JPH09303302A - Temporary fluid reservoir, and temporary fluid storage equipment using it - Google Patents
Temporary fluid reservoir, and temporary fluid storage equipment using itInfo
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- JPH09303302A JPH09303302A JP8117988A JP11798896A JPH09303302A JP H09303302 A JPH09303302 A JP H09303302A JP 8117988 A JP8117988 A JP 8117988A JP 11798896 A JP11798896 A JP 11798896A JP H09303302 A JPH09303302 A JP H09303302A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は気体又は液体等の
流通する管路に、圧力の緩衝用として用いる流体の一時
貯留器及びそれを用いた流体の一時貯留装置に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a temporary reservoir for a fluid used for buffering pressure in a conduit through which a gas or a liquid flows and a temporary reservoir for a fluid using the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、上記のように用いられる流体の一
時貯留装置は一般に図6及び図7に示すように形成され
ている。同図において61は流通路であり、62は排出
ブロワ等の前部流通装置、63は吸引ブロック等の後部
流通装置である。64は一時貯留器であり、そのハウジ
ング65中にブラダ66が設けられている。67は連通
筒であり、その側壁68に多数の通孔69を有してい
る。70はガイドバー、71はブラダ66に設けたガイ
ドリング、72はエア連通部、73はエアブロアを示
す。又74は逆止弁である。2. Description of the Related Art Conventionally, a temporary fluid storage device used as described above is generally formed as shown in FIGS. In the figure, 61 is a flow passage, 62 is a front circulation device such as a discharge blower, and 63 is a rear circulation device such as a suction block. Reference numeral 64 is a temporary reservoir, and a bladder 66 is provided in the housing 65 thereof. 67 is a communication cylinder, and has a large number of through holes 69 in its side wall 68. Reference numeral 70 is a guide bar, 71 is a guide ring provided on the bladder 66, 72 is an air communicating portion, and 73 is an air blower. Further, 74 is a check valve.
【0003】通常前部流通装置62、後部流通装置63
はほぼ同一出力で目的とする取扱い流体を前方から後方
へ流通させている。そして前部流通装置62から一時的
に後部流通装置63の能力を越える流量が排出される
と、ブラダ66は図示のように膨張する。その後前部流
通装置62を停止し、逆止弁74を閉じ、後部流通装置
63を継続して作動させ、図7に示すようにブラダ66
を収縮させるようになっている。Normally, the front circulation device 62 and the rear circulation device 63
The target fluid to be handled is circulated from the front to the rear with almost the same output. When the front flow device 62 temporarily discharges a flow rate that exceeds the capacity of the rear flow device 63, the bladder 66 expands as shown. Thereafter, the front flow unit 62 is stopped, the check valve 74 is closed, the rear flow unit 63 is continuously operated, and as shown in FIG.
Is designed to contract.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし上記従来の流体
の一時貯留装置は次のような難点を有している。それ
は、これを有機溶剤のガス(ミストを含む)の一時貯留
に用いた場合、ブラダ66がその溶剤に溶解されるた
め、溶剤ガスの適用が限定されることである。それを避
けるためには基布にテフロンコーテイングされたブラダ
66を使用することになるが、同ブラダ66は高価とな
ることが避けられない。しかも、膨張収縮の繰返しによ
る劣化が起り易く耐久性が低いのである。又ブラダ66
が厚くなるため、膨張、収縮をスムースにするため、ブ
ラダ66を蛇腹形式にする等の構造の複雑化が避けられ
ない。However, the conventional fluid temporary storage device described above has the following drawbacks. That is, when this is used for temporarily storing the gas (including mist) of the organic solvent, the bladder 66 is dissolved in the solvent, so that the application of the solvent gas is limited. To avoid this, a bladder 66 having a Teflon coating on the base cloth is used, but the bladder 66 is inevitably expensive. Moreover, deterioration due to repeated expansion and contraction easily occurs, and durability is low. Bladder 66
Since the thickness of the bladder 66 becomes thicker, the expansion and contraction of the bladder 66 can be made smoother, and the structure of the bladder 66 is inevitably complicated.
【0005】又機能の安全性の保証に難があり、ブラダ
66の縫製の際の気密性の維持が面倒である。この発明
は上記のような諸問題を解決するためになされたもの
で、その目的は、まず比較的広い範囲の圧力変化に対応
できる、流体の一時貯留器を提供することであり、かつ
簡単な構造で、比較的安価に製造でき、又耐久性に優れ
た流体の一時貯留器を提供することであり、又それを用
いた、流体の一時貯留装置を提供することである。又他
の目的は有機溶剤のガスに対して用いた場合に適用に殆
ど限定されることがなく、膨張、収縮の繰返しによる劣
化が起りにくく、又構造が比較的簡単であり、機能の安
全性の維持が容易にできる、流体の一時貯留装置を提供
することである。Further, it is difficult to guarantee the functional safety, and it is troublesome to maintain the airtightness when the bladder 66 is sewn. The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to first provide a temporary fluid reservoir that can respond to a pressure change in a relatively wide range, and a simple reservoir. An object is to provide a temporary fluid reservoir having a structure that can be manufactured at a relatively low cost and has excellent durability, and to provide a fluid temporary reservoir using the fluid temporary reservoir. The other purpose is almost not limited to application when used for gas of organic solvent, deterioration due to repeated expansion and contraction hardly occurs, and the structure is relatively simple, and functional safety. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a temporary storage device for a fluid that can be easily maintained.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するこ
の発明についてまず流体の一時貯留器について述べると
それは、目的とする取扱い流体に連通する第一通口1及
び大気に連通する第二通口2を有し、かつ密閉形状に形
成されたハウジング3;該ハウジング3内に収容され、
前記両通口1、2のいづれか一方に口部4を連通させて
設けられた、瀘材により形成されたブラダ5;から成る
ことを特徴とする流体の一時貯留器である。With regard to the present invention for achieving the above object, a fluid temporary reservoir will be described first by referring to a first communication port 1 communicating with a target fluid to be handled and a second communication chamber communicating with the atmosphere. A housing 3 having a mouth 2 and formed in a closed shape; housed in the housing 3,
A temporary reservoir for fluid, comprising a bladder 5 formed of a filter material, which is provided with the mouth portion 4 communicating with either one of the both passage openings 1 and 2.
【0007】又、ブラダ5は織布により形成されている
前記流体の一時貯留器である。又、ブラダ5は合成繊維
系織布により形成されている前記流体の一時貯留装置で
ある。又、ブラダ5はナイロン系織布により形成されて
いる前記流体の一時貯留器である。次に上記流体の一時
貯留器を用いた流体の一時貯留装置について述べるとそ
れは、目的とする取扱い流体を入出させる第一通口1及
び大気に連通する第二通口2を有するハウジング3;該
ハウジング3内に収容され、かつ前記第二通口2に口部
4を連通させて設けられた、瀘材により形成されたブラ
ダ5;流通方向の途中を前記第一通口1に連通6して設
けられたことを目的とする取扱い流体の流通路7;該流
通路7の流通方向の両側にそれぞれ設けられた前記目的
とする取扱い流体を所定方向に流通させる前部流通装置
8及び後部流通装置9;から成ることを特徴とする流体
の一時貯留装置である。又、ブラダ5は織布により形成
されている前記流体の一時貯留装置である。又、ブラダ
5は合成繊維系織布により形成されている前記流体の一
時貯留装置である。又、ブラダ5はナイロン系織布によ
り形成されている前記流体の一時貯留装置である。又、
流体の流通路7は前部流通装置8とハウジング3との間
に逆止弁10を有している、前記流体の一時貯留装置で
ある。又、ハウジング3はブラダ5との間に多孔11に
形成され、ブラダ5を収容するケーシング12を有して
いる前記流体の一時貯留装置である。又、ブラダ5はそ
の内側に、ハウジング3の第二通口2に気密に連通して
設けられ、かつブラダ5に気密に連通し、側壁13に多
数の通孔14を形成した連通筒15を収容している前記
流体の一時貯留装置である。又、ハウジング3はドレン
通路16を有している前記流体の一時貯留装置である。
又、目的とする取扱い流体は有機溶剤のガスである前記
流体の一時貯留装置である。The bladder 5 is a temporary reservoir for the fluid, which is made of woven cloth. The bladder 5 is a temporary storage device for the fluid, which is made of synthetic fiber woven cloth. The bladder 5 is a temporary reservoir of the fluid, which is made of nylon woven fabric. Next, a temporary fluid storage device using the above temporary fluid storage device will be described. It is a housing 3 having a first passage 1 for letting in and out an intended handling fluid and a second passage 2 for communicating with the atmosphere; A bladder 5 which is housed in the housing 3 and which is provided by communicating the mouth 4 with the second passage 2 and is formed of a filter material; the middle of the flow direction communicates with the first passage 1 6 A flow passage 7 for handling fluid intended to be provided in the front; a front circulation device 8 and a rear circulation device, which are provided on both sides of the flow passage 7 in the flow direction, and which flow the intended handling fluid in a predetermined direction. A device for temporarily storing fluid, which comprises a device 9; The bladder 5 is a temporary storage device for the fluid, which is made of a woven cloth. The bladder 5 is a temporary storage device for the fluid, which is made of synthetic fiber woven cloth. The bladder 5 is a temporary storage device for the fluid, which is formed of a nylon woven fabric. or,
The fluid flow passage 7 is a temporary storage device for the fluid, which has a check valve 10 between the front flow device 8 and the housing 3. Further, the housing 3 is a temporary storage device for the fluid, which is formed in a porous 11 between the housing 3 and the bladder 5 and has a casing 12 for housing the bladder 5. In addition, the bladder 5 is provided with a communication cylinder 15 inside thereof, which is airtightly communicated with the second opening 2 of the housing 3 and is airtightly communicated with the bladder 5 and has a large number of through holes 14 formed in the side wall 13. It is a temporary storage device for the stored fluid. The housing 3 is a temporary storage device for the fluid, which has a drain passage 16.
Further, the fluid to be handled is a temporary storage device for the fluid, which is a gas of an organic solvent.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】図1において、3は一時貯留器2
1のハウジングであり、金属により密閉容器状に形成さ
れている。そして同ハウジング3に、目的とする流体に
連通する第一通口1と大気に連通する第二通口2が形成
されている。5はブラダであり、前記ハウジング3内に
収容され、かつ図1及び図3に示すように前記両通口
1、2のうちいずれか一方に、その口部4を連通させて
設けられた、瀘材により形成されたブラダである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In FIG. 1, 3 is a temporary reservoir 2.
The first housing is made of metal and is formed into a closed container. Further, the housing 3 is formed with a first communication port 1 communicating with a target fluid and a second communication port 2 communicating with the atmosphere. Reference numeral 5 denotes a bladder, which is accommodated in the housing 3 and is provided with one of the both openings 1 and 2 communicating with the opening 4 thereof as shown in FIGS. 1 and 3. It is a bladder made of filter material.
【0009】このブラダ5は瀘過性を有する材質である
点に特徴を有しており、織布、不織布、微小孔を形成し
た合成樹脂シート、同ゴムシート、同エラストマーシー
ト等を任意に用いてよいが、一例として織布が用いら
れ、かつ合成繊維製織布が用いられ、一例としてナイロ
ン系合成繊維による織布が用いられた。そして図1に示
す実施例において上記ブラダ5はその口部4を前記第二
通口2に気密に連通してハウジング3内に設けられてい
る。又同図において7は目的とする取扱い流体の流通路
であり、管状に形成され、その長さ方向の両側に排出ブ
ロワ、排出ポンプ等の前部流通装置8、吸引ブロワ、吸
引ポンプ等の後部流通装置9が設けられている。なおこ
の場合前部流通装置8は一例として図4に示すように電
子部品洗浄装置22に連通して設けられた排出ブロワで
あり、後部流通装置9は吸引ブロワである。The bladder 5 is characterized in that it is a filter material, and woven cloth, non-woven cloth, synthetic resin sheet having micropores, rubber sheet, elastomer sheet, etc. are arbitrarily used. However, a woven fabric is used as an example, and a synthetic fiber woven fabric is used as an example. A nylon synthetic fiber woven fabric is used as an example. Further, in the embodiment shown in FIG. 1, the bladder 5 is provided in the housing 3 with the mouth portion 4 thereof being in air-tight communication with the second passage 2. In the figure, reference numeral 7 is a flow passage for a target fluid to be handled, which is formed in a tubular shape and has a discharge flow blower, a front flow device 8 such as a discharge pump, and a rear part of a suction blower, a suction pump, etc. on both sides in the length direction. A distribution device 9 is provided. In this case, the front distribution device 8 is a discharge blower provided in communication with the electronic component cleaning device 22 as shown in FIG. 4, and the rear distribution device 9 is a suction blower.
【0010】又例えば水道のような場合、後部流通装置
9は単なるバルブであっても差支えなく、この発明にお
いては、それらをも含むものである。そして、この流通
路7の途中を前記一時貯留器21のハウジング3に連通
6して設けられている。次に10は逆止弁であり、前記
前部流通装置8と前記ハウジング3との間に設けられて
いる。同逆止弁10は前記ハウジング3内に後記のよう
に一時貯留された流体が、前記ハウジング3から、同ハ
ウジング3の前方に逆流するのを防止するものである。In the case of water supply, for example, the rear circulation device 9 may be a simple valve, and in the present invention, it also includes them. The middle of the flow passage 7 is provided so as to communicate 6 with the housing 3 of the temporary reservoir 21. Next, a check valve 10 is provided between the front flow device 8 and the housing 3. The check valve 10 prevents the fluid temporarily stored in the housing 3 from flowing backward from the housing 3 to the front of the housing 3 as described later.
【0011】次に、12は金属製のケーシングであり、
前記ハウジング3内に、かつ前記ハウジング3の内側に
間隔をもって設けられている。そして、該ケーシング1
2は一例として、パンチングメタル等により形成され、
多孔部11を有している。前記ブラダ5は該ケーシング
12内に図示のように設けられている。15は連通筒で
あり、前記ハウジング3の第二通口2に気密に連通させ
て、かつハウジング3の内外を貫通して設けられてい
る。13は側壁であり、14は同側壁13に形成された
通孔を示す。16はドレン通路、17はバルブである。
又19はエア連通部、20はエアブロワを示す。Next, 12 is a metal casing,
It is provided inside the housing 3 and inside the housing 3 with a space. And the casing 1
2 is, for example, formed of punching metal,
It has a porous portion 11. The bladder 5 is provided in the casing 12 as shown. Reference numeral 15 is a communication tube, which is provided to communicate with the second communication port 2 of the housing 3 in an airtight manner and penetrates the inside and outside of the housing 3. Reference numeral 13 is a side wall, and 14 is a through hole formed in the side wall 13. Reference numeral 16 is a drain passage, and 17 is a valve.
Further, 19 is an air communicating portion, and 20 is an air blower.
【0012】次に、前記一時貯留器21、及びこれを流
体の流通路7に連通して設けられた流体の一時貯流装置
の作用について説明する。まず流体の一時貯留器21の
ブラダ5が図1に示すように第二通口2に設けられてい
る場合、通常目的とする取扱い流体は後部流通装置9方
向に流通している。この場合前記ブラダ5は後部流通装
置9のもたらす吸引力により図1に示すように膨張させ
られている。Next, the operation of the temporary reservoir 21 and the fluid temporary storage device provided in communication with the temporary reservoir 21 will be described. First, when the bladder 5 of the temporary fluid reservoir 21 is provided in the second through-hole 2 as shown in FIG. 1, the fluid to be handled, which is normally intended, flows in the direction of the rear circulation device 9. In this case, the bladder 5 is inflated as shown in FIG. 1 by the suction force provided by the rear circulation device 9.
【0013】次に何等かの理由により前部流通装置8か
ら供給される流体の圧力が通常の圧力より高まった場合
その圧力は前記流体の一時貯留器21に至り前記ブラダ
5を収縮させる。この場合ブラダ5は通気性であるた
め、その流体は僅かながらブラダ5を内側に入り第二通
口2から外部へ流出する。しかしこの流出はごく僅かで
あり、問題となる量ではない。しかもブラダ5は収縮さ
せられ、ブラダ5が瀘材であり、又は織布であり、又は
合成繊維製織布であり、又はナイロン系織布等である場
合、収縮につれてその織目等の微小孔は閉じる方向に変
化するから、前記流出の流出量は一層僅かとなる。Next, when the pressure of the fluid supplied from the front flow unit 8 becomes higher than the normal pressure for some reason, the pressure reaches the temporary reservoir 21 for the fluid and causes the bladder 5 to contract. In this case, since the bladder 5 is breathable, the fluid slightly enters the bladder 5 and flows out from the second communication port 2 to the outside. However, this outflow is negligible and not a significant amount. Moreover, the bladder 5 is contracted, and when the bladder 5 is a filter material, a woven cloth, a synthetic fiber woven cloth, or a nylon woven cloth, the micropores such as the texture are contracted as it shrinks. Changes to the closing direction, so that the outflow amount of the outflow becomes smaller.
【0014】このようにして、前記圧力の上昇を緩衝で
きる。この圧力の上昇が停ったならば、逆止弁10を閉
じ、後部流通装置9を継続作動させて前記ハウジング3
内の流体を吸引して放出する。そうすると前記ブラダ5
は図1に示すように復元して膨張する。なお前記流体の
一時貯留器21について言えば、そのブラダ5は図3に
示すように第一口部1に直接又は間接に設けられる場合
もある。このような場合ブラダ5は前記従来の装置のよ
うに作動し、取扱い流体により膨張させられるが、前記
従来の装置と異り、ブラダ5は通気性を有し、瀘材であ
るため僅かながらその流体はブラダ5の外側に流出し、
第二通口2から流出する。しかしその場合ブラダ5は従
来のような気密タイプでなく、通気性なので、圧力によ
って破損する恐れがない。従って又比較的広い圧力の範
囲で使用することができる。In this way, the rise of the pressure can be buffered. When the increase in the pressure stops, the check valve 10 is closed and the rear flow device 9 is continuously operated to operate the housing 3
The fluid inside is aspirated and released. Then bladder 5
Restores and expands as shown in FIG. Regarding the temporary reservoir 21 for the fluid, the bladder 5 may be provided directly or indirectly on the first opening 1 as shown in FIG. In such a case, the bladder 5 operates like the above-mentioned conventional device and is inflated by the handling fluid, but unlike the above-mentioned conventional device, the bladder 5 is breathable and is a filter material, so that it is slightly different. The fluid flows out of the bladder 5,
It flows out from the second passage 2. However, in that case, the bladder 5 is not an airtight type as in the past and is breathable, so there is no risk of damage due to pressure. Therefore, it can also be used in a relatively wide pressure range.
【0015】図5において23は圧力調整チェック弁、
24はフィルタである。なおこの装置の各部の効果につ
いて述べると、ブラダ5をナイロン系織布としたもの
は、ナイロンが有機溶剤に冒されにくいため殆どすべて
の有機溶剤のガス回収に用いることができる。又溌水性
であり乾燥性が良好である。又ブラダ5を、その口部4
を第二通口2に連通して設けたものはミスト等がある場
合ブラダ5の外側に付着するため、内部に入った場合よ
りも除去を容易にすることができる。この除去はブラダ
5が膨張させられる場合に、織布は目開き傾向となり、
ブラダの内側から外側に向い微量ではあるが大気が通過
するので、それにより乾燥を促進させることもできる。
従ってガスとして回収できる。又ブラダ5の表面積が大
きくなるから乾燥を良好に行なうこともできる。In FIG. 5, 23 is a pressure adjustment check valve,
24 is a filter. The effects of each part of this apparatus will be described. The bladder 5 made of nylon woven fabric can be used for gas recovery of almost all organic solvents because nylon is less susceptible to organic solvents. It is also water repellent and has good dryability. Also, insert the bladder 5 into the mouth 4.
The one provided in communication with the second communication port 2 adheres to the outside of the bladder 5 when there is a mist or the like, and therefore can be removed more easily than when it enters the inside. This removal causes the woven fabric to open when the bladder 5 is inflated,
Since a small amount of air passes from the inside to the outside of the bladder, the drying can be accelerated.
Therefore, it can be recovered as a gas. Further, since the surface area of the bladder 5 becomes large, it is possible to perform good drying.
【0016】又ブラダ5を織布とし、特に合成繊維製織
布又はナイロン系織布としたものは流体の圧力に対する
強度が大きく、長寿命のブラダを得ることができる。又
ブラダ5を第二通口2に設けたものはハウジング3内の
圧力が高まった際収縮させられるから、その際ブラダ5
は通気性を有しているが、収縮に伴い、その通気性は減
少させられるから、効果的に流体の一時貯留をすること
ができる。又ブラダ5は瀘材により形成されたことによ
り通気性を有するから過大な圧力が加えられた場合に破
損の恐れがない。又ケーシング12を設けたことにより
ミストを結露させて流下させることができる。又ブラダ
5の過度の膨張を制御できる。又ドレン通路16を設け
たことにより、結露したミスト等を収集できる。又ブラ
ダ5を第二通口2に設けたものは、取扱いガスがミスト
の多い場合貯流されるガス量に対するブラダ5の接触面
積は少なくなるから、ミストはケーシング12、ハウジ
ング3に結露し、前記従来のもののようにブラダ66内
に結露して、取り出しにくくなるのを改良でき、採取し
易くすることができる。又ナイロン系織布製のブラダ5
は前記従来のテフロンコーティングのブラダより安価に
形成でき、製造の際気密性の保持に悩まされずにすむ。If the bladder 5 is a woven fabric, particularly a synthetic fiber woven fabric or a nylon woven fabric, the bladder has a large strength against the pressure of fluid and a long-life bladder can be obtained. Further, since the bladder 5 provided in the second passage 2 is contracted when the pressure in the housing 3 is increased, the bladder 5 is
Has air permeability, but its air permeability is reduced with contraction, so that it is possible to effectively temporarily store fluid. Further, since the bladder 5 is made of a filter material and has air permeability, there is no fear of damage when an excessive pressure is applied. Further, since the casing 12 is provided, the mist can be condensed to flow down. Also, excessive expansion of the bladder 5 can be controlled. Further, since the drain passage 16 is provided, the condensed mist or the like can be collected. Further, in the case where the bladder 5 is provided in the second communication port 2, the contact area of the bladder 5 with respect to the stored gas amount becomes small when the handling gas is a large amount of mist, so the mist condenses on the casing 12 and the housing 3, Condensation in the bladder 66, unlike the conventional one, which makes it difficult to take out can be improved, and collection can be facilitated. Bladder 5 made of nylon woven fabric
Can be formed at a lower cost than the conventional teflon-coated bladder, and does not suffer from airtightness during manufacturing.
【0017】[0017]
【発明の効果】この発明は前記のように構成されたこと
により、請求項1の発明はブラダ5を瀘材により形成し
たことにより、通気性を有するから、過大な一時的圧力
に対して破損の恐れを少なくすることができる。請求項
2の発明はしかも安価で、圧力に対して強度の大きいブ
ラダを提供できる。又乾燥性のよいブラダを提供でき
る。請求項3の発明はその上機械的強度が大きく耐久性
の大きいブラダを提供できる。請求項4の発明は、殆ど
の有機溶剤のガスに対して冒されることのない、しかも
溌水性で乾燥し易いブラダを提供できる。請求項5の発
明は取扱流体の圧力が高まった際に表面積が小さくなっ
たから、ミスト等の付着が少なくなり、従ってその他の
部分につく量が多くなるため、回収が容易な貯留装置を
提供できる。又ブラダ5が膨張する際に目開き気味とな
り、このため乾燥性のよい流体の一時貯留装置を提供で
きる。請求項6の発明はその上圧力に対し強度の大きい
ブラダ5を有する一時貯留装置を提供できる。又請求項
7の発明は耐久性高く、安価なブラダ5を有する一時貯
留装置を提供できる。又請求項8の発明はその上殆どの
有機溶剤に耐えることができ、しかもテフロンコーティ
ングシートより安価でしかもそれより機械的強度高く膨
張収縮の繰返しに耐久性のある、かつ通気性のあるブラ
ダを有する流体の一時貯留装置を提供できる。請求項9
の発明はブラダハウジング内のガスの回収又は放出を容
易にすることができる。請求項10の発明はブラダの過
度の膨張を抑制できる。又ミストを結露させて流下させ
ることができる。又請求項11の発明はブラダの膨張、
収縮を円滑に行なわせることができる。請求項12の発
明は、ミスト等の結露を収集することができる。請求項
13の発明は有機溶剤のガスを前記従来のテフロンコー
ティングブラダのような高価でなく、安価な、しかも膨
張収縮による劣化が少なく、耐久性の大きい、かつ縫製
の際に気密性保持に悩まされることのないブラダを有す
る有機溶剤のガスの一時貯留装置を提供することができ
る。The present invention is constructed as described above. According to the invention of claim 1, since the bladder 5 is made of a filter material, the bladder 5 has breathability and therefore is damaged by an excessive temporary pressure. Can reduce the fear of. The invention of claim 2 can provide a bladder which is inexpensive and has a high strength against pressure. Further, it is possible to provide a bladder having a good drying property. Furthermore, the invention of claim 3 can provide a bladder having high mechanical strength and high durability. The invention of claim 4 can provide a bladder that is not affected by most organic solvent gases and is water repellent and easy to dry. According to the invention of claim 5, since the surface area becomes small when the pressure of the handled fluid increases, the adhesion of mist and the like is reduced, and therefore the amount attached to other parts is increased, so that a storage device that can be easily recovered can be provided. . Further, when the bladder 5 expands, the bladder tends to open, so that it is possible to provide a temporary storage device for a fluid having good drying property. In addition, the invention of claim 6 can provide a temporary storage device having the bladder 5 having high strength against pressure. Further, the invention of claim 7 can provide a temporary storage device having the bladder 5 which is highly durable and inexpensive. In addition, the invention of claim 8 provides a bladder that can withstand most organic solvents, is cheaper than Teflon coating sheet, has higher mechanical strength, is durable against repeated expansion and contraction, and has breathability. It is possible to provide a temporary storage device for the fluid that the user has. Claim 9
The invention can facilitate the collection or release of gas within the bladder housing. The invention of claim 10 can suppress the excessive expansion of the bladder. Further, the mist can be condensed to flow down. The invention of claim 11 is the expansion of the bladder,
The contraction can be smoothly performed. The invention of claim 12 can collect dew condensation such as mist. According to the invention of claim 13, the gas of the organic solvent is not expensive as in the conventional Teflon coating bladder, is inexpensive, has little deterioration due to expansion and contraction, has a long durability, and has a problem of maintaining airtightness during sewing. It is possible to provide a temporary storage device for a gas of an organic solvent having a bladder that is not stored.
【図1】この発明の実施例を示し、流体の一時貯留装置
の使用状態の断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of the present invention in a use state of a temporary fluid storage device.
【図2】図1に示す装置の図1と異なる状態を示す図で
ある。FIG. 2 is a diagram showing a state of the apparatus shown in FIG. 1 different from that in FIG.
【図3】この発明の他の実施例を示し、図1に相当する
図である。FIG. 3 is a view corresponding to FIG. 1, showing another embodiment of the present invention.
【図4】この発明の更に他の実施例を示し、図1に相当
する図である。FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 1 and showing still another embodiment of the present invention.
【図5】この発明の更に他の実施例を示し、流体の一時
貯留装置の概略を示す図である。FIG. 5 is a view showing still another embodiment of the present invention and schematically showing a temporary fluid storage device.
【図6】従来の流体の一時貯留装置の作動状態を示す図
である。FIG. 6 is a diagram showing an operating state of a conventional temporary fluid storage device.
【図7】図6に示す装置の、図6と異なる状態を示す図
である。FIG. 7 is a diagram showing a state of the apparatus shown in FIG. 6 different from that in FIG. 6;
1 第一通口 2 第二通口 3 ハウジング 4 口部 5 ブラダ 6 連通部 7 流通路 8 前部流通装置 9 後部流通装置 10 逆止弁 11 多孔部 12 ケーシング 13 側壁 14 通孔 15 連通筒 16 ドレン通路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st through-hole 2 2nd through-hole 3 Housing 4 Portion 5 Bladder 6 Communication part 7 Flow path 8 Front distribution device 9 Rear distribution device 10 Check valve 11 Porous part 12 Casing 13 Side wall 14 Through hole 15 Communication cylinder 16 Drain passage
Claims (13)
口1及び大気に連通する第二通口2を有し、かつ密閉形
状に形成されたハウジング3;該ハウジング3内に収容
され、前記両通口1、2のいづれか一方に口部4を連通
させて設けられた、瀘材により形成されたブラダ5;か
ら成ることを特徴とする流体の一時貯留器。1. A housing 3 having a first communication port 1 communicating with a target fluid to be handled and a second communication port 2 communicating with the atmosphere and having a hermetically-sealed shape; housed in the housing 3. A temporary reservoir for fluid, comprising: a bladder 5 formed of a filter material, which is provided by communicating the mouth portion 4 with either one of the both passage openings 1, 2.
求項1記載の流体の一時貯留器。2. The temporary fluid reservoir according to claim 1, wherein the bladder 5 is formed of a woven cloth.
れている請求項1記載の流体の一時貯留器。3. The fluid temporary reservoir according to claim 1, wherein the bladder 5 is made of a synthetic fiber woven fabric.
れている請求項1記載の流体の一時貯留器。4. The fluid temporary reservoir according to claim 1, wherein the bladder 5 is formed of a nylon woven fabric.
通口1及び大気に連通する第二通口2を有するハウジン
グ3;該ハウジング3内に収容され、かつ前記第二通口
2に口部4を連通させて設けられた、瀘材により形成さ
れたブラダ5;流通方向の途中を前記第一通口1に連通
6して設けられた、目的とする取扱い流体の流通路7;
該流通路7の流通方向の両側にそれぞれ設けられた前記
目的とする取扱い流体を所定方向に流通させる前部流通
装置8及び後部流通装置9;から成ることを特徴とする
流体の一時貯留装置。5. A housing 3 having a first passage 1 for letting in and out a desired handling fluid and a second passage 2 for communicating with the atmosphere; a housing 3 housed in the housing 3 and opened at the second passage 2. A bladder 5 made of a filter material provided so as to connect the parts 4 to each other; a flow passage 7 for a target fluid to be handled, which is provided so as to communicate 6 with the first communication port 1 in the middle of the flow direction;
A temporary fluid storage device comprising: a front flow device 8 and a rear flow device 9 which are provided on both sides of the flow passage 7 in the flow direction, and which flow the target handling fluid in a predetermined direction.
求項5記載の流体の一時貯留装置。6. The temporary fluid storage device according to claim 5, wherein the bladder 5 is formed of a woven cloth.
れている請求項5記載の流体の一時貯留装置。7. The temporary fluid storage device according to claim 5, wherein the bladder 5 is made of a synthetic fiber woven fabric.
れている請求項5記載の流体の一時貯留装置。8. The temporary fluid storage device according to claim 5, wherein the bladder 5 is formed of a nylon woven fabric.
ジング3との間に逆止弁10を有している、請求項5、
6、7、8又は9記載の流体の一時貯留装置。9. The fluid flow passage (7) has a check valve (10) between the front flow unit (8) and the housing (3).
A fluid temporary storage device according to 6, 7, 8 or 9.
11に形成され、ブラダ5を収容するケーシング12を
有している請求項5、6、7、8、又は9記載の流体の
一時貯留装置。10. The temporary storage of fluid according to claim 5, 6, 7, 8 or 9, wherein the housing 3 is formed in a porous 11 between the housing 3 and the bladder 5, and has a casing 12 for housing the bladder 5. apparatus.
の第二通口2に気密に連通して設けられ、かつブラダ5
に気密に連通し、側壁13に多数の通孔14を形成した
連通筒15を収容している請求項5、6、7、8、9又
は10記載の流体の一時貯留装置。11. The bladder 5 has a housing 3 inside thereof.
Is provided in airtight communication with the second opening 2 of the bladder 5 and
The fluid temporary storage device according to claim 5, 6, 7, 8, 9, or 10, which accommodates a communication cylinder 15 that is air-tightly communicated with the side wall 13 and has a large number of through holes 14 formed in the side wall 13.
ている請求項5、6、7、8、9又は10記載の流体の
一時貯留装置。12. The temporary fluid storage device according to claim 5, 6, 7, 8, 9, or 10, wherein the housing 3 has a drain passage 16.
スである請求項5、6、7、8、9、10、11、又は
12記載の流体の一時貯留装置。13. The temporary storage device for fluid according to claim 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11 or 12, wherein the intended handling fluid is a gas of an organic solvent.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8117988A JPH09303302A (en) | 1996-05-13 | 1996-05-13 | Temporary fluid reservoir, and temporary fluid storage equipment using it |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8117988A JPH09303302A (en) | 1996-05-13 | 1996-05-13 | Temporary fluid reservoir, and temporary fluid storage equipment using it |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09303302A true JPH09303302A (en) | 1997-11-25 |
Family
ID=14725251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8117988A Pending JPH09303302A (en) | 1996-05-13 | 1996-05-13 | Temporary fluid reservoir, and temporary fluid storage equipment using it |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09303302A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018026137A (en) * | 2016-08-11 | 2018-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | High purity distribution unit |
-
1996
- 1996-05-13 JP JP8117988A patent/JPH09303302A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018026137A (en) * | 2016-08-11 | 2018-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | High purity distribution unit |
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