JPH09236162A - Table feed mechanism - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、直線的に移動する
移動部材を、所定の方向に精度良く移動させることがで
きる、例えばX−Yテーブル等のテーブル送り機構に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a table feed mechanism, such as an XY table, which is capable of accurately moving a linearly moving moving member in a predetermined direction.
【0002】[0002]
【従来の技術】移動部材を直線的に精度良く移動させる
ための移動手段として、例えば磁気ディスクを記録媒体
として、記録及び再生を行う記録装置に用いられるヘッ
ドキャリッジ移動機構があり、この機構では、記録媒体
としてのフロッピーディスクに対して記録及び再生を行
うために、ヘッドキャリッジを精度良く移動させる必要
がある。従来の、ヘッドキャリッジを移動させる移動手
段としては、例えば、図5及び図6に示すようなものが
あり、図5は駆動部分の横断面図、図6は駆動部分及び
ヘッドキャリッジ部分の縦断面図を表わし、各々の図に
おいて、円内の部分はそれぞれ矢印方向上方に要部の拡
大図を表わしている。図5及び図6において、38は、
図示しない磁気ヘッドを支持させるヘッド支持体で、常
時その先端部がキャリッジ31の先端部側へ移動しよう
とするように弾発付勢されている。40は上記ヘッド支
持体38の移動を案内するガイド軸であり、ヘッド支持
体38は、キャリッジ31に形成されたガイド孔34に
上記ガイド軸40が挿通されることによって該ガイド軸
40に移動自在に保持され、且つ、該ガイド軸40によ
り移動方向を案内されるようになっている。2. Description of the Related Art As a moving means for linearly and accurately moving a moving member, there is a head carriage moving mechanism used in a recording apparatus for recording and reproducing, for example, using a magnetic disk as a recording medium. In order to perform recording and reproduction on a floppy disk as a recording medium, it is necessary to move the head carriage with high precision. Conventional moving means for moving the head carriage include, for example, those shown in FIGS. 5 and 6, FIG. 5 being a cross-sectional view of the driving portion, and FIG. 6 being a longitudinal cross-section of the driving portion and the head carriage portion. In the drawings, each circled portion is an enlarged view of the main part in the upper direction of the arrow. In FIGS. 5 and 6, 38 is
A head support for supporting a magnetic head (not shown) is always elastically urged so that its tip end portion tends to move toward the tip end side of the carriage 31. Reference numeral 40 denotes a guide shaft that guides the movement of the head support 38, and the head support 38 is movable to the guide shaft 40 by inserting the guide shaft 40 into a guide hole 34 formed in the carriage 31. And is guided by the guide shaft 40 in the moving direction.
【0003】30はキャリッジ31の側面から水平に突
出して形成された係合ピンであり、該係合ピン30は、
モーター軸33の送りネジ軸35に形成されたネジ溝3
6の、シャーシ39と対向する側に位置する部分と係合
されている。係合ピン30が送りネジ軸35のネジ溝3
6と係合された状態は、基端部がキャリッジ31にネジ
止め等の固定手段により固定された板バネ37の先端部
が、送りネジ軸35の反シャーシ39側に位置する部分
に弾接されることによって保持されている。即ち、係合
ピン30は、上記板バネ37の弾発力によって付勢され
たキャリッジ31の上方へ向かう弾発力によって送りネ
ジ軸35のネジ溝36に下方から弾発的に係合されてい
る。上記構成における作動について説明すると、モータ
ー軸33は、所定の回転角毎に微細にステップ駆動さ
れ、モーター軸33が所定の方向に回転されて、上記係
合ピン30はモーター軸33の軸方向に沿って移動する
ことができ、これによってヘッド支持体38は矢印で示
す方向へ移動できる。Reference numeral 30 denotes an engaging pin formed so as to horizontally project from the side surface of the carriage 31, and the engaging pin 30 is
Screw groove 3 formed on the feed screw shaft 35 of the motor shaft 33
6 is engaged with a portion located on the side facing the chassis 39. The engaging pin 30 is the thread groove 3 of the feed screw shaft 35.
In the state of being engaged with 6, the tip end of the leaf spring 37 whose base end is fixed to the carriage 31 by fixing means such as screws is elastically contacted with the portion of the feed screw shaft 35 located on the side opposite to the chassis 39. Is held by being. That is, the engaging pin 30 is elastically engaged with the screw groove 36 of the feed screw shaft 35 from below by the upward elastic force of the carriage 31 biased by the elastic force of the leaf spring 37. There is. Explaining the operation in the above configuration, the motor shaft 33 is finely step-driven at every predetermined rotation angle, the motor shaft 33 is rotated in a predetermined direction, and the engagement pin 30 is moved in the axial direction of the motor shaft 33. The head support 38 can move in the direction indicated by the arrow.
【0004】しかし、これら従来のヘッドキャリッジを
移動させる移動手段としては、移動部材の負荷が軽くな
ければならず、所望の負荷を与える必要がある場合に、
負荷の程度によっては、ピン30が送りネジ軸35から
浮き上がってしまったり、さらにはピン30が送りネジ
軸35から離脱したり、送り機構の寿命が短くなるとい
う問題点を有していた。又、上記の移動手段に係わる送
り機構においては、ピン30とネジ溝36の間の与圧力
や隙間を調節することができず、さらに、送り機構の自
重程度の軽負荷の適用範囲に限られていた。However, as the moving means for moving these conventional head carriages, the load on the moving member must be light, and when a desired load needs to be applied,
Depending on the degree of load, there are problems that the pin 30 is lifted from the feed screw shaft 35, the pin 30 is detached from the feed screw shaft 35, and the life of the feed mechanism is shortened. Further, in the feeding mechanism relating to the above-mentioned moving means, it is not possible to adjust the pressurizing force and the clearance between the pin 30 and the screw groove 36, and further, it is limited to the application range of a light load such as its own weight. Was there.
【0005】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であって、ピンの浮き上がりや離脱を防止して精度の向
上を図ることができ、また、軽与圧を加えて精度良くテ
ーブルを送るようにし、或は、微小の隙間を許して、軽
くテーブルが運動できるように、ピンとネジ溝の間の隙
間を調整可能にすることを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to prevent the pins from rising and coming off and improve the accuracy, and to apply a slight pressurizing force to feed the table with good accuracy. The purpose is to allow a minute gap and adjust the gap between the pin and the screw groove so that the table can be moved lightly.
【0006】[課題を解決するための手段]その目的を
達成するために、請求項1に記載の発明は、ガイド軸に
よって案内されるスライドテーブルを上記ガイド軸に平
行に設けた送りネジ軸の回転によって移動させるように
構成したテーブル送り機構において、上記送りネジ軸の
ネジ溝に係合する係合部を有する係合部材を上記スライ
ドテーブルに取付けると共に、上記係合部が上記ネジ溝
から離脱することを防止する離脱防止部材を設けたこと
を特徴とする。[Means for Solving the Problem] In order to achieve the object, the invention according to claim 1 is a feed screw shaft in which a slide table guided by a guide shaft is provided in parallel with the guide shaft. In a table feeding mechanism configured to move by rotation, an engaging member having an engaging portion that engages with a screw groove of the feed screw shaft is attached to the slide table, and the engaging portion is separated from the screw groove. It is characterized in that a disengagement prevention member is provided to prevent such a phenomenon.
【0007】請求項2に記載の発明は、前記ネジ溝に係
合する係合部はピン部材であり、前記離脱防止部材は上
記ピン部材の前記ネジ溝への係合状態を調節するための
調節ネジであることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, the engaging portion that engages with the screw groove is a pin member, and the separation preventing member adjusts the engagement state of the pin member with the screw groove. It is an adjustment screw.
【0008】請求項3に記載の発明は、第1のガイド軸
によって案内される第1スライドテーブルを上記第1の
ガイド軸に平行に設けた第1の送りネジ軸の回転によっ
て第1の方向に移動させる一方、上記第1スライドテー
ブルに上記第1のガイド軸と直交する第2のガイド軸を
設け、該第2のガイド軸に第2スライドテーブルを上記
第2のガイド軸に平行に設けた送りネジ軸の回転によっ
て上記第2のガイド軸に沿って移動させるように構成し
たテーブル送り機構であって、上記第1及び第2の送り
ネジ軸のネジ溝に係合する係合部を有する係合部材を上
記第1及び第2のスライドテーブルにそれぞれ取付ける
と共に、上記係合部が上記それぞれのネジ溝から離脱す
ることを防止する第1及び第2の離脱防止部材を設けた
ことを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, the first slide table guided by the first guide shaft is rotated in the first direction by rotation of the first feed screw shaft provided in parallel with the first guide shaft. And a second guide shaft orthogonal to the first guide shaft is provided on the first slide table, and a second slide table is provided on the second guide shaft in parallel with the second guide shaft. A table feed mechanism configured to move along the second guide shaft by rotation of the feed screw shaft, wherein an engaging portion that engages with the thread grooves of the first and second feed screw shafts is provided. The engaging members are attached to the first and second slide tables, respectively, and the first and second detachment preventing members that prevent the engaging portions from detaching from the respective thread grooves are provided. Characterizing
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】次に、本発明のテーブル送り機構
の実施の形態を、図面に示す実施例に基づいて説明す
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, an embodiment of a table feed mechanism of the present invention will be described based on an embodiment shown in the drawings.
【0010】図1は本発明に係わるテーブル送り機構の
一実施例を示す側断面図、図2は図1の平面図、図3は
図1を右側よりみた側面図、図4は本発明の他の実施例
に係わる要部の断面図である。FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of a table feed mechanism according to the present invention, FIG. 2 is a plan view of FIG. 1, FIG. 3 is a side view of FIG. 1 seen from the right side, and FIG. It is a sectional view of the important section concerning other examples.
【0011】本発明に係わるテーブル送り機構は、図1
及び図2に示すように、2は移動部材の移動を案内する
ガイド軸であり、移動部材はスライドテーブル3の上に
載置される。ガイド軸2によって案内されるスライドテ
ーブル3を上記ガイド軸2に平行に設けた送りネジ軸4
の回転によって移動させるように構成している。送りネ
ジ軸4にはネジ溝5が形成され、該ネジ溝5にピン7を
係合させる係合部がスライドテーブル3に取付けてあ
る。係合部は、付勢部材から成るピン支持板6の送りネ
ジ軸4側の先端部に設けられた円形の保持片8の孔9に
ネジ溝5の位置に合わせてピン7が挿通されていて、ス
ライドテーブル3側の端部にネジ10によって取付けら
れている。The table feeding mechanism according to the present invention is shown in FIG.
Further, as shown in FIG. 2, 2 is a guide shaft for guiding the movement of the moving member, and the moving member is placed on the slide table 3. A feed screw shaft 4 provided with a slide table 3 guided by the guide shaft 2 in parallel with the guide shaft 2.
It is configured to be moved by the rotation of. A screw groove 5 is formed on the feed screw shaft 4, and an engaging portion for engaging the pin 7 with the screw groove 5 is attached to the slide table 3. In the engaging portion, the pin 7 is inserted into the hole 9 of the circular holding piece 8 provided at the tip of the pin supporting plate 6 formed of the biasing member on the side of the feed screw shaft 4 according to the position of the screw groove 5. And is attached to the end on the slide table 3 side with a screw 10.
【0012】スライドテーブル3には、ピン7とネジ溝
5の間に生ずる隙間を調節し、ネジ溝5に対して係合状
態を調節させるための調節ネジ11がスライドテーブル
3に埋め込んで設けてあり、該調節ネジ11は、ロック
ナット12によってピン7の高さ位置を調節した後に接
着剤によってロックしている。フレーム13の端部に
は、送りネジ軸4を駆動するためのモーター1が取付け
られ、送りネジ軸4の他端側には送りネジ軸4を支持す
るためのピボットベアリング14を先端部に設けた、ピ
ボットベアリング支柱15がフレーム13の反モーター
側に取付けられている。又、スライドテーブル3には、
移動部材を載置し固定するための取付孔16が設けられ
ている。The slide table 3 is provided with an adjusting screw 11 which is embedded in the slide table 3 for adjusting a clearance between the pin 7 and the screw groove 5 and adjusting an engagement state with the screw groove 5. The adjusting screw 11 is locked by an adhesive after the height position of the pin 7 is adjusted by the lock nut 12. A motor 1 for driving the feed screw shaft 4 is attached to an end portion of the frame 13, and a pivot bearing 14 for supporting the feed screw shaft 4 is provided at a tip end portion on the other end side of the feed screw shaft 4. A pivot bearing column 15 is attached to the frame 13 on the side opposite to the motor. Also, on the slide table 3,
A mounting hole 16 for mounting and fixing the moving member is provided.
【0013】上記の構成において、モーター1がステッ
プ駆動されると、送りネジ軸4が所定の方向へ回転さ
れ、上記ピン7は送りネジ軸4の軸方向に沿って移動す
ることとなり、ピン支持板6を介してスライドテーブル
3を移動することができる。In the above structure, when the motor 1 is step-driven, the feed screw shaft 4 is rotated in a predetermined direction, and the pin 7 moves along the axial direction of the feed screw shaft 4, thus supporting the pin. The slide table 3 can be moved via the plate 6.
【0014】本発明の特徴は、調節ネジ11を形成して
いる離脱防止部材と、ネジ溝5に係合するピン7を形成
している係合部にあり、調節ネジ11は、ピン支持板6
を上側から押圧し、ピン7に対して軽与圧を加えること
により、ピン30の浮き上がりを防止でき、ピン7とネ
ジ溝5との間の隙間を発生させることがなくなり、係合
部における上下動のガタ付きやバックラッシュを防止し
て、送り精度の向上を図ることが可能となる。さらに
は、ピン7が送りネジ軸4から離脱することがなくな
り、送り機構の寿命が短くなるという問題点を解消する
ことができる。さらに加えて、調節ネジ11及びピン7
を形成している係合部により、軽与圧を加えて精度良く
テーブルを送る様にし、或は、微小の隙間を許して軽く
テーブルが運動できるように、これらの用途に応じた調
節が可能となる。さらに又、単純な構造のテーブル送り
機構を形成できることとなる。The feature of the present invention resides in the detachment prevention member forming the adjusting screw 11 and the engaging portion forming the pin 7 engaging with the screw groove 5. The adjusting screw 11 is a pin support plate. 6
By pressing from above and applying a light pressure to the pin 7, it is possible to prevent the pin 30 from rising and to prevent the gap between the pin 7 and the screw groove 5 from being generated. It is possible to improve the feed accuracy by preventing the rattling of motion and backlash. Furthermore, the pin 7 is not separated from the feed screw shaft 4, and the problem that the life of the feed mechanism is shortened can be solved. In addition, adjustment screw 11 and pin 7
With the engaging part that forms the table, light pressure can be applied to feed the table accurately, or a slight gap can be allowed to allow the table to move lightly and adjustments can be made according to these applications. Becomes Furthermore, a table feed mechanism having a simple structure can be formed.
【0015】本発明に係るテーブル送り機構は、上記に
おいて説明したテーブル送り機構を直交したX方向及び
Y方向に対して2組構成してもよい。即ち、X方向のガ
イド軸2によって案内されるX方向のスライドテ−ブル
3を、上記X方向のガイド軸2に平行に設けたX方向の
送りネジ軸4の回転によって、X方向に移動させる一
方、上記X方向に加えてY方向に対しても上記X方向と
同様の機構を設けるものである。即ち、X方向のスライ
ドテ−ブル3に上記X方向のガイド軸2と直交するY方
向のガイド軸を設け、該Y方向のガイド軸にY方向スラ
イドテ−ブルを上記Y方向のガイド軸に平行に設けた送
りネジ軸の回転によって上記Y方向のガイド軸に沿って
移動させるように構成するもので、上記X方向及びY方
向の送りネジのネジ溝に係合する係合部を有する係合部
材を、上記X方向及びY方向のスライドテ−ブルにそれ
ぞれ取り付けると共に、上記係合部が上記それぞれのネ
ジ溝から離脱することを防止するX方向及びY方向の離
脱防止部材を設けて、X−Yテーブル送り機構を構成す
ることができる。In the table feed mechanism according to the present invention, two sets of the table feed mechanism described above may be configured in the X direction and the Y direction which are orthogonal to each other. That is, the X-direction slide table 3 guided by the X-direction guide shaft 2 is moved in the X-direction by the rotation of the X-direction feed screw shaft 4 provided in parallel with the X-direction guide shaft 2. In addition to the X direction, a mechanism similar to the X direction is provided for the Y direction. That is, a Y-direction guide shaft orthogonal to the X-direction guide shaft 2 is provided on the X-direction slide table 3, and the Y-direction slide table is parallel to the Y-direction guide shaft. An engaging member having an engaging portion that engages with the thread grooves of the X-direction and Y-direction feed screws, which is configured to move along the Y-direction guide shaft by rotation of the provided feed screw shaft. Are attached to the X-direction and Y-direction slide tables, respectively, and X-direction and Y-direction separation preventing members for preventing the engagement portion from separating from the respective screw grooves are provided. A table feed mechanism can be configured.
【0016】本発明に係るテ−ブル送り機構は、パルス
モ−タに代えて、直流モ−タにスリット円板やその他の
回転検出を行うためのセンサ−板を取り付けて駆動して
もよい。The table feeding mechanism according to the present invention may be driven by attaching a slit disk or other sensor plate for detecting rotation to a DC motor instead of the pulse motor.
【0017】本発明に係わるテーブル送り機構の他の実
施例としては、図4に示すテーブル送り機構の説明図の
ように、テーブル20の下部に凸部21を形成し、半割
りナット22を送りネジ軸4に対して係合させるもので
ある。As another embodiment of the table feeding mechanism according to the present invention, as shown in the explanatory view of the table feeding mechanism shown in FIG. 4, a convex portion 21 is formed on the lower portion of the table 20 and a half nut 22 is fed. It is to be engaged with the screw shaft 4.
【0018】[0018]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるテー
ブル送り機構にあっては、ガイド軸によって案内される
スライドテーブルを上記ガイド軸に平行に設けた送りネ
ジ軸の回転によって移動させるように構成したテーブル
送り機構において、上記送りネジ軸のネジ溝に係合する
係合部を有するピンを、上記スライドテーブルに取付け
ると共に、上記係合部が上記ネジ溝から離脱することを
防止する離脱防止部材を設けることにより、ピンの浮き
上がりを防止でき、ピンとネジ溝との間の隙間を発生さ
せることがなくなり、係合部における上下動のガタ付き
やバックラッシュを防止して、送り精度の向上を図るこ
とが可能となる。又、微小の隙間を許して軽くテーブル
が運動できるように、ピンとネジ溝の間の隙間を調整可
能にすることができ、さらには、ピンが送りネジ軸から
離脱することがなくなり、送り機構の寿命を永くするこ
とができる。As described above, in the table feed mechanism according to the present invention, the slide table guided by the guide shaft is configured to be moved by the rotation of the feed screw shaft provided in parallel with the guide shaft. In the table feeding mechanism described above, a pin having an engaging portion that engages with the screw groove of the feed screw shaft is attached to the slide table, and a detachment preventing member that prevents the engaging portion from detaching from the screw groove. By providing the pin, lifting of the pin can be prevented, a gap between the pin and the screw groove is not generated, vertical movement in the engaging portion and backlash can be prevented, and feed accuracy is improved. It becomes possible. In addition, the clearance between the pin and the screw groove can be adjusted so that the table can be moved lightly by allowing a minute clearance. Furthermore, the pin does not come off the feed screw shaft, and The life can be extended.
【図1】本発明の実施の形態に係わるテーブル送り機構
の側断面図である。FIG. 1 is a side sectional view of a table feed mechanism according to an embodiment of the present invention.
【図2】同じく、図1の平面図である。FIG. 2 is also a plan view of FIG.
【図3】同じく、図1を右側よりみた側面図である。FIG. 3 is likewise a side view of FIG. 1 as viewed from the right side.
【図4】本発明の他の実施例に係わる要部の断面図であ
る。FIG. 4 is a sectional view of a main part according to another embodiment of the present invention.
【図5】従来の駆動部分の横断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a conventional drive portion.
【図6】同じく縦断面図である。FIG. 6 is a vertical sectional view of the same.
2 ガイド軸 3 テーブル 4 送りネジ軸 5 ネジ溝 6 ピン支持板 7 ピン 8 保持片 11 調節ネジ 2 Guide shaft 3 Table 4 Feed screw shaft 5 Screw groove 6 Pin support plate 7 Pin 8 Holding piece 11 Adjustment screw
Claims (3)
ーブルを上記ガイド軸に平行に設けた送りネジ軸の回転
によって移動させるように構成したテーブル送り機構に
おいて、上記送りネジ軸のネジ溝に係合する係合部を有
する係合部材を上記スライドテーブルに取付けると共
に、上記係合部が上記ネジ溝から離脱することを防止す
る離脱防止部材を設けたことを特徴とするテーブル送り
機構。1. A table feed mechanism configured to move a slide table guided by a guide shaft by rotation of a feed screw shaft provided in parallel with the guide shaft, and engages with a thread groove of the feed screw shaft. A table feed mechanism characterized in that an engaging member having an engaging portion is attached to the slide table, and a detachment preventing member for preventing the engaging portion from detaching from the screw groove is provided.
であり、前記離脱防止部材は上記ピン部材の前記ネジ溝
への係合状態を調節するための調節ネジであることを特
徴とする請求項1記載のテ−ブル送り機構。2. An engaging portion that engages with the screw groove is a pin member, and the separation preventing member is an adjusting screw for adjusting the engagement state of the pin member with the screw groove. The table feeding mechanism according to claim 1.
スライドテーブルを上記第1のガイド軸に平行に設けた
第1の送りネジ軸の回転によって第1の方向に移動させ
る一方、上記第1スライドテーブルに上記第1のガイド
軸と直交する第2のガイド軸を設け、該第2のガイド軸
に第2スライドテーブルを上記第2のガイド軸に平行に
設けた送りネジ軸の回転によって上記第2のガイド軸に
沿って移動させるように構成したテーブル送り機構であ
って、上記第1及び第2の送りネジ軸のネジ溝に係合す
る係合部を有する係合部材を上記第1及び第2のスライ
ドテーブルにそれぞれ取付けると共に、上記係合部が上
記それぞれのネジ溝から離脱することを防止する第1及
び第2の離脱防止部材を設けたことを特徴とするテーブ
ル送り機構。3. A first guided by a first guide shaft
The slide table is moved in the first direction by the rotation of the first feed screw shaft provided in parallel with the first guide shaft, while the second slide table is provided on the first slide table in a direction orthogonal to the first guide shaft. A table provided with a guide shaft and configured to move the second slide table on the second guide shaft along the second guide shaft by rotation of a feed screw shaft provided in parallel with the second guide shaft. An engaging member, which is a feed mechanism and has engaging portions that engage with the thread grooves of the first and second feed screw shafts, is attached to the first and second slide tables, respectively, and the engaging portion is provided. The table feed mechanism is provided with first and second separation preventing members for preventing the respective parts from being separated from the respective screw grooves.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6945196A JPH09236162A (en) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | Table feed mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6945196A JPH09236162A (en) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | Table feed mechanism |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09236162A true JPH09236162A (en) | 1997-09-09 |
Family
ID=13403029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6945196A Pending JPH09236162A (en) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | Table feed mechanism |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09236162A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014193053A (en) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Nidec Sankyo Corp | Motor |
JP2014206196A (en) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | 日本精工株式会社 | Lock nut for ball screw device, and ball screw device |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP6945196A patent/JPH09236162A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014193053A (en) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Nidec Sankyo Corp | Motor |
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