JPH0942970A - Geomagnetic azimuth sensor - Google Patents

Geomagnetic azimuth sensor

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Publication number
JPH0942970A
JPH0942970A JP7196407A JP19640795A JPH0942970A JP H0942970 A JPH0942970 A JP H0942970A JP 7196407 A JP7196407 A JP 7196407A JP 19640795 A JP19640795 A JP 19640795A JP H0942970 A JPH0942970 A JP H0942970A
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JP
Japan
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magnetic field
elements
direction sensor
geomagnetic
magnetic
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Withdrawn
Application number
JP7196407A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiro Shinoda
和宏 篠田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0942970A publication Critical patent/JPH0942970A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor, which can improve the working accuracy and which can be miniaturized and of which the cost can be reduced and which has a high detecting sensitivity, by providing magneto resistive(MR) elements on a gap so as to nearly cross the magnetic field direction in a magnetic gap of a core made of the ferromagnetic body. SOLUTION: Ferromagnetic body cores K1 , K2 made of ferrite or the like are made to abut on each other in each joining surface S so as to be formed into the square shape. The cores K1 , K2 are formed with gaps G1 , G2 and G3 , G4 made of the glass material, and each RM element M1 -M4 is formed on the gap. Exciting coils C1 , C2 made of Cu are wound around the cores K1 , K2 at a central part thereof, and the bias magnetic field is applied to the MR elements M1 -M4 . The bias magnetic field respectively displaced at 180 degree is applied to the X direction detecting MR elements M1 , M2 and the Y direction detecting MR element M3 , R4 . Resistance value of the MR elements M1 -M4 is changed by the intensity of the magnetic field, and they have the excellent ability for sensing the weak magnetic field.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、バイアス電流を供
給することにより発生するバイアス磁界を利用して地磁
気方位を測定する地磁気方位センサに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a geomagnetic direction sensor that measures a geomagnetic direction by utilizing a bias magnetic field generated by supplying a bias current.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、カラー陰極線管では、電子銃か
ら出射された電子ビームの軌道が、地磁気により曲げら
れ、蛍光面上でのビーム到達位置(ランディング)が変
化することがある。特に高精細度陰極線管においては、
ランディング余裕度が小さいために、前記ランディング
の変化(位置ずれ)が色純度の劣化等の問題を引き起こ
す。
2. Description of the Related Art For example, in a color cathode ray tube, the trajectory of an electron beam emitted from an electron gun may be bent by geomagnetism, and the beam arrival position (landing) on the fluorescent screen may change. Especially in high definition cathode ray tubes,
Since the landing margin is small, the landing change (positional shift) causes a problem such as deterioration of color purity.

【0003】これを補正するために、通常、ランディン
グ補正コイルが陰極線管に取り付けられており、このラ
ンディング補正コイルに地磁気の方位に応じて自動的に
ランディング補正に必要な最適電流を流すことにより、
電子ビームの軌道を制御してミスランディングを防止す
るようにしている。
To correct this, a landing correction coil is usually attached to the cathode ray tube, and an optimum current necessary for landing correction is automatically supplied to the landing correction coil according to the direction of the earth's magnetism.
The trajectory of the electron beam is controlled to prevent mislanding.

【0004】したがって、上記ランディング補正に際し
ては、地磁気の方位を正確に検出する必要があり、いわ
ゆる地磁気方位センサが使用されている。
Therefore, in the landing correction, it is necessary to accurately detect the azimuth of geomagnetism, and a so-called geomagnetic azimuth sensor is used.

【0005】あるいは、従来から用いられてきた磁石式
の方位計(磁気コンパス)の代替として、携帯型の方位
計としても地磁気方位センサが使用されている。
Alternatively, as an alternative to the conventionally used magnet type compass (magnetic compass), a geomagnetic compass sensor is also used as a portable compass.

【0006】上述のように、地磁気方位センサは、様々
な用途に使用されるが、その代表的な構造としては、い
わゆるフラックスゲート型のものと、磁気抵抗効果型
(MR型)のものが知られている。
As described above, the geomagnetic direction sensor is used for various purposes, and its typical structure is known as a so-called fluxgate type or magnetoresistive type (MR type). Has been.

【0007】フラックスゲート型の地磁気方位センサ
は、図8に示すように、パーマロイコア101に電気信
号出力用コイル102と励磁用コイル103を巻回して
なるものであり、地磁気を前記パーマロイコアで集束
し、これを電気信号出力用コイル102に伝えるような
構造とされている。
As shown in FIG. 8, the fluxgate type geomagnetic direction sensor comprises a permalloy core 101 around which an electric signal output coil 102 and an excitation coil 103 are wound, and the geomagnetism is focused by the permalloy core. However, the structure is such that this is transmitted to the electric signal output coil 102.

【0008】そして、この地磁気方位センサでは、励磁
コイル103に交流バイアス電流を供給することによっ
て交流バイアス磁界HB をパーマロイコア101中に発
生させ、バイアス磁界が反転したときに発生するパルス
状の電圧を信号として検出する。このパルス状電圧の電
圧値は、地磁気の方位によって変化するので、地磁気セ
ンサとして利用することができる。
In this geomagnetic direction sensor, an AC bias magnetic field H B is generated in the permalloy core 101 by supplying an AC bias current to the exciting coil 103, and a pulsed voltage generated when the bias magnetic field is reversed. Is detected as a signal. Since the voltage value of this pulsed voltage changes depending on the direction of the geomagnetism, it can be used as a geomagnetic sensor.

【0009】しかしながら、この地磁気方位センサは、
コイルにより地磁気を電気信号に変換するため、感度を
上げるためには電気信号出力用コイル102の巻き数を
多くしたり、集束効果を高めるためにパーマロイコア1
01の形状を大きくする必要がある。したがって、小型
化や低価格化は難しい。
However, this geomagnetic direction sensor is
Since the geomagnetism is converted into an electric signal by the coil, the number of turns of the electric signal output coil 102 is increased in order to increase the sensitivity, and the permalloy core 1 is increased in order to improve the focusing effect.
It is necessary to increase the size of 01. Therefore, it is difficult to reduce the size and price.

【0010】一方、MR型の地磁気方位センサは、図9
に示すように、磁気抵抗効果素子(MR素子)111が
設けられたMRセンサチップ110を空心コイル112
の中に入れ、空心コイル112に交流バイアス電流を供
給することによりこれらMRセンサチップ110に対し
て45゜方向の交流バイアス磁界HB が印加される構造
を有するものである。この地磁気方位センサの等価回路
を図10に示す。地磁気方位センサとして使用する場合
には、上記図9に示す構造のものを空心コイルの巻回方
向が直交するように1組使用する。
On the other hand, the MR type geomagnetic direction sensor is shown in FIG.
As shown in FIG. 3, an MR sensor chip 110 provided with a magnetoresistive effect element (MR element) 111 is attached to an air-core coil 112.
, And the AC bias magnetic field H B in the direction of 45 ° is applied to the MR sensor chips 110 by supplying the AC bias current to the air-core coil 112. An equivalent circuit of this geomagnetic direction sensor is shown in FIG. When used as the geomagnetic direction sensor, one set having the structure shown in FIG. 9 is used so that the winding directions of the air-core coils are orthogonal to each other.

【0011】このMR型の地磁気方位センサは、磁気抵
抗効果素子を使用しているため、フラックスゲート型の
地磁気方位センサに比べて感度が高いが、MRセンサチ
ップ110のみで地磁気を感知しているため、0.3ガ
ウス程度の地磁気の方位を検出するには不十分である。
Since this MR type geomagnetic direction sensor uses a magnetoresistive effect element, the MR type geomagnetic direction sensor has higher sensitivity than the fluxgate type geomagnetic direction sensor, but the MR sensor chip 110 alone senses the geomagnetism. Therefore, it is insufficient to detect the orientation of the geomagnetism of about 0.3 Gauss.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来知
られる地磁気方位センサでは、感度の点で不満を残して
おり、また小型化、低価格化も難しい。
As described above, the conventionally known geomagnetic direction sensor remains unsatisfactory in terms of sensitivity, and it is difficult to reduce its size and cost.

【0013】そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、ヒビ割れや反り、ガラス泡、
研削時のガラス欠け等の製造時における不都合を解消し
て加工精度が向上するとともに、実用的な感度を有し、
しかも小型化、低価格化が容易であり、高い検出感度を
有する地磁気方位センサを提供することを目的とする。
Therefore, the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances, and cracks and warps, glass bubbles,
While eliminating inconvenience during manufacturing such as glass chipping during grinding to improve processing accuracy, it has practical sensitivity.
Moreover, it is an object of the present invention to provide a geomagnetic direction sensor having high detection sensitivity, which can be easily reduced in size and cost.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の対象とするもの
は、地磁気を集束する複数の強磁性体コアが所定の磁気
ギャップを介して周方向に配列されるとともに、前記磁
気ギャップにおける磁界方向に対して略直交するように
磁気抵抗効果素子が磁気ギャップ上に配されてなる地磁
気方位センサである。
The object of the present invention is to dispose a plurality of ferromagnetic cores for focusing the earth's magnetism in the circumferential direction via a predetermined magnetic gap, and to arrange the magnetic field direction in the magnetic gap. Is a geomagnetic direction sensor in which a magnetoresistive effect element is arranged on a magnetic gap so as to be substantially orthogonal to.

【0015】本発明の地磁気方位センサは、上記磁気ギ
ャップがPbO又はSi02 を主成分とするガラス材よ
りなることを特徴とするものである。
The geomagnetic direction sensor of the present invention is characterized in that the magnetic gap is made of a glass material containing PbO or SiO 2 as a main component.

【0016】また、磁気ギャップのガラス材としては、
製造時にガラス泡の発生を防止し、製造された基板の反
り量を低値に抑えるために、その融点が250℃以上6
50℃以下の低融点ガラスを用いることが好ましく、そ
の膨張係数が100以下のものを用いることが好適であ
る。
As the glass material for the magnetic gap,
In order to prevent the generation of glass bubbles during production and suppress the amount of warpage of the produced substrate to a low value, its melting point is 250 ° C. or higher 6
It is preferable to use a low-melting glass having a temperature of 50 ° C. or lower, and it is preferable to use a glass having an expansion coefficient of 100 or lower.

【0017】ここで、磁気抵抗効果素子(以下、MR素
子と称する。)は、互いに直交するX軸方向とY軸方向
での出力を得るため、最低でも2箇所に互いに直交する
ように配置する。好ましくは、等角度間隔(90゜間
隔)で4つのMR素子を配置する。
Here, the magnetoresistive effect element (hereinafter referred to as MR element) is arranged at least at two positions so as to be orthogonal to each other in order to obtain outputs in the X-axis direction and the Y-axis direction which are orthogonal to each other. . Preferably, four MR elements are arranged at equal angular intervals (90 ° intervals).

【0018】一方、強磁性体コアは、前記MR素子の配
置に応じて等角度間隔(例えば90゜間隔)で磁気ギャ
ップを有し、且つ閉磁路を構成するように周方向に配列
し、具体的には、円環状、あるいは正方形状とすること
が好ましい。
On the other hand, the ferromagnetic cores have magnetic gaps at equal angular intervals (for example, 90 ° intervals) according to the arrangement of the MR elements, and are arranged in the circumferential direction so as to form a closed magnetic path. From the standpoint of view, it is preferable to have an annular shape or a square shape.

【0019】上記強磁性体コアには、パーマロイ、珪素
鋼板、各種ソフトフェライト等、高透磁率、高飽和磁束
密度を有する軟磁性材(いわゆるソフト材)を用い、バ
イアス磁界の印加と地磁気の集束に利用する。
For the ferromagnetic core, a soft magnetic material having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density (so-called soft material) such as permalloy, silicon steel plate, various soft ferrites, etc. is used, and bias magnetic field is applied and geomagnetism is focused. To use.

【0020】したがって、上記強磁性体コアには、励磁
用コイルを巻回し、それにバイアス電流IB を流すこと
によってバイアス磁界HBを発生させ、MR素子を磁界
感度が高く且つ直線性(リニアリティ)の良いところで
使用する。なお、バイアス磁界HB (バイアス電流
B )は、交流であってもよいし、直流であってもよ
い。
Therefore, an exciting coil is wound around the ferromagnetic core, and a bias current I B is caused to flow through the exciting coil to generate a bias magnetic field H B , so that the MR element has high magnetic field sensitivity and linearity. Use in a good place. The bias magnetic field H B (bias current I B ) may be alternating current or direct current.

【0021】但し、バイアス電流IB の電流値は、バイ
アス磁界HB が強磁性体系部(強磁性体コアによって構
成される閉磁路)の飽和磁束密度以下で透磁率値の前後
までとし、回転磁化範囲を避けるとともに、強磁性体系
部の磁化量に余裕を持たせ、地磁気の集束にも利用す
る。
However, the current value of the bias current I B is set such that the bias magnetic field H B is below the saturation magnetic flux density of the ferromagnetic system portion (closed magnetic circuit constituted by the ferromagnetic core) and before and after the magnetic permeability value, and the rotation is performed. While avoiding the magnetization range, allow a margin for the amount of magnetization of the ferromagnetic system part, and use it for focusing the geomagnetism.

【0022】上述のように、本発明の地磁気方位センサ
においては、強磁性体コアがバイアス磁界の磁路を構成
するとともに、地磁気を集束するいわゆる集束ホーンと
して機能する。その結果、互いに直交するMR素子に加
わる地磁気の総量は、それぞれ地磁気とMR素子のなす
角度に応じて決まり、各MR素子から強磁性体コアによ
り構成される閉磁路の中心を通る地磁気線に直角に引い
た仮想線に比例する。
As described above, in the geomagnetic direction sensor of the present invention, the ferromagnetic core constitutes the magnetic path of the bias magnetic field and also functions as a so-called focusing horn for focusing the geomagnetism. As a result, the total amount of geomagnetism applied to the MR elements orthogonal to each other is determined according to the angle formed by the geomagnetism and the MR element, respectively, and is perpendicular to the geomagnetic line passing through the center of the closed magnetic circuit formed by the ferromagnetic core from each MR element. It is proportional to the virtual line drawn in.

【0023】さらに、磁気ギャップがPbO又はSi0
2 を主成分とするガラス材から構成されており、さらに
好ましくは融点が250℃以上650℃以下であり、膨
張係数が100以下のガラス材を用いることにより、ヒ
ビ割れや反り、融着時のガラス泡、研削時のガラス欠け
等の磁気ギャップに生じがちな諸々の不都合が抑止され
る。
Further, the magnetic gap is PbO or Si0.
It is composed of a glass material containing 2 as a main component, and more preferably has a melting point of 250 ° C. or higher and 650 ° C. or lower, and has a coefficient of expansion of 100 or lower. Various inconveniences that tend to occur in the magnetic gap such as glass bubbles and glass breakage during grinding are suppressed.

【0024】したがって、製品としての信頼性が向上す
るとともに、地磁気が効率的にMR素子へ磁気信号とし
て供給されて高出力が得られ、高い検出感度をもってそ
の方位が高精度に検出されることになる。
Therefore, the reliability of the product is improved, the geomagnetism is efficiently supplied to the MR element as a magnetic signal to obtain a high output, and the azimuth can be detected with high detection sensitivity and high accuracy. Become.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した地磁気方
位センサの具体的な実施の形態について、図面を参照し
ながら詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Specific embodiments of a geomagnetic direction sensor to which the present invention is applied will be described below in detail with reference to the drawings.

【0026】本発明を適用した地磁気方位センサの基本
構造の一例を図1に示す。
An example of the basic structure of the geomagnetic direction sensor to which the present invention is applied is shown in FIG.

【0027】当該地磁気方位センサは、フェライト等か
らなる略々コ字形状の一対の強磁性体コアK1 ,K2
各々の接合面Sにて突き合わせられ正方形状とされて構
成されている。ここで、各強磁性体コアK1 ,K2 には
それぞれガラス材よりなるG1 ,G2 及びG3 ,G4
形成されており、強磁性体コアK1 ,K2 が正方形状と
されることにより磁気ギャップG1 ,G2 ,G3 ,G4
が4隅に90゜間隔で配されることになる。そして、各
磁気ギャップG1 ,G2 ,G3 ,G4 上にはそれぞれM
R素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 を形成している。
The geomagnetic direction sensor is formed by forming a pair of substantially U-shaped ferromagnetic cores K 1 and K 2 made of ferrite or the like into a square shape by abutting each other at their joint surfaces S. Here, each ferromagnetic core K 1, K 2, respectively made of glass material in G 1, G 2 and G 3, and G 4 is formed, the magnetic cores K 1, K 2 are square The magnetic gaps G 1 , G 2 , G 3 , G 4
Will be placed at four corners at 90 ° intervals. And, on each of the magnetic gaps G 1 , G 2 , G 3 and G 4 , there is M respectively.
R elements M 1 , M 2 , M 3 and M 4 are formed.

【0028】各強磁性体コアK1 ,K2 には、それぞれ
中心部にCuを材料とする励磁用コイルC1 ,C2 が巻
回され、磁気ギャップG1 ,G2 ,G3 ,G4 上に配置
される各MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 に対してバイ
アス磁界HB が印加される。
Excitation coils C 1 and C 2 made of Cu are wound around the central portions of the respective ferromagnetic cores K 1 and K 2 to form magnetic gaps G 1 , G 2 , G 3 and G. A bias magnetic field H B is applied to each of the MR elements M 1 , M 2 , M 3 and M 4 arranged on the upper part 4 .

【0029】ここで、磁気ギャップG1 ,G2 ,G3
4 は、PbO又はSi02 を主成分とし、さらに融点
が250℃以上650℃以下且つ膨張係数が100以下
の低融点ガラスより構成されている。
Here, the magnetic gaps G 1 , G 2 , G 3 ,
G 4 is composed of PbO or SiO 2 as a main component, and further comprises a low melting point glass having a melting point of 250 ° C. or higher and 650 ° C. or lower and an expansion coefficient of 100 or lower.

【0030】また、MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M
4 は、例えばX軸方向検出用の2つのMR素子M1 ,M
3 と、これと直交するY軸方向検出用の2つのMR素子
2 ,M4 の2種類に分類される。
The MR elements M 1 , M 2 , M 3 and M
4 is, for example, two MR elements M 1 and M for detecting the X-axis direction.
3 and two MR elements M 2 and M 4 for detecting the Y-axis direction which is orthogonal to this, are classified into two types.

【0031】また、各強磁性体コアK1 ,K2 の表面に
は、MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 の出力端子となる
引出し線用パッド11と、励磁用コイルC1 ,C2 にバ
イアス電流を供給するためのコイル用パッド12、及び
MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 にセンス電流を供給す
るための定電位端子パッド14とがそれぞれ成膜形成さ
れている。
Further, on the surface of each of the ferromagnetic cores K 1 and K 2 , a lead wire pad 11 serving as an output terminal of the MR elements M 1 , M 2 , M 3 and M 4 and an exciting coil C 1 are formed. , C 2 and a constant potential terminal pad 14 for supplying a sense current to the MR elements M 1 , M 2 , M 3 and M 4 , respectively. ing.

【0032】そして、各MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M
4 と引出し線用パッド11、及びコイル用パッド12と
励磁用コイルC1 ,C2 を構成する線材の先端近傍部2
2がそれぞれ電気的に接続され、さらに上記線材の他端
部が逆側のコイル用パッド12に接続されている。
The MR elements M 1 , M 2 , M 3 , M
4 and lead wire pad 11, and near the tip portion 2 of the wire rod constituting the coil pad 12 for excitation coil C 1, C 2
2 are electrically connected to each other, and the other end of the wire is connected to the coil pad 12 on the opposite side.

【0033】そして、引出し線用パッド11、コイル用
パッド12、及び定電位端子パッド14と当該地磁気方
位センサの収納手段に設けられる図示しない各端子ピン
とがAuを材料とする図示しない外部配線(ボンディン
グ・ワイヤ)により電気的に接続される。
Then, the lead wire pad 11, the coil pad 12, the constant potential terminal pad 14 and the terminal pins (not shown) provided in the accommodating means of the geomagnetic direction sensor are made of Au as an external wiring (not shown).・ Electrically connected by wire.

【0034】以上の構成を有する地磁気方位センサの等
価回路を図2に示す。すなわち、X軸方向の地磁気検出
用の2つのMR素子M1 ,M3 からの出力は、差動アン
プA1 によりX軸方向の出力(X出力)とされる。同様
に、すなわち、Y軸方向の地磁気検出用の2つのMR素
子M2 ,M4 からの出力は、差動アンプA2 によりY軸
方向の出力(Y出力)とされる。
An equivalent circuit of the geomagnetic direction sensor having the above structure is shown in FIG. That is, the outputs from the two MR elements M 1 and M 3 for detecting the geomagnetism in the X axis direction are output by the differential amplifier A 1 in the X axis direction (X output). Similarly, that is, the outputs from the two MR elements M 2 and M 4 for detecting the geomagnetism in the Y-axis direction are output by the differential amplifier A 2 in the Y-axis direction (Y output).

【0035】地磁気検出用のMR素子M1 ,M2
3 ,M4 の各一端部13には、定電位端子パッド14
を介してMR素子M1 ,M3 及びMR素子M2 ,M4
1組とされて定電位電源VCCが接続され、センス電流が
供給される。
MR elements M 1 , M 2 , for geomagnetic detection,
A constant potential terminal pad 14 is provided on one end 13 of each of M 3 and M 4.
The MR elements M 1 and M 3 and the MR elements M 2 and M 4 are connected as a set to the constant-potential power supply V CC , and a sense current is supplied.

【0036】また、X軸方向検出用のMR素子M1 とM
R素子M3 には、180゜方位の異なるバイアス磁界
(HB 及び−HB )が印加され、同様にY軸方向検出用
のMR素子M2 とMR素子M4 にも180゜方位の異な
るバイアス磁界(HB 及び−HB )が印加される。
MR elements M 1 and M for detecting the X-axis direction are also used.
Bias magnetic fields (H B and −H B ) having different 180 ° azimuths are applied to the R element M 3 , and similarly, MR elements M 2 and MR element 4 for detecting the Y-axis direction also have different 180 ° azimuths. Bias magnetic fields (H B and −H B ) are applied.

【0037】上記構成の地磁気方位センサにおいて、M
R素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 は、次のような特徴を持
っている。
In the geomagnetic direction sensor having the above structure, M
The R elements M 1 , M 2 , M 3 and M 4 have the following features.

【0038】(1)磁界の強度により抵抗値が変化す
る。(磁気抵抗効果) (2)弱い磁界を感知する能力に優れている。 (3)抵抗値変化を電気信号として取り出すことができ
る。
(1) The resistance value changes depending on the strength of the magnetic field. (Magnetic resistance effect) (2) It has excellent ability to detect a weak magnetic field. (3) The change in resistance value can be taken out as an electric signal.

【0039】上記地磁気方位センサにおいては、この特
徴を利用して地磁気による磁気信号を電気信号に変換す
る。
The above geomagnetic direction sensor utilizes this feature to convert a magnetic signal due to geomagnetism into an electric signal.

【0040】ここで、MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M4
の機能について説明する。これらMR素子M1 ,M2
3 ,M4 の電気抵抗Rは、当該MR素子M1 ,M2
3,M4 に入力される磁束強度(磁束量)に応じて変
化する。すなわち、MR素子の電気抵抗Rの外部磁界依
存性がMR特性として図3に示すMR曲線で表される。
この図3において、横軸はMR素子M1 ,M2 ,M3
4 に垂直に加わる磁界の強さ、縦軸はMR素子M1
2 ,M3 ,M4 の抵抗値の変化、あるいは出力電圧変
化(MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 に直流電流を流し
た場合)である。
Here, the MR elements M 1 , M 2 , M 3 and M 4
The function of will be described. These MR elements M 1 , M 2 ,
The electric resistance R of M 3 and M 4 is the same as that of the MR elements M 1 , M 2 and
It changes according to the magnetic flux intensity (magnetic flux amount) input to M 3 and M 4 . That is, the external magnetic field dependence of the electric resistance R of the MR element is represented by the MR curve shown in FIG. 3 as the MR characteristic.
In FIG. 3, the horizontal axis represents MR elements M 1 , M 2 , M 3 ,
The strength of the magnetic field applied perpendicularly to M 4 , the vertical axis represents the MR element M 1 ,
This is a change in the resistance value of M 2 , M 3 , M 4 or a change in the output voltage (when a DC current is passed through the MR elements M 1 , M 2 , M 3 , M 4 ).

【0041】MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 の抵抗値
は、磁界零で最大となり、大きな磁界(MR素子M1
2 ,M3 ,M4 のパターン形状等にもよるが100〜
200ガウス程度)を印加したときに約3%小さくな
る。
The resistance values of the MR elements M 1 , M 2 , M 3 and M 4 are maximum when the magnetic field is zero, and are large magnetic fields (MR element M 1 ,
Depending on the pattern shape of M 2 , M 3 , M 4 , etc.
It becomes about 3% smaller when a voltage of about 200 gauss is applied.

【0042】MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 の出力の
S/N(出力電圧振幅)及び歪率向上させるためには、
バイアス磁界HB が必要となる。このバイアス磁界HB
は、先にも述べたように、強磁性体コアK1 ,K2 にそ
れぞれ励磁用コイルC1 ,C2 を巻回し、これに交流バ
イアス電流IB を流すことによって与えられる。
In order to improve the S / N (output voltage amplitude) and the distortion factor of the outputs of the MR elements M 1 , M 2 , M 3 and M 4 ,
A bias magnetic field H B is required. This bias magnetic field H B
Is given by winding the exciting coils C 1 and C 2 around the ferromagnetic cores K 1 and K 2 , respectively, and supplying the AC bias current I B to the coils as described above.

【0043】このとき、X軸方向検出用のMR素子M1
に印加されるバイアス磁界の方向とMR素子M3 に印加
されるバイアス磁界の方向は、互いに180゜反転して
いる。同様に、Y軸方向検出用のMR素子M2 に印加さ
れるバイアス磁界の方向とMR素子M4 に印加されるバ
イアス磁界の方向も、互いに180゜反転している。
At this time, the MR element M 1 for detecting the X-axis direction
The direction of the bias magnetic field applied to the MR element M 3 and the direction of the bias magnetic field applied to the MR element M 3 are reversed by 180 °. Similarly, the direction of the bias magnetic field applied to the MR element M 2 for Y-axis direction detection and the direction of the bias magnetic field applied to the MR element M 4 are also inverted by 180 °.

【0044】ここで、地磁気信号HE が入ってくると、
例えばX軸方向検出用のMR素子M1 及びM3 に加わる
磁界の強さは以下のようになる。
Here, when the geomagnetic signal H E comes in,
For example, the strength of the magnetic field applied to the MR elements M 1 and M 3 for detecting the X-axis direction is as follows.

【0045】MR素子M1 : HB +H MR素子M: −HB +HE 例えば交流バイアス磁界を印加とすると、MR素子M1
に印加される磁界は図3中線Aで示すように変化し、こ
の磁界の変化が図3中線Bで示すように電圧変化として
出力される。一方、MR素子M3 に印加される磁界は図
3中線Cで示すように変化し、この磁界の変化が図3中
線Dで示すように電圧変化として出力される。
The MR element M 1: H B + H E MR element M 3: When -H B + H E example applying an alternating bias magnetic field, MR element M 1
The magnetic field applied to is changed as shown by a line A in FIG. 3, and the change of this magnetic field is output as a voltage change as shown by a line B in FIG. On the other hand, the magnetic field applied to the MR element M 3 changes as shown by the line C in FIG. 3, and this change in the magnetic field is output as a voltage change as shown by the line D in FIG.

【0046】このMR素子M1 からの出力(線B)とM
R素子M3 からの出力(線D)の出力差Lが、差動増幅
器A1 にて増幅された差動信号(X出力)として取り出
される。Y軸方向検出用のMR素子M2 ,M4 について
も同様であり、差動増幅器A2 にて増幅された差動信号
(Y出力)が取り出される。
The output from this MR element M 1 (line B) and M
The output difference L of the output (line D) from the R element M 3 is taken out as a differential signal (X output) amplified by the differential amplifier A 1 . The same applies to the MR elements M 2 and M 4 for detecting the Y-axis direction, and the differential signal (Y output) amplified by the differential amplifier A 2 is taken out.

【0047】これら差動信号は地磁気HE の方位により
変化し、それぞれHE sinθ、HE cosθに比例す
る。したがって、横軸に方位θをとって出力電位をプロ
ットすると、X出力及びY出力は図4に示すようなもの
となる。
These differential signals change depending on the direction of the geomagnetism H E and are proportional to H E sin θ and H E cos θ, respectively. Therefore, when the output potential is plotted by taking the azimuth θ on the horizontal axis, the X output and the Y output are as shown in FIG.

【0048】したがって、これらX出力及びY出力か
ら、地磁気に対する方位θを算出することができる。
Therefore, the azimuth θ with respect to the geomagnetism can be calculated from these X output and Y output.

【0049】すなわち、X出力とY出力の比X/Yは、
これら出力がHE sinθ、HE cosθに比例するこ
とから、sinθ/cosθで表わすことができる。
That is, the ratio X / Y of the X output and the Y output is
Since these output is proportional H E sin [theta, the H E cos [theta], can be expressed by sin [theta / cos [theta].

【0050】X/Y=sinθ/cosθ=tanθ したがって、 θ=tan-1(X/Y) (ただし、0≦θ≦180゜のときX≧0、180゜<
θ<360゜のときX<0である。) 以上によって地磁気HE の方位θを知ることができる。
X / Y = sin θ / cos θ = tan θ Therefore, θ = tan −1 (X / Y) (where 0 ≧ θ ≦ 180 °, X ≧ 0, 180 ° <
When θ <360 °, X <0. ) From the above, the direction θ of the geomagnetism H E can be known.

【0051】次に、強磁性体コアK1 ,K2 による地磁
気集束原理について説明する。
Next, the principle of geomagnetic focusing by the ferromagnetic cores K 1 and K 2 will be described.

【0052】先ず、図5に、フェライト、パーマロイ等
からなる強磁性体コアKが地磁気にどのような影響を与
えるのかを模式的に図示した。
First, FIG. 5 schematically shows how the ferromagnetic core K made of ferrite, permalloy or the like affects the earth's magnetism.

【0053】強磁性体は空気中に比べて磁気抵抗が小さ
いため、地磁気が吸い寄せられるように曲げられ、強磁
性体コアK中を通って再び外へ出る。
Since the ferromagnetic material has a smaller magnetic resistance than that in the air, it is bent so as to attract the earth's magnetism, and passes through the ferromagnetic material core K to come out again.

【0054】したがって、上記強磁性体コアKは、地磁
気を集束し、大きな磁束密度に変換する(実際は、地磁
気は強磁性体コアKを磁化し、磁気ギャップに大きな磁
界を発生する。)。
Therefore, the ferromagnetic core K focuses the geomagnetism and converts it into a large magnetic flux density (actually, the magnetism magnetizes the ferromagnetic core K to generate a large magnetic field in the magnetic gap).

【0055】図6は、円形の強磁性体コアKを用いた場
合に地磁気がどのように各MR素子M1 ,M2 ,M3
4 に伝わるのかを示したものであり、各MR素子
1 ,M2 ,M3 ,M4 に磁気信号として印加される地
磁気の総量は、各MR素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 から
強磁性体コアKの中心を通る地磁気線HEOに垂直に引い
た線の長さに相当する。
FIG. 6 shows how the geomagnetism of each of the MR elements M 1 , M 2 , M 3 , when a circular ferromagnetic core K is used.
It is shown whether or not it is transmitted to M 4 , and the total amount of geomagnetism applied as a magnetic signal to each MR element M 1 , M 2 , M 3 , M 4 is the MR element M 1 , M 2 , M 3 , It corresponds to the length of a line perpendicular to the geomagnetic line H EO passing through the center of the ferromagnetic core K from M 4 .

【0056】X軸方向検出用MR素子M1 ,M3 に印加
される地磁気の総量:rsinθ Y軸方向検出用MR素子M2 ,M4 に印加される地磁気
の総量:rcosθ したがって、これら地磁気の総量に基づいて出力される
地磁気方位センサ出力(X出力,Y出力)より、先の計
算式に従って地磁気HE の方位θが算出される。
The total amount of geomagnetism applied to the X-axis direction detecting MR elements M 1 and M 3 : rsinθ The total amount of geomagnetism applied to the Y-axis direction detecting MR elements M 2 and M 4 : rcos θ Therefore, From the geomagnetic orientation sensor output (X output, Y output) output based on the total amount, the azimuth θ of the geomagnetism H E is calculated according to the above calculation formula.

【0057】また、図7に示すように強磁性体コアKが
正方形の場合も同様であり、強磁性体コアKの中心点を
回転中心として90゜回転させたときに対称となる形状
であれば、いずれの場合にも同様の出力を得ることがで
きる。
The same applies to the case where the ferromagnetic core K has a square shape as shown in FIG. 7, as long as it has a symmetrical shape when the ferromagnetic core K is rotated 90 ° about the center point of the ferromagnetic core K. In any case, the same output can be obtained.

【0058】以上のように、本実施の形態において、一
対の強磁性体コアK1 ,K2 は、接合一体化させてバイ
アス磁界の閉磁路を構成するとともに、地磁気を集束す
るいわゆる集束ホーンとして機能する。その結果、互い
に直交するMR素子M1 ,M2 ,M3 ,M4 に加わる地
磁気の総量は、それぞれ地磁気とMR素子M1 ,M2
3 ,M4 のなす角度に応じて決まり、各MR素子
1 ,M2 ,M3 ,M4 から強磁性体コアK1 ,K2
より構成される閉磁路の中心を通る地磁気線に直角に引
いた線に比例する。
As described above, in the present embodiment, the pair of ferromagnetic material cores K 1 and K 2 are joined and integrated to form a closed magnetic circuit for the bias magnetic field, and as a so-called focusing horn that focuses the earth magnetism. Function. As a result, the total amount of geomagnetism applied to the MR elements M 1 , M 2 , M 3 , and M 4 orthogonal to each other is the same as the geomagnetism and the MR elements M 1 , M 2 , and M 4 , respectively.
It depends on the angle between M 3, M 4, a geomagnetic line passing through the center of the formed closed magnetic path by the magnetic cores K 1, K 2 from each MR element M 1, M 2, M 3 , M 4 Proportional to the line drawn at right angles.

【0059】さらに、磁気ギャップG1 ,G2 ,G3
4 がPbO及びSi02 を主成分とするガラス材から
構成されており、さらに好ましくは融点が650℃以下
であり、膨張係数が90以下のガラス材を用いることに
より、ヒビ割れや反り、融着時のガラス泡、研削時のガ
ラス欠け等の磁気ギャップG1 ,G2 ,G3 ,G4 に生
じがちな諸々の不都合が抑止される。
Further, the magnetic gaps G 1 , G 2 , G 3 ,
G 4 is composed of a glass material containing PbO and SiO 2 as main components, more preferably a glass material having a melting point of 650 ° C. or less and an expansion coefficient of 90 or less is used to prevent cracking, warpage, and melting. Various inconveniences that tend to occur in the magnetic gaps G 1 , G 2 , G 3 , G 4 such as glass bubbles during wearing and glass breakage during grinding are suppressed.

【0060】したがって、製品としての信頼性が向上す
るとともに、地磁気が効率的にMR素子M1 ,M2 ,M
3 ,M4 へ磁気信号として供給されて高出力が得られ、
高い検出感度をもってその方位が高精度に検出されるこ
とになる。
Therefore, the reliability as a product is improved, and the geomagnetism is efficiently generated by the MR elements M 1 , M 2 , M.
3 is supplied a high output as the magnetic signal to the M 4 is obtained,
The azimuth can be detected with high accuracy with high detection sensitivity.

【0061】次いで、上記地磁気方位センサの製造方法
について説明する。
Next, a method of manufacturing the geomagnetic direction sensor will be described.

【0062】先ず、フェライトよりなる基板に第1の溝
を削設し、当該第1の溝に所定の融着ガラスとして上述
の成分よりなるガラス材を流し込むことによりギャップ
1,G2 ,G3 ,G4 を形成し、上記基板のギャップ
1 ,G2 ,G3 ,G4 側の表面に超鏡面処理を施して
表面粗さを10nm以下とする。
First, a first groove is formed in a substrate made of ferrite, and a glass material made of the above-mentioned components is poured as a predetermined fused glass into the first groove to form the gaps G 1 , G 2 , and G. 3 and G 4 are formed, and the surface on the side of the gaps G 1 , G 2 , G 3 , and G 4 of the above substrate is subjected to a super-mirror surface treatment so that the surface roughness is 10 nm or less.

【0063】次に、スパッタリング法及びフォトリソグ
ラフィー技術を用いて、超鏡面処理が施された磁気ギャ
ップG1 ,G2 ,G3 ,G4 (ここでは、単に上記磁気
ギャップと記す。)上にそれぞれMR素子M1 ,M2
3 ,M4 (ここでは、単にMR素子と記す。)を形成
するとともに、引出し線用パッド11及びコイル用パッ
ド12を形成する。
Next, the magnetic gaps G 1 , G 2 , G 3 , and G 4 (herein, simply referred to as the magnetic gaps) subjected to the super-mirror surface treatment by the sputtering method and the photolithography technique are used. MR elements M 1 , M 2 ,
While forming M 3 and M 4 (hereinbelow, simply referred to as MR element), the lead wire pad 11 and the coil pad 12 are formed.

【0064】続いて、上述の如くMR素子M1 ,M2
3 ,M4 、引出し線用パッド11及びコイル用パッド
12を形成した後に、上記基板のMR素子M1 ,M2
3,M4 等の非形成面(裏面)に全面研磨を施して当
該基板の厚みを調整する。
Then, as described above, the MR elements M 1 , M 2 ,
After forming M 3 , M 4 , the lead wire pad 11 and the coil pad 12, the MR elements M 1 , M 2 ,
The thickness of the substrate is adjusted by polishing the entire surface (back surface) on which M 3 , M 4 etc. are not formed.

【0065】次いで、上記基板の裏面のギャップG1
2 ,G3 ,G4 に相当する箇所に第2の溝を削設する
ことにより地磁気集束用のバックギャップを形成する。
このとき、ギャップG1 ,G2 ,G3 ,G4 にて上記基
板が分離され、ギャップG1,G2 ,G3 ,G4 を構成
する融着ガラスにより分離された上記基板が接合された
かたちとされる。続いて励磁用コイルC1 ,C2 の巻線
用の溝を加工形成した後、当該基板を切断して各コアチ
ップ毎に切り出す。
Then, the gap G 1 on the back surface of the substrate,
A second gap is formed at a position corresponding to G 2 , G 3 , and G 4 to form a back gap for geomagnetic focusing.
In this case, the substrate is separated by a gap G 1, G 2, G 3 , G 4 , the substrate separated is joined by fusion glass forming the gap G 1, G 2, G 3 , G 4 Formed. Subsequently, after forming grooves for winding the exciting coils C 1 and C 2 by machining, the substrate is cut and cut into core chips.

【0066】上記コアチップに溝加工を施して略々コ字
形状の強磁性体コアK1 ,K2 を形成し、各強磁性体コ
アK1 ,K2 の巻線用の溝にそれぞれCuを材料とする
線材を用いて500ターン以上の巻線を施して励磁用コ
イルC1 ,C2 を形成した後、強磁性体コアK1 ,K2
を各々の接合面Sにて突き合わせて正方形状の閉磁路を
形成する。
Grooves are formed on the core chip to form substantially U-shaped ferromagnetic cores K 1 and K 2, and Cu is respectively filled in the winding grooves of the ferromagnetic cores K 1 and K 2 . After the winding of 500 turns or more is performed by using the wire material as the material to form the exciting coils C 1 and C 2 , the ferromagnetic cores K 1 and K 2 are formed.
Are joined together at their respective joint surfaces S to form a square closed magnetic circuit.

【0067】このとき、強磁性体コアK1 ,K2 の表面
に形成されたMR素子M1 及びMR素子M4 の近傍に設
けられた障壁状の掛止部21に、各励磁用コイルC1
2を構成する線材の先端近傍部22をそれぞれ掛止固
定する。
At this time, each exciting coil C is attached to the barrier-like hooking portion 21 provided in the vicinity of the MR element M 1 and the MR element M 4 formed on the surfaces of the ferromagnetic cores K 1 and K 2. 1 ,
The tip-end portions 22 of the wire rods forming C 2 are hooked and fixed.

【0068】次いで、強磁性体コアK1 ,K2 を収納手
段内に収納し、引出し線用パッド11、コイル用パッド
12、及び定電位端子パッド14とモールド・パッケー
ジ2に設けられた図示しない各端子ピンとをそれぞれボ
ンディング・ワイヤを用いて接続する。
Next, the ferromagnetic cores K 1 and K 2 are housed in the housing means, and the lead wire pad 11, the coil pad 12, the constant potential terminal pad 14 and the mold package 2 are not shown. Each terminal pin is connected using a bonding wire.

【0069】そして、付着力を向上させるために、上述
のボンディング部位に所定の結合剤を塗布した後、上記
収納手段内に所定の樹脂を充填させて封止する。
Then, in order to improve the adhesive force, a predetermined binder is applied to the above-mentioned bonding site, and then a predetermined resin is filled in the accommodating means and sealed.

【0070】以上、本発明を適用した実施の形態につい
て説明してきたが、本発明がこの実施の形態に限定され
るわけではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で形
状、材質、寸法等、任意に変更することが可能である。
Although the embodiment to which the present invention is applied has been described above, the present invention is not limited to this embodiment, and the shape, the material, the dimension, etc. can be set without departing from the gist of the present invention. It can be changed arbitrarily.

【0071】[0071]

【発明の効果】本発明によれば、ヒビ割れや反り、ガラ
ス泡、研削時のガラス欠け等の製造時における不都合を
解消して加工精度が向上するとともに、実用的な感度を
有し、しかも小型化、低価格化が容易であり、高い検出
感度を有する地磁気方位センサの実現が可能となる。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, inconveniences in manufacturing such as cracks and warps, glass bubbles, and glass breakage during grinding are eliminated to improve processing accuracy, and practical sensitivity is provided. It becomes possible to realize a geomagnetic direction sensor having high detection sensitivity, which can be easily reduced in size and cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を適用した地磁気方位センサの一構成例
を模式的に示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a configuration example of a geomagnetic direction sensor to which the present invention is applied.

【図2】図1に示す地磁気方位センサの等価回路の一例
を示す回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of an equivalent circuit of the geomagnetic direction sensor shown in FIG.

【図3】MR素子の磁気抵抗効果特性を示す特性図であ
る。
FIG. 3 is a characteristic diagram showing a magnetoresistive effect characteristic of an MR element.

【図4】出力電圧と方位の関係を示す特性図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing a relationship between an output voltage and an azimuth.

【図5】強磁性体コアによる地磁気の集束状態を示す模
式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a focused state of geomagnetism by a ferromagnetic core.

【図6】円形コアを用いた場合に各MR素子に印加され
る地磁気の総量を示す模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram showing the total amount of geomagnetism applied to each MR element when a circular core is used.

【図7】正方形コアを用いた場合に各MR素子に印加さ
れる地磁気の総量を示す模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing the total amount of geomagnetism applied to each MR element when a square core is used.

【図8】従来のフラックスゲート型の地磁気方位センサ
の一例を示す概略平面図である。
FIG. 8 is a schematic plan view showing an example of a conventional fluxgate type geomagnetic direction sensor.

【図9】従来のMR型の地磁気方位センサの一例を示す
概略平面図である。
FIG. 9 is a schematic plan view showing an example of a conventional MR type geomagnetic direction sensor.

【図10】図9に示す地磁気方位センサの等価回路図で
ある。
FIG. 10 is an equivalent circuit diagram of the geomagnetic direction sensor shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ,M2 ,M3 ,M4 MR素子 K1 ,K2 強磁性体コア G1 ,G2 ,G3 ,G4 磁気ギャップ C1 ,C2 励磁用コイル 11 引出し線用パッド 12 コイル用パッドM 1 , M 2 , M 3 , M 4 MR element K 1 , K 2 Ferromagnetic core G 1 , G 2 , G 3 , G 4 Magnetic gap C 1 , C 2 Excitation coil 11 Lead wire pad 12 Coil Pad

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 地磁気を集束する複数の強磁性体コアが
所定の磁気ギャップを介して周方向に配列されるととも
に、前記磁気ギャップにおける磁界方向に対して略直交
するように磁気抵抗効果素子が磁気ギャップ上に配され
てなる地磁気方位センサであって、 上記磁気ギャップがPbO又はSi02 を主成分とする
ガラス材よりなることを特徴とする地磁気方位センサ。
1. A plurality of ferromagnetic cores for focusing geomagnetism are arranged in a circumferential direction through a predetermined magnetic gap, and a magnetoresistive effect element is arranged so as to be substantially orthogonal to a magnetic field direction in the magnetic gap. a geomagnetic direction sensor comprising disposed on a magnetic gap, a geomagnetic direction sensor, characterized in that the magnetic gap is made of a glass material mainly composed of PbO or Si0 2.
【請求項2】 磁気ギャップのガラス材の融点が250
℃以上650℃以下であることを特徴とする請求項1記
載の地磁気方位センサ。
2. The melting point of the glass material of the magnetic gap is 250.
The geomagnetic direction sensor according to claim 1, wherein the temperature is not less than ℃ and not more than 650 ° C.
【請求項3】 磁気ギャップのガラス材の膨張係数が1
00以下であることを特徴とする請求項1記載の地磁気
方位センサ。
3. The expansion coefficient of the glass material of the magnetic gap is 1
The geomagnetic direction sensor according to claim 1, wherein the geomagnetic direction sensor is 00 or less.
【請求項4】 略直交する少なくとも一対の磁気抵抗効
果素子を有することを特徴とする請求項1記載の地磁気
方位センサ。
4. The geomagnetic direction sensor according to claim 1, further comprising at least a pair of magnetoresistive effect elements that are substantially orthogonal to each other.
【請求項5】 強磁性体コアに励磁用コイルが巻回さ
れ、この励磁用コイルに電流を供給することで磁気ギャ
ップ内の磁気抵抗効果素子にバイアス磁界が印加される
ことを特徴とする請求項1記載の地磁気方位センサ。
5. An exciting coil is wound around a ferromagnetic core, and a bias magnetic field is applied to the magnetoresistive effect element in the magnetic gap by supplying a current to the exciting coil. The geomagnetic direction sensor according to Item 1.
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