JPH0950307A - Manufacturing device - Google Patents
Manufacturing deviceInfo
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- JPH0950307A JPH0950307A JP20302595A JP20302595A JPH0950307A JP H0950307 A JPH0950307 A JP H0950307A JP 20302595 A JP20302595 A JP 20302595A JP 20302595 A JP20302595 A JP 20302595A JP H0950307 A JPH0950307 A JP H0950307A
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- outputted
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明はアクチュエータを
有する複数の処理装置（コマンド）からなる製造装置、
たとえば半導体素子、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）など
の製造装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a manufacturing apparatus including a plurality of processing devices (commands) having an actuator,
For example, the present invention relates to a manufacturing device for semiconductor devices, liquid crystal displays (LCD), and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図２は従来の製造装置の処理装置のアク
チュエータ部を示す図である。図に示すように、油圧シ
リンダ１に電磁弁２が接続され、油圧シリンダ１の動作
終了を検出したとき動作終了信号Ｓ1を出力する動作終
了検出センサ３が設けられ、動作終了信号Ｓ1を入力す
る判断手段４が設けられ、判断手段４から動作開始信号
Ｓ2（説明後述）が出力されたとき、電磁弁２の動作を
動作制御信号Ｓ3により制御する動作制御手段５が設け
られ、判断手段４は動作制御信号Ｓ3が入力してから所
定時間内に動作終了信号Ｓ1が入力した場合には動作制
御手段５に動作開始信号Ｓ2を出力し、動作制御信号Ｓ3
が入力してから所定時間内に動作終了信号Ｓ1が入力し
ない場合には表示装置７に動作異常信号Ｓ4を出力し、
表示装置７は動作異常信号Ｓ4を入力したとき動作異常
を表示する。そして、判断手段４、動作制御手段５で制
御装置６が構成されている。2. Description of the Related Art FIG. 2 is a diagram showing an actuator section of a processing apparatus of a conventional manufacturing apparatus. As shown, the electromagnetic valve 2 is connected to the hydraulic cylinder 1, the operation end detection sensor 3 outputs an operation end signals S 1 when detecting the end of the operation of the hydraulic cylinder 1 is provided, the operation end signals S 1 A determination means 4 for inputting is provided, and an operation control means 5 for controlling the operation of the solenoid valve 2 by the operation control signal S 3 when an operation start signal S 2 (described later) is output from the determination means 4, When the operation end signal S 1 is input within a predetermined time after the operation control signal S 3 is input, the determination means 4 outputs the operation start signal S 2 to the operation control means 5 and the operation control signal S 3
When the operation end signal S 1 is not input within a predetermined time after is input, the operation abnormality signal S 4 is output to the display device 7,
The display device 7 displays the operation abnormality when the operation abnormality signal S 4 is input. The determination unit 4 and the operation control unit 5 form a control device 6.
【０００３】この処理装置を有する製造装置において
は、動作制御手段５から動作制御信号Ｓ3が出力される
と、電磁弁２が切り換えられ、油圧シリンダ１が動作す
る。そして、油圧シリンダ１の動作が終了すると、動作
終了検出センサ３から動作終了信号Ｓ1が出力され、判
断手段４に動作制御信号Ｓ3が入力されてから所定時間
内に動作終了信号Ｓ1を入力したときには、判断手段４
から動作制御手段５に動作開始信号Ｓ2が出力され、動
作制御手段５から動作制御信号Ｓ3が出力されるから、
電磁弁２が切り換わり、油圧シリンダ１が次の動作を行
なう。また、判断手段４に動作制御信号Ｓ3が入力され
てから所定時間内に動作終了信号Ｓ1を入力しないとき
には、判断手段４が表示装置７に動作異常信号Ｓ4を出
力し、表示装置７は動作異常信号Ｓ4を入力したとき動
作異常を表示する。In the manufacturing apparatus having this processing device, when the operation control signal S 3 is output from the operation control means 5, the solenoid valve 2 is switched and the hydraulic cylinder 1 operates. When the operation of the hydraulic cylinder 1 is completed, the output operation end signals S 1 from the operation end detection sensor 3, the operation end signals S 1 within a predetermined time from the input of the operation control signal S 3 to the determination unit 4 When inputting, determination means 4
The operation start signal S 2 is output from the operation control means 5 and the operation control signal S 3 is output from the operation control means 5,
The solenoid valve 2 is switched, and the hydraulic cylinder 1 performs the following operation. If the operation end signal S 1 is not input within a predetermined time after the operation control signal S 3 is input to the determination means 4, the determination means 4 outputs the operation abnormality signal S 4 to the display device 7 and the display device 7 Indicates the operation abnormality when the operation abnormality signal S 4 is input.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような処
理装置を有する製造装置においては、油圧シリンダ１に
作用する力などが相違することがあるから、油圧シリン
ダ１の動作所要時間すなわち動作制御信号Ｓ3が出力さ
れてから動作終了信号Ｓ1が出力されるまでの時間にば
らつきがある。このことは他の処理装置のアクチュエー
タについても同様であるから、各処理装置の処理時間に
ばらつきが生ずる。たとえば、製造装置が８個の処理装
置すなわち予備加熱装置、第１の搬送装置、第１の成膜
装置、第２の搬送装置、第２の成膜装置、第３の搬送装
置、第３の成膜装置、第４の搬送装置からなる場合に、
各処理装置のアクチュエータの動作所要時間に５秒のば
らつきがあると、製造装置の処理時間のばらつきは最大
４０秒となる。このため、製造装置を正確にタクト運転
することができない。However, in a manufacturing apparatus having such a processing device, the forces acting on the hydraulic cylinder 1 may differ, so that the required operating time of the hydraulic cylinder 1, that is, the operation control signal. There is variation in the time from the output of S 3 to the output of the operation end signal S 1 . This also applies to the actuators of other processing devices, so that the processing time of each processing device varies. For example, a processing apparatus having eight manufacturing apparatuses, that is, a preheating apparatus, a first transfer apparatus, a first film formation apparatus, a second transfer apparatus, a second film formation apparatus, a third transfer apparatus, and a third transfer apparatus. When it is composed of a film forming device and a fourth transfer device,
If the required operation time of the actuator of each processing apparatus has a variation of 5 seconds, the processing time of the manufacturing apparatus has a variation of 40 seconds at the maximum. For this reason, the manufacturing apparatus cannot be accurately operated in the tact mode.
【０００５】この発明は上述の課題を解決するためにな
されたもので、正確にタクト運転することができる製造
装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus capable of accurately performing tact operation.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明においては、アクチュエータを有する複数
の処理装置からなる製造装置において、上記アクチュエ
ータの動作開始から所定時間経過後に上記アクチュエー
タの次の動作を指令する制御装置を設ける。In order to achieve this object, in the present invention, in a manufacturing apparatus including a plurality of processing devices having actuators, the next operation of the actuators after a predetermined time has elapsed from the start of the operation of the actuators. A control device for instructing is provided.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】図１はこの発明に係る製造装置の
処理装置のアクチュエータ部を示す図である。図に示す
ように、動作終了検出センサ３から動作終了信号Ｓ1を
入力する判断手段１１が設けられ、判断手段１１から動
作開始信号Ｓ5（説明後述）が出力されたとき、電磁弁
２の動作を動作制御信号Ｓ6により制御する動作制御手
段１２が設けられ、動作制御信号Ｓ6が入力されてから
所定時間経過後に時間経過信号Ｓ7を出力する時間計測
手段１３が設けられ、判断手段１１は時間経過信号Ｓ7
を入力する前に動作終了信号Ｓ1を入力した場合には時
間経過信号Ｓ7を入力したときに動作制御手段１２に動
作開始信号Ｓ5を出力し、時間経過信号Ｓ7を入力した後
に動作終了信号Ｓ1を入力した場合には表示装置７に動
作異常信号Ｓ8を出力し、表示装置７は動作異常信号Ｓ8
を入力したとき動作異常を表示する。そして、判断手段
１１、動作制御手段１２、時間計測手段１３で制御装置
１４が構成されている。1 is a diagram showing an actuator section of a processing apparatus of a manufacturing apparatus according to the present invention. As shown in the figure, a judgment means 11 for inputting the operation end signal S 1 from the operation end detection sensor 3 is provided, and when the judgment means 11 outputs an operation start signal S 5 (described later), the solenoid valve 2 operation operation control means 12 for controlling the operation control signal S 6 is provided with an operation control signal time measuring means 13 S 6 outputs a time signal S 7 after a predetermined time elapsed since the input is provided, the decision means 11 is a time lapse signal S 7
Outputs an operation start signal S 5 to the operation control unit 12 when they enter the time signal S 7 if you enter the operation completion signals S 1 before entering the operation after entering the time signal S 7 When the end signal S 1 is input, the operation abnormal signal S 8 is output to the display device 7, and the display device 7 outputs the operation abnormal signal S 8
When is input, the operation error is displayed. The determination unit 11, the operation control unit 12, and the time measurement unit 13 form a control device 14.
【０００８】この処理装置を有する製造装置において
は、動作制御手段１２から動作制御信号Ｓ6が出力され
ると、電磁弁２が切り換えられ、油圧シリンダ１が動作
する。そして、油圧シリンダ１の動作が終了すると、動
作終了検出センサ３から動作終了信号Ｓ1が出力され、
判断手段１１に時間経過信号Ｓ7が入力される前に動作
終了信号Ｓ1が入力された場合には、判断手段１１に時
間経過信号Ｓ7が入力されたときに、判断手段１１から
動作制御手段１２に動作開始信号Ｓ5が出力され、動作
制御手段１２から動作制御信号Ｓ6が出力され、次の動
作が指令されるから、電磁弁２が切り換わり、油圧シリ
ンダ１が次の動作を行なう。また、判断手段１１に時間
経過信号Ｓ7が入力された後に動作終了信号Ｓ1が入力さ
れた場合には、判断手段１１が表示装置７に動作異常信
号Ｓ8を出力し、表示装置７は動作異常信号Ｓ8を入力し
たとき動作異常を表示する。In the manufacturing apparatus having this processing device, when the operation control signal S 6 is output from the operation control means 12, the solenoid valve 2 is switched and the hydraulic cylinder 1 operates. When the operation of the hydraulic cylinder 1 ends, the operation end detection sensor 3 outputs the operation end signal S 1 ,
When the operation end signal S 1 is input before the time lapse signal S 7 is input to the determination means 11, when the time lapse signal S 7 is input to the determination means 11, the operation control from the determination means 11 is performed. The operation start signal S 5 is output to the means 12, the operation control signal S 6 is output from the operation control means 12, and the next operation is commanded. Therefore, the solenoid valve 2 is switched and the hydraulic cylinder 1 performs the next operation. To do. When the operation end signal S 1 is input after the time lapse signal S 7 is input to the determination means 11, the determination means 11 outputs the operation abnormality signal S 8 to the display device 7, and the display device 7 When the operation abnormality signal S 8 is input, the operation abnormality is displayed.
【０００９】このような処理装置を有する製造装置にお
いては、油圧シリンダ１等の各処理装置のアクチュエー
タの動作所要時間にばらつきがあったとしても、時間計
測手段１３によって定められる所定時間が経過しない
と、油圧シリンダ１等の各処理装置のアクチュエータは
次の動作を開始しない。このため、各処理装置の処理時
間にばらつきが生ずることがないから、正確にタクト運
転することができる。In the manufacturing apparatus having such a processing apparatus, even if the required operation time of the actuator of each processing apparatus such as the hydraulic cylinder 1 varies, the predetermined time determined by the time measuring means 13 has not elapsed. , The actuator of each processing device such as the hydraulic cylinder 1 does not start the next operation. Therefore, the processing time of each processing device does not vary, and the tact operation can be performed accurately.
【００１０】[0010]
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る製
造装置においては、各処理装置のアクチュエータの動作
所要時間にばらつきがあったとしても、各処理装置の処
理時間にばらつきが生ずることがないから、正確にタク
ト運転することができる。As described above, in the manufacturing apparatus according to the present invention, even if the operation required time of the actuator of each processing device varies, the processing time of each processing device does not vary. Therefore, the tact operation can be performed accurately.
【図１】この発明に係る製造装置の処理装置のアクチュ
エータ部を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an actuator section of a processing apparatus of a manufacturing apparatus according to the present invention.
【図２】従来の製造装置の処理装置のアクチュエータ部
を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an actuator section of a processing apparatus of a conventional manufacturing apparatus.
１…油圧シリンダ １４…制御装置 1 ... Hydraulic cylinder 14 ... Control device
Claims (1)
らなる製造装置において、上記アクチュエータの動作開
始から所定時間経過後に上記アクチュエータの次の動作
を指令する制御装置を具備することを特徴とする製造装
置。1. A manufacturing apparatus comprising a plurality of processing devices having an actuator, comprising a control device for instructing the next operation of the actuator after a lapse of a predetermined time from the start of the operation of the actuator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20302595A JPH0950307A (en) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | Manufacturing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20302595A JPH0950307A (en) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | Manufacturing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0950307A true JPH0950307A (en) | 1997-02-18 |
Family
ID=16467108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20302595A Pending JPH0950307A (en) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | Manufacturing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0950307A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101531588B1 (en) * | 2011-12-09 | 2015-06-25 | 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 | Actuator control device, actuator control method and actuator drive duration measurement method |
-
1995
- 1995-08-09 JP JP20302595A patent/JPH0950307A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101531588B1 (en) * | 2011-12-09 | 2015-06-25 | 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 | Actuator control device, actuator control method and actuator drive duration measurement method |
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