JPH10148515A - Apparatus and method for inspection of image - Google Patents

Apparatus and method for inspection of image

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JPH10148515A
JPH10148515A JP30794296A JP30794296A JPH10148515A JP H10148515 A JPH10148515 A JP H10148515A JP 30794296 A JP30794296 A JP 30794296A JP 30794296 A JP30794296 A JP 30794296A JP H10148515 A JPH10148515 A JP H10148515A
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image
inspection
defect
result
cap
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Zenzo Yamaguchi
善三 山口
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an apparatus and a method n which the kind, the generation place and the like of a defect can be investigated easily by a method wherein inspection results, about a plurality of objects to be inspected, which are acquired by an image processing means, are totalized and the necessary part of their statistical result is displayed in a definite form. SOLUTION: Caps 10 as objects to be inspected are conveyed automatically to an imaging region by a CCD camera 11, and they are detected by a sensor so as to be imaged automatically. Image signals on surfaces of the imaged caps 10 are sent sequentially to an image processor 12. Every image signal of every cap 10 is A/D-converted, a noise is removed by an image filter, it is then binarized by a prescribed threshold value, a particle size is measured on the basis of it, and the existence of a defect and its kind are judged on the basis of its result. When the defect is detected, the image signal in the imaging operation of every cap 10 is recorded in an MO disk inside the image processor 12 together with position information. After its processing operation has been finished, an inspection result is displayed on a CRT screen at a computer. In this manner, inspection results of the caps 10 in a plurality are totalized so as to be displayed, and a statistical result can be investigated.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象物の表面
を撮像し、その画像について画像処理を施すことによ
り、検査対象物の表面の欠陥を検査する画像検査装置及
び画像検査方法に関連する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image inspection apparatus and an image inspection method for inspecting the surface of an inspection object for defects by imaging the surface of the inspection object and performing image processing on the image. .

【0002】[0002]

【従来の技術】画像処理の手法を用いた画像検査装置
は、飲食品容器のキャップの品質検査などに適用されて
いる。かかる装置を用いると、多量の製品の検査を自動
的に行うことができ、検査工程を効率化することができ
る。この手法による画像検査装置は、CCDカメラなど
で検査対象物であるキャップ上面の画像を撮像し、この
画像信号をディジタル化し、適当な閾値で画像を二値化
する。キャップ上面に汚れやきずなどの欠陥がある場合
には、かかる欠陥はこの二値画像において連結領域(以
下では、「島」ともいう。)として表示される。この連
結領域を見いだすことによって、欠陥の存在を検査し、
この連結領域の面積(画素数)、形状などからその欠陥
の大きさ、形状などを知ることができる。
2. Description of the Related Art An image inspection apparatus using an image processing method is applied to quality inspection of caps of food and beverage containers. With such an apparatus, a large number of products can be automatically inspected, and the inspection process can be made more efficient. An image inspection apparatus based on this method captures an image of the upper surface of the cap, which is an inspection target, using a CCD camera or the like, digitizes this image signal, and binarizes the image with an appropriate threshold. If there is a defect such as dirt or a flaw on the upper surface of the cap, the defect is displayed as a connected area (hereinafter, also referred to as an “island”) in the binary image. By finding this connection area, the existence of defects is inspected,
The size and shape of the defect can be known from the area (the number of pixels) and the shape of the connection region.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の画像
検査装置は、製品に欠陥があるかどうか、またその欠陥
がどういう種類の欠陥であるかを自動で検査していた
が、欠陥が見つかった場合には、単にその製品をライン
から排除するだけであった。しかし、見いだされた欠陥
に関する詳細な情報を集積しておけば、これを利用し
て、製造工程の問題点を知る手段としても役立たせるこ
とができる。
By the way, the conventional image inspection apparatus automatically inspects whether there is a defect in the product and what kind of defect the defect is, but the defect is found. In some cases, the product was simply removed from the line. However, if detailed information on the found defects is accumulated, the information can be used as a means for knowing a problem in the manufacturing process.

【0004】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、製品を検査して発見されたた欠陥に関する情報
を利用して、製造工程の問題点を見いだすのに利用でき
る画像検査装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made based on the above circumstances, and provides an image inspection apparatus which can be used to find a problem in a manufacturing process by using information on a defect found by inspecting a product. The purpose is to do.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決しよう
とするための請求項1記載の発明である画像検査装置
は、検査対象物の画像を取り込む撮像手段と、前記撮像
手段から出力される画像信号に対し所定の画像処理を行
って検査対象物における欠陥の有無及びその種類を検査
する画像処理手段と、前記画像処理手段によって得られ
た検査結果に基づいて、複数の前記検査対象物の検査結
果を集計し統計結果を得る検査結果集計手段と、前記検
査結果集計手段によって得られた統計結果のうちの必要
な部分を所定の形式で表示する画像表示手段とを具備す
ることを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an image inspection apparatus for capturing an image of an object to be inspected, and an image output from the image capturing unit. An image processing unit that performs predetermined image processing on the image signal to inspect for the presence or absence and the type of a defect in the inspection object, and a plurality of inspection objects based on an inspection result obtained by the image processing unit. It is characterized by comprising: an inspection result totalizing means for totalizing inspection results to obtain a statistical result; and an image display means for displaying a required part of the statistical results obtained by the inspection result totaling means in a predetermined format. I do.

【0006】請求項5記載の発明である画像検査方法
は、撮像手段によって取り込まれた検査対象物の画像に
対して所定の画像処理を施して前記検査対象物における
欠陥の有無及びその種類を検査し、その検査結果に基づ
いて複数の前記検査対象物についての検査結果を集計
し、集計して得られた統計結果のうちの必要な部分を所
定の形式で表示することを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an image inspection method, wherein a predetermined image processing is performed on an image of an inspection object captured by an imaging means to inspect the presence or absence of a defect and the type of the defect in the inspection object. Then, based on the inspection results, the inspection results of the plurality of inspection objects are totaled, and a required part of the statistical results obtained by the totaling is displayed in a predetermined format.

【0007】本発明は、画像処理によって得られた検査
結果に基づいて複数の検査対象物についての検査結果を
集計して統計結果を得て、更にこの統計結果のうちの必
要な部分を所定の形式で表示することにより、統計結果
を容易に検討することが可能となり、この検討の結果、
多く発生する欠陥の種類、検査対象物のどこに多くの欠
陥が発生するかなどの情報が得られる。
According to the present invention, based on the inspection results obtained by the image processing, the inspection results of a plurality of inspection objects are totaled to obtain a statistical result, and a necessary part of the statistical result is determined by a predetermined part. By displaying in the format, it is possible to easily examine the statistical results, as a result of this review,
Information such as the type of a defect that frequently occurs and where a large number of defects occur in an inspection object can be obtained.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、本発明の
一実施形態について説明する。図1は本実施形態の画像
検査装置の概略構成図、図2は画像処理装置における欠
陥の有無及びその種類を判定する手順を示したフローチ
ャートである。本実施形態の画像検査装置は、飲料容器
として使われているペットボトルのキャップの上面に、
製造過程において生じるおそれのある汚れ、きず、形状
不良、突起といった欠陥についての検査を行うものであ
る。図1に示すように本実施形態の画像検査装置は、キ
ャップ上面の画像を撮像するCCDカメラ11、CCD
カメラ11によって得られた画像信号に対して所定の画
像処理を行い、欠陥の有無及びその種類を判定する画像
処理装置12、キャップ上面の画像を表示するモニタ1
3、画像処理装置12の動作を制御して検査全体を管理
し画像処理装置12において行われた検査の結果を集計
して統計結果を得るとともに、検査員がこれを操作する
ことによって統計結果の詳細な内容を参照することがで
きるコンピュータ14からなる。尚、画像処理装置12
の内部には光磁気(MO)ディスクが内蔵されており、
ここにキャップの画像データを記憶し、必要に応じてモ
ニタ13にその画像を表示させることができる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of the image inspection apparatus of the present embodiment, and FIG. 2 is a flowchart showing a procedure for determining the presence or absence of a defect and its type in the image processing apparatus. The image inspection apparatus according to the present embodiment has an upper surface of a cap of a plastic bottle used as a beverage container,
The inspection is performed for defects such as dirt, flaws, shape defects, and protrusions that may occur in the manufacturing process. As shown in FIG. 1, an image inspection apparatus according to the present embodiment includes a CCD camera 11 for capturing an image of
An image processing device 12 that performs predetermined image processing on an image signal obtained by the camera 11 to determine whether or not there is a defect and its type, and a monitor 1 that displays an image of the upper surface of the cap.
3. The operation of the image processing apparatus 12 is controlled to manage the entire inspection, and the results of the inspections performed in the image processing apparatus 12 are totaled to obtain a statistical result. It comprises a computer 14 capable of referring to detailed contents. The image processing device 12
Has a magneto-optical (MO) disk inside,
Here, the image data of the cap is stored, and the image can be displayed on the monitor 13 as needed.

【0009】図1において、検査対象物であるキャップ
10がCCDカメラ11の撮像領域に自動的に搬送され
てくると、センサ(不図示)がそれを検知する。CCD
カメラ11はその旨の信号を受け取ると同時に撮像動作
を開始する。本実施形態では、キャップを1分当たり約
1700個という速度で搬送することとし、撮像動作も
これに対応した高速動作とする。尚、本実施形態のCC
Dカメラ11は、撮像視野φ34mm、分解能0.07
mm/picのものを用いる。
In FIG. 1, when a cap 10 to be inspected is automatically conveyed to an imaging area of a CCD camera 11, a sensor (not shown) detects this. CCD
The camera 11 starts the imaging operation at the same time as receiving the signal to that effect. In the present embodiment, the caps are transported at a speed of about 1700 caps per minute, and the imaging operation is a high-speed operation corresponding thereto. The CC of the present embodiment
The D camera 11 has an imaging field of view of φ34 mm and a resolution of 0.07.
mm / pic.

【0010】CCDカメラ11によって撮像されたキャ
ップ上面の画像信号は、順次画像処理装置12に送られ
る。画像処理装置12に送られた画像信号は、それぞれ
のキャップの画像信号ごとに以下の処理がなされる。ま
ず、画像信号はアナログ信号からディジタル信号にA/
D変換され、例えば256階調のディジタル画像信号と
される。そして、画像フィルタによってノイズが除去さ
れたあと、所定の閾値で二値化される。画像処理装置1
2は、更に、二値化された画像信号に基づいて粒度計測
を行う。具体的には、連結領域(もしくは「島」)への
ラベル付け、ラベルが付けられた島の数の算出、および
各島の面積値の算出を行う。ここで、島の面積は、その
島を構成する画素の数として求められる。
Image signals of the upper surface of the cap captured by the CCD camera 11 are sequentially sent to an image processing device 12. The image signal sent to the image processing device 12 is subjected to the following processing for each image signal of each cap. First, an image signal is converted from an analog signal to a digital signal by A / A.
It is D-converted into a digital image signal of, for example, 256 gradations. Then, after noise is removed by the image filter, binarization is performed using a predetermined threshold. Image processing device 1
2 further performs a particle size measurement based on the binarized image signal. Specifically, labeling of the connected region (or “island”), calculation of the number of labeled islands, and calculation of the area value of each island are performed. Here, the area of the island is obtained as the number of pixels constituting the island.

【0011】画像処理装置12は、この粒度計測の結果
に基づいて、図2に示す手順に従って欠陥の有無及びそ
の種類を判定する。図2において、step1の「画像処理
結果算出」は、上記の粒度計測に対応する。画像処理結
果が算出されたら、まず、キャップに汚れがないかどう
か(step2)、きずはないかどうか(step4)、形状不
良ではないかどうか(step6)、突起がないかどうか
(step8)を、この順番で順次判定する。欠陥があると
判定した場合には、その種類に応じて、その欠陥をカウ
ントしてゆく(step3,step5,step7,step9)。こ
れらの欠陥が一つでも見つかった場合には、そのキャッ
プの元の画像、すなわちCCDカメラ11が撮像した画
像を画像処理装置12内のMOディスクに記録してお
く。このとき、それぞれの欠陥がキャップのどの位置に
見つかったかとという情報も記録しておく。
The image processing apparatus 12 determines the presence or absence of a defect and the type of the defect according to the procedure shown in FIG. 2 based on the result of the particle size measurement. In FIG. 2, “calculation of image processing result” in step 1 corresponds to the above-described particle size measurement. When the image processing result is calculated, first, whether the cap is free from dirt (step 2), whether there is any flaw (step 4), whether the cap is not defective (step 6), and whether there is no protrusion (step 8), The determination is made sequentially in this order. If it is determined that there is a defect, the defect is counted according to the type (step 3, step 5, step 7, step 9). If any of these defects is found, the original image of the cap, that is, the image captured by the CCD camera 11 is recorded on the MO disk in the image processing device 12. At this time, information indicating where each defect is found in the cap is also recorded.

【0012】一方、「汚れ」、「きず」、「形状不
良」、「突起」のいずれにもカウントされていない場合
には(step10)、正常品としてカウントする(step1
1)。以上の処理が終了したら、その検査結果をコンピ
ュータ14のCRT画面上に表示する(step12)。図
3乃至図8は、上記の検査結果を表示するための画面構
成を示した図である。上記の検査は1ロット50個のキ
ャップを単位として検査を行う。図3は、あるロットの
50個のキャップの検査結果の概略を表示したものであ
り、1番から50番までの各数字は、1ロットに含まれ
る各キャップに対応している。斜線を施した数字は、そ
の数字に対応するキャップに欠陥が見つかったことを意
味しており、実際のCRT画面上では、それぞれの欠陥
に応じた色(例えば、赤色、青色、黄色、緑色の4色と
する。)で表示される。一つのキャップに対して複数種
類の欠陥が見つかった場合には、最初に検出した欠陥名
に合わせた色を表示するものとする。
On the other hand, if none of "dirt", "flaw", "defective shape", and "projection" is counted (step 10), it is counted as a normal product (step 1).
1). When the above processing is completed, the inspection result is displayed on the CRT screen of the computer 14 (step 12). 3 to 8 are diagrams showing screen configurations for displaying the above inspection results. The above inspection is performed in units of 50 caps per lot. FIG. 3 shows an outline of inspection results of 50 caps of a certain lot, and each number from 1 to 50 corresponds to each cap included in one lot. A hatched number means that a defect was found in the cap corresponding to the number, and on the actual CRT screen, a color (for example, red, blue, yellow, or green) corresponding to each defect was found. 4 colors). If a plurality of types of defects are found for one cap, the color corresponding to the name of the first detected defect is displayed.

【0013】図3では、6番、23番、24番、26
番、49番の数字に斜線が施されており、これらの番号
のキャップに欠陥が見つかったことを示している。図3
の画面で、「TOTAL」の欄はキャップが全部で50
個であることを示し、「正常品」の欄は全部で50個の
キャップのうち欠陥のない正常なものが45個であるこ
とを示している。また、「汚れ」、「きず」、「形状」
(形状不良を意味する)、「突起」の各欄は、見つかっ
たそれぞれの種類の欠陥の数が、「汚れ」が2つで、そ
の他の欠陥が1つずつであったことを示している。ま
た、このロットの前後のロットについての検査結果を表
示させたい場合には、コンピュータ14のキーボード上
で「F1」キー又は「F2」キーを押す。
In FIG. 3, Nos. 6, 23, 24, 26
Numbers 49 and 49 are shaded to indicate that caps with these numbers have defects. FIG.
In the screen of "TOTAL", the cap is 50
The column of “normal products” indicates that 45 of the 50 caps have no defect and are normal. In addition, "dirt", "flaw", "shape"
Each column of “protrusion” and “projection” indicates that the number of defects of each type found was “dirty” and two other defects, respectively. . To display the inspection results of the lots before and after this lot, the user presses the “F1” key or the “F2” key on the keyboard of the computer 14.

【0014】図3の画面上で、欠陥の見つかったキャッ
プの番号を選択すると、そのキャップについて見つかっ
た欠陥の詳細を表示させることができる。番号の選択
は、マウスやカーソルで行うことができるが、CRTの
表面に透明なタッチパネルを設けて、指で希望の番号に
触れるだけで欠陥の詳細が表示されるようにしてもよ
い。
When the number of a cap where a defect is found is selected on the screen shown in FIG. 3, details of the defect found for the cap can be displayed. The number can be selected with a mouse or a cursor. Alternatively, a transparent touch panel may be provided on the surface of the CRT, and the details of the defect may be displayed by simply touching a desired number with a finger.

【0015】図4は、検査した50個のキャップのうち
6番のキャップについての欠陥の詳細を表示させた画面
を示している。図4の画面では、まず最上欄に検査の時
刻が表示され、その下にそのキャップについて見つかっ
た欠陥の欠陥名が表示されている。各欠陥名の右側に
は、その欠陥に関連する情報が表示される。すなわち、
「汚れ」については、設定された二値化の閾値が256
階調のうちの20階調であり、見つかった汚れが2個で
ある。「きず」については、設定された閾値が20階調
であり、きずの長さは2画素分であり、きずの個数は1
個である。「形状不良」については、設定された閾値は
20階調であり、変形度は2%である。そして、「突
起」については、設定された閾値は20階調であり、角
度は2°であり、個数は2個である。また、必要がある
場合には、画像処理装置12の内部のMOディスクに記
録されている6番のキャップの実際の画像をモニタ13
上に表示させることもできる。
FIG. 4 shows a screen on which details of the defect of the sixth cap among the 50 inspected caps are displayed. In the screen of FIG. 4, first, the inspection time is displayed in the uppermost column, and the defect name of the defect found for the cap is displayed below the inspection time. On the right side of each defect name, information related to the defect is displayed. That is,
As for “dirt”, the set binarization threshold is 256.
20 of the gradations, and two stains were found. As for “flaw”, the set threshold is 20 gradations, the length of the flaw is two pixels, and the number of flaws is 1
Individual. As for “shape failure”, the set threshold value is 20 gradations, and the degree of deformation is 2%. For the “projections”, the set threshold value is 20 gradations, the angle is 2 °, and the number is “2”. If necessary, an actual image of the sixth cap recorded on the MO disk inside the image processing device 12 is displayed on the monitor 13.
It can also be displayed above.

【0016】図4よりも更に詳細な検査データが必要な
場合には、図4の画面上で上記と同様の方法で欠陥名を
選択する。図5は、図4の画面上で「汚れ」を選択した
ときの画面を示している。図5の画面には、見つかった
二つの「汚れ」について、それぞれの「左上座標」、
「右下座標」、「中心座標」、「面積」を示す具体的な
数値が表示される。これによって、汚れの位置、大き
さ、それに大体の形状を知ることができる。他の欠陥に
ついても、図4の画面上で希望の欠陥種類を選択するこ
とによって、同様の画面を表示させることができる。
尚、図5の画面では一例として「左上座標」、「右下座
標」、「中心座標」、「面積」を表示することとした
が、「左下座標」、「右上座標」を併せて表示するよう
にしてもよい。
If more detailed inspection data is required than in FIG. 4, a defect name is selected on the screen of FIG. 4 in the same manner as described above. FIG. 5 shows a screen when "dirt" is selected on the screen of FIG. The screen of FIG. 5 shows, for each of the two found “dirts”, the respective “upper left coordinates”,
Specific numerical values indicating “lower right coordinate”, “center coordinate”, and “area” are displayed. Thus, the position, size, and approximate shape of the dirt can be known. Similar screens can be displayed for other defects by selecting a desired defect type on the screen of FIG.
In the screen of FIG. 5, "upper left coordinate", "lower right coordinate", "center coordinate", and "area" are displayed as an example, but "lower left coordinate" and "upper right coordinate" are also displayed. You may do so.

【0017】図6(a)は、図5の表示内容をグラフィ
カルに表示させた画面である。すなわち、図5に表示さ
れている二つの汚れが、実際のキャップ上面のどの位置
にどのような大きさ、形で存在しているかが分かるよう
に表示される。そして、図5の「番号」の1番又は2番
を選択すると、図6(b)に示すように対応する欠陥の
画像上に位置表示カーソル(図6(b)では「×」印で
表す。)が移動する。あるいは、番号を選択することに
よって、その欠陥部分の色を変えるようにしてもよい。
欠陥の種類が形状不良の場合については、本来の形状か
らどの部分がどの程度変形しているかが分かるように、
標準品の画像と重ね合わせて形状不良が生じた部分を誇
張して表示させてもよい。
FIG. 6A is a screen that graphically displays the display contents of FIG. That is, the two dirts shown in FIG. 5 are displayed in such a manner that it is possible to know where and what size and shape the two dirts actually exist on the upper surface of the cap. Then, when No. 1 or No. 2 of “No.” in FIG. 5 is selected, a position display cursor (in FIG. 6B, represented by a “×” mark) on the image of the corresponding defect as shown in FIG. .) Moves. Alternatively, the color of the defective portion may be changed by selecting a number.
When the type of defect is a shape defect, to understand which part is deformed and how much from the original shape,
A portion where a shape defect has occurred may be exaggerated and displayed by superimposing the image on a standard product.

【0018】図7は、ある一定の数のキャップについて
検査した結果を集計してまとめた統計結果を表示する画
面を示している。図7の画面では、「汚れ」、「き
ず」、「形状不良」、「突起」の各欠陥が一つずつあっ
たことを示している。これを見ることによって、その製
造ラインではどういう種類の欠陥が多いかという情報が
得られる。図8は、図7の統計結果に基づいて、見つか
った欠陥(同図では「×」印で示す。)のすべてを種類
ごとにキャップの上に重ねて表示した画像である。この
ように表示すると、その欠陥がキャップのどの位置に発
生したのかが分かる。これにより、例えばキャップの特
定の位置に同じ種類の欠陥が発生することが分かれば、
製造工程の特定の場所に問題があるかもしれないといっ
た予測をすることが可能となり、製造工程の改善に役立
てることができる。
FIG. 7 shows a screen for displaying a statistical result in which the inspection results of a certain number of caps are totaled and summarized. The screen of FIG. 7 shows that there is one defect each of “dirt”, “flaw”, “defective shape”, and “projection”. By looking at this, it is possible to obtain information on what kind of defects are frequently present in the production line. FIG. 8 is an image in which all the found defects (indicated by “x” in FIG. 7) are displayed on the cap by type, based on the statistical results of FIG. With such a display, it is possible to know at which position of the cap the defect has occurred. By this, for example, if it is found that the same type of defect occurs at a specific position of the cap,
It is possible to make predictions that there may be a problem at a specific location in the manufacturing process, which can be used to improve the manufacturing process.

【0019】尚、本発明は上記実施形態に限定されるこ
とはなく、その要旨の範囲内で種々の変更が可能であ
る。上記実施形態では、本発明をペットボトルのキャッ
プ上面の欠陥検査に適用したが、本発明の検査対象物は
ペットボトルのキャップには限られず、種々の検査対象
物に適用することができる。一例として、研磨や物理的
・化学的な検査等が済んで最終的に出荷する直前の半導
体ウェハの欠陥検査に本発明を適用すれば、半導体ウェ
ハの製造工程における問題点を発見し、その改善に役立
てることができる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made within the scope of the invention. In the above embodiment, the present invention is applied to the defect inspection of the upper surface of the cap of the PET bottle, but the inspection object of the present invention is not limited to the cap of the PET bottle, and can be applied to various inspection objects. As an example, if the present invention is applied to a defect inspection of a semiconductor wafer immediately before final shipment after polishing, physical / chemical inspection, etc., a problem in a semiconductor wafer manufacturing process is found and the problem is improved. Can help.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、画
像処理によって得られた検査結果に基づいて複数の検査
対象物についての検査結果を集計し統計結果を得て、更
にこの統計結果のうちの必要な部分を所定の形式で表示
することにより、統計結果を容易に検討することが可能
となり、この検討の結果、多く発生する欠陥の種類、検
査対象物のどこに多くの欠陥が発生するか、欠陥の発生
した時刻などの情報を得ることができるので、これらの
情報を基に検査対象物の製造工程に問題がないかどう
か、あるとすればどこに問題があるかといったことを知
る手掛かりとなり、製造工程の改善に役立つ画像検査装
置及び画像検査方法を提供することができる。
As described above, according to the present invention, the inspection results for a plurality of inspection objects are totaled based on the inspection results obtained by the image processing, and the statistical results are obtained. By displaying the necessary parts in a predetermined format, it is possible to easily examine the statistical results, and as a result of this examination, the types of frequently occurring defects and where many defects occur in the inspection object Information such as the time at which the defect occurred, etc., and provide a clue to knowing if there is no problem in the manufacturing process of the inspection target based on this information, and if so, where it is. Thus, it is possible to provide an image inspection apparatus and an image inspection method that are useful for improving a manufacturing process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態の画像検査装置の概略構成
図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an image inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】画像処理装置における欠陥の有無及びその種類
を判定する手順を示したフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing a procedure for determining the presence or absence of a defect and its type in the image processing apparatus.

【図3】画像処理装置における1ロット分のキャップの
検査結果を表示するための画面構成を示した図である。
FIG. 3 is a diagram showing a screen configuration for displaying inspection results of one lot of caps in the image processing apparatus.

【図4】あるキャップについて見つかった欠陥の内容を
表示するための画面構成を示した図である。
FIG. 4 is a diagram showing a screen configuration for displaying the content of a defect found for a certain cap.

【図5】あるキャップについて見つかった特定の種類の
欠陥の位置及び面積を表示するための画面構成を示した
図である。
FIG. 5 is a diagram showing a screen configuration for displaying the position and area of a specific type of defect found for a certain cap.

【図6】図5に表示した欠陥の具体的な位置をキャップ
の画像を重ねてグラフィック表示した画面の図である。
6 is a diagram of a screen in which a specific position of a defect displayed in FIG. 5 is graphically displayed by superimposing a cap image.

【図7】一定数のキャップに対して見つかった欠陥の統
計結果を表示するための画面構成を示した図である。
FIG. 7 is a diagram showing a screen configuration for displaying statistical results of defects found for a certain number of caps.

【図8】キャップの画像に一定数のキャップに対して行
って見つかった欠陥の発生位置を重ねてグラフィック表
示した画面の図である。
FIG. 8 is a diagram of a screen in which a defect occurrence position found by performing on a certain number of caps is superimposed on a cap image and is graphically displayed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 検査対象物(キャップ) 11 CCDカメラ 12 画像処理装置 13 モニタ 14 コンピュータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection object (cap) 11 CCD camera 12 Image processing device 13 Monitor 14 Computer

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 検査対象物の画像を取り込む撮像手段
と、 前記撮像手段から出力される画像信号に対し所定の画像
処理を行って検査対象物における欠陥の有無及びその種
類を検査する画像処理手段と、 前記画像処理手段によって得られた検査結果に基づい
て、複数の前記検査対象物の検査結果を集計し統計結果
を得る検査結果集計手段と、 前記検査結果集計手段によって得られた統計結果のうち
の必要な部分を所定の形式で表示する画像表示手段と、 を具備することを特徴とする画像検査装置。
1. An image pickup means for capturing an image of an inspection object, and an image processing means for performing predetermined image processing on an image signal output from the image pickup means to inspect the presence or absence of a defect in the inspection object and its type. Based on the inspection result obtained by the image processing unit, an inspection result aggregation unit that aggregates the inspection results of the plurality of inspection objects to obtain a statistical result, and a statistical result obtained by the inspection result aggregation unit. An image display means for displaying a necessary part of the image in a predetermined format.
【請求項2】 前記画像表示手段は、前記検査結果集計
手段によって得られた複数の検査対象物についての統計
結果に基づいて、発見された一つ又は複数の欠陥を前記
検査対象物の画像と重ねてグラフィック表示する機能を
有する請求項1記載の画像検査装置。
2. The method according to claim 1, wherein the image display unit displays one or a plurality of detected defects as an image of the inspection object based on a statistical result of the inspection objects obtained by the inspection result totaling unit. 2. The image inspection apparatus according to claim 1, wherein the image inspection apparatus has a function of superimposed graphic display.
【請求項3】 前記検査対象物は、飲食品容器のキャッ
プである請求項1又は2記載の画像検査装置。
3. The image inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection target is a cap of a food or beverage container.
【請求項4】 前記検査対象物は、半導体ウェハである
請求項1又は2記載の画像検査装置。
4. The image inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection object is a semiconductor wafer.
【請求項5】 撮像手段によって取り込まれた検査対象
物の画像に対して所定の画像処理を施して前記検査対象
物における欠陥の有無及びその種類を検査し、その検査
結果に基づいて複数の前記検査対象物についての検査結
果を集計し、集計によって得られた統計結果のうちの必
要な部分を所定の形式で表示することを特徴とする画像
検査方法。
5. An image of the inspection object captured by the imaging means is subjected to predetermined image processing to inspect the inspection object for the presence or absence of a defect and its type, and based on the inspection result, a plurality of the plurality of the plurality of inspections are performed. An image inspection method, wherein inspection results of inspection objects are totaled, and a necessary part of the statistical results obtained by the aggregation is displayed in a predetermined format.
【請求項6】 前記統計結果のうちの必要な部分の表示
は、発見された一つ又は複数の欠陥を前記検査対象物の
画像と重ねてグラフィック表示するものである請求項5
記載の画像検査方法。
6. The display of a required portion of the statistical result is a graphic display of one or more found defects superimposed on an image of the inspection object.
Image inspection method as described.
【請求項7】 前記検査対象物は、飲食品容器のキャッ
プである請求項5又は6記載の画像検査装置。
7. The image inspection apparatus according to claim 5, wherein the inspection object is a cap of a food or beverage container.
【請求項8】 前記検査対象物は、半導体ウェハである
請求項5又は6記載の画像検査装置。
8. The image inspection apparatus according to claim 5, wherein the inspection object is a semiconductor wafer.
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JP2002071574A (en) * 2000-08-28 2002-03-08 Matsushita Electric Works Ltd Defective image display method of image processing device, and image processing device
JP2011206710A (en) * 2010-03-30 2011-10-20 Anritsu Sanki System Co Ltd Article inspection apparatus
JP2012032344A (en) * 2010-08-02 2012-02-16 Keyence Corp Picture measuring device, picture measuring method and program for picture measuring device

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