JPH0974663A - Motor driver - Google Patents

Motor driver

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JPH0974663A
JPH0974663A JP25203195A JP25203195A JPH0974663A JP H0974663 A JPH0974663 A JP H0974663A JP 25203195 A JP25203195 A JP 25203195A JP 25203195 A JP25203195 A JP 25203195A JP H0974663 A JPH0974663 A JP H0974663A
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JP
Japan
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motor
temperature
power supply
drive
control means
Prior art date
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Pending
Application number
JP25203195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Sekiguchi
浩之 関口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH0974663A publication Critical patent/JPH0974663A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a motor driver which can protect a motor without stopping the driver as a whole when the temperature of the motor becomes abnormally high. SOLUTION: A motor driver is provided with a drive control means 3 which drives a motor 2 by controlling the power supply to the motor 2 and a temperature detecting means 6 which detects the temperature of the motor 2 and the control means 3 temporarily stops the power supply to the motor 2 when the detecting means 6 detects that the temperature of the motor 2 exceeds a prescribed set value and, at the same time, restarts the power supply after a prescribed period.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、工作機械等のモー
タ駆動装置に関し、特にステッパのXYステージのよう
にステップ・アンド・リピート方式の駆動を行なう装置
に使用されるモータ駆動装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a motor drive device for a machine tool or the like, and more particularly to a motor drive device used in a device for performing a step-and-repeat drive such as an XY stage of a stepper.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ステッパのXYステージのような
モータを用いた送り装置において、モータの過熱を防止
するために、モータに過熱センサを取り付けておき、モ
ータの温度が異常に高くなると、ドライバの電源を切
り、モータ過熱エラーとして装置全体を停止している。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a feeder using a motor such as an XY stage of a stepper, an overheat sensor is attached to the motor in order to prevent the motor from overheating. Is turned off, and the whole device is stopped due to a motor overheat error.

【0003】また、モータに過熱センサを取り付ける代
わりに、モータへ流れる電流をモニタして、その電流値
からモータの温度を計算し、その計算したモータの温度
が異常に高くなると、ドライバの電源を切り、モータ過
熱エラーとして装置全体を停止している。
Further, instead of attaching an overheat sensor to the motor, the current flowing to the motor is monitored, the temperature of the motor is calculated from the current value, and when the calculated temperature of the motor becomes abnormally high, the power source of the driver is turned off. Turned off and the entire machine is stopped as a motor overheat error.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、一度、モータの過熱エラーになると装置全
体が停止してしまうため、それを復帰させるために、多
大な時間と手間がかかるという問題がある。
However, in the above-mentioned prior art, once the motor overheat error occurs, the entire apparatus stops, so that it takes a lot of time and effort to restore it. is there.

【0005】例えば、ステッパにおいては、ショットレ
イアウトの作り方によってはXYステージのモータに対
して過剰な負荷を与えるような動作をさせることができ
る。このとき、モータの温度が上がって過熱エラーとな
ってしまった場合、ステッパは停止してしまう。これを
復帰させて再び過熱エラーが起こらないようにするに
は、装置をリセットしてから、モータに過剰な負荷を与
えないようなショットレイアウトに作り直さなければな
らない。
For example, the stepper can be operated so as to give an excessive load to the motor of the XY stage depending on how to make the shot layout. At this time, if the temperature of the motor rises and an overheat error occurs, the stepper stops. In order to recover it and prevent the overheat error from happening again, the device must be reset and recreated in a shot layout that does not overload the motor.

【0006】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、モータの温度が異常に高くなったときに、
装置全体を停止することなく、モータを保護することが
できるモータ駆動装置を提供することにある。
In view of the above problems of the prior art, an object of the present invention is to provide a motor when the temperature of the motor becomes abnormally high.
An object of the present invention is to provide a motor drive device capable of protecting a motor without stopping the entire device.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明では、モータへの給電を制御してモータを駆動す
る駆動制御手段と、モータの温度を検出する温度検出手
段とを備え、駆動制御手段は、温度検出手段が所定の設
定温度を越えたことを検出したときにモータへの給電を
一時停止するとともに所定のディレイ期間を経てから給
電を続行するものであることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention comprises drive control means for controlling power supply to the motor to drive the motor, and temperature detection means for detecting the temperature of the motor. The control means is characterized in that when the temperature detecting means detects that the temperature exceeds a predetermined set temperature, the power supply to the motor is temporarily stopped and the power supply is continued after a predetermined delay period.

【0008】また、モータへの給電を制御してモータを
駆動する駆動制御手段と、モータの温度を検出する温度
検出手段とを備え、駆動制御手段は、温度検出手段が所
定の第1の設定温度を越えたことを検出したときにモー
タへの給電を一時停止するとともに所定のディレイ期間
を経てから給電を続行するものであり、また、温度検出
手段は第1の設定温度よりも高い所定の第2の設定温度
を越えたことを検出したときにモータへの給電を停止さ
せるとともに本モータ駆動装置が使用されている装置全
体の動作を停止させるものであることを特徴とする。
Further, it is provided with drive control means for controlling power supply to the motor to drive the motor, and temperature detection means for detecting the temperature of the motor, and the drive control means has the temperature detection means set to a predetermined first setting. When it is detected that the temperature is exceeded, the power supply to the motor is temporarily stopped and the power supply is continued after a predetermined delay period. Further, the temperature detecting means is a predetermined temperature higher than the first set temperature. When it is detected that the temperature has exceeded the second set temperature, the power supply to the motor is stopped and the operation of the entire device in which the motor drive device is used is stopped.

【0009】また、モータへの給電を制御してモータを
駆動する駆動制御手段と、モータの温度を検出する第1
および第2の温度検出手段とを備え、駆動制御手段は第
1の温度検出手段が所定の第1の設定温度を越えたこと
を検出したときにモータへの給電を一時停止するととも
に所定のディレイ期間を経てから給電を続行するもので
あり、また、第2の温度検出手段は第1の設定温度より
も高い所定の第2の設定温度を越えたことを検出したと
きにモータへの給電を停止させるとともに本モータ駆動
装置が使用されている装置全体の動作を停止させるもの
であることを特徴とする。
A drive control means for controlling power supply to the motor to drive the motor, and a first temperature detecting means for detecting the temperature of the motor
And a second temperature detecting means, and the drive control means suspends the power supply to the motor and performs a predetermined delay when the first temperature detecting means detects that the first temperature exceeds a predetermined first set temperature. The power supply is continued after a lapse of the period, and the second temperature detection means supplies power to the motor when it detects that the temperature exceeds a predetermined second set temperature higher than the first set temperature. The present invention is characterized in that it stops the operation of the entire device in which the present motor drive device is used.

【0010】また、温度検出手段または第1もしくは第
2の温度検出手段は、モータへの給電状態からモータの
温度を演算により検出するものであることを特徴とす
る。
Further, the temperature detecting means or the first or second temperature detecting means is characterized in that the temperature of the motor is detected by calculation from the power supply state to the motor.

【0011】さらに、駆動制御手段は、モータへの給電
を所定の周期で断続的に行うものであり、給電の一時停
止および続行は、この周期に同期したタイミングで行う
ものであることを特徴とする。
Further, the drive control means intermittently supplies power to the motor at a predetermined cycle, and the power supply is temporarily stopped and continued at a timing synchronized with this cycle. To do.

【0012】[0012]

【作用】この構成において、過酷な駆動によりモータの
温度が設定温度を越えて異常な状態に至ると、モータへ
の給電が一時停止され、所定のディレイ期間が経過する
までモータへの給電は行われない。この間にモータは正
常な温度に戻り、ディレイ期間の経過後に給電が続行さ
れる。すなわちモータの温度が設定温度を越えて異常な
状態に至ったとしても、モータ駆動装置が使用されてい
る装置全体は停止されることはなく、ディレイ期間の経
過後に動作が続行されることになる。ただし、第2の設
定温度を越えた場合は、単なるモータの過熱ではなく、
駆動制御手段等の異常によるものであるため、装置全体
が停止される。
In this structure, when the temperature of the motor exceeds the set temperature due to severe driving and reaches an abnormal state, the power supply to the motor is temporarily stopped, and the power is not supplied to the motor until a predetermined delay period elapses. I don't know. During this time, the motor returns to the normal temperature, and the power supply is continued after the delay period elapses. That is, even if the motor temperature exceeds the set temperature and reaches an abnormal state, the entire device in which the motor drive device is used is not stopped, and the operation is continued after the lapse of the delay period. . However, when the temperature exceeds the second set temperature, it is not just motor overheating,
The entire apparatus is stopped because it is due to an abnormality in the drive control means or the like.

【0013】[0013]

【実施例】【Example】

[実施例1]図1は、本発明の第1の実施例に係るモー
タ駆動装置を示すブロック図である。同図において、1
はステージ、2はステージ1を駆動するモータ、3はモ
ータ2に電流を流すドライバ、4はドライバ3に指令を
与えるコントローラ、5は目標位置指令値、6はモータ
2の温度を検知する過熱センサである。
[Embodiment 1] FIG. 1 is a block diagram showing a motor drive device according to a first embodiment of the present invention. In the figure, 1
Is a stage, 2 is a motor for driving the stage 1, 3 is a driver for supplying a current to the motor 2, 4 is a controller for giving a command to the driver 3, 5 is a target position command value, and 6 is an overheat sensor for detecting the temperature of the motor 2. Is.

【0014】目標位置指令値5が与えられると、コント
ローラ4は過熱センサ6の出力を読み、正常であればド
ライバ3に対してモータ2を駆動する駆動指令値を与え
る。ドライバ3は駆動指令値にしたがってモータ2を駆
動し、ステージ1を目標位置に移動させる。
When the target position command value 5 is given, the controller 4 reads the output of the overheat sensor 6, and if normal, gives the driver 3 a drive command value for driving the motor 2. The driver 3 drives the motor 2 according to the drive command value to move the stage 1 to the target position.

【0015】次に、目標位置指令値5が次々に与えられ
るなどして、モータ2が過酷な動作をしたとき、モータ
2の温度が上がり、過熱センサ6が異常温度を検知した
とする。このとき、次の目標位置指令値5が与えられる
と、コントローラ4は過熱センサ6が異常温度を検知し
ているので、ドライバ3に対してすぐには駆動指令を与
えずに、一定期間(例えば1秒間)のディレイを置く。
このディレイの期間はモータ2には電流が流れないの
で、モータ2の温度が下がり、正常な温度になる。その
後コントローラ4はドライバ3に対して駆動指令を与
え、ステージ1を目標位置に移動させる。
Next, it is assumed that the temperature of the motor 2 rises and the overheat sensor 6 detects an abnormal temperature when the motor 2 is operated harshly such as when the target position command value 5 is given one after another. At this time, when the next target position command value 5 is given, since the controller 4 detects the abnormal temperature by the overheat sensor 6, the driver 3 is not immediately given a drive command and a predetermined period (for example, Put a 1 second delay.
Since no current flows in the motor 2 during this delay period, the temperature of the motor 2 drops and the temperature becomes normal. After that, the controller 4 gives a drive command to the driver 3 to move the stage 1 to the target position.

【0016】上記の動作をモータ2の温度をグラフにし
た図2を用いて説明する。同図において、横軸は時間、
縦軸はモータ2の温度を示す。初期状態の時刻T0 にお
いて、モータ2の温度は20℃である。ここから、ステ
ップ駆動を次々と繰り返すと、モータ2の温度は上昇し
て、過熱センサ6が設定値65℃を越えたこと、すなわ
ち異常温度を検知する。そして、時刻T1 のところで次
の目標位置指令値5がコントローラ4に与えられると、
過熱センサ6が異常温度を検知しているので、時刻T2
まで約1秒間のディレイを置く。この間モータ2には、
電流を流さないのでモータ2の温度は過熱センサ6が異
常温度を検知しない温度まで下がる。その後コントロー
ラ4は駆動指令値をドライバ3に与え、モータ2を駆動
してステージ1を目標位置に移動させる。
The above operation will be described with reference to FIG. 2 which is a graph showing the temperature of the motor 2. In the figure, the horizontal axis is time,
The vertical axis represents the temperature of the motor 2. At the time T 0 in the initial state, the temperature of the motor 2 is 20 ° C. From here, when step driving is repeated one after another, the temperature of the motor 2 rises, and the overheat sensor 6 detects that the set value exceeds 65 ° C., that is, an abnormal temperature. When the next target position command value 5 is given to the controller 4 at time T 1 ,
Since the overheat sensor 6 detects an abnormal temperature, the time T 2
Put a delay of about 1 second until. During this time, the motor 2
Since no current is passed, the temperature of the motor 2 drops to a temperature at which the overheat sensor 6 does not detect an abnormal temperature. After that, the controller 4 gives a drive command value to the driver 3 to drive the motor 2 to move the stage 1 to the target position.

【0017】本実施例によれば、装置全体を停止するこ
となく、モータ2を過熱から保護できるので、どのよう
な目標位置指令値5が与えられた場合においても、装置
の稼働率を落とすことなく、モータ2を保護することが
できる。
According to this embodiment, since the motor 2 can be protected from overheating without stopping the entire apparatus, the operating rate of the apparatus can be lowered no matter what the target position command value 5 is given. Without, the motor 2 can be protected.

【0018】[実施例2]図3は、本発明の第2の実施
例に係るモータ駆動装置を示すブロック図である。本実
施例では、第1の実施例におけるモータ2の過熱センサ
6の代わりに、コントローラ4がドライバ3に与える電
流指令値を基にして温度計算器7がモータ2の温度をシ
ュミレーションで求める。コントローラ4は駆動指令が
与えられると、温度計算器7で求められたモータ2の温
度を参照して、異常温度の設定値を越えていれば、ディ
レイを置いてから次の駆動を行なう。
[Embodiment 2] FIG. 3 is a block diagram showing a motor drive device according to a second embodiment of the present invention. In this embodiment, instead of the overheat sensor 6 of the motor 2 in the first embodiment, the temperature calculator 7 obtains the temperature of the motor 2 by simulation based on the current command value given to the driver 3 by the controller 4. When the drive command is given, the controller 4 refers to the temperature of the motor 2 obtained by the temperature calculator 7, and if the temperature exceeds the set value of the abnormal temperature, delays and then performs the next drive.

【0019】本実施例によれば、モータ2に過熱センサ
6を取り付ける必要がないので、第1の実施例に比べて
コストダウンになる。
According to this embodiment, since it is not necessary to attach the overheat sensor 6 to the motor 2, the cost can be reduced as compared with the first embodiment.

【0020】[実施例3]図4は、本発明の第3の実施
例に係るモータ駆動装置を示すブロック図である。本実
施例では、第2の実施例に加えてモータ2の温度を検知
する過熱センサ8をさらに設ける。そして、温度計算器
7に設定する第1の異常温度設定値よりも、過熱センサ
8に設定する第2の異常温度設定値を高く設定してお
く。過熱センサ8がモータ2の異常温度を検出すると、
ドライバ3の電源をオフにし、モータ2の過熱エラーと
して装置全体を停止する。他の点においては、第2実施
例の場合と同様に作動する。
[Embodiment 3] FIG. 4 is a block diagram showing a motor drive apparatus according to a third embodiment of the present invention. In this embodiment, an overheat sensor 8 for detecting the temperature of the motor 2 is further provided in addition to the second embodiment. Then, the second abnormal temperature set value set in the overheat sensor 8 is set higher than the first abnormal temperature set value set in the temperature calculator 7. When the overheat sensor 8 detects an abnormal temperature of the motor 2,
The power of the driver 3 is turned off, and the entire apparatus is stopped due to an overheat error of the motor 2. In other respects, the operation is similar to that of the second embodiment.

【0021】本実施例によれば、上述の実施例のよう
に、どのような目標位置指令値5が与えられた場合にお
いても、装置の稼働率を落とすことなく、モータ2を保
護できるだけでなく、ドライバ3の異常や、ステージ1
の異常など、過酷な目標位置指令以外でのモータ2の過
熱からも保護することができる。
According to the present embodiment, as in the above-mentioned embodiment, the motor 2 can be protected without lowering the operating rate of the device regardless of what target position command value 5 is given. , Driver 3 abnormality, stage 1
It is also possible to protect from overheating of the motor 2 other than the severe target position command, such as abnormalities in.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、モ
ータの温度が異常な状態に至ったときはモータへの給電
を一時停止し、一定のディレイ期間を置いてから、給電
を続行するようにしたため、モータを用いた工作機械等
の送り装置において、装置全体を停止することなく、モ
ータを過熱から保護することができる。すなわち駆動制
御手段においてどのような目標位置指令値が与えられた
場合においても、装置の稼働率を落とすことなく、モー
タを保護することができる。
As described above, according to the present invention, when the temperature of the motor reaches an abnormal state, the power supply to the motor is temporarily stopped, and after a certain delay period, the power supply is continued. Therefore, in the feeding device such as a machine tool using the motor, the motor can be protected from overheating without stopping the entire device. That is, the motor can be protected without lowering the operating rate of the device regardless of what target position command value is given by the drive control means.

【0023】また、ドライバの異常や、ステージの異常
など、過酷な目標位置指令値以外による過熱からもモー
タを保護することができる。
Further, it is possible to protect the motor from overheating due to other than a severe target position command value, such as a driver abnormality or a stage abnormality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の第1の実施例に係るモータ駆動装置
を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a motor drive device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1の装置におけるモータの温度変化を表す
グラフである。
FIG. 2 is a graph showing a temperature change of a motor in the device of FIG.

【図3】 本発明の第2の実施例に係るモータ駆動装置
を示すブロック図である。
FIG. 3 is a block diagram showing a motor drive device according to a second embodiment of the present invention.

【図4】 本発明の第3の実施例に係るモータ駆動装置
を示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a motor drive device according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:ステージ、2:モータ、3:ドライバ、4:コント
ローラ、5:目標位置指令値、6,8:過熱センサ、
7:温度計算器。
1: Stage, 2: Motor, 3: Driver, 4: Controller, 5: Target position command value, 6, 8: Overheat sensor,
7: Temperature calculator.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 モータへの給電を制御して前記モータを
駆動する駆動制御手段と、前記モータの温度を検出する
温度検出手段とを備え、前記駆動制御手段は、前記温度
検出手段が所定の設定温度を越えたことを検出したとき
に前記モータへの給電を一時停止するとともに所定のデ
ィレイ期間を経てから給電を続行するものであることを
特徴とするモータ駆動装置。
1. A drive control means for controlling the power supply to the motor to drive the motor, and a temperature detection means for detecting the temperature of the motor, wherein the drive control means has a predetermined temperature detection means. A motor drive device characterized in that, when it is detected that the set temperature is exceeded, the power supply to the motor is temporarily stopped and the power supply is continued after a predetermined delay period.
【請求項2】 モータへの給電を制御して前記モータを
駆動する駆動制御手段と、前記モータの温度を検出する
温度検出手段とを備え、前記駆動制御手段は、前記温度
検出手段が所定の第1の設定温度を越えたことを検出し
たときに前記モータへの給電を一時停止するとともに所
定のディレイ期間を経てから給電を続行するものであ
り、また、前記温度検出手段は前記第1の設定温度より
も高い所定の第2の設定温度を越えたことを検出したと
きに前記モータへの給電を停止させるとともに本モータ
駆動装置が使用されている装置全体の動作を停止させる
ものであることを特徴とするモータ駆動装置。
2. A drive control means for controlling power supply to the motor to drive the motor, and a temperature detection means for detecting the temperature of the motor, wherein the drive control means has a predetermined temperature detection means. When it is detected that the temperature exceeds the first set temperature, the power supply to the motor is temporarily stopped and the power supply is continued after a predetermined delay period has passed. When it is detected that a predetermined second set temperature higher than the set temperature is exceeded, the power supply to the motor is stopped and the operation of the entire device in which the motor drive device is used is stopped. A motor drive device characterized by:
【請求項3】 モータへの給電を制御して前記モータを
駆動する駆動制御手段と、前記モータの温度を検出する
第1および第2の温度検出手段とを備え、前記駆動制御
手段は前記第1の温度検出手段が所定の第1の設定温度
を越えたことを検出したときに前記モータへの給電を一
時停止するとともに所定のディレイ期間を経てから給電
を続行するものであり、また、前記第2の温度検出手段
は前記第1の設定温度よりも高い所定の第2の設定温度
を越えたことを検出したときに前記モータへの給電を停
止させるとともに本モータ駆動装置が使用されている装
置全体の動作を停止させるものであることを特徴とする
モータ駆動装置。
3. A drive control means for controlling power supply to the motor to drive the motor, and first and second temperature detection means for detecting a temperature of the motor, wherein the drive control means includes the first and second temperature detection means. When the first temperature detecting means detects that the temperature exceeds the predetermined first set temperature, the power supply to the motor is temporarily stopped and the power supply is continued after a predetermined delay period. When the second temperature detecting means detects that the temperature exceeds a predetermined second set temperature higher than the first set temperature, the power supply to the motor is stopped and the motor drive device is used. A motor drive device for stopping the operation of the entire device.
【請求項4】 前記温度検出手段または第1もしくは第
2の温度検出手段は、前記モータへの給電状態から前記
モータの温度を演算により検出するものであることを特
徴とする請求項1〜3記載のモータ駆動装置。
4. The temperature detecting means or the first or second temperature detecting means detects the temperature of the motor by calculation from the power supply state to the motor. The described motor drive device.
【請求項5】 前記駆動制御手段は、前記モータへの給
電を所定の周期で断続的に行うものであり、前記給電の
一時停止および続行は、この周期に同期したタイミング
で行うものであることを特徴とする請求項1〜4記載の
モータ駆動装置。
5. The drive control means intermittently supplies power to the motor at a predetermined cycle, and the power supply is temporarily stopped and continued at a timing synchronized with this cycle. The motor drive device according to any one of claims 1 to 4, wherein:
JP25203195A 1995-09-06 1995-09-06 Motor driver Pending JPH0974663A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007136261A (en) * 2005-11-14 2007-06-07 Okamura Corp Safety device for shredder
JP2008048511A (en) * 2006-08-11 2008-02-28 Shimadzu Corp Motor

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