JPH09324843A - Fine/coarse/motion ball screw and its unit - Google Patents

Fine/coarse/motion ball screw and its unit

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JPH09324843A
JPH09324843A JP14170996A JP14170996A JPH09324843A JP H09324843 A JPH09324843 A JP H09324843A JP 14170996 A JP14170996 A JP 14170996A JP 14170996 A JP14170996 A JP 14170996A JP H09324843 A JPH09324843 A JP H09324843A
Authority
JP
Japan
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ball screw
screw shaft
nut
coarse
fine
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP14170996A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Higaya
正博 飛ヶ谷
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NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To execute coarse and fine sending by screwing a ball screw nut through a ball in the ball screw groove of a ball screw nut-cum-ball screw shaft, which is screwed in a ball screw shaft in which a ball screw groove is formed in its periphery and a screw groove and in which a ball screw groove is formed in its periphery. SOLUTION: When a coarse motion side ball screw shaft 43 is rotated by a motor 45, a ball; screw nut 44 is linearly moved by a detent mechanism 56 without being rotated together with the ball screw shaft 43, and a fine motion side ball screw shaft 47 and a nut 50 are also linearly moved accompanied by the movement of the balls crew nut 44, and a table 48 fixed to a supporting body 49 for rotatively supporting a nut 50 is coarsely sent equivalent to the lead of the coarse motion side ball screw nut 44. While, when the nut 50 is rotated by a fine motion side motor 51, the ball screw nut 44 is linearly moved by the ball screw shaft 47, and the table 48 fixed to the supporting body 49 for rotatively supporting the nut 50 is finely sent equivalent to the lend of the screw shaft 47. Hereby, it can be executed from super low speed sending to super high speed sending.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、粗動送りと微動送
りを同一テーブル上で行ないたい場合に利用できる粗動
微動ボールねじおよびそのユニットに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coarse movement fine movement ball screw and a unit thereof which can be used when it is desired to perform coarse movement feed and fine movement feed on the same table.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4、図5、図6は、例えば工作機械、
測定器等のテーブルを一軸上に送る各々のボールねじユ
ニットを示したものである。
2. Description of the Related Art FIGS. 4, 5, and 6 are, for example, machine tools,
It shows each ball screw unit that feeds a table such as a measuring instrument on one axis.

【0003】図4に示されるボールねじユニットは、テ
ーブル1にブラケット2を介してボールねじナット3が
固定され、このボールねじナット3にベース4上に固定
された一対のピローブロック等の支持体5に回転自在に
支持されたボールねじ軸6が複数のボール(図示せず)
を介して螺挿され、かつ、ボールねじ軸6にベース4上
に固定された駆動モータ7がカップリング8を介して連
結される。このボールねじユニットにおいて、駆動モー
タ7にてカップリング8を介してボールねじ軸6を回転
させると、その回転運動はボールねじナット3によって
直線方向推力に変換され、ボールねじナット3にブラケ
ット2を介して固定されたテーブル1を直線移動させ
る。
In the ball screw unit shown in FIG. 4, a ball screw nut 3 is fixed to a table 1 via a bracket 2 and a support body such as a pair of pillow blocks is fixed to the ball screw nut 3 on a base 4. The ball screw shaft 6 rotatably supported by 5 has a plurality of balls (not shown).
A drive motor 7 which is screwed through and is fixed to the ball screw shaft 6 on the base 4 is connected through a coupling 8. In this ball screw unit, when the drive motor 7 rotates the ball screw shaft 6 via the coupling 8, the rotational movement is converted into a linear thrust by the ball screw nut 3, and the bracket 2 is attached to the ball screw nut 3. The fixed table 1 is linearly moved via the.

【0004】図5に示されるボールねじユニットは、テ
ーブル11に一対のブラケット12を介してボールねじ
軸13が固定され、このボールねじ軸13にベース14
に固定されたピローブロック等の支持体15に回転自在
に支持されたボールねじナット16が複数のボール(図
示せず)を介して螺合され、かつ、ボールねじナット1
6にベース14上に固定された駆動モータ17が動力伝
達機構18を介して連結される。このボールねじユニッ
トにおいて、駆動モータ17にて動力伝達機構18を介
してボールねじナット16を回転させると、その回転運
動はボールねじ軸13によって直線方向推力に変換さ
れ、ボールねじ軸13に一対のブラケット12を介して
固定されたテーブル11を直線移動させる。
In the ball screw unit shown in FIG. 5, a ball screw shaft 13 is fixed to a table 11 via a pair of brackets 12, and a base 14 is attached to the ball screw shaft 13.
A ball screw nut 16 rotatably supported by a support body 15 such as a pillow block fixed to the above is screwed through a plurality of balls (not shown), and the ball screw nut 1
A drive motor 17 fixed on the base 14 is connected to the drive shaft 6 via a power transmission mechanism 18. In this ball screw unit, when the drive motor 17 rotates the ball screw nut 16 via the power transmission mechanism 18, the rotational movement is converted into a linear thrust by the ball screw shaft 13, and the ball screw shaft 13 receives a pair of thrusts. The table 11 fixed via the bracket 12 is linearly moved.

【0005】図6に示されるボールねじユニットは、一
軸上にボールスプライン軸21およびわずかなリード差
を設けた2つのボールねじ軸22,23が一体形成され
ている送り軸を用い、ボールスプライン軸21にベース
24上に固定されたピローブロック等の支持体25に回
転自在に支持されたボールスプラインナット26が複数
のボール(図示せず)を介して螺合され、このボールス
プラインナット26にベース24上に固定された駆動モ
ータ27が動力伝達機構28を介して連結されるととも
に、一方のボールねじ軸22にベース24上に固定され
たブロック29に固定されたボールねじナット30が複
数のボール(図示せず)を介して螺合され、かつ、もう
一方のボールねじ軸23にテーブル31にブラケット3
2を介して固定されたボールねじナット33が複数のボ
ール(図示せず)を介して螺合される。このボールねじ
ユニットにおいて、駆動モータ27にて動力伝達機構2
8を介してボールスプライン軸21を回転させると、ボ
ールねじ軸22が回転しながらボールねじナット30に
よって直線移動し、それに伴いボールねじ軸23も回転
しながら直線移動し、このボールねじ23によってボー
ルねじナット33がボールねじ軸23と反対方向に直線
移動し、このボールねじナット33にブラケット32を
介して固定されたテーブル31を2つのボールねじ軸2
2,23のリード差分に相当して微動送りさせる。ま
た、ボールねじナット30をベース24上に固定された
ブロック29から外してボールねじ軸22と共回りする
状態で、駆動モータ27にて動力伝達機構28を介して
ボールスプライン軸21を回転させると、2つのボール
ねじ軸22,23が直線移動しないで回転し、それに伴
いボールねじ23によってボールねじナット33も直線
移動し、このボールねじナット33にブラケット32を
介して固定されたテーブル31をボールねじ軸22のリ
ードに相当して粗動送りさせる。
The ball screw unit shown in FIG. 6 uses a feed shaft in which a ball spline shaft 21 and two ball screw shafts 22 and 23 having a slight lead difference are integrally formed on one axis. A ball spline nut 26, which is rotatably supported by a support 25 such as a pillow block fixed to a base 24 of the base 21, is screwed through a plurality of balls (not shown), and the ball spline nut 26 is attached to the base. A drive motor 27 fixed on 24 is connected via a power transmission mechanism 28, and a ball screw nut 30 fixed on a block 29 fixed on a base 24 on one ball screw shaft 22 has a plurality of ball screw nuts 30. (Not shown), and the other ball screw shaft 23 is mounted on the table 31 by the bracket 3
The ball screw nut 33 fixed via 2 is screwed through a plurality of balls (not shown). In this ball screw unit, the drive motor 27 drives the power transmission mechanism 2
When the ball spline shaft 21 is rotated through 8, the ball screw shaft 22 is linearly moved by the ball screw nut 30 while being rotated, and the ball screw shaft 23 is also linearly moved while being rotated by the ball screw 23. The screw nut 33 linearly moves in the direction opposite to the ball screw shaft 23, and the table 31 fixed to the ball screw nut 33 via the bracket 32 is attached to the two ball screw shafts 2.
Fine feed is performed corresponding to the lead difference of 2,23. Further, when the ball screw nut 30 is removed from the block 29 fixed on the base 24 and rotates together with the ball screw shaft 22, the drive motor 27 rotates the ball spline shaft 21 via the power transmission mechanism 28. The two ball screw shafts 22 and 23 rotate without linear movement, and accordingly, the ball screw 23 also linearly moves the ball screw nut 33, and the table 31 fixed to the ball screw nut 33 via the bracket 32 is rotated. Coarse motion feed is performed corresponding to the lead of the screw shaft 22.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】図4、図5に示される
各々のボールねじユニットにおいては、駆動モータ7,
17の回転数を変化させることにより粗動送り、微動送
りの制御が行なわれるため、粗動送りを重点においてボ
ールねじ軸6,13のリードを大きく設定すると、微動
送りの際の分解能が悪くなり、また、微動送りを重点に
おいてボールねじ軸6,13のリードを小さく設定する
と、粗動送りの際にボールねじ軸6,13の回転数を大
きくしなければならないために危険速度や循環部の破損
等の問題が発生する。
In each of the ball screw units shown in FIGS. 4 and 5, the drive motor 7,
Coarse feed and fine feed are controlled by changing the number of revolutions of 17. Therefore, if the leads of the ball screw shafts 6 and 13 are set to be large with emphasis on coarse feed, the resolution during fine feed will deteriorate. If the leads of the ball screw shafts 6 and 13 are set to be small with emphasis on fine movement feed, the number of rotations of the ball screw shafts 6 and 13 must be increased during coarse movement feed. Problems such as breakage occur.

【0007】また、図6に示されるボールねじユニット
においては、ボールねじ23が回転しながら直線移動
し、かつ、ボールねじ23によってボールねじナット3
3がボールねじ軸23と反対方向に直線移動することに
より、テーブル31の微動送りが可能となっている。し
たがって、本来ストロークとして有効な部分は、ボール
ねじ軸23のみであるにもかかわらず、ボールスプライ
ン軸21、ボールねじ軸22が必要となり、装置全体が
軸方向に長い構造となってコスト的にも非常に高価なも
のとなってしまう。更に、粗動送りの際は、ボールねじ
ナット30をベース24上に固定されたブロック29か
ら外してボールねじ軸22と共回りさせるという構造の
変換機構が必要となり、装置全体の構造が複雑なものと
なってしまう。
Further, in the ball screw unit shown in FIG. 6, the ball screw 23 linearly moves while rotating, and the ball screw 23 causes the ball screw nut 3 to move.
The linear movement of 3 in the direction opposite to the ball screw shaft 23 enables the fine movement of the table 31. Therefore, the ball spline shaft 21 and the ball screw shaft 22 are required even though only the ball screw shaft 23 is originally effective as a stroke, and the entire device has a structure that is long in the axial direction, which is also costly. It will be very expensive. Further, during the coarse feed, a conversion mechanism having a structure in which the ball screw nut 30 is removed from the block 29 fixed on the base 24 and rotated together with the ball screw shaft 22 is required, and the structure of the entire apparatus is complicated. It becomes a thing.

【0008】そこで、本発明の目的は、分解能を損なわ
ない微動送りおよび危険速度や循環部の破損等の問題が
ない粗動送りが可能で、しかも、コンパクトで、かつ、
構造が簡単な粗動微動ボールねじおよびそのユニットを
提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to enable fine movement feed which does not impair resolution and coarse movement feed which does not cause problems such as critical speed and breakage of the circulation portion, and is compact and
(EN) Provided are a coarse movement fine movement ball screw having a simple structure and its unit.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため、本発明は、外周にボールねじ溝を形成したボール
ねじ軸と、該ボールねじ軸のボールねじ溝に複数のボー
ルを介して螺合され、その外周にボールねじ溝を形成し
たボールねじナット兼ボールねじ軸と、該ボールねじナ
ット兼ボールねじ軸のボールねじ溝に複数のボールを介
して螺合されるボールねじナットとを備えたことを特徴
とする粗動微動ボールねじ、および、一対の支持体に回
転自在に支持され、外周にボールねじ溝を形成したボー
ルねじ軸と、該ボールねじ軸のボールねじ溝に複数のボ
ールを介して螺合され、その外周にボールねじ溝を形成
し、かつ、任意の位置に適宜の回れ止め機構を設けたボ
ールねじナット兼ボールねじ軸と、該ボールねじナット
兼ボールねじ軸のボールねじ溝に複数のボールを介して
螺合されたボールねじナットと、前記ボールねじ軸を回
転駆動する駆動手段と、前記ボールねじナットを回転駆
動する別の駆動手段とを備えたことを特徴とする粗動微
動ボールねじユニットを提供する。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a ball screw shaft having a ball screw groove formed on the outer periphery thereof, and a ball screw groove of the ball screw shaft screwed through a plurality of balls. A ball screw nut / ball screw shaft having a ball screw groove formed on the outer periphery thereof, and a ball screw nut screwed into the ball screw groove of the ball screw nut / ball screw shaft through a plurality of balls. And a ball screw shaft rotatably supported by a pair of supports and having a ball screw groove formed on the outer periphery, and a plurality of balls in the ball screw groove of the ball screw shaft. Of the ball screw nut and ball screw shaft, which are screwed together via a ball screw nut and a ball screw groove is formed on the outer periphery of the ball screw groove, and an appropriate anti-rotation mechanism is provided at an arbitrary position. A ball screw nut screwed through a plurality of balls into a ball screw groove, a driving unit that rotationally drives the ball screw shaft, and another driving unit that rotationally drives the ball screw nut. Provided is a characteristic coarse-motion fine-motion ball screw unit.

【0010】本発明によれば、ボールねじ軸およびボー
ルねじナット兼ボールねじ軸とボールねじナット兼ボー
ルねじ軸およびボールねじナットで2つのボールねじを
構成させ、それぞれを別々に制御して粗動微動するよう
にした。
According to the present invention, the ball screw shaft, the ball screw nut / ball screw shaft, the ball screw nut / ball screw shaft and the ball screw nut constitute two ball screws, each of which is separately controlled to perform coarse movement. I made a slight movement.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づき説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0012】図1は、この実施形態の粗動微動ボールね
じを用いたユニットの全体構成を示す。
FIG. 1 shows the overall construction of a unit using the coarse / fine movement ball screw of this embodiment.

【0013】この粗動微動ボールねじユニットは、ベー
ス41上に固定された一対のピローブロック等の支持体
42に粗動側ボールねじ軸43が回転自在に支持され、
この粗動側ボールねじ軸43に粗動側ボールねじナット
44が複数のボール(図示せず)を介して螺合され、か
つ、粗動側ボールねじ軸43にベース41上に固定され
た粗動側モータ45がカップリング46を介して連結さ
れる。
In this coarse movement / fine movement ball screw unit, a coarse movement side ball screw shaft 43 is rotatably supported on a support body 42 such as a pair of pillow blocks fixed on a base 41.
A coarse movement side ball screw nut 44 is screwed onto the coarse movement side ball screw shaft 43 through a plurality of balls (not shown), and a coarse movement side ball screw nut 43 is fixed to the coarse movement side ball screw shaft 43 on the base 41. The driving side motor 45 is connected via a coupling 46.

【0014】粗動側ボールねじナット44には、図2に
示すように、一軸上に外周上に微動用ボールねじ溝を加
工した微動側ボールねじ軸47が一体形成され、この微
動側ホールねじ軸47にテーブル48に固定されたピロ
ーブロック等の支持体49に回転自在に支持された微動
側ボールねじナット50が複数のボール(図示せず)を
介して螺合され、かつ、微動側ボールねじナット50に
テーブル48に固定された微動側モータ51が動力伝達
機構52を介して連結される。
As shown in FIG. 2, the coarse movement side ball screw nut 44 is integrally formed with a fine movement side ball screw shaft 47 in which a fine movement ball screw groove is formed on the outer periphery on one axis. A fine movement side ball screw nut 50, which is rotatably supported by a support body 49 such as a pillow block fixed to a table 48 on a shaft 47, is screwed through a plurality of balls (not shown), and a fine movement side ball. A fine movement side motor 51 fixed to the table 48 is connected to the screw nut 50 via a power transmission mechanism 52.

【0015】また、粗動側ボールねじナット44には、
例えば、図1および図3に示すように、粗動側ボールね
じナット44に固定されたピン53の下端に回転自在に
装着されたカムフォロア54をベース41に形成された
案内溝55に嵌入した回り止め機構56が設けられお
り、この回り止め機構56によって粗動側ボールねじ軸
43と共回りしない構造となっている。
Further, the coarse movement side ball screw nut 44 includes
For example, as shown in FIGS. 1 and 3, when a cam follower 54 rotatably attached to the lower end of a pin 53 fixed to the coarse movement side ball screw nut 44 is fitted into a guide groove 55 formed in the base 41, A stop mechanism 56 is provided, and the rotation stop mechanism 56 does not rotate together with the coarse movement side ball screw shaft 43.

【0016】上記構成において、粗動側モータ45にて
カップリング46を介して粗動側ボールねじ軸43を回
転させると、粗動側ボールねじナット44が回り止め機
構56によって粗動側ボールねじ軸43と共回りしない
ため、粗動側ボールねじナット44が粗動側ボールねじ
軸43によって直線移動し、これに伴い微動側ボールね
じ軸47および微動側ボールねじナット50も直線移動
し、微動側ボールねじナット50が回転自在に支持され
た支持体49に固定されたテーブル48を粗動側ボール
ねじナット44のリードに相当して粗動送りさせる。
In the above structure, when the coarse movement side motor 45 rotates the coarse movement side ball screw shaft 43 through the coupling 46, the coarse movement side ball screw nut 44 is rotated by the rotation stopping mechanism 56. Since it does not rotate with the shaft 43, the coarse-movement-side ball screw nut 44 moves linearly by the coarse-movement-side ball screw shaft 43, and along with this, the fine-movement-side ball screw shaft 47 and the fine-movement-side ball screw nut 50 also move linearly. The table 48 fixed to a support body 49 in which the side ball screw nut 50 is rotatably supported is fed by coarse movement corresponding to the lead of the coarse movement side ball screw nut 44.

【0017】一方、微動側モータ51にて動力伝達機構
52を介して微動側ボールねじナット50を回転させる
と、微動側ボールねじナット50が回転しながら微動側
ボールねじ軸47によって直進移動し、微動側ボールね
じナット50が回転自在に支持された支持体49に固定
されたテーブル48を微動側ボールねじ軸47のリード
に相当して微動送りさせる。
On the other hand, when the fine movement side ball screw nut 50 is rotated by the fine movement side motor 51 via the power transmission mechanism 52, the fine movement side ball screw nut 50 rotates and moves straight by the fine movement side ball screw shaft 47. The table 48, which is fixed to the support body 49 on which the fine-movement-side ball screw nut 50 is rotatably supported, is fine-moved corresponding to the lead of the fine-movement-side ball screw shaft 47.

【0018】本実施形態の粗動微動ボールねじユニット
においては、粗動送りは低回転数で高速送りを実現させ
るため、粗動側ボールねじ軸43のリードを大きく設定
し、微動送りは分解能を確保するため、微動側ボールね
じ軸47のリードを小さく設定する。今、仮に粗動側ボ
ールねじ軸43のリードを40mm、微動側ボールねじ
軸47のリードを2mmに設定したとすれば、粗動側ボ
ールねじ軸43の1回転で40mmの粗動送りができ、
微動側ボールねじ軸47の1回転で2mmの微動送りが
できる。これにより、粗動側モータ45にて粗動側ボー
ルねじ軸43を回転させて高速位置決めした後、微動側
モータ51にて微動側ボールねじナット50を回転させ
て微小な位置決めを行なうことができる。このように、
高速位置決めした後、微小な位置決めを行なうようにす
ると、短時間で分解能を損なわない位置決めができる。
なお、粗動送りと微動送りは別々、同時でも良く、粗動
側ボールねじ軸43と微動側ボールねじ軸47のボール
ねじ溝の巻方向は同方向、異方向の組合せでも良い。
In the coarse-motion / fine-motion ball screw unit of the present embodiment, the coarse-motion feed achieves high-speed feed at a low rotational speed. Therefore, the lead of the coarse-motion side ball screw shaft 43 is set large, and the fine-motion feed has a high resolution. In order to ensure this, the lead of the fine movement side ball screw shaft 47 is set small. Now, assuming that the lead of the coarse movement side ball screw shaft 43 is set to 40 mm and the lead of the fine movement side ball screw shaft 47 is set to 2 mm, one rotation of the coarse movement side ball screw shaft 43 can perform a coarse feed of 40 mm. ,
Fine rotation of 2 mm is possible with one rotation of the fine movement side ball screw shaft 47. Accordingly, after the coarse movement side motor 45 rotates the coarse movement side ball screw shaft 43 to perform high-speed positioning, the fine movement side motor 51 rotates the fine movement side ball screw nut 50 to perform fine positioning. . in this way,
If fine positioning is performed after high-speed positioning, positioning can be performed in a short time without impairing resolution.
The coarse movement feed and the fine movement feed may be performed separately or simultaneously, and the ball screw grooves of the coarse movement side ball screw shaft 43 and the fine movement side ball screw shaft 47 may be wound in the same direction or in different directions.

【0019】また、粗動側ボールねじ軸43と微動側ボ
ールねじ軸47のリードの組合せを任意に変えることに
より、さまざまな使用例が期待できる。
Various use examples can be expected by arbitrarily changing the combination of leads of the coarse movement side ball screw shaft 43 and the fine movement side ball screw shaft 47.

【0020】例えば粗動側ボールねじ軸43のリードを
20mm、微動側ボールねじ軸47のリードを16mm
に設定し、それぞれ同一方向に進むように制御したとす
れば、リード36mmのボールねじと同じ効果を持ち、
それぞれ2000rpmで回転させれば72m/min
の超高速送りが可能となり、1本のボールねじで実現で
きない危険速度等の問題をクリアすることができる。
For example, the lead of the coarse movement side ball screw shaft 43 is 20 mm and the lead of the fine movement side ball screw shaft 47 is 16 mm.
If it is set to, and it is controlled so as to proceed in the same direction, it has the same effect as a ball screw with a lead 36 mm,
72m / min if rotated at 2000rpm
It enables ultra-high-speed feed and solves problems such as critical speed that cannot be realized with a single ball screw.

【0021】また、それぞれ逆方向に進むように制御す
ると、リード4mmのボールねじと同じ役目をする。
When controlled so as to move in the opposite directions, the ball screw having the lead of 4 mm plays the same role.

【0022】さらに、粗動側ボールねじ軸43を150
0rpm、微動側ボールねじナット50を1870rp
mで回転させ、それぞれ逆方向に進むように制御したと
すれば、0.08m/minの超低速送りを実現でき
る。
Further, the coarse movement side ball screw shaft 43 is set to 150.
0 rpm, fine adjustment side ball screw nut 50 at 1870 rp
If they are rotated at m and controlled so as to travel in the opposite directions, respectively, an ultra-low speed feed of 0.08 m / min can be realized.

【0023】上記以外の超低速送りの例として、粗動側
ボールねじ軸43と微動側ボールねじ軸47のリード差
をわずかに設けることによっても実現できる。例えば粗
動側ボールねじ軸43のリードを5mm、微動側ボール
ねじ軸47のリードを4.8mmに設定し、それぞれ逆
方向に進むように制御すると、0.2mm/minの超
低速送りが可能である。
As an example of an ultra-low speed feed other than the above, it can be realized by providing a slight lead difference between the coarse movement side ball screw shaft 43 and the fine movement side ball screw shaft 47. For example, if the lead of the coarse movement side ball screw shaft 43 is set to 5 mm and the lead of the fine movement side ball screw shaft 47 is set to 4.8 mm, and control is performed so as to proceed in the opposite directions, ultra-low speed feed of 0.2 mm / min is possible. Is.

【0024】なお、以上は粗動側ボールねじ軸43と微
動側ボールねじ軸47のリードが異なる場合について述
べているが、粗動側ボールねじ軸43と微動側ボールね
じ軸47のリードが同じである場合でも、粗動側ボール
ねじ軸43と微動側ボールねじ軸47をわずかな回転数
差で回転させ、それぞれ同一方向に進むように制御させ
れば超高速送りが可能であり、また、それぞれ逆方向に
進むように制御させれば超低速送りが可能である。
Although the above description has been made on the case where the leads of the coarse movement side ball screw shaft 43 and the fine movement side ball screw shaft 47 are different, the leads of the coarse movement side ball screw shaft 43 and the fine movement side ball screw shaft 47 are the same. Even if it is, if the coarse-movement-side ball screw shaft 43 and the fine-movement-side ball screw shaft 47 are rotated with a slight rotational speed difference and controlled so as to proceed in the same direction, ultra-high-speed feed is possible. Ultra-low speed feed is possible by controlling each to go in the opposite direction.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
1つのボールねじのナット外周上にボールねじ溝を加工
し、1つのボールねじのナット外周上をもう1つのボー
ルねじのねじ軸として利用したので、装置全体が軸方向
に短い構造となり、装置の小型化、コストダウンに寄与
することができる。また、1つのボールねじを軸回転、
もう1つのボールねじをナット回転とし、それぞれを別
々に制御して粗動微動するようにしたので、微動側のボ
ールねじのリードを小さく設定することにより分解能を
確保できるとともに、粗動側ボールねじと微動側ボール
ねじのリードおよびボールねじ溝巻方向を任意に組合わ
せることにより、超低速送りから超高速送りが可能であ
る。。
As described above, according to the present invention,
Since a ball screw groove was machined on the nut outer circumference of one ball screw and the nut outer circumference of one ball screw was used as the screw shaft of another ball screw, the entire device has a structure that is short in the axial direction. It can contribute to downsizing and cost reduction. Also, one ball screw is rotated,
The other ball screw is made to rotate the nut, and each is separately controlled to perform coarse and fine movements. Therefore, the resolution can be secured by setting the lead of the fine movement side ball screw small, and the coarse movement side ball screw can be secured. By arbitrarily combining the lead of the fine movement side ball screw and the ball screw groove winding direction, it is possible to feed from ultra-low speed to ultra-high speed. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の粗動微動ボールねじを用いたユニット
の全体構成図である。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of a unit using a coarse-motion fine-motion ball screw of the present invention.

【図2】一軸上に粗動側ボールねじナットと微動側ボー
ルねじ軸が加工されている部材の断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of a member in which a coarse movement side ball screw nut and a fine movement side ball screw shaft are machined on one axis.

【図3】回り止め機構の一例の要部斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a main part of an example of a rotation stopping mechanism.

【図4】従来のボールねじユニットの全体構成図であ
る。
FIG. 4 is an overall configuration diagram of a conventional ball screw unit.

【図5】従来の他のボールねじユニットの全体構成図で
ある。
FIG. 5 is an overall configuration diagram of another conventional ball screw unit.

【図6】従来のさらに他のボールねじユニットの全体構
成図である。
FIG. 6 is an overall configuration diagram of still another conventional ball screw unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

41 ベース 42 支持体 43 粗動側ボールねじ軸 44 粗動側ボールねじナット 45 粗動側モータ 46 カップリング 47 微動側ボールねじ軸 48 テーブル 49 支持体 50 微動側ボールねじナット 51 微動側モータ 52 動力伝達機構 53 ピン 54 カムフォロア 55 案内溝 56 回り止め機構 41 base 42 support 43 coarse movement side ball screw shaft 44 coarse movement side ball screw nut 45 coarse movement side motor 46 coupling 47 fine movement side ball screw shaft 48 table 49 support 50 fine movement side ball screw nut 51 fine movement side motor 52 power Transmission mechanism 53 Pin 54 Cam follower 55 Guide groove 56 Anti-rotation mechanism

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 外周にボールねじ溝を形成したボールね
じ軸と、 該ボールねじ軸のボールねじ溝に複数のボールを介して
螺合され、その外周にボールねじ溝を形成したボールね
じナット兼ボールねじ軸と、 該ボールねじナット兼ボールねじ軸のボールねじ溝に複
数のボールを介して螺合されるボールねじナットとを備
えたことを特徴とする粗動微動ボールねじ。
1. A ball screw shaft having a ball screw groove formed on the outer periphery thereof, and a ball screw nut having a ball screw groove formed on the outer periphery thereof, which is screwed into the ball screw groove of the ball screw shaft through a plurality of balls. A coarse-motion fine-motion ball screw comprising a ball screw shaft and a ball screw nut screwed into a ball screw groove of the ball screw nut and the ball screw shaft via a plurality of balls.
【請求項2】 一対の支持体に回転自在に支持され、外
周にボールねじ溝を形成したボールねじ軸と、 該ボールねじ軸のボールねじ溝に複数のボールを介して
螺合され、その外周にボールねじ溝を形成し、かつ、任
意の位置に適宜の回れ止め機構を設けたボールねじナッ
ト兼ボールねじ軸と、 該ボールねじナット兼ボールねじ軸のボールねじ溝に複
数のボールを介して螺合されたボールねじナットと、 前記ボールねじ軸を回転駆動する駆動手段と、 前記ボールねじナットを回転駆動する別の駆動手段とを
備えたことを特徴とする粗動微動ボールねじユニット。
2. A ball screw shaft rotatably supported by a pair of supports and having a ball screw groove formed on the outer periphery thereof, and a ball screw shaft of the ball screw shaft screwed through a plurality of balls to form an outer periphery thereof. A ball screw groove which is formed with a ball screw groove and which is provided with an appropriate anti-rotation mechanism at an arbitrary position, and a plurality of balls are inserted in the ball screw groove of the ball screw nut and the ball screw shaft. A coarse-motion fine-motion ball screw unit comprising: a ball screw nut screwed together; a driving unit that rotationally drives the ball screw shaft; and another driving unit that rotationally drives the ball screw nut.
【請求項3】 前記ボールねじ軸を回転自在に支持する
一対の支持体を固定側に固定し、前記ボールねじナット
を移動側に回転自在に支持したことを特徴とする請求項
2の粗動微動ボールねじユニット。
3. A coarse movement according to claim 2, wherein a pair of supports for rotatably supporting the ball screw shaft are fixed to a fixed side, and the ball screw nut is rotatably supported on a moving side. Fine movement ball screw unit.
【請求項4】 前記ボールねじ軸を回転自在に支持する
一対の支持体を移動側に固定し、前記ボールねじナット
を固定側に回転自在に支持したことを特徴とする請求項
2の粗動微動ボールねじユニット。
4. A coarse movement according to claim 2, wherein a pair of supports that rotatably support the ball screw shaft are fixed to a moving side, and the ball screw nut is rotatably supported to a fixed side. Fine movement ball screw unit.
【請求項5】 前記ボールねじ軸と前記ボールねじナッ
ト兼ボールねじ軸のボールねじ溝巻方向を同方向にした
ことを特徴とする請求項2,3または4の粗動微動ボー
ルねじユニット。
5. The coarse / fine adjustment ball screw unit according to claim 2, wherein the ball screw shaft and the ball screw nut / ball screw shaft are wound in the same direction.
【請求項6】 前記ボールねじ軸と前記ボールねじナッ
ト兼ボールねじ軸のボールねじ溝巻方向を逆方向にした
ことを特徴とする請求項2,3または4の粗動微動ボー
ルねじユニット。
6. The coarse / fine adjustment ball screw unit according to claim 2, wherein the ball screw shaft and the ball screw nut / ball screw shaft are wound in opposite directions.
【請求項7】 前記ボールねじ軸と前記ボールねじナッ
ト兼ボールねじ軸のボールねじ溝のリードを任意に組み
合わせることを特徴とする請求項2,3,4,5または
6の粗動微動ボールねじユニット。
7. The coarse-motion fine-motion ball screw according to claim 2, 3, 4, 5 or 6, wherein the ball screw shaft and the lead of the ball screw groove of the ball screw nut / ball screw shaft are combined arbitrarily. unit.
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