JPH0973031A - Movable lens barrel microscope - Google Patents
Movable lens barrel microscopeInfo
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- JPH0973031A JPH0973031A JP22809195A JP22809195A JPH0973031A JP H0973031 A JPH0973031 A JP H0973031A JP 22809195 A JP22809195 A JP 22809195A JP 22809195 A JP22809195 A JP 22809195A JP H0973031 A JPH0973031 A JP H0973031A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、可動鏡筒顕微鏡に
関し、より詳細には、楽な姿勢で検鏡するのに好適な可
動鏡筒顕微鏡に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a movable lens-barrel microscope, and more particularly to a movable lens-barrel microscope suitable for performing a microscope in a comfortable posture.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、顕微鏡の接眼レンズを覗く位
置(アイポイント)を前後させたり、上下させたりする
等、観察者が楽な姿勢で検鏡を行うことができるように
するための工夫が様々考案されている。例えば、顕微鏡
に用いられる鏡筒として、ティルティング鏡筒といわれ
る接眼レンズが上下に回転するものがある。この鏡筒
は、例えば図4に示すように、鏡筒41内に図示しない
対物レンズからの光を接眼レンズ42に導くためのリレ
イ光学系43a乃至43dと複数個の反射ミラー44a
乃至44d等が光路を折り曲げるようにして結像レンズ
45から接眼レンズ42間に配置されており、また、軸
46を回転中心として矢印A,B方向に接眼鏡筒47を
回動させるとと共に回転ミラー48を回動させてアイポ
イントを上下及び前後に調整することができるようにな
っている。2. Description of the Related Art Conventionally, a device for allowing an observer to perform a microscope in a comfortable posture by moving a position (eye point) looking into an eyepiece of a microscope back and forth or moving it up and down Have been devised. For example, as a lens barrel used in a microscope, there is one in which an eyepiece called a tilting lens barrel rotates up and down. For example, as shown in FIG. 4, this lens barrel includes relay optical systems 43a to 43d for guiding light from an objective lens (not shown) into the lens barrel 41 and a plurality of reflecting mirrors 44a.
44d and the like are arranged between the image forming lens 45 and the eyepiece lens 42 so as to bend the optical path, and rotate together with the eyepiece tube 47 rotating in the directions of arrows A and B with the shaft 46 as the center of rotation. The eye point can be adjusted up and down and back and forth by rotating the mirror 48.
【0003】また、アイポイントを変化させるものでは
ないが、実体顕微鏡等では、対物レンズからの光路を一
旦下方に折り曲げた後再び上方に折り曲げるようにして
予めアイポイントを下げる工夫が施されており楽な姿勢
で観察できるようになっている。Although the eye point is not changed, a stereoscopic microscope or the like is devised so that the optical path from the objective lens is once bent downward and then upward again to lower the eye point. You can observe it in a comfortable posture.
【0004】この他、最近の液晶パネルディスプレイ
(以下LCD)の製造等に用いられ例えば400×50
0mmのガラス板の検査等に使用されるような大型顕微
鏡には、例えば図5に示すように、対物レンズ51と接
眼レンズ52との間に長距離のリレイ光学系53が配置
されており、対物レンズ51の位置とアイポイントPと
の距離を遠く離すことにより観察者が標本の上に覆い被
さることなく検鏡できるようになっている。In addition to the above, it has been used in recent manufacturing of liquid crystal panel displays (hereinafter, LCD) and the like, for example, 400 × 50.
In a large-scale microscope used for inspection of a 0 mm glass plate, for example, as shown in FIG. 5, a long-distance relay optical system 53 is arranged between an objective lens 51 and an eyepiece lens 52, By making the distance between the position of the objective lens 51 and the eye point P large, the observer can perform a microscope without covering the sample.
【0005】なお、対物レンズとアイポイントとの相対
的位置を変化させる光学系に関して米国特許第4,74
4,642号の発明があり、図6に示すように対物レン
ズ61,結像レンズ62,接眼レンズ63等上述の顕微
鏡に用いられている光学系等と同様の光学系を備えてい
るが、この発明は鏡筒64を固定し、対物レンズ61側
の光学系を例えば矢印A,B方向に移動させるものであ
り、アイポイントPを固定し対物レンズ61を移動させ
ることにより、観察者の頭を移動させずに標本の各地点
を観察可能にしたものであり、楽な姿勢で検鏡できるよ
うにアイポイントを変化させるようにしたものではな
い。An optical system for changing the relative position between the objective lens and the eye point is disclosed in US Pat.
No. 4,642, there is an objective lens 61, an imaging lens 62, an eyepiece lens 63, and other optical systems similar to those used in the microscope described above, as shown in FIG. The present invention fixes the lens barrel 64 and moves the optical system on the side of the objective lens 61 in, for example, the directions of arrows A and B. By fixing the eyepoint P and moving the objective lens 61, the observer's head is moved. It is possible to observe each point of the sample without moving the eye, not to change the eye point so that the microscope can be observed in a comfortable posture.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の顕微
鏡は一般的に対物レンズユニットと鏡筒ユニットとが一
体的に固定されており、観察者の目の位置に対する顕微
鏡のアイポイントの調整を行うために前記ティルティン
グ鏡筒を用いた構成となっている。しかし、ティルティ
ング鏡筒は、鏡筒内での光路長を長くとる必要があり、
鏡筒内に対物レンズからの光を接眼レンズに導くための
長距離リレイ光学系とこの光路を鏡筒内に納めるために
光路を複数回折り曲げるようにした複数個のミラーの配
置と接眼レンズを回動させる機構等を必要とするので、
構成が複雑化しコスト高となってしまっていた。また、
ティルティング鏡筒はアイポイントを上下に移動させる
のを主目的として構成されており、アイポイントの前後
への移動はメカの機構上接眼鏡筒の上下方向への移動に
追従するものであるので、アイポイントを上下と前後に
独立して調整できるものではなかった。By the way, in the conventional microscope, the objective lens unit and the lens barrel unit are generally fixed integrally, and the eye point of the microscope is adjusted with respect to the position of the observer's eyes. Therefore, the tilting lens barrel is used. However, the tilting lens barrel requires a long optical path within the lens barrel,
A long-distance relay optical system for guiding the light from the objective lens to the eyepiece in the lens barrel, and an arrangement of a plurality of mirrors for bending the optical path so that this optical path is housed in the lens barrel and an eyepiece lens. Since it requires a mechanism to rotate it,
The configuration was complicated and the cost was high. Also,
The tilting lens barrel is mainly configured to move the eyepoint up and down, and the forward and backward movement of the eyepoint follows the vertical movement of the eyepiece barrel due to the mechanism of the mechanism. , The eye point could not be adjusted up and down and back and forth independently.
【0007】また、前述のLCD検査用顕微鏡は狭いク
リーンルームで使用されるので、検鏡作業時には、楽な
姿勢で検鏡できるように鏡筒を観察者側に引っ張り出せ
るようにし、検鏡作業をしないときには、鏡筒を奥に引
っ込める等して顕微鏡の前を通る人等の邪魔にならない
ようにコンパクトに収納できるのが望ましい。また最近
の検鏡作業形態としては標本の像をTVカメラで観察
し、何か異常があったときにのみ接眼レンズを覗くのが
一般的であり、鏡筒を必要なときにのみ引っ張り出せる
ようになっているのが好ましい。しかし、上述のような
固定された鏡筒では、このような要請に対応できず、ま
た、ティルティング鏡筒も、接眼鏡筒部分のみ角度を変
化させることができるだけであり鏡筒全体を前後の方向
に移動させるわけではないので、このような要請には適
さない。Further, since the above-described LCD inspection microscope is used in a small clean room, the microscope barrel can be pulled out to the observer side so that the microscope can be inspected in a comfortable posture during the inspection work. When not doing so, it is desirable that the lens barrel can be stored compactly so that it does not get in the way of people passing by in front of the microscope by retracting it. In addition, as a recent form of microscopic work, it is common to observe the image of the sample with a TV camera and look into the eyepiece lens only when something abnormal occurs, so that the lens barrel can be pulled out only when necessary. Is preferred. However, the fixed lens barrel as described above cannot meet such a request, and the tilting lens barrel can only change the angle only in the eyepiece tube portion, so that the entire lens barrel can be moved forward and backward. Since it is not moved in the direction, it is not suitable for such a request.
【0008】そこで、本発明は、上記問題に鑑み、簡単
な構造でアイポイントを移動させることができ、楽な姿
勢で検鏡することができ、且つ作業に邪魔な場合には鏡
筒を引っ込めておくことができる可動鏡筒顕微鏡を提供
することを目的とする。In view of the above problems, the present invention allows the eyepoint to be moved with a simple structure, allows the microscope to be viewed in a comfortable posture, and retracts the lens barrel when it interferes with the work. An object of the present invention is to provide a movable lens barrel microscope that can be stored.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明による可動鏡筒顕微鏡は、対物レンズと結像
レンズと接眼レンズとを備える顕微鏡において、結像レ
ンズの対物レンズ側の光束がアフォーカルとなるような
光学系を有していることと、対物レンズと該対物レンズ
からの光束を折り曲げるミラーと折り曲げられた光束の
方向にのびるガイドとを備えたユニットが顕微鏡本体に
固定されていることと、該ミラーからの光束を折り曲げ
る第2のミラーと該折り曲げられた光束中に配置された
結像レンズと接眼レンズを備えたユニットがガイドに沿
って移動可能に設けられていることを特徴とするもので
ある。In order to achieve the above object, a movable lens barrel microscope according to the present invention is a microscope having an objective lens, an imaging lens and an eyepiece lens. A unit having an optical system that becomes an afocal lens, a unit that includes an objective lens, a mirror that bends the light flux from the objective lens, and a guide that extends in the direction of the folded light flux is fixed to the microscope body. And that a unit including a second mirror that bends the light flux from the mirror, an imaging lens and an eyepiece lens that are arranged in the folded light flux is movably provided along the guide. It is a feature.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につき
具体的に図示説明する。図1は、本発明による可動鏡筒
顕微鏡の基本的構成を示す模式図である。本実施形態に
よる可動鏡筒顕微鏡1には、図1に示すように、対物レ
ンズ2と結像レンズ3と接眼レンズ4とが備わってい
る。また、例えば、ハーフミラーよりなる第1ミラー5
が光路上に配置されており、対物レンズ2を透過した光
束のうち所定量を接眼レンズ4側へ向けて例えば直角に
折り曲げ、他の光束を図示しないTV側(矢印C方向)
に向けて透過させるようになっている。また、ガイド6
が第1ミラー5により折り曲げられた光束方向にのびて
形成されている。また、対物レンズ2,第1ミラー5,
ガイド6等により対物レンズユニット7が構成されてお
り、対物レンズユニット7は、顕微鏡1本体のベース8
からのびて設けられているベースアーム81に固定され
ている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be specifically illustrated and described below. FIG. 1 is a schematic diagram showing the basic configuration of a movable lens barrel microscope according to the present invention. As shown in FIG. 1, the movable lens barrel microscope 1 according to this embodiment includes an objective lens 2, an imaging lens 3, and an eyepiece lens 4. In addition, for example, the first mirror 5 which is a half mirror
Are arranged on the optical path, and a predetermined amount of the light flux transmitted through the objective lens 2 is bent toward the eyepiece 4 side, for example, at a right angle, and the other light flux is not shown on the TV side (direction of arrow C).
It is designed to be transmitted toward. Guide 6
Are formed so as to extend in the light beam direction bent by the first mirror 5. In addition, the objective lens 2, the first mirror 5,
An objective lens unit 7 is configured by the guide 6 and the like, and the objective lens unit 7 is a base 8 of the main body of the microscope 1.
It is fixed to a base arm 81 extending from the inside.
【0011】また、反射ミラーよりなる第2ミラー9が
第1ミラー5と例えば光路上で対向して設けられてお
り、第1ミラー5により折り曲げられた光束を結像レン
ズ3側に折り曲げるようになっている。また、第2ミラ
ー9により折り曲げられた光束上に結像レンズ3が配置
され、更に、結像レンズ3と接眼レンズ4間には、例え
ば図示省略したプリズム等が設けられており、結像レン
ズ3を通過した光束を、図示省略したカメラ側(矢印D
方向)と接眼レンズ側(矢印E方向)とに分割するよう
になっている。また、第2ミラー9と結像レンズ3と接
眼レンズ4とで鏡筒ユニット10を構成している。ま
た、結像レンズ3の対物レンズ2側の光束は、アフォー
カルとなるように光学設計されており、図1の実施形態
では、対物レンズ2に、例えば無限遠設計対物レンズ等
を用いることにより、第1ミラー5を介して対物レンズ
2から結像レンズ3までの光束がアフォーカルになるよ
うに光学配置されている。また、ガイド6は、例えば、
スライドアリや直線ガイド等を用いた構成となってお
り、第2ミラー9を備える鏡筒ユニット10が、ガイド
6に沿って前後(矢印A及びB方向)に移動でき、その
結果、アイポイントPが対物レンズ2に対して前後に移
動できるようになっている。なお、ガイド6に沿って前
後に移動可能であれば、鏡筒ユニット10は、図1に示
すようなガイド6に跨設された構成に限定されるもので
はなく、例えばガイド6に垂設されるように構成されて
いてもよい。なお、図1の実施形態においては、対物レ
ンズ2と結像レンズ3を所定の距離まで離すことができ
るように光学設計されている。A second mirror 9 composed of a reflecting mirror is provided so as to face the first mirror 5 on the optical path, for example, so that the light beam bent by the first mirror 5 is bent toward the imaging lens 3 side. Has become. Further, the imaging lens 3 is arranged on the light flux bent by the second mirror 9, and further, for example, a prism (not shown) is provided between the imaging lens 3 and the eyepiece lens 4. The light flux that has passed through 3 is on the camera side (arrow D
Direction) and the eyepiece side (direction of arrow E). Further, the second mirror 9, the imaging lens 3 and the eyepiece lens 4 constitute a lens barrel unit 10. Further, the light flux on the objective lens 2 side of the imaging lens 3 is optically designed to be afocal, and in the embodiment of FIG. 1, for example, by using an infinity design objective lens or the like for the objective lens 2. , Are optically arranged so that the light flux from the objective lens 2 to the imaging lens 3 via the first mirror 5 becomes afocal. Further, the guide 6 is, for example,
The lens barrel unit 10 including the second mirror 9 can be moved back and forth (directions of arrows A and B) along the guide 6, and as a result, the eyepoint P is formed. Can be moved back and forth with respect to the objective lens 2. It should be noted that the lens barrel unit 10 is not limited to the configuration in which it is laid across the guide 6 as shown in FIG. It may be configured to. In the embodiment of FIG. 1, the objective lens 2 and the imaging lens 3 are optically designed so that they can be separated by a predetermined distance.
【0012】なおまた、本顕微鏡には、通常の実体顕微
鏡と同様に上記の他に例えば、標本を載置するためのス
テージ11,標本を照射するための照明光学系12,1
3等が備えられており、照明光学系12,13等により
照射された標本の反射光又は透過光が、対物レンズ2,
第1ミラー5,第2ミラー9,結像レンズ3,接眼レン
ズ4を経てアイポイントPで結像せしめられるようにな
っている。In addition to the above, in the present microscope, in addition to the above, for example, a stage 11 for mounting a specimen, an illumination optical system 12, 1 for irradiating the specimen.
3 and the like, and the reflected light or transmitted light of the sample irradiated by the illumination optical systems 12, 13 and the like is used for the objective lens 2,
An image is formed at the eye point P through the first mirror 5, the second mirror 9, the image forming lens 3 and the eyepiece lens 4.
【0013】本発明の実施形態による可動鏡筒顕微鏡は
上記のように構成されているので、鏡筒ユニット10を
矢印A方向に押すと鏡筒ユニット10はガイド6に沿っ
て前方へ移動し、その結果、アイポイントPが対物レン
ズ2に対して前方に移動し、鏡筒ユニット10を矢印B
方向に押すと鏡筒ユニット10はガイド6に沿って後方
へ移動し、その結果、アイポイントPが対物レンズ2に
対して後方に移動する。このとき、顕微鏡1の対物レン
ズ2と結像レンズ3の間の光束の一部が伸びちじみする
が、該光束がアフォーカルになっており、焦点距離に影
響を与えないので接眼レンズ4から覗く像がぼけること
はない。なお、検鏡を行わない場合には、鏡筒ユニット
10をガイド6に沿って矢印A方向に移動せしめれば、
顕微鏡全体をコンパクトにすることができる。Since the movable lens barrel microscope according to the embodiment of the present invention is constructed as described above, when the lens barrel unit 10 is pushed in the direction of arrow A, the lens barrel unit 10 moves forward along the guide 6, As a result, the eye point P moves forward with respect to the objective lens 2, and the lens barrel unit 10 is moved to the arrow B.
When pushed in the direction, the lens barrel unit 10 moves rearward along the guide 6, and as a result, the eyepoint P moves rearward with respect to the objective lens 2. At this time, a part of the light beam between the objective lens 2 and the imaging lens 3 of the microscope 1 spreads out, but the light beam is afocal and does not affect the focal length. The peeked image is never blurred. In addition, when the microscope is not performed, if the lens barrel unit 10 is moved in the direction of arrow A along the guide 6,
The entire microscope can be made compact.
【0014】図1の実施形態の対物レンズとして無限遠
設計対物レンズが備えられており、対物レンズ2と結像
レンズ3との距離を視野数22で最大200mmまで離
すことができるように光学設計されている。また、本形
態の顕微鏡における鏡筒ユニット10の移動可能距離は
約50mmである。An infinity-designed objective lens is provided as the objective lens of the embodiment of FIG. 1, and an optical design is made so that the distance between the objective lens 2 and the imaging lens 3 can be separated up to 200 mm with 22 fields of view. Has been done. The movable distance of the lens barrel unit 10 in the microscope of this embodiment is about 50 mm.
【0015】図2及び図3に示す実施例は、対物レンズ
2と結像レンズ3との間にリレイ光学系14を備えたL
CDパネル検査用顕微鏡に本発明を適用した実施形態を
示したものである。本実施例においては、対物レンズ2
とリレイ光学系14間、リレイ光学系14と結像レンズ
3間の光束がアフォーカルとなるように光学設計されて
いる。また、対物レンズ2からの光束を折り曲げる第1
ミラー5とリレイ光学系14とガイド6とを備えベース
アーム81,82とによって固定されたリレイ鏡筒15
と一体となって形成されたガイド6に沿って、結像レン
ズ3と接眼レンズ4と第2ミラー9からなる鏡筒ユニッ
ト10が移動できるようになっている。その他の構成
は、図1の実施形態と略同様であり図1と同様の符号を
付してある。なお、本実施例の顕微鏡における鏡筒ユニ
ット10の移動可能距離は約80mmである。In the embodiment shown in FIGS. 2 and 3, the relay optical system 14 is provided between the objective lens 2 and the imaging lens 3 to form an L lens.
1 shows an embodiment in which the present invention is applied to a CD panel inspection microscope. In this embodiment, the objective lens 2
And the relay optical system 14 and between the relay optical system 14 and the imaging lens 3 are optically designed to be afocal. In addition, the first that bends the light flux from the objective lens 2
A relay lens barrel 15 including a mirror 5, a relay optical system 14, and a guide 6 and fixed by base arms 81 and 82.
A lens barrel unit 10 including an imaging lens 3, an eyepiece 4, and a second mirror 9 can be moved along a guide 6 integrally formed with the lens. Other configurations are substantially the same as those in the embodiment of FIG. 1, and are denoted by the same reference numerals as those in FIG. The movable distance of the lens barrel unit 10 in the microscope of this embodiment is about 80 mm.
【0016】[0016]
【発明の効果】以上、本発明による可動鏡筒顕微鏡によ
れば、簡単な構造でアイポイントを移動させることがで
き、楽な姿勢で検鏡することができ、且つ作業に邪魔な
場合は鏡筒を引っ込めて置くことができる。As described above, according to the movable lens barrel microscope of the present invention, the eye point can be moved with a simple structure, the microscope can be inspected in a comfortable posture, and the mirror can be used when it is an obstacle to the work. The tube can be retracted and placed.
【0017】なお、本発明による可動鏡筒顕微鏡の鏡筒
ユニットにティルティング鏡筒を組み合わせれば、アイ
ポイントを前後、上下に略独立に移動させた調整が可能
となりアイポイントの調整範囲が拡大し、例えば、身長
等、観察者の体型に最適のアイポイントを提供すること
ができるメリットが大である。When the tilting lens barrel is combined with the lens barrel unit of the movable lens barrel microscope according to the present invention, the eyepoint can be adjusted by moving it substantially forward and backward and up and down, thereby expanding the adjustment range of the eyepoint. However, there is a great merit that it is possible to provide an optimal eye point for the body shape of the observer such as height.
【0018】[0018]
【図1】本発明による可動鏡筒顕微鏡の実施形態を示す
概念構成図である。FIG. 1 is a conceptual configuration diagram showing an embodiment of a movable lens barrel microscope according to the present invention.
【図2】本発明による可動鏡筒顕微鏡の他の実施形態を
示す概念構成図である。FIG. 2 is a conceptual configuration diagram showing another embodiment of the movable lens barrel microscope according to the present invention.
【図3】上記実施形態の要部拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a main part of the above embodiment.
【図4】ティルティング鏡筒を例示する概念構成図であ
る。FIG. 4 is a conceptual configuration diagram illustrating a tilting lens barrel.
【図5】LCD用の製造に用いられる大型顕微鏡の従来
例を示す概念構成図である。FIG. 5 is a conceptual configuration diagram showing a conventional example of a large-scale microscope used for manufacturing LCDs.
【図6】鏡筒を固定し、対物レンズ側を移動させた光学
系の従来例を示す概念構成図である。FIG. 6 is a conceptual configuration diagram showing a conventional example of an optical system in which a lens barrel is fixed and an objective lens side is moved.
1 (可動鏡筒)顕微鏡 2 対物レンズ 3 結像レンズ 4 接眼レンズ 5 第1ミラー 6 ガイド 7 対物レンズユニット 8 ベース 81,82 ベースアーム 9 第2ミラー 10 鏡筒ユニット 11 ステージ 12,13 照明光学系 14 リレイ光学系 1 (movable lens barrel) microscope 2 objective lens 3 imaging lens 4 eyepiece 5 first mirror 6 guide 7 objective lens unit 8 base 81, 82 base arm 9 second mirror 10 lens barrel unit 11 stage 12, 13 illumination optical system 14 Relay optical system
Claims (2)
を備える顕微鏡において、 前記結像レンズの前記対物レンズ側の光束がアフォーカ
ルとなるような光学系を有し、 前記対物レンズと該対物レンズからの光束を折り曲げる
ミラーと該ミラーにより折り曲げられた光束の方向にの
びるガイドとを備えたユニットが顕微鏡本体のアームに
固定されており、 前記ミラーにより折り曲げられた光束を前記結像レンズ
に送る第2ミラーと前記結像レンズと前記接眼レンズと
を備えたユニットが前記ガイドに沿って移動可能に設け
られていることを特徴とする可動鏡筒顕微鏡。1. A microscope including an objective lens, an imaging lens, and an eyepiece lens, comprising an optical system for making a light beam on the objective lens side of the imaging lens afocal, and the objective lens and the objective lens A unit including a mirror that bends the light beam from the lens and a guide that extends in the direction of the light beam that is bent by the mirror is fixed to the arm of the microscope body, and the light beam that is bent by the mirror is sent to the imaging lens. A movable lens-barrel microscope, wherein a unit including a second mirror, the imaging lens, and the eyepiece lens is provided so as to be movable along the guide.
にリレイレンズを備えた請求項1に記載の可動鏡筒顕微
鏡。2. The movable lens barrel microscope according to claim 1, further comprising a relay lens between the imaging lens and the objective lens.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22809195A JPH0973031A (en) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | Movable lens barrel microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22809195A JPH0973031A (en) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | Movable lens barrel microscope |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0973031A true JPH0973031A (en) | 1997-03-18 |
Family
ID=16871052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22809195A Pending JPH0973031A (en) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | Movable lens barrel microscope |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0973031A (en) |
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