JPH0929967A - Ink jet device - Google Patents
Ink jet deviceInfo
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- JPH0929967A JPH0929967A JP18567495A JP18567495A JPH0929967A JP H0929967 A JPH0929967 A JP H0929967A JP 18567495 A JP18567495 A JP 18567495A JP 18567495 A JP18567495 A JP 18567495A JP H0929967 A JPH0929967 A JP H0929967A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、インクを吐出するため
のノズルが形成される基板と、前記ノズルに連通し、イ
ンクが充填されるインク室を備えたヘッド部材とを有す
るインクジェット装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet apparatus having a substrate having nozzles for ejecting ink and a head member provided with an ink chamber communicating with the nozzles and filled with ink. Is.
【０００２】[0002]
【従来の技術】圧電式インクジェットヘッドが近年提案
されている。これらのヘッドはインクが充填される複数
のインク室を備えており、圧電アクチュエータの寸法変
位によってインク室の容積を変化させることにより、そ
の容積減少時にインク室内のインクをノズルから噴射
し、容積増大時にインク室内にインクを導入するように
したものである。そして、所定の位置のインク室からイ
ンクを噴射させることにより、所望する文字や画像を形
成することが出来る。2. Description of the Related Art In recent years, piezoelectric ink jet heads have been proposed. These heads have a plurality of ink chambers filled with ink, and by changing the volume of the ink chamber by the dimensional displacement of the piezoelectric actuator, the ink in the ink chamber is ejected from the nozzles when the volume decreases, and the volume increases. The ink is sometimes introduced into the ink chamber. Then, by ejecting ink from the ink chamber at a predetermined position, it is possible to form a desired character or image.
【０００３】このようなインクジェットヘッドについ
て、図６に示すインクジェットヘッド１の斜視図および
図７に示すインクジェットヘッド１の一部断面図を用い
て具体的に説明する。Such an ink jet head will be specifically described with reference to a perspective view of the ink jet head 1 shown in FIG. 6 and a partial sectional view of the ink jet head 1 shown in FIG.
【０００４】複数の側壁５を有し、かつ矢印２８の方向
に分極処理を施した圧電セラミックス板２と蓋６とを接
合することで、図７における横方向に互いに間隔を有す
る多数の平行なインク室４が構成される。インク室４は
長方形断面の長くて狭いものであり、側壁５はインク室
４の全長にわたって伸びている。側壁５の表面の下半分
（あるいは上半分）の領域には、駆動電界印加用の駆動
電極７が形成されており、該駆動電極７の表面にはイン
クと駆動電極７とを絶縁するための絶縁処理が施してあ
る。圧電セラミックス板２と蓋６との一端には、各イン
ク室４の一端に連通するノズル５０を有するノズルプレ
ート６０が接着剤７０によって固定されている。By joining the piezoelectric ceramic plate 2 having a plurality of side walls 5 and polarized in the direction of the arrow 28 and the lid 6, a large number of parallels having a space therebetween in the lateral direction in FIG. The ink chamber 4 is configured. The ink chamber 4 has a rectangular cross section that is long and narrow, and the side wall 5 extends over the entire length of the ink chamber 4. A drive electrode 7 for applying a drive electric field is formed in a region of the lower half (or upper half) of the surface of the side wall 5, and the surface of the drive electrode 7 serves to insulate the ink from the drive electrode 7. Insulated. A nozzle plate 60 having a nozzle 50 communicating with one end of each ink chamber 4 is fixed to one end of the piezoelectric ceramic plate 2 and the lid 6 with an adhesive 70.
【０００５】このインクジェットヘッド１において図７
に示す用に、所定の印字データに従って例えばインク室
４Ｂが選択されると、図示しない駆動装置によって駆動
電極７Ｃ、７Ｄと駆動電極７Ｅ、７Ｆの各々の間に駆動
電界１０が印加される。この時、駆動電界方向と分極方
向とが直交しているため、側壁５Ｂ、５Ｃは圧電厚みす
べり効果によってインク室４Ｂの外部方向にくの字に変
形する。この時、インク室４Ｂ内にインクが供給され
る。その後、前記駆動電界１０の印加を遮断すると、該
側壁５Ｂ、５Ｃがもとの位置に戻る。この変形によりイ
ンク室４Ｂ内のインク圧が正圧となり、インク室４Ｂに
対応するノズル５０からインク液滴が噴射される。In this ink jet head 1, FIG.
For example, when the ink chamber 4B is selected according to the predetermined print data as shown in FIG. 5, the driving electric field 10 is applied between the driving electrodes 7C and 7D and the driving electrodes 7E and 7F by the driving device (not shown). At this time, since the driving electric field direction and the polarization direction are orthogonal to each other, the side walls 5B and 5C are deformed into a dogleg shape toward the outside of the ink chamber 4B due to the piezoelectric thickness sliding effect. At this time, ink is supplied into the ink chamber 4B. After that, when the application of the driving electric field 10 is cut off, the side walls 5B and 5C return to their original positions. Due to this deformation, the ink pressure in the ink chamber 4B becomes a positive pressure, and ink droplets are ejected from the nozzle 50 corresponding to the ink chamber 4B.
【０００６】ここで、従来のノズル５０の製造方法とし
ては、例えば特開平３−１０１９６０号公報に示される
方法が知られている。Here, as a conventional method of manufacturing the nozzle 50, for example, a method disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-101960 is known.
【０００７】図８に示すようにエキシマレーザ装置６１
より発振されたレーザビーム６４は光学レンズ系６６を
介して銅製のマスク６２に照射される。マスク６２には
ノズルプレート６０の所定のノズルパターンの拡大相似
形のパターンが形成されている。マスク６２を介したレ
ーザービーム６４は、更にレンズ６７によってプレート
５９上に集光され、プレート５９の所定位置に所定形状
のノズル５０を形成する。このようにして、プレート５
９上の所定位置に所定形状のノズル５０を多数個形成す
ることにより、ノズルプレート６０が形成される。プレ
ート５９は、インク成分中の溶剤に対して劣化の起こら
ない材質、例えばポリイミド樹脂を用いる。As shown in FIG. 8, an excimer laser device 61 is provided.
The oscillated laser beam 64 is applied to the copper mask 62 via the optical lens system 66. On the mask 62, an enlarged similar pattern of a predetermined nozzle pattern of the nozzle plate 60 is formed. The laser beam 64 passing through the mask 62 is further focused on the plate 59 by the lens 67 to form the nozzle 50 having a predetermined shape at a predetermined position on the plate 59. In this way, the plate 5
A nozzle plate 60 is formed by forming a large number of nozzles 50 having a predetermined shape at predetermined positions on the plate 9. For the plate 59, a material that does not deteriorate with respect to the solvent in the ink component, for example, a polyimide resin is used.
【０００８】その後、図６に示すようにノズルプレート
６０を圧電セラミックス板２および蓋６の一端面に接着
剤７０で固定する。Thereafter, as shown in FIG. 6, the nozzle plate 60 is fixed to the piezoelectric ceramics plate 2 and one end surface of the lid 6 with an adhesive 70.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
製造方法では、ノズルプレート６０の接着時に接着温度
や加圧圧力を正確に制御しないと、接着剤７０がノズル
５０内に垂れたり、流れ込んだりして、ノズル５０を塞
いだり、ノズル５０を狭くしたりして、噴射に影響を及
ぼし、最悪の場合噴射不可能になるといった問題があっ
た。In the conventional manufacturing method as described above, the adhesive 70 drips or flows into the nozzle 50 unless the bonding temperature and pressure are accurately controlled when bonding the nozzle plate 60. However, there is a problem that the nozzle 50 is blocked or the nozzle 50 is narrowed to affect the ejection, and in the worst case, the ejection becomes impossible.
【００１０】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、ノズル内への接着剤の流れ込み
をなくしたインクジェット装置の製造方法を提示するこ
とを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing an ink jet device in which the adhesive does not flow into the nozzle.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、インクを吐出するためのノズ
ルが形成される基板と、前記ノズルに連通し、インクが
充填されるインク室を備えたヘッド部材とを有するイン
クジェット装置において、前記ノズルが形成された基板
と前記インク室が形成されたヘッド部材との間に配置さ
れ、弾性力による復元力を利用して基板及びヘッド部材
と圧接する弾性部材を備えている。In order to achieve this object, according to a first aspect of the present invention, a substrate on which a nozzle for ejecting ink is formed, and an ink which communicates with the nozzle and is filled with the ink. In an inkjet device having a head member having a chamber, the substrate and the head member are disposed between a substrate having the nozzle formed therein and a head member having the ink chamber formed therein, and utilizing a restoring force of an elastic force. And an elastic member that is in pressure contact with.
【００１２】請求項２では、前記弾性部材は、樹脂部材
であることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, the elastic member is a resin member.
【００１３】請求項３では、前記弾性部材のせん断弾性
率が常温において１０-10ｄｙｎｅ／ｃｍ2以下であるこ
とを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, the elastic modulus of the elastic member is 10 -10 dyne / cm 2 or less at room temperature.
【００１４】請求項４では、前記弾性部材は、接着性を
有することを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, the elastic member has adhesiveness.
【００１５】[0015]
【作用】上記の構成を有する本発明のインクジェット装
置では、前記ノズルが形成された基板と前記インク室が
形成されたヘッド部材との間に配置された弾性部材が、
その弾性力による復元力により基板及びヘッド部材と圧
接して、インク室とノズルとが良好に連通される。In the ink jet device of the present invention having the above structure, the elastic member arranged between the substrate having the nozzle formed therein and the head member having the ink chamber formed therein,
The restoring force of the elastic force presses the substrate and the head member so that the ink chamber and the nozzle are well communicated.
【００１６】[0016]
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。なお都合上、従来例と同一部
位、及び均等部位には同一符号をつけて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. For the sake of convenience, the same parts and equivalent parts as those of the conventional example will be described with the same reference numerals.
【００１７】図１に示すように、複数の溝加工を行った
圧電セラミックス板２に圧電セラミックス製の蓋６を接
合してインク室４を形成する。この状態で既に駆動電極
７（図７）は従来と同様に側壁５（図７）に形成されて
いる。請求項でいうヘッド部材とは圧電セラミックス板
２及び蓋６からなる。As shown in FIG. 1, an ink chamber 4 is formed by joining a piezoelectric ceramic lid 6 to a piezoelectric ceramic plate 2 having a plurality of grooves formed therein. In this state, the drive electrode 7 (FIG. 7) has already been formed on the side wall 5 (FIG. 7) as in the conventional case. The head member in the claims is composed of the piezoelectric ceramic plate 2 and the lid 6.
【００１８】尚、蓋６は本実施例においては圧電セラミ
ックス板２と同様な材質の圧電セラミックスを用いた
が、電気絶縁性を有し圧電セラミックス板２と同程度以
上の剛性を有する基板ならどの様な基板でもよく、例え
ば、硝子基板やアルミナ基板など、または他の材質のセ
ラミックス基板を用いることが出来る。In this embodiment, the lid 6 is made of piezoelectric ceramics made of the same material as that of the piezoelectric ceramics plate 2. However, any substrate can be used as long as it is electrically insulating and has rigidity equal to or higher than that of the piezoelectric ceramics plate 2. Such a substrate may be used, and for example, a glass substrate, an alumina substrate, or a ceramic substrate made of another material can be used.
【００１９】次に、従来例同様にプレート５９（図８）
に エキシマレーザビーム６４（図８）をもちいてノズ
ル５０を加工しノズルプレート６０とする。請求項で言
う基板はノズルプレート６０（プレート５９）である。
またプレート５９は、使用するインク成分に対して耐食
性のある材質がよく、本実施例のようにエキシマレーザ
ビーム６４をもちいてノズル５０を加工する場合は、エ
キシマレーザビーム６４に加工される材質が要求され
る。こういった条件を満足するプレート材料としては、
例えばポリイミド樹脂、ポリサルホン樹脂やポリエーテ
ルサルホン樹脂等の樹脂材料全般があげられる。また本
実施例においてはノズル加工にエキシマレーザ加工を用
いたが、打ち抜き加工、ドリル加工、エッチング加工等
の他の加工方法を用いても一向に差し支えなく、その場
合はそれぞれの加工方法で加工できる基板なら樹脂に限
ることなく金属のプレートでもよい。本実施例において
は、プレート５９の材質として上述したポリイミド樹脂
を用いた。Next, as in the conventional example, the plate 59 (FIG. 8)
The nozzle 50 is processed by using the excimer laser beam 64 (FIG. 8) to form the nozzle plate 60. The substrate referred to in the claims is the nozzle plate 60 (plate 59).
Further, the plate 59 is preferably made of a material having corrosion resistance to the ink components used, and when the nozzle 50 is processed by using the excimer laser beam 64 as in this embodiment, the material processed by the excimer laser beam 64 is Required. As a plate material that satisfies these conditions,
For example, general resin materials such as polyimide resin, polysulfone resin and polyether sulfone resin can be mentioned. Further, although the excimer laser processing is used for the nozzle processing in this embodiment, it is possible to use other processing methods such as punching processing, drill processing, etching processing, etc. In that case, a substrate that can be processed by each processing method. If so, a metal plate may be used instead of the resin. In this embodiment, the polyimide resin described above is used as the material of the plate 59.
【００２０】次に、図３に、圧電セラミックス板２及び
蓋６からなるヘッド部材のノズルプレート６０が設けら
れる端面に弾性体８０を作製する工程を示す。本実施例
で用いた弾性体８０は、硬化（架橋反応）する前は粘度
の非常に低い液体であり、硬化させると弾性体となる物
質を用いた。詳しくは、硬化後に弾性特性をもつ弾性接
着剤（ＰＭ１００：セメダイン製）を用いた。この弾性
体を硬化前に転写台８１に均一に引き延ばす。この引き
延ばされた硬化前の弾性体は厚さ１０μｍ程度である。
この厚さは、転写するヘッド部材に設けられたインク流
路４の大きさおよび転写圧力によって決まる値である。
本実施例においては、インク流路４の幅が７０μｍであ
り、転写圧力を１００ｇとしたことにより引き延ばし後
の厚さを１０μｍとした。また本実施例ではこのような
一般的に言われる弾性接着剤を用いたが、シリコン系紫
外線硬化樹脂などの弾性体を用いても一向に差し支えな
い。Next, FIG. 3 shows a process of manufacturing the elastic body 80 on the end face of the head member comprising the piezoelectric ceramic plate 2 and the lid 6 on which the nozzle plate 60 is provided. The elastic body 80 used in this example is a liquid having a very low viscosity before being cured (crosslinking reaction), and a substance which becomes an elastic body when cured is used. Specifically, an elastic adhesive (PM100: made by Cemedine) having elastic properties after curing was used. This elastic body is uniformly spread on the transfer table 81 before curing. The stretched elastic body before curing has a thickness of about 10 μm.
This thickness is a value determined by the size of the ink flow path 4 provided in the head member to be transferred and the transfer pressure.
In this example, the width of the ink flow path 4 was 70 μm, and the transfer pressure was 100 g, so that the thickness after stretching was 10 μm. Further, in this embodiment, such a generally-known elastic adhesive is used, but an elastic body such as a silicon-based ultraviolet curing resin may be used.
【００２１】このようにして圧電セラミックス板２及び
蓋６からなるヘッド部材に硬化前の弾性体８０を転写し
た後、室温で２０時間以上放置硬化させた。断面図を図
４に示す。硬化した弾性体８０は図４に示すようにその
表面張力によりヘッド部材に接していない部分はその断
面が曲面を持って形成される。このような形状で形成さ
れるため後述するインク流路４に対するノズルプレート
６０のシール性がよい。After the elastic body 80 before curing was transferred to the head member composed of the piezoelectric ceramic plate 2 and the lid 6 in this manner, it was left to cure at room temperature for 20 hours or more. A sectional view is shown in FIG. As shown in FIG. 4, the hardened elastic body 80 is formed with a curved surface in the portion which is not in contact with the head member due to its surface tension. Since the nozzle plate 60 is formed in such a shape, the nozzle plate 60 has a good sealing property with respect to the ink flow path 4 described later.
【００２２】本実施例においては、弾性体８０を圧電セ
ラミックス板２及び蓋６からなるヘッド部材に設けた
が、ノズルプレート６０側に設けても差し支えない。In this embodiment, the elastic body 80 is provided on the head member composed of the piezoelectric ceramic plate 2 and the lid 6, but it may be provided on the nozzle plate 60 side.
【００２３】次に、図５に示すように、圧電セラミック
ス板２及び蓋６からなるヘッド部材に弾性体８０が作製
されたものに、ノズルプレート６０をノズル５０部分が
インク流路４に対応するように接着した後、弾性体８０
が弾性変形を起こす圧力以上の圧力でノズルプレート６
０と圧電セラミックス板２及び蓋６からなるヘッド部材
とを圧接し、固定部材８２によりノズルプレート６０を
固定する。その後は、圧電セラミックス板２及び蓋６か
らなるヘッド部材におけるノズルプレート６０接合側と
反対側の面にマニホールド部材８３を接合しインクジェ
ットヘッド１を形成する。このようにして得られたイン
クジェットヘッド１は、ヘッド部材とノズルプレート６
０とを直接、接着剤で接合していないためノズル５０に
接着剤が流れ込みインク液滴の飛翔方向に影響を与えた
り、流れ込んだ接着剤がノズル５０を閉鎖するという従
来の問題点が無い。このため、インクジェットヘッド１
の製造における歩留まりがよい。Next, as shown in FIG. 5, the nozzle plate 60 and the nozzle 50 portion correspond to the ink flow path 4 in which the elastic member 80 is formed on the head member composed of the piezoelectric ceramic plate 2 and the lid 6. Elastic body 80
The nozzle plate 6 at a pressure higher than the pressure that causes elastic deformation
0 and the head member composed of the piezoelectric ceramic plate 2 and the lid 6 are brought into pressure contact with each other, and the nozzle plate 60 is fixed by the fixing member 82. Thereafter, the ink jet head 1 is formed by joining the manifold member 83 to the surface of the head member composed of the piezoelectric ceramic plate 2 and the lid 6 on the opposite side to the nozzle plate 60 joining side. The ink jet head 1 thus obtained has a head member and a nozzle plate 6.
Since 0 and 0 are not directly joined with an adhesive, there is no conventional problem that the adhesive flows into the nozzle 50 to affect the flight direction of ink droplets, or the adhesive that flows in closes the nozzle 50. Therefore, the inkjet head 1
The yield in manufacturing
【００２４】また、弾性体８０のせん断弾性率を常温
（２５℃）において１０-10ｄｙｎｅ／ｃｍ2以下とすれ
ば、ノズルプレート６０及び前記ヘッド部材と弾性体８
０との密着性が良く、インク室４内のインクの漏れが発
生しない。If the elastic modulus of the elastic body 80 is set to be 10 -10 dyne / cm 2 or less at room temperature (25 ° C.), the nozzle plate 60, the head member and the elastic body 8 are formed.
The adhesiveness with 0 is good, and ink does not leak in the ink chamber 4.
【００２５】尚、本発明は、上述した実施例に限定され
るものでなく、その主旨を逸脱しない範囲に於て種々の
変更を加えることが出来る。例えば、本実施例では、圧
電素子の変形によってインクを噴射する方式のインクジ
ェットヘッドに本発明を用いたが、周知のサーマルジェ
ット式のインクジェットヘッドに本発明を用いてもよ
い。The present invention is not limited to the above-described embodiments, but various modifications can be made without departing from the spirit of the invention. For example, in the present embodiment, the present invention is used for an ink jet head of a system that ejects ink by deformation of a piezoelectric element, but the present invention may be used for a well-known thermal jet ink jet head.
【００２６】また、本実施例においては、ノズルプレー
ト６０を固定部材８２により固定したが、ノズルプレー
ト６０の外周部を接着剤等によって固定してもよい。Although the nozzle plate 60 is fixed by the fixing member 82 in the present embodiment, the outer peripheral portion of the nozzle plate 60 may be fixed by an adhesive or the like.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明のインクジェット装置によれば、前記ノズルが形成さ
れた基板と前記インク室が形成されたヘッド部材との間
に弾性部材が配置されて、弾性部材の弾性力による復元
力により基板及びヘッド部材と圧接しているので、従来
のようなノズル内への接着剤の流れ込みがなく、インク
室とノズルとが良好に連通される。従って、良好に噴射
することができ、印字品質が良好である。As is apparent from the above description, according to the ink jet apparatus of the present invention, the elastic member is arranged between the substrate on which the nozzle is formed and the head member on which the ink chamber is formed. Since the substrate is in pressure contact with the head member by the restoring force of the elastic force of the elastic member, the adhesive does not flow into the nozzle as in the conventional case, and the ink chamber and the nozzle are well communicated. Therefore, the jetting can be performed well, and the printing quality is good.
【図１】本発明の一実施例の製造工程途中のインクジェ
ットヘッドを示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an inkjet head during a manufacturing process according to an embodiment of the present invention.
【図２】前記実施例のノズルプレートを示す斜視図であ
る。FIG. 2 is a perspective view showing a nozzle plate of the embodiment.
【図３】前記実施例のインクジェットヘッドの製造工程
を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a manufacturing process of the inkjet head of the embodiment.
【図４】前記実施例の製造工程途中のインクジェットヘ
ッドを示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the inkjet head during the manufacturing process of the embodiment.
【図５】前記実施例のインクジェットヘッドを示す断面
図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the inkjet head of the embodiment.
【図６】従来のインクジェットヘッドを示す斜視図であ
る。FIG. 6 is a perspective view showing a conventional inkjet head.
【図７】従来のインクジェットヘッドの動作を示す説明
図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing an operation of a conventional inkjet head.
【図８】従来のノズルプレートの製造工程を示す説明図
である。FIG. 8 is an explanatory view showing a manufacturing process of a conventional nozzle plate.
１ インクジェットヘッド ２ 圧電セラミックス板 ４ インク室 ６ 蓋 ５０ ノズル ６０ ノズルプレート ８０ 弾性体 ８２ 固定部材 1 Inkjet Head 2 Piezoelectric Ceramics Plate 4 Ink Chamber 6 Lid 50 Nozzle 60 Nozzle Plate 80 Elastic Body 82 Fixing Member
Claims (4)
れる基板と、前記ノズルに連通し、インクが充填される
インク室を備えたヘッド部材とを有するインクジェット
装置において、 前記ノズルが形成された基板と前記インク室が形成され
たヘッド部材との間に配置され、弾性力による復元力を
利用して基板及びヘッド部材と圧接する弾性部材を備え
たことを特徴とするインクジェット装置。1. An inkjet device having a substrate on which a nozzle for ejecting ink is formed and a head member including an ink chamber that communicates with the nozzle and is filled with ink, wherein the nozzle is formed. An inkjet device, comprising: an elastic member disposed between a substrate and a head member in which the ink chamber is formed, the elastic member being in pressure contact with the substrate and the head member by utilizing a restoring force due to an elastic force.
特徴とする請求項１記載のインクジェット装置。2. The ink jet device according to claim 1, wherein the elastic member is a resin member.
いて１０-10ｄｙｎｅ／ｃｍ2以下であることを特徴とす
る請求項１または２記載のインクジェット装置。3. The ink jet apparatus according to claim 1, wherein the elastic modulus of the elastic member is 10 −10 dyne / cm 2 or less at room temperature.
特徴とする請求項１〜３記載のインクジェット装置。4. The ink jet apparatus according to claim 1, wherein the elastic member has adhesiveness.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18567495A JP3669011B2 (en) | 1995-07-21 | 1995-07-21 | Inkjet device manufacturing method |
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|---|---|
| JPH0929967A true JPH0929967A (en) | 1997-02-04 |
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| JP (1) | JP3669011B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010076368A (en) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Sharp Corp | Inkjet head and method for manufacturing the same |
-
1995
- 1995-07-21 JP JP18567495A patent/JP3669011B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP4516996B2 (en) * | 2008-09-29 | 2010-08-04 | シャープ株式会社 | Ink jet head and manufacturing method thereof |
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