JPH09246644A - Infrared-radiation emitting device - Google Patents

Infrared-radiation emitting device

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Publication number
JPH09246644A
JPH09246644A JP5634096A JP5634096A JPH09246644A JP H09246644 A JPH09246644 A JP H09246644A JP 5634096 A JP5634096 A JP 5634096A JP 5634096 A JP5634096 A JP 5634096A JP H09246644 A JPH09246644 A JP H09246644A
Authority
JP
Japan
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light
wavelength
optical
output
idler
Prior art date
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Pending
Application number
JP5634096A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takanori Suzuki
隆則 鈴木
Jiyuketsu Hayashi
樹傑 林
Yoshito Tanaka
義人 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
Original Assignee
RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
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Filing date
Publication date
Application filed by RIKEN Institute of Physical and Chemical Research filed Critical RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
Priority to JP5634096A priority Critical patent/JPH09246644A/en
Publication of JPH09246644A publication Critical patent/JPH09246644A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To decrease the number of optical devices, such as an MLN and a grading optical device, and to reduce the manhour of adjustment in an infrared-radiation emitting device by a method wherein an optical parametric amplitude is performed using the emitted light of a first optical system as pumping light and using the emitted light of a second optical system as seed light and infrared radiation is outputted as idler light. SOLUTION: Seed light (ω2) generated by a second optical system 110 is reflected by a mirror 24 and is incided in a dichroic mirror 34, while pumping light (ω1) generated by a first optical system 100 is also incided in the mirror 34. The seed light and the pumping light are incided in an MLN 36 at a phase matching angle. Then, with the pumping light transmitted the MLN 36 reflected by a dichroic mirror 38, signal light and idler light are transmitted the mirror 38. The pumping light is projected on a non-reflector 42 by the mirror 38. On the other hand, the idler light only is transmitted a Ge element 44 and is outputted as infrared radiation.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光パラメトリック
増幅を利用して赤外光を発生させる装置に係わり、特
に、装置を構成する各種の光学デバイスの調整工数を低
減することを可能にする、赤外光の発生装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for generating infrared light by utilizing optical parametric amplification, and more particularly, to reducing the number of adjustment steps for various optical devices constituting the apparatus. The present invention relates to a device for generating infrared light.

【0002】[0002]

【従来の技術】赤外領域の光(2〜20(μm))は、
主な分子の振動スペクトルを検出するのに好適であるた
め、成膜過程(CVD、エッチング等における化学反
応)等の光学的手法による評価を始めとする各種の分野
への応用が考えられ、可視領域や近赤外領域のレーザ光
の波長変換を行い、2(μm)以上の波長の赤外光を発
生させる装置の開発が盛んである。
2. Description of the Related Art Light in the infrared region (2 to 20 (μm)) is
Since it is suitable for detecting vibration spectra of main molecules, it can be applied to various fields including evaluation by optical methods such as a film formation process (chemical reaction in CVD, etching, etc.) Devices that convert the wavelength of laser light in the region or near-infrared region and generate infrared light having a wavelength of 2 (μm) or more have been actively developed.

【0003】ところで、このような波長変換を行うため
に、光パラメトリック効果や光パラメトリック増幅を利
用した装置が提案されていた。光パラメトリック効果
は、回転ステージ等に固定された非線形光学素子にポン
プ光(角周波数ω1 )を入射し、回転ステージを調整し
てポンプ光の入射角度を位相整合条件を満たすように設
定することにより、シグナル光(角周波数ω2 )とアイ
ドラ光(角周波数ω3 :ω2 >ω3 、ω=ω2 + ω3
)を得る光学的効果である。本効果によれば、ポンプ
光の波長が固定であっても、回転ステージを調整して、
位相整合条件を満足させながらポンプ光の非線形光学素
子への入射角度を変更することにより、アイドラ光とシ
グナル光の波長を変更することが可能になる。
[0003] In order to perform such wavelength conversion, an apparatus using an optical parametric effect or optical parametric amplification has been proposed. The optical parametric effect is obtained by injecting pump light (angular frequency ω1) into a non-linear optical element fixed to a rotary stage or the like and adjusting the rotary stage to set the incident angle of the pump light so as to satisfy the phase matching condition. , Signal light (angular frequency ω2) and idler light (angular frequency ω3: ω2> ω3, ω = ω2 + ω3
). According to this effect, even if the wavelength of the pump light is fixed, the rotation stage is adjusted,
By changing the incident angle of the pump light to the nonlinear optical element while satisfying the phase matching condition, it becomes possible to change the wavelengths of the idler light and the signal light.

【0004】また、光パラメトリック増幅(OPA)
は、回転ステージ等に固定された非線形光学素子にポン
プ光(角周波数ω1 )および種光(シーディング光:角
周波数ω2 またはω3 )を入射し、回転ステージを調整
してポンプ光の入射角度を位相整合条件を満たすように
設定することにより、増幅されて強い光となったシグナ
ル光(角周波数ω2 )とアイドラ光(角周波数ω3 :ω
2 >ω3 、ω1 =ω2 +ω3 )とを得るものである。光
パラメトリック増幅においても、回転ステージを調整し
て、位相整合条件を満足させながらポンプ光の非線形光
学素子への入射角度を変更することにより、ポンプ光と
種光で決まる位相整合条件下で種光を増幅する。
Also, optical parametric amplification (OPA)
Is to input pump light (angular frequency ω1) and seed light (seeding light: angular frequency ω2 or ω3) to a nonlinear optical element fixed to a rotary stage or the like, and adjust the rotary stage to adjust the incident angle of the pump light. The signal light (angular frequency ω2) and the idler light (angular frequency ω3: ω), which are amplified and become strong light, are set by satisfying the phase matching condition.
2> ω3, ω1 = ω2 + ω3). Also in optical parametric amplification, by adjusting the rotation stage and changing the incident angle of the pump light to the nonlinear optical element while satisfying the phase matching condition, the seed light can be obtained under the phase matching condition determined by the pump light and the seed light. To amplify.

【0005】さて、このような光パラメトリック効果や
光パラメトリック増幅を利用した赤外光発生装置の従来
の例を図面を参照して説明する。図7は、従来の赤外光
発生装置の構成例を示す。
Now, a conventional example of an infrared light generating apparatus utilizing such an optical parametric effect and optical parametric amplification will be described with reference to the drawings. FIG. 7 shows a configuration example of a conventional infrared light generation device.

【0006】本装置は、可視または近赤外の光であるポ
ンプ光を発生するポンプ光生成部17と、ポンプ光から
種光を生成する種光生成部19と、光パラメトリック増
幅を利用して赤外光を生成するOPA部15と、ポンプ
光を遅延させる光学系とを有して構成される。
The present apparatus utilizes a pump light generator 17 for generating pump light that is visible or near-infrared light, a seed light generator 19 for generating seed light from the pump light, and optical parametric amplification. An OPA unit 15 that generates infrared light and an optical system that delays pump light are configured.

【0007】ポンプ光生成部17は、固定波長の赤外レ
ーザ光を発生するポンプ用レーザ12と該レーザ光を絞
るレンズ1(焦点距離1(m))とからなる。また、種
光生成部19は、入射されるポンプ光をもとにシグナル
光およびアイドラ光を生成する光パラメトリック効果を
奏する非線形光学素子であるMLN1(2)(ニオブ酸
リチウムLiNBO3に酸化マグネシウムMgO を混ぜ合わせ製
造した素子)と、出力されるアイドラ光(シグナル光)
を集光する集光レンズ3(焦点距離70(mm))と、
集光された光を反射するミラー5と、所定の波長の光を
選択するためのグレーティング4からなる。なお、図示
はしないが、MLN1は回転ステージに固定され、該回
転ステージを操作することによって、ビームスプリッタ
6を透過してきたポンプ光の入射角を調整可能になって
いる。また、グレーティング4も、回転ステージに固定
され、該回転ステージを操作することによって、ミラー
5で反射されてきた2種類のアイドラ光(シグナル光)
のいずれかを選択可能になっている。
The pump light generator 17 includes a pump laser 12 for generating infrared laser light having a fixed wavelength, and a lens 1 (focal length 1 (m)) for narrowing the laser light. The seed light generation unit 19 also includes a nonlinear optical element MLN1 (2) (lithium niobate LiNBO 3 and magnesium oxide MgO 3 ) that has an optical parametric effect of generating signal light and idler light based on the incident pump light. And the output idler light (signal light)
Focusing lens 3 (focal length 70 (mm))
It comprises a mirror 5 for reflecting the condensed light and a grating 4 for selecting light of a predetermined wavelength. Although not shown, the MLN 1 is fixed to a rotary stage, and the angle of incidence of the pump light transmitted through the beam splitter 6 can be adjusted by operating the rotary stage. The grating 4 is also fixed to the rotating stage, and by operating the rotating stage, two types of idler light (signal light) reflected by the mirror 5 are obtained.
Can be selected.

【0008】さらに、OPA部15は、光の照射するエ
リアを制限するスリット10と、照射された光を受光し
て光パラメトリック増幅を行うMLN2(11)からな
っている。なお、図示はしないが、MLN2は回転ステ
ージに固定され、該回転ステージを操作することによっ
て、スリット10を通過してきた光の入射角を調整可能
になっている。
Further, the OPA section 15 includes a slit 10 for limiting an area to be irradiated with light, and an MLN 2 (11) for receiving the irradiated light and performing optical parametric amplification. Although not shown, the MLN 2 is fixed to a rotary stage, and the angle of incidence of the light passing through the slit 10 can be adjusted by operating the rotary stage.

【0009】さて、このような光学系における赤外線発
生の動作原理について説明する。まず、ポンプ用レーザ
12から出力されたレーザ光は、コリメートレンズ1に
よってゆるく絞られ、絞られた光は、ビームスプリッタ
6によって2光路に分割される。1つの光路を形成する
光は集光レンズ2(焦点距離200(mm))によって
再度、集光され、遅延プリズム7によって所定時間の遅
れが与えられた後ミラー8によって反射され、さらに、
ダイクロイックミラー9によって反射されてOPA部1
5に投光される。なお、遅延プリズム7によって与えら
れる遅れは、図示しない移動機構によって遅延プリズム
7を移動することによって、調整可能である。
Now, the principle of operation of generating infrared light in such an optical system will be described. First, the laser light output from the pump laser 12 is loosely narrowed by the collimating lens 1, and the narrowed light is split into two optical paths by the beam splitter 6. The light forming one optical path is collected again by the condenser lens 2 (focal length 200 (mm)), reflected by the mirror 8 after being given a predetermined time delay by the delay prism 7, and further reflected by the mirror 8.
OPA unit 1 reflected by dichroic mirror 9
5 is projected. The delay given by the delay prism 7 can be adjusted by moving the delay prism 7 by a moving mechanism (not shown).

【0010】一方、他の光路を形成する光(角周波数ω
1 )は、MLN1の光パラメトリック効果によって、シ
グナル光(角周波数ω2 )とアイドラ光(角周波数ω3
:ω2 >ω3 、ω1 =ω2 + ω3 )を生成する。そし
て、シグナル光とアイドラ光はミラー5で反射されて、
グレーティング4によって、シグナル光またはアイドラ
光のいずれかが選択されてダイクロイックミラー9を介
してOPA部15に投光される。したがって、ダイクロ
イックミラー9は、遅延を与えられたポンプ光の光路と
グレーティング4によって選択された光の光路を同一に
してOPA部15に投光する機能を有する。
On the other hand, light forming another optical path (angular frequency ω
1) is a signal light (angular frequency ω2) and an idler light (angular frequency ω3) due to the optical parametric effect of the MLN1.
: Ω2> ω3, ω1 = ω2 + ω3). Then, the signal light and the idler light are reflected by the mirror 5,
Either the signal light or the idler light is selected by the grating 4 and is emitted to the OPA unit 15 via the dichroic mirror 9. Therefore, the dichroic mirror 9 has a function of projecting the optical path of the pump light delayed by the delay and the optical path of the light selected by the grating 4 to the OPA unit 15.

【0011】そして、OPA部15に投光された光はス
リット10を介してMLN2に照射される。MLN2
は、ポンプ光と種光生成部19で生成された種光(ML
N1の光パラメトリック効果によって発生し、グレーテ
ィング4によって選択されたシグナル光またはアイドラ
光)によるパラメトリック増幅により、シグナル光(角
周波数ω2 )とアイドラ光(角周波数ω3 :ω2 >ω3
、ω1 =ω2 + ω3 )を増幅した出力する。
Then, the light projected on the OPA unit 15 is applied to the MLN 2 through the slit 10. MLN2
Is the pump light and the seed light (ML) generated by the seed light generation unit 19.
The signal light (angular frequency ω2) and the idler light (angular frequency ω3: ω2> ω3) are generated by the parametric amplification by the optical parametric effect of N1 and the signal light or idler light selected by the grating 4.
, Ω1 = ω2 + ω3).

【0012】さらに、図示しない光選択素子によってシ
グナル光またはアイドラ光を選択して赤外光として出力
する。従来の装置によっては、このようにして赤外光を
得ていた。
Further, signal light or idler light is selected by a light selecting element (not shown) and output as infrared light. Some conventional devices obtain infrared light in this way.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな装置において、赤外線の波長を変更する場合、位相
整合条件を満足させながら、MLN1に対するポンプ光
の入射角を変更して、光パラメトリック効果によって発
生するアイドラ光(またはシグナル光)の角周波数(波
長に対応する)を変化させるため、回転ステージを操作
して微妙な入射角度の調整を行わなければならず、膨大
な作業工数を要していた。
However, in such an apparatus, when changing the wavelength of infrared light, the incident angle of the pump light with respect to the MLN1 is changed while satisfying the phase matching condition, and the light is generated by the optical parametric effect. In order to change the angular frequency (corresponding to the wavelength) of the idler light (or signal light) to be changed, the rotary stage had to be operated to finely adjust the incident angle, which required a huge amount of work. .

【0014】さらに、MLN1の光パラメトリック効果
によって発生するアイドラ光(またはシグナル光)の角
周波数の変化に伴ってグレーティング4を固定する回転
ステージを操作することによる調整作業や、光パラメト
リック増幅を行うために、MLN2を固定する回転ステ
ージを操作することによる調整作業も生じてしまい、さ
らにMLN2の回転に伴い結晶から出力される光の方向
も変わり、同一光路で赤外線を出力させるためには、ダ
ミー結晶でこれを補正するなど、出力する赤外線の波長
を変更するためには、多くの作業工数を要していたとい
う問題点があった。
Further, for performing an adjustment operation by operating a rotary stage for fixing the grating 4 in accordance with a change in the angular frequency of the idler light (or signal light) generated by the optical parametric effect of the MLN 1, and for performing an optical parametric amplification. In addition, an adjustment operation by operating the rotary stage for fixing the MLN 2 occurs, and the direction of the light output from the crystal changes with the rotation of the MLN 2. In order to output infrared rays in the same optical path, a dummy crystal is required. In order to compensate for this, and to change the wavelength of the infrared light to be output, there is a problem that many work steps are required.

【0015】また、MLNやグレーティング4等の光学
デバイスを多く使用したり、遅延光路を形成する必要か
ら装置サイズが大きく、装置の小型化の要請もあった。
そこで、本発明は、MLNやグレーティング等の光学デ
バイスの数を低減し、装置の調整工数を低減した赤外光
発生装置を提供することを目的とする。
In addition, there has been a demand for the use of a large number of optical devices such as the MLN and the grating 4 and the formation of a delay optical path, resulting in a large device size and a reduction in the size of the device.
Therefore, an object of the present invention is to provide an infrared light generation device in which the number of optical devices such as MLNs and gratings is reduced and the number of adjustment steps of the device is reduced.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し本発明
の目的を達成するため、請求項1記載の発明は、光パラ
メトリック増幅を用いて赤外光を発生する装置であっ
て、光を所定の周期でパルス出力する第1の光学系と、
前記光より長波長の光を所定波長範囲内で選択可能で、
選択した波長の光を前記パルスと同期してパルス出力す
る第2の光学系と、両光学系の光路合わせを行う光路合
わせ光学系と、該光路合わせ光学系から出力される光を
受光し、前記第1の光学系の出力光をポンプ光、かつ、
前記第2の光学系の出力光を種光として光パラメトリッ
ク増幅を行い、アイドラ光として赤外光を出力する機能
を有する非線形光学素子と、前記第1の光学系の光の波
長で定まる前記非線形光学素子が呈する、アイドラ光
(またはシグナル光)波長の位相整合角度の依存特性に
おいて、位相整合角度変化のアイドラ光(またはシグナ
ル光)波長変化に対する微分係数が零となる点が2点発
生する位相整合角度で、前記非線形光学素子に対して前
記ポンプ光が入射するように、前記非線形光学素子の配
置状態を調整するための調整機構とを備える赤外光発生
装置である。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems and achieve the object of the present invention, the invention according to claim 1 is an apparatus for generating infrared light by using optical parametric amplification, wherein the apparatus generates infrared light. A first optical system that outputs a pulse at a predetermined cycle;
Light having a longer wavelength than the light can be selected within a predetermined wavelength range,
A second optical system that outputs a pulse of light of the selected wavelength in synchronization with the pulse, an optical path alignment optical system that performs optical path alignment of both optical systems, and receives light output from the optical path alignment optical system; Pump light output from the first optical system, and
A nonlinear optical element having a function of performing optical parametric amplification using the output light of the second optical system as seed light and outputting infrared light as idler light; and the nonlinear optical element determined by the wavelength of light of the first optical system. In the dependence characteristic of the phase matching angle of the idler light (or signal light) wavelength exhibited by the optical element, the phase at which two points at which the derivative of the phase matching angle change with respect to the idler light (or signal light) wavelength change becomes zero occurs. An infrared light generation device comprising: an adjustment mechanism for adjusting an arrangement state of the nonlinear optical element so that the pump light is incident on the nonlinear optical element at a matching angle.

【0017】なお、請求項1記載の発明はパルス光の発
生装置であるが、CWの赤外光を発生させる他の態様も
考えられる。即ち、請求項2記載の発明は、光パラメト
リック増幅を用いて赤外光を発生する装置であって、光
を出力する第1の光源と、該第1の光源から出力される
光より長波長の光を所定波長範囲内で選択可能で、選択
した波長の光を出力する第2の光源と、両光源の光路合
わせを行う光路合わせ光学系と、該光路合わせ光学系か
ら出力される光を受光し、前記第1の光源の出力光をポ
ンプ光、かつ、前記第2の光源の出力光を種光として光
パラメトリック増幅を行い、アイドラ光として赤外光を
出力する機能を有する非線形光学素子と、前記第1の光
源の波長で定まる前記非線形光学素子が呈する、アイド
ラ光(またはシグナル光)波長の位相整合角度の依存特
性において、位相整合角度変化のアイドラ光(またはシ
グナル光)波長変化に対する微分係数が零となる点が2
点発生する位相整合角度で、前記非線形光学素子に対し
て前記ポンプ光が入射するように、前記非線形光学素子
の配置状態を調整するための調整機構とを備える赤外光
発生装置である。
The invention according to claim 1 is a pulse light generating apparatus, but other modes for generating CW infrared light are also conceivable. That is, the invention according to claim 2 is an apparatus for generating infrared light using optical parametric amplification, comprising: a first light source for outputting light; and a longer wavelength than light output from the first light source. Is selectable within a predetermined wavelength range, a second light source that outputs light of the selected wavelength, an optical path alignment optical system that performs optical path alignment of both light sources, and a light output from the optical path alignment optical system. A non-linear optical element having a function of receiving, outputting pump light as output light of the first light source, performing optical parametric amplification using output light of the second light source as seed light, and outputting infrared light as idler light; In the dependence characteristic of the phase matching angle of the idler light (or signal light) wavelength exhibited by the nonlinear optical element determined by the wavelength of the first light source, the phase matching angle change with respect to the idler light (or signal light) wavelength change Fine That the coefficient is zero 2
An infrared light generation device comprising: an adjustment mechanism for adjusting an arrangement state of the nonlinear optical element so that the pump light is incident on the nonlinear optical element at a phase matching angle at which a point occurs.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を、図面
を参照しつつ説明する。図1は、本発明の実施形態にか
かる装置の構成例を示す図面である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a drawing showing a configuration example of an apparatus according to an embodiment of the present invention.

【0019】本装置は、光を所定の周期でパルス出力す
る第1の光学系100と、該光より長波長の光を所定波
長範囲内で選択可能で、選択した波長の光を前記パルス
出力と同期してパルス出力する第2の光学系110と、
第2の光学系110からの出力光を反射するミラー24
と、該ミラー24で反射された光の光路と第1の光学系
100から出力される光の光路との光路合わせを行う光
路合わせ光学系として機能するダイクロイックミラー3
4と、該ダイクロイックミラー34を介して投光される
光を利用して光パラメトリック増幅を行う非線形光学素
子であるMLN36と、MLN36から出力されるアイ
ドラ光(またはシグナル光)を透過し、かつ、ポンプ光
成分を反射するダイクロイックミラー38と、不要な光
である該ダイクロイックミラー38で反射されたポンプ
光を反射させない非反射器42と、MLN36から出力
されるアイドラ光のみを透過するGe(ゲルマニウム)
素子44と、MLN36を固定し、MLN36へ照射す
る光の位相整合角度を調整可能な調整機構50と、同期
したパルス光を生成するためのタイミンングジエネレー
タ40と、を有している。
The present apparatus comprises a first optical system 100 for outputting a pulse of light at a predetermined cycle, a light having a wavelength longer than the first light within a predetermined wavelength range, and a light having a selected wavelength being output at the pulse output. A second optical system 110 that outputs a pulse in synchronization with
Mirror 24 that reflects output light from second optical system 110
And a dichroic mirror 3 functioning as an optical path alignment optical system for aligning the optical path of the light reflected by the mirror 24 with the optical path of the light output from the first optical system 100.
4, an MLN 36 that is a nonlinear optical element that performs optical parametric amplification using light projected through the dichroic mirror 34, and an idler light (or signal light) output from the MLN 36, and A dichroic mirror 38 that reflects the pump light component, a non-reflector 42 that does not reflect the unnecessary pump light reflected by the dichroic mirror 38, and Ge (germanium) that transmits only idler light output from the MLN 36
The device includes an element 44, an adjustment mechanism 50 that fixes the MLN 36 and can adjust a phase matching angle of light applied to the MLN 36, and a timing generator 40 for generating synchronized pulse light.

【0020】以下、本装置の主要な構成要素について説
明する。第1の光学系は、TiSレーザ(チタンサファ
イアレーザ)30と該レーザの光を増幅しパルス出力す
る光アンプ32からなる。
Hereinafter, main components of the apparatus will be described. The first optical system includes a TiS laser (titanium sapphire laser) 30 and an optical amplifier 32 that amplifies the laser light and outputs a pulse.

【0021】TiSレーザ30は、一例として、パルス
幅2(ps)、繰り返し周波数82(Hz)、出力10
(nJ)、波長778(nm)なる特性を有する。光ア
ンプ32は、TiSレーザ30から出力される波長77
8(nm)のパルス光を、平均出力1(mJ/パルス)
まで増幅し、10(Hz)の繰り返しパルス(パルス幅
2(ps))として出力する。なお、光アンプ32は、
タイミンングジエネレータ40によって、10(Hz)
の繰り返しパルスを出力するように駆動制御される。
As an example, the TiS laser 30 has a pulse width of 2 (ps), a repetition frequency of 82 (Hz), and an output of 10
(NJ) and a wavelength of 778 (nm). The optical amplifier 32 has a wavelength 77 output from the TiS laser 30.
8 (nm) pulsed light, average output 1 (mJ / pulse)
And output as a 10 (Hz) repetitive pulse (pulse width 2 (ps)). In addition, the optical amplifier 32
10 (Hz) by the timing generator 40
Is controlled so as to output a repetition pulse of.

【0022】この光アンプ32は通常「再生増幅器」と
称されており、その構成は、例えば「レーザ科学研究,
NO.16(1994)」等の文献に掲載されており公
知のデバイスである。構成を概略説明すると次のように
なる。即ち、モードロックレーザとして機能するTiS
レーザ30から出力されるパルス光を、内蔵する増幅励
起用YAGレーザ(パルス幅10(ns)、繰り返し周
波数10(Hz)、出力30(mJ)、波長532(n
m))の繰り返し周波数10(Hz)で切り出し、切り
出したパルス光を複数のミラーやTiS(チタンサファ
イア)結晶等で構成される光共振器で増幅し、増幅光を
出力する構成となっている。なお、タイミンングジエネ
レータ40は、TiSレーザ30から出力されるパルス
光を切り出すために上記増幅励起用YAGレーザおよび
光共振器が備える発振駆動部を駆動している。
The optical amplifier 32 is usually called a "regeneration amplifier", and its configuration is described, for example, in "Laser Science Research,
NO. 16 (1994) "and other known devices. An outline of the configuration is as follows. That is, TiS functioning as a mode-locked laser
The pulse light output from the laser 30 is supplied to a built-in YAG laser for amplification and excitation (pulse width 10 (ns), repetition frequency 10 (Hz), output 30 (mJ), wavelength 532 (n
m)) is cut out at a repetition frequency of 10 (Hz), and the cut out pulse light is amplified by an optical resonator composed of a plurality of mirrors, TiS (titanium sapphire) crystal, or the like, and the amplified light is output. . In addition, the timing generator 40 drives the oscillation drive unit included in the YAG laser for amplification and excitation and the optical resonator in order to cut out the pulse light output from the TiS laser 30.

【0023】このようにして増幅された光アンプ32の
出力光は、ポンプ光となる。次に、第2の光学系は、Y
AGレーザ(ヤグレーザ)20と該レーザの光をポンプ
光として利用して、出力光の波長範囲が広く、最長波長
1.8(μm)程度の赤外光を出力するOPO(Optica
l Parametric Oscillator :オプティカル・パラメトリ
ック・オシレータ)22からなる。
The output light of the optical amplifier 32 amplified in this manner becomes pump light. Next, the second optical system has a Y
An OPO (Optica) that uses an AG laser (yag laser) 20 and the light of the laser as pump light, outputs infrared light having a wide wavelength range of output light and a longest wavelength of about 1.8 (μm).
l Parametric Oscillator: comprises an optical parametric oscillator 22.

【0024】YAGレーザ20は、内蔵するフラッシュ
ランプ(図示せず)で励起され内蔵するQスイッチ(図
示せず)でスイッチングされるレーザ光源であり、実際
には、レーザ光の第3高調波が出力される。この第3高
調波は、例えば、レーザ光の出力位置にBaB204等の非線
形光学素子を有した構成にすることによって得ることが
可能である。具体的には、非線形光学素子で第2高調波
を生成し、これに基本波であるレーザ光を重畳する構成
とすればよい。なお、このような構成は公知であるため
詳細に説明することは避ける。なお、タイミンングジエ
ネレータ40がフラッシュランプおよびQスイッチを駆
動することによりパルス光が出力され、このパルス繰り
返し周期は10(Hz)でありポンプ光の出力と同期し
たパルス光が出力される。
The YAG laser 20 is a laser light source that is excited by a built-in flash lamp (not shown) and is switched by a built-in Q switch (not shown). Is output. The third harmonic, for example, can be obtained by the structure having a non-linear optical element 2 0 4, etc. BaB the output position of the laser beam. Specifically, the second harmonic may be generated by a nonlinear optical element, and a laser beam as a fundamental wave may be superimposed on the second harmonic. It is to be noted that such a configuration is publicly known and will not be described in detail. When the timing generator 40 drives the flash lamp and the Q switch, the pulse light is output. The pulse repetition cycle is 10 (Hz), and the pulse light is output in synchronization with the output of the pump light.

【0025】なお、YAGレーザ20の一例としては、
パルス幅9〜12(ns)、出力1.5(J)、波長
1.06(μm)なる特性を有し、実際には、出力47
5(mJ)、波長335(nm)なる第3高調波に変換
された光が出力されるものが挙げられる。
As an example of the YAG laser 20,
The pulse width is 9 to 12 (ns), the output is 1.5 (J), and the wavelength is 1.06 (μm).
One that outputs light converted to a third harmonic having a wavelength of 5 (mJ) and a wavelength of 335 (nm) is exemplified.

【0026】OPO22は、内部に光パラメトリック効
果を奏するBBO(BaB2O4)等の非線形光学素子を有
し、YAGレーザ20の第3高調波をポンプ光として、
シグナル光(440〜690(nm))、アイドラ光
(735〜1800(nm))を得て、近赤外のみを選
択可能な光学デバイスによってアイドラ光(735〜1
800(nm))またはシグナル光を選択して出力する
構成になっている。
The OPO 22 has a non-linear optical element such as BBO (BaB 2 O 4 ) exhibiting an optical parametric effect inside, and uses the third harmonic of the YAG laser 20 as pump light.
The signal light (440 to 690 (nm)) and the idler light (735 to 1800 (nm)) are obtained, and the idler light (735 to 1800) is selected by an optical device capable of selecting only near infrared.
800 (nm)) or signal light.

【0027】OPO22の特性の一例としては、パルス
幅3〜7(ns)、パルス繰り返し周期は10(H
z)、出力5〜50(mJ)、発振バンド幅0.2(1
/cm)であって、選択可能な波長範囲は、0.73〜
1.8(μm)である。なお、OPOレーザ22内のB
BOが、操作ダイアル等によって回転可能に設けられ
て、BBOを回転操作することによってアイドラ光の波
長が0.73〜1.8(μm)の波長範囲内で変更可能
に構成されている。このようにOPO22の波長可変範
囲は、第1の光学系から出力されるポンプ光の波長より
長波長の領域を含むようにしておくことによって、ω1
>ω2 ( ω1 ポンプ光の角周波数、ω2 種光角周波数)
となり光パラメトリック増幅が行えるようになる。
As an example of the characteristics of the OPO 22, a pulse width of 3 to 7 (ns) and a pulse repetition period of 10 (H
z), output 5 to 50 (mJ), oscillation bandwidth 0.2 (1
/ Cm) and the selectable wavelength range is from 0.73 to
1.8 (μm). Note that B in the OPO laser 22
The BO is rotatably provided by an operation dial or the like, and the wavelength of the idler light can be changed within a wavelength range of 0.73 to 1.8 (μm) by rotating the BBO. As described above, by setting the wavelength variable range of the OPO 22 to include a longer wavelength region than the wavelength of the pump light output from the first optical system, ω1
> Ω2 (angular frequency of ω1 pump light, angular frequency of ω2 seed light)
Thus, optical parametric amplification can be performed.

【0028】なお、OPO22の出力が種光となり、O
PO22の出力パワーの約1(%)、即ち、0.05
(mJ)程度のパワーが種光のパワーとなる。次に、非
線形光学素子であるMLN36は、ニオブ酸リチウム(l
iNbO3 ) に酸化マグネシウム(MgO )を7(%)混ぜ合
わせた結晶を、「カット角、θ=48.5度:φ=0
度」でカットしたもので、実際には10(mm)×10(mm)×20
(mm)の直方体形状を有する非線形光学機能を有する素子
である。
Note that the output of the OPO 22 becomes seed light,
About 1 (%) of the output power of PO22, that is, 0.05
The power of about (mJ) is the power of the seed light. Next, the MLN 36, which is a nonlinear optical element, is made of lithium niobate (l
A crystal obtained by mixing 7% of magnesium oxide (MgO) with iNbO 3 ) is referred to as “cut angle, θ = 48.5 degrees: φ = 0.
It is cut at `` degree '', actually 10 (mm) × 10 (mm) × 20
(mm) An element having a nonlinear optical function having a rectangular parallelepiped shape.

【0029】また、ミラー24は、OPO22から出力
される種光を反射して、ダイクロイックミラー34に種
光を投光する光学デバイスであり、また、ダイクロイッ
クミラー34は、ポンプ光を透過しかつ種光を反射し、
種光の光路とポンプ光の光路とを合わせ、MLN36へ
と光を導く機能を有する光学デバイスである。さらに、
ダイクロイックミラー38は、不要な光であるポンプ光
をポンプ光を反射させない非反射器42に投光すると共
に、シグナル光とアイドラ光を透過させGe素子44に
導く機能を有する光学デバイスである。なお、非反射器
42は、例えば黒色フェルト布地等の材料で実現可能で
ある。さらに、Ge素子44は、アイドラ光のみを透過
させ赤外光を出力させるための素子である。
The mirror 24 is an optical device that reflects the seed light output from the OPO 22 and projects the seed light to the dichroic mirror 34. The dichroic mirror 34 transmits the pump light and Reflects light,
An optical device having a function of guiding the light to the MLN 36 by matching the optical path of the seed light with the optical path of the pump light. further,
The dichroic mirror 38 is an optical device having a function of projecting unnecessary pump light to the non-reflector 42 that does not reflect the pump light, and transmitting the signal light and the idler light and guiding the light to the Ge element 44. The non-reflector 42 can be realized by a material such as a black felt cloth. Further, the Ge element 44 is an element for transmitting only idler light and outputting infrared light.

【0030】タイミンングジエネレータ40は、上述し
たように2種類のパルス光を得るために光学デバイスに
トリガ信号を与える回路であり、例えば、各種の論理回
路素子、抵抗、コンデンサ等の電子素子によって実現で
きる。
The timing generator 40 is a circuit for giving a trigger signal to an optical device in order to obtain two types of pulsed light as described above. For example, the timing generator 40 is implemented by various logic circuit elements, electronic elements such as resistors and capacitors. it can.

【0031】また、調整機構50は、MLN36を固定
した回転ステージで実現され、該回転ステージを操作し
て、所望の位相整合角度で、MLN36に対してポンプ
光および種光が入射するように、MLN36の配置状態
を調整するためのコンポーネントである。ここで、位相
整合角度とは、非線形光学結晶において、ポンプ光と種
光の位相速度が一致する方向を結晶の光学軸から測った
角度である。
The adjusting mechanism 50 is realized by a rotating stage to which the MLN 36 is fixed, and operates the rotating stage so that the pump light and the seed light enter the MLN 36 at a desired phase matching angle. This is a component for adjusting the arrangement state of the MLN 36. Here, the phase matching angle is an angle measured from the optical axis of the nonlinear optical crystal in a direction in which the phase velocities of the pump light and the seed light coincide with each other.

【0032】なお、この位相整合角度は、赤外線発生装
置の起動時に予め設定しておく角度であるが、この設定
角度については本発明の原理と関係することから、これ
については後に原理説明を行う際に述べる。
Note that the phase matching angle is an angle that is set in advance when the infrared ray generating device is started. Since the set angle is related to the principle of the present invention, the principle will be described later. I will tell you when.

【0033】以下、本発明の原理を説明し、その後に具
体的動作について説明する。図2は、MLN36が呈す
る「アイドラ光(またはシグナル光)波長の位相整合角
度の依存特性」を示す図面である。横軸は、調整機構5
0を操作して調整するMLN36の位相整合角度、縦軸
は、MLN36の光パラメトリック増幅作用により発生
するアイドラ光(またはシグナル光)の波長を示す。
Hereinafter, the principle of the present invention will be described, and then specific operations will be described. FIG. 2 is a diagram illustrating the “dependence of the idler light (or signal light) wavelength on the phase matching angle” exhibited by the MLN 36. The horizontal axis is the adjustment mechanism 5
The phase matching angle of the MLN 36 which is adjusted by operating 0, and the vertical axis indicates the wavelength of idler light (or signal light) generated by the optical parametric amplification action of the MLN 36.

【0034】なお、図2には、3種類の特性が示されて
いるが、このような特性はポンプ光の光源であるTiS
レーザ30の出力波長(750〜850(nm)で可
変)によって定まる。
FIG. 2 shows three types of characteristics. Such characteristics are obtained by using TiS, which is a light source of pump light.
It is determined by the output wavelength of the laser 30 (variable between 750 and 850 (nm)).

【0035】したがって、図2では、ポンプ光(TiS
レーザ30の出力光)の波長が、750、822、84
0(nm)の3種類の場合の、アイドラ光(またはシグ
ナル光)波長の位相整合角度の依存特性について示して
いる。
Therefore, in FIG. 2, the pump light (TiS
The wavelength of the output light of the laser 30 is 750, 822, 84.
The graph shows the dependence of the idler light (or signal light) wavelength on the phase matching angle in the three types of 0 (nm).

【0036】図3は、原理説明のために、ポンプ光の波
長が840(nm)の場合のアイドラ光(またはシグナ
ル光)波長の位相整合角度の依存特性についてのみ示し
た図面である。
FIG. 3 is a diagram showing only the dependence characteristic of the phase matching angle of the idler light (or signal light) wavelength when the wavelength of the pump light is 840 (nm) for explanation of the principle.

【0037】図3において、横軸は、調整機構50を操
作して調整するMLN36の位相整合角度、縦軸は、M
LN36の光パラメトリック増幅作用により発生するア
イドラ光(またはシグナル光)の波長を示す。
In FIG. 3, the horizontal axis is the phase matching angle of the MLN 36 adjusted by operating the adjusting mechanism 50, and the vertical axis is M
It shows the wavelength of idler light (or signal light) generated by the optical parametric amplification action of LN36.

【0038】さて、この図面を参照して、調整機構50
で初期設定する位相整合角度について説明する。図中B
は、位相整合角度を約46.25度に設定した場合のア
イドラ光、シグナル光の発生状態を説明するための点線
である。点線Bと特性曲線との交点は4つ存在し、波長
の短いほうから順に点d、点c、点c’、点d’とす
る。
Now, referring to FIG.
The phase matching angle initially set will be described. B in the figure
Is a dotted line for explaining the generation state of idler light and signal light when the phase matching angle is set to about 46.25 degrees. There are four intersections between the dotted line B and the characteristic curve, and they are referred to as point d, point c, point c ', and point d' in order of shorter wavelength.

【0039】そして、点d、点d’は、1組のシグナル
光d、アイドラ光d’の発生点に対応し、また、点c、
点c’は、1組のシグナル光c、アイドラ光c’の発生
点に対応する。このように4つの交点ができるように位
相整合角度を設定した場合には、2組のアイドラ光とシ
グナル光の組が発生する。
The points d and d 'correspond to the point at which a pair of signal light d and idler light d' are generated.
The point c ′ corresponds to a point where a pair of signal light c and idler light c ′ is generated. When the phase matching angle is set such that four intersections are formed, two sets of idler light and signal light are generated.

【0040】ところで、この様な設定角度では、位相整
合角度の変化量に対するアイドラ光(またはシグナル
光)波長の変化量が大きく、即ち、位相整合角度変化の
分周波波長変化に対する微分係数が大きく、一旦設定し
た設定角度においては、広い範囲でアイドラ光(または
シグナル光)の波長を変更することはできない。広い範
囲でアイドラ光(またはシグナル光)の波長を変更する
ためには、随時適切な位相整合角度を定めて、該位相整
合角度を設定角度となるように調整機構50を操作する
作業を要してしまう。
At such a set angle, the change amount of the idler light (or signal light) wavelength with respect to the change amount of the phase matching angle is large, that is, the differential coefficient of the change of the phase matching angle with respect to the change of the divided frequency wavelength is large. At the set angle once set, the wavelength of the idler light (or signal light) cannot be changed in a wide range. In order to change the wavelength of the idler light (or signal light) in a wide range, it is necessary to determine an appropriate phase matching angle as needed and operate the adjusting mechanism 50 so that the phase matching angle becomes a set angle. Would.

【0041】このことは、図3の領域αを見て分かるよ
うに、わずか約0.5(μm)幅のアイドラ光の波長変
化に対して約0・75度も位相整合角度が変化してしま
うため、一度設定した設定角度において、広い範囲でア
イドラ光(またはシグナル光)の波長を変化させること
は困難である。
This means that the phase matching angle changes by about 0.75 degrees with respect to the change in the wavelength of the idler light having a width of about 0.5 (μm), as can be seen from the area α in FIG. Therefore, it is difficult to change the wavelength of the idler light (or the signal light) in a wide range at the set angle once set.

【0042】次に、図中Aは、位相整合角度を約45.
75度に設定した場合のアイドラ光、シグナル光の発生
状態を説明するための点線である。点線Aと特性曲線と
の交点は2つ存在し、波長の短いほうの点bがシグナル
光、他の交点aがアイドラ光の発生点に対応する。この
ように2つの交点ができるように位相整合角度を設定し
た場合には、1組のアイドラ光およびシグナル光が発生
する。
Next, A in the figure indicates that the phase matching angle is about 45.
It is a dotted line for explaining the generation state of idler light and signal light when set to 75 degrees. There are two intersections between the dotted line A and the characteristic curve, and the point b having the shorter wavelength corresponds to the signal light, and the other intersection a corresponds to the point where the idler light is generated. When the phase matching angle is set such that two intersections are formed, a pair of idler light and signal light are generated.

【0043】ところで、この様な設定角度では、アイド
ラ光(またはシグナル光)波長の変化量に対する位相整
合角度の変化量が小さく、即ち、位相整合角度変化のア
イドラ光(またはシグナル光)波長変化に対する微分係
数が「0」となる。このような点をリトレーシイングポ
イントと称する。さらに、リトレーシイングポイントに
対する位相整合角度をリトレーシイング位相整合角度と
称する。
With such a set angle, the change amount of the phase matching angle with respect to the change amount of the idler light (or signal light) wavelength is small, that is, the change of the phase matching angle with respect to the change of the idler light (or signal light) wavelength. The differential coefficient becomes “0”. Such a point is called a retracing point. Further, the phase matching angle with respect to the retracing point is called a retraced phase matching angle.

【0044】このリトレーシイングポイントに対応する
設定角度においては、比較的広い範囲でアイドラ光(ま
たはシグナル光)の波長を変更することができる。な
お、リトレーシイングポイントについては、次のことを
留意されたい。
At the set angle corresponding to the retracing point, the wavelength of the idler light (or signal light) can be changed in a relatively wide range. Note the following about the retracing points.

【0045】リトレーシイングポイントは、図3に示す
ように数学的にはポイント(点)を示すが、光学的特性
としては、ある幅を有したエリアとして作用する。即
ち、リトレーシイングポイントにおいて、種光(シグナ
ル光)の波長を変化させることにより、所定範囲でアイ
ドラ光の波長が変化しうる。このことは、特性曲線が有
する許容範囲(アクセプタンスレンジ)として知られて
いる。
The retracing point mathematically indicates a point (point) as shown in FIG. 3, but acts as an area having a certain width as an optical characteristic. That is, by changing the wavelength of the seed light (signal light) at the retracing point, the wavelength of the idler light can change within a predetermined range. This is known as an allowable range (acceptance range) of the characteristic curve.

【0046】もちろん、リトレーシイング位相整合角度
は、図3に示すリトレーシイングポイントを数学的な点
として扱って求めればよい。具体例として、図3の領域
βを見て分かるように、約0.7(μm)もの波長幅で
アイドラ光の波長を変化させても、位相整合角度が約0
・25度しか変化しないため、一度設定した設定角度に
おいて、広い範囲でアイドラ光(またはシグナル光)の
波長を変化させることができる。このことは、位相整合
角度変化のアイドラ光(またはシグナル光)波長変化に
対する微分係数が「0」となる点が存在する位相整合角
度を設定角度として設定しておき、MLNの光パラメト
リック増幅特性において、位相整合角度があまり変化し
なくても波長を変更できる領域を使用するからである。
Of course, the retracing phase matching angle may be obtained by treating the retracing point shown in FIG. 3 as a mathematical point. As a specific example, as can be seen from the region β in FIG. 3, even if the wavelength of the idler light is changed with a wavelength width of about 0.7 (μm), the phase matching angle is about 0 (μm).
The wavelength of the idler light (or the signal light) can be changed in a wide range at the set angle once set because it changes only 25 degrees. This means that the phase matching angle at which there is a point where the differential coefficient of the phase matching angle change with respect to the idler light (or signal light) wavelength change is “0” is set as the set angle, and the optical parametric amplification characteristics of the MLN are set. This is because a region in which the wavelength can be changed even when the phase matching angle does not change much is used.

【0047】なお、点e(位相整合角度が約46・75
度)においても、位相整合角度変化のアイドラ光(また
はシグナル光)波長変化に対する微分係数が「0」とな
るが、アイドラ光とシグナル光の波長が一致してしま
い、短い波長の種光で長い波長の赤外線を得ることが難
しいため一般には実用に供さない。なお、このような点
eをディジエネレーティングポイントと称する。
The point e (when the phase matching angle is about 46.75)
), The differential coefficient of the phase matching angle change with respect to the idler light (or signal light) wavelength change is “0”, but the wavelengths of the idler light and the signal light coincide with each other. Since it is difficult to obtain infrared light of a wavelength, it is not generally used practically. Note that such a point e is called a digitizing point.

【0048】現在比較的入手しやすい種光光源の最長波
長は、2.0(μm)程度であり、振動分光等の光学実
験では、3.0〜4.0(μm)程度の赤外線発生装置
の開発が望まれていることを考慮すると、上述した特性
を有する、MLN36、種光発生のための第2の光学系
110、ポンプ光発生のための第1の光学系100等を
用いて、MLN36の光パラメトリック増幅によってア
イドラ光を赤外線(3.0(μm)程度)として発生さ
せる、本実施形態で述べてきたような装置構成にするの
が好ましい。
The longest wavelength of a seed light source which is relatively easily available at present is about 2.0 (μm), and in an optical experiment such as vibrational spectroscopy, an infrared ray generating apparatus of about 3.0 to 4.0 (μm) is used. Considering that the development of the MLN 36 is desired, using the MLN 36, the second optical system 110 for generating seed light, the first optical system 100 for generating pump light, and the like having the above-described characteristics, It is preferable to adopt an apparatus configuration as described in the present embodiment in which idler light is generated as infrared rays (about 3.0 (μm)) by optical parametric amplification of the MLN 36.

【0049】このように、本発明においてはリトレーシ
ングポイントに対応する位相整合角度が、MLN36に
対するポンプ光の入射角度となるように調整機構50を
操作しておく点に特徴がある。
As described above, the present invention is characterized in that the adjusting mechanism 50 is operated so that the phase matching angle corresponding to the retracing point becomes the incident angle of the pump light to the MLN 36.

【0050】なお、図4は、ポンプ光の波長と、赤外光
波長(アイドラ光の波長)およびリトレーシイング位相
整合角度との関係の一例を示した説明図である。使用し
たMLNの特性は上述したように、ニオブ酸リチウム(l
iNbO3 ) に酸化マグネシウム(MgO )を7(%)混ぜ合
わせた結晶を、カット角48.5度でカットしたもので
ある。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of the relationship between the wavelength of pump light, the wavelength of infrared light (the wavelength of idler light), and the retracing phase matching angle. The characteristics of the MLN used were, as described above, lithium niobate (l
A crystal obtained by mixing 7% of magnesium oxide (MgO) with iNbO 3 ) was cut at a cut angle of 48.5 degrees.

【0051】図4の横軸にはポンプ光の波長をとり、縦
軸のうち図面左側の縦軸は赤外光波長を示し、縦軸のう
ち図面右側の縦軸はリトレーシイング位相整合角度を示
している。図4中Aが、赤外光波長とポンプ光波長との
関係を示している。また、図4中Bが、リトレーシイン
グ位相整合角度とポンプ光波長との関係を示している。
赤外光波長、リトレーシイング位相整合角度共に、赤外
光波長が長くなるにしたがって減少していく様子が示さ
れている。
4, the horizontal axis represents the wavelength of the pump light, the vertical axis on the left side of the drawing represents the infrared light wavelength, and the vertical axis on the right side of the drawing represents the retracing phase matching angle. Is shown. A in FIG. 4 indicates the relationship between the infrared light wavelength and the pump light wavelength. B in FIG. 4 shows the relationship between the retracing phase matching angle and the pump light wavelength.
It is shown that both the infrared light wavelength and the retracing phase matching angle decrease as the infrared light wavelength becomes longer.

【0052】さて、以下、ポンプ光がMLNに対してリ
トレーシイング位相整合角度で入射されるように調整さ
れたものとして、赤外線発生の動作を説明する。まず、
TiSレーザ30から出力されたパルス光は光アンプ3
2で増幅され、繰り返し周波数が10(HZ)のパルス
光として放出され、これがポンプ光(角周波数ω1)とな
る。なお、タイミングジェネレータ40が繰り返し周波
数が10(HZ)となるように光アンプの動作を制御し
ている。
The operation of generating infrared light will now be described assuming that the pump light has been adjusted so as to be incident on the MLN at a retracing phase matching angle. First,
The pulse light output from the TiS laser 30 is
2 and is emitted as pulse light having a repetition frequency of 10 (HZ), which becomes pump light (angular frequency ω1). Note that the timing generator 40 controls the operation of the optical amplifier so that the repetition frequency becomes 10 (HZ).

【0053】一方、タイミングジェネレータ40の動作
によってパルス発振するYAGレーザ20から出力され
るパルス光は、OPO22内の光パラメトリック増幅に
よって近赤外のパルス光に変換されて出力される。
On the other hand, the pulse light output from the YAG laser 20 pulsating by the operation of the timing generator 40 is converted into near-infrared pulse light by optical parametric amplification in the OPO 22 and output.

【0054】なお、OPO22から出力される近赤外光
は種光として作用し、さらにその波長(角周波数ω2)
は、上述したOPO22が備える操作ダイアルの操作に
よって、所定波長範囲内で変更可能である。
The near-infrared light output from the OPO 22 acts as seed light, and its wavelength (angular frequency ω2)
Can be changed within a predetermined wavelength range by operating the operation dial provided in the OPO 22 described above.

【0055】次に、第2の光学系110によって生成さ
れた種光(角周波数ω2)は、ミラー24によって反射さ
れ、ダイクロイックミラー34に入射する。一方、第1
の光学系100によって生成されたポンプ光も、ダイク
ロイックミラー34に入射する。
Next, the seed light (angular frequency ω 2) generated by the second optical system 110 is reflected by the mirror 24 and enters the dichroic mirror 34. Meanwhile, the first
The pump light generated by the optical system 100 also enters the dichroic mirror 34.

【0056】ダイクロイックミラー34は、両光学系の
光路合わせを行う光路合わせ光学系として機能する。そ
して、種光およびポンプ光はMLN36に対して、予め
設定されている位相整合角度で入射する。このとき、非
線形素子であるMLN36の光パラメトリック増幅によ
って、アイドラ光、シグナル光が増幅され出力される。
The dichroic mirror 34 functions as an optical path aligning optical system for aligning the optical paths of both optical systems. Then, the seed light and the pump light enter the MLN 36 at a preset phase matching angle. At this time, idler light and signal light are amplified and output by the optical parametric amplification of the MLN 36, which is a nonlinear element.

【0057】このとき、光パラメトリック増幅の原理に
よって、シグナル光、アイドラ光の角周波数を夫々、ω
2 、ω3 とすると、「ω2 >ω3 、ω1 =ω2 + ω3
(但し、ω1 はポンプ光の角周波数)」なる関係が成立
する。
At this time, according to the principle of the optical parametric amplification, the angular frequencies of the signal light and the idler light are respectively set to ω
2, ω3, “ω2> ω3, ω1 = ω2 + ω3
(However, ω1 is the angular frequency of the pump light) ”.

【0058】次に、ダイクロイックミラー38は、ML
N36内を透過したポンプ光を反射すると共に、シグナ
ル光、アイドラ光を透過させる。ダイクロイックミラー
38によって反射されたポンプ光は不要な光であるた
め、これを消滅させるべくポンプ光を非反射器42に投
光される。これによってポンプ光は消滅する。
Next, the dichroic mirror 38 is
It reflects the pump light transmitted through the inside of N36, and transmits the signal light and the idler light. Since the pump light reflected by the dichroic mirror 38 is unnecessary light, the pump light is projected to the non-reflector 42 to eliminate the unnecessary light. As a result, the pump light disappears.

【0059】一方、Ge素子44は、シグナル光および
アイドラ光のうち、アイドラ光のみを透過させ、透過さ
せたアイドラ光を赤外線として出力する。なお、OPO
22の操作ダイアルを操作して種光の各周波数ω2 を変
更することによって、出力される赤外線の波長は所定範
囲内で変更されることになる。
On the other hand, the Ge element 44 transmits only the idler light out of the signal light and the idler light, and outputs the transmitted idler light as infrared light. OPO
By changing the frequency .omega.2 of the seed light by operating the operation dial 22, the wavelength of the outputted infrared light is changed within a predetermined range.

【0060】また、本装置においては、一度、調整機構
50を用いた調整を行った後は、TiSレーザ30等の
光学デバイスの変更がない限り、調整機構50を用いた
調整作業を行う必要がない。
Further, in the present apparatus, once the adjustment using the adjustment mechanism 50 is performed, it is necessary to perform the adjustment operation using the adjustment mechanism 50 unless the optical device such as the TiS laser 30 is changed. Absent.

【0061】図5に、上述した特性を有する光学デバイ
スで構成された赤外線出力装置の出力特性例を示す。T
iSレーザ30の波長は778(nm)であり、これに
対するリトレーシング位相整合角度は、46.06度で
ある。
FIG. 5 shows an output characteristic example of an infrared output device constituted by an optical device having the above-mentioned characteristics. T
The wavelength of the iS laser 30 is 778 (nm), and the retracing phase matching angle for this is 46.06 degrees.

【0062】図5の横軸は、種光(シグナル光)の波
長、アイドラ光として発生する赤外光の波長を示し、縦
軸は、赤外光の強度(単位は任意)を示している。図5
a,b,c,dの順に、MLNに入射するポンプ光の位
相整合角度がリトレーシング位相整合角度に近づくよう
にして測定した結果である。なお、赤外線の強度は、赤
外線領域の光に感度を持つレーザーパワーメータ(パイ
ロエレクトリック光検出器)等の赤外線検出器にて測定
した。
The horizontal axis in FIG. 5 shows the wavelength of seed light (signal light) and the wavelength of infrared light generated as idler light, and the vertical axis shows the intensity of infrared light (arbitrary unit). . FIG.
The measurement results are obtained in such a manner that the phase matching angle of the pump light incident on the MLN approaches the retracing phase matching angle in the order of a, b, c, and d. The infrared intensity was measured with an infrared detector such as a laser power meter (pyroelectric photodetector) having sensitivity to light in the infrared region.

【0063】図5aにおいて、2つのピークが生じるの
は、図3Bにて示したように2種類のアイドラ光が発生
することに起因している。図3の特性曲線を参照しても
分かるように、MLNに入射するポンプ光の位相整合角
度がリトレーシング位相整合角度に近づくにしたがっ
て、アイドラ光の発生によって生じる2つのピーク位置
が接近する。そして、図5cに示す状態を経て、図5d
においては、アイドラ光が1つになるため単峰性の強度
分布になる。
In FIG. 5A, two peaks are generated because two types of idler light are generated as shown in FIG. 3B. As can be seen from the characteristic curve in FIG. 3, as the phase matching angle of the pump light incident on the MLN approaches the retracing phase matching angle, the two peak positions generated by the generation of the idler light approach. Then, through the state shown in FIG.
Has a single peak intensity distribution because the idler light becomes one.

【0064】図5dを見て分かるように、MLNに入射
するポンプ光の位相整合角度がリトレーシング位相整合
角度になった場合には、3.4〜3.8(μm)の赤外
領域で、高出力の赤外線が得られる。
As can be seen from FIG. 5D, when the phase matching angle of the pump light incident on the MLN becomes the retracing phase matching angle, the pump light is in the infrared region of 3.4 to 3.8 (μm). , And high output infrared rays can be obtained.

【0065】なお、図5cは、アイドラ光の発生によっ
て生じるピークの数が2個から1個に変化する過程にお
ける出力例であり、このようにリトレーシング位相整合
角度より若干小さめ(図5では、0.02度)となるよ
うに、位相整合角度を設定すると、広い波長範囲に渡っ
てフラットな特性を有する赤外線出力特性が得られる。
図5cでは、約3.35〜3.85(μm)の波長範囲
でフラットな出力特性を有する赤外線を得ることができ
た。
FIG. 5C is an example of the output in the process in which the number of peaks generated by the generation of the idler light changes from two to one, and thus is slightly smaller than the retracing phase matching angle (in FIG. 5, When the phase matching angle is set so as to be 0.02 degrees, infrared output characteristics having flat characteristics over a wide wavelength range can be obtained.
In FIG. 5c, infrared light having a flat output characteristic in a wavelength range of about 3.35 to 3.85 (μm) was obtained.

【0066】このように、TiSレーザ30から出力さ
れる光をポンプ光、YAGレーザ20から出力される光
を種光とし、MLNの光パラメトリック増幅を利用しア
イドラ光を赤外光として出力する構成により、約3(μ
m)程度の所定範囲で波長を可変できる赤外線発生装置
を実現することが可能になる。
As described above, the light output from the TiS laser 30 is used as pump light, the light output from the YAG laser 20 is used as seed light, and idler light is output as infrared light using MLN optical parametric amplification. Approximately 3 (μ
m) It is possible to realize an infrared ray generator that can change the wavelength within a predetermined range of about m).

【0067】なお、上述してきた実施形態によればパル
ス光を得るための装置構成について述べてきたが、図1
に示す装置構成を多少変更することによって、CWの赤
外線を発生するCW赤外線発生装置を実現することも可
能である。
Although the apparatus configuration for obtaining pulse light has been described according to the above-described embodiment, FIG.
By slightly changing the device configuration shown in (1), it is possible to realize a CW infrared ray generating device that generates CW infrared rays.

【0068】この場合、第1の光学系、第2の光学系の
夫々を、CW発振可能な第1の光源、第2の光源で置き
換え、不要なタイミングジェネレータ40を取り除いた
装置構成とする。
In this case, each of the first optical system and the second optical system is replaced with a first light source and a second light source capable of CW oscillation, and an unnecessary timing generator 40 is removed.

【0069】具体的には、例えば、第1の光源をCW発
振するTiSレーザを用いて構成し、また、第2の光源
をCW発振するYAGレーザのレーザ光をポンプ光とす
る波長可変のOPO22を用いて構成する。なお、OP
O22の波長可変範囲は第1の光源から出力されるポン
プ光の波長より長波長の領域を含むようにしておくこと
によって、光パラメトリック増幅が行えるようになる。
また、OPO22を用いずに、第2の光源を波長可変の
1つのレーザ装置で構成してもよい。
More specifically, for example, the first light source is configured using a TiS laser that oscillates CW, and the second light source is a tunable OPO 22 that uses laser light of a YAG laser that oscillates CW as pump light. It is configured using. Note that OP
By setting the wavelength variable range of O22 to include a longer wavelength region than the wavelength of the pump light output from the first light source, optical parametric amplification can be performed.
Further, the second light source may be constituted by one wavelength-variable laser device without using the OPO 22.

【0070】そして、ミラー24およびダイクロイック
ミラー34の配置調整を行って両光源から出力される光
の重畳を行い、重畳した光をMLN36に照射可能に装
置を構成し、調整機構50、ダイクロイックミラー38
およびGe素子44は、パルス型の装置構成と同一の構
成にすれば良い。また、光パラメトリック増幅の効率を
向上させるためには、ポンプ光波長に対してMLN36
を共振器内に含むような共振器を構成するのもよい。
Then, the arrangement of the mirror 24 and the dichroic mirror 34 is adjusted to superimpose the lights output from the two light sources, and the apparatus is configured to be able to irradiate the MLN 36 with the superimposed light. The adjusting mechanism 50 and the dichroic mirror 38
The Ge element 44 may have the same configuration as that of the pulse type device. Further, in order to improve the efficiency of optical parametric amplification, the MLN 36
May be included in the resonator.

【0071】なお、調整機構50により設定するリトレ
ーシング位相整合角度はパルス型の装置と変わるところ
がない。このような装置構成によってCW赤外線発生装
置を実現することも可能である。
The retracing phase matching angle set by the adjusting mechanism 50 is the same as that of the pulse type device. With such a device configuration, it is also possible to realize a CW infrared ray generating device.

【0072】また、上述した実施形態では使用する非線
形光学素子としてMLNを採用した場合について述べて
きたが他の非線形光学素子例えば、LiB3O5,KTP,LiO3, A
sGaS 2,AsGaSe2 等を用いてもよい。
In the above-described embodiment, the non-linear
The case where MLN is adopted as the optical element
But other nonlinear optical elements such as LiBThreeOFive, KTP, LiOThree, A
sGaS 2,AsGaSeTwoEtc. may be used.

【0073】また、出力される赤外線のパルス幅は、ポ
ンプ光のパルス幅とほぼ等しいことから、ポンプ光のパ
ルス幅をピコ秒やフェムト秒としてピコ秒やフェムト秒
のパルス幅を有する赤外線を得るような構成にし、ま
た、第2の光源として、本実施形態で述べたナノ秒のパ
ルス光源またはCW発振可能な光源(半導体レーザ等)
を用いて、各種の光学実験に用いる装置を実現すること
もできる。さらに、本装置自体を他の狭帯域レーザの種
光光源として用いることも考えられる。 (実験例)上述してきた特性を有する光学デバイスから
なる装置を用いて光学実験を行った。
Since the pulse width of the outputted infrared light is substantially equal to the pulse width of the pump light, the infrared light having the picosecond or femtosecond pulse width is obtained by setting the pulse width of the pump light to picosecond or femtosecond. With such a configuration, as the second light source, a nanosecond pulse light source or a light source capable of CW oscillation (such as a semiconductor laser) described in the present embodiment is used.
Can be used to realize devices used for various optical experiments. Further, the present apparatus itself may be used as a seed light source of another narrow band laser. (Experimental example) An optical experiment was performed using an apparatus including an optical device having the above-described characteristics.

【0074】具体的には、光が照射されることによって
LB膜によって発生する和周波信号であるSF信号を測
定する実験を本装置を用いて行った。この実験を行うた
め、上記実施形態で述べてきた特性を有する光学デバイ
スを有して構成される赤外線発生装置から出力される赤
外線と、図1には図示しないビームスプリッタ等の光学
系によって取り出したTiSレーザ30のレーザ光とを
LB膜に照射した。なお、SF信号の強度はフォトマル
チプライヤーで検出した。
More specifically, an experiment for measuring an SF signal, which is a sum frequency signal generated by the LB film when irradiated with light, was performed using this apparatus. In order to carry out this experiment, infrared light output from an infrared light generating device having an optical device having the characteristics described in the above embodiment and infrared light extracted by an optical system such as a beam splitter not shown in FIG. The LB film was irradiated with the laser light of the TiS laser 30. Note that the intensity of the SF signal was detected by a photomultiplier.

【0075】なお、レーザ光同士を特定の材料に照射す
ることにより両光の和の周波数の光が発生する現象であ
る和周波発生は、一般に知られている。測定対象となる
LB膜は、スライドグラス上に約10(nm)の厚さを
持つアラキン酸((CH3(CH2)18COO)2Cd)を成長させたもの
である。
It is to be noted that sum frequency generation, which is a phenomenon in which a laser beam is irradiated on a specific material to generate light having the sum frequency of both lights, is generally known. The LB film to be measured is obtained by growing arachiic acid ((CH 3 (CH 2 ) 18 COO) 2 Cd) having a thickness of about 10 (nm) on a slide glass.

【0076】なお、赤外線のLB膜に対する入射角度は
40度、TiSレーザ光のLB膜に対する入射角度は4
5度として実験を行った。なお、両レーザ光のLB膜へ
の照射は、いわゆる平行型で行った。
The incident angle of the infrared ray to the LB film is 40 degrees, and the incident angle of the TiS laser beam to the LB film is 4 degrees.
The experiment was performed at 5 degrees. The irradiation of both laser beams to the LB film was performed in a so-called parallel type.

【0077】図6に、実験結果を示す。図6の横軸は赤
外線の波長を波数表現した値、縦軸は適当な大きさの強
度信号を「1」としたときのSF信号の強さを示した値
であり、測定点を黒丸でプロットとした。
FIG. 6 shows the experimental results. The horizontal axis in FIG. 6 is a value expressing the wavelength of infrared rays as a wave number, and the vertical axis is a value indicating the strength of the SF signal when an appropriate magnitude of the intensity signal is “1”. Plotted.

【0078】OPO22の操作ダイアルを操作して赤外
線の波数(波長の逆数に対応する)を変化させていき、
SF信号の強さを測定した結果、約2950(1/c
m)においてSF信号がピーク値を有する特性を得た。
このピークは、「CH3 」分子の振動によるものと推測さ
れる。
By operating the operation dial of the OPO 22 to change the wave number of infrared rays (corresponding to the reciprocal of the wavelength),
As a result of measuring the strength of the SF signal, about 2950 (1 / c
In m), the characteristic that the SF signal has a peak value was obtained.
This peak is presumed to be due to vibration of the “CH 3 ” molecule.

【0079】このように、本装置によれば、3〜4(μ
m)程度の赤外線を用いて各種の光学実験を行うことが
可能になる。以上のように、本発明によれば、光パラメ
トリック効果を用いて赤外光を発生させる際に、非線形
光学素子やグレーティング等の位置調整が必要な光学デ
バイスの数を低減して、調整工数を低減可能とする。
As described above, according to the present apparatus, 3 to 4 (μ
m) Various optical experiments can be performed using infrared rays. As described above, according to the present invention, when infrared light is generated using the optical parametric effect, the number of optical devices requiring position adjustment such as a nonlinear optical element and a grating is reduced, and adjustment man-hours are reduced. It can be reduced.

【0080】また、広い赤外波長範囲、特に、3・35
〜3.85(μm)で高出力の赤外光を、結晶を回転さ
せることなく、発生させる装置を実現できることにな
る。
Further, a wide infrared wavelength range, particularly, 3.35
This makes it possible to realize a device that generates high-output infrared light of up to 3.85 (μm) without rotating the crystal.

【0081】[0081]

【発明の効果】以上説明してきたように、請求項1また
は2記載の発明によれば、非線形光学素子やグレーティ
ング等の位置調整が必要な光学デバイスの数を低減し、
調整工数を低減できる赤外光発生装置を実現可能とな
る。
As described above, according to the first or second aspect of the present invention, it is possible to reduce the number of optical devices that need to be adjusted in position, such as a nonlinear optical element and a grating.
An infrared light generator that can reduce the number of adjustment steps can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる装置の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an apparatus according to the present invention.

【図2】位相整合角度とアイドラ光(またはシグナル
光)波長の関係を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a relationship between a phase matching angle and an idler light (or signal light) wavelength.

【図3】調整機構にて設定すべき位相整合角度を示す説
明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a phase matching angle to be set by an adjustment mechanism.

【図4】ポンプ光波長と、赤外光波長およびリトレーシ
ング位相整合角度の関係を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a relationship between a pump light wavelength, an infrared light wavelength, and a retracing phase matching angle.

【図5】本装置による赤外線出力特性の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of an infrared output characteristic of the present device.

【図6】本装置を用いた光学実験結果の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of an optical experiment result using the present apparatus.

【図7】従来装置の構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram of a conventional device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レンズ 2 集光レンズ 3 集光レンズ 4 グレーティング 5 ミラー 6 ビームスプリッタ 7 遅延プリズム 8 ミラー 9 ダイクロイックミラー 10 スリット 11 MLN2 12 ポンプ用レーザ 15 OPA部 17 ポンプ光生成部 19 種光生成部 20 YAGレーザ 22 OPO 24 ミラー 30 TiSレーザ 32 光アンプ 36 MLN 38 ダイクロイックミラー 40 タイミングジェネレータ 42 非反射器 44 Ge素子 50 調整機構 REFERENCE SIGNS LIST 1 lens 2 condenser lens 3 condenser lens 4 grating 5 mirror 6 beam splitter 7 delay prism 8 mirror 9 dichroic mirror 10 slit 11 MLN 2 12 pump laser 15 OPA section 17 pump light generation section 19 seed light generation section 20 YAG laser 22 OPO 24 Mirror 30 TiS laser 32 Optical amplifier 36 MLN 38 Dichroic mirror 40 Timing generator 42 Non-reflector 44 Ge element 50 Adjustment mechanism

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光パラメトリック増幅を用いて赤外光を
発生する装置であって、 光を所定の周期でパルス出力する第1の光学系と、前記
光より長波長の光を所定波長範囲内で選択可能で、選択
した波長の光を前記パルスと同期してパルス出力する第
2の光学系と、両光学系の光路合わせを行う光路合わせ
光学系と、該光路合わせ光学系から出力される光を受光
し、前記第1の光学系の出力光をポンプ光、かつ、前記
第2の光学系の出力光を種光として光パラメトリック増
幅を行い、アイドラ光として赤外光を出力する機能を有
する非線形光学素子と、前記第1の光学系の光の波長で
定まる前記非線形光学素子が呈する、アイドラ光(また
はシグナル光)波長の位相整合角度の依存特性におい
て、位相整合角度変化のアイドラ光(またはシグナル
光)波長変化に対する微分係数が零となる点が2点発生
する位相整合角度で、前記非線形光学素子に対して前記
ポンプ光が入射するように、前記非線形光学素子の配置
状態を調整するための調整機構とを備える赤外光発生装
置。
1. An apparatus for generating infrared light using optical parametric amplification, comprising: a first optical system for outputting light with a predetermined period of pulses; and a light longer than the light within a predetermined wavelength range. A second optical system that outputs a pulse of light of the selected wavelength in synchronization with the pulse, an optical path alignment optical system that aligns the optical paths of both optical systems, and an output from the optical path alignment optical system. A function of receiving light, performing output parametric amplification using output light of the first optical system as pump light, and output light of the second optical system as seed light, and outputting infrared light as idler light. In the dependence characteristic of the phase matching angle of the idler light (or signal light) wavelength exhibited by the nonlinear optical element and the nonlinear optical element determined by the wavelength of the light of the first optical system, the idler light having the phase matching angle change ( Or signa Light) for adjusting the arrangement state of the nonlinear optical element so that the pump light is incident on the nonlinear optical element at a phase matching angle at which two points at which the differential coefficient with respect to the wavelength change becomes zero occur. An infrared light generator including an adjustment mechanism.
【請求項2】 光パラメトリック増幅を用いて赤外光を
発生する装置であって、 光を出力する第1の光源と、該第1の光源から出力され
る光より長波長の光を所定波長範囲内で選択可能で、選
択した波長の光を出力する第2の光源と、両光源の光路
合わせを行う光路合わせ光学系と、該光路合わせ光学系
から出力される光を受光し、前記第1の光源の出力光を
ポンプ光、かつ、前記第2の光源の出力光を種光として
光パラメトリック増幅を行い、アイドラ光として赤外光
を出力する機能を有する非線形光学素子と、前記第1の
光源の波長で定まる前記非線形光学素子が呈する、アイ
ドラ光(またはシグナル光)波長の位相整合角度の依存
特性において、位相整合角度変化のアイドラ光(または
シグナル光)波長変化に対する微分係数が零となる点が
2点発生する位相整合角度で、前記非線形光学素子に対
して前記ポンプ光が入射するように、前記非線形光学素
子の配置状態を調整するための調整機構とを備える赤外
光発生装置。
2. An apparatus for generating infrared light using optical parametric amplification, comprising: a first light source for outputting light; and a light having a longer wavelength than the light output from the first light source. A second light source that is selectable within a range and outputs light of the selected wavelength, an optical path alignment optical system that performs optical path alignment of both light sources, and receives light output from the optical path alignment optical system, A nonlinear optical element having a function of performing optical parametric amplification using output light of the first light source as pump light and output light of the second light source as seed light, and outputting infrared light as idler light; In the dependence characteristic of the phase matching angle of the idler light (or signal light) wavelength exhibited by the nonlinear optical element determined by the wavelength of the light source, the differential coefficient of the phase matching angle change with respect to the idler light (or signal light) wavelength change is zero. What In the phase matching angle point occurs two points, as the pump light to the nonlinear optical element is incident, infrared light generating device and an adjustment mechanism for adjusting the arrangement of the non-linear optical element.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000193889A (en) * 1998-12-28 2000-07-14 Univ Osaka Multi-photon microscope
JP2009534646A (en) * 2006-04-18 2009-09-24 イーエスエル ディフェンス リミテッド Equipment used with infrared sensors in inspection and evaluation of multiple infrared sensors to detect missiles and in operator training

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