JPH0973013A - Production of color filter and apparatus for production therefor - Google Patents

Production of color filter and apparatus for production therefor

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JPH0973013A
JPH0973013A JP22901995A JP22901995A JPH0973013A JP H0973013 A JPH0973013 A JP H0973013A JP 22901995 A JP22901995 A JP 22901995A JP 22901995 A JP22901995 A JP 22901995A JP H0973013 A JPH0973013 A JP H0973013A
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JP
Japan
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ink
color filter
substrate
inkjet head
head
Prior art date
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JP22901995A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiromitsu Yamaguchi
裕充 山口
Makoto Akahira
誠 赤平
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Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH0973013A publication Critical patent/JPH0973013A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a process for producing color filters capable of preventing the off-specification products from being produced by suppressing the variation in the impact positions of ink. SOLUTION: This process comprises producing color filters by discharging ink toward a substrate 1 by ink jet heads 120a to 120c and coloring the respective pixels of the color filters. The process includes a detecting stage for detecting the ruggedness of the surface of the substrate 1, an adjusting stage for adjusting the positions of the ink jet heads 120a to 120c in such a manner that the ink lands at the center of the pixels in the intermediate positions C between the highest point A and lowest point B of the ruggedness detected by the detecting stage and a coloring stage for coloring the respective pixels by discharging the ink from the ink jet heads in the positions adjusted in the adjusting stage.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に、複数種
類の色に着色された画素を多数形成することによりカラ
ーフィルタを製造するためのカラーフィルタの製造方法
及び製造装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter manufacturing method and a manufacturing apparatus for manufacturing a color filter by forming a large number of pixels colored in a plurality of colors on a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用のパーソナルコンピュータの発達に伴い、液
晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需
要が増加する傾向にある。しかしながら、更なる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フィルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられいるが、いまだ全ての要求特性
を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれの
方法を説明する。
2. Description of the Related Art In recent years, the development of personal computers,
In particular, with the development of portable personal computers, the demand for liquid crystal displays, especially color liquid crystal displays, tends to increase. However, for further popularization, it is necessary to reduce the cost of the liquid crystal display, and in particular, there is an increasing demand for the cost reduction of the color filter, which has a high cost weight. Conventionally, various methods have been tried to satisfy the above-mentioned requirements while satisfying the required characteristics of the color filter, but a method for satisfying all the required characteristics has not yet been established. The respective methods will be described below.

【0003】第1の方法は、染色法である。染色法は、
ガラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を
塗布し、これをフォトリソグラフィー工程により所望の
形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴
に浸漬して着色されたパターンを得る。これを3回繰り
返すことによりR,G,Bのカラーフィルタ層を得る。
The first method is a dyeing method. The staining method is
A water-soluble polymer material, which is a material for dyeing, is applied on a glass substrate, and is patterned into a desired shape by a photolithography process. Then, the obtained pattern is immersed in a dye bath to obtain a colored pattern. . By repeating this three times, R, G, B color filter layers are obtained.

【0004】第2の方法は顔料分散法であり、近年染色
法に取って代わりつつある。この方法は、基板上に顔料
を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニング
することにより単色のパターンを得る。さらにこの工程
を3回繰り返すことにより、R,G,Bのカラーフィル
タ層を形成する。
[0004] The second method is a pigment dispersion method, which is recently replacing the dyeing method. In this method, a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed is formed on a substrate, and a monochromatic pattern is obtained by patterning the photosensitive resin layer. By repeating this process three times, R, G, B color filter layers are formed.

【0005】第3の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第1の色を
電着する。この工程を3回繰り返してR,G,Bを塗り
分けた後、樹脂を熱硬化させることにより表色層を形成
するものである。
A third method is an electrodeposition method. In this method, a transparent electrode is patterned on a substrate, and immersed in an electrodeposition coating solution containing a pigment, a resin, an electrolytic solution, and the like to electrodeposit a first color. This process is repeated three times to separately apply R, G, and B, and then the resin is thermally cured to form a color layer.

【0006】第4の方法としては、印刷法がある。この
方法は熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を3回繰
り返すことによりR,G,Bを塗り分けた後、樹脂を熱
硬化させることにより着色層を形成するものである。ま
た、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成す
るのが一般的である。
As a fourth method, there is a printing method. In this method, a pigment is dispersed in a thermosetting resin, R, G, and B are separately applied by repeating printing three times, and then the resin is thermoset to form a colored layer. In any method, a protective layer is generally formed on the colored layer.

【0007】これらの方法に共通している点は、R,
G,Bの3色を着色するために同一の工程を3回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また工程が
多いほど歩留まりが低下するという問題点を有してい
る。さらに、電着法においては、形成可能なパターン形
状が限定されるため、現状の技術ではTFT方式のカラ
ー液晶ディスプレイには適用できない。また、印刷法
は、解像性、平滑性が悪いためファインピッチのパター
ンは形成できない。
The common feature of these methods is that R,
It is necessary to repeat the same process three times in order to color the three colors G and B, which increases the cost. There is also a problem that the yield decreases as the number of processes increases. Further, in the electrodeposition method, since the pattern shape that can be formed is limited, the current technology cannot be applied to a TFT type color liquid crystal display. Further, the printing method cannot form fine-pitch patterns because of poor resolution and smoothness.

【0008】これらの欠点を補うべく、特開昭59−7
5205号公報、特開昭63−235901号公報、特
開昭63−294503号公報、あるいは、特開平1−
217320号公報等には、インクジェット方式を用い
てカラーフィルタを製造する方法が記載されている。
In order to make up for these drawbacks, JP-A-59-7 is used.
5205, JP-A-63-235901, JP-A-63-294503, or
Japanese Patent No. 217320 discloses a method of manufacturing a color filter using an inkjet method.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】一般にインクジェット
方式によりカラーフィルタを製造する場合、インクジェ
ットヘッドの吐出ノズルから吐出されるインクの飛翔方
向は、吐出ノズル毎にわずかなバラつきを有している。
インクの飛翔方向が曲がった場合には、インクがカラー
フィルタ基板に対して斜めに吐出されることになるた
め、インクの基板上への着弾位置がずれることとなる。
具体的には、インクの着弾位置のズレは、インクジェッ
トヘッドと基板との距離に比例して大きくなる。カラー
フィルタのように高精細なパターンを着色する場合、許
容される着弾位置のズレは、数μm〜十数μm程度であ
り、上記のような着弾位置のずれは大きな問題である。
そのため、カラーフィルタの製造においては、インクジ
ェットヘッドとカラーフィルタ基板の表面との距離は厳
密に管理されており、インクの飛翔方向が多少ずれた場
合でも、着弾位置のズレが許容値以内に収まるように配
慮されている。
Generally, when a color filter is manufactured by an ink jet method, the flight direction of ink ejected from an ejection nozzle of an ink jet head has a slight variation for each ejection nozzle.
When the flight direction of the ink is bent, the ink is ejected obliquely to the color filter substrate, so that the landing position of the ink on the substrate is displaced.
Specifically, the deviation of the ink landing position increases in proportion to the distance between the inkjet head and the substrate. When coloring a high-definition pattern such as a color filter, the allowable deviation of the landing position is about several μm to several tens of μm, and the deviation of the landing position as described above is a serious problem.
Therefore, in the manufacture of color filters, the distance between the inkjet head and the surface of the color filter substrate is strictly controlled, so that the deviation of the landing position can be kept within the allowable value even if the flight direction of the ink is slightly deviated. Is taken into consideration.

【0010】しかしながら、通常カラーフィルタ基板は
ガラスから製造されているため、その表面には数十μm
程度のうねりがあり、これにともなってインクジェット
ヘッドとカラーフィルタ基板の表面との距離は変動し、
インクの着弾位置精度の悪化を招くこととなる。即ち、
基板のうねりの一番高い位置において、インクがカラー
フィルタの画素に正確に着弾するようにインクジェット
ヘッドの位置を調整すると、基板の一番低い位置におい
ては、着弾位置がずれてしまい、隣の画素との混色を引
き起こしたり、目的の画素を着色できず白ぬけが発生し
てしまったりして不良品を製造してしまう問題が発生す
る。また、逆に基板のうねりの一番低い位置においてイ
ンクがカラーフィルタの画素に正確に着弾するようにす
ると、基板の一番高い位置において、やはり着弾位置が
ずれてしまう。
However, since the color filter substrate is usually made of glass, the surface thereof is several tens of μm.
There is a degree of undulation, and the distance between the inkjet head and the surface of the color filter substrate changes accordingly.
Ink landing position accuracy is deteriorated. That is,
If the position of the inkjet head is adjusted so that the ink will accurately land on the pixel of the color filter at the highest position of the waviness of the substrate, the landing position will shift at the lowest position of the substrate, and the adjacent pixel There is a problem in that a defective product is manufactured due to the occurrence of color mixture with the target pixel, or the target pixel cannot be colored and white bleeding occurs. On the contrary, if the ink is made to accurately land on the pixel of the color filter at the position where the substrate has the lowest waviness, the landing position will also shift at the highest position of the substrate.

【0011】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、インクの
着弾位置のバラつきを抑えて、不良品を製造することを
防止することが出来るカラーフィルタの製造方法及び製
造装置を提供することにある。
Therefore, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to prevent variations in ink landing positions and prevent defective products from being manufactured. An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing a filter.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタ
の製造方法は、インクジェットヘッドにより基板に向け
てインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色する
ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、前
記基板の表面の凹凸を検出する検出工程と、該検出工程
で検出された凹凸の、一番高い点と一番低い点の中間の
位置で、インクが前記画素の中央に着弾するように前記
インクジェットヘッドの位置を調整する調整工程と、該
調整工程で調整された位置で、前記インクジェットヘッ
ドからインクを吐出して前記各画素を着色する着色工程
とを具備することを特徴としている。
Means for Solving the Problems The above-mentioned problems are solved,
In order to achieve the object, a method for manufacturing a color filter according to the present invention is a method for manufacturing a color filter by ejecting ink toward a substrate by an inkjet head to color each pixel of the color filter, The detection step of detecting the unevenness of the surface of the substrate, and the ink so as to land in the center of the pixel at a position intermediate between the highest point and the lowest point of the unevenness detected in the detecting step. It is characterized by comprising an adjustment step of adjusting the position of the inkjet head, and a coloring step of coloring the pixels by ejecting ink from the inkjet head at the position adjusted by the adjustment step.

【0013】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
In the method for manufacturing a color filter according to the present invention, the ink jet head is a head for ejecting ink by utilizing thermal energy,
It is characterized by having a thermal energy generator for generating thermal energy given to the ink.

【0014】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクジェットヘッドにより基板に向けてイ
ンクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色すること
によりカラーフィルタを製造する装置であって、前記基
板の表面の凹凸を検出する検出手段と、該検出手段で検
出された凹凸の、一番高い点と一番低い点の中間の位置
で、インクが前記画素の中央に着弾するように前記イン
クジェットヘッドの位置を調整する調整手段とを具備す
ることを特徴としている。
The color filter manufacturing apparatus according to the present invention is an apparatus for manufacturing a color filter by ejecting ink toward the substrate by an ink jet head to color each pixel of the color filter. Detecting means for detecting the unevenness of the surface of the ink jet head, and the ink jet head so that the ink may land on the center of the pixel at an intermediate position between the highest point and the lowest point of the unevenness detected by the detecting means. And adjusting means for adjusting the position of.

【0015】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
In the color filter manufacturing apparatus according to the present invention, the ink jet head is a head for ejecting ink by utilizing thermal energy,
It is characterized by having a thermal energy generator for generating thermal energy given to the ink.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について添付図面を参照して詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

【0017】まず本発明の一実施形態に係わるカラーフ
ィルタの製造装置による、カラーフィルタの製造工程を
図1に示す。
First, a manufacturing process of a color filter by a color filter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention is shown in FIG.

【0018】本実施形態においては、基板1として一般
にガラス基板が用いられるが、液晶用カラーフィルタと
しての透明性、機械的強度等の必要特性を有するもので
あればガラス基板に限定されるものではない。
In the present embodiment, a glass substrate is generally used as the substrate 1, but it is not limited to the glass substrate as long as it has necessary properties such as transparency and mechanical strength as a color filter for liquid crystal. Absent.

【0019】まず、カラーフィルタの各画素の区切りを
明確にして画像を鮮明にするためのブラックマトリクス
2が形成されたガラス基板1を用意する(図1
(a))。なお、ブラックマトリクスの形成方法として
は、スパッタもしくは蒸着により金属薄膜を形成し、フ
ォトリソ工程によりパターニングする方法がある。
First, there is prepared a glass substrate 1 on which a black matrix 2 for clarifying the image of each pixel of the color filter is made clear (FIG. 1).
(A)). As a method of forming the black matrix, there is a method of forming a metal thin film by sputtering or vapor deposition and patterning it by a photolithography process.

【0020】次に、図1(b)に示すように、ブラック
マトリクス2の形成された基板1上に、本実施形態によ
るコーティング材料を塗布し、必要に応じてプリベーク
を行って、光照射または光照射と熱処理により光照射部
分のインク吸収性が上昇する樹脂組成物層3を形成す
る。コーティング材料としては、露光または露光と熱処
理を併用することにより露光部のインク吸収性が上昇す
る樹脂組成物を用いる。これは、露光部と未露光部にお
いてインク吸収性に差が生じることを利用して、インク
の混色及び必要以上のインクの拡散を防止するようにす
るためである。
Next, as shown in FIG. 1 (b), the coating material according to the present embodiment is applied onto the substrate 1 on which the black matrix 2 is formed, and if necessary, prebaked to perform light irradiation or The resin composition layer 3 whose ink absorbency at the light-irradiated portion is increased by light irradiation and heat treatment is formed. As the coating material, a resin composition in which the ink absorbency of the exposed area is increased by exposure or by using exposure and heat treatment together is used. This is to prevent the color mixture of ink and the diffusion of ink more than necessary by utilizing the difference in the ink absorbency between the exposed portion and the unexposed portion.

【0021】次いで、ブラックマトリクス2により遮光
されていない部分のコーティング材料をマスク4を介し
て予めパターン露光を行うことにより親インク処理を行
い(図1(c))、潜像を形成する(図1(d))。
Next, the coating material of the portion which is not shielded by the black matrix 2 is subjected to pattern exposure through the mask 4 in advance to perform an ink-philic treatment (FIG. 1 (c)) to form a latent image (FIG. 1). 1 (d)).

【0022】続いて、インクジェットヘッドを用いて、
R(赤)、G(緑)、B(青)のインクを親インク化さ
れた部分6に着色し(図1(e))、必要に応じてイン
ク乾燥を行う。
Then, using an ink jet head,
The R (red), G (green), and B (blue) inks are colored in the ink-affinitive portion 6 (FIG. 1E), and the ink is dried as necessary.

【0023】次いで、光照射、熱処理あるいは光照射と
熱処理を行って、着色されたコーティング材料を硬化さ
せ、必要に応じて保護膜8を形成する(図1(f))。
保護膜8としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるい
は光熱併用タイプの樹脂材料、または、蒸着、スパッタ
等によって形成された無機膜等を用いることができ、カ
ラーフィルタとした場合の透明性を有し、その後のIT
O(Indium Tin Oxide)形成プロセス、配向膜形成プロセ
ス等に耐えうるものであれば使用できる。
Next, light irradiation, heat treatment, or light irradiation and heat treatment is performed to cure the colored coating material, and the protective film 8 is formed if necessary (FIG. 1 (f)).
As the protective film 8, a photocurable type, a thermosetting type or a photothermal combined type resin material, or an inorganic film formed by vapor deposition, sputtering or the like can be used, and it has transparency as a color filter. And then IT
Any material that can withstand an O (Indium Tin Oxide) forming process, an alignment film forming process, and the like can be used.

【0024】図2及び図3に、本実施形態によるカラー
フィルタを組み込んだTFT(ThinFilm Transistor)カ
ラー液晶パネルの断面を示す。なお、その形態は本例に
限定されるものではない。
2 and 3 are sectional views of a TFT (Thin Film Transistor) color liquid crystal panel incorporating the color filter according to the present embodiment. The mode is not limited to this example.

【0025】カラー液晶パネルは、一般的にカラーフィ
ルタ基板1と対向基板254を合わせこみ、液晶化合物
252を封入することにより形成される。液晶パネルの
一方の基板254の内側に、TFT(Thin Film Transis
tor)(不図示)と透明な画素電極253がマトリックス
状に形成される。また、もう一方の基板1の内側には、
画素電極に対向する位置にRGBの色材が配列するよう
カラーフィルタ10が設置され、その上に透明な対向電
極(共通電極)250が一面に形成される。ブラックマ
トリクス2は、通常カラーフィルター基板1側に形成さ
れるが(図2参照)、BM(ブラックマトリクス)オン
アレイタイプの液晶パネルにおいては対向するTFT基
板側に形成される(図3参照)。さらに、両基板の面内
には配向膜251が形成されており、これをラビング処
理することにより液晶分子を一定方向に配列させること
ができる。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光
板255が接着されており、液晶化合物252は、これ
らのガラス基板の間隙(2〜5μm程度)に充填され
る。また、バックライトとしては蛍光灯(不図示)と散
乱板(不図示)の組み合わせが一般的に用いられてお
り、液晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる
光シャッターとして機能させることにより表示を行う。
The color liquid crystal panel is generally formed by combining the color filter substrate 1 and the counter substrate 254 and enclosing the liquid crystal compound 252 therein. A TFT (Thin Film Transistor) is provided inside one substrate 254 of the liquid crystal panel.
tor) (not shown) and a transparent pixel electrode 253 are formed in a matrix. Also, inside the other substrate 1,
A color filter 10 is provided so that RGB color materials are arranged at positions facing the pixel electrodes, and a transparent counter electrode (common electrode) 250 is formed on one surface thereof. The black matrix 2 is usually formed on the color filter substrate 1 side (see FIG. 2), but is formed on the opposing TFT substrate side in a BM (black matrix) on-array type liquid crystal panel (see FIG. 3). Further, an alignment film 251 is formed in the planes of both substrates, and rubbing the alignment film 251 allows liquid crystal molecules to be aligned in a certain direction. A polarizing plate 255 is adhered to the outside of each glass substrate, and the liquid crystal compound 252 is filled in the gap (about 2 to 5 μm) between these glass substrates. In addition, a combination of a fluorescent lamp (not shown) and a scattering plate (not shown) is generally used as the backlight, and the display is performed by making the liquid crystal compound function as an optical shutter that changes the transmittance of the backlight light. I do.

【0026】このような液晶パネルを情報処理装置に適
用した場合の例を図4乃至図6を参照して説明する。
An example in which such a liquid crystal panel is applied to an information processing apparatus will be described with reference to FIGS.

【0027】図4は上記の液晶パネルをワードプロセッ
サ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複写
装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場合
の概略構成を示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a schematic configuration when the above liquid crystal panel is applied to an information processing apparatus having a function as a word processor, a personal computer, a facsimile apparatus, a copying apparatus.

【0028】図中、1801は装置全体の制御を行う制
御部で、マイクロプロセッサ等のCPUや各種I/Oポ
ートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力した
り各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御を行
っている。1802はディスプレイ部で、この表示画面
には各種メニューや文書情報及びイメージリーダ180
7で読み取ったイメージデータ等が表示される。180
3はディスプレイ部1802上に設けられた透明な感圧
式のタッチパネルで、指等によりその表面を押圧するこ
とにより、ディスプレイ部1802上での項目入力や座
標位置入力等を行うことができる。
In the figure, reference numeral 1801 denotes a control unit for controlling the entire apparatus, which is provided with a CPU such as a microprocessor and various I / O ports and outputs control signals and data signals to each unit and control signals from each unit. Control is performed by inputting a data signal. A display unit 1802 has various menus, document information, and an image reader 180 on this display screen.
The image data and the like read in 7 are displayed. 180
Reference numeral 3 denotes a transparent pressure-sensitive touch panel provided on the display unit 1802. By pressing the surface of the touch panel with a finger or the like, it is possible to perform item input or coordinate position input on the display unit 1802.

【0029】1804はFM(Frequency Modulation)音
源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ
部1810や外部記憶装置1812にデジタルデータと
して記憶しておき、それらメモリ等から読み出してFM
変調を行うものである。FM音源部1804からの電気
信号はスピーカ部1805により可聴音に変換される。
プリンタ部1806はワードプロセッサ、パーソナルコ
ンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末と
して用いられる。
Reference numeral 1804 denotes an FM (Frequency Modulation) sound source section, which stores music information created by a music editor or the like in the memory section 1810 or an external storage device 1812 as digital data, and reads it from the memory or the like to perform FM.
The modulation is performed. The electric signal from the FM sound source unit 1804 is converted into an audible sound by the speaker unit 1805.
The printer unit 1806 is used as an output terminal of a word processor, a personal computer, a facsimile machine, and a copying machine.

【0030】1807は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行う。
Reference numeral 1807 denotes an image reader section for photoelectrically reading and inputting original data, which is provided in the original conveying path and reads various originals such as facsimile originals and copy originals.

【0031】1808はイメージリーダ部1807で読
取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきた
ファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ(F
AX)の送受信部であり、外部とのインタフェース機能
を有する。1809は通常の電話機能や留守番電話機能
等の各種電話機能を有する電話部である。
Reference numeral 1808 designates a facsimile (F) which transmits the original data read by the image reader unit 1807 by facsimile and which receives and decodes the transmitted facsimile signal.
AX), and has an external interface function. Reference numeral 1809 denotes a telephone unit having various telephone functions such as a normal telephone function and an answering machine function.

【0032】1810はシステムプログラムやマネージ
ャープログラム及びその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォント及び辞書等を記憶するROMや、外
部記憶装置1812からロードされたアプリケーション
プログラムや文書情報、さらにはビデオRAM等を含む
メモリ部である。
Reference numeral 1810 denotes a ROM that stores a system program, a manager program, other application programs, etc., a character font, a dictionary, etc., an application program and document information loaded from an external storage device 1812, and a memory including a video RAM. It is a department.

【0033】1811は文書情報や各種コマンド等を入
力するキーボード部である。
Reference numeral 1811 denotes a keyboard unit for inputting document information and various commands.

【0034】1812はフロッピーディスクやハードデ
ィスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記
憶装置1812には文書情報や音楽或は音声情報、ユー
ザのアプリケーションプログラム等が格納される。
Reference numeral 1812 denotes an external storage device having a floppy disk, a hard disk or the like as a storage medium. The external storage device 1812 stores document information, music or voice information, a user application program and the like.

【0035】図5は図4に示す情報処理装置の模式的外
観図である。
FIG. 5 is a schematic external view of the information processing apparatus shown in FIG.

【0036】図中、1901は上記の液晶パネルを利用
したフラットパネルディスプレイで各種メニューや図形
情報及び文書情報等を表示する。このディスプレイ19
01上ではタッチパネル1803の表面は指等で押圧す
ることにより座標入力や項目指定入力を行うことができ
る。1902は装置が電話機として機能する時に使用さ
れているハンドセットである。キーボード1903は本
体と着脱可能にコードを介して接続されており、各種文
書機能や各種データ入力を行うことができる。また、こ
のキーボード1903には各種機能キー1904等が設
けられている。1905は外部記憶装置1812へのフ
ロッピーディスクの挿入口である。
In the figure, reference numeral 1901 denotes a flat panel display using the above liquid crystal panel for displaying various menus, graphic information, document information and the like. This display 19
On 01, by pressing the surface of the touch panel 1803 with a finger or the like, coordinate input or item designation input can be performed. 1902 is a handset used when the device functions as a telephone. The keyboard 1903 is detachably connected to the main body via a cord, and can perform various document functions and various data inputs. The keyboard 1903 is provided with various function keys 1904 and the like. Reference numeral 1905 denotes a slot for inserting a floppy disk into the external storage device 1812.

【0037】1906はイメージリーダ部1807で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ1907よりプリン
トされる。
Reference numeral 1906 denotes a paper placing portion on which an original read by the image reader 1807 is placed, and the read original is discharged from the rear portion of the apparatus. In the case of facsimile reception or the like, printing is performed by the inkjet printer 1907.

【0038】上記情報処理装置をパーソナルコンピュー
タやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード
部1811から入力された各種情報が制御部1801に
より所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部1
806に画像として出力される。
When the information processing apparatus functions as a personal computer or a word processor, various information input from the keyboard unit 1811 is processed by the control unit 1801 according to a predetermined program, and the printer unit 1
The image is output to an image 806.

【0039】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してFAX送受信部1808から入
力したファクシミリ情報が制御部1801により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部1806
に受信画像として出力される。
When functioning as a receiver of a facsimile apparatus, the facsimile information input from the FAX transmission / reception unit 1808 via the communication line is received and processed by the control unit 1801 according to a predetermined program, and the printer unit 1806.
Is output as a received image.

【0040】また、複写装置として機能する場合、イメ
ージリーダ部1807によって原稿を読取り、読取られ
た原稿データが制御部1801を介してプリンタ部18
06に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ
装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部1
807によって読取られた原稿データは、制御部180
1により所定のプログラムに従って送信処理された後、
FAX送受信部1808を介して通信回線に送信され
る。
In the case of functioning as a copying machine, a document is read by the image reader unit 1807, and the read document data is transferred to the printer unit 18 via the control unit 1801.
It is output as a copied image in 06. When functioning as a facsimile receiver, the image reader unit 1
The original data read by 807 is transmitted to control unit 180.
After transmission processing according to a predetermined program by 1
It is transmitted to the communication line via the FAX transmission / reception unit 1808.

【0041】なお、上述した情報処理装置は、図6に示
すように、インクジェットプリンタを本体に内蔵した一
体型としても良く、この場合は、よりポータブル性を高
めることが可能となる。同図において、図5と同一機能
を有する部分には、対応する符号を付す。
As shown in FIG. 6, the above-mentioned information processing apparatus may be an integral type in which an ink jet printer is built in the main body, and in this case, it becomes possible to enhance the portability. In the figure, parts having the same functions as those in FIG. 5 are designated by the corresponding reference numerals.

【0042】次に、図7は、本実施形態のカラーフィル
タ製造装置により製造されたカラーフィルタのカラーパ
ターンを示す図である。夫々R,G,Bのインクにより
着色された着色部が一つの画素であり、ほぼ長方形をし
ている。一つの画素の長手方向をX方向、X方向と直角
な方向をY方向とすると、一つの画素の大きさは、全て
同じで、230μm×80μmであり、X方向のピッチ
が300μm、Y方向のピッチが100μmである。そ
して、X方向には同じ色の画素が一直線に配列され、Y
方向には隣り合う画素の色が異なるようにそれぞれの画
素が配列されている。また、この図で示すパターンは、
図1(a)の工程で作成されたブラックマトリクスのパ
ターンに相当する。
Next, FIG. 7 is a diagram showing a color pattern of a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus of this embodiment. Each of the colored portions colored by the R, G, and B inks is one pixel and has a substantially rectangular shape. Assuming that the longitudinal direction of one pixel is the X direction and the direction orthogonal to the X direction is the Y direction, the size of one pixel is the same, 230 μm × 80 μm, and the pitch in the X direction is 300 μm, and the pitch in the Y direction is 300 μm. The pitch is 100 μm. Then, pixels of the same color are arranged in a straight line in the X direction, and Y
In the direction, each pixel is arranged so that adjacent pixels have different colors. Also, the pattern shown in this figure is
This corresponds to the pattern of the black matrix created in the step of FIG.

【0043】画素の個数は、X方向に480個、Y方向
に1920個(各色640個)で、図8に示すように、
カラーフィルタの画面の大きさは、144mm×192
mmで、対角線の長さが240mmの9.4インチサイ
ズの液晶パネル用に対応している。
The number of pixels is 480 in the X direction and 1920 in the Y direction (640 for each color). As shown in FIG.
The size of the color filter screen is 144 mm x 192
mm for a 9.4 inch size liquid crystal panel with a diagonal length of 240 mm.

【0044】次に、図9は図7に示したカラーフィルタ
を製造するための製造装置の構成を示した図である。
Next, FIG. 9 is a diagram showing the construction of a manufacturing apparatus for manufacturing the color filter shown in FIG.

【0045】図9において、製造装置20は、不図示の
架台上に載置され、図中X方向及びY方向に移動可能な
XYテーブル22と、このXYテーブル22の上方に不
図示の支持部材を介して架台上に固定されたインクジェ
ットヘッドIJHを備えている。XYテーブル22上に
は、既に前述した方法によりブラックマトリクス2及び
樹脂組成物層3が形成されたガラス基板1が載置され
る。インクジェットヘッドIJHには、赤色(R)のイ
ンクを吐出する赤色ヘッド120aと、緑色(G)のイ
ンクを吐出する緑色ヘッド120bと、青色(B)のイ
ンクを吐出する青色ヘッド120cが備えられており、
これらの各ヘッド120a,120b,120cは夫々
独立にインクを吐出することができるように構成されて
いる。なお、インクジェットヘッドIJHの本体には、
R,G,Bの各インクジェットヘッド120a,120b,
120cをX,Y,Z軸方向に夫々独立に位置調整するた
めの調整機構123が内蔵されている。この調整機構1
23としては、例えばネジの回転量をインクジェットヘ
ッド120a,120b,120cのベースの動きに変換
する歯車機構等、公知の手段により構成することが出来
る。
In FIG. 9, the manufacturing apparatus 20 is placed on a pedestal (not shown) and is movable in the X and Y directions in the figure, and a support member (not shown) above the XY table 22. The inkjet head IJH is fixed on the mount via the. On the XY table 22, the glass substrate 1 on which the black matrix 2 and the resin composition layer 3 are formed by the method described above is placed. The inkjet head IJH includes a red head 120a that ejects red (R) ink, a green head 120b that ejects green (G) ink, and a blue head 120c that ejects blue (B) ink. Cage,
Each of these heads 120a, 120b, 120c is configured to be able to eject ink independently. In addition, the main body of the inkjet head IJH,
R, G, B inkjet heads 120a, 120b,
An adjustment mechanism 123 for independently adjusting the position of 120c in the X, Y, and Z axis directions is built in. This adjustment mechanism 1
As 23, for example, a known mechanism such as a gear mechanism that converts the rotation amount of the screw into the movement of the base of the inkjet heads 120a, 120b, 120c can be used.

【0046】インクジェットヘッドIJHの走査方向
(X方向)の両側部には、インクジェットヘッドIJH
とガラス基板1との距離を検出するための距離センサ1
22が設けられている。この距離センサ122により、
インクジェットヘッドIJHとガラス基板1との距離が
測定される。距離センサ122としては、例えばレーザ
距離センサ等が使用されるが、これに限定されるもので
はなく、基板とインクジェットヘッドとの距離を非接触
で測定できるものであればなんでもよい。
Inkjet heads IJH are provided on both sides of the inkjet head IJH in the scanning direction (X direction).
Distance sensor 1 for detecting the distance between the glass substrate 1 and
22 are provided. With this distance sensor 122,
The distance between the inkjet head IJH and the glass substrate 1 is measured. As the distance sensor 122, for example, a laser distance sensor or the like is used, but the distance sensor 122 is not limited to this and may be anything as long as it can measure the distance between the substrate and the inkjet head in a non-contact manner.

【0047】また、XYテーブル22の端部には、イン
クジェットヘッドIJHの、回復動作を行うための回復
ユニット30が設けられ、XYテーブル22に対して、
Z方向に移動可能なように配置されている。
A recovery unit 30 for carrying out a recovery operation of the ink jet head IJH is provided at the end of the XY table 22.
It is arranged so as to be movable in the Z direction.

【0048】この回復ユニット30は、インクジェット
ヘッドIJHのノズルのつまりを防止し、また、インク
ジェットヘッドIJHのノズル面についたインク滴や、
ゴミを拭き取って、インクの吐出を常に正常に行なうよ
うにする役割と、ノズル面についたゴミがガラス基板に
着色中に落ちて、不良となることを防止する役割を果た
すものである。
The recovery unit 30 prevents the nozzles of the inkjet head IJH from being clogged, and ink droplets on the nozzle surface of the inkjet head IJH,
It has a role to wipe off dust and to always perform normal ink ejection, and a role to prevent dust on the nozzle surface from falling during coloring of the glass substrate to cause a defect.

【0049】次に、図10は樹脂組成物層3にインクを
吐出するためのインクジェットヘッドIJHの構造を示
す図である。なお、3つのインクジェットヘッド120
a,120b,120cは夫々同一の構造に構成されてい
るので、図10はそれらのうちの1つを代表して示して
いる。
Next, FIG. 10 is a view showing the structure of an ink jet head IJH for ejecting ink onto the resin composition layer 3. The three inkjet heads 120
Since a, 120b, and 120c have the same structure, FIG. 10 shows one of them as a representative.

【0050】図10において、インクジェットヘッドI
JHは、インクを加熱するための複数のヒータ102が
形成された基板であるヒータボード104と、このヒー
タボード104の上にかぶせられる天板106とから概
略構成されている。天板106には、複数のインク吐出
口108が形成されており、吐出口108の後方には、
この吐出口108に連結するトンネル状の液路110が
形成されている。各液路110は、隔壁112により隣
の液路と隔絶されている。各液路110は、その後方に
おいて1つのインク液室114に共通に接続されてお
り、インク液室114にはインク供給口117を介して
インクが供給され、このインクはインク液室114から
夫々の液路110に供給される。
In FIG. 10, the ink jet head I
The JH is roughly composed of a heater board 104 as a substrate on which a plurality of heaters 102 for heating ink are formed, and a top plate 106 overlaid on the heater board 104. A plurality of ink ejection ports 108 are formed in the top plate 106, and behind the ejection ports 108,
A tunnel-like liquid passage 110 connected to the discharge port 108 is formed. Each liquid channel 110 is separated from an adjacent liquid channel by a partition 112. Each of the liquid passages 110 is commonly connected to one ink liquid chamber 114 at the rear of the liquid passage 110, and ink is supplied to the ink liquid chamber 114 through the ink supply port 117. The ink is supplied from the ink liquid chamber 114, respectively. Is supplied to the liquid path 110 of

【0051】ヒータボード104と、天板106とは、
各液路110に対応した位置に各ヒータ102が来る様
に位置合わせされて図10のような状態に組み立てられ
る。図10においては、2つのヒータ102しか示され
ていないが、ヒータ102は、夫々の液路110に対応
して1つずつ配置されている。そして、図10の様に組
み立てられた状態で、ヒータ102に所定の駆動パルス
を供給すると、ヒータ102上のインクが沸騰して気泡
を形成し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口1
08から押し出されて吐出される。
The heater board 104 and the top plate 106
The heaters 102 are aligned so that they come to the positions corresponding to the respective liquid paths 110, and the state is assembled as shown in FIG. Although only two heaters 102 are shown in FIG. 10, one heater 102 is arranged corresponding to each liquid passage 110. Then, when a predetermined driving pulse is supplied to the heater 102 in the assembled state as shown in FIG. 10, the ink on the heater 102 boils to form bubbles, and the ink expands by the volume expansion of the bubbles.
It is pushed out from 08 and discharged.

【0052】図11は、本実施形態のカラーフィルタの
製造装置の構成を示すブロック図である。
FIG. 11 is a block diagram showing the arrangement of a color filter manufacturing apparatus according to this embodiment.

【0053】図11において、製造装置の全体動作を制
御するCPU50には、XYステージ22をXY方向に
駆動するためのX方向駆動モータ56及びY方向駆動モ
ータ58が、Xモータ駆動回路52及びYモータ駆動回
路54を介して接続され、回復系ユニット30をZ方向
に駆動するためのZ方向駆動モータ59がZモータ駆動
回路55を介して接続されている。さらにR,G,Bの各
インクジェットヘッド120a,120b,120cを
X,Y,Z軸方向に位置調整する調整機構123も接続さ
れている。
In FIG. 11, a CPU 50 for controlling the overall operation of the manufacturing apparatus includes an X-direction drive motor 56 and a Y-direction drive motor 58 for driving the XY stage 22 in the XY directions, an X-motor drive circuit 52 and a Y-motor. A Z-direction drive motor 59, which is connected via the motor drive circuit 54 and drives the recovery system unit 30 in the Z direction, is connected via the Z motor drive circuit 55. Further, an adjusting mechanism 123 for adjusting the position of each of the R, G, B inkjet heads 120a, 120b, 120c in the X, Y, Z axis directions is also connected.

【0054】また、CPU50には、ヘッド駆動回路6
0を介してインクジェットヘッドIJHが接続されてい
る。さらにCPU50には、XYステージ22の位置を
検出するためのXエンコーダ62及びYエンコーダ64
が接続されており、XYステージ22の位置情報が入力
される。また、プログラムメモリ66内の制御プログラ
ムも入力される。CPU50は、この制御プログラムと
Xエンコーダ62及びYエンコーダ64の位置情報に基
づいて、XYステージ22を移動させ、ガラス基板1上
の所望の格子枠(画素)をインクジェットヘッドIJH
の下方にもたらし、その画素内に所望の色のインクを吐
出して着色することによってガラス基板1を着色して行
く。これを各画素に対して行うことによりカラーフィル
タを製造する。また、ガラス基板1の着色が1枚終了す
る毎に、インクジェットヘッドIJHの真下に、XYス
テージ22の端部に取り付けられた回復系ユニット30
を移動させて、X方向駆動モータ56によりワイピング
動作を行う。また、Z方向駆動モータ59によって不図
示のキャップをZ方向に移動させて、予備吐出動作を行
う。この間に図示しない基板搬送装置により、着色し終
わったガラス基板1と、着色前のガラス基板1を交換す
る作業を行う。
Further, the CPU 50 has a head drive circuit 6
0 is connected to the inkjet head IJH. Further, the CPU 50 has an X encoder 62 and a Y encoder 64 for detecting the position of the XY stage 22.
Are connected, and position information of the XY stage 22 is input. The control program in the program memory 66 is also input. The CPU 50 moves the XY stage 22 based on the control program and the positional information of the X encoder 62 and the Y encoder 64 to move a desired grid frame (pixel) on the glass substrate 1 to the inkjet head IJH.
And the glass substrate 1 is colored by discharging ink of a desired color into the pixel and coloring the pixel. By performing this for each pixel, a color filter is manufactured. Each time the coloring of the glass substrate 1 is completed, the recovery system unit 30 attached to the end of the XY stage 22 immediately below the inkjet head IJH.
Is moved, and the wiping operation is performed by the X-direction drive motor 56. Further, the Z-direction drive motor 59 moves the cap (not shown) in the Z-direction to perform the preliminary ejection operation. In the meantime, the work of exchanging the colored glass substrate 1 and the uncolored glass substrate 1 is performed by a substrate transfer device (not shown).

【0055】なお、距離センサ122から出力されるガ
ラス基板1とインクジェットヘッドIJHとの距離情報
はCPU50に入力され、CPU50はこの情報に基づ
いてインクジェットヘッドIJHの動作と、調整機構1
23の動作と、XYステージ22の動作とを制御する。
この制御の詳しい内容については後述する。
The distance information between the glass substrate 1 and the ink jet head IJH output from the distance sensor 122 is input to the CPU 50, and the CPU 50 operates the ink jet head IJH based on this information and the adjusting mechanism 1.
23 and the operation of the XY stage 22 are controlled.
The details of this control will be described later.

【0056】図12は、インクジェットヘッドIJHの
インク吐出方向とガラス基板1のうねりの関係を示した
図である。
FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the ink ejection direction of the ink jet head IJH and the waviness of the glass substrate 1.

【0057】本実施形態のインクジェットIJHは、イ
ンク吐出ノズルの加工の都合上インク吐出ノズルの向き
が図12(a)に示すようにガラス基板1と直交する方
向に対して10°傾いている。そして、このように吐出
ノズルの傾いたインクジェットヘッドIJHをガラス基
板1から例えば50μmの高さに配置している。この場
合、ガラス基板1に例えば高さ50μmのうねりがあっ
た場合には、インクドットの着弾位置は、図示したよう
にガラス基板1の一番高い位置Aで鉛直線から8.8μ
m、一番低い位置Bで17.6μmとなり、8.8μmの
着弾位置ズレが生ずることとなる。このような着弾位置
ズレが生ずると、インクドットの位置は、図12(b)
に示すようにブラックマトリクス2の格子枠から大きく
外れることとなる。そのため、本実施形態においては、
ガラス基板1の一番高い点Aと一番低い点Bの中間の高
さの点Cにおいて、インクがブラックマトリクス2の格
子枠の中心に着弾するようにインクジェットヘッド12
0a〜120cを調整機構123により位置調整するよ
うにしている。従って、ガラス基板に50μmのうねり
があった場合でも、着弾位置ズレの幅8.8μmの中央
を中心として、プラス方向とマイナス方向に4.4μm
ずつ着弾位置ズレが分散することとなり、結果的にブラ
ックマトリクス2の格子枠の中心からの着弾位置ズレの
最大値が、8.8μmから4.4μmと半分の値に低減さ
れる。
In the ink jet IJH of this embodiment, the direction of the ink discharge nozzle is inclined by 10 ° with respect to the direction orthogonal to the glass substrate 1 as shown in FIG. Then, the inkjet head IJH having the inclined ejection nozzles is arranged at a height of, for example, 50 μm from the glass substrate 1. In this case, when the glass substrate 1 has a waviness of 50 μm in height, for example, the ink dot landing position is 8.8 μ from the vertical line at the highest position A of the glass substrate 1 as shown in the figure.
m, the lowest position B is 17.6 μm, and a landing position deviation of 8.8 μm occurs. When such a landing position shift occurs, the position of the ink dot is changed as shown in FIG.
As shown in (4), it is largely deviated from the lattice frame of the black matrix 2. Therefore, in the present embodiment,
At a point C, which is an intermediate height between the highest point A and the lowest point B of the glass substrate 1, the ink jet head 12 is arranged so that the ink may land on the center of the lattice frame of the black matrix 2.
The positions of 0a to 120c are adjusted by the adjusting mechanism 123. Therefore, even if the glass substrate has a waviness of 50 μm, the plus and minus directions are 4.4 μm centered on the center of the landing position shift width of 8.8 μm.
Since the landing position deviations are dispersed, the maximum value of the landing position deviation from the center of the lattice frame of the black matrix 2 is reduced to half the value from 8.8 μm to 4.4 μm.

【0058】また、インクドットの吐出方向のズレは、
上記のようなノズル自体の元々の傾きのほかに、各ノズ
ル毎のくせやバラつきにより生ずる要素もあり、この要
素が着弾位置を更にばらつかせる原因となる。本実施形
態においては、このようなノズル毎のインク吐出方向の
曲がりを予め測定しておき、その測定値に応じて、イン
クジェットヘッド120a〜120cの位置を調整す
る。すなわち、ノズル自体の傾きのほかに、各ノズルの
くせによる吐出方向のずれがあった場合でも、その総合
的なインク吐出方向のずれに合わせて、ガラス基板1の
一番高い点と一番低い点の中間の高さの点で、インクが
ブラックマトリクス2の格子枠の中心に着弾するように
インクジェットヘッドの位置を調整すれば、インクの着
弾位置のずれは、プラス方向とマイナス方向に均等に分
散され、着弾位置ズレが低減されることとなる。
The deviation of the ink dot ejection direction is
In addition to the original inclination of the nozzle itself as described above, there are elements that are caused by habits and variations in each nozzle, and these elements cause variations in the landing positions. In the present embodiment, such bending in the ink ejection direction for each nozzle is measured in advance, and the positions of the inkjet heads 120a to 120c are adjusted according to the measured value. That is, in addition to the inclination of the nozzles themselves, even if there is a deviation in the ejection direction due to the habit of each nozzle, the highest point and the lowest point of the glass substrate 1 are adjusted according to the overall deviation in the ink ejection direction. If the position of the inkjet head is adjusted so that the ink lands on the center of the lattice frame of the black matrix 2 at a point at the middle of the points, the deviation of the landing position of the ink is even in the plus direction and the minus direction. As a result, they are dispersed and the displacement of the landing position is reduced.

【0059】次に、図13は、ガラス基板1の表面の高
さの測定ポイントを示した図である。
Next, FIG. 13 is a diagram showing measurement points of the height of the surface of the glass substrate 1.

【0060】図13に示すように、例えばガラス基板1
の4辺の中央部の点302,304,306,308及び
ガラス基板1の中央部の点310において、距離センサ
122によりガラス基板1の表面の高さを測定し、ガラ
ス基板1の一番高い点と一番低い点を求める。そして、
インクジェットヘッド120a〜120cの高さを例え
ばガラス基板1の一番高い点から50μm上空に設定す
る。ここで、ガラス基板1の一番高い点と一番低い点の
高さの差を50μmとすると、ガラス基板1とインクジ
ェットヘッドとの位置関係は図12(a)に示したよう
な状態になり、ガラス基板1の一番高い点と一番低い点
のインクの着弾位置ズレは、17.6−8.8=8.8μ
mとなる。この状態で、ガラス基板の一番高い点と一番
低い点の中間の点、即ちインクジェットヘッドの表面か
ら75μmの位置で、図14(a)に示すようにインク
がブラックマトリクス2の中央に着弾するように、イン
クジェットヘッドのXY方向の位置を調整機構123に
より調整する。このようにすれば、上記の8.8μmの
着弾位置ズレは、図14(b)に示すように、プラス方
向とマイナス方向に夫々4.4μmずつに振り分けら
れ、ブラックマトリクス2の格子枠の中央に対するイン
クの着弾ズレは、最大4.4μmに収まることとなる。
As shown in FIG. 13, for example, the glass substrate 1
At the central points 302, 304, 306, 308 of the four sides and the central point 310 of the glass substrate 1, the height of the surface of the glass substrate 1 is measured by the distance sensor 122, and the highest of the glass substrate 1 is measured. Find the point and the lowest point. And
The height of the inkjet heads 120a to 120c is set to 50 μm above the highest point of the glass substrate 1, for example. Here, if the difference in height between the highest point and the lowest point of the glass substrate 1 is 50 μm, the positional relationship between the glass substrate 1 and the inkjet head will be as shown in FIG. , The deviation of the ink landing positions of the highest point and the lowest point of the glass substrate 1 is 17.6-8.8 = 8.8μ.
m. In this state, the ink lands on the center of the black matrix 2 at a point midway between the highest point and the lowest point of the glass substrate, that is, at a position of 75 μm from the surface of the inkjet head, as shown in FIG. As described above, the adjustment mechanism 123 adjusts the position of the inkjet head in the XY directions. With this arrangement, the landing position deviation of 8.8 μm is divided into plus and minus directions by 4.4 μm each, as shown in FIG. 14B, and the center of the lattice frame of the black matrix 2 is divided. The deviation of the ink landing against the maximum is 4.4 μm.

【0061】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、インクジェットヘッドを、ガラス基板のうねりの
一番高い位置と一番低い位置との中間において、インク
がブラックマトリクスの格子枠の中央に着弾するように
位置調整することにより、インクの着弾位置ズレがプラ
ス方向とマイナス方向とに振り分けられ、着弾位置ズレ
の最大値を小さく抑えることが可能となる。
As described above, according to the above-described embodiment, the ink jet head is placed in the center of the grid frame of the black matrix in the middle of the highest position and the lowest position of the waviness of the glass substrate. By adjusting the position for landing, the landing position deviation of ink is divided into the plus direction and the minus direction, and the maximum value of the landing position deviation can be suppressed to a small value.

【0062】なお、本実施形態において、インクジェッ
トヘッドは、ヒータ102上のインクが沸騰して、気泡
を発生し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口1
08から押し出されて吐出するバブルジェット方式のイ
ンクジェットヘッドを用いたが、本発明は、これに限定
されるものではなく、ピエゾ素子を用いたインクジェッ
トヘッドであってもよい。
In the present embodiment, in the ink jet head, the ink on the heater 102 boils to generate bubbles, and the volume expansion of the bubbles causes the ink to eject.
Although the bubble jet type inkjet head which is pushed out from and ejected from 08 is used, the present invention is not limited to this and may be an inkjet head using a piezo element.

【0063】また、上記の実施形態においては、ガラス
基板のうねりの大きさを50μm、インクジェットヘッ
ドのガラス基板の一番高い位置からの距離を50μm、
インク吐出ノズルの傾きを10°として説明したが、こ
れらの値は単なる一例であり、本発明はこれらの値に限
定されることなく適用できることは言うまでもない。
In the above embodiment, the waviness of the glass substrate is 50 μm, and the distance from the highest position of the glass substrate of the ink jet head is 50 μm.
Although the description has been given assuming that the inclination of the ink ejection nozzle is 10 °, these values are merely examples, and it goes without saying that the present invention is applicable without being limited to these values.

【0064】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段(例えば電気熱
変換体やレーザ光等)を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。
The present invention includes a means (for example, an electrothermal converter or a laser beam) for generating thermal energy as energy used for performing ink ejection, particularly in an ink jet recording system. The printing apparatus of the type that causes a change in the state of the ink has been described.
High definition can be achieved.

【0065】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体(インク)
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも1つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に1対1で対応した液体
(インク)内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体(イン
ク)を吐出させて、少なくとも1つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体(イン
ク)の吐出が達成でき、より好ましい。
With regard to its typical structure and principle, see, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4740.
What is done using the basic principles disclosed in 796 is preferred. This method can be applied to both the so-called on-demand type and continuous type, but especially in the case of the on-demand type, liquid (ink)
By applying at least one drive signal corresponding to the recorded information and providing a rapid temperature rise exceeding the film boiling to an electrothermal transducer arranged corresponding to the sheet or the liquid path in which Since thermal energy is generated in the electrothermal transducer and film boiling occurs on the heat-acting surface of the recording head, bubbles in the liquid (ink) corresponding to this drive signal on a one-to-one basis can be formed. It is valid. The liquid (ink) is ejected through the ejection openings by the growth and contraction of the bubbles to form at least one droplet. When the drive signal is formed into a pulse shape, the growth and shrinkage of the bubble are performed immediately and appropriately, so that the ejection of the liquid (ink) having particularly excellent responsiveness can be achieved, which is more preferable.

【0066】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第4463359号明細書、同第4345262号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第4313124号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
As the pulse-shaped drive signal, those described in US Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,262 are suitable. If the conditions described in US Pat. No. 4,313,124 of the invention relating to the rate of temperature rise on the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【0067】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成(直線状液流路または直角液流路)の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第4558333号明細書、米国特許第
4459600号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭59−123670号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭59−138461号公報に基づいた構
成としても良い。
As the configuration of the recording head, in addition to the combination of a discharge port, a liquid path, and an electrothermal converter (a linear liquid flow path or a right-angled liquid flow path) as disclosed in the above-mentioned respective specifications, A configuration using U.S. Pat. No. 4,558,333 or U.S. Pat. No. 4,459,600, which discloses a configuration in which a heat acting surface is arranged in a bent region, is also included in the present invention. In addition, for multiple electrothermal converters,
JP-A-59-123670 which discloses a configuration in which a common slot is used as a discharge part of an electrothermal transducer, and JP-A-59-123670 which discloses a configuration in which an opening for absorbing a pressure wave of thermal energy corresponds to a discharge part. A configuration based on 138461 may be adopted.

【0068】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された1個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。
Further, as a full-line type recording head having a length corresponding to the width of the maximum recording medium that can be recorded by the recording apparatus, the length is determined by combining a plurality of recording heads as disclosed in the above specification. This may be either a configuration satisfying the above requirements or a configuration as a single recording head formed integrally.

【0069】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
In addition, the recording head is replaceable with a print head of a replaceable chip type, which can be electrically connected to the main body of the apparatus or supplied with ink from the main body of the apparatus, or integrated with the recording head itself. Alternatively, a cartridge type recording head provided with an ink tank may be used.

【0070】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。
It is preferable to add recovery means for the printhead, preliminary auxiliary means, and the like provided as components of the printing apparatus of the present invention since the effects of the present invention can be further stabilized. . Specific examples thereof include capping means, cleaning means, pressurizing or suctioning means for the recording head, preheating means using an electrothermal converter or another heating element or a combination thereof, and recording. It is also effective to perform a stable recording by performing a preliminary discharge mode in which another discharge is performed.

【0071】以上説明した本発明実施形態においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化す
るものを用いても良く、あるいはインクジェット方式で
はインク自体を30°C以上70°C以下の範囲内で温
度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるよう
に温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号
付与時にインクが液状をなすものであればよい。
In the embodiment of the present invention described above,
Although the ink is described as a liquid, an ink that solidifies at room temperature or lower, or one that softens or liquefies at room temperature may be used, or the ink itself may be 30 ° C. or more and 70 ° C. or more in the inkjet method. In general, the temperature is adjusted within the following range to control the temperature of the ink so that the viscosity of the ink is in the stable ejection range. Therefore, the ink may be in a liquid state when the use recording signal is applied.

【0072】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭54−56847号公報あ
るいは特開昭60−71260号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。
In addition, in order to positively prevent the temperature rise due to thermal energy as energy for changing the state of the ink from the solid state to the liquid state,
Alternatively, in order to prevent evaporation of the ink, an ink which solidifies in a standing state and liquefies by heating may be used. In any case, by applying thermal energy such as ink that is liquefied by applying thermal energy according to the recording signal and liquid ink is ejected, or that begins to solidify when it reaches the recording medium. The present invention can be applied to the case where an ink having a property of being liquefied for the first time is used. In such a case, as described in JP-A-54-56847 or JP-A-60-71260, the ink is held in a liquid state or a solid state in the concave portion or through hole of the porous sheet. It is good also as a form which opposes an electrothermal transducer. In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【0073】[0073]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のカラーフ
ィルタの製造方法及び製造装置によれば、インクジェッ
トヘッドを、ガラス基板のうねりの一番高い位置と一番
低い位置との中間において、インクが画素の中央に着弾
するように位置調整することにより、インクの着弾位置
ズレがプラス方向とマイナス方向とに振り分けられ、着
弾位置ズレの最大値を小さく抑えることが可能となる。
As described above, according to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the color filter of the present invention, the ink-jet head is provided with the ink in the middle of the highest position and the lowest position of the waviness of the glass substrate. By adjusting the position so that the ink lands on the center of the pixel, the ink landing position deviation is divided into the plus direction and the minus direction, and the maximum value of the landing position deviation can be suppressed to a small value.

【0074】[0074]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】カラーフィルタの製造工程を説明する図であ
る。
FIG. 1 is a diagram illustrating a manufacturing process of a color filter.

【図2】一実施形態の製造装置により製造されるカラー
フィルタをTFT液晶パネルに組み込んだときの構造を
示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a structure when a color filter manufactured by the manufacturing apparatus of one embodiment is incorporated in a TFT liquid crystal panel.

【図3】一実施形態の製造装置により製造されるカラー
フィルタをTFT液晶パネルに組み込んだときの構造を
示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a structure when a color filter manufactured by the manufacturing apparatus of one embodiment is incorporated in a TFT liquid crystal panel.

【図4】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
FIG. 4 is a diagram showing an information processing apparatus using a liquid crystal panel.

【図5】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating an information processing apparatus using a liquid crystal panel.

【図6】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
FIG. 6 is a diagram showing an information processing device in which a liquid crystal panel is used.

【図7】一実施形態の製造装置により製造されるカラー
フィルタのパターンを示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a pattern of a color filter manufactured by the manufacturing apparatus according to the embodiment.

【図8】一実施形態の製造装置により製造されるカラー
フィルタのTFT液晶パネルに組み込んだ時の表示部の
サイズを示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a size of a display unit when the color filter manufactured by the manufacturing apparatus according to the embodiment is incorporated in a TFT liquid crystal panel.

【図9】一実施形態の製造装置の概略構成を示す図であ
る。
FIG. 9 is a diagram showing a schematic configuration of a manufacturing apparatus according to an embodiment.

【図10】インクジェットヘッドの構造を示す図であ
る。
FIG. 10 is a diagram showing a structure of an inkjet head.

【図11】一実施形態の製造装置の概略構成を示すブロ
ック図である。
FIG. 11 is a block diagram showing a schematic configuration of a manufacturing apparatus according to an embodiment.

【図12】インクジェットヘッドIJHのインク吐出方
向とガラス基板のうねりの関係を示した図である。
FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the ink ejection direction of the inkjet head IJH and the waviness of the glass substrate.

【図13】ガラス基板の高さを測定するポイントを示し
た図である。
FIG. 13 is a diagram showing points for measuring the height of a glass substrate.

【図14】インクの着弾位置ズレが振り分けられた様子
を示した図である。
FIG. 14 is a diagram showing a state where ink landing position deviations are distributed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 ブラックマトリクス 3 樹脂組成物 4 マスク 5 親インク化されていない部分 6 親インク化された部分 7 インク 8 保護膜 22 XYステージ 30 回復系ユニット 108 吐出ノズル 120a インクジェットヘッド(R) 120b インクジェットヘッド(G) 120c インクジェットヘッド(B) IJH インクジェットヘッド 1 Glass Substrate 2 Black Matrix 3 Resin Composition 4 Mask 5 Non-ink-philic Part 6 Ink-philic Part 7 Ink 8 Protective Film 22 XY Stage 30 Recovery System Unit 108 Ejection Nozzle 120a Inkjet Head (R) 120b Inkjet Head (G) 120c Inkjet head (B) IJH Inkjet head

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インクジェットヘッドにより基板に向け
てインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色する
ことによりカラーフィルタを製造する方法であって、 前記基板の表面の凹凸を検出する検出工程と、 該検出工程で検出された凹凸の、一番高い点と一番低い
点の中間の位置で、インクが前記画素の中央に着弾する
ように前記インクジェットヘッドの位置を調整する調整
工程と、 該調整工程で調整された位置で、前記インクジェットヘ
ッドからインクを吐出して前記各画素を着色する着色工
程とを具備することを特徴とするカラーフィルタの製造
方法。
1. A method of manufacturing a color filter by ejecting ink toward a substrate by an inkjet head to color each pixel of the color filter, the detecting step of detecting irregularities on the surface of the substrate, An adjusting step of adjusting the position of the inkjet head so that the ink may land on the center of the pixel at a position intermediate between the highest point and the lowest point of the unevenness detected in the detecting step; And a coloring step of coloring the pixels by ejecting ink from the inkjet head at a position adjusted in the step.
【請求項2】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えていることを特徴とする請求項1に記載の
カラーフィルタの製造方法。
2. The ink jet head is a head for ejecting ink by utilizing heat energy, and is provided with a heat energy generator for generating heat energy given to the ink. 1. The method for manufacturing a color filter according to 1.
【請求項3】 インクジェットヘッドにより基板に向け
てインクを吐出してカラーフィルタの各画素を着色する
ことによりカラーフィルタを製造する装置であって、 前記基板の表面の凹凸を検出する検出手段と、 該検出手段で検出された凹凸の、一番高い点と一番低い
点の中間の位置で、インクが前記画素の中央に着弾する
ように前記インクジェットヘッドの位置を調整する調整
手段とを具備することを特徴とするカラーフィルタの製
造装置。
3. An apparatus for manufacturing a color filter by ejecting ink toward the substrate by an inkjet head to color each pixel of the color filter, the detecting unit detecting irregularities on the surface of the substrate, And an adjusting unit that adjusts the position of the inkjet head so that the ink may land on the center of the pixel at a position intermediate between the highest point and the lowest point of the unevenness detected by the detection unit. An apparatus for manufacturing a color filter, which is characterized in that
【請求項4】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えていることを特徴とする請求項3に記載の
カラーフィルタの製造装置。
4. The ink jet head is a head for ejecting ink by utilizing heat energy, and is provided with a heat energy generator for generating heat energy to be given to the ink. 3. The apparatus for manufacturing a color filter according to item 3.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7150898B2 (en) 2003-10-29 2006-12-19 Seiko Epson Corporation Droplet applying method and droplet applying device, and device and electronic equipment

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