JPH10119280A - Liquid ejecting head and liquid ejecting device - Google Patents

Liquid ejecting head and liquid ejecting device

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JPH10119280A
JPH10119280A JP28040696A JP28040696A JPH10119280A JP H10119280 A JPH10119280 A JP H10119280A JP 28040696 A JP28040696 A JP 28040696A JP 28040696 A JP28040696 A JP 28040696A JP H10119280 A JPH10119280 A JP H10119280A
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JP
Japan
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liquid
nozzle
liquid supply
supply path
discharge
Prior art date
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Application number
JP28040696A
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Japanese (ja)
Inventor
Mineo Kaneko
峰夫 金子
Genji Inada
源次 稲田
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH10119280A publication Critical patent/JPH10119280A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To control crosstalk phenomena, and eject ink stably even in the case of high frequency by the construction for supplying ink by a plurality of various shape nozzles for one heater, and where the various configured nozzles are adjacent to each other at the boundary of each bank of heaters. SOLUTION: A first nozzle 11a of a heater 11 is made relatively larger than a second nozzle 11b in the nozzle width W1 , i.e., to have a smaller flow resistance. Also, a fourth nozzle 12b of a heater 12 adjacent the nozzle 11a is made relatively smaller than a third nozzle 12a in the nozzle width W2 , i.e., to have a greater flow resistance. Accordingly, even when one component of bubble pressure of the heater 11 is transmitted to he adjacent fourth nozzle 12b along the V direction of arrow through a first common liquid chamber 6L, a large flow resistance of the fourth nozzle 12b makes influences small. In this way, a crosstalk phenomena can be suppressed so that ink can be ejected stably even in the event of high frequency.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液体吐出ヘッドお
よび当該液体吐出ヘッドを用いて液体を吐出する液体吐
出装置に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a liquid discharge head and a liquid discharge apparatus that discharges liquid using the liquid discharge head.

【0002】[0002]

【従来の技術】液体吐出装置のうち、インクジェット記
録装置は、インクを微小な液滴としてノズルより吐出し
文字・図形等の記録を行ない、高精細な画像の出力、高
速印字の手段としてすぐれた利点を有している。特に、
電気熱変換体(以下、ヒータという)等により生成した
バブル(気泡)圧を用いる方法、いわゆる熱インクジェ
ット記録方法(特公昭61−59911〜4号)は装置
の小型化、画像の高密度化が容易であるなどの特徴を有
している。
2. Description of the Related Art Among liquid ejecting apparatuses, an ink jet recording apparatus ejects ink as fine droplets from nozzles to record characters and figures, and is excellent as a means for outputting high-definition images and high-speed printing. Has advantages. Especially,
A method using a bubble (bubble) pressure generated by an electrothermal transducer (hereinafter, referred to as a heater) or the like, a so-called thermal ink jet recording method (Japanese Patent Publication No. 61-59911-4), requires a smaller apparatus and a higher image density. It has features such as ease.

【0003】図1は、このような従来の熱インクジェッ
トヘッドの1つの形態を示す分解斜視図である。図1に
示したヘッドは、ヒータ1とオリフィス2とが対向して
設けられた、いわゆるサイドシュータタイプのヘッドで
ある。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing one embodiment of such a conventional thermal ink jet head. The head shown in FIG. 1 is a so-called side shooter type head in which a heater 1 and an orifice 2 are provided to face each other.

【0004】図1に示したように、複数のヒータ1は基
板3上に一列状に配され、各ヒータ1の配置部にはイン
クを供給するためのインク供給路としてのノズル4が対
応して形成されている。複数のノズル4は平行に形成さ
れた複数のノズル壁5により構成され、ヒータ1近傍の
一端部においてノズル4は閉じられ、その他端部におい
て共通液室6に開放されている。この共通液室6は、図
示しないインクタンクからのインクを受け入れるための
供給口7に連通している。また、基板3にはヒータ1に
電気信号を送るための電極配線(図示略)が配設されて
いる。このような基板3上に接合されるノズルプレート
部材8には、一列状に配された複数のヒータ1にそれぞ
れ対応する位置にオリフィス2が形成されている。
As shown in FIG. 1, a plurality of heaters 1 are arranged in a row on a substrate 3, and a nozzle 4 as an ink supply path for supplying ink corresponds to an arrangement portion of each heater 1. It is formed. The plurality of nozzles 4 are constituted by a plurality of nozzle walls 5 formed in parallel. The nozzle 4 is closed at one end near the heater 1 and opened to the common liquid chamber 6 at the other end. The common liquid chamber 6 communicates with a supply port 7 for receiving ink from an ink tank (not shown). Further, an electrode wiring (not shown) for sending an electric signal to the heater 1 is provided on the substrate 3. Orifices 2 are formed at positions corresponding to the plurality of heaters 1 arranged in a row on the nozzle plate member 8 joined to the substrate 3 as described above.

【0005】図2は図1のヒータ近傍を拡大して示す図
であり、(a)は平面図であり、(b)は(a)におけ
るA−A線に沿う概略断面図である。
FIG. 2 is an enlarged view showing the vicinity of the heater in FIG. 1, (a) is a plan view, and (b) is a schematic sectional view taken along line AA in (a).

【0006】図2(a)に示すように、幅Wのノズル4
は、一方で共通液室6に連通し、他方でヒータ1に連通
している。
[0006] As shown in FIG.
Is connected to the common liquid chamber 6 on the one hand and to the heater 1 on the other hand.

【0007】このような構成によれば、ヒータ、オリフ
ィス、ノズルのサイズを小さくすることにより、600
〜1,200dpiの画像に適した4〜10pl程度の
液滴を吐出し、高精細画像に記録するインクジェットヘ
ッドを作成できる。特に、特開平4−10940に示す
ようにノズル高さhを低くして、大気に気泡を連通させ
て液体を吐出する方法では、微小な液滴を安定に吐出す
ることが可能である。
According to such a configuration, by reducing the size of the heater, the orifice, and the nozzle,
An ink jet head that ejects droplets of about 4 to 10 pl suitable for an image of 1,200 dpi and records a high-definition image can be created. In particular, in the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-10940, in which the nozzle height h is reduced and bubbles are communicated with the atmosphere to discharge liquid, minute droplets can be discharged stably.

【0008】ここで、図2(a)および(b)の構成
で、そのままノズルを小さく(特に、ノズル高さhを小
さく)すると、ノズルの開口部分の断面積が小さくなる
ため、流抵抗が増大する。このことは、吐出によって失
なわれたインクを液室より補充する、いわゆるリフィル
の流れを妨げ、ヒータの繰り返し吐出の周波数を下げる
原因となる。特に、微小液滴で画像を形成する場合は、
一枚当りの印字速度を維持するためには、より高周波数
で吐出を行わなければならないので、流抵抗の増大を招
く事態は深刻である。
Here, in the configuration shown in FIGS. 2A and 2B, if the nozzle is made smaller (especially, the nozzle height h is made smaller), the cross-sectional area of the opening of the nozzle becomes smaller, so that the flow resistance becomes smaller. Increase. This obstructs the flow of so-called refill, which replenishes ink lost by ejection from the liquid chamber, and causes a reduction in the frequency of repeated ejection of the heater. In particular, when forming an image with microdroplets,
In order to maintain the printing speed per sheet, ejection must be performed at a higher frequency, so that a situation that causes an increase in flow resistance is serious.

【0009】そこで、ノズルの幅Wを広げてノズルの断
面積を広げるという方法が考えられる。
Therefore, a method of widening the cross-sectional area of the nozzle by widening the width W of the nozzle is considered.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図2
(b)に示すように、ノズル幅Wを広げると、ヒータか
ら生じた吐出パワーのうち、吐出方向Hに比べ直角方向
Vに逃げる量が増大し、液滴の吐出速度や吐出量が下が
り、画質が劣化する。さらに、V方向の成分は、インク
リフィルの流れに逆行する方向であり、リフィルに悪影
響を及ぼす。
However, FIG.
As shown in (b), when the nozzle width W is increased, the amount of the ejection power generated by the heater that escapes in the direction V perpendicular to the ejection direction H increases, and the ejection speed and ejection amount of the droplets decrease. Image quality deteriorates. Further, the component in the V direction is a direction opposite to the flow of the ink refill, and adversely affects the refill.

【0011】また、V方向の成分は、図3に示すよう
に、隣接するノズルにV′成分となって伝搬するため、
インクの吐出に悪影響を及ぼす、いわゆるクロストーク
現象を引き起こす。
The component in the V direction propagates to the adjacent nozzle as a V 'component as shown in FIG.
This causes a so-called crosstalk phenomenon, which adversely affects ink ejection.

【0012】一方、特開平5−116317号には、吐
出の安定性や高周波数駆動について言及されてはいる
が、隣接するノズル間に生じるクロストーク現象による
影響は考慮されていない。
On the other hand, JP-A-5-116317 mentions the stability of ejection and high-frequency driving, but does not consider the influence of the crosstalk phenomenon occurring between adjacent nozzles.

【0013】このような構成の流路構造として、1つの
ヒータに対して2方向からインクの補充を行い得る構成
のヘッドも提案されている。
As a flow path structure having such a configuration, a head having a configuration capable of replenishing ink for one heater from two directions has been proposed.

【0014】しかしながら、このような構成のヘッドで
は、インク流路としての複数のノズル内の流抵抗が全て
同一に設定されているため、上記V方向の成分によりイ
ンクリフィルの流れが妨げられることがないものの、依
然として上記クロストーク現象を効果的に抑制するまで
には至っていないのが現状である。
However, in the head having such a configuration, since the flow resistances in the plurality of nozzles as the ink flow paths are all set to the same value, the flow of the ink refill may be hindered by the component in the V direction. At present, however, the crosstalk phenomenon has not yet been effectively suppressed.

【0015】本発明の目的は、クロストーク現象を抑制
し、かつ、高周波数でも安定してインク等の液体の吐出
を行い得る液体吐出ヘッドを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a liquid discharge head capable of suppressing a crosstalk phenomenon and stably discharging a liquid such as ink even at a high frequency.

【0016】また、本発明の他の目的は、上述の液体吐
出ヘッドを用いた高速印字で、高精細な画像を作成し得
る液体吐出装置を提供することにある。
It is another object of the present invention to provide a liquid discharge apparatus capable of producing a high-definition image by high-speed printing using the above-described liquid discharge head.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上述のような目的を達成
するための本発明の代表的な要件は、次のようなもので
ある。
A typical requirement of the present invention to achieve the above object is as follows.

【0018】液滴を吐出するための吐出口に対向して設
けられた少なくとも1つの電気熱変換体と、該電気熱変
換体に向けて液体を供給するための少なくとも2つの液
体供給路と、を含む液体吐出ヘッドにおいて、前記同一
の電気熱変換体に液体を供給すべき関係の前記少なくと
も2つの液体供給路は、各液体供給路の流抵抗が互いに
異なる液体吐出ヘッド。
[0018] At least one electrothermal converter provided to face a discharge port for discharging droplets, at least two liquid supply paths for supplying liquid to the electrothermal converter, Wherein the at least two liquid supply paths, which are to supply liquid to the same electrothermal transducer, have different flow resistances in the respective liquid supply paths.

【0019】もしくは、前記各液体供給路は、互いに異
なる形状を有している液体吐出ヘッド。
Alternatively, each of the liquid supply paths has a different shape from each other.

【0020】もしくは、前記電気熱変換体は少なくとも
2つの群から構成されており、第1の群は第1の液室と
前記電気熱変換体とを連絡する第1の液体供給路と、第
2の液室と前記電気熱変換体とを連結しかつ前記第1の
液体供給路よりも流抵抗が大きい第2の液体供給路とを
含み、第2の群は前記第1の液室と前記電気熱変換体と
を連絡する第3の液体供給路と、前記第2の液室と前記
電気熱変換体とを連結しかつ前記第3の液体供給路より
も流抵抗が小さい第4の液体供給路とを含む液体吐出ヘ
ッド。
Alternatively, the electrothermal converter is composed of at least two groups, the first group including a first liquid supply passage connecting the first liquid chamber and the electrothermal converter, And a second liquid supply path connecting the second liquid chamber and the electrothermal transducer and having a larger flow resistance than the first liquid supply path. A second group includes the first liquid chamber and the second liquid supply path. A third liquid supply path that communicates with the electrothermal converter; a fourth liquid supply path that connects the second liquid chamber and the electrothermal converter and has a smaller flow resistance than the third liquid supply path. A liquid ejection head including a liquid supply path.

【0021】もしくは、前記吐出口は複数個から構成さ
れ、かつ、列をなすと共に、前記電気熱変換体の前記第
1の群の前記第1の液体供給路と前記第2の群の前記第
3の液体供給路とが前記吐出口の列に対し一方の側に配
され、前記第1の群の前記第2の液体供給路と前記第2
の群の前記第4の液体供給路とが前記吐出口の列に対し
他方の側に配された液体吐出ヘッド。
Alternatively, the discharge ports are constituted by a plurality of ports, are arranged in rows, and the first liquid supply passages of the first group of the electrothermal transducers and the first liquid supply paths of the second group are provided. 3 liquid supply paths are arranged on one side with respect to the row of discharge ports, and the second liquid supply paths of the first group and the second liquid supply paths
A liquid discharge head, wherein the fourth liquid supply path of the group is arranged on the other side with respect to the row of the discharge ports.

【0022】もしくは、前記吐出口の列に沿って、前記
第1の群に属する前記電気熱変換体と前記第2の群に属
する前記電気熱変換体とが交互に配されている液体吐出
ヘッド。
Alternatively, a liquid ejection head in which the electrothermal transducers belonging to the first group and the electrothermal transducers belonging to the second group are alternately arranged along the rows of the ejection ports. .

【0023】もしくは、隣接する前記液体供給路の流抵
抗が交互に異なる液体吐出ヘッド。
Alternatively, a liquid discharge head in which flow resistances of adjacent liquid supply paths are alternately different.

【0024】もしくは、前記第1の液室と前記第2の液
室とは連通している液体吐出ヘッド。
Alternatively, a liquid discharge head in which the first liquid chamber and the second liquid chamber communicate with each other.

【0025】もしくは、前記電気熱変換体によって前記
液体内に形成された気泡の圧力を利用して前記液体を前
記吐出口から外部に吐出する液体吐出ヘッドであって、
前記気泡内の圧力が外気圧より低い状態で、前記気泡と
外気とが前記吐出口近傍で連通する液体吐出ヘッド。
Alternatively, there is provided a liquid discharge head for discharging the liquid from the discharge port to the outside by using the pressure of bubbles formed in the liquid by the electrothermal transducer,
A liquid discharge head in which the bubble and the outside air communicate with each other in the vicinity of the discharge port in a state where the pressure in the bubble is lower than the outside air pressure.

【0026】もしくは、前記液体はインクである液体吐
出ヘッド。
Alternatively, the liquid is a liquid discharge head in which the liquid is ink.

【0027】もしくは、上述の液体吐出ヘッドを用いて
前記液体を吐出する液体吐出装置である。
Alternatively, there is provided a liquid discharging apparatus for discharging the liquid using the above-described liquid discharging head.

【0028】本発明の特徴的な構成よれば、1つの電気
熱変換体に複数の液体供給路が対応して設けられている
ので、液体吐出時の発泡圧力の一部の成分が液体補充を
妨げる方向のみに働くことがなく、吐出力の損失を抑え
ることができる。また、同一の電気熱変換体に液体を供
給すべき関係の前記少なくとも2つの液体供給路の流抵
抗が互いに異なるので、相対的に流抵抗の小さい液体供
給路を介して液体の補充を円滑に行うことができると共
に、相対的に流抵抗の大きい液体供給路を通して他の電
気熱変換体からの発泡圧力の影響を受けることが少な
く、効果的にクロストーク現象を抑制することができ
る。
According to the characteristic configuration of the present invention, since a plurality of liquid supply passages are provided corresponding to one electrothermal converter, some components of the bubbling pressure at the time of discharging the liquid replenish the liquid. It does not work only in the obstructing direction, so that the loss of the ejection force can be suppressed. In addition, since the flow resistances of the at least two liquid supply paths in relation to supply the liquid to the same electrothermal transducer are different from each other, the liquid can be smoothly replenished through the liquid supply path having a relatively small flow resistance. In addition to the above, it is possible to reduce the influence of the bubbling pressure from other electrothermal converters through the liquid supply path having a relatively large flow resistance, and to suppress the crosstalk phenomenon effectively.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を実
施例により、具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0030】[第1の実施例]図4は、本発明の液体吐
出ヘッドの第1の実施例を示す分解斜視図であり、図5
は、図4に示すヒータ近傍を拡大して示す概略平面図で
ある。図4および図5に示すヘッドにおける各構成要素
のうち、図1および図2に示した従来のヘッドにおける
各構成要素と共通するものについては、同一の符号を付
し、その部分の説明を省略する。
[First Embodiment] FIG. 4 is an exploded perspective view showing a first embodiment of the liquid discharge head of the present invention, and FIG.
FIG. 5 is an enlarged schematic plan view showing the vicinity of the heater shown in FIG. 4. 4 and 5, the same components as those of the conventional head shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and the description of those components is omitted. I do.

【0031】本実施例に係る液体吐出ヘッドは、従来の
ヘッドと同様に、いわゆるサイドシュータタイプである
が、互いに平行に延びる千鳥状の2列のオリフィスを有
するものである。これらオリフィスにそれぞれ対応する
ヒータ11、12、13、14も千鳥状に配置され、ヒ
ータ11、13は同一の列に属し、ヒータ12、14は
別の同一の列に属している。
The liquid ejection head according to this embodiment is of a so-called side shooter type, like the conventional head, but has two rows of orifices extending in a staggered manner extending in parallel with each other. The heaters 11, 12, 13, and 14 corresponding to these orifices are also arranged in a staggered manner. The heaters 11, 13 belong to the same row, and the heaters 12, 14 belong to another same row.

【0032】ヒータ11はノズル幅W1の第1のノズル
11aの一端部の底部に設けられており、この第1のノ
ズル11aの一端部には、当該ノズル11aと連通し、
かつ、当該ノズル11aの長さ方向に沿ってノズル11
aのノズル幅よりも狭いノズル幅の第2のノズル11b
が設けられている。第1のノズル11aは、その他端部
において第1の共通液室6Lと連通し、第2のノズル1
1bはヒータ11から離れた側の端部において第2の共
通液室6Rと連通している。このような第1のノズル1
1aと第2のノズル11bは、ノズル幅が異なるため、
流抵抗も異なるように設定されている。
The heater 11 is provided at the bottom of one end of the first nozzle 11a having a nozzle width W1. One end of the first nozzle 11a communicates with the nozzle 11a,
The nozzle 11a extends along the length direction of the nozzle 11a.
a second nozzle 11b having a nozzle width narrower than the nozzle width a
Is provided. The other end of the first nozzle 11a communicates with the first common liquid chamber 6L, and the second nozzle 1a
1b communicates with the second common liquid chamber 6R at the end remote from the heater 11. Such a first nozzle 1
Since 1a and the second nozzle 11b have different nozzle widths,
The flow resistance is also set to be different.

【0033】また、上記ヒータ11に隣接するヒータ1
2は、ノズル幅W2の第3のノズル12aの一端部の底
部に設けられており、この第3のノズル12aの一端部
には、第3のノズル12aと連通し、かつ、当該ノズル
12aの長さ方向に沿ってノズル12aのノズル幅より
も狭いノズル幅の第4のノズル12bが設けられてい
る。第3のノズル12aは、その他端部において第1の
共通液室6Lと連通し、第4のノズル12bはヒータ1
2から離れた側の端部において第2の共通液室6Rと連
通している。このような第3のノズル12aと第4のノ
ズル12bは、ノズル幅が異なるため、流抵抗も異なる
ように設定されている。
The heater 1 adjacent to the heater 11
2 is provided at the bottom of one end of the third nozzle 12a having a nozzle width W2, and communicates with the third nozzle 12a at one end of the third nozzle 12a. A fourth nozzle 12b having a nozzle width narrower than the nozzle width of the nozzle 12a along the length direction is provided. The third nozzle 12a communicates with the first common liquid chamber 6L at the other end, and the fourth nozzle 12b
At the end remote from the second liquid chamber 6, it communicates with the second common liquid chamber 6R. Since the third nozzle 12a and the fourth nozzle 12b have different nozzle widths, they are set to have different flow resistances.

【0034】ここで、ヒータ11とこれに隣接するヒー
タ12との間の液体供給路の配置関係を説明する。
Here, the arrangement relationship of the liquid supply passage between the heater 11 and the heater 12 adjacent thereto will be described.

【0035】ヒータ11の第1のノズル11aは、上述
のように、第2のノズル11bよりも相対的にノズル幅
W1が大きく、従って流抵抗の小さいものであり、これ
に隣接するヒータ12の第4のノズル12bは、第3の
ノズル12aよりも相対的にノズル幅が狭く、従って流
抵抗の大きいものである。ヒータ11の発泡圧力の一成
分が図5の矢印V方向に沿って第1の共通液室6Lを通
って隣接するヒータ12の第4のノズル12bへ伝搬し
ても、第4のノズル12bの流抵抗が大きいため、その
影響を受けることが少ない。
As described above, the first nozzle 11a of the heater 11 has a larger nozzle width W1 than the second nozzle 11b and therefore has a smaller flow resistance. The nozzle width of the fourth nozzle 12b is relatively smaller than that of the third nozzle 12a, and therefore, the flow resistance is large. Even if one component of the bubbling pressure of the heater 11 propagates through the first common liquid chamber 6L to the fourth nozzle 12b of the adjacent heater 12 along the direction of arrow V in FIG. Since the flow resistance is large, it is less affected.

【0036】ヒータ13とヒータ14との関係も、上述
のヒータ11とヒータ12との関係と同様である。
The relationship between the heater 13 and the heater 14 is the same as the relationship between the heater 11 and the heater 12 described above.

【0037】なお、上述の2つの共通液室6Lおよび6
Rは、上述の各液体供給路以外で、それぞれ独立でもよ
く、あるいは接続された同一の液室であってもよい。
The above-mentioned two common liquid chambers 6L and 6L
R may be independent of each of the liquid supply paths described above, or may be the same connected liquid chamber.

【0038】本実施例では、基本的に1つのヒータに対
し2つの液体供給路を介して共通液室から液体の補充を
効率よく行えるので、高周波数で吐出が可能となる。ま
た、一方の液体供給路の流抵抗が他方の液体供給路の流
抵抗よりも大きいので、流抵抗の大きい液体供給路への
吐出力の逃げが少なくなる。
In this embodiment, basically, one heater can be efficiently replenished with liquid from the common liquid chamber via two liquid supply passages, so that high-frequency discharge is possible. Further, since the flow resistance of one liquid supply path is larger than the flow resistance of the other liquid supply path, the escape of the discharge force to the liquid supply path having a large flow resistance is reduced.

【0039】また、本実施例では、図6に示すように、
ヒータ11,13に同時に吐出パルスを与え、遅延時間
をおいてヒータ12,14に吐出パルスを加えた場合
に、ヒータ11の吐出力のうち、ノズル11aから図5
中の矢印V方向に逃げた成分により、隣接するヒータ1
2のノズル12bや、更に隣接するヒータ13のノズル
13aを通じてヒータ12および13に影響を与える。
しかし、ノズル12bの流抵抗は高く、ノズル13aの
位置はヒータ11から相当遠方であるため、各ヒータ1
2、13に到達する前にその影響は減衰してしまい、問
題にならない。この他に、このような繊細なノズルにお
いてはインク中のゴミによるノズル詰りが懸念される
が、この構成によれば、ヒータへのインク供給が2方向
からなされるため、片方のノズルにゴミが詰っても、吐
出を続けることが可能である。
In this embodiment, as shown in FIG.
When the ejection pulse is applied to the heaters 11 and 13 at the same time, and the ejection pulse is applied to the heaters 12 and 14 after a delay time, the ejection force of the heater 11 from the nozzle 11a in FIG.
The component that has escaped in the direction indicated by the arrow V in FIG.
The heaters 12 and 13 are affected through the second nozzle 12b and the nozzle 13a of the heater 13 adjacent thereto.
However, since the flow resistance of the nozzle 12b is high and the position of the nozzle 13a is considerably far from the heater 11,
Before reaching 2, 13, the effect is attenuated and is not a problem. In addition, in such a delicate nozzle, there is a concern that the nozzle may be clogged by dust in the ink. However, according to this configuration, the ink is supplied to the heater from two directions. Even if it becomes clogged, it is possible to continue discharging.

【0040】なお、本実施例では、1つのヒータに接続
するノズルの幅と長さを相違させることで流路抵抗を相
違させたが、ノズル高さや断面積あるいは流体抵抗素子
を設けることで流体抵抗を相違させてもよい。また、ヒ
ータを千鳥状でなく、直線上に配置してもよい。
In this embodiment, the flow path resistance is made different by making the width and length of the nozzle connected to one heater different. However, the fluid height is changed by providing the nozzle height and the sectional area or the fluid resistance element. The resistances may be different. Further, the heaters may be arranged not in a staggered shape but in a straight line.

【0041】さらに、供給口の位置も、図4ではヒータ
列の延長線上にあるが、ノズルと対向して、ヒータ列と
平行に細長い供給口を配してもよい。
Further, although the position of the supply port is also on the extension of the heater row in FIG. 4, an elongated supply port may be arranged in parallel with the heater row, facing the nozzle.

【0042】次に、本実施例に係る液体吐出ヘッドの製
造方法を説明する。液体吐出ヘッドの作製には基板上に
流路としてのノズルとなる固体層を形成し、この固体層
の周囲および上部に樹脂層を形成し、固体層を除去して
ノズルを形成した後、樹脂層のうち基板上のヒータに対
向する位置にインク吐出口としてのオリフィスを形成す
る方法を用いることができる。ここでは、ノズルおよび
オリフィスは、光硬化性樹脂を型としてパターンを形成
した。ヒータのサイズを26μm×26μmとし、42
μmピッチで64個配置した。オリフィス部の厚みt1
は10μm、オリフィス径は18μmとした。ノズル部
の厚みt2 は10μm、ノズル11aの長さL1 =20
μm、幅W1 =18μm、ノズル12aの長さL2 =4
0μm、幅W2 =10μmとした。このヘッドを周波数
10kHzで駆動したが、正常に吐出することができ
た。
Next, a method for manufacturing the liquid discharge head according to this embodiment will be described. To manufacture a liquid ejection head, a solid layer serving as a nozzle as a flow path is formed on a substrate, a resin layer is formed around and on the solid layer, the solid layer is removed, and a nozzle is formed. A method of forming an orifice as an ink discharge port at a position of the layer facing the heater on the substrate can be used. Here, the nozzle and the orifice formed a pattern using a photocurable resin as a mold. The size of the heater is set to 26 μm × 26 μm, and 42
64 pieces were arranged at a pitch of μm. Orifice thickness t 1
Was 10 μm and the orifice diameter was 18 μm. The thickness t 2 of the nozzle portion is 10 μm, and the length L 1 of the nozzle 11a is 20.
μm, width W 1 = 18 μm, length L 2 of nozzle 12a = 4
0 μm and width W 2 = 10 μm. This head was driven at a frequency of 10 kHz, but could discharge normally.

【0043】[第2の実施例]図7は、本発明の液体吐
出ヘッドの第2の実施例を示す概略平面図である。
[Second Embodiment] FIG. 7 is a schematic plan view showing a liquid discharge head according to a second embodiment of the present invention.

【0044】本実施例の特徴は、2つのノズルのうち、
一方のノズルの一部に狭窄部11c、12c...を設
けている点である。この構成によれば、ヒータにおける
発泡初期のパワーがノズル方向に逃げようとしても、狭
窄部において、その流れの速さにより激しい渦を形成し
てエネルギーを失う。一方、インクの補充の流れは、よ
りゆるやかであるため、狭窄部に於いてもエネルギーを
失なわず、狭窄部の長さが充分短ければ流抵抗も小さい
ため、影響が少ない。結果として、高周波数で駆動可能
であり、クロストークの少ない液体吐出ヘッドを提供で
きる。
This embodiment is characterized in that, of the two nozzles,
A portion of one of the nozzles has a constriction 11c, 12c. . . Is provided. According to this configuration, even if the power in the initial stage of bubbling in the heater attempts to escape in the nozzle direction, a strong vortex is formed in the constricted portion due to the speed of the flow, and energy is lost. On the other hand, the replenishment flow of the ink is more gentle, so that the energy is not lost even in the constricted portion. If the length of the constricted portion is sufficiently short, the flow resistance is small, so that the influence is small. As a result, it is possible to provide a liquid discharge head that can be driven at a high frequency and has little crosstalk.

【0045】なお、本実施例では、先の第1の実施例と
異なり、ヒータ11、12...が一列に配列されてい
るが、ノズルの一部に狭窄部を設ける構成を有するもの
であれば、先の第1の実施例と同様に、ヒータを千鳥状
に2列に配列した構成を採用してもよい。
In the present embodiment, unlike the first embodiment, the heaters 11, 12,. . . Are arranged in a line, but if the nozzle has a configuration in which a constricted portion is provided in a part of the nozzle, a configuration in which the heaters are arranged in two lines in a staggered manner is employed as in the first embodiment. May be.

【0046】[第3の実施例]図8は、本発明の液体吐
出ヘッドの第3の実施例を示す概略平面図であり、図9
は、図8に示したヘッドの駆動を説明するためのグラフ
である。
Third Embodiment FIG. 8 is a schematic plan view showing a third embodiment of the liquid discharge head of the present invention, and FIG.
9 is a graph for explaining the driving of the head shown in FIG.

【0047】本実施例では、ヒータが千鳥状に配列され
た先の第1の実施例と異なり、同一のノズルを有する複
数個のヒータが連続して配置され、形状は同一である
が、向きの異なるノズルを有する複数個のヒータが連続
して配置され、前者の一群(ブロック1)のヒータ11
〜13と後者の一群(ブロック2)のヒータ14〜16
とは別のノズル列に属している点に特徴がある。この構
成は、連続する一群のヒータ、すなわちブロック1また
は2に属するヒータを同時に駆動したい場合に有効であ
る。
In the present embodiment, unlike the first embodiment in which the heaters are arranged in a staggered manner, a plurality of heaters having the same nozzle are continuously arranged and have the same shape, but have the same orientation. A plurality of heaters having different nozzles are sequentially arranged, and the former group (block 1) of heaters 11
To 13 and the latter group (block 2) of heaters 14 to 16
It is characterized in that it belongs to another nozzle row. This configuration is effective when it is desired to simultaneously drive a group of continuous heaters, that is, heaters belonging to the blocks 1 or 2.

【0048】すなわち、図9に示すように、ブロック1
に属するヒータに対して吐出パルスを加えた後、所定の
遅延時間をおいて、ブロック2に属するヒータに対して
吐出パルスを加える。
That is, as shown in FIG.
After the ejection pulse is applied to the heaters belonging to block 2, after a predetermined delay time, the ejection pulses are applied to the heaters belonging to block 2.

【0049】一般に、このような方法で駆動を行うと、
ブロック1に属するヒータの吐出パワーのうち、図8に
示す矢印V方向の成分が、ノズル数の分だけ増大し、ク
ロストークも増大することになる。
Generally, when driving is performed in such a manner,
Among the discharge powers of the heaters belonging to block 1, the component in the direction of arrow V shown in FIG. 8 increases by the number of nozzles, and crosstalk also increases.

【0050】しかし、図8に示す構成によると、ブロッ
ク1から逃げる上述の矢印V方向の成分がブロック2に
属するヒータに影響を与えるには、幅の狭い流抵抗の大
きいノズルを通過しなければならないため、実際にはブ
ロック1からブロック2へのクロストークを効率的に抑
制することができ、良好な液体吐出を行うことが可能と
なる。
However, according to the configuration shown in FIG. 8, in order for the above-described component in the direction of the arrow V escaping from the block 1 to affect the heater belonging to the block 2, the component must pass through a narrow nozzle having a large flow resistance. Therefore, in practice, crosstalk from the block 1 to the block 2 can be efficiently suppressed, and good liquid ejection can be performed.

【0051】なお、本実施例では、ブロック1または2
に属するヒータとしてそれぞれ3つのみ示したが、各ブ
ロックに属するヒータを例えば16個とし、この16個
のヒータを1単位として同時に駆動するようにしてもよ
い。
In this embodiment, block 1 or block 2
Although only three heaters are shown as belonging to each block, the number of heaters belonging to each block may be, for example, 16, and the 16 heaters may be driven simultaneously as one unit.

【0052】また、本発明が適用できるヘッドの構成
は、前述の実施例の範囲にはとどまらない。例えば、オ
リフィスを形成する材料としては、光感光性の樹脂や、
電鋳法でオリフィスを形成したメッキ基板や、ポリイミ
ドなどの薄い樹脂テープや成形可能な樹脂(例えばPS
F)などが使用可能である。オリフィスの形成方法も光
によるパターニングや、UVO3 によるアッシング、エ
キシマレーザーによるパターニングモールドによる形成
などが可能である。
The configuration of the head to which the present invention can be applied is not limited to the scope of the above-described embodiment. For example, as a material for forming the orifice, a photosensitive resin,
Plating substrates with orifices formed by electroforming, thin resin tapes such as polyimide, and moldable resins (for example, PS
F) etc. can be used. The orifice can be formed by patterning with light, ashing with UVO 3 , patterning with an excimer laser, or the like.

【0053】このような液体吐出ヘッドの全体の構成を
図10(a)および(b)を参照しつつ説明する。
The overall configuration of such a liquid discharge head will be described with reference to FIGS. 10 (a) and 10 (b).

【0054】図10(a)および(b)は、本発明の液
体吐出ヘッドの一例の概略構成を示す図であって、図1
0(a)は外観を示す斜視図であり、図10(b)は図
10(a)のA−A線に沿う断面図である。
FIGS. 10A and 10B are diagrams showing a schematic configuration of an example of the liquid discharge head of the present invention.
0 (a) is a perspective view showing the appearance, and FIG. 10 (b) is a cross-sectional view along the line AA in FIG. 10 (a).

【0055】図10において、符号3は電気熱変換素子
としてのヒータおよび吐出口が薄膜技術により形成され
たSi素子基板である。この素子基板3には、図10
(a)に示すように2列に配列された複数の吐出口2が
千鳥状に設けられている。素子基板3はL字状に加工さ
れた支持部材102の一部に接着固定されている。同じ
く支持部材102上には、配線基板104が固定され、
この配線基板104の配線部分と素子基板3の配線部分
とはボンディングにより電気的に接続されている。支持
部材102は、コスト、加工性等の観点からアルミニウ
ム材で形成される。モールド部材103は、その内部に
支持部材102の一部を挿入させ、支持部材102を支
持すると共に、その内部に形成された液体供給路107
を介して液体貯留部(図示略)から前述の素子基板3に
設けられた吐出口に液体(例えば、インク)を供給する
ための部材である。また、モールド部材103は、本実
施形態の液体吐出ヘッド全体を後述の液体吐出装置に着
脱自在に固定するための装着、位置決め部材としての役
割を果たす。
In FIG. 10, reference numeral 3 denotes a Si element substrate in which a heater as an electrothermal conversion element and a discharge port are formed by a thin film technique. This element substrate 3 has a structure shown in FIG.
As shown in (a), a plurality of discharge ports 2 arranged in two rows are provided in a staggered manner. The element substrate 3 is bonded and fixed to a part of the support member 102 processed into an L shape. Similarly, a wiring board 104 is fixed on the support member 102,
The wiring portion of the wiring substrate 104 and the wiring portion of the element substrate 3 are electrically connected by bonding. The support member 102 is formed of an aluminum material from the viewpoint of cost, workability, and the like. The mold member 103 has a part of the support member 102 inserted therein to support the support member 102 and a liquid supply path 107 formed therein.
This is a member for supplying a liquid (for example, ink) from a liquid storage unit (not shown) to a discharge port provided in the above-mentioned element substrate 3 via a liquid crystal display. Further, the mold member 103 serves as a mounting and positioning member for detachably fixing the entire liquid ejection head of the present embodiment to a liquid ejection device described later.

【0056】素子基板3の内部には、モールド部材10
3の液体供給路107を介して供給される液体を、吐出
口までさらに供給するための連通路105が素子基板3
を貫通して設けられている。この連通路105は、各吐
出口に連通する液流路と連通しており、共通液室として
の役割を担っている。
The inside of the element substrate 3 includes a mold member 10.
The communication path 105 for further supplying the liquid supplied through the liquid supply path 107 of the third substrate to the discharge port is provided on the element substrate 3.
Are provided to pass through. The communication passage 105 communicates with a liquid flow path that communicates with each discharge port, and has a role as a common liquid chamber.

【0057】次に、上述の液体吐出ヘッドの装着が可能
な液体吐出装置の一例を説明する。
Next, an example of a liquid discharge apparatus to which the above-described liquid discharge head can be mounted will be described.

【0058】図11において符号200は上述の液体吐
出ヘッドを着脱自在に装着するためのキャリッジであ
る。本例では、液体吐出ヘッドは液体としてのインクの
色の種類に応じて4種類装着され、各ヘッドは、イエロ
ーインクのタンク201Y,マゼンタインクのタンク2
01M,シアンインクのタンク201C,ブラックイン
クのタンク201Bと共にキャリッジ200上に搭載さ
れている。
In FIG. 11, reference numeral 200 denotes a carriage for detachably mounting the above-described liquid discharge head. In this example, four types of liquid discharge heads are mounted according to the type of ink color as a liquid, and each head has a yellow ink tank 201Y and a magenta ink tank 2
01M, a cyan ink tank 201C, and a black ink tank 201B are mounted on the carriage 200.

【0059】キャリッジ200は、ガイドシャフト20
2に支持され、モータ203により順方向または逆方向
に駆動される無端ベルト204によりガイドシャフト2
02上を矢印A方向に往復移動可能とされる。無端ベル
ト204はプーリ205および206間に巻回されてい
る。
The carriage 200 is mounted on the guide shaft 20
The guide shaft 2 is supported by an endless belt 204 supported by the motor 2 and driven in a forward or reverse direction by a motor 203.
02 is reciprocable on arrow A in the direction of arrow A. Endless belt 204 is wound between pulleys 205 and 206.

【0060】被記録媒体としての記録紙Pは、矢印A方
向に直交する矢印B方向に間欠的に搬送される。記録紙
Pは上流側の一対のローラユニット207、208と、
下流側の一対のローラユニット209、210とによ
り、挟持され、一定の張力を印加され、ヘッドに対する
平面性を確保しながら搬送される。各ローラユニットに
対する駆動力の付与は駆動部211により行われるが、
前述の駆動モータを利用して上記ローラユニットを駆動
する構成としてもよい。
The recording paper P as a recording medium is conveyed intermittently in the direction of arrow B perpendicular to the direction of arrow A. The recording paper P includes a pair of roller units 207 and 208 on the upstream side,
The sheet is nipped by a pair of roller units 209 and 210 on the downstream side, is applied with a constant tension, and is conveyed while ensuring flatness with respect to the head. The application of the driving force to each roller unit is performed by the driving unit 211,
The roller unit may be driven by using the above-described drive motor.

【0061】キャリッジ200は、記録開始時または記
録中に必要に応じてホームポジションに停止する。この
ポジションには、各ヘッドの吐出口面をキャップするキ
ャップ部材212が設けられ、このキャップ部材212
には、吐出口面の吐出口に対して強制的に吸引して吐出
口内の目詰まりを防止するための吸引回復手段(図示
略)が接続されている。
The carriage 200 stops at the home position as needed at the start of printing or during printing. At this position, a cap member 212 for capping the ejection opening surface of each head is provided.
Is connected to suction recovery means (not shown) for forcibly suctioning the discharge port on the discharge port surface to prevent clogging in the discharge port.

【0062】[0062]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、1つのヒータに形状の異なる複数のノズルに
よってインクを供給する構造を用い、各ヒータ群の境界
では形状の異なるノズルが隣接する構成とすることで、
高周波数での吐出と、クロストークの少ない安定吐出が
可能となる。また、吐出パワーのロスや、ゴミづまりに
よる不良も低減できる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, a structure is used in which ink is supplied to a single heater by a plurality of nozzles having different shapes, and nozzles having different shapes are formed at the boundaries of each heater group. By adopting an adjacent configuration,
Discharge at high frequency and stable discharge with little crosstalk can be performed. In addition, it is possible to reduce the loss due to the ejection power and the defect due to dust clogging.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】従来知られているインクジェットヘッドの分解
斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a conventionally known ink jet head.

【図2】図1の部分拡大図である。FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG.

【図3】図2のインクの流れを説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating the flow of ink in FIG. 2;

【図4】本発明の第1の実施例の全体を表す図である。FIG. 4 is a diagram showing the entire first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1の実施例を表す概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram illustrating a first embodiment of the present invention.

【図6】図5のヒータの駆動を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating driving of the heater of FIG. 5;

【図7】本発明の第2の実施例を表す図である。FIG. 7 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第3の実施例を表す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a third embodiment of the present invention.

【図9】図8のヒータの駆動を説明する図である。FIG. 9 is a diagram illustrating driving of the heater of FIG. 8;

【図10】(a)および(b)は、本発明の液体吐出ヘ
ッドの概略構成を示す図であって、(a)は外観を示す
斜視図であり、(b)は(a)のA−A線に沿う断面図
である。
FIGS. 10A and 10B are diagrams showing a schematic configuration of a liquid discharge head of the present invention, wherein FIG. 10A is a perspective view showing an external appearance, and FIG. It is sectional drawing which follows the -A line.

【図11】本発明の液体吐出ヘッドを装着することがで
きる液体吐出装置の一例を示す概略斜視図である。
FIG. 11 is a schematic perspective view showing an example of a liquid ejection apparatus to which the liquid ejection head of the present invention can be mounted.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、11、12、13、14、15、16 ヒータ 2 オリフィス(吐出口) 3 基板 4 ノズル 5 ノズル壁 6 共通液室 7 供給口 8 ノズルプレート 11a、11b、12a、12b ノズル 1, 11, 12, 13, 14, 15, 16 Heater 2 Orifice (discharge port) 3 Substrate 4 Nozzle 5 Nozzle wall 6 Common liquid chamber 7 Supply port 8 Nozzle plate 11a, 11b, 12a, 12b Nozzle

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液滴を吐出するための吐出口に対向して
設けられた少なくとも1つの電気熱変換体と、該電気熱
変換体に向けて液体を供給するための少なくとも2つの
液体供給路と、を含む液体吐出ヘッドにおいて、 前記同一の電気熱変換体に液体を供給すべき関係の前記
少なくとも2つの液体供給路は、各液体供給路の流抵抗
が互いに異なることを特徴とする液体吐出ヘッド。
At least one electrothermal converter provided to face a discharge port for discharging liquid droplets, and at least two liquid supply paths for supplying a liquid to the electrothermal converter. Wherein the at least two liquid supply paths, which are to supply liquid to the same electrothermal transducer, have different flow resistances in the respective liquid supply paths. head.
【請求項2】 前記各液体供給路は、互いに異なる形状
を有していることを特徴とする請求項1記載の液体吐出
ヘッド。
2. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the liquid supply paths have different shapes.
【請求項3】 前記電気熱変換体は少なくとも2つの群
から構成されており、第1の群は第1の液室と前記電気
熱変換体とを連絡する第1の液体供給路と、第2の液室
と前記電気熱変換体とを連結しかつ前記第1の液体供給
路よりも流抵抗が大きい第2の液体供給路とを含み、第
2の群は前記第1の液室と前記電気熱変換体とを連絡す
る第3の液体供給路と、前記第2の液室と前記電気熱変
換体とを連結しかつ前記第3の液体供給路よりも流抵抗
が小さい第4の液体供給路とを含むことを特徴とする請
求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
3. The electrothermal converter comprises at least two groups, a first group comprising a first liquid supply passage connecting a first liquid chamber and the electrothermal converter, And a second liquid supply path connecting the second liquid chamber and the electrothermal transducer and having a larger flow resistance than the first liquid supply path. A second group includes the first liquid chamber and the second liquid supply path. A third liquid supply path that communicates with the electrothermal converter; a fourth liquid supply path that connects the second liquid chamber and the electrothermal converter and has a smaller flow resistance than the third liquid supply path. The liquid ejection head according to claim 1, further comprising a liquid supply path.
【請求項4】 前記吐出口は複数個から構成され、か
つ、列をなすと共に、前記電気熱変換体の前記第1の群
の前記第1の液体供給路と前記第2の群の前記第3の液
体供給路とが前記吐出口の列に対し一方の側に配され、
前記第1の群の前記第2の液体供給路と前記第2の群の
前記第4の液体供給路とが前記吐出口の列に対し他方の
側に配されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか
の項に記載の液体吐出ヘッド。
4. The discharge port is constituted by a plurality of discharge lines, and is arranged in a row, and the first liquid supply path of the first group of the electrothermal transducers and the first liquid supply path of the second group are 3 liquid supply passages are arranged on one side with respect to the row of discharge ports,
The liquid supply path of the first group and the fourth liquid supply path of the second group are arranged on the other side with respect to the row of the discharge ports. The liquid discharge head according to any one of Items 1 to 3.
【請求項5】 前記吐出口の列に沿って、前記第1の群
に属する前記電気熱変換体と前記第2の群に属する前記
電気熱変換体とが交互に配されていることを特徴とする
請求項4記載の液体吐出ヘッド。
5. The electrothermal converters belonging to the first group and the electrothermal converters belonging to the second group are alternately arranged along the rows of the discharge ports. The liquid ejection head according to claim 4, wherein
【請求項6】 隣接する前記液体供給路の流抵抗が交互
に異なることを特徴とする請求項5記載の液体吐出ヘッ
ド。
6. The liquid discharge head according to claim 5, wherein flow resistances of adjacent liquid supply paths are alternately different.
【請求項7】 前記第1の液室と前記第2の液室とは連
通していることを特徴とする請求項3記載の液体吐出ヘ
ッド。
7. The liquid ejection head according to claim 3, wherein the first liquid chamber and the second liquid chamber communicate with each other.
【請求項8】 前記電気熱変換体によって前記液体内に
形成された気泡の圧力を利用して前記液体を前記吐出口
から外部に吐出する液体吐出ヘッドであって、 前記気泡内の圧力が外気圧より低い状態で、前記気泡と
外気とが前記吐出口近傍で連通することを特徴とする請
求項1〜7のいずれかの項に記載の液体吐出ヘッド。
8. A liquid discharge head that discharges the liquid from the discharge port to the outside by using a pressure of a bubble formed in the liquid by the electrothermal transducer, wherein the pressure in the bubble is outside. The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 7, wherein the bubble and the outside air communicate with each other in the vicinity of the ejection port when the pressure is lower than the atmospheric pressure.
【請求項9】 前記液体はインクであることを特徴とす
る請求項1〜8のいずれかの項に記載の液体吐出ヘッ
ド。
9. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the liquid is ink.
【請求項10】 請求項1〜9のいずれかの項に記載の
液体吐出ヘッドを用いて前記液体を吐出することを特徴
とする液体吐出装置。
10. A liquid discharge apparatus that discharges the liquid using the liquid discharge head according to claim 1. Description:
JP28040696A 1996-10-23 1996-10-23 Liquid ejecting head and liquid ejecting device Pending JPH10119280A (en)

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