JPH09231540A - Head slider and magnetic disk device - Google Patents

Head slider and magnetic disk device

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Publication number
JPH09231540A
JPH09231540A JP5679096A JP5679096A JPH09231540A JP H09231540 A JPH09231540 A JP H09231540A JP 5679096 A JP5679096 A JP 5679096A JP 5679096 A JP5679096 A JP 5679096A JP H09231540 A JPH09231540 A JP H09231540A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure generating
negative pressure
head slider
positive pressure
magnetic disk
Prior art date
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Pending
Application number
JP5679096A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michio Yotsuya
道夫 四谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP5679096A priority Critical patent/JPH09231540A/en
Publication of JPH09231540A publication Critical patent/JPH09231540A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the fluctuation of static floating amt. over the whole surface of a magnetic disk and also to reduce a static roll by generating a negative pressure enough to offset the increase of positive pressure due to the increase of linear velocity. SOLUTION: In this head slider 16, a positive pressure generating part 161 is formed on its surface opposite to the magnetic disk, and in the generating part 161, a 1st negative pressure generating part 163 and a 2nd negative pressure generating part 164 are formed to narrow the area of the generating part 161 from the vicinity of the middle of the generating part 163 toward an air outflow end of the generating part 163. When the slider 16 approaches the rotating magnetic disk, the positive pressure is generated on the generating part 161, and the negative pressure the generating parts 163 and 164 respectively. The slider 16 is given floating force by a difference between these positive and negative pressures. Then, even when the linear velocity of the slider 16 is changed by varying the position of the slider 16 in the radial direction of the magnetic disk, the positive pressure and the negative pressure are both varied in the same direction in response to a variation in this linear velocity, so that the rise of the floating force due to the increase of the linear velocity is suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、磁気ディスクか
らデータやプログラム等の情報を記録再生する磁気ヘッ
ドを搭載した浮上型のヘッドスライダ及びそのヘッドス
ライダを備えた磁気ディスク装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flying head slider equipped with a magnetic head for recording and reproducing information such as data and programs from a magnetic disk, and a magnetic disk drive provided with the head slider.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えばコンピュータシステムにおいて
は、磁気ディスク装置としてハードディスク装置が用い
られている。このハードディスク装置に内蔵されている
磁気ディスクの両表面には磁性膜が成膜されており、磁
気ディスクの表面上を浮上するヘッドスライダに搭載さ
れている磁気ヘッドにより、磁性膜にデータ等がトラッ
ク状に記録され、また磁性膜にトラック状に記録された
データ等が再生されるようになっている。磁気ヘッドが
搭載された浮上型のヘッドスライダを駆動する機構部
と、磁気ディスクを駆動する駆動部とは、筐体の内部に
予め組み込まれているため、データ等を比較的高密度に
記録することが可能であり、また、記録されたデータ等
に対して高速にアクセスすることが可能である。
2. Description of the Related Art For example, in a computer system, a hard disk device is used as a magnetic disk device. Magnetic films are formed on both surfaces of the magnetic disk built in the hard disk device, and data and the like are tracked on the magnetic film by a magnetic head mounted on a head slider floating above the surface of the magnetic disk. The data and the like recorded on the magnetic film in a track shape are reproduced. The mechanism for driving the flying head slider on which the magnetic head is mounted and the drive for driving the magnetic disk are pre-installed inside the housing, so that data and the like are recorded at a relatively high density. It is also possible to access recorded data and the like at high speed.

【0003】図15は、従来の磁気ディスク装置の一例
であるハードディスク装置の構成例を示す斜視図であ
る。このハードディスク装置1は、アルミニウム合金等
により形成された筐体2の平面部の裏側にスピンドルモ
ータ9が配設されていると共に、このスピンドルモータ
9によって角速度一定で回転駆動される磁気ディスク3
が備えられている。さらに、この筐体2には、アーム4
が垂直軸4aの周りに揺動可能に取り付けられている。
このアーム4の一端には、ボイスコイル5が取り付けら
れ、またこのアーム4の他端には、ヘッドスライダ6が
取り付けられている。筐体2上には、ボイスコイル5を
挟持するように、マグネット7a、7bが取り付けられ
ている。ボイスコイル5及びマグネット7a、7bによ
り、ボイスコイルモータ7が形成されている。
FIG. 15 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk device which is an example of a conventional magnetic disk device. In the hard disk drive 1, a spindle motor 9 is disposed on the back side of a plane portion of a housing 2 formed of an aluminum alloy or the like, and a magnetic disk 3 rotated at a constant angular velocity by the spindle motor 9 is provided.
Is provided. Further, the housing 2 includes an arm 4
Is swingably mounted around the vertical axis 4a.
A voice coil 5 is attached to one end of the arm 4, and a head slider 6 is attached to the other end of the arm 4. Magnets 7a and 7b are mounted on the housing 2 so as to sandwich the voice coil 5. A voice coil motor 7 is formed by the voice coil 5 and the magnets 7a and 7b.

【0004】このような構成において、ボイスコイル5
に外部から電流が供給されると、アーム4は、マグネッ
ト7a、7bの磁界と、このボイスコイル5に流れる電
流とによって生ずる力に基づいて、垂直軸4aの周りを
回動する。これにより、アーム4の他端に取り付けられ
たヘッドスライダ6は、図16にて矢印Xで示すよう
に、磁気ディスク3の実質的に半径方向に旋回する。こ
こで、ヘッドスライダ6は、図17に示すように、その
下面の磁気ディスク3に対する旋回方向(以下、幅方向
という)の両側に、エアベアリングサーフェイスとして
作用するレール6a、6bが形成されていると共に、こ
れらのレール6a、6bの磁気ディスク3に対する走行
方向(以下、長さ方向という)の先端側に、テーパ部6
c、6dが形成されている。
In such a configuration, the voice coil 5
When an electric current is supplied from the outside to the arm 4, the arm 4 rotates around the vertical axis 4a based on the force generated by the magnetic fields of the magnets 7a and 7b and the electric current flowing through the voice coil 5. As a result, the head slider 6 attached to the other end of the arm 4 pivots substantially in the radial direction of the magnetic disk 3, as indicated by the arrow X in FIG. Here, as shown in FIG. 17, the head slider 6 has rails 6a and 6b acting as air bearing surfaces formed on both sides of the lower surface of the head slider 6 in the turning direction (hereinafter referred to as the width direction) with respect to the magnetic disk 3. At the same time, the taper portion 6 is provided on the leading end side of the rails 6a and 6b in the traveling direction (hereinafter referred to as the length direction) with respect to the magnetic disk 3.
c and 6d are formed.

【0005】これにより、ヘッドスライダ6は、回転す
る磁気ディスク3の表面に接近したとき、図16にて矢
印Yで示すように、磁気ディスク3の回転に伴ってレー
ル6a、6bと磁気ディスク3の表面との間に流入する
空気流により浮揚力を受ける。この浮揚力によって、ヘ
ッドスライダ6は、図18に示すように、磁気ディスク
3の表面から微小間隔(浮上量)dをもって浮上走行し
ながら磁気ディスク3に対してシーク動作し、ヘッドス
ライダ6に搭載された磁気ヘッド8は、磁気ディスク3
の所定のトラック等に対してデータ等の記録再生を非接
触で行なう。尚、この浮上量dは、一般には、0.1μ
m程度である。
As a result, when the head slider 6 approaches the surface of the rotating magnetic disk 3, the rails 6a and 6b and the magnetic disk 3 are rotated along with the rotation of the magnetic disk 3, as shown by the arrow Y in FIG. Levitating force is applied by the air flow flowing into and out of the surface. This levitation force causes the head slider 6 to seek the magnetic disk 3 while levitating from the surface of the magnetic disk 3 with a minute distance (flying amount) d, as shown in FIG. The magnetic head 8 that has been removed is the magnetic disk 3
Recording and reproduction of data and the like are performed in a non-contact manner with respect to a predetermined track and the like. The flying height d is generally 0.1 μm.
m.

【0006】このような構成のヘッドスライダ6を用い
ないと、磁気ディスク3に対して衝撃が加えられた場合
や、磁気ディスク3の表面の凹凸、うねり等に対して、
ヘッドスライダが十分に追従できない場合に、ヘッドス
ライダの浮上量dの変動、いわゆる動的な浮上量変動が
発生する。ところが、上述したヘッドスライダ6によれ
ば、同一トラックにおけるヘッドスライダ6の浮上量d
がほぼ一定に保持されることになるので、スペーシング
損失を低下させ、磁気ヘッド8が磁気ディスク3の表面
に直接接触することによる磁気ディスク3の摩耗損傷を
防止することができる。
If the head slider 6 having such a structure is not used, when a shock is applied to the magnetic disk 3 or when the surface of the magnetic disk 3 is uneven or wavy,
When the head slider cannot follow sufficiently, fluctuation of the flying height d of the head slider, so-called dynamic fluctuation of flying height occurs. However, according to the above-mentioned head slider 6, the flying height d of the head slider 6 on the same track is increased.
Is maintained substantially constant, so that the spacing loss can be reduced and the wear and damage of the magnetic disk 3 due to the magnetic head 8 directly contacting the surface of the magnetic disk 3 can be prevented.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】従来のヘッドスライダ
6は、上述したように、磁気ディスク3が回転すること
により発生する動圧を利用して浮上している。この動圧
の大きさは、線速度が速いほど大きくなる。ここで、磁
気ディスク3が角速度一定で回転する場合、その外周に
おける線速度は、内周における線速度よりも速い。この
ため、ヘッドスライダ6を磁気ディスク3の円周方向に
対して常に平行になるように配置した場合、ヘッドスラ
イダ6の浮上量dは、ヘッドスライダ6が磁気ディスク
3の内周に位置したときより外周に位置したときの方が
上昇する。
As described above, the conventional head slider 6 floats by utilizing the dynamic pressure generated by the rotation of the magnetic disk 3. The magnitude of this dynamic pressure increases as the linear velocity increases. Here, when the magnetic disk 3 rotates at a constant angular velocity, the linear velocity on the outer periphery is higher than the linear velocity on the inner periphery. Therefore, when the head slider 6 is arranged so as to be always parallel to the circumferential direction of the magnetic disk 3, the flying height d of the head slider 6 is determined when the head slider 6 is located on the inner circumference of the magnetic disk 3. It goes up when it is located on the outer circumference.

【0008】ところが、アーム4は、上述したように回
動式であるため、ヘッドスライダ6の浮上量dは、ヘッ
ドスライダ6が磁気ディスク3の内周に位置したときよ
り外周に位置したときの方が上昇するとは限らない。な
ぜならば、アーム4が垂直軸4aの周りを回動すると
き、ヘッドスライダ6は磁気ディスク3の半径方向に関
して直線上ではなく円弧上を移動する。そして、ヘッド
スライダ6は、図19に示すように、その幅の中心線6
eが磁気ディスク3のトラックの接線方向3aからずれ
て、いわゆるスキュー角θsが生じる。このスキュー角
θsは、磁気ディスク3の中心からの位置に応じて変動
する。スキュー角θsが大きくなると、ヘッドスライダ
6と磁気ディスク3の表面との間の動圧の浮揚力への変
換効率が低下して、ヘッドスライダ6の浮上量dが低下
する。つまり、磁気ディスク3の外周側にて上昇するは
ずのヘッドスライダ6の浮上量dは、上記スキュー角θ
sにより低下することになる。
However, since the arm 4 is of the rotary type as described above, the flying height d of the head slider 6 when the head slider 6 is located outside the magnetic disk 3 is more than when the head slider 6 is located inside the magnetic disk 3. It doesn't always rise. This is because when the arm 4 rotates around the vertical axis 4a, the head slider 6 moves not on a straight line but on a circular arc in the radial direction of the magnetic disk 3. Then, as shown in FIG. 19, the head slider 6 has a center line 6 of its width.
The deviation e from the tangential direction 3a of the track of the magnetic disk 3 causes a so-called skew angle θs. The skew angle θs changes depending on the position from the center of the magnetic disk 3. When the skew angle θs increases, the conversion efficiency of the dynamic pressure between the head slider 6 and the surface of the magnetic disk 3 into the levitation force decreases, and the flying height d of the head slider 6 decreases. That is, the flying height d of the head slider 6 that should rise on the outer peripheral side of the magnetic disk 3 is the skew angle θ.
It will be lowered by s.

【0009】以上述べた線速度の増加に対してヘッドス
ライダ6の浮上量dが上昇する特性、いわゆる線速依存
性は線形であるが、スキュー角θsの増加に対してヘッ
ドスライダ6の浮上量dが低下する特性、いわゆるスキ
ュー依存性は2次の非線形である。従って、従来のヘッ
ドスライダ6を使用する限り、磁気ディスク3の半径方
向の全範囲にわたって、線速依存性とスキュー依存性の
バランスを取って、いわゆる静的な浮上量変動を抑制す
ることは困難である。このため、線速依存性とスキュー
依存性との相互作用による静的な浮上量変動により、記
録再生時のS/Nを一定に保持することができず、従っ
て、所望のトラックに対する磁気ヘッド8による正確な
情報の記録再生を行なうことができないという問題があ
った。
The above-described characteristic that the flying height d of the head slider 6 rises with an increase in the linear velocity, that is, the linear velocity dependence is linear, but the flying height of the head slider 6 increases with an increase in the skew angle θs. The characteristic of decreasing d, so-called skew dependency, is a second-order non-linearity. Therefore, as long as the conventional head slider 6 is used, it is difficult to balance the linear velocity dependence and the skew dependence over the entire radial range of the magnetic disk 3 to suppress so-called static flying height fluctuation. Is. Therefore, the static flying height variation due to the interaction between the linear velocity dependence and the skew dependence makes it impossible to keep the S / N constant at the time of recording / reproducing, and therefore, the magnetic head 8 for a desired track. However, there is a problem in that it is impossible to accurately record and reproduce information.

【0010】また、ヘッドスライダ6の浮上姿勢は、ヘ
ッドスライダ6の長さ方向については、図20(A)に
示すように、空気流によりテーパ部6c、6dが持ち上
がった状態となり、ヘッドスライダ6の幅方向について
は、図20(B)に示すように、スキュー角やヘッドス
ライダ6のレール6a、6bの線速度差により何れかの
レール6a、6bが持ち上がった状態となる。このよう
なヘッドスライダ6の長さ方向の浮上姿勢が変動するこ
とをピッチといい、ヘッドスライダ6の幅方向の浮上姿
勢が変動することをロールという(図21参照)。この
うちロールは、シーク等の外力により大きくなるので、
磁気ヘッド8が磁気ディスク3の表面に直接接触するこ
とによる磁気ディスク3の摩耗損傷の可能性が高くな
る。
The flying posture of the head slider 6 is such that the taper portions 6c and 6d are lifted by the air flow in the lengthwise direction of the head slider 6 as shown in FIG. 20B, either of the rails 6a and 6b is lifted depending on the skew angle and the linear velocity difference between the rails 6a and 6b of the head slider 6, as shown in FIG. Such a change in the flying attitude of the head slider 6 in the length direction is called a pitch, and a change in the flying attitude of the head slider 6 in the width direction is called a roll (see FIG. 21). Of these, the roll becomes larger due to external force such as seek, so
There is a high possibility that the magnetic head 3 will be worn and damaged by the direct contact of the magnetic head 8 with the surface of the magnetic disk 3.

【0011】ここで、ヘッドスライダ6の張り付きの防
止、浮き上がり特性の向上、CSS(Contact
Start Stop)特性の向上等のために、ヘッド
スライダ6のレール6a、6bの面の幅方向及び長さ方
向は、図22のヘッドスライダ6の模式図に示すような
クラウンと呼ばれる湾曲形状となっている。特に、幅方
向のクラウンは、静的なロールに影響を与える。図23
は、ロール角と幅方向のクラウン量(クラウン高さ)と
の関係を示す図である。幅方向のクラウン量が0nm〜
6nm程度まではヘッドスライダ6のレール6b側にロ
ールしているが、幅方向のクラウン量が6nm程度を越
えると逆にヘッドスライダ6のレール6a側にロールす
る。従って、静的なロールを無くす、即ちロール角を0
度にするには、幅方向のクラウン量を6nm程度にすれ
ば良いが、実際には、CSS特性の最適化と加工し易さ
からクラウン量は規定されるため、ロールのためにクラ
ウン量を調整することはできないことがほとんどであ
る。
Here, the sticking of the head slider 6 is prevented, the floating characteristic is improved, and the CSS (Contact)
In order to improve the Start Stop characteristic, the width direction and the length direction of the surfaces of the rails 6a and 6b of the head slider 6 have a curved shape called a crown as shown in the schematic view of the head slider 6 in FIG. ing. In particular, the widthwise crown affects the static roll. FIG.
FIG. 6 is a diagram showing a relationship between a roll angle and a crown amount (crown height) in the width direction. The amount of crown in the width direction is 0 nm
It rolls to the rail 6b side of the head slider 6 up to about 6 nm, but conversely rolls to the rail 6a side of the head slider 6 when the crown amount in the width direction exceeds about 6 nm. Therefore, the static roll is eliminated, that is, the roll angle is 0.
In order to adjust the degree, the crown amount in the width direction may be set to about 6 nm. However, in reality, the crown amount is specified for optimizing CSS characteristics and easiness of processing. In most cases, it cannot be adjusted.

【0012】この発明は、以上の点に鑑み、磁気ディス
クの全面にわたって静的な浮上量変動を抑制することが
でき、かつ静的なロールを低減することができるヘッド
スライダ及びそのヘッドスライダを備えた磁気ディスク
装置を提供することを目的としている。
In view of the above points, the present invention is provided with a head slider capable of suppressing the static fluctuation of the flying height over the entire surface of the magnetic disk and reducing the static roll, and a head slider thereof. Another object of the present invention is to provide a magnetic disk device.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的は、この発明に
よれば、空気流により磁気ディスクに対して浮上し、前
記磁気ディスクから情報を記録再生する磁気ヘッドを搭
載したヘッドスライダにおいて、前記空気流を導入する
空気流導入部と、前記磁気ディスクに対向する面に形成
され、前記空気流導入部から導入される空気流により正
圧を発生する正圧発生部と、前記磁気ディスクに対向す
る面であって、前記正圧発生部の空気流入端から前記正
圧発生部の中央付近まで形成され、前記正圧発生部の空
気流入端側が前記空気流導入部により閉じられ、前記空
気流導入部から導入される空気流により負圧を発生する
第1の負圧発生部と、前記磁気ディスクに対向する面で
あって、前記第1の負圧発生部の空気流出端と連続して
前記正圧発生部の空気流出端まで形成され、前記正圧発
生部の空気流出端側が開放され、かつ前記第1の負圧発
生部の中央付近から前記第1の負圧発生部の空気流出端
に向かうに従って前記正圧発生部の面積が狭くなるよう
に形成され、前記空気流導入部から導入される空気流に
より負圧を発生する第2の負圧発生部とを備えることに
より達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, the above object is to provide a head slider equipped with a magnetic head that floats on a magnetic disk by an air flow and records and reproduces information from the magnetic disk. And a positive pressure generating portion that is formed on a surface that faces the magnetic disk and that introduces a positive flow and that generates a positive pressure by the air flow that is introduced from the air flow introducing portion, and that faces the magnetic disk. The surface is formed from the air inflow end of the positive pressure generating portion to the vicinity of the center of the positive pressure generating portion, and the air inflow end side of the positive pressure generating portion is closed by the air flow introducing portion, and the air flow introducing portion is formed. A first negative pressure generating portion for generating a negative pressure by an air flow introduced from a portion, and a surface facing the magnetic disk, which is continuous with the air outflow end of the first negative pressure generating portion. Positive pressure generation part The air outlet end is formed, the air outlet end side of the positive pressure generating portion is opened, and the positive pressure is increased from the vicinity of the center of the first negative pressure generating portion toward the air outlet end of the first negative pressure generating portion. This is achieved by including a second negative pressure generating unit that is formed so that the area of the pressure generating unit is narrowed and that generates a negative pressure by the air flow introduced from the air flow introducing unit.

【0014】上記構成によれば、第1及び第2の負圧発
生部が、線速度の増加による正圧の上昇を相殺するのに
十分な負圧を発生するので、線速依存性を安定化でき、
また、正圧発生部が、スキュー角の増加による動圧の浮
揚力への変換効率の低下を防止するのに十分な正圧を発
生するので、スキュー依存性を安定化できる。従って、
静的な浮上量変動を抑制することができる。さらに、第
2の負圧発生部が、正圧のピーク点を移動させるので、
静的なロールを低減することができる。
According to the above construction, the first and second negative pressure generating portions generate a negative pressure sufficient to offset the increase in the positive pressure due to the increase in the linear velocity, so that the linear velocity dependence is stabilized. Can be
Further, since the positive pressure generating unit generates a positive pressure sufficient to prevent the conversion efficiency of the dynamic pressure from being converted into the levitation force due to the increase of the skew angle, the skew dependency can be stabilized. Therefore,
It is possible to suppress static fluctuations in the flying height. Furthermore, since the second negative pressure generating unit moves the peak point of the positive pressure,
Static rolls can be reduced.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
を添付図を参照しながら詳細に説明する。尚、以下に述
べる実施の形態は、この発明の好適な具体例であるか
ら、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、こ
の発明の範囲は、以下の説明において特にこの発明を限
定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるも
のではない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and therefore, various technically preferable limitations are added. However, the scope of the present invention is not limited to the following description. It is not limited to these forms unless otherwise stated.

【0016】図1は、この発明の磁気ディスク装置の実
施形態であるハードディスク装置の構成例を示す斜視図
である。このハードディスク装置11は、アルミニウム
合金等により形成された筐体12の平面部の裏側にスピ
ンドルモータ19が配設されていると共に、このスピン
ドルモータ19によって角速度一定で回転駆動される磁
気ディスク13が備えられている。さらに、この筐体1
2には、アーム14が垂直軸14aの周りに揺動可能に
取り付けられている。このアーム14の一端には、ボイ
スコイル15が取り付けられ、またこのアーム14の他
端には、ヘッドスライダ16が取り付けられている。筐
体12上には、ボイスコイル15を挟持するように、マ
グネット17a、17bが取り付けられている。ボイス
コイル15及びマグネット17a、17bにより、ボイ
スコイルモータ17が形成されている。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk drive which is an embodiment of the magnetic disk drive of the present invention. The hard disk drive 11 has a spindle motor 19 disposed behind a plane portion of a housing 12 formed of an aluminum alloy or the like, and a magnetic disk 13 that is driven to rotate at a constant angular velocity by the spindle motor 19. Have been. Furthermore, this housing 1
An arm 14 is attached to the unit 2 so as to be swingable around a vertical axis 14a. A voice coil 15 is attached to one end of the arm 14, and a head slider 16 is attached to the other end of the arm 14. Magnets 17a and 17b are mounted on the housing 12 so as to sandwich the voice coil 15. A voice coil motor 17 is formed by the voice coil 15 and the magnets 17a and 17b.

【0017】このような構成において、ボイスコイル1
5に外部から電流が供給されると、アーム14は、マグ
ネット17a、17bの磁界と、このボイスコイル15
に流れる電流とによって生ずる力に基づいて、垂直軸1
4aの周りを回動する。これにより、アーム14の他端
に取り付けられたヘッドスライダ16は、磁気ディスク
13の実質的に半径方向に旋回する。従って、このヘッ
ドスライダ16に搭載された磁気ヘッド18は、磁気デ
ィスク13に対してシーク動作し、磁気ディスク13の
所定のトラック等に対してデータ等の記録再生を行な
う。
In such a configuration, the voice coil 1
When a current is supplied from the outside to the arm 5, the arm 14 causes the magnetic fields of the magnets 17 a and 17 b and the voice coil
The vertical axis 1 based on the force generated by the
Rotate around 4a. Accordingly, the head slider 16 attached to the other end of the arm 14 turns substantially in the radial direction of the magnetic recording disk 13. Therefore, the magnetic head 18 mounted on the head slider 16 performs a seek operation with respect to the magnetic disk 13 to record and reproduce data and the like on a predetermined track of the magnetic disk 13.

【0018】図2は、この発明のヘッドスライダの実施
形態を示す斜視図である。このヘッドスライダ16は、
全体が扁平な直方体として形成されており、磁気ディス
ク13に対向する面には正圧発生部161が形成され、
正圧発生部161の空気流入端側には空気流導入部16
2が形成され、正圧発生部161内には第1の負圧発生
部163及び第2の負圧発生部164が形成されてい
る。尚、ヘッドスライダ16は、他の形状、例えば立方
体として形成されていても良い。
FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of the head slider of the present invention. This head slider 16 is
The whole is formed as a flat rectangular parallelepiped, and a positive pressure generating portion 161 is formed on the surface facing the magnetic disk 13,
An air flow introducing portion 16 is provided on the air inflow end side of the positive pressure generating portion 161.
2 is formed, and in the positive pressure generation part 161, a first negative pressure generation part 163 and a second negative pressure generation part 164 are formed. The head slider 16 may have another shape, for example, a cubic shape.

【0019】正圧発生部161は、平坦であって、ヘッ
ドスライダ16の幅の中心線を対称軸とした対称形状に
形成されており、エアベアリングサーフェイスとして作
用して、この正圧発生部161と磁気ディスク13との
間を流れる空気流の動圧(正圧)によって、ヘッドスラ
イダ16の浮揚力を発生する。空気流導入部162は、
ヘッドスライダ16の幅方向に連続して、正圧発生部1
61に対して所定角度、例えば0.85度の角度で傾斜
するように形成されている。尚、この空気流導入部16
2は、段差(ステップ)状に形成しても良い。
The positive pressure generating portion 161 is flat and is formed in a symmetrical shape with the center line of the width of the head slider 16 as an axis of symmetry. The positive pressure generating portion 161 acts as an air bearing surface, and the positive pressure generating portion 161. The levitation force of the head slider 16 is generated by the dynamic pressure (positive pressure) of the air flow flowing between the magnetic disk 13 and the magnetic disk 13. The air flow introducing section 162 is
The positive pressure generating portion 1 is continuously formed in the width direction of the head slider 16.
It is formed so as to be inclined at a predetermined angle with respect to 61, for example, an angle of 0.85 degrees. In addition, this air flow introducing section 16
2 may be formed in a step shape.

【0020】第1の負圧発生部163は、ヘッドスライ
ダ16の幅よりも狭い範囲であって、空気流導入部16
2の空気流出端側の縁部からヘッドスライダ16の長手
方向中央付近までの範囲、換言すれば正圧発生部161
の空気流入端の縁部から正圧発生部161の中央付近ま
での範囲に、一定深さで形成されている。第1の負圧発
生部163の形状は、ヘッドスライダ16の幅の中心線
を対称軸とした略長方形状を成している。第1の負圧発
生部163の空気流入端側は、空気流導入部162によ
り閉じられており、第1の負圧発生部163の空気流出
端側は、第2の負圧発生部164へと開放されている。
第2の負圧発生部164の深さは一定であるので、例え
ばエッチング加工等によって容易に形成される。
The first negative pressure generating section 163 is in a range narrower than the width of the head slider 16, and the air flow introducing section 16 is provided.
2 from the edge on the air outflow end side to the vicinity of the center of the head slider 16 in the longitudinal direction, in other words, the positive pressure generating portion 161.
Is formed with a constant depth in the range from the edge of the air inflow end to the vicinity of the center of the positive pressure generating portion 161. The shape of the first negative pressure generating portion 163 is substantially rectangular with the center line of the width of the head slider 16 as the axis of symmetry. The air inflow end side of the first negative pressure generating part 163 is closed by the air flow introducing part 162, and the air outflow end side of the first negative pressure generating part 163 is connected to the second negative pressure generating part 164. Is open.
Since the depth of the second negative pressure generating portion 164 is constant, the second negative pressure generating portion 164 is easily formed by, for example, etching.

【0021】第2の負圧発生部164は、第1の負圧発
生部163の幅よりも広い範囲であって、ヘッドスライ
ダ16の長手方向中央付近から正圧発生部161の空気
流出端側の縁部までの範囲に、第1の負圧発生部163
の空気流出端と連続して一定深さで形成されている。第
2の負圧発生部164の形状は、ヘッドスライダ16の
幅の中心線を対称軸とした多角形状、即ち台形の上底
(短辺)を対称軸とした対称形状を成している。このよ
うな多角形状であるので、第1の負圧発生部163の中
央付近から第1の負圧発生部163の空気流出端に向か
うに従って、正圧発生部161の面積は狭くなる。即
ち、ヘッドスライダ16の幅の中心線に対する、第1の
負圧発生部163を区画する端までの距離が、第2の負
圧発生部164を区画する端までの距離より短く形成さ
れている。この第2の負圧発生部164における正圧発
生部161の面積が狭くなる部分は、第1の負圧発生部
163を区画する端から第2の負圧発生部164を区画
する端までの間で、空気流に対応した傾斜部、即ち正圧
発生部161の空気流出端側から見て錨肩状に形成され
ている。
The second negative pressure generating portion 164 is in a range wider than the width of the first negative pressure generating portion 163, and from the vicinity of the longitudinal center of the head slider 16 to the air outflow end side of the positive pressure generating portion 161. To the edge of the first negative pressure generating portion 163.
It is formed with a constant depth continuously from the air outflow end. The shape of the second negative pressure generating portion 164 is a polygonal shape with the centerline of the width of the head slider 16 as the axis of symmetry, that is, a symmetrical shape with the upper base (short side) of the trapezoid as the axis of symmetry. Since it has such a polygonal shape, the area of the positive pressure generating portion 161 becomes smaller from the vicinity of the center of the first negative pressure generating portion 163 toward the air outflow end of the first negative pressure generating portion 163. That is, the distance from the center line of the width of the head slider 16 to the end that defines the first negative pressure generating portion 163 is shorter than the distance to the end that defines the second negative pressure generating portion 164. . The area where the area of the positive pressure generating portion 161 in the second negative pressure generating portion 164 is narrower extends from the end that defines the first negative pressure generating portion 163 to the end that defines the second negative pressure generating portion 164. In between, an inclined portion corresponding to the air flow, that is, an anchor shoulder shape is formed when viewed from the air outflow end side of the positive pressure generating portion 161.

【0022】第2の負圧発生部164の空気流入端側
は、第1の負圧発生部163の空気流出端と連続してい
る部分を除いて正圧発生部161により閉じられてお
り、第2の負圧発生部164の空気流出端側は、開放さ
れている。第2の負圧発生部164の深さは第1の負圧
発生部163の深さと同一であるので、第1の負圧発生
部163を形成する際に、第1の負圧発生部163と共
に例えばエッチング加工等によって容易に形成される。
尚、第1の負圧発生部163の空気流入端側の位置は、
一般的にはヘッドスライダ16の長さの略1/2の位置
が望ましいが、その最適位置はヘッドスライダ16の線
速依存性やスキュー依存性により移動し、またその移動
量はヘッドスライダ16のドライブ条件や浮上特性によ
り変動する。以上より、正圧発生部161は、第1の負
圧発生部163と第2の負圧発生部164により、ヘッ
ドスライダ16の幅方向に2等分されている。
The air inflow end side of the second negative pressure generating part 164 is closed by the positive pressure generating part 161 except the part which is continuous with the air outflow end of the first negative pressure generating part 163. The air outflow end side of the second negative pressure generating portion 164 is open. Since the depth of the second negative pressure generating portion 164 is the same as the depth of the first negative pressure generating portion 163, when forming the first negative pressure generating portion 163, the first negative pressure generating portion 163 is formed. Together with this, it is easily formed by etching or the like.
The position of the first negative pressure generating portion 163 on the air inflow end side is
Generally, it is desirable that the position is about 1/2 of the length of the head slider 16, but the optimum position moves due to the linear velocity dependency and the skew dependency of the head slider 16, and the amount of movement of the head slider 16 varies. Varies depending on drive conditions and levitation characteristics. As described above, the positive pressure generating portion 161 is divided into two equal parts in the width direction of the head slider 16 by the first negative pressure generating portion 163 and the second negative pressure generating portion 164.

【0023】このような構成のヘッドスライダ16が、
回転している磁気ディスク13の表面に接近すると、磁
気ディスク13の回転に伴って正圧発生部161と磁気
ディスク13の表面との間に空気流が流入するので、正
圧発生部161にて正圧が発生する。また、磁気ディス
ク13の回転に伴って正圧発生部161と磁気ディスク
13の表面との間の狭い空間から、第1の負圧発生部1
63及び第2の負圧発生部164と磁気ディスク13の
表面との間の比較的広い空間内に空気流が流入するの
で、第1の負圧発生部163及び第2の負圧発生部16
4にて負圧が発生する。この正圧及び負圧の差によっ
て、ヘッドスライダ16が浮揚力を受けることになり、
ヘッドスライダ16及びこのヘッドスライダ16の空気
流出端に取り付けられた磁気ヘッド18は、磁気ディス
ク13の表面から微小間隔(浮上量)をもって浮上走行
するようになっている。
The head slider 16 having such a structure is
When approaching the surface of the rotating magnetic disk 13, an airflow flows between the positive pressure generating section 161 and the surface of the magnetic disk 13 as the magnetic disk 13 rotates, so that the positive pressure generating section 161 Positive pressure is generated. In addition, as the magnetic disk 13 rotates, the first negative pressure generating section 1 moves from the narrow space between the positive pressure generating section 161 and the surface of the magnetic disk 13.
63 and the second negative pressure generating portion 164 and the surface of the magnetic disk 13, the air flow flows into a relatively wide space, so that the first negative pressure generating portion 163 and the second negative pressure generating portion 16 are provided.
Negative pressure is generated at 4. Due to the difference between the positive pressure and the negative pressure, the head slider 16 receives the levitation force,
The head slider 16 and the magnetic head 18 attached to the air outflow end of the head slider 16 are designed to fly above the surface of the magnetic disk 13 with a minute distance (flying height).

【0024】この場合、正圧発生部161は、空気流入
端側にてヘッドスライダ16の幅方向に大きく広がって
いることから、上記空気流によって受ける浮揚力が比較
的大きいので、磁気ディスク13との間の相対速度が低
い場合であっても、また、第1の負圧発生部163及び
第2の負圧発生部164に負圧が発生した場合であって
も、十分な浮揚力を得ることができる。そして、磁気デ
ィスク13の半径方向におけるヘッドスライダ16の位
置が変動して、磁気ディスク13に対するヘッドスライ
ダ16の線速度が変化しても、この線速度の変化に対応
して上記正圧及び負圧が共に同じ方向に変動することに
なる。従って、線速度の増加による浮揚力の上昇が抑制
されるので、ヘッドスライダ16の浮上量の変動を低減
することができる。
In this case, since the positive pressure generating portion 161 spreads largely in the width direction of the head slider 16 on the air inflow end side, the levitation force received by the air flow is relatively large, so that the magnetic disk 13 and Even if the relative speed between the two is low, or even when negative pressure is generated in the first negative pressure generating unit 163 and the second negative pressure generating unit 164, sufficient levitation force is obtained. be able to. Then, even if the position of the head slider 16 in the radial direction of the magnetic disk 13 changes and the linear velocity of the head slider 16 with respect to the magnetic disc 13 changes, the positive pressure and the negative pressure corresponding to the change in the linear velocity. Both fluctuate in the same direction. Therefore, the rise of the levitation force due to the increase of the linear velocity is suppressed, and the fluctuation of the flying height of the head slider 16 can be reduced.

【0025】また、磁気ディスク13のトラックの接線
方向に対するヘッドスライダ16のスキュー角θsが変
動することにより、図3の矢印で示す方向に空気流が発
生する場合であっても、十分に大きい正圧が発生する。
従って、スキュー角θsの増加による浮揚力の低下が抑
制されるので、ヘッドスライダ16の浮上量の変動を低
減することができる。以上より、磁気ディスク3の半径
方向の全範囲にわたって、線速依存性とスキュー依存性
のバランスを取って、静的な浮上量変動を抑制すること
が可能となる。
Further, even if the skew angle θs of the head slider 16 with respect to the tangential direction of the track of the magnetic disk 13 varies, an air flow is generated in the direction shown by the arrow in FIG. Pressure is generated.
Therefore, the reduction of the levitation force due to the increase of the skew angle θs is suppressed, and the fluctuation of the flying height of the head slider 16 can be reduced. From the above, it is possible to balance the linear velocity dependence and the skew dependence over the entire range of the magnetic disk 3 in the radial direction, and to suppress the static fluctuation of the flying height.

【0026】ここで、この発明の実施形態のヘッドスラ
イダと従来のヘッドスライダに対する上記スキュー角θ
sの影響について調べた。図4(A)は、従来のヘッド
スライダであるテーパフラットスライダの一例を示す平
面図、同図(B)は、その側面図である。このヘッドス
ライダ6は、図17に示すものと同様であり、全長が
2.05mm、厚さが0.43mm、レール幅が0.1
68mm、テーパ長が0.2mm、テーパ角が0.5度
である。図5(A)は、従来のヘッドスライダである負
圧スライダの一例を示す平面図、同図(B)は、その側
面図である。このヘッドスライダ6’は、負圧を発生す
る長方形状の凹陥部61が形成されたものであり、全長
が2.05mm、厚さが0.43mm、レール幅が0.
2mm、テーパ長が0.2mm、テーパ角が0.5度、
凹陥部61の長さが1.025mm、凹陥部61の深さ
が0.006mmである。
Here, the skew angle θ with respect to the head slider of the embodiment of the present invention and the conventional head slider.
The influence of s was investigated. FIG. 4A is a plan view showing an example of a taper flat slider which is a conventional head slider, and FIG. 4B is a side view thereof. This head slider 6 is similar to that shown in FIG. 17, and has a total length of 2.05 mm, a thickness of 0.43 mm, and a rail width of 0.1.
68 mm, the taper length is 0.2 mm, and the taper angle is 0.5 degrees. FIG. 5A is a plan view showing an example of a negative pressure slider which is a conventional head slider, and FIG. 5B is a side view thereof. This head slider 6'has a rectangular recess 61 for generating a negative pressure and has a total length of 2.05 mm, a thickness of 0.43 mm, and a rail width of 0.
2mm, taper length 0.2mm, taper angle 0.5 degree,
The length of the recess 61 is 1.025 mm, and the depth of the recess 61 is 0.006 mm.

【0027】図6(A)は、この発明のヘッドスライダ
の実施形態を示す平面図、同図(B)は、その側面図で
ある。このヘッドスライダ16は、図2に示すものと同
様であり、全長が2.05mm、厚さが0.43mm、
正圧発生部161の空気流出端幅が0.2mm、空気流
導入部162の長さが0.2mm、空気流導入部162
の傾斜角が0.5度、第1の負圧発生部163の長さが
1.075mm、第1の負圧発生部163の幅が0.1
mm、第2の負圧発生部164の最長長さが1.275
mm、第1の負圧発生部163及び第2の負圧発生部1
64の深さが0.006mmである。
FIG. 6A is a plan view showing an embodiment of the head slider of the present invention, and FIG. 6B is a side view thereof. The head slider 16 is similar to that shown in FIG. 2, and has a total length of 2.05 mm, a thickness of 0.43 mm,
The air outflow end width of the positive pressure generating portion 161 is 0.2 mm, the length of the air flow introducing portion 162 is 0.2 mm, and the air flow introducing portion 162.
Has an inclination angle of 0.5 degrees, the first negative pressure generating portion 163 has a length of 1.075 mm, and the first negative pressure generating portion 163 has a width of 0.1.
mm, the maximum length of the second negative pressure generating portion 164 is 1.275.
mm, the first negative pressure generating unit 163 and the second negative pressure generating unit 1
The depth of 64 is 0.006 mm.

【0028】このように形成された各ヘッドスライダ
6、6’、16を、アーム14の垂直軸14aと磁気デ
ィスク13の回転軸との距離57.6mm、アーム長5
2.1mm、アーム14のベント角0.0度、使用半径
21.6mm〜45.4mm、使用スキュー角θs−
6.51度〜16.8度、回転数7200rpmの仮想
ハードディスク装置に搭載して荷重3gを負荷した場合
の浮上量を計算機シミュレーションによって計算した。
Each of the head sliders 6, 6 ', 16 formed in this way has a distance of 57.6 mm between the vertical axis 14a of the arm 14 and the rotation axis of the magnetic disk 13 and an arm length of 5.
2.1 mm, arm 14 bent angle 0.0 degrees, usage radius 21.6 mm to 45.4 mm, usage skew angle θs−
The flying height was calculated by computer simulation when it was mounted on a virtual hard disk device with a rotation speed of 7,200 rpm from 6.51 degrees to 16.8 degrees and a load of 3 g was applied.

【0029】図7は、線速度を一定(12m/s)とし
てスキュー角θsを変化させたときの、各ヘッドスライ
ダ6、6’、16の空気流出端における磁気ディスク1
3の内周側(−Iを付加)と外周側(−Oを付加)の浮
上量の関係を示す図である。従来のヘッドスライダであ
るテーパフラットスライダ6は、スキュー角θsに対す
る浮上量の変動が最も大きく、スキュー角θsが大きく
なるほど浮上量は小さくなる。また、従来のヘッドスラ
イダである負圧スライダ6’は、スキュー角θsに対す
る浮上量の変動は小さいものの、スキュー角θsが大き
くなるほどロールが大きくなる。これに対して、この発
明の実施形態のヘッドスライダ16は、スキュー角に対
する浮上量の変動及びロールは小さくなる。
FIG. 7 shows the magnetic disk 1 at the air outflow end of each head slider 6, 6 ', 16 when the skew angle θs is changed with the linear velocity being constant (12 m / s).
3 is a diagram showing the relationship between the flying heights of the inner circumference side (-I is added) and the outer circumference side (-O is added) of FIG. The taper flat slider 6 which is the conventional head slider has the largest fluctuation of the flying height with respect to the skew angle θs, and the flying height becomes smaller as the skew angle θs becomes larger. Further, in the negative pressure slider 6 ′ which is the conventional head slider, although the fluctuation of the flying height with respect to the skew angle θs is small, the roll becomes larger as the skew angle θs becomes larger. On the other hand, in the head slider 16 of the embodiment of the present invention, the fluctuation of the flying height and the roll with respect to the skew angle are reduced.

【0030】この理由は、スキュー角θsが無い空気流
の場合、極大となる浮揚力は図8の矢印a、b、c、d
で示すようにヘッドスライダ16の幅の中心線に対して
対称であり、その中心線からのモーメントはバランスし
ているのでロールは生じない。ところが、スキュー角θ
sが有る空気流の場合、極大となる浮揚力は図9の矢印
A、B、C、Dで示すように空気流の影響で下流側に移
動し、ヘッドスライダ16の幅の中心線に対して非対称
となり、その中心線からのモーメントは図中左側が大き
くなってアンバランスとなるのでロールが生じる。そこ
で、第2の負圧発生部164の傾斜部を形成することに
より、その傾斜部が空気流に沿うため、図9に示す浮揚
力Cを大きく成長させることができる。従って、スキュ
ー角θsが有る空気流の場合であっても、ヘッドスライ
ダ16の幅方向の中心線からのモーメントはバランスし
ているのでロールは生じない。
The reason for this is that, in the case of an air flow having no skew angle θs, the maximum levitation force is the arrow a, b, c, d in FIG.
As shown by, the width is symmetrical with respect to the center line of the head slider 16, and the moments from the center line are balanced, so that no roll occurs. However, the skew angle θ
In the case of an air flow with s, the maximum levitation force moves to the downstream side under the influence of the air flow as shown by arrows A, B, C, and D in FIG. Asymmetrically, and the moment from the center line becomes unbalanced because the left side in the figure becomes large and causes a roll. Therefore, by forming the inclined portion of the second negative pressure generating portion 164, since the inclined portion follows the air flow, the levitation force C shown in FIG. 9 can be greatly increased. Therefore, even in the case of the air flow having the skew angle θs, the moments from the center line of the head slider 16 in the width direction are balanced and no roll occurs.

【0031】図10は、スキュー角θsを一定(0度)
として線速度を変化させたときの、各ヘッドスライダ
6、6’、16の空気流出端における浮上量の関係を示
す図である。従来のヘッドスライダであるテーパフラッ
トスライダ6は、線速度に対する浮上量の変動が最も大
きく、線速度が大きくなるほど浮上量は大きくなる。こ
れに対して、従来のヘッドスライダである負圧スライダ
6’及びこの発明の実施形態のヘッドスライダ16は、
線速度に対する浮上量の変動は小さく、特にこの発明の
実施形態のヘッドスライダ16の線速度に対する浮上量
は一定となっている。
In FIG. 10, the skew angle θs is constant (0 degree).
FIG. 6 is a diagram showing the relationship of the flying height at the air outflow end of each head slider 6, 6 ′, 16 when the linear velocity is changed as. The taper flat slider 6 which is a conventional head slider has the largest fluctuation of the flying height with respect to the linear velocity, and the flying height increases as the linear velocity increases. On the other hand, the negative pressure slider 6'which is a conventional head slider and the head slider 16 of the embodiment of the present invention are
The fluctuation of the flying height with respect to the linear velocity is small, and in particular, the flying height of the head slider 16 of the embodiment of the present invention with respect to the linear velocity is constant.

【0032】さらに、各ヘッドスライダ6、6’、16
を、実際のハードディスク装置に搭載した場合の浮上量
を計算機シミュレーションによって計算した。図11
は、磁気ディスク3の半径方向における各ヘッドスライ
ダ6、6’、16の位置を変化させたときの、各ヘッド
スライダ6、6’、16の空気流出端における磁気ディ
スク13の外周側の浮上量の関係を示す図である。各ヘ
ッドスライダ6、6’、16の浮上変動量は、0.05
10μm、0.0383μm、0.0217μmとな
る。以上から、負圧を利用することにより、スキュー角
θs及び線速度に対する静的な浮上量の変動を大きく改
善することができ、さらに、この発明の実施形態のよう
に第2の負圧発生部164の傾斜部を形成することによ
り、静的なロールを改善することができる。従って、記
録再生時のスペーシング損失を抑え、線記録密度を向上
させて、記録容量をアップさせることができる。
Further, each head slider 6, 6 ', 16
Was calculated by computer simulation of the flying height when it was mounted on an actual hard disk device. FIG.
Is the flying height on the outer peripheral side of the magnetic disk 13 at the air outflow end of each head slider 6, 6 ′, 16 when the position of each head slider 6, 6 ′, 16 in the radial direction of the magnetic disk 3 is changed. It is a figure which shows the relationship of. The flying variation of each head slider 6, 6 ', 16 is 0.05
It becomes 10 micrometers, 0.0383 micrometers, and 0.0217 micrometers. From the above, by using the negative pressure, the static fluctuation of the flying height with respect to the skew angle θs and the linear velocity can be greatly improved, and further, the second negative pressure generating unit as in the embodiment of the present invention. By forming 164 ramps, static rolls can be improved. Therefore, it is possible to suppress spacing loss during recording and reproduction, improve linear recording density, and increase recording capacity.

【0033】上記ロールは、ヘッドスライダ16に設け
られている幅方向のクラウン量により変化し、ヘッドス
ライダ16に形成されている第2の負圧発生部164の
傾斜部の傾斜角θを適正化することによりキャンセルす
ることができる。そこで、この発明の実施形態のヘッド
スライダ16に形成されている第2の負圧発生部164
の傾斜部の傾斜角θを変化させたときの、ロール角を0
度にする幅方向のクラウン量について計算機シミュレー
ションによって計算した。
The roll changes depending on the amount of crown in the width direction provided on the head slider 16 to optimize the inclination angle θ of the inclined portion of the second negative pressure generating portion 164 formed on the head slider 16. You can cancel by doing. Therefore, the second negative pressure generating portion 164 formed in the head slider 16 of the embodiment of the present invention.
The roll angle is 0 when the inclination angle θ of the inclined part of is changed.
The amount of crown in the width direction is calculated by computer simulation.

【0034】図12は、図13に示す幅方向のクラウン
量と図14に示す第2の負圧発生部164の傾斜部の傾
斜角θとの関係を示す図である。尚、第2の負圧発生部
164の傾斜部の傾斜角θの角度は、第1の負圧発生部
163の空気流出端からヘッドスライダ16の幅方向へ
引き出した位置を0度とし、第2の負圧発生部164の
傾斜部の斜辺方向への角度を−θ、逆方向を+θとして
いる。図から明らかなように、クラウン量が0nm〜1
5nmの範囲でロール角を0度にするには、第2の負圧
発生部164の傾斜部の傾斜角θの角度を0度〜−5
6.4度で形成すれば良い。
FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the amount of crown in the width direction shown in FIG. 13 and the inclination angle θ of the inclined portion of the second negative pressure generating portion 164 shown in FIG. The inclination angle θ of the inclined portion of the second negative pressure generating portion 164 is 0 ° when the position where the first negative pressure generating portion 163 is pulled out in the width direction of the head slider 16 from the air outflow end. The angle of the inclined portion of the second negative pressure generating portion 164 with respect to the hypotenuse direction is −θ, and the opposite direction is + θ. As is clear from the figure, the crown amount is 0 nm to 1
In order to set the roll angle to 0 degrees in the range of 5 nm, the angle of the inclination angle θ of the inclination portion of the second negative pressure generating portion 164 is 0 degrees to −5.
It may be formed at 6.4 degrees.

【0035】尚、上記ヘッドスライダの実施形態におい
ては、図2にて、正圧発生部、空気流導入部、第1及び
第2の負圧発生部について、それぞれ具体的な形状が示
されているが、正圧を生ずる空気潤滑面に対して、負圧
を生ずる凹陥部を備えるように配設されていれば良く、
それらの長さ、幅、配置、傾斜角度等は、実際に搭載さ
れる磁気ディスク装置に対応して最適化されるべきもの
である。従って、上述した実施形態に示された形状、配
置等に限定されるものではない。
In the above embodiment of the head slider, FIG. 2 shows specific shapes of the positive pressure generating portion, the air flow introducing portion, and the first and second negative pressure generating portions. However, it is sufficient that the air-lubricated surface that produces a positive pressure is provided with a concave portion that produces a negative pressure.
The length, width, arrangement, inclination angle, etc., should be optimized corresponding to the magnetic disk device actually mounted. Therefore, it is not limited to the shape, arrangement and the like shown in the above-mentioned embodiment.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上述べたように、この発明によれば、
磁気ディスクの全面にわたって静的な浮上量変動を抑制
することができるので、磁気ヘッドによる情報の記録再
生を安定に行うことができ、またロールを低減すること
ができるので、磁気ヘッドが磁気ディスクの表面に直接
接触することによる磁気ディスクの摩耗損傷を防止する
ことができる。
As described above, according to the present invention,
Since static fluctuations in the flying height can be suppressed over the entire surface of the magnetic disk, information can be stably recorded / reproduced by the magnetic head, and the number of rolls can be reduced. It is possible to prevent abrasion damage of the magnetic disk due to direct contact with the surface.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の磁気ディスク装置の実施形態である
ハードディスク装置の構成例を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk drive which is an embodiment of a magnetic disk drive of the present invention.

【図2】この発明のヘッドスライダの実施形態を示す斜
視図。
FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of a head slider of the present invention.

【図3】図2に示すヘッドスライダに対するスキュー角
の有る空気流を示す平面図。
3 is a plan view showing an air flow having a skew angle with respect to the head slider shown in FIG.

【図4】従来のヘッドスライダであるテーパフラットス
ライダの一例を示す平面図及び側面図。
FIG. 4 is a plan view and a side view showing an example of a taper flat slider which is a conventional head slider.

【図5】従来のヘッドスライダである負圧スライダの一
例を示す平面図及び側面図。
5A and 5B are a plan view and a side view showing an example of a negative pressure slider which is a conventional head slider.

【図6】この発明のヘッドスライダの実施形態を示す平
面図及び側面図。
6A and 6B are a plan view and a side view showing an embodiment of a head slider of the present invention.

【図7】線速度を一定としてスキュー角を変化させたと
きの、図4から図6に示す各ヘッドスライダの空気流出
端における磁気ディスクの内周側と外周側の浮上量の関
係を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the flying heights of the inner circumference side and the outer circumference side of the magnetic disk at the air outflow end of each head slider shown in FIGS. 4 to 6 when the linear velocity is constant and the skew angle is changed. .

【図8】この発明のヘッドスライダの実施形態における
浮揚力を示す第1の斜視図。
FIG. 8 is a first perspective view showing a levitation force in the embodiment of the head slider of the present invention.

【図9】この発明のヘッドスライダの実施形態における
浮揚力を示す第2の斜視図。
FIG. 9 is a second perspective view showing the levitation force in the embodiment of the head slider of the present invention.

【図10】スキュー角を一定として線速度を変化させた
ときの、図4から図6に示す各ヘッドスライダの空気流
出端における浮上量の関係を示す図。
FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the flying heights at the air outflow ends of the head sliders shown in FIGS. 4 to 6 when the linear velocity is changed while keeping the skew angle constant.

【図11】磁気ディスクの半径方向における図4から図
6に示す各ヘッドスライダの位置を変化させたときの、
各ヘッドスライダの空気流出端における磁気ディスクの
外周側の浮上量の関係を示す図。
FIG. 11 is a diagram showing a case where the position of each head slider shown in FIGS. 4 to 6 in the radial direction of the magnetic disk is changed,
FIG. 6 is a diagram showing a relationship between flying heights on the outer peripheral side of the magnetic disk at the air outflow end of each head slider.

【図12】この発明のヘッドスライダの実施形態の幅方
向のクラウン量と第2の負圧発生部の傾斜部の傾斜角と
の関係を示す図。
FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the crown amount in the width direction and the inclination angle of the inclined portion of the second negative pressure generating portion of the embodiment of the head slider of the present invention.

【図13】この発明のヘッドスライダの実施形態の幅方
向のクラウン量を示す斜視図。
FIG. 13 is a perspective view showing the crown amount in the width direction of the embodiment of the head slider of the present invention.

【図14】この発明のヘッドスライダの実施形態の第2
の負圧発生部の傾斜部の傾斜角を示す図。
FIG. 14 is a second embodiment of the head slider of the present invention.
FIG. 6 is a diagram showing an inclination angle of an inclined portion of the negative pressure generating portion.

【図15】従来の磁気ディスク装置の一例であるハード
ディスク装置の構成例を示す斜視図。
FIG. 15 is a perspective view showing a configuration example of a hard disk device which is an example of a conventional magnetic disk device.

【図16】図15に示すハードディスク装置のヘッドス
ライダの動作例を示す斜視図。
16 is a perspective view showing an operation example of a head slider of the hard disk device shown in FIG.

【図17】図15に示すハードディスク装置のヘッドス
ライダの詳細例を示す斜視図。
17 is a perspective view showing a detailed example of a head slider of the hard disk device shown in FIG.

【図18】図15に示すハードディスク装置のヘッドス
ライダの動作例を示す側面図。
18 is a side view showing an operation example of the head slider of the hard disk device shown in FIG.

【図19】図15に示すハードディスク装置のヘッドス
ライダの動作例を示す平面図。
19 is a plan view showing an operation example of the head slider of the hard disk device shown in FIG.

【図20】図15に示すハードディスク装置のヘッドス
ライダの浮上姿勢を示す側面図。
20 is a side view showing the flying posture of the head slider of the hard disk device shown in FIG.

【図21】図15に示すハードディスク装置のヘッドス
ライダのロールとピッチの方向を示す斜視図。
21 is a perspective view showing the roll and pitch directions of the head slider of the hard disk device shown in FIG.

【図22】図15に示すハードディスク装置のヘッドス
ライダの模式図。
22 is a schematic diagram of a head slider of the hard disk device shown in FIG.

【図23】図15に示すハードディスク装置のヘッドス
ライダのロール角と幅方向のクラウン量(クラウン高
さ)との関係を示す図。
23 is a diagram showing the relationship between the roll angle of the head slider of the hard disk device shown in FIG. 15 and the crown amount (crown height) in the width direction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、11・・・ハードディスク装置、2、12・・・筐
体、3、13・・・磁気ディスク、4、14・・・アー
ム、4a、14a・・・垂直軸、5、15・・・ボイス
コイル、6、16・・・ヘッドスライダ、6a・・・レ
ール、6b・・・レール、6c・・・テーパ部、6d・
・・テーパ部、7、17・・・ボイスコイルモータ、7
a、17a・・・マグネット、7b、17b・・・マグ
ネット、8、18・・・磁気ヘッド、9、19・・・モ
ータ、161・・・正圧発生部、162・・・空気流導
入部、163・・・第1の負圧発生部、164・・・第
2の負圧発生部
1, 11 ... Hard disk device, 2, 12 ... Casing, 3, 13 ... Magnetic disk, 4, 14 ... Arm, 4a, 14a ... Vertical axis, 5, 15 ... Voice coil, 6, 16 ... Head slider, 6a ... Rail, 6b ... Rail, 6c ... Tapered portion, 6d.
..Tapered parts, 7, 17 ... Voice coil motors, 7
a, 17a ... Magnet, 7b, 17b ... Magnet, 8, 18 ... Magnetic head, 9, 19 ... Motor, 161, ... Positive pressure generating section, 162 ... Air flow introducing section , 163 ... First negative pressure generating section, 164 ... Second negative pressure generating section

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 空気流により磁気ディスクに対して浮上
し、前記磁気ディスクから情報を記録再生する磁気ヘッ
ドを搭載したヘッドスライダにおいて、 前記空気流を導入する空気流導入部と、 前記磁気ディスクに対向する面に形成され、前記空気流
導入部から導入される空気流により正圧を発生する正圧
発生部と、 前記磁気ディスクに対向する面であって、前記正圧発生
部の空気流入端から前記正圧発生部の中央付近まで形成
され、前記正圧発生部の空気流入端側が前記空気流導入
部により閉じられ、前記空気流導入部から導入される空
気流により負圧を発生する第1の負圧発生部と、 前記磁気ディスクに対向する面であって、前記第1の負
圧発生部の空気流出端と連続して前記正圧発生部の空気
流出端まで形成され、前記正圧発生部の空気流出端側が
開放され、かつ前記第1の負圧発生部の中央付近から前
記第1の負圧発生部の空気流出端に向かうに従って前記
正圧発生部の面積が狭くなるように形成され、前記空気
流導入部から導入される空気流により負圧を発生する第
2の負圧発生部とを備えたことを特徴とするヘッドスラ
イダ。
1. A head slider equipped with a magnetic head that floats on a magnetic disk by an air flow and records and reproduces information from the magnetic disk, comprising: an air flow introducing section for introducing the air flow; A positive pressure generating portion formed on opposite surfaces and generating a positive pressure by an airflow introduced from the airflow introducing portion; and a surface facing the magnetic disk, the air inflow end of the positive pressure generating portion To near the center of the positive pressure generating part, the air inflow end side of the positive pressure generating part is closed by the air flow introducing part, and a negative pressure is generated by the air flow introduced from the air flow introducing part. No. 1 negative pressure generating part and a surface facing the magnetic disk, which is formed continuously with the air outflow end of the first negative pressure generating part to the air outflow end of the positive pressure generating part. Empty of pressure generating part The outflow end side is opened, and the area of the positive pressure generating portion is formed to become narrower from the vicinity of the center of the first negative pressure generating portion toward the air outflow end of the first negative pressure generating portion. A head slider, comprising: a second negative pressure generating unit that generates a negative pressure by an air flow introduced from an air flow introducing unit.
【請求項2】 前記空気流導入部が、前記正圧発生部に
対して傾斜している請求項1に記載のヘッドスライダ。
2. The head slider according to claim 1, wherein the air flow introducing portion is inclined with respect to the positive pressure generating portion.
【請求項3】 前記正圧発生部が、その空気流入端から
空気流出端に向かう方向に沿った中心線を対称軸とした
対称形状である請求項1に記載のヘッドスライダ。
3. The head slider according to claim 1, wherein the positive pressure generating portion has a symmetrical shape with a center line along a direction from the air inflow end toward the air outflow end as an axis of symmetry.
【請求項4】 前記第1の負圧発生部が、前記正圧発生
部の空気流入端から空気流出端に向かう方向に沿った中
心線を対称軸とした長方形状である請求項1に記載のヘ
ッドスライダ。
4. The first negative pressure generating section has a rectangular shape whose symmetry axis is a center line along a direction from the air inflow end to the air outflow end of the positive pressure generating section. Head slider.
【請求項5】 前記第2の負圧発生部が、前記正圧発生
部の空気流入端から空気流出端に向かう方向に沿った中
心線を対称軸とした多角形状である請求項1に記載のヘ
ッドスライダ。
5. The second negative pressure generating section has a polygonal shape whose axis of symmetry is a center line along a direction from the air inflow end to the air outflow end of the positive pressure generating section. Head slider.
【請求項6】 前記正圧発生部の空気流入端から空気流
出端に向かう方向に沿った中心線に対する、前記第1の
負圧発生部を区画する端までの距離が、前記第2の負圧
発生部を区画する端までの距離より短く形成されている
請求項1に記載のヘッドスライダ。
6. The distance from the center line along the direction from the air inflow end of the positive pressure generating portion toward the air outflow end to the end defining the first negative pressure generating portion is the second negative pressure. The head slider according to claim 1, wherein the head slider is formed so as to be shorter than a distance to an end defining the pressure generating portion.
【請求項7】 前記第2の負圧発生部における前記正圧
発生部の面積が狭くなる部分が、前記第1の負圧発生部
を区画する端から前記第2の負圧発生部を区画する端ま
での間に形成されている請求項6に記載のヘッドスライ
ダ。
7. A portion of the second negative pressure generating portion where the area of the positive pressure generating portion is narrower divides the second negative pressure generating portion from an end that divides the first negative pressure generating portion. 7. The head slider according to claim 6, wherein the head slider is formed up to the end.
【請求項8】 前記第2の負圧発生部における前記正圧
発生部の面積が狭くなる部分が、前記第1の負圧発生部
を区画する端から前記第2の負圧発生部を区画する端ま
での間で、前記空気流に対応した傾斜部となっている請
求項7に記載のヘッドスライダ。
8. A portion of the second negative pressure generating section where the area of the positive pressure generating section is narrower defines the second negative pressure generating section from an end that defines the first negative pressure generating section. The head slider according to claim 7, wherein the head slider has an inclined portion corresponding to the air flow up to the end.
【請求項9】 磁気ヘッドにより磁気ディスクから情報
を記録再生する磁気ディスク装置において、 空気流を導入する空気流導入部と、 前記磁気ディスクに対向する面に形成され、前記空気流
導入部から導入される空気流により正圧を発生する正圧
発生部と、 前記磁気ディスクに対向する面であって、前記正圧発生
部の空気流入端から前記正圧発生部の中央付近まで形成
され、前記正圧発生部の空気流入端側が前記空気流導入
部により閉じられ、前記空気流導入部から導入される空
気流により負圧を発生する第1の負圧発生部と、 前記磁気ディスクに対向する面であって、前記第1の負
圧発生部の空気流出端と連続して前記正圧発生部の空気
流出端まで形成され、前記正圧発生部の空気流出端側が
開放され、かつ前記第1の負圧発生部の中央付近から前
記第1の負圧発生部の空気流出端に向かうに従って前記
正圧発生部の面積が狭くなるように形成され、前記空気
流導入部から導入される空気流により負圧を発生する第
2の負圧発生部とを有し、 前記磁気ヘッドを搭載して前記空気流により前記磁気デ
ィスクに対して浮上するヘッドスライダを備えたことを
特徴とする磁気ディスク装置。
9. A magnetic disk device for recording / reproducing information on / from a magnetic disk by a magnetic head, wherein an air flow introducing section for introducing an air flow and a surface formed on a surface facing the magnetic disk and introducing from the air flow introducing section. A positive pressure generating portion for generating a positive pressure by an air flow, and a surface facing the magnetic disk, which is formed from an air inflow end of the positive pressure generating portion to near the center of the positive pressure generating portion, An air inflow end side of the positive pressure generation unit is closed by the air flow introduction unit, and a first negative pressure generation unit that generates a negative pressure by an air flow introduced from the air flow introduction unit is opposed to the magnetic disk. A surface that is continuous with the air outflow end of the first negative pressure generating portion and extends to the air outflow end of the positive pressure generating portion, the air outflow end side of the positive pressure generating portion is open, and Inside the negative pressure generator of 1 The positive pressure generating portion is formed so that the area of the positive pressure generating portion becomes narrower from the vicinity toward the air outflow end of the first negative pressure generating portion, and negative pressure is generated by the air flow introduced from the air flow introducing portion. 2. A magnetic disk drive, comprising: a negative pressure generating unit; and a head slider that mounts the magnetic head and that floats above the magnetic disk by the air flow.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7978435B2 (en) 2006-12-13 2011-07-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic head slider having multiple step portions

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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