JPH0942203A - Nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve - Google Patents

Nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve

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JPH0942203A
JPH0942203A JP7194516A JP19451695A JPH0942203A JP H0942203 A JPH0942203 A JP H0942203A JP 7194516 A JP7194516 A JP 7194516A JP 19451695 A JP19451695 A JP 19451695A JP H0942203 A JPH0942203 A JP H0942203A
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JP
Japan
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nozzle
spool
nozzle flapper
servo valve
flapper
Prior art date
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Pending
Application number
JP7194516A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuiku Makita
泰育 蒔田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Seimitsu Sokki KK
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Sokki KK
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Seimitsu Sokki KK filed Critical Tokyo Seimitsu Sokki KK
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Publication of JPH0942203A publication Critical patent/JPH0942203A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a nozzle flapper type electromagnetic proportional servo in which the disassembling of a spool valve portion is easy and the maintenance by an end user is facilitated. SOLUTION: One pair of elastic bodies 13, 14 arranged in the cylinder spaces of both ends of a spool 9 are used as a balance means of the spool 9. While the fluctuation of a nozzle flapper 4 is suppressed by jet pressures from nozzles 5, 6 so that nozzle back pressure difference is adjusted so as to be constant in a range of a predetermined supply pressure. Thereby, a conventional feedback spring for connecting spool; and a nozzle flapper and feeding back a spool displacement to a nozzle flapper is abolished, a nozzle flapper valve portion 15 and a spool valve portion 16 become separable, and the disassembling of the spool valve portion 16 becomes possible.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】サーボ制御系において用いら
れるノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve used in a servo control system.

【0002】[0002]

【従来の技術】サーボ弁は、空圧又は油圧を用いて被制
御部の駆動又は位置決め制御を行うためのサーボループ
内において、前記制御部からのフィードバック信号によ
って弁開度を任意に調節するために用いられ、各種の工
作機械その他の産業用機械、特に近年においては、各種
用途に用いられるロボットの制御弁として広範囲に用い
られている。
2. Description of the Related Art A servo valve is for adjusting a valve opening degree arbitrarily by a feedback signal from the control section in a servo loop for driving or positioning control of a controlled section using pneumatic pressure or hydraulic pressure. Are widely used as control valves for various machine tools and other industrial machines, especially in recent years, robots used for various purposes.

【0003】図2は、従来のサーボ弁の1種である、ノ
ズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁の断面構造を示す平
面図である。
FIG. 2 is a plan view showing a sectional structure of a nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve, which is one type of conventional servo valve.

【0004】トルクモータ51は電機子52とコイル5
3とを有する。電機子52は入力制御信号を受けてコイ
ル53が発生する磁界により傾斜する。すると電機子5
2に接続されたノズルフラッパ54が揺動し、ノズル5
5、56のノズル背圧Pn1、Pn2の差を生じる。ス
プール59はこのノズル背圧差によりシリンダ内を変位
する。この変位はスプール59に接続されたフィードバ
ックばね60によりノズルフラッパ54にフィードバッ
クされる。このフィードバックによりノズルフラッパ5
4が中心位置に戻り、Pn1=Pn2、すなわちノズル
背圧差が0となる位置で、スプール59は平衡し停止す
る。図において例えば右にスプール59が変位した場
合、シリンダ壁に設けた、コントロールポートP1、P
2の窓が変位に応じて開き、作動油が供給圧源に接続さ
れたプレッシャーポートPsからコントロールポートP
1を経由して被制御系に供給され、被制御系から排出さ
れる作動油はコントロールポートP2を経由してリター
ンポートPrに吸引される。上述したように、トルクモ
ータ51への入力制御信号がシリンダ壁の窓の開度を制
御するので、被制御系に供給される駆動力も入力制御信
号によって制御される。
The torque motor 51 includes an armature 52 and a coil 5.
And 3. The armature 52 receives the input control signal and is tilted by the magnetic field generated by the coil 53. Then armature 5
Nozzle flapper 54 connected to 2 swings,
Nozzle back pressures Pn1 and Pn2 of 5, 56 are generated. The spool 59 is displaced in the cylinder due to this nozzle back pressure difference. This displacement is fed back to the nozzle flapper 54 by the feedback spring 60 connected to the spool 59. With this feedback, the nozzle flapper 5
4 returns to the central position and Pn1 = Pn2, that is, at a position where the nozzle back pressure difference becomes 0, the spool 59 equilibrates and stops. In the figure, for example, when the spool 59 is displaced to the right, the control ports P1 and P provided on the cylinder wall
The second window opens according to the displacement, and the hydraulic oil is connected to the control pressure P from the pressure port Ps connected to the supply pressure source.
The hydraulic oil supplied to the controlled system via 1 and discharged from the controlled system is sucked into the return port Pr via the control port P2. As described above, since the input control signal to the torque motor 51 controls the opening degree of the window of the cylinder wall, the driving force supplied to the controlled system is also controlled by the input control signal.

【0005】このノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁
は、供給圧源から流入する作動油の一部を流路断面積が
微小な、オリフィス57、58、ノズル55、56に流
し、ここで生じるノズル背圧をノズル55、56とノズ
ルフラッパ54との間の微小な間隙(ギャップ)を変化
させることにより制御している。フィルタ61はこれ
ら、オリフィス、ノズル、及びノズルとノズルフラッパ
とのギャップという微小な流路に流れ込む作動油からゴ
ミを除去し、これら各部がゴミ詰まりを起こすことを防
止するために設けられている。フィルタ61は筒状であ
り、この端部の開口にオリフィス57、58が差し込ま
れて、ノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁の本体に装
着される。
In this nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve, a part of the hydraulic oil flowing from the supply pressure source is flowed to the orifices 57 and 58 and the nozzles 55 and 56 having a small flow passage cross-sectional area, and the nozzle back pressure generated here is generated. Is controlled by changing a minute gap between the nozzles 55 and 56 and the nozzle flapper 54. The filter 61 is provided in order to remove dust from the working oil that flows into the minute flow passages such as the orifice, the nozzle, and the gap between the nozzle and the nozzle flapper, and to prevent clogging of these portions. The filter 61 has a cylindrical shape, and the orifices 57 and 58 are inserted into the openings at the ends of the filter 61 and attached to the main body of the nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve.

【0006】ノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁を、
スプール弁を電磁石で直接駆動する電磁比例弁と比較す
ると、次のような特長がある。まず、ノズルフラッパで
入力を前段増幅してスプール弁を駆動するので、動特性
が3倍程度優れ、また消費電力も電磁比例弁では10〜
50W必要となるような場合でもその数十分の一で駆動
できる。また、電磁比例弁はスプール駆動力が3〜5k
gfと弱く、フローフォースの影響により、ポートの開
時と閉時とで特性が異なり、特に閉時に早く戻ろうとす
る特性があり、ショックレス制御に不向きである。
A nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve
Compared with an electromagnetic proportional valve that directly drives a spool valve with an electromagnet, it has the following features. First, the nozzle flapper amplifies the input to the previous stage to drive the spool valve, so the dynamic characteristics are about three times better, and the power consumption is 10 to 10 in the solenoid proportional valve.
Even if it requires 50 W, it can be driven by a few tenths thereof. In addition, the solenoid proportional valve has a spool driving force of 3 to 5k.
It is weak as gf, and has characteristics that are different when the port is opened and when it is closed due to the influence of the flow force, and there is a characteristic that it tries to return quickly when the port is closed, which makes it unsuitable for shockless control.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】従来のノズルフラッパ
方式電磁比例サーボ弁は、上述のように電磁比例弁に比
較して長所が多いが、ノズルフラッパ54とスプール5
9とがフィードバックばね60により接続される構造を
有しており、ノズルとノズルフラッパとは高精度に加工
されているため、エンドユーザがこれを分解して、例え
ばスプール59を取り出して洗浄し、再度組み立て直す
ということが困難であるという問題があった。
Although the conventional nozzle flapper type solenoid proportional servo valve has many advantages as compared with the solenoid proportional valve as described above, the nozzle flapper 54 and the spool 5 are provided.
9 has a structure in which it is connected by a feedback spring 60, and since the nozzle and the nozzle flapper are processed with high precision, the end user disassembles this, and, for example, the spool 59 is taken out and washed, and again. There was a problem that it was difficult to reassemble.

【0008】また、フィルタ61を交換する際は、オリ
フィス57、58をフィルタ61から抜き取るという手
順が必要である。このときオリフィス57、58の穴が
フィルタ61に接触してゴミ詰まりを起こしやすいとい
う問題があった。
Further, when replacing the filter 61, it is necessary to remove the orifices 57 and 58 from the filter 61. At this time, there is a problem that the holes of the orifices 57 and 58 come into contact with the filter 61 to easily cause dust clogging.

【0009】このように従来のノズルフラッパ方式電磁
比例サーボ弁は、エンドユーザがメンテナンスを容易に
できないという課題があった。
As described above, the conventional nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve has a problem in that the end user cannot easily perform maintenance.

【0010】本発明は、スプール弁部分の分解、及びフ
ィルタの交換を容易とし、エンドユーザがメンテナンス
を容易に行うことができるノズルフラッパ方式電磁比例
サーボ弁を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve which facilitates disassembly of a spool valve portion and replacement of a filter so that an end user can easily perform maintenance.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1記載の
ノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁は、スプールの平
衡手段がスプール両端のシリンダ空間に配置した1対の
弾性体であること、及びトルクモータにより揺動される
ノズルフラッパが揺動量に応じた強度の噴出圧をノズル
から受けて押し戻される現象を利用して、ノズル背圧差
が所定の供給圧範囲で一定であるように調整された入力
信号範囲を有することを特徴とする。
In the nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve according to claim 1 of the present invention, the balance means of the spool is a pair of elastic bodies arranged in the cylinder space at both ends of the spool, and the torque motor. An input signal range adjusted so that the nozzle back pressure difference is constant within a predetermined supply pressure range by utilizing the phenomenon that the nozzle flapper swung by the nozzle receives a jet pressure of a strength corresponding to the swing amount and is pushed back. It is characterized by having.

【0012】本発明ではフィードバックばねを有しない
ため、スプールが平衡点に移動してもノズルフラッパは
2つのノズル間の中点に位置しない。すなわち、スプー
ル平衡時にノズル背圧差は0とならない。このため、入
力信号が同一であっても、供給圧が異なるとノズル背圧
差が異なり、スプール変位量も異なることとなる。これ
は、被制御系に対する駆動力が供給圧源に依存して変化
することを意味し、サーボ弁を使用する上で不便であ
る。そこで本発明では、ノズルフラッパがトルクモータ
から力を受けて揺動される一方で、その揺動量に応じた
強度の噴出圧をノズルから受けて押し戻される現象によ
り、使用する入力信号範囲においてノズル背圧差が所定
の供給圧範囲で一定であるように調整された構成とす
る。具体的には、両ノズルからの噴出圧差と、トルクモ
ータのトルク又はノズルフラッパの弾性力とのバランス
を調整することにより達成される。
Since the present invention has no feedback spring, the nozzle flapper is not located at the midpoint between the two nozzles when the spool moves to the equilibrium point. That is, the nozzle back pressure difference does not become zero when the spool is balanced. Therefore, even if the input signals are the same, if the supply pressure is different, the nozzle back pressure difference is different, and the spool displacement amount is also different. This means that the driving force for the controlled system changes depending on the supply pressure source, which is inconvenient when using the servo valve. Therefore, in the present invention, while the nozzle flapper is oscillated by receiving a force from the torque motor, the ejection pressure of the intensity corresponding to the oscillating amount is received from the nozzle and pushed back, so that the nozzle back pressure difference in the used input signal range is increased. Is adjusted to be constant within a predetermined supply pressure range. Specifically, this is achieved by adjusting the balance between the ejection pressure difference from both nozzles and the torque of the torque motor or the elastic force of the nozzle flapper.

【0013】本発明は上記手段により、ノズルフラッパ
とスプールとを接続するフィードバックばねを廃し、ス
プール両端のシリンダ空間に配置した1対の弾性体によ
りスプールを平衡させることとしたため、ノズルフラッ
パ弁部分とスプール弁部分とを分離可能に構成できる。
これにより、スプール弁部分の分解が容易となり、エン
ドユーザがメンテナンスを容易に行うことができるとい
う目的を達成できる。
According to the present invention, the feedback spring for connecting the nozzle flapper and the spool is eliminated by the above means, and the spool is balanced by the pair of elastic bodies arranged in the cylinder spaces at both ends of the spool. Therefore, the nozzle flapper valve portion and the spool valve The part and the part can be configured to be separable.
As a result, the spool valve portion can be easily disassembled and the end user can easily perform the maintenance.

【0014】本発明の請求項2記載のノズルフラッパ方
式電磁比例サーボ弁は、オリフィスと接触不可能な位置
に設けられたフィルタであって、供給圧源からノズルに
供給される流体から汚染物を除去する流体清浄フィルタ
を有することを特徴とする。
A nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve according to a second aspect of the present invention is a filter provided at a position where it cannot contact an orifice, and removes contaminants from a fluid supplied from a supply pressure source to a nozzle. It is characterized by having a fluid cleaning filter.

【0015】本発明は上記手段により、流体清浄フィル
タの交換に際し、ゴミで汚染された流体清浄フィルタが
オリフィスに接触しない。これによりフィルタの交換が
容易となり、エンドユーザがメンテナンスを容易に行う
ことができるという目的を達成できる。
According to the present invention, when the fluid cleaning filter is replaced by the above means, the fluid cleaning filter contaminated with dust does not come into contact with the orifice. As a result, the filter can be easily replaced, and the end user can easily perform the maintenance.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態であ
る、ノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁を説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve, which is an embodiment of the present invention, will be described below.

【0017】図1は、本発明を実施したノズルフラッパ
方式電磁比例サーボ弁の断面構造を示す平面図である。
トルクモータ1は電機子2とコイル3とを有する。コイ
ル3は入力制御信号に応じて磁界を発生し、電機子2に
トルクを及ぼす。すなわち電機子2はコイル3の磁界に
応じて図面に垂直な軸に対して時計回り又は反時計回り
に傾斜する。電機子2にはノズルフラッパ4が接続さ
れ、このノズルフラッパ4は1対の対向するノズル5、
6の間にこれらに対向するように位置する。ノズル5、
6はオリフィス7、8を介して供給圧力源であるプレッ
シャーポートPsに接続されている。流体の連続条件に
より、管を流れる流体の速度は管の断面積に反比例する
ので、オリフィスで絞られた流体の流速は増加する。こ
れと同時に流体の圧力は、ベルヌーイの定理により低下
する。
FIG. 1 is a plan view showing a sectional structure of a nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve embodying the present invention.
The torque motor 1 has an armature 2 and a coil 3. The coil 3 generates a magnetic field according to the input control signal and exerts a torque on the armature 2. That is, the armature 2 tilts clockwise or counterclockwise with respect to the axis perpendicular to the drawing according to the magnetic field of the coil 3. A nozzle flapper 4 is connected to the armature 2, and the nozzle flapper 4 has a pair of opposing nozzles 5,
6 so as to face them. Nozzle 5,
6 is connected to a pressure port Ps which is a supply pressure source via orifices 7 and 8. Due to the fluid continuity condition, the velocity of the fluid flowing through the tube is inversely proportional to the cross-sectional area of the tube, thus increasing the velocity of the fluid throttled by the orifice. At the same time, the fluid pressure drops due to Bernoulli's theorem.

【0018】入力制御信号が0の場合、電機子2は傾斜
せず、ノズルフラッパ4はノズル5、6の中央に位置
し、ノズル5、6のノズル背圧Pn1、Pn2は等し
い。スプール9の一端10はノズル5とオリフィス7と
の間に位置し、ノズル5のノズル背圧Pn1を受け、ス
プール9の他端11は同様にノズル6のノズル背圧Pn
2を受ける。しかし、Pn1=Pn2であるので、スプ
ール9は中央の位置から変位しない。そのため、コント
ロールポートP1、P2とプレッシャーポートPs、リ
ターンポートPrとの間をスプール9が閉鎖しているの
で、流体は流れず、サーボ弁の出力は0である。
When the input control signal is 0, the armature 2 is not tilted, the nozzle flapper 4 is located at the center of the nozzles 5 and 6, and the nozzle back pressures Pn1 and Pn2 of the nozzles 5 and 6 are equal. One end 10 of the spool 9 is located between the nozzle 5 and the orifice 7, receives the nozzle back pressure Pn1 of the nozzle 5, and the other end 11 of the spool 9 similarly has the nozzle back pressure Pn of the nozzle 6.
Receive 2. However, since Pn1 = Pn2, the spool 9 is not displaced from the center position. Therefore, since the spool 9 is closed between the control ports P1 and P2 and the pressure port Ps and the return port Pr, the fluid does not flow and the output of the servo valve is 0.

【0019】次に、入力制御信号を受けて、電機子2が
時計回りに傾斜した場合を考える。このときノズルフラ
ッパ4は左に揺動し、ノズルフラッパ4とノズル5との
ギャップは小さくなり、逆にノズルフラッパ4とノズル
6とのギャップは大きくなる。このため、ノズル5のノ
ズル背圧はノズル6のノズル背圧より高くなる、すなわ
ち、Pn1>Pn2となる。ノズル背圧Pn1、Pn2
はそれぞれスプール端10、11に作用し、スプール9
はこのノズル背圧差により右に変位する。シリンダ端面
である側板12とスプール端10、11との間の空間に
は弾性体としてそれぞれコイルばね13、14が設けら
れている。スプール9は右に変位すると、コイルばね1
4を圧縮するので、コイルばね14から左向きの力を受
ける。スプール9はこのばね力とノズル背圧差とが均衡
する位置まで変位する。スプール9が変位すると、シリ
ンダ壁のコントロールポートP1、P2の窓が変位に応
じて開き、作動油が供給圧源に接続されたプレッシャー
ポートPsからコントロールポートP1を経由して被制
御系に供給され、被制御系から排出される作動油はコン
トロールポートP2を経由してリターンポートPrに吸
引される。トルクモータ1への入力制御信号がシリンダ
壁の窓の開度を制御するので、被制御系に供給される駆
動力も入力制御信号によって制御される。
Next, consider a case where the armature 2 is tilted clockwise in response to the input control signal. At this time, the nozzle flapper 4 swings to the left, the gap between the nozzle flapper 4 and the nozzle 5 becomes smaller, and conversely, the gap between the nozzle flapper 4 and the nozzle 6 becomes larger. Therefore, the nozzle back pressure of the nozzle 5 is higher than the nozzle back pressure of the nozzle 6, that is, Pn1> Pn2. Nozzle back pressure Pn1, Pn2
Respectively act on the spool ends 10, 11 and the spool 9
Is displaced to the right due to this nozzle back pressure difference. Coil springs 13 and 14 are provided as elastic bodies in the space between the side plate 12 that is the cylinder end surface and the spool ends 10 and 11, respectively. When the spool 9 is displaced to the right, the coil spring 1
Since 4 is compressed, the coil spring 14 receives a leftward force. The spool 9 is displaced to a position where the spring force and the nozzle back pressure difference are balanced. When the spool 9 is displaced, the windows of the control ports P1 and P2 on the cylinder wall are opened according to the displacement, and the hydraulic oil is supplied from the pressure port Ps connected to the supply pressure source to the controlled system via the control port P1. The hydraulic oil discharged from the controlled system is sucked into the return port Pr via the control port P2. Since the input control signal to the torque motor 1 controls the opening degree of the window of the cylinder wall, the driving force supplied to the controlled system is also controlled by the input control signal.

【0020】以上、本実施形態であるノズルフラッパ方
式電磁比例サーボ弁の大まかな動作を述べた。続いて、
ノズルとノズルフラッパの動作を詳しく説明する。
The general operation of the nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve according to this embodiment has been described above. continue,
The operation of the nozzle and the nozzle flapper will be described in detail.

【0021】本ノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁は
フィードバックばねを有しないため、スプール9が平衡
点に移動してもノズルフラッパ4は2つのノズル間の中
点に位置しない。すなわち、スプール平衡時にノズル背
圧差は0とならない。本サーボ弁では、所定範囲の入力
信号に対しては、プレッシャーポートPsへの供給圧が
所定範囲で変化してもノズル背圧差が一定となるよう、
供給圧に比例するノズルからの噴出圧により、ノズルフ
ラッパ4の揺動量を抑制する。すなわち、ノズルフラッ
パ4はトルクモータ1から力を受けて揺動される一方
で、ノズル5、6から、揺動量・供給圧が大きい程、大
きな噴出力の差を揺動を抑制される向きに受ける。これ
により供給圧の増加によるノズル背圧差の増加とノズル
フラッパ4の揺動量抑制によるノズル背圧差の減少が相
殺され、供給圧の変動によってノズル背圧差が変動しな
いように構成されている。
Since the present nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve has no feedback spring, the nozzle flapper 4 is not located at the midpoint between the two nozzles even when the spool 9 moves to the equilibrium point. That is, the nozzle back pressure difference does not become zero when the spool is balanced. With this servo valve, for input signals in a predetermined range, the nozzle back pressure difference becomes constant even if the supply pressure to the pressure port Ps changes within the predetermined range.
The oscillating amount of the nozzle flapper 4 is suppressed by the ejection pressure from the nozzle that is proportional to the supply pressure. That is, the nozzle flapper 4 is swung by receiving a force from the torque motor 1, while the nozzles 5 and 6 receive a large difference in ejection output in a direction in which the swing is suppressed as the swing amount and the supply pressure increase. . As a result, the increase in the nozzle back pressure difference due to the increase in the supply pressure and the decrease in the nozzle back pressure difference due to the suppression of the swing amount of the nozzle flapper 4 are offset, and the nozzle back pressure difference does not fluctuate due to the fluctuation in the supply pressure.

【0022】本サーボ弁の具体的構成は、トルクモータ
1として最大20mAで0.4kg・cmのトルクを生
じるモータを使用しており、ノズル5、6の穴は1mm
径であり、ノズルフラッパ4の中立位置においては、ノ
ズルフラッパ4とノズル5、6とのギャップはそれぞれ
80μmである。従来のノズルフラッパ方式電磁比例サ
ーボ弁は同一のトルクモータに対して、ノズルの穴は
0.4mm径であり、ノズルフラッパとノズルとのギャ
ップは中立位置において50μmであった。このことか
らわかるように、本サーボ弁では、トルクモータのトル
クに比してノズルの噴出力を従来よりも強め、供給圧に
比例したノズルフラッパの揺動抑制を行っている。本サ
ーボ弁は60〜180 l/minの流量(供給圧)範
囲の制御に使用可能である。
The specific construction of this servo valve uses a motor that produces a torque of 0.4 kg.cm at a maximum of 20 mA as the torque motor 1, and the holes of the nozzles 5 and 6 are 1 mm.
In the neutral position of the nozzle flapper 4, the gap between the nozzle flapper 4 and the nozzles 5 and 6 is 80 μm. In the conventional nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve, for the same torque motor, the nozzle hole had a diameter of 0.4 mm, and the gap between the nozzle flapper and the nozzle was 50 μm at the neutral position. As can be seen from this, in this servo valve, the jet output of the nozzle is made stronger than in the conventional case as compared with the torque of the torque motor, and the swing of the nozzle flapper is suppressed in proportion to the supply pressure. This servo valve can be used for controlling the flow rate (supply pressure) range of 60 to 180 l / min.

【0023】さて、上記構成により、本サーボ弁はノズ
ルフラッパ弁部分15とスプール弁部分16とに分離可
能に構成されている。従来のノズルフラッパ方式電磁比
例サーボ弁と異なり、ノズルフラッパ弁部分15とスプ
ール弁部分16との間はフィードバックばねで接続され
ていないので、エンドユーザは両部分を容易に分離し、
さらにスプール弁部分16の側板12をはずしてスプー
ル9を取り出すことができ、スプール弁部分16の内部
の流路、シリンダ及びスプール9を清掃することができ
る。また清掃後、容易に組み立て直すこともできる。
With the above construction, the servo valve is constructed so that it can be separated into the nozzle flapper valve portion 15 and the spool valve portion 16. Unlike the conventional nozzle flapper type solenoid proportional servo valve, since the nozzle flapper valve portion 15 and the spool valve portion 16 are not connected by a feedback spring, the end user can easily separate the two portions.
Further, the side plate 12 of the spool valve portion 16 can be removed to take out the spool 9, and the flow passage, the cylinder and the spool 9 inside the spool valve portion 16 can be cleaned. It can also be easily reassembled after cleaning.

【0024】板状フィルタ17は流体清浄フィルタであ
り、ノズルフラッパ弁部分15の、ノズル5、6に流体
が流れ込み得る3カ所にいずれもオリフィス7、8と接
触不可能に配置されている。これら板状フィルタ17
は、供給圧源からノズル5、6に供給される流体から汚
染物を除去する。汚れが蓄積された場合には、ノズルフ
ラッパ弁部分15とスプール弁部分16とを分離してノ
ズルフラッパ弁部分15から取り外して、洗浄又は交換
することができる。この際、板状フィルタ17はオリフ
ィス7、8と非接触なので、板状フィルタ17に蓄積し
たゴミがオリフィス7、8に付着しにくく、エンドユー
ザが容易にメンテナンスを行うことができる。
The plate-like filter 17 is a fluid cleaning filter, and is arranged in the nozzle flapper valve portion 15 at three places where fluid can flow into the nozzles 5 and 6 so as not to come into contact with the orifices 7 and 8. These plate filters 17
Removes contaminants from the fluid supplied to the nozzles 5, 6 from the supply pressure source. If dirt builds up, the nozzle flapper valve portion 15 and the spool valve portion 16 can be separated and removed from the nozzle flapper valve portion 15 for cleaning or replacement. At this time, since the plate filter 17 is not in contact with the orifices 7 and 8, dust accumulated in the plate filter 17 is unlikely to adhere to the orifices 7 and 8, and the end user can easily perform maintenance.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明のノズルフラッパ方式電磁比例サ
ーボ弁は、スプール弁部分の分解及びフィルタの交換が
容易であり、エンドユーザがメンテナンスを容易に行う
ことができるという効果がある。
The nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve of the present invention has an effect that the spool valve portion can be easily disassembled and the filter can be easily replaced, and the end user can easily perform maintenance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の実施形態に係るノズルフラッパ方式
電磁比例サーボ弁の断面構造を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a sectional structure of a nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve according to an embodiment of the present invention.

【図2】 従来のノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁
の断面構造を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing a cross-sectional structure of a conventional nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 トルクモータ、2 電機子、4 ノズルフラッパ、
5,6 ノズル、7,8 オリフィス、9 スプール、
13,14 コイルばね、17 板状フィルタ。
1 torque motor, 2 armatures, 4 nozzle flapper,
5,6 nozzles, 7,8 orifices, 9 spools,
13, 14 Coil springs, 17 Plate filters.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 オリフィスを介して供給圧源に接続さ
れ、対向配置された1対のノズルと、各ノズルに対向し
て設けられ、入力信号を受けたトルクモータにより揺動
され両ノズル間にノズル背圧差を発生させるノズルフラ
ッパと、シリンダ内をスプールが往復変位するスプール
弁と、スプールの変位に比例してスプールに復元力を及
ぼすスプール平衡手段とを有し、各ノズル背圧は互いに
スプールの異なる端に導かれ、スプールはかかる両端の
ノズル背圧差とスプール平衡手段による復元力との平衡
点に変位し、スプール弁がかかる変位に比例した流量を
出力するノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁におい
て、 スプール平衡手段がスプール両端のシリンダ空間に配置
した1対の弾性体であり、 ノズルからの噴出圧によりノズルフラッパが揺動抑制さ
れ、ノズル背圧差が所定の供給圧範囲で一定であるよう
に調整された入力信号範囲を有し、 ノズル、ノズルフラッパ、オリフィス及びトルクモータ
を含むノズルフラッパ弁部分とスプール弁を含むスプー
ル弁部分とが分離可能に構成されること、 を特徴とするノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁。
1. A pair of nozzles, which are connected to a supply pressure source through an orifice and are arranged so as to face each other, and a nozzle which is provided so as to face each nozzle and which is swung by a torque motor which receives an input signal. It has a nozzle flapper that generates a nozzle back pressure difference, a spool valve that causes the spool to reciprocate in the cylinder, and a spool balancing unit that exerts a restoring force on the spool in proportion to the displacement of the spool. Guided to different ends, the spool is displaced to the equilibrium point between the nozzle back pressure difference at both ends and the restoring force by the spool balancing means, and in the nozzle flapper type solenoid proportional servo valve that outputs a flow rate proportional to the displacement, the spool The equilibrium means is a pair of elastic bodies arranged in the cylinder space at both ends of the spool, and the nozzle flapper sways due to the jet pressure from the nozzle. A nozzle flapper valve portion including a nozzle, a nozzle flapper, an orifice, and a torque motor, and a spool valve portion including a spool valve, which has an input signal range that is suppressed and adjusted so that a nozzle back pressure difference is constant in a predetermined supply pressure range. Nozzle flapper type solenoid proportional servo valve characterized by being separable.
【請求項2】 請求項1記載のノズルフラッパ方式電磁
比例サーボ弁において、 オリフィスと接触不可能な位置に設けられたフィルタで
あって、供給圧源からノズルに供給される流体から汚染
物を除去する流体清浄フィルタを有することを特徴とす
るノズルフラッパ方式電磁比例サーボ弁。
2. The nozzle flapper type electromagnetic proportional servo valve according to claim 1, wherein the filter is provided at a position where it cannot contact the orifice, and removes contaminants from the fluid supplied from the supply pressure source to the nozzle. A nozzle flapper type solenoid proportional servo valve characterized by having a fluid cleaning filter.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000283112A (en) * 1999-03-31 2000-10-13 Kawasaki Steel Corp Hydraulic servo valve
JP2001074162A (en) * 1999-09-01 2001-03-23 Ebara Corp Fluid control valve and plate with filter
CN110822129A (en) * 2019-10-29 2020-02-21 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 Pressure feedback type slide valve structure
CN111156212A (en) * 2019-12-24 2020-05-15 中航工业南京伺服控制系统有限公司 Single-stage spraying gear external zero-setting cartridge servo valve

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