JPH0954250A - Image forming device - Google Patents

Image forming device

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Publication number
JPH0954250A
JPH0954250A JP22853195A JP22853195A JPH0954250A JP H0954250 A JPH0954250 A JP H0954250A JP 22853195 A JP22853195 A JP 22853195A JP 22853195 A JP22853195 A JP 22853195A JP H0954250 A JPH0954250 A JP H0954250A
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JP
Japan
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lens
image forming
lens group
optical system
image
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP22853195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuya Nakamura
哲也 中村
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Pentax Corp
Original Assignee
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To correct eccentric distortion aberration generated due to an assembling error, etc., by adjusting the eccentricity of the lens of an optical image forming system on at least two places. SOLUTION: A first lens frame 2a on which a condenser lens G1 is arranged and a second lens frame 2b on which a the image side lens group G2 of a first lens group is arranged is enabled to adjust eccentricity by means of a first and a second eccentricity adjusting mechanisms 3a, 3b respectively. The eccentricity adjusting mechanisms 3a, 3b is provided with a micrometer and an actuator, translate the respective lens groups in (y) direction and (z) direction in a plane perpendicular to the direction X of the optical axis or tilt them around the y and z axes. By adjusting two directions at the time of translation and two axes at the time of inclination, the eccentricity is corrected even when the eccentricity is generated in either direction. A third lens frame 2c is driven in the direction X of the optical axis by means of a focusing mechanism 3c so that a focus of a reducing optical system 20 is matched with a photoreceptor P.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、光源部に形成さ
れた二次元的なパターンを結像光学系を介して像面に結
像させる画像形成装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image forming apparatus for forming a two-dimensional pattern formed on a light source section on an image plane via an image forming optical system.

【0002】[0002]

【発明が解決しようとする課題】光源部の二次元的なパ
ターンを像面に結像させる場合、結像光学系の組み付け
誤差による位置ズレがあると、パターンの像に台形歪み
等の偏心歪曲収差が発生し、描画精度が低下するという
問題がある。
When a two-dimensional pattern of a light source unit is imaged on an image plane and a positional deviation occurs due to an assembling error of an imaging optical system, the image of the pattern has an eccentric distortion such as a trapezoidal distortion. There is a problem in that aberration occurs and drawing accuracy is reduced.

【0003】[0003]

【課題を解決するための手段】この発明は、上述した課
題に鑑みてなされたものであり、光源部に形成される二
次元的なパターンを結像光学系を介して像面上に結像さ
せる画像形成装置において、複数のレンズにより構成さ
れる結像光学系中の少なくとも2枚のレンズをそれぞれ
独立して偏心調整できるよう構成し、この調整により像
の台形歪みのような偏心歪曲収差を補正できるようにし
たことを特徴とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and forms a two-dimensional pattern formed on a light source unit on an image plane via an image forming optical system. In the image forming apparatus, at least two lenses in the image forming optical system including a plurality of lenses can be independently adjusted for eccentricity, and by this adjustment, eccentric distortion aberration such as trapezoidal distortion of an image can be obtained. The feature is that it can be corrected.

【0004】少なくとも2枚のレンズを独立して偏心調
整できる構成とするのは、レンズの組み付け誤差等によ
り発生する偏心歪曲収差には2つの成分が含まれるた
め、1枚のレンズの偏心調整では歪曲収差を完全に補正
できない場合があるからである。なお、偏心歪曲収差に
ついては、例えば「偏心の存在する光学系の3次の収差
論」(松居吉哉著、1990年6月 社団法人日本オプトメカ
トロニクス協会)に説明されている。
The configuration in which at least two lenses can be adjusted independently of eccentricity is because eccentric distortion aberration caused by an error in assembling the lens includes two components, and thus eccentricity adjustment of one lens is not possible. This is because the distortion may not be completely corrected in some cases. The eccentric distortion aberration is described, for example, in "Third-order aberration theory of an optical system having eccentricity" (Yoshiya Matsui, June 1990, Japan Optomechatronics Association).

【0005】偏心歪曲収差の2つの成分を現象的にみる
と、一方は結像倍率が像面内の1方向についてほぼ直線
的な勾配を持つことにより長方形のパターンが台形状に
結像する台形歪み成分として、他方は像面内で上記と同
一の方向で光軸を含むラインを境として直線状のパター
ンがV字に折れ曲がって結像するV字歪み成分として現
れる。結像光学系の光軸に直交する面内にy−z直交座
標を設定した場合、一部のレンズがy軸方向に偏心して
上記の2つの歪みが同時に現れると、像点の位置が基準
位置に対してそれぞれy,z両方向について変位する。
Looking at two components of the eccentric distortion aberration in a phenomenological manner, one of them has a trapezoidal shape in which a rectangular pattern forms a trapezoidal shape because the imaging magnification has a substantially linear gradient in one direction in the image plane. As the distortion component, the other appears as a V-shaped distortion component in which an image is formed by bending a linear pattern in a V-shape in the image plane in the same direction as the above with a line including the optical axis as a boundary. When yz orthogonal coordinates are set in the plane orthogonal to the optical axis of the imaging optical system, if some lenses are decentered in the y-axis direction and the above two distortions appear at the same time, the position of the image point becomes the reference. The position is displaced in both the y and z directions.

【0006】歪みの原因となる偏心が生じたレンズと偏
心の状態とを特定できれば、そのレンズを基準位置に戻
すことにより補正することができるが、このような特定
は一般的に困難である。そして、一定の偏心により生じ
る台形歪み成分とV字歪み成分との比率はレンズによっ
て異なるため、台形歪み成分とV字歪み成分とを同時に
補正するためには、少なくとも2カ所の調整が必要とな
る。
If it is possible to identify the lens in which eccentricity causes distortion and the state of eccentricity, correction can be performed by returning the lens to the reference position, but such identification is generally difficult. Since the ratio of the trapezoidal distortion component and the V-shaped distortion component generated by the constant eccentricity differs depending on the lens, at least two adjustments are necessary to simultaneously correct the trapezoidal distortion component and the V-shaped distortion component. .

【0007】結像光学系は、例えば、光源部側から順
に、最も光源部側にコンデンサレンズを有する第1レン
ズ群と、その像面側に配置された第2レンズ群とが配列
して構成され、コンデンサレンズ、コンデンサレンズを
除く第1レンズ群の像側レンズ群、第2レンズ群は、そ
れぞれ独立した第1、第2、第3のレンズ枠内に配置さ
れる。この場合には、3つのうちの少なくとも2つのレ
ンズ枠を偏心調整可能とする。
The image forming optical system is constructed by arranging, for example, a first lens group having a condenser lens closest to the light source section and a second lens group arranged on the image plane side in order from the light source section side. The condenser lens, the image side lens group of the first lens group excluding the condenser lens, and the second lens group are arranged in independent first, second, and third lens frames, respectively. In this case, at least two of the three lens frames can be eccentrically adjusted.

【0008】なお、「偏心調整」は、結像光学系の光軸
と垂直な面内での平行移動と、そのレンズ枠が保持する
レンズの光軸を結像光学系の光軸に対して傾ける傾動と
の両方を含む概念として用いられている。
The "decentering adjustment" is performed by a parallel movement in a plane perpendicular to the optical axis of the image forming optical system and the optical axis of the lens held by the lens frame with respect to the optical axis of the image forming optical system. It is used as a concept that includes both tilting and tilting.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、この発明にかかる画像形成
装置の実施形態を説明する。実施形態は、発明の画像記
録装置をマルチビーム記録装置に適用した例を示す。図
1に示されるように、この装置は、ケーシング1内に配
置された光源部10、および結像光学系としての縮小光
学系20と、記録対象である感光体Pが載置されるテー
ブル30とから構成される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of an image forming apparatus according to the present invention will be described below. The embodiment shows an example in which the image recording apparatus of the invention is applied to a multi-beam recording apparatus. As shown in FIG. 1, in this apparatus, a light source unit 10 arranged in a casing 1, a reduction optical system 20 as an imaging optical system, and a table 30 on which a photoconductor P to be recorded is placed. Composed of and.

【0010】ケーシング1内に設けられた光学系ユニッ
トは、縮小光学系20の光軸方向xと垂直なy−z平面
内でy方向に移動可能であり、テーブル30は同面内で
z方向にスライド可能である。
The optical system unit provided in the casing 1 is movable in the y direction in a yz plane perpendicular to the optical axis direction x of the reduction optical system 20, and the table 30 is in the z direction in the same plane. Can be slid onto.

【0011】光源部10は、トップパネル11に二次元
的に配列して取り付けられた複数のLED(発光ダイオ
ード)12と、複数のLED12に一対一に対応してア
パーチャが形成されたアパーチャパネル13とから構成
される。LED12から発してアパーチャを透過したビ
ームは、縮小光学系20を介して感光体Pに達し、感光
体Pの表面にアパーチャーの像を形成する。
The light source unit 10 has a plurality of LEDs (light emitting diodes) 12 mounted in a two-dimensional array on a top panel 11, and an aperture panel 13 having apertures corresponding to the plurality of LEDs 12 in a one-to-one correspondence. Composed of and. The beam emitted from the LED 12 and transmitted through the aperture reaches the photoconductor P via the reduction optical system 20, and forms an image of the aperture on the surface of the photoconductor P.

【0012】縮小光学系20は、光源部10側から順
に、コンデンサレンズG1(21a)と像側レンズ群G2と
を有して全体として正のパワーを持つ第1レンズ群21
と、その像面側に配置された正のパワーを持つ第2レン
ズ群G3(22)とが配列して構成される。コンデンサレ
ンズG1、第1レンズ群の像側レンズ群G2、第2レンズ
群G3は、それぞれ独立した第1、第2、第3のレンズ
枠2a,2b,2c内に配置されてケーシング1に組み
付けられている。
The reduction optical system 20 has a condenser lens G1 (21a) and an image side lens group G2 in order from the light source section 10 side and has a first lens group 21 having a positive power as a whole.
And a second lens group G3 (22) having a positive power and arranged on the image plane side. The condenser lens G1, the image side lens group G2 of the first lens group, and the second lens group G3 are arranged in independent first, second, and third lens frames 2a, 2b, and 2c, respectively, and are assembled to the casing 1. Has been.

【0013】コンデンサレンズG1が配置された第1の
レンズ枠2aと、第1レンズ群の像側レンズ群G2が配
置された第2のレンズ枠2bとは、それぞれ第1、第2
の偏心調整機構3a,3bにより偏心調整可能とされて
いる。偏心調整機構3a,3bは、マイクロメータやア
クチュエータを備え、各レンズ群を光軸方向xに対して
垂直な平面内でy方向およびz方向に平行移動させ、あ
るいはy軸、z軸回りに傾動させる。平行移動の場合に
は2方向、傾動の場合には2軸の調整を可能とすること
により、偏心がいずれの方向に発生した場合にも補正す
ることが可能となる。
The first lens frame 2a in which the condenser lens G1 is arranged and the second lens frame 2b in which the image side lens group G2 of the first lens group is arranged are the first and second lenses, respectively.
The eccentricity adjustment mechanism 3a, 3b can adjust the eccentricity. The eccentricity adjusting mechanisms 3a and 3b include a micrometer and an actuator, and translate each lens group in the y and z directions in a plane perpendicular to the optical axis direction x, or tilt about the y and z axes. Let By enabling adjustment in two directions in the case of parallel movement and in two directions in the case of tilting, it is possible to correct when eccentricity occurs in either direction.

【0014】なお、第2レンズ群G3が配置された第3
のレンズ枠2cは、縮小光学系20のピントが感光体P
に合うように、図示せぬ焦点検出器からの出力に応じて
フォーカシング機構3cにより光軸方向xに駆動され
る。
A third lens unit in which the second lens unit G3 is arranged
The focus of the reduction optical system 20 of the lens frame 2c of
In accordance with an output from a focus detector (not shown), the focusing mechanism 3c drives in the optical axis direction x.

【0015】なお、この例で示したように、レンズ群が
3つのグループに分割されてそれぞれ独立したレンズ枠
に収納されている場合には、そのうちの任意の2つのグ
ループを調整可能とすることにより偏心歪曲収差を補正
することができる。ただし、この例のように第2レンズ
群G3がフォーカシングのために光軸方向に移動する場
合には、このレンズ群を偏心調整のためにも使用すると
機構が複雑となるため、他の2つのレンズ群により調整
するのが望ましい。
As shown in this example, when the lens group is divided into three groups and housed in independent lens frames, two arbitrary groups among them can be adjusted. Thus, the eccentric distortion aberration can be corrected. However, when the second lens group G3 moves in the optical axis direction for focusing as in this example, the mechanism becomes complicated if this lens group is also used for eccentricity adjustment. It is desirable to adjust with the lens group.

【0016】縮小光学系20は、第2レンズ群22がフ
ォーカシング機構3cにより単独で光軸方向xに移動し
た場合にも全体としての性能が劣化しないように、それ
ぞれ単独で収差補正されている。単独で収差補正されて
いる第1レンズ群、第2レンズ群は独立して偏心調整し
てもコマ収差の発生量を抑えつつ、偏心歪曲収差を補正
することができる。また、コンデンサレンズG1は、光
源部10に近くマージナル光線の高さが低いため、同様
に独立して偏心調整してもコマ収差の発生量は少ない。
The reduction optical system 20 is individually corrected for aberrations so that the overall performance does not deteriorate even when the second lens group 22 is moved alone in the optical axis direction x by the focusing mechanism 3c. Even if the first lens group and the second lens group, which are independently corrected for aberrations, are independently adjusted for decentering, it is possible to correct decentration distortion while suppressing the amount of coma generated. Further, since the condenser lens G1 is close to the light source unit 10 and the height of the marginal ray is low, the amount of coma aberration generated is small even if the decentering is similarly adjusted.

【0017】[0017]

【実施例】次に、上記の実施形態に示した縮小光学系2
0の具体的な実施例を説明する。図2は、実施例にかか
る結像光学系の全体構成、図3はその諸収差、図4は第
1レンズ群、図5は第2レンズ群をそれぞれ示す。
EXAMPLE Next, the reduction optical system 2 shown in the above embodiment
A specific example of 0 will be described. 2 shows the overall configuration of the imaging optical system according to the embodiment, FIG. 3 shows its various aberrations, FIG. 4 shows the first lens group, and FIG. 5 shows the second lens group.

【0018】実施例では、第1レンズ群(第1面〜第8
面)21は物体側から正の第1レンズ21a(コンデンサ
レンズG1)、正の第2レンズ21b、負の第3レンズ2
1c、正の第4レンズ21dの4群4枚で構成され、第
2レンズ群(第9面〜第27面)22は負の第1レンズ2
2a、正の第2レンズ22b、正の第3レンズ22c、
負の第4レンズ22d、そして絞りを挟んで、負の第5
レンズ22e、正の第6〜第10レンズ22f〜22j
の9群10枚で構成される。なお、第2レンズ群22の
第5レンズ22eと第6レンズ22fとは一体に貼り合
わされている。
In the embodiment, the first lens group (first surface to eighth surface)
The surface 21 is a positive first lens 21a (condenser lens G1), a positive second lens 21b, and a negative third lens 2 from the object side.
1c, a positive fourth lens 21d is composed of 4 elements in 4 groups, and the second lens group (9th surface to 27th surface) 22 is a negative first lens 2
2a, the positive second lens 22b, the positive third lens 22c,
The negative fourth lens 22d, and the negative fifth lens across the aperture.
Lens 22e, positive sixth to tenth lenses 22f to 22j
It consists of 10 sheets in 9 groups. The fifth lens 22e and the sixth lens 22f of the second lens group 22 are integrally attached.

【0019】図4(A)は450nmにおける球面収差SA、
正弦条件SCを示す収差図、(B)は400nm,450nm,550nm
の球面収差で表される色収差、(C)は400nm,550nmで表
される倍率色収差、(D)は非点収差(S:サジタル、
M:メリディオナル)、(E)は歪曲収差を示す。
FIG. 4A shows spherical aberration SA at 450 nm,
Aberration diagram showing sine condition SC, (B) 400nm, 450nm, 550nm
, Chromatic aberration represented by spherical aberration, (C) chromatic aberration of magnification represented by 400 nm and 550 nm, (D) astigmatism (S: sagittal,
(M: meridional), (E) shows distortion.

【0020】実施例の具体的な数値構成は、表1に示さ
れる。表中の記号fは焦点距離(mm)、FNOはFナンバ
ー、d0はアパーチャー板から第1レンズL1の物体側面
までの光軸上の距離(mm)、fBはバックフォーカス(m
m)、Mは倍率、rは曲率半径(mm)、dは光軸上のレンズ
厚および空気間隔(mm)、n450は450nmにおける屈折率、
νはアッベ数である。
Table 1 shows specific numerical configurations of the embodiments. In the table, symbol f is the focal length (mm), FNO is the F number, d0 is the distance (mm) on the optical axis from the aperture plate to the object side surface of the first lens L1, and fB is the back focus (m
m), M is the magnification, r is the radius of curvature (mm), d is the lens thickness on the optical axis and the air gap (mm), n450 is the refractive index at 450 nm,
ν is the Abbe number.

【0021】なお、実施例においてd0は、LED12
から発して第1レンズ群21から射出される光束がそれ
ぞれ平行光束となるよう設定されている。また、第2レ
ンズ群22の第4レンズ22dと第5レンズ22eとの
間には絞りSが配置されており、レンズ間距離d16は、
第4レンズから絞りまでの距離5.15mmと絞りから第5レ
ンズまでの距離4.09mmの和となる。
In the embodiment, d0 is the LED 12
The light fluxes emitted from and emitted from the first lens group 21 are set to be parallel light fluxes. Further, a diaphragm S is arranged between the fourth lens 22d and the fifth lens 22e of the second lens group 22, and the inter-lens distance d16 is
The sum of the distance from the 4th lens to the aperture is 5.15mm and the distance from the aperture to the 5th lens is 4.09mm.

【0022】[0022]

【表1】 f=138.46 FNo=1:2.5 d0=17.25 fB=18.00 M=-0.040 面番 r d n450 ν 面番 r d n450 ν 1 ∞ 47.00 1.52485 64.1 17 -5.743 1.20 1.66888 33.8 2 -370.000 360.48 18 -25.828 4.00 1.50347 81.6 3 198.800 18.00 1.49480 70.2 19 -9.200 0.25 4 -533.000 69.40 20 -24.120 4.00 1.50347 81.6 5 -73.562 5.00 1.63114 49.8 21 -12.800 0.20 6 81.685 19.92 22 59.800 3.50 1.50347 81.6 7 135.029 9.80 1.49480 70.2 23 -49.400 0.10 8 -65.656 35.30 24 40.040 3.50 1.50347 81.6 9 93.720 2.00 1.50347 81.6 25 -131.719 0.10 10 20.790 6.50 26 50.000 3.00 1.50347 81.6 11 31.514 3.50 1.71354 31.1 27 ∞ 12 -2324.027 0.35 13 10.000 5.30 1.50347 81.6 14 35.190 0.70 15 20.874 1.20 1.66888 33.8 16 7.400 5.15 絞り 4.09[Table 1] f = 138.46 FNo = 1: 2.5 d0 = 17.25 fB = 18.00 M = -0.040 surface number r d n450 ν surface number r d n450 ν 1 ∞ 47.00 1.52485 64.1 17 -5.743 1.20 1.66888 33.8 2 -370.000 360.48 18 -25.828 4.00 1.50347 81.6 3 198.800 18.00 1.49480 70.2 19 -9.200 0.25 4 -533.000 69.40 20 -24.120 4.00 1.50347 81.6 5 -73.562 5.00 1.63114 49.8 21 -12.800 0.20 6 81.685 19.92 22 59.800 3.50 1.50347 81.6 7 135.029 9.80 1.49480 70.2 0.10 8 -65.656 35.30 24 40.040 3.50 1.50347 81.6 9 93.720 2.00 1.50347 81.6 25 -131.719 0.10 10 20.790 6.50 26 50.000 3.00 1.50347 81.6 11 31.514 3.50 1.71354 31.1 27 ∞ 12 -2324.027 0.35 13 10.000 5.30 1.50347 81.6 14 35.190 0.70 15 20.874. 33.8 16 7.400 5.15 Aperture 4.09

【0023】上記実施例の光学系で偏心歪曲収差が発生
した場合の具体的な補正例を表2に示す。偏心歪曲収差
の影響は、光軸からの距離が離れるほど大きく現れるた
め、ここでは図6に示すように矩形の結像領域内で最も
光軸から遠い点の1つである点Aに着目し、その実際の
結像位置と収差がない場合の理想的な結像位置(y=−
5.12mm,z=2.48mm)との変位量として偏心歪曲収差の量
を示す。この点の変位量すなわち誤差が小さくなれば、
他の点の誤差も小さくなり、結像領域は破線で示した矩
形領域にほぼ一致する。
Table 2 shows a specific correction example when decentering distortion occurs in the optical system of the above embodiment. Since the influence of the eccentric distortion becomes larger as the distance from the optical axis increases, here, as shown in FIG. 6, the point A, which is one of the points farthest from the optical axis in the rectangular imaging region, is focused. , And the ideal image formation position (y =-
The amount of eccentric distortion is shown as the amount of displacement (5.12 mm, z = 2.48 mm). If the displacement amount at this point, that is, the error becomes small,
The error at other points is also reduced, and the image formation area substantially coincides with the rectangular area indicated by the broken line.

【0024】なお、偏心歪曲収差による結像点の誤差量
は、図6の二点鎖線内の領域を拡大して示した図7に示
されるように、理想的な結像位置から実際の結像位置ま
での距離のy,z軸への投影Δy,Δzとして表され
る。
The amount of error of the image forming point due to the eccentric distortion is shown in FIG. 7, which is an enlarged view of the area within the chain double-dashed line in FIG. The distance to the image position is expressed as projections y and z on the y and z axes.

【0025】偏心歪曲収差が発生すると像は歪曲すると
共に移動するため、点Aの座標は歪曲による変位と移動
による変位との双方の影響を受けることとなる。ただ
し、ここでは、歪曲による変位のみに着目し、点Aの位
置を、軸上の物点に対応する基準像点から点Aまでの距
離として、すなわち、基準像点を座標原点に戻した際の
点Aの座標として示している。
When eccentric distortion aberration occurs, the image is distorted and moves, so that the coordinates of the point A are affected by both displacement due to distortion and displacement due to movement. However, here, focusing only on the displacement due to the distortion, the position of the point A is set as the distance from the reference image point corresponding to the object point on the axis to the point A, that is, when the reference image point is returned to the coordinate origin. Is shown as the coordinates of point A.

【0026】表2は、(1)〜(4)の各ケースにつき、誤差
の発生量に対するコンデンサレンズG1と像側レンズ群
G2との補正方法、補正量と、各補正単独での効果、そ
して補正後の誤差の値を示す。(1)(2)のケースではG
1,G2を共に平行移動することにより、そして(3)(4)の
ケースではG1を平行移動してG2を傾動することにより
偏心歪曲収差を補正している。
Table 2 shows, for each of the cases (1) to (4), the method of correcting the condenser lens G1 and the image side lens group G2 with respect to the amount of error, the correction amount, and the effect of each correction alone, and The value of the error after correction is shown. G in the cases of (1) and (2)
Decentering distortion is corrected by translating both 1 and G2, and in the cases of (3) and (4), translating G1 and tilting G2.

【0027】例えば、(1)のケースでは、点Aが基準位
置からy方向に−0.19μm、z方向に−0.06μm変位する
ような偏心歪曲収差が発生した場合、コンデンサレンズ
G1をz軸方向に0.30mm平行移動すると共に、第1レン
ズ群の像側レンズ群G2をz軸方向に−0.36mm平行移動
することにより、点Aの理想的な結像位置からの誤差が
y方向については−0.01μm、z方向については0.04μm
にまで低減される。
For example, in the case of (1), when decentering distortion such that point A is displaced by −0.19 μm in the y direction and −0.06 μm in the z direction from the reference position, the condenser lens G1 is moved in the z axis direction. By moving 0.30 mm in parallel with the image side lens group G2 of the first lens group in the z-axis direction by -0.36 mm, the error from the ideal image forming position of the point A in the y direction is − 0.01 μm, 0.04 μm for z direction
Is reduced to

【0028】[0028]

【表2】 補正前誤差 G1補正量 効果 G2補正量 効果 補正後誤差 (1) Δy -0.19μm 0.30mm 0.45μm -0.36mm -0.27μm -0.01μm Δz -0.06μm (平行) -0.55μm (平行) 0.65μm 0.04μm (2) Δy 0.29μm -0.85mm -1.28μm 1.25mm 0.95μm -0.04μm Δz 0.65μm (平行) 1.56μm (平行) -2.25μm -0.04μm (3) Δy 0.38μm -0.40mm -0.60μm -6.0min 0.23μm 0.01μm Δz -0.90μm (平行) 0.74μm (傾動) 0.07μm -0.09μm (4) Δy 0.29μm 0.20mm 0.30μm 15.5min -0.59μm 0.00μm Δz 0.65μm (平行) -0.37μm (傾動) -2.25μm 0.09μm[Table 2] Pre-correction error G1 correction amount effect G2 correction amount effect post-correction error (1) Δy -0.19μm 0.30mm 0.45μm -0.36mm -0.27μm -0.01μm Δz -0.06μm (parallel) -0.55μm (parallel) ) 0.65μm 0.04μm (2) Δy 0.29μm -0.85mm -1.28μm 1.25mm 0.95μm -0.04μm Δz 0.65μm (parallel) 1.56μm (parallel) -2.25μm -0.04μm (3) Δy 0.38μm -0.40mm -0.60 μm -6.0 min 0.23 μm 0.01 μm Δz -0.90 μm (parallel) 0.74 μm (tilt) 0.07 μm -0.09 μm (4) Δy 0.29 μm 0.20 mm 0.30 μm 15.5 min -0.59 μm 0.00 μm Δz 0.65 μm (parallel) -0.37 μm (tilt) -2.25 μm 0.09 μm

【0029】なお、表2の例では、偏心歪曲収差による
影響がz軸を境として線対称に発生する場合、すなわち
z軸方向の倍率の勾配により台形歪み成分が発生し、V
字歪み成分がz軸を中心に対称となるようなケースにつ
いてのみ示している。したがって、補正の方向は、平行
移動の場合にはz軸方向、傾動の場合にはy軸回りとな
る。
In the example of Table 2, when the influence of the eccentric distortion aberration occurs line-symmetrically with respect to the z axis, that is, the trapezoidal distortion component occurs due to the gradient of the magnification in the z axis direction, and V
Only the case where the character distortion component is symmetrical about the z axis is shown. Therefore, the direction of correction is the z-axis direction in the case of parallel movement and the y-axis direction in the case of tilting.

【0030】具体的には、各ケースの誤差は、(1)では
第1レンズ群の像側レンズ群G2、(2)(4)では第2レン
ズ群G3がそれぞれがy軸回りに5分(min)傾いた場合の
収差量と同一であり、(3)では像側レンズ群G2がz軸方
向に0.5mm平行移動した場合の収差量と同一である。
Specifically, the error in each case is that the image side lens group G2 of the first lens group in (1) and the second lens group G3 in (2) and (4) are 5 minutes around the y-axis. (min) It is the same as the amount of aberration when tilted, and in (3) it is the same as the amount of aberration when the image-side lens group G2 is translated by 0.5 mm in the z-axis direction.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、結像光学系のレンズを少なくとも2カ所で偏心調整
可能とすることにより、組み付け誤差等により発生した
偏心歪曲収差を補正することができる。
As described above, according to the present invention, the decentering adjustment of the lens of the imaging optical system can be performed at at least two places, so that the decentering distortion aberration caused by the assembly error or the like can be corrected. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 この発明にかかる画像記録装置の実施形態を
示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of an image recording apparatus according to the present invention.

【図2】 実施例にかかる縮小光学系の全体構成を示す
レンズ図である。
FIG. 2 is a lens diagram showing an overall configuration of a reduction optical system according to an example.

【図3】 図2のレンズの諸収差を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing various aberrations of the lens of FIG.

【図4】 図2のレンズの第1レンズ群のレンズ図であ
る。
FIG. 4 is a lens diagram of a first lens group of the lens in FIG.

【図5】 図2のレンズの第2レンズ群を拡大して示す
レンズ図である。
FIG. 5 is an enlarged lens diagram showing a second lens group of the lens in FIG.

【図6】 偏心歪曲収差による結像領域の歪みを示す説
明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing distortion of an image forming area due to decentering distortion.

【図7】 図6の二点鎖線で囲まれた領域を拡大して示
す説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing an enlarged area surrounded by a chain double-dashed line in FIG. 6;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ケーシング 2a,2b,2c レンズ枠 3a,3b 偏心調整機構 10 光源部 20 縮小光学系 21 第1レンズ群 G1(21a) コンデンサレンズ G2 像側レンズ群 G3(22) 第2レンズ群 30 テーブル 1 Casing 2a, 2b, 2c Lens frame 3a, 3b Decentering adjustment mechanism 10 Light source unit 20 Reduction optical system 21 First lens group G1 (21a) Condenser lens G2 Image side lens group G3 (22) Second lens group 30 Table

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光源部に形成される二次元的なパターンを
結像光学系を介して像面上に結像させる画像形成装置に
おいて、 前記結像光学系中のレンズは、複数のレンズから構成さ
れ、該複数のレンズの少なくとも2枚が像の偏心歪曲収
差を補正できるようそれぞれ独立して偏心調整可能であ
ることを特徴とする画像形成装置。
1. An image forming apparatus for forming a two-dimensional pattern formed on a light source unit on an image plane through an image forming optical system, wherein a lens in the image forming optical system is composed of a plurality of lenses. An image forming apparatus, characterized in that at least two of the plurality of lenses are capable of independently adjusting decentering so as to correct decentering distortion of an image.
【請求項2】前記結像光学系は、前記光源部側から順
に、最も光源部側にコンデンサレンズを有する第1レン
ズ群と、その像面側に配置された第2レンズ群とが配列
して構成され、前記コンデンサレンズ、前記コンデンサ
レンズを除く第1レンズ群の像側レンズ群、前記第2レ
ンズ群がそれぞれ独立した第1、第2、第3のレンズ枠
内に配置され、少なくとも2つのレンズ枠が偏心調整可
能であることを特徴とする請求項1に記載の画像形成装
置。
2. The image forming optical system comprises, in order from the light source section side, a first lens group having a condenser lens closest to the light source section and a second lens group arranged on the image plane side. And the condenser lens, the image side lens group of the first lens group excluding the condenser lens, and the second lens group are arranged in independent first, second, and third lens frames, respectively, and at least 2 The image forming apparatus according to claim 1, wherein the two lens frames are adjustable in eccentricity.
【請求項3】前記第1、第2レンズ群は、それぞれ単独
で収差補正されていることを特徴とする請求項2に記載
の画像形成装置。
3. The image forming apparatus according to claim 2, wherein the first lens group and the second lens group are independently corrected for aberrations.
【請求項4】前記第1、第2のレンズ枠が偏心調整可能
であり、前記第3のレンズ枠はフォーカシングのために
前記結像光学系の光軸方向に調整可能であることを特徴
とする請求項2に記載の画像形成装置。
4. The first and second lens frames are adjustable in decentering, and the third lens frame is adjustable in the optical axis direction of the imaging optical system for focusing. The image forming apparatus according to claim 2.
【請求項5】前記レンズ枠の少なくとも1つが前記結像
光学系の光軸と垂直な面内で平行移動可能であることを
特徴とする請求項2に記載の画像形成装置。
5. The image forming apparatus according to claim 2, wherein at least one of the lens frames is movable in parallel in a plane perpendicular to the optical axis of the imaging optical system.
【請求項6】前記レンズ枠の少なくとも1つが、該レン
ズ枠が保持するレンズの光軸を前記結像光学系の光軸に
対して傾けるよう傾動可能であることを特徴とする請求
項2に記載の画像形成装置。
6. At least one of the lens frames is tiltable so that an optical axis of a lens held by the lens frame is tilted with respect to an optical axis of the image forming optical system. The image forming apparatus described.
【請求項7】前記光源部は、二次元に配列した複数の光
源から構成されることを特徴とする請求項1に記載の画
像形成装置。
7. The image forming apparatus according to claim 1, wherein the light source unit includes a plurality of light sources arranged in a two-dimensional manner.
JP22853195A 1995-05-17 1995-08-14 Image forming device Withdrawn JPH0954250A (en)

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