JPH10124936A - Disk pit shape control method and disk recording device - Google Patents

Disk pit shape control method and disk recording device

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JPH10124936A
JPH10124936A JP8291240A JP29124096A JPH10124936A JP H10124936 A JPH10124936 A JP H10124936A JP 8291240 A JP8291240 A JP 8291240A JP 29124096 A JP29124096 A JP 29124096A JP H10124936 A JPH10124936 A JP H10124936A
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JP
Japan
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digital signal
circuit
disk
optical modulator
recorded
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JP8291240A
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Japanese (ja)
Inventor
Ryoji Azuma
良次 東
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Memory Tech Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optimal pit shape by controlling the on/off timing of a modulated digital signal to be recorded. SOLUTION: Digital data to be recorded is modulated for adding an error correction code by a digital signal converter 6 and then a digital signal is controlled by a duty factor controller (DC) 8. A signal outputted from the DC 8 is used to actuate an optical modulator 3 by an optical modulator driving circuit 7 according to the controlled digital signal and a laser beam is turned on/off. The DC 8 is composed of an H side pulse reducing circuit and an H side pulse expanding circuit, the reducing circuit being for reducing a signal level H side pulse and the expanding circuit being for expanding the same to an optional pulse width by a select switch. Thus, a basic digital signal, in this case an EFM modulated digital signal, is freely controlled within a select range by the DC 8. Thus, the number of control parameters is increased for stamper manufacturing in a disk manufacturing process and optimal pit formation of a disk is facilitated.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、ピットによりデジタ
ル信号が記録されるディスクのピット形状コントロール
方法、及び、ディスク記録装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pit shape control method for a disk on which a digital signal is recorded by pits, and a disk recording apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】ディスクを製造する工程は、スタンパを
作成するマスタリング工程と、そのスタンパからディス
クを大量に複製するレプリケーション工程の二つに分け
られる。マスタリング工程は、フォトレジストを塗布し
たガラス原盤表面をレーザ光で露光し、現像、導電膜処
理、電鋳のステップを経てスタンパを製造する工程であ
る。
2. Description of the Related Art The process of manufacturing a disk can be divided into two processes, a mastering process of creating a stamper and a replication process of copying a large number of disks from the stamper. The mastering step is a step of exposing the surface of the glass master to which the photoresist has been applied with laser light, and developing a stamper through the steps of development, conductive film treatment, and electroforming.

【0003】従来の、レーザー光で露光する場合の一般
的な構成を図6に示す。レーザー発振器11より出た光
は光学レンズ12を通り、光変調器13でオンオフさ
れ、その光はいくつかの光学素子を通った後対物レンズ
14を通ってフォトレジストが塗布されたガラス原盤1
5に照射され、フォトレジストを露光する。一方、記録
したいデジタルデータはデジタル変調器16で誤り訂正
符号を付加するなどの変調をされた後、光変調器駆動回
路17を通して光変調器13をオンオフ駆動する。光変
調器13は変調された信号に従ってレーザー光をオンオ
フする。このようにして信号を記録した原盤15を現像
処理することで、原盤表面に、変調したデジタル信号に
対応するピットが形成される。この原盤15から電鋳な
どの適当な方法でディスクを成形する際の金型であるス
タンパを製造し、さらにスタンパから射出成形などの適
当な方法でディスクを大量に製造する。
FIG. 6 shows a general configuration of a conventional case of exposing with a laser beam. Light emitted from a laser oscillator 11 passes through an optical lens 12 and is turned on and off by an optical modulator 13. The light passes through several optical elements, passes through an objective lens 14, and is coated with a photoresist on a glass master 1.
5 to expose the photoresist. On the other hand, the digital data to be recorded is modulated by the digital modulator 16 such as adding an error correction code, and then the optical modulator 13 is turned on and off through an optical modulator driving circuit 17. The optical modulator 13 turns on and off the laser light according to the modulated signal. By developing the master 15 on which the signal is recorded in this manner, pits corresponding to the modulated digital signal are formed on the surface of the master. A stamper, which is a mold for molding a disk from the master 15 by an appropriate method such as electroforming, is manufactured, and a large number of disks are manufactured from the stamper by an appropriate method such as injection molding.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】原盤に形成されるピッ
トは、正確には、変調されたデジタル信号から一定の誤
差をもって形成される。これは、ピットの形状(特に長
さ)がレーザー光のパワー、原盤の現像時間、フォトレ
ジストの感光性能などにより変化するからで、これらの
諸要因が完全にコントロールされれば、図8(b)に示
すように、デジタル信号に完全に対応したピットが形成
される。しかし、実際にはこのような完全なコントロー
ルは不可能で、図8(a)に示すようにpだけ短いピッ
トが形成されたり、同図(c)に示すようにqだけ長い
ピットが形成されたりする。このp、qのような「ず
れ」をアシンメトリーという。アシンメトリーは記録し
たピットの長さにはあまり関係なく、どのような長さの
ピットでもほぼ同じ量だけ生じる。なお、図8におい
て、T3及びT5は、ピット又はピットが形成されてい
ない領域の長さを示している。
The pits formed on the master are accurately formed with a certain error from the modulated digital signal. This is because the shape (particularly the length) of the pit changes depending on the power of the laser beam, the development time of the master, the photosensitive performance of the photoresist, and the like. If these factors are completely controlled, FIG. As shown in ()), pits completely corresponding to the digital signal are formed. However, such complete control is impossible in practice, and a pit shorter by p as shown in FIG. 8A or a pit longer by q as shown in FIG. 8C is formed. Or The “shift” such as p and q is called asymmetry. Asymmetry is largely independent of the length of the recorded pits, and occurs approximately equally in pits of any length. In FIG. 8, T3 and T5 indicate the length of a pit or a region where no pit is formed.

【0005】ピットの形状においては、図9の(a)
(b)に示すように、エッジすなわちピットのへりの部
分が垂直ではなく傾斜しており、したがってピットの概
略形状はサッカースタジアムのような形をしている。ア
シンメトリー、及びエッジの角度はレーザーパワーやフ
ォトレジストの現像時間により変化する。図9の(a)
はレーザーパワーが大きい場合、(b)は小さい場合を
示している。一般に、レーザーパワーが大きいとピット
は長く、エッジは急峻となり、現像時間が長いとピット
は長くなる。図7に、レーザーパワーとアシンメトリー
の量の関係を示す。
[0005] In the pit shape, FIG.
As shown in (b), the edge, that is, the edge of the pit is not vertical but is inclined, and thus the general shape of the pit is shaped like a soccer stadium. The asymmetry and the angle of the edge change depending on the laser power and the developing time of the photoresist. (A) of FIG.
Indicates a case where the laser power is large, and (b) indicates a case where the laser power is small. Generally, when the laser power is large, the pits are long and the edges are sharp, and when the development time is long, the pits are long. FIG. 7 shows the relationship between the laser power and the amount of asymmetry.

【0006】従来、成形工程でスタンパより複製された
ディスクを再生したとき、最良の電気特性を得るために
は、すなわち最適なアシンメトリー得るためには、ガラ
ス原盤に照射するレーザーパワーをコントロールする
か、現像時間をコントロールするか、いずれかの方法を
用いていた。しかし、レーザーパワー又は、現像時間を
コントロールして、最適なアシンメトリーの値に合わせ
ても、露光用レーザーのビーム径の大きさや、レーザー
ビームの形状などの影響で、変調度などの他の必要な電
気特性を満足するピットを有するスタンパを作ることが
できない場合があった。又、仮にできたとしても、ピッ
トのエッジが急峻な為に、成形時にプローイング(PL
OWING)を発生し、金型からの離型性が悪く、成形
しにくいスタンパとなっていた。さらに、いたずらにレ
ーザーパワーを強くしたり現像時間を長くすると形成さ
れるピットの幅も広くなるから、記録密度の高いディス
クには不都合を生じることとなる。
Conventionally, when reproducing a disk duplicated from a stamper in a molding process, in order to obtain the best electrical characteristics, that is, to obtain optimum asymmetry, it is necessary to control the laser power applied to the glass master. The development time was controlled or either method was used. However, even if the laser power or the development time is controlled to match the optimal asymmetry value, other necessary factors such as the degree of modulation may be affected by the size of the laser beam for exposure or the shape of the laser beam. In some cases, a stamper having pits satisfying electrical characteristics cannot be produced. Also, even if it is possible, the pit edges are steep, so the profiling (PL
OWING), the releasability from the mold was poor, and the stamper was difficult to mold. Further, if the laser power is unnecessarily increased or the developing time is lengthened, the width of the pits to be formed becomes wider, which causes a problem with a disk having a high recording density.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】最適なピット形状を有
するスタンパを製作するのにコントロールできるパラメ
ータは、レーザパワー又は現像時間であるが、本願発明
は、その他に制御できるパラメータ、すなわち、記録す
る変調されたデジタル信号のオンオフのタイミングの制
御=オン時のフォトレジストの露光時間のコントロール
を付加することによって、最適なピット形状を得やすく
するものである。
The parameter that can be controlled to produce a stamper having an optimum pit shape is the laser power or the development time. However, the present invention relates to another parameter that can be controlled, namely, the modulation to be recorded. By adding the control of the on / off timing of the digital signal to the control of the exposure time of the photoresist at the time of ON, it is easy to obtain an optimum pit shape.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、フォトレジス
トを塗布した原盤にレーザー光をオン、オフして照射す
ることでピットを形成し信号を記録するディスクの製造
方法において、記録する変調されたデジタル信号のオ
ン、オフの比を50:50から変化させる、すなわち、
オン時のフォトレジストを塗布したガラス原盤への露光
時間をコントロールすることを特徴とするディスクのピ
ット形状コントロール方法である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a method of manufacturing a disk in which pits are formed and a signal is recorded by irradiating a laser beam on and off a photoresist coated master to form a pit and record a signal. Changing the on / off ratio of the digital signal from 50:50, that is,
A pit shape control method for a disc, characterized by controlling the exposure time of a glass master coated with a photoresist at the time of ON.

【0009】また本発明は、レーザー発振器と、レーザ
ー発振器から出た光をオン、オフする光変調器と、記録
するデジタル信号を変調するデジタル信号変調器と、変
調されたデジタル信号のオン、オフのタイミングを所定
量だけ変化させるデューティーコントローラと、デュー
ティーコントローラからの出力信号に従って光変調器を
駆動する光変調器駆動回路とを有し、記録する変調され
たデジタル信号をデューティーコントローラによりオ
ン、オフの比を50:50から変化させる、すなわち、
オン時のフォトレジストを塗布したガラス原盤への露光
時間をコントロールすることを特徴とするディスク記録
装置である。
Further, the present invention provides a laser oscillator, an optical modulator for turning on / off light emitted from the laser oscillator, a digital signal modulator for modulating a digital signal to be recorded, and an on / off switch for the modulated digital signal. A duty controller for changing the timing by a predetermined amount, and an optical modulator driving circuit for driving the optical modulator according to an output signal from the duty controller, and the modulated digital signal to be recorded is turned on and off by the duty controller. Change the ratio from 50:50, ie
A disk recording apparatus characterized in that the exposure time to a glass master coated with a photoresist during ON is controlled.

【0010】光変調器を駆動する光変調器駆動回路に入
力する変調されたデジタル信号のデューティーを変える
こと、換言すれば、ガラス原盤を露光する光のオンの時
間を長くしたり短くすることと、従来のレーザパワーの
コントロール又は、現像時間のコントロールを組合わせ
ることによって、最適ピット形状が得やすくなる。例え
ば、図7に示すように、デジタル信号変調器の出力信号
のデューティーが50:50の時、レーザパワーは、a
mw(ミリワット)で最適なアシンメトリが得られた
が、ピットのエッジが急峻で成形性が悪い場合、以下の
方法がある。レーザパワーをamwより小さくし、その
代わりにレーザがオンになっている時間を長くする、す
なわちデューティーを変えることによって最適なアシン
メトリーは維持でき、かつ、ピットのエッジは、なだら
かになり、成形性が良くなる。
To change the duty of the modulated digital signal input to the optical modulator driving circuit for driving the optical modulator, in other words, to lengthen or shorten the ON time of the light for exposing the glass master. By combining conventional control of laser power or control of development time, an optimum pit shape can be easily obtained. For example, as shown in FIG. 7, when the duty of the output signal of the digital signal modulator is 50:50, the laser power is a
The optimum asymmetry was obtained with mw (milliwatt), but when the pit edge is steep and the formability is poor, the following method is available. By making the laser power smaller than amw and instead lengthening the time that the laser is on, that is, by changing the duty, optimal asymmetry can be maintained, and the edges of the pits become smoother and the formability is reduced. Get better.

【0011】光変調器駆動回路に入力する変調されたデ
ジタル信号のデューティーを変えることは、図1に示す
ように、デジタル信号変調器と光変調器駆動回路の間に
デューティーコントローラを挿入し、オン、オフの比を
50:50から変化させることで実現される。
To change the duty of the modulated digital signal input to the optical modulator driving circuit, a duty controller is inserted between the digital signal modulator and the optical modulator driving circuit as shown in FIG. , Off ratio from 50:50.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】デジタルビデオディスク(DVD
=商品名)において、8−16変調の後でデューティー
を変え、最適ピット形状が得やすくなり、又、成形性の
良いスタンパを得ることができた。他の用途には、コン
パクトディスク(CD=商品名)の8−14変調の後で
同様のことが可能となる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Digital video disks (DVDs)
= (Product name), the duty was changed after 8-16 modulation, the optimum pit shape was easily obtained, and a stamper with good moldability was obtained. For other applications, the same is possible after 8-14 modulation of a compact disc (CD = trade name).

【0013】図1に本願発明の実施例のディスク記録装
置の概略を示す。レーザー発振器1より出た光は光学レ
ンズ2を通り、光変調器3でオンオフされ、その光はい
くつかの光学素子を通った後対物レンズ4を通ってフォ
トレジストが塗布されたガラス原盤5に照射され、フォ
トレジストを露光する。この構成は従来のディスク記録
装置と同じである。一方、記録したいデジタルデータは
デジタル変調器6で誤り訂正符号を付加するなどの変調
が行われた後、デューティーコントローラ8に入力され
る。デューティーコントローラ8は、図2に示すよう
に、デジタル信号を制御するものである。図2のαは信
号レベルH側(レーザー光オンの状態)の長さ、βは信
号レベルL側(レーザー光オフの状態)の長さを意味
し、(a)はコントロール前の信号、(b)はαを長く
コントロール(レーザー光オンの状態を長くしピット長
を長く)した出力信号、(c)はαを短くコントロール
(レーザー光オンの状態を短くしピット長を短く)した
出力信号を示している。デューティーコントローラ8か
らの出力信号は光変調器駆動回路7に送られ、前記のご
とくコントロールされたデジタル信号に従って光変調器
が作動し、レーザー光がオン、オフされる。
FIG. 1 schematically shows a disk recording apparatus according to an embodiment of the present invention. Light emitted from a laser oscillator 1 passes through an optical lens 2 and is turned on and off by an optical modulator 3. The light passes through several optical elements and then passes through an objective lens 4 to a glass master 5 coated with photoresist. Irradiation exposes the photoresist. This configuration is the same as the conventional disk recording device. On the other hand, digital data to be recorded is modulated by a digital modulator 6 such as adding an error correction code, and then input to the duty controller 8. The duty controller 8 controls a digital signal as shown in FIG. In FIG. 2, α indicates the length of the signal level H side (laser light on state), β indicates the length of the signal level L side (laser light off state), (a) indicates the signal before control, b) is an output signal with a longer α control (longer laser beam ON state and longer pit length), and (c) is an output signal with shorter α control (short laser light ON state and shorter pit length). Is shown. The output signal from the duty controller 8 is sent to the optical modulator driving circuit 7, and the optical modulator operates according to the digital signal controlled as described above, and the laser light is turned on and off.

【0014】図3〜5はデューティーコントローラ8の
1例を示す説明図である。デューティーコントローラ8
は、回路1(H側パルス短縮回路)と回路2(H側パル
ス拡大回路)とからなる。回路1はディレイラインとN
ANDとからなり、ピット側(信号レベルH側)のパル
スを短くする(図4(b)参照)。回路2はディレイラ
インとデューティーセレクトスイッチとNANDからな
り、該セレクトスイッチにより任意のパルス幅に拡大す
ることができる(図4(c)参照)。したがって、デュ
ーティーコントローラ8により基本デジタル信号(実施
例ではEFM変調されたデジタル信号)を図4(c)の
セレクト範囲において自由にコントロールできる。
FIGS. 3 to 5 are explanatory diagrams showing an example of the duty controller 8. FIG. Duty controller 8
Is composed of a circuit 1 (H-side pulse shortening circuit) and a circuit 2 (H-side pulse enlargement circuit). Circuit 1 has a delay line and N
The pulse on the pit side (signal level H side) is shortened (see FIG. 4B). The circuit 2 includes a delay line, a duty select switch, and a NAND, and can be expanded to an arbitrary pulse width by the select switch (see FIG. 4C). Therefore, the duty controller 8 can freely control the basic digital signal (the digital signal subjected to the EFM modulation in the embodiment) in the selection range of FIG.

【0015】図5(A)は、ピット側のパルスを10n
s(ナノセカント)拡大する例である。回路1のディレ
イラインによりパルスの立ち下がりを10ns遅らせ
る。回路1のディレイ量は10nsに固定されている。
次に回路1のNANDによりパルスを反転する。回路1
の出力は回路2のディレイラインに入力されるが、回路
2は0〜20nsの範囲でディレイ量をセレクトスイッ
チにより任意に変えることができ、この場合はディレイ
量0とする。回路2のディレイ出力は回路2のNAND
により反転され、回路2のNAND出力は基本EMS信
号に比べてピット側のパルスが10ns(ナノセカン
ト)拡大されたものとなっている。
FIG. 5 (A) shows a pulse on the pit side of 10n.
This is an example in which s (nanosecond) is enlarged. The fall of the pulse is delayed by 10 ns by the delay line of the circuit 1. The delay amount of the circuit 1 is fixed at 10 ns.
Next, the pulse is inverted by the NAND of the circuit 1. Circuit 1
Is input to the delay line of the circuit 2, but the circuit 2 can arbitrarily change the delay amount by a select switch within the range of 0 to 20 ns. In this case, the delay amount is set to 0. The delay output of circuit 2 is the NAND of circuit 2
The NAND output of the circuit 2 has a pulse on the pit side expanded by 10 ns (nanosecond) compared to the basic EMS signal.

【0016】図5(B)は、デューティーのコントロー
ル量を0とする例である。回路1でのディレイ出力及び
NAND出力は(A)と同様であるが、回路2のディレ
イ量を10nsとし、その結果回路2のNAND出力は
デューティーのコントロール量0となる。
FIG. 5B shows an example in which the duty control amount is set to zero. The delay output and the NAND output of the circuit 1 are the same as those in FIG. 1A, but the delay amount of the circuit 2 is set to 10 ns, and as a result, the NAND output of the circuit 2 has a duty control amount of 0.

【0017】図5(C)は、ピット側のパルスを10n
s(ナノセカント)短縮する例である。回路1でのディ
レイ出力及びNAND出力は、やはり(A)と同様であ
るが、回路2のディレイ量を20nsとし、その結果回
路2のNAND出力は基本EMS信号に比べてピット側
のパルスが10ns(ナノセカント)短縮されたものと
なる。
FIG. 5C shows that the pulse on the pit side is 10n.
This is an example of shortening s (nanosecond). The delay output and the NAND output in the circuit 1 are also the same as those in (A), but the delay amount of the circuit 2 is set to 20 ns. As a result, the pit side pulse of the NAND output of the circuit 2 is 10 ns compared to the basic EMS signal. (Nanosecond) It is shortened.

【0018】本例のデューティーコントローラ8におい
ては、回路1のディレイ量は10ns固定、回路2のデ
ィレイ量は0〜20nsの範囲で2ns単位でセレクト
できるから、デューティーコントローラのコントロール
量は−10〜+10nsの範囲において2ns単位で設
定できるものである。もちろん、デューティーコントロ
ーラの構成は本例に限るものではなく、パルス幅を任意
にコントロールできるものであれば良い。
In the duty controller 8 of this embodiment, the delay amount of the circuit 1 is fixed at 10 ns, and the delay amount of the circuit 2 can be selected in the range of 0 to 20 ns in units of 2 ns. Therefore, the control amount of the duty controller is -10 to +10 ns. Can be set in units of 2 ns. Of course, the configuration of the duty controller is not limited to this example, and any configuration can be used as long as the pulse width can be arbitrarily controlled.

【0019】[0019]

【発明の効果】本発明によれば、ディスク製造過程にお
けるスタンパ製造時のコントロールパラメータが増え、
ディスクの最適ピット形状が得やすくなる。また、デュ
ーティーをコントロールすることでピット長さのみを変
化させることができるから、レーザーパワーを小さく設
定することでピットのエッジをなだらかにすることがで
き、ディスクの成形性を改良することができる。
According to the present invention, the number of control parameters for manufacturing a stamper in the process of manufacturing a disc increases,
It becomes easier to obtain the optimum pit shape of the disc. Further, since only the pit length can be changed by controlling the duty, the pit edge can be made smooth by setting the laser power small, and the formability of the disc can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 実施例のディスク記録装置の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a disk recording device according to an embodiment.

【図2】 デューティーコントロルの説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a duty control.

【図3】 デューティーコントローラ8の説明図であ
る。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a duty controller 8;

【図4】 デューティーコントローラ8の説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a duty controller 8;

【図5】 デューティーコントローラ8の説明図であ
る。
FIG. 5 is an explanatory diagram of a duty controller 8;

【図6】 従来のディスク記録装置の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a conventional disk recording device.

【図7】 アシンメトリーとレーザーパワーの関係を示
す説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a relationship between asymmetry and laser power.

【図8】 アシンメトリーの概念の説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram of the concept of asymmetry.

【図9】 レーザーパワーとピット形状の関係を示す説
明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a relationship between laser power and a pit shape.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザー発振器 2 光学レンズ 3 光変調器 4 対物レンズ 5 ガラス原盤 6 デジタル信号変調器 7 光変調器駆動回路 8 デューティーコントローラ 11 レーザー発振器 12 光学レンズ 13 光変調器 14 対物レンズ 15 ガラス原盤 16 デジタル信号変調器 17 光変調器駆動回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser oscillator 2 Optical lens 3 Optical modulator 4 Objective lens 5 Glass master 6 Digital signal modulator 7 Optical modulator drive circuit 8 Duty controller 11 Laser oscillator 12 Optical lens 13 Optical modulator 14 Objective lens 15 Glass master 16 Digital signal modulation Device 17 Optical modulator drive circuit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フォトレジストを塗布した原盤にレーザ
ー光をオン、オフして照射することでピットを形成し信
号を記録するディスクの製造方法において、記録する変
調されたデジタル信号のオン、オフの比を50:50か
ら変化させ、オン時のフォトレジストを塗布したガラス
原盤への露光時間をコントロールすることを特徴とする
ディスクのピット形状コントロール方法
1. A method for manufacturing a disk in which a pit is formed and a signal is recorded by irradiating a laser beam on and off to a master on which a photoresist has been applied, and turning on and off a modulated digital signal to be recorded. A pit shape control method for a disk, wherein the ratio is changed from 50:50 to control the exposure time of a glass master coated with a photoresist when it is turned on.
【請求項2】 レーザー発振器と、レーザー発振器から
出た光をオン、オフする光変調器と、記録するデジタル
信号を変調するデジタル信号変調器と、変調されたデジ
タル信号のオン、オフのタイミングを所定量だけ変化さ
せるデューティーコントローラと、デューティーコント
ローラからの出力信号に従って光変調器を駆動する光変
調器駆動回路とを有し、記録する変調されたデジタル信
号をデューティーコントローラによりオン、オフの比を
50:50から変化させ、オン時のフォトレジストを塗
布したガラス原盤への露光時間をコントロールすること
を特徴とするディスク記録装置
2. A laser oscillator, an optical modulator for turning on and off light emitted from the laser oscillator, a digital signal modulator for modulating a digital signal to be recorded, and a timing for turning on and off the modulated digital signal. A duty controller that changes the amount by a predetermined amount; and an optical modulator driving circuit that drives the optical modulator in accordance with an output signal from the duty controller. : A disk recording device, wherein the exposure time to a glass master coated with a photoresist at the time of ON is controlled by changing from 50.
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JP8291240A Pending JPH10124936A (en) 1996-10-15 1996-10-15 Disk pit shape control method and disk recording device

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JP (1) JPH10124936A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002067253A1 (en) * 2001-02-21 2002-08-29 Sony Corporation Method for producing original record of optical recording medium

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