JPH09279226A - Device for sealing lance for vacuum degassing - Google Patents
Device for sealing lance for vacuum degassingInfo
- Publication number
- JPH09279226A JPH09279226A JP11961296A JP11961296A JPH09279226A JP H09279226 A JPH09279226 A JP H09279226A JP 11961296 A JP11961296 A JP 11961296A JP 11961296 A JP11961296 A JP 11961296A JP H09279226 A JPH09279226 A JP H09279226A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lance
- elastic body
- vacuum degassing
- hollow elastic
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Vertical, Hearth, Or Arc Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Treatment Of Steel In Its Molten State (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、RH、DH等の溶
鋼の真空脱ガス設備において、真空中に酸素、燃料、粉
体を吹くランスのシール装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lance sealing device for blowing oxygen, fuel and powder in vacuum in a vacuum degassing equipment for molten steel such as RH and DH.
【0002】[0002]
【従来の技術】RH、DH等の溶鋼の真空脱ガス設備に
おいては、溶鋼を真空状態に曝して精錬を行う他、炉体
の上部にランス挿入口を設け、この部分からランスを挿
入して炉体内に酸素、燃料、粉体を吹き込むことが行わ
れていた。そして、内部が真空であるので外部からの空
気の侵入を防止するため、ランス挿入口とランスとのシ
ールが行われていたが、ランスを昇降させる必要があ
り、通常のグランドパッキンによるシール性が悪いの
で、例えば、実公昭49−22486号公報に記載の、
圧縮空気を入れて膨張するエアチューブを用いたシール
装置が提案されている。図4には前記公報と略同一構成
の従来例に係る一般的な真空脱ガス用ランスシール装置
50を示しているが、真空脱ガス槽51の上部に環状溝
からなる中空弾性体収納部52を設け、内部にゴムチュ
ーブ等からなる環状の中空弾性体53を配置し、電磁弁
54を介して中空弾性体53内に圧縮空気を入れて、中
空弾性体53を膨張させてランス55とのシールを図っ
ていた。そして、ランス55を真空脱ガス槽51から引
き抜く場合、あるいは真空脱ガス槽51に挿入したまま
昇降する場合には電磁弁54を操作して中空弾性体53
内の空気を外部に排出していた。2. Description of the Related Art In vacuum degassing equipment for molten steel such as RH and DH, the molten steel is exposed to a vacuum state for refining, and a lance insertion port is provided in the upper part of the furnace body to insert the lance from this portion. It was used to blow oxygen, fuel and powder into the furnace. Since the inside is a vacuum, the lance insertion port and the lance were sealed to prevent air from entering from the outside, but it is necessary to raise and lower the lance, and the sealing performance of normal gland packing is Since it is bad, for example, as described in JP-B-49-22486,
A sealing device using an air tube that expands by containing compressed air has been proposed. FIG. 4 shows a general vacuum degassing lance seal device 50 according to a conventional example having substantially the same structure as that of the above-mentioned publication. And an annular hollow elastic body 53 made of a rubber tube or the like is provided inside, compressed air is introduced into the hollow elastic body 53 through an electromagnetic valve 54, and the hollow elastic body 53 is expanded to form a lance 55. I was trying to seal it. When the lance 55 is pulled out from the vacuum degassing tank 51, or when the lance 55 is moved up and down while being inserted in the vacuum degassing tank 51, the solenoid valve 54 is operated to operate the hollow elastic body 53.
The air inside was exhausted to the outside.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図4に
示す真空脱ガス用ランスシール装置50においては、電
磁弁54を開放して中空弾性体53内の空気を脱気する
場合、中空弾性体53内の空気は大気圧以下には下がら
ず、真空脱ガス槽51内は真空であるので、図5に示す
ように中空弾性体53の下部は真空のために下方に引っ
張られ、更にはランス55の周囲にも密着し易く、ラン
ス55を昇降させると中空弾性体53が異常に摩耗した
り、場合によっては破れるという問題があった。本発明
はかかる事情に鑑みてなされたもので、確実に中空弾性
体のランスへの密着を防止し、中空弾性体の破損を防止
できる真空脱ガス用ランスシール装置を提供することを
目的とする。However, in the vacuum degassing lance seal device 50 shown in FIG. 4, when the electromagnetic valve 54 is opened to evacuate the air in the hollow elastic body 53, the hollow elastic body 53 is released. Since the air inside does not fall below atmospheric pressure and the inside of the vacuum degassing tank 51 is vacuum, the lower portion of the hollow elastic body 53 is pulled downward due to the vacuum, and further the lance 55 as shown in FIG. There is a problem in that the hollow elastic body 53 is abnormally worn or even broken when the lance 55 is moved up and down. The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a vacuum degassing lance seal device capable of reliably preventing the hollow elastic body from closely contacting the lance and preventing the hollow elastic body from being damaged. .
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】前記目的に沿う請求項1
記載の真空脱ガス用ランスシール装置は、真空脱ガス槽
の上部のランス挿入口に、挿入されるランスを囲んで溝
状の中空弾性体収納部を設け、該中空弾性体収納部に空
気出入り口を備えた中空弾性体を配置した真空脱ガス用
ランスシール装置において、前記空気出入り口には、前
記ランスのシール時には圧縮空気源に接続され、前記ラ
ンスの非シール時には真空発生源に接続される切替え弁
が接続されている。また、請求項2記載の真空脱ガス用
ランスシール装置は、請求項1記載の真空脱ガス用ラン
スシール装置において、前記真空発生源は、圧縮空気に
よって作動するエジェクターからなっている。そして、
請求項3記載の真空脱ガス用ランスシール装置は、請求
項1記載の真空脱ガス用ランスシール装置において、前
記真空発生源は、真空脱ガス槽からなっている。なお、
本発明において真空とは略完全な真空状態の他、例え
ば、エジェクターを利用して減圧状態を作るように、十
分に減圧された状態も真空状態に含むものである。According to the present invention, there is provided a semiconductor device comprising:
The vacuum degassing lance seal device described above is provided with a groove-shaped hollow elastic body storage portion surrounding a lance to be inserted in an upper portion of a vacuum degassing tank, and an air inlet / outlet port is provided in the hollow elastic body storage portion. In a lance seal device for vacuum degassing, in which a hollow elastic body is disposed, the air inlet / outlet is connected to a compressed air source when the lance is sealed and connected to a vacuum generation source when the lance is not sealed. The valve is connected. The vacuum degassing lance seal device according to a second aspect is the vacuum degassing lance seal device according to the first aspect, wherein the vacuum generation source is an ejector operated by compressed air. And
A vacuum degassing lance seal device according to a third aspect is the vacuum degassing lance seal device according to the first aspect, wherein the vacuum generation source includes a vacuum degassing tank. In addition,
In the present invention, the term "vacuum" includes not only a substantially complete vacuum state but also a state in which the pressure is sufficiently reduced so that a reduced pressure state is created using an ejector.
【0005】請求項1〜3記載の真空脱ガス用ランスシ
ール装置においては、中空弾性体の空気出入り口には、
ランスのシール時には圧縮空気源に接続され、ランスの
非シール時には真空発生源に接続される切替え弁が接続
されている。従って、シールする場合には、中空弾性体
内に圧縮空気を入れるが、シールを解除してランスを昇
降させる場合には、中空弾性体を真空発生源に接続して
内部の空気を抜いている。従って、中空弾性体は中空弾
性体収納部に収納状態となっているので、ランスの周囲
から離れ、これによってランス昇降時にランスに引っ張
られて中空弾性体が異常摩耗したり、あるいは破損する
ことがない。特に、請求項2記載の真空脱ガス用ランス
シール装置においては、真空発生源は、圧縮空気によっ
て作動するエジェクターからなっているので、特別な真
空ポンプ等が不要となる。また、請求項3記載の真空脱
ガス用ランスシール装置においては、真空発生源は、真
空脱ガス槽からなっているので、更に効率的に真空源を
利用できる。In the lance seal device for vacuum degassing according to claims 1 to 3, the air inlet and outlet of the hollow elastic body are
A switching valve is connected to the compressed air source when the lance is sealed and connected to a vacuum generation source when the lance is not sealed. Therefore, when sealing is performed, compressed air is introduced into the hollow elastic body, but when the seal is released and the lance is moved up and down, the hollow elastic body is connected to a vacuum generation source to remove air inside. Therefore, since the hollow elastic body is accommodated in the hollow elastic body accommodating portion, the hollow elastic body is separated from the periphery of the lance, so that the hollow elastic body is pulled by the lance when the lance is moved up and down, and the hollow elastic body is abnormally worn or damaged. Absent. Particularly, in the vacuum degassing lance seal device according to the second aspect, since the vacuum generation source is an ejector operated by compressed air, a special vacuum pump or the like is unnecessary. Further, in the vacuum degassing lance seal device according to the third aspect, since the vacuum generation source is a vacuum degassing tank, the vacuum source can be used more efficiently.
【0006】[0006]
【発明の実施の形態】続いて、添付した図面を参照しつ
つ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発
明の理解に供する。ここに、図1は本発明の第1の実施
の形態に係る真空脱ガス用ランスシール装置の説明図、
図2は本発明の第2の実施の形態に係る真空脱ガス用ラ
ンスシール装置の説明図、図3はシール状態の説明図で
ある。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, referring to the attached drawings, an embodiment in which the present invention is embodied will be described to provide an understanding of the present invention. FIG. 1 is an explanatory view of a vacuum degassing lance seal device according to the first embodiment of the present invention.
2 is an explanatory diagram of a vacuum degassing lance seal device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an explanatory diagram of a sealed state.
【0007】図1に示すように、本発明の第1の実施の
形態に係る真空脱ガス用ランスシール装置10は、真空
脱ガス槽11の上部のランス挿入口12に設けられた中
空弾性体収納部13と、中空弾性体収納部13内に収納
された中空弾性体14と、これに接続される切替え弁の
一例である電磁弁15と、電磁弁15に接続される圧縮
空気源16及び真空発生源の一例であるエジェクター1
7を備えている。以下、これらについて詳しく説明す
る。As shown in FIG. 1, a vacuum degassing lance seal device 10 according to a first embodiment of the present invention is a hollow elastic body provided in a lance insertion port 12 at an upper portion of a vacuum degassing tank 11. The housing portion 13, the hollow elastic body 14 housed in the hollow elastic body housing portion 13, an electromagnetic valve 15 as an example of a switching valve connected thereto, a compressed air source 16 connected to the electromagnetic valve 15, and Ejector 1 which is an example of a vacuum source
7 is provided. These will be described in detail below.
【0008】前記中空弾性体収納部13は、従来と同
様、水冷した金属、耐火物等からなって、内側にはラン
ス18を遊嵌するランス挿入口12を有し、更には挿通
されたランス18を取り囲み、中空弾性体14を収納す
る溝20が形成されている。そして、中空弾性体収納部
13の背部には導出孔21が設けられて、溝20内に収
納された中空弾性体14に空気を送り又は排気するよう
になっている。前記中空弾性体14は、ゴム等の可撓性
材質からなって背部に空気出入り口19が設けられ、前
記導出孔21を通る配管22によって電磁弁15の第1
接続口Aに接続されている。The hollow elastic body accommodating portion 13 is made of water-cooled metal, refractory or the like as in the conventional case, has a lance insertion port 12 into which a lance 18 is loosely fitted, and is further inserted. A groove 20 which surrounds 18 and accommodates the hollow elastic body 14 is formed. A guide hole 21 is provided at the back of the hollow elastic body storage section 13 so that air can be sent to or exhausted from the hollow elastic body 14 stored in the groove 20. The hollow elastic body 14 is made of a flexible material such as rubber and is provided with an air inlet / outlet port 19 at its back, and a first pipe of the solenoid valve 15 is provided by a pipe 22 passing through the outlet hole 21.
It is connected to the connection port A.
【0009】電磁弁15の第2接続口Bにはエジェクタ
ー17が接続され、エジェクター17の真空口には電磁
弁15の第3接続口Cが接続され、電磁弁15の第4接
続口Dには圧縮空気源16が接続されている。従って、
中空弾性体14に圧縮空気を入れてランス18をシール
する場合には、電磁弁15を図1の状態から切り換え
て、圧縮空気源16と中空弾性体14とを連結して、中
空弾性体14を膨張させる。これによって図3(A)に
示すようにランス18のシールが略完全となって、この
部分から大気が侵入しないことになる。The ejector 17 is connected to the second connection port B of the solenoid valve 15, the third connection port C of the solenoid valve 15 is connected to the vacuum port of the ejector 17, and the fourth connection port D of the solenoid valve 15 is connected. Is connected to a compressed air source 16. Therefore,
When compressed air is introduced into the hollow elastic body 14 to seal the lance 18, the solenoid valve 15 is switched from the state shown in FIG. 1 to connect the compressed air source 16 and the hollow elastic body 14 to each other. Inflate. As a result, the seal of the lance 18 becomes substantially complete as shown in FIG. 3 (A), and the atmosphere does not enter from this portion.
【0010】一方、ランス18を上昇させる場合には中
空弾性体14の内面を拡径する必要があるが、この場合
には電磁弁15を切り換えて図1に示すようにする。こ
れによって圧縮空気源16からの空気がエジェクター1
7に流れ込み、エジェクター17の真空口に電磁弁15
を介して中空弾性体14が接続されることになる。これ
によって、図3(B)に示すように、中空弾性体14が
凹み、中空弾性体収納部13の溝20内に収納される。
これによってランス挿入口12が十分に開口するので、
ランス18を自由に昇降することができる。On the other hand, in order to raise the lance 18, it is necessary to expand the inner surface of the hollow elastic body 14. In this case, the solenoid valve 15 is switched so that it is as shown in FIG. Thereby, the air from the compressed air source 16 is ejected by the ejector 1.
7, the solenoid valve 15 is attached to the vacuum port of the ejector 17.
The hollow elastic body 14 is connected via. As a result, as shown in FIG. 3B, the hollow elastic body 14 is recessed and accommodated in the groove 20 of the hollow elastic body accommodating portion 13.
As a result, the lance insertion opening 12 is sufficiently opened,
The lance 18 can be raised and lowered freely.
【0011】図2を参照しながら、本発明に係る真空脱
ガス用ランスシール装置25の第2の実施の形態につい
て説明するが、第1の実施の形態と同一の構成要素につ
いては同一の番号を付してその詳しい説明を省略する。
この実施の形態に係る真空脱ガス用ランスシール装置2
5においては、電磁弁15の第3接続口Cが真空脱ガス
槽11に接続されている。従って、図2に示す電磁弁1
5の状態では、中空弾性体14の空気出入り口19は電
磁弁15を介して真空脱ガス槽11に接続されているの
で、中空弾性体14が図3(B)に示すように、萎んで
ランス18を自由に取り出せる状態となる。また、中空
弾性体14に圧縮空気を入れる場合には、電磁弁15を
切り換えて圧縮空気源16からの空気を電磁弁15を介
して中空弾性体14に供給する。これによって、図3
(A)に示すようにランス18の回りをシールできる。
なお、図2において、電磁弁15の第2接続口Bには盲
栓がなされている。A second embodiment of the vacuum degassing lance seal device 25 according to the present invention will be described with reference to FIG. 2. The same components as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals. Is attached and detailed description thereof is omitted.
Vacuum degassing lance seal device 2 according to this embodiment
5, the third connection port C of the solenoid valve 15 is connected to the vacuum degassing tank 11. Therefore, the solenoid valve 1 shown in FIG.
In the state of No. 5, since the air inlet / outlet port 19 of the hollow elastic body 14 is connected to the vacuum degassing tank 11 via the solenoid valve 15, the hollow elastic body 14 collapses as shown in FIG. 18 can be taken out freely. When compressed air is fed into the hollow elastic body 14, the solenoid valve 15 is switched to supply air from the compressed air source 16 to the hollow elastic body 14 via the solenoid valve 15. As a result, FIG.
Around the lance 18 can be sealed as shown in FIG.
In FIG. 2, the second connection port B of the solenoid valve 15 is blindly plugged.
【0012】[0012]
【発明の効果】請求項1〜3記載の真空脱ガス用ランス
シール装置は以上の説明からも明らかなように、中空弾
性体がランスに密着するのを確実に防止できるので、中
空弾性体の破損が防げ、そのため中空弾性体の耐用時間
が大幅に伸びる。特に、請求項2記載の真空脱ガス用ラ
ンスシール装置においては、エジェクターを使用して中
空弾性体を真空にしているので、装置が簡便であり、保
守点検も容易である。そして、請求項3記載の真空脱ガ
ス用ランスシール装置においては、真空脱ガス槽から真
空発生源をとっているので、特別の装置が必要なく、極
めて簡便な装置となる。As is apparent from the above description, the vacuum degassing lance seal device according to the first to third aspects can surely prevent the hollow elastic body from coming into close contact with the lance. Breakage can be prevented and therefore the service life of the hollow elastic body is significantly extended. Particularly, in the vacuum degassing lance seal device according to the second aspect, since the hollow elastic body is evacuated by using the ejector, the device is simple and maintenance and inspection are easy. Further, in the vacuum degassing lance seal device according to the third aspect, since the vacuum generation source is taken from the vacuum degassing tank, a special device is not required and the device is extremely simple.
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る真空脱ガス用
ランスシール装置の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a vacuum degassing lance seal device according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第2の実施の形態に係る真空脱ガス用
ランスシール装置の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a vacuum degassing lance seal device according to a second embodiment of the present invention.
【図3】シール状態の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a sealed state.
【図4】従来例に係る真空脱ガス用ランスシール装置の
説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a vacuum degassing lance seal device according to a conventional example.
【図5】従来例に係る真空脱ガス用ランスシール装置の
動作説明図である。FIG. 5 is an operation explanatory view of a vacuum degassing lance seal device according to a conventional example.
10 真空脱ガス用ランスシール装置 11 真空脱ガ
ス槽 12 ランス挿入口 13 中空弾性
体収納部 14 中空弾性体 15 電磁弁
(切替え弁) 16 圧縮空気源 17 エジェク
ター(真空発生源) 18 ランス 19 空気出入
り口 20 溝 21 導出孔 22 配管 25 真空脱ガス用ランスシール装置 A 第1接続口 B 第2接続口 C 第3接続口 D 第4接続口10 Vacuum degassing lance seal device 11 Vacuum degassing tank 12 Lance insertion port 13 Hollow elastic body storage part 14 Hollow elastic body 15 Electromagnetic valve (switching valve) 16 Compressed air source 17 Ejector (vacuum generation source) 18 Lance 19 Air inlet / outlet port 20 groove 21 lead-out hole 22 piping 25 vacuum degassing lance seal device A first connection port B second connection port C third connection port D fourth connection port
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 隆治 福岡県北九州市戸畑区大字中原46番地59 日鐵プラント設計株式会社内 (72)発明者 柿添 英一 福岡県北九州市戸畑区大字中原46−59 新 日本製鐵株式会社機械・プラント事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Ryuji Fujita 46-59 Nakahara, Tobata-ku, Kitakyushu City, Fukuoka Prefecture 59 Nippon Steel Plant Design Co., Ltd. 59 Nippon Steel Corporation Machinery & Plant Division
Claims (3)
挿入されるランスを囲んで溝状の中空弾性体収納部を設
け、該中空弾性体収納部に空気出入り口を備えた中空弾
性体を配置した真空脱ガス用ランスシール装置におい
て、 前記空気出入り口には、前記ランスのシール時には圧縮
空気源に接続され、前記ランスの非シール時には真空発
生源に接続される切替え弁が接続されていることを特徴
とする真空脱ガス用ランスシール装置。1. A lance insertion port at the top of a vacuum degassing tank,
A vacuum degassing lance seal device is provided in which a groove-shaped hollow elastic body storage portion is provided surrounding an inserted lance, and a hollow elastic body having an air inlet / outlet port is arranged in the hollow elastic body storage portion. A lance seal device for vacuum degassing, which is connected to a compressed air source when the lance is sealed, and is connected to a vacuum generation source when the lance is not sealed.
動するエジェクターである請求項1記載の真空脱ガス用
ランスシール装置。2. The lance seal device for vacuum degassing according to claim 1, wherein the vacuum generation source is an ejector operated by compressed air.
請求項1記載の真空脱ガス用ランスシール装置。3. The lance seal device for vacuum degassing according to claim 1, wherein the vacuum source is a vacuum degassing tank.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11961296A JPH09279226A (en) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | Device for sealing lance for vacuum degassing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11961296A JPH09279226A (en) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | Device for sealing lance for vacuum degassing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09279226A true JPH09279226A (en) | 1997-10-28 |
Family
ID=14765735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11961296A Withdrawn JPH09279226A (en) | 1996-04-16 | 1996-04-16 | Device for sealing lance for vacuum degassing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09279226A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000077467A1 (en) * | 1997-12-17 | 2000-12-21 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Through-hole sealing device |
KR100760329B1 (en) * | 2000-07-03 | 2007-09-20 | 동경 엘렉트론 주식회사 | Processing apparatuw with sealing mechanism |
KR20150114599A (en) * | 2014-04-01 | 2015-10-13 | 주식회사 포스코 | Multi Vacuum Seal |
WO2017116978A1 (en) * | 2015-12-29 | 2017-07-06 | Kurion, Inc. | System and method for an electrode seal assembly |
-
1996
- 1996-04-16 JP JP11961296A patent/JPH09279226A/en not_active Withdrawn
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000077467A1 (en) * | 1997-12-17 | 2000-12-21 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Through-hole sealing device |
AU763375B2 (en) * | 1999-06-14 | 2003-07-17 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Through-hole sealing device |
KR100760329B1 (en) * | 2000-07-03 | 2007-09-20 | 동경 엘렉트론 주식회사 | Processing apparatuw with sealing mechanism |
KR20150114599A (en) * | 2014-04-01 | 2015-10-13 | 주식회사 포스코 | Multi Vacuum Seal |
WO2017116978A1 (en) * | 2015-12-29 | 2017-07-06 | Kurion, Inc. | System and method for an electrode seal assembly |
US10449581B2 (en) | 2015-12-29 | 2019-10-22 | Kurion, Inc. | System and method for an electrode seal assembly |
US11148181B2 (en) | 2015-12-29 | 2021-10-19 | Veolia Nuclear Solutions, Inc. | System and method for an electrode seal assembly |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2262649A1 (en) | Gas turbine first-stage stator blade sealing structure | |
JPH09279226A (en) | Device for sealing lance for vacuum degassing | |
JP2000073936A (en) | Ion source device | |
JP2502470B2 (en) | Heat treatment furnace | |
JP3436955B2 (en) | Heat treatment equipment | |
JPH11250846A (en) | Ion source, and filament replacement method thereof | |
JPH02109240A (en) | Ion beam apparatus | |
JP3995842B2 (en) | Lance seal device for vacuum degassing equipment | |
JPH0960734A (en) | Recovery device for leaked gas in dry gas seal | |
JPH01182670A (en) | Sealing device | |
JP2003254675A (en) | Method for cleaning inside of pressure reduction facility and selector valve | |
JPS6220257B2 (en) | ||
JP2000046300A (en) | Device and method for feeding gas | |
JPH0980196A (en) | Method and container for housing spent fuel | |
JPH0210630A (en) | Manufacture device for cathode-ray tube | |
JPH0829591A (en) | Method and container for containing radioactive contaminant | |
JP3622262B2 (en) | Degassing method and apparatus in ladle scouring | |
KR100227830B1 (en) | Vacuum system for semiconductor process chamber and gas-supplying method | |
KR970002050Y1 (en) | Tuyere of blast furnace | |
JPH1017923A (en) | Seal device for vacuum degassing lance | |
US2965937A (en) | Apparatus for vacuum casting molten metal | |
KR0154837B1 (en) | Vacuum facilities using separation valve | |
KR100295635B1 (en) | Apparatus for preventing growth of natural oxide layer in vertical oxidation furnace | |
JP4098573B2 (en) | Fuel rod welding equipment | |
JP2656278B2 (en) | Cooling liquid filling method for liquid-cooled projection tube |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030701 |