JPH0948121A - Printing head - Google Patents

Printing head

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JPH0948121A
JPH0948121A JP20068995A JP20068995A JPH0948121A JP H0948121 A JPH0948121 A JP H0948121A JP 20068995 A JP20068995 A JP 20068995A JP 20068995 A JP20068995 A JP 20068995A JP H0948121 A JPH0948121 A JP H0948121A
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JP
Japan
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ink
heating element
printer head
heating
insulating substrate
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Application number
JP20068995A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasutomo Fujiyama
Fumio Murooka
文夫 室岡
靖朋 藤山
Original Assignee
Canon Inc
キヤノン株式会社
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a printing head for ink jet recording enabling highly detailed printing at a high speed, low in power consumption and capable of being produced in low cost. SOLUTION: A plurality of heating elements 5a are arranged on one surface of an insulating substrate 3. A pressure container 14 having the heating element 5a provided to the inner wall surface thereof and holding a definite amt. of ink and having an ink emitting nozzle 7 provided thereto as a through-hole at the position opposed to the heating element 5a is formed to each of the heating elements 5a. An ink container 2 filled with ink is arranged to the other surface of the insulating substrate 3 and the ink supply port 4a piercing the insulating substrate 3 to supply ink from the ink container 2 to the pressure container 14 is provided to the center part of the heating region by the heating element 5a. Typically, the heating element 5a is composed of a ring-shaped electric resistance heating element and the ink supply port 4a is opened to the center part of the ring.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、紙等の被記録媒体にインクによって記録を行なう記録装置(プリンタ)に関し、特に、発熱体によってインクを加熱してインク中に気泡を発生させ、気泡の膨張によりノズルから被記録媒体にインクを吐出、飛翔させて記録を行なうインクジェットプリンタのヘッド、すなわちインク吐出部の構造に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a recording apparatus for recording by ink on a recording medium such as paper (printer), in particular, ink bubbles are generated heated in ink by the heating element, the bubble expansion ejecting ink onto a recording medium from the nozzles, the head of an ink jet printer which performs recording by flying, i.e. on the structure of the ink discharge portion.

【0002】 [0002]

【従来の技術】近年、コンピュータやファクシミリ装置、ワードプロセッサ等に使用されるハード出力端末装置や、ハードコピー装置として、プリンタが普及してきている。 In recent years, a hard output terminals and for use in a computer or a facsimile machine, a word processor, as a hard copy device, a printer has been widely used. プリンタとして各種の記録原理のものが実用化されているが、中でもインクジェットプリンタは、高速で高精細の印字を低駆動音、低消費電力で実現できるものとして注目されている。 While any of various recording principle as a printer has been put into practical use, among others inkjet printers, low driving sound printing at high speed and with high precision, it has been attracting attention as can be realized with low power consumption. インクジェットプリンタは、 Inkjet printer,
一般に、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を内蔵するノズルから、記録信号に応じてインクを間欠的に飛翔させ、被記録媒体にドット In general, from a nozzle with a built-in energy generating element for generating energy for discharging ink intermittently by ejecting ink in response to recording signals, a dot on the recording medium
(dot)状にインクを転写し、印字記録を構成するものである。 (Dot) shape to transfer the ink, constitutes a printout. エネルギー発生素子としては、インクを加熱・発泡させるための電気抵抗発熱体が好ましく使用される。 The energy generating element, an electric resistance heating element for heating and foaming ink are preferably used.
そして、1個のプリンタヘッドを用いて同時に複数のドットの記録を行なえるようにするため、インクジェットプリンタ用のプリンタヘッドは、絶縁基体上に複数のエネルギー発生素子を配置する構成とされる。 Then, in order to so enable the recording of a plurality of dots simultaneously using a single print head, the printer head for ink jet printers are configured to arrange a plurality of energy generating elements on an insulating substrate. そして、絶縁基体とインクの吐出方向との関係で、プリンタヘッドは、サイド・シュート・タイプのものとエッジ・シュート・タイプのものとに分類される。 Then, in relation to the discharge direction of the insulating substrate and the ink, the printer head is classified into those ones and edge shoot type of side chute type. 以下、エネルギー発生素子として電気抵抗発熱体を用いる場合を例に挙げ、 Hereinafter, an example in using electrical resistance heating element as an energy generating element,
従来のサイド・シュート・タイプのプリンタヘッドとエッジ・シュート・タイプのプリンタヘッドについて説明する。 The conventional side-shoot type printer head and edge-shoot type printer head will be described.

【0003】図7は、従来のサイド・シュート・タイプのインクジェットプリンタのプリンタヘッドの断面構造を示す図である。 [0003] Figure 7 is a diagram showing a sectional structure of the printer head of a conventional side-shoot type ink jet printer.

【0004】プリンタヘッド1には、面状の電気抵抗体である発熱体5が一方の面に多数配置された絶縁基体3 [0004] The printer head 1 includes an insulating base heating element 5 is a planar electrical resistor is arranged in large numbers on one surface 3
が設けられている。 It is provided. 絶縁基体3の他方の面には、インクが充填されるインク容器2が配置されている。 On the other surface of the insulating substrate 3, the ink container 2 which is filled with ink it is disposed. 各発熱体5はそれぞれドットに対応しており、発熱体5ごとに、 Each heating element 5 is respectively corresponding to the dot, each heating element 5,
インク供給管4とインク加熱容器6とインク吐出ノズル7とが設けられている。 Ink supply tube 4 and the ink heating vessel 6 and the ink discharge nozzle 7 is provided. インク供給管4は、インク容器2からの個々のインク加熱容器6にインクを供給するために、絶縁基体3を貫通している。 Ink supply tube 4, the ink in order to supply the individual ink heating vessel 6 from the ink container 2, extends through the insulating base 3. インク加熱容器6においては、底面に発熱体5が配置し、この発熱体5に対向するようにインク吐出ノズル7が配置している。 In the ink heating vessel 6, the heating element 5 is disposed on the bottom surface, the ink discharge nozzle 7 is arranged so as to face the heating element 5. 高解像度、高精細な印字を実現するために、これらは微細に形成されている。 High resolution, in order to realize a high-definition printing, which are formed finely. インク吐出ノズル7に対向するように被記録媒体を配置し記録信号に応じて発熱体5に通電し発熱させることにより、インク加熱容器6内のインク1 By energizing and heating the heating element 5 in accordance with the arrangement and the recording signal a recording medium so as to face the ink ejection nozzle 7, the ink 1 in the ink heating container 6
2が発泡、膨張し(気泡9)、その圧力でインク吐出ノズル7近傍のインクが被記録媒体方向に吐出し、微小なインク滴8が吐出・飛翔して被記録媒体表面に衝突し、 2 is foamed, expanded (bubble 9), discharged into the ink recording medium direction of the ink discharge nozzle 7 near its pressure, fine ink droplets 8 collide with the discharge-fly on the surface of the recording medium,
インクが転写される。 Ink is transferred.

【0005】インクジェットプリンタでは、各インク吐出ノズル7はそれぞれ1つの色に対応する。 [0005] In ink jet printers, the ink discharge nozzle 7 corresponds to one color, respectively. したがって、近年要求が高まっている高精細・高階調のカラー印刷を実現するためには、各色ごとのヘッドを集合していわゆるマルチヘッドとするとともに、ドットサイズをさらに細かくする必要があり、インク供給管4、発熱体5 Therefore, in order to realize a color printing of a high resolution and high gradation is increasing recently requested, together with a so-called multi-head is set to the head of each color, it is necessary to further determine the dot size, the ink supply tube 4, the heating element 5
及びインク吐出孔7も、より微細に形成しなければならない。 And the ink discharge hole 7 must also be more finely formed.

【0006】現在一般的に実現されている300dpi [0006] 300dpi, which is now generally realized
(dpi=ドット/インチ、1インチ(25.4mm) (Dpi = dots / inch 1 inch (25.4mm)
当りのドット数)のプリンタへッドは、開口部の直径が20μmのインク吐出ノズル7を80μmピッチで配列して構成される。 Head to the printer per number of dots) is composed diameter of openings by arranging the ink discharge nozzle 7 of 20μm in 80μm pitch. 将来の高精細ヘッドでは、例えば60 In future high-definition head, for example 60
0dpiのヘッドでは40μmピッチでインク吐出ノズルを配列し、1200dpiのヘッドでは20μmピッチでインク吐出ノズルを配列しなけらばならない。 Arrayed ink discharging nozzles in 40μm pitch at the head of the 0 dpi, must kicked such arrayed ink discharging nozzles in 20μm pitch at 1200dpi head. 高精細印字を実現するためには、インクの吐出のための各機構、特に面状の電気抵抗体である発熱体5の面積として許容される大きさがますます小さくなる。 In order to realize high resolution printing, the mechanism for ejecting the ink, the size becomes smaller and smaller to be acceptable area of ​​the heat generating element 5 is particularly planar electrical resistor. そのため、一般に、表面を酸化したシリコン基板を絶縁基体3として用い、この絶縁基体3上にホトリソグラフィ技術やレーザ加工技術により、インク供給管4や発熱体5、インク吐出ノズル7を微細に形成する。 Therefore, in general, a silicon substrate obtained by oxidizing the surface as the insulating substrate 3, the insulating substrate 3 photolithography or laser processing technology on, the ink supply pipe 4 and the heating element 5, the finely formed ink discharge nozzle 7 . さらに、図7に示すように、例えば、各列ごとに300dpiに相当するピッチ(開口ピッチA、ここでは80μm)となるようにインク吐出ノズル7を2列に配置し、このような吐出ノズル列7aと吐出ノズル列7bを開口ピッチAの半分の距離(ここでは40μm)だけずらして配置することで、 Furthermore, as shown in FIG. 7, for example, pitch corresponding to 300dpi each column (openings pitch A, 80 [mu] m here) an ink discharge nozzle 7 so as to be arranged in two rows, such discharge nozzle row 7a and discharge nozzle row 7b half the distance of the opening pitch a by arranging shifted by (40 [mu] m in this case),
各機構の寸法としては300dpi用でありながら、6 While as the dimensions of each mechanism is for 300dpi, 6
00dpiの記録密度に対応するプリンタヘッドを得ることができ、インク吐出のための各機構に許容される寸法の縮小を抑えることが可能となる。 It is possible to obtain a printer head corresponding to the recording density of 00Dpi, it is possible to suppress the reduction of the dimensions allowed for the mechanisms for the ink ejection. 吐出ノズル列の数を増やせば、より高解像度のプリンタヘッドを得ることができる。 Increasing the number of discharge nozzle row, it is possible to obtain a higher resolution of the printer head. また、表面酸化膜を有するシリコン基板を絶縁基体3として用いることにより、記録信号に応じて発熱体5を駆動するための各種の機能素子を絶縁基体3内にモノリシックに形成することが可能となる。 Further, by using a silicon substrate having a surface oxide film as the insulating substrate 3, various functional elements for driving the heating element 5 can be formed monolithically in the insulating substrate 3 in accordance with a recording signal .

【0007】図8は、エッジ・シュート・タイプの従来のプリンタヘッド1を示している。 [0007] Figure 8 shows a conventional printer head 1 of the edge chute type. 絶縁基体3の同じ側にインク容器2と各発熱体5が配置されている。 Each heating element 5 and the ink container 2 is disposed on the same side of the insulating substrate 3. したがって、流路状のインク加熱容器6の一端がインク吐出ノズル7として外部に開口し、他端がインク供給管4としてインク容器2に連通している。 Thus, one end of the channel-like ink heating vessel 6 outside the opening as an ink discharge nozzle 7 and the other end communicates with the ink container 2 as an ink supply tube 4. このエッジ・シュート・タイプのプリンタヘッド1では、被記録媒体の表面に平行な方向にほぼ一列に発熱体5が並び、インク加熱容器6の長手方向は被記録媒体の表面に垂直となっている。 In the printer head 1 of the edge chute type, lined with the heating element 5 substantially one row in a direction parallel to the surface of the recording medium, the longitudinal direction of the ink heating vessel 6 is perpendicular to the surface of the recording medium . エッジ・シュート・タイプのプリンタヘッドでも、 Even in edge-shoot type of printer head,
貼り合わせて積層することにより、複数の吐出ノズル列を設けることが可能になって、各機構の寸法の縮小を抑えて高解像度化を実現することができる。 By laminating by bonding, made it possible to provide a plurality of discharge nozzle rows, it is possible to suppress the reduction in the size of the mechanisms to achieve high resolution.

【0008】ところで、プリンタを携帯して使用することの要求が高まってきており、この要求から、プリンタの小型化、高精細化はもちろんのこと、発熱体を用いるプリンタにおいては消費電力を低減して稼働可能時間を延長する要求が生じている。 By the way, there has been a growing demand for the use by the portable printer, from the request, the miniaturization of the printer, high-definition, of course, in a printer using a heating element reduces power consumption request to extend occurs the operation possible time Te. 消費電力を低減する要求を満たすためには、発熱体駆動電力の低減、すなわち、発熱体の小型化、高電気抵抗化が求められている。 To meet the demand for reducing the power consumption, reduction of the heating element drive power, i.e., miniaturization of the heat generating element, a high electric resistance has been demanded.

【0009】インクジェットプリンタの発熱体用の材料として、高抵抗、耐熱性、機械的強度などの点で優れている窒化タンタル(Ta 2 N)薄膜が使用されているが、上述したような発熱体の小型化の要求から、Ta 2 [0009] As a material for the heat generating element of the ink jet printer, a high-resistance, heat resistance and excellent and tantalum nitride (Ta 2 N) thin film in terms of mechanical strength are used, such as described above the heating element from the compact request, Ta 2
Nに比べてさらに比抵抗が大きいTiAlN薄膜やMo TiAlN films and Mo further specific resistance is larger than the N
Si薄膜などの高抵抗薄膜も、発熱体材料の候補として検討されている。 High resistance thin film such as Si thin films, has been studied as a candidate of the heat generating material.

【0010】発熱体5は、サイド・シュート・タイプのプリンタヘッドであれば、図7に示したようにインク吐出ノズル7の直下の位置に配置され、また、エッジ・シュート・タイプのプリンタヘッドであれば、図8に示すように流路状のインク加熱容器6の途中に配置されるが、いずれの場合であっても、加熱による気泡9の膨張圧力は、インク容器2の内圧に反発してインク吐出ノズル7の方向に集中する。 [0010] heating element 5, if the side-shoot type printer head is arranged at a position immediately below the ink discharge nozzles 7, as shown in FIG. 7, and in the edge-shoot type printer head If, but is placed in the middle of the channel-like ink heating vessel 6, as shown in FIG. 8, in either case, the inflation pressure of the bubble 9 by heating, repel the internal pressure of the ink container 2 focus on the direction of ink discharge nozzles 7 Te. インク供給管4の途中に土手1 Bank in the middle of the ink supply pipe 4 1
0を配置して、インク容器2側の圧力抵抗を高める工夫が施すことも行なわれている。 By placing a 0, devised to increase the pressure resistance of the ink container 2 side is also done applying.

【0011】発熱体5の表面は、インクとの電気的絶縁の確保や、気泡膨張時の脈動による機械的衝撃による発熱体薄膜の絶縁基体3からの剥離及び破壊の防止などを目的として、硬質の絶縁膜11で被覆される場合が多い。 [0011] surface of the heating element 5, for the purpose securing and electrical insulation with the ink, such as prevention of peeling and breakage of the insulating base 3 of the heating element thin film by mechanical impact due to pulsation in the bubble inflated, rigid when covered with the insulating film 11 is large. インク12の材料としては染料や顔料タイプの微粒子を混入したものがあり、発熱によるインクの焼き付きを防止するような工夫もなされている。 As a material for the ink 12 while others mixed with dye or pigment-type particles, ingenuity have also been made so as to prevent burn-in of the ink due to heat generation.

【0012】 [0012]

【発明が解決しようとする課題】インクジェットプリンタ用のプリンタヘッドは、高解像度、高精細の印字を実現するために、インク吐出ノズルの開口直径の小径化や吐出孔間隔の縮小化、発熱体の小型化及び高抵抗化、等が試みられている。 Printer head for ink jet printer [0005] In order to realize the printing high-resolution, high-resolution, reduction in diameter of and the ejection hole spacing of the opening diameter of the ink discharge nozzle, the heating element miniaturization and high resistance, and the like have been attempted. しかしながら、抵抗膜の両側に電極を配置した電気抵抗発熱体を想定すると、発熱体の小型化は抵抗部分の長さの短縮を意味し、発熱体の電気抵抗が低下する。 However, assuming both sides of the electrode disposed in electrical resistance heating element of the resistance film, size of the heating element means to shorten the length of the resistive portion, the electrical resistance of the heating element is reduced. 抵抗膜をより薄くする(断面積を小さくする)ことによって電気抵抗を高めることができるが、5 While the resistive film more (reducing the cross-sectional area) to thin it is possible to increase the electric resistance by, 5
00℃近くにまで昇温することや発泡収縮の衝撃を想定すると、抵抗膜を薄くした場合には発熱体の機械的耐久性が問題になる。 When 00 ° C. assuming an impact that and foam shrinkage of raising the temperature to near the mechanical durability of the heating element becomes a problem when the resistive film thinner. また、インク吐出孔の小型化によって、飛翔させるインク滴のサイズは必然的に小さくなる。 Further, the size reduction of the ink discharge hole, the size of ink droplets to fly is inevitably reduced. より小さなインク滴を突出・飛翔させて従来と同様の面積の領域に記録を行なうことを想定すると、インク滴を飛翔させる時間間隔を短くする、すなわちち発熱体の加熱と冷却を短時間に行わなければならなくなる。 Assuming be recorded in the area of ​​the same area as conventional is protruded, flying smaller ink droplets, to reduce the time interval of ejecting ink droplets, i.e. carried out in a short time heating and cooling of the Chi heating element no longer must be. これから、発熱体には、加熱効率がよいことは当然として、放熱機能にも優れていることが要求される。 Now, the heating element, a good heating efficiency is naturally and it is required that is excellent in heat dissipation function. 絶縁基体として表面が酸化されたシリコン基体を使用することは、インク自体も熱伝導によい材料でことから、放熱には好都合であるが、発熱体の短時間での温度上昇を妨げる要因となる。 The use of silicon substrate whose surface is oxidized as the insulating substrate, since even ink itself a good material for thermal conduction, but the heat dissipation is advantageous, the factors preventing the temperature rise in a short time of the heating element . 特に、従来のエッジ・シュート・タイプのもののようにインク流路の発熱体を配置する形態のプリンタへッドでは、インク流路部分の容積によっては、 In particular, in the conventional head to form the printer to place a heating element of the ink flow path as that of edge shoot type, the volume of the ink flow path section,
インクを介した熱の散逸が顕著になるので、発熱時に発熱体に印加しなければならない電力が増加したり、発熱体の加熱応答特性が低下するという問題が生ずる。 Since heat dissipation becomes remarkable through the ink, power must be applied to the heating element increases or during heating, the heating response of the heating element occurs lowered.

【0013】絶縁基体としては、表面に熱酸化膜が形成されたシリコン基板のほかに、高熱伝導材料であるアルミニウムを使用しその表面に陽極酸化皮膜を形成したものがあり、また低熱伝導材料からなる絶縁基体として、 [0013] As the insulating substrate, in addition to the silicon substrate a thermal oxide film formed on its surface, there is obtained by forming an anodic oxide film on the surface thereof using the aluminum as the high thermal conductive material, a low thermal conductivity material as consisting of an insulating substrate,
樹脂やガラス、各種セラミックスなどを用いたものが考えられる。 Resin, glass, those using various ceramics can be considered. このうちガラス基体は、近年のディスプレパネルへの使用例により実証されているように、ホトリソグラフィ技術を用いることにより、シリコン基板と比較して安価に、従来のシリコン基板の場合と同等の設計ルールでの配線をパターニングすることができるから、プリンタヘッドを安価に供給する上で有望な材料である。 Among the glass substrate, as demonstrated by the example of using the Recent Display panel, by using a photolithography technique, low cost compared to the silicon substrate, when the same design rules of a conventional silicon substrate since it is possible to pattern the wiring in a promising material in terms of low cost supply printer head.
しかも、ノズル数が増えることによって絶縁基体における機能素子以外の入力配線の占有面積が増大することを考慮すると、高価な基体を支持基体としてのみ使用することはコストからみて不利である。 Moreover, the area occupied by the input wirings other than the functional elements in the insulating substrate by the number of nozzles is increased to consider that increasing, the use of expensive substrates only as a supporting substrate is disadvantageous when viewed from a cost.

【0014】一方で発熱体直下の部分の基体が厚い場合には、この部分が蓄熱層として作用することになって、 [0014] When one is thicker base portion directly below the heating element in, taken that this portion acts as a heat storage layer,
短い繰返し周期で連続してインクを飛翔させることが難しくなり、構造上の工夫が必要となる。 Consecutive becomes difficult to fly ink in a short repetition period, it is necessary to devise structural. また、ポリイミドアミドのような機械的に柔軟な耐熱性樹脂フィルムを絶縁基体として使用した場合には、発泡の圧力を絶縁基体が緩衝することになり、インクへの圧力の伝達効率が低下するという欠点がある。 Further, as in the case where the mechanically flexible heat-resistant resin film such as polyimide amide was used as the insulating substrate, the pressure of the foam will be insulating substrate to buffer, decrease the transmission efficiency of the pressure to the ink there is a drawback.

【0015】本発明の目的は、高速で高精細の印字が可能であり低消費電力であって低コストで製造可能なプリンタヘッドを提供することにある。 An object of the present invention is capable of high-resolution printing at high speed to provide a manufacturable printer head a low cost and low power consumption.

【0016】 [0016]

【課題を解決するための手段】本発明のプリンタヘッドは、絶縁基体と前記絶縁基体上に配置された複数の発熱体とを有し、前記発熱体によって液相状態のインクを加熱し前記インクの気化・膨張する圧力によってインク吐出ノズルからインクを飛翔させて記録を行なうプリンタヘッドにおいて、前記各発熱体ごとに設けられて当該発熱体を内壁面に有し貫通孔として前記インク吐出ノズルが形成され前記インクを一定量保持する圧力容器と、前記各発熱体ごとに当該発熱体による発熱領域の中心部分に設けられインクを充填したインク容器に連通し前記絶縁基体を貫通するよう開口して前記インクを対応する圧力容器に供給するインク供給孔と、を有する。 The printer head of the present invention SUMMARY OF THE INVENTION comprises a plurality of heating elements disposed on the insulating substrate and the insulating substrate, the ink heating ink in the liquid state by the heating element in by ejecting ink droplets from the ink discharge nozzles by vaporization and expansion pressure printer head for performing recording by the ink discharge nozzles as a through hole having a provided the heating element to each of said heating element to the inner wall surface formed of a pressure vessel for a certain amount of holding the ink is, the open to pass through the said insulating base communicating with the ink container with ink filled with provided at the center portion of the heat generating region by the heating element to each heating element having an ink supply hole for supplying the corresponding pressure vessel ink.

【0017】本発明においては、複数の前記圧力容器を一体のものとして構成し、隣接する圧力容器が発熱体の加熱によるインクの熱膨張圧力を相互に隔離する隔壁を共有するようにすることができる。 In the present invention, that a plurality of said pressure vessel and constructed as one body, adjacent the pressure vessel so as to share a partition wall that isolates the thermal expansion pressure of the ink by heating of the heating element to each other it can.

【0018】また、本発明において発熱体としては、通電によって発熱する線状の電気抵抗発熱体を所定のパターンで屈曲させたものが好ましく使用され、この場合、 Further, as the heating element in the present invention, that is bent a linear electrical resistance heating element which generates heat by energization in a predetermined pattern is preferably used, and in this case,
外部の電力供給源から抵抗加熱用の電力を供給するための電極及び配線を発熱体の両端部に接続し、発熱体の表面を電気絶縁層で被覆することが望ましい。 Connect the external electrodes and wiring for supplying electric power for resistance heating from the power supply to the both ends of the heating element, the surface of the heating element it is desirable to coat an electrically insulating layer. さらに、インク供給孔を開口して発熱体の加熱領域の全域を覆うように電気絶縁層上に熱伝導膜を設けることが、インク吐出特性の向上のために望ましい。 Further, it is desirable to improve the ink ejection property of providing a thermally conductive film to the electrically insulating layer so as to cover the entire area of ​​the heating region of the heating element and opens the ink supply hole. 発熱体の屈曲のパターンとしては、例えば、欠落部を有する単リング状、同心円状の折り返し複数重構造を有する概略リング状、蛇行構造を有する概略リング状、連続した同心方形の折り返し複数重構造を有する概略方形状、あるいは蛇行構造を有する概略方形状などを挙げることができ、これらの場合、リングや方形の中心部にインク供給孔が開口するようにする。 As the pattern of bending of the heating element, for example, single ring having a missing part, outline ring having a concentric folded several heavy structure, schematically ring having a serpentine structure, the folded multiple heavy structure of successive concentric square schematic side shape or the like schematically rectangular shape can be exemplified having a meandering structure, having, in these cases, the ink supply holes in the center of the ring and rectangular to so as to open.

【0019】本発明において、インク容器はインク供給孔に連通する限りどのようにも配置することができるが、例えば、絶縁基体の発熱体が設けられていない面にインク容器を形成して、絶縁基体がインク容器の壁の少なくとも一部を構成するようにすることができる。 [0019] In the present invention, the ink container can be arranged in any way as long as it communicates with the ink supply hole, for example, to form an ink container surface on which the heating element is not provided in the insulating substrate, insulating substrate can be made to constitute at least a part of the wall of the ink container. また、発熱体によるインクの加熱効率を高めるために、絶縁基体において発熱体及びインク供給孔が形成される領域の裏面側に、その他の領域に比べて絶縁基体の厚さが薄くなるように、凹部を形成してもよい。 In order to enhance the heating efficiency of the ink by the heating element, on the back side of the region where the heating element and the ink supply hole is formed in the insulating substrate, so that the thickness of the insulating substrate is thinner than the other regions, it may be a recess.

【0020】各圧力容器において、典型的には、インク供給孔とインク吐出ノズルとが対向する。 [0020] In each pressure vessel, typically it is an ink ejection nozzles and the ink supply hole facing. インク吐出ノズルの開口直径は、インク供給孔の開口直径とほぼ同一かインク供給孔の開口直径よりも大きくすることが、望ましい。 Opening diameter of the ink discharge nozzles, be larger than the opening diameter in almost the same or the ink supply hole and the opening diameter of the ink supply holes, desirable. 絶縁基体側からインク吐出ノズルに向って狭まるテーパ構造となっている内壁が圧力容器に設けられているようにしてもよい。 Inner wall has a tapered structure that narrows toward the ink discharge nozzles of an insulating substrate side may be provided on the pressure vessel. また、インクの冷却の観点から、圧力容器の壁のうちインク吐出ノズルを含む部位の壁を金属で形成することができる。 From the viewpoint of the cooling of the ink, the wall of the site containing the ink discharge nozzles of the walls of the pressure vessel can be formed of metal. インク吐出ノズルと被記録媒体との距離を一定に保つために、圧力容器の外壁面に溝を形成し、この溝の底面にインク吐出ノズルが開口するようにしてもよい。 In order to keep the distance between the ink ejection nozzles and the recording medium constant, a groove is formed in the outer wall surface of the pressure vessel, the ink ejection nozzles may be opened in the bottom surface of the groove.

【0021】 [0021]

【発明の実施の形態】本発明のプリンタヘッドは、上述したサイド・シュート・タイプのプリンタヘッドにおいて、各ドットの発熱体ごとにその発熱体のほぼ中心領域となる位置で、インク容器と圧力容器(インク加熱容器)とを連通するインク供給孔を絶縁基体に設けたものである。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION printer head of the present invention, in a side-shoot type printer head described above, in substantially the central region position of the heating element for each heating element of each dot, the ink container and the pressure vessel it is (ink heating vessel) and the ink supply holes communicating those provided in the insulating substrate. そして、典型的には、各圧力容器においてインク供給孔と対向する位置にそれぞれインク吐出ノズルを設け、絶縁基体を隔壁として圧力容器とインク容器とを隣接した配置となっている。 And, typically, each provided with an ink discharge nozzle at a position facing the ink supply holes in each pressure vessel, and an insulating substrate becomes disposed adjacent the pressure vessel and ink container as a partition. 圧力容器はドットすなわちインク吐出ノズルごとに分離されている。 Pressure vessel is separated for each dot or ink ejection nozzles.

【0022】図9は、本発明の好ましい実施の形態における、各ドットごとのインク供給孔4aの周辺を説明する斜視図である。 [0022] Figure 9 is a perspective view illustrating the preferred embodiment of the present invention, the periphery of the ink supply holes 4a for each dot. 絶縁基体3に貫通孔であるインク供給孔4aが設けられており、絶縁基体3の一方の面には、 It is provided with an ink supply hole 4a which is a through-hole in the insulating substrate 3, on one surface of the insulating substrate 3,
インク供給孔4aを取り囲むように、1箇所が欠落した円環(リング)状の発熱体5aが配置している。 So as to surround the ink supply holes 4a, circle one location is missing ring (ring-shaped) heating element 5a is arranged. リングとしての欠落部分をはさんで発熱体5aの両端には、1 At both ends of the heating element 5a across the missing part of the ring, 1
対の金属配線13がそれぞれ接続しており、電気抵抗体である発熱体5aに通電できるようになっている。 Connects the metal wiring 13 in the pair respectively, so that the current can be supplied to the heating element 5a is an electrical resistor.

【0023】従来の技術でも述べたように、より抵抗率が高い発熱体材料を用いることにより、従来の面状の電気抵抗発熱体構造であっても発熱体の小型化が可能であり、より高精細での印字が可能となる。 [0023] As described in the prior art, by using more high resistivity heating element material, is also an electrical resistance heating element structure of a conventional planar can be miniaturized heating elements, and more printing at high resolution is possible. しかしながら、 However,
図9に示す発熱体5aのように線状の構成とすることによって、発熱体の断面積を小さくしかつ発熱体の延長を長くすることができるので、小型かつ高抵抗の発熱体を得ることができる。 By a linear structure as the heat generating element 5a shown in Figure 9, it is possible to increase the extension of the cross-sectional area smaller vital heating element of the heating element, to obtain a heating element small and high resistance can. さらに、インク供給孔4aを発熱体5aの中央に、すなわちインク供給孔4aを取り囲むように発熱体5aを配置することで、後述するように、発熱体5aからインクへの熱の伝達効率を高めることができる。 Further, the center of the heating element 5a of the ink supply holes 4a, i.e. by placing the heating element 5a so as to surround the ink supply holes 4a, as will be described later, increase the heat transfer efficiency to the ink from the heating element 5a be able to. 以上のようにしてプリンタヘッドを構成することにより、従来の発熱体材料を用いた場合であっても、従来よりも小型であってかつ低電力で短時間にインク吐出に必要な熱エネルギーを発生できる発熱体を得ることができる。 By configuring the printer head as described above, even in the case of using the conventional heating material, generating heat energy necessary for a short time ink discharge a smaller than conventional and low-power it is possible to obtain a heating element capable.

【0024】線状の発熱体5aの形状は、単一のリング状に限られるものではなく、同心円状の折り返しリング状や、同一中心の折り返し方形、あるいは蛇行形状、等も用いることができる。 The line shape of the heating element 5a is not limited to a single ring, or concentric wrapping ring, the same center of the folded rectangular or meandering, and the like can also be used. いずれにせよ、発熱体5aの加熱領域の中心上方にインク吐出ノズルが配置されるようにする。 Anyway, so the ink discharge nozzle is disposed above the center of the heating area of ​​the heating element 5a.

【0025】図10(a),(b)は、プリンタヘッドの1ドット分に相当する部分を説明する図であって、絶縁基体3に垂直な平面での断面図である。 FIG. 10 (a), (b) is a diagram illustrating a portion corresponding to one dot of the printer head is a cross-sectional view of a plane perpendicular to the insulating base 3. 絶縁基体3より図示下方側は、インク12が充填されるインク容器に相当する。 Illustrated lower side of an insulating substrate 3 corresponds to the ink container an ink 12 is filled. インク容器は同一色のインクを吐出する複数のインク吐出ノズル7に対して共通に設けられている。 The ink container is provided in common to a plurality of ink discharge nozzles 7 for ejecting ink of the same color. また、 Also,
発熱体5aの表面は、後述するように、硬質の絶縁膜1 Surface of the heating element 5a, as described later, the insulating hard film 1
1によって被覆されている。 It is covered by one. 一方、絶縁基体3より図示上方の部分は、各ドットごとの圧力容器14であり、圧力容器14の壁面のうち絶縁基体3に対向する面に、インク供給孔4aと正対してインク吐出ノズル7が設けられている。 On the other hand, the illustrated portion above the insulating substrate 3 is a pressure vessel 14 for each dot, the surface facing the insulating body 3 of the wall of the pressure vessel 14, the ink discharge nozzle 7 for the positive ink supply holes 4a It is provided.

【0026】図10(a)に示すように、インク供給孔4 As shown in FIG. 10 (a), the ink supply holes 4
aの開口径は従来のプリンタヘッドと同様に極めて小さい。 The opening diameter of a very small as in a conventional printer head. このため、発熱体5aに通電して発熱させると同時に、インク供給孔4a内のインクが気化し、インク供給孔4a内は気体に置換される。 Therefore, simultaneously with the heating by energizing the heating elements 5a, ink is vaporized in the ink supply holes 4a, the ink supply hole 4a is replaced with a gas. また、圧力容器14内で発熱体5aの近傍にあるインク12も発泡して気泡9となり、この気泡9の膨張力(図示矢印)により、圧力容器14内に未気化のインクがインク滴8としてインク吐出ノズル7から突出し、被記録媒体に向って飛翔する。 Also, next to the bubble 9 and the ink 12 is also expanded in the vicinity of the heating element 5a a pressure vessel 14, by the expansion force of the bubble 9 (arrow), ink unvaporized into the pressure vessel 14 as ink droplets 8 protrudes from the ink discharge nozzle 7, it flies toward the recording medium.
発熱体5a上でのインクの発泡は、発熱体5aの全域のインクが気体に置換されるまで継続し、気体による熱絶縁でほぼ気体の膨張は飽和するが、この間にインク滴8 Foaming of the ink on the heating element 5a continues until the ink of the all of the heating element 5a is replaced with a gas, substantially gas expansion in the heat insulating by the gas is saturated, ink droplets 8 during this time
の吐出は終了している。 The discharge has been completed. このプリンタヘッドでは、発熱体5aの発熱と同時に、インク供給孔4aを介してインク容器側に熱が漏洩する経路が気泡9によって遮断されることになり、熱伝導率の小さな気泡9を介してのみ熱が漏洩するので、発熱体5aの発熱時の断熱効果が高められている。 In this printer head, at the same time as the heating of the heating element 5a, resulting in a route of heat leaking to the ink container side through the ink supply hole 4a is blocked by air bubbles 9, through small pores 9 of the thermal conductivity since heat leaks only, the insulating effect of the time of heat generation of the heating element 5a is enhanced. すなわち、本発明のプリンタヘッドにおける発熱体は、圧力容器内のインクのみを加熱、発泡させればよく、従来のプリンタヘッドの発熱体がインク供給管内のインクをも加熱していたことに比べれば、熱効率に優れている。 That is, heating elements of the printer head of the present invention, heat only the ink in the pressure vessel, it is sufficient to foam, compared to the heating element of a conventional printer head had also heat the ink in the ink supply tube , it is excellent in thermal efficiency.

【0027】ところで、インクジェットプリンタのヘッドに見られるような微小サイズの流路においては、加熱発泡による蒸気相の動粘性係数は液相に比べて格段に大きく、質量流量で比較すると蒸気相は液相に比ベて格段に流れにくいことが知られている(例えば、工業技術院機械技術研究所発行、機械研ニュース、No. 3, 199 By the way, in the flow path of the minute size as seen in the inkjet printer head, dynamic viscosity of the vapor phase by heating the foam is much larger than the liquid phase, vapor phase when compared with the mass flow rate liquid phase to have been known to be difficult to flow dramatically Te obtained comparing (for example, Agency of Industrial Science and technology mechanical Engineering Laboratory issued, machinery Research News, No. 3, 199
5年)。 5 years). 図10(a),(b)に示す圧力容器14において、 FIG. 10 (a), the in pressure vessel 14 shown in (b),
インク供給孔4aとインク吐出ノズル7の開口直径及び管長が概略同一である場合は、発熱体5aによる加熱によりインク供給孔4a内が蒸気相となることで、インク吐出ノズル7内の液相状態のインクよりも大きな粘性抵抗がインク供給孔4a側に生じて流体に対する逆止弁のような作用をし、これにより、インクの加熱発泡による膨張圧力はインク吐出ノズル7側にもっぱら向けられることとなって、インクを吐出する上で有利に作用する。 If the opening diameter and tube length of the ink supply holes 4a and the ink discharge nozzle 7 is substantially the same, the ink supply hole 4a by heating with the heating element 5a is that the vapor phase, liquid phase in the ink discharge nozzle 7 and acts like a check valve to fluid caused to the ink supply hole 4a side is a large viscous resistance than the ink, thereby, the expansion pressure due to heating and foaming of the ink and be directed exclusively to the ink discharge nozzle 7 side It is to act advantageously in order to eject ink.

【0028】あるいは、圧力容器14の断面形状を発熱体5a側からインク吐出ノズル7側に狭まるような円錐型のテーパ形状とすることにより、インク吐出孔ノズル7側での流体抵抗を低減すると同時に、同一圧力で押し出す場合には徐々に開口が狭まることによってインク吐出速度が増加し、吐出方向の指向性が改善される。 [0028] Alternatively, by making the cross-sectional shape of the pressure vessel 14 from the heating element 5a side and conical tapered shape as narrowing the ink ejection nozzle 7 side, and at the same time to reduce the fluid resistance in the ink discharge hole nozzle 7 side , the ink ejection speed is increased by gradually the opening is narrowed in the case of extruding the same pressure, the directivity of the ejection direction are improved. さらに、図10(a),(b)において典型的に見られるように、 Further, FIG. 10 (a), the as typically seen (b), the
インク吐出ノズル7の開口直径をインク供給孔4aの開口直径に比ベて大きくして非対称な流路形状すれることにより、インク供給孔4a側の圧力損失に一方向性特性(ダイオード特性)が付加され、気泡の膨張による圧力がインク吐出ノズル7側に集中する。 By the opening diameter of the ink discharge nozzle 7 by increasing Te obtained comparing to the opening diameter of the ink supply holes 4a rub asymmetrical flow passage configuration, the unidirectional characteristics on the pressure loss of the ink supply holes 4a side (diode characteristics) is added, the pressure due to the expansion of the bubble is concentrated on the ink discharge nozzle 7 side. これにより、飛翔中のインク滴の運動エネルギーへの膨張圧力からの変換効率が高められる。 Thus, the conversion efficiency from the inflation pressure to the kinetic energy of the ink droplet in flight is increased.

【0029】一方、発熱体5aの冷却時には、図10 On the other hand, at the time of cooling of the heating element 5a, FIG. 10
(b)に示すように、圧力容器14内の気体が収縮し(図示矢印)、同時に、液相と気相との粘性の差により、インク容器からインク供給孔4a内に液相状態のインク1 As (b), the gas contraction in the pressure vessel 14 (arrow), at the same time, the difference in viscosity between liquid and gas phases, the liquid phase in the ink supply hole 4a from the ink container an ink 1
2が大流量で流入し、これによって圧力容器14内にインクが短時間で充填する。 2 flows in a high flow rate, thereby the ink is filled in a short time into the pressure vessel 14. また、インク容器からのインクの流入により、発熱体5aの冷却速度が早められる。 Further, the inflow of ink from the ink container, the cooling rate of the heating element 5a is advanced.

【0030】ところで、従来の面状の発熱体の場合には、発熱体自体が冷却時には蓄熱体として作用するので、冷却に時間を要する。 By the way, in the case of the conventional planar heating element, since the heating element itself acts as a heat storage body at the time of cooling, it takes time for cooling. 一方、線状の発熱体を用いた場合には、発熱体自体の蓄熱容積が小さい上に、一種のフィン構造とみなせることから、冷却時間を短縮することができる。 On the other hand, in the case of using a linear heating element, on the heat storage capacity of the heating element itself is small, since regarded as a kind of the fin structure, it is possible to shorten the cooling time. したがって、線状の発熱体は、加熱・冷却の応答性に優れ、高精細印字に伴う短い周期でのインク吐出に威力を発揮する。 Thus, the linear heating element is excellent in responsiveness of the heating and cooling is quite useful in ink discharge in a short period due to high-definition printing.

【0031】ここで、インクの吐出量は単一のドットを印字するに要するインクの量と概略同量で、最小限の発泡気体と同容量であるとすると、本発明の構成によれば、発熱体上のインクの最小量もこれと概略同量とすることができ、圧力容器や発熱体の小型化による低消費電力化が可能となる。 [0031] Here, the discharge amount of ink in an amount and approximately the same amount of ink required to print a single dot, when to be minimal foaming gas the same capacity, according to the configuration of the present invention, the minimum amount of ink on the heating element can also be made thereto and approximately the same amount, power consumption can be reduced by miniaturization of the pressure vessel and the heating element. すなわち、発熱体5a上のインクの量を定量とすれば、一定量のインクを加熱発泡により効率よく吐出させることができるようになる。 That is, if the amount of ink on the heating elements 5a and quantification, it is possible to eject efficiently by heating and foaming a quantity of ink.

【0032】上述したように、発熱体5aの表面に絶縁膜11が設けられている。 As indicated above, it is provided an insulating film 11 on the surface of the heating element 5a. 絶縁膜11は、インク12には各種イオンや導電性粒子が混在していることに鑑み、 Insulating film 11, the ink 12 in view of the fact that various ions or conductive particles are mixed,
発熱体5aとインク12が電気的に直接接触して本来加熱に使用すべき電力が漏洩することを防止する目的で配置されている。 Power heating element 5a and the ink 12 is to be used for heating original contact directly electrically are arranged in order to prevent leakage. また、この絶縁膜11の上に、インク供給孔を開口して発熱体5aによる加熱領域の全体を覆うように熱伝導膜を設けてもよい。 Further, on the insulating film 11, the thermally conductive film may be provided so that the ink supply hole opened to cover the entire region heated by the heating element 5a. 熱伝導膜を設けることにより、線状の発熱体からの加熱を面状に均一にすることができるようになるとともに、インクの発泡・収縮による発熱体ヘの圧力衝撃をこの熱伝導膜で緩衝することが可能になり、発熱体の機械的耐久性を向上させることができるようになる。 By providing the thermal conduction film, the buffer heating from the linear heating element with so can be made uniform in a planar shape, a pressure shock of the heating element f due to foaming and contraction of the ink at the heat conducting film it becomes possible to, it is possible to improve the mechanical durability of the heating element. 熱伝導膜は、典型的には金属膜であり、インク12と接触するものであるから発熱体5a Thermally conductive film is typically a metal film, heating element 5a from those in contact with the ink 12
とは電気的に分離している。 It is electrically isolated from the. 線状の発熱体が折り返して形成されている場合には、隣接する発熱体間の隙間を絶縁膜を介して埋めるような面状の熱伝導膜とするとよい。 When the linear heating element is formed by wrapping, the gap between the adjacent heating elements may be a surface-like heat-conducting membrane, such as to fill via an insulating film.

【0033】ところで、発熱体5aに通電することによって発生した熱は、圧力容器14方向と絶縁基体3方向に伝わるが、絶縁基体3が厚いと絶縁基体3がヒートシンクとして機能し、インクへの熱伝達効率が低下する。 By the way, heat generated by energizing the heating element 5a is transmitted to the pressure vessel 14 direction and the insulating substrate 3 direction and the insulating base 3 is thick insulating base 3 acts as a heat sink, heat to ink transmission efficiency is lowered.
そこで、発熱体5aの直下の部位の絶縁基体3の厚さを、機械的強度に耐え、かつ短時間のインク加熱に必要な熱を断熱する程度に最適に薄くすることが考えられる。 Therefore, a portion of the thickness of the insulating base 3 immediately under the heating elements 5a, withstand the mechanical strength, and it is considered to optimally thin enough to heat insulation necessary for a short time ink heating. このように構成することで、絶縁基体3の裏面がインク容器内のインク12と常時接していることから、絶縁基体3がヒートシンクとなることを避けることができる。 With this configuration, since the back surface of the insulating substrate 3 is in contact at all times with the ink 12 in the ink container, it can be avoided insulating substrate 3 becomes a heat sink. 発熱体5aの直下の部位で絶縁基体3を薄くすることは、インク供給孔4と連なるような溝ないし凹部を絶縁基体3の裏面に形成することで実現される。 Thinning the insulating substrate 3 at the site just below the heating element 5a is a groove or recess like communicating with the ink supply hole 4 is realized by forming the back surface of the insulating substrate 3.

【0034】このプリンタヘッドでは、上述したように、インク吐出ノズル7ごとに圧力容器14が分離しているから、隣接する圧力容器14間には隔壁が存在することになる。 [0034] In this printer head, as described above, since the pressure vessel 14 to each ink discharge nozzle 7 is separated, so that the partition wall is present between the adjacent pressure vessel 14. この隔壁は、発熱体によって発生した熱をインクのみに効率よく伝達する観点から、熱絶縁性材料で構成すことが好ましい。 This partition, the heat generated by the heating element from the viewpoint of efficiently transmitted only to the ink, it is preferable to configure a thermal insulating material. また、圧力容器14は、ガラスや耐熱樹脂等の材料をホトリソグラフィ技術を用いて加工したり、切削加工あるいはモールド加工により形成できる。 Further, the pressure vessel 14, a material such as glass or heat-resistant resin or processed using the photolithography can be formed by cutting or molding process. さらに、圧力容器14においてインク吐出ノズル7を含む面の壁材料として金属等の熱伝導性の材料を用いることにより、蓄熱を回避でき、かつ、インク吐出後に大気による圧力容器内のインクの冷却を促進できるようになり、より短時間で圧力容器内の発熱体とインクを冷却することが可能になる。 Further, by using a thermally conductive material such as metal as the wall material of the surface including the ink discharge nozzle 7 in the pressure vessel 14, it can avoid heat accumulation, and the cooling of the ink in the pressure vessel due to the atmosphere after the ink ejection will be able to promote, it is possible to cool the heating element and the ink in the pressure vessel in a shorter time.

【0035】 [0035]

【実施例】次に、実施例によって本発明をさらに詳しく説明する。 EXAMPLES Next, will be explained in more detail by way of examples the invention.

【0036】《実施例1》図1は、本発明の実施例1のインクジェットプリンタヘッドの断面構造を示している。 [0036] "Embodiment 1" Fig. 1 shows a sectional structure of the ink jet printer head according to a first embodiment of the present invention. このプリンタヘッド1では、ガラス製の絶縁基体3 In the printer head 1, a glass insulating substrate 3
を用いており、絶縁基体3の表面には、複数の円形の貫通孔を有するBSG(borosilicate glass;ホウケイ酸ガラス)膜14aが積層している。 And using, on the surface of the insulating base 3, BSG having a plurality of circular through-holes (borosilicate Glass; borosilicate glass) film 14a is stacked. BSG膜14aの各貫通孔の内部であって絶縁基体3の表面には、それぞれ、リング状の発熱体5aが設けられている。 Inside the a the surface of the insulating base 3 of the through holes of the BSG film 14a, respectively, is provided with a ring-shaped heating element 5a. 各発熱体5aの表面は窒化シリコン(SiN)あるいはBSGなどからなる電気絶縁性の絶縁膜11で被覆され、さらに、絶縁膜11の表面には金属製の熱伝導膜15が設けられている。 The surface of each heating element 5a is covered with an electrically insulating property of the insulating film 11 made of silicon nitride (SiN) or BSG, further on the surface of the insulating film 11 thermally conductive film 15 made of metal is provided. リング状の発熱体5aの中心部分に対応して、絶縁基板3には貫通孔であるインク供給孔4aが形成されている。 Corresponding to the center portion of the ring-shaped heating element 5a, the insulating substrate 3 ink supply hole 4a which is a through hole is formed. そして、BSG膜14aには、アルミニウム膜などで構成された金属膜16が積層し、金属膜1 Then, the BSG film 14a, a metal film 16 made of a aluminum film is laminated, the metal film 1
6には、インク供給孔4aに正対する位置に、貫通孔であるインク吐出ノズル7が形成されている。 The 6, the position facing the ink supply holes 4a, the ink discharge nozzle 7 is formed a through-hole. このように構成することにより、絶縁基体3を底面とし、BSG膜14aを側面とし、金属膜16を頂面とする圧力容器1 With this configuration, the insulating base 3 and the bottom surface, a BSG film 14a and the side surface, the pressure vessel 1 to the metal film 16 and the top surface
4が、インク吐出ノズル7ごとに形成されたことになる。 4, will have been formed for the respective ink discharge nozzle 7.

【0037】一方、絶縁基体3の裏面側には、各インク吐出ノズル7に共通のプラスチック製のインク容器2が接着されている。 On the other hand, in the back surface side insulating substrate 3, the ink container 2 made of common plastic to each of the ink ejection nozzle 7 is bonded. そして、絶縁基体3の裏面側であって少なくとも発熱体5aの直下の部位は凹部3aとなっており、機械的強度を保ちながら、発熱体5aの直下の部位での絶縁基体3の厚さを最適に薄くしている。 The site immediately below at least the heating element 5a a back surface side of the insulating base 3 has a recess 3a, while maintaining the mechanical strength, the thickness of the insulating base 3 at the site just below the heating element 5a of It is optimally thin.

【0038】次に、このプリンタヘッド1の製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing of the printer head 1.

【0039】まず、ガラス製の絶縁基体3の表面にTa [0039] First of all, Ta on the surface of the glass of the insulating base 3
N薄膜をスパッタリング成膜してパターニングし、上述の図9に示したような外径40μm、線幅10μmの一部欠損したリング状の発熱体5aを形成する。 The N film is patterned by sputtering, the outer diameter 40μm as shown in FIG. 9 described above form part deficient ring-shaped heating element 5a of the line width 10 [mu] m. さらに、 further,
アルミニウム薄膜を成膜してパターニングし、発熱体5 The aluminum thin film was deposited and patterned, the heating element 5
aの両端に金属配線13(図9参照)を形成する。 Forming a metal wiring 13 (see FIG. 9) at both ends of a.

【0040】次に、窒化シリコン(SiN)あるいはホウケイ酸ガラス(BSG)などの膜を熱CVD法で成膜してパターニングすることによって絶縁膜11を形成し、次いでその表面にステンレス膜等の高温耐熱性を有する金属製の膜を成膜してパターニングすることにより、熱伝導膜15を形成する。 Next, a film such as a silicon nitride (SiN) or borosilicate glass (BSG) to form an insulating film 11 by patterning by depositing by thermal CVD, and then the high-temperature stainless steel film or the like on the surface thereof by patterning by forming a metal film having heat resistance, to form a thermally conductive film 15. このようにして、少なくとも発熱体5aの加熱領域を絶縁膜11と熱伝導膜15 In this manner, insulating the heating region of at least the heating element 5a film 11 and the heat conducting layer 15
で被覆するようにする。 In so as to cover. その際、リング状の発熱体5a At that time, the ring-shaped heating element 5a
の中心開口部、すなわちインク供給孔4aが形成されるべき部位には、絶縁膜や熱伝導膜が形成されないようにする。 Central opening, that the site where the ink supply holes 4a are formed, so that the insulating film and the heat-conducting film is not formed.

【0041】このように発熱体5a、絶縁膜11及び熱伝導膜15が形成された絶縁基体3に対し、例えば10 The heating elements 5a Thus, with respect to the insulating substrate 3 insulating film 11 and the heat conduction layer 15 is formed, for example, 10
μmの厚さでBSG膜14aを成膜する。 Forming a BSG film 14a in a thickness of [mu] m. そののち、発熱体5aと同心円であって熱伝導膜15及び絶縁基体3 After that, the heating element 5a and a concentric heat conducting layer 15 and the insulating substrate 3
の表面にまで達する開口がBSG膜14aに形成されるように、BSG膜14aをパターニングして開口となるべき部位をエッチング除去する。 Opening reaching the surface of such is formed in the BSG film 14a, the portion to be the opening by patterning a BSG film 14a is removed by etching. さらに、レジスト膜(図示せず)を全面に塗布し、塗布されたレジスト膜の表面がBSG膜14aに達するまで、CMP(化学機械的研磨)法によって平坦化処理を行なう。 Furthermore, a resist film (not shown) is applied to the entire surface, to the surface of the applied resist film reaches a BSG film 14a, performing planarization process by CMP (chemical mechanical polishing) method. これにより、 As a result,
発熱体を内蔵した開口部、すなわち圧力容器14の内容積部分となるべき部位のみが、レジストにより平坦に充填されたことになる。 Opening with a built-in heating element, i.e. only the portion to become the internal volume portion of the pressure vessel 14, will have been flattened filled with resist. なお、BSG膜14aの代りに、 Instead of BSG film 14a,
SiN膜などを用いるようにしてもよい。 It may be used such as SiN film.

【0042】以上のようにレジストによって開口部がレジストで充填されたBSG膜14aの表面に、アルミニウムなどの金属膜16を成膜する。 The above opening by the resist, as is the surface of the BSG film 14a which is filled with the resist, a metal film 16 such as aluminum. 一方、ガラス製の絶縁基体3の裏面側においては、機械加工によって、発熱体5aの直下の位置での絶縁基体3の厚さが50μmになるように、この位置に凹部3aを形成する。 On the other hand, the rear surface side of the glass insulating substrate 3, by machining, the thickness of the insulating base 3 at a position directly below the heating element 5a is such that the 50 [mu] m, to form a recess 3a in this position. 凹部3a The recess 3a
の最小幅は、発熱体5aの外径とする。 Minimum width of, the outer diameter of the heating element 5a.

【0043】次に、レーザビーム加工を用いて、発熱体5aの中心の位置に、絶縁基体3の裏面側から直径10 Next, using a laser beam machining, the position of the center of the heating element 5a, the diameter 10 from the back side of the insulating base 3
μmのインク供給孔4aを開口し、同様に、金属膜16 Opening the ink supply holes 4a of [mu] m, as well, the metal film 16
側から直径20μmのインク吐出孔7を開口する。 To open the ink discharge hole 7 with a diameter of 20μm from the side. その後、BSG膜14aの開口の内部に残留するレジストを溶解して排出し、圧力容器14を形成する。 Then, discharged by dissolving the resist remaining within the opening of the BSG film 14a, to form a pressure vessel 14.

【0044】インク吐出ノズル7は、千鳥格子状に配置されている。 The ink discharge nozzles 7 are arranged in a staggered pattern. インク吐出ノズル7の各列でのピッチは8 Pitch in each row of the ink ejection nozzle 7 8
0μmとし、隣接する列間でインク吐出ノズルの相対位置を40μmずらして形成することで、600dpiのプリンタヘッドが構成される。 And 0 .mu.m, by forming shifted 40μm the relative position of the ink discharge nozzles between adjacent rows, it is constituted 600dpi printer head. 同様に、3列以上を周期としてインク吐出ノズルの相対位置をずらせば、さらに高精細のプリンタへッドを形成できることはいうまでもない。 Similarly, shifting the relative positions of the ink discharge nozzles of the above three rows as a cycle, can of course be formed a further head to a high-definition printer.

【0045】最後に、絶縁基体3の裏面にプラスチック製のインク容器2を接着し、インク容器2内にインクを充填する。 [0045] Finally, to adhere the ink container 2 of plastic to the back surface of the insulating base 3, to fill the ink into the ink container 2. 絶縁基体3上の各発熱体5aは、絶縁基体上に実装されたシフトレジスタIC(不図示)に金属配線13(図9参照)を介して接続され、信号端子(不図示)を介してプリンタ本体(不図示)のドライバ、CP Each heating element 5a on the insulating substrate 3 is connected through a metal wire 13 (see FIG. 9) to the shift register IC mounted on an insulating substrate (not shown), via a signal terminal (not shown) Printer the driver of the body (not shown), CP
U、電源等に接続される。 U, is connected to the power supply or the like.

【0046】《実施例2》次に、上述の実施例1での製造工程の一部を変更して作製されるプリンタヘッドについて、図2を用いて説明する。 [0046] "Example 2" Next, the printer head is manufactured by changing a part of the manufacturing process in Example 1 above, will be described with reference to FIG.

【0047】絶縁基体3上への発熱体5a、絶縁膜11 The heating elements 5a onto the insulating substrate 3, an insulating film 11
及び熱伝導膜15の形成、パターニングまでは、実施例1と同様に実行する。 And forming the heat conducting layer 15, to the patterning is performed in the same manner as in Example 1. そして、絶縁基体3に、裏面側の凹部3aとインク供給孔4a(レーザビームなどで加工)を形成しておく。 Then, the insulating base 3, keep the recess 3a and the ink supply holes 4a of the back side (processed by such as a laser beam). 一方、ガラスあるいは耐熱性樹脂などからなるカバー板17を用意し、このカバー板17 On the other hand, providing a cover plate 17 made of glass or a heat resistant resin, the cover plate 17
に、圧力容器14となるべき円筒形状のくぼみをモールド加工などによって形成し、インク吐出ノズル7をレーザビーム加工などによって形成する。 In the recess of the cylindrical shape to the pressure vessel 14 is formed by a molding process to form the ink discharge nozzle 7 by laser beam machining. そして、接着剤1 Then, adhesive 1
8を用い上述のように加工された絶縁基体3とカバー板17とを接着し、さらにはインク容器2を取り付けることによって、プリンタヘッドが完成する。 8 bonds the processed insulating base 3 and the cover plate 17 as described above with, further by attaching the ink container 2, the printer head is completed. なお、インク供給孔4aあるいはインク吐出ノズル7の加工には、上述のレーザビーム加工のほかに、金属マスクを用いた反応性イオンエッチング(RIE)や光励起ドライエッチング法を用いてもよい。 Incidentally, the processing of the ink supply holes 4a or ink discharge nozzle 7, in addition to the laser beam processing described above, may be used reactive ion etching (RIE) or photoexcitation dry etching method using a metal mask.

【0048】《実施例3》本発明に基づくプリンタヘッドにおいて、絶縁基体上に設けられる線状の発熱体の形状は、上述の単リング状のものに限られない。 [0048] In the printer head based on "Example 3" The present invention, the shape of the heating element line-shaped provided on an insulating substrate is not limited to the shape single ring described above. 例えば、 For example,
図3(a)〜(d)にそれぞれ示すように、同心多重リング状、同心多重方形状、放射リング状、蛇行状などの種々の形状とすることができる。 As shown in FIGS. 3 (a) ~ (d), may be concentric multiple ring-shaped, concentric multiple rectangular shape, the radiation ring, and various shapes such as a meandering shape to. いずれの形状であっても、 It is in any form,
ホトリソグラフィ技術を用いることにより、簡単に形成することができる。 The use of photolithography, can be easily formed. また、発熱体の線幅は、上述の実施例1では例えば10μmであり、3μmの設計ルールで十分に再現可能なものである。 Further, the line width of the heating element is an example 1, for example, 10μm above, is sufficient to reproducible 3μm design rules. いずれの場合であっても、インク吐出ノズル7が、発熱体の加熱領域の中央上方に位置することが好ましい。 In any case, the ink discharge nozzle 7 is preferably located above the center of the heating area of ​​the heating element.

【0049】《実施例4》図4に示すように、インク供給孔4aを発熱体5aの加熱領域外に設けることも可能である。 [0049] "Example 4" as shown in FIG. 4, it is also possible to provide an ink supply holes 4a outside the heating region of the heating element 5a. この場合には、圧力容器14を二円連結形状とし、インクに対する加圧空間の大きさを最小限にすることが好ましい。 In this case, the pressure vessel 14 and circularly linking shape, it is preferable to minimize the size of the pressurized space to the ink.

【0050】《実施例5》圧力容器14の形状は円筒状のものに限られず、例えば、絶縁基体3側に広がりインク吐出ノズル7側に狭まったテーパ形状のものとすることができる。 The shape of the "Example 5" pressure vessel 14 is not limited to cylindrical, for example, may be of a tapered shape that narrows to the ink discharge nozzle 7 side spreads in the insulating substrate 3 side. 図5はこのようなテーパ形状の内壁19を備えた圧力容器14を有するプリンタヘッドを示している。 Figure 5 shows a printer head having a pressure vessel 14 having an inner wall 19 having such a tapered shape. このプリンタヘッドは、実施例2と同様の手順で、 The printer head, in the same manner as in Example 2,
ただし、テーパ形状の内壁19を有するようにカバー板17にくぼみを形成することにより、容易に実現することができる。 However, by forming a recess in the cover plate 17 so as to have an inner wall 19 of the tapered shape can be easily realized.

【0051】《実施例6》図6に示すプリンタヘッドは、実施例2で説明したプリンタヘッドにおいて、カバー板17の厚さを大きくするともに、カバー板17の被記録媒体20側の面に溝17aを形成し、この溝17a [0051] "Example 6" printer head shown in FIG. 6, the grooves in the printer head described in Example 2, both to increase the thickness of the cover plate 17, the surface of the recording medium 20 side of the cover plate 17 17a is formed, the groove 17a
以外の平坦面に被記録媒体20を密着させ、この被記録媒体20を溝17aの長手方向と垂直な方向に移動させ、被記録媒体20とインク吐出ノズル7との距離を一定に保とうとするものである。 Are brought into close contact with the recording medium 20 on the flat surface of the other, the recording medium 20 is moved in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the grooves 17a, to try to keep constant the distance between the recording medium 20 and the ink discharge nozzle 7 it is intended. インク吐出ノズル7は、 Ink discharge nozzle 7,
溝17aの底面に開口するようにした。 And so as to open the bottom surface of the groove 17a. なお、カバー板17をモールド加工で加工するのであれば、圧力容器1 Incidentally, if the processing of the cover plate 17 in the mold processing, the pressure vessel 1
4に対応するくぼみと溝17aとをカバー板17の表裏面に同時加工、形成することも可能である。 Co-processed with corresponding recesses and grooves 17a in 4 on the front and back surfaces of the cover plate 17, can be formed.

【0052】このプリンタヘッドでは、インクの飛翔距離(すなわち、インク吐出ノズル7と被記録媒体20表面との距離)を溝17aの深さにより規定することが出来ることから、飛翔したインク滴8の被記録媒体への衝突時の形状を一定にすることが出来る。 [0052] In this printer head, the flying distance of the ink (i.e., the ink discharge nozzle 7 the distance between the recording medium 20 surface) from being able to define the depth of the groove 17a, the flying of the ink droplet 8 it can be constant shape at the time of collision to a recording medium. また、インク滴8の飛翔空間がカバー板17と被記録媒体20とによって閉塞されているから、気流等の外乱要因による飛翔方向の乱れを防止することができ、プリンタヘッドの高精細化に伴う微小なインク滴の転写、印字に効果を発揮する。 Also, because there is flying space of the ink droplet 8 is closed by a cover plate 17 with the recording medium 20, it is possible to prevent the disturbance of the flying direction due to disturbance factors airflow such, due to the higher resolution of the printer head transfer of minute ink droplets, is effective in printing.

【0053】 [0053]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、各ドットの発熱体ごとにその発熱体のほぼ中心領域となる位置において、インク容器と圧力容器(インク加熱容器)とを連通するインク供給孔を絶縁基体に設けることにより、 The present invention as described in the foregoing is substantially in the central region position, the ink supply hole communicating the ink container and the pressure vessel (ink heating container) of the heating element for each heating element of each dot by providing an insulating substrate,
従来の発熱体材料を用いても、隣接印刷ドット間隔を微小にすることが可能になり、小型で高精細なプリンタヘッドを低コストで製造できるようになるという効果がある。 Even using conventional heating element material, it is possible to adjacent printed dot interval in the minute, there is an effect that it becomes possible to manufacture a high-definition printer head at a low cost with a small size. また、線状の発熱体を用いることにより、発熱体の膜厚を極端に薄くすることなく高電気抵抗の発熱体とすることができるので、プリンタヘッドの消費電力を低減でき、これによって、プリンタ本体の電源負荷を低減して長時間稼働可能な携帯型プリンタを実現することが可能になる。 Further, by using a linear heating element, can be the heating element of the high electrical resistance without excessively reduce the thickness of the heating element, it can reduce the power consumption of the printer head, thereby, the printer it is possible to realize a long-operable portable printer to reduce the power load of the body. また、本発明には、高精細印字において、気流などの外乱による乱れの排除や、飛翔インク滴の形状制御も可能であるという効果もある。 Further, the present invention provides a high-resolution printing, there disturbance elimination or due to disturbance such as airflow, the effect that it is possible shape control of flying ink droplets.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】実施例1のプリンタヘッドの断面構造を示す一部破断斜視図である。 1 is a partially broken perspective view showing the sectional structure of the printer head in Example 1.

【図2】実施例2でのプリンタヘッドの製造工程を示す図である。 2 is a diagram showing a manufacturing process of the printer head in the second embodiment.

【図3】(a)〜(d)は、それぞれ、線状の発熱体の形状の示す平面図である。 [3] (a) ~ (d) are plan views showing the shapes of the linear heating element.

【図4】実施例4のプリンタヘッドでのインク供給孔の位置を説明する図である。 4 is a diagram illustrating the position of the ink supply holes in the printer head in Example 4.

【図5】テーパ状の圧力容器を有するプリンタヘッドを示す一部破断斜視図である。 5 is a partially broken perspective view showing a printer head having a tapered pressure vessel.

【図6】実施例6のプリンタヘッドの断面構成を示す一部破断斜視図である。 6 is a partially broken perspective view showing a cross-sectional view of a printer head of Example 6.

【図7】従来のサイド・シュート・タイプのプリンタヘッドの断面構造を説明する一部破断斜視図である。 [7] The sectional structure of the conventional side-shoot type printer head illustrating a partially broken perspective view.

【図8】従来のエッジ・シュート・タイプのプリンタヘッドの断面構造を説明する一部破断斜視図である。 [8] The cross-sectional structure of a conventional edge-shoot type printer head illustrating a partially broken perspective view.

【図9】インク供給孔とリング状の発熱体の基本的な構造を説明する斜視図である。 9 is a perspective view illustrating the basic structure of the ink supply hole and a ring-shaped heating element.

【図10】圧力容器内でのインクの挙動を説明する図であって、(a)は加熱時を説明する断面図、(b)は冷却時を説明する断面図である。 [Figure 10] A diagram for explaining the behavior of the ink in the pressure vessel, a cross-sectional view sectional view, (b) is to explain the cooling describing the time (a) is heated.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 プリンタヘッド 2 インク容器 3 絶縁基体 4,4a インク供給管 5,5a 発熱体 6 インク加熱容器 7 インク吐出ノズル 8 インク滴 9 気泡 10 土手 11 絶縁膜 12 インク 13 配線 14 圧力容器 15 熱伝導膜 16 金属膜 17 カバー板 18 接着剤 19 内壁 20 被記録媒体 1 printer head 2 ink container 3 insulating substrate 4,4a ink supply tube 5,5a heating element 6 ink heating container 7 ink discharge nozzles 8 ink droplets 9 bubbles 10 bank 11 insulating film 12 Ink 13 wiring 14 pressure vessel 15 thermally conductive film 16 metal film 17 cover plate 18 adhesive 19 inner wall 20 of the recording medium

Claims (13)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 絶縁基体と前記絶縁基体上に配置された複数の発熱体とを有し、前記発熱体によって液相状態のインクを加熱し前記インクの気化・膨張する圧力によってインク吐出ノズルからインクを飛翔させて記録を行なうプリンタヘッドにおいて、 前記各発熱体ごとに設けられて当該発熱体を内壁面に有し貫通孔として前記インク吐出ノズルが形成され前記インクを一定量保持する圧力容器と、 前記各発熱体ごとに当該発熱体による発熱領域の中心部分に設けられインクを充填したインク容器に連通し前記絶縁基体を貫通するよう開口して前記インクを対応する圧力容器に供給するインク供給孔と、を有することを特徴とするプリンタヘッド。 [Claim 1 further comprising a plurality of heating elements disposed on the insulating substrate and the insulating substrate, the ink discharge nozzles by pressure vaporization and expansion of the ink by heating the ink in the liquid state by the heating element in the printer head for performing recording by ejecting ink, and said ink ejection nozzles are formed pressure vessel for a certain amount of holding the ink as the heating elements each provided with a through hole having the heating element to the inner wall surface , an ink supply which supplies an opening to said ink to penetrate said insulating base ink provided in the central portion communicates with the ink container filled of the heat generating region by the heating element to each heating element in the corresponding pressure vessel printer head and having a bore, a.
  2. 【請求項2】 複数の前記圧力容器が一体のものとして構成され、隣接する圧力容器が前記発熱体の加熱によるインクの熱膨張圧力を相互に隔離する隔壁を共有する請求項1に記載のプリンタヘッド。 Wherein a plurality of said pressure vessel is configured as one body, according to claim 1 adjacent pressure vessels share the partition wall that isolates the thermal expansion pressure of the ink by the heating of the heating element mutually printer head.
  3. 【請求項3】 前記発熱体が通電によって発熱する線状の電気抵抗発熱体を所定のパターンで屈曲させたものであり、外部の電力供給源から抵抗加熱用の電力を供給するための電極及び配線が前記発熱体の両端部に接続され、前記発熱体の表面が電気絶縁層で被覆されている請求項1または2に記載のプリンタヘッド。 3. A are those wherein heating element is bent in a predetermined pattern a linear electrical resistance heating element which generates heat by energization, and electrodes for supplying power for resistance heating from an external power supply source wires connected to both ends of the heating element, the printer head according to claim 1 or 2 the surface of said heating element is coated with an electrically insulating layer.
  4. 【請求項4】 前記インク供給孔を開口して前記発熱体の加熱領域の全域を覆うように、電気絶縁層上に熱伝導膜が設けられている請求項3に記載のプリンタヘッド。 Wherein said ink supply hole such that the opening to cover the entire area of ​​the heating region of the heating element, the printer head according to claim 3, heat conductive membrane to an electrical insulating layer is provided.
  5. 【請求項5】 前記絶縁基体の前記発熱体が設けられていない面に前記インク容器が形成され、前記絶縁基体が前記インク容器の壁の少なくとも一部を構成する請求項1乃至4いずれか1項に記載のプリンタヘッド。 Wherein said ink container to said surface on which the heating element is not provided in the insulating substrate is formed, any one of claims 1 to 4 wherein the insulating substrate constituting at least a part of the wall of the ink container 1 the printer head according to claim.
  6. 【請求項6】 前記発熱体の形状が欠落部を有するリング状であり、リングの中心部に前記インク供給孔が開口する請求項1または2に記載のプリンタヘッド。 6. a ring shape having the shape of the heating element is missing portion, the printer head according to claim 1 or 2, wherein the ink supply hole in the center of the ring is open.
  7. 【請求項7】 前記発熱体の形状が、連続した同心円状の折り返し複数重構造あるいは蛇行構造を有する概略リング状であり、リングの中心部に前記インク供給孔が開口する請求項1または2に記載のプリンタヘッド。 The shape of wherein said heating element is a schematic ring having a continuous concentric wrapping multiple heavy structure or meander structure to claim 1 or 2, wherein the ink supply hole in the center of the ring is open the printer head as claimed.
  8. 【請求項8】 前記発熱体の形状が、連続した同心方形の折り返し複数重構造あるいは蛇行構造を有する概略方形状であり、前記方形の中心部に前記インク供給孔が開口する請求項1または2に記載のプリンタヘッド。 The shape of wherein said heating element is a schematic side shape having a continuous folded more heavy structures or meander structure of concentric rectangular claim 1 or 2, wherein the ink supply hole in the center of the square is open the printer head as claimed in.
  9. 【請求項9】 前記インク吐出ノズルの開口直径が、前記インク供給孔の開口直径とほぼ同一か前記インク供給孔の開口直径よりも大きい、請求項1または2に記載のプリンタヘッド。 9. opening diameter of the ink discharge nozzle is larger than the opening diameter in almost the same whether the ink supply hole and the opening diameter of the ink supply hole, the printer head according to claim 1 or 2.
  10. 【請求項10】 前記絶縁基体において前記発熱体及び前記インク供給孔が形成される領域の裏面側には、その他の領域に比べて前記絶縁基体の厚さが薄くなるように、凹部が形成されている請求項1乃至9いずれか1項に記載のプリンタヘッド。 10. A back side of the region where the heating element and the ink supply hole in the insulating substrate is formed, as the thickness of the insulating substrate becomes thinner than the other regions, the recess is formed and which claims 1-9 or 1 printer head according to paragraph.
  11. 【請求項11】 前記圧力容器の壁のうち前記インク吐出ノズルを含む部位の壁が金属で形成されている請求項1乃至10いずれか1項に記載のプリンタヘッド。 11. The printer head according to claim 1 1 wherein 10 or wall portions are formed of a metal including the ink discharge nozzles of the walls of the pressure vessel.
  12. 【請求項12】 前記絶縁基体側から前記インク吐出ノズルに向って狭まるテーパ構造となっている内壁が前記圧力容器に設けられている請求項1乃至11いずれか1 12. The one said insulating claims inner wall from the base side has a tapered structure that narrows toward the ink discharge nozzles are provided in the pressure vessel 1 through 11 1
    項に記載のプリンタヘッド。 The printer head according to claim.
  13. 【請求項13】 前記圧力容器の外壁面に溝が形成され、前記溝の底面に前記インク吐出ノズルが開口する請求項1乃至12いずれか1項に記載のプリンタヘッド。 Wherein said groove is formed on the outer wall surface of the pressure vessel, the printer head according to any one of claims 1 to 12 wherein the ink ejection nozzles on the bottom surface of the groove are opened.
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