JPH09236916A - Resin composition curable by crosslinking laminated body and curing method - Google Patents

Resin composition curable by crosslinking laminated body and curing method

Info

Publication number
JPH09236916A
JPH09236916A JP8066742A JP6674296A JPH09236916A JP H09236916 A JPH09236916 A JP H09236916A JP 8066742 A JP8066742 A JP 8066742A JP 6674296 A JP6674296 A JP 6674296A JP H09236916 A JPH09236916 A JP H09236916A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
resin composition
parts
curable resin
meth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8066742A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Yanagase
昭 柳ケ瀬
Tadayuki Fujiwara
匡之 藤原
Kazumi Senda
数実 千田
Haruichi Nomi
晴一 乃美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Rayon Co Ltd filed Critical Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority to JP8066742A priority Critical patent/JPH09236916A/en
Publication of JPH09236916A publication Critical patent/JPH09236916A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Polyurethanes Or Polyureas (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable the roughening of the surface of a resist by acid or alkali solvent treatment after curing. SOLUTION: This resin composition is prepd. by blending 30-60 pts.wt. at least one kind of ethylenic unsatd. compd. having two or more (meth)acryloyloxy groups in one molecule with 30-60 pts.wt. polymer for a binder contg. 15-30wt.% at least one kind of α,β-unsatd. carboxyl group-contg. monomer and 5-30wt.% at least one kind of hydroxyl group-contg. monomer, 10-30 pts.wt. water-soluble polymer for a binder contg. 10-40wt.% hydroxyl group-contg. monomer and 1-20 pts.wt. block polyisocyanate compd., and 100 pts.wt. of the composition is further blended with 0.001-10 pts.wt. photopolymn. initiator to obtain the objective resin compsn. In order to ensure a sufficiently large film thickness on a pattern, the resin compsn. is used in the form of a dry film resist using a substrate film having a roughened surface.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、保護被膜、構造材
料、特にビルドアップ方式多層配線プリント基板の層間
絶縁膜として用いられるソルダーレジスト等として有用
な架橋硬化型樹脂組成物及びそれを用いた積層体に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crosslinkable curable resin composition useful as a protective film, a structural material, particularly a solder resist used as an interlayer insulating film of a build-up type multilayer wiring printed circuit board, and a laminate using the same. Regarding the body

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ビルドアップ方式により配線層を
多層に積層して多層配線プリント基板を形成する際、層
間絶縁膜と導通回路および絶縁膜間の密着性を向上させ
るために、絶縁層表面を粗化してアンカー効果を持たせ
る方法が知られている。そのひとつの例として、酸やア
ルカリにて溶解可能な、水酸化物、炭酸塩、硫酸塩等の
無機充填剤あるいは耐熱性の樹脂粉末を混入した感光性
樹脂の有機溶剤溶液を基板上に塗布し、熱により溶剤を
乾燥させて形成した絶縁層を硬化した後、酸やアルカリ
の溶液にて前記充填剤あるいは樹脂粉末を溶解させるこ
とで絶縁層表面の粗化を行う方法が知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, when a multilayer wiring printed circuit board is formed by stacking wiring layers in a multilayer structure by a build-up method, in order to improve the adhesion between the interlayer insulating film and the conductive circuit and the insulating film, the surface of the insulating layer is improved. There is known a method of roughening the surface to give an anchor effect. As one example, an organic solvent solution of a photosensitive resin mixed with an inorganic filler such as hydroxide, carbonate, or sulfate, which is soluble in acid or alkali, or heat-resistant resin powder, is applied on a substrate. Then, a method of roughening the surface of the insulating layer by dissolving the filler or the resin powder with an acid or alkali solution after curing the insulating layer formed by drying the solvent by heat is known. .

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では、部品の半田付けをしない小径のスルーホールに
テンティングができないことや、パターン上の膜厚を十
分に確保できない点、感光性樹脂の有機溶剤溶液の塗布
・乾燥に伴うプロセスの煩雑化といった点が問題であっ
た。
However, according to this method, it is not possible to perform tenting on a small-diameter through hole in which parts are not soldered, and it is not possible to secure a sufficient film thickness on the pattern. The problem is that the process is complicated due to the coating and drying of the solvent solution.

【0004】従ってパターン上の膜厚を十分に確保する
ためにはドライフィルムレジスト(以下「DFR」とい
う)を減圧下で熱圧着する方法が考えられるが、従来の
組成のDFRでは溶剤等による表面の粗化は困難であっ
た。また、従来のDFR組成成分に上記無機充填剤や樹
脂粉末を混入すると、平滑なDFRが製造できなかっ
た。
Therefore, in order to secure a sufficient film thickness on the pattern, a method of thermocompression bonding a dry film resist (hereinafter referred to as "DFR") under reduced pressure is conceivable. Was difficult to roughen. Further, when the above-mentioned inorganic filler or resin powder was mixed into the conventional DFR composition component, a smooth DFR could not be manufactured.

【0005】本発明の目的は、硬化後に酸やアルカリ等
の溶剤処理によってレジスト表面の粗化が可能な架橋硬
化型樹脂脂組成物を提供することにあり、また密着性が
良好な層間絶縁膜を形成可能な積層体を提供することに
ある。
An object of the present invention is to provide a crosslinkable curable resin / fat composition capable of roughening the resist surface by curing with a solvent such as acid or alkali after curing, and also an interlayer insulating film having good adhesion. It is to provide a laminate capable of forming.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、1分子
中に2個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する
エチレン性不飽和化合物(A)の少なくとも1種30〜
60重量部、α,β−不飽和カルボキシル基含有単量体
(b−1)の少なくとも1種15〜30重量%、ヒドロ
キシル基含有単量体(b−2)の少なくとも1種5〜3
0重量%及び他の共重合可能な単量体(b−3)40〜
80重量%からなるバインダー用重合体(B)30〜6
0重量部、ヒドロキシル基含有単量体単位を10〜40
重量%含む水溶性のバインダー用重合体(C)10〜3
0重量部、ブロック型ポリイソシアネート化合物(D)
1〜20重量部、及び前記(A),(B),(C),
(D)成分の合計100重量部に対して、光重合開始剤
(E)が0.001〜10重量部配合されてなる架橋硬
化型樹脂組成物にある。また本発明の要旨は、サンドマ
ットあるいはケミカルマット加工による粗化面を有する
支持フィルム、前記の架橋硬化型樹脂組成物及び保護フ
ィルムを順次積層してなる積層体にある。更に本発明の
要旨は、これらの樹脂組成物を光照射と熱処理を併用し
て架橋硬化させる方法にある。
The gist of the present invention is to provide at least one ethylenically unsaturated compound (A) having two or more (meth) acryloyloxy groups in one molecule.
60 parts by weight, at least one kind of α, β-unsaturated carboxyl group-containing monomer (b-1) 15 to 30% by weight, at least one kind of hydroxyl group-containing monomer (b-2) 5 to 3
0% by weight and other copolymerizable monomer (b-3) 40-
30 to 6 polymer (B) for binder comprising 80% by weight
0 to 40 parts by weight of the hydroxyl group-containing monomer unit
Water-soluble binder polymer (C) containing 10 to 3% by weight
0 parts by weight, block type polyisocyanate compound (D)
1 to 20 parts by weight, and (A), (B), (C),
The cross-linking curable resin composition comprises 0.001 to 10 parts by weight of the photopolymerization initiator (E) based on 100 parts by weight of the component (D). Further, the gist of the present invention is a laminate obtained by sequentially laminating a support film having a roughened surface by sand mat or chemical mat processing, the above-mentioned cross-linking curable resin composition and a protective film. Further, the gist of the present invention resides in a method of crosslinking and curing these resin compositions by using light irradiation and heat treatment in combination.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】本発明の架橋硬化型樹脂組成物は
DFRの形態にして使用するのが便利である。DFR
は、架橋硬化型樹脂組成物を適当な溶剤に溶解させたド
ープを調製し、これをポリエステルフィルム等の支持フ
ィルム上に塗工し、乾燥させて樹脂層を形成することに
よって製造される。樹脂層上には更にポリエチレンフィ
ルム等の保護フィルムをラミネートすることもできる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The crosslinkable curable resin composition of the present invention is conveniently used in the form of DFR. DFR
Is prepared by dissolving a cross-linking curable resin composition in an appropriate solvent to prepare a dope, coating the dope on a supporting film such as a polyester film, and drying the dope to form a resin layer. A protective film such as a polyethylene film may be laminated on the resin layer.

【0008】本発明の架橋硬化型樹脂組成物に使用する
1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を
有するエチレン性不飽和化合物(A)としては、多価ア
ルコールの(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。
例えば、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、
ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ポリ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロ
ピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2,2−ビ
ス[4−(メタ)アクリロイルオキシポリエトキシフェ
ニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタ)アクリロ
イルオキシポリプロピレンオキシフェニル]プロパン、
ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メ
タ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレー
ト、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロ
ールエタンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエ
タントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパ
ンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパント
リ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
ス[エトキシ(メタ)アクリレート]、トリメチロール
プロパントリス[ジエトキシ(メタ)アクリレート]、
トリメチロールプロパントリス[トリエトキシ(メタ)
アクリレート]、イソシアヌル酸トリエチロールジ(メ
タ)アクリレート、イソシアヌル酸トリエチロールトリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)ア
クリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アク
リレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アク
リレート等が挙げられる。更に、エポキシ(メタ)アク
リレート類、ウレタン(メタ)アクリレート類、(メ
タ)アクリルアミド類などが使用可能であり、これらは
1種または2種以上を混合して使用することができる。
The ethylenically unsaturated compound (A) having two or more (meth) acryloyloxy groups in one molecule used in the crosslinkable curable resin composition of the present invention is a polyhydric alcohol (meth) acryl. An acid ester is mentioned.
For example, 1,3-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate,
Neopentyl glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, 2,2-bis [4- (meth) acryloyloxypolyethoxyphenyl] propane, 2,2-bis [ 4- (meth) acryloyloxypolypropyleneoxyphenyl] propane,
Hydroxypivalic acid neopentyl glycol di (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolethane di (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) ) Acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tris [ethoxy (meth) acrylate], trimethylolpropane tris [diethoxy (meth) acrylate],
Trimethylolpropane tris [triethoxy (meth)
Acrylate], isocyanuric acid triethylol di (meth) acrylate, isocyanuric acid triethylol tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate
Examples thereof include acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate. Furthermore, epoxy (meth) acrylates, urethane (meth) acrylates, (meth) acrylamides, etc. can be used, and these can be used 1 type or in mixture of 2 or more types.

【0009】上記エチレン性不飽和化合物(A)は樹脂
成分100重量部中に30〜60重量部含有される。3
0重量部未満の場合には、得られる架橋硬化樹脂の架橋
密度が低くなりすぎて、耐薬品性、半田耐熱性、高湿度
下での電気絶縁性が大幅に低下する。一方、エチレン性
不飽和化合物(A)の含有量が60重量部を越える場合
には、ドライフィルムレジストとしたときにコールドフ
ローが発生し易くなったり、得られる架橋硬化樹脂の架
橋密度が高くなりすぎて、重合収縮歪みが大きくなり、
基材に対する密着性が低下するおそれがある。
The ethylenically unsaturated compound (A) is contained in an amount of 30 to 60 parts by weight based on 100 parts by weight of the resin component. 3
When the amount is less than 0 parts by weight, the crosslink density of the obtained crosslinked cured resin becomes too low, and chemical resistance, solder heat resistance, and electrical insulation under high humidity are significantly reduced. On the other hand, when the content of the ethylenically unsaturated compound (A) exceeds 60 parts by weight, cold flow is likely to occur in a dry film resist, and the crosslinking density of the obtained crosslinked cured resin becomes high. Too much, the polymerization shrinkage strain becomes large,
Adhesion to the substrate may decrease.

【0010】本発明により得られる架橋硬化樹脂がフレ
キシブル基板等のソルダーレジストや、ガラス、プラス
チック、金属、またはそれらの複合材料からなる基材の
保護膜で、特に柔軟性が要求されるような場合には、架
橋硬化型樹脂組成物中に配合されるエチレン性不飽和化
合物(A)全体の(メタ)アクリロイル基濃度が0.0
01〜0.003モル/g程度の範囲であることが好ま
しい。(メタ)アクリロイル基の濃度が低すぎると、得
られる架橋硬化型樹脂組成物の光に対する感度が低下
し、工業上好ましくない。更に、この樹脂組成物を硬化
して得られる架橋硬化樹脂の架橋密度が低くなりすぎ
て、半田耐熱性、耐溶剤性、電気絶縁性が低下するおそ
れがある。一方、濃度が高すぎると、得られる架橋硬化
樹脂が硬くて脆い性質を帯びてくるため、フレキシブル
基板や柔軟性の要求される基材の保護膜として適当でな
い。
When the cross-linking cured resin obtained by the present invention is a protective film for a solder resist such as a flexible substrate or a base material made of glass, plastic, metal, or a composite material thereof, where flexibility is particularly required. The total (meth) acryloyl group concentration of the ethylenically unsaturated compound (A) contained in the crosslinkable curable resin composition is 0.0.
It is preferably in the range of about 01 to 0.003 mol / g. If the concentration of the (meth) acryloyl group is too low, the sensitivity of the resulting cross-linkable curable resin composition to light is lowered, which is industrially undesirable. Further, the crosslink density of the crosslinked cured resin obtained by curing this resin composition may be too low, and the solder heat resistance, solvent resistance, and electrical insulation may be reduced. On the other hand, if the concentration is too high, the resulting crosslinked cured resin becomes hard and brittle, and is not suitable as a protective film for a flexible substrate or a base material requiring flexibility.

【0011】本発明の架橋硬化型樹脂組成物を構成する
バインダー用重合体(B)は、炭酸ナトリウム等のアル
カリ希薄水溶液で現像できるよう、α,β−不飽和カル
ボキシル基含有単量体(b−1)の少なくとも1種を共
重合体成分として15〜30重量%なる範囲で共重合さ
せることが必要である。
The binder polymer (B) constituting the cross-linking curable resin composition of the present invention comprises an α, β-unsaturated carboxyl group-containing monomer (b) so that it can be developed with a dilute aqueous alkali solution such as sodium carbonate. It is necessary to copolymerize at least one of -1) as a copolymer component in an amount of 15 to 30% by weight.

【0012】該単量体の具体例としては、例えば、(メ
タ)アクリル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、ソルビン酸、
イタコン酸、プロピオン酸、マレイン酸、及びフマル酸
等が挙げられ、また、これらの半エステル類または無水
物も使用可能である。これらのうち最も好ましい化合物
はアクリル酸およびメタクリル酸である。
Specific examples of the monomer include (meth) acrylic acid, cinnamic acid, crotonic acid, sorbic acid,
Examples thereof include itaconic acid, propionic acid, maleic acid, and fumaric acid, and their half-esters or anhydrides can also be used. The most preferred of these are acrylic acid and methacrylic acid.

【0013】バインダー用重合体(B)中における単量
体(b−1)の含有量は、15〜30重量%の範囲であ
ることが必要である。15重量%未満ではアルカリ水溶
液によって現像ができないか、又は現像時間が長くなり
すぎて解像度の低下を引き起こすため好ましくない。一
方、30重量%を越える場合には、硬化後の架橋硬化樹
脂の吸水率が大きくなり、アルカリ脱脂に耐えられない
ばかりでなく、高湿度条件下での電気絶縁性が大幅に低
下する。
The content of the monomer (b-1) in the polymer (B) for binder needs to be in the range of 15 to 30% by weight. If it is less than 15% by weight, the development cannot be performed with an alkaline aqueous solution, or the development time becomes too long and the resolution is lowered. On the other hand, when it exceeds 30% by weight, the water absorption of the cross-linked cured resin after curing becomes large, and not only it cannot withstand alkali degreasing, but also the electrical insulation property under high humidity conditions is significantly reduced.

【0014】バインダー用重合体(B)はブロック型ポ
リイソシアネート化合物(D)を熱架橋剤として利用す
るために、ヒドロキシル基含有単量体(b−2)の少な
くとも1種を共重合体成分として用いる。
Since the polymer (B) for binder uses the block type polyisocyanate compound (D) as a thermal crosslinking agent, at least one of the hydroxyl group-containing monomer (b-2) is used as a copolymer component. To use.

【0015】単量体(b−2)の具体例としては、例え
ば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒ
ドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシ
ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル
(メタ)アクリレート、6−ヒドロキシヘキシル(メ
タ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アク
リレート類が使用可能である。
Specific examples of the monomer (b-2) include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl ( Hydroxyalkyl (meth) acrylates such as (meth) acrylate and 6-hydroxyhexyl (meth) acrylate can be used.

【0016】バインダー用重合体(B)中における単量
体(b−2)の含有量としては、5〜30重量%の範囲
となるように用いることが必要である。5重量%未満で
はブロック型ポリイソシアネート化合物(D)による熱
架橋が十分でなくなり、硬化物の耐アルカリ性が低下
し、好ましくない。一方、30重量%を超える場合に
は、化合物(D)との反応が終了した後の未反応ヒドロ
キシル基残存量が多くなって架橋硬化樹脂の親水性が上
がりすぎるおそれがあるため、誘電率、体積抵抗等、種
々の電気特性に悪影響を及ぼすこともあり、好ましくな
い。
The content of the monomer (b-2) in the binder polymer (B) is required to be in the range of 5 to 30% by weight. If it is less than 5% by weight, thermal cross-linking by the block-type polyisocyanate compound (D) becomes insufficient and the alkali resistance of the cured product decreases, which is not preferable. On the other hand, when it exceeds 30% by weight, the amount of unreacted hydroxyl groups remaining after the reaction with the compound (D) is increased, and the hydrophilicity of the crosslinked cured resin may be excessively increased. It is not preferable because it may adversely affect various electrical characteristics such as volume resistance.

【0017】バインダー用重合体(B)の構成成分であ
る上記2種の単量体以外の共重合可能な単量体(b−
3)としては、特に限定されるものではなく、目的に応
じて任意に選択することが出来るが、具体的な例とし
て、アルキル基が1〜8個の炭素原子を有するアルキル
アクリレートまたはアルキルメタクリレートより選ばれ
る1種以上の重合性化合物が挙げられる。これらは単独
で、または2種以上を併用して用いられる。バインダー
用重合体(B)中における単量体(b−3)の含有量
は、40〜80重量%の範囲である。
Copolymerizable monomers (b-) other than the above-mentioned two kinds of monomers which are constituent components of the polymer (B) for binder.
3) is not particularly limited and may be arbitrarily selected according to the purpose. Specific examples include alkyl acrylate or alkyl methacrylate in which the alkyl group has 1 to 8 carbon atoms. One or more polymerizable compounds selected may be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. The content of the monomer (b-3) in the binder polymer (B) is in the range of 40 to 80% by weight.

【0018】単量体(b−3)として有用なアルキルア
クリレートの具体例としては、メチルアクリレート、エ
チルアクリレート、n−プロピルアクリレート、iso
−プロピルアクリレート、n−ブチルアクリレート、s
ec−ブチルアクリレート、t−ブチルアクリレート、
2−エチルヘキシルアクリレート等が挙げられる。
Specific examples of the alkyl acrylate useful as the monomer (b-3) include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate and iso.
-Propyl acrylate, n-butyl acrylate, s
ec-butyl acrylate, t-butyl acrylate,
2-ethylhexyl acrylate etc. are mentioned.

【0019】また、アルキルメタクリレートの例として
は、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n
−プロピルメタクリレート、iso−プロピルメタクリ
レート、n−ブチルメタクリレート、sec−ブチルメ
タクリレート、t−ブチルメタクリレート、2−エチル
ヘキシルメタクリレート等が挙げられる。
Examples of alkyl methacrylate include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n
-Propyl methacrylate, iso-propyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate and the like can be mentioned.

【0020】バインダー用重合体(B)は、重量平均分
子量が50,000〜200, 000の範囲のものが好
ましい。重量平均分子量が小さ過ぎるとドライフィルム
レジストとした際にコールドフロー現象を起こしやす
く、また、重量平均分子量が大き過ぎると未露光部のア
ルカリ現像液に対する溶解性が不足し、その現像性が劣
り、現像時間が長くかかりすぎ、解像度の低下を引き起
こしがちである。
The binder polymer (B) preferably has a weight average molecular weight in the range of 50,000 to 200,000. If the weight average molecular weight is too small, it tends to cause a cold flow phenomenon in the case of a dry film resist, and if the weight average molecular weight is too large, the unexposed portion has insufficient solubility in an alkaline developer, and its developability is poor, It takes a long time to develop and tends to cause a reduction in resolution.

【0021】本発明において使用するバインダー用重合
体(B)は、樹脂成分100重量部中に30〜60重量
部含有される。バインダー用重合体(B)の含有量が3
0重量部未満の場合には、得られるドライフィルムレジ
ストの感光層のフィルム形成性が損われ、十分な膜強度
が得られず、コールドフローが発生し易い。逆に、60
重量部を超える場合には硬化物の耐溶剤性が低下する。
The binder polymer (B) used in the present invention is contained in an amount of 30 to 60 parts by weight per 100 parts by weight of the resin component. The content of the polymer (B) for binder is 3
When the amount is less than 0 parts by weight, the film forming property of the photosensitive layer of the obtained dry film resist is impaired, sufficient film strength cannot be obtained, and cold flow is likely to occur. Conversely, 60
If the amount is more than parts by weight, the solvent resistance of the cured product decreases.

【0022】本発明の架橋硬化型樹脂組成物には、硬化
後の架橋硬化樹脂の表面を酸やアルカリ等にて粗化可能
にするために、ヒドロキシル基含有単量体成分の少なく
とも1種を10〜40重量%含む水溶性バインダー用重
合体(C)が含有される。水溶性バインダー用重合体
(C)としては、例えば、ポリビニルアルコール樹脂、
ポリビニルアルコールを酸触媒でアセタ−ル化して得ら
れるポリビニルアセタール樹脂等が挙げられる。
The cross-linking curable resin composition of the present invention contains at least one hydroxyl group-containing monomer component so that the surface of the cross-linked curable resin after curing can be roughened with an acid or an alkali. The polymer (C) for a water-soluble binder is contained in an amount of 10 to 40% by weight. Examples of the water-soluble binder polymer (C) include polyvinyl alcohol resin,
Examples thereof include polyvinyl acetal resins obtained by acetalizing polyvinyl alcohol with an acid catalyst.

【0023】水溶性バインダー用重合体(C)は、重量
平均分子量が10,000〜70,000の範囲のもの
が好ましい。重量平均分子量が小さ過ぎると得られるド
ライフィルムレジストの感光層と保護フィルムとの密着
性が高くなりすぎて、ドライフィルムレジストの使用工
程上の取り扱い性が低下してしまい好ましくない。ま
た、重量平均分子量が大き過ぎると硬化後の架橋硬化樹
脂の表面を酸やアルカリで処理しても粗化が困難にな
る。
The water-soluble binder polymer (C) preferably has a weight average molecular weight of 10,000 to 70,000. If the weight average molecular weight is too small, the adhesiveness between the photosensitive layer and the protective film of the obtained dry film resist becomes too high, and the handling property of the dry film resist in the use process is deteriorated, which is not preferable. If the weight average molecular weight is too large, roughening becomes difficult even if the surface of the crosslinked cured resin after curing is treated with acid or alkali.

【0024】上記水溶性バインダーポリマーが特にポリ
ビニルアセタール樹脂の場合、その単量体成分は、ビニ
ルアルコール単位、ビニルアセタール単位、酢酸ビニル
単位の三つからなるが、酢酸ビニルの割合が大きくなる
と樹脂が柔らかくなり熱変形温度が低下するため、DF
Rを熱圧着する際にフィルムが柔らかくなりすぎて作業
性が低下し好ましくない。また、ポリビニルアセタール
樹脂の分子量が同じ場合、ビニルアルコール単位の割合
が増加するほど、すなわちヒドロキシル基の濃度が高く
なるほど粘度が大きくなるため、DFRに加工する際に
扱いにくくなり好ましくない。従ってヒドロキシル基の
濃度を高くする際には、取り扱いの点も考慮して分子量
のコントロールを行う必要がある。
When the water-soluble binder polymer is a polyvinyl acetal resin, the monomer component thereof is composed of three units of vinyl alcohol unit, vinyl acetal unit, and vinyl acetate unit, and when the proportion of vinyl acetate increases, the resin becomes Since it becomes softer and the heat distortion temperature decreases, DF
When R is thermocompression-bonded, the film becomes too soft and the workability deteriorates, which is not preferable. Further, when the polyvinyl acetal resin has the same molecular weight, the viscosity increases as the proportion of vinyl alcohol units increases, that is, as the concentration of hydroxyl groups increases, which is not preferable because it becomes difficult to handle when processed into DFR. Therefore, when increasing the concentration of hydroxyl groups, it is necessary to control the molecular weight in consideration of handling.

【0025】本発明において使用する水溶性バインダー
用重合体(C)は、樹脂成分100重量部中に10〜3
0重量部含有される。水溶性バインダー用重合体(C)
の含有量が10重量部未満では、硬化後に酸やアルカリ
で処理を行っても十分な粗化ができず、十分な密着強度
が得られないため好ましくない。一方、30重量部を超
える場合には、硬化後の耐アルカリ性や耐溶剤性、耐熱
性等が著しく低下する。
The water-soluble binder polymer (C) used in the present invention is 10 to 3 in 100 parts by weight of the resin component.
0 parts by weight are contained. Polymer for water-soluble binder (C)
Is less than 10 parts by weight, it is not preferable because sufficient roughening cannot be achieved and sufficient adhesion strength cannot be obtained even after treatment with acid or alkali after curing. On the other hand, if it exceeds 30 parts by weight, the alkali resistance, solvent resistance, heat resistance, etc. after curing will be significantly reduced.

【0026】本発明の架橋硬化型樹脂組成物には、ブロ
ック型ポリイソシアネート化合物(D)が含有される。
ブロック型ポリイソシアネート化合物は、一般的にはブ
ロックイソシアネート、ブロック化ポリイソシアネート
とも呼ばれ、ポリイソシアネート化合物に、ある種の活
性水素を有する化合物(ブロック剤)を反応させた、常
温で安定な化合物である。
The crosslinkable curable resin composition of the present invention contains a block type polyisocyanate compound (D).
The block type polyisocyanate compound is generally called a block isocyanate or a blocked polyisocyanate, and is a compound stable at room temperature obtained by reacting a polyisocyanate compound with a compound (blocking agent) having a certain active hydrogen. is there.

【0027】本発明において使用するブロック型ポリイ
ソシアネート化合物として、例えば、トリレンジイソシ
アネート、キシリレンジイソシアネート、1,6−ヘキ
サメチレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメ
タンジイソシアネート、メチレンビス(4−シクロヘキ
シルイソシアネート)、トリメチルヘキサメチレンジイ
ソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ナフタレ
ンジイソシアネート並びにそれらのアダクト体、ビウレ
ット体、イソシアヌレート体等のプレポリマーをブロッ
ク剤にて安定化したものが挙げられるが、安全衛生上、
蒸気圧の低いプレポリマーを使用することが好ましく、
特に好ましくは、化学的、熱的に安定なイソシアヌレー
ト体である。
Examples of the block type polyisocyanate compound used in the present invention include tolylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, methylene bis (4-cyclohexyl isocyanate) and trimethyl. Hexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, naphthalene diisocyanate and their adducts, biurets, isocyanurates and the like pre-polymer stabilized with a blocking agent, for safety and hygiene,
It is preferable to use a prepolymer having a low vapor pressure,
Particularly preferred are isocyanurate compounds that are chemically and thermally stable.

【0028】本発明の樹脂組成物は、熱により再生した
イソシアネート基がバインダー用重合体(B)に含まれ
る水酸基あるいはカルボキシル基と反応することによ
り、バインダー用重合体(B)同士を架橋し、光により
架橋した硬化樹脂をより強靱にする。
In the resin composition of the present invention, the isocyanate group regenerated by heat reacts with the hydroxyl group or the carboxyl group contained in the binder polymer (B) to crosslink the binder polymers (B) with each other, Makes the cured resin crosslinked by light stronger.

【0029】ブロック型ポリイソシアネート化合物
(D)は、本発明の樹脂成分100重量部中に1〜20
重量部含有される。1重量部未満の場合には、硬化物の
高度な耐アルカリ性が十分には得られない。また20重
量部を越える場合には、解離したイソシアネート基が未
反応状態で樹脂中に残存して、硬化物の電気絶縁性等の
低下をまねくため好ましくない。
The block type polyisocyanate compound (D) is contained in an amount of 1 to 20 in 100 parts by weight of the resin component of the present invention.
It is contained in parts by weight. If the amount is less than 1 part by weight, a high degree of alkali resistance of the cured product cannot be sufficiently obtained. If the amount exceeds 20 parts by weight, the dissociated isocyanate groups remain in the resin in an unreacted state, which may lead to deterioration of the electrical insulating property of the cured product, which is not preferable.

【0030】本発明の樹脂成分を光重合させるための光
重合開始剤(E)としては、紫外線、可視光線等の光源
に合わせて従来公知のものが使用できる。紫外線用開始
剤の具体例としては、ベンゾフェノン、ミヒラーズケト
ン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、
t−ブチルアントラキノン、2−エチルアントラキノ
ン、チオキサントン類、ベンゾインアルキルエーテル
類、ベンジルジメチルケタール類等公知のものを用いる
ことができ、これらは2種以上を併用してもよい。
As the photopolymerization initiator (E) for photopolymerizing the resin component of the present invention, conventionally known ones can be used depending on the light source such as ultraviolet rays and visible rays. Specific examples of the UV initiator include benzophenone, Michler's ketone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone,
Known materials such as t-butyl anthraquinone, 2-ethyl anthraquinone, thioxanthones, benzoin alkyl ethers and benzyl dimethyl ketals can be used, and two or more kinds thereof may be used in combination.

【0031】光重合開始剤(E)は、本発明の樹脂成分
100重量部中に0.01〜10重量部含有される。光
開始剤の含有量が、0.01重量部未満の場合には充分
に光硬化せず、一方10重量部を越える場合には組成物
が熱的に不安定になる。
The photopolymerization initiator (E) is contained in an amount of 0.01 to 10 parts by weight per 100 parts by weight of the resin component of the present invention. If the content of the photoinitiator is less than 0.01 parts by weight, the composition will not be sufficiently photocured, while if it exceeds 10 parts by weight, the composition will be thermally unstable.

【0032】本発明の架橋硬化型樹脂組成物は、特に銅
等の金属との密着性が必要とされる場合、その他の成分
として、密着促進剤を架橋硬化型樹脂組成物に添加する
ことができる。
In the crosslinkable curable resin composition of the present invention, an adhesion promoter may be added as an additional component to the crosslinkable curable resin composition, particularly when adhesion to a metal such as copper is required. it can.

【0033】密着促進剤の具体例としては、ベンゾトリ
アゾール、トリルトリアゾール、カルボキシベンゾトリ
アゾール、ベンゾイミダゾール、ベンゾチアゾール、ロ
ーダニン、5−フェニル−1H−テトラゾール、1−フ
ェニル−5−メルカプトテトラゾール、1−メチル−5
−メルカプトテトラゾール、5−メルカプトテトラゾー
ル、5−アミノテトラゾール等を挙げることができる
が、5−アミノテトラゾールを主成分とする密着促進剤
が基板に対する密着性向上の点で好ましい。5−アミノ
テトラゾールに併用できる化合物としては、例えば5−
アミノテトラゾール以外のテトラゾール誘導体、トリア
ゾール誘導体、イミダゾール誘導体、チアゾール誘導
体、チアジアゾール誘導体等、金属と配位結合を形成し
やすい元素を含有する複素環式化合物を用いることがで
きる。
Specific examples of the adhesion promoter include benzotriazole, tolyltriazole, carboxybenzotriazole, benzimidazole, benzothiazole, rhodanine, 5-phenyl-1H-tetrazole, 1-phenyl-5-mercaptotetrazole and 1-methyl. -5
-Mercaptotetrazole, 5-mercaptotetrazole, 5-aminotetrazole and the like can be mentioned, but an adhesion promoter containing 5-aminotetrazole as a main component is preferable from the viewpoint of improving the adhesion to the substrate. Examples of the compound that can be used in combination with 5-aminotetrazole include 5-
A heterocyclic compound containing an element that easily forms a coordinate bond with a metal, such as a tetrazole derivative other than aminotetrazole, a triazole derivative, an imidazole derivative, a thiazole derivative, and a thiadiazole derivative can be used.

【0034】密着促進剤の添加量としては、金属に対す
る密着性の点から0.005重量部以上が好ましい。ま
た、溶解性及びコストの点から5重量部以下が好まし
い。
The amount of the adhesion promoter added is preferably 0.005 parts by weight or more from the viewpoint of adhesion to metal. From the viewpoint of solubility and cost, it is preferably 5 parts by weight or less.

【0035】尚、本発明の架橋硬化型樹脂組成物をプラ
スチック成形品、ガラス基板等の保護膜として用いる場
合や、光学部品のスペーサー等の構造材料として用いる
場合には上記の密着促進剤は不要である。
When the cross-linking curable resin composition of the present invention is used as a protective film for plastic molded products, glass substrates, etc., or as a structural material for spacers of optical parts, the above adhesion promoter is unnecessary. Is.

【0036】本発明の架橋硬化型樹脂組成物には、必要
に応じて熱重合禁止剤、染料、難燃剤、イソシアネート
反応触媒、可塑剤及び充填剤等の各種添加剤を添加する
こともできる。
If desired, various additives such as a thermal polymerization inhibitor, a dye, a flame retardant, an isocyanate reaction catalyst, a plasticizer and a filler may be added to the crosslinkable curable resin composition of the present invention.

【0037】本発明において、目的とする架橋硬化樹脂
を得るためには、前記特定の架橋硬化型樹脂組成物を使
用し、硬化を十分に進めることが好ましい。
In the present invention, in order to obtain the desired crosslinked curable resin, it is preferable to use the above specific crosslinkable curable resin composition and to proceed the curing sufficiently.

【0038】硬化を十分に進めるための方法としては、
従来塗料等の分野で公知である各種の方法を用いること
ができる。使用できる方法の例としては、高圧水銀灯等
による紫外線照射、アルゴンレーザー等による可視光線
照射があげられるが、本発明の架橋硬化型樹脂組成物は
光架橋成分と熱架橋成分より構成されるため、これらの
方法に熱硬化を組み合わせた方が好ましい。
As a method for sufficiently promoting the curing,
Various methods conventionally known in the field of paints and the like can be used. Examples of the method that can be used include ultraviolet irradiation by a high-pressure mercury lamp or the like, visible light irradiation by an argon laser or the like, since the crosslinkable curable resin composition of the present invention is composed of a photocrosslinking component and a thermal crosslinking component, It is preferable to combine heat curing with these methods.

【0039】尚、紫外線照射の場合の紫外線照射エネル
ギーとしては、0.5J/cm2 〜10J/cm2 の範
囲で使用することが好ましいが、紫外線照射により基材
やソルダーレジストの温度が過度に上昇する場合には、
数回に分けて照射することが好ましい。
[0039] As the ultraviolet radiation energy in the case of ultraviolet irradiation, 0.5 J / cm 2 is preferably used in a range of to 10 J / cm 2, the temperature of the substrate and the solder resist by irradiation with ultraviolet rays is excessively If you go up,
It is preferable to irradiate several times.

【0040】更に、紫外線照射処理と併用される加熱処
理は、ブロック型ポリイソシアネート化合物のブロック
剤を解離させ、生じたイソシアネート基の反応を促し、
架橋構造を形成するのに効果的である。加熱方法として
は例えば遠赤外線加熱や加熱炉等が使用できるが、加熱
炉を用いる場合には、100℃〜200℃の範囲で、2
時間以下の範囲で実施することが好ましい。
Further, the heat treatment used in combination with the ultraviolet irradiation treatment dissociates the blocking agent of the block type polyisocyanate compound and promotes the reaction of the produced isocyanate group,
It is effective in forming a crosslinked structure. As a heating method, for example, far-infrared heating, a heating furnace, or the like can be used.
It is preferable to carry out the treatment within the range of not more than the time.

【0041】本発明の架橋硬化型樹脂組成物を用いてD
FRを製造する場合、支持フィルムと保護フィルムは公
知のものを使用できる。しかし、多層配線プリント基板
のアンカー効果をより高めるためには支持フィルムとし
ては、サンドマットあるいはケミカルマット加工により
粗化された面を有するものを用いることが好ましい。こ
のようなフィルムの材質としてはプラスチック製のもの
が挙げられるが、紫外線等の活性エネルギー線を照射し
硬化させる場合は、支持フィルムは光線透過率の高いも
のが好ましい。さらにはこのDFRを基材上に積層する
際はホットロールラミネーターを用いるため、熱収縮等
が小さいものが好ましい。したがって、支持フィルムの
具体例としてはポリエステルフィルム、ポリエチレンナ
フタレートフィルム等が挙げられる。支持フィルムの厚
みは10〜40μmが好ましい。薄すぎるとラミネート
時に熱収縮が起こり易く、厚すぎるとコスト的に不利で
あり解像度が低下する。本発明において、この支持フィ
ルムの粗化面上に架橋硬化型樹脂組成物を形成すること
により、後に詳述するめっき銅との密着強度向上のため
に必要な凹凸のうち1種を容易に形成することが可能と
なる。
Using the cross-linking curable resin composition of the present invention, D
When manufacturing FR, a well-known thing can be used for a support film and a protective film. However, in order to further enhance the anchor effect of the multilayer wiring printed circuit board, it is preferable to use a support film having a surface roughened by sand mat or chemical mat processing. As a material of such a film, a plastic material can be mentioned, but when the active film such as ultraviolet rays is irradiated and cured, the support film preferably has a high light transmittance. Furthermore, since a hot roll laminator is used when laminating this DFR on a substrate, it is preferable to use one having a small heat shrinkage. Therefore, specific examples of the support film include a polyester film and a polyethylene naphthalate film. The thickness of the support film is preferably 10 to 40 μm. If it is too thin, heat shrinkage tends to occur during lamination, and if it is too thick, it is disadvantageous in terms of cost and the resolution decreases. In the present invention, by forming a cross-linking curable resin composition on the roughened surface of this support film, one kind of unevenness necessary for improving the adhesion strength with plated copper, which will be described in detail later, can be easily formed. It becomes possible to do.

【0042】[0042]

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳しく説明
する。 実施例1〜3及び比較例1 以下の条件にてアルカリ現像型DFRを製造した。先ず
エチレン性不飽和化合物(A)、バインダー用重合体
(B)、水溶性バインダーポリマー(C)ブロックイソ
シアネート化合物(D)、ベンジルジメチルケタール及
びその他の成分を配合させて表1に示すような架橋硬化
型樹脂組成物溶液を得た。水溶性バインダー用重合体
(C)はその30重量部をメチルエチルケトン70重量
%とイソプロピルアルコール30重量%の混合溶液10
0重量部に溶解させたものを用いた。
The present invention will be described below in more detail with reference to examples. Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 An alkali development type DFR was manufactured under the following conditions. First, an ethylenically unsaturated compound (A), a polymer for a binder (B), a water-soluble binder polymer (C) a blocked isocyanate compound (D), benzyl dimethyl ketal and other components are blended and crosslinked as shown in Table 1. A curable resin composition solution was obtained. 30 parts by weight of the polymer (C) for water-soluble binder is a mixed solution of 70% by weight of methyl ethyl ketone and 30% by weight of isopropyl alcohol.
What was dissolved in 0 parts by weight was used.

【0043】次いで、この架橋硬化型樹脂組成物溶液を
厚み20μmのポリエステルフィルム上に乾燥後の厚み
が75μmとなるように塗工した後、溶剤を加熱乾燥さ
せ、更に、その上に30μmのポリエチレンフィルムを
重ねた後、両端をスリットし、幅300mmで長さ50
mをロールに巻きとり、DFRを作製した。前述の方法
で製造した各種アルカリ現像性DFRを用いて、下記の
方法にて架橋硬化樹脂を形成し、その性能について下記
の評価を行なった。
Next, this cross-linking curable resin composition solution was applied on a polyester film having a thickness of 20 μm so that the thickness after drying would be 75 μm, and then the solvent was dried by heating, and further, a polyethylene having a thickness of 30 μm was applied thereon. After stacking the films, slit both ends, width 300 mm and length 50
m was wound on a roll to prepare a DFR. A crosslinked cured resin was formed by the following method using each of the alkali developable DFRs produced by the above method, and the performance thereof was evaluated as follows.

【0044】実施例1〜3ではDFRの表面は粗化され
ていたが、比較例1では粗化されていなかった。
In Examples 1 to 3, the DFR surface was roughened, but in Comparative Example 1, it was not roughened.

【0045】〔テスト用プリント配線基板〕ソルダーレ
ジストとしての性能評価用として、下記のプリント配線
基板を用いた。 ○基板;5cm×5cm以上の銅ベタ部分を有するガラ
スエポキシ両面銅張積層基板 〔架橋硬化樹脂の形成方法〕 (1)ラミネート 真空ラミネータHLM−V570(日立コンデンサー
(株)製)を用い、上記のプリント配線板上にドライフ
ィルムレジストを下記のラミネート条件下でラミネート
した。 基板予熱ローラー温度 120℃ ヒートシュー温度 100℃ ラミネート圧力(シリンダー圧) 5kgf/cm2 真空チャンバー内の圧力 10mmHg ラミネート速度 0.8m/min (2)露光 ドライフィルムレジストをラミネートした基板の両面
に、ソルダーレジスト用フォトマスクを重ね、DFR用
露光機HTE−106((株)ハイテック製)を用い、
25段ステップタブレット(三菱レイヨン(株)製)
で、15段残りとなるように露光した。
[Printed Wiring Board for Test] The following printed wiring board was used for performance evaluation as a solder resist. -Substrate; glass epoxy double-sided copper-clad laminated substrate having a solid copper portion of 5 cm x 5 cm or more [Method of forming cross-linking cured resin] (1) Laminate Using a vacuum laminator HLM-V570 (manufactured by Hitachi Capacitor Co., Ltd.) A dry film resist was laminated on a printed wiring board under the following laminating conditions. Substrate preheating roller temperature 120 ° C. Heat shoe temperature 100 ° C. Laminating pressure (cylinder pressure) 5 kgf / cm 2 Pressure in vacuum chamber 10 mmHg Laminating speed 0.8 m / min (2) Exposure Solder on both sides of substrate laminated with dry film resist Photo resist masks are overlaid, and a DFR exposure machine HTE-106 (manufactured by Hitec Co., Ltd.) is used.
25-step step tablet (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.)
Then, the exposure was performed so that the remaining 15 steps would be left.

【0046】(3)現像 露光後の基板から、支持フィルムを剥離し、コンベア式
現像機にて、30℃、1%炭酸ナトリウム水溶液でスプ
レー現像を行なった。この際の未露光部分が完全に現像
除去できる時間を「最少現像時間」として、その後の処
理及び評価は最少現像時間の2倍の時間現像したものを
用いた。
(3) Development The supporting film was peeled off from the exposed substrate, and spray development was carried out with a 1% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. using a conveyor type developing machine. The time during which the unexposed portion can be completely removed by development was defined as the "minimum development time", and the subsequent processing and evaluation used the product developed for twice the minimum development time.

【0047】(4)水洗・乾燥 現像後の基板に、室温で、水道水を1分間スプレーした
後、エアーナイフで基板上の水を除去し、更に70℃で
5分間乾燥した。
(4) Washing with water and drying The substrate after development was sprayed with tap water at room temperature for 1 minute, water on the substrate was removed with an air knife, and further dried at 70 ° C for 5 minutes.

【0048】(5)後硬化 高圧水銀ランプによる紫外線照射、1J/cm2 ×3回
の後、180℃1時間の熱処理を実施した。
(5) Post-curing After irradiation with ultraviolet rays from a high-pressure mercury lamp at 1 J / cm 2 × 3 times, heat treatment was carried out at 180 ° C. for 1 hour.

【0049】〔評価方法〕上記形成方法にて準備したサ
ンプルを以下の手順にて粗化処理し、サンプル表面を観
察して表面の粗化程度を評価した。
[Evaluation Method] The sample prepared by the above-mentioned forming method was roughened by the following procedure, and the surface of the sample was observed to evaluate the degree of roughening of the surface.

【0050】(1)70℃に加温したマキュダイザー9
204JH(日本マクダーミッド製ホールコンディショ
ナー溶液)中に5〜10分間浸漬後、3分水洗・水切り
を行った。
(1) Mackyudizer 9 heated to 70 ° C.
After immersing in 204JH (hole conditioner solution made by MacDermid Japan) for 5 to 10 minutes, it was washed with water and drained for 3 minutes.

【0051】(2)80℃に加温した7%過マンガン酸
カリウム水溶液中に5分間浸漬し、6分水洗・水切りを
行った。
(2) Immersion in a 7% potassium permanganate aqueous solution heated to 80 ° C. for 5 minutes, followed by washing with water for 6 minutes and draining.

【0052】実施例4〜6及び比較例2 実施例1〜3及び比較例1において、厚み20μmのポ
リエステルフィルムの代わりに、厚み38μmのサンド
マット加工したポリエステルフィルム(ダイヤホイルヘ
キスト社製#38W−1マット品)を使用し、架橋硬化
型樹脂組成物溶液をその粗化面上に塗工すること以外の
条件は、それぞれ実施例1〜3及び比較例1と同様にし
て積層体を製造し評価した。尚、実施例4、5、6、比
較例2が、それぞれ実施例1、2、3、比較例1に対応
する。実施例4〜6では、硬化樹脂層の表面は粗化され
ておりしかも形状及び大きさの異なる2種類の凹凸が形
成されていた。この凹凸のうちの一種類は支持フィルム
に起因するものであった。比較例2では硬化樹脂層の表
面は粗化されていなか
Examples 4 to 6 and Comparative Example 2 In Examples 1 to 3 and Comparative Example 1, instead of the 20 μm thick polyester film, a 38 μm thick sand-matted polyester film (Dia foil Hoechst # 38W-) was used. 1 mat product), and a laminate was manufactured in the same manner as in Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 except that the crosslinked curable resin composition solution was applied onto the roughened surface. evaluated. In addition, Examples 4, 5, 6 and Comparative Example 2 correspond to Examples 1, 2, 3 and Comparative Example 1, respectively. In Examples 4 to 6, the surface of the cured resin layer was roughened, and two types of irregularities having different shapes and sizes were formed. One of the irregularities was due to the support film. In Comparative Example 2, the surface of the cured resin layer was not roughened.

【0053】[0053]

【表1】 [Table 1]

【0054】[0054]

【発明の効果】本発明の架橋硬化型樹脂組成物は硬化後
に酸やアルカリ等の溶剤処理によってレジスト表面の粗
化が可能であるため、ビルドアップ方式による多層配線
プリント基板の層間絶縁膜として利用することができ
る。また本発明の積層体によれば密着性が良好な層間絶
縁膜を形成することができる。
EFFECTS OF THE INVENTION The cross-linking curable resin composition of the present invention can be used as an interlayer insulating film of a multi-layer printed circuit board by a build-up method because the resist surface can be roughened by treatment with a solvent such as acid or alkali after curing. can do. Further, according to the laminate of the present invention, it is possible to form an interlayer insulating film having good adhesion.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/004 512 G03F 7/004 512 7/033 7/033 (72)発明者 乃美 晴一 広島県大竹市御幸町20番1号 三菱レイヨ ン株式会社中央技術研究所内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Reference number within the agency FI Technical indication location G03F 7/004 512 G03F 7/004 512 7/033 7/033 (72) Inventor Seiichi Nomi Hiroshima Prefecture 20-1 Miyukicho, Otake-shi Central Research Laboratory, Mitsubishi Rayon Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 1分子中に2個以上の(メタ)アクリロ
イルオキシ基を有するエチレン性不飽和化合物(A)の
少なくとも1種30〜60重量部、α,β−不飽和カル
ボキシル基含有単量体(b−1)の少なくとも1種15
〜30重量%、ヒドロキシル基含有単量体(b−2)の
少なくとも1種5〜30重量%及び他の共重合可能な単
量体(b−3)40〜80重量%からなるバインダー用
重合体(B)30〜60重量部、ヒドロキシル基含有単
量体単位を10〜40重量%含む水溶性のバインダー用
重合体(C)10〜30重量部、ブロック型ポリイソシ
アネート化合物(D)1〜20重量部、及び前記
(A),(B),(C),(D)成分の合計100重量
部に対して、光重合開始剤(E)が0.001〜10重
量部配合されてなる架橋硬化型樹脂組成物。
1. At least one 30 to 60 parts by weight of an ethylenically unsaturated compound (A) having two or more (meth) acryloyloxy groups in one molecule, and an α, β-unsaturated carboxyl group-containing unit amount. At least one kind of body (b-1) 15
To 30% by weight, at least one kind of the hydroxyl group-containing monomer (b-2) 5 to 30% by weight, and another copolymerizable monomer (b-3) 40 to 80% by weight. 30 to 60 parts by weight of polymer (B), 10 to 30 parts by weight of a water-soluble binder polymer (C) containing 10 to 40% by weight of a hydroxyl group-containing monomer unit, and block type polyisocyanate compound (D) 1 to 20 parts by weight, and 0.001 to 10 parts by weight of the photopolymerization initiator (E) is mixed with 100 parts by weight of the components (A), (B), (C) and (D) in total. Crosslinking curable resin composition.
【請求項2】 水溶性バインダー重合体(C)がポリビ
ニルアルコールをアセタ−ル化したポリビニルアセター
ルであることを特徴とする請求項1に記載の架橋硬化型
樹脂組成物。
2. The crosslinkable curable resin composition according to claim 1, wherein the water-soluble binder polymer (C) is a polyvinyl acetal obtained by acetalizing polyvinyl alcohol.
【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の架橋硬
化型樹脂組成物を光照射と熱処理を併用して架橋硬化さ
せる方法。
3. A method of cross-linking and curing the cross-linking curable resin composition according to claim 1 or 2, using light irradiation and heat treatment in combination.
【請求項4】 サンドマットあるいはケミカルマット加
工による粗化面を有する支持フィルム、請求項1に記載
の架橋硬化型樹脂組成物及び保護フィルムを順次積層し
てなる積層体。
4. A laminate comprising a support film having a roughened surface formed by sand mat or chemical mat processing, the cross-linking curable resin composition according to claim 1 and a protective film, which are sequentially laminated.
【請求項5】 水溶性バインダー重合体(C)がポリビ
ニルアルコールをアセタ−ル化したポリビニルアセター
ルであることを特徴とする請求項4に記載の積層体。
5. The laminate according to claim 4, wherein the water-soluble binder polymer (C) is a polyvinyl acetal obtained by acetalizing polyvinyl alcohol.
【請求項6】 請求項4または請求項5に記載の架橋硬
化型樹脂組成物を光照射と熱処理を併用して架橋硬化さ
せる方法。
6. A method of cross-linking and curing the cross-linking curable resin composition according to claim 4 or 5 by using light irradiation and heat treatment in combination.
JP8066742A 1995-12-27 1996-03-22 Resin composition curable by crosslinking laminated body and curing method Pending JPH09236916A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8066742A JPH09236916A (en) 1995-12-27 1996-03-22 Resin composition curable by crosslinking laminated body and curing method

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7-341561 1995-12-27
JP34156195 1995-12-27
JP8066742A JPH09236916A (en) 1995-12-27 1996-03-22 Resin composition curable by crosslinking laminated body and curing method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09236916A true JPH09236916A (en) 1997-09-09

Family

ID=26407944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8066742A Pending JPH09236916A (en) 1995-12-27 1996-03-22 Resin composition curable by crosslinking laminated body and curing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09236916A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001305726A (en) * 2000-02-17 2001-11-02 Mitsubishi Chemicals Corp Photosensitive composition
JP2002129113A (en) * 2000-08-15 2002-05-09 Jsr Corp Adhesive composition for optical disc
JP2002258477A (en) * 2001-03-02 2002-09-11 Mitsubishi Chemicals Corp Photosensitive composition
WO2010092988A1 (en) * 2009-02-16 2010-08-19 綜研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical components and adhesive optical component
WO2010092995A1 (en) * 2009-02-16 2010-08-19 綜研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical components and adhesive optical component
JPWO2011027707A1 (en) * 2009-09-01 2013-02-04 綜研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical member and adhesive optical member
JP2017032828A (en) * 2015-08-03 2017-02-09 日立化成株式会社 Resist and method for producing structure

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001305726A (en) * 2000-02-17 2001-11-02 Mitsubishi Chemicals Corp Photosensitive composition
JP2002129113A (en) * 2000-08-15 2002-05-09 Jsr Corp Adhesive composition for optical disc
JP2002258477A (en) * 2001-03-02 2002-09-11 Mitsubishi Chemicals Corp Photosensitive composition
WO2010092988A1 (en) * 2009-02-16 2010-08-19 綜研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical components and adhesive optical component
WO2010092995A1 (en) * 2009-02-16 2010-08-19 綜研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical components and adhesive optical component
CN102317398A (en) * 2009-02-16 2012-01-11 综研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical components and adhesive optical component
JPWO2010092995A1 (en) * 2009-02-16 2012-08-16 綜研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical member and adhesive optical member
JPWO2010092988A1 (en) * 2009-02-16 2012-08-16 綜研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical member and adhesive optical member
JPWO2011027707A1 (en) * 2009-09-01 2013-02-04 綜研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical member and adhesive optical member
JP5715955B2 (en) * 2009-09-01 2015-05-13 綜研化学株式会社 Radiation curable adhesive composition for optical member and adhesive optical member
JP2017032828A (en) * 2015-08-03 2017-02-09 日立化成株式会社 Resist and method for producing structure

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2852038B2 (en) Flexible flame-retardant photoimageable composition for coated printed circuits
JP3585644B2 (en) Waterborne, photoimageable, durable multilayer coatings for printed circuits
JPH06228504A (en) Multilayer image forming permanent coating capable of aqueous treatment and usable for printed circuit
EP0738927A2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same
JPWO2002025377A1 (en) Photosensitive element, method for forming resist pattern, and method for manufacturing printed wiring board
JP2691130B2 (en) Aqueous processable multi-layer photoimageable permanent coating for printed circuits
JPH01229242A (en) Photosensitive resin composition
JPH09236916A (en) Resin composition curable by crosslinking laminated body and curing method
JPH0815861A (en) Crosslink hardening resin composition, hardening method and hardened resin
US5284736A (en) Flame-resistant photo-curable resin composition
JPH09255756A (en) Cross-linkable resin composition and method for curing the same
JP3849641B2 (en) Manufacturing method of photosensitive film for circuit formation and printed wiring board
JPH09255755A (en) Cross-linkable resin composition and method for curing the same
JP3055499B2 (en) Manufacturing method of laminated film and printed wiring board
JP2007070558A (en) Pressure-sensitive adhesive which diminishes adhesive force by irradiating with active energy ray and pressure-sensitive adhesive sheet using the same
JP2003005364A (en) Photosensitive film for forming circuit and method for producing printed wiring board
JP2905622B2 (en) Crosslinkable curable resin composition
JP3716040B2 (en) Durable multilayer coating for water-based processable and photoimaging for printed circuits
JPH07281438A (en) Crosslink hardening resin composition and crosslink hardening resin obtained by hardening the resin
JPH07278254A (en) Crosslinking-curable resin composition and crosslinking-cured resin obtained by curing same
JP2006317542A (en) Photosensitive film, resist pattern forming method using the same and method for manufacturing printed wiring board
JP5835416B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive film, and method for forming resist pattern
JP2001042516A (en) Laminated film and production of printed circuit board
JP4719981B2 (en) Manufacturing method of laminated film and printed wiring board
JPH06345835A (en) Cross-linked cured resin