフ質
量分析装置の断面構成図。
FIG. 1 is a sectional configuration view of a liquid chromatograph mass spectrometer according to one embodiment of the present invention.

【図2】従来からの液体クロマトグラフ質量分析装置の
断面構成図。
FIG. 2 is a cross-sectional configuration diagram of a conventional liquid chromatograph mass spectrometer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10:液体クロマトグラフ部 12、13:隔壁 20:質量分析部 30:インタフェース部 31:エレクトロスプレープローブ 32:パイプ 32a:傾斜面 43:大気圧イオン化室 44:中間排気室 45:第2中間排気室 46:質量分析室 50:ロータリポンプ 10: Liquid chromatograph section 12, 13: Partition wall 20: Mass spectrometry section 30: Interface section 31: Electrospray probe 32: Pipe 32a: Inclined surface 43: Atmospheric pressure ionization chamber 44: Intermediate exhaust chamber 45: Second intermediate exhaust chamber 46: Mass spectrometry room 50: Rotary pump

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 大気圧イオン化室で生成したイオンを、
中間排気室を介して高真空状態に維持された質量分析室
に導いて検出する液体クロマトグラフ質量分析装置にお
いて、大気圧イオン化室と中間排気室との間の隔壁に設
けられ、互いの室間を連通するパイプと、前記中間排気
室と質量分析室との間にある隔壁に設けたスキマとを有
し、前記パイプと前記スキマとは前記中間排気室内で対
向するとともに同軸的に配設され、かつ、前記中間排気
室内のパイプ端面は傾斜するように切り出され、さらに
この傾斜面側に偏って真空排気がなされるように前記中
間排気室の真空排気手段が設けられたことを特徴とする
液体クロマトグラフ質量分析装置。
1. An ion generated in an atmospheric pressure ionization chamber,
In a liquid chromatograph mass spectrometer that detects and leads to a mass spectrometry chamber maintained in a high vacuum state through an intermediate exhaust chamber, the liquid chromatograph mass spectrometer is provided on a partition wall between the atmospheric pressure ionization chamber and the intermediate exhaust chamber, and is provided between the chambers. And a gap provided in a partition wall between the intermediate exhaust chamber and the mass spectrometry chamber, wherein the pipe and the gap are coaxially arranged facing each other in the intermediate exhaust chamber. In addition, the end face of the pipe in the intermediate exhaust chamber is cut out so as to be inclined, and a vacuum exhaust means of the intermediate exhaust chamber is provided so that the vacuum exhaust is performed on the inclined surface side. Liquid chromatograph mass spectrometer.
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