JPH09243902A - Optical device having adjusting mechanism for long-sized mirror and method for adjusting long-sized mirror for this device - Google Patents
Optical device having adjusting mechanism for long-sized mirror and method for adjusting long-sized mirror for this deviceInfo
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- JPH09243902A JPH09243902A JP5635096A JP5635096A JPH09243902A JP H09243902 A JPH09243902 A JP H09243902A JP 5635096 A JP5635096 A JP 5635096A JP 5635096 A JP5635096 A JP 5635096A JP H09243902 A JPH09243902 A JP H09243902A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、長尺ミラーによ
り光を折り返して露光面に導き、露光面上に線状の像を
形成する光学装置における長尺ミラーを調整する技術に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for adjusting a long mirror in an optical device for forming a linear image on the exposure surface by returning light to the exposure surface by a long mirror.
【0002】[0002]
【従来の技術】図4は、この発明の背景技術を示す斜視
図であり、光学装置の一例である光ビーム走査装置を示
す図である。この光ビーム走査装置(光学装置)は、光
学部10からの光ビームをポリゴンミラー20によって
反射偏向し、当該偏向光ビームにより走査レンズ30、
長尺ミラー40およびシリンドリカルレンズ50を介し
て露光面(被走査面)Sを主走査方向Yに走査するよう
に構成されており、露光面S上で主走査方向Yの線状の
像(線像)を形成する。2. Description of the Related Art FIG. 4 is a perspective view showing a background art of the present invention, and is a view showing a light beam scanning device which is an example of an optical device. This light beam scanning device (optical device) reflects and deflects the light beam from the optical unit 10 by the polygon mirror 20, and the scanning lens 30,
The exposure surface (scanned surface) S is configured to scan in the main scanning direction Y via the elongated mirror 40 and the cylindrical lens 50, and a linear image (line) in the main scanning direction Y is formed on the exposure surface S. Image).
【0003】ところで、上記光ビーム走査装置のように
長尺ミラー40を用いて光ビームを折り返す場合、露光
面S上の線像が主走査方向Yと平行となるように長尺ミ
ラー40の調整を行う必要がある。というのも、長尺ミ
ラー40の調整が良好でない場合、線像の傾きが生じ、
画像品質の低下を招くからである。By the way, when the light beam is folded back using the long mirror 40 as in the above-mentioned light beam scanning device, the long mirror 40 is adjusted so that the line image on the exposure surface S is parallel to the main scanning direction Y. Need to do. This is because if the long mirror 40 is not properly adjusted, the line image may be tilted,
This is because the image quality is deteriorated.
【0004】そこで、従来より、例えば図5や図6に示
すターゲットブロック60を用いて長尺ミラー40を調
整する技術が提案されている。図5のターゲットブロッ
ク60にはターゲットとしてのピンホール61が、また
図6のターゲットブロック60にはターゲットとしての
標線62が設けられており、作業者がターゲットブロッ
ク60を適当に配置し長尺ミラー40からの光の進む様
子を観察しながら長尺ミラー40の調整を行う。具体的
には、例えば光軸OA上において長尺ミラー40の露光
面側近傍と露光面Sの長尺ミラー側近傍とに配置し、光
ビームが両ターゲットブロック60のターゲット(ピン
ホール61あるいは標線62)を通過するように、作業
者が光ビームの進む様子を観察しながら長尺ミラー40
を調整する。Therefore, conventionally, there has been proposed a technique for adjusting the elongated mirror 40 using the target block 60 shown in FIGS. 5 and 6, for example. The target block 60 shown in FIG. 5 is provided with a pinhole 61 as a target, and the target block 60 shown in FIG. 6 is provided with a marked line 62 as a target. The long mirror 40 is adjusted while observing how the light from the mirror 40 travels. Specifically, for example, they are arranged on the optical axis OA in the vicinity of the exposure surface side of the elongated mirror 40 and in the vicinity of the exposure surface S on the elongated mirror side. The long mirror 40 while observing how the light beam travels so that the worker passes through the line 62).
To adjust.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような調整方法によれば、画角中心(光軸OA)につい
ては長尺ミラー40により折り返された光ビームが露光
面Sの所望の位置に導かれることとなるが、画角端につ
いては調整されておらず、長尺ミラー40により折り返
された光ビームが露光面Sの所望の位置からずれた位置
に導光されることがある。つまり、従来の調整方法によ
れば、2つのターゲットブロック60のターゲットを結
ぶ線状の光路(画角中心)について調整することができ
るものの、全画角範囲(一方の画角端から他方の画角端
までの前範囲)について調整することは困難である。However, according to the adjustment method as described above, the light beam folded by the elongated mirror 40 at the center of the angle of view (optical axis OA) is located at a desired position on the exposure surface S. Although guided, the angle of view is not adjusted, and the light beam folded by the elongated mirror 40 may be guided to a position on the exposure surface S that is deviated from the desired position. That is, according to the conventional adjustment method, although the linear optical path (center of view angle) connecting the targets of the two target blocks 60 can be adjusted, the entire view angle range (from one view angle end to the other view angle end). It is difficult to adjust the front range up to the corner edge).
【0006】また、画角端をそれぞれ調整することで全
画角にわたって長尺ミラー40の調整を行うとしたとし
ても、一方の画像端についての調整を行う毎に再度もう
一方の調整を行う必要があり、長尺ミラー40の調整に
長時間を有し、しかも精度良く調整することが困難とな
っている。Further, even if the long mirror 40 is adjusted over the entire angle of view by adjusting the angle of view ends, it is necessary to perform the adjustment of the other end every time the adjustment of one end of the image is performed. Therefore, it takes a long time to adjust the long mirror 40, and it is difficult to perform the adjustment accurately.
【0007】なお、このような問題は光ビームを走査し
て露光面Sに線像を形成する光ビーム走査装置に特有の
問題ではなく、例えば電子写真装置のように原稿からの
スリット状の光を長尺ミラーによって折り返して所定の
ドラム(露光面)に導く光学装置においても生じる問題
である。Incidentally, such a problem is not a problem peculiar to a light beam scanning device which scans a light beam to form a line image on the exposure surface S. For example, a slit-shaped light from an original such as an electrophotographic device is used. This is also a problem that occurs in an optical device that folds back light by a long mirror and guides it to a predetermined drum (exposure surface).
【0008】この発明は、従来技術における上述の問題
の克服を意図しており、光学装置における長尺ミラーの
調整を簡単に精度良く行うことができる長尺ミラーの調
整機構を備えた光学装置、および当該装置における長尺
ミラーの調整方法を提供することを第1の目的とする。The present invention is intended to overcome the above-mentioned problems in the prior art, and an optical device provided with an adjusting mechanism for a long mirror capable of easily and accurately adjusting the long mirror in an optical device, It is a first object to provide a method for adjusting a long mirror in the device.
【0009】また、この発明は、長尺ミラーの調整をよ
り精度良く、しかも短時間で行うことができる長尺ミラ
ーの調整機構を備えた光学装置、および当該装置におけ
る長尺ミラーの調整方法を提供することを第2の目的と
する。Further, the present invention provides an optical device having a long mirror adjusting mechanism capable of adjusting the long mirror more accurately and in a short time, and a long mirror adjusting method in the device. The second purpose is to provide.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、基準
方向とほぼ平行に伸びる長尺ミラーにより、一方側から
の光を折り返して露光面に導き、前記露光面上で前記基
準方向と平行な線状の像を形成する光学装置であって、
上記第1の目的を達成するため、その長手方向に第1タ
ーゲットが設けられており、前記長尺ミラーの露光面側
近傍で前記光学装置に着脱自在な第1ターゲットブロッ
クと、その長手方向に第2ターゲットが設けられてお
り、前記露光面の近傍で前記光学装置に着脱自在な第2
ターゲットブロックとを有し、前記第1および第2ター
ゲットブロックを前記光学装置に取り付けると、前記第
1および第2ターゲットが前記基準方向と平行となる前
記長尺ミラーの調整機構を、さらに備えている。According to a first aspect of the present invention, a long mirror extending substantially parallel to a reference direction folds light from one side and guides it to an exposure surface, and on the exposure surface, the reference direction An optical device for forming parallel linear images,
In order to achieve the first object, a first target is provided in the longitudinal direction of the first target block, and the first target block is attachable to and detachable from the optical device in the vicinity of the exposure surface side of the elongated mirror, and in the longitudinal direction thereof. A second target is provided and is removable from the optical device in the vicinity of the exposure surface.
A target block, and further comprising an adjusting mechanism for the elongated mirror, wherein the first and second target blocks are attached to the optical device, and the first and second targets are parallel to the reference direction. There is.
【0011】請求項2の発明は、上記第2の目的を達成
するため、前記光学装置に取り付けられた前記第1ター
ゲットブロックが前記長尺ミラーからの光の少なくとも
一部を前記露光面側に導光するように構成している。According to a second aspect of the present invention, in order to achieve the second object, the first target block attached to the optical device directs at least a part of the light from the elongated mirror to the exposure surface side. It is configured to guide light.
【0012】請求項3の発明は、前記第1ターゲットブ
ロックに、前記第1ターゲットに沿って、前記長尺ミラ
ーからの光を前記露光面側に導光する穴部を部分的に設
けている。According to a third aspect of the present invention, the first target block is partially provided with a hole along the first target for guiding the light from the elongated mirror to the exposure surface side. .
【0013】請求項4の発明は、前記第1ターゲットブ
ロックを透光性部材で形成している。According to a fourth aspect of the present invention, the first target block is formed of a translucent member.
【0014】請求項5の発明は、基準方向とほぼ平行に
伸びる長尺ミラーにより、一方側からの光を折り返して
露光面に導き、前記露光面上で前記基準方向と平行な線
状の像を形成する光学装置において、前記長尺ミラーの
位置調整を行う長尺ミラーの調整方法であって、上記第
1の目的を達成するため、その長手方向に第1ターゲッ
トが設けられた第1ターゲットブロックを、前記第1タ
ーゲットが前記基準方向と平行となるように、前記長尺
ミラーの露光面側近傍で前記光学装置に取り付ける工程
と、その長手方向に第2ターゲットが設けられた第2タ
ーゲットブロックを、前記第2ターゲットが前記基準方
向に沿って入射するように、前記露光面の近傍で前記光
学装置に取り付ける工程と、前記第1ターゲットブロッ
クに入射する光が前記第1ターゲットに沿って入射する
ように、前記長尺ミラーを調整する工程と、前記第2タ
ーゲットブロックに入射する光が前記第2ターゲットに
沿って入射するように、前記長尺ミラーを調整する工程
と、を備えている。According to a fifth aspect of the present invention, a long mirror extending substantially parallel to the reference direction folds light from one side and guides it to the exposure surface, and a linear image parallel to the reference direction on the exposure surface. A method of adjusting a position of the long mirror, wherein the first target is provided with a first target in a longitudinal direction thereof in order to achieve the first object. Attaching the block to the optical device in the vicinity of the exposure surface side of the elongated mirror so that the first target is parallel to the reference direction; and a second target provided with a second target in the longitudinal direction thereof. A block is attached to the optical device in the vicinity of the exposure surface so that the second target is incident along the reference direction; and light incident on the first target block is Note: adjusting the elongated mirror so as to be incident along the first target, and adjusting the elongated mirror so that light incident on the second target block is incident along the second target. And a step of performing.
【0015】請求項6の発明は、上記第2の目的を達成
するため、前記第1ターゲットブロックとして、入射光
の少なくとも一部を前記露光面側に導光するターゲット
を用い、前記長尺ミラーからの光を前記第1および第2
ターゲットに同時に入射させ、前記第1ターゲットへの
入射光が前記第1ターゲットに沿って入射するととも
に、前記第2ターゲットに入射する入射光が前記第2タ
ーゲットに沿って入射するように、前記長尺ミラーを調
整している。According to a sixth aspect of the invention, in order to achieve the second object, a target for guiding at least a part of incident light to the exposure surface side is used as the first target block, and the elongated mirror is used. The light from the first and second
The light is incident on the targets at the same time, the incident light on the first target is incident along the first target, and the incident light on the second target is incident along the second target. Adjusting the scale mirror.
【0016】この発明では、その長手方向に第1ターゲ
ットが第1ターゲットブロックに設けられ、光学装置に
取り付けられると、第1ターゲットが基準方向と平行と
なり、第1ターゲットブロックに入射する光が前記第1
ターゲットに沿って入射するように、長尺ミラーを調整
可能となる。また、その長手方向に第2ターゲットが第
2ターゲットブロックに設けられ、光学装置に取り付け
られると、第2ターゲットが基準方向と平行となり、第
2ターゲットブロックに入射する光が第2ターゲットと
平行となるように、長尺ミラーを調整可能となる。According to the present invention, when the first target is provided in the first target block in the longitudinal direction and is attached to the optical device, the first target becomes parallel to the reference direction, and the light incident on the first target block is the above-mentioned. First
The elongated mirror can be adjusted so that it is incident along the target. Further, when the second target is provided in the second target block in the longitudinal direction and attached to the optical device, the second target becomes parallel to the reference direction, and the light incident on the second target block becomes parallel to the second target. So that the long mirror can be adjusted.
【0017】また、第1ターゲットブロックが長尺ミラ
ーからの光の少なくとも一部を露光面側に導光するた
め、長尺ミラーからの光が第1および第2ターゲットに
同時に入射し、第1ターゲットへの入射光が第1ターゲ
ットに沿って入射するとともに、第2ターゲットに入射
する入射光が第2ターゲットに沿って入射するように、
長尺ミラーを調整可能となる。Further, since the first target block guides at least a part of the light from the long mirror to the exposure surface side, the light from the long mirror is incident on the first and second targets at the same time, and The incident light on the target is incident along the first target, and the incident light on the second target is incident along the second target,
The long mirror can be adjusted.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】図1は、この発明にかかる光学装
置の一の実施の形態を示す図である。この光学装置で
は、光学ベース1上に、図示を省略する光学部と、ポリ
ゴンミラー20と、走査レンズ30とが固定されてお
り、光学部からの光ビームがポリゴンミラー20に入射
し、偏向反射した後、走査レンズ30を介して主走査方
向(基準方向)Yに伸びる長尺ミラー40に導光され
る。1 is a view showing an embodiment of an optical device according to the present invention. In this optical device, an optical unit (not shown), a polygon mirror 20, and a scanning lens 30 are fixed on the optical base 1, and a light beam from the optical unit enters the polygon mirror 20 and is deflected and reflected. After that, the light is guided to the elongated mirror 40 extending in the main scanning direction (reference direction) Y through the scanning lens 30.
【0019】この長尺ミラー40はミラーホルダ70に
より保持された状態で光学ベース1上に配置されてお
り、入射光ビームを上向きに折り返す。ミラーホルダ7
0は、図2に示すように、主走査方向Yとほぼ平行に伸
び、光学ベース1上で主走査方向Yと直交する前後方向
Zに移動自在なホルダベース71を備えている。このホ
ルダベース71の2箇所に長穴72がそれぞれ設けら
れ、ホルダベース71を前後方向Zに適当に位置決めし
た後、固定ビス73によりホルダベース71を光学ベー
ス1に固定することができるようになっている。こうし
て、ミラーホルダ70に保持された長尺ミラー40の前
後方向Zの位置決め調整を行うことができるようになっ
ている。The elongated mirror 40 is arranged on the optical base 1 while being held by the mirror holder 70, and turns the incident light beam upward. Mirror holder 7
As shown in FIG. 2, 0 has a holder base 71 that extends substantially parallel to the main scanning direction Y and is movable on the optical base 1 in the front-back direction Z orthogonal to the main scanning direction Y. The holder base 71 is provided with elongated holes 72 at two positions, respectively, and after properly positioning the holder base 71 in the front-back direction Z, the holder base 71 can be fixed to the optical base 1 by the fixing screw 73. ing. In this way, the positioning adjustment of the elongated mirror 40 held by the mirror holder 70 in the front-rear direction Z can be performed.
【0020】また、このホルダベース71の両端部には
押えバネ74,75がそれぞれ軸AX回りに回動自在に
取り付けられ、長尺ミラー40の両端部をそれぞれ保持
している。そして、ホルダベース71から長尺ミラー4
0の裏面に角度調整用押しビス76が押し付けられてお
り、この押しビス76をホルダベース71に対して進退
させることで長尺ミラー40の角度を調整可能となって
いる。Pressing springs 74 and 75 are attached to both ends of the holder base 71 so as to be rotatable about the axis AX, and hold the both ends of the elongated mirror 40, respectively. Then, from the holder base 71 to the long mirror 4
An angle adjusting push screw 76 is pressed against the back surface of 0, and the angle of the elongated mirror 40 can be adjusted by moving the push screw 76 forward and backward with respect to the holder base 71.
【0021】図1に戻って、光学装置の構成についての
説明を続ける。長尺ミラー40の調整を行う際には、同
図に示すように、光学ベース1上に第1ターゲットブロ
ック80が第1ターゲットサポート部材84によって所
定位置に取り付けられるが、通常動作時には第1ターゲ
ットブロック80などは取り除かれ、長尺ミラー40に
より折り返された光ビームはシリンドリカルレンズ50
を介して図示を省略する露光面に導かれる。このシリン
ドリカルレンズ50は、光学ベース1の両側面に連結固
定された第1側板2および第2側板3に挟まれるように
して正確に位置決めされた状態で取り付けられている。
なお、長尺ミラー40の調整を行う際には、シリンドリ
カルレンズ50は取り外され、露光面の近傍に第2ター
ゲットブロック90が第2ターゲットサポート部材92
a,92bによって所定位置に取り付けられる。また、
通常動作には、この第2ターゲットブロック90などは
取り除かれている。Returning to FIG. 1, the description of the structure of the optical device will be continued. When the long mirror 40 is adjusted, the first target block 80 is mounted on the optical base 1 at a predetermined position by the first target support member 84, as shown in FIG. The block 80 and the like are removed, and the light beam returned by the long mirror 40 is reflected by the cylindrical lens 50.
Is guided to the exposure surface (not shown) via. The cylindrical lens 50 is mounted in a state of being accurately positioned so as to be sandwiched between the first side plate 2 and the second side plate 3 which are connected and fixed to both side surfaces of the optical base 1.
When adjusting the elongated mirror 40, the cylindrical lens 50 is removed, and the second target block 90 is provided near the exposure surface with the second target support member 92.
It is attached at a predetermined position by a and 92b. Also,
For normal operation, the second target block 90 and the like are removed.
【0022】このように、通常動作時には、第1および
第2ターゲットブロック80,90は取り除かれ、図4
の装置と同一構成となり、(図1で図示を省略してい
る)光学部から光ビームを出射しながら、ポリゴンミラ
ー20を回転させることで光ビームを主走査方向Yに走
査させて露光面に主走査方向Yと平行な線像を形成する
ことができるようになっている。Thus, during normal operation, the first and second target blocks 80, 90 are removed, and FIG.
The device has the same configuration as that of the above-mentioned apparatus, and while the light beam is emitted from the optical unit (not shown in FIG. 1), the polygon mirror 20 is rotated to scan the light beam in the main scanning direction Y to the exposed surface. A line image parallel to the main scanning direction Y can be formed.
【0023】一方、この通常動作に先立って長尺ミラー
40の調整を行う際には、第1および第2ターゲットブ
ロック80,90をそれぞて光学ベース1および側板
2,3に取り付ける。以下、長尺ミラー40の調整機構
として機能する第1および第2ターゲットブロック8
0,90の詳細な構成、光学装置への取付状態、および
第1および第2ターゲットブロック80,90を用いた
長尺ミラー40の調整方法について説明する。On the other hand, when the elongated mirror 40 is adjusted prior to the normal operation, the first and second target blocks 80 and 90 are attached to the optical base 1 and the side plates 2 and 3, respectively. Hereinafter, the first and second target blocks 8 functioning as an adjusting mechanism of the elongated mirror 40.
A detailed configuration of 0 and 90, an attachment state to the optical device, and a method of adjusting the elongated mirror 40 using the first and second target blocks 80 and 90 will be described.
【0024】図3は、図1の光学装置における長尺ミラ
ーの調整機構を示す分解斜視図である。光学ベース1上
には、上記のようにミラーホルダ70により長尺ミラー
40が配置されており、この長尺ミラー40を上方から
覆い重なるように長尺ミラー40より若干長い長尺状の
第1ターゲットブロック80が配置されて長尺ミラー4
0の露光面側近傍に位置するようになっている。一方、
長尺ミラー40から離れた露光面近傍に長尺ミラー40
より若干長い長尺状の第2ターゲットブロック90が配
置されるようになっている。FIG. 3 is an exploded perspective view showing the adjusting mechanism of the long mirror in the optical device of FIG. The long mirror 40 is arranged on the optical base 1 by the mirror holder 70 as described above. The long first mirror 40 is slightly longer than the long mirror 40 so as to cover the long mirror 40 from above. Target block 80 is arranged and long mirror 4
It is located near the exposure surface side of 0. on the other hand,
The long mirror 40 is provided near the exposed surface away from the long mirror 40.
An elongated second target block 90 having a slightly longer length is arranged.
【0025】第1ターゲットブロック80は、例えばス
リガラスなどの拡散板で形成されており、その上面側に
は、長手方向に2本の第1標線81が設けられるととも
に、その標線81に沿って複数の長穴82が設けられて
いる。また、第1ターゲットブロック80の両端部に
は、取付穴83が設けられており、これらの取付穴83
を介して第1ターゲットブロック80を第1ターゲット
サポート部材84にビス85で連結可能となっている。
この第1ターゲットサポート部材84の両端部には、光
学ベース1に位置決めするためのターゲット側基準穴8
6a,86bが穿設されており、これら基準穴86a,
86bを結ぶ仮想基準線87Lと、第1標線81とが平
行となるように、第1ターゲットブロック80が第1タ
ーゲットサポート部材84に連結される。なお、第1タ
ーゲットサポート部材84には、同図に示すように、長
尺ミラー40からの光ビームを第1ターゲットブロック
80に導くための矩形開口87が設けられている。The first target block 80 is formed of, for example, a diffusion plate such as frosted glass, and on the upper surface side thereof, two first marked lines 81 are provided in the longitudinal direction and along the marked lines 81. And a plurality of elongated holes 82 are provided. Further, mounting holes 83 are provided at both ends of the first target block 80.
The first target block 80 can be connected to the first target support member 84 by means of screws 85 via.
At both ends of the first target support member 84, target side reference holes 8 for positioning the optical base 1 are provided.
6a, 86b are provided, and these reference holes 86a,
The first target block 80 is connected to the first target support member 84 so that the virtual reference line 87L connecting 86b and the first marked line 81 are parallel to each other. The first target support member 84 is provided with a rectangular opening 87 for guiding the light beam from the elongated mirror 40 to the first target block 80, as shown in FIG.
【0026】また、光学ベース1には、第1ターゲット
ブロック80を正確に位置決めするためのベース側基準
穴4a,4bが設けられており、上方より第1ターゲッ
トサポート部材84のターゲット側基準穴86a,86
bを通して位置決めピン88a,88bをそれぞれベー
ス側基準穴4a,4bに差し込むことで、第1ターゲッ
トブロック80と第1ターゲットサポート部材84と連
結体を光学ベース1に位置決めすることができるように
なっている。ここで、これらベース側基準穴4a,4b
はそれらを結ぶ仮想基準線5が主走査方向Yと完全に平
行となるように設けられているため、仮想基準線5,8
7Lおよび第1標線81が完全に平行となり、上記のよ
うにして光学ベース1に取り付けられた第1ターゲット
ブロック80の第1標線81は主走査方向Yとも完全に
平行となる。なお、位置決めピン88a,88bを抜く
ことで、第1ターゲットブロック80と第1ターゲット
サポート部材84と連結体を光学ベース1から容易に取
り外すことができるようになっている。以上のように、
第1ターゲットブロック80は光学装置の光学ベース1
に着脱自在となっており、しかも第1ターゲットブロッ
ク80を光学ベース1に取り付けると、第1標線81が
主走査方向Yと完全に平行となる。Further, the optical base 1 is provided with base side reference holes 4a and 4b for accurately positioning the first target block 80, and the target side reference hole 86a of the first target support member 84 is arranged from above. , 86
By inserting the positioning pins 88a and 88b into the base-side reference holes 4a and 4b through b, the first target block 80, the first target support member 84, and the connected body can be positioned on the optical base 1. There is. Here, these base side reference holes 4a and 4b
Are provided so that the virtual reference line 5 connecting them is completely parallel to the main scanning direction Y, so that the virtual reference lines 5, 8
7L and the first marked line 81 are completely parallel to each other, and the first marked line 81 of the first target block 80 attached to the optical base 1 as described above is also completely parallel to the main scanning direction Y. By pulling out the positioning pins 88a and 88b, the first target block 80, the first target support member 84, and the connecting body can be easily removed from the optical base 1. As mentioned above,
The first target block 80 is the optical base 1 of the optical device.
When the first target block 80 is attached to the optical base 1, the first marked line 81 becomes completely parallel to the main scanning direction Y.
【0027】一方、第2ターゲットブロック90は、例
えばスリガラスなどの拡散体で形成されており、その上
面に2本の第2標線91が設けられ、また両端に第2タ
ーゲットサポート部材92a,92bが、第1ターゲッ
トブロック80の場合と同様に、それぞれに設けられる
ターゲット基準穴を結ぶ仮想基準線と第2標線91とが
平行となるように、連結されている。一方の第2ターゲ
ットサポート部材92aのターゲット側基準穴93a
は、光学装置の側方部から第1側板2の側板側基準穴6
aを介して位置決めピン94a(図1)を差し込み可能
となっている。また、図面上では明確ではないが、他方
の第2ターゲットサポート部材92bに同様に、ターゲ
ット側基準穴が設けられ、光学装置の側方部から第2側
板3の側板側基準穴を介して位置決めピン94b(図
1)が当該ターゲット側基準穴に差し込み可能となって
いる。このように、位置決めピン94a,94bを第2
ターゲットサポート部材92a,92bの基準穴に差し
込むと、第2ターゲットブロック90が光学装置に取り
付けられる。しかも、第1および第2側板2,3は予め
定められた設計仕様にそって光学ベース1に正確に取り
付けられており、側板側基準穴は、それらを結ぶ仮想基
準線7が主走査方向Yと完全に平行となるように設けら
れており、第2ターゲットブロック90の第2標線91
は主走査方向Yと完全に平行となる。なお、位置決めピ
ン94a,94bを抜くことで、第2ターゲットブロッ
ク90と第2ターゲットサポート部材92a,94bと
連結体を側板2,3から容易に取り外すことができるよ
うになっている。以上のように、第2ターゲットブロッ
ク90は光学装置の側板2,3に着脱自在となってお
り、しかも第2ターゲットブロック90を側板2,3に
取り付けると、第2標線91が主走査方向Yと完全に平
行となる。On the other hand, the second target block 90 is made of, for example, a diffuser such as frosted glass, has two second marked lines 91 on its upper surface, and has second target support members 92a, 92b at both ends. However, as in the case of the first target block 80, the virtual reference line connecting the target reference holes provided in each is connected to the second reference line 91 so as to be parallel. Target side reference hole 93a of one second target support member 92a
Is a side plate side reference hole 6 of the first side plate 2 from the side portion of the optical device.
The positioning pin 94a (FIG. 1) can be inserted through a. Although not clear in the drawing, a target side reference hole is similarly provided in the other second target support member 92b, and positioning is performed from the side portion of the optical device through the side plate side reference hole of the second side plate 3. The pin 94b (FIG. 1) can be inserted into the target side reference hole. In this way, the positioning pins 94a and 94b are moved to the second position.
When inserted into the reference holes of the target support members 92a and 92b, the second target block 90 is attached to the optical device. Moreover, the first and second side plates 2 and 3 are accurately attached to the optical base 1 in accordance with the predetermined design specifications, and the side plate side reference hole has the virtual reference line 7 connecting them in the main scanning direction Y. And the second target line 90 of the second target block 90.
Is completely parallel to the main scanning direction Y. By pulling out the positioning pins 94a and 94b, the second target block 90, the second target support members 92a and 94b, and the connecting body can be easily removed from the side plates 2 and 3. As described above, the second target block 90 is attachable to and detachable from the side plates 2 and 3 of the optical device, and when the second target block 90 is attached to the side plates 2 and 3, the second marked line 91 indicates the main scanning direction. It is completely parallel to Y.
【0028】次に、長尺ミラー40の調整方法について
説明する。Next, a method of adjusting the long mirror 40 will be described.
【0029】まず、側板2,3を取外した状態で光学ベ
ース1上に光学部,ポリゴンミラー20および走査レン
ズ30を配置し、従来より周知の方法によりこれらの調
整を行い、固定する。それに続いて、側板2,3を光学
ベース1に連結した後、長尺ミラー40を保持した状態
でミラーホルダ70を光学ベース1上に仮固定する。な
お、シリンドリカルレンズ50については、長尺ミラー
40の調整が完了した後で側板2,3に取り付ける。そ
の理由については、後で説明する。First, with the side plates 2 and 3 removed, the optical part, the polygon mirror 20 and the scanning lens 30 are arranged on the optical base 1, and these are adjusted and fixed by a conventionally known method. After that, after connecting the side plates 2 and 3 to the optical base 1, the mirror holder 70 is temporarily fixed on the optical base 1 while holding the elongated mirror 40. The cylindrical lens 50 is attached to the side plates 2 and 3 after the adjustment of the long mirror 40 is completed. The reason will be described later.
【0030】次に、上記のように第1ターゲットサポー
ト部材84の基準穴86a,86bを結ぶ仮想基準線8
7Lと、第1標線81とが平行となるように、第1ター
ゲットブロック80を第1ターゲットサポート部材84
に連結し、第1ターゲットサポート部材84のターゲッ
ト側基準穴86a,86bを通して位置決めピン88
a,88bをそれぞれベース側基準穴4a,4bに差し
込んで、連結体を光学ベース1に位置決めする。これに
より、第1ターゲットブロック80が長尺ミラー40の
露光面側近傍に位置し、しかも第1標線81が主走査方
向Yとも完全に平行となる。Next, the virtual reference line 8 connecting the reference holes 86a and 86b of the first target support member 84 as described above.
The first target block 80 is attached to the first target support member 84 so that 7L and the first marked line 81 are parallel to each other.
And the positioning pin 88 through the target side reference holes 86a and 86b of the first target support member 84.
a and 88b are inserted into the base-side reference holes 4a and 4b, respectively, and the connector is positioned on the optical base 1. As a result, the first target block 80 is located near the exposure surface side of the elongated mirror 40, and the first marked line 81 is also completely parallel to the main scanning direction Y.
【0031】また、上記のように第2ターゲットサポー
ト部材92a,92bを、それぞれに設けられた基準穴
を結ぶ仮想基準線と第2標線91とが平行となるよう
に、第2ターゲットブロック90の両端部に連結した
後、位置決めピン94a,94bを第2ターゲットサポ
ート部材92a,92bの基準穴に差し込んで、連結体
を側板2,3に取り付ける。これにより、第2ターゲッ
トブロック90が露光面の近傍に位置し、しかも第2標
線91が主走査方向Yとも完全に平行となる。Further, as described above, the second target block 90 is so arranged that the virtual reference lines connecting the reference holes provided in the second target support members 92a and 92b are parallel to the second reference line 91. After being connected to both ends of the connector, the positioning pins 94a and 94b are inserted into the reference holes of the second target support members 92a and 92b, and the connector is attached to the side plates 2 and 3. As a result, the second target block 90 is located in the vicinity of the exposure surface, and the second marked line 91 is also completely parallel to the main scanning direction Y.
【0032】上記のようにして第1および第2ターゲッ
トブロック80,90の取付処理が完了すると、光学部
から光ビームを射出させるとともに、ポリゴンミラー2
0を低速回転させる。すると、図1に示すように、ポリ
ゴンミラー20からの偏向光ビームが主走査方向Yに走
査しながら長尺ミラー40に折り返され、第1ターゲッ
トブロック80に入射する。このため、作業者は目視観
察により光ビームが全画角範囲において長尺ミラー40
の近傍でどのような経路で進んでいるかを認識すること
ができ、第1標線81と比較することで光ビームの走査
方向が主走査方向Yと一致しているかどうかを容易に判
断することができる。また、第1ターゲットブロック8
0がスリガラスで形成され、しかも複数の長穴82を設
けていることから、第1ターゲットブロック80に入射
した光ビームの一部が第2ターゲットブロック90に入
射する。このため、第1ターゲットブロック80側と同
様に、作業者は目視観察により光ビームが全画角範囲に
おいて露光面側でどのような経路で進んでいるかを認識
することができ、第2標線91と比較することで光ビー
ムの走査方向が主走査方向Yと一致しているかどうかを
容易に判断することができる。When the mounting process of the first and second target blocks 80, 90 is completed as described above, a light beam is emitted from the optical section and the polygon mirror 2
Rotate 0 at low speed. Then, as shown in FIG. 1, the deflected light beam from the polygon mirror 20 is returned to the elongated mirror 40 while scanning in the main scanning direction Y and is incident on the first target block 80. For this reason, an operator visually observes that the light beam has a long mirror 40 in the entire angle range.
It is possible to recognize the route in which the light beam is traveling in the vicinity of, and it is possible to easily determine whether the scanning direction of the light beam coincides with the main scanning direction Y by comparing with the first marked line 81. You can Also, the first target block 8
Since 0 is formed of ground glass and a plurality of elongated holes 82 are provided, part of the light beam incident on the first target block 80 is incident on the second target block 90. Therefore, similarly to the first target block 80 side, the operator can recognize by visual observation what path the light beam travels on the exposure surface side in the entire angle range, and the second marked line. By comparing with 91, it is possible to easily determine whether the scanning direction of the light beam matches the main scanning direction Y.
【0033】光ビームの走査方向が主走査方向Yと一致
していない場合には、作業者が第1および第2ターゲッ
トブロック80,90上での光ビームの走査の様子を観
察しながら、第1ターゲットサポート部材84に取り付
けられた前後調整用ノブ89および/または角度調整用
押しビス76を操作することで、光ビームが第1および
第2標線81,91と平行で、しかも第1および第2タ
ーゲットブロックのそれぞれにおいて2本の標線の間を
走査するように長尺ミラー40の前後方向および角度を
調整する。When the scanning direction of the light beam does not coincide with the main scanning direction Y, the operator observes the scanning state of the light beam on the first and second target blocks 80 and 90 while By operating the front-back adjustment knob 89 and / or the angle adjustment push screw 76 attached to the 1 target support member 84, the light beam is parallel to the first and second marked lines 81 and 91, and The longitudinal direction and the angle of the elongated mirror 40 are adjusted so as to scan between the two marked lines in each of the second target blocks.
【0034】長尺ミラー40の調整が完了すると、ミラ
ーホルダ70を光学ベース1に固定した後、第1ターゲ
ットブロック80と第1ターゲットサポート部材84と
の連結体を光学ベース1から、また第2ターゲットブロ
ック90と第2ターゲットサポート部材92a,92b
との連結体を側板2,3から、それぞれ取り外す。そし
て、シリンドリカルレンズ50を側板2,3に固定す
る。When the adjustment of the elongated mirror 40 is completed, the mirror holder 70 is fixed to the optical base 1, and then the connecting body of the first target block 80 and the first target support member 84 is connected from the optical base 1 to the second base. Target block 90 and second target support members 92a and 92b
Remove the connecting body of and from the side plates 2 and 3, respectively. Then, the cylindrical lens 50 is fixed to the side plates 2 and 3.
【0035】以上のように、この実施の形態によれば、
光ビームの走査の様子を長尺ミラー40の露光面側近傍
および露光面の近傍で、全画角範囲において観察可能と
なっており、その様子を見ながら長尺ミラー40の調整
を行うことができる。したがって、従来のように長尺ミ
ラー40の調整に当たってターゲットブロックを両画角
端に移動させる必要がなく、長尺ミラーの調整を簡単
で、しかも精度良く行うことができる。As described above, according to this embodiment,
It is possible to observe the scanning state of the light beam in the vicinity of the exposure surface of the elongated mirror 40 and in the vicinity of the exposed surface in the entire angle range of view, and the elongated mirror 40 can be adjusted while observing the situation. it can. Therefore, it is not necessary to move the target block to both ends of the angle of view when adjusting the long mirror 40 as in the conventional case, and the long mirror can be adjusted easily and accurately.
【0036】また、上記のように長尺ミラー40の調整
にあたって、シリンドリカルレンズ50を取り外してい
るのは、以下の理由からである。すなわち、シリンドリ
カルレンズ50を側板2,3に取り付けたままの状態で
長尺ミラー40の調整を行った場合、長尺ミラー40に
より折り返された光ビームがシリンドリカルレンズ50
の光軸からずれて入射したとしても、シリンドリカルレ
ンズ50の作用により光ビームが光軸上に導かれるが、
露光面でのスポットサイズが大きくなったり、サイドロ
ブが大きくなると不具合が生じるからである、この点に
関して、上記実施の形態によれば、予めシリンドリカル
レンズ50を取り外した状態で長尺ミラー40を調整し
ているため、かかる不具合は発生せず、調整完了後、シ
リンドリカルレンズ50を取り付けることで、全画角範
囲にわたって良好なスポットサイズが得られる。The reason why the cylindrical lens 50 is removed when adjusting the elongated mirror 40 as described above is as follows. That is, when the elongated mirror 40 is adjusted with the cylindrical lens 50 still attached to the side plates 2 and 3, the light beam reflected by the elongated mirror 40 is reflected by the cylindrical lens 50.
Even if the light beam is deviated from the optical axis of, the light beam is guided on the optical axis by the action of the cylindrical lens 50.
This is because if the spot size on the exposure surface becomes large or the side lobe becomes large, a problem occurs. In this regard, according to the above-described embodiment, the elongated mirror 40 is adjusted with the cylindrical lens 50 removed in advance. Therefore, such a problem does not occur, and by attaching the cylindrical lens 50 after the completion of the adjustment, a good spot size can be obtained over the entire range of the angle of view.
【0037】なお、第1および第2ターゲットブロック
80,90の取付および取外し手順は上記手順に限定さ
れるものではなく、例えば一方のターゲットブロックを
光学装置に取り付けて長尺ミラー40の調整を行った
後、他方のターゲットブロックを光学装置に取り付けて
長尺ミラー40の調整を行うようにしてもよいが、上記
実施の形態によれば、第1ターゲットブロック80から
入射光ビームの一部を露光面側に導光するように構成
し、長尺ミラー40からの光ビームが第1および第2タ
ーゲットブロック80,90に同時に入射しているの
で、一度に長尺ミラーの露光面側近傍および露光面の近
傍の両方で光ビームの走査方向が主走査方向Yと平行と
なるように調整することができ、長尺ミラー40の調整
をより短時間で、しかも精度良く行うことができる。The procedure for attaching and detaching the first and second target blocks 80, 90 is not limited to the above-mentioned procedure. For example, one target block is attached to the optical device to adjust the elongated mirror 40. After that, the other target block may be attached to the optical device to adjust the elongated mirror 40. However, according to the above-described embodiment, a part of the incident light beam is exposed from the first target block 80. Since the light beam from the long mirror 40 is incident on the first and second target blocks 80 and 90 at the same time, the long mirror is exposed to the vicinity of the exposure surface side and the exposure. The scanning direction of the light beam can be adjusted to be parallel to the main scanning direction Y in both the vicinity of the surface, and the adjustment of the elongated mirror 40 can be performed in a shorter time and further. It can be carried out every time well.
【0038】また、上記の実施の形態では、第1および
第2ターゲットブロック80,90の上面にターゲット
としての標線81,91を設けているが、ターゲットの
種類は標線に限定されるものではなく、標線の代わりに
ターゲットブロックの長手方向にスリットを設けたり、
複数のピンホールを配列するようにしてもよい。また、
ターゲットブロック80,90の下面側に標線を形成す
るようにしてよく、この場合、ターゲットブロックにお
ける光ビームの反射の様子を観察して光ビームがどのよ
うに走査しているかを判断することとなる。Further, in the above embodiment, the marked lines 81 and 91 as the targets are provided on the upper surfaces of the first and second target blocks 80 and 90, but the kind of the target is not limited to the marked lines. Instead of providing a slit in the longitudinal direction of the target block instead of the marked line,
A plurality of pinholes may be arranged. Also,
A marked line may be formed on the lower surface side of the target blocks 80 and 90. In this case, it is possible to observe how the light beam is reflected by the target block to judge how the light beam is scanning. Become.
【0039】また、上記の実施の形態では、第1および
第2ターゲットブロック80,90を半透明の拡散板で
形成しているが、ガラスなどの透明材料や金属などの不
透明材料でターゲットブロックを形成してもよい。ただ
し、一度に長尺ミラーの露光面側近傍および露光面の近
傍の両方で光ビームの走査方向が主走査方向Yと平行と
なるように調整するためには、第2ターゲットブロック
90に十分な光量の光ビームが入射するように、少なく
とも第1ターゲットブロック80を半透明材料と透明材
料とを含む透光性材料で形成するのが望ましい。In the above embodiment, the first and second target blocks 80 and 90 are formed of a semitransparent diffusion plate. However, the target block is made of a transparent material such as glass or an opaque material such as metal. You may form. However, in order to adjust the scanning direction of the light beam to be parallel to the main scanning direction Y both in the vicinity of the exposure surface side of the elongated mirror and in the vicinity of the exposure surface at one time, the second target block 90 is sufficient. It is desirable that at least the first target block 80 is formed of a translucent material including a semitransparent material and a transparent material so that a light beam of a light amount is incident.
【0040】さらに、上記の実施の形態では、走査レン
ズ30からの光ビームを長尺ミラー40によって上方向
に折り返す光学装置について説明したが、この発明の適
用対象はこの光学装置に限定されるものではなく、下方
向に折り返す光学装置にも適用することができることは
いうまでもない。また、光ビームを走査する光学装置
(光ビーム走査装置)の他にも、電子複写装置の読み取
り光学系のように基準方向(上記実施の形態における主
走査方向に相当する方向)に広がった光を長尺ミラーで
折り返す装置全般に本発明を適用することができる。Furthermore, in the above-mentioned embodiment, the optical device for returning the light beam from the scanning lens 30 upward by the elongated mirror 40 has been described, but the application of the present invention is limited to this optical device. Needless to say, the present invention can also be applied to an optical device that is folded back downward. In addition to an optical device that scans a light beam (light beam scanning device), light that spreads in a reference direction (a direction corresponding to the main scanning direction in the above embodiment) like a reading optical system of an electronic copying apparatus. The present invention can be applied to all devices that fold back a long mirror.
【0041】[0041]
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、第1
ターゲットが基準方向と平行となるように第1ターゲッ
トブロックを光学装置に取り付けて、第1ターゲットブ
ロックに入射する光が第1ターゲットに沿って入射する
ように長尺ミラーを調整することができるとともに、第
2ターゲットが基準方向と平行となるように第2ターゲ
ットブロックを光学装置に取り付けて、第2ターゲット
ブロックに入射する光が第2ターゲットに沿って入射す
るように長尺ミラーを調整することができるように構成
されているので、光学装置における長尺ミラーの調整を
簡単で精度良く行うことができる。As described above, according to the present invention, the first
The first target block is attached to the optical device so that the target is parallel to the reference direction, and the elongated mirror can be adjusted so that the light incident on the first target block is incident along the first target. Attaching the second target block to the optical device so that the second target is parallel to the reference direction, and adjusting the elongated mirror so that the light incident on the second target block is incident along the second target. The long mirror in the optical device can be adjusted easily and accurately.
【0042】また、第1ターゲットブロックが長尺ミラ
ーからの光の少なくとも一部を露光面側に導光するよう
に構成されているため、長尺ミラーからの光が第1およ
び第2ターゲットに同時に入射し、第1ターゲットへの
入射光が第1ターゲットとに沿って入射するとともに、
第2ターゲットに入射する入射光が第2ターゲットに沿
って入射するように、長尺ミラーを調整することがで
き、長尺ミラーの調整をより精度良く、しかも短時間で
行うことができる。Further, since the first target block is configured to guide at least a part of the light from the elongated mirror to the exposure surface side, the light from the elongated mirror is directed to the first and second targets. At the same time, the incident light on the first target is incident along the first target,
The elongated mirror can be adjusted so that the incident light incident on the second target is incident along the second target, and the adjustment of the elongated mirror can be performed more accurately and in a short time.
【図1】この発明にかかる光学装置の一の実施の形態を
示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of an optical device according to the present invention.
【図2】長尺ミラーを裏側から見たときの斜視図であ
る。FIG. 2 is a perspective view of a long mirror when viewed from the back side.
【図3】図1の光学装置における長尺ミラーの調整機構
を示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing an adjustment mechanism of a long mirror in the optical device of FIG.
【図4】この発明の背景技術となる光学装置の一例を斜
視図である。FIG. 4 is a perspective view showing an example of an optical device which is a background art of the present invention.
【図5】従来よりミラーの調整に用いられているターゲ
ットブロックを示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a target block conventionally used for adjusting a mirror.
【図6】従来よりミラーの調整に用いられているターゲ
ットブロックを示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a target block conventionally used for adjusting a mirror.
40 長尺ミラー 70 ミラーホルダ 80,90 ターゲットブロック 81,91 標線(ターゲット) 82 長穴(穴部) S 露光面 Y 主走査方向(基準方向) 40 Long Mirror 70 Mirror Holder 80, 90 Target Block 81, 91 Mark (Target) 82 Oblong Hole (Hole) S Exposure Surface Y Main Scanning Direction (Reference Direction)
Claims (6)
により、一方側からの光を折り返して露光面に導き、前
記露光面上で前記基準方向と平行な線状の像を形成する
光学装置において、 その長手方向に第1ターゲットが設けられており、前記
長尺ミラーの露光面側近傍で前記光学装置に着脱自在な
第1ターゲットブロックと、 その長手方向に第2ターゲットが設けられており、前記
露光面の近傍で前記光学装置に着脱自在な第2ターゲッ
トブロックとを有し、 前記第1および第2ターゲットブロックを前記光学装置
に取り付けると、前記第1および第2ターゲットが前記
基準方向と平行となる前記長尺ミラーの調整機構を、さ
らに備えたことを特徴とする長尺ミラーの調整機構を備
えた光学装置。1. An optical device for folding back light from one side and guiding it to an exposure surface by a long mirror extending substantially parallel to the reference direction, and forming a linear image parallel to the reference direction on the exposure surface. In the above, a first target is provided in the longitudinal direction, a first target block that is detachable from the optical device in the vicinity of the exposure surface side of the elongated mirror, and a second target is provided in the longitudinal direction. A second target block that is attachable to and detachable from the optical device in the vicinity of the exposure surface, and when the first and second target blocks are attached to the optical device, the first and second targets move in the reference direction. An optical device having an adjusting mechanism for a long mirror, further comprising an adjusting mechanism for the long mirror that is parallel to the above.
ターゲットブロックが、前記長尺ミラーからの光の少な
くとも一部を前記露光面側に導光する請求項1記載の長
尺ミラーの調整機構を備えた光学装置。2. The first device attached to the optical device.
The optical device having a long mirror adjusting mechanism according to claim 1, wherein the target block guides at least a part of the light from the long mirror to the exposure surface side.
1ターゲットに沿って、前記長尺ミラーからの光を前記
露光面側に導光する穴部が部分的に設けられた請求項2
記載の長尺ミラーの調整機構を備えた光学装置。3. The first target block is partially provided with holes along the first target for guiding light from the elongated mirror to the exposure surface side.
An optical device provided with the adjusting mechanism of the long mirror described in the above.
材で形成された請求項2記載の長尺ミラーの調整機構を
備えた光学装置。4. The optical device having a long mirror adjusting mechanism according to claim 2, wherein the first target block is formed of a translucent member.
により、一方側からの光を折り返して露光面に導き、前
記露光面上で前記基準方向と平行な線状の像を形成する
光学装置において、前記長尺ミラーの位置調整を行う長
尺ミラーの調整方法であって、 その長手方向に第1ターゲットが設けられた第1ターゲ
ットブロックを、前記第1ターゲットが前記基準方向と
平行となるように、前記長尺ミラーの露光面側近傍で前
記光学装置に取り付ける工程と、 その長手方向に第2ターゲットが設けられた第2ターゲ
ットブロックを、前記第2ターゲットが前記基準方向と
平行となるように、前記露光面の近傍で前記光学装置に
取り付ける工程と、 前記第1ターゲットブロックに入射する光が前記第1タ
ーゲットに沿って入射するように、前記長尺ミラーを調
整する工程と、 前記第2ターゲットブロックに入射する光が前記第2タ
ーゲットに沿って入射するように、前記長尺ミラーを調
整する工程と、を備えたことを特徴とする光学装置にお
ける長尺ミラーの調整方法。5. An optical device that folds light from one side and guides it to an exposure surface by a long mirror extending substantially parallel to the reference direction, and forms a linear image parallel to the reference direction on the exposure surface. In the method of adjusting the position of the elongated mirror, the first target block in which a first target is provided in the longitudinal direction is arranged such that the first target is parallel to the reference direction. As described above, the step of attaching to the optical device in the vicinity of the exposure surface side of the elongated mirror, and the second target block in which the second target is provided in the longitudinal direction, the second target becomes parallel to the reference direction. Attaching to the optical device in the vicinity of the exposure surface, and the elongated length so that the light incident on the first target block is incident along the first target. An optical apparatus comprising: a step of adjusting a mirror; and a step of adjusting the elongated mirror so that light incident on the second target block is incident along the second target. How to adjust the long mirror.
射光の少なくとも一部を前記露光面側に導光するターゲ
ットを用い、 前記長尺ミラーからの光を前記第1および第2ターゲッ
トに同時に入射させ、前記第1ターゲットへの入射光が
前記第1ターゲットに沿って入射するととともに、前記
第2ターゲットに入射する入射光が前記第2ターゲット
に沿って入射するように、前記長尺ミラーを調整するこ
とを特徴とする請求項5記載の光学装置における長尺ミ
ラーの調整方法。6. A target for guiding at least a part of incident light to the exposure surface side is used as the first target block, and light from the elongated mirror is made incident on the first and second targets at the same time. Adjusting the elongated mirror so that incident light on the first target enters along the first target and incident light on the second target enters along the second target. The method for adjusting a long mirror in an optical device according to claim 5, wherein.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5635096A JPH09243902A (en) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | Optical device having adjusting mechanism for long-sized mirror and method for adjusting long-sized mirror for this device |
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---|---|---|---|
JP5635096A JPH09243902A (en) | 1996-03-13 | 1996-03-13 | Optical device having adjusting mechanism for long-sized mirror and method for adjusting long-sized mirror for this device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH09243902A true JPH09243902A (en) | 1997-09-19 |
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ID=13024791
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JP (1) | JPH09243902A (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006006721A1 (en) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Deutsche Thomsson Ohg | Adjustable bracket for a plate |
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1996
- 1996-03-13 JP JP5635096A patent/JPH09243902A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006006721A1 (en) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Deutsche Thomsson Ohg | Adjustable bracket for a plate |
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