JPH09240776A - Disk holding device - Google Patents
Disk holding deviceInfo
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- JPH09240776A JPH09240776A JP4601796A JP4601796A JPH09240776A JP H09240776 A JPH09240776 A JP H09240776A JP 4601796 A JP4601796 A JP 4601796A JP 4601796 A JP4601796 A JP 4601796A JP H09240776 A JPH09240776 A JP H09240776A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、円板状のディス
ク、例えば磁気ディスク等を保持する保持装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a holding device for holding a disc-shaped disc such as a magnetic disc.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気ディスクはディスク状基板、例えば
アルミニウム合金基板上にＮｉ−Ｐメッキ処理を施した
後、その表面にテキスチヤ加工した後、洗浄処理し、次
いで下地層、磁性層、保護層を順次成膜し、さらに潤滑
剤を塗布することにより得られる。上記の各工程への移
送は通常ディスク状基板を保持具へ収納して移送してい
る。2. Description of the Related Art A magnetic disk is formed by subjecting a disk-shaped substrate, for example, an aluminum alloy substrate, to a Ni-P plating treatment, texturing the surface of the substrate, and then washing the substrate. It is obtained by sequentially forming a film and then applying a lubricant. In the transfer to each of the above steps, the disk-shaped substrate is usually stored in a holder and transferred.
【０００３】このようなディスク保持装置として、特開
平７−１９３１１９号公報の図１には、第９図のように
多数のＶ溝１を有した棒状治具２を３本、ディスク３を
両横と真下から支えるように配置したものが記載されて
いる。また、同号公報の図１３には、第１０図のように
この棒状治具２をディスク３の左斜め下側及び右斜め下
側に配置し、ディスク３の中心の鉛直下方をオープンス
ペースとしたディスク保持装置が記載されている。この
ようにディスク３の中心の鉛直下方をオープンスペース
としておくと、ディスク３を下方から押上げ治具によっ
て突き上げることができ、ディスクを保持装置から取り
出し易くなる。As such a disk holding device, in FIG. 1 of Japanese Patent Laid-Open No. 7-193119, three rod-shaped jigs 2 having a large number of V grooves 1 as shown in FIG. It is described as being arranged so as to be supported from the side and directly below. Further, in FIG. 13 of the same publication, as shown in FIG. 10, the rod-shaped jigs 2 are arranged on the diagonally lower left side and diagonally lower right side of the disc 3, and the vertically downward center of the disc 3 is defined as an open space. Disk holders are described. By setting the space vertically below the center of the disk 3 as an open space, the disk 3 can be pushed up from below by a lifting jig, and the disk can be easily taken out of the holding device.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記従来の保持装置で
はディスクの外周部と棒状治具２の溝１との接触面積が
大きく、例えば、テキスチャ加工後のディスク基板を洗
浄処理する際、ディスク外周部と溝との接触部での洗浄
が不十分となる問題があった。In the above-mentioned conventional holding device, the contact area between the outer peripheral portion of the disk and the groove 1 of the rod-shaped jig 2 is large. For example, when cleaning the disk substrate after texture processing, There is a problem that cleaning at the contact portion between the groove and the groove becomes insufficient.
【０００５】本発明は、ディスクと棒状治具との接触面
積がきわめて小さく、しかもディスクを安定して保持す
ることが可能なディスク保持装置を提供することを目的
とする。An object of the present invention is to provide a disc holding device which has a very small contact area between the disc and the rod-shaped jig and which can stably hold the disc.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】請求項１のディスク保持
装置は、長手方向を水平にして配置された複数本のディ
スク支承用の棒状治具を備え、各棒状治具にはディスク
の周縁部が係合する凹所が該棒状治具の長手方向に間隔
をおいて複数設けられており、該棒状治具は該ディスク
の鉛直下方部以外の箇所に配置されているディスク保持
装置において、該棒状治具は薄板状であって且つその長
手辺の一方に前記凹所が設けられていることを特徴とす
るものである。A disk holding device according to claim 1 is provided with a plurality of bar-shaped jigs for supporting a disk, the longitudinal direction of which is horizontal, and each bar-shaped jig has a peripheral edge portion of the disk. A plurality of recesses that are engaged with each other are provided at intervals in the longitudinal direction of the rod-shaped jig, and the rod-shaped jig is disposed in a portion other than the vertically lower portion of the disc. The rod-shaped jig has a thin plate shape and is provided with the recess on one of its long sides.
【０００７】かかる本発明のディスク保持装置にあって
は、棒状治具が薄板状であり、この薄板の側辺部に形成
された凹所にディスクが係合保持されるため、ディスク
と棒状治具との接触面積がきわめて小さなものとなる。In the disc holding apparatus of the present invention, the rod-shaped jig is a thin plate, and the disc is engaged and held in the recess formed in the side portion of the thin plate. The contact area with the tool is extremely small.
【０００８】請求項２のディスク保持装置は、請求項１
において、前記棒状治具は、ディスクの中心を通る鉛直
線を挟んで両側に２本ずつ配置されていることを特徴と
するものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided the disk holding device according to the first aspect.
In the above, the bar-shaped jigs are arranged two on each side of a vertical line passing through the center of the disc.
【０００９】かかるディスク保持装置にあっては、ディ
スクが４点で支持されるため、ディスクがきわめて安定
して保持されるようになる。また、ディスクの中心の鉛
直下方がオープンとなり、水溜りによるしみの発生が抑
制できるほか、ディスクを下方から治具で押し上げるこ
とも可能である。In such a disk holding device, since the disk is supported at four points, the disk can be held very stably. In addition, the vertical lower part of the center of the disc becomes open, so that the generation of stains due to water pool can be suppressed, and the disc can be pushed up from below by a jig.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】第１〜４図は本発明の第１の実施
の形態を示すものであり、第１図は斜視図、第２図は第
１図のII−II線に沿う断面図、第３，４図は棒状治具の
構成図である。1 to 4 show a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a perspective view, and FIG. 2 is a cross section taken along line II-II of FIG. FIGS. 3 and 4 are configuration diagrams of a rod-shaped jig.
【００１１】このディスク保持装置は、枠体５内に４本
の棒状治具６，７を水平に配設してなる。この枠体５
は、１対の短手アングル８，８間に２対の長手アングル
９，９、１０，１０を架け渡した構成のものであり、平
面視形状が長方形の枠状となっている。なお、長手アン
グル９は長手アングル１０よりも外側且つ上位に配置さ
れている。In this disk holding device, four bar jigs 6 and 7 are horizontally arranged in a frame body 5. This frame 5
Has a configuration in which two pairs of longitudinal angles 9, 9, 10 and 10 are bridged between a pair of short angles 8 and 8 and has a rectangular frame shape in plan view. The longitudinal angle 9 is arranged outside and above the longitudinal angle 10.
【００１２】この長手アングル９に棒状治具６が取り付
けられ、長手アングル１０に棒状治具７が取り付けられ
ている。The rod-shaped jig 6 is attached to the longitudinal angle 9, and the rod-shaped jig 7 is attached to the longitudinal angle 10.
【００１３】棒状治具６，７は、それぞれ薄板状のもの
であり、長手辺の一方に多数の凹所（Ｖノッチ）６ａ、
７ａを備えている。各棒状治具６，７の長手方向の両端
に脚片部６ｂ、７ｂが設けられており、これらの脚片部
６ｂ、７ｂがボルト１１によって長手アングル９，１０
に固定されている。Each of the rod-shaped jigs 6 and 7 is in the form of a thin plate and has a large number of recesses (V notches) 6a on one of its long sides.
7a. Leg pieces 6b, 7b are provided at both ends in the longitudinal direction of each rod-shaped jig 6, 7, and these leg pieces 6b, 7b are attached to the longitudinal angles 9, 10 by bolts 11.
It is fixed to.
【００１４】棒状治具６，７の本体部分６ｃ、７ｃはそ
れぞれ枠体５の中央側に向って上り勾配となるように傾
斜している。この本体部分６ｃ，７ｃの長手辺のうち上
位側の辺に凹所としてのＶノッチ６ａ，７ａが治具６，
７の長手方向に一定間隔で設けられている。第２図に明
示の通り、棒状治具６の本体部分６ｃの方が棒状治具７
の本体部分７ｃよりも傾斜が緩やかなものとなってい
る。The body portions 6c and 7c of the rod-shaped jigs 6 and 7 are inclined so as to have an upward slope toward the center side of the frame body 5, respectively. V notches 6a and 7a as recesses are provided on the upper side of the long sides of the main body portions 6c and 7c.
7 are provided at regular intervals in the longitudinal direction. As clearly shown in FIG. 2, the main body portion 6c of the rod-shaped jig 6 is closer to the rod-shaped jig 7.
The inclination is gentler than that of the main body portion 7c.
【００１５】この実施の形態ではＶノッチ６ａ、７ａの
開き角度は１２０°となっている。また、第２図のよう
に、左側の棒状治具６、７の内縁を結ぶ直線Ｌ1 と右側
の棒状治具６、７の内縁を結ぶ直線Ｌ2 との交叉角度θ
1 は５５°となっている。In this embodiment, the opening angle of the V notches 6a and 7a is 120 °. Further, as shown in FIG. 2 , a crossing angle θ between a straight line L 1 connecting the inner edges of the left bar jigs 6 and 7 and a straight line L 2 connecting the inner edges of the right bar jigs 6 and 7
1 is 55 °.
【００１６】このように構成されたディスク保持装置に
対し、第２図のようにディスク３をＶノッチ６ａ、７ａ
に係止して立てるようにして保持させる。As shown in FIG. 2, the disk holding device having the above-mentioned structure is provided with V notches 6a and 7a.
Hold it so that it stands upright.
【００１７】このディスク保持装置にあっては、棒状治
具６、７が薄板状であり、この薄板の側辺部に形成され
たＶノッチ６ａ、７ａにディスク３が係合保持されるた
め、ディスク３と棒状治具６、７との接触面積がきわめ
て小さなものとなる。In this disc holding device, the rod-shaped jigs 6 and 7 are thin plates, and the discs 3 are engaged and held by the V notches 6a and 7a formed on the sides of the thin plates. The contact area between the disk 3 and the rod-shaped jigs 6 and 7 becomes extremely small.
【００１８】また、この実施の形態のディスク保持装置
にあっては、第２図のようにディスク３が４点で支持さ
れるため、ディスク３がきわめて安定して保持されるよ
うになる。さらに、第２図の通り、水槽から引き上げた
際に最も水の残りやすいディスク３の中心の鉛直下方が
オープンであるため水じみによるエラーが低減されるほ
か、ディスク３を下方から治具で押し上げることも可能
である。Further, in the disc holding apparatus of this embodiment, the disc 3 is supported at four points as shown in FIG. 2, so that the disc 3 can be held very stably. Further, as shown in FIG. 2, since the vertical lower part of the center of the disc 3 where water is most likely to remain when it is pulled out from the water tank is open, errors due to water bleeding are reduced and the disc 3 is pushed up from below by a jig. It is also possible.
【００１９】第５〜８図は本発明の第２の実施の形態に
係るディスク保持装置を示すものであり、第５図（ａ）
はディスク保持装置の側面図、第５（ｂ），（ｃ）は第
５図（ａ）のＢ及びＣ部分の斜視図、第６図はディスク
保持装置の平面図、第７図は棒状治具の構成図である。5 to 8 show a disk holding device according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 (a).
Is a side view of the disk holding device, FIGS. 5 (b) and 5 (c) are perspective views of portions B and C of FIG. 5 (a), FIG. 6 is a plan view of the disk holding device, and FIG. It is a block diagram of an ingredient.
【００２０】このディスク保持装置も、枠体１３に棒状
治具１４、１５を２本ずつ平行に設置したものであり、
各棒状治具１４、１５に凹所としてのＶノッチ１４ａ、
１５ａが多数設けられている。This disk holding device is also one in which two bar jigs 14 and 15 are installed in parallel on the frame body 13,
Each bar jig 14, 15 has a V notch 14a as a recess,
Many 15a are provided.
【００２１】枠体１３は、１対の側板１６、１６同士を
タイロッド１７及びナット１８で連結したものである。
側板１６の内側面にブロック１９、２０が取り付けら
れ、このブロック１９、２０に棒状治具１４、１５の脚
片部１４ｂ、１５ｂがボルト２１によって固定されてい
る。The frame 13 has a pair of side plates 16 and 16 connected to each other by a tie rod 17 and a nut 18.
Blocks 19 and 20 are attached to the inner surface of the side plate 16, and the leg pieces 14b and 15b of the rod-shaped jigs 14 and 15 are fixed to the blocks 19 and 20 with bolts 21.
【００２２】棒状治具１４，１５は、棒状治具６、７と
同様に薄板状であり、長手方向の両端に該脚片部１４
ｂ、１５ｂが設けられている。棒状治具１４、１５の本
体部分１４ｃ、１５ｃの一方の長手辺に該Ｖノッチ１４
ａ、１５ａが連続的に一定間隔で多数設けられている。
この本体部分１４ｃ、１５ｃは枠体１３の中央に向って
上り勾配となっている。枠体中央側に配置された棒状治
具１５の本体部分１５ｃは、それよりも外側に配置され
た棒状治具１４の本体部分１４ｃよりも傾斜角度が立っ
たものとなっている。The rod-shaped jigs 14 and 15 are thin plate-shaped like the rod-shaped jigs 6 and 7, and have the leg pieces 14 at both ends in the longitudinal direction.
b and 15b are provided. The V notch 14 is formed on one longitudinal side of the body portions 14c, 15c of the rod-shaped jigs 14, 15.
A large number of a and 15a are continuously provided at regular intervals.
The main body portions 14c and 15c have an upward slope toward the center of the frame body 13. The main body portion 15c of the rod-shaped jig 15 arranged on the center side of the frame has an inclination angle higher than that of the main body portion 14c of the rod-shaped jig 14 arranged outside thereof.
【００２３】第５図（ａ）の通り、左側の棒状治具１
４、１５の内縁を結ぶ直線Ｌ3 と右側の棒状治具１４、
１５の内縁を結ぶ直線Ｌ4 との交叉角度θ2 は９０°と
なっている。また、第７図の通り、Ｖノッチ１４ａ，１
５ａの開き角度は１２０℃となっている。As shown in FIG. 5 (a), the rod-shaped jig 1 on the left side
A straight line L 3 connecting the inner edges of 4 and 15 and the bar jig 14 on the right side,
The intersection angle θ 2 with the straight line L 4 connecting the inner edges of 15 is 90 °. Further, as shown in FIG. 7, the V notches 14a, 1
The opening angle of 5a is 120 ° C.
【００２４】この第２の実施の形態に係るディスク保持
装置においても、ディスク３と棒状治具１４、１５との
接触面積が小さい。また、ディスク３を４点で安定保持
できる。さらに、ディスク３の中心の鉛直下方がオープ
ンとなっており、ディスク３を下から治具で押し上げる
ことが可能である。Also in the disk holding device according to the second embodiment, the contact area between the disk 3 and the rod-shaped jigs 14 and 15 is small. Further, the disk 3 can be stably held at four points. Further, the vertically lower part of the center of the disc 3 is open, and the disc 3 can be pushed up from below by a jig.
【００２５】なお、本発明において、Ｖノッチの開き角
度は、９０〜１３０°であることが好ましい。また、上
記の交叉角度θ1 、θ2 は５０〜９０°であることが好
ましい。In the present invention, the opening angle of the V notch is preferably 90 to 130 °. Further, the above-mentioned crossing angles θ 1 and θ 2 are preferably 50 to 90 °.
【００２６】枠体５，１３や棒状治具６，７，１４，１
５の材質としてはステンレス等の耐食性の金属や、フッ
素樹脂等の合成樹脂が好適である。Frames 5, 13 and rod-shaped jigs 6, 7, 14, 1
As the material of 5, a corrosion resistant metal such as stainless steel or a synthetic resin such as a fluororesin is suitable.
【００２７】上記実施の形態ではディスクを４点で支持
しているが、５点以上で支持しても良い。Although the disk is supported at four points in the above embodiment, it may be supported at five points or more.
【００２８】本発明では、上記実施の形態のように、Ｖ
ノッチのディスク当接面を傾斜させ、該当接面に液が溜
まりにくくするのが好ましい。In the present invention, as in the above embodiment, V
It is preferable that the disk contact surface of the notch is inclined so that liquid does not easily accumulate on the contact surface.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上の通り、本発明のディスク保持装置
は、ディスクと棒状治具との接触面が小さく、ディスク
の全体を十分に洗浄できる。本発明では、ディスクを安
定して保持することも可能である。As described above, in the disk holding device of the present invention, the contact surface between the disk and the rod-shaped jig is small, and the entire disk can be sufficiently cleaned. According to the present invention, it is possible to hold the disk stably.
【図１】第１の実施の形態に係るディスク保持装置の斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view of a disk holding device according to a first embodiment.
【図２】図１のII−II線に沿う断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG.
【図３】（ａ）図は長手アングル６の正面図、（ｂ）図
は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。3A is a front view of the longitudinal angle 6 and FIG. 3B is a sectional view taken along line BB of FIG. 3A.
【図４】（ａ）図は長手アングル７の正面図、（ｂ）図
は（ａ）図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。4A is a front view of the longitudinal angle 7, and FIG. 4B is a sectional view taken along line BB in FIG. 4A.
【図５】（ａ）図は第２の実施の形態に係るディスク保
持装置の側面図、（ｂ）図及び（ｃ）図はその要部斜視
図である。FIG. 5A is a side view of a disk holding device according to a second embodiment, and FIGS. 5B and 5C are perspective views of relevant parts.
【図６】第２の実施の形態に係るディスク保持装置の平
面図である。FIG. 6 is a plan view of a disk holding device according to a second embodiment.
【図７】（ａ）図は棒状治具１４の正面図、（ｂ）図は
その側面図である。7A is a front view of the rod-shaped jig 14, and FIG. 7B is a side view thereof.
【図８】（ａ）図は棒状治具１５の正面図、（ｂ）図は
その側面図である。8A is a front view of the rod-shaped jig 15, and FIG. 8B is a side view thereof.
【図９】従来のディスク保持装置の斜視図である。FIG. 9 is a perspective view of a conventional disc holding device.
【図１０】別の従来のディスク保持装置の側面図であ
る。FIG. 10 is a side view of another conventional disk holding device.
２，６，７，１４，１５ 棒状治具 ３ ディスク ５，１３ 枠体 ６ａ，７ａ，１４ａ，１５ａ 凹所（Ｖノッチ） 2, 6, 7, 14, 15 Rod-shaped jig 3 Disk 5, 13 Frame 6a, 7a, 14a, 15a Recess (V notch)
Claims (2)
のディスク支承用の棒状治具を備え、各棒状治具にはデ
ィスクの周縁部が係合する凹所が該棒状治具の長手方向
に間隔をおいて複数設けられており、該棒状治具は該デ
ィスクの鉛直下方部以外の箇所に配置されているディス
ク保持装置において、該棒状治具は薄板状であって且つ
その長手辺の一方に前記凹所が設けられていることを特
徴とするディスク保持装置。1. A rod-like jig for supporting a plurality of discs arranged horizontally in a longitudinal direction, wherein each rod-like jig has a recess for engaging a peripheral edge of the disc with the longitudinal direction of the rod-like jig. A plurality of rod-shaped jigs are provided at intervals in the direction, and the rod-shaped jigs are arranged at positions other than the vertically lower portion of the disc. A disk holding device, wherein the recess is provided on one side.
ィスクの中心を通る鉛直線を挟んで両側に２本ずつ配置
されていることを特徴とするディスク保持装置。2. The disc holding device according to claim 1, wherein two rod-shaped jigs are arranged on each side of a vertical line passing through the center of the disc.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4601796A JPH09240776A (en) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | Disk holding device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4601796A JPH09240776A (en) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | Disk holding device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09240776A true JPH09240776A (en) | 1997-09-16 |
Family
ID=12735290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4601796A Pending JPH09240776A (en) | 1996-03-04 | 1996-03-04 | Disk holding device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09240776A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000074111A3 (en) * | 1999-05-27 | 2001-04-26 | Lam Res Corp | Apparatus and methods for drying batches of wafers |
-
1996
- 1996-03-04 JP JP4601796A patent/JPH09240776A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2000074111A3 (en) * | 1999-05-27 | 2001-04-26 | Lam Res Corp | Apparatus and methods for drying batches of wafers |
| WO2000074116A3 (en) * | 1999-05-27 | 2001-06-14 | Oliver Design Inc | Apparatus and methods for drying batches of disks |
| US6430841B1 (en) | 1999-05-27 | 2002-08-13 | Lam Research Corporation | Apparatus for drying batches of wafers |
| US6446355B1 (en) | 1999-05-27 | 2002-09-10 | Lam Research Corporation | Disk drying apparatus and method |
| US6615510B2 (en) | 1999-05-27 | 2003-09-09 | Lam Research Corporation | Wafer drying apparatus and method |
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