JPH09226171A - Organic el array printing head - Google Patents

Organic el array printing head

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Publication number
JPH09226171A
JPH09226171A JP3934696A JP3934696A JPH09226171A JP H09226171 A JPH09226171 A JP H09226171A JP 3934696 A JP3934696 A JP 3934696A JP 3934696 A JP3934696 A JP 3934696A JP H09226171 A JPH09226171 A JP H09226171A
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JP
Japan
Prior art keywords
organic
electrode
light emitting
array
electrodes
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP3934696A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeki Ogura
茂樹 小椋
Hiroshi Toyama
広 遠山
Kazuo Tokura
和男 戸倉
渉 ▲高▼橋
Wataru Takahashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To collectively produce one org. EL array substrate by electrically connecting signal electrodes of which the number is same to the number of the light emitting dots on a glass substrate to hole injection electrodes and electrically connecting the hole injection electrodes to a hole transport layer by windows and forming the windows on an almost one line in an almost same area at an equal interval in the same number as the signal electrodes. SOLUTION: Signal electrodes 9 are formed on a glass substrate 8 in the same number as light emitting dots in a predetermined pattern and hole injection electrodes 10 are formed thereon in the predetermined pattern so as to contain the signal electrodes 9. Further, the signal electrodes 9 and the hole injection electrodes 10 are formed within the regions of the windows 12 of insulating films. The insulating films 11 are formed on the hole injection electrodes 10 within the region other than the windows 12 of the insulating films in a predetermined pattern. A hole transport layer 13 and a light emitting layer 14 are formed thereon and electron injection electrodes 15 are formed thereon in a predetermined pattern. The electron injection electrodes 15 are electrically connected to the common electrode 16 simultaneously with the signal electrodes 9 at positions sufficiently separated from the windows 12 of the insulating films.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子写真方式プリ
ンタにおける光プリントヘッドに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical print head in an electrophotographic printer.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、文献名:「電子写真学会誌第24巻第2号(1
985)第31頁〜第36頁」“LEDプリンタ”;鈴
木治、高須広海、深津猛夫に開示されるものがあった。
上記文献に開示されるように、電子写真方式プリンタの
光源として、LEDアレイプリントヘッドは、高信頼、
高速、高画質、小型等の特徴を備えている。
2. Description of the Related Art Conventionally, techniques in such a field include:
For example, the name of the literature: "Electrophotographic Society, Vol. 24, No. 2 (1
985) pp. 31-36 "" LED printer "; Osamu Suzuki, Hiromi Takasu, Takeo Fukatsu.
As disclosed in the above-mentioned document, the LED array print head has high reliability as a light source of an electrophotographic printer.
It has features such as high speed, high image quality, and small size.

【0003】光学系において、光源であるLEDアレイ
がヘッドとしてソリッドステート化され、レーザプリン
タのような機械的な駆動部がないため、高い信頼性が得
られる。また、光路長が短いため、小型化が可能であ
る。更に、LEDアレイは、量産実績のある半導体製造
技術で生産されるため、量産化による低コスト化が期待
される。
In the optical system, the LED array, which is a light source, is solid-stated as a head and does not have a mechanical drive unit such as a laser printer, so that high reliability is obtained. Moreover, since the optical path length is short, the size can be reduced. Furthermore, since the LED array is manufactured by a semiconductor manufacturing technology with a proven track record in mass production, cost reduction due to mass production is expected.

【0004】LEDプリンタの印字プロセスは、以下の
ような順序で進められる。まず、感光ドラムに帯電器を
用いて一様な電荷を与える。次に、感光ドラム面にLE
Dアレイからの光を集束性ロッドレンズアレイを介して
結像させ、潜像を形成する。更に、現像機により可視像
とした後、記録紙に転写、定着させる。また、残留トナ
ーのクリーニング、残留電位の除電を行い、印字プロセ
スを終了する。
The printing process of the LED printer proceeds in the following order. First, a uniform charge is applied to the photosensitive drum using a charger. Next, LE on the photosensitive drum surface
Light from the D array is imaged through the converging rod lens array to form a latent image. Further, after being visualized by a developing machine, it is transferred and fixed on a recording paper. Further, the residual toner is cleaned and the residual potential is removed, and the printing process is completed.

【0005】感光ドラムについても、LEDの発光波長
に合った感度特性を持つものも開発されている。LED
プリンタの中のLEDアレイプリントヘッドの部分とし
ては、基板はアルミナのセラミック基板に厚膜でパター
ン形成したものである。基板中央部にLEDチップを一
直線上に並べ、両側にICチップを導電性ペーストにて
ダイボンドし、ワイヤボンドにより電気的接続を行って
いる。信号及び電源はFPC(フレキシブルプリント
板)基板を介し、セラミック基板に供給される。LED
チップを連続的に接続できるかどうかは、チップの切断
精度により決まる。
As for the photosensitive drum, one having a sensitivity characteristic matching the emission wavelength of the LED has been developed. LED
As the portion of the LED array print head in the printer, the substrate is a ceramic substrate made of alumina and patterned with a thick film. LED chips are arranged in a straight line at the center of the substrate, IC chips are die-bonded on both sides with a conductive paste, and electrical connection is made by wire bonding. Signals and power are supplied to the ceramic substrate via an FPC (flexible printed board) substrate. LED
Whether the chips can be continuously connected depends on the cutting accuracy of the chips.

【0006】LEDの材料には、3つの特性が要求され
る。(a)光のアイソレーションができること、(b)
高密度化が可能な拡散プロセスを使えること、(c)経
済的価格で安定した特性が得られること、であり、Ga
AsPが最適である。LEDの製造方法は、n型GaA
sPウエハにCVD等の方法で拡散防止膜をつけ、これ
にホトリソグラフィー法により発光窓を開ける。ウエハ
及びP型不純物を石英アンプルに真空封入し、約700
℃の温度で数時間拡散を行い発光窓にPN接合を形成す
る。拡散深さは5〜7μmが適当である。P側にAl、
N側にAu合金を蒸着し、オーミック電極とする。発光
部寸法は密度により、概ね決まり、16dot/mm
(ピッチ62.5μm)では40μmになる。1チップ
当たりのドット数はチップ歩留りと寸法により、64ド
ットまたは128ドットが実用的である。発光波長は材
料で決まるが660nmとしている。1チップ内の光量
バラツキは、現状では±10%のレベルから±40%ま
でが1ウエハ内に含まれており、プローバ検査により選
別し、±20%以下のものを使用する。LEDチップの
切断精度は配列精度に影響し、±5μm以内の高精度な
切断技術が必要とされる。この場合、接続部分の切断を
劈開を利用したスクライブ法を用いて解決している。
The LED material is required to have three characteristics. (A) The ability to isolate light, (b)
It is possible to use a diffusion process that enables high density, and (c) obtain stable characteristics at an economical price.
AsP is optimal. The LED manufacturing method is based on n-type GaA.
A diffusion prevention film is attached to the sP wafer by a method such as CVD, and a light emitting window is opened on the sP wafer by a photolithography method. Vacuum encapsulation of wafer and P-type impurities in a quartz ampoule
Diffusion is performed at a temperature of ° C for several hours to form a PN junction in the light emitting window. A suitable diffusion depth is 5 to 7 μm. Al on the P side,
Au alloy is vapor-deposited on the N side to form an ohmic electrode. The size of the light emitting part is determined by the density, and is approximately 16 dots / mm.
It becomes 40 μm at (pitch 62.5 μm). The number of dots per chip is practically 64 dots or 128 dots depending on the chip yield and size. The emission wavelength is determined by the material, but is 660 nm. As for the variation in the amount of light within one chip, the level of ± 10% to ± 40% is currently included in one wafer, and the one that is ± 20% or less is selected by the prober inspection. The cutting accuracy of the LED chip affects the alignment accuracy, and a high-precision cutting technology within ± 5 μm is required. In this case, the disconnection of the connecting portion is solved by using a scribing method utilizing cleavage.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ウエハ
に内在する欠陥や製造工程の不均一性などに起因する素
子間の性能バラツキは不可避である。更に、LEDアレ
イの基板となるGaAsなどの基板は、せいぜい3イン
チ程度の大きさしかできず、また高価である。しかも、
結晶の欠陥も多く、モノリシック型でドット数を多くす
ると歩留りが悪くなる。そこで少ないドット数のアレイ
チップを多数作製し、これで全記録幅をカバーするよう
に接続しなければなならい。また、チップ接続部での配
列誤差も生じ、高密度になるにつれ、実装が益々困難と
なる。こういった問題は、低コスト化や高密度化に限界
をもたらすものである。
However, variations in performance among devices due to defects inherent in the wafer, non-uniformity of the manufacturing process, and the like are inevitable. Further, the substrate such as GaAs, which is the substrate of the LED array, can be only about 3 inches in size at most, and is expensive. Moreover,
There are many crystal defects, and if the number of dots in the monolithic type is increased, the yield becomes poor. Therefore, it is necessary to fabricate a large number of array chips with a small number of dots and connect them so as to cover the entire recording width. In addition, an array error occurs in the chip connection portion, and as the density becomes higher, mounting becomes more difficult. These problems bring limits to cost reduction and high density.

【0008】本発明は、上記問題点を除去し、一枚の有
機ELアレイ基板を一括で作製することにより、高密度
化、高速化、低コスト化を図ることができる有機ELア
レイプリントヘッドを提供することを目的とする。
According to the present invention, an organic EL array print head which eliminates the above-mentioned problems and is capable of achieving high density, high speed and low cost by manufacturing one organic EL array substrate at a time. The purpose is to provide.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 (1)ガラス基板上に発光ドット数と同数の信号電極
と、この信号電極上にこの信号電極と部分的に重なって
形成されたこの信号電極と同数の正孔注入電極と、この
正孔注入電極上に発光部となる窓を有して形成された絶
縁膜と、この絶縁膜上に前記窓を含んで形成された正孔
輸送層と、この正孔輸送層上に前記窓を含んで形成され
た発光層と、この発光層上にその正孔輸送層及び発光層
を含んで形成された電子注入電極と、前記窓の並んだ領
域外において前記電子注入電極と電気的に接続された共
通電極とから構成されており、前記信号電極は、前記正
孔注入電極と各々電気的に接続されており、前記正孔注
入電極は前記窓において、前記正孔輸送層と電気的に接
続されており、前記窓は略一線上に略同一面積に、かつ
略等間隔に前記信号電極と略同数個形成されるようにし
たものである。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides: (1) The same number of signal electrodes as the number of light emitting dots on a glass substrate, and the signal electrodes partially on the signal electrodes. The hole injection electrodes are formed in the same number as the signal electrodes overlapped with each other, an insulating film having a window serving as a light emitting portion is formed on the hole injection electrodes, and the windows are included on the insulating film. The formed hole transport layer, the light emitting layer formed on the hole transport layer including the window, and the electron injection electrode formed on the light emitting layer including the hole transport layer and the light emitting layer. And a common electrode electrically connected to the electron injecting electrode outside the region where the windows are arranged, the signal electrode is electrically connected to the hole injecting electrode, respectively. The hole injection electrode is electrically connected to the hole transport layer at the window. The windows are formed in substantially the same area on a substantially straight line and at substantially equal intervals as many as the signal electrodes.

【0010】このように、有機ELを光源に用いるよう
にしたので、一枚の有機ELアレイ基板を一括で作製可
能となり、従来のように、LEDにおいてLEDチップ
多数個を一直線上に配列させていたような実装上の困難
さが避けられ、低コスト化を図ることができる。また、
高密度化は、LEDではチップ間の配列誤差が問題で上
限があったが、有機ELではこの問題は存在しないの
で、高密度化が容易である。
As described above, since the organic EL is used as the light source, one organic EL array substrate can be manufactured at one time, and in the conventional LED, many LED chips are arranged in a straight line. Such mounting difficulties can be avoided and cost reduction can be achieved. Also,
Regarding the densification, in the LED, there is an upper limit due to an alignment error between chips, but in the organic EL, since this problem does not exist, the densification is easy.

【0011】更に、端面発光型にしたことによって、単
位面積当たりの発光量を増やすことができることから、
高速化を図ることができる。 (2)上記(1)記載の有機ELアレイプリントヘッド
において、前記絶縁膜の後面側端部において、前記信号
電極の各々から前記電子注入電極近くにかけて形成され
た、電気的には前記信号電極の各々と接続され、かつ前
記電子注入電極とは分離されている、前記信号電極と略
同数個の反射電極を設けるようにしたものである。
Further, since the edge-emitting type can increase the amount of light emission per unit area,
Higher speed can be achieved. (2) In the organic EL array printhead according to (1) above, at the rear surface side end portion of the insulating film, each of the signal electrodes is formed electrically close to the electron injection electrode. About the same number of reflective electrodes as the signal electrodes, which are connected to each of them and are separated from the electron injecting electrodes, are provided.

【0012】このように、端面反射膜を後面側に形成す
るようにしたので、発光光の有効利用が可能である。し
たがって、同一の投入電力に対して、より大きな単位面
積当たりの発光量が得られ、発光効率を向上させること
ができる。これによって、高速化を犠牲にすることな
く、低消費電力化を図ることができる。
As described above, since the end face reflection film is formed on the rear surface side, the emitted light can be effectively used. Therefore, a larger amount of light emission per unit area can be obtained for the same input power, and the light emission efficiency can be improved. As a result, low power consumption can be achieved without sacrificing speeding up.

【0013】(3)上記(1)記載の有機ELアレイプ
リントヘッドにおいて、前記絶縁膜の前面側端部近くの
この絶縁膜上において、前記電子注入電極から露出した
前記正孔輸送層及び発光層を含んで形成された、前記有
機ELの発光波長に対して略透明な絶縁膜を設けるよう
にしたものである。このように、端面出射膜を前面側に
形成するようにしたので、発光の更なる有効利用が可能
となり、高速化を犠牲にすることなく、低消費電力化を
図ることができる。
(3) In the organic EL array printhead according to the above (1), the hole transport layer and the light emitting layer exposed from the electron injection electrode are provided on the insulating film near the front end of the insulating film. And an insulating film that is substantially transparent to the emission wavelength of the organic EL. As described above, since the end face emission film is formed on the front surface side, it is possible to further effectively use the light emission, and it is possible to reduce the power consumption without sacrificing the speedup.

【0014】(4)上記(1)記載の有機ELアレイプ
リントヘッドにおいて、前記窓内において、この窓が前
記正孔注入電極よりも幅広く形成され、かつ前記正孔注
入電極が前記信号電極よりも幅広く形成されるようにし
たものである。このように、前記窓を正孔注入電極より
幅広く形成するようにしたので、側面側への光も有効に
利用できる。よって、高速化を損なうことなく、更なる
低消費電力化を図ることができる。
(4) In the organic EL array printhead according to (1), the window is formed wider than the hole injection electrode in the window, and the hole injection electrode is wider than the signal electrode. It is designed to be widely formed. In this way, the window is formed wider than the hole injecting electrode, so that the light to the side surface side can be effectively used. Therefore, it is possible to further reduce the power consumption without impairing the speedup.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。図1は本発明の第1実
施例を示す有機ELアレイプリントヘッドの構成図であ
る。チップオンボード(以下、COBと称する)基板1
上に、有機ELアレイ2を有する有機ELアレイ基板3
が1枚と、ドライバーIC4が複数個配置されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of an organic EL array printhead showing a first embodiment of the present invention. Chip-on-board (hereinafter referred to as COB) substrate 1
Organic EL array substrate 3 having organic EL array 2 on top
1 and a plurality of driver ICs 4 are arranged.

【0016】COB基板1とドライバーIC4の間の電
気的接続と、ドライバーIC4と有機ELアレイ基板3
の間の電気的接続と、COB基板1と有機ELアレイ基
板3の間の電気的接続は、ボンディングワイヤ5によっ
て行っている。有機ELアレイ2からの発光は、ガラス
基板端面側に出て、集束性ロッドレンズアレイ6を介し
て、感光ドラム7に集光される。
Electrical connection between the COB substrate 1 and the driver IC 4, and the driver IC 4 and the organic EL array substrate 3
The bonding wires 5 are used to electrically connect the COB substrate 1 and the organic EL array substrate 3 to each other. Light emitted from the organic EL array 2 is emitted to the end surface side of the glass substrate and is focused on the photosensitive drum 7 via the converging rod lens array 6.

【0017】ドライバーIC4は、1ヘッド当たりのド
ット総数を、ドライバーIC1チップ当たりに配される
ドット総数で除した個数だけ必要である。例えば、A4
サイズには、600dpiで1チップ当たり128ドッ
トの場合、概ね5120ドット必要なので、5120/
128で40チップ必要である。しかし、LEDアレイ
プリントヘッドの時のように、隣接LEDチップ間の間
隙を1ドットピッチ以下に納めなければならない場合と
異なり、有機ELアレイ2とワイヤボンド5との距離を
十分おいて配置できるので、有機ELアレイ基板3上に
おいて、ワイヤボンディングが困難になることはなく、
むしろ、ボンディング箇所を自由に配置させることが可
能となる。
The number of driver ICs 4 required is the total number of dots per head divided by the total number of dots arranged per chip of the driver IC. For example, A4
As for the size, if 600 dots is used and 128 dots per chip, approximately 5120 dots are required, so 5120 /
128 requires 40 chips. However, unlike the case where the gap between the adjacent LED chips has to be set to 1 dot pitch or less as in the case of the LED array print head, the organic EL array 2 and the wire bond 5 can be arranged with a sufficient distance. On the organic EL array substrate 3, wire bonding does not become difficult,
Rather, it becomes possible to freely arrange the bonding points.

【0018】また、有機ELアレイ2は、薄膜形成、ホ
トリソグラフィー法によって、一括で全ドットが作製可
能となるので、LEDチップを複数個並べるような手間
が省け、低コスト化を図ることができる。更に、LED
チップでは隣接チップ間の配置場所のずれが、高密度化
が進むにつれ問題となるが、有機ELアレイにはそうい
った高密度化に伴う実装上の困難さはない。
Further, in the organic EL array 2, since all dots can be manufactured at once by forming a thin film and a photolithography method, it is possible to save the labor of arranging a plurality of LED chips and to reduce the cost. . Furthermore, LED
In the case of chips, the displacement of the layout between adjacent chips becomes a problem as the densification progresses, but the organic EL array does not have the mounting difficulty associated with such densification.

【0019】一方、感光ドラムは、有機ELの発光波長
に合わせて選ばなければならないが、有機EL、感光ド
ラム共に、材料の選択の幅は広く、実現上困難は少な
い。本実施例では、OPC(Organic phot
oconductive conductor)を用い
た。図2は本発明の第1実施例を示す有機ELアレイ基
板の平面図である。
On the other hand, the photosensitive drum has to be selected in accordance with the emission wavelength of the organic EL, but there is a wide range of selection of materials for both the organic EL and the photosensitive drum, and there are few difficulties in realization. In this embodiment, OPC (Organic photo)
An oxidative conductor was used. FIG. 2 is a plan view of the organic EL array substrate showing the first embodiment of the present invention.

【0020】この図に示すように、ガラス基板8上に、
信号電極9が有機ELのドット数と略同数個配置されて
いる。各々信号電極9は各々正孔注入電極10と部分的
に重なっている。この正孔注入電極10は、絶縁膜11
内に空間的にはホールになっている絶縁膜の窓12とし
て示す領域において、正孔輸送層13と発光層14を挟
んで、電子注入電極15と対向している。この断面構造
は後述する。
As shown in this figure, on the glass substrate 8,
The signal electrodes 9 are arranged in the same number as the number of dots of the organic EL. Each signal electrode 9 partially overlaps with each hole injection electrode 10. The hole injecting electrode 10 has an insulating film 11
In a region shown as a window 12 of the insulating film which is spatially a hole inside, it faces the electron injection electrode 15 with the hole transport layer 13 and the light emitting layer 14 interposed therebetween. This sectional structure will be described later.

【0021】この絶縁膜の窓12の領域において、発光
が起きる。電子注入電極15は、絶縁膜の窓12の並ん
でいる領域外において、共通電極16と電気的に接続さ
れている。この断面構造も後述する。正孔注入電極10
は、有機膜である正孔輸送層13への正孔の注入を容易
にするために、仕事関数の大きな電極であるのが好まし
い。インジウム−スズ酸化物、いわゆるITO等が好適
である。しかしながら、必ずしも、ITOのような透明
な電極に限定するものではない。なぜならば、正孔注入
電極10がITOのような透明電極でなくても、絶縁膜
11や正孔輸送層13、発光層14によって端面への導
光がなされるからである。
Light emission occurs in the region of the window 12 of the insulating film. The electron injection electrode 15 is electrically connected to the common electrode 16 outside the region where the windows 12 of the insulating film are lined up. This sectional structure will also be described later. Hole injection electrode 10
Is preferably an electrode having a large work function in order to facilitate injection of holes into the hole transport layer 13 which is an organic film. Indium-tin oxide, so-called ITO or the like is suitable. However, it is not necessarily limited to a transparent electrode such as ITO. This is because even if the hole injection electrode 10 is not a transparent electrode such as ITO, the insulating film 11, the hole transport layer 13, and the light emitting layer 14 guide light to the end face.

【0022】一方、信号電極9は、ワイヤボンドが容易
なようにバンプ形成し易いこと、電極の低抵抗化を図る
ことが目的であるが、両条件を満たす金属は多い。中で
も、Al等が好適である。但し、正孔注入電極10がI
TOのような透明な電極である場合は、信号電極9は透
明であってはならない。なぜならば、発光層14から直
接ガラス基板8の裏面に光が出てしまい、端面へと取り
出せる光が著しく減ってしまうからである。
On the other hand, the signal electrode 9 is intended to facilitate bump formation so as to facilitate wire bonding and to lower the resistance of the electrode, but many metals satisfy both conditions. Of these, Al and the like are preferable. However, the hole injection electrode 10 is I
The signal electrode 9 must not be transparent if it is a transparent electrode such as TO. This is because light is directly emitted from the light emitting layer 14 to the back surface of the glass substrate 8, and the light that can be extracted to the end face is significantly reduced.

【0023】しかし、以下は、特に断らない限り信号電
極9を不透明な電極、正孔注入電極10を透明な電極と
して説明する。絶縁膜11の形成順序は、正孔注入電極
10の後である。この断面構造は後述する。絶縁膜11
が必要な理由は、有機膜である正孔輸送層13と発光層
14が、ホトリソグラフィー法を用いたパターニングに
必要な工程に耐えられないことに起因している。
However, the following description will be made assuming that the signal electrode 9 is an opaque electrode and the hole injection electrode 10 is a transparent electrode unless otherwise specified. The formation order of the insulating film 11 is after the hole injection electrode 10. This sectional structure will be described later. Insulating film 11
The reason why is necessary is that the hole transport layer 13 and the light emitting layer 14, which are organic films, cannot withstand the steps required for patterning using the photolithography method.

【0024】すなわち、これら有機膜は、薄膜形成した
後に所定のパターンに加工することが困難であることを
意味する。よって、マスク蒸着のような方法で略所定の
パターンに形成するほかない。結局、発光面積は有機膜
ではなくて、他の無機膜によって正確に規制されなけら
ばならないのである。上述したように、絶縁膜の窓12
の面積によって発光面積が規定できる。この発光面積
は、端面側に取り出せる発光量に略比例する。すなわ
ち、この発光面積が決まれば、一義的に端面からの発光
量も決まる。このことについては後で詳しく述べる。
That is, it means that it is difficult to process these organic films into a predetermined pattern after forming a thin film. Therefore, there is no choice but to form a substantially predetermined pattern by a method such as mask vapor deposition. After all, the light emitting area must be accurately controlled not by the organic film but by the other inorganic film. As described above, the insulating film window 12
The light emitting area can be defined by the area. This light emitting area is approximately proportional to the amount of light emitted to the end face side. That is, if the light emitting area is determined, the amount of light emitted from the end face is uniquely determined. This will be described in detail later.

【0025】この端面からの発光量は全ドットにわたっ
て等しくなければならないので、これら発光面積は全ド
ットにわたって、正確に略同一面積に作製されなければ
ならない。また、端面までの距離が異なれば、減衰の度
合いも異なってしまい、端面からの発光量に違いを生じ
るので、これら発光面積を持つ発光領域は全ドットにわ
たってほぼ一直線上になければならないことも明らかで
ある。端面側に近いほど発光量が多くなることは明白で
ある。
Since the amount of light emitted from this end face must be the same for all dots, these light emitting areas must be made to be exactly the same area over all dots. Also, if the distance to the end face is different, the degree of attenuation will also be different, and the amount of light emitted from the end face will be different.Therefore, it is clear that the light emitting region with these light emitting areas must be on a substantially straight line over all dots. Is. It is obvious that the amount of light emission increases as the distance to the end face side increases.

【0026】更に、印字ドットの間隔についても当然の
ことながら略等間隔でなければならないので、同様に、
これら発光領域は略等間隔に配置する必要がある。言い
換えれば、絶縁膜の窓12が、全ドットにわたって、略
一直線上に、略同一面積に、かつ略等間隔に形成されれ
ばよいことを示す。もちろん、この絶縁膜の窓12は、
信号供給する信号電極9と同数個必要なので、少なくと
も信号電極9の個数以上は形成されることが必要であ
る。
Furthermore, since the intervals of the print dots also need to be substantially equal intervals as a matter of course, similarly,
It is necessary to arrange these light emitting regions at substantially equal intervals. In other words, it means that the windows 12 of the insulating film may be formed on all the dots in a substantially straight line, in substantially the same area, and at substantially equal intervals. Of course, this insulating film window 12
Since the same number of signal electrodes 9 as signals are required, it is necessary to form at least the number of signal electrodes 9.

【0027】一方、発光面積の正確さは、有機膜を形成
する前にホトリソグラフィー法で絶縁膜の窓12を有す
る絶縁膜11を形成しておくことによって得られる。も
ちろん、絶縁膜11は発光波長に対しては透明でなけれ
ばならない。よって、この絶縁膜11は、SiNx膜、
SiOx膜などで十分である。正孔輸送層13と発光層
14は、有機膜でできている。本実施例では、発光層1
4には8キノリノールアルミニウム錯体(Alq3 )を
用いた。正孔輸送層13にはジアミン誘導体(TPD)
を用いた。各々、抵抗加熱による真空蒸着で形成した。
形成したい領域だけ蒸着させるマスク蒸着である。厚み
は各々500Åとした。
On the other hand, the accuracy of the light emitting area can be obtained by forming the insulating film 11 having the window 12 of the insulating film by the photolithography method before forming the organic film. Of course, the insulating film 11 must be transparent to the emission wavelength. Therefore, the insulating film 11 is a SiNx film,
A SiOx film or the like is sufficient. The hole transport layer 13 and the light emitting layer 14 are made of an organic film. In this embodiment, the light emitting layer 1
For 8 was used 8 quinolinol aluminum complex (Alq 3 ). Diamine derivative (TPD) is used for the hole transport layer 13.
Was used. Each was formed by vacuum evaporation by resistance heating.
This is mask vapor deposition in which only the region to be formed is vapor deposited. The thickness was 500 Å each.

【0028】正孔輸送層13は、イオン化ポテンシャル
が低い電子供与性の分子、または、置換基がなければな
らない。また、発光波長に対して透明でなければならな
い。トリフェニルアミン誘導体で、ベンジジン型、スチ
リルアミン型、ジアミン型などがある。発光層14は、
蛍光色素が用いられる。正孔を注入し易くするために
は、イオン化ポテンシャルは6eV以下、電子を注入し
易くするためには、電子親和力が2.5eV以上である
ことが望ましい。金属キレート化合物、多環縮合または
共役芳香族炭化水素、ベンズオキサゾールまたは、ベン
ゾチアゾール誘導体、ペリレン系化合物、クマリン系化
合物などがある。
The hole transport layer 13 must have an electron-donating molecule having a low ionization potential or a substituent. It must also be transparent to the emission wavelength. Triphenylamine derivatives, such as benzidine type, styrylamine type and diamine type. The light emitting layer 14
A fluorescent dye is used. The ionization potential is preferably 6 eV or less for facilitating the injection of holes, and the electron affinity is preferably 2.5 eV or more for facilitating the injection of electrons. Examples include metal chelate compounds, polycyclic condensed or conjugated aromatic hydrocarbons, benzoxazole or benzothiazole derivatives, perylene compounds, and coumarin compounds.

【0029】更に、発光の波長制御や発光効率増大の方
法として、蛍光性色素のドーピングが効果的である。ピ
ラン誘導体、クマリン誘導体、シアニン誘導体、キナク
リドン誘導体などがある。なお、正孔輸送層13から発
光層14への正孔注入が容易なように、発光層14のイ
オン化ポテンシャルは正孔輸送層13のそれより低くな
ければならない。
Further, as a method for controlling the wavelength of light emission and increasing the light emission efficiency, doping with a fluorescent dye is effective. Examples include pyran derivatives, coumarin derivatives, cyanine derivatives, and quinacridone derivatives. The ionization potential of the light emitting layer 14 must be lower than that of the hole transporting layer 13 so that holes can be easily injected from the hole transporting layer 13 into the light emitting layer 14.

【0030】電子注入電極15は、発光層14への電子
注入が容易なように、仕事関数が低いのが好ましい。本
実施例ではMgAg合金を用いた。他にも、In、Mg
In合金、MgCu合金、MgLi合金などがある。共
通電極16は大電流を流すために、低抵抗であること、
またワイヤボンディングが容易であること、等の理由か
ら選ばれるべきであるが、先に述べた信号電極9と同じ
条件なのでAlで十分である。その場合、同時に形成す
ることができる。
The electron injection electrode 15 preferably has a low work function so that electrons can be easily injected into the light emitting layer 14. In this example, a MgAg alloy was used. In addition, In, Mg
There are In alloy, MgCu alloy, MgLi alloy and the like. The common electrode 16 has a low resistance in order to pass a large current,
Further, although it should be selected for the reason that wire bonding is easy, etc., Al is sufficient because it is the same condition as the signal electrode 9 described above. In that case, they can be formed simultaneously.

【0031】図3は図2のA−A断面図を示している。
この図に示すように、ガラス基板8の上に、信号電極9
が所定のパターンに形成されている。その信号電極9の
上に、正孔注入電極10が所定のパターンに形成されて
いる。その上に絶縁膜11が、絶縁膜の窓12以外の領
域に所定のパターンに形成されている。この絶縁膜の窓
12の長さは比較的自由に設定できることは重要な点で
ある。このことは、端面発光型特有の利点である。
FIG. 3 shows a sectional view taken along the line AA of FIG.
As shown in this figure, the signal electrode 9 is formed on the glass substrate 8.
Are formed in a predetermined pattern. The hole injection electrode 10 is formed on the signal electrode 9 in a predetermined pattern. An insulating film 11 is formed thereon in a predetermined pattern in a region other than the window 12 of the insulating film. It is important that the length of the window 12 of the insulating film can be set relatively freely. This is an advantage peculiar to the edge emitting type.

【0032】このことについて説明する。まず、発光
は、絶縁膜の窓12の領域において起こる。層方向で言
えば、発光層14の中の正孔輸送層13との界面側で蛍
光が生じる。この時の光の進行方向はあらゆる方向に向
いている。しかし、信号電極9と電子注入電極15で挟
まれた空間内は透明なので、これら両者の電極間を反射
しながら、出口を求める。この図では前面側(集束性ロ
ッドレンズアレイがある側)と後面側(前面側と反対
側)において、SiNx膜がSiOx膜でできた絶縁膜
11か、もしくはITOでできた正孔注入電極10から
外部に出ることがわかる。
This will be described. First, light emission occurs in the region of the window 12 of the insulating film. Speaking in the layer direction, fluorescence is generated at the interface side of the light emitting layer 14 with the hole transport layer 13. At this time, the light travels in all directions. However, since the space between the signal electrode 9 and the electron injection electrode 15 is transparent, the exit is obtained while reflecting between the two electrodes. In this figure, the SiNx film is an insulating film 11 made of a SiOx film or a hole injection electrode 10 made of ITO on the front surface side (the side having the focusing rod lens array) and the rear surface side (the side opposite to the front surface side). You can see that it goes out from.

【0033】この図ではわからないが、側面への光の漏
れももちろんある。結局、前面側端面へ出た光が印字に
寄与する光となり得る。と言うことは、言い換えれば、
絶縁膜の窓12の長さを長くすればするほど、前面側端
面へ出る光の量も多くなる、と言うことである。このこ
とは、前面側端面からの単位面積当たりの発光量を、こ
の長さで制御することができることを意味している。
Although not shown in this figure, there is of course light leakage to the side surface. After all, the light emitted to the front end surface can be the light that contributes to printing. In other words,
That is, the longer the length of the window 12 of the insulating film, the greater the amount of light emitted to the front end face. This means that the amount of light emitted from the front end face per unit area can be controlled by this length.

【0034】その絶縁膜の窓12を含むように、正孔輸
送層13、発光層14が形成されている。正孔輸送層1
3と発光層14は略同じ面積にしているが、必ずしも同
じである必要はない。両者の形成面積はマスク蒸着など
といった寸法精度上では正確さに欠ける方法で形成され
るので、絶縁膜の窓12を含んでさえいれば少しぐらい
ずれても支障はない。絶縁膜の窓12領域内で、両層が
形成されていることが必要なだけである。
The hole transport layer 13 and the light emitting layer 14 are formed so as to include the window 12 of the insulating film. Hole transport layer 1
3 and the light emitting layer 14 have approximately the same area, but they do not necessarily have to have the same area. Since the formation area of both is formed by a method such as mask vapor deposition that is not accurate in terms of dimensional accuracy, there is no problem even if it is slightly displaced as long as the window 12 of the insulating film is included. It is only necessary that both layers be formed in the window 12 region of the insulating film.

【0035】次に、その正孔輸送層13、発光層14を
含むように、電子注入電極15が形成されている。この
電子注入電極15を正孔輸送層13と発光層14の形成
領域全てを含むように形成させることによって、最終形
態においてこれら有機膜を露出させないようにしてい
る。もし、露出していると、有機膜であるがために、空
気中の水分や酸素等によりその露出部分から劣化し、そ
の劣化がいずれ発光領域すなわち絶縁膜の窓12内へと
進行していることは避けられないためである。
Next, an electron injection electrode 15 is formed so as to include the hole transport layer 13 and the light emitting layer 14. By forming the electron injection electrode 15 so as to include the entire formation region of the hole transport layer 13 and the light emitting layer 14, these organic films are not exposed in the final form. If exposed, since it is an organic film, it deteriorates from the exposed portion due to moisture or oxygen in the air, and the deterioration eventually progresses into the light emitting region, that is, the window 12 of the insulating film. This is because things cannot be avoided.

【0036】一方、この電子注入電極15は、光を反射
させるので前面側では光を遮るような構造になっていな
い方が好ましい。この図でわかるように、正孔輸送層1
3と発光層14を含む構成となっているために、電子注
入電極15が前面側において後面側と同様に、庇のよう
な役割を果たしていることがわかる。この庇は、端面か
らの発光量を減らす作用をもたらす。しかし、これは、
上述の劣化の問題があるためやむを得ない。しかし、絶
縁膜11まで覆うことは前面側端面へ出る光を減らす結
果をもたらすことは明らかなので、電子注入電極15の
端部を絶縁膜11の端部より内側にしている。
On the other hand, the electron injecting electrode 15 reflects light, so that it is preferable that the front surface side does not have a structure that blocks light. As can be seen in this figure, the hole transport layer 1
It can be seen that the electron injection electrode 15 plays a role like an eaves on the front surface side as well as on the rear surface side because of the configuration including 3 and the light emitting layer 14. This eaves has the effect of reducing the amount of light emitted from the end face. But this is
It is unavoidable because of the above-mentioned problem of deterioration. However, since it is clear that covering the insulating film 11 also results in reducing the light emitted to the front end face, the end portion of the electron injection electrode 15 is located inside the end portion of the insulating film 11.

【0037】図4は図2のB−B断面図を示している。
この図に示すように、ガラス基板8上に信号電極9が所
定のパターンに形成されている。その上に、正孔注入電
極10が信号電極9を含むようにして所定のパターンに
形成されている。しかし、信号電極9よりも正孔注入電
極10の方が、幅広く形成されなければならないことを
意味しているわけではない。絶縁膜の窓12の領域内
で、信号電極9と正孔注入電極10が形成されてさえい
ればよい。絶縁膜の窓12外において、幅の広さが逆転
しても動作上、何の変わりもないことは言うまでもな
い。
FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG.
As shown in this figure, signal electrodes 9 are formed on a glass substrate 8 in a predetermined pattern. The hole injection electrode 10 is formed thereon in a predetermined pattern so as to include the signal electrode 9. However, this does not mean that the hole injection electrode 10 needs to be formed wider than the signal electrode 9. It is sufficient that the signal electrode 9 and the hole injection electrode 10 are formed in the region of the window 12 of the insulating film. It goes without saying that there is no change in operation even if the width is reversed outside the window 12 of the insulating film.

【0038】その正孔注入電極10の上に絶縁膜11
が、絶縁膜の窓12以外の領域に所定のパターンに形成
されている。その上に、正孔輸送層13、発光層14が
形成され、その上に、電子注入電極15が所定のパター
ンに形成されている。電子注入電極15は、絶縁膜の窓
12から十分離れた位置において、信号電極9と同時に
形成された共通電極16と電気的に接続されている。
An insulating film 11 is formed on the hole injection electrode 10.
Are formed in a predetermined pattern in a region other than the window 12 of the insulating film. A hole transport layer 13 and a light emitting layer 14 are formed thereon, and an electron injection electrode 15 is formed thereon in a predetermined pattern. The electron injection electrode 15 is electrically connected to the common electrode 16 formed at the same time as the signal electrode 9 at a position sufficiently separated from the window 12 of the insulating film.

【0039】次に、本発明の第1実施例を示す有機EL
アレイヘッドの動作について説明する。図1において、
印字したい内容のデータをCOB基板1上のドライバー
IC4に送る。データが「ON」のドットには、ドライ
バーIC4からボンディングワイヤ5を介して、有機E
Lアレイ基板3上の信号電極9に電流が供給される。デ
ータが「OFF」のドットには、ドライバーIC4から
ボンディングワイヤ5を介して信号電極9に電流が供給
されない。
Next, an organic EL showing the first embodiment of the present invention
The operation of the array head will be described. In FIG.
The data of the content to be printed is sent to the driver IC 4 on the COB board 1. The dots for which the data is “ON” are connected from the driver IC 4 through the bonding wire 5 to the organic E
A current is supplied to the signal electrode 9 on the L array substrate 3. No current is supplied to the signal electrode 9 from the driver IC 4 through the bonding wire 5 to the dot whose data is “OFF”.

【0040】続いて、データが「ON」の場合の動作に
ついて説明する。信号電極9からの電流は正孔注入電極
10にそのまま流れ込み、絶縁膜の窓12の領域におい
て、正孔輸送層13内への正孔注入を引き起こす。一
方、電子注入電極15からは同様に、発光層14への電
子注入が起こる。電子は、発光層14の中を正孔輸送層
13へと向かって移動していき、正孔輸送層13との境
界面に達すると移動がブロックされる。これは、電子親
和力に差があるためである。
Next, the operation when the data is "ON" will be described. The current from the signal electrode 9 flows into the hole injection electrode 10 as it is, and causes the hole injection into the hole transport layer 13 in the region of the window 12 of the insulating film. On the other hand, electrons are similarly injected from the electron injection electrode 15 into the light emitting layer 14. The electrons move in the light emitting layer 14 toward the hole transport layer 13, and when the electrons reach the boundary surface with the hole transport layer 13, the movement is blocked. This is because there is a difference in electron affinity.

【0041】しかし、正孔は、正孔輸送層13の中を移
動して発光層14へと向かって移動していき、発光層1
4との境界面に達すると、発光層14内に容易に注入さ
れる。その時、そこで待機していた電子と再結合する。
この再結合エネルギーがAlq3 の励起を引き起こす。
そして、基底状態に戻るときに蛍光を発する。540n
mが発光波長である。
However, the holes move in the hole transport layer 13 toward the light emitting layer 14, and the light emitting layer 1
When it reaches the boundary surface with 4, it is easily injected into the light emitting layer 14. At that time, it recombines with the electron that was waiting there.
This recombination energy causes the excitation of Alq 3 .
Then, it emits fluorescence when returning to the ground state. 540n
m is the emission wavelength.

【0042】この時に発生した光は、信号電極9と電子
注入電極15で囲まれた空間内を反射を繰り返しながら
端面に到達し、外部へ出る。この内、前面側端面に出た
光は、集束性ロッドレンズアレイ6を経て、感光ドラム
7へと集光する。そして印字に必要な時間照射させる。
ここから先は、通常の電子写真方式プリンタと同様であ
る。これらの発光動作を通じて、電子注入電極15へと
流れた電流は、共通電極16へと流れボンディングワイ
ヤ5を介してCOB基板1へと返される。
The light generated at this time reaches the end face while repeating reflection in the space surrounded by the signal electrode 9 and the electron injecting electrode 15, and goes out. Of these, the light emitted to the front end surface passes through the converging rod lens array 6 and is condensed on the photosensitive drum 7. Then, irradiation is performed for the time required for printing.
From this point onward, it is the same as a normal electrophotographic printer. Through these light emitting operations, the current flowing to the electron injection electrode 15 flows to the common electrode 16 and is returned to the COB substrate 1 via the bonding wire 5.

【0043】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。図5は本発明の第2実施例を示す有機ELアレイ基
板の平面図であり、発光効率増大による、低消費電力化
が狙いである。なお、第1実施例と同じ箇所には同じ番
号を付してその説明は省略する。図5に示すように、端
面反射膜17を絶縁膜11の後面側端面部付近におい
て、電子注入電極15の後に電子注入電極15とは電気
的に分離させて、各信号電極9に対して1個ずつ形成す
る。このような構成にすることによって、後面側への光
も前面側へと反射させて発光光を有効に利用できる。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 5 is a plan view of an organic EL array substrate showing a second embodiment of the present invention, which aims to reduce power consumption by increasing luminous efficiency. The same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. As shown in FIG. 5, the end face reflection film 17 is electrically separated from the electron injection electrode 15 after the electron injection electrode 15 in the vicinity of the end face portion on the rear surface side of the insulating film 11. Form individually. With such a configuration, the light to the rear surface side is also reflected to the front surface side and the emitted light can be effectively used.

【0044】図6は図5のC−C断面図を示している。
この図に示すように、発光層14がまだ電子注入電極1
5で覆われていないため、端面反射膜17を電子注入電
極15の後に形成しており、前に形成することはできな
い。電子注入電極15と電気的に分離しなければならな
い理由は、後面側へ向かった光が後面側端面から外部へ
漏れないようにするためには、不透明な信号電極9と接
続させて端部には透明な部分がないようにするのが有効
だからである。但し、これについては、正孔注入電極1
0が透明でなければ、端面反射膜17は正孔注入電極1
0と接触してさえいれば十分であることは言うまでもな
い。
FIG. 6 shows a sectional view taken along the line CC of FIG.
As shown in this figure, the light-emitting layer 14 is still the electron injection electrode 1.
Since it is not covered with 5, the end face reflection film 17 is formed after the electron injection electrode 15 and cannot be formed before it. The reason why the electron injection electrode 15 must be electrically separated is that in order to prevent the light traveling toward the rear surface side from leaking to the outside from the rear surface side end surface, it is connected to the opaque signal electrode 9 and the end portion is connected. Is effective because there are no transparent parts. However, regarding this, the hole injection electrode 1
If 0 is not transparent, the end surface reflection film 17 is the hole injection electrode 1
It goes without saying that it is enough to contact 0.

【0045】次に、本発明の第2実施例を示す有機EL
アレイヘッドの動作について説明する。このような構成
にすることによって、後面側への光も無駄なく前面側へ
と反射させて有効に利用できる。発光層14で発生した
光は透明な正孔輸送層13や絶縁膜11へも容易に入り
込むが、透明でない電極である信号電極9と電子注入電
極15では反射される。発光層14から前面側に向かっ
て発せられた光は、かなりの割合で前面側の端面に出
る。
Next, an organic EL showing a second embodiment of the present invention
The operation of the array head will be described. With such a configuration, the light to the rear surface side can be effectively reflected by being reflected to the front surface side without waste. The light generated in the light emitting layer 14 easily enters the transparent hole transport layer 13 and the insulating film 11, but is reflected by the signal electrode 9 and the electron injection electrode 15 which are non-transparent electrodes. The light emitted from the light emitting layer 14 toward the front surface side exits to the front end surface at a considerable ratio.

【0046】しかし、後面側に向かって発せられた光は
どこかで反射でもしない限り、後面側の端面に出てしま
い、印字に寄与しない光となってしまう。ところが、こ
の端面反射膜17によって、かなりの光が前面側へと戻
ってくる。絶縁膜11上に出てしまう電子注入電極15
と端面反射膜17の間の隙間へも、もちろん光は漏れ出
す。しかし、全反射する光は漏れ出さないので前面側へ
と向かわせることができる。全体的に見れば、この部分
からの光漏れは無視できるほどに小さい。
However, unless the light emitted toward the rear surface side is reflected somewhere, it is emitted to the end surface on the rear surface side and becomes light that does not contribute to printing. However, a considerable amount of light returns to the front surface side by the end face reflection film 17. Electron injection electrode 15 protruding on the insulating film 11
Of course, the light leaks to the gap between the end face reflection film 17 and the end face reflection film 17. However, since the light totally reflected does not leak out, it can be directed to the front side. Overall, light leakage from this part is negligible.

【0047】次に、本発明の第3実施例について説明す
る。図7は本発明の第3実施例を示す有機ELアレイ基
板の平面図であり、更なる発光効率増大による、低消費
電力化が狙いである。なお、第1実施例と同じ箇所には
同じ番号を付してその説明は省略する。図7に示すよう
に、電子注入電極15は、前面側で正孔輸送層13と発
光層14を露出するように形成されている。端面出射膜
18は、この図に示すように、正孔輸送層13と発光層
14の電子注入電極15からの露出部分の全てを含むよ
うにして、電子注入電極15の形成後に形成される。含
まねばならない理由は既に述べている。
Next, a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 7 is a plan view of an organic EL array substrate showing a third embodiment of the present invention, which aims at further reduction of power consumption by further increasing luminous efficiency. The same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. As shown in FIG. 7, the electron injection electrode 15 is formed so as to expose the hole transport layer 13 and the light emitting layer 14 on the front surface side. As shown in this figure, the end face emission film 18 is formed after the formation of the electron injection electrode 15 so as to include all the exposed portions of the hole transport layer 13 and the light emitting layer 14 from the electron injection electrode 15. The reason it must be included has already been mentioned.

【0048】また、この端面出射膜18は発光波長に対
して透明な膜でなければならない。この膜もSiNx
膜、SiOx膜などの絶縁膜が好適である。ここで、端
面出射膜18は透明であれば導体であってもよい、と言
うわけではない。なぜなら、導体の場合は、各々のドッ
ト毎に電気的に分離しなければならず、発光層14を完
全に覆えなくなるためである。
Further, the edge emitting film 18 must be a film transparent to the emission wavelength. This film is also SiNx
An insulating film such as a film or a SiOx film is suitable. Here, the end face emitting film 18 may not be a conductor as long as it is transparent. This is because in the case of a conductor, it is necessary to electrically separate each dot, and the light emitting layer 14 cannot be completely covered.

【0049】図8は図7のD−D断面図を示している。
図8に示すように、端面出射膜18を形成することによ
って、前述した前面側端面における電子注入電極15の
庇に起因する端面からの発光量の低減を妨げる構造にな
っている。次に、本発明の第3実施例を示す有機ELア
レイヘッドの動作について説明する。
FIG. 8 shows a sectional view taken along the line DD of FIG.
As shown in FIG. 8, by forming the end face emission film 18, a structure that prevents reduction in the amount of light emitted from the end face due to the eaves of the electron injection electrode 15 on the front face side end face is formed. Next, the operation of the organic EL array head showing the third embodiment of the present invention will be described.

【0050】このような構成にすることによって、前面
側への光の内、電子注入電極15が正孔注入層13と発
光層14の端部を含むようになっているために、前面側
端面から取り出せなかった光を、更に有効に取り出すこ
とが可能になる。次に、本発明の第4実施例について説
明する。図9は本発明の第4実施例を示す有機ELアレ
イ基板の平面図であり、更なる発光効率増大による、低
消費電力化が狙いである。なお、第1実施例と同じ箇所
には同じ番号を付してその説明は省略する。
With this structure, since the electron injection electrode 15 includes the end portions of the hole injection layer 13 and the light emitting layer 14 in the light to the front surface side, the end surface on the front surface side is formed. It becomes possible to more effectively extract the light that could not be extracted from the inside. Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 9 is a plan view of an organic EL array substrate showing a fourth embodiment of the present invention, which aims at further reduction of power consumption by further increasing luminous efficiency. The same parts as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0051】図9に示すように、絶縁膜の窓12の幅を
正孔注入電極10の幅よりも広く形成する。図10は図
9のE−E断面図である。これらの図からわかるよう
に、絶縁膜の窓12を正孔注入電極10より幅広く形成
することによって、信号電極9の側面端部上において、
正孔輸送層13と発光層14内の光は光学的に電子注入
電極15の庇のような屈曲部により遮られる格好とな
る。但し、この構成を取る場合、信号電極9よりも正孔
注入電極10の方が幅広く形成されなければならないこ
とは、今までの説明からもかわる。すなわち、信号電極
9は、正孔輸送層13と直接接続してはならない。なぜ
ならば、正孔注入電極10に正孔注入が容易な性質を持
たせているためである。
As shown in FIG. 9, the width of the window 12 of the insulating film is formed wider than the width of the hole injection electrode 10. FIG. 10 is a sectional view taken along line EE of FIG. As can be seen from these figures, by forming the window 12 of the insulating film wider than the hole injection electrode 10, on the side surface end portion of the signal electrode 9,
Light in the hole transport layer 13 and the light emitting layer 14 is optically blocked by a bent portion such as an eaves of the electron injection electrode 15. However, in the case of adopting this structure, the hole injection electrode 10 has to be formed wider than the signal electrode 9 also from the description so far. That is, the signal electrode 9 should not be directly connected to the hole transport layer 13. This is because the hole injection electrode 10 has a property of easily injecting holes.

【0052】一方、第1実施例で述べたような、絶縁膜
の窓12の面積による発光面積の規定が、絶縁膜の窓1
2内における正孔注入電極10の面積による発光面積の
規定に変わるだけであって、発光面積を正確に規定でき
ることに変わりはない。次に、本発明の第4実施例を示
す有機ELアレイヘッドの動作について説明する。
On the other hand, the definition of the light emitting area by the area of the window 12 of the insulating film as described in the first embodiment is defined by the window 1 of the insulating film.
2 is different from the definition of the light emitting area by the area of the hole injection electrode 10 in 2, and the light emitting area can be accurately defined. Next, the operation of the organic EL array head showing the fourth embodiment of the present invention will be described.

【0053】このような構成にすることによって、側面
側へ向かった発光光の内、この庇のような格好となって
いる電子注入電極15の屈曲部の内側からの反射光の一
部分を、前面側への光として取り出すことができる。ま
た、第2実施例で示したような端面反射膜17や、第3
実施例で示したような端面出射膜18を設けておけば、
前面側端面からの発光量を更に増やすことができる。
With such a structure, a part of the reflected light from the inside of the bent portion of the electron injecting electrode 15, which is shaped like this eave, out of the emitted light directed to the side surface is converted into the front surface. Can be taken out as light to the side. In addition, the end face reflection film 17 as shown in the second embodiment, and the third
If the edge emitting film 18 as shown in the embodiment is provided,
The amount of light emitted from the front end face can be further increased.

【0054】本発明の第1実施例では、電子写真方式プ
リンタの光源への適用について説明した。これにより、
低コスト、高密度の電子写真方式のプリンタを実現する
ことができる。また、端面発光型にし、単位面積当たり
の発光量を自由に大きくすることができるようになった
ので、高速化も図ることができる。また、第2実施例及
び第3実施例では、後面側、前面側にそれぞれ端面反射
膜、端面出射膜を設けることにより、発光効率増大によ
る低消費電力化を図ることができることを示した。
In the first embodiment of the present invention, the application to the light source of the electrophotographic printer has been described. This allows
A low-cost, high-density electrophotographic printer can be realized. Further, since the end face light emitting type is used and the amount of light emission per unit area can be freely increased, the speed can be increased. Further, in the second and third embodiments, it has been shown that by providing the end face reflection film and the end face emission film on the rear surface side and the front surface side, respectively, it is possible to reduce the power consumption by increasing the luminous efficiency.

【0055】更に、第4実施例では、側面への光も反射
で戻して利用することで、更なる発光効率増大により、
低消費電力化を更に改善できることを示した。なお、本
発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の
趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発
明の範囲から排除するものではない。
Further, in the fourth embodiment, the light to the side surface is also reflected and returned to be used, so that the luminous efficiency is further increased.
It was shown that low power consumption can be further improved. It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made based on the gist of the present invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、次のような効果を奏することができる。 (1)請求項1記載の発明によれば、有機ELを光源に
用いるようにしたので、一枚の有機ELアレイ基板を一
括で作製可能となるので、従来のように、LEDにおい
てLEDチップ多数個を一直線上に配列させていたよう
な実装上の困難さが避けられ、低コスト化を図ることが
できる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (1) According to the invention as set forth in claim 1, since the organic EL is used as the light source, one organic EL array substrate can be manufactured at one time. It is possible to avoid the difficulty in mounting such that the individual pieces are arranged in a straight line, and it is possible to reduce the cost.

【0057】また、高密度化は、LEDではチップ間の
配列誤差が問題で上限があったが、有機ELではこの問
題は存在しないので、高密度化が容易である。更に、端
面発光型にしたことによって、単位面積当たりの発光量
を増やすことができることから、高速化を図ることがで
きる。 (2)請求項2記載の発明によれば、端面反射膜を後面
側に形成するようにしたので、発光光の有効利用が可能
である。
Further, with respect to the densification, in the LED, there is an upper limit due to the problem of arrangement error between chips, but in the organic EL, since this problem does not exist, the densification is easy. Furthermore, since the edge-emitting type can increase the amount of light emission per unit area, the speed can be increased. (2) According to the invention described in claim 2, since the end face reflection film is formed on the rear surface side, the emitted light can be effectively used.

【0058】したがって、同一の投入電力に対して、よ
り大きな単位面積当たりの発光量が得られ、発光効率を
向上させることができる。これによって、高速化を犠牲
にすることなく、低消費電力化を図ることができる。 (3)請求項3記載の発明によれば、端面出射膜を前面
側に形成するようにしたので、発光の更なる有効利用が
可能となり、高速化を犠牲にすることなく、低消費電力
化が可能になる。
Therefore, a larger amount of light emission per unit area can be obtained for the same input power, and the light emission efficiency can be improved. As a result, low power consumption can be achieved without sacrificing speeding up. (3) According to the invention described in claim 3, since the end face emission film is formed on the front surface side, it is possible to further effectively use the light emission, and to reduce the power consumption without sacrificing the speedup. Will be possible.

【0059】(4)請求項4記載の発明によれば、窓を
正孔注入電極より幅広く形成するようにしたので、端面
側への光も有効に利用できる。よって、高速化を損なう
ことなく、更なる低消費電力化を図ることができる。
(4) According to the invention described in claim 4, since the window is formed wider than the hole injecting electrode, the light to the end face side can be effectively used. Therefore, it is possible to further reduce the power consumption without impairing the speedup.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示す有機ELアレイプリ
ントヘッドの構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of an organic EL array printhead showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1実施例を示す有機ELアレイ基板
の平面図である。
FIG. 2 is a plan view of an organic EL array substrate showing a first embodiment of the present invention.

【図3】図2のA−A断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. 2;

【図4】図2のB−B断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 2;

【図5】本発明の第2実施例を示す有機ELアレイ基板
の平面図である。
FIG. 5 is a plan view of an organic EL array substrate showing a second embodiment of the present invention.

【図6】図5のC−C断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along the line CC of FIG. 5;

【図7】本発明の第3実施例を示す有機ELアレイ基板
の平面図である。
FIG. 7 is a plan view of an organic EL array substrate showing a third embodiment of the present invention.

【図8】図7のD−D断面図である。8 is a sectional view taken along the line DD of FIG. 7;

【図9】本発明の第4実施例を示す有機ELアレイ基板
の平面図である。
FIG. 9 is a plan view of an organic EL array substrate showing a fourth embodiment of the present invention.

【図10】図9のE−E断面図である。FIG. 10 is a sectional view taken along line EE of FIG. 9;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 チップオンボード基板(COB基板) 2 有機ELアレイ 3 有機ELアレイ基板 4 ドライバーIC 5 ボンディングワイヤ 6 集束性ロッドレンズアレイ 7 感光ドラム 8 ガラス基板 9 信号電極 10 正孔注入電極 11 絶縁膜 12 絶縁膜の窓 13 正孔輸送層 14 発光層 15 電子注入電極 16 共通電極 17 端面反射膜 18 端面出射膜 1 Chip On Board Substrate (COB Substrate) 2 Organic EL Array 3 Organic EL Array Substrate 4 Driver IC 5 Bonding Wire 6 Focusing Rod Lens Array 7 Photosensitive Drum 8 Glass Substrate 9 Signal Electrode 10 Hole Injection Electrode 11 Insulating Film 12 Insulating Film Window 13 Hole transport layer 14 Light emitting layer 15 Electron injection electrode 16 Common electrode 17 Edge reflection film 18 Edge emission film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H04N 1/036 H05B 33/00 (72)発明者 ▲高▼橋 渉 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Internal reference number FI Technical indication location H04N 1/036 H05B 33/00 (72) Inventor ▲ Takahashi Wataru Toranomon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 7-12 Oki Electric Industry Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガラス基板上に有機ELアレイを有する
有機ELアレイ基板と、前記有機ELアレイを駆動する
ドライバーICを搭載した基板とからなる有機ELアレ
イプリントヘッドにおいて、 前記ガラス基板上に発光ドット数と略同数の信号電極
と、該信号電極上に該信号電極と部分的に重なって形成
された該信号電極と略同数の正孔注入電極と、該正孔注
入電極上に発光部となる窓を有する絶縁膜と、該絶縁膜
上に前記窓を含んで形成された正孔輸送層と、該正孔輸
送層上に前記窓を含んで形成された発光層と、該発光層
上に該正孔輸送層及び発光層を含んで形成された電子注
入電極と、該電子注入電極と電気的に接続されて形成さ
れた共通電極とを有し、 前記信号電極は、前記正孔注入電極と各々電気的に接続
されており、該正孔注入電極は前記窓において、前記正
孔輸送層と電気的に接続されており、前記窓は略一線上
に略同一面積に、かつ略等間隔に前記信号電極と略同数
個形成されていることを特徴とする有機ELアレイプリ
ントヘッド。
1. An organic EL array printhead comprising an organic EL array substrate having an organic EL array on a glass substrate and a substrate on which a driver IC for driving the organic EL array is mounted, wherein light-emitting dots are provided on the glass substrate. The same number as the number of signal electrodes, substantially the same number as the signal electrodes as the signal electrodes formed on the signal electrodes so as to partially overlap with the signal electrodes, and the light emitting portion on the hole injection electrodes. An insulating film having a window, a hole transport layer formed on the insulating film to include the window, a light emitting layer formed on the hole transport layer to include the window, and on the light emitting layer. An electron injection electrode formed to include the hole transport layer and a light emitting layer; and a common electrode formed to be electrically connected to the electron injection electrode, wherein the signal electrode is the hole injection electrode. And the hole injection The electrode is electrically connected to the hole transport layer in the window, and the windows are formed in substantially the same area on substantially the same line and at substantially the same number as the signal electrodes. Characteristic organic EL array print head.
【請求項2】 請求項1記載の有機ELアレイプリント
ヘッドにおいて、前記絶縁膜の後面側端部において、前
記信号電極の各々から前記電子注入電極近くにかけて形
成された、電気的には該信号電極の各々と接続され、か
つ前記電子注入電極とは分離されている該信号電極と略
同数個の反射電極を設けたことを特徴とする有機ELア
レイプリントヘッド。
2. The organic EL array printhead according to claim 1, wherein at the rear end portion of the insulating film, the signal electrodes are formed electrically from each of the signal electrodes to near the electron injection electrode. An organic EL array printhead, wherein substantially the same number of reflective electrodes as the signal electrodes which are connected to each of the above and are separated from the electron injecting electrodes are provided.
【請求項3】 請求項1記載の有機ELアレイプリント
ヘッドにおいて、前記絶縁膜の前面側端部近くの該絶縁
膜上において、前記電子注入電極から露出した前記正孔
輸送層及び発光層を含んで形成された、前記有機ELの
発光波長に対して略透明な絶縁膜を設けたことを特徴と
する有機ELアレイプリントヘッド。
3. The organic EL array printhead according to claim 1, further comprising the hole transport layer and the light emitting layer exposed from the electron injecting electrode, on the insulating film near the front end of the insulating film. An organic EL array printhead, which is provided with an insulating film which is substantially transparent to the emission wavelength of the organic EL.
【請求項4】 請求項1記載の有機ELアレイプリント
ヘッドにおいて、前記窓内において、該窓が前記正孔注
入電極よりも幅広く形成され、かつ該正孔注入電極が前
記信号電極よりも幅広く形成されたことを特徴とする有
機ELアレイプリントヘッド。
4. The organic EL array printhead according to claim 1, wherein in the window, the window is formed wider than the hole injection electrode, and the hole injection electrode is formed wider than the signal electrode. An organic EL array print head characterized in that
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