JPH09331097A - Solid laser system - Google Patents
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- JPH09331097A JPH09331097A JP14734296A JP14734296A JPH09331097A JP H09331097 A JPH09331097 A JP H09331097A JP 14734296 A JP14734296 A JP 14734296A JP 14734296 A JP14734296 A JP 14734296A JP H09331097 A JPH09331097 A JP H09331097A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＮｄ：ＹＡ
Ｇ結晶、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶等の固体レーザ媒質を用い
てレーザ光を発生させる固体レーザ装置に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to, for example, Nd: YA
The present invention relates to a solid-state laser device that generates laser light by using a solid-state laser medium such as a G crystal or Nd: YVO 4 crystal.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、高出力の回折限界ビームのレ
ーザ光を高効率に発生することのできる固体レーザ装置
の研究が盛んに行なわれている。図５は、高出力の回折
限界ビームのレーザ光の第２高調波を発生させる固体レ
ーザ装置の構造例を示した図である（オプティカル・レ
ターズ誌（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｌｅｔｔｅｒｓ）第１９巻
１８９頁参照）。2. Description of the Related Art Conventionally, solid-state laser devices capable of highly efficiently generating a laser beam of a high-power diffraction-limited beam have been actively researched. FIG. 5 is a diagram showing a structural example of a solid-state laser device for generating the second harmonic of a laser beam of a high-output diffraction-limited beam (see Optical Letters Vol. 19, page 189).
【０００３】複数配列された半導体レーザダイオード１
００から励起光が発生せられ、この励起光はファイババ
ンドル１０６の内部を伝搬し、ファイバ端１０６ａより
出射される。この出射された励起光１０７は、コリメー
トレンズ１０８および集光レンズ１０９を経由し、レー
ザ共振器ミラーを兼ねた１／４波長板（ＱＷＰ）１０１
を透過してＮｄ：ＹＡＧ結晶１０５の内部に集光され
る。Ｎｄ：ＹＡＧ結晶１０５では、この照射された励起
光のエネルギーによりレーザ光が発生し、その発光した
レーザ光はＮｄ：ＹＡＧ結晶１０５から出射し、エタロ
ン１１３、ピンホール１１２を経由し、平面反射ミラー
１０２で折り返され、曲率４０ｍｍを有する凹面出力ミ
ラー１０３で反射され、さらに、レーザ光の第２高周波
を発生する、タイプＩＩの位相整合条件を満足する非線
形光学結晶であるＫＴＰ結晶１２０を通過し、ＱＷＰ１
０１とでレーザ共振器を構成する共振器ミラー１０４に
至る。共振器ミラー１０４で反射されたレーザ光は、再
びＫＴＰ１２０を通過し、凹面出力ミラー１０３に至
る。この凹面出力ミラー１０３はＮｄ：ＹＡＧ結晶１０
５で発生したレーザ光は反射し、ＫＴＰ１２０で発生し
たレーザ光の第２高周波は透過するよう、その分光反射
率分布（分光透過率分布）が調整されている。このた
め、凹面出力ミラー１０３に達した光のうち第２高周波
はこの凹面出力ミラー１０３を透過し、レンズ１１１に
よりコリメートされこの固体レーザ装置の外部に出射さ
れる。一方、共振器ミラー１０４で反射し凹面出力ミラ
ー１０３に達した光のうち、ＫＴＰ結晶１２０で波長変
換されていない、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶１０５で発生したま
まの波長のレーザ光は凹面出力ミラー１０３で反射さ
れ、さらに平面反射ミラー１０２で反射されてＮｄ：Ｙ
ＡＧ結晶１０５に戻る。Ｎｄ：ＹＡＧ結晶１０５の、図
４の左側に出射したレーザ光は、ＱＷＰ１０１で反射し
てＮｄ：ＹＡＧ結晶１０５に戻る。A plurality of semiconductor laser diodes 1 arranged
00 generates excitation light, which propagates inside the fiber bundle 106 and is emitted from the fiber end 106a. The emitted excitation light 107 passes through a collimator lens 108 and a condenser lens 109, and a quarter wavelength plate (QWP) 101 also serving as a laser resonator mirror.
And is condensed inside the Nd: YAG crystal 105. In the Nd: YAG crystal 105, laser light is generated by the energy of the irradiated excitation light, and the emitted laser light is emitted from the Nd: YAG crystal 105, passes through the etalon 113, the pinhole 112, and is a plane reflection mirror. It is folded back at 102, is reflected by a concave output mirror 103 having a curvature of 40 mm, and further passes through a KTP crystal 120 which is a nonlinear optical crystal satisfying the type II phase matching condition for generating the second high frequency of the laser beam, QWP1
01 reaches the resonator mirror 104 forming the laser resonator. The laser light reflected by the resonator mirror 104 passes through the KTP 120 again and reaches the concave output mirror 103. The concave output mirror 103 is an Nd: YAG crystal 10.
The spectral reflectance distribution (spectral transmittance distribution) is adjusted so that the laser light generated in 5 is reflected and the second high frequency of the laser light generated in KTP 120 is transmitted. Therefore, the second high frequency light of the light reaching the concave output mirror 103 is transmitted through the concave output mirror 103, collimated by the lens 111, and emitted to the outside of the solid-state laser device. On the other hand, of the light reflected by the resonator mirror 104 and reaching the concave output mirror 103, the laser light of the wavelength as generated by the Nd: YAG crystal 105, which has not been wavelength-converted by the KTP crystal 120, is reflected by the concave output mirror 103. Nd: Y after being reflected and further reflected by the plane reflection mirror 102.
Returning to the AG crystal 105. The laser light emitted to the left side of the Nd: YAG crystal 105 in FIG. 4 is reflected by the QWP 101 and returns to the Nd: YAG crystal 105.
【０００４】励起光の照射により励起されたＮｄ：ＹＡ
Ｇ結晶１０５内では、発熱による温度分布によって、レ
ーザ光の光軸を中心とした半径方向に屈折率分布が生
じ、実効的な凸レンズが形成される。この実効的な凸レ
ンズと、凹面出力ミラー１０３とによって、レーザ共振
器内のレーザモードが決定される。すなわち、ＫＴＰ結
晶１２０内ではレーザモードが絞られて光密度が高ま
り、このため非線形光学効果にる波長変換効率が向上
し、高出力の第２高調波を取り出すことができる。ま
た、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶１０５内のレーザモードが広が
り、励起モードとの重なりがよくなるため、Ｎｄ：ＹＡ
Ｇ結晶１０５内でのレーザの発振効率が向上する。上述
の文献によれば、この図５に示す構成で、１７．３Ｗの
励起光を照射したとき、３．５Ｗの第２高周波が得られ
ている。Nd: YA excited by irradiation with excitation light
In the G crystal 105, due to the temperature distribution due to heat generation, a refractive index distribution is generated in the radial direction centered on the optical axis of the laser light, and an effective convex lens is formed. The effective convex lens and the concave output mirror 103 determine the laser mode in the laser resonator. That is, in the KTP crystal 120, the laser mode is narrowed down and the light density is increased, so that the wavelength conversion efficiency due to the non-linear optical effect is improved and the high-power second harmonic can be extracted. Further, since the laser mode in the Nd: YAG crystal 105 spreads and the overlap with the excitation mode is improved, Nd: YA
The laser oscillation efficiency in the G crystal 105 is improved. According to the above-mentioned document, the second high frequency of 3.5 W is obtained when the excitation light of 17.3 W is irradiated with the configuration shown in FIG.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】図５に示す固体レーザ
装置では、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶１０５内のレーザモードお
よびＫＴＰ結晶１２０内のレーザモードの最適化は、共
振器ミラー１０４を光軸方向に移動して凹面出力ミラー
１０３と共振器ミラー１０４との間の間隔を調整するこ
とにより行なわれる。しかし、調整することのできるの
は凹面出力ミラー１０３と共振器ミラー１０４との間の
間隔のみであり、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶１０５内のレーザモ
ードとＫＴＰ結晶１２０内のレーザモードとの双方を最
適化することはできず、一方を最適化しようとすると他
方が最適なレーザモードからずれてしまう結果となる。In the solid-state laser device shown in FIG. 5, the laser mode in the Nd: YAG crystal 105 and the laser mode in the KTP crystal 120 are optimized by moving the resonator mirror 104 in the optical axis direction. Then, the distance between the concave output mirror 103 and the resonator mirror 104 is adjusted. However, only the distance between the concave output mirror 103 and the resonator mirror 104 can be adjusted, and both the laser mode in the Nd: YAG crystal 105 and the laser mode in the KTP crystal 120 are optimized. It is not possible to do so, and trying to optimize one will result in the other deviating from the optimal laser mode.
【０００６】また、この図５に示す固体レーザ装置で
は、調整の自由度が小さいためにＮｄ：ＹＡＧ結晶内に
形成される等価的な凸レンズの焦点距離の許容変動範囲
が小さく、そのため励起光のパワーを上げて更なる高出
力を得ようとしても、励起光のパワーが高まったことに
よりＮｄ：ＹＡＧ結晶１０５内の発熱が高まり、屈折率
分布が変化し、等価的な凸レンズの焦点距離が最適な範
囲から外れてしまい、したがって励起光のパワーを上げ
ても更なる高出力を得ることは困難である可能性があ
る。Further, in the solid-state laser device shown in FIG. 5, since the degree of freedom of adjustment is small, the permissible fluctuation range of the focal length of the equivalent convex lens formed in the Nd: YAG crystal is small, and therefore the excitation light Even if the power is increased to obtain a higher output, the heat in the Nd: YAG crystal 105 is increased due to the increase in the power of the excitation light, the refractive index distribution is changed, and the equivalent focal length of the convex lens is optimum. Therefore, it may be difficult to obtain an even higher output even if the power of the pumping light is increased.
【０００７】また、図５に示す固体レーザ装置では設計
の自由度が小さいためにＮｄ：ＹＡＧ結晶１０５内での
励起モードとレーザモードとの重なりが不十分であり、
高次のレーザモードを除去して回折限界ビームを得るた
めのピンホール１１２がレーザ共振器内に配置されてい
る。このピンホール１１２を配置することにより高次の
レーザモードが除去され、回折限界ビームを得ることが
できるが高次のレーザモードが除去される分損失が生
じ、レーザの発振効率の低下を招いている。Further, in the solid-state laser device shown in FIG. 5, since the degree of freedom in design is small, the overlap between the excitation mode and the laser mode in the Nd: YAG crystal 105 is insufficient,
A pinhole 112 for removing a higher-order laser mode and obtaining a diffraction-limited beam is arranged in the laser resonator. By arranging this pinhole 112, a higher-order laser mode can be removed and a diffraction-limited beam can be obtained, but a loss occurs due to the removal of the higher-order laser mode, leading to a decrease in laser oscillation efficiency. There is.
【０００８】さらに、図５に示す固体レーザ装置では、
共振器の設計の自由度が狹いために、ＫＴＰ結晶１２０
内のレーザモードが常に小さくなるよう、凹面出力ミラ
ー１０３の曲率半径を４０ｍｍとし、その焦点距離が極
めて短く設定されている。このような条件では、凹面出
力ミラー１０３と共振器ミラー１０４との間の間隔を極
めて狭くしないと発振しないために、第２高周波を発生
させるためのＫＴＰ結晶１２０の寸法や角度調節に余裕
がなく、非線形光学結晶は長さの２乗に比例する変換効
率を有するので長さの長いＫＴＰ結晶を配置したいとこ
ろ、５ｍｍ以上の長さのＫＴＰ結晶を配置することは不
可能である。Further, in the solid-state laser device shown in FIG.
Due to the flexibility of the resonator design, the KTP crystal 120
The radius of curvature of the concave output mirror 103 is set to 40 mm and the focal length thereof is set to be extremely short so that the internal laser mode is always small. Under such a condition, oscillation does not occur unless the distance between the concave output mirror 103 and the resonator mirror 104 is extremely narrow, and therefore there is no margin in adjusting the size and angle of the KTP crystal 120 for generating the second high frequency. Since a nonlinear optical crystal has a conversion efficiency proportional to the square of the length, it is impossible to arrange a KTP crystal having a length of 5 mm or more when it is desired to arrange a KTP crystal having a long length.
【０００９】しかも、凹面出力ミラー１０３の焦点距離
が短く、したがって凹面出力ミラー１０３と共振器ミラ
ー１０４との間の間隔が狹いために、その間隔の変化の
許容度が狭く、共振器ミラー１０４の位置を僅かに変化
させても特性が極めて敏感に変化し、長時間の安定性に
も問題を生じる可能性がある。本発明は、上記事情に鑑
み、設計の自由度や許容幅が大きく、さらに安定性に優
れた固体レーザ装置を提供することを目的とする。In addition, since the concave output mirror 103 has a short focal length, and therefore the distance between the concave output mirror 103 and the resonator mirror 104 is narrow, the tolerance of the change in the distance is narrow, and the resonator mirror 104 has a narrow tolerance. Even if the position is changed slightly, the characteristics change extremely sensitively, which may cause a problem in long-term stability. In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide a solid-state laser device that has a large degree of freedom in design and a wide tolerance, and is excellent in stability.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の固体レーザ装置は、 （１）励起光が入射され該励起光のエネルギーにより励
起されてレーザ光を発生する固体レーザ媒質 （２）上記固体レーザ媒質で発生しその固体レーザ媒質
を経由する第１の光路に沿う方向に出射されたレーザ光
を、そのレーザ光が第１の光路に沿って固体レーザ媒質
に戻る方向に反射する第１のミラー （３）上記第１の光路上の、上記第１のミラーに対し固
体レーザ媒質を間に挟んだ位置に配置され、励起光を透
過させて励起光を固体レーザ媒質に入射させるととも
に、固体レーザ媒質から出射されたレーザ光を、第１の
光路の延びる方向とは異なる方向に延びる第２の光路に
沿う方向に反射する第２のミラー （４）上記第２の光路上に配置され、上記第２のミラー
により第２の光路に沿う方向に反射されたレーザ光を、
その第２の光路の延びる方向とは異なる方向に反射する
第３のミラー （５）上記第３の光路上に配置され、第３のミラーによ
り第３の光路に沿う方向に反射されたレーザ光を、その
レーザ光が第３の光路に沿って第３のミラーに戻る方向
に反射する第４のミラー を備えたことを特徴とする。A solid-state laser device of the present invention that achieves the above-mentioned object is (1) a solid-state laser medium that emits laser light by being excited by the energy of the excitation light that is incident (2) A laser beam generated in the solid-state laser medium and emitted in a direction along the first optical path passing through the solid-state laser medium is reflected in a direction in which the laser beam returns to the solid-state laser medium along the first optical path. Mirror No. 1 (3) is disposed on the first optical path at a position sandwiching the solid-state laser medium with respect to the first mirror, transmits the excitation light, and makes the excitation light incident on the solid-state laser medium. A second mirror that reflects laser light emitted from the solid-state laser medium in a direction along a second optical path extending in a direction different from the direction in which the first optical path extends. (4) Arranged on the second optical path The second above The laser light reflected in the direction along the second optical path by the mirror of
Third mirror reflecting in a direction different from the extending direction of the second optical path (5) Laser light arranged on the third optical path and reflected by the third mirror in a direction along the third optical path Is provided with a fourth mirror for reflecting the laser light in a direction returning to the third mirror along the third optical path.
【００１１】ここで、上記固体レーザ媒質は、第１の光
路上に配置されていることに代わり、第２の光路上に配
置されていてもよい。上記本発明によれば、共振器内の
レーザモードを調整するにあたり、第１のミラーを第１
の光路に沿う方向に移動させることができるとともに、
第４のミラーを第３の光路に沿う方向に移動させること
ができ、したがって調整の自由度が高く、第３のミラー
を凹面ミラーとした場合にその凹面ミラーの曲率はゆる
やかでよく、第３のミラーと第４のミラーとの間隔を広
くとることができ、第４のミラーの位置を変化させたこ
とに対する特性の変化率も小さく、したがって長期安定
性にも優れている。このようなことから設計の自由度も
大幅に向上する。Here, instead of being arranged on the first optical path, the solid-state laser medium may be arranged on the second optical path. According to the present invention, the first mirror is adjusted to the first mirror when adjusting the laser mode in the resonator.
It can be moved in the direction along the optical path of
Since the fourth mirror can be moved in the direction along the third optical path, the degree of freedom of adjustment is high, and when the third mirror is a concave mirror, the concave mirror may have a gentle curvature. The distance between the second mirror and the fourth mirror can be widened, the rate of change of the characteristics with respect to changing the position of the fourth mirror is small, and therefore the long-term stability is also excellent. As a result, the degree of freedom in design is greatly improved.
【００１２】本発明の固体レーザ装置において、第３の
ミラーが凹面ミラーであることが好ましい。固体レーザ
媒質の熱レンズ効果を補償し、また、以下に述べるよう
に、この第３のミラーと上述した第４のミラーとの間に
非線形光学部材を配置した場合にその非線的光学部材内
でのレーザモードを狭めるためである。In the solid-state laser device of the present invention, it is preferable that the third mirror is a concave mirror. It compensates for the thermal lens effect of the solid-state laser medium and, as will be described below, when a non-linear optical member is arranged between this third mirror and the above-mentioned fourth mirror, This is to narrow the laser mode in.
【００１３】また、上記本発明の固体レーザ装置におい
て、第３のミラーと第４のミラーとの間の第３の光路上
に配置された、固体レーザ媒質で発生したレーザ光の第
２高周波を発生させる非線形光学部材を備え、第３のミ
ラーが、上記固体レーザ媒質で発生したレーザ光を反射
するとともに上記非線形光学部材で発生した第２高周波
を透過するものであり、第４のミラーが、上記固体レー
ザ媒質で発生したレーザ光と、上記非線形光学部材で発
生した第２高周波との双方を反射するものであることも
好ましい態様である。In the solid-state laser device of the present invention, the second high frequency of the laser light generated by the solid-state laser medium, which is arranged on the third optical path between the third mirror and the fourth mirror, is generated. A third mirror for generating a nonlinear optical member, reflecting a laser beam generated by the solid-state laser medium and transmitting a second high frequency generated by the nonlinear optical member; and a fourth mirror It is also a preferable aspect to reflect both the laser light generated by the solid-state laser medium and the second high frequency wave generated by the nonlinear optical member.
【００１４】このような構成をとることにより、第２高
周波を発生させ、上記第３のミラーを出力ミラーとして
第２高周波を外部に取り出すことができる。また、上記
の非線形光学部材を配置した場合に、上記第１、第２お
よび第３の光路にうちのいずれかの光路上に、異なる偏
光方向に対して異なる透過率を有する光学部材を備える
ことが好ましい。With such a structure, the second high frequency can be generated and the second high frequency can be taken out by using the third mirror as an output mirror. When the above-mentioned nonlinear optical member is arranged, an optical member having different transmittances for different polarization directions is provided on any one of the first, second and third optical paths. Is preferred.
【００１５】こうすることにより、発振スペクトルの縦
モード本数が大幅に減少し、非線形光学部材における位
相整合条件の波長依存性の影響が少なくなり、第２高周
波への波長変換効率がさらに向上する。さらに、上記本
発明の固体レーザ装置において、固体レーザ媒質に対し
第２のミラーを間に挟んだ位置に配置された、励起光を
固体レーザ媒質内に集光する、励起光の集光位置を第１
の光路に沿う方向に調整自在な集光光学部材を備えるこ
とが好ましい。By doing so, the number of longitudinal modes of the oscillation spectrum is significantly reduced, the influence of the wavelength dependence of the phase matching condition in the nonlinear optical member is reduced, and the wavelength conversion efficiency to the second high frequency is further improved. Further, in the above-described solid-state laser device of the present invention, the pumping light is focused on the solid-state laser medium at a position where the second mirror is sandwiched between the solid-state laser medium and the pumping light. First
It is preferable to provide a condensing optical member that can be adjusted in the direction along the optical path.
【００１６】励起光の集光位置を調整可能にすることに
より、固体レーザ媒質内での励起モードとレーザモード
との重なりを最適に調整することができ、励起光のパワ
ーを上げたときそのパワーに応じてその集光位置を調整
することにより、その励起光のパワーに見あったレーザ
出力を得ることができる。By making the focusing position of the pumping light adjustable, the overlap between the pumping mode and the laser mode in the solid-state laser medium can be optimally adjusted, and the power of the pumping light is increased. By adjusting the focusing position in accordance with the above, it is possible to obtain a laser output that matches the power of the excitation light.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１は、本発明の固体レーザ装置の第１実施
形態の構造を示した図である。この図１に示す固体レー
ザ装置には、固体レーザ媒質の１つである、直径５ｍ
ｍ、長さ５ｍｍのＮｄ：ＹＡＧ結晶５が配置されてお
り、このＮｄ：ＹＡＧ結晶５には励起光２０が照射され
る。励起光２０は、例えば図４に示す従来例と同様にし
て光ファイバ２１に導かれてその端面２１ａから出射
し、コリメートレンズ２２によりコリメートされ、さら
に集光レンズ２３を経由し、平面ミラー２を透過してＮ
ｄ：ＹＡＧ結晶５内に集光する。ここで、集光レンズ２
３は、図示の矢印Ａ−Ｂ方向に移動自在な可動ステージ
（図示せず）上に固定されており、その集光レンズ２３
の位置が調整される。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a diagram showing a structure of a first embodiment of a solid-state laser device of the present invention. The solid-state laser device shown in FIG. 1 has a diameter of 5 m, which is one of the solid-state laser media.
An Nd: YAG crystal 5 having a length of m and a length of 5 mm is arranged, and the Nd: YAG crystal 5 is irradiated with excitation light 20. The excitation light 20 is guided to an optical fiber 21, emitted from an end face 21a thereof, collimated by a collimating lens 22, collimated by a collimating lens 23, and further passes through a converging lens 23 to pass through the plane mirror 2 as in the conventional example shown in FIG. Transparent and N
d: Focus on the YAG crystal 5. Here, the condenser lens 2
3 is fixed on a movable stage (not shown) movable in the direction of the arrow AB shown in the drawing, and its condenser lens 23
The position of is adjusted.
【００１８】また、平面ミラー２は、本発明にいう第２
のミラーの一例であり、ここではＮｄ：ＹＡＧ結晶５で
の発振レーザ光の波長１０６４ｎｍの光に対して９９．
９％以上の高い反射率を有し、励起光の波長８０９ｍｍ
の光に対して９５％の透過率を有している。またＮｄ：
ＹＡＧ結晶５の両端面５ａ，５ｂには、発振レーザ光
（波長１０６４ｎｍ）に対して反射率０．１％以下、励
起光（波長８０９ｎｍ）に対して反射率０．５％以下の
誘電体膜が形成されている。The plane mirror 2 is the second mirror referred to in the present invention.
Of the Nd: YAG crystal 5 with respect to light having a wavelength of 1064 nm, which is 99.
Has a high reflectance of 9% or more, and the excitation light wavelength is 809 mm.
Has a transmittance of 95%. Also Nd:
On both end surfaces 5a and 5b of the YAG crystal 5, a dielectric film having a reflectance of 0.1% or less with respect to the oscillation laser light (wavelength 1064 nm) and a reflectance of 0.5% or less with respect to the excitation light (wavelength 809 nm). Are formed.
【００１９】Ｎｄ：ＹＡＧ結晶５の内部では、励起光の
エネルギーによりレーザ発振が生じて、上述した波長１
０６４ｎｍのレーザ光が発生し、その発生したレーザ光
は、第１の光路１１に沿う方向に、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶５
から出射する。第１の光路１１上には、レーザ光（波長
１０６４ｎｍ）に対して９５％の反射率を有する平面ミ
ラー１（本発明にいう第１のミラーの一例）が配置され
ている。この平面ミラー１は、本実施形態ではレーザ光
をこの固体レーザ装置の外部に出射する出力ミラーとし
て作用するものであり、５％のレーザ光は、平面ミラー
１を透過して出力レーザ光としてこの固体レーザ装置の
外部に出射され、９５％のレーザ光はこの平面ミラー１
で反射し第１の光路１１に沿ってＮｄ：ＹＡＧ結晶５に
戻る。Inside the Nd: YAG crystal 5, laser oscillation occurs due to the energy of the excitation light and the above-mentioned wavelength 1
064 nm laser light is generated, and the generated laser light is applied to the Nd: YAG crystal 5 in a direction along the first optical path 11.
Emitted from A plane mirror 1 (an example of the first mirror referred to in the present invention) having a reflectance of 95% with respect to laser light (wavelength 1064 nm) is arranged on the first optical path 11. In the present embodiment, the plane mirror 1 acts as an output mirror that emits laser light to the outside of the solid-state laser device, and 5% of the laser light passes through the plane mirror 1 and is output laser light. 95% of the laser light emitted to the outside of the solid-state laser device is the plane mirror 1.
And is returned to the Nd: YAG crystal 5 along the first optical path 11.
【００２０】Ｎｄ：ＹＡＧ結晶５から平面ミラー２側に
出射したレーザ光は、第１の光路１１の延びる方向とは
異なる方向に延びる第２の光路１２に沿う方向に反射す
る。この第２の光路１２上には、波長１０６４ｎｍの光
に対して９９．９％以上の高い反射率を有する、曲率半
径７０ｍｍの凹面ミラー３（本発明にいう第３のミラー
の一例）が配置されており、平面ミラー２で反射され第
２の光路１２に沿って進んで凹面ミラー３に達したレー
ザ光は、凹面ミラー３で、その第２の光路１２の延びる
方向とは異なる方向に延びる第３の光路１３に沿う方向
に反射される。第３の光路１３上には、波長１０６４ｎ
ｍの光に対して９９．９％以上の高い反射率を有する共
振器平面ミラー４（本発明にいう第４のミラーの一例）
が配置されており、凹面ミラー３で反射され第３の光路
１３に沿って進んだレーザ光は、この共振器平面ミラー
４で、第３の光路１３に沿って凹面ミラー３に戻る方向
に反射される。The laser light emitted from the Nd: YAG crystal 5 to the plane mirror 2 side is reflected in the direction along the second optical path 12 extending in a direction different from the direction in which the first optical path 11 extends. A concave mirror 3 (an example of the third mirror in the present invention) having a radius of curvature of 70 mm and having a high reflectance of 99.9% or more for light having a wavelength of 1064 nm is arranged on the second optical path 12. The laser light reflected by the plane mirror 2 and traveling along the second optical path 12 and reaching the concave mirror 3 extends in the concave mirror 3 in a direction different from the direction in which the second optical path 12 extends. It is reflected in the direction along the third optical path 13. A wavelength of 1064n is provided on the third optical path 13.
A resonator plane mirror 4 having a high reflectance of 99.9% or more for m light (an example of the fourth mirror in the present invention).
The laser light reflected by the concave mirror 3 and traveling along the third optical path 13 is reflected by the resonator plane mirror 4 in the direction of returning to the concave mirror 3 along the third optical path 13. To be done.
【００２１】ここで、この図１に示す構造の固体レーザ
装置の場合、平面ミラー１を第１の光路１１の延びる方
向に移動させることにより平面ミラー１と平面ミラー２
との間の間隔を調整することができ、かつ、共振器平面
ミラー４を第３の光路１３の延びる方向に移動させるこ
とにより凹面ミラー３と共振器平面ミラー４との間隔を
調整することができ、これらの調整により、Ｎｄ：ＹＡ
Ｇ結晶５の内部における熱レンズ効果を補償してレーザ
共振器を安定に保ち、かつＮｄ：ＹＡＧ結晶５の内部に
おける、励起モードとレーザモードとの重なりを最適に
調整しレーザ発振の効率を高めることができる。したが
って、図１に示す構造を採用することにより、いかなる
励起状態においてもその励起状態における最高効率のレ
ーザ出力を得ることができ、またレーザモード調整用の
ピンホール等を配置する必要がなく良好な回折限界ビー
ムを得ることができる。Here, in the case of the solid-state laser device having the structure shown in FIG. 1, the plane mirror 1 and the plane mirror 2 are moved by moving the plane mirror 1 in the extending direction of the first optical path 11.
Can be adjusted, and the distance between the concave mirror 3 and the resonator plane mirror 4 can be adjusted by moving the resonator plane mirror 4 in the direction in which the third optical path 13 extends. Yes, by adjusting these, Nd: YA
The thermal lens effect inside the G crystal 5 is compensated to keep the laser resonator stable, and the overlap between the excitation mode and the laser mode inside the Nd: YAG crystal 5 is optimally adjusted to enhance the laser oscillation efficiency. be able to. Therefore, by adopting the structure shown in FIG. 1, it is possible to obtain the highest efficiency laser output in any pumped state in any pumped state, and it is not necessary to dispose a pinhole or the like for laser mode adjustment. A diffraction limited beam can be obtained.
【００２２】また、上述したように、集光レンズ２３
は、矢印Ａ−Ｂ方向に移動可能であり、出力ミラー１か
ら出射される出力レーザ光のパワーが最大となるように
集光レンズ２３の位置が調整される。この集光レンズ２
３の位置を調整すると、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶５の内部の熱
レンズの焦点距離および励起モードが調整され、したが
って出力特性がそのレーザ共振器に応じて最適になるよ
うに調整される。Further, as described above, the condenser lens 23
Is movable in the direction of arrow AB, and the position of the condenser lens 23 is adjusted so that the power of the output laser light emitted from the output mirror 1 is maximized. This condenser lens 2
Adjusting the position of 3 adjusts the focal length and the excitation mode of the thermal lens inside the Nd: YAG crystal 5 and thus the output characteristics are optimized for that laser resonator.
【００２３】尚、図１に示す実施形態では、本発明にい
う固体レーザ媒質の一例としてＮｄ：ＹＡＧ結晶が用い
られてるが、ここに用いる固体レーザ媒質はＮｄ：ＹＡ
Ｇ結晶である必要はなく、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶であって
もよく、Ｎｄ：ＹＬＦ結晶であってもよく、あるいはそ
の他のいかなる固体レーザ媒質であってもよい。励起に
使用する励起光源、例えば半導体レーザダイオードとし
ては、使用する固体レーザ媒質に対応した好適な波長の
励起光を発生させる励起光源が選択される。In the embodiment shown in FIG. 1, an Nd: YAG crystal is used as an example of the solid-state laser medium according to the present invention, but the solid-state laser medium used here is Nd: YA.
It need not be a G crystal, but may be an Nd: YVO 4 crystal, an Nd: YLF crystal, or any other solid-state laser medium. As a pumping light source used for pumping, for example, a semiconductor laser diode, a pumping light source that generates pumping light of a suitable wavelength corresponding to the solid-state laser medium used is selected.
【００２４】図２は、本発明の固体レーザ装置の第２実
施形態の構造を示した図である。図１に示す実施形態と
の相違点はＮｄ：ＹＡＧ結晶５が第２の光路１２に配置
されている点である。このように、本発明における固体
レーザ媒質は、図１に示すように第１の光路上に配置し
てもよく、図２に示すように第２の光路上に配置しても
よい。FIG. 2 is a view showing the structure of the second embodiment of the solid-state laser device of the present invention. The difference from the embodiment shown in FIG. 1 is that the Nd: YAG crystal 5 is arranged in the second optical path 12. As described above, the solid-state laser medium in the present invention may be arranged on the first optical path as shown in FIG. 1 or may be arranged on the second optical path as shown in FIG.
【００２５】図３は、本発明の固体レーザ装置の第３実
施形態の構造を示した図である。図１に示す第１実施形
態との相違点について説明する。図１に示す実施形態に
おいては、平面ミラー１を出力ミラーとして用いたが、
この実施形態では、平面ミラー１は、波長１０６４ｎｍ
の光に対して９９．９％以上の高い反射率を有するもの
であり、レーザ光を全て反射する。また、この実施形態
では、固体レーザ媒質として、直径３ｍｍ×長さ３ｍｍ
のＮｄ：ＹＶＯ4結晶５１が用いられている。また、凹
面ミラー３は、図１に示す第１実施形態の場合と同様、
曲率半径７０ｍｍのミラーであるが、この凹面ミラー３
は、本実施形態では、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５１で発生し
たレーザ光の波長１０６４ｎｍの光に対して９９．９％
以上の高い反射率を有するとともに、以下に説明するＬ
ＢＯ結晶６で発生した、波長１０６４ｎｍのレーザ光の
第２高調波である波長５３２ｎｍの光に対して９５％の
透過率を有し、第２の高調波の出力ミラーとしての作用
をなす。さらに共振器平面ミラー４は、波長１０６４ｎ
ｍの光に対して９９．９％以上の高い反射率を有すると
ともに、第２高調波の波長５３２ｎｍの光に対しても９
９．５％以上の高い反射率を有する。FIG. 3 is a diagram showing the structure of a third embodiment of the solid-state laser device of the present invention. Differences from the first embodiment shown in FIG. 1 will be described. In the embodiment shown in FIG. 1, the plane mirror 1 is used as the output mirror,
In this embodiment, the plane mirror 1 has a wavelength of 1064 nm.
Has a high reflectance of 99.9% or more, and reflects all laser light. In this embodiment, the solid-state laser medium has a diameter of 3 mm and a length of 3 mm.
Nd: YVO 4 crystal 51 is used. Further, the concave mirror 3 is similar to the case of the first embodiment shown in FIG.
This concave mirror 3 has a radius of curvature of 70 mm.
In the present embodiment, is 99.9% with respect to the laser light having a wavelength of 1064 nm generated by the Nd: YVO 4 crystal 51.
In addition to having the above high reflectance, L described below is used.
It has a transmittance of 95% with respect to the light having a wavelength of 532 nm, which is the second harmonic of the laser light having a wavelength of 1064 nm generated in the BO crystal 6, and acts as an output mirror of the second harmonic. Further, the resonator plane mirror 4 has a wavelength of 1064n.
It has a high reflectance of 99.9% or more with respect to the light of m and also has a high reflectance of 9 with respect to the light of the second harmonic wavelength of 532 nm.
It has a high reflectance of 9.5% or more.
【００２６】凹面ミラー３と共振器平面ミラー４との間
の第３の光路１３には、波長１０６４ｎｍの光を入射す
ると波長５３２の第２高調波を発生する、タイプＩの位
相整合結晶方位を有する非線形光学結晶であるＬＢＯ結
晶６が配置されている。ＬＢＯ結晶６の両端面には、波
長１０６４ｎｍの光に対して反射率０．２％以下、波長
５３２ｎｍの光に対して反射率０．４％以下の誘電体膜
が形成されている。ＬＢＯ結晶６の軸方向はＮｄ：ＹＶ
Ｏ4 結晶５１のｃ軸方向と同じになるように配置するこ
とにより、第２高調波への変換効率が最大になるように
工夫している。ＬＢＯ結晶６より双方向に出射される波
長５３２ｎｍ第二高調波のうち共振器ミラー４に向う光
は、その共振器ミラー１４で反射され、同じ方向にまと
められて凹面ミラー３より共振器外に取り出される。レ
ンズ７は、５３２ｎｍの光をコリメートするためのレン
ズである。In the third optical path 13 between the concave mirror 3 and the resonator plane mirror 4, a type I phase-matched crystal orientation that generates a second harmonic of wavelength 532 when light of wavelength 1064 nm is incident is provided. An LBO crystal 6, which is a nonlinear optical crystal of the type, is arranged. On both end faces of the LBO crystal 6, a dielectric film having a reflectance of 0.2% or less with respect to light having a wavelength of 1064 nm and a reflectance of 0.4% or less with respect to light having a wavelength of 532 nm is formed. The axial direction of the LBO crystal 6 is Nd: YV
By arranging the O 4 crystal 51 in the same direction as the c-axis direction, the device is devised to maximize the conversion efficiency into the second harmonic. Of the 532 nm wavelength second harmonic emitted from the LBO crystal 6 in both directions, the light directed to the resonator mirror 4 is reflected by the resonator mirror 14 and is collected in the same direction to the outside of the resonator from the concave mirror 3. Taken out. The lens 7 is a lens for collimating 532 nm light.
【００２７】ここで、平面ミラー１と平面ミラー２との
間隔、および凹面ミラー３と共振器平面ミラー４との間
隔を変えることにより、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５１におけ
る熱レンズ効果を補償してレーザ共振器を安定に保ち、
且つ、Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶５１における励起モードとレ
ーザモードとの重なりと、ＬＢＯ結晶６内におけるレー
ザモードとを独立して最適に調整することができ、この
ため最高の効率で第２高調波出力を得ることができる。
また共振器内のレーザモードの設計の自由度が高く、凹
面ミラー３の曲率半径を７０ｍｍと大きくしても第３の
光路１３に配置されたＬＢＯ結晶６内でのレーザモード
を小さく絞ることができるため、凹面ミラー３と共振器
平面ミラー４との間隔を４０ｍｍ程度に長くすることが
可能であり、長さの長い非線形光学結晶を余裕を持って
配置することができ、第２高調波の発生効率を向上させ
ることができる。加えて、凹面ミラー３と共振器平面ミ
ラー４との間の間隔の変動の許容幅も広く、調整が容易
であって、かつ外乱による出力変動の影響も小さい。By changing the distance between the plane mirror 1 and the plane mirror 2 and the distance between the concave mirror 3 and the resonator plane mirror 4, the thermal lens effect in the Nd: YVO 4 crystal 51 is compensated and the laser is compensated. Keep the resonator stable,
Moreover, the overlap between the excitation mode and the laser mode in the Nd: YVO 4 crystal 51 and the laser mode in the LBO crystal 6 can be adjusted independently and optimally, and therefore the second harmonic output with the highest efficiency can be obtained. Can be obtained.
Further, there is a high degree of freedom in designing the laser mode in the resonator, and even if the radius of curvature of the concave mirror 3 is increased to 70 mm, the laser mode in the LBO crystal 6 arranged in the third optical path 13 can be narrowed down. Therefore, it is possible to increase the distance between the concave mirror 3 and the resonator plane mirror 4 to about 40 mm, and it is possible to arrange a long-length nonlinear optical crystal with a margin, and to increase the second harmonic The generation efficiency can be improved. In addition, the permissible range of variation in the distance between the concave mirror 3 and the resonator plane mirror 4 is wide, adjustment is easy, and the influence of output variation due to disturbance is small.
【００２８】この第３実施形態では第二高調波を発生さ
せる非線形光学材料としてＬＢＯ結晶を用いたが、必ず
しもＬＢＯ結晶を用いる必要はなく、例えばＢＢＯ結晶
であってもよく、ＫＴＰ結晶であってもよく、その他の
非線形光学材料であってもよい。図４は、本発明の固体
レーザ装置の第４実施形態の構造を示した図である。図
３に示す実施形態との相違点について説明する。Although the LBO crystal is used as the nonlinear optical material for generating the second harmonic in the third embodiment, the LBO crystal does not necessarily have to be used, and may be, for example, a BBO crystal or a KTP crystal. Or other non-linear optical material. FIG. 4 is a diagram showing the structure of the fourth embodiment of the solid-state laser device of the present invention. Differences from the embodiment shown in FIG. 3 will be described.
【００２９】この図４に示す第４実施形態では、発振レ
ーザ光を得るための固体レーザ媒質としては、図１に示
す第１実施形態の場合と同様Ｎｄ：ＹＡＧ結晶５が用い
られており、第３の光路１３に配置された非線形光学材
料としては、図３に示す第３実施形態におけるＬＢＯ結
晶６とは異なり、タイプＩＩの位相整合条件を満足する
ＫＴＰ結晶６１が用いられている。In the fourth embodiment shown in FIG. 4, the Nd: YAG crystal 5 is used as the solid-state laser medium for obtaining the oscillated laser light, as in the case of the first embodiment shown in FIG. Unlike the LBO crystal 6 in the third embodiment shown in FIG. 3, a KTP crystal 61 satisfying the type II phase matching condition is used as the nonlinear optical material arranged in the third optical path 13.
【００３０】この図４に示す第４実施形態には、さら
に、第１の光路１１にブリュースター板８が配置されて
いる。このブリュースター板８は、その透過率が最も高
い偏光の方位がＫＴＰ結晶６１の結晶軸の１つであるｃ
軸の方位に対して４５°になるように固定されている。
この条件のとき、ＫＴＰ結晶６１における第２高調波の
発生効率が最も高まると同時に、複屈折フィルタとして
最も効果的に波長選択作用をなすために発振スペクトル
の縦モード本数が大幅に減少し、位相整合条件の波長依
存性の影響が少なくなり、第２高調波への変換効率がさ
らに向上する。In the fourth embodiment shown in FIG. 4, a Brewster plate 8 is further arranged in the first optical path 11. In the Brewster plate 8, the orientation of the polarized light having the highest transmittance is one of the crystal axes of the KTP crystal 61. c
It is fixed at 45 ° to the azimuth of the axis.
Under this condition, the efficiency of generation of the second harmonic in the KTP crystal 61 is maximized, and at the same time, the number of longitudinal modes of the oscillation spectrum is greatly reduced in order to most effectively perform the wavelength selection action as the birefringent filter, and The influence of the wavelength dependency of the matching condition is reduced, and the conversion efficiency into the second harmonic is further improved.
【００３１】[0031]
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１に示す第１実施形態の構造の固体レーザ装置を組み立
て、２０Ｗ８０９ｎｍ励起光を入力したところ、８Ｗ１
０６４ｎｍの、回折限界の良好な横モード分布を有する
レーザ出力が得られた。また、この固体レーザ装置でレ
ーザ出力を継続させた状態で長時間放置してもレーザ出
力強度に何ら変化はなく、安定していた。Embodiments of the present invention will be described below. When the solid-state laser device having the structure of the first embodiment shown in FIG. 1 was assembled and 20 W 809 nm pumping light was input, 8 W1
A laser output having a transverse mode distribution with a good diffraction limit of 064 nm was obtained. Further, even if the solid-state laser device was left for a long time while the laser output was continued, the laser output intensity did not change and was stable.
【００３２】また、図３に示す第３実施形態の構造の固
体レーザ装置を組み立て、２０Ｗ８０９ｎｍの励起光入
力に対して、４Ｗの回折限界ビームの５３２ｎｍ第２高
調波光が得られた。また、この場合の長時間安定性も上
記と同様極めて良好であった。さらに、図４に示す第４
実施形態の構造の固体レーザ装置を組み立て、２０Ｗ８
０９ｎｍの励起光入力に対して、６Ｗの回折限界ビーム
の５３２ｎｍ第２高調波が得られた。長時間安定性も極
めて良好であった。Further, the solid-state laser device having the structure of the third embodiment shown in FIG. 3 was assembled, and 532 nm second harmonic light of a diffraction-limited beam of 4 W was obtained with respect to the pumping light input of 20 W and 809 nm. Further, the long-term stability in this case was also extremely good as in the above. Furthermore, the fourth shown in FIG.
Assembling the solid-state laser device having the structure of the embodiment,
A 532 nm second harmonic of a 6 W diffraction limited beam was obtained for a 09 nm pump light input. The long-term stability was also extremely good.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
設計の自由度や許容幅が大きく、さらに安定性に優れた
固体レーザ装置を実現することができる。As described above, according to the present invention,
It is possible to realize a solid-state laser device which has a large degree of freedom in design and a wide tolerance and which is excellent in stability.
【図１】本発明の固体レーザ装置の第１実施形態の構造
を示した図である。FIG. 1 is a diagram showing a structure of a first embodiment of a solid-state laser device of the present invention.
【図２】本発明の固体レーザ装置の第２実施形態の構造
を示した図である。FIG. 2 is a diagram showing the structure of a second embodiment of the solid-state laser device of the present invention.
【図３】本発明の固体レーザ装置の第３実施形態の構造
を示した図である。FIG. 3 is a diagram showing a structure of a third embodiment of the solid-state laser device of the present invention.
【図４】本発明の固体レーザ装置の第４実施形態の構造
を示した図である。FIG. 4 is a diagram showing a structure of a fourth embodiment of the solid-state laser device of the present invention.
【図５】高出力の回折限界ビームのレーザ光の第２高調
波を発生させる、従来提案された固体レーザ装置の構造
例を示した図である。FIG. 5 is a diagram showing a structural example of a conventionally proposed solid-state laser device for generating a second harmonic of a laser beam of a high-power diffraction-limited beam.
１ 平面ミラー ２ 平面ミラー ３ 凹面ミラー ４ 共振器平面ミラー ５ Ｎｄ：ＹＡＧ結晶 ６ ＬＢＯ結晶 ７ レンズ ８ ブリュースター板 １１ 第１の光路 １２ 第２の光路 １３ 第３の光路 ２０ 励起光 ２１ 光ファイバ ２２ コリメートレンズ ２３ 集光レンズ ５１ Ｎｄ：ＹＶＯ4 結晶 ６１ ＫＴＰ結晶1 plane mirror 2 plane mirror 3 concave mirror 4 resonator plane mirror 5 Nd: YAG crystal 6 LBO crystal 7 lens 8 Brewster plate 11 first optical path 12 second optical path 13 third optical path 20 excitation light 21 optical fiber 22 Collimating lens 23 Condensing lens 51 Nd: YVO 4 crystal 61 KTP crystal
Claims (6)
により励起されてレーザ光を発生する固体レーザ媒質
と、 前記固体レーザ媒質で発生し該固体レーザ媒質を経由す
る第１の光路に沿う方向に出射されたレーザ光を、該レ
ーザ光が該第１の光路に沿って該固体レーザ媒質に戻る
方向に反射する第１のミラーと、 前記第１の光路上の、前記第１のミラーに対し前記固体
レーザ媒質を間に挟んだ位置に配置され、励起光を透過
させて該励起光を該固体レーザ媒質に入射させるととも
に、該固体レーザ媒質から出射されたレーザ光を、該第
１の光路の延びる方向とは異なる方向に延びる第２の光
路に沿う方向に反射する第２のミラーと、 前記第２の光路上に配置され、前記第２のミラーにより
前記第２の光路に沿う方向に反射されたレーザ光を、該
第２の光路の延びる方向とは異なる方向に延びる第３の
光路に沿う方向に反射する第３のミラーと、 前記第３の光路上に配置され、前記第３のミラーにより
該第３の光路に沿う方向に反射されたレーザ光を、該レ
ーザ光が該第３の光路に沿って該第３のミラーに戻る方
向に反射する第４のミラーとを備えたことを特徴とする
固体レーザ装置。1. A solid-state laser medium that receives excitation light and is excited by the energy of the excitation light to generate laser light; and a direction along a first optical path that is generated in the solid-state laser medium and passes through the solid-state laser medium. A first mirror that reflects the laser light emitted to the laser light in a direction in which the laser light returns to the solid-state laser medium along the first optical path; and a first mirror on the first optical path. On the other hand, the solid-state laser medium is disposed in a position sandwiching the solid-state laser medium, the excitation light is transmitted, the excitation light is incident on the solid-state laser medium, and the laser light emitted from the solid-state laser medium is supplied to the first laser medium. A second mirror that reflects in a direction along a second optical path that extends in a direction different from the direction in which the optical path extends; a direction that is arranged on the second optical path and that follows the second optical path by the second mirror The laser light reflected on A third mirror that reflects in a direction along a third optical path that extends in a direction different from the direction in which the second optical path extends; and a third mirror that is disposed on the third optical path and that includes the third mirror. A fourth mirror for reflecting the laser light reflected in the direction along the optical path of the second mirror in the direction in which the laser light returns to the third mirror along the third optical path. Laser device.
上に配置されていることに代わり、前記第２の光路上に
配置されてなることを特徴とする請求項１記載の固体レ
ーザ装置。2. The solid-state laser device according to claim 1, wherein the solid-state laser medium is arranged on the second optical path instead of being arranged on the first optical path. .
とを特徴とする請求項１又は２記載の固体レーザ装置。3. The solid-state laser device according to claim 1, wherein the third mirror is a concave mirror.
の間の前記第３の光路上に配置された、前記固体レーザ
媒質で発生したレーザ光の第２高周波を発生する非線形
光学部材を備え、 前記第３の反射ミラーが、前記固体レーザ媒質で発生し
たレーザ光を反射するとともに前記非線形光学部材で発
生した第２高周波を透過するものであり、 前記第４のミラーが、前記固体レーザ媒質で発生したレ
ーザ光と、前記非線形光学部材で発生した第２高周波と
の双方を反射するものであることを特徴とする請求項１
又は２記載の固体レーザ装置。4. A non-linear optical member arranged on the third optical path between the third mirror and the fourth mirror, for generating a second high frequency of the laser light generated in the solid-state laser medium. The third reflection mirror reflects the laser light generated by the solid-state laser medium and transmits the second high frequency generated by the nonlinear optical member, and the fourth mirror is the solid-state laser. The laser light generated in the laser medium and the second high frequency light generated in the nonlinear optical member are both reflected.
Or the solid-state laser device according to 2.
のいずれかの光路上に異なる偏光方向に対して異なる透
過率を有する光学部材を備えたことを特徴とする請求項
４記載の固体レーザ装置。5. The optical member having different transmittances for different polarization directions is provided on any one of the first, second and third optical paths. Solid-state laser device.
ラーを間に挟んだ位置に配置された、励起光を該固体レ
ーザ媒質内に集光する、該励起光の集光位置を前記第１
の光路に沿う方向に調整自在な集光光学部材を備えたこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の固体レーザ装置。6. The solid-state laser medium is arranged at a position sandwiching the second mirror between the solid-state laser medium, and the pumping light is condensed in the solid-state laser medium. 1
The solid-state laser device according to claim 1 or 2, further comprising a condensing optical member that is adjustable in a direction along the optical path.
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| JP14734296A JP3197820B2 (en) | 1996-06-10 | 1996-06-10 | Solid-state laser device |
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