JPH10111255A - Disk-inspection device - Google Patents

Disk-inspection device

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Publication number
JPH10111255A
JPH10111255A JP8264250A JP26425096A JPH10111255A JP H10111255 A JPH10111255 A JP H10111255A JP 8264250 A JP8264250 A JP 8264250A JP 26425096 A JP26425096 A JP 26425096A JP H10111255 A JPH10111255 A JP H10111255A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
track
inspection data
inspection
information
data
Prior art date
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Pending
Application number
JP8264250A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Konishi
浩 小西
Toshihisa Tanaka
稔久 田中
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP8264250A priority Critical patent/JPH10111255A/en
Publication of JPH10111255A publication Critical patent/JPH10111255A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To speed up inspection by a method wherein inspection data obtained from tracks belonging to a first information track group are used as the inspection data on the tracks belonging to a second information track group adjacent thereto in the case when a high correlation is recognized between the first and second inspection data. SOLUTION: A directional position of the focus of an objective lens 23 following a prescribed land track is detected and subjected to secondary differentiation by a secondary differentiation circuit 36 and it is made a plane vibration acceleration signal. The time series data on the land track in one rotation are stored as inspection data in a data storage circuit 14. Tracking is shifted to an adjacent group in succession and the time series data in one rotation are stored as the inspection data in the data storage circuit 14. CPU 13 calculates the correlation between the two inspection data, and when the correlation is higher than a prescribed value, the inspection data on the land track are substituted for the inspection data on a groove track adjacent thereto.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク検査装置
に関し、特に光磁気ディスクや光ディスクなどの情報記
録媒体の機械的特性を検査するディスク検査装置に関す
るものである。
The present invention relates to a disk inspection apparatus, and more particularly to a disk inspection apparatus for inspecting mechanical characteristics of an information recording medium such as a magneto-optical disk and an optical disk.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、光磁気ディスクや光ディスクな
どの情報記録媒体は、スパイラル状の溝から成るトラッ
クが形成されており、このトラックの溝の凸部あるいは
凹部のいずれか一方にのみ沿って情報の記録再生が行わ
れる。従来、このような情報記録媒体の機械的特性、例
えば面振れ加速度、半径方向加速度あるいは高速度変位
などを検査するディスク検査装置では、トラックの溝の
凸部あるいは凹部のいずれか一方についてのみ検査を行
うものとなっていた。
2. Description of the Related Art In general, an information recording medium such as a magneto-optical disk or an optical disk has a track formed of a spiral groove, and the information is formed along only one of a convex portion and a concave portion of the groove of the track. Is recorded and reproduced. Conventionally, in a disk inspection apparatus for inspecting the mechanical characteristics of such an information recording medium, for example, a run-out acceleration, a radial acceleration or a high-speed displacement, an inspection is performed only on one of a convex portion and a concave portion of a track groove. Was to do.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のディスク検査装置では、トラックの溝の凸部
あるいは凹部のいずれか一方についてのみ検査を行うも
のとなっているため、より多くの情報を記憶するために
トラックの溝の凸部および凹部の両方に情報を記憶した
情報記録媒体については、凸部および凹部の両方につい
てそれぞれ検査する必要があり、短時間で検査を行うこ
とができないという問題点があった。本発明はこのよう
な課題を解決するためのものであり、トラックの溝の凸
部および凹部の両方に情報を記憶したディスクについて
高速に機械的特性の検査を実施することができるディス
ク検査装置を提供することを目的としている。
However, in such a conventional disk inspection apparatus, since only one of the convex and concave portions of the track groove is inspected, more information can be obtained. For an information recording medium in which information is stored in both the convex portion and the concave portion of the track groove for storage, it is necessary to inspect both the convex portion and the concave portion, and the inspection cannot be performed in a short time. There was a point. The present invention is intended to solve such a problem, and provides a disk inspection apparatus capable of performing a high-speed mechanical characteristic inspection on a disk in which information is stored in both a convex portion and a concave portion of a track groove. It is intended to provide.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明によるディスク検査装置は、第1およ
び第2の情報トラックグループに属する所定のトラック
から所定の機械的特性を示す検査データを検出する検出
手段と、この検出手段により得られた検査データに基づ
いて機械的特性を検査するとともに、第1の情報トラッ
クグループに属する所定のトラックから得られた第1の
検査データと、このトラックと隣接する第2の情報トラ
ックグループに属するトラックから得られた第2の検査
データとに、所定以上の相関関係が認められた場合に
は、第2の情報トラックグループに属するトラックの検
査データとして、このトラックに隣接する第1の情報ト
ラックグループに属するトラックから得られた検査デー
タを用いる制御手段とを備えるものである。また、制御
手段は、検出手段により得られた検査データに基づき、
機械的特性として少なくとも面振れ加速度、半径方向加
速度または高速度変位を検査するようにしたものであ
る。したがって、第1の情報トラックグループに属する
所定のトラックから得られた第1の検査データと、この
トラックと隣接する第2の情報トラックグループに属す
るトラックから得られた第2の検査データとに、所定以
上の相関関係が認められた場合には、第2の情報トラッ
クグループに属するトラックの検査データとして、この
トラックに隣接する第1の情報トラックグループに属す
るトラックから得られた検査データが用いられる。
In order to achieve the above object, a disk inspection apparatus according to the present invention provides an inspection apparatus which exhibits predetermined mechanical characteristics from predetermined tracks belonging to first and second information track groups. Detecting means for detecting data; first inspection data obtained from a predetermined track belonging to a first information track group, while inspecting mechanical characteristics based on the inspection data obtained by the detecting means; If a predetermined correlation or more is found between the track and the second inspection data obtained from the track belonging to the adjacent second information track group, the inspection of the track belonging to the second information track group is performed. Control means using, as data, test data obtained from a track belonging to a first information track group adjacent to this track It is those with a. Further, the control means, based on the inspection data obtained by the detection means,
As the mechanical characteristics, at least surface deflection acceleration, radial acceleration or high-speed displacement is inspected. Therefore, the first inspection data obtained from the predetermined track belonging to the first information track group and the second inspection data obtained from the track belonging to the second information track group adjacent to this track include: If a correlation equal to or greater than a predetermined value is found, test data obtained from a track belonging to a first information track group adjacent to this track is used as test data for a track belonging to the second information track group. .

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。図1は本発明のー実施の形態であるディ
スク検査装置のブロック図であり、同図において、2は
記録媒体1の半径方向に移動可能なように配置された光
へツドクであり、所定パワーの光ビーム(レーザ光)2
5を出力する発光素子(半導体レーザ:LD)21、記
録媒体1に反射光を検出する受光素子(PINフォトダ
イオード)22、対物レンズ23、および光ビームのト
ラック位置およびフォーカスを制御するアクチュエータ
3を有している。
Next, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of a disk inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 2 denotes a light head arranged so as to be movable in a radial direction of a recording medium 1 and has a predetermined power. Light beam (laser light) 2
5, a light-emitting element (semiconductor laser: LD) 21, a light-receiving element (PIN photodiode) 22, which detects reflected light on the recording medium 1, an objective lens 23, and an actuator 3, which controls the track position and focus of the light beam. Have.

【0006】記録媒体1の記録再生面には、同心円状あ
るいは螺旋(スパイラル)状であって、半径方向に交互
にランドおよびグルーブからなるトラック溝が形成され
ている。ここでは便宜上、1aをランド(凸部:第1の
トラックグループ)、1bをグルーブ(凹部:第2のト
ラックグループ)と呼ぶことにする。光ヘッド2の発光
素子21から分光器(偏光ビームスプリッタ)24を介
して記録媒体1に照射された光ビーム25は、ランド1
a上またはグルーブ1b上に光スポットを形成する。
[0006] On the recording / reproducing surface of the recording medium 1, track grooves having concentric or spiral shapes and formed of lands and grooves are formed alternately in the radial direction. Here, for convenience, 1a is referred to as a land (convex portion: first track group), and 1b is referred to as a groove (concave portion: second track group). The light beam 25 applied to the recording medium 1 from the light emitting element 21 of the optical head 2 via the spectroscope (polarizing beam splitter) 24
A light spot is formed on a or the groove 1b.

【0007】ここで反射された反射光は、分光器24を
介して受光部が複数(例えば4分割)に分割されている
受光素子22で受光され、それぞれの受光信号が信号生
成回路4に出力される。信号生成回路4では、これら受
光信号に基づいて光ビーム25とトラックとの位置的誤
差を示すトラッキング誤差(TE)信号、焦点誤差を示
すフォーカス誤差(FE)信号などの各種サーボ信号を
生成するとともに、トラックに記録されている情報を示
す再生信号を生成する。
The reflected light is received by a light receiving element 22 having a light receiving portion divided into a plurality (for example, four) through a spectroscope 24, and each light receiving signal is output to a signal generating circuit 4. Is done. The signal generation circuit 4 generates various servo signals such as a tracking error (TE) signal indicating a positional error between the light beam 25 and the track and a focus error (FE) signal indicating a focus error based on the received light signals. , A reproduction signal indicating information recorded on the track is generated.

【0008】ゲイン設定回路5、位相補償回路6および
AFドライバ7から、フォーカスサーボループが構成さ
れており、信号生成回路4からのフォーカス誤差信号に
基づいてAFドライバ7からアクチュエータ3をサーボ
制御することにより光ビーム25のフォーカスが制御さ
れ、記録媒体1のランド1aおよびグルーブ1bにて所
望のフォーカスが得られるものとなっている。
A focus servo loop is constituted by the gain setting circuit 5, the phase compensation circuit 6 and the AF driver 7. The actuator 3 is servo-controlled by the AF driver 7 based on a focus error signal from the signal generation circuit 4. Controls the focus of the light beam 25, and a desired focus can be obtained at the land 1 a and the groove 1 b of the recording medium 1.

【0009】また、ゲイン設定回路8、位相補償回路
9、極性反転回路10、およびATドライバ11から、
トラッキングサーボループが構成されており、信号生成
回路4からのトラッキング誤差信号に基づいてATドラ
イバ11をサーボ制御することにより光ビーム25の照
射位置が半径方向にわずかに制御され、記録媒体1のラ
ンド1aおよびグルーブ1bの所望位置(トラック中
央)に照射されるものとなっており、これらフォーカス
制御およびトラッキング制御を並行して行うことによ
り、光ビーム25を所定のランド1aまたはグルーブ1
bに追従させることができる。
A gain setting circuit 8, a phase compensating circuit 9, a polarity inverting circuit 10, and an AT driver 11
A tracking servo loop is formed, and the irradiation position of the light beam 25 is slightly controlled in the radial direction by servo-controlling the AT driver 11 based on the tracking error signal from the signal generation circuit 4. 1a and a desired position (the center of the track) of the groove 1b. By performing the focus control and the tracking control in parallel, the light beam 25 is emitted to a predetermined land 1a or the groove 1b.
b.

【0010】12は信号生成回路4からの再生信号を検
出し所定の信号処理を行うことにより、ランド1aおよ
びグルーブ1bに記録されている情報を示す2値化情報
を出力するとともに、再生信号の振幅情報や積分情報を
出力する再生信号検出回路である。13はこの再生信号
検出回路12およびデータ記憶回路(EP−ROM)1
4からの各種情報に基づいて各部を制御するCPU(制
御手段)である。
Reference numeral 12 detects a reproduction signal from the signal generation circuit 4 and performs predetermined signal processing, thereby outputting binarized information indicating information recorded on the lands 1a and the grooves 1b, and outputting the binarized information. It is a reproduction signal detection circuit that outputs amplitude information and integration information. Reference numeral 13 denotes the reproduction signal detection circuit 12 and the data storage circuit (EP-ROM) 1
And a CPU (control means) for controlling each unit based on various information from the CPU 4.

【0011】特に、CPU13は2値化情報から取得し
たアドレス情報に基づいて、光ビーム25が照射されて
いるトラック位置がランド1aまたはグルーブ1bのい
ずれであるか判断し、この判断結果を示すランドグルー
ブ情報を極性反転回路10に対して出力する。一般に、
ランド1aおよびグルーブ1bには、セクタと呼ばれる
所定の単位記録領域がトラック方向に連続して設けられ
ており、これら各セクタにはそれぞれトラックを示すア
ドレス情報が割り当てられ記録されている。
In particular, the CPU 13 determines whether the track position irradiated with the light beam 25 is the land 1a or the groove 1b based on the address information obtained from the binarized information, and indicates the land result indicating this determination result. The groove information is output to the polarity inversion circuit 10. In general,
In the land 1a and the groove 1b, predetermined unit recording areas called sectors are continuously provided in the track direction, and address information indicating the track is assigned to each of these sectors and recorded.

【0012】したがって、例えばランド1a上のセクタ
のアドレス(ID)情報を奇数とし、一方グルーブ1b
上のセクタのアドレス情報を偶数とした場合には、取得
したアドレス情報の奇数/偶数を判定することにより、
光ビーム25が照射されているトラック位置がランド1
aまたはグルーブ1bのいずれであるかを認識し、ラン
ドグルーブ情報を生成することができる。このランドグ
ルーブ情報に応じて、極性判定回路10にて、ATドラ
イバ11へのトラックサーボループの極性(制御方向)
が切り換えられる。
Therefore, for example, the address (ID) information of the sector on the land 1a is set to an odd number, while
When the address information of the upper sector is set to an even number, by determining the odd / even number of the obtained address information,
The track position irradiated with the light beam 25 is the land 1
a or the groove 1b can be recognized, and land / groove information can be generated. In accordance with the land / groove information, the polarity determination circuit 10 determines the polarity (control direction) of the track servo loop to the AT driver 11.
Is switched.

【0013】CPU13は、前述したアドレス情報に基
づいて光ビーム25が照射されている半径位置を算出
し、その半径位置に応じて予めEP−ROM14に格納
されている光ビーム25のパワー値を読み出してLDド
ライバ16に指示する。これにより、記録媒体1の半径
位置あるいは情報トラックグループに応じた適切なパワ
ーの光ビーム25が出力される。アクチュエータ3に
は、対物レンズ23のフォーカス方向の位置を検出する
フォーカス位置センサ31、および対物レンズ23のト
ラッキング方向の位置を検出するトラッキング位置セン
サ32が設けられており、記録媒体1の機械的特性の検
査のために用いられる。
The CPU 13 calculates a radial position where the light beam 25 is radiated based on the address information described above, and reads a power value of the light beam 25 stored in the EP-ROM 14 in advance according to the radial position. To the LD driver 16. As a result, a light beam 25 having an appropriate power according to the radial position of the recording medium 1 or the information track group is output. The actuator 3 is provided with a focus position sensor 31 for detecting the position of the objective lens 23 in the focus direction and a tracking position sensor 32 for detecting the position of the objective lens 23 in the tracking direction. Used for inspection.

【0014】フォーカス位置センサ31からのフォーカ
ス位置センサ信号は、フィルタ33を介して2次微分回
路36に入力され、ここで2次微分されて面振れ加速度
信号が生成されて、A/D変換回路38を介してデータ
記憶回路14に出力される。トラッキング位置センサ3
2からのトラッキング位置センサ信号は、フィルタ34
を介して2次微分回路37に入力され、ここで2次微分
されて半径方向加速度信号が生成されて、A/D変換回
路38を介してデータ記憶回路14に出力される。
The focus position sensor signal from the focus position sensor 31 is input to a secondary differentiating circuit 36 via a filter 33, where the signal is secondarily differentiated to generate a plane deflection acceleration signal, and an A / D conversion circuit is provided. The data is output to the data storage circuit 14 through 38. Tracking position sensor 3
The tracking position sensor signal from
Is input to a secondary differentiating circuit 37, where the signal is secondarily differentiated to generate a radial acceleration signal, which is output to the data storage circuit 14 via the A / D conversion circuit 38.

【0015】これら、フォーカス位置センサ31、トラ
ック位置センサ32、フィルタ33〜35、2次微分回
路36,37にて、各情報トラックグループに属する所
定のトラックから所定の機械的特性を示す検査データを
検出する検出手段が構成される。15はCPU13から
の検査出力に応じて、記憶媒体1に関する機械的特性の
検査結果を表示する表示回路である。
The focus position sensor 31, the track position sensor 32, the filters 33 to 35, and the secondary differentiating circuits 36 and 37 output inspection data indicating predetermined mechanical characteristics from predetermined tracks belonging to each information track group. Detection means for detecting is configured. Reference numeral 15 denotes a display circuit for displaying a test result of the mechanical characteristics of the storage medium 1 according to a test output from the CPU 13.

【0016】次に、図1を参照して、本発明の動作を説
明する。記録媒体1が装置に装填されてから記録媒体1
が所定の回転数に達した後、装置内部の光ヘッド2がサ
ーボ立ち上げの初期位置に移動し、所定のランドトラッ
クに光スポットを追従させサーボ調整を行う。ここでは
サーボ調整として、例えは、前述したフォーカスサーボ
ループのゲインおよびオフセット調整やトラッキングサ
ーボループのゲインおよひオフセット調整などが実施さ
れる。サーボ調整後、媒体に予め書かれているID部
(フォーマット済みのID部)の再生を行い、どのラン
ドにいるのかを判定した後、検査すべき領域へと光ヘッ
ド2を移動させ、所定のランドトラックに追従させる。
所定のランドトラックで以下のような検査動作を行う。
Next, the operation of the present invention will be described with reference to FIG. After the recording medium 1 is loaded in the apparatus, the recording medium 1
After reaching a predetermined number of revolutions, the optical head 2 inside the apparatus moves to the initial position of the servo start-up, and the servo adjustment is performed by following the light spot on a predetermined land track. Here, as the servo adjustment, for example, the above-described gain and offset adjustment of the focus servo loop and the gain and offset adjustment of the tracking servo loop are performed. After the servo adjustment, the ID portion (formatted ID portion) written in advance on the medium is reproduced, and after determining which land is present, the optical head 2 is moved to the area to be inspected and Follow the land track.
The following inspection operation is performed on a predetermined land track.

【0017】まず、面振れ加速度を検査する場合の動作
について説明する。ここでは、アクチュエータ3のフォ
ーカス方向位置センサ31を用いて、所定ランドトラッ
クを追従中の対物レンズ23のフォーカス方向位置を検
出する。フォーカス位置センサ31からのフォーカス位
置センサ信号は、フィルタ33を介して2次微分回路3
6にて2次微分されて面振れ加速度信号となり、さらに
A/D変換回路38を介してデータ記憶回路14に入力
され検査データとして記憶される。
First, the operation for inspecting the surface runout acceleration will be described. Here, the focus direction position of the objective lens 23 following the predetermined land track is detected by using the focus direction position sensor 31 of the actuator 3. The focus position sensor signal from the focus position sensor 31 is passed through a filter 33 to the second differentiating circuit 3.
The signal is secondarily differentiated at 6 to generate a plane deflection acceleration signal, which is further input to the data storage circuit 14 via the A / D conversion circuit 38 and stored as inspection data.

【0018】検査としては、この面振れ加速度信号のう
ち、所定のランドトラック追従時に、そのランドトラッ
ク一回転分の時系列データを検査データとしてデータ記
憶回路14に記憶する。また、残りの他のトラックから
得られた面振れ加速度信号については、ピーク検出を行
い、所定の検査レベルを越えるかどうかの判定を行う。
続いて、先に時系列データを取った所定のランドトラッ
クに隣り合うグルーブヘトラッキングをかけて、一回転
分の面振れ加速度信号の時系列データを検査データとし
てデータ記憶回路14に記憶し、CPU13にて、隣り
合うランドトラックとグルーブトラックとにおける検査
データの相関を算出し、両者の相関が所定値より高けれ
ば、以降のグルーブトラックにおける検査データは、そ
のグルーブトラックに隣接するランドトラックの検査デ
ータで代替する。
In the inspection, time series data of one rotation of the land track is stored in the data storage circuit 14 as inspection data when a predetermined land track is followed in the surface deflection acceleration signal. Further, peak detection is performed on the surface deflection acceleration signal obtained from the remaining other tracks, and it is determined whether the signal exceeds a predetermined inspection level.
Subsequently, tracking is performed on a groove adjacent to the predetermined land track from which the time-series data has been previously taken, and the time-series data of the surface runout acceleration signal for one rotation is stored as inspection data in the data storage circuit 14, and the CPU 13 Then, the correlation between the inspection data of the adjacent land track and the groove track is calculated, and if the correlation between the two is higher than a predetermined value, the inspection data of the subsequent groove track is the inspection data of the land track adjacent to the groove track. Substitute with

【0019】図2は隣り合うランドトラックとグルーブ
トラックとにおけるトラック一回転分の波形レベルのサ
ンプリング例を示す説明図でぁり、(a)はランドトラ
ックから得られた信号の波形レベル、(b)はランドト
ラック(a)と隣接するグルーブトラックから得られた
信号の波形レベルを示している。また図3は隣り合うラ
ンドトラックとグルーブトラックとにおける検査データ
の相関を示す説明図であり、横軸にランドトラックから
得られた信号の波形レベル、縦軸にランドトラック(横
軸)と隣接するグルーブトラックから得られた信号の波
形レベルを示している。
FIGS. 2A and 2B are explanatory diagrams showing an example of sampling the waveform level for one rotation of the track between adjacent land tracks and groove tracks. FIG. 2A shows the waveform level of a signal obtained from the land track, and FIG. ) Shows the waveform level of the signal obtained from the groove track adjacent to the land track (a). FIG. 3 is an explanatory diagram showing the correlation of inspection data between adjacent land tracks and groove tracks. The horizontal axis represents the waveform level of a signal obtained from the land track, and the vertical axis represents the land track (horizontal axis). It shows the waveform level of the signal obtained from the groove track.

【0020】所定のランドトラックおよびこれに隣接す
るグルーブトラックから、トラックク一回転分として図
2に示したような時系列の検査データ、ここでは面振れ
加速度データがサンプリングされた場合、CPU13
は、両検査データに基づいて、図3に示すような両者間
の相関を算出する。例えば、図2に示すように、同一の
トラック円周位置から同一タイミングiでサンプリング
されたデータAi,Biの値をDli,Dgiとした場
合、図3では、これらDli,Dgiを縦軸および縦軸
に取って、タイミングiにおける相関データを得る。こ
のようにして、すべての検査データから得られた相関デ
ータに基づいて、両者の相関を算出し、その相関が所定
値より高い場合(相関幅が狭い場合)には、グルーブト
ラックの検査データをその隣接するランドトラックの検
査データで代替する。
When a time series of inspection data as shown in FIG. 2, that is, surface runout acceleration data as shown in FIG. 2, is sampled from a predetermined land track and a groove track adjacent thereto as one track rotation, the CPU 13
Calculates a correlation between the two as shown in FIG. 3 based on both the inspection data. For example, as shown in FIG. 2, when the values of data Ai and Bi sampled at the same timing i from the same track circumferential position are Dli and Dgi, in FIG. 3, these Dli and Dgi are plotted on the vertical and vertical axes. On the axis, correlation data at timing i is obtained. In this way, the correlation between the two is calculated based on the correlation data obtained from all the inspection data, and when the correlation is higher than a predetermined value (when the correlation width is narrow), the inspection data of the groove track is converted. The inspection data of the adjacent land track is substituted.

【0021】次に、半径方向加速度を検査する場合の動
作について説明する。ここでは、アクチュエータ3のト
ラッキング方向位置センサ32を用いて、所定ランドを
追従中の対物レンズのトラッキング方向位置を検出す
る。トラッキング位置センサ32からのトラッキング位
置センサ信号は、フィルタ34を介して2次微分回路3
7にて2次微分されて半径方向加速度信号となり、さら
にA/D変換回路38を介してデータ記憶回路14に入
力され検査データとして記憶される。
Next, the operation for inspecting the radial acceleration will be described. Here, the tracking direction position of the objective lens following the predetermined land is detected by using the tracking direction position sensor 32 of the actuator 3. The tracking position sensor signal from the tracking position sensor 32 is passed through a filter 34 to a second differentiating circuit 3.
The signal is secondarily differentiated at 7 to become a radial acceleration signal, which is further input to the data storage circuit 14 via the A / D conversion circuit 38 and stored as inspection data.

【0022】検査としては、この半径方向加速度信号の
うち、所定のランドトラック追従時に、そのランドトラ
ック一回転分の時系列データをデータ記憶回路14に検
査データとして記憶する。また、残りの他のトラックか
ら得られた半径方向加速度信号については、ピーク検出
を行い、所定の検査レベルを越えるかどうかの判定を行
う。続いて、先に時系列データを取った所定のランドト
ラックに隣り合うグルーブへトラッキングをかけて、一
回転分の半径方向加速度信号の時系列データを検査デー
タとしてデータ記憶回路14に記憶し、CPU13に
て、隣り合うランドトラックとグルーブトラックとにお
ける検査データの相関を算出し、両者の相関が高けれ
ば、以降のグルーブトラックでの検査データは、そのグ
ルーブトラックに隣接するランドトラックの検査データ
で代替する。
In the inspection, time series data of one rotation of the land track is stored in the data storage circuit 14 as inspection data when a predetermined land track is followed in the radial acceleration signal. Further, peak detection is performed on the radial acceleration signals obtained from the remaining other tracks, and it is determined whether or not a signal exceeds a predetermined inspection level. Subsequently, tracking is performed on the groove adjacent to the predetermined land track from which the time-series data has been previously taken, and the time-series data of the radial acceleration signal for one rotation is stored in the data storage circuit 14 as inspection data, and the CPU 13 Calculates the correlation between the inspection data of the adjacent land track and the groove track, and if the correlation is high, the inspection data of the subsequent groove track is replaced with the inspection data of the land track adjacent to the groove track. I do.

【0023】次に、高速度変位を検査する場合の動作に
ついて説明する。ここでは、信号生成回路4からのFE
信号またはTE信号を用いて、所定ランドを追従中にF
E信号またはTE信号に含まれる数KHz以上の突発的
な残差信号のうち、所定レベルを越える高速度変位の継
続時間をCPU13内の力ウンタなどにて検出する。例
えばTE信号に基づいて高速度変位を検査する場合、信
号生成回路4からのTE信号をフィルタ35に入力し、
この出力をA/D変換回路38を介してデータ記憶回路
14に検査データとして記憶し、さらにCPU13にて
高速度変位継続期間を検出する。
Next, the operation for inspecting a high-speed displacement will be described. Here, the FE from the signal generation circuit 4
Signal or TE signal while following a predetermined land.
Among the sudden residual signals of several KHz or more contained in the E signal or the TE signal, the duration of the high speed displacement exceeding a predetermined level is detected by a power counter or the like in the CPU 13. For example, when inspecting a high-speed displacement based on a TE signal, the TE signal from the signal generation circuit 4 is input to the filter 35,
This output is stored as test data in the data storage circuit 14 via the A / D conversion circuit 38, and the CPU 13 detects the high-speed displacement continuation period.

【0024】検査としては、このTE信号のうち、所定
のランドトラック追従時に、そのランドトラック一回転
分の時系列データをデータ記憶回路14に記憶する。ま
た、残りの他のトラックから得られたTE信号について
は、CPU13にて高速度変位継続時間を検出し、その
継続時間が所定の検査レベルを越えるかどうかの判定を
行う。続いて、先に時系列データを取った所定のランド
トラックに隣り合うグルーブヘトラッキングをかけて、
一回転分のTE信号の時系列データを検査データとして
データ記憶回路14に記憶し、CPU13にて、隣り合
うランドトラックとグルーブトラックとにおける検査デ
ータの相関を算出し、両者の相関が高ければ、以降のグ
ルーブトラックでの高速度変位継続時間を検査するため
の検査データは、そのグルーブトラックに隣接するラン
ドトラックの検査データで代替する。
As an inspection, time series data of one revolution of the land track is stored in the data storage circuit 14 when a predetermined land track follows the TE signal. For the TE signals obtained from the remaining tracks, the CPU 13 detects the high-speed displacement duration and determines whether or not the duration exceeds a predetermined inspection level. Subsequently, tracking is performed on a groove adjacent to a predetermined land track for which time-series data has been taken earlier,
The time-series data of the TE signal for one rotation is stored as inspection data in the data storage circuit 14, and the CPU 13 calculates the correlation between the inspection data on the adjacent land track and the groove track. Subsequent inspection data for inspecting the high-speed displacement continuation time in the groove track is replaced with inspection data of a land track adjacent to the groove track.

【0025】このように、所定のランドトラックとこれ
に隣接するグルーブトラックとから各種検査データを得
るとともに、これら時系列データの相関を算出し、両者
の検査データに所定以上の相関があった場合には、グル
ーブトラックの検査データとしてこれに隣接するランド
トラックから得られた検査データを用いるようにしたの
で、ランドトラックおよびグルーブトラックの両方に情
報を記憶したディスクについても高速に機械的特性の検
査を実施することができる。なお、以上の説明におい
て、グルーブトラックの検査データをランドトラックの
検査データにて代替するようにした場合について説明し
たが、これに限定されるものではなく、これとは逆に、
ランドトラックの検査データをグルーブトラックの検査
データにて代替するようにしてもよい。
As described above, various inspection data are obtained from a predetermined land track and a groove track adjacent thereto, and a correlation between these time-series data is calculated. In this method, inspection data obtained from a land track adjacent to the groove track is used as inspection data for a groove track, so that a disk having information stored in both a land track and a groove track can be inspected at high speed for mechanical characteristics. Can be implemented. In the above description, the case where the inspection data of the groove track is replaced with the inspection data of the land track has been described. However, the present invention is not limited to this.
The inspection data of the land track may be replaced with the inspection data of the groove track.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、第1お
よび第2の情報トラックグループに属する所定のトラッ
クから所定の機械的特性を示す検査データを検出する検
出手段を設けて、この検出手段により得られた検査デー
タに基づいて機械的特性、例えば面振れ加速度、半径方
向加速度または高速度変位を検査するとともに、第1の
情報トラックグループに属する所定のトラックから得ら
れた第1の検査データと、このトラックと隣接する第2
の情報トラックグループに属するトラックから得られた
第2の検査データとに、所定以上の相関関係が認められ
た場合には、第2の情報トラックグループに属するトラ
ックの検査データとして、このトラックに隣接する第1
の情報トラックグループに属するトラックから得られた
検査データを用いるようにしたものである。したがっ
て、従来のように、トラックの溝の凸部および凹部の両
方に情報を記憶したものについては、凸部および凹部の
両方についてそれぞれ検査する場合と比較して、トラッ
クの溝の凸部および凹部の両方に情報を記憶したディス
クについて高速に機械的特性の検査を実施することがで
きる。
As described above, according to the present invention, detecting means for detecting inspection data having predetermined mechanical characteristics from predetermined tracks belonging to the first and second information track groups is provided. Inspection of mechanical characteristics such as surface runout acceleration, radial acceleration or high-speed displacement based on the inspection data obtained by the means, and a first inspection obtained from a predetermined track belonging to the first information track group. The data and the second
If a predetermined correlation or more is recognized with the second inspection data obtained from the track belonging to the information track group, the inspection data of the track belonging to the second information track group is determined as the inspection data of the track belonging to the second information track group. First
Inspection data obtained from tracks belonging to the information track group is used. Therefore, when the information is stored in both the convex and concave portions of the track groove as in the related art, the convex and concave portions of the track groove are compared with the case where both the convex and concave portions are inspected, respectively. Inspection of the mechanical characteristics can be performed at high speed with respect to the disc in which the information is stored in both of them.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明のー実施の形態によるディスク検査装
置のブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram of a disk inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】 隣り合うランドトラックとグルーブトラック
とにおけるトラック一回転分の波形レベルのサンプリン
グ例を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of sampling waveform levels for one rotation of a track between adjacent land tracks and groove tracks.

【図3】 隣り合うランドトラックとグルーブトラック
とにおける検査デー夕の相関を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a correlation between inspection data and an adjacent land track and a groove track.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…記録媒体、1a…ランド、1b…グルーブ、2…光
ヘッド、21…発光素子、22…受光素子、23…対物
レンズ、24…分光器、25…光ビーム、3…アクチュ
エータ、31…フォーカス位置センサ、32…トラッキ
ング位置センサ、33〜35…フィルタ、36,37…
2次微分回路、38…A/D変換回路、4…信号生成回
路、5,8…ゲイン設定回路、6,9…位相補償回路、
7…AFドライバ、10…極性反転回路、11…ATド
ライバ、12…再生信号検出回路、13…CPU、14
…データ記憶回路、15…表示回路、16…LDドライ
バ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Recording medium, 1a ... Land, 1b ... Groove, 2 ... Optical head, 21 ... Light emitting element, 22 ... Light receiving element, 23 ... Objective lens, 24 ... Spectroscope, 25 ... Light beam, 3 ... Actuator, 31 ... Focus Position sensor, 32: Tracking position sensor, 33 to 35: Filter, 36, 37 ...
Second-order differentiator circuit, 38 A / D conversion circuit, 4 signal generation circuit, 5, 8 gain setting circuit, 6, 9 phase compensation circuit,
7: AF driver, 10: polarity inversion circuit, 11: AT driver, 12: reproduction signal detection circuit, 13: CPU, 14
... data storage circuit, 15 ... display circuit, 16 ... LD driver.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 記録媒体に情報トラックとして同周円状
あるいは螺旋状であって、かつ半径方向に交互に設けら
れた溝状の第1および第2の情報トラックグループの両
方に対して機械的特性を検査するディスク検査装置にお
いて、 第1および第2の情報トラックグループに属する所定の
トラックから所定の機械的特性を示す検査データを検出
する検出手段と、 この検出手段により得られた検査データに基づいて機械
的特性を検査するとともに、第1の情報トラックグルー
プに属する所定のトラックから得られた第1の検査デー
タと、前記トラックと隣接する第2の情報トラックグル
ープに属するトラックから得られた第2の検査データと
に、所定以上の相関関係が認められた場合には、第2の
情報トラックグループに属するトラックの検査データと
して、前記トラックに隣接する第1の情報トラックグル
ープに属するトラックから得られた検査データを用いる
制御手段とを備えることを特徴とするディスク検査装
置。
1. A method according to claim 1, wherein the first and second information track groups having the same circular shape or spiral shape as the information tracks on the recording medium and provided alternately in the radial direction are mechanically provided. A disk inspection apparatus for inspecting characteristics, detecting means for detecting inspection data indicating predetermined mechanical characteristics from predetermined tracks belonging to the first and second information track groups, and detecting the inspection data obtained by the detecting means. The mechanical characteristics are inspected based on the first inspection data obtained from a predetermined track belonging to the first information track group, and the first inspection data obtained from a track belonging to a second information track group adjacent to the track. If a predetermined correlation or more is found with the second inspection data, the inspection data of a track belonging to the second information track group is checked. As data, disk inspection apparatus characterized by a control means using test data obtained from the track belonging to the first information track group adjacent to the track.
【請求項2】請求項1記載のディスク検査装置におい
て、 制御手段は、検出手段により得られた検査データに基づ
き、機械的特性として少なくとも面振れ加速度、半径方
向加速度または高速度変位を検査することを特徴とする
ディスク検査装置。
2. A disk inspection apparatus according to claim 1, wherein said control means inspects at least surface runout acceleration, radial acceleration or high-speed displacement as mechanical characteristics based on the inspection data obtained by said detection means. A disk inspection device characterized by the above-mentioned.
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