JPH0926308A - 非接触三次元変位検出装置 - Google Patents
非接触三次元変位検出装置Info
- Publication number
- JPH0926308A JPH0926308A JP19806295A JP19806295A JPH0926308A JP H0926308 A JPH0926308 A JP H0926308A JP 19806295 A JP19806295 A JP 19806295A JP 19806295 A JP19806295 A JP 19806295A JP H0926308 A JPH0926308 A JP H0926308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- displacement
- axis direction
- mark
- stylus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 機械的駆動を行うことなく、非接触測定によ
りタッチプローブのスタイラスの復帰位置および姿勢を
検出評価することを可能とした非接触三次元変位検出装
置を提供する。 【構成】 固定されたタッチトリガプローブ３のスタイ
ラス４先端に各側面にマーク５１を付した測定部材５を
取付け、Ｙ軸方向の第１の撮像系７Ａ，８Ａと第２の撮
像系７Ｃ，８Ｃ、Ｘ軸方向の第３の撮像系７Ｂ，８Ｂと
第４の撮像系７Ｄ，８Ｄにより部材５の各面のマークを
撮像し、得られた画像を画像処理装置９に送って、各画
像上でのマークの変位を求め、そのデータに基づいてス
タイラス４を変位させて逃げ動作，復帰動作を行わせる
前後におけるＸ，Ｙ，Ｚ三次元空間でのスタイラス４先
端の復帰位置ずれおよび姿勢ずれを検出する。
りタッチプローブのスタイラスの復帰位置および姿勢を
検出評価することを可能とした非接触三次元変位検出装
置を提供する。 【構成】 固定されたタッチトリガプローブ３のスタイ
ラス４先端に各側面にマーク５１を付した測定部材５を
取付け、Ｙ軸方向の第１の撮像系７Ａ，８Ａと第２の撮
像系７Ｃ，８Ｃ、Ｘ軸方向の第３の撮像系７Ｂ，８Ｂと
第４の撮像系７Ｄ，８Ｄにより部材５の各面のマークを
撮像し、得られた画像を画像処理装置９に送って、各画
像上でのマークの変位を求め、そのデータに基づいてス
タイラス４を変位させて逃げ動作，復帰動作を行わせる
前後におけるＸ，Ｙ，Ｚ三次元空間でのスタイラス４先
端の復帰位置ずれおよび姿勢ずれを検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、三次元座標測定機用
のタッチプローブのスタイラス先端の復帰精度等を非接
触で測定評価するための非接触三次元変位検出装置に関
する。
のタッチプローブのスタイラス先端の復帰精度等を非接
触で測定評価するための非接触三次元変位検出装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】三次元座標測定機用のタッチプローブに
取り付けられたスタイラスは、ワークに接触すると逃げ
動作を行い、外部からの力がなくなると元の位置に復帰
するようになっている。このスタイラスの逃げ動作と復
帰動作を行うメカニズムは着座機構と呼ばれる。通常高
精度タッチプローブは、スタイラスがワークに接触した
ことを検出する接触センサがついており、これがトリガ
信号を出すように構成されている（例えば、特公昭５８
−１７４０２号公報参照）。このようなプローブは、タ
ッチトリガプローブと呼ばれる。
取り付けられたスタイラスは、ワークに接触すると逃げ
動作を行い、外部からの力がなくなると元の位置に復帰
するようになっている。このスタイラスの逃げ動作と復
帰動作を行うメカニズムは着座機構と呼ばれる。通常高
精度タッチプローブは、スタイラスがワークに接触した
ことを検出する接触センサがついており、これがトリガ
信号を出すように構成されている（例えば、特公昭５８
−１７４０２号公報参照）。このようなプローブは、タ
ッチトリガプローブと呼ばれる。
【０００３】高精度タッチトリガプローブの復帰誤差
は、接触センサのばらつき（接触方向、接触時のスピ
ード等に依存）と、着座機構の復帰位置誤差（方向、
バネの押し付け力、復帰時のスピード等に依存）に大別
される。一般に接触センサは十分高感度であり、の誤
差はの誤差に比べて小さく、タッチトリガプローブの
精度は、殆ど着座機構により支配され、これが測定誤差
発生の原因となる。従来このタッチトリガプローブの検
出精度を測定評価するには、高精度の三次元座標測定機
あるいは専用の高精度移動機構が用いられていた。例え
ば、三次元座標測定機にタッチトリガプローブを取り付
けて、スタイラスをワークに接触させ、トリガ信号によ
って三次元座標測定機のＸ，Ｙ，Ｚの座標値を取り込む
動作を繰り返し行い、取り込んだ座標値のばらつきから
スタイラスの復帰精度を測定評価する。
は、接触センサのばらつき（接触方向、接触時のスピ
ード等に依存）と、着座機構の復帰位置誤差（方向、
バネの押し付け力、復帰時のスピード等に依存）に大別
される。一般に接触センサは十分高感度であり、の誤
差はの誤差に比べて小さく、タッチトリガプローブの
精度は、殆ど着座機構により支配され、これが測定誤差
発生の原因となる。従来このタッチトリガプローブの検
出精度を測定評価するには、高精度の三次元座標測定機
あるいは専用の高精度移動機構が用いられていた。例え
ば、三次元座標測定機にタッチトリガプローブを取り付
けて、スタイラスをワークに接触させ、トリガ信号によ
って三次元座標測定機のＸ，Ｙ，Ｚの座標値を取り込む
動作を繰り返し行い、取り込んだ座標値のばらつきから
スタイラスの復帰精度を測定評価する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の方法で
は、高精度のタッチトリガプローブを評価しようとする
と、前述の，の誤差に加えて、三次元座標測定機
あるいは高精度移動機構が移動することにより発生する
振動や揺れによる誤差が含まれてしまい、しかもこれを
分離できない。したがってタッチプローブ単体の誤差
，のみを測定評価することができないという問題が
あった。
は、高精度のタッチトリガプローブを評価しようとする
と、前述の，の誤差に加えて、三次元座標測定機
あるいは高精度移動機構が移動することにより発生する
振動や揺れによる誤差が含まれてしまい、しかもこれを
分離できない。したがってタッチプローブ単体の誤差
，のみを測定評価することができないという問題が
あった。
【０００５】この発明は、上記事情を考慮してなされた
もので、機械的駆動を行うことなく、非接触測定により
タッチプローブ単体の復帰位置および姿勢を検出評価す
ることを可能とした非接触三次元変位検出装置を提供す
ることを目的としている。
もので、機械的駆動を行うことなく、非接触測定により
タッチプローブ単体の復帰位置および姿勢を検出評価す
ることを可能とした非接触三次元変位検出装置を提供す
ることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、タッチプロ
ーブのスタイラス先端の復帰位置および姿勢を非接触で
検出するための三次元変位検出装置であって、Ｘ，Ｙ，
Ｚの三次元空間のＺ軸に沿って固定されたタッチプロー
ブのスタイラス先端に取り付けられて、Ｘ軸方向に相対
向する２面およびＹ軸方向に相対向する２面にそれぞれ
所定形状のマークが設けられた立方体の測定部材と、Ｙ
軸方向に前記測定部材を挟んで相対向させて配置されて
前記測定部材のＹ軸方向の２面のマークをそれぞれ撮像
する第１および第２の撮像手段と、Ｘ軸方向に前記測定
部材を挟んで相対向させて配置されて前記測定部材のＸ
軸方向の２面のマークをそれぞれ撮像する第３および第
４の撮像手段と、前記第１乃至第４の撮像手段によりそ
れぞれ得られた第１乃至第４の画像データを処理して、
それぞれの画像上でそれぞれ前記マークの画像座標値を
検出するマーク変位検出手段と、このマーク変位検出手
段により得られた各画像座標値をＸ，Ｙ，Ｚの三次元空
間座標に対応付けることにより前記スタイラス先端の位
置および回転角度を算出するスタイラス変位検出手段
と、前記スタイラスを変位させて逃げ動作および復帰動
作を行わせる前後における前記スタイラス変位検出手段
により求まるスタイラス先端の位置および回転角度に基
づいて前記スタイラス先端の復帰位置ずれおよび姿勢ず
れを検出するずれ検出手段とを備えたことを特徴として
いる。
ーブのスタイラス先端の復帰位置および姿勢を非接触で
検出するための三次元変位検出装置であって、Ｘ，Ｙ，
Ｚの三次元空間のＺ軸に沿って固定されたタッチプロー
ブのスタイラス先端に取り付けられて、Ｘ軸方向に相対
向する２面およびＹ軸方向に相対向する２面にそれぞれ
所定形状のマークが設けられた立方体の測定部材と、Ｙ
軸方向に前記測定部材を挟んで相対向させて配置されて
前記測定部材のＹ軸方向の２面のマークをそれぞれ撮像
する第１および第２の撮像手段と、Ｘ軸方向に前記測定
部材を挟んで相対向させて配置されて前記測定部材のＸ
軸方向の２面のマークをそれぞれ撮像する第３および第
４の撮像手段と、前記第１乃至第４の撮像手段によりそ
れぞれ得られた第１乃至第４の画像データを処理して、
それぞれの画像上でそれぞれ前記マークの画像座標値を
検出するマーク変位検出手段と、このマーク変位検出手
段により得られた各画像座標値をＸ，Ｙ，Ｚの三次元空
間座標に対応付けることにより前記スタイラス先端の位
置および回転角度を算出するスタイラス変位検出手段
と、前記スタイラスを変位させて逃げ動作および復帰動
作を行わせる前後における前記スタイラス変位検出手段
により求まるスタイラス先端の位置および回転角度に基
づいて前記スタイラス先端の復帰位置ずれおよび姿勢ず
れを検出するずれ検出手段とを備えたことを特徴として
いる。
【０００７】この発明において、好ましくは、前記測定
部材のＸ軸方向に相対向する２面およびＹ軸方向に相対
向する２面に設けられたマークは、各面の中央に重心又
は図心を有し、且つ前記第１乃至第４の撮像手段の各視
野内で閉じた形状を有するものとする。この発明におい
てはまた、前記測定部材のＸ軸方向に相対向する２面お
よびＹ軸方向に相対向する２面に設けられたマークは、
各面の中央で交わる二直線エッジを有するものとしても
よい。
部材のＸ軸方向に相対向する２面およびＹ軸方向に相対
向する２面に設けられたマークは、各面の中央に重心又
は図心を有し、且つ前記第１乃至第４の撮像手段の各視
野内で閉じた形状を有するものとする。この発明におい
てはまた、前記測定部材のＸ軸方向に相対向する２面お
よびＹ軸方向に相対向する２面に設けられたマークは、
各面の中央で交わる二直線エッジを有するものとしても
よい。
【０００８】この発明に係る非接触三次元変位検出装置
はまた、Ｘ，Ｙ，Ｚの三次元空間のＸ軸方向に相対向す
る２面およびＹ軸方向に相対向する２面にそれぞれ所定
形状のマークが設けられた立方体の測定部材と、Ｙ軸方
向に前記測定部材を挟んで相対向させて配置されて前記
測定部材のＹ軸方向の２面のマークをそれぞれ撮像する
第１および第２の撮像手段と、Ｘ軸方向に前記測定部材
を挟んで相対向させて配置されて前記測定部材のＸ軸方
向の２面のマークをそれぞれ撮像する第３および第４の
撮像手段と、前記第１乃至第４の撮像手段によりそれぞ
れ得られた第１乃至第４の画像データを処理して、第１
の画像上の前記マークの変位Δｘ（Ａ），Δｙ（Ａ）、
第２の画像上の前記マークの変位Δｘ（Ｃ），Δｙ
（Ｃ）、第３の画像上の前記マークの変位Δｘ（Ｂ），
Δｙ（Ｂ）、および第４の画像上の前記マークの変位Δ
ｘ（Ｄ），Δｙ（Ｄ）を求めるマーク変位検出手段と、
このマーク変位検出手段により求められた画像上のマー
ク変位をＸ，Ｙ，Ｚの空間座標に対応づけて、第１の画
像上の前記マークの変位Δｘ（Ａ），Δｙ（Ａ）、をそ
れぞれΔｘ（Ａ），Δｚ（Ａ）、第２の画像上の前記マ
ークの変位Δｘ（Ｃ），Δｙ（Ｃ）をそれぞれ−Δｘ
（Ｃ），Δｚ（Ｃ）、第３の画像上の前記マークの変位
Δｘ（Ｂ），Δｙ（Ｂ）をそれぞれΔｙ（Ｂ），Δｚ
（Ｂ）、および第４の画像上の前記マークの変位Δｘ
（Ｄ），Δｙ（Ｄ）をそれぞれ−Δｙ（Ｄ），Δｚ
（Ｄ）に置き換え、立方体の一辺の長さを２ａとして、
下記数２の演算により、Ｘ，Ｙ，Ｚの三次元空間での前
記測定部材の中心の変位ΔＸ１，ΔＹ１，ΔＺ１、およ
び回転角ΔθX ，ΔθY ，ΔθZ を求める位置および姿
勢検出手段とを有することを特徴としている。
はまた、Ｘ，Ｙ，Ｚの三次元空間のＸ軸方向に相対向す
る２面およびＹ軸方向に相対向する２面にそれぞれ所定
形状のマークが設けられた立方体の測定部材と、Ｙ軸方
向に前記測定部材を挟んで相対向させて配置されて前記
測定部材のＹ軸方向の２面のマークをそれぞれ撮像する
第１および第２の撮像手段と、Ｘ軸方向に前記測定部材
を挟んで相対向させて配置されて前記測定部材のＸ軸方
向の２面のマークをそれぞれ撮像する第３および第４の
撮像手段と、前記第１乃至第４の撮像手段によりそれぞ
れ得られた第１乃至第４の画像データを処理して、第１
の画像上の前記マークの変位Δｘ（Ａ），Δｙ（Ａ）、
第２の画像上の前記マークの変位Δｘ（Ｃ），Δｙ
（Ｃ）、第３の画像上の前記マークの変位Δｘ（Ｂ），
Δｙ（Ｂ）、および第４の画像上の前記マークの変位Δ
ｘ（Ｄ），Δｙ（Ｄ）を求めるマーク変位検出手段と、
このマーク変位検出手段により求められた画像上のマー
ク変位をＸ，Ｙ，Ｚの空間座標に対応づけて、第１の画
像上の前記マークの変位Δｘ（Ａ），Δｙ（Ａ）、をそ
れぞれΔｘ（Ａ），Δｚ（Ａ）、第２の画像上の前記マ
ークの変位Δｘ（Ｃ），Δｙ（Ｃ）をそれぞれ−Δｘ
（Ｃ），Δｚ（Ｃ）、第３の画像上の前記マークの変位
Δｘ（Ｂ），Δｙ（Ｂ）をそれぞれΔｙ（Ｂ），Δｚ
（Ｂ）、および第４の画像上の前記マークの変位Δｘ
（Ｄ），Δｙ（Ｄ）をそれぞれ−Δｙ（Ｄ），Δｚ
（Ｄ）に置き換え、立方体の一辺の長さを２ａとして、
下記数２の演算により、Ｘ，Ｙ，Ｚの三次元空間での前
記測定部材の中心の変位ΔＸ１，ΔＹ１，ΔＺ１、およ
び回転角ΔθX ，ΔθY ，ΔθZ を求める位置および姿
勢検出手段とを有することを特徴としている。
【０００９】
【数２】ΔＸ１＝（Δｘ（Ａ）−Δｘ（Ｃ））／２ ΔＹ１＝（Δｙ（Ｂ）−Δｙ（Ｄ））／２ ΔＺ１＝｛（Δｚ（Ａ）＋Δｚ（Ｃ））／２＋（Δｚ
（Ｂ）＋Δｚ（Ｄ））／２｝／２ ΔθX ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｃ）−Δｚ（Ａ））／２
ａ｝ ΔθY ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｂ）−Δｚ（Ｄ））／２
ａ｝ ΔθZ ＝［ｓｉｎ-1｛（Δｘ（Ａ）＋Δｘ（Ｃ））／２
ａ｝＋ｓｉｎ-1｛（Δｙ（Ｂ）＋Δｙ（Ｄ））／２
ａ｝］／２
（Ｂ）＋Δｚ（Ｄ））／２｝／２ ΔθX ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｃ）−Δｚ（Ａ））／２
ａ｝ ΔθY ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｂ）−Δｚ（Ｄ））／２
ａ｝ ΔθZ ＝［ｓｉｎ-1｛（Δｘ（Ａ）＋Δｘ（Ｃ））／２
ａ｝＋ｓｉｎ-1｛（Δｙ（Ｂ）＋Δｙ（Ｄ））／２
ａ｝］／２
【００１０】
【作用】この発明によると、スタイラス先端に所定形状
のマークを付した立方体の測定部材を取り付けたタッチ
プローブを適当なフレーム等を用いて三次元空間のＺ軸
方向に固定した状態で、Ｘ，Ｙ軸の４方向から立方体の
測定部材の各側面に設けられたマークを撮像し、画像処
理によって測定部材の中心の空間座標を非接触で検出す
ることができる。そしてこの空間座標検出動作を、スタ
イラスに所定の変位を与えて逃げ動作および復帰動作を
行わせる前後において行うことで、スタイラス先端の復
帰位置ずれおよび姿勢ずれを検出することができる。
のマークを付した立方体の測定部材を取り付けたタッチ
プローブを適当なフレーム等を用いて三次元空間のＺ軸
方向に固定した状態で、Ｘ，Ｙ軸の４方向から立方体の
測定部材の各側面に設けられたマークを撮像し、画像処
理によって測定部材の中心の空間座標を非接触で検出す
ることができる。そしてこの空間座標検出動作を、スタ
イラスに所定の変位を与えて逃げ動作および復帰動作を
行わせる前後において行うことで、スタイラス先端の復
帰位置ずれおよび姿勢ずれを検出することができる。
【００１１】したがってこの発明によると、タッチプロ
ーブは固定状態で、従来の三次元座標測定機を用いた場
合のような機械駆動を行わないから、振動や揺れ等の影
響がなくなり、タッチプローブ自体の正確な復帰精度の
測定評価が可能になる。また、高価な高精度三次元座標
測定機や高精度移動機構を必要としない。
ーブは固定状態で、従来の三次元座標測定機を用いた場
合のような機械駆動を行わないから、振動や揺れ等の影
響がなくなり、タッチプローブ自体の正確な復帰精度の
測定評価が可能になる。また、高価な高精度三次元座標
測定機や高精度移動機構を必要としない。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例を
説明する。図１は、この発明の一実施例に係る変位検出
装置の構成を示す。ベース１に一体形成されたフレーム
２に、図示のように測定しようとするタッチトリガプロ
ーブ３が、ベース１で決まるＸ，Ｙ，Ｚの三次元空間座
標のＺ軸に沿って吊り下げられた状態に取り付け固定さ
れる。プローブ３には、外力により逃げ動作および復帰
動作を行うスタイラス４が取り付けられ、スタイラス４
の先端には、スタイラス４の先端位置測定に供される測
定部材５が取り付けられている。
説明する。図１は、この発明の一実施例に係る変位検出
装置の構成を示す。ベース１に一体形成されたフレーム
２に、図示のように測定しようとするタッチトリガプロ
ーブ３が、ベース１で決まるＸ，Ｙ，Ｚの三次元空間座
標のＺ軸に沿って吊り下げられた状態に取り付け固定さ
れる。プローブ３には、外力により逃げ動作および復帰
動作を行うスタイラス４が取り付けられ、スタイラス４
の先端には、スタイラス４の先端位置測定に供される測
定部材５が取り付けられている。
【００１３】測定部材５はこの実施例では、図２に示す
ように一辺の長さが２ａの立方体であり、スタイラス３
の延長線がその中心Ｏを通るようにスタイラス先端に取
り付けられている。測定部材５のＸ軸方向に相対向する
２面およびＹ軸方向に相対向する２面にそれぞれ円形の
マーク５１（５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ）が設け
られている。
ように一辺の長さが２ａの立方体であり、スタイラス３
の延長線がその中心Ｏを通るようにスタイラス先端に取
り付けられている。測定部材５のＸ軸方向に相対向する
２面およびＹ軸方向に相対向する２面にそれぞれ円形の
マーク５１（５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ）が設け
られている。
【００１４】フレーム２に固定されたテーブル６ａ，６
ｂには、スタイラス先端の測定部材５の各側面のマーク
５１を撮像するために、Ｙ軸方向に測定部材５を挟んで
対向する第１、第２の撮像系、またＸ軸方向に測定部材
５を挟んで対向する第３、第４の撮像系が載置されてい
る。第１の撮像系７Ａ，８Ａは、照明系を含む拡大光学
系７Ａとその拡大像を撮像するＣＣＤカメラ８Ａからな
る。同様に第２の撮像系７Ｃ，８Ｃは、拡大光学系７Ｃ
とＣＣＤカメラ８Ｃからなり、第３の撮像系７Ｂ，８Ｂ
は拡大光学系７ＢとＣＣＤカメラ８Ｂからなり、第４の
撮像系７Ｄ，８Ｄは拡大光学系７ＤとＣＣＤカメラ８Ｄ
からなる。各光学系７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄはそれぞ
れ、測定部材５の各側面の所定箇所にフォーカス調整さ
れ、マーク５１ａ〜５１ｄを所定の視野内に収めて撮像
できるようになっている。
ｂには、スタイラス先端の測定部材５の各側面のマーク
５１を撮像するために、Ｙ軸方向に測定部材５を挟んで
対向する第１、第２の撮像系、またＸ軸方向に測定部材
５を挟んで対向する第３、第４の撮像系が載置されてい
る。第１の撮像系７Ａ，８Ａは、照明系を含む拡大光学
系７Ａとその拡大像を撮像するＣＣＤカメラ８Ａからな
る。同様に第２の撮像系７Ｃ，８Ｃは、拡大光学系７Ｃ
とＣＣＤカメラ８Ｃからなり、第３の撮像系７Ｂ，８Ｂ
は拡大光学系７ＢとＣＣＤカメラ８Ｂからなり、第４の
撮像系７Ｄ，８Ｄは拡大光学系７ＤとＣＣＤカメラ８Ｄ
からなる。各光学系７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄはそれぞ
れ、測定部材５の各側面の所定箇所にフォーカス調整さ
れ、マーク５１ａ〜５１ｄを所定の視野内に収めて撮像
できるようになっている。
【００１５】図３は、以上の撮像系と測定部材５の上か
ら見た配置関係である。各撮像系で得られた画像信号
は、画像処理装置９に送られ、後述するようにホストコ
ンピュータ１０との協動で画像処理がなされ、測定部材
５の変位検出（直線変位および回転変位の検出）、即ち
スタイラス４の先端位置の検出と、復帰動作の精度評価
が行われるようになっている。またこの実施例では、ス
タイラス４の逃げ動作および復帰動作を自動的に行うた
め、直動のアクチュエータ１１が備えられている。この
アクチュエータ１１は、コンピュータ１０により制御さ
れて、図１に破線で示すようにスタイラス４を押し込む
ようになっている。但し、アクチュエータ１１を備える
ことなく、マニュアルでスタイラス先端をはじいて、逃
げ動作を行わせるようにしてもよい。
ら見た配置関係である。各撮像系で得られた画像信号
は、画像処理装置９に送られ、後述するようにホストコ
ンピュータ１０との協動で画像処理がなされ、測定部材
５の変位検出（直線変位および回転変位の検出）、即ち
スタイラス４の先端位置の検出と、復帰動作の精度評価
が行われるようになっている。またこの実施例では、ス
タイラス４の逃げ動作および復帰動作を自動的に行うた
め、直動のアクチュエータ１１が備えられている。この
アクチュエータ１１は、コンピュータ１０により制御さ
れて、図１に破線で示すようにスタイラス４を押し込む
ようになっている。但し、アクチュエータ１１を備える
ことなく、マニュアルでスタイラス先端をはじいて、逃
げ動作を行わせるようにしてもよい。
【００１６】次にこの実施例での具体的な変位測定の動
作を説明する。この実施例では先ず、４つの撮像系７Ａ
・８Ａ，７Ｂ・８Ｂ，７Ｃ・８Ｃ，７Ｄ・８Ｄによりス
タイラス４が逃げ動作を行う前後で撮像した画像の円形
マーク５１の重心（図心）の画像上の座標値の変位を求
める。即ち画像上では、図４に示すように全て二次元の
ｘ，ｙ座標であり、この画像座標におけるマーク５１の
変位は、Δｘ，Δｙで表される。各画像について検出さ
れる画像座標上の変位Δｘ，Δｙに基づいて、Ｘ，Ｙ，
Ｚの空間座標系における測定部材５の変位ΔＸ，ΔＹ，
ΔＺ、および図２に示したＸ軸回りの回転角ΔθX ，Δ
θY ，ΔθZ を求めることになる。なお、画像座標上の
変位は１画素に相当する寸法が分かれば実寸法に換算で
きる。通常、既知の寸法をもつワークの幅を検出し、そ
の間に何画素あるかにより、１画素に相当する寸法を算
出することができる。
作を説明する。この実施例では先ず、４つの撮像系７Ａ
・８Ａ，７Ｂ・８Ｂ，７Ｃ・８Ｃ，７Ｄ・８Ｄによりス
タイラス４が逃げ動作を行う前後で撮像した画像の円形
マーク５１の重心（図心）の画像上の座標値の変位を求
める。即ち画像上では、図４に示すように全て二次元の
ｘ，ｙ座標であり、この画像座標におけるマーク５１の
変位は、Δｘ，Δｙで表される。各画像について検出さ
れる画像座標上の変位Δｘ，Δｙに基づいて、Ｘ，Ｙ，
Ｚの空間座標系における測定部材５の変位ΔＸ，ΔＹ，
ΔＺ、および図２に示したＸ軸回りの回転角ΔθX ，Δ
θY ，ΔθZ を求めることになる。なお、画像座標上の
変位は１画素に相当する寸法が分かれば実寸法に換算で
きる。通常、既知の寸法をもつワークの幅を検出し、そ
の間に何画素あるかにより、１画素に相当する寸法を算
出することができる。
【００１７】先ず、第１の撮像系７Ａ，８Ａにより得ら
れた画像上の変位をΔｘ（Ａ），Δｙ（Ａ）、第２の撮
像系７Ｃ，８Ｃにより得られた画像上の変位をΔｘ
（Ｃ），Δｙ（Ｃ）、第３の撮像系７Ｂ，８Ｂにより得
られた画像上の変位をΔｘ（Ｂ），Δｙ（Ｂ）、第４の
撮像系７Ｄ，８Ｄにより得られた画像上の変位をΔｘ
（Ｄ），Δｙ（Ｄ）として、これらをＸ，Ｙ，Ｚの三次
元座標に対応づける必要がある。そのためには図２の各
側面にｘ，ｙ座標をとれば明らかなように、次の表１の
ような置き換えが必要である。
れた画像上の変位をΔｘ（Ａ），Δｙ（Ａ）、第２の撮
像系７Ｃ，８Ｃにより得られた画像上の変位をΔｘ
（Ｃ），Δｙ（Ｃ）、第３の撮像系７Ｂ，８Ｂにより得
られた画像上の変位をΔｘ（Ｂ），Δｙ（Ｂ）、第４の
撮像系７Ｄ，８Ｄにより得られた画像上の変位をΔｘ
（Ｄ），Δｙ（Ｄ）として、これらをＸ，Ｙ，Ｚの三次
元座標に対応づける必要がある。そのためには図２の各
側面にｘ，ｙ座標をとれば明らかなように、次の表１の
ような置き換えが必要である。
【００１８】
【表１】ｘ（Ａ）→ｘ（Ａ） ｙ（Ａ）→ｚ（Ａ） ｘ（Ｂ）→ｙ（Ｂ） ｙ（Ｂ）→ｚ（Ｂ） ｘ（Ｃ）→−ｘ（Ｃ） ｙ（Ｃ）→ｚ（Ｃ） ｘ（Ｄ）→−ｙ（Ｄ） ｙ（Ｄ）→ｚ（Ｄ）
【００１９】上述の置き換えを行った上で、更に各画像
上の変位から、Ｘ，Ｙ，Ｚ空間での変位ΔＸ，ΔＹ，Δ
Ｚ、および各軸回りの回転角ΔθX ，ΔθY ，ΔθZ を
求めるには、次のようにする。説明を簡単にするため
に、測定部材５は、Ｘ，Ｙ，Ｚ座標系でＸ軸方向の並進
運動と、Ｚ軸回りの回転運動を行うものと想定し、その
運動の前後で、Ｙ軸方向の第１の撮像系７Ａ，８Ａで撮
像して画像で変位を検出する場合を説明する。
上の変位から、Ｘ，Ｙ，Ｚ空間での変位ΔＸ，ΔＹ，Δ
Ｚ、および各軸回りの回転角ΔθX ，ΔθY ，ΔθZ を
求めるには、次のようにする。説明を簡単にするため
に、測定部材５は、Ｘ，Ｙ，Ｚ座標系でＸ軸方向の並進
運動と、Ｚ軸回りの回転運動を行うものと想定し、その
運動の前後で、Ｙ軸方向の第１の撮像系７Ａ，８Ａで撮
像して画像で変位を検出する場合を説明する。
【００２０】図５（ａ）は、測定部材５のＸ軸方向の並
進運動とＺ軸回りの回転運動の様子を示している。マー
ク５１の中心Ｐは、Ｐ′に移動する。マーク５１の画像
上での変位Δｘ（Ａ）は、並進運動による変位ΔＸ１と
回転運動による変位ΔＸ２の和になる。ΔＸ１は、空間
座標系での測定部材の中心ＯからＯ′への変位と同じで
あり、Ｚ軸回りの回転変位ΔθZ による変位ΔＸ２は、
図５（ｂ）に示すように、ΔＸ２＝ａsin ΔθZ とな
る。従って、下記数３の関係が得られる。
進運動とＺ軸回りの回転運動の様子を示している。マー
ク５１の中心Ｐは、Ｐ′に移動する。マーク５１の画像
上での変位Δｘ（Ａ）は、並進運動による変位ΔＸ１と
回転運動による変位ΔＸ２の和になる。ΔＸ１は、空間
座標系での測定部材の中心ＯからＯ′への変位と同じで
あり、Ｚ軸回りの回転変位ΔθZ による変位ΔＸ２は、
図５（ｂ）に示すように、ΔＸ２＝ａsin ΔθZ とな
る。従って、下記数３の関係が得られる。
【００２１】
【数３】 Δｘ（Ａ）＝ΔＸ１＋ΔＸ２ ＝ΔＸ１＋ａ sinΔθZ
【００２２】同様に、同じ画像上のｙ方向変位ｙ（Ａ）
は、表１に示すように、Δｚ（Ａ）に置き換えられ、Ｚ
軸方向の並進運動による変位ΔＺ１とＸ軸回りの回転変
位ΔθXの関数として、下記数４で表される。
は、表１に示すように、Δｚ（Ａ）に置き換えられ、Ｚ
軸方向の並進運動による変位ΔＺ１とＸ軸回りの回転変
位ΔθXの関数として、下記数４で表される。
【００２３】
【数４】Δｚ（Ａ）＝ΔＺ１−ａ sinΔθX
【００２４】以下、同様の考え方で４方向の撮像画像デ
ータから検出できる変位量をまとめると、下記表２のよ
うになる。表２においては、測定部材５の中心ＯのＸ，
Ｙ，Ｚ空間座標での変位をΔＸ１，ΔＹ１，ΔＺ１で表
している。
ータから検出できる変位量をまとめると、下記表２のよ
うになる。表２においては、測定部材５の中心ＯのＸ，
Ｙ，Ｚ空間座標での変位をΔＸ１，ΔＹ１，ΔＺ１で表
している。
【００２５】
【表２】
【００２６】以上の表２から、次の数５の関係が導かれ
る。
る。
【００２７】
【数５】Δｘ（Ａ）−Δｘ（Ｃ）＝２ΔＸ１ Δｘ（Ａ）＋Δｘ（Ｃ）＝２ａ sinΔθZ Δｙ（Ｂ）−ΔＹ（Ｄ）＝２ΔＹ１ Δｙ（Ｂ）＋Δｙ（Ｄ）＝２ａ sinΔθZ Δｚ（Ａ）＋Δｚ（Ｃ）＝２ΔＺ１ Δｚ（Ｂ）＋Δｚ（Ｄ）＝２ΔＺ１ Δｚ（Ｃ）−Δｚ（Ａ）＝２ａ sinΔθX Δｚ（Ｂ）−Δｚ（Ｄ）＝２ａ sinΔθY
【００２８】上記数５の関係から、Ｘ，Ｙ，Ｚ空間での
直線変位ΔＸ１，ΔＹ１，ΔＺ１および回転変位Δ
θX ，ΔθY ，ΔθZ は、下記数６のように求められ
る。
直線変位ΔＸ１，ΔＹ１，ΔＺ１および回転変位Δ
θX ，ΔθY ，ΔθZ は、下記数６のように求められ
る。
【００２９】
【数６】ΔＸ１＝（Δｘ（Ａ）−Δｘ（Ｃ））／２ ΔＹ１＝（Δｙ（Ｂ）−Δｙ（Ｄ））／２ ΔＺ１＝｛（Δｚ（Ａ）＋Δｚ（Ｃ））／２＋（Δｚ
（Ｂ）＋Δｚ（Ｄ））／２｝／２ ΔθX ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｃ）−Δｚ（Ａ））／２
ａ｝ ΔθY ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｂ）−Δｚ（Ｄ））／２
ａ｝ ΔθZ ＝［ｓｉｎ-1｛（Δｘ（Ａ）＋Δｘ（Ｃ））／２
ａ｝＋ｓｉｎ-1｛（Δｙ（Ｂ）＋Δｙ（Ｄ））／２
ａ｝］／２
（Ｂ）＋Δｚ（Ｄ））／２｝／２ ΔθX ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｃ）−Δｚ（Ａ））／２
ａ｝ ΔθY ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｂ）−Δｚ（Ｄ））／２
ａ｝ ΔθZ ＝［ｓｉｎ-1｛（Δｘ（Ａ）＋Δｘ（Ｃ））／２
ａ｝＋ｓｉｎ-1｛（Δｙ（Ｂ）＋Δｙ（Ｄ））／２
ａ｝］／２
【００３０】以上の処理をスタイラス４を変位させて繰
り返し行うことにより、スタイラスの復帰位置ずれおよ
び姿勢ずれを測定評価することができる。以上の画像処
理の一連のシーケンスはホストコンピュータ１０により
制御される。この画像処理を機能ブロックで示せば、図
６のようになる。マーク変位検出手段６１Ａ，６１Ｂ，
６１Ｃ，６１Ｄは、それぞれ４方向の撮像画像から、測
定部材５の各側面のマーク５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５
１ｄの画像上での変位を求める。このマーク変位検出手
段により得られた各画像座標値を前述のようにＸ，Ｙ，
Ｚの三次元空間座標に対応付けて、スタイラス先端の変
位検出手段６２により、スタイラス先端の位置および回
転角度を算出する。そしてスタイラスを変位させて逃げ
動作および復帰動作を行わせる前後におけるスタイラス
変位検出手段６２により求まるスタイラス先端の位置お
よび回転角度に基づいて、ずれ検出手段６３によってス
タイラス先端の復帰位置ずれおよび姿勢ずれを検出する
ことができる。
り返し行うことにより、スタイラスの復帰位置ずれおよ
び姿勢ずれを測定評価することができる。以上の画像処
理の一連のシーケンスはホストコンピュータ１０により
制御される。この画像処理を機能ブロックで示せば、図
６のようになる。マーク変位検出手段６１Ａ，６１Ｂ，
６１Ｃ，６１Ｄは、それぞれ４方向の撮像画像から、測
定部材５の各側面のマーク５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５
１ｄの画像上での変位を求める。このマーク変位検出手
段により得られた各画像座標値を前述のようにＸ，Ｙ，
Ｚの三次元空間座標に対応付けて、スタイラス先端の変
位検出手段６２により、スタイラス先端の位置および回
転角度を算出する。そしてスタイラスを変位させて逃げ
動作および復帰動作を行わせる前後におけるスタイラス
変位検出手段６２により求まるスタイラス先端の位置お
よび回転角度に基づいて、ずれ検出手段６３によってス
タイラス先端の復帰位置ずれおよび姿勢ずれを検出する
ことができる。
【００３１】以上の実施例では、スタイラス４の先端に
取り付ける測定部材５のマークを円形としたが、これは
円形に限られるものではなく、図７（ａ）に示すような
三角形、同図（ｂ）に示すような四角形など、撮像系の
視野内にはいる任意の形状を用いることができる。また
図７（ｃ）あるいは（ｄ）に示すように、撮像系の視野
内で、各側面の中央で交わる二直線エッジ７１，７２を
有するパターンを用いることが可能である。
取り付ける測定部材５のマークを円形としたが、これは
円形に限られるものではなく、図７（ａ）に示すような
三角形、同図（ｂ）に示すような四角形など、撮像系の
視野内にはいる任意の形状を用いることができる。また
図７（ｃ）あるいは（ｄ）に示すように、撮像系の視野
内で、各側面の中央で交わる二直線エッジ７１，７２を
有するパターンを用いることが可能である。
【００３２】また実施例では、アクチュエータ１１によ
りスタイラス４に変位を与えるようにしたが、例えば図
８に示すように、コンピュータ１０により制御されるＸ
−Ｙテーブル１２を利用して、測定部材５に任意方向の
変位を与えるようにすることもできる。
りスタイラス４に変位を与えるようにしたが、例えば図
８に示すように、コンピュータ１０により制御されるＸ
−Ｙテーブル１２を利用して、測定部材５に任意方向の
変位を与えるようにすることもできる。
【００３３】実施例では、専らタッチトリガプローブの
復帰精度の測定評価を説明したが、この実施例の手法は
より一般的に、立方体測定部材の非接触測定による位置
および姿勢測定に適用することが可能である。
復帰精度の測定評価を説明したが、この実施例の手法は
より一般的に、立方体測定部材の非接触測定による位置
および姿勢測定に適用することが可能である。
【００３４】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、ス
タイラス先端に所定のマークが付された立方体の測定部
材を取り付けたタッチプローブを三次元空間のＺ軸方向
に固定した状態で、４方向から測定部材のマークを撮像
し、画像処理によって測定部材の一点の空間座標を非接
触で検出し、この空間座標検出動作を、スタイラスに所
定の変位を与えて逃げ動作および復帰動作を行わせる前
後において行うことで、スタイラス先端の復帰位置ずれ
および姿勢ずれを検出することができる。この発明によ
ると、タッチプローブを三次元座標測定機により機械駆
動する場合と異なり、振動や揺れ等の影響がなくなり、
タッチプローブ自体の正確な復帰精度の測定評価が可能
になる。
タイラス先端に所定のマークが付された立方体の測定部
材を取り付けたタッチプローブを三次元空間のＺ軸方向
に固定した状態で、４方向から測定部材のマークを撮像
し、画像処理によって測定部材の一点の空間座標を非接
触で検出し、この空間座標検出動作を、スタイラスに所
定の変位を与えて逃げ動作および復帰動作を行わせる前
後において行うことで、スタイラス先端の復帰位置ずれ
および姿勢ずれを検出することができる。この発明によ
ると、タッチプローブを三次元座標測定機により機械駆
動する場合と異なり、振動や揺れ等の影響がなくなり、
タッチプローブ自体の正確な復帰精度の測定評価が可能
になる。
【図１】 この発明の一実施例による変位検出装置の構
成を示す。
成を示す。
【図２】 同実施例に用いる測定部材を拡大して示す。
【図３】 同実施例の撮像系の配置を示す。
【図４】 同実施例の画像上でのマークの変位を示す。
【図５】 同実施例の測定部材の変位の様子を示す。
【図６】 同実施例の画像処理の機能ブロックを示す。
【図７】 他の実施例に用いる測定部材のマークを示
す。
す。
【図８】 他の実施例による変位検出装置の構成を示
す。
す。
１…ベース、２…フレーム、３…タッチトリガプロー
ブ、４…スタイラス、５…測定部材、５１ａ〜５１ｄ…
マーク、６ａ，６ｂ…テーブル、７Ａ，８Ａ…第１の撮
像系、７Ｃ，８Ｃ…第２の撮像系、７Ｂ，８Ｂ…第３の
撮像系、７Ｄ，８Ｄ…第４の撮像系、９…画像処理装
置、１０…ホストコンピュータ、１１…アクチュエー
タ。
ブ、４…スタイラス、５…測定部材、５１ａ〜５１ｄ…
マーク、６ａ，６ｂ…テーブル、７Ａ，８Ａ…第１の撮
像系、７Ｃ，８Ｃ…第２の撮像系、７Ｂ，８Ｂ…第３の
撮像系、７Ｄ，８Ｄ…第４の撮像系、９…画像処理装
置、１０…ホストコンピュータ、１１…アクチュエー
タ。
Claims (4)
- 【請求項１】 タッチプローブのスタイラス先端の復帰
位置および姿勢を非接触で検出するための三次元変位検
出装置であって、 Ｘ，Ｙ，Ｚの三次元空間のＺ軸に沿って固定されたタッ
チプローブのスタイラス先端に取り付けられて、Ｘ軸方
向に相対向する２面およびＹ軸方向に相対向する２面に
それぞれ所定形状のマークが設けられた立方体の測定部
材と、 Ｙ軸方向に前記測定部材を挟んで相対向させて配置され
て前記測定部材のＹ軸方向の２面のマークをそれぞれ撮
像する第１および第２の撮像手段と、 Ｘ軸方向に前記測定部材を挟んで相対向させて配置され
て前記測定部材のＸ軸方向の２面のマークをそれぞれ撮
像する第３および第４の撮像手段と、 前記第１乃至第４の撮像手段によりそれぞれ得られた第
１乃至第４の画像データを処理して、それぞれの画像上
でそれぞれ前記マークの画像座標値を検出するマーク変
位検出手段と、 このマーク変位検出手段により得られた各画像座標値を
Ｘ，Ｙ，Ｚの三次元空間座標に対応付けることにより前
記スタイラス先端の位置および回転角度を算出するスタ
イラス変位検出手段と、 前記スタイラスを変位させて逃げ動作および復帰動作を
行わせる前後における前記スタイラス変位検出手段によ
り求まるスタイラス先端の位置および回転角度に基づい
て前記スタイラス先端の復帰位置ずれおよび姿勢ずれを
検出するずれ検出手段とを備えたことを特徴とする非接
触三次元変位検出装置。 - 【請求項２】 前記測定部材のＸ軸方向に相対向する２
面およびＹ軸方向に相対向する２面に設けられたマーク
は、各面の中央に重心又は図心を有し、且つ前記第１乃
至第４の撮像手段の各視野内で閉じた形状を有すること
を特徴とする請求項１記載の非接触三次元変位検出装
置。 - 【請求項３】 前記測定部材のＸ軸方向に相対向する２
面およびＹ軸方向に相対向する２面に設けられたマーク
は、各面の中央で交わる二直線エッジを有することを特
徴とする請求項１記載の非接触三次元変位検出装置。 - 【請求項４】 Ｘ，Ｙ，Ｚの三次元空間のＸ軸方向に相
対向する２面およびＹ軸方向に相対向する２面にそれぞ
れ所定形状のマークが設けられた立方体の測定部材と、 Ｙ軸方向に前記測定部材を挟んで相対向させて配置され
て前記測定部材のＹ軸方向の２面のマークをそれぞれ撮
像する第１および第２の撮像手段と、 Ｘ軸方向に前記測定部材を挟んで相対向させて配置され
て前記測定部材のＸ軸方向の２面のマークをそれぞれ撮
像する第３および第４の撮像手段と、 前記第１乃至第４の撮像手段によりそれぞれ得られた第
１乃至第４の画像データを処理して、第１の画像上の前
記マークの変位Δｘ（Ａ），Δｙ（Ａ）、第２の画像上
の前記マークの変位Δｘ（Ｃ），Δｙ（Ｃ）、第３の画
像上の前記マークの変位Δｘ（Ｂ），Δｙ（Ｂ）、およ
び第４の画像上の前記マークの変位Δｘ（Ｄ），Δｙ
（Ｄ）を求めるマーク変位検出手段と、 このマーク変位検出手段により求められた画像上のマー
ク変位をＸ，Ｙ，Ｚの空間座標に対応づけて、第１の画
像上の前記マークの変位Δｘ（Ａ），Δｙ（Ａ）、をそ
れぞれΔｘ（Ａ），Δｚ（Ａ）、第２の画像上の前記マ
ークの変位Δｘ（Ｃ），Δｙ（Ｃ）をそれぞれ−Δｘ
（Ｃ），Δｚ（Ｃ）、第３の画像上の前記マークの変位
Δｘ（Ｂ），Δｙ（Ｂ）をそれぞれΔｙ（Ｂ），Δｚ
（Ｂ）、および第４の画像上の前記マークの変位Δｘ
（Ｄ），Δｙ（Ｄ）をそれぞれ−Δｙ（Ｄ），Δｚ
（Ｄ）と置き換え、立方体の一辺の長さを２ａとして、
下記数１の演算により、Ｘ，Ｙ，Ｚの三次元空間での前
記測定部材の中心の変位ΔＸ１，ΔＹ１，ΔＺ１、およ
び回転角ΔθX ，ΔθY ，ΔθZ を求める位置および姿
勢検出手段とを有することを特徴とする非接触三次元変
位検出装置。 【数１】ΔＸ１＝（Δｘ（Ａ）−Δｘ（Ｃ））／２ ΔＹ１＝（Δｙ（Ｂ）−Δｙ（Ｄ））／２ ΔＺ１＝｛（Δｚ（Ａ）＋Δｚ（Ｃ））／２＋（Δｚ
（Ｂ）＋Δｚ（Ｄ））／２｝／２ ΔθX ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｃ）−Δｚ（Ａ））／２
ａ｝ ΔθY ＝ｓｉｎ-1｛（Δｚ（Ｂ）−Δｚ（Ｄ））／２
ａ｝ ΔθZ ＝［ｓｉｎ-1｛（Δｘ（Ａ）＋Δｘ（Ｃ））／２
ａ｝＋ｓｉｎ-1｛（Δｙ（Ｂ）＋Δｙ（Ｄ））／２
ａ｝］／２
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19806295A JPH0926308A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 非接触三次元変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19806295A JPH0926308A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 非接触三次元変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0926308A true JPH0926308A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=16384902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19806295A Pending JPH0926308A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 非接触三次元変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0926308A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001347440A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-18 | Mori Seiki Co Ltd | 主軸振れ精度診断機能を備えたｎｃ工作機械 |
| CN111102940A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-05 | 北京金风科创风电设备有限公司 | 叶片桨距角偏差的检测方法、装置、存储介质及系统 |
-
1995
- 1995-07-11 JP JP19806295A patent/JPH0926308A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001347440A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-18 | Mori Seiki Co Ltd | 主軸振れ精度診断機能を備えたｎｃ工作機械 |
| CN111102940A (zh) * | 2018-10-29 | 2020-05-05 | 北京金风科创风电设备有限公司 | 叶片桨距角偏差的检测方法、装置、存储介质及系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0858015B1 (en) | Measuring method and measuring instrument with a trigger probe | |
| CN107883831B (zh) | 测量系统和测量方法 | |
| EP2132523B1 (en) | Method and device for exact measurement of objects | |
| US6701268B2 (en) | Method for calibrating scanning probe and computer-readable medium therefor | |
| CN105841576A (zh) | 坐标测量机 | |
| EP1998137B1 (en) | Abnormality detecting method for form measuring mechanism and form measuring mechanism | |
| EP2499616B1 (en) | Three-dimensional measurement method | |
| EP3111162A1 (en) | Method of inspecting an object with a vision probe | |
| SE461548B (sv) | Foerfarande och anordning foer bestaemning av och korrigering foer laegesfel vid maetning av en punkts laege eller vid positionering till en punkt med ett bestaemt laege | |
| TW201026428A (en) | System for positioning micro tool of micro machine and method thereof | |
| JPH09105613A (ja) | 非接触型の三次元測定装置および測定方法 | |
| US20080123110A1 (en) | Multifaceted digitizer adapter | |
| EP3322959B1 (en) | Method for measuring an artefact | |
| KR100724261B1 (ko) | 위치 측정 방법 및 위치 측정 장치 및 위치 측정 시스템 | |
| EP1174681A2 (en) | Method and apparatus for the determination of the contour of sheet metal blanks | |
| JPS6332306A (ja) | 無接触三次元自動寸法測定方法 | |
| JP3696336B2 (ja) | カメラのキャリブレーション方法 | |
| JPH0926308A (ja) | 非接触三次元変位検出装置 | |
| JP2896539B2 (ja) | 物体の位置、角度等の固有情報の検出方法 | |
| US11371828B2 (en) | Coordinate measuring machine and method for measuring coordinates of a workpiece | |
| JPH0926316A (ja) | 非接触三次元変位検出装置 | |
| CN116472144A (zh) | 图像处理系统以及图像处理方法 | |
| JP4240215B2 (ja) | ビデオ式３次元位置計測装置およびビデオ式伸び計並びにビデオ式幅計 | |
| US20190113336A1 (en) | Multi-Directional Triangulation Measuring System with Method | |
| EP3029417B1 (en) | Method of determination and/or continuous determination of a linear and/or angular deviation/deviations of the path or area of a workpiece or a part of the machine from the axis of rotation of its spindle and a detecting device for performing it |