JPH098387A - Laser amplifier - Google Patents

Laser amplifier

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JPH098387A
JPH098387A JP14883795A JP14883795A JPH098387A JP H098387 A JPH098387 A JP H098387A JP 14883795 A JP14883795 A JP 14883795A JP 14883795 A JP14883795 A JP 14883795A JP H098387 A JPH098387 A JP H098387A
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JP
Japan
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laser
wavelength
wavelengths
diffraction grating
laser light
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Application number
JP14883795A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hisae Itou
寿枝 伊東
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH098387A publication Critical patent/JPH098387A/en
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Abstract

PURPOSE: To amplify two laser lights having different wavelength simultaneously using a single laser amplifier. CONSTITUTION: When a laser light P comprising two components of different wavelength A, B superposed on an identical optical axis enters into a chamber 10, the laser light P is diffracted through a first diffraction grating 12 to respective optical paths for wavelength A and B before entering into a pumping region 11. The laser light components having wavelength A, B are amplified when passing through the pumping region 11 and then they are passed through a second diffraction grating 14 before being outputted on the same axis.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、レーザ光を用
いてオゾンや水蒸気などの大気中濃度の測定するレーザ
レーダ用光源に適用されるレーザ増幅器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser amplifier applied to a laser radar light source for measuring atmospheric concentrations of ozone, water vapor and the like using laser light.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、オゾンや水蒸気、揮発性有機化合
物等の大気中濃度の測定が盛んに行われてきている。こ
の大気中濃度の測定法の一つに、レーザ光を用いた差分
吸収法がある。この差分吸収法は、測定対象分子の吸収
の大きい波長Aと小さい波長Bの2つの波長のレーザ光
を用いて測定、解析するものである。
2. Description of the Related Art In recent years, atmospheric concentrations of ozone, water vapor, volatile organic compounds, etc. have been actively measured. One of the methods for measuring the atmospheric concentration is a differential absorption method using laser light. This differential absorption method is to measure and analyze using laser light having two wavelengths, a wavelength A and a wavelength B at which absorption of molecules to be measured is large.

【0003】図5はかかる差分吸収法を適用したレーザ
レーダ用光源の構成図である。2つのレーザ管1、2に
は、それぞれ回折格子3、4及び出力ミラー5、6が配
置されている。このうち一方の回折格子3は、波長Aを
選択するためのものであり、他方の回折格子4は、波長
Bを選択するためのものである。
FIG. 5 is a block diagram of a laser radar light source to which such a differential absorption method is applied. Diffraction gratings 3 and 4 and output mirrors 5 and 6 are arranged in the two laser tubes 1 and 2, respectively. One of the diffraction gratings 3 is for selecting the wavelength A, and the other diffraction grating 4 is for selecting the wavelength B.

【0004】従って、一方のレーザ管1から出力された
レーザ光は、回折格子3による回折により波長Aのレー
ザ光として出力され、他方のレーザ管2から出力された
レーザ光は、回折格子4による回折により波長Bのレー
ザ光として出力される。
Therefore, the laser beam output from one laser tube 1 is output as a laser beam of wavelength A by diffraction by the diffraction grating 3, and the laser beam output from the other laser tube 2 is output by the diffraction grating 4. It is output as laser light of wavelength B by diffraction.

【0005】これら波長A、Bの各レーザ光は、それぞ
れ各ミラー7、8により反射し、同軸上のレーザ光とし
て大気中に放射される。そして、大気中で散乱し戻って
きた各波長A、Bのレーザ光は、別途望遠鏡により受光
され、その受光量つまり各波長A、Bの吸収量を検出し
て大気中におけるオゾンや水蒸気等の濃度が測定され
る。
The laser beams of wavelengths A and B are reflected by the mirrors 7 and 8, respectively, and are emitted into the atmosphere as coaxial laser beams. The laser light of each wavelength A and B scattered and returned in the atmosphere is separately received by the telescope, and the amount of received light, that is, the amount of absorption of each wavelength A and B is detected to detect ozone and water vapor in the atmosphere. The concentration is measured.

【0006】ところで、このようなレーザレーダ用光源
では、測定精度の向上を図るためにレーザの高出力化が
望まれている。そこで、レーザ高出力化を図るためにレ
ーザ増幅器が用いられている。すなわち、2つの波長
A、Bの各レーザ光に対して各レーザ増幅器を配置し、
これらレーザ増幅器により波長A、Bの各レーザ光を別
々に増幅することが行われるが、これでは2台のレーザ
増幅器が必要となる。
By the way, in such a laser radar light source, it is desired to increase the output of the laser in order to improve the measurement accuracy. Therefore, a laser amplifier is used to increase the laser output. That is, each laser amplifier is arranged for each laser beam of two wavelengths A and B,
These laser amplifiers separately amplify the laser lights of wavelengths A and B, but this requires two laser amplifiers.

【0007】又、1台のレーザ増幅器を用いてレーザ増
幅する場合は、同軸の2波長のレーザ光が同時に入射す
ることになる。これにより、2波長のレーザ光が、励起
領域中の同じ光路上を進行することになり、各波長のレ
ーザ光に対する増幅率が低くなる。
When laser amplification is performed using a single laser amplifier, coaxial two wavelength laser beams are simultaneously incident. As a result, the two-wavelength laser light travels on the same optical path in the pumping region, and the amplification factor for the laser light of each wavelength decreases.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】以上のように各波長
A、Bの各レーザ光を別々に増幅すれば、2台のレーザ
増幅器が必要となる。又、1台のレーザ増幅器を用いて
レーザ増幅すれば、各波長のレーザ光が励起領域中の同
じ光路上を進行し、各レーザ光に対する増幅率が低くな
る。そこで本発明は、1台で少なくとも2波長のレーザ
光を同時に増幅できるレーザ増幅器を提供することを目
的とする。
As described above, if each laser beam of each wavelength A and B is amplified separately, two laser amplifiers are required. Further, when laser amplification is performed using one laser amplifier, laser light of each wavelength travels on the same optical path in the excitation region, and the amplification factor for each laser light becomes low. Therefore, it is an object of the present invention to provide a laser amplifier capable of simultaneously amplifying at least two wavelengths of laser light with one unit.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1によれば、互い
に異なる波長の光線を同一光軸上に重ね合わせたレーザ
光を増幅出力するレーザ増幅器において、レーザ光をそ
れぞれ波長別の各光路に分けて励起領域に入射する波長
分光光学系と、励起領域中を進行して増幅された各波長
の各レーザ光を同軸上に戻して出力する出力光学系と、
を備えて上記目的を達成しようとするレーザ増幅器であ
る。
According to a first aspect of the present invention, in a laser amplifier for amplifying and outputting a laser beam in which light beams having different wavelengths are superposed on the same optical axis, the laser beam is sent to each optical path for each wavelength. A wavelength spectroscopic optical system that separately enters the pumping region, and an output optical system that returns each laser beam of each wavelength that has traveled through the pumping region and is amplified to the same axis and output the laser beam,
It is a laser amplifier which has the above-mentioned object and is intended to achieve the above object.

【0010】請求項2によれば、波長分光光学系は回折
格子であるレーザ増幅器である。請求項3によれば、出
力光学系は回折格子であるレーザ増幅器である。請求項
4によれば、励起領域中を別光路で進行する波長別の各
レーザ光を、励起領域中のそれぞれ異なる光路上に折り
返し進行させる折返し光学系を備えたレーザ増幅器であ
る。
According to the second aspect, the wavelength spectroscopic optical system is a laser amplifier which is a diffraction grating. According to claim 3, the output optical system is a laser amplifier which is a diffraction grating. According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a laser amplifier including a folding optical system that causes respective laser beams of different wavelengths traveling in different optical paths in the pumping region to travel back in different optical paths in the pumping region.

【0011】[0011]

【作用】請求項1によれば、互いに異なる波長の光線を
同一光軸上に重ね合わせたレーザ光が入射すると、この
レーザ光を波長分光光学系により各波長別の各光路に分
けて励起領域に入射する。そして、この励起領域中を進
行して増幅された各波長の各レーザ光を出力光学系によ
り同軸上に戻して出力する。このように励起領域中に各
波長のレーザ光を別光路で進行させることにより、1台
で少なくとも2波長のレーザ光を同時に増幅できる。
According to the first aspect, when the laser light in which the light beams having different wavelengths are superposed on the same optical axis is incident, the laser light is divided into each optical path for each wavelength by the wavelength spectroscopic optical system, and the excitation region is obtained. Incident on. Then, each laser beam of each wavelength that has traveled through this excitation region and is amplified is returned to the same axis by the output optical system and output. In this way, by advancing the laser light of each wavelength in the excitation region through separate optical paths, one laser light of at least two wavelengths can be simultaneously amplified.

【0012】請求項2によれば、同軸の少なくとも2波
長のレーザ光を回折格子により各波長別の各光路に分け
て励起領域に入射する。請求項3によれば、励起領域中
を進行して増幅された各波長の各レーザ光を回折格子に
より同軸上に戻して出力する。
According to the second aspect, the coaxial laser light of at least two wavelengths is divided into each optical path for each wavelength by the diffraction grating and is incident on the excitation region. According to the third aspect, the laser lights of the respective wavelengths that have traveled through the pumping region and are amplified are returned to the same axis by the diffraction grating and output.

【0013】請求項4によれば、励起領域中を別光路で
進行する波長別の各レーザ光を折返し光学系により励起
領域中のそれぞれ異なる光路上に折り返し進行させてレ
ーザ増幅する。
According to the fourth aspect of the present invention, the laser lights of different wavelengths which travel in the pumping region in different optical paths are reflected and propagated in different optical paths in the pumping region by the folding optical system to be laser-amplified.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。図1は2波長同時に増幅するレーザ増幅
器の構成図である。チャンバ10内には、励起媒質、例
えばCO2 レーザ用混合ガスが封入されている。このチ
ャンバ10には、図示しないが互いに対向した1対の主
電極が配置され、これら主電極間に対する高電圧印加に
より励起媒質が励起され、励起領域11が形成されるも
のとなっている。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of a laser amplifier that amplifies two wavelengths simultaneously. The chamber 10 is filled with an excitation medium, for example, a mixed gas for CO 2 laser. Although not shown, a pair of main electrodes facing each other is arranged in the chamber 10, and the excitation medium is excited by application of a high voltage between the main electrodes to form an excitation region 11.

【0015】このレーザ増幅器により増幅するレーザ光
Pは、互いに異なる波長の光線を同一光軸上に重ね合わ
せたCO2 レーザ光、例えば波長A(9.50μm)、
波長B(9.59μm)の各レーザ光を同一光軸上に重
ね合わせたものである。
The laser light P amplified by this laser amplifier is a CO 2 laser light in which light beams having different wavelengths are superposed on the same optical axis, for example, a wavelength A (9.50 μm),
Each laser beam of wavelength B (9.59 μm) is superposed on the same optical axis.

【0016】このレーザ光Pは、チャンバ10内の励起
領域11を外れてチャンバ10内に入射する。このチャ
ンバ10内のレーザ光Pの光路上には、波長分光光学系
としての第1の回折格子12が配置されている。この第
1の回折格子12は、2波長A、Bの各レーザ光を各波
長A、B別の各光路に分けて励起領域11に入射する機
能を有している。
This laser light P enters the chamber 10 outside the excitation region 11 in the chamber 10. A first diffraction grating 12 as a wavelength spectroscopic optical system is arranged on the optical path of the laser light P in the chamber 10. The first diffraction grating 12 has a function of dividing each laser beam of two wavelengths A and B into each optical path of each wavelength A and B and making it enter the excitation region 11.

【0017】チャンバ10内において、第1の回折格子
12の回折方向には、折返しミラー13が配置され、か
つこの折返しミラー13のレーザ反射方向には、出力光
学系としての第2の回折格子14が配置されている。
In the chamber 10, a folding mirror 13 is arranged in the diffraction direction of the first diffraction grating 12, and a second diffraction grating 14 as an output optical system is arranged in the laser reflection direction of the folding mirror 13. Are arranged.

【0018】折返しミラー13は、励起領域11中を別
光路で進行してきた各波長A、B別の各レーザ光を折り
返し、再び励起領域11中のそれぞれ異なる光路上に進
行させるものである。
The turn-back mirror 13 turns back each laser beam of each wavelength A and B, which has traveled in the pumping region 11 in another optical path, and causes it to travel again in each different optical path in the pumping region 11.

【0019】第2の回折格子14は、励起領域11中を
進行して増幅された各波長A、Bの各レーザ光を同軸上
に戻して出力する機能を有している。次に上記の如く構
成されたレーザ増幅器の増幅作用について説明する。
The second diffraction grating 14 has a function of returning the laser lights of the respective wavelengths A and B, which have traveled through the excitation region 11 and are amplified, to the same axis and output the same. Next, the amplification action of the laser amplifier configured as described above will be described.

【0020】同軸の2つの波長A、Bのレーザ光Pがチ
ャンバ10内に入射すると、このレーザ光Pは、第1の
回折格子12に入射し、図2に示すように各波長A、B
に分けられる。
When the laser light P of two coaxial wavelengths A and B enters the chamber 10, the laser light P enters the first diffraction grating 12 and, as shown in FIG.
It is divided into

【0021】ここで、波長AをλA 、波長BをλB 、第
1の回折格子12へのレーザ光Pの入射角をi、波長A
のレーザ光の回折角をθA 、波長Bのレーザ光の回折角
をθB 、第1の回折格子12の溝の幅をd、次数をmと
すると、レーザ光Pの入射角iと各波長の回折角θA
θB との関係は次式で表される。
Here, the wavelength A is λ A , the wavelength B is λ B , the incident angle of the laser light P on the first diffraction grating 12 is i, and the wavelength A is
Where the diffraction angle of the laser light is θ A , the diffraction angle of the laser light of wavelength B is θ B , the groove width of the first diffraction grating 12 is d, and the order is m, the incident angle i of the laser light P and the Wavelength diffraction angle θ A ,
The relationship with θ B is expressed by the following equation.

【0022】 m・λA =d( sini± sinθA ) …(1) m・λB =d( sini± sinθB ) …(2) ここで、回折の次数mを1とすると、各波長の回折角θ
A 、θB は、次の通りになる。
M · λ A = d (sini ± sin θ A ) (1) m · λ B = d (sini ± sin θ B ) (2) Here, when the diffraction order m is 1, Diffraction angle θ
A and θ B are as follows.

【0023】[0023]

【数1】 [Equation 1]

【0024】このように2つの波長A、Bにより回折角
θA 、θB が異なり、これら波長A、Bのレーザ光が分
けられる。これら波長A、Bの各レーザ光は、励起領域
11中をそれぞれ異なる光路で進行して折返しミラー1
3に到達し、この折返しミラー13で折返して再び励起
領域11中をそれぞれ異なる光路で進行する。
As described above, the diffraction angles θ A and θ B are different depending on the two wavelengths A and B, and the laser beams of these wavelengths A and B are separated. The respective laser lights of the wavelengths A and B travel in the pumping region 11 through different optical paths, and are reflected by the folding mirror 1.
3, the light is reflected by the folding mirror 13 and travels again in the excitation region 11 through different optical paths.

【0025】このように2つの波長A、Bの各レーザ光
は、励起領域11中を進行することによりそれぞれ増幅
される。これら増幅された各波長A、Bの各レーザ光
は、第2の回折格子14に入射し、同軸の光路上に進行
する。
As described above, the laser lights of the two wavelengths A and B are amplified as they travel through the pumping region 11. The amplified laser lights of the respective wavelengths A and B enter the second diffraction grating 14 and travel on the coaxial optical path.

【0026】すなわち、図3に示すように第2の回折格
子14は、各波長A、Bの各レーザ光がそれぞれ入射角
θA 、θB で入射するように配置される。なお、第2の
回折格子14の溝の幅dは、第1の回折格子12の溝の
幅dと等しいものが用いられる。
That is, as shown in FIG. 3, the second diffraction grating 14 is arranged so that the laser beams of the respective wavelengths A and B are incident at the incident angles θ A and θ B , respectively. The width d of the groove of the second diffraction grating 14 is the same as the width d of the groove of the first diffraction grating 12.

【0027】ここで、第2の回折格子14において、各
波長A、Bの各レーザ光の各回折角をθA ´、θB ´と
すると、入射角θA 、θB と回折角θA ´、θB ´との
関係は、次式で表される。
Here, in the second diffraction grating 14, assuming that the diffraction angles of the laser beams of the respective wavelengths A and B are θ A ′ and θ B ′, the incident angles θ A and θ B and the diffraction angle θ A ′. , Θ B ′ is expressed by the following equation.

【0028】 λA =d( sinθA ± sinθA ´) …(5) λB =d( sinθB ± sinθB ´) …(6) これら式(5)(6)に上記式(3)(4)を代入すると、 θA ´=i …(7) θB ´=i …(8) の関係が得られる。Λ A = d (sin θ A ± sin θ A ′) (5) λ B = d (sin θ B ± sin θ B ′) (6) These expressions (5) and (6) are added to the above expression (3) ( Substituting 4), the relationship of θ A ′ = i (7) θ B ′ = i (8) is obtained.

【0029】すなわち、第2の回折格子14において回
折した各波長A、Bの各レーザ光QA 、QB は、回折角
θA ´、θB ´が等しくなり、同軸上の光路で進行する
ことになる。
That is, the laser beams Q A and Q B of the respective wavelengths A and B diffracted by the second diffraction grating 14 have the same diffraction angles θ A ′ and θ B ′ and travel in the coaxial optical path. It will be.

【0030】なお、図3では回折角θA ´、θB ´を説
明の度合い上異なる角度で示してある。従って、それぞ
れ増幅された波長A、Bのレーザ光QA 、QB は、同軸
上の光路で進行し、チャンバ10から外部に増幅レーザ
光Qとして出力される。
In FIG. 3, the diffraction angles θ A ′ and θ B ′ are shown as different angles for the sake of explanation. Therefore, the amplified laser lights Q A and Q B of the wavelengths A and B travel along the coaxial optical path and are output from the chamber 10 as amplified laser lights Q to the outside.

【0031】このように上記一実施例においては、2波
長A、Bのレーザ光Pが入射すると、これら2波長のレ
ーザ光Pを第1の回折格子12により各波長A、B別の
各光路に分けて励起領域11に入射し、この励起領域1
1中を進行して増幅された各波長A、Bの各レーザ光を
第2の回折格子14により同軸上に戻して出力するよう
にしたので、1台のレーザ増幅器により2つの波長A、
Bの各レーザ光を同時に増幅することができ、しかもこ
れら波長A、Bのレーザ光を励起領域11中の異なる光
路を進行することにより増幅率を大きくして出力でき
る。
As described above, in the above-described embodiment, when the laser light P of two wavelengths A and B is incident, the laser light P of these two wavelengths is passed by the first diffraction grating 12 to each optical path of each wavelength A and B. And is incident on the excitation region 11,
Since the laser lights of the respective wavelengths A and B which have traveled through 1 and are amplified are returned coaxially by the second diffraction grating 14 and output, the two wavelengths A, B are output by one laser amplifier.
Each laser beam of B can be amplified at the same time, and the laser beams of these wavelengths A and B can be outputted with a large amplification factor by advancing through different optical paths in the excitation region 11.

【0032】又、このレーザ増幅器を、オゾンや水蒸気
等の濃度測定のレーザレーダ用光源に適用すれば、高出
力レーザを測定対象に照射して、測定精度の向上を図る
ことができる。
If this laser amplifier is applied to a laser radar light source for measuring the concentration of ozone, water vapor, etc., it is possible to irradiate a high-power laser on a measurement target and improve the measurement accuracy.

【0033】図4はオゾンや水蒸気等の濃度測定のレー
ザレーダ用光源に適用した全体構成図である。2つのレ
ーザ管1、2には、それぞれ回折格子3、4及び出力ミ
ラー5、6が配置されている。このうち一方の回折格子
3は、波長Aを選択するためのものであり、他方の回折
格子4は、波長Bを選択するためのものである。
FIG. 4 is an overall configuration diagram applied to a laser radar light source for measuring the concentration of ozone, water vapor and the like. Diffraction gratings 3 and 4 and output mirrors 5 and 6 are arranged in the two laser tubes 1 and 2, respectively. One of the diffraction gratings 3 is for selecting the wavelength A, and the other diffraction grating 4 is for selecting the wavelength B.

【0034】一方のレーザ管1から出力されたレーザ光
は、回折格子3による回折により波長Aのレーザ光とし
て出力され、他方のレーザ管2から出力されたレーザ光
は、回折格子4による回折により波長Bのレーザ光とし
て出力される。
The laser beam output from one laser tube 1 is output as a laser beam of wavelength A by the diffraction by the diffraction grating 3, and the laser beam output from the other laser tube 2 is output by the diffraction grating 4. It is output as laser light of wavelength B.

【0035】これら波長A、Bの各レーザ光は、それぞ
れ各ミラー7、8により反射し、同軸上のレーザ光Pと
してレーザ増幅器のチャンバ10に入射する。このレー
ザ光Pがチャンバ10内に入射すると、このレーザ光P
は、第1の回折格子12に入射し、図2に示すように各
波長A、Bに分けられる。
The laser lights of the wavelengths A and B are reflected by the mirrors 7 and 8, respectively, and enter the chamber 10 of the laser amplifier as the coaxial laser light P. When this laser light P enters the chamber 10, this laser light P
Enters the first diffraction grating 12 and is divided into wavelengths A and B as shown in FIG.

【0036】これら波長A、Bの各レーザ光は、励起領
域11中をそれぞれ異なる光路で進行して折返しミラー
13に到達し、この折返しミラー13で折返して再び励
起領域11中をそれぞれ異なる光路で進行する。
Each of the laser beams having the wavelengths A and B travels in the excitation region 11 through different optical paths, reaches the folding mirror 13, is folded back by the folding mirror 13, and again in the excitation region 11 through different optical paths. proceed.

【0037】これら2つの波長A、Bの各レーザ光は、
励起領域11中を進行することによりそれぞれ増幅され
る。これら増幅された各波長A、Bの各レーザ光は、図
3に示すように第2の回折格子14に入射し、同軸の光
路上に進行する。
The laser lights of these two wavelengths A and B are
Each of them is amplified by traveling through the excitation region 11. The amplified laser lights of the respective wavelengths A and B enter the second diffraction grating 14 as shown in FIG. 3 and travel on the coaxial optical path.

【0038】従って、それぞれ増幅された波長A、Bの
レーザ光QA 、QB は、同軸上の光路で進行し、チャン
バ10から外部に増幅レーザ光Qとして出力され、大気
中に照射される。
Therefore, the amplified laser lights Q A and Q B of the wavelengths A and B, respectively, travel in the coaxial optical path and are output from the chamber 10 as amplified laser light Q to the outside and are irradiated into the atmosphere. .

【0039】そして、大気中で散乱し戻ってきた各波長
A、Bのレーザ光は、別途望遠鏡により受光され、その
受光量つまり各波長A、Bの吸収量を検出して大気中に
おけるオゾンや水蒸気等の濃度が測定される。
The laser light of each wavelength A and B scattered and returned in the atmosphere is separately received by the telescope, and the amount of received light, that is, the amount of absorption of each wavelength A and B is detected to detect ozone and ozone in the atmosphere. The concentration of water vapor etc. is measured.

【0040】このようなレーザレーダ用光源であれば、
2つの波長A、Bのレーザ光を同時に増幅して高出力の
レーザ光を大気中に照射でき、オゾンや水蒸気、揮発性
有機化合物等の大気中濃度の測定に対する精度を高くで
きる。
With such a laser radar light source,
Laser light of two wavelengths A and B can be amplified at the same time to irradiate high-power laser light into the atmosphere, and accuracy of measurement of atmospheric concentrations of ozone, water vapor, volatile organic compounds, etc. can be increased.

【0041】なお、本発明は、上記一実施例に限定され
るものでなく次の通り変形してもよい。例えば、上記一
実施例では、2つの波長A、Bのレーザ光を増幅出力し
ているが、2つ以上の波長のレーザ光を増幅出力するに
も適用できる。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment but may be modified as follows. For example, in the above-mentioned one embodiment, the laser lights of the two wavelengths A and B are amplified and output, but the present invention can also be applied to the amplification and output of laser lights of two or more wavelengths.

【0042】又、レーザ光の増幅は、1台のレーザ増幅
器を用いた1段の増幅に限らず、複数台のレーザ増幅器
を配列して複数段の増幅を行うように構成してもよい。
又、折返しミラー13を複数枚だけ組み合わせて配置
し、各波長の各レーザ光を励起領域11中に複数回折り
返しして増幅率を大きくするようにしてもよい。さら
に、レーザ増幅器の励起媒体としては、CO2 レーザ用
混合ガスに限らず、チタンーサファイアレーザなどの固
体媒体や液体の励起媒体を用いてもよい。
Further, the amplification of the laser light is not limited to the one-stage amplification using one laser amplifier, and a plurality of laser amplifiers may be arranged to perform the multiple-stage amplification.
Alternatively, a plurality of folding mirrors 13 may be arranged in combination, and each laser beam of each wavelength may be diffracted back into the excitation region 11 to increase the amplification factor. Further, the pumping medium of the laser amplifier is not limited to the mixed gas for CO 2 laser, but a solid medium such as titanium-sapphire laser or a liquid pumping medium may be used.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、1
台で少なくとも2波長のレーザ光を同時に増幅できるレ
ーザ増幅器を提供できる。
As described above in detail, according to the present invention, 1
A laser amplifier capable of simultaneously amplifying at least two wavelengths of laser light on a stand can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係わるレーザ増幅器の一実施例を示す
構成図。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a laser amplifier according to the present invention.

【図2】第1の回折格子によるレーザ光の波長別に分け
る作用を示す模式図。
FIG. 2 is a schematic diagram showing an operation of dividing a laser beam by a wavelength of a first diffraction grating.

【図3】第2の回折格子による各波長のレーザ光を同軸
上にする作用を示す模式図。
FIG. 3 is a schematic diagram showing an operation of coaxially arranging laser light of each wavelength by a second diffraction grating.

【図4】レーザレーダ用光源に適用した全体構成図。FIG. 4 is an overall configuration diagram applied to a laser radar light source.

【図5】レーザレーダ用光源の構成図。FIG. 5 is a configuration diagram of a laser radar light source.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…チャンバ、11…励起領域、12…第1の回折格
子、13…折返しミラー、14…第2の回折格子。
10 ... Chamber, 11 ... Excitation region, 12 ... First diffraction grating, 13 ... Folding mirror, 14 ... Second diffraction grating.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 互いに異なる波長の光線を同一光軸上に
重ね合わせたレーザ光を増幅出力するレーザ増幅器にお
いて、 前記レーザ光をそれぞれ前記波長別の各光路に分けて励
起領域に入射する波長分光光学系と、 前記励起領域中を進行して増幅された前記各波長の各レ
ーザ光を同軸上に戻して出力する出力光学系と、を具備
したことを特徴とするレーザ増幅器。
1. A laser amplifier which amplifies and outputs laser light in which light beams having different wavelengths are superposed on the same optical axis, wherein the laser light is divided into respective optical paths for the respective wavelengths and is incident on an excitation region. A laser amplifier comprising: an optical system; and an output optical system that returns each laser beam of each of the wavelengths, which has traveled in the pumping region and is amplified, back to the coaxial and outputs the laser beam.
【請求項2】 波長分光光学系は、回折格子であること
を特徴とする請求項1記載のレーザ増幅器。
2. The laser amplifier according to claim 1, wherein the wavelength spectroscopic optical system is a diffraction grating.
【請求項3】 出力光学系は、回折格子であることを特
徴とする請求項1記載のレーザ増幅器。
3. The laser amplifier according to claim 1, wherein the output optical system is a diffraction grating.
【請求項4】 前記励起領域中を別光路で進行する前記
波長別の各レーザ光を、前記励起領域中のそれぞれ異な
る光路上に折り返し進行させる折返し光学系を備えたこ
とを特徴とする請求項1記載のレーザ増幅器。
4. A turn-back optical system for turning back each laser beam for each wavelength, which travels in a different optical path in the pumping region, to a different optical path in the pumping region. 1. The laser amplifier according to 1.
JP14883795A 1995-06-15 1995-06-15 Laser amplifier Pending JPH098387A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013529848A (en) * 2010-06-24 2013-07-22 サイマー インコーポレイテッド Master oscillator with prepulse for EUV light source-power amplifier driven laser

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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