JPH09503427A

JPH09503427A - 懸濁した粒子を分離するための多層圧電共振器

Info

Publication number: JPH09503427A
Application number: JP6525208A
Authority: JP
Inventors: フェリックストランプラー; エヴァルトベンズ; ウォルフガングブルガー; マルチングロッシル
Original assignee: ソノセップバイオテックインコーポレイテッド
Priority date: 1993-07-02
Filing date: 1994-05-11
Publication date: 1997-04-08

Abstract

(57)【要約】流体内に懸濁している粒状物質を超音波共振波によって分離し、再利用する。好ましい実施例においては、互いに平行な変換器、懸濁媒体及び鏡を含む多層複合共振器シフト内に超音波共振の場が生成される。熱消散を最小にするように、全システムには共振するが変換器及び鏡自体の固有周波数は励振しないような寸法及び周波数が選択される。一般に、このプロセスは全ての種類の粒子（固相、液相、またはガス状分散相）、特にヒドロゾル（水中の粒子）に、及び哺乳類、バクテリア、及び植物細胞のような生物粒子または集合体の分離に適している。哺乳類細胞生物反応器のための音響フィルタ、または生存不能な細胞に対する生存可能な細胞の選択的保持を含む生物工学に限定された応用が開示される。

Description

【発明の詳細な説明】懸濁した粒子を分離するための多層圧電共振器技術的分野本発明は液体内に分散している粒子を分離するための方法及び装置に関する。本発明は特に、変換器及び鏡を有する音響共振器設計に関し、これらの要素は全て共振器の共振周波数が変換器の固有周波数とは異なるように選択されている。一般的に本プロセスは、全ての種類の粒子（固相、液相もしくはガス状分散相）並びに哺乳類、バクテリア及び植物の細胞もしくは集合体のような生物粒子の分離に適する。発明の背景近代技術の多くの分野において、流体から粒子を除去することが要求されている。このような分離プロセスを用いれば、液相もしくは粒状物質を再利用することができる。生物工学においては、生成物を含む媒体から生物粒子を除去しなければならない。連続攪拌懸濁生物反応器は、新鮮な媒体を絶えず追加し、使用済の媒体を除去しながら動作させるが、この使用済の媒体の中には所望の生成物が含まれることが多い。使用済媒体流から細胞を再利用し、これらの生物反応器内の細胞密度及び生産性を高める多くのシステムが開発されている。これらのシステムの中では、スピンフィルタが最も広く市販されているものである。生物反応器内部のこれらの円筒形フィルタのスピニング（回転）が、フィルタ表面の目詰まりを減少させるのに役立つ。それにも拘わらずこれらの既存システムの有用性は、蛋白質及び細胞質によるフィルタの漸進的な目詰まりによって制限される。スピンフィルタ生物反応器においてフィルタが目詰まりし、生存不能な細胞が懸濁相内に蓄積されると、一般に生産のための動作時間が制限されるようになる。生物反応器の容積を増加させ、動作を維持するためのフィルタ領域を反応器の内側に十分にとることが実際的ではないために、スピンフィルタの大規模化は制限されてきた。交差流沈澱及び遠心分離システムは目詰まり及び規模の柔軟性（スケーラビリティ）によって制限される。遠心分離システムは、多分高価格の故に広く使用されることがなかった。近年普通の技術に代わるものとして、もしくはそれを増強するものとして、音響分離方法の開発に多大の努力が払われてきた。流体内に定在波が確立されると速度に節（ノード）及び腹（アンチノード）が形成され、粒子の圧縮性及び密度に依存して粒子は放射力によって移動させられる（殆どの固体及び液体粒子は速度腹に向かって移動する）。節及び腹は音響波の伝播方向に対して直角であり、隣接する２つの節間は音響波の半波長に等しい距離だけ離間している。これらの腹内の超音波の集合効果に関しては既に文献に記述されている。E．Skudrzyk， “Die Gru nen der Akustic,”Springer Verlag，Wien，1954，S．202-205，S． 807-825; L．Bergmann,“Der Ultraschall und seine Anwendungen in Wissensc haft und Technik,”Verlag hirzel，Zuerich，1954:並びにK．Asai and N．Sas aki,“Treatment of slick by means of ultrasonics,”Proceedings of the 3r d International Congress on Coal Preparation，Institut National del'Indu strie Charbonniere，Brussels-Liege，1958 から、印加する音響に使用される周波数は、いわゆる特性周波数ｆ₀の大きさの中から最良に選択される。この特性周波数ｆ₀は次式から計算することができる。ｆ₀ ＝（３η）/ ２πｒ² ＝ 0.48 η/ ｒ² （Ｉ）ここに、ηは運動速度であり、ｒは粒子の半径である。この周波数範囲を使用すると、放射力の効果及び腹面内に累積的に音響的に誘起されるベルヌーイ力を最大にすることができる。米国特許第 4,055,491号によれば、血液もしくは哺乳類細胞のような小さい粒子を重力によってキャリヤ液外へ沈澱させるように、超音波定在波を使用してこれらの粒子を音場の速度腹内に凝集させている。しかし超音波源の配置が限定されていないこと、従って限定されていない共振境界条件に起因する定在波場の効率が低いことから、走行波のかなりの部分に起因する高いエネルギ損失がもたらされる。上述したプロセスは不連続動作に限られる。上記米国特許第 4,055,491 号に記載されている実施例と比較すると、米国特許第 5,164,094号に開示されている装置は主としてジオメトリを変更したものである。しかし分散媒を担持する容器に印加される音場の周波数が十分に限定された共振境界条件によって制御されていないので、それでもエネルギのかなりな部分が失われる。種々の音響特性を用いて粒子を分離する実施例が米国特許第 4,523,682号に記載されている。分散媒を収容している容器の一端に取付けられている比較的小さい変換器によって容器の低い共振モードを励振すると、変換器／容器界面に垂直な節面及び腹面が発生する。音響点源によって作られた垂直モードは、システムを一次元共振器として記述することはできないことを意味している。長手方向に減衰した走行波の一部は、横方向定在波場内の累積した音響エネルギに比して高い。音響の減衰は、流れ方向に沿う分散媒に温度上昇をもたらす。温度変化は音響速度及び共振周波数に影響を及ぼし、流れ方向に沿って非均質温度分布を生じさせ、それが場の共振の質を低下させる。その結果、所望の分離を達成するのに必要な処理期間が長くなる。腹面内に捕捉された粒子を集め、沈澱させるのに必要な音響処理期間が長いために、音響力だけを利用することによって直接所望の分離効果を得ようとして、定在波の腹を分散媒に対して移動させる努力がなされた。米国特許第 4,673,512 号は、同一周波数で励振される対向変換器によって生成される干渉定在波場を導入した。２つの音響源の電気励振信号間の位相シフトを制御することによって、分散媒の走行干渉パターンの腹及び節内に捕らわれた粒子を移動させることができる。この方法を使用すると比較的短い処理期間を達成することが可能である。この方法の欠陥は、その本質が非共振であることである。干渉定在波場を維持するためには、同一振幅の共振定在波場に比して遙かに多くのエネルギが使用される。その結果、所与の音響粒子速度振幅を発生させるための電力消費及び熱消散が大きくなる。走行干渉パターンを作成する方法だけが異なる米国特許第 4,759 ,775号においても同じ問題を考慮しなければならない。米国特許第 4,877,516号は、音響伝播の方向に対して垂直な定在波場の音響振幅の局部勾配を制御しながら運動させる考えを導入した。従って、上記勾配に直接関係付けられ、且つ腹面に平行に作用するベルヌーイ力によって、粒子は場の腹もしくは節内に移動する。この実施例の欠陥は、定在波の局部勾配を望ましく運動させるために音響の影を発生する機械的に運動するアレイを必要とすることである。共振器システムの次の共振モードを励振することによって、共振定在波の腹を段階的に運動させることがPCT Appl．No．PCT/AT89/00098に開示されている。若干の実施例では共振境界条件が満たされているが、それでも使用される共振器周波数（従来は、この周波数は常に変換器の固有周波数の極めて近くに選択されていた）に起因してかなりの音響的に誘起された消散が存在している。発明の概要本発明の原理によれば、変換器、懸濁媒体、及び鏡を含む多層複合共振器システム内に超音波共振場が生成される。懸濁媒体は、分離すべき粒子を含む液体からなる。音響放射力が、液体内の粒子を定在波の節もしくは腹に向かって運動させる。任意選択的に、副次的な横方向音響力が粒子を集め、この集合体が重力によって液体から沈澱させられる。もし、粒子を分離するのにドリフトする共振波を使用すれば、粒子を集めるための副次的な横方向力は必要ではないかも知れない。本多層複合共振器システムは、共振器が全体として、変換器及び鏡の固有周波数とは異なる多くの共振周波数を有するように設計されている。変換器の駆動周波数が液体内に音響定在共振波を生成するのであるが、この周波数は変換器の固有周波数からずれた周波数を選択することが好ましい。変換器はそれ自体の固有周波数とは異なる周波数で駆動される。一実施例では、駆動周波数は変換器の隣接する２つの固有周波数の中間にある。生物工学においては、薬学的に重要な蛋白質を発生させるために細胞が使用される。これらの蛋白質の殆どは翻訳後変異（post-translational modification ）と呼ばれる蛋白質合成中にさらなる段階を必要とする。バクテリアではなく、哺乳類の細胞は、それらだけがこのような複雑な変異を達成することができるためにこれらの蛋白質を発生させるのに使用される。殆どの哺乳類細胞の蛋白質生成物は媒体内に分泌される。バッチ生物反応器の場合には、細胞は運転後に媒体から分離しなければならない。連続流反応器の場合には、細胞は生産性を向上させるために生物反応器へ戻して再利用することができる。超音波的に誘起される集合及び沈澱は、連続流懸濁生物反応器及び下流処理の両方に適用できる。従って哺乳類の細胞はそれらを成長させた液体培養組織から分離され、液体から蛋白質を収穫することを可能にしながら、生物反応器内に保持される。本発明と従来技術とを比較する際の誤解を避けるために、本説明を通して厳格に使用される用語の定義を以下に示す。 “音響粒子”は、単に音響連続体理論のボリューム要素であり、懸濁粒子と混同してはならない。“音響粒子速度”は、関連音響波によってもたらされる周期的音響粒子変位の時間導関数である。複合反応器の“一次元”処理は、全ての量が１方向だけに排他的に依存するような適切なモデルが適用されることを意味する（例えば1991年９月J．Acoust．S oc．Am．90(3)，H．Nowotny，E．Benes,and M．Schmid,を参照されたい）。この方向は、本説明を通して長手方向と一致する。用語“層”は、極めて一般的に使用される。懸濁粒子を担持している液体でさえ、ある層に関連している。この本質的な共振周波数決定次元は、通常は、しかし必ずしもそうではないが、層の厚み次元である。座標のｘ軸はこの層次元内に選択され、流れ方向に対して垂直である。ｙ軸方向は層の深さであり、ｘ軸方向及び流れ方向に対して垂直である。ｚ軸は流体の流れ方向に平行である。 “能動層”は圧電材料からなり、“受動層”は非圧電材料からなる。 “変換器”は、最も簡単な場合には圧電材料の単一の層である。多くの理由から幾つかの圧電板を、受動的で電気絶縁性の担体層の一方の側もしくは両方の側に接着すると有利である。本発明によれば、付加的な変換（副）層を使用することができる。殆どの一般的な場合変換器・層自体は圧電層を含む複数の固体層からなり、最も外側の層は周囲空気もしくは１または複数の分散媒と接触する。 “位相シフトφ”は音響粒子速度Ｖの空間的位相シフトである。 φ＝２π・ｆ_e（ｘ／ｖ）（II）ここに、ｆ_eは電気的な駆動周波数であり、ｘは関連層の共振決定次元であり、そしてｖは関連層の音響（位相）速度である。多層の合計位相シフトは各相の位相シフトと、異なる特定音響インピーダンスを有する隣接層間の界面における付加的な位相跳躍との合計である。デルタ位相シフトΔφは、流体を収容している音響共振室内のその全長にわたる定在波の位相シフト変化である。180°の変化は位相シフトπであり、波の１つ分の変化は位相シフト２πであり、90°及び45 °の変化はそれぞれ位相シフト変化π/2及びπ/4である。単一層の“調波固有周波数”もしくは調波共振周波数ｆ_iは次のように定義される。ｆ_i ＝ｉ・（ｃ/ ｐ）^1/2/２・ｘ（III）ここに、ｉは関連調波周波数の数であり、Ｘは共振決定次元であり、ｃは実効弾性定数であり、そしてｐは層の質量密度である。もし層が圧電材料からなっていれば、式（III）内の実効弾性定数ｃは電極間の電気負荷に依存する。短絡回路及び開いたループ電極のような制限された場合には、いわゆる直列もしくは並列固有周波数がそれぞれ決定される。固有周波数ｆ_iの奇数部分集合だけを電気的に励振することができる。多層（例えば、多層変換器）の“準調波固有周波数”。単一の均質層のオーバートーン周波数は基本固有周波数の整数倍であるが、複合共振器のオーバートーン周波数は一般に平凡に離間していない。この理由から、一次元複合共振器の固有周波数を“準調波固有周波数”と呼ぶことがある（例えば1984年８月１日のJ ．Appl．Phys．56(3)のE．Benesを参照されたい）。しかしながら、支配的な次元を有する１つの層（分散層）の場合には、第１近似においても高いオーバートーン複合周波数は等間隔として考えることができる。本発明による変換器は通常１つの単一層より多くの層からなるので、それ自体多層共振器である。このような共振器では、最も外側の面間の変換器の次元ｘ_Tに沿う音響粒子速度の位相シフトφ_Tが数πの整数倍ｎに等しい周波数として固有周波数を定義することができる。これらの機械的に可能な共振周波数は全て、圧電的に励振されるのではない。励振の可能性は能動層のみに沿う変位曲線に依存する。もしこの曲線が対称的であれば、変換器はその対応周波数で励振することはできない。多層変換器のこの電気的に励振可能な固有周波数は、もし変換器が真空（もしくは空気）によって取り囲まれ、駆動電力発生器の周波数が共振器によって消費される能動電力の相対最大値に同調されていれば、測定可能な共振周波数に対応する。もし駆動電力発生器の電圧振幅Ｕ_eを一定に保てば（極めて低い電源インピーダンス）複合構造のいわゆる直列共振周波数が決定される。もし駆動電力発生器の電流振幅Ｉ_eを一定に保てば（極めて高い電源インピーダンス）複合構造のいわゆる並列共振周波数が決定される。 “縦方向”とは、層の厚み次元の方向を意味する。この縦方向は、変換器層によって励振された音波の伝播方向に一致する。本発明によれば、複合共振器の共振モードは縦方向に励振される。従って、定在共振波の方向を縦方向と呼ぶ。 “多層複合共振器の共振周波数ｆ_c”は、全ての層を含む複合共振システムの合計長にまたがる音響定在波の合計位相シフトφ_Cを数πの整数倍にしなければならないという縦方向共振の条件によってもたらされる。複合共振器の共振周波数のこの定義は、もし駆動電力発生器の周波数が共振器によって消費される能動（二乗平均平方根）電力の相対最大値に同調されていれば、測定可能な共振周波数に対応する。 “変換器の固有周波数ｆ_T”は、変換器層の終端面間の位相シフトφ_Tを数πの整数倍ｍにしなければならないという条件によってもたらされる。変換器の固有周波数のこの定義は、もし変換器が真空（もしくは空気）によって取り囲まれ、駆動電力発生器の周波数が共振器によって消費される能動電力の相対最大値に同調されていれば、測定可能な共振周波数に対応する。一般に、変換器は幾つかの層からなることができる。もし変換器が電極に覆われた単一の圧電層で形成されていれば固有周波数の条件は次式によって与えられる。 φ_T ＝ 2π・ｘ_T ・ｆ_T,m / ｖ_T（ｑ，ｍ）＝ｍ・π （IV）但し、ｍは関連固有周波数ｆ_T,mの数であり、ｘ_Tは共振決定厚みであり、そしてｖ_Tは変換器の縦方向音響速度であって電極の電荷ｑ及び関連固有周波数の数ｍに依存する。 “鏡の固有周波数ｆ_M”は、反射器層の表面間の位相シフトφ_Mを数πの整数倍ｎにしなければならないという条件によってもたらされる。もし鏡が単一の層だけで形成されていれば、固有周波数の条件は次式によって与えられる。 φ_M ＝２π・ｘ_M ・ｆ_M,n / ｖ_M ＝ｎ・π （V）ここに、ｎは関連調波固有周波数ｆ_M,nの数であり、ｘ_Mは共振決定厚みであり、そしてｖ_Mは鏡の縦方向音響速度である。 “横方向”は、縦方向に対して垂直の方向である。これらの方向は定在共振波の粒子速度節及び腹面内に入っている。 “固有音響インピーダンスＺ”は、関連材料の断面積当たりの音響インピーダンスである。本発明は懸濁媒体とは異なる音響特性（圧縮性、音響速度）を使用して、分散した粒子を連続的に分離し、再利用することができる方法及び装置に関する。本発明の方法は、分散した粒子を保持して集めるために音響的に誘起される力を使用し、集合体を沈殿させて再利用するためには重力を使用する。好ましい実施例によれば、多層複合共振器システムは、平らな変換器、分散媒を収容する容器、及び平らな音響鏡からなる。全て音響的に結合されているこれらの層は縦方向に配列され、それらの表面は互いに平行である。変換器は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミック、ニオブ酸リチウム単結晶、もしくはＰＶＤＦ層のような圧電的に能動な層と、この能動層の担体として働く固体受動層とからなることができる。全て音響的に結合されているこれらの層は互いに平行である。本発明は10^-3乃至１ｍｍの範囲のサイズの分散した粒子を分離するのに適している。粒子の音響及び幾何学的特性による好ましい共振周波数は0.1乃至10ＭＨｚの範囲である。本発明は、多層複合音響共振器の変換器と鏡との間に超音波共振場を発生し、これにより音響的に誘起される消散に起因する何等かの温度上昇の効果を最小にしながら、粒子を流体から分離し、再利用を可能にする。超音波分離プロセスの多くの潜在的な応用（例えば、生物工学における応用）では、粒子の熱損傷を回避するために、温度上昇を最低にする分離方法が必要である。更に、確立された音響共振場の累積されたエネルギ、従って分離を達成するために必要な音響処理時間は、音響伝播の方向に垂直な流れ方向に沿う均質な温度分布に依存する。音響波の波長は温度に部分的に依存するから、定在波の縦方向に垂直な、流れ方向に沿う望ましくない空間的な温度勾配のために、複合共振器の終端面間の音響波の合計位相シフトが非均質な分布（流れ方向において）になる。複合共振システムの横方向の限定された、そして一定の位相の合計シフトは、高い質の共振場を維持するための境界条件である。従って熱消散を最小にし、懸濁媒体の流れ速度を最適にしなければならない。第１の特色の第１の代替実施例を以下に要約する。本発明の１つの特色の第１の実施例の原理によれば、変換器の固有周波数ｆ_Tもしくは鏡の固有周波数ｆ_Mの何れの範囲内にもない多層複合共振器の縦方向音響共振周波数ｆ_Cだけを励振することによって、複合共振器システム内の変換器及び鏡の音響的に誘起される熱消散は最小になる。一般的には、変換器をその固有周波数の１つで電気的に励振する方が、隣接し合う固有周波数の間を電気的に励振するよりも遙かに容易である。これが、懸濁媒体内に定在波を生成するために、従来の技術において常にその固有周波数の１つの極めて近くを励振していた理由である。そのため、従来技術では変換器にかなりの熱消散がもたらされていた。本発明の１つの第１の特色によれば、変換器層もしくは鏡層の固有周波数の何れかを励振することを回避すると、層の厚み及び変換器を励振する電気信号の周波数ｆ_eを選択するのに有用である。もし多層共振器内の共振条件が維持されるならば、この励振周波数において変換器の電気的励振の容易さが低下することは重要ではなくなる。複合共振器の共振周波数ｆ_Cは、全ての層を含む複合共振システムの合計長を横切る音響定在波の合計位相シフトφ_Cを数πの整数倍にしなければならないという縦方向共振の条件によってもたらされる。変換器の固有周波数の何れもが励振されないようにするために、変換器の厚みｘ_Tは、生成される音響波の音響粒子速度振幅の空間的位相シフトφ_Tを数π/2の奇数倍に近いか、もしくは等しくするような値である。換言すれば、変換器を駆動する電力発生器の励振周波数ｆ_eは、変換器の２つの隣接する固有周波数ｆ_T,m 、ｆ_T,m+1の平均に近い複合共振器の高オーバートーン共振周波数ｆ_Cに向けて同調させるのである。ｆ_C ≒（ｆ_T,m ＋ｆ_T,m+1）/２（VI）変換器は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミック、ニオブ酸リチウム単結晶、もしくはＰＶＤＦ層のような能動層と呼ぶ圧電層と、この能動層の担体として働く受動層と呼ぶ固体非圧電層とからなることができる。担体材料は圧電的に能動な層Ｚ_Aの音響インピーダンスの範囲内の固有音響インピーダンスＺ_Bを有している。鏡は、懸濁媒体の固有音響インピーダンスＺ_Sに比して高い固有音響インピーダンスＺ_Mを有する材料からなる。変換器と同様に、鏡の厚みｘ_Mは、音響粒子速度振幅の空間的位相シフトφ_Mを数π/2の奇数倍に近いか、もしくは等しくするような値である。換言すれば、励振周波数ｆ_eは、鏡の２つの隣接する固有周波数ｆ_M,m、ｆ_M,m+1の平均に近い複合共振器の高オーバートーン共振周波数ｆ_Cに向けて同調させるのである。ｆ_C ≒（ｆ_M,m ＋ｆ_M,m+1）/２（VII）懸濁液は多くの異なる現象によって意図的にではなく加熱され得る。懸濁液が加熱されると、音響共振定在波に依存するシステムに問題をもたらすことが分かっている。一般に、懸濁媒体内の音響速度ｖ_Sは懸濁媒体の温度Ｔに依存する。従って変換器と鏡との間の音響波の位相シフトφ_Sも温度と共に変化する。 φ_S （Ｔ）＝２π・ｘ_S ・ｆ_e / ｖ_S （Ｔ）（VIII）ここに、ｘ_Sは懸濁層の厚みであり、ｆ_eは励振周波数である。要約すれば、液の温度変化は音響波に位相シフト変化をもたらす。流れが存在するシステムの場合には、その流れが音響波の方向ｘに垂直で、方向ｚに平行であるものと定義される。ｘ方向に平均された、方向ｚ内の温度分布Ｔ_S（z）は、懸濁層内の音響波の空間的位相シフトに非均質分布ψ_S（z）をもたらす。この関係は、第１近似では、 Δφ_S ＝φ_S （Ｔ）・α（Ｔ）・ΔＴ（IX）によって最良に表され、式（VIII）から得られる。係数α＝−（１／ｖ_S）・（ ∂ｖ_S/∂Ｔ）は音響速度ｖ_Sの温度依存性を記述しており、実験で決定することができる。共振器内の温度範囲ΔＴは、流入温度マイナス流出温度から計算することができる。結果的な位相シフトΔφ_Sの範囲が懸濁層の高い質係数Ｑ_Sを妨げる（質係数Ｑ_Sは、位相シフトφ_Sが横方向ｚで一定である場合に限って高くなる）。Ｑ_Sは、Ｑ_S ＝２π・Ｅ_S / Ｗ_S （X）によって定義され、それにより、懸濁媒体内の共振場の累積された音響エネルギＥ_Sが、分散した粒子に作用する音響力に影響を及ぼし、それらを集める。Ｗ_S は、時間１/ｆ_C内に懸濁媒体によって減衰される音響エネルギの部分を表している。この減衰によって懸濁媒体内に熱消散がもたらされるのである。その結果、定在波の方向ｘに垂直な、方向ｚの流れの温度勾配が質係数Ｑ_Sを低下させ、従って流体内の共振場の累積音響エネルギＥ_Sを低下させる。累積音響エネルギＥ_Sが低下することは、音響的に誘起される粒子の集合及び分離を達成するのに必要な処理時間が長くなることを意味している。もし処理時間を長くするために流れ速度を低下させることを決定すれば、これは流れ方向に沿って一層大きい温度勾配が生じさせることになる。流量が余りにも低過ぎると、最終的に、質係数Ｑ_Sが消滅し、共振場は完全に衰弱する。共振室の共振周波数が変換器及び鏡の調波周波数（固有周波数）とは異なるように変換器及び共振室が設計されている実施例に関しては式II、III、IV、V、VI 、VIIに基づいて説明した。本発明の設計は、変換器自体が加熱されることによって生ずる懸濁液の加熱を最小する。これらの特色を以下に詳述する。好ましい実施例の一つによれば、多層複合共振器システムは、平らな変換器、分散媒を収容する容器、及び平らな音響鏡からなる。全て音響的に結合されている層は縦方向に配列され、それらの表面は互いに平行である。変換器は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミック、もしくはニオブ酸リチウム単結晶、もしくはＰＶＤＦ層のような圧電的に能動な層と、この能動層の担体として働く固体受動層とからなることができる。本発明は10^-3乃至１ｍｍの範囲のサイズの分散した粒子を分離するのに適している。粒子の音響及び幾何学的特性による好ましい共振周波数は0.1乃至10ＭＨｚの範囲である。本発明の結果として、損失特性数Ｒ＝Ｗ_e / Ｅ_S ＝Ｐ_e ・τ_Cj/ Ｅ_Sが最小になる。損失数Ｒは、複合共振器システムの（時間τ_Cj＝１/ｆ_Cj当たりの）能動電気エネルギ消費Ｗ_eと、流体内の共振場の無効累積音響エネルギＥ_Sとの比として定義され、ｆ_Cjは複合共振器の励振される準調波共振周波数である。Ｐ_eは能動（二乗平均平方根）電力入力、Ｐ_e ＝ 1/2Ｕ_e Ｉ_e cos Φ （XI）を表している。ここに、Ｕ_e、Ｉ_eはそれぞれ駆動電圧及び電流の振幅であり、Φ は両者の間の位相である。累積音響エネルギＥ_Sは粒子に作用する音響力に直接関連しており、それによりエネルギ消費Ｗ_eは熱消散を生じさせる音響場の減衰を補償する。またＷ_eの小部分は変換器の誘電体損失をも表しているが、本発明には関係がないので説明は省略する。合計共振器をその音響準調波複合共振周波数ｆ_Cjで励振することによって、しかし同時に駆動周波数ｆ_eを、変換器の準調波固有周波数ｆ_Tiの何れとも、及び鏡の準調波固有周波数ｆ_Mkの何れとも不整合にすることによって、変換器及び鏡の音響的に誘起される熱消散を最小にすることができる。その結果、特性損失数Ｒは大きく減少する。不整合の場合には複合共振器はかなり粗末な電気的挙動を示すので、従来は駆動周波数と変換器の固有周波数のこの不整合は少なくとも明らかにされていない。例えば、電気アドミッタンス曲線の軌跡において、円で表される複合共振を認識することは殆どできない。共振円は極めて小さく表され、実軸からずれている。これらの特性の故に、一般的な場合には、変換器固有周波数から離れて共振励振を維持するための電気駆動エレクトロニクスを設計することは極めて困難である。この理由から、従来技術のシステムの複合共振器は、常に変換器の基本もしくは第３準調波固有周波数の近くで励振されていた。複合共振周波数ｆ_Cjは、音響粒子速度振幅の最大値を終端面に一致させなければならないというある定在波のための複合共振器の終端合計反射表面における境界条件からもたらされる。従って多層複合共振システムの全ての層を含む縦方向の合計長ｘ_Cを横切る合計位相シフトφ_Cは数πの整数倍でなければならない。変換器の厚みｘ_Tと多層共振器内のその相対位置とを適切に選択するか、もしくは駆動周波数を変換器の励振可能などの固有周波数からも十分にずらした複合共振周波数に等しく直接選択するかの何れかによって、所与の駆動周波数に対する電気駆動周波数ｆ_eと変換器層の固有周波数ｆ_Tiとの間の不整合を得るとができる。本発明の一実施例によれば、もしずれをある最小のずれよりも高く選択すればこのずれは十分である。この最小のずれは10％を変換器の関連固有周波数ｆ_Tiの準調波数ｉによって除した値に等しい。０＜ｆ_e ＜〔0.9 ｆ_Ti〕；〔1.1 ｆ_Ti〕＜ｆ_e ＜〔(1−0.1/2)ｆ_T2〕；〔(1＋0.1/2)ｆ_T2〕＜ｆ_e ＜〔(1−0.1/3)ｆ_T3〕；〔(1＋0.1/3)ｆ_T3〕＜ｆ_e ＜〔(1−0.1/4)ｆ_T4〕；〔(1＋0.1/4)ｆ_T4〕＜ｆ_e ＜・・・（XII）即ちもし固有周波数の数ｉが１であればずれは少なくとも10％／１即ち10％であり、もし数ｉが２であればずれは少なくとも10％／２即ち５％であり、同様にもし数ｉが３であればずれは少なくとも10％／３即ち3.33％である、等々である。この不整合を導入することによって、音響粒子速度振幅の最大値が変換器の両方の最も外側の面と一致することが避けられる。もし、変換器と分散媒との間の界面において音響粒子速度振幅Ｖが消滅するように、駆動周波数ｆ_eに対する厚みｘ_T及び変換器層の相対位置を選択すれば、特性損失数Ｒは最適になる。この好ましい場合に駆動周波数ｆ_eと変換器の全ての励振可能な固有周波数ｆ_Tiとの間の不整合が最大になり、駆動周波数ｆ_eは式（XII）に限定されている許容された間隔の１つのほぼ中央になる。この規則は鏡層についても有効である。鏡層の固有周波数ｆ_Miを励振しないようにするためには、鏡層の厚みｘ_Mを適切に選択しなければならない。しかしながら、鏡層の相対位置は多層共振器の終端反射層として固定されている。一般には鏡も幾つかの層からなることができる。変換器層は複合共振器の終端層を形成することができる。更に、変換器層は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛、Pb(Ti,Zr)O₃）セラミック、ニオブ酸リチウム（LiNbO₃）単結晶、もしくはＰＶＤＦ（フッ化ポリビニリデン）ポリマ層のような圧電的に能動な層と、この能動層の担体として働き、音響的に誘起される熱消散を低くするように限定された厚みを有する固体受動層とからなることができる。音響減衰が低く、圧電的に能動な層の固有音響インピーダンスＺ_Aの範囲内の、もしくはそれよりも高い固有音響インピーダンスＺ_Bを有する担体材料を使用することによって最良の結果を得ることができる。能動層の厚みｘ_Aは、数πの奇数倍に近いか、もしくは等しい位相シフトφ_Aを生じさせる値であることが好ましい。受動層の厚みｘ_Bは、数πの半分の奇数倍に近いか、もしくは等しい位相シフトφ_Bを生じさせる値であることが好ましい。これらの基準を使用すると、変換器／液体の界面における音響粒子速度振幅は０に近づき、変換器の固有周波数ｆ_Tiを励振するための境界条件は最適に回避される。その結果、変換器のエネルギ消散は最小になる。その上、この好ましい配列の場合、駆動周波数が変換器の固有周波数の１つと整合している場合に比して、励振の容易さが低下することはない。変換器層は２つの分散層の間に位置決めすることもできる。この場合、能動層の厚みｘ_Aは数πの奇数倍ｍに近いか、もしくは等しい位相シフトφ_Aを生じさせる値であることが好ましい。変換器の各々の側の受動層の厚みｘ_B、ｘ’_B（もしあれば）はそれぞれ、数πの半分の奇数倍ｎ、ｎ’に近いか、もしくは等しい位相シフトφ_B、φ’_Bを生じさせる値であることが好ましい。更に、変換器の各側の分散層の厚みｘ_S、ｘ’_S、及び鏡層の厚みｘ_M、ｘ’_Mは、変換器／液体の両界面における音響粒子速度振幅が０に近づき、変換器の固有周波数ｆ_Tiを励振するための境界条件が最大に回避されるように選択しなければならない。その結果、変換器のエネルギ消散が最小になる。受動層の厚みｘ_B、ｘ’_Bを等しくし、これらの層を同一の材料で作ることが好ましい。奇数ｑの受動的な副層を組合せ、能動層と分散媒との間に配列するとエネルギ消散を更に減少させるのに有用である。これらの受動的な各副層の厚みｘ_B,k（ｋ＝１．．．ｑ）は単一の受動層の厚みｘ_Bについて上述したように位相シフト φ_B,kを生じさせるようにし、高い（能動層の範囲内で）音響インピーダンスと低い（分散媒の範囲内で）音響インピーダンスとを交互させるのであるが、高い音響インピーダンスで始まり、そして終わるようにする。代替として、温度を制御するために任意選択的に循環される音響減衰が低い液体によって低インピーダンス副層を形成させることもできる。複合システムの共振モードの周波数ｆ_Cjは液体の温度及び粒子濃度と共に変化するから、本発明の目的による一定の状態を維持するためには共振周波数ドリフトに対して励振周波数ｆ_eを補償することが重要である。これは励振周波数ｆ_eの精密同調を自動周波数制御（ＡＦＣ）によって制御することによって達成することができる。ＡＦＣは、複合共振器の能動電力消費Ｐ_eを共振の基準として相対最大値に維持する。励振周波数ｆ_eを好ましい共振周波数ｆ_Cjに向けて制御する別の方法は、１つの付加的な能動層（例えば、ＰＺＴセラミック、ニオブ酸リチウム単結晶、もしくはＰＶＤＦ層）を鏡としてもしくは複合鏡の部分として設け、この能動層の電極において音響的に誘起される電気信号の振幅を選択された複合共振周波数ｆ_Cj を維持するための制御基準として利用することである。複合変換器の層の厚みと同様に、複合鏡の圧電的に能動な層及び受動層の厚みは、鏡／液体の界面における音響粒子速度振幅を０に近づけ、変換器の固有周波数ｆ_Tiを励振するための境界条件が最適に回避されるように選択すると有利である。その結果、流体内の所与の音響粒子速度振幅に対して鏡のエネルギ消散が最小になることが分かった。上述した変換器の副層と同様に、副層を複合鏡層内に導入することができる。複合鏡層内に奇数ｑの受動的な副層を用い、変換器について説明したように各副層の厚みｘ_B,k（ｋ＝１．．．ｑ）は位相シフトφ_B,kを生じさせるようにし、能動層と鏡（もしあれば）との間に配列して高い（能動層の範囲内で）音響インピーダンスと低い（分散媒の範囲内で）音響インピーダンスとを交互させ、高い音響インピーダンスで始まり、そして終わるようにすることによって、エネルギ消散を更に低くすることができる。本発明のこの応用は請求の範囲に限定されており、上述した変換器設計の好ましい実施例に限定されるものではない。1993年５月11日にオーストリアに出願された特許出願第A 926/93には本発明の主題が記述されている。1993年７月２日に Felix Trampler、James M．Piert、Stefan A．Sonderhoff及びDouglass G．Kilb urnが本願と同時に関連出願（米国特許出願第号）を出願している。これら２つの出願は１人の共通発明者Felix Tramplerを有し、関連内容をカバーしている。より完全な理解のために、以下に上記関連出願（米国特許出願第号）の内容を要約する。代替実施例は、本発明に従って流れ速度の下限を設定することによって質係数Ｑ_Sの低下を回避している。下限流れ速度は、πの1/4よりも小さい合計範囲Δφ_S を有する懸濁層に、位相シフト分布φ_S（z）をもたらす値であるように選択される。一般に、もし従来技術だけを使用すれば、この流れ基準では、沈澱を起こす十分な粒子を集めるには音響共振場の内側に懸濁媒体を保持する時間が短か過ぎる。本発明の一実施例によれば、流れ方向は重力に抗して配向される。音響的に誘起された集合が発生すると直ちに、重力が支配的な力になってストークスの引き力（これが流体内に分散した粒子を流れ方向に移動させる）を補償し、粒子を液体によって前進させなくする。音響的に誘起されたベルヌーイ力は定在波の方向に対して横方向に作用するために、液体が複合共振器を通過するにつれて粒子は共振場の腹面内に捕捉される。これにより、流体の保持時間に比して、共振場の内側に懸濁粒子が実効的に保持される時間はかなり長くなる。更に懸濁媒体の粒子濃度は、音響共振場増強集合体内で高くなる。集合体が流体引き力及び音響的に誘起されるベルヌーイ力を打破する程十分に大きくなると、それらは流れに逆らって重力によって液体から沈澱する。共振器の流入管も好ましくは沈澱管であり、この沈澱管内の流れ速度を低く保つために、懸濁層の好ましくは矩形（ｘ，ｙ）断面によってその内側寸法を制限する。流入／沈澱管の直径を最大にすると、管内の流れ速度は最小になる。本発明の一実施例によれば、沈澱管内の乱流は少なくとも２組のバッフルによって最小にされる。このような組の（ｘ，ｙ）断面（流れ方向ｚに対して垂直）は格子形である。1.5乃至５ｃｍ^-1の範囲の比較的小さい格子間隔が、沈澱した集合体の解体を回避する。管の内部に配置された複数組のバッフルは、１組の多重長よりも効果的に乱流を阻止する。もし必要ならば、１組のバッフルを単一のパスシェル及び管熱交換器に置換し、共振器に入る前の流体を予備冷却する。更に、本発明は流れ方向に沿う温度勾配によって生じる共振の質の低下を打破する別の代替方法を提供する。懸濁層は、定在波の方向ｘに垂直な音響的に透明な層（フィルム層という）によって少なくとも２つの区分に分割される。本質的に逆の流れの向きｚ、−ｚと複数の流れ速度とをもって区分Ｓ_iに接して流れる液体の流れは、関連区分Ｓ_i内に温度分布Ｔ_i（z）を発生させる。これらの温度分布Ｔ_i（z）は、方向ｚ内に、全ての懸濁区分Ｓ_iを横切る方向ｘにおいて平均された温度分布Ｔ(z)をもたらす。この温度分布Ｔ(z)が、懸濁媒体内の音響波の空間的位相シフトの非均質分布φ_S（z）をπの1/4より小さい合計範囲Δφ_S以内にさせる。従って、音響的に誘起される分散によって生じる流れ方向内の温度勾配の効果は、逆流によって補償される。更に、本発明の別の代替実施例によれば、変換器の圧電的に能動な層は、少なくとも２つの隣接する圧電板によって形成することができ、従って少なくとも２つの独立したセグメントに分割することができる。各変換器は、受動層に接着され、個々の電力発生器によって励振される。上記非均質温度分布Ｔ(z)は、２つの分離した変換器によって作られた共振器内の各定在波に個々の共振周波数を生じさせる。２もしくはそれ以上の変換器を使用することの利点は、各変換器に関連する共振器の各関連セグメント内だけが流れ速度基準を満たせば、共振器内の懸濁媒体の流れ経路全体が流れ速度基準を満たす必要がないことである。更に共振器の関連セグメント内の集合体の制御された沈澱を可能にするために、圧電変換器の個々の励振時間は、それらの１つが励振されない期間によって中断させることができる。１つのセグメントの音響共振場が遮断されている時、隣接するセグメントの残りの共振場をオンに維持して再混合を阻止する。本発明の変形は、液体から濃度の低い粒子を分離するために、多分上述した一次元共振器システムへの付加的な段階として働く、いわゆる二次元共振器システムである。二次元共振場の２つの方向は、互いに垂直であることが好ましい。垂直音響放射力によって、懸濁した粒子は、２つの各一次元共振場の腹面の交差線に向かって移動する。これらの交差線においては、単一の腹面内よりも高い粒子濃度を得ることができる。音響的に誘起される集合を達成するためには、最小の粒子濃度が要求される。従って、二次元場の腹線における高い粒子濃度が流出する液体内の上清粒子濃度を低くする。複合システムの共振モードの周波数ｆ_Cは流体の温度及びその粒子濃度に伴って変化するから、共振周波数ドリフトに対して励振周波数ｆ_eを補償する必要がある。これは、複合共振器の能動電力消費Ｐ_e1の相対最大値を共振の基準として使用する自動周波数制御（ＡＦＣ）によって、励振周波数ｆ_eの微調整を制御することによって達成することができる。励振周波数ｆ_eを好ましい共振周波数ｆ_c に向けて制御する別の方法は、鏡として使用される、もしくは複合鏡内に含まれる圧電能動層（例えば、ＰＺＴセラミック、ニオブ酸リチウム単結晶、もしくはＰＶＤＦ層）内に音響的に誘起される電気信号を最大にすることである。本発明の一つの応用は、罐流させ攪拌したタンク生物反応器室内で成長させた培養哺乳類細胞を養分媒体から分離し、再利用するのに使用することである。生物反応器室内に細胞を保持し、絶えず養分媒体を補給することによって、高い細胞密度まで成長させることができる。流入管でもあることができる沈澱管を生物反応器室に直接接続する。共振器室の出口側の後にポンプを選択的に配置し、再利用される細胞が機械的に損傷されるのを防いでいる。複合共振器の好ましい共振周波数ｆ_Cは２乃至４ＭＨｚである。もし必要ならば、懸濁媒体の流れ速度を調整し、生存可能な細胞に、生存不能な細胞よりも十分に高い分離効率が得られるようにすることができる。この効果は、生存可能な細胞と生存不能な細胞の直径及び圧縮性が異なることに基づくものであり、生存不能な細胞には生存可能な細胞よりも弱い音響力が作用するからである。生存可能な細胞の選択性濃度により培養生存率が増し、これは、生物反応器室内に生存不能な細胞が累積する傾向がある既存の細胞再利用技術に優る主な長所である。この例の目的から、ここでは分離効率を、音響的に誘起される集合及び沈澱によって液体から分離される細胞の数と、同一の時間内に共振器へ入る細胞の数との比と定義する。生存率は、細胞の合計数に対する生存可能な細胞の比と定義する。細胞懸濁媒体に対面する材料は、培養細胞と両立可能である。これらの材料には、ステンレス鋼、テフロン、ホウ珪酸ガラス、もしくは種々のセラミック（例えば、アルミナ）が含まれる。ガラス及びセラミックは変換器及び鏡の圧電的に受動の層を形成するのにも使用することができる。図面の簡単な説明図１は、多層一次元構造としての複合共振器の断面図と、もし層寸法を本発明に従って選択すれば得られる音響粒子速度振幅の推移を示す図である。図２は、変換器が２つの懸濁層内にある図１のバージョンを示す図である。図３は、単純な共振器例の概要図である。図４は、導波層を有する複合共振器を示す図である。図５は、全反射鏡を共振器終端として使用する複合共振器の断面図である。図６は、図５による共振器の好ましい対称バージョンを示す図である。図７は、本発明の一実施例による変換器層の例を示す図である。図８は、本発明の一実施例による装置の一形状を示す断面図である。図９は、複合鏡のオプションを示す断面図である。図１０は、二次元超音波処理の断面図である。図１１は、共振室内の逆流を示す図である。図１２は、逆流共振室の代替実施例の断面図である。図１３は、図８の１３−１３矢視断面図である。発明の詳細な説明実施例の基本的な要素を識別し易くするために層には英文字を付してあり、また他の全ての部品には番号を付してある。図１の下側の区分は、典型的な圧電複合一次元共振器の基本的部分及び寸法を示している。左側の変換器層Ｔは、能動的な圧電層Ａと、受動的な電気絶縁担体層Ｂとからなることが好ましい。対応する層寸法はそれぞれｘ_T、ｘ_A及びｘ_Bである。変換器は分散媒Ｓに音響的に結合されており、分散層の寸法はｘ_Sである。最後に、共振器は、厚みｘ_Mを有する鏡層Ｍによって完成される。複合共振器は、如何なる固体ボディの音響インピーダンスの大きさよりある桁数低い固有音響インピーダンスを有する空気によって取り囲まれているから、最終的な終端反射面はそれぞれ変換器層及び鏡層の外面１１、１２である。従って、複合構造の合計長ｘ_Cはこれらの終端面の間に限定される。図１の上側区分には音響粒子速度振幅Ｖの空間的推移を縦方向ｘに沿ってプロットした図である。もしこれらの層の寸法、固有音響インピーダンス、並びに電気的駆動周波数ｆ_eを本発明に従って選択すれば、図示のように分散層内の最大振幅は他の層内の最大振幅よりも遙かに大きくなる。図１はこの振幅関係だけを示している。通常は、分散層内の定在共振波の最大振幅と、変換器内の最大振幅との定量的な比は、図１に示すよりは大きい。図２の下側区分は、右側に寸法ｘ_Sを有する第１の液体層Ｓだけではなく、左側に寸法ｘ’_Sを有する第２の液体層Ｓ’にも結合されている変換器Ｔを有する典型的な一次元圧電複合共振器の基本的部分の概要及び寸法を示してある。第２の液体層Ｓ’は分散媒からなっていても、もしくは懸濁粒子を有していない分散媒（例えば、水）からなっていてもよい。変換器層Ｔは、能動的な圧電層Ａ、及びこの能動層Ａの両側の２つの受動的な電気絶縁担体層Ｂ及びＢ’からなることが好ましい。対応する層寸法はそれぞれｘ_T、ｘ_A、ｘ_B及びｘ’_Bである。変換器はそれぞれ分散層Ｓ、Ｓ’に音響的に結合されている。最後に、共振器は、右側を厚みｘ_Mを有する第１の鏡層Ｍによって、及び左側を厚みｘ’_Mを有する第２の鏡層Ｍ’によって閉じられて完成する。複合共振器は、如何なる固体ボディの音響インピーダンスの大きさよりある桁数低い固有音響インピーダンスを有する空気によって取り囲まれているから、最終的な終端反射面はそれぞれ鏡層Ｍ、Ｍ’ の外面１１、１２である。従って、複合構造の合計長ｘ_Cはこれらの終端面１１、１２の間に限定される。図２の上側区分には音響粒子速度振幅Ｖの空間的推移を縦方向Ｘに沿ってプロットした図である。もしこれらの層の寸法、固有音響インピーダンス、並びに励振周波数ｆ_eを本発明に従って選択すれば、図示のように分散層内の最大粒子速度振幅は他の層内の最大振幅よりも遙かに大きくなる。図３に、単純な共振器の概要を示す。この例では、圧電層は、電極が設けられた同じ厚みｘ_Aの３つの圧電板もしくはディスクＡ１、Ａ２、Ａ３がｙ方向に並べて配列されて示されている。板Ａ１、Ａ２、Ａ３は音響的には並列に（同相に励振されて）動作するが、電気的には直列に接続されている。板Ａ１、Ａ２、Ａ３は厚みｘ_Bを有する担体板Ｂ（例えば、ガラスもしくはAl₂O₃セラミック）に接着され、厚みｘ_Aを有する１つの連続層Ａとする良好な近似で扱うことができる。分散媒Ｓの流れの方向６、７はｙ方向である。分散した粒子は音響放射力によって音響粒子速度の腹面に向かって縦方向に駆動され、分散した粒子は腹面に集まる。これらの集合体はｙ方向に下向きに働く重力によって引かれる（音響的に刺激された凝集によって強制された沈澱）。担体板Ｂ及び鏡板Ｍは、同時に分散容器の壁として働く。矩形断面の入口管１及び出口管２はそれぞれ、ビトン（Vi ton: 登録商標）ゴム片４及び４’によって担体板Ｂ及び鏡板Ｍとの間に隙間がないようにされている。距離（ｘ_B＋ｘ_S＋ｘ_M）は距離棒５及び５’、及びフランジ３、３’によって精密に決定されている。即ち、棒５及び５’、及びフランジ３及び３’は、図３、４及び８に示す構造のためのｘ_Cと整合するように、もしくはｘ_Cの正確な所望寸法を与えるように選択されているのである。以下に説明する若干のシステムにおいては流れに関しては説明せず、また若干の応用においては流れは必要ないかも知れない。従って、方向ｚが全ての図における流れ方向を表すものではない。懸濁液の流れが説明されるシステムにおいては、この流れは一般に方向ｘに垂直で、方向ｚに平行であると定義する。方向ｙは共振室の深さであり、方向ｘ及びｚの両方に垂直である。図３の場合、流れ方向ｚは、方向ｙに作用する重力に対して水平である。例えば、本発明による２つの共振器の好ましい寸法は以下のようである。 10μｍ程度の直径を有する生物細胞の場合、適切な駆動周波数ｆ_eは式（Ｉ）によれば典型的には２ＭＨｚ付近である。標準圧電セラミック板として、次のように選択されている。〈圧電的に能動な層Ａ〉材料：ＰＺＴチタン酸ジルコン酸鉛、Pb(Ti,Zr)O₃ 圧電セラミック Hoechst Sonox P4 質量密度： ρ_A ＝ 7800 ｋｇ/ ｍ³ 短縮電極の場合の実効音響速度：ｖ_A ＝ 3950 ｍ/ ｓ固有音響インピーダンス：Ｚ_A ＝ 30.8 ×10⁶ ｋｇ/ ｍ² ｓ厚み：ｘ_A ＝ 1ｍｍ層Ａの基本直列共振周波数は、式（III）からｆ_A ＝ 1.97ＭＨｚと決定することができる。駆動用エレクトロニクスＧは源インピーダンスが低い通常の型であるとしているので、この直列共振周波数は適切である。25ｍｍ×25ｍｍの面寸法を有する６つの（２×３）方形板を受動層Ｂの上に接着してあり（図７も参照されたい）、この受動層の厚み値ｘ_Bを標準ガラス厚に等しく選択した。〈圧電的に受動な層〉材料： Tempaxガラス質量密度： ρ_B ＝ 2200 ｋｇ/ ｍ³ 音響速度：ｖ_B ＝ 5430 ｍ/ ｓ固有音響インピーダンス：Ｚ_B ＝ 12 ×10⁶ ｋｇ/ ｍ² ｓ厚み：ｘ_B ＝ 2.8 ｍｍ周囲空気によって囲まれた２層変換器の共振周波数は測定もしくは計算することができる（1984年８月１日、J．Appl．Phys.，Vol．56，No．3，E．Benesを参照されたい）。最初の４つの準調波周波数は、ｆ_T1＝ 573500 Ｈｚｆ_T2＝ 1371400 Ｈｚｆ_T3＝ 1958120 Ｈｚｆ_T4＝ 2546390 Ｈｚである。式（XII）によれば、駆動周波数ｆ_eの有利な間隔は、０ Hz ＜ｆ_e ＜ 516150 Hz：630850 Hz＜ｆ_e ＜ 1302830 Hz： 1439970 Hz＜ｆ_e ＜ 1892849 Hz：2023391 Hz＜ｆ_e ＜ 2482730 Hz... である。分散層寸法ｘ_Sは、例えば要求される流量に依存し、25ｍｍに選択されている。〈分散層Ｓ〉材料： Hydros1 質量密度： ρ_S ＝ 1000 ｋｇ/ ｍ³ 音響速度：ｖ_S ＝ 1500 ｍ/ ｓ固有音響インピーダンス：Ｚ_S ＝ 1.5×10⁶ ｋｇ/ ｍ² ｓ厚み：ｘ_S ＝ 25 ｍｍ〈鏡層Ｍ〉材料： Tempaxガラス質量密度： ρ_M ＝ 2200 ｋｇ/ ｍ³ 音響速度：ｖ_M ＝ 5430 ｍ/ ｓ固有音響インピーダンス：Ｚ_M ＝ 12 ×10⁶ ｋｇ/ ｍ² ｓ厚み：ｘ_M ＝ 1.3 ｍｍこれらのパラメタにより、距離Δｆ_Cjを有する複合共振器の共振周波数ｆ_Cjは約26ｋＨｚになる。従って、多くの複合共振周波数がこの有利な間隔内に入ることになる。例えば４つの間隔内の第１の共振周波数ｆ_Cjは2035555 Ｈｚであり、第２の共振周波数は2061024 Ｈｚであり、第３の共振周波数は2087140 Ｈｚである。従って励振周波数ｆ_eは、例えば2087140 Ｈｚに等しく選択することができる。鏡の基本固有周波数は2088460 Ｈｚであるから、選択された駆動周波数は鏡共振に十分に不整合にはならない。その結果、鏡厚を例えば1.8ｍｍに変更しなければならない。本発明の目的に対する最適の設計は、受動層Ｂを除き、同じ層を使用する。受動層Ｂは厚みｘ_Bに作られ、変換器／分散媒の界面に粒子速度振幅Ｖの節を発生する。もし駆動周波数ｆ_eを、複合共振器の最適励振を保証する能動層Ａの固有周波数ｆ_Aに概ね選択すれば、能動層Ａ内の位相シフトφ_Aはπに等しくなる。能動層Ａと周囲空気との間の界面には腹境界条件が存在し、また能動層Ａ内の位相シフトφ_Aはπに等しいので、変換器Ｔと分散媒Ｓとの間の界面に粒子速度Ｖのノードを得るためには、受動層Ｂ内の位相シフトφ_Bはπ/2に等しく、もしくは π/2の奇数倍に等しく選択しなければならない。この位相シフトπ/2を式(II)に導入すると、 φ_B ＝２π・ｆ_e ・ｘ_B / ｖ_B ＝π/2 が得られ、ｘ_Bを計算することができる。より粗野な応用に対してはｘ_B＝1.2ｍｍでは機械的に弱過ぎるので、３倍の値を使用することもできる。〈圧電的に受動な層〉材料：アルミナ（Al₂O₃）セラミック質量密度： ρ_B ＝ 3780 ｋｇ/ ｍ³ 音響速度：ｖ_B ＝ 9650 ｍ/ ｓ固有音響インピーダンス：Ｚ_B ＝ 36.5 ×10⁶ ｋｇ/ ｍ² ｓ厚み：ｘ_B ＝ 1.2 ｍｍこの変換器の最初の２つの固有周波数は、ｆ_T1＝1335150 Ｈｚ、ｆ_T2＝28660 80 Ｈｚである。式（III）による計画駆動周波数ｆ_e＝1.97ＭＨｚは、今度は有利な間隔、即ち1468665 Hz＜ｆ_e＜2722776 Hzのほぼ中央にある。この例では、鏡の最適の厚みは式（II）、即ち φ_M ＝２π・ｘ・ｆ_e / ｖ_M ＝π/ ２からｘ＝0.692ｍｍと決定される。この値は妥当な機械的粗野性に対してはかなり小さ過ぎるから、この値の３倍であるｘ＝2.07ｍｍが選択されている。複合変換器と同様に鏡Ｍも能動層Ａ及び受動層Ｂからなることができ、これらの層の厚みｘ_A及びｘ_Bを選択する基準は同一である。鏡の能動層は電気信号を発生し、この信号は励振周波数ｆ_eを好ましい複合共振周波数ｆ_Cjに向けて自動的に制御するのに使用することができる。図４に、図３による複合共振器の延長を示す。この例では低損失液体（例えば蒸留水）が充填された音響的に透明な壁Ｆによって分散媒Ｓから分離されている付加的な導波層Ｗが挿入されている。励振周波数ｆ_eに対する壁Ｆの寸法ｘ_Fはこの壁内の波長の1/4に比して小さいか、もしくは半波長または半波長の倍数に等しいかの何れかであり、また壁材料の固有音響インピーダンスは分散層の固有音響インピーダンスとほぼ同一である。第１の場合には、例えば厚み10μｍのサラン（登録商標）またはマイラ（登録商標）の箔を壁Ｆとして使用している。第２の場合には、壁Ｆは事実上どのような材料で作ることもできるが、材料の固有音響インピーダンスが分散媒Ｓの固有音響インピーダンスに接近していれば層Ｆの寸法はそれ程臨界的ではない。位相的に言えば、音響的に透明な壁Ｆはπの整数倍の位相シフトφ_Fを発生する。第３の場合の適切な材料は、例えば、ＴＰＸ（メチルペステン）もしくはＡＢＳ（アクリロニトリルブタジエンスチレン）である。付加的な導波層Ｗは高い質係数の共振器部分として役立ち、分離ゾーンＳから変換器Ｔの極めて不均質な近場領域を除去し、従って分散媒Ｓ内の音響により誘起される流れの可能性を大幅に減少させる。この共振器設計バージョンによれば、導波層Ｗとサーモスタットとの間に液体を循環させることによって、システムの増強された冷却及び温度制御も可能になる。この場合側壁８及び８’にはそれぞれ入口及び出口管を設けることができる。この共振器設計バージョンは、最近の特許出願（U.S．Appl．No．474,813及びPCT Appl．No．PCT/AT89/00098）に開示されているいわゆるドリフト共振場（ＤＲＦ）の概念に本発明を応用できることをも立証するものである。このＰＣＴ出願は公開されている。ＤＲＦ分離手順の場合には、複合共振器はある１つの調波共振周波数で駆動されるだけではなく、１つの周波数から別の周波数へ繰り返し切り替えられる。例えば、周波数はある周波数のグループから選択される。例えば、隣接し、極めて接近して離間した共振準調波周波数ｆ_Cjの12の周波数の中から５つの周波数が選択される。分散媒Ｓ内に分散した粒子は、周波数が１つの周波数から次の周波数へ変化した時の腹面の縦方向ｘへの運動の結果として段階状に移動する。これは分散出口管２を２つの部分に分割することを可能にする。即ち一方の部分７は浄化された分散媒のためのものであり、他方の部分７’は分散した粒子が極めて豊かな分散媒のためのものである。音響的に誘起される分散を最小にするために、ＤＲＦ手順の励振周波数は、本発明による好ましい共振周波数ｆ_Cjの近隣の共振周波数に向けて同調させなければならない。図５は、完全に反射する逆反射体Ｒを、複合共振器を終端するための鏡として使用する複合共振器の断面図である。この逆反射体Ｒは、互いに直角の２枚の板によって形成することが好ましい。分散媒Ｓの流れの向きは、重力の向きに抗するように選択することが好ましく、図５ではｚ軸と一致させている。この共振器バージョンは係合した側壁が存在しないので特に有利である。側壁は、一次元で取り扱うには、それらの音響的な影響を無視しなければならないものである。これに対して、図３及び図４による共振器では、十分に限定された一次元挙動は、層の横方向寸法が長手方向の寸法より遙かに大きい場合に限って（そのようなことは望ましくないことが多い）得られることが多い。逆反射体Ｒの音響材料パラメタは、45°に等しい反射体の傾斜角αに対して分散媒Ｓと反射体Ｒの界面において全反射条件が満たされるような値でなければならない。分散媒と逆反射体との界面１２’、１２”が全反射性であれば、反射体Ｒ内の消散は音響的に誘起され得なくなる。もし反射体Ｒの媒体を、ねじれ波（ shear-wave）の音速が分散媒Ｓ内の縦波の音速の1.41倍に等しいか、または高い値を有する等方性に選択すれば、45°に等しい反射体の傾斜角αに対して分散媒Ｓと反射体Ｒとの界面における全反射条件のための限界角を超える。（反射体Ｒが異方性媒体で作られている場合には、２つの考え得るねじれ波の音速の低い方は、分散媒Ｓ内の縦波の音速の1.41倍に等しいか、または高くなければならない。）即ち、例えば媒体内の損失を無視した場合、励振された音波は分散媒と反射体との間の界面１２’、１２”において既に完全に反射されている。この条件は、例えば水性分散媒及び反射体壁材料（モリブデン、ステンレス鋼、及び壁材料としてのアルミニウムでさえも）によって満たされる。距離ｘ_S12及びｘ_S22に沿う実際の音の経路はｙ軸に平行になっているが、分散媒内のどのような音の経路の合計長も等しい。即ち、（ｘ_S11 ＋ｘ_S12 ＋ｘ_S13）＝（ｘ_S21 ＋ｘ_S22 ＋ｘ_S22）＝２ｘ_S である。従って、分散媒Ｓの実効層厚みｘ_Sが横方向ｙ及びｚに対して一定である等価一次元共振器の実質的全反射面１２を限定することができ、全ての層の寸法を再び本発明により選択することができる。図６は、図５に示す共振器の好ましい対称型バージョンである。この設計の主長所は方形断面の管を使用していることであり、管壁は同時に複合共振器の分散媒のための壁として、及び全反射手段として働く。２つの受動層Ｂ及びＢ’の各厚みｘ_B及びｘ’_B、並びに能動層Ａの厚みｘ_Aは本発明により選択される。図７は、複合変換器をより詳細に示す図である。この図は、本発明による圧電層Ａを含む能動鏡にも適用される。図７に示す例では、圧電的に能動な層Ａは６つの圧電板Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４、Ａ５、Ａ６で示されており、これらは同じ厚みｘ_Aを有し、並べて配列され、そして電極が設けられている。板は音響的には並列に動作する（同相に励振される）が、周波数発生器Ｇの出力に変換器の電気インピーダンスを整合させるために電気的には直列に接続されている。上記発生器Ｇは周波数ｆ_eを有する電気励振信号をクランプＥ１、Ｅ２を介して供給する。板は厚みｘ_Bを有する電気的には絶縁性で、圧電的には受動性のガラスもしくはAl₂O₃セラミックのような担体板Ｂ上に接着され、厚みｘ_Aを有する１つの連続層として良好に近似して扱うことができる。圧電板間の電気接続は、発生させる位相シフトφ_Eが数πの1/16よりも小さい銅フィルムＩ１、Ｉ２、Ｉ３、Ｉ４によって、及び厚みｘ_Eの電極層Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３によってなされている。上記電極は受動担体層Ｂの表面上に堆積され、次いで能動層Ａに堆積される。厚みｘ_A 及びｘ_Bは、音響的に誘起される熱消散を低くするために、本発明に従った限定された値を有している。もし受動層の固有音響インピーダンスＺ_Bを圧電的に能動な層の固有音響インピーダンスＺ_Aに近いか、または高くすれば、最良の結果を得ることができる。能動層の厚みｘ_Aはπの奇数倍ｍである位相シフトφ_Aを生じさせる値に近いかまたは等しいことが好ましく、受動層Ｂの厚みｘ_Bはπの半分の奇数倍ｎである位相シフトφ_Bを生じさせる値に近いかまたは等しいことが好ましい。単一の受動層Ｂで説明したように、各々が位相シフトφ_B,k （ｋ＝１．．．ｑ）を生じさせる厚みｘ_B,kを有する奇数ｑの受動副層Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３（もしくはそれ以上）もエネルギ消散を低下させるのに有用である。上記奇数の受動層Ｂ_kの固有音響インピーダンスは高（Ｚ_B,k≧Ｚ_A、ｋ．．．奇数）及び低（Ｚ_B,k＜Ｚ_A、ｋ．．．偶数）が交互しているが、始めと終わりは能動層ＡのＺ_Aの範囲内の高音響インピーダンスとする。受動副層Ｂ_kのこの配列のバージョンでは低インピーダンス副層は流体であることもできる。図８−１３は、Felix Trampler、James M．Piret、Stefan A．Sonderhoff及び Douglas G．Kilburnを発明者として1993年７月２日に同時出願された関連出願（米国特許出願第号）に詳述されている特色の若干を詳細に示すものである。この出願における本発明の付加的な考え得る用途をより完全に理解するために、この出願に開示されている実施例の若干の特色を以下に説明する。図８は、本発明の一実施例による方法を遂行するための設計を示す。この実施例の一つの考え得る応用は、生物反応器２１内の媒体内で成長させた哺乳類細胞から媒体（所望の生成物を含む）を分離することである。複合変換器層Ｔ、鏡層Ｍ及び懸濁層Ｓは、合計長ｘ_Cを有する多層複合共振器を形成している。複合変換共振器Ｔは、電極を有する１または若干の固体の、圧電的に能動の厚みｘ_Aの板Ａ１、Ａ２（もしくはそれ以上）と、厚みｘ_Bを有し誘電性で、固体の、圧電的に受動の層Ｂとからなる。例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）セラミックのような圧電板Ａ１、Ａ２（もしくはそれ以上）は、これらの能動層の固有音響インピーダンスＺ_Aに近い固有音響インピーダンスＺ_Bを有する受動層Ｂに接着されている。上記層の界面において、受動層Ｂは厚みｘ_eの薄い接続用電極層で被膜されており、この電極層が発生させる位相シフトφ_eは数πの1/16よりも小さい（図示してない）。鏡Ｍ及び受動層Ｂは、懸濁媒体Ｓを収容している容器の壁をも形成している。変換器Ｔは、電源３１及び３２からの周波数ｆ_eの電気信号によって励振される。電源３１及び３２の動作及びタイミングはコントローラ３３によって制御される。能動板Ａ１、Ａ２を励振するために２つの独立した電源を使用することは任意選択であり、代替として図７に示すようにＡ１及びＡ２を単一の電源によって駆動する。周波数ｆ_eは複合共振器の縦方向高オーバートーン共振周波数ｆ_Cの半値内にあり、そのため本発明によれば、ｆ_Cは変換共振器の共振周波数ｆ_Tもしくは鏡単独の共振周波数ｆ_Mの何れの範囲内にもない。従って、変換器の厚みｘ_T ＝ｘ_A＋ｘ_Bは、数π/2の奇数倍である位相シフトφ_Tを生じさせる値に近いか、または等しい。また鏡の厚みｘ_Mも、数π/2の奇数倍である位相シフトφ_Mを生じさせる値に近いか、または等しい。鏡の固有音響インピーダンスＺ_Mは、懸濁媒体の固有音響インピーダンスＺ_Sに比して高い。共振器は生物反応器２２のヘッド板２１上に垂直位置ｚに取付けられている。本発明によれば懸濁媒体の流れ方向２５は音の伝播方向ｘを横切る方向であり、重力ｇに抗するような向きであるので、共振器内の流体の保持時間に比して懸濁された粒子の保持時間はかなり長くなる。流量は懸濁媒体内でπの1/4の音響波の熱的に誘起された空間的位相シフトΔφ_Sの増加に相関する値より高く選択される。更に変換器Ｔの外面、容器の側壁、及び鏡Ｍの温度は、管２９’、２９” を通る循環空気もしくは誘電体液体によって制御することができる。流入管２３の直径は、懸濁層Ｓの方形（ｘ，ｙ）断面の寸法ｘ_Sにほぼ等しい。集合体は何等かの突出表面に付着する傾向がある。従って、沈澱管でもある流入管２３には集合体が付着するような突起もしくは棚を有すべきではなく、直径を大きく、好ましくは共振室の直径にほぼ等しく、またはそれより大きくする。流入管２３の直径を大きくすると流入速度が十分に低くなり、集まった粒子を流れ方向２５に抗して沈澱２６させることができるようになる。一実施例では、少なくとも２組のバッフル２８’、２８”(もしくはそれ以上)が流入管２３内の乱流もしくは熱的に誘起される流れを減少させている。沈澱する集合体が解体するのを避けるために、図１３に示すように各組の（ｘ，ｙ）断面は1.5乃至５ｃｍ^- ¹ の間隔を有する格子である。１組の（ｚに沿う）長さは典型的には１乃至５ｃｍの範囲であり、２つの隣接するバッフルの組２８’及び２８”の間隔も同じ範囲であることが好ましい。もし必要ならば、１組のバッフルを単一のパスシェル及び管熱交換器（図示してない）に置換して共振器に入る前の流体を予備冷却する。これもまた多分バッフルを含む（図示してない）円錐形の流出管ポート２４によって層流が援助される。ポンプ２７が出口の後に配置され、再利用される細胞の機械的な損傷を防いでいる。新鮮な媒体が管２１０を通して生物反応器に追加されて収穫した媒体を補償し、連続的な収穫を可能にする。懸濁媒体に対面する材料は、例えば、３１６ステンレス鋼、テフロン、ホウ珪酸ガラス、もしくは種々のセラミックのような細胞培養材に対して生物学的に両立可能な材料である。図９は、図８の方形（ｘ，ｙ）複合共振室２９の断面図であり、複合鏡Ｍのオプションを示している。この複合鏡は、変換器Ｔの能動層Ａ及び受動層Ｂと同様に厚みｘ_A'を有する圧電的に能動な層Ａ’と、厚みｘ_B'を有する圧電的に能動な層Ｂ’とからなる。ｘ_M＝ｘ_A'＋ｘ_B'によって与えられる複合鏡の長さは数π/2 の奇数倍である位相シフトφ_Mを生じさせる値に近いか、もしくは等しい。鏡の能動層は、本発明による励振周波数ｆ_eを好ましい複合共振周波数ｆ_Cに向けて自動的に調整するのに使用される電気信号を発生する。図１０は、一次元多層複合共振器２９のジオメトリが第１の次元及び流れ方向ｚに垂直な第２の次元まで繰り返されている二次元多層複合共振室２９を使用している代替設計の（ｘ，ｙ）断面図である。複合共振器は、ｘ方向には、変換器Ｔ^(x)の圧電的に能動な層Ａ^(x)と受動的な層Ｂ^(x)、懸濁媒体Ｓ及び鏡Ｍ^(x)からなり、ｙ方向には、変換器Ｔ^(y)の圧電的に能動な層Ａ^(y)と受動的な層Ｂ^(y)、懸濁媒体Ｓ及び鏡Ｍ^(y)からなっている。全ての厚み寸法は、上述したように本発明によって選択されている。図１１及び１２は、空間的温度勾配対流れ方向の効果を補償するための図８の変形を示している。フィルム層Ｆと称する音響的に透明な層が、懸濁層を、音の伝播方向ｘに垂直な横切りのｚ、−ｚの向きに下向き流区分Ｓ’と上向き流区分Ｓ”とに分割している。この層Ｆの音響インピーダンスＺ_Fは、懸濁媒体Ｓ’、Ｓ”の音響インピーダンスＺ_Sに近いか、もしくは等しい。層Ｆの厚みｘ_Fは、変換器を駆動する電力発生器の励振周波数ｆ_eのフィルム材料内の波長の1/4の寸法に比して小さくするか、もしくは半波長に近いかまたは等しくすることができる。懸濁媒体は共振器の入口ポート２４’から入って室の区分Ｓ’を通過してから変換器Ｔに達する。出口ポート２４”の流出ポンプ２７”は、入口ポート２４’ の流入ポンプ２７’よりも僅かに少ない流量で動作するので、沈澱管２３内の正味の下向きの流れは遅くなる。部分的に浄化された媒体の殆どは、鏡Ｍに近い共振室の第２の区分Ｓ”へ入ってそれを通過し、一方音響的に集められた粒子は、正味の下向きの流れによって促進されて室の底の沈澱管２３内へ沈澱２６する。音響的に透明な層Ｆの何れの側の媒体の逆流も、複合共振器の全長にわたる温度を均一に平均させる。これは、音響的に誘起される消散によって生ずる空間的温度勾配を補償し、膜の何れの側に熱勾配があろうとも均一な共振場を維持することを可能にする。変換器Ｔまでの高い流量は、付加的な電気的に誘起された変換器からの熱消散、並びに下向き区分Ｓ’内の（上向き区分Ｓ”に比して）より高い濃度の粒子懸濁媒体内に音響的に誘起される大きい熱消散を相殺すべきである。この装置の動作は以下のように変更することができる。流入ポンプ２７ ’を省き、室の底において再利用管２３を閉塞する。これで再利用システムは半連続型で動作させることが可能になり、再利用管を定期的に開いて累積した粒子を一掃して再利用容器へ戻すようにする。図１２は、互いに垂直な２つの層Ｆを使用している代替実施例を示す。図１１の実施例では、懸濁層を２つの区分に分離する単一の層Ｆだけが存在している。この代替実施例では、図１２に示すように分離層が４つの区分に分離している。図１２の変更によれば、図１０に導入されたような二次元場が使用される。この場合、容器を２つの上向き流区分及び２つの下向き流区分に分割する互いに垂直位置にある２つの音響的に透明な層Ｆ^(x)及びＦ^(y)が必要である。一般に、懸濁層は、隣接する懸濁層内にその懸濁層の逆流が得られさえすれば、変換器及び鏡に平行などのような数の懸濁層にも分割することができる。図１３は、図８及び１１に示したバッフル格子２８を示す図である。詳述すれば、バッフル格子は流入管２３を完全に横切って伸びる複数の壁を有している。格子間隔は、流入管２３のサイズに依存して、1.5乃至５格子／ｃｍの範囲であることができる。円形の流入管２３を示しあるが、管は矩形もしくは方形であることもできる。図８−１３に示した実施例による本発明の動作は以下の通りである。好ましくは哺乳類細胞である細胞の培養組織は、攪拌されたタンク生物反応器室２２内で成長させる。室２２は、集合体が室２２自体の内側で適切に分離されるように混合する従来技術を使用した攪拌室である。生存可能な細胞は生物反応器室２２内に保持されることが望ましい。生物工学では、これらの細胞は蛋白質もしくは薬学的に重要な他の分泌物を発生させるのに使用することができる。これらの生成品は生物反応器室２２内の液体媒体内に分泌される。多くの生存可能な細胞を生物反応器室２２内に保ちながら、同時に生存可能な細胞が生成した蛋白質もしくは他の分泌物のような有用な副産物を取り出すことが望ましい。従って、本発明の原理によれば、生物反応器室２２の上に位置決めされた音響共振室３９が生存可能な細胞を濾過する。流入管２３が生物反応器室に挿入され、細胞が培養されていて且つ所望の副産物を含んでいる液体に浸漬されている。音響共振室３９の下流側のポンプ２７は、生存可能な細胞及びこれらの細胞の副産物を含む液体媒体を流入管２３及び音響共振室３９内へ引き込む。一実施例ではバッフル２８’ 及び２８”からなるバッフル２８が流入管２３内に設けられている。流体が音響共振室３９内へ引き込まれると、１もしくはそれ以上の変換器Ｔは生物反応器室３９内へ音響波を放出する。前述したように、所望の周波数の定在波が発生し、音響反応室内の生存可能な細胞を捕捉する。音響波は、生存可能な細胞が出口２４から出て行くのを防ぐフィルタとして働く。生存可能な細胞が定在波の節に集められると、それらは塊になり始める。懸濁媒体内の最大音響粒子速度振幅は、生存可能な細胞を損傷させない値に維持される。複合共振器の好ましい周波数ｆ_Cは２乃至４ＭＨｚの範囲であり、上述した原理に基づいて選択される。生存可能な細胞が集合すると、それらは腹面内に集団（クラスタ）を形成し始める。これらのクラスタが十分なサイズになるとクラスタは重力によって沈澱し、ポンプ２７が発生する流体の流れの方向に抗して降下する。即ち、細胞のクラスタはバッフル２８’及び２８”を通して降下して混合体内へ戻り、攪拌反応器室２２内で解体され、所望の副産物を分泌し続ける。出口２４から出て行く液体内には実質的に生存可能な細胞は無く、しかも生存可能な細胞が生成した所望の蛋白質及び他の副産物を含んでいる。液体は分離容器内に収容され、所望の副産物が公知の技術を使用して取り除かれる。除去された液体に代わる養分及び液体が入口管２１０を通して生物反応器室２２内へ入れられる。以上のように、本発明は副産物を含む液体を連続的に取り除きながら、生存可能な細胞を損傷させない技術を使用して生存可能な細胞を液体から濾過する技術を提供する。引き続き副産物を生成させるために、生存可能な細胞は生物反応器室２２内に保持され、培養される。図８に示して説明したように、本発明の代替実施例によれば、変換器Ｔは２つの分離した能動層Ａ１及びＡ２からなる。これらの関連セグメントを単に変換器Ａ１及びＡ２と呼ぶ。変換器Ａ１は第１の電源３１によって駆動され、変換器Ａ２は第２の電源３２によって駆動される。一実施例ではｆ_e1及びｆ_e2は同一周波数である。代替としてもし望むならば、異なる周波数を使用することもできる。コントローラ３３は、変換器Ａ１及びＡ２へ電力を供給する電源３１及び３２のタイミング及び動作を制御する。一つの動作モードによれば、コントローラ３３は電源３１及び３２を制御してそれらを同時に動作させて１もしくはそれ以上の音響定在波を発生させ、生存可能な細胞を濾過して除去させ、それらを集めて生物反応器室２２へ戻させる。代替動作モードによれば、電源３１及び３２は選択された時間にわたって同時に作動させられる。ある時間動作させた後に、コントローラ３３は一方の電源、即ち電源３１もしくは３２の何れかへの電力を減少乃至は完全に遮断する。一方の電源の電力が減少乃至遮断されると、関連変換器Ａ１もしくはＡ２によって発生される定在波が大幅に減少するか、または消滅する。一方の変換器が生成する音響波を除去することは、腹面内のクラスタ内に集められた細胞を解放して重力によってそれらが生物反応器２２内へ戻るまで降下させることを可能にする利点が得られることが分かった。選択された期間の間一方の電源を遮断した後にその電源を標準電力の動作に戻すと、音響波は再びフィルタとして動作し始める。次いで短時間後に、他方の電源がその関連変換器へ供給する電力を大幅に減少乃至は遮断され、そしてこのパターンが続けられる。例えば、動作の始めに、両電源３１及び３２を動作させる。選択された時間の後に電源３２を遮断し、変換器Ａ２によって送信される音響波を中止させる。電源３１はその標準電力で動作し続け、変換器Ａ１が生成する音響波は共振室３９内に残る。従って変換器Ａ２からの定在波の節に集まった細胞が解放される。十分に重くなった集合体は降下して生物反応器内へ戻る。降下しない細胞の群があれば、それらは変換器Ａ１によって生成された音響波によって閉塞される。選択された時間の後に、電源３２が再度投入され、変換器Ａ２は再び定在波を発生させる。次いで、別の選択された時間の後に、電源３１が遮断されて変換器Ａ１が発生する定在波が除去される。変換器Ａ１によって作られた定在波の腹に集められた細胞は降下し始め、反応器２２内の媒体へ戻る。選択された時間の後に、電源３１が再び変換器Ａ１へ電力を供給し始める。このパターンを繰り返す。変換器Ａ１及びＡ２は、液体が変換器Ａ２を、次いで変換器Ａ１を順次に通過するように、液体の方向性を持った流れに沿って互いに離間して位置決めすることが好ましい。コントローラ３３は、変換器を同時に動作させるか、もしくは交互に遮断するように、電源３１及び３２のタイミング及び動作を制御する。変換器への電力の遮断をこの順番で交互させるこの技術は、運動する液体から哺乳類の細胞を濾過するのに従来の若干の技術よりも効率的であることが分かった。勿論、２つより多い変換器を直列に使用することが可能であり、この動作モードは図１及び２の水平流に使用することができる。代替として、単一の変換器もしくは図７の複合変換器を使用することもできる。変換器に電力を印加すると、エネルギの一部は熱に変換される。変換器自体の加熱は、入口及び出口管２９’及び２９”を通して冷却材を循環させることによって最小にされる。前述したように、液体の温度は、その液体を通って走行する音響波の位相シフトに直接影響を与える。液体が共振室３９を通過する際の液体の温度変化を選択されたレベル以下に維持することが望ましい。共振室３９内の温度変化を低いレベルに保つ一つの技術は、共振室を通る液体の流量を比較的高く維持することである。従って、液体は短時間の間しか共振室内に留まらず、迅速に出口ポート２４から排出される。もし液体の流量が高過ぎれば、音響波は生存可能な細胞を望ましい割合で液体から濾過することはできなくなる。従って、生存可能な細胞の濾過を増すために、流量を低下させることができる。本発明の原理によれば、もし流量があるレベル以下に低下すれば、それは液体の温度を上昇させる程低く、共振室の入口における定在波と共振室の出口における定在波との間に望ましくない位相シフト変化を発生させる。共振室３９の入口ポートと、共振室３９の出口ポートとの間の位相シフト変化がπ/2よりも小さくなるように流量を選択することが好ましい。説明した例における好ましい位相シフト変化は π/4の範囲内にあるか、もしくは僅かに小さい。これは、定在波の入口から定在波の出口までの約２°Ｋの温度変化に対応する。従って、入口と出口との間には非均質な温度変化が存在し、換言すれば、入口の温度と出口の温度とはそれらの間に温度勾配をもって異なっているのである。温度変化がπの半分より大きい位相シフトを生じさせる値を超えない限り、非均質な温度分布でも受容され、好ましい実施例ではπのほぼ1/4より大きい位相シフトを生じさせていない。１つの特定例を以下に示すが、当分野に精通していれば、本発明の原理を多くの異なるシステムに適用して生存可能な細胞を、共振室３９を通過する液体媒体から良好に濾過できることは容易に理解されよう。〈例〉図８に示すような本発明による装置を、媒体から哺乳類細胞を分離し、集められた細胞を生物反応器へ戻して再利用する音響フィルタとして使用した。使用したハイブリドーマ２Ｅ１１細胞ラインは、５％の新生子牛の血清を用いてDulbec co's Modified Eagle 媒体（ＤＭＥＭ）内で成長させた。〈寸法〉変換器の圧電的に能動な層（チタン酸ジルコン酸鉛セラミック）の厚みｘ_Aは１ｍｍであり、受動層（ホウ珪酸ガラス）の厚みｘ_Bは3.3ｍｍであった。この複合変換器の空気中の固有周波数ｆ_Tは、2.25ＭＨｚ（φ_T＝４π）及び2.8ＭＨｚ（φ_T＝５π）と測定された。鏡層（ホウ珪酸ガラス）の厚みｘ_M＝2.7ｍｍは本発明に従って選択された。この単層鏡の固有周波数は式（V）から計算され、２ＭＨｚ（φ_M＝２π）及び３ＭＨｚ（φ_M＝３π）と測定された。変換器と鏡との距離は25ｍｍであった。これらの寸法により、約28ｋＨｚの距離Δｆ_Cを有する複合共振器の共振周波数ｆ_Cのスペクトルが得られた。本発明により、変換器もしくは鏡の固有周波数での励振を避けるために、励振周波数ｆ_eは約2.4乃至2.5ＭＨｚの複合共振器の共振周波数ｆ_Cに向けて調整された。その結果、変換器の厚みは、数π/2の９倍に近い変換器の内側の音響波の位相シフトφ_Tに対応した。鏡の合計厚みは数π/2の５倍に近い変換器の内側の音響波の位相シフトに対応した。平均活動電力消費〈Ｐ_e1〉は約3.5Ｗであり、共振器容積は35 ｍＬであった。共振場内の流路の合計長は5.2ｃｍ、流入細胞濃度は約91％の生存率で約５×10⁶細胞/ｍＬであった。典型的な生存可能な細胞に対する分離効率ｅ_v及び生存不能な細胞に対する分離効率ｅ_nvを、流れ速度ｖに依存して監視した。懸濁媒体内の流路に沿う位相シフトΔφ_Sの増加は、流入及び流出温度の間の測定された温度差ΔＴから式（IX）に従って計算される。本発明によれば、πの約1/4よりも大きい位相シフトΔφ_Sの増加に相関する流れ速度において、生存可能な細胞の分離効率ｅ_vは増加しなかった。また、生存可能な細胞の分離効率ｅ_v と生存不能な細胞の分離効率ｅ_nvとの間に重大な差は観測されなかった。一般に、典型的な流入細胞濃度は0.1乃至25×10⁶細胞/ｍＬの範囲である。例を含む上表から、最大分離効率ｅ_vは1.3乃至2.5ｃｍ/分の範囲の流量の時に得られることが分かる。例えば、約1.8ｃｍ/分の流量では、フィルタは生存可能な細胞の98％の分離効率を有している。生存不能な細胞の場合には分離効率は約 80％であり、生存不能な細胞は大きい割合で排出されるが、これは好ましいことである。共振状態の入口から共振状態の出口までの温度変化は約２°Ｋである。これにより約π/4、表には正確に0.26πで示されている位相シフト変化Δφ_Sがもたらされる。例えば２ｃｍ/分乃至2.5ｃｍ/分のように僅かに高い流量も、生存可能な細胞の濾過効率が高く、共振器３９内の懸濁媒体内の音響波の空間的位相シフトの非均質な分布を可能にするので受容できる。異なるサイズの要素を使用する他の実施例では、８−10ｃｍ/分の範囲の、もしくはそれを超える流量を使用している。サイズが異なる要素の場合、特定の流量を変化させることができる。本発明による多層共振器のジオメトリの代替パラメタは、例えば、変換器の圧電的に能動な層（チタン酸ジルコン酸鉛セラミック）の厚みｘ_Aは１ｍｍであり、受動層（アルミナ（Al₂O₃）セラミック）の厚みｘ_Bは３ｍｍであった。この例は、アルミナセラミックの固有音響インピーダンスＺ_Bが圧電能動層の固有音響インピーダンスＺ_Aより高いので、特に有利である。この複合変換器の空気中の固有周波数ｆ_Tは、1.8ＭＨｚ（φ_T＝２π）及び2.7ＭＨｚ（φ_T＝３π）と測定された。従って、本発明によれば、励振周波数ｆ_eは2.25ＭＨｚを中心とする複合共振器の共振周波数ｆ_Cの半値帯域幅内に選択しなければならない。式（V）に従ってこの励振周波数ｆ_eと、鏡の固有周波数の何れかとの間の不整合を最適化するためには、鏡層(ホウ珪酸ガラス)の厚みｘ_Mを0.6ｍｍまたはその奇数倍に選択しなければならない。本発明の一実施例の基本的特色を要約すれば、多層複合共振器内の共振超音波音場を印加することによって懸濁した粒子を液体から分離する装置を開示した。複合共振器は、少なくとも圧電変換器、音響鏡、及びこれらの間に挟まれ濾過すべき粒子を含む懸濁液を含む、音響波の縦方向の伝播方向ｘ内に形成されている音響的に結合された並列層を備えていることが好ましい。変換器層は多層複合共振器３９の特性高オーバートーン共振周波数（ｆ_C）の半値帯域幅の範囲内の高周波数（ｆ_e）を発生する電力発生器によって励振される。変換器の厚み（ｘ_T）は、生成周波数（ｆ_e）において音響粒子速度振幅の空間的位相シフトφ_Tを生じさせる値であることが好ましく、そのようにすると位相シフトはπ/2の奇数倍に近いか、もしくは等しくなる。共振室３９内の懸濁液の流れ速度は、ｘ方向に共振室を横切って平均されたｚ方向の温度分布（Ｔ_z）が得られるような値であることが好ましく、そのようにすると温度分布（Ｔ_z）によって、懸濁液内の音響波の空間的位相シフトの非均質分布（φ_Sz）はπの1/4よりも小さい合計範囲（Δφ_S）を有するようになる。若干の実施例では、０乃至π/2の範囲内の合計位相シフト範囲が許容されるが、位相シフト変化はほぼπ/4もしくはそれ以下の範囲であることが好ましい。一実施例によれば、変換器は電極を有する圧電固体層（能動層という）と、非圧電固体層（受動層という）とからなり、受動層は固有音響インピーダンス(Ｚ_B )が能動層の固有音響インピーダンス（Ｚ_A）に近いか、もしくはそれより高い誘電体材料で作られる。代替として、従来の技術に使用されている型の他のどのような変換器もしくは変換器層も使用できる。更に、共振室３９の反対側には鏡が設けられ、鏡は固有音響インピーダンス（Ｚ_M）が懸濁液の固有音響インピーダンス（Ｚ_S）に比して高い材料で作られ、鏡の厚み（ｘ_M）は音響粒子速度振幅に数π/2の奇数倍に近いか、もしくは等しい空間的位相シフト（φ_M）を生じさせるような値を選択する。懸濁液の流れの向きｚは、−ｚの向きに作用する重力に抗する向きであることが好ましい。代替実施例によれば、変換器の圧電的に能動な層は少なくとも２つの隣接する圧電板によって形成され、各板は単一の受動層上に接着される。各関連変換器セグメントは個々の電力発生器３１及び３２によって駆動されるので、複合共振器３９内に個々の共振定在波が発生される。個々の励振時間は、個々の励振されない時間によって中断することができ、それにより懸濁液の関連部分内の細胞の集合体の沈澱時間が得られる。一つの代替実施例では、個々の定在波の少なくとも１つは方向ｘにあり、別の変換器が発生するｘに垂直な方向ｙの別の共振定在波が重畳される。この別の定在波は別の変換器及び鏡によって発生され、これらの変換器及び鏡は互いに平行であり、また方向ｘの定在波を発生する変換器のための共振室３９の側壁以外の側壁上に位置決めされている。別の定在波の方向ｙは流れ方向に対して垂直である。共振室３９への流量を制御するポンプを出口管のみに位置決めし、入口管は細胞を分離すべき懸濁液を含む反応室２２に直接接続することが好ましい。円形の、もしくは代替として矩形状の入口管の内径は、共振室３９のための容器の好ましくは方形の断面の内側寸法に近い、もしくは等しいことが好ましい。入口管は、分離された粒子の沈澱管でもある。一実施例では、少なくとも２組のバッフルが沈澱管２３の内側に配列されている。バッフルの流れ方向に垂直な断面は１組の格子状であり、一実施例では格子の格子間隔は1.5−５格子/ｃｍの範囲である。各組の流れ方向の長さは１−５ｃｍの範囲であり、２つの隣接するバッフル間の間隔は１−５ｃｍの範囲内にある。さらなる代替実施例によれば、共振室３９内の懸濁液は、定在波の方向ｘに本質的に垂直な少なくとも１つの分離層Ｆ（フィルム層Ｆという）によって、懸濁区分Ｓ_i（ｉ＝１．．．ｋ、ｋ≧２）と呼ぶ少なくとも２つの区分に分割されている。フィルム層Ｆは、固有音響インピーダンス（Ｚ_F）が懸濁液の固有音響インピーダンス（Ｚ_S）に近い材料からなることが好ましい。フィルム層の厚み（ｘ_F）は、励振周波数（ｆ_e）の波長の1/4に比して小さいか、もしくは半波長に近いか、または等しいの何れかである。懸濁液の流れの方向は、フィルムＦの一方の側では下向きの方向であり、フィルムＦの他方の側では重力に抗する上向きの方向であるために関連区分Ｓ_i内に温度分布（Ｔ_iz）が発生し、この温度分布（Ｔ_iz）が全ての懸濁区分Ｓ_iを横切るｘ方向において平均されたｚ方向の上記温度分布（Ｔ_z）をもたらす。即ち、温度はフィルム層Ｆの両側の液体を横切るｘ方向において平均されるのである。代替として、２もしくはそれ以上のフィルム層Ｆを使用することができ、これらは互いに平行であり、液体のために室２２から出口ポート２４まで曲がりくねった経路を作る。例えば、流体は共振室３９の最初の1/3を上向きに走行し、共振室３９の中央領域内を下向きに走行し、そして最後の領域を上向きに走行することができる。懸濁液は所望の生成物を含む液内に懸濁された生物細胞を含むことが好ましく、懸濁液内の最大音響粒子速度振幅は生存可能な生物細胞に損傷を与えない値に選択される。複合反応器３９は、所望の生成物を含むことができる養分溶液内に懸濁された哺乳類細胞を成長させる生物反応器上に取付けることが好ましい。この溶液は共振器３９内で生存可能な細胞から分離され、共振器３９から出口管２４に達した後に収穫が行われる。生存可能な細胞は沈澱管２３を通って降下し、生物反応器管２２内へ戻ることによって再利用される。このような細胞培養組織と生物学的に両立可能な材料だけが懸濁液と接触することが好ましい。反応器室３９を通る懸濁液の流れ速度は、生存不能な細胞よりも生存可能な細胞を十分に高く分離するような値に選択される。従って、分離された細胞の生存率が増すことになる。分離効率は、音響的に誘起される集まりによって液体から分離され沈澱する細胞の数と、同一の時間内に共振器へ入る細胞の数との比と定義される。生存率は、生存可能な細胞の部分と、細胞の合計数との比と定義される。以上に幾つかの特定実施例を説明したが、本発明及び請求の範囲はこれらの特定実施例に限定されるものではない。むしろ、種々構造の発明的な概念を組み込んだ等価構造及び方法を使用することができる。種々の実施例の特色も、本発明を実現する多くの異なる方法で組合せることができる。図８−１３の実施例は、変換器の固有周波数の励振を回避するために設計された図１−７の変換器構造を使用する必要はなく、もし望むならば、従来技術の変換器構造を使用することもできる。同様に、図１−７に関して説明した変換器設計及び駆動周波数の選択は図８−１３の構造の他にも多くの構造に使用することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＮ，ＣＺ，ＦＩ，ＧＥ，ＨＵ，ＪＰ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＮ，ＭＷ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者ブルガーウォルフガングオーストリアアー1190 ウィーンゼーヘントホフガッセ 19―１―15 (72)発明者グロッシルマルチンオーストリアアー1020 ウィーンプラテルシュトラーモ 35―18

Claims

【特許請求の範囲】 (1) 多層複合共振器内に共振超音波音場を印加することによって分散した粒子を液体から分離する装置において、上記音響的に結合された層は、少なくとも圧電変換器、分散媒を含む容器、及び音響鏡によって上記音響波の伝播方向に形成され、上記変換器は特性高オーバートーン準調波複合共振周波数の半値帯域幅の範囲内の高周波数を発生する電力発生器によって駆動され、上記変換器層の厚み及び相対位置は、上記駆動周波数が、関連する電気的に励振可能な上記変換器の準調波固有周波数−上記固有周波数÷１０倍の準調波数の比として定義される下限値と、上記固有周波数＋上記固有周波数÷１０倍の準調波数の比として定義される上限値との間に限定される何れかの間隔の外側になるように選択されていることを特徴とする装置。 (2) 上記変換器層の厚み及び相対位置は、上記変換器と上記分散媒との間の界面において消滅する音響粒子速度振幅を発生するように上記駆動周波数に関連して選択されることを特徴とする上記(1)に記載の装置。 (3) 上記変換器は一方の側即ち内側においてのみ上記分散媒と接触し、上記変換器の外側界面は第１の終端反射面として働き、上記音響鏡の外側界面は第２の終端反射面として働くことを特徴とする上記(1)または(2)に記載の装置。 (4) 上記変換器は両側において上記分散媒と接触し、２つの分離した鏡が上記共振器を終端し、第１の鏡の外側界面は第１の終端反射面として働き、第２の鏡の外側界面は第２の終端反射面として働くことを特徴とする上記(1)または(2)に記載の装置。 (5) 上記変換器は、能動層と呼ぶ電極を有する圧電固体層と、受動層と呼ぶ非圧電層とからなり、上記能動層は、数Ｐiの奇数倍に等しい空間的位相シフトを上記音響粒子速度振幅に生じさせるような厚みであり、上記受動層は、上記数Ｐiの半分の奇数倍に近い、または等しい空間的位相シフトを上記音響粒子速度振幅に生じさせるような厚みであり、上記受動層は、上記能動層の固有音響インピーダンスに近い、またはそれより高い固有音響インピーダンスを有する材料で作られていることを特徴とする上記(3)に記載の装置。 (6) 上記変換器は、能動層と呼ぶ電極を有する１つの圧電固体層と、受動層と呼ぶ２つの非圧電層とからなり、上記能動層は、上記２つの受動層の間に配置され、上記能動層は、上記数Ｐiの奇数倍に近い、または等しい空間的位相シフトを上記音響粒子速度振幅に生じさせるような厚みであり、上記第１の受動層は、上記数Ｐiの半分の奇数倍の第１の位相シフトを生じさせるような厚みであり、上記第２の受動層は、上記数Ｐiの半分の奇数倍の第２の位相シフトを生じさせるような厚みであり、それによって上記受動層の厚みは好ましくは同一の値を有し、上記受動層は、上記能動層の固有音響インピーダンスに近い、またはそれより高い固有音響インピーダンスを有する材料で作られていることを特徴とする上記(4)に記載の装置。 (7) 上記変換器の上記受動層は、上記容器の一方の壁を形成していることを特徴とする上記(5)に記載の装置。 (8) 上記鏡は、上記容器の一方の壁を形成していることを特徴とする上記(3)に記載の装置。 (9) 上記鏡は、上記容器の対面する壁を形成していることを特徴とする上記(4) に記載の装置。 (10)上記鏡は、能動層と呼ぶ電極を有する圧電固体層を含み、上記能動層の電極間に生成される電気信号の振幅は、上記電力発生器の励振周波数を、上記電気信号の振幅が最大値を維持するように準調波複合共振周波数の値に向けて制御するための基準として使用されることを特徴とする上記(3)に記載の装置。 (11)上記鏡の上記能動層は、上記数Ｐiの奇数倍に近い、または等しい空間的位相シフトを上記音響粒子速度振幅に生じさせるような厚みであり、上記鏡の上記能動層は、上記数Ｐiの半分の奇数倍の位相シフトを上記音響粒子速度振幅に生じさせるような厚みを有する受動層と呼ぶ非圧電層に音響的に結合されており、上記受動層は、上記能動層の固有音響インピーダンスに近い、またはそれより高い固有音響インピーダンスを有する材料で作られていることを特徴とする上記(10)に記載の装置。 (12)上記鏡の上記受動層は、上記容器の一方の壁を形成していることを特徴とする上記(11)に記載の装置。 (13)上記能動層は、上記圧電的に受動の層上に接着された音響的に並列の円形、矩形もしくは方形の、そして同一の厚みの圧電板のモザイク状構造によって形成されていることを特徴とする上記(5)、(6)または(11)に記載の装置。 (14)上記圧電板材料は、チタン酸ジルコン酸鉛セラミックまたはニオブ酸リチウム単結晶であることを特徴とする上記(5)、(6)または(11)に記載の装置。 (15)上記受動層は電気絶縁性の誘電体層であり、上記圧電板の電極は上記受動層上に堆積されている接続用電極層によって少なくとも部分的に電気的に直列に接続され、上記接続用電極層は上記数Ｐiの1/16より小さい音響粒子速度振幅の空間的位相シフトに対応する厚みに作られていることを特徴とする上記(13)に記載の装置。 (16)上記圧電的に能動な層は、フッ化ポリビニリデン箔で作られていることを特徴とする上記(5)、(6)または(11)に記載の装置。 (17)上記圧電的に受動な層は、奇数の受動副層からなり、上記各副層の厚みは、上記数の半分の奇数倍に近い、または等しい空間的位相シフトを上記音響粒子速度振幅に生じさせ、上記奇数の受動層は高音響インピーダンス及び低音響インピーダンスが交互しているが、上記能動層の固有音響インピーダンスに近い、またはそれより高い高い値で始まり、そして終わることを特徴とする上記(5)、(6)または(11)に記載の装置。 (18)上記電力発生器の励振周波数を上記準調波複合共振周波数に向ける微調整は、上記複合共振器の二乗平均平方根電力消費を制御の基準として使用し、上記二乗平均平方根電力消費を相対最大値に維持することを特徴とする上記(1)、(2)、 (5)または(6)に記載の装置。 (19)流体からなる付加的な導波層が上記変換共振器の受動層と分散媒との間に配置され、上記導波層は音響的に透明な壁によって上記分散媒から分離されていることを特徴とする上記(7)に記載の装置。 (20)上記導波層の側壁には入口及び出口間が設けられ、上記流体が循環していることを特徴とする上記(19)に記載の装置。 (21)上記励振周波数の調整は、５乃至１２の、隣接した、近接して離間している複合共振周波数の間で繰り返しスイッチされることを特徴とする上記(19)または (20)に記載の装置。 (22)互いに直角で、音の伝播方向に対して４５°だけ傾斜している２つの板によって形成されている全反射性逆反射体が上記容器の一方の壁を形成し、上記逆反射体の材料の音響パラメタは、４５°に等しい上記反射体板と縦方向との間の傾斜角について上記分散媒と上記反射体との間の界面における全反射条件を満たす値であり、上記分散媒の流れは、上記板に平行であり且つ上記縦方向に垂直に配向されており、それにより等価一次元共振器の実質的な全反射面が分散媒の実効層厚みを限定していることを特徴とする上記(5)に記載の装置。 (23)２つの対称的な全反射性逆反射体が上記容器の対面する壁を形成し、上記逆反射体の材料の音響パラメタは上記関連分散媒と上記反射体との間の界面における全反射条件を満たす値であり、上記分散媒の流れは上記縦方向に垂直に配向されており、それにより等価一次元共振器の実質的な全反射面が分散媒の実効層厚みを限定していることを特徴とする上記(5)に記載の装置。 (24)上記音響的に透明な壁は、上記励振周波数に対して上記数Ｐiの半分より遙かに小さい空間位相シフトを上記音響粒子速度振幅に生じさせるような厚みであることを特徴とする上記(19)に記載の装置。 (25)上記音響的に透明な壁は、上記励振周波数に対して上記数Ｐiにほぼ等しい空間位相シフトを上記音響粒子速度振幅に生じさせるような厚みであることを特徴とする上記(19)に記載の装置。 (26)上記音響的に透明な壁は、上記導波流体の固有音響インピーダンスに極めて近い固有音響インピーダンスを有する材料で作られていることを特徴とする上位 (19)、(24)または(25)に記載の装置。 (27)共振音響波を使用して分散した粒子を液体から分離する装置において、それを通って流れる上記液体を有する音響共振室と、上記共振室の対面する側壁を形成し、且つ互いに平行に位置決めされて上記音響共振室内に音響定在共振波を生成する音響変換器及び音響鏡と、上記変換器の電気的に励振可能な固有周波数から上記変換器自体の固有周波数の１０％より大きい値だけずれている選択された周波数で上記変換器を駆動する電力発生器手段とを備えていることを特徴とする装置。 (28)上記変換器を駆動する周波数は、上記変換器の2つの隣接する固有周波数のはぼ中間であるように選択されることを特徴とする上記(27)に記載の装置。 (29)上記変換器が上記変換器の両側の第１及び第２の液体内に音響定在共振波を同時に生成するように上記変換器の２つの側を流れる第２の液体をも含むことを特徴とする上記(27)に記載の装置。 (30)分散した粒子を液体から分離する方法において、上記粒子を含む上記液体を、音響変換器及び音響鏡を対向する側壁上に含む音響共振室を通過させる段階と、上記変換器の電気的に励振可能な固有周波数とは、１０％を上記固有周波数の準調波数で除したずれ値より大きい値だけ異なる選択された周波数を有する音響定在共振波を上記音響共振室内に生成する段階とを備えていることを特徴とする方法。 (31)上記生成される音響定在共振波は、上記鏡の電気的に励振可能な固有周波数とは少なくとも１０％異なることを特徴とする上記(30)に記載の方法。 (32)上記音響定在共振波の周波数は、上記変換器の２つの隣接する固有周波数の間のほぼ中間に離間していることを特徴とする上記(30)に記載の方法。 (33)上記準調波の数は２であり、ずれ値は５％である上記(30)に記載の方法。 (34)上記準調波の数は４であり、ずれ値は２．５％である上記(30)に記載の方法。 (35)上記準調波の数は５であり、ずれ値は２％である上記(30)に記載の方法。