JPH10118504A - ドラフトチャンバの風速校正方法 - Google Patents
ドラフトチャンバの風速校正方法Info
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- JPH10118504A JPH10118504A JP27811796A JP27811796A JPH10118504A JP H10118504 A JPH10118504 A JP H10118504A JP 27811796 A JP27811796 A JP 27811796A JP 27811796 A JP27811796 A JP 27811796A JP H10118504 A JPH10118504 A JP H10118504A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 排気管からの排気量が一定であるドラフトチ
ャンバにおいて、処理室内所定位置に設けられた風速セ
ンサにより処理室開口部における風速を測定すべく、処
理室開口部における風速と処理室内の所定位置における
風速との相関関係を求めること。 【解決手段】 処理室１０の開口部８に一時的に校正用
風速センサを４０を設け、排気管１３からの排気量を一
定に設定する一方、開口部８の開口寸法を変化させる。
この開口部８の開口寸法の変化に伴う上記校正用風速セ
ンサ４０による風速の変化と、処理室内所定位置Ｐに設
けられた風速センサ２２による風速の変化とに基づい
て、両風速間の相関関係を求める。
ャンバにおいて、処理室内所定位置に設けられた風速セ
ンサにより処理室開口部における風速を測定すべく、処
理室開口部における風速と処理室内の所定位置における
風速との相関関係を求めること。 【解決手段】 処理室１０の開口部８に一時的に校正用
風速センサを４０を設け、排気管１３からの排気量を一
定に設定する一方、開口部８の開口寸法を変化させる。
この開口部８の開口寸法の変化に伴う上記校正用風速セ
ンサ４０による風速の変化と、処理室内所定位置Ｐに設
けられた風速センサ２２による風速の変化とに基づい
て、両風速間の相関関係を求める。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ドラフトチャン
バにおいて、処理室開口部における風速を求めるための
風速校正方法に関する。
バにおいて、処理室開口部における風速を求めるための
風速校正方法に関する。
【０００２】
【発明の背景】処理室内において発生した有毒ガス等を
排気管から排出するようにしたドラフトチャンバには、
その有毒ガス等から作業者の安全を確保するために、処
理室開口部の流入空気の風速に一定の基準が設けられて
いる。
排気管から排出するようにしたドラフトチャンバには、
その有毒ガス等から作業者の安全を確保するために、処
理室開口部の流入空気の風速に一定の基準が設けられて
いる。
【０００３】このため、排気管に可変ダンパを設けた
り、排気装置の吸引ファンの強弱を調整して、排気管か
らの排気量を調整するようにした排気量変動方式のドラ
フトチャンバでは、処理室開口部での風速と処理室内面
の所定位置での風速との間に一定の相関関係が成り立つ
ことを利用して、処理室内の所定位置に取付けられた風
速センサからの出力信号により、処理室開口部における
風速を求め、この風速が上記基準をクリアするように、
排気管からの排気量を制御するようにしている。
り、排気装置の吸引ファンの強弱を調整して、排気管か
らの排気量を調整するようにした排気量変動方式のドラ
フトチャンバでは、処理室開口部での風速と処理室内面
の所定位置での風速との間に一定の相関関係が成り立つ
ことを利用して、処理室内の所定位置に取付けられた風
速センサからの出力信号により、処理室開口部における
風速を求め、この風速が上記基準をクリアするように、
排気管からの排気量を制御するようにしている。
【０００４】このとき、上述のように処理室内の所定位
置に設けられた風速センサにより、処理室開口部におけ
る風速を求めるためには、予め処理室開口部での風速と
処理室内所定位置での風速との間の相関関係（近似式
等）を求めておく必要がある（風速校正という）。
置に設けられた風速センサにより、処理室開口部におけ
る風速を求めるためには、予め処理室開口部での風速と
処理室内所定位置での風速との間の相関関係（近似式
等）を求めておく必要がある（風速校正という）。
【０００５】そこで、処理室開口部の開口寸法を一定に
した状態で、排気管からの排気量を変化させ、この変化
に伴う処理室開口部における風速の変化と処理室内の所
定位置における風速の変化とを測定することにより、両
者間の相関関係を求めている。
した状態で、排気管からの排気量を変化させ、この変化
に伴う処理室開口部における風速の変化と処理室内の所
定位置における風速の変化とを測定することにより、両
者間の相関関係を求めている。
【０００６】このような相関関係は、ドラフトチャンバ
自体の劣化や、処理室所定位置に取付けた風速センサの
経年劣化等による特性変化により上記相関関係がずれた
ときにも求め直す必要がある。
自体の劣化や、処理室所定位置に取付けた風速センサの
経年劣化等による特性変化により上記相関関係がずれた
ときにも求め直す必要がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記排気量
変動方式のドラフトチャンバとは別に、排気管からの排
気量が一定に固定又は半固定された排気量一定方式のド
ラフトチャンバがある。
変動方式のドラフトチャンバとは別に、排気管からの排
気量が一定に固定又は半固定された排気量一定方式のド
ラフトチャンバがある。
【０００８】かかるドラフトチャンバでは、排気管から
の排気量が一定であるため、処理室開口部における風速
は、主として、処理室開口部の開口寸法によって変化す
ることになるが、この場合にも、処理室開口部における
風速を測定できるようにするため、処理室開口部におけ
る風速と処理室内の所定位置における風速との間の相関
関係を求める風速校正を行う必要がある。
の排気量が一定であるため、処理室開口部における風速
は、主として、処理室開口部の開口寸法によって変化す
ることになるが、この場合にも、処理室開口部における
風速を測定できるようにするため、処理室開口部におけ
る風速と処理室内の所定位置における風速との間の相関
関係を求める風速校正を行う必要がある。
【０００９】そこで、この発明は、排気量一定方式のド
ラフトチャンバにおいて、処理室開口部における風速を
測定すべく、処理室開口部における風速と処理室内の所
定位置における風速との相関関係を求めることを目的と
する。
ラフトチャンバにおいて、処理室開口部における風速を
測定すべく、処理室開口部における風速と処理室内の所
定位置における風速との相関関係を求めることを目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明の請求項１記載のドラフトチャンバの風速
校正方法は、前面開口の処理室を有する本体部と、前記
処理室の開口部を開口寸法調整自在に覆う扉と、前記処
理室内に連通状とされその処理室からの排気量が一定と
された排気管と、前記処理室内の所定位置に設けられた
風速センサとを有するドラフトチャンバに対して、前記
処理室開口部における風速と前記処理室内の所定位置に
おける風速との相関関係を求めるためのドラフトチャン
バの風速校正方法であって、前記処理室開口部における
風速の予測変化範囲内において、複数のサンプリング風
速を設定し、前記処理室開口部に一時的に設けられた校
正用風速センサの風速が、前記設定されたサンプリング
風速と一致するように、前記開口部の開口寸法を調整す
ることにより、前記各サンプリング風速に対する前記処
理室内の所定位置における風速センサの風速を順次測定
して、前記処理室開口部における風速と前記処理室内の
所定位置における風速との相関関係を求めることを特徴
とする。
め、この発明の請求項１記載のドラフトチャンバの風速
校正方法は、前面開口の処理室を有する本体部と、前記
処理室の開口部を開口寸法調整自在に覆う扉と、前記処
理室内に連通状とされその処理室からの排気量が一定と
された排気管と、前記処理室内の所定位置に設けられた
風速センサとを有するドラフトチャンバに対して、前記
処理室開口部における風速と前記処理室内の所定位置に
おける風速との相関関係を求めるためのドラフトチャン
バの風速校正方法であって、前記処理室開口部における
風速の予測変化範囲内において、複数のサンプリング風
速を設定し、前記処理室開口部に一時的に設けられた校
正用風速センサの風速が、前記設定されたサンプリング
風速と一致するように、前記開口部の開口寸法を調整す
ることにより、前記各サンプリング風速に対する前記処
理室内の所定位置における風速センサの風速を順次測定
して、前記処理室開口部における風速と前記処理室内の
所定位置における風速との相関関係を求めることを特徴
とする。
【００１１】なお、請求項２記載のように、前記処理室
開口部における風速の予測変化範囲を、前記処理室開口
部の最大開口時の前記開口部における風速と、前記処理
室における作業時に必要な前記処理室開口部の最小開口
時の前記開口部における風速との間に設定するとよい。
開口部における風速の予測変化範囲を、前記処理室開口
部の最大開口時の前記開口部における風速と、前記処理
室における作業時に必要な前記処理室開口部の最小開口
時の前記開口部における風速との間に設定するとよい。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明にかかるドラフト
チャンバの風速校正方法について説明する。
チャンバの風速校正方法について説明する。
【００１３】即ち、図１及び図２に示すように、この風
速校正方法が適用される排気量一定方式のドラフトチャ
ンバ１は、本体２内の底面から所定高さ位置に作業台４
が配設されると共に、その背面板と天板から所定間隔を
有して仕切り板６が配設されて、前面に開口部８を有す
る処理室１０が形成されている。
速校正方法が適用される排気量一定方式のドラフトチャ
ンバ１は、本体２内の底面から所定高さ位置に作業台４
が配設されると共に、その背面板と天板から所定間隔を
有して仕切り板６が配設されて、前面に開口部８を有す
る処理室１０が形成されている。
【００１４】本体２の前面には、処理室１０の開口部８
を閉開自在に覆うスライド扉１２が設けられている。こ
のスライド扉１２は、アクリル樹脂やガラス等の透明板
により形成され、手動又は電動により上下にスライドさ
せて、任意の高さ位置に保持できるように構成されてい
る。
を閉開自在に覆うスライド扉１２が設けられている。こ
のスライド扉１２は、アクリル樹脂やガラス等の透明板
により形成され、手動又は電動により上下にスライドさ
せて、任意の高さ位置に保持できるように構成されてい
る。
【００１５】本体２の上部には、仕切り板６に形成され
た複数の吸引孔７を介して、処理室１０内と連通する排
気管１３が設けられている。この排気管１３は、図示省
略の排気装置に連結されており、排気管１３を介して処
理室１０内の空気が吸引・排気されるように構成されて
いる。また、排気管１３内には、手動ダンパ１４が回動
自在に取付けられており、排気管１３外部に設けられた
図示省略のハンドルを操作することにより、排気管１３
からの排気量を半固定に調整することが可能なように構
成されている。
た複数の吸引孔７を介して、処理室１０内と連通する排
気管１３が設けられている。この排気管１３は、図示省
略の排気装置に連結されており、排気管１３を介して処
理室１０内の空気が吸引・排気されるように構成されて
いる。また、排気管１３内には、手動ダンパ１４が回動
自在に取付けられており、排気管１３外部に設けられた
図示省略のハンドルを操作することにより、排気管１３
からの排気量を半固定に調整することが可能なように構
成されている。
【００１６】そして、ドラフトチャンバ１の本体２の側
部に取付けられた制御ユニット３０に、ドラフトチャン
バ１の処理室１０内側面の所定位置Ｐに取付けられた風
速センサ２２が電気的に接続されて風速測定装置が構成
されている。
部に取付けられた制御ユニット３０に、ドラフトチャン
バ１の処理室１０内側面の所定位置Ｐに取付けられた風
速センサ２２が電気的に接続されて風速測定装置が構成
されている。
【００１７】上記風速センサ２２としては、例えば、周
知の熱線風速計等が用いられ、風速が電圧（又は電流）
として出力され、この出力信号が制御ユニット３０に入
力されるように構成されている。
知の熱線風速計等が用いられ、風速が電圧（又は電流）
として出力され、この出力信号が制御ユニット３０に入
力されるように構成されている。
【００１８】以下に、図３を参照して、この排気量一定
方式のドラフトチャンバの制御について説明すると、即
ち、制御ユニット３０のコントローラ部３２には、処理
室１０開口部８における風速と処理室１０内の所定位置
Ｐにおける風速との相関関係を示す近似式が記憶されて
おり（この近似式を求める風速校正方法については後述
する）、この近似式と風速センサ２２からの出力信号に
基づいて、処理室１０開口部８における風速が求められ
る。このように求められた風速は、制御ユニット３０前
面に設けられた表示部３１に表示される。
方式のドラフトチャンバの制御について説明すると、即
ち、制御ユニット３０のコントローラ部３２には、処理
室１０開口部８における風速と処理室１０内の所定位置
Ｐにおける風速との相関関係を示す近似式が記憶されて
おり（この近似式を求める風速校正方法については後述
する）、この近似式と風速センサ２２からの出力信号に
基づいて、処理室１０開口部８における風速が求められ
る。このように求められた風速は、制御ユニット３０前
面に設けられた表示部３１に表示される。
【００１９】また、制御ユニット３０前面に設けられた
入力部３４から所定の基準をクリアするような目標風速
を入力しておくと、第１比較演算回路３６において上記
求められた風速と目標風速との比較を行い、処理室１０
開口部８における風速が前記目標風速を下回ったときに
ブザー等の警告を発するように構成されている。
入力部３４から所定の基準をクリアするような目標風速
を入力しておくと、第１比較演算回路３６において上記
求められた風速と目標風速との比較を行い、処理室１０
開口部８における風速が前記目標風速を下回ったときに
ブザー等の警告を発するように構成されている。
【００２０】なお、制御ユニット３０には、後述するよ
うに、処理室１０開口部８における風速と処理室１０内
の所定位置Ｐにおける風速との相関関係を示す近似式を
求める際に、処理室１０開口部８に一時的に設けられる
校正用風速センサ４０からの出力信号が入力される入力
端子（図示省略）が設けられている。
うに、処理室１０開口部８における風速と処理室１０内
の所定位置Ｐにおける風速との相関関係を示す近似式を
求める際に、処理室１０開口部８に一時的に設けられる
校正用風速センサ４０からの出力信号が入力される入力
端子（図示省略）が設けられている。
【００２１】次に、処理室１０開口部８における風速と
処理室１０内の所定位置Ｐにおける風速との相関関係を
示す近似式を求める排気量一定方式の風速校正方法につ
いて図３ないし図６を用いて説明する。
処理室１０内の所定位置Ｐにおける風速との相関関係を
示す近似式を求める排気量一定方式の風速校正方法につ
いて図３ないし図６を用いて説明する。
【００２２】まず、周囲を気流が乱れていない静環境に
して、公的機関で精度を保証された校正用風速センサ４
０を、開口部８の幅方向略中央の所定高さ位置に取付け
る。そして、開口部８の開口寸法を第１の所定寸法にし
た状態で、校正用風速センサ４０の表示風速が所定の値
になるように、手動ダンパ１４を調整して排気管１３に
よる排気量を調整する。
して、公的機関で精度を保証された校正用風速センサ４
０を、開口部８の幅方向略中央の所定高さ位置に取付け
る。そして、開口部８の開口寸法を第１の所定寸法にし
た状態で、校正用風速センサ４０の表示風速が所定の値
になるように、手動ダンパ１４を調整して排気管１３に
よる排気量を調整する。
【００２３】そして、図４及び図５に示すように、校正
用風速センサ４０の出力を、制御ユニット３０の入力端
子に接続する（ステップＳ１）。この後、スライド扉１
２を全開状態にして、開口部８の風速Ｖminを測定した
後（ステップＳ２）、スライド扉１２を第２の所定開口
寸法にした状態で、開口部８の風速Ｖmaxを測定すると
（ステップＳ３）、開口部８における風速の予測変化範
囲Ｖmin〜Ｖmaxが求められる。このとき、第２の所定開
口寸法は、ドラフトチャンバ１での通常作業に最小限必
要な寸法（例えば１５０mm）に設定するのがよい。
用風速センサ４０の出力を、制御ユニット３０の入力端
子に接続する（ステップＳ１）。この後、スライド扉１
２を全開状態にして、開口部８の風速Ｖminを測定した
後（ステップＳ２）、スライド扉１２を第２の所定開口
寸法にした状態で、開口部８の風速Ｖmaxを測定すると
（ステップＳ３）、開口部８における風速の予測変化範
囲Ｖmin〜Ｖmaxが求められる。このとき、第２の所定開
口寸法は、ドラフトチャンバ１での通常作業に最小限必
要な寸法（例えば１５０mm）に設定するのがよい。
【００２４】この後、入力部３４を操作し、制御ユニッ
ト１０を手動校正モードに設定すると（ステップＳ
４）、コントローラ部３２において、サンプリング数ｎ
が０にリセットされる（ステップＳ５）。
ト１０を手動校正モードに設定すると（ステップＳ
４）、コントローラ部３２において、サンプリング数ｎ
が０にリセットされる（ステップＳ５）。
【００２５】この後、ステップＳ６において、サンプリ
ング数ｎが、表示部３１に表示される。
ング数ｎが、表示部３１に表示される。
【００２６】そして、このサンプリング数ｎを見た作業
者は、ステップＳ７において、上記開口部８における風
速の予測変化範囲Ｖmin〜Ｖmaxを、その範囲内でサンプ
リングを行う総数Ｎで均等分割し、即ち、下記式 サンプリング風速（Ｖn）＝Ｖmin＋｛（Ｖmax−Ｖmin）
／Ｎ｝×ｎ から、サンプリング数ｎに対応するサンプリング風速Ｖ
nを求める。
者は、ステップＳ７において、上記開口部８における風
速の予測変化範囲Ｖmin〜Ｖmaxを、その範囲内でサンプ
リングを行う総数Ｎで均等分割し、即ち、下記式 サンプリング風速（Ｖn）＝Ｖmin＋｛（Ｖmax−Ｖmin）
／Ｎ｝×ｎ から、サンプリング数ｎに対応するサンプリング風速Ｖ
nを求める。
【００２７】この後、作業者は、サンプリング数ｎに応
じて求められたサンプリング風速Ｖnに、校正用風速セ
ンサ４０に表示される開口部８の風速が一致するよう
に、スライド扉１２を上下にスライド調整する（ステッ
プＳ８）。
じて求められたサンプリング風速Ｖnに、校正用風速セ
ンサ４０に表示される開口部８の風速が一致するよう
に、スライド扉１２を上下にスライド調整する（ステッ
プＳ８）。
【００２８】そして、開口部８の風速がサンプリング風
速Ｖnと一致したときに、入力部３４のセットキーを押
す（ステップＳ９）。
速Ｖnと一致したときに、入力部３４のセットキーを押
す（ステップＳ９）。
【００２９】すると、ステップＳ１０においてサンプリ
ング、即ち、開口部８の風速が上記サンプリング風速Ｖ
nであるときの処理室１０内所定位置Ｐにおける風速セ
ンサ２２の出力信号の電圧Ｅnが測定され、これらサン
プリング風速Ｖn，電圧Ｅnがコントローラ部３２に記憶
される。
ング、即ち、開口部８の風速が上記サンプリング風速Ｖ
nであるときの処理室１０内所定位置Ｐにおける風速セ
ンサ２２の出力信号の電圧Ｅnが測定され、これらサン
プリング風速Ｖn，電圧Ｅnがコントローラ部３２に記憶
される。
【００３０】この後、サンプリング数ｎに１加算された
後（ステップＳ１１）、このサンプリング数ｎがサンプ
リング総数Ｎと同じ値になったか否かが判定され（ステ
ップＳ１２）、ｎ≠Ｎである場合には、再度ステップＳ
６に戻ってそのサンプリング数ｎにおけるサンプリング
がなされる。
後（ステップＳ１１）、このサンプリング数ｎがサンプ
リング総数Ｎと同じ値になったか否かが判定され（ステ
ップＳ１２）、ｎ≠Ｎである場合には、再度ステップＳ
６に戻ってそのサンプリング数ｎにおけるサンプリング
がなされる。
【００３１】そして、ステップＳ６〜Ｓ１１がＮ回繰り
返されて、０から（Ｎ−１）までの各サンプリング風速
Ｖnに対応する風速センサ２２の出力信号の電圧Ｅnがそ
れぞれ測定された後、ｎ＝Ｎであると判定されると（ス
テップＳ１２）、処理室１０開口部８における風速Ｖn
と処理室１０内の所定位置Ｐにおける風速センサ２２の
出力電圧Ｅnとの相関関係を示す近似式が求められる
（ステップＳ１３）。
返されて、０から（Ｎ−１）までの各サンプリング風速
Ｖnに対応する風速センサ２２の出力信号の電圧Ｅnがそ
れぞれ測定された後、ｎ＝Ｎであると判定されると（ス
テップＳ１２）、処理室１０開口部８における風速Ｖn
と処理室１０内の所定位置Ｐにおける風速センサ２２の
出力電圧Ｅnとの相関関係を示す近似式が求められる
（ステップＳ１３）。
【００３２】このように求められた近似式は、図６に示
すように、上記ステップＳ６〜Ｓ１２においてサンプリ
ングされた出力電圧Ｅnのデータ区間では、それぞれサ
ンプリングされたＶn，Ｅnから最小二乗法により３次近
似式を求めている。また、最小の電圧Ｅnよりも小さい
区間では、そのデータポイントと風速０ｍ／ｓ時の風速
センサ２２の出力信号の電圧間の直線近似式を求め、最
大の出力電圧Ｅnよりも大きい区間では、上記各サンプ
リングされたＶn，Ｅnから最小二乗法で直線近似式を求
めて、その傾きでかつ最大の電圧Ｅnのデータポイント
を通る直線近似式を求めている。
すように、上記ステップＳ６〜Ｓ１２においてサンプリ
ングされた出力電圧Ｅnのデータ区間では、それぞれサ
ンプリングされたＶn，Ｅnから最小二乗法により３次近
似式を求めている。また、最小の電圧Ｅnよりも小さい
区間では、そのデータポイントと風速０ｍ／ｓ時の風速
センサ２２の出力信号の電圧間の直線近似式を求め、最
大の出力電圧Ｅnよりも大きい区間では、上記各サンプ
リングされたＶn，Ｅnから最小二乗法で直線近似式を求
めて、その傾きでかつ最大の電圧Ｅnのデータポイント
を通る直線近似式を求めている。
【００３３】ここで、スライド扉１２を第２の所定開口
寸法にした状態と全開にした状態との間で上記データ区
間を定め、このデータ区間のみで最小二乗法により３次
近似式を求めているのは、通常のドラフトチャンバ１の
使用時において風速測定に用いられる範囲で、風速測定
の精度を確保するためである。
寸法にした状態と全開にした状態との間で上記データ区
間を定め、このデータ区間のみで最小二乗法により３次
近似式を求めているのは、通常のドラフトチャンバ１の
使用時において風速測定に用いられる範囲で、風速測定
の精度を確保するためである。
【００３４】上記排気量一定方式の風速校正方法による
と、排気量一定方式のドラフトチャンバ１に対して、処
理室１０開口部８における風速変化範囲内において、複
数のサンプリング風速Ｖnを設定し、処理室１０開口部
８に一時的に設けられた校正用風速センサ４０の風速
が、サンプリング風速Ｖnと一致するように、開口部８
の開口寸法を調整する一方、各サンプリング風速Ｖnに
対する処理室１０内の所定位置における風速センサ２２
からの出力電圧Ｅnを順次測定して、開口部８の風速と
上記所定位置における風速センサ２２の出力電圧Ｅnと
の相関関係を表す近似式、即ち、処理室１０の開口部８
の風速Ｖnと処理室８内の所定位置での風速との相関関
係を求めているため、処理室１０内所定位置に設けられ
た風速センサ２２により開口部８の風速Ｖnを求めるこ
とが可能となる。
と、排気量一定方式のドラフトチャンバ１に対して、処
理室１０開口部８における風速変化範囲内において、複
数のサンプリング風速Ｖnを設定し、処理室１０開口部
８に一時的に設けられた校正用風速センサ４０の風速
が、サンプリング風速Ｖnと一致するように、開口部８
の開口寸法を調整する一方、各サンプリング風速Ｖnに
対する処理室１０内の所定位置における風速センサ２２
からの出力電圧Ｅnを順次測定して、開口部８の風速と
上記所定位置における風速センサ２２の出力電圧Ｅnと
の相関関係を表す近似式、即ち、処理室１０の開口部８
の風速Ｖnと処理室８内の所定位置での風速との相関関
係を求めているため、処理室１０内所定位置に設けられ
た風速センサ２２により開口部８の風速Ｖnを求めるこ
とが可能となる。
【００３５】なお、上記風速校正方法のステップＳ７に
おいて、開口部８における風速の予測変化範囲内で均等
分割せずに任意に分割してＶnを求めてもよい。
おいて、開口部８における風速の予測変化範囲内で均等
分割せずに任意に分割してＶnを求めてもよい。
【００３６】また、校正用風速センサ４０に出力端子が
なく、単に測定した風速が表示されるのみである場合等
には、各サンプリング風速Ｖnと開口部８における校正
用風速センサ４０の表示風速とが一致するように順次開
口部８の開口寸法を順次調整してこれらが一致したとき
に、そのサンプリング風速Ｖnを入力部３４を介して制
御ユニット３０に入力するようにしてもよい。
なく、単に測定した風速が表示されるのみである場合等
には、各サンプリング風速Ｖnと開口部８における校正
用風速センサ４０の表示風速とが一致するように順次開
口部８の開口寸法を順次調整してこれらが一致したとき
に、そのサンプリング風速Ｖnを入力部３４を介して制
御ユニット３０に入力するようにしてもよい。
【００３７】
【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１又は
２記載のドラフトチャンバの風速校正方法によると、処
理室開口部における風速の変化範囲内において、複数の
サンプリング風速を設定し、処理室開口部に一時的に設
けられた校正用風速センサの風速が、設定されたサンプ
リング風速と一致するように、開口部の開口寸法を調整
することにより、各サンプリング風速に対する処理室内
の所定位置における風速センサの風速を順次測定して、
処理室の開口部の風速と処理室内の所定位置での風速と
の相関関係を求めているため、排気量一定方式のドラフ
トチャンバにおいて風速の校正が可能となり、上記相関
関係及び処理室内所定位置に設けられた風速センサから
の出力信号により、処理室開口部における風速の測定が
可能となる。
２記載のドラフトチャンバの風速校正方法によると、処
理室開口部における風速の変化範囲内において、複数の
サンプリング風速を設定し、処理室開口部に一時的に設
けられた校正用風速センサの風速が、設定されたサンプ
リング風速と一致するように、開口部の開口寸法を調整
することにより、各サンプリング風速に対する処理室内
の所定位置における風速センサの風速を順次測定して、
処理室の開口部の風速と処理室内の所定位置での風速と
の相関関係を求めているため、排気量一定方式のドラフ
トチャンバにおいて風速の校正が可能となり、上記相関
関係及び処理室内所定位置に設けられた風速センサから
の出力信号により、処理室開口部における風速の測定が
可能となる。
【図１】ドラフトチャンバを示す正面図である。
【図２】図１のＩＩ−Ｉ１線断面図である。
【図３】制御ユニットに含まれる機能ブロック図であ
る。
る。
【図４】排気量一定方式の風速校正方法を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図５】排気量一定方式の風速校正方法を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図６】風速校正方法により求められた近似式を示す図
である。
である。
１ ドラフトチャンバ ２ 本体部 ８ 開口部 １０ 処理室 １２ スライド扉 １３ 排気管 ２２ 風速センサ ４０ 校正用風速センサ
Claims (2)
- 【請求項１】 前面開口の処理室を有する本体部と、前
記処理室の開口部を開口寸法調整自在に覆う扉と、前記
処理室内に連通状とされその処理室からの排気量が一定
とされた排気管と、前記処理室内の所定位置に設けられ
た風速センサとを有するドラフトチャンバに対して、前
記処理室開口部における風速と前記処理室内の所定位置
における風速との相関関係を求めるためのドラフトチャ
ンバの風速校正方法であって、 前記処理室開口部における風速の予測変化範囲内におい
て、複数のサンプリング風速を設定し、 前記処理室開口部に一時的に設けられた校正用風速セン
サの風速が、前記設定されたサンプリング風速と一致す
るように、前記開口部の開口寸法を調整することによ
り、前記各サンプリング風速に対する前記処理室内の所
定位置における風速センサの風速を順次測定して、前記
処理室開口部における風速と前記処理室内の所定位置に
おける風速との相関関係を求めることを特徴とするドラ
フトチャンバの風速校正方法。 - 【請求項２】 前記処理室開口部における風速の予測変
化範囲内が、前記処理室開口部の最大開口時の前記開口
部における風速と、前記処理室における作業時に必要な
前記処理室開口部の最小開口時の前記開口部における風
速との間に設定されていることを特徴とする請求項１記
載のドラフトチャンバの風速校正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27811796A JPH10118504A (ja) | 1996-10-21 | 1996-10-21 | ドラフトチャンバの風速校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27811796A JPH10118504A (ja) | 1996-10-21 | 1996-10-21 | ドラフトチャンバの風速校正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10118504A true JPH10118504A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17592862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27811796A Pending JPH10118504A (ja) | 1996-10-21 | 1996-10-21 | ドラフトチャンバの風速校正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10118504A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011104469A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Manzen Koki Kk | 開閉窓部風速制御装置付ドラフトチャンバー |
| JP2013142666A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Ube Ind Ltd | 防塵用カバー部材 |
| CN104730284A (zh) * | 2013-12-24 | 2015-06-24 | 格力电器（合肥）有限公司 | 取样风速监控装置及具有其的焓差法实验检测设备 |
-
1996
- 1996-10-21 JP JP27811796A patent/JPH10118504A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011104469A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Manzen Koki Kk | 開閉窓部風速制御装置付ドラフトチャンバー |
| JP2013142666A (ja) * | 2012-01-12 | 2013-07-22 | Ube Ind Ltd | 防塵用カバー部材 |
| CN104730284A (zh) * | 2013-12-24 | 2015-06-24 | 格力电器（合肥）有限公司 | 取样风速监控装置及具有其的焓差法实验检测设备 |
| CN104730284B (zh) * | 2013-12-24 | 2019-11-12 | 珠海格力电器股份有限公司 | 取样风速监控装置及具有其的焓差法实验检测设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030527 |