JPH09236722A - Optical waveguide device - Google Patents
Optical waveguide deviceInfo
- Publication number
- JPH09236722A JPH09236722A JP4380996A JP4380996A JPH09236722A JP H09236722 A JPH09236722 A JP H09236722A JP 4380996 A JP4380996 A JP 4380996A JP 4380996 A JP4380996 A JP 4380996A JP H09236722 A JPH09236722 A JP H09236722A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- waveguide device
- light
- face
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば導波路型光
第２高調波発生装置（ＳＨＧ）のような光導波路を有す
る光導波路デバイスに対し、例えばその基本波のレーザ
光を入射させる光導波路装置に関する技術分野に属す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical waveguide device having an optical waveguide device such as a waveguide type optical second harmonic generation device (SHG), for example. It belongs to the technical field of devices.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、導波モード型ＳＨＧ、チェレンコ
フ型ＳＨＧ等、光導波路型ＳＨＧの如き光導波路を有す
る光導波路デバイスが提案されている。このような光導
波路デバイスにおいては、光導波路に対する入射光、例
えば、基本波光を効率良く入射させる必要がある。2. Description of the Related Art Conventionally, optical waveguide devices having optical waveguides such as waveguide mode SHG, Cherenkov type SHG, and optical waveguide type SHG have been proposed. In such an optical waveguide device, incident light to the optical waveguide, for example, fundamental wave light needs to be efficiently incident.
【０００３】例えば、ＳＨＧにおける第２高調波のパワ
ーＰｗ2は、入射波のパワーＰｗ1の２乗に比例すること
から、その入射光を効率よく入射させることは重要な課
題となる。For example, since the power Pw 2 of the second harmonic wave in SHG is proportional to the square of the power Pw 1 of the incident wave, it is an important issue to make the incident light incident efficiently.
【０００４】また、一般に、上述のような光導波路デバ
イスを製作するときには、光導波路を形成する光学結晶
基板において、完成後の光導波路デバイスの光導波路の
長さよりも長い光導波路を予め形成しておき、光導波路
形成後に両端面を高精度に研磨することによって該光導
波路の入射端面及び出射端面を形成している。Further, in general, when manufacturing the above-mentioned optical waveguide device, an optical waveguide longer than the length of the optical waveguide of the completed optical waveguide device is previously formed on the optical crystal substrate for forming the optical waveguide. After the optical waveguide is formed, both end faces are highly accurately polished to form the incident end face and the output end face of the optical waveguide.
【０００５】そして、この光導波路デバイスにおいて
は、高精度に研磨された一端面における光導波路が存在
する部分に、レーザ光を集光し、上記光導波路内に該レ
ーザ光が導波されるようにしている。In this optical waveguide device, the laser light is focused on the portion where the optical waveguide is present on one end surface which is highly accurately polished, and the laser light is guided in the optical waveguide. I have to.
【０００６】そして、上記光導波路デバイスの使用環境
が、この光導波路デバイスの入射側端面及び出射側端面
における光導波路の電界分布の大きさに対して無視でき
ない程度のゴミ（塵挨）あるいは粒子などが浮遊してい
ない環境であれば、該光導波路の入射端面及び出射端面
において上記レーザ光が遮られる可能性は低く、この光
導波路デバイスが安定して動作する可能性が高くなる。The environment in which the optical waveguide device is used is such that dust or particles that cannot be ignored with respect to the magnitude of the electric field distribution of the optical waveguide on the incident side end face and the emitting side end face of the optical waveguide device. In a non-floating environment, the laser light is unlikely to be blocked at the entrance end face and the exit end face of the optical waveguide, and the optical waveguide device is more likely to operate stably.
【０００７】しかし、上記光導波路デバイスの使用環境
が、この光導波路デバイスの入射側端面及び出射側端面
における光導波路の電界分布の大きさに対して無視でき
ない程度のゴミあるいは粒子などが浮遊している環境で
あれば、該光導波路の入射側端面及び出射側端面におい
て上記レーザ光が遮られる可能性が高く、この光導波路
デバイスが安定して動作する可能性が低くなる。However, the environment in which the above-mentioned optical waveguide device is used is such that dust or particles, which cannot be ignored with respect to the magnitude of the electric field distribution of the optical waveguide on the incident side end face and the emitting side end face of this optical waveguide device, float. In such an environment, there is a high possibility that the laser light will be blocked at the incident side end face and the outgoing side end face of the optical waveguide, and the possibility that this optical waveguide device will operate stably will be low.
【０００８】また、上記光導波路デバイスの使用環境
が、この光導波路デバイスの入射側端面及び出射側端面
における光導波路の電界分布の大きさに対して無視でき
る程度のゴミあるいは粒子などが浮遊している環境であ
る場合には、該光導波路の入射端面及び出射端面におい
て、レーザ光の強度が十分に高い場合、すなわち光導波
路デバイスが多くのレーザ光強度を必要とするような場
合においては、このレーザ光が集光されている該光導波
路の入射端面あるいは出射端面において、浮遊するゴミ
あるいは粒子が加熱され、この光導波路デバイスの端面
に付着してしまう虞れがある。このようにして上記ゴミ
あるいは粒子が上記光導波路デバイスの端面に付着する
と、この光導波路デバイスの端面が汚されてしまう可能
性が高く、この光導波路デバイスは安定して動作する可
能性が低くなる。In addition, the environment in which the above-mentioned optical waveguide device is used is such that dust or particles that are negligible with respect to the magnitude of the electric field distribution of the optical waveguide on the incident side end face and the emitting side end face of this optical waveguide device float. In the case of an environment in which the laser light intensity is sufficiently high at the entrance end face and the exit end face of the optical waveguide, that is, when the optical waveguide device requires a large amount of laser light intensity, Floating dust or particles may be heated at the incident end face or the emitting end face of the optical waveguide on which the laser light is condensed, and adhere to the end face of the optical waveguide device. If the dust or particles adhere to the end face of the optical waveguide device in this manner, the end face of the optical waveguide device is likely to be contaminated, and the possibility of stable operation of the optical waveguide device decreases. .
【０００９】さらに、入射波のパワーのゆらぎ、すなわ
ち、上記光導波路に入射されるレーザ光の光量の変化
は、出力光量に大きく影響する。Further, the fluctuation of the power of the incident wave, that is, the change of the light quantity of the laser light incident on the optical waveguide greatly affects the output light quantity.
【００１０】また、一般に、上述のような光導波路デバ
イスでは、その光源部、特に、その集光レンズ系（対物
レンズ系）は、この光導波路デバイスの端面に対する位
置関係を決定した状態で接着剤によって固着されてい
る。したがって、この場合には、外震や、温度変化等の
何等かの原因で、上記集光レンズ系の位置ずれが生じ
て、光導波路デバイスが使用不能になる虞れがある。Further, in general, in the above-mentioned optical waveguide device, the light source portion thereof, in particular, the condensing lens system (objective lens system) thereof is adhesive with the positional relationship with respect to the end face of the optical waveguide device being determined. Is stuck by. Therefore, in this case, the optical waveguide device may become unusable due to displacement of the condenser lens system due to some cause such as an external vibration or a temperature change.
【００１１】上記光導波路デバイスは、上述したような
欠点により、一般に、その使用環境が限られてしまうこ
ととなっている。Due to the above-mentioned drawbacks, the above-mentioned optical waveguide device is generally limited in its use environment.
【００１２】[0012]
【発明が解決しようとする課題】ところで、本件出願人
は、先に、光導波路の端面結合装置を提案している。The applicant of the present invention has previously proposed an end face coupling device for an optical waveguide.
【００１３】この装置は、光導波路デバイスの光導波路
に対してこの光導波路の入射端面からレーザ光を集光し
て入射させる集光レンズ系を有する光源部を備えた光導
波路端面結合装置であって、少なくとも該集光レンズ系
は、この集光レンズ系の光学軸であるｚ軸とこのｚ軸に
直交しかつ互いに直交するｘ軸およびｙ軸との３方向に
関して該レーザ光の位置を微調整するアクチュエータを
具備しているものである。This device is an optical waveguide end face coupling device having a light source section having a condensing lens system for condensing laser light from an incident end face of the optical waveguide to the optical waveguide of the optical waveguide device. At least, the condenser lens system finely adjusts the position of the laser light with respect to three directions of the z axis which is the optical axis of the condenser lens system and the x axis and the y axis which are orthogonal to the z axis and are orthogonal to each other. It is equipped with an actuator for adjustment.
【００１４】そして、この装置においては、上記光源部
からのレーザ光の上記導波路の入射端面が臨む上記光導
波路デバイスの端面からの戻り光の光量または光量分
布、または、該導波路に入射したレーザ光の該光導波路
の出射端面からの戻り光の光量または光量分布、あるい
は、該導波路に入射したレーザ光の該光導波路内の反射
源からの戻り光の光量または光量分布を検出し、この検
出結果に応じて、上記アクチュエータを制御し、上記集
光レンズ系の上記ｘ軸，ｙ軸及びｚ軸に関する位置制御
を行うようにしている。In this device, the light amount or the light amount distribution of the return light from the end face of the optical waveguide device which the incident end face of the waveguide of the laser light from the light source section faces, or the light is incident on the waveguide. The light quantity or the light quantity distribution of the return light from the emission end face of the optical waveguide of the laser light, or the light quantity or the light quantity distribution of the return light from the reflection source in the optical waveguide of the laser light incident on the waveguide is detected, The actuator is controlled according to the detection result, and the position control of the condenser lens system with respect to the x-axis, the y-axis, and the z-axis is performed.
【００１５】しかしながら、この光導波路の端面結合装
置は、上記光導波路デバイスが、外震、温度変化等、集
光レンズ系の位置ずれを生じさせる原因がある環境で使
用される場合においては、この光導波路デバイスを安定
して動作させることができるが、ゴミあるいは粒子が空
中に浮遊する環境で使用される場合においては、安定し
た動作を実現することができない。However, this end face coupling device for an optical waveguide is used in the case where the optical waveguide device is used in an environment that causes a displacement of the condenser lens system, such as an external vibration or a temperature change. The optical waveguide device can be stably operated, but when used in an environment in which dust or particles are suspended in the air, stable operation cannot be realized.
【００１６】すなわち、この光導波路の端面結合装置を
使用した場合においても、この光導波路デバイスをゴミ
あるいは粒子が浮遊している環境で使用すると、上記光
導波路の入射側端面及び出射側端面において、該ゴミあ
るいは粒子により上記レーザ光が遮られたり、または、
該ゴミあるいは粒子が付着する虞れがあるからである。That is, even when the end face coupling device for the optical waveguide is used, when the optical waveguide device is used in an environment in which dust or particles are suspended, the incident side end face and the output side end face of the optical waveguide are The laser light is blocked by the dust or particles, or
This is because the dust or particles may be attached.
【００１７】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、光導波路デバイスが使用される
使用環境がゴミ（塵挨）あるいは粒子等が浮遊する環境
である場合においても、光導波路デバイスの光導波路に
対して、光源部からの光、特に、レーザ光を安定に最良
の状態をもって高効率に入射させることができるように
なされた光導波路装置の提供という課題を解決しようと
するものである。Therefore, the present invention is proposed in view of the above-mentioned circumstances, and even when the use environment in which the optical waveguide device is used is an environment in which dust (dust) or particles are suspended. Let's solve the problem of providing an optical waveguide device capable of stably injecting light from a light source unit, particularly laser light, into an optical waveguide of an optical waveguide device in a stable and highly efficient manner. It is what
【００１８】[0018]
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る光導波路装置は、光導波路デバイスの
光導波路と、この導波路デバイスの光導波路にレーザ光
を集光して入射させる集光レンズ系を有する光源部と、
該レーザ光を透過させる材料により０．１ｍｍ以上の厚
さを有して形成され該導波路デバイスの光導波路の該レ
ーザ光が入射される端面に固着された平板とを備えたも
のである。In order to solve the above-mentioned problems, an optical waveguide device according to the present invention is provided with an optical waveguide of an optical waveguide device, and a laser beam is condensed and incident on the optical waveguide of this optical waveguide device. A light source section having a condenser lens system for
And a flat plate fixed to an end face of the optical waveguide of the waveguide device on which the laser light is incident, the flat plate being formed of a material that transmits the laser light and having a thickness of 0.1 mm or more.
【００１９】また、本発明は、上記光導波路装置におい
て、上記平板は、屈折率が略々１．５５であり、厚さが
略々１．２ｍｍであることとしたものである。Further, according to the present invention, in the above optical waveguide device, the flat plate has a refractive index of about 1.55 and a thickness of about 1.2 mm.
【００２０】さらに、本発明は、上記光導波路装置にお
いて、上記平板は、上記導波路デバイスの光導波路のレ
ーザ光が入射される端面に対し、射出成型手段により形
成固着されていることとしたものである。Further, according to the present invention, in the above-mentioned optical waveguide device, the flat plate is formed and fixed by injection molding means to an end face of the optical waveguide of the waveguide device on which laser light is incident. Is.
【００２１】そして、本発明は、上記光導波路装置にお
いて、上記集光レンズ系によって集光されるレーザ光
は、上記平板への入射時における光束の径が、導波路デ
バイスの光導波路が導波することのできる導波モードの
光スポットの径に対し、１０倍以上となっていることと
したものである。In the optical waveguide device according to the present invention, the diameter of the light beam of the laser beam condensed by the condenser lens system when entering the flat plate is determined by the optical waveguide of the waveguide device. The diameter of the light spot of the guided mode that can be obtained is 10 times or more.
【００２２】また、本発明は、上記光導波路装置におい
て、上記集光レンズ系は、上記レーザ光の波長の４倍以
上の球面収差を有していることとしたものである。Further, according to the present invention, in the above-mentioned optical waveguide device, the condenser lens system has a spherical aberration of 4 times or more the wavelength of the laser beam.
【００２３】また、本発明は、上記光導波路装置におい
て、上記光導波路デバイスの光導波路が有する反射源に
より反射されたレーザ光の反射光の強度または強度分布
を検出する反射光強度検出手段と、この反射光強度検出
手段による検出結果に基づいて上記集光レンズ系をこの
集光レンズ系の光軸方向あるいは該光軸方向に直交する
方向に移動操作する位置制御手段とを設けたものであ
る。Further, according to the present invention, in the above optical waveguide device, a reflected light intensity detecting means for detecting the intensity or intensity distribution of the reflected light of the laser light reflected by the reflection source of the optical waveguide of the above optical waveguide device, Position control means for moving the condensing lens system in the optical axis direction of the condensing lens system or in a direction orthogonal to the optical axis direction is provided based on the detection result of the reflected light intensity detecting means. .
【００２４】そして、本発明は、上記光導波路装置にお
いて、上記反射源は、上記光導波路デバイスの光導波路
のレーザ光の入射側端面であることとしたものである。Further, according to the present invention, in the above-mentioned optical waveguide device, the reflection source is an end face of a laser light incident side of the optical waveguide of the optical waveguide device.
【００２５】また、本発明は、上記光導波路装置におい
て、上記反射源は、上記光導波路デバイスの光導波路の
レーザ光の出射側端面であることとしたものである。Further, according to the present invention, in the above-mentioned optical waveguide device, the reflection source is an end face of a laser light emitting side of the optical waveguide of the optical waveguide device.
【００２６】また、本発明は、上記光導波路装置におい
て、上記反射源は、上記光導波路デバイスの光導波路内
の乱反射源であることとしたものである。Further, according to the present invention, in the above-mentioned optical waveguide device, the reflection source is a diffuse reflection source in the optical waveguide of the optical waveguide device.
【００２７】[0027]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２８】本発明に係る光導波路装置は、図１に示す
ように、光導波路デバイス１の光導波路２と、この光導
波路２に対して、半導体レーザ６より発せられたレーザ
光Ｌを入射させる光源部４とを有して構成されている。In the optical waveguide device according to the present invention, as shown in FIG. 1, the optical waveguide 2 of the optical waveguide device 1 and the laser light L emitted from the semiconductor laser 6 are incident on the optical waveguide 2. The light source unit 4 is included.
【００２９】上記光源部４は、上記光導波路２に対して
上記レーザ光Ｌを集光して入射させる集光レンズ系３を
有している。また、この光源部４は、上記光導波路デバ
イス１の入射側端面１ａに対向して配置されている。The light source section 4 has a condenser lens system 3 for condensing and entering the laser light L into the optical waveguide 2. The light source section 4 is arranged so as to face the incident side end surface 1a of the optical waveguide device 1.
【００３０】そして、上記光導波路デバイス１の上記集
光レンズ系３に対向する入射側端面１ａには、上記レー
ザ光Ｌを透過させる材料により略々平行平面板の形状を
有して形成され、０．１ｍｍ以上の厚さを有する平板２
０が固着されている。上記集光レンズ系３によって集光
されるレーザ光Ｌは、上記平板２０を介して、上記光導
波路２に結合される。The incident-side end face 1a of the optical waveguide device 1 facing the condenser lens system 3 is formed of a material that transmits the laser light L and has a substantially parallel plate shape. Flat plate 2 having a thickness of 0.1 mm or more
0 is fixed. The laser light L condensed by the condenser lens system 3 is coupled to the optical waveguide 2 via the flat plate 20.
【００３１】上記光導波路デバイス１は、例えば、図２
に示すように、導波モード型、あるいは、チェレンコフ
放射型の光導波路型ＳＨＧであって、例えば、非線形光
学結晶よりなる基体１ｓ上にチャンネル型の線形もしく
は非線形の光導波路２が設けられて構成されている。The optical waveguide device 1 is shown in FIG.
As shown in FIG. 2, a waveguide mode type or Cherenkov radiation type optical waveguide type SHG, in which, for example, a channel type linear or nonlinear optical waveguide 2 is provided on a substrate 1s made of a nonlinear optical crystal Has been done.
【００３２】上記光導波路２の入射端面２ａは、上記光
導波路デバイス１の入射側端面１ａに臨んで設けられ、
また、光導波路２の出射端面２ｂは、該光導波路デバイ
ス１の出射側端面１ｂに臨んで設けられる。The incident end face 2a of the optical waveguide 2 is provided so as to face the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1,
Further, the emission end face 2b of the optical waveguide 2 is provided so as to face the emission side end face 1b of the optical waveguide device 1.
【００３３】さらに、上記光導波路デバイス１は、例え
ば、図３に示すように、上記光導波路２の保護、あるい
は、該光導波路２の導波モードの実効屈折率の制御を目
的として、上側にクラッド膜３０が形成されている。Further, as shown in FIG. 3, for example, the optical waveguide device 1 has an upper side for the purpose of protecting the optical waveguide 2 or controlling the effective refractive index of the waveguide mode of the optical waveguide 2. The clad film 30 is formed.
【００３４】上記平板２０の上記光導波路デバイス１に
対する固着方法は、光学接着剤（例えば、サマーズ社製
「ＴｙｐｅＣ−５９」）を用いて固着することが望まし
い。さらに、上記平板２０の材質は、ポリカーボネイト
（ＰＣ）、あるいは、光学ガラスのように、上記レーザ
光Ｌを効率よく透過する材質であることが必要である。
さらに、上記平板２０の上記レーザ光Ｌが透過する両端
面２０ａ，２０ｂは、光学的に略々フラットであること
が望ましい。As a method of fixing the flat plate 20 to the optical waveguide device 1, it is desirable to fix it using an optical adhesive (for example, "Type C-59" manufactured by Summers). Further, the material of the flat plate 20 needs to be a material that allows the laser light L to efficiently pass therethrough, such as polycarbonate (PC) or optical glass.
Further, both end faces 20a, 20b of the flat plate 20 through which the laser light L is transmitted are desirably optically flat.
【００３５】上記光源部４は、上記半導体レーザ６から
発せられたレーザ光Ｌをコリメートレンズ７を介して上
記集光レンズ系３に入射させ、この集光レンズ系３によ
り、上記平板２０を介して、該レーザ光Ｌを上記光導波
路デバイス１の端面１ａに臨む光導波路２の入射端面２
ａに、フォーカシング（合焦）させて入射させるように
なされている。The light source section 4 causes the laser light L emitted from the semiconductor laser 6 to enter the condenser lens system 3 through a collimator lens 7, and the condenser lens system 3 causes the flat plate 20 to pass therethrough. The incident end face 2 of the optical waveguide 2 that faces the end face 1a of the optical waveguide device 1 with the laser light L.
The light is focused on and incident on a.
【００３６】さらに、この光導波路装置においては、図
４に示すように、上記平板２０として、厚さｔが１．２
ｍｍのポリカーボネート製の平板を用い、上記光源部４
より発せられるレーザ光Ｌの波長を７８０ｎｍとするこ
とができる。Further, in this optical waveguide device, as shown in FIG. 4, the flat plate 20 has a thickness t of 1.2.
mm light source plate 4
The wavelength of the laser light L emitted further can be 780 nm.
【００３７】ここで、上記集光レンズ系３の開口数（Ｎ
Ａ）を約０．４５とし、上記平板２０の上記光導波路デ
バイス１側の端面２０ｂ、すなわち、上記光導波路２の
入射端面２ａ上に上記レーザ光Ｌが集光されているとす
ると、該平板２０の該レーザ光Ｌが入射される側の端面
２０ａ上のレーザ光Ｌの光スポット直径は、約０．７２
ｍｍとなる。Here, the numerical aperture (N
A) is about 0.45 and the laser light L is focused on the end face 20b of the flat plate 20 on the optical waveguide device 1 side, that is, the incident end face 2a of the optical waveguide 2, The light spot diameter of the laser light L on the end surface 20a of the laser light L on the side where the laser light L is incident is about 0.72.
mm.
【００３８】すなわち、この場合には、上記集光レンズ
系３によって集光されるレーザ光Ｌは、上記光導波路２
を有する光導波路デバイス１の素子端面上、すなわち、
上記平板２０の該レーザ光Ｌが入射される側の端面２０
ａ上における光スポットの径が、該光導波路２が導波す
ることのできる導波モードの光スポットの径に対して、
１００倍以上の径を有して、該光導波路２に結合されて
いる。That is, in this case, the laser light L condensed by the condenser lens system 3 is emitted from the optical waveguide 2.
On the element end face of the optical waveguide device 1 having
The end face 20 of the flat plate 20 on the side on which the laser light L is incident
The diameter of the light spot on a is smaller than the diameter of the light spot of the guided mode which can be guided by the optical waveguide 2.
It has a diameter 100 times or more and is coupled to the optical waveguide 2.
【００３９】つまり、上記光導波路２の入射端面２ａに
おいては、上記レーザ光Ｌは、少なくとも、回折限界の
１０倍以内の光スポット径（例えば、７μｍ程度）に集
光されているので、このレーザ光Ｌの上記平板２０の入
射側の端面２０ａ上における光スポット面積は、該光導
波路２の入射端面２ａ上の光スポット面積に比較して、
少なくとも３桁程度（約１０００倍に）広がっているこ
とになる。That is, at the incident end face 2a of the optical waveguide 2, the laser light L is condensed at least at a light spot diameter (for example, about 7 μm) within 10 times the diffraction limit. The light spot area on the incident side end surface 20a of the flat plate 20 of the light L is compared with the light spot area on the incident end surface 2a of the optical waveguide 2.
This means that it has spread by at least 3 digits (about 1000 times).
【００４０】したがって、この光導波路デバイス１にお
いては、使用環境がゴミ（塵挨）あるいは粒子が浮遊す
る環境である場合であっても、上記レーザ光Ｌの光スポ
ットが最も小さくなる入射端面２ａがゴミあるいは粒子
が浮遊する環境に接していないので、ゴミあるいは粒子
により該レーザ光Ｌの光路中において該レーザ光Ｌが遮
られる危険性が少ない。Therefore, in this optical waveguide device 1, even if the environment in which dust (dust) or particles are suspended is used, the incident end face 2a where the light spot of the laser light L becomes the smallest is provided. Since it is not in contact with the environment in which dust or particles float, there is little risk that the dust or particles block the laser light L in the optical path of the laser light L.
【００４１】また、この光導波路デバイスにおいては、
使用環境がゴミあるいは粒子が浮遊する環境である場合
においても、上記平板２０の入射側の端面２０ａにおけ
る光スポット面積が、上記光導波路２の入射端面２ａ上
における光スポット面積に対して約１０００倍に広がっ
ているために、上記平板２０が存在しない場合に比較し
て、該ゴミあるいは粒子によって上記レーザ光Ｌが遮ら
れる可能性が格段に低い。Further, in this optical waveguide device,
Even when the environment in which dust or particles are suspended is used, the light spot area on the incident side end surface 20a of the flat plate 20 is about 1000 times the light spot area on the incident end surface 2a of the optical waveguide 2. Therefore, the possibility that the laser beam L is blocked by the dust or particles is much lower than that when the flat plate 20 does not exist.
【００４２】さらに、この光導波路装置においては、上
記平板２０の入射側の端面２０ａ上における上記レーザ
光Ｌのエネルギ密度が、光スポットが広くなっているた
めに上記光導波路の入射端面２ａ上に比較して格段に低
くなっており、該平板２０の端面２０ａ上の光スポット
上において上記ゴミあるいは粒子が該レーザ光Ｌのエネ
ルギにより加熱され該端面２０ａに焼き付いて付着する
可能性が低くなっている。Further, in this optical waveguide device, the energy density of the laser beam L on the incident side end face 20a of the flat plate 20 is on the incident end face 2a of the optical waveguide because the light spot is wide. By comparison, it is much lower, and the possibility that the dust or particles are heated by the energy of the laser light L on the light spot on the end face 20a of the flat plate 20 and stick to the end face 20a by burning is reduced. There is.
【００４３】すなわち、上記平板２０を上記光導波路デ
バイス１の上記集光レンズ系３側の端面２ａに固着する
ことにより、この光導波路デバイス１は、ゴミあるいは
粒子が浮遊する環境においても、使用することができる
ようになる。That is, by fixing the flat plate 20 to the end surface 2a of the optical waveguide device 1 on the side of the condenser lens system 3, the optical waveguide device 1 is used even in an environment in which dust or particles float. Will be able to.
【００４４】上述の説明においては、上記平板２０の板
厚ｔが１．２ｍｍである場合について説明したが、この
平板２０の板厚ｔは、０．１ｍｍ程度の値であれば、こ
の平板２０の入射側の端面２０ａ上における光スポット
直径を０．０６ｍｍとし、上記光導波路２の入射端面２
ａ上の光スポット径に対して１桁程度（約１０倍に）広
げることができる。すなわち、この場合には、上記光源
部４は、上記光導波路２が導波することのできる導波モ
ードの光スポットの径に対して１０倍以上の径を有し
て、上記光導波路２に結合されることとなる。In the above description, the case where the plate thickness t of the flat plate 20 is 1.2 mm has been described, but if the plate thickness t of the flat plate 20 is a value of about 0.1 mm, the flat plate 20 will be described. The diameter of the light spot on the end face 20a on the incident side of is 0.06 mm, and the incident end face 2 of the optical waveguide 2 is
It can be expanded by about one digit (about 10 times) the diameter of the light spot on a. That is, in this case, the light source unit 4 has a diameter 10 times or more as large as the diameter of the light spot of the guided mode which the optical waveguide 2 can guide. Will be combined.
【００４５】すなわち、上記平板２０は、板厚ｔの値
が、０．１ｍｍ以上であれば、上記光導波路デバイス１
の入射側端面１ａに固着されることによって、この光導
波路デバイス１をゴミあるいは粒子が浮遊する環境にお
いても使用できるものとすることができる。That is, if the plate thickness t of the flat plate 20 is 0.1 mm or more, the optical waveguide device 1 will be described.
The optical waveguide device 1 can be used even in an environment in which dust or particles are suspended by being fixed to the incident-side end face 1a of.
【００４６】そして、上記集光レンズ系３として用いる
レンズは、波長７８０ｎｍの収束光が厚さ１．２ｍｍの
ポリカーボネート製の平板を透過した際に発生する焦点
の位置ズレ（すなわち収差）を補正したレンズであるこ
ととすると、上記光導波路２の入射端面２ａ上におい
て、上記レーザ光Ｌが集光される光スポット径を最小と
することができる。The lens used as the condenser lens system 3 corrects the positional shift (that is, aberration) of the focal point that occurs when the convergent light having the wavelength of 780 nm passes through the 1.2 mm-thick polycarbonate flat plate. If it is a lens, the diameter of the light spot on which the laser light L is condensed can be minimized on the incident end face 2a of the optical waveguide 2.
【００４７】上記集光レンズ系３として、開口数（Ｎ
Ａ）が０．４５の集光レンズを用い、この集光レンズに
より収束されるレーザ光Ｌを厚さ１．２ｍｍのポリカー
ボネート製の平板（屈祈率ｎ＝１．５５）に透過させる
場合について、ザイデル（SEIDEL）の収差係数を展開し
て計算を行うと、球面収差は、約０．００３６ｍｍとな
る。As the condenser lens system 3, the numerical aperture (N
A) A case where a condenser lens of 0.45 is used and the laser beam L converged by this condenser lens is transmitted through a polycarbonate flat plate (thickness ratio n = 1.55) having a thickness of 1.2 mm. , SEIDEL's aberration coefficient is expanded and calculated, the spherical aberration is about 0.0036 mm.
【００４８】この値は、上記集光レンズの外周近傍を透
過してきた光線の焦点位置と、該集光レンズの中心近傍
を透過てきた光線の焦点位置とで、約０．００３６ｍ
ｍ、すなわち、波長（７８０ｎｍ）の約４．７倍の位置
ズレが発生していることを示している。This value is about 0.0036 m at the focal position of the light ray transmitted near the outer circumference of the condenser lens and the focal position of the light ray transmitted near the center of the condenser lens.
m, that is, a positional deviation of about 4.7 times the wavelength (780 nm) has occurred.
【００４９】すなわち、上記集光レンズ系３が、上記平
板２０に収束光を透過させる場合についての収差補正を
行っていないものである場合には、上記光導波路２の入
射端面２ａにおいて、上記レーザ光Ｌを完全に集光させ
ることができない。このように、上記レーザ光Ｌが完全
に集光されないと、上記光導路２の入射端面２ａ上にお
ける導波モードの電界強度分布が小さいことにより上記
光導波路デバイス１が該レーザ光Ｌを十分に集光する必
要がある場合においては、この光導波路デバイス１は、
性能を十分に発揮することができない。That is, when the condenser lens system 3 does not perform the aberration correction for the case where the convergent light is transmitted to the flat plate 20, the laser is incident on the incident end face 2a of the optical waveguide 2. The light L cannot be completely condensed. As described above, if the laser light L is not completely condensed, the optical waveguide device 1 can sufficiently emit the laser light L because the electric field intensity distribution of the guided mode on the incident end face 2a of the optical path 2 is small. When it is necessary to collect light, the optical waveguide device 1 is
The performance cannot be fully exerted.
【００５０】そして、上記集光レンズ系３が、上記平板
２０により発生する収差を補正する機能を有している場
合、すなわち、この集光レンズ系３が、上記レーザ光Ｌ
の波長の４倍以上の球面収差を有して構成されている場
合には、この集光レンズ系３により集光されたレーザ光
Ｌは、該平板２０を透過した後であっても、上記光導波
路２の入射端面２ａ上において、光スポット径を最小に
することができる。この場合には、上記光導波路デバイ
ス１の光導波路２に十分に上記レーザ光Ｌを結合され、
この光導波路デバイス１は、性能を十分に発揮すること
ができる。When the condenser lens system 3 has a function of correcting the aberration generated by the flat plate 20, that is, the condenser lens system 3 has the laser beam L.
In the case where it is configured to have a spherical aberration of 4 times or more of the wavelength of, the laser light L condensed by the condenser lens system 3 is The light spot diameter can be minimized on the incident end surface 2a of the optical waveguide 2. In this case, the laser light L is sufficiently coupled to the optical waveguide 2 of the optical waveguide device 1,
The optical waveguide device 1 can sufficiently exhibit its performance.
【００５１】また、図４に示すように、上記平板２０と
して厚さｔが１．２ｍｍのポリカーボネート製の平板
（屈折率ｎ＝１．５５）を用い、上記光源部４が発する
レーザ光Ｌの波長を７８０ｎｍとし、上記集光レンズ系
３の開口数（ＮＡ）を約０．４５とした場合において
は、デジタルオーディオディスク、いわゆる「コンパク
トディスク（ＣＤ）」用の安価なプラスチック製非球面
レンズを用いることができ、光導波路装置を安価に構成
することができる。As shown in FIG. 4, a flat plate made of polycarbonate with a thickness t of 1.2 mm (refractive index n = 1.55) is used as the flat plate 20, and the laser light L emitted from the light source unit 4 is emitted. When the wavelength is 780 nm and the numerical aperture (NA) of the condenser lens system 3 is about 0.45, an inexpensive plastic aspherical lens for a digital audio disc, a so-called "compact disc (CD)" is used. It can be used and the optical waveguide device can be constructed at low cost.
【００５２】さらに、本発明は、少なくとも上記集光レ
ンズ系３は、図５に示すように、その光軸であるｚ軸
と、ｚ軸に直交しかつ互いに直交するｘ軸及びｙ軸の３
方向に関して集光レンズの位置を微調整するアクチュエ
ータを具備することとしてもよい。Furthermore, according to the present invention, at least the above-mentioned condenser lens system 3 has, as shown in FIG. 5, a z-axis which is an optical axis thereof, and an x-axis and a y-axis which are orthogonal to the z-axis and mutually orthogonal.
An actuator for finely adjusting the position of the condenser lens with respect to the direction may be provided.
【００５３】この場合には、上記半導体レーザ６からの
レーザ光Ｌは、コリメートレンズ７及びハーフミラー８
を介して、上記集光レンズ系３によって上記光導波路デ
バイス１の入射側端面１ａに臨む光導波路２の入射端面
２ａ上にフォーカシングされて入射される。この集光レ
ンズ系３は、アクチュエータ５によって、その光軸であ
るｚ軸、及びこのｚ軸に対して直交しかつ互いに直交す
るｘ軸及びｙ軸に関して微小移動し得るようになされて
いる。In this case, the laser light L from the semiconductor laser 6 is collimated by the collimator lens 7 and the half mirror 8.
The light is focused and incident on the incident end face 2a of the optical waveguide 2 facing the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 via the condenser lens system 3. The condensing lens system 3 is configured to be able to be minutely moved by the actuator 5 with respect to the optical axis of the z axis and the x axis and the y axis which are orthogonal to the z axis and orthogonal to each other.
【００５４】上記レーザ光Ｌは、上記光源部４から上記
平板２０を透過し、上記光導波路デバイス１の入射側端
面ｌａに照射して、この光導波路デバイス１の光導波路
２を導波する成分と、該光導波路デバイス１内を放射す
る成分と、該光導波路デバイス１の入射側端面１ａにて
反射される成分とに分離される。The laser light L passes through the flat plate 20 from the light source section 4, irradiates the incident side end face la of the optical waveguide device 1, and guides the optical waveguide 2 of the optical waveguide device 1. Then, it is separated into a component that radiates in the optical waveguide device 1 and a component that is reflected by the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1.
【００５５】ここで、上記光導波路デバイス１の入射側
端面１ａにて反射される光量は、上記平板２０の屈折率
及び該光導波路デバイス１の入射側端面１ａの屈折率の
差により異なる。Here, the amount of light reflected by the incident side end surface 1a of the optical waveguide device 1 differs depending on the difference between the refractive index of the flat plate 20 and the incident side end surface 1a of the optical waveguide device 1.
【００５６】上記光導波路デバイス１の入射側端面１ａ
においては、上記光導波路２が存在する入射端面２ａの
部分は、この光導波路２が存在しない他の部分に比較し
て、屈折率が異なっている。したがって、上記入射側端
面１ａからの反射光量は、上記集光レンズ系３により集
光されたレーザ光Ｌが、上記光導波路２が存在する部分
に照射されているか、あるいは、該光導波路２が存在し
ない部分に照射されているかの状態により異なる。Incident side end face 1a of the optical waveguide device 1
In, the portion of the incident end face 2a where the optical waveguide 2 exists has a different refractive index from the other portion where the optical waveguide 2 does not exist. Therefore, as for the amount of reflected light from the incident side end face 1a, the laser light L condensed by the condenser lens system 3 is applied to the portion where the optical waveguide 2 is present, or the optical waveguide 2 is Differs depending on whether or not the part that does not exist is illuminated.
【００５７】さらに、この反射光は、上記平板２０を通
過し、上記集光レンズ系３を通じて、例えば、平行光と
され、これが上記ハーフミラー８によって反射されて、
他の集光レンズ系９によって、光検出部１０にその戻り
光を入射するようになされる。Further, the reflected light passes through the flat plate 20 and is converted into, for example, parallel light through the condenser lens system 3, and the parallel light is reflected by the half mirror 8.
The return light is made incident on the photodetector 10 by another condenser lens system 9.
【００５８】上記光検出部１０は、例えば、図６乃至図
８に示すように、互いに直交する軸ｘ１及びｙ１に対し
てそれぞれ対称的に配置された４つのフォトダイオード
素子１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄが配置されて構成
されている。For example, as shown in FIGS. 6 to 8, the photodetection section 10 includes four photodiode elements 10A, 10B, 10C, which are symmetrically arranged with respect to axes x1 and y1 which are orthogonal to each other. 10D is arranged and configured.
【００５９】また、この光検出部１０の前方には、この
光検出部１０に対する入射光が上述したｘ１及びｙ１の
交点（原点）から光軸方向にずれた場合に該光検出部１
０上においての光スポットに歪みを発生させるような非
点収差発生手段１１が配置されている。この非点収差発
生手段１１としては、透過するレーザ光の光軸に対して
傾斜された平行平面板や、シリンドリカルレンズを用い
ることができる。Further, in front of the photodetector 10, when the incident light to the photodetector 10 deviates in the optical axis direction from the above-mentioned intersection (origin) of x1 and y1.
Astigmatism generating means 11 is arranged to generate distortion in the light spot on 0. As the astigmatism generating means 11, a plane-parallel plate inclined with respect to the optical axis of the transmitted laser light or a cylindrical lens can be used.
【００６０】上記アクチュエータ５は、図９及び図１０
に示すように、上記レーザ光Ｌを通過させる中心孔１２
ｈ有する固定台１２を備え、この固定台１２上にマグネ
ット群１３が取付けられて構成されている。The actuator 5 is shown in FIGS. 9 and 10.
As shown in, the central hole 12 through which the laser light L passes
A fixed base 12 having h is provided, and a magnet group 13 is mounted on the fixed base 12.
【００６１】そして、上記マグネット群１３を包み込む
ように、コイルブロック１４が被冠されている。このコ
イルブロック１４には、上記集光レンズ系３となる対物
レンズ系が取付けられ、また、ｚ軸方向のサーボ用コイ
ル、すなわち、フォーカスサーボ用コイルＣｚと、ｘ軸
及びｙ軸方向のサーボ用コイルＣｘ及びＣｙとが取付け
られている。A coil block 14 is crowned so as to enclose the magnet group 13. An objective lens system serving as the condenser lens system 3 is attached to the coil block 14, and a z-axis servo coil, that is, a focus servo coil Cz, and x-axis and y-axis servos. The coils Cx and Cy are attached.
【００６２】このコイルブロック１４は、図示しない適
当なばね機構によって、上記固定台１２上において、上
記集光レンズ系３の光軸方向であるｚ軸方向と、このｚ
軸に直交しかつ互いに直交するｘ軸及びｙ軸とに関し
て、それぞれ移動可能に支持されている。This coil block 14 is moved by a suitable spring mechanism (not shown) on the fixed base 12 in the z-axis direction which is the optical axis direction of the condenser lens system 3 and the z-axis direction.
It is movably supported with respect to an x-axis and a y-axis that are orthogonal to the axis and orthogonal to each other.
【００６３】上記フォーカスサーボ用コイルＣｚは、上
記集光レンズ系３の光軸の回りに巻回するように形成さ
れている。また、ｘ軸方向サーボ用コイルＣｘ及びｙ軸
方向のサーボ用コイルＣｙは、それぞれ、互いに直交し
かつｚ軸方向と直交するｘ軸及びｙ軸方向を中心として
巻回されたコイルよりなる。The focus servo coil Cz is formed so as to be wound around the optical axis of the condenser lens system 3. The x-axis direction servo coil Cx and the y-axis direction servo coil Cy are coils that are wound around the x-axis and y-axis directions that are orthogonal to each other and orthogonal to the z-axis direction.
【００６４】一方、上記マグネット群１３は、それぞ
れ、上記各サーボ用コイルＣｘ，Ｃｙ，Ｃｚへのサーボ
電流通電によって、各サーボ用コイルを、ｘ、ｙ及びｚ
軸方向に移行させ得るように着磁されたフォーカスサー
ボ（ｚ軸サーボ）用マグネット１３ｚと、ｘ及びｙ方向
サーボ用マグネット１３ｘ，１３ｙとにより構成されて
いる。On the other hand, the magnet group 13 causes the servo coils to pass through the servo coils Cx, Cy, Cz by applying a servo current to the servo coils x, y and z, respectively.
It is composed of a focus servo (z-axis servo) magnet 13z magnetized so as to be able to shift in the axial direction, and x and y direction servo magnets 13x and 13y.
【００６５】このようにして、上記各サーボコイルＣ
ｘ，Ｃｙ，Ｃｚへの通電によって発生する磁界と、上記
マグネット群１３の各マグネット１３ｘ，１３ｙ，１３
ｚとの共働によって、上記コイルブロック１４は、上記
集光レンズ系３を伴って、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸上に移動
操作される。In this way, each of the servo coils C
Magnetic field generated by energizing x, Cy, Cz and each magnet 13x, 13y, 13 of the magnet group 13
In cooperation with z, the coil block 14 is moved and operated on the x axis, the y axis, and the z axis together with the condenser lens system 3.
【００６６】このような構成において、上記光検出器１
０の各４分割フォトダイオード１０Ａ，１０Ｂ，１０
Ｃ，１０Ｄより得られた出力Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄからは、演
算回路１５により、（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）、（Ａ＋
Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）、及び、（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）の出
力が得られる。In such a structure, the photodetector 1
0 four-division photodiodes 10A, 10B, 10
From the outputs A, B, C, D obtained from C, 10D, the arithmetic circuit 15 outputs (A + C)-(B + D), (A +
B)-(C + D) and (A + D)-(B + C) outputs are obtained.
【００６７】このような構成において、上記光導波路デ
バイス１に対して上記光源部４を結合させるには、先
ず、上記レーザ光Ｌの光軸（ｚ軸）が略々上記光導波路
２の入射端面２ａの中心に一致するように設定する。In order to couple the light source section 4 to the optical waveguide device 1 having such a structure, first, the optical axis (z axis) of the laser beam L is approximately the incident end face of the optical waveguide 2. Set so as to match the center of 2a.
【００６８】この状態で、上記半導体レーザ６からの上
記レーザ光Ｌを、集光レンズ系３を通じて上記光導波路
デバイス１の入射側端面１ａ上に照射させる。In this state, the laser light L from the semiconductor laser 6 is irradiated onto the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 through the condenser lens system 3.
【００６９】このとき、上記光導波路２の入射端面２ａ
からの反射光による戻り光が、上記入射側端面１ａより
出射され、上記集光レンズ系３、上記ハーフミラー８、
上記集光レンズ系９、上記非点収差発生手段１１を通じ
て、上記光検出部１０に導入される。At this time, the incident end face 2a of the optical waveguide 2 is
The return light due to the reflected light from is emitted from the incident side end surface 1a, and the condenser lens system 3, the half mirror 8,
It is introduced into the photodetection section 10 through the condenser lens system 9 and the astigmatism generation means 11.
【００７０】上記光導波路デバイス１の入射側端面１ａ
には、実際上、無反射コートＡＲが施されているので、
上記レーザ光Ｌが、該入射側端面１ａの上記光導波路２
のない部分に集光されている場合と、該光導波路２の入
射端面２ａ上に集光されている場合とでは、反射率の差
異により、戻り光の光量が変化する。Incident side end face 1a of the optical waveguide device 1
In fact, the non-reflective coating AR is applied,
The laser light L is emitted from the optical waveguide 2 of the incident side end face 1a.
The amount of the return light changes due to the difference in reflectance between the case where the light is focused on a portion where there is no light and the case where the light is focused on the incident end surface 2a of the optical waveguide 2.
【００７１】すなわち、例えば、上記光導波路デバイス
１がＳＨＧである場合において、その非線形光学晶基体
１ｓが、ニオブ酸リチウム等、屈折率が２．１乃至２．
２程度であり、その基体１ｓ上に屈折率上昇量が３％乃
至４％程度の光導波路２が形成され、また、上記平板２
０の材質がポリカーボネートである場合には、この平板
２０との間の入射側端面１ａにＳｉＯ2とＴａ2Ｏ5の混
合膜よりなる屈折率１．８０の単層膜により無反射コー
トＡＲを被着する。That is, for example, when the optical waveguide device 1 is SHG, the nonlinear optical crystal substrate 1s is made of lithium niobate or the like and has a refractive index of 2.1 to 2.
The optical waveguide 2 having a refractive index increase of about 3% to 4% is formed on the base 1s, and the flat plate 2
When the material of No. 0 is polycarbonate, the antireflection coating AR is formed on the incident side end surface 1a between the flat plate 20 and the flat plate 20 by a single layer film having a refractive index of 1.80 made of a mixed film of SiO 2 and Ta 2 O 5. Put on.
【００７２】ここで、上記入射側端面１ａに１０ｍＷの
レーザ光Ｌを集光させたときのこの入射側端面１ａから
の戻り光は、上記光導波路２が無い部分に集光された場
合は、１００μＷ程度の光量であるのに対し、該光導波
路２のある部分に集光された場合には、２０μＷ程度あ
るいはそれ以下の光量となり、該光導波路２に対する集
光位置によって５倍程度変化する。Here, when the return light from the incident side end face 1a when the laser beam L of 10 mW is condensed on the incident side end face 1a is condensed on the portion where the optical waveguide 2 is not present, While the amount of light is about 100 μW, when it is condensed on a portion of the optical waveguide 2, the amount of light is about 20 μW or less, which changes about 5 times depending on the condensing position with respect to the optical waveguide 2.
【００７３】したがって、この戻り光の光量変化の検出
によって、上記レーザ光Ｌが少なくとも上記光導波路デ
バイス１の入射側端面１ａにおいて上記光導波路２上に
あるか否かを検出することができる。Therefore, it is possible to detect whether or not the laser light L is on the optical waveguide 2 at least at the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 by detecting the change in the amount of the returned light.
【００７４】そして、上記レーザ光Ｌの照射位置が集光
レンズ系３のフォーカスより近すぎる場合、すなわちオ
ーバーフォーカスの場合、逆に遠い場合すなわちアンダ
ーフォーカスである場合において、上記入射側端面１ａ
からの戻り光が非点収差発生手段１１を通過して４分割
フォトダオード１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄからな
る光検出部１０上に集光させたときの、その４分割フォ
トダオード上の光スポット像は、図８及び図６に示すよ
うに、楕円形となる。上記レーザ光Ｌの照射位置がジャ
ストフォーカスである場合においては、上記４分割フォ
トダオード１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ上の光スポ
ット像は、図７に示すように、円形となる。When the irradiation position of the laser beam L is too close to the focus of the condenser lens system 3, that is, when it is over-focused, or when it is far away, that is, when it is under-focused, the incident-side end face 1a.
On the four-divided photodiode when the return light from the light passes through the astigmatism generation means 11 and is condensed on the photodetector 10 composed of the four-divided photodiodes 10A, 10B, 10C, 10D. The light spot image has an elliptical shape as shown in FIGS. When the irradiation position of the laser light L is just focus, the light spot images on the four-divided photodiodes 10A, 10B, 10C, 10D are circular as shown in FIG.
【００７５】上記出力（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）と、フォ
ーカス状態との関係は、図１１に示すように、Ｓ字のカ
ーブを描く。すなわち、フォーカス状態が近すぎる場合
と、遠すぎる場合とでは、図８あるは図６に示すよう
に、ｘ１軸方向とｙ１軸方向に長軸を有し他方向に短軸
を有する斜線を付して示す楕円状の光スポットＳが得ら
れ、ジャストフォーカスにおいては、図７に示すよう
に、各ｘ１軸及びｙ１軸に対して同一径、即ち中心軸に
対して円対称の光スポットとなるので、上記出力（Ａ＋
Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）は、図１１に示すように、ジャストフ
ォーカス時においては０となり、これよりフォーカスが
近すぎる場合あるいは遠すぎる場合にはその出力が正方
向あるいは負方向に生じてくる。The relationship between the output (A + C)-(B + D) and the focus state is an S-shaped curve as shown in FIG. That is, depending on whether the focus state is too close or too far, as shown in FIG. 8 or FIG. 6, hatched lines having major axes in the x1 axis direction and y1 axis direction and minor axes in the other direction are added. An elliptical light spot S shown in FIG. 7 is obtained, and in just focus, as shown in FIG. 7, the light spot has the same diameter with respect to each x1 axis and y1 axis, that is, is a circularly symmetrical light spot with respect to the central axis. Therefore, the above output (A +
As shown in FIG. 11, C)-(B + D) becomes 0 at the time of just focus, and when the focus is too close or far from this, the output occurs in the positive direction or the negative direction.
【００７６】したがって、この出力（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋
Ｄ）をフォーカス用のサーボ信号としてこれを上記アク
チュエータ５のｚ軸方向サーボ用コイルＣｚに通電する
ことによって、ｚ軸方向の調整が行える。Therefore, this output (A + C)-(B +
By using D) as a focus servo signal and energizing this to the z-axis servo coil Cz of the actuator 5, adjustment in the z-axis direction can be performed.
【００７７】また、上記光導波路デバイス１の入射側端
面１ａの光導波路２の入射端面２ａに対して、上記レー
ザ光Ｌのスポットが位置ずれした場合についてみると、
上記集光レンズ系３のフォーカス時において、図１２に
示すように、このスポットＬｓがｘ軸方向に位置ずれを
生じた場合の光検出部１０における４分割フォトダイオ
ード上のスポット像は、図１３に示すように、明るさが
一様でないスポットＳとなる。A case where the spot of the laser beam L is displaced from the incident end face 2a of the optical waveguide 2 on the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 will be described.
As shown in FIG. 12, when the condenser lens system 3 is focused, the spot image on the four-division photodiode in the photodetector 10 when the spot Ls is displaced in the x-axis direction is as shown in FIG. As shown in, the spot S has uneven brightness.
【００７８】この場合の上記４分割フォトダイオードか
らの電気信号に基づく出力（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）の強
度と、ｘ方向の上記光導波路２の位置からのずれとの関
係は、例えば、図１４に示すように、Ｓ字のカーブを描
く。In this case, the relationship between the intensity of the output (A + B)-(C + D) based on the electric signal from the four-division photodiode and the deviation from the position of the optical waveguide 2 in the x direction is shown in FIG. Draw an S-shaped curve as shown in.
【００７９】すなわち、この場合においても、中心にお
いて出力（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）は０となるが、ｘ軸方
向の何れかの方向にずれることによって、出力が生じ、
図１４に示すように、Ｓ字カーブを描く関係が得られ
る。That is, also in this case, the output (A + B)-(C + D) becomes 0 at the center, but the output is generated by the deviation in any of the x-axis directions,
As shown in FIG. 14, a relationship that draws an S-shaped curve is obtained.
【００８０】したがって、この出力（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋
Ｄ）をｘ軸方向の光導波路２からのずれのエラー信号と
して取り出し、これを字サーボコイルＣｘに供給するこ
とによってｘ軸方向の位置のサーボを行うことができ
る。Therefore, this output (A + B)-(C +
D) is taken out as an error signal of the deviation from the optical waveguide 2 in the x-axis direction and is supplied to the character servo coil Cx, so that the position servo in the x-axis direction can be performed.
【００８１】また、ｙ軸方向のサーボについては、上記
出力（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）をｙ軸方向の位置のエラー
信号として同様の方法によって適用する。For the servo in the y-axis direction, the output (A + D)-(B + C) is applied as a position error signal in the y-axis direction by the same method.
【００８２】また、前述したように、レーザ光Ｌの光ス
ポットＬｓが上記光導波路デバイス１の光導波路２の入
射端面２ａから全くずれた場合と、該光導波路２の入射
端面２ａ内に集光している場合について更に述べると、
この場合上述した各エラー信号に差異は生じないが、４
分割フォトダイオードに入力される光量の和を示す出力
（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）は、光導波路デバイス１の入射側端
面１ａの反射コートＡＲの条件等によって変化する。Further, as described above, the case where the light spot Ls of the laser light L is completely deviated from the incident end face 2a of the optical waveguide 2 of the optical waveguide device 1 and the case where the light spot Ls is focused on the incident end face 2a of the optical waveguide 2 are collected. If you are going to further describe the case,
In this case, there is no difference between the above-mentioned error signals, but
The output (A + B + C + D) indicating the sum of the amounts of light input to the divided photodiodes changes depending on the conditions of the reflection coat AR on the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 and the like.
【００８３】そこで、この場合のサーチは、上記各フォ
トダイオード１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄに入力さ
れた戻り光の和に相当する出力（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）をモ
ニターすることにより、区別することができる。したが
って、この出力（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）をモニターしなが
ら、上述したアクチュエータ５により上記集光レンズ系
３を移動操作することにより、出力（Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）
が、例えば極小値となる位置を探すことによって行うこ
とができる。Therefore, the search in this case can be distinguished by monitoring the output (A + B + C + D) corresponding to the sum of the return light input to the photodiodes 10A, 10B, 10C and 10D. Therefore, while the output (A + B + C + D) is being monitored, the output (A + B + C + D) can be obtained by moving the condenser lens system 3 by the actuator 5 described above.
Can be performed by, for example, searching for a position having a minimum value.
【００８４】なお、反射コートの条件が、上記光導波路
２のない部分に設定してある場合には、上記出力（Ａ＋
Ｂ＋Ｃ＋Ｄ）の値が極大値となる位置が、該光導波路２
へ上記レーザ光Ｌが入射されている位置となる。When the condition of the reflection coat is set to the portion where the optical waveguide 2 is not provided, the output (A +
The position where the value of (B + C + D) becomes maximum is the optical waveguide 2
This is the position where the laser light L is incident on.
【００８５】さらに、図１５に示すように、上記光導波
路デバイス１の入射側端面１ａになされた無反射コート
ＡＲが上記基体１ｓの屈折率が変動しても反射率を低減
させる構成である場合、または、入射するレーザ光Ｌの
光量が少ない場合、あるいは、上記光導波路２の屈折率
上昇量が小さい場合、すなわち、上記光導波路デバイス
１の入射側端面１ａ上において、上記光導波路２の存在
に係わらず、光検出器の光量の和がさほど変化しない場
合においては、以下に示すように、上記レーザ光Ｌのう
ちの上記光導波路２に入射した光の該光導波路２の出射
端面２ａからの戻り光の光量または光量分布を検出する
ことにより、集光レンズ系３のサーボ信号の精度を向上
させることができる。Further, as shown in FIG. 15, in the case where the antireflection coating AR formed on the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 has a structure for reducing the reflectance even if the refractive index of the substrate 1s changes. , Or the amount of incident laser light L is small, or the amount of increase in the refractive index of the optical waveguide 2 is small, that is, the presence of the optical waveguide 2 on the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1. Regardless of the above, in the case where the sum of the light amounts of the photodetectors does not change so much, as shown below, the light of the laser light L that has entered the optical waveguide 2 is emitted from the emission end face 2a of the optical waveguide 2. By detecting the light quantity or the light quantity distribution of the return light, the accuracy of the servo signal of the condenser lens system 3 can be improved.
【００８６】ここでは、上記光導波路デバイス１の入射
側端面１ａに無反射コートＡＲが施され、上記レーザ光
Ｌがこの入射側端面１ａの上記光導波路２のない部分に
集光されている場合と、該レーザ光Ｌが該光導波路２上
に集光されている場合とで、戻り光として再び上記集光
レンズ系３に結合する光量がきわめて少ない場合を例に
する。Here, in the case where the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 is provided with a non-reflective coating AR, and the laser light L is condensed on a portion of the incident side end face 1a where the optical waveguide 2 is absent. The case where the laser light L is condensed on the optical waveguide 2 and the case where the amount of light that is coupled back to the condenser lens system 3 as return light is extremely small will be described as an example.
【００８７】この場合には、上記光導波路デバイス１の
入射側端面１ａにおける反射光量からでは、上記光導波
路２が存在する位置を検出することは不可能である。In this case, the position where the optical waveguide 2 exists cannot be detected from the amount of reflected light on the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1.
【００８８】しかしながら、上記入射側端面１ａの光導
波路２のある部分に集光され、光導波路２により導波さ
れたレーザ光Ｌは、この光導波路２の出射端面２ｂにお
いて、この出射端面２ｂを透過するレーザ光Ｌと、この
出射端面２ｂによって反射されるレーザ光Ｌとに分配さ
れる。そこで、この出射端面２ｂによって反射されたレ
ーザ光Ｌは、光導波路２内を逆方向に導波され、光導波
路２の入射端面２ａに到達する。However, the laser light L focused on the part of the incident side end face 1a where the optical waveguide 2 is present and guided by the optical waveguide 2 is emitted from the exit end face 2b of the optical waveguide 2 at the exit end face 2b. The laser light L that is transmitted is divided into the laser light L that is reflected by the emission end surface 2b. Therefore, the laser light L reflected by the emitting end face 2b is guided in the optical waveguide 2 in the opposite direction and reaches the incident end face 2a of the optical waveguide 2.
【００８９】ここで、上記光導波路２の入射端面２ａに
おいて、上記集光レンズ系３により集光されたレーザ光
Ｌが該光導波路２を導波された場合には、上記出射端面
２ｂ側より導波してきたレーザ光Ｌは、該入射端面２ａ
を透過した後、上記集光レンズ系３と再び結合する。出
射端面２ｂにより反射され上記集光レンズ系３と再結合
したレーザ光Ｌは、実際上、上記入射端面２ａからの戻
り光であるかのごとく、上記ハーフミラー８、上記集光
レンズ系９、上記非点収差発生手段１１を通じて、上記
光検出部１０に導入されることとなる。Here, in the case where the laser light L condensed by the condenser lens system 3 is guided through the optical waveguide 2 at the incident end surface 2a of the optical waveguide 2, from the side of the emitting end surface 2b. The guided laser light L is incident on the incident end face 2a.
And then re-couple with the condenser lens system 3. The laser light L reflected by the exit end face 2b and recombined with the condenser lens system 3 is actually the return light from the incident end face 2a, and the half mirror 8, the condenser lens system 9, The light is introduced into the photodetection section 10 through the astigmatism generation means 11.
【００９０】すなわち、上記光導波路デバイス１の入射
側端面１ａからの戻り光でなく、光導波路２を導波した
光を集光レンズ系３の位置サーボ信号に用いることも可
能となる。That is, it is possible to use not the return light from the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 but the light guided through the optical waveguide 2 as the position servo signal of the condenser lens system 3.
【００９１】上記レーザ光Ｌが、上記入射側端面１ａの
光導波路２のある部分に集光されている場合は、このレ
ーザ光Ｌは、該光導波路２を導波することができる。こ
の場合において、このレーザ光Ｌの光量に対する該光導
波路２を導波する光量の割合（光導波路との結合効率）
は、この光導波路２を導波することのできる導波モード
の入射側端面１ａにおける電界強度分布と、該レーザ光
Ｌが上記集光レンズ系３により集光された入射側端面１
ａにおけるスポットの電界強度分布との重畳積分によっ
て現わすことができる。したがって、上記集光レンズ系
３の光学定数及び上記光導波路２の形状を工夫すること
により、光導波路の結合効率は、５０％以上にすること
は容易である。When the laser light L is condensed on a portion of the incident side end face 1 a where the optical waveguide 2 is present, the laser light L can be guided through the optical waveguide 2. In this case, the ratio of the amount of light guided through the optical waveguide 2 to the amount of laser light L (coupling efficiency with the optical waveguide)
Is the electric field intensity distribution on the incident side end face 1a of the guided mode capable of guiding the optical waveguide 2 and the incident side end face 1 on which the laser light L is condensed by the condenser lens system 3.
It can be expressed by superposition integration with the electric field intensity distribution of the spot in a. Therefore, it is easy to increase the coupling efficiency of the optical waveguide to 50% or more by devising the optical constant of the condenser lens system 3 and the shape of the optical waveguide 2.
【００９２】すなわち、具体的には、例えば、上記光導
波路デバイス１の入射側端面１ａに無反射コートＡＲが
被着されている場合、この入射側端面１ａに１００ｍＷ
のレーザ光Ｌを集光させると、上記光導波路２のない部
分に集光された場合には、その戻り光は１００μＷ程度
の戻り光量となる。That is, specifically, for example, when the incident side end surface 1a of the optical waveguide device 1 is coated with the antireflection coat AR, the incident side end surface 1a is 100 mW.
When the laser light L is condensed, when it is condensed on the portion where the optical waveguide 2 does not exist, the returned light has an amount of returned light of about 100 μW.
【００９３】これに対し、上記光導波路２の部分に上記
レーザ光Ｌが集光された場合は、該光導波路２の入射端
面２ａにおける反射光量は、２０μＷ以下であるが、集
光レンズ系３と光導波路２を導波する導波モードとの結
合効率が５０％であるとすると、５０ｍＷのレーザ光Ｌ
が光導波路２を導波する。そして光導波路デバイス１の
出射側端面１ｂでの反射率は、無反射コート膜がない場
合では、約１４％の反射率を有しているため、約７ｍＷ
が光導波路２の入射端面２ａに戻ってくることとなる。On the other hand, when the laser light L is focused on the optical waveguide 2, the amount of reflected light at the incident end face 2a of the optical waveguide 2 is 20 μW or less, but the focusing lens system 3 is used. If the coupling efficiency between the optical waveguide 2 and the waveguide mode guided by the optical waveguide 2 is 50%, the laser light L of 50 mW is emitted.
Guides through the optical waveguide 2. The reflectance at the exit side end face 1b of the optical waveguide device 1 is about 7 mW because it has a reflectance of about 14% without the antireflection coating film.
Will return to the incident end face 2a of the optical waveguide 2.
【００９４】つまり、上記光導波路２のない部分に上記
レーザ光Ｌが集光された場合の戻り光量は、１００μＷ
程度であるのに対し、該光導波路２のある部分に集光さ
れた場合の戻り光量は、７ｍＷ程度となり、７０倍程度
変化する。That is, the amount of return light when the laser light L is focused on the portion where the optical waveguide 2 is not present is 100 μW.
On the other hand, the amount of return light when condensed on a portion of the optical waveguide 2 is about 7 mW, which is about 70 times as large.
【００９５】さらに、上記光導波路デバイス１の出射側
端面１ｂでの反射率が、無反射コート膜ＡＲがある場合
において、１％程度であっても、戻り光量は、５００μ
Ｗ程度となり、５倍程度の変化が得られる。Further, even if the reflectance at the emission side end face 1b of the optical waveguide device 1 is about 1% in the case where the antireflection coating film AR is present, the amount of return light is 500 μm.
It becomes about W, and a change of about 5 times can be obtained.
【００９６】このような大きな変化量は、上記レーザ光
Ｌが上記光導波路２のない部分に集光された場合に得ら
れる戻り光が集光された光導波路デバイス１の入射側端
面１ａにおける反射光のみであるのに対して、該光導波
路２のある部分に集光された場合に得られる戻り光が、
集光された光導波路２の入射端面２ａにおける反射によ
る戻り光と、この光導波路２を導波した後、この光導波
路２の出射端面２ｂからの反射による戻り光との和とな
るために、得られるものである。Such a large amount of change is reflected by the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 on which the return light obtained when the laser light L is condensed on the portion without the optical waveguide 2 is condensed. The return light obtained when the light is focused on a portion of the optical waveguide 2 is
The sum of the return light due to the reflection on the incident end face 2a of the optical waveguide 2 and the return light due to the reflection from the emission end face 2b of the optical waveguide 2 after being guided through the optical waveguide 2 is obtained. Is what you get.
【００９７】したがって、この光量変化の検出によっ
て、上記レーザ光Ｌが少なくとも上記光導波路デバイス
１の入射側端面１ａにおいて上記光導波路２上にあるか
否かを検出することが、さらに容易となる。Therefore, by detecting the change in the light quantity, it becomes easier to detect whether or not the laser light L is on the optical waveguide 2 at least at the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1.
【００９８】この場合において、光導波路２内を導波
し、そして光導波路２の出射端面２ｂにおいて一部反射
され、さらに光導波路デバイス１の入射側端面１ａに到
達した光が光検出部１０に入射する状態は、上述した実
施の形態と同様である。In this case, the light guided in the optical waveguide 2, partially reflected by the emission end face 2b of the optical waveguide 2, and further reaching the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 reaches the photodetection section 10. The incident state is the same as in the above-described embodiment.
【００９９】また、上記光検出部１０、上記アクチュエ
ータ５の構成、非点収差の発生方法、及び、上記出射端
面２ｂからの戻り光の光検出部１０への導入方法、さら
に、戻り光量の光検出部１０上の分布の変化を用いた、
フォーカスのサーボ方法および位置ずれのサーボの方法
に関しても、上述した実施の形態と同様である。Further, the configuration of the photodetection unit 10 and the actuator 5, the method of generating astigmatism, the method of introducing the return light from the emission end face 2b into the photodetection unit 10, and the amount of the return light. Using the change of the distribution on the detection unit 10,
The focus servo method and the position shift servo method are the same as those in the above-described embodiments.
【０１００】さらに、以下に示すように、上記レーザ光
Ｌのうちの上記光導波路２に入射した光の該光導波路２
内の反射源からの戻り光の光量または光量分布を検出す
ることとすることにより、さらに、集光レンズ系３のサ
ーボ信号の精度を向上させることができる。Further, as shown below, of the laser light L, the light incident on the optical waveguide 2 is converted into the optical waveguide 2.
By detecting the light quantity or the light quantity distribution of the return light from the internal reflection source, the accuracy of the servo signal of the condenser lens system 3 can be further improved.
【０１０１】ここでは、光導波路デバイス１は、図１６
及び図１７に示すように、導波モード型あるいはチェレ
ンコフ放射型の光導波路型ＳＨＧであって、例えば、非
線形光学結晶よりなる基体１ｓに、テーパ部分２ｃを有
するチャンネル型の線形もしくは非線形の光導波路２が
設けられている。Here, the optical waveguide device 1 is shown in FIG.
And, as shown in FIG. 17, it is a waveguide mode type or Cherenkov radiation type optical waveguide type SHG, for example, a channel type linear or nonlinear optical waveguide having a tapered portion 2c on a substrate 1s made of a nonlinear optical crystal. Two are provided.
【０１０２】上記光導波路２の入射端面２ａは、光導波
路デバイス１の入射側端面１ａに臨んで設けられ、ま
た、該光導波路２の出射端面２ｂは、該光導波路デバイ
ス１の出射側端面１ｂに臨んで設けられる。また、上記
光導波路２のテーパ部分２ｃは、入射端面２ａと出射端
面２ｂとの間に存在する。The incident end face 2a of the optical waveguide 2 is provided so as to face the incident end face 1a of the optical waveguide device 1, and the emitting end face 2b of the optical waveguide 2 is the emitting end face 1b of the optical waveguide device 1. It is provided to face. Further, the tapered portion 2c of the optical waveguide 2 exists between the incident end face 2a and the emitting end face 2b.
【０１０３】ここでは、上記光導波路２をテーパ部分２
ｃを有するチャンネル型の線形もしくは非線形の光導波
路としたが、この光導波路２は、この光導波路２の内部
に、テーパ部分あるいは分岐部分、さらには、合流部分
などの反射源が存在するものであればよい。すなわち、
光導波路デバイス１は、図１８に示すように、分岐２ｃ
を有するチャンネル型の線形もしくは非線形の光導波路
２が設けられてなるものもでもよい。Here, the optical waveguide 2 is connected to the tapered portion 2
Although the channel type linear or non-linear optical waveguide having c is used, the optical waveguide 2 has a reflection source such as a tapered portion or a branched portion, and a confluent portion inside the optical waveguide 2. I wish I had it. That is,
The optical waveguide device 1 has a branch 2c as shown in FIG.
A channel type linear or non-linear optical waveguide 2 may be provided.
【０１０４】上記光源部４及び上記アクチュエータ５
は、上述した実施の形態と同様に構成される。The light source section 4 and the actuator 5
Is configured similarly to the above-described embodiment.
【０１０５】上記光源部４からのレーザ光Ｌは、上記光
導波路デバイス１の入射側端面１ａに照射され、さら
に、上記光導波路２内を導波し、そして、この光導波路
２内のテーパ部分２ｃにおいて一部反射される。The laser light L from the light source section 4 is applied to the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1, is further guided in the optical waveguide 2, and is a tapered portion in the optical waveguide 2. It is partially reflected at 2c.
【０１０６】上記光導波路２内のテーバ部分２ｃにおい
て反射されたレーザ光Ｌ（反射光）は、また、光導波路
２内を導波し、上記光導波路デバイス１の入射側端面１
ａに到達する。さらに、この反射光は、上記光導波路デ
バイス１の入射側端面１ａを通過し、上記集光レンズ系
３を通じて例えば平行光とされ、これが上記ハーフミラ
ー８によって反射されて、上記集光レンズ系９によって
上記光検出部１０にその戻り光を入射するようになされ
る。The laser light L (reflected light) reflected by the taper portion 2c in the optical waveguide 2 is also guided in the optical waveguide 2, and the incident side end face 1 of the optical waveguide device 1 is also guided.
reaches a. Further, the reflected light passes through the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 and is converted into, for example, parallel light through the condenser lens system 3, which is reflected by the half mirror 8 and the condenser lens system 9 is formed. Thus, the return light is made incident on the photodetection section 10.
【０１０７】この例において、上記光導波路２内を導波
し、この光導波路２内のテーパ部分２ｃにおいて一部反
射され、さらに上記光導波路デバイス１の入射側端面１
ａに到達した光が、上記光検出部１０に入射する状態
は、上述の実施の形態と同様でるある。また、上記光検
出部１０、上記アクチュエータ５の構成、非点収差の発
生方法、及び、上記反射源２ｃからの戻り光の光検出部
１０への導入方法、さらに、戻り光量の光検出部１０上
の分布の変化を用いた、フォーカスのサーボ方法及び位
置ずれのサーボの方法に関しても、上述の実施の形態と
同様である。In this example, the light is guided in the optical waveguide 2, partially reflected by the tapered portion 2c in the optical waveguide 2, and further the incident side end face 1 of the optical waveguide device 1 is provided.
The state in which the light that has reached a is incident on the photodetection unit 10 is the same as in the above-described embodiment. Further, the configuration of the photodetector 10, the actuator 5, the method of generating astigmatism, the method of introducing the return light from the reflection source 2c into the photodetector 10, and the photodetector 10 of the amount of return light. The focus servo method and the position shift servo method using the change in the above distribution are the same as those in the above-described embodiment.
【０１０８】この場合には、戻り光の光量の変化量は、
上記レーザ光Ｌが上記光導波路２のない部分に集光され
た場合に得られる戻り光が、集光された光導波路デバイ
ス１の入射側端面１ａにおける反射光のみであるのに対
して、該レーザ光Ｌが該光導波路２のある部分に集光さ
れた場合に得られる戻り光が、集光された光導波路２の
入射側端面２ａにおける反射による戻り光と、この光導
波路２を導波した後、この光導波路２の出射端面２ｂか
らの反射による戻り光と、さらに、この光導波路２内の
反射源２ｃによって反射された戻り光との和となるため
に、大きな変化量となって表れる。In this case, the amount of change in the amount of return light is
The return light obtained when the laser light L is condensed on the portion without the optical waveguide 2 is only the reflected light on the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 which is condensed. The return light obtained when the laser light L is condensed on a portion of the optical waveguide 2 is returned light by reflection on the incident side end face 2 a of the condensed optical waveguide 2 and is guided through the optical waveguide 2. After that, the return light due to the reflection from the emission end face 2b of the optical waveguide 2 and the return light reflected by the reflection source 2c in the optical waveguide 2 become the sum, so that the change amount becomes large. appear.
【０１０９】したがって、この戻り光の光量変化の検出
によって、上記レーザ光Ｌが少なくとも上記光導波路デ
バイス１の入射側端面１ａにおいて上記光導波路２上に
あるか否かを検出することがさらに容易となる。Therefore, it is easier to detect whether or not the laser light L is on the optical waveguide 2 at least at the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 by detecting the change in the amount of the returned light. Become.
【０１１０】そして、この光導波路装置においては、上
記平板は、図１９に示すように、上記光導波路デバイス
１の入射側端面１ａに対して、モールドにより形成固着
されているものとしてもよい。In this optical waveguide device, the flat plate may be molded and fixed to the incident side end face 1a of the optical waveguide device 1 as shown in FIG.
【０１１１】この光導波路装置は、光導波路デバイス１
０１の光導波路１０２に対してレーザ光Ｌを集光入射さ
せる集光レンズ系３を有し該光導波路デバイス１０１の
入射側端面１０１ａに対向して配置された光源部４が設
けられている光導波路装置であって、該光導波路デバイ
ス１０１の該集光レンズ系３側である入射側端面１０１
ａに、レーザ光Ｌを透過するモールド材料１２０が、厚
さ０．１ｍｍ以上の略々平行の形状を有して、モールド
（射出成型）により形成されている。This optical waveguide device is an optical waveguide device 1
A light source unit 4 having a condenser lens system 3 for converging and inputting the laser light L to the optical waveguide 102 of No. 01 is provided so as to face the incident side end face 101a of the optical waveguide device 101. A waveguide device, which is an incident side end face 101 which is the side of the condenser lens system 3 of the optical waveguide device 101.
A molding material 120 that transmits the laser light L is formed in a by molding (injection molding) having a substantially parallel shape with a thickness of 0.1 mm or more.
【０１１２】光導波路デバイス１０１は、例えば、図２
０に示すように、導波モード型あるいはチェレンコフ放
射型の光導波路型ＳＨＧであって、例えば、非線形光学
結晶よりなる基体１０１ｓ上にチャンネル型の線形もし
くは非線形の光導波路１０２が設けられて構成されてい
る。The optical waveguide device 101 is shown in FIG.
As shown in 0, it is a waveguide mode type or Cherenkov radiation type optical waveguide type SHG, and is constituted by providing a channel type linear or nonlinear optical waveguide 102 on a substrate 101s made of a nonlinear optical crystal, for example. ing.
【０１１３】さらに、上記光導波路デバイス１０１は、
例えば、図２１に示すように、光導波路１０２の保護あ
るいは光導波路１０２の導波モードの実効屈折率の制御
を目的として、上面部にクラッド膜３０が形成されてい
る。Furthermore, the optical waveguide device 101 is
For example, as shown in FIG. 21, a cladding film 30 is formed on the upper surface for the purpose of protecting the optical waveguide 102 or controlling the effective refractive index of the waveguide mode of the optical waveguide 102.
【０１１４】上記光導波路１０２の入射端面１０２ａ
は、上記光導波路デバイス１０１の入射端面１０１ａに
臨んで設けられ、また、光導波路１０２の出射端面１０
２ｂは、光導波路デバイス１の出射側端面１０１ｂに臨
んで設けられる。Incident end face 102a of the optical waveguide 102
Is provided so as to face the incident end face 101 a of the optical waveguide device 101, and the emitting end face 10 of the optical waveguide 102.
2b is provided so as to face the emitting side end surface 101b of the optical waveguide device 1.
【０１１５】光源部４は、例えば、半導体レーザ６から
のレーザ光Ｌをコリメートレンズ７を介して集光レンズ
系３によって上記光導波路デバイス１０１の入射側端面
１０１ａに臨む光導波路１０２の入射端面１０２ａに、
モールドされたモールド材料１２０を介してフォーカシ
ングして入射させるように構成されている。In the light source section 4, for example, the laser light L from the semiconductor laser 6 is incident on the incident side end surface 101a of the optical waveguide device 101 by the condenser lens system 3 via the collimating lens 7 so as to face the incident end surface 102a. To
It is configured so that the light is focused and incident through the molded molding material 120.
【０１１６】上記レーザ光Ｌを透過するモールド材料１
２０のモールド方法の一例を、図２２乃至図２４を用い
て、以下に説明する。Molding material 1 for transmitting the laser beam L
An example of the molding method 20 will be described below with reference to FIGS. 22 to 24.
【０１１７】まず、図２２に示すように、上記光導波路
デバイス１０１をモールド型１５Ｏに配置する。ここ
で、モールド型１５０の内面における光導波路デバイス
１０１の入射側端面１０１ａに対向する面１５０ａは、
端面１０１ａに略々平行であることが望ましい。First, as shown in FIG. 22, the optical waveguide device 101 is placed in the mold 15O. Here, the surface 150a of the inner surface of the mold 150 facing the incident side end surface 101a of the optical waveguide device 101 is
It is desirable that it is substantially parallel to the end surface 101a.
【０１１８】つぎに、図２３に示すように、上記モール
ド型１５０における樹脂導入孔１５０Ｈより、溶融状態
にされたレーザ光Ｌの透過率が高いモールド材料１２０
（たとえぱポリカーボネート）を流し込む。ここで、上
記モールド型１５０及び上記光導波路デバイス１０１
は、溶融状態にされたモールド材料１２０と接触した際
のサーマルショックにより、割れなどを発生しないよう
に、予めある程度加熟されていることが望ましい。Next, as shown in FIG. 23, a molding material 120 having a higher transmittance of the laser light L in a molten state than the resin introducing hole 150H of the mold 150.
Pour (even if polycarbonate). Here, the mold 150 and the optical waveguide device 101.
Is preferably preliminarily ripened to some extent so as not to generate cracks or the like due to thermal shock when it comes into contact with the molten mold material 120.
【０１１９】つぎに、導入されたモールド材料１２０が
モールド型１５０により成形され、変形が容易に生じな
い温度まで、冷却された後に、図２４に示すように、モ
ールド型１５０を除去する。Next, the introduced molding material 120 is molded by the molding die 150, cooled to a temperature at which deformation is not easily generated, and then the molding die 150 is removed as shown in FIG.
【０１２０】以上、図２２乃至図２４に示したような方
法により、光導波路デバイス１０１の入射側端面１０１
ａに、略々平行の形状を有し、厚さ０．１ｍｍ以上のレ
ーザ光Ｌを透過するモールド材料１２０をモールドする
ことができる。ここで、このモールド方法によれば、上
記入射側端面１０１ａに対して接着剤を用いることを要
さず、量産性の高い方法で、レーザ光Ｌを透過するモー
ルド材料１２０を形成することができる。As described above, the incident side end face 101 of the optical waveguide device 101 is manufactured by the method shown in FIGS.
It is possible to mold a molding material 120 having a shape substantially parallel to a and transmitting the laser light L having a thickness of 0.1 mm or more. Here, according to this molding method, it is possible to form the molding material 120 that transmits the laser light L by a method with high mass productivity without using an adhesive agent on the incident side end surface 101a. .
【０１２１】なお、上記図２２乃至図２４においては、
上記モールド型１５０に予め上記光導波路デバイス１０
１を固定した後に、溶融状態にされたレーザ光Ｌを透過
するモールド材料１２０を流し込む方法を説明したが、
溶融状態にされたレーザ光Ｌを透過するモールド材料１
２０中に、該光導波路デバイス１０１を埋め込む方法を
用いても、この光導波路デバイス１０１の入射側端面１
０１ａ上にレーザ光Ｌを透過するモールド材料１２０を
形成する事ができる。Incidentally, in FIGS. 22 to 24,
The optical waveguide device 10 is previously formed on the mold 150.
Although the method of pouring the molding material 120 that transmits the laser light L in the molten state after fixing 1 has been described,
Mold material 1 that transmits the laser beam L in a molten state
Even when the method of embedding the optical waveguide device 101 in the optical waveguide device 20 is used, the incident side end surface 1 of the optical waveguide device 101
The mold material 120 which transmits the laser beam L can be formed on 01a.
【０１２２】このようにして上記レーザ光Ｌを透過する
モールド材料１２０が入射側端面１０１ａ上に形成され
た光導波路デバイス１においても、上述した実施の形態
と同様に、集光レンズ系３により上記光導波路１０２に
光を入射させた場合においては、該レーザ光Ｌは、この
光導波路１０２の入射端面１０２ａにおいては少なくと
も回折限界の１０倍以内の光スポット径に集光される。
したがって、上記モールド材料１２０の入射側の端面１
２０ａ上における光スポットの直径は、上記光導波路１
０２の入射端面１０２ａ上のスポット径に比較して、１
桁程度（１０倍程度に）広がっていることとなる。Also in the optical waveguide device 1 in which the molding material 120 that transmits the laser light L is formed on the incident side end surface 101a in this manner, the condensing lens system 3 is used to perform the above-mentioned operation, as in the above-described embodiments. When light is incident on the optical waveguide 102, the laser light L is condensed on the incident end face 102a of the optical waveguide 102 to a light spot diameter within at least 10 times the diffraction limit.
Therefore, the end surface 1 on the incident side of the molding material 120 is
The diameter of the light spot on 20a is the same as that of the optical waveguide 1 described above.
02 compared with the spot diameter on the incident end face 102a,
It will be expanded by about a digit (about 10 times).
【０１２３】すなわち、この光導波路装置においては、
この光導波路装置の使用環境がゴミあるいは粒子が浮遊
する環境である場合においても、上記モールド材料１２
０の入射側の端面１２０ａ上における光スポット径が、
上記光導波路１０２の入射端面１２０ａ上の光スポット
に対して１０倍以上の径に広がっているために、該モー
ルド材料１２０が存在しない場合に比較し、ゴミあるい
は粒子が付着する可能性が格段に低い。That is, in this optical waveguide device,
Even when the environment in which the optical waveguide device is used is an environment in which dust or particles are suspended, the molding material 12 is used.
The light spot diameter on the end surface 120a on the incident side of 0 is
Since the diameter of the light spot on the incident end face 120a of the optical waveguide 102 is ten times or more as large as that of the light spot, dust or particles are more likely to be attached than when the mold material 120 is not present. Low.
【０１２４】さらに、上記モールド材料１２０の入射側
の端面１２０ａ上のレーザ光Ｌのエネルギ密度が、光ス
ポットが広がっているために、光導波路１０２の入射端
面１０２ａ上に比較して格段に低いため、このモールド
材料１２０上の光スポット上において、ゴミあるいは粒
子が該レーザ光Ｌにより加熱されてこのモールド材料１
２０の入射側の端面１２０ａに焼き付いて付着する可能
性も格段に低くなっている。Further, the energy density of the laser light L on the incident side end surface 120a of the molding material 120 is much lower than that on the incident end surface 102a of the optical waveguide 102 because the light spot is spread. The dust or particles are heated by the laser light L on the light spot on the molding material 120,
The possibility of sticking to the end surface 120a of the light-incident side 20 of the light source 20 by burning is significantly reduced.
【０１２５】すなわち、上記モールド材料１２０を上記
光導波路デバイス１０１の集光レンズ系３側の入射側端
面１０２ａに、モールド形成することにより、上記光導
波路デバイス１は、ゴミあるいは粒子が浮遊する環境に
おいても使用することができるようになる。That is, by molding the mold material 120 on the incident side end surface 102a of the optical waveguide device 101 on the side of the condenser lens system 3, the optical waveguide device 1 is provided with an environment in which dust or particles float. Will also be able to use.
【０１２６】さらに、前述した実施の形態と同様に、上
記モールド材料１２０は、板厚が０．１ｍｍ以上となさ
れることにより、上記光導波路デバイス１０１の入射側
端面１０１ａにおいて光導波路を導波することのできる
導波モードのスポットの径に対して１０倍以上の径を有
して、上記光源部４を上記光導波路１０２に結合させる
こととなり、光導波路デバイス１をゴミあるいは粒子が
浮遊する環境においても使用できるようにする。Further, similarly to the above-mentioned embodiment, the mold material 120 has a plate thickness of 0.1 mm or more, so that the optical waveguide is guided in the incident side end face 101a of the optical waveguide device 101. An environment in which dust or particles are suspended in the optical waveguide device 1 by coupling the light source unit 4 to the optical waveguide 102 having a diameter 10 times or more as large as the diameter of the possible guided mode spot. To be used in.
【０１２７】また、上記集光レンズ系３が、上記モール
ド材料１２０により発生する収差を補正する機能を有し
ている場合には、この集光レンズ系３により集光された
レーザ光Ｌは、該モールド材料１２０を透過した後であ
っても、光導波路１０２の入射端面１０２ａ上におい
て、スポット径を最小にすることができ、光導波路デバ
イス１０１の光導波路１０２に十分にレーザ光Ｌを結合
させることができ、結果的に光導波路デバイス１０１の
性能を十分に発揮させることができる。When the condenser lens system 3 has a function of correcting the aberration generated by the molding material 120, the laser light L condensed by the condenser lens system 3 is Even after passing through the mold material 120, the spot diameter can be minimized on the incident end face 102a of the optical waveguide 102, and the laser light L can be sufficiently coupled to the optical waveguide 102 of the optical waveguide device 101. As a result, the performance of the optical waveguide device 101 can be fully exhibited.
【０１２８】また、同様に、上記モールド材料１２０
を、厚さｔが１．２ｍｍの平板状のポリカーボネート製
とし、上記レーザ光Ｌの波長を７８０ｎｍとし、上記集
光レンズ系３の開口数（ＮＡ）を約０．４５とした場合
においては、デジタルオーディオディスク、いわゆる
「コンパクトディスク（ＣＤ）」用の安価なプラスチッ
ク製非球面レンズを用いることができ、光導波路装置を
安価に構成することができる。Similarly, the molding material 120 is used.
Is made of a flat polycarbonate having a thickness t of 1.2 mm, the wavelength of the laser beam L is 780 nm, and the numerical aperture (NA) of the condenser lens system 3 is about 0.45, Inexpensive plastic aspherical lenses for digital audio discs, so-called "compact discs (CDs)" can be used, and the optical waveguide device can be constructed at low cost.
【０１２９】さらに、前述した実施の形態と同様に、上
記光源部４は、上記アクチュエータ５を有するものとし
てもよい。Further, the light source section 4 may have the actuator 5 as in the above-described embodiment.
【０１３０】[0130]
【発明の効果】上述したように、本発明に係る光導波路
装置によれば、光導波路デバイスの使用環境がゴミ（塵
挨）あるいは粒子が浮遊する環境においても、ゴミある
いは粒子がレーザ光の光路中において、レーザ光を遮る
危険性を減少させることができる。As described above, according to the optical waveguide device according to the present invention, even if the environment in which the optical waveguide device is used is dust or particles are suspended, the dust or particles cause an optical path of the laser beam. The risk of blocking the laser light can be reduced.
【０１３１】また、光導波路デバイスの入射側端面にお
いて、レーザ光の強度が十分に高い場合、すなわち光導
波路デバイスが多くのレーザ光強度を必要とするような
場合においても、該レーザ光が集光されている部分を、
ゴミあるいは粒子が浮遊する環境に接しないようにする
ことができるので、光導波路デバイスの入射側端面にお
いて、浮遊するゴミあるいは粒子が過剰に加熱されるこ
とを防ぐことができ、光導波路デバイスの端面にゴミあ
るいは粒子が焼き付いて付着することを防ぐことができ
る。Further, even when the intensity of the laser light is sufficiently high at the incident side end face of the optical waveguide device, that is, even when the optical waveguide device requires a large amount of laser light intensity, the laser light is condensed. The part that is
Since it is possible to prevent the dust or particles from coming into contact with the environment in which they float, it is possible to prevent the floating dust or particles from being excessively heated on the incident side end surface of the optical waveguide device. It is possible to prevent dust or particles from sticking to and sticking to.
【０１３２】したがって、結果的に、光導波路デバイス
の入射側端面を汚す可能性を低下させ、光導波路デバイ
スを安定して動作させることができる。Therefore, as a result, it is possible to reduce the possibility of soiling the incident side end surface of the optical waveguide device and to operate the optical waveguide device stably.
【０１３３】またさらに、上述したように、本発明に係
る光導波路装置によれば、光源部の集光レンズ系をアク
チュエータによって位置制卸するようにし、このアクチ
ュエータの制御を、レーザ光の光導波路に入射した光の
光導波路の光入射位置からの戻り光の光量または光量分
布、または、レーザ光の光導波路に入射した光の光導波
路の光出射位置からの戻り光の光量または光量分布、あ
るいは、光導波路内の反射源からの戻り光の光量または
光量分布を検出することによって行うようにしたことか
ら、確実に光導波路デバイスの光導波路に対するレーザ
光の入射位置とフォーカシングを行うことができる。Furthermore, as described above, according to the optical waveguide device of the present invention, the focusing lens system of the light source is controlled by the actuator, and the actuator is controlled by the optical waveguide of the laser light. Light intensity or light intensity distribution of the light incident on the optical waveguide from the light incident position, or light intensity or light intensity distribution of the light incident on the optical waveguide of the laser light from the light emission position of the optical waveguide, or Since the light quantity or the light quantity distribution of the return light from the reflection source in the optical waveguide is detected, it is possible to reliably perform the incident position and the focusing of the laser light on the optical waveguide of the optical waveguide device.
【０１３４】したがって、上記レーザ光の入射効率を高
めることができることから、光導波路デバイスが、例え
ば、ＳＨＧである場合において、その出力の２次高調波
パワーの増大化と安定化をはかることができる。Therefore, since the incidence efficiency of the laser light can be increased, when the optical waveguide device is, for example, SHG, the output second harmonic power can be increased and stabilized. .
【０１３５】さらに、光導波路デバイスの使用環境が、
ゴミあるいは粒子が浮遊する環境、及び、外震、温度変
化等の何等かの原因で集光レンズの位置ずれが生じるよ
うな環境においても、光導波路デバイスの動作を可能に
することができる。Further, the environment in which the optical waveguide device is used is
The operation of the optical waveguide device can be enabled even in an environment in which dust or particles are suspended, and in an environment in which the position of the condenser lens is displaced due to some cause such as an external earthquake or temperature change.
【０１３６】また、この光導波路装置においては、集光
レンズ系を接着剤等によって光導波路デバイスに高精度
に接着、すなわち、高精度の固定を行うという手法を回
避したことによって、光導波路デバイスに対するレーザ
光の入射を、外震等によって位置ずれが生じた場合にお
いても即応的に確実にその位置調整を行うことができ、
常時、また、長期にわたって、安定した入射光量を得る
ことができ、これによって安定した動作を行わしめるこ
とができる。Further, in this optical waveguide device, the condensing lens system is adhered to the optical waveguide device with an adhesive or the like with high accuracy, that is, the method of fixing with high accuracy is avoided, so that The position of the laser beam incident can be adjusted promptly and reliably even if the position shift occurs due to an external earthquake.
A stable amount of incident light can be obtained at all times and over a long period of time, which allows stable operation.
【０１３７】さらに、上述したように、上記光源部の光
導波路デバイスに対する位置合わせば、上記アクチュエ
ータによって微調整が行われることから、最初の位置決
めすなわち粗調整の精度は目的の精度の１桁以上（１０
倍以上に）緩和させることができる。Further, as described above, if the light source section is aligned with the optical waveguide device, fine adjustment is performed by the actuator. Therefore, the accuracy of the first positioning, that is, the coarse adjustment is one digit or more of the target accuracy ( 10
(More than double) can be relaxed.
【０１３８】すなわち、本発明は、光導波路デバイスが
使用される使用環境がゴミ（塵挨）あるいは粒子等が浮
遊する環境である場合においても、この光導波路デバイ
スの光導波路に対して、光源部からの光、特に、レーザ
光を安定に最良の状態をもって高効率に入射させること
ができるようになされた光導波路装置を提供することが
できるものである。That is, according to the present invention, even when the environment in which the optical waveguide device is used is an environment in which dust or particles are suspended, the light source unit is provided for the optical waveguide of the optical waveguide device. Therefore, it is possible to provide an optical waveguide device capable of stably injecting light from the above, particularly laser light in the best state with high efficiency.
【０１３９】さらに、上述したように、平板あるいはモ
ールドにより形成されるレーザ光を透過する材料を、略
々、１．５５の屈折率を有し、略々１．２ｍｍの厚さに
することにより、上記集光レンズ系として、デジタルオ
ーディオディスク、いわゆる「コンパクトディスク（Ｃ
Ｄ）」用プレーヤー装置に用いる安価なプラスチック製
非球面集光レンズを用いることが可能になり、光導波路
装置を安価に作製することができる。Further, as described above, the material for transmitting the laser beam formed by the flat plate or the mold has a refractive index of about 1.55 and a thickness of about 1.2 mm. , A so-called “compact disc (C
It becomes possible to use an inexpensive plastic aspherical condenser lens used for the player device for "D)", and the optical waveguide device can be manufactured at low cost.
【図１】本発明に係る光導波路装置の構成を示す平面図
である。FIG. 1 is a plan view showing a configuration of an optical waveguide device according to the present invention.
【図２】上記光導波路装置に用いられる光導波路デバイ
スの構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of an optical waveguide device used in the optical waveguide device.
【図３】上記光導波路デバイスの構成の他の例を示す斜
視図である。FIG. 3 is a perspective view showing another example of the configuration of the optical waveguide device.
【図４】本発明に係る光導波路装置の構成の他の例を示
す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing another example of the configuration of the optical waveguide device according to the present invention.
【図５】本発明に係る光導波路装置であってアクチュエ
ータを有するものの構成を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a configuration of an optical waveguide device according to the present invention having an actuator.
【図６】光検出部における４分割フォトダイオード上の
アンダーフォーカスにおける戻り光スポットの態様を示
す正面図である。FIG. 6 is a front view showing an aspect of a returning light spot in underfocusing on a four-division photodiode in a photodetecting section.
【図７】光検出部における４分割フォトダイオード上の
ジャストフォーカスにおける戻り光スポットの態様を示
す正面図である。FIG. 7 is a front view showing an aspect of a returning light spot in just focus on a four-division photodiode in a light detection unit.
【図８】光検出部における４分割フォトダイオード上の
オーバーフォーカスにおける戻り光スポットの態様を示
す正面図である。FIG. 8 is a front view showing an aspect of a returning light spot in overfocusing on a four-division photodiode in a photodetecting section.
【図９】上記アクチュエータの構成を示す斜視図であ
る。FIG. 9 is a perspective view showing a configuration of the actuator.
【図１０】上記アクチュエータの構成を示す分解斜視図
である。FIG. 10 is an exploded perspective view showing a configuration of the actuator.
【図１１】フォーカスサーボ用信号（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋
Ｄ）の特性曲線図である。FIG. 11: Focus servo signal (A + C)-(B +
It is a characteristic curve figure of D).
【図１２】レーザ光スポットと光導波路デバイスとの位
置関係を説明する正面図である。FIG. 12 is a front view illustrating a positional relationship between a laser light spot and an optical waveguide device.
【図１３】光検出部における４分割フォトダイオード上
のレーザ光が位置ずれした場合における戻り光スポット
の態様を示す正面図である。FIG. 13 is a front view showing an aspect of a returning light spot when the laser light on the four-division photodiode in the photodetector is displaced.
【図１４】ｘ軸方向のサーボ信号（Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋
Ｄ）の特性曲線図である。FIG. 14 shows a servo signal (A + B)-(C + in the x-axis direction.
It is a characteristic curve figure of D).
【図１５】本発明に係る光導波路装置の構成のさらに他
の構成を示す平面図である。FIG. 15 is a plan view showing still another configuration of the optical waveguide device according to the present invention.
【図１６】本発明の光導波路装置であって光導波路内に
反射源を有するものの構成を示す平面図である。FIG. 16 is a plan view showing the configuration of an optical waveguide device of the present invention having a reflection source in the optical waveguide.
【図１７】光導波路内に反射源を有する光導波路デバイ
ス構成を示す斜視図である。FIG. 17 is a perspective view showing an optical waveguide device configuration having a reflection source in the optical waveguide.
【図１８】光導波路内に反射源を有する光導波路デバイ
ス構成の他の例を示す斜視図である。FIG. 18 is a perspective view showing another example of the configuration of an optical waveguide device having a reflection source inside the optical waveguide.
【図１９】平板をモールドにより形成した本発明に係る
光導波路装置の構成を示す平面図である。FIG. 19 is a plan view showing a configuration of an optical waveguide device according to the present invention in which a flat plate is formed by molding.
【図２０】上記図１９に示した光導波路装置に用いる光
導波路デバイスの構成を示す斜視図である。20 is a perspective view showing a configuration of an optical waveguide device used in the optical waveguide device shown in FIG.
【図２１】上記図１９に示した光導波路装置に用いる光
導波路デバイスの構成の他の例を示す斜視図である。21 is a perspective view showing another example of the configuration of the optical waveguide device used in the optical waveguide device shown in FIG.
【図２２】上記平板の形成に用いられるモールド方法の
第１の工程を示す断面図である。FIG. 22 is a cross-sectional view showing a first step of the molding method used to form the flat plate.
【図２３】上記平板の形成に用いられるモールド方法の
第２の工程を示す断面図である。FIG. 23 is a cross-sectional view showing a second step of the molding method used to form the flat plate.
【図２４】上記平板の形成に用いられるモールド方法の
第３の工程を示す断面図である。FIG. 24 is a sectional view showing a third step of the molding method used to form the flat plate.
１ 光導波路デバイス、２ 光導波路、３ 集光レンズ
系、４ 光源部、５アクチュエータ、１０ 光検出部、
２０ 平板、１２０ モールド材料1 optical waveguide device, 2 optical waveguide, 3 condensing lens system, 4 light source unit, 5 actuator, 10 light detecting unit,
20 flat plate, 120 mold material
Claims (9)
射させる集光レンズ系を有する光源部と、 上記レーザ光を透過させる材料により、０．１ｍｍ以上
の厚さを有して形成され、上記導波路デバイスの光導波
路の該レーザ光が入射される端面に固着された平板とを
備えた光導波路装置。1. An optical waveguide of an optical waveguide device, a light source section having a condenser lens system for converging laser light to enter the optical waveguide of the waveguide device, and a material for transmitting the laser light, An optical waveguide device comprising: a flat plate having a thickness of 1 mm or more and fixed to an end face of the optical waveguide of the waveguide device on which the laser light is incident.
厚さが略々１．２ｍｍであることとなされた請求項１記
載の光導波路装置。2. The flat plate has a refractive index of about 1.55,
The optical waveguide device according to claim 1, wherein the optical waveguide device has a thickness of approximately 1.2 mm.
ーザ光が入射される端面に対し、射出成型手段により形
成固着されていることとなされた請求項１記載の光導波
路装置。3. The optical waveguide device according to claim 1, wherein the flat plate is formed and fixed to an end surface of the optical waveguide of the waveguide device on which the laser light is incident, by injection molding means.
光は、平板への入射時における光束の径が、導波路デバ
イスの光導波路が導波することのできる導波モードの光
スポットの径に対し、１０倍以上であることとなされた
請求項１記載の光導波路装置。4. A laser beam focused by a focusing lens system has a diameter of a light beam when it is incident on a flat plate, and a diameter of a light spot of a waveguide mode capable of being guided by an optical waveguide of a waveguide device. 2. The optical waveguide device according to claim 1, which is 10 times or more.
以上の球面収差を有していることとなされた請求項１記
載の光導波路装置。5. The optical waveguide device according to claim 1, wherein the condenser lens system has a spherical aberration that is at least four times the wavelength of the laser light.
射源により反射されたレーザ光の反射光の強度または強
度分布を検出する反射光強度検出手段と、 上記反射光強度検出手段による検出結果に基づいて、集
光レンズ系を、この集光レンズ系の光軸方向あるいは該
光軸方向に直交する方向に移動操作する位置制御手段と
を備えた請求項１記載の光導波路装置。6. Reflected light intensity detection means for detecting the intensity or intensity distribution of the reflected light of the laser light reflected by the reflection source of the optical waveguide of the optical waveguide device, and based on the detection result by the reflected light intensity detection means. 2. The optical waveguide device according to claim 1, further comprising position control means for moving and operating the condenser lens system in the optical axis direction of the condenser lens system or in a direction orthogonal to the optical axis direction.
のレーザ光の入射側端面であることとなされた請求項６
記載の光導波路装置。7. The reflection source is an end surface of the optical waveguide of the optical waveguide device on the laser light incident side.
The optical waveguide device described.
のレーザ光の出射側端面であることとなされた請求項６
記載の光導波路装置。8. The reflection source is an end face of the optical waveguide of the optical waveguide device on the laser light emitting side.
The optical waveguide device described.
内の乱反射源であることとなされた請求項６記載の光導
波路装置。9. The optical waveguide device according to claim 6, wherein the reflection source is a diffuse reflection source in the optical waveguide of the optical waveguide device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4380996A JP3612843B2 (en) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | Optical waveguide device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4380996A JP3612843B2 (en) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | Optical waveguide device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09236722A true JPH09236722A (en) | 1997-09-09 |
| JP3612843B2 JP3612843B2 (en) | 2005-01-19 |
Family
ID=12674080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4380996A Expired - Fee Related JP3612843B2 (en) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | Optical waveguide device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3612843B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007072134A (en) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | Wavelength conversion laser device |
| JP2008250050A (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Konica Minolta Opto Inc | Optical device unit |
| JP2013020027A (en) * | 2011-07-08 | 2013-01-31 | Fujitsu Ltd | Optical transmission line and method of manufacturing the same |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP4380996A patent/JP3612843B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007072134A (en) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | Wavelength conversion laser device |
| JP2008250050A (en) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Konica Minolta Opto Inc | Optical device unit |
| JP2013020027A (en) * | 2011-07-08 | 2013-01-31 | Fujitsu Ltd | Optical transmission line and method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3612843B2 (en) | 2005-01-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5235589A (en) | Apparatus for recording and reproducing optical information and prism coupler | |
| US7457206B2 (en) | Optical head, optical information storage apparatus, and their fabrication method | |
| JP2000199808A (en) | Lens and optical device using the same | |
| US6747811B2 (en) | Optical system, method of producing optical system, and optical pickup | |
| US6114689A (en) | Optical pickup device | |
| JP2000090477A (en) | Optical pickup, information reproducing device and information recording device | |
| JP2000206411A (en) | Optical device, optical head and information reproducing device using them | |
| US20050232121A1 (en) | Refracting objective optical system and optical recording/reproducing device using the same | |
| US6198862B1 (en) | Optical position detector | |
| JPH09128793A (en) | Optical pickup device and optical waveguide element | |
| JP2002245659A (en) | Information recording and reproducing device | |
| JP2002208159A (en) | Light beam irradiating optical system and optical pickup | |
| US5598394A (en) | Optical pick-up | |
| US5253313A (en) | Optical guide apparatus | |
| JP2898620B2 (en) | Semiconductor laser module and semiconductor laser light source device | |
| JP3612843B2 (en) | Optical waveguide device | |
| US6278560B1 (en) | Optical scanning device | |
| US6661765B2 (en) | Optical pickup apparatus | |
| US6438088B1 (en) | Light transmission device and apparatus including light transmission device | |
| JPH0619847B2 (en) | Optical information processing device | |
| JP3362477B2 (en) | Optical waveguide end face coupling device | |
| KR100934924B1 (en) | Scanning device including plastic high-numerical aperture objective | |
| JP2004265490A (en) | Optical pickup device | |
| JP2004511060A (en) | Optical head for scanning a record carrier | |
| KR20030032751A (en) | Double solid immersion lens and near field optical system using the same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040202 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040224 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040422 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040727 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040820 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041005 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041018 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071105 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081105 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091105 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091105 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101105 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111105 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |