JPH09222318A - Position detection mechanism of linear motor running shaft - Google Patents

Position detection mechanism of linear motor running shaft

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JPH09222318A
JPH09222318A JP8053706A JP5370696A JPH09222318A JP H09222318 A JPH09222318 A JP H09222318A JP 8053706 A JP8053706 A JP 8053706A JP 5370696 A JP5370696 A JP 5370696A JP H09222318 A JPH09222318 A JP H09222318A
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JP
Japan
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wire
fixed
rotary encoder
linear motor
traveling
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Application number
JP8053706A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Nihei
亮 二瓶
Satoshi Kinoshita
聡 木下
Toshiro Watanabe
敏朗 渡邊
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Original Assignee
Fanuc Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To control and adjust a position detection mechanism easily even if the running stroke of a running shaft becomes long in the position detection mechanism of a linear motor running shaft. SOLUTION: A linear motor running shaft for moving a traveling part (running table 72) along a running shaft (running rail 71) by a linear motor drive mechanism has at least a wire 2 that is extended with a specific tension between the traveling part (running table 72) and a fixed side (stopper 73) of the running shaft (running rail 71) and a rotary encoder 3 for detecting the amount of relative displacement to the wire 3, thus constituting a position detection mechanism 1. The amount of travel along the running shaft (running rail 71) of the traveling part (running table 72) is detected by a rotary encoder 3, thus detecting a position.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータによ
って駆動される走行軸の位置検出を行う位置検出機構に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position detecting mechanism for detecting the position of a traveling shaft driven by a linear motor.

【0002】[0002]

【従来の技術】走行軸はロボットや工作機械等の機械装
置の動作範囲を拡大する移動手段として用いられおり、
この駆動源としてリニアモータが知られている。一般
に、リニーモータは、固定磁界発生手段と移動磁界発生
手段とを備え、相互の磁力の吸引と反発によって駆動を
行っている。このリニーモータは位置検出手段を機構上
備えていないため、走行軸の位置制御を行うためにはな
んらかの位置検出手段を設ける必要がある。
2. Description of the Related Art Traveling axes are used as moving means for expanding the operating range of mechanical devices such as robots and machine tools.
A linear motor is known as this drive source. Generally, a linny motor is provided with a fixed magnetic field generating means and a moving magnetic field generating means, and is driven by mutual attraction and repulsion of magnetic force. Since this linear motor does not have a position detecting means on the mechanism, it is necessary to provide some position detecting means for controlling the position of the traveling shaft.

【0003】リニアモータに設ける位置検出手段とし
て、従来リニアスケールやラック・ピニオン機構とロー
タリーエンコーダとを組み合わせた位置検出装置が知ら
れている。図15は従来のリニアモータに設ける位置検
出手段を説明するための概略図である。図15におい
て、リニアモータは、例えば複数個のマグネットを配置
して形成される固定磁界部74と該固定磁界部74に沿
って移動可能に設置された可動磁界部75とを備え、固
定磁界部74に沿って配置された走行レール71上を可
動磁界部75を設置した走行テーブル72が走行ブロッ
ク76で支持されながら移動するよう構成されている。
As a position detecting means provided in a linear motor, a position detecting device in which a linear scale or a rack and pinion mechanism and a rotary encoder are combined has been conventionally known. FIG. 15 is a schematic diagram for explaining a position detecting means provided in a conventional linear motor. In FIG. 15, the linear motor includes, for example, a fixed magnetic field portion 74 formed by arranging a plurality of magnets, and a movable magnetic field portion 75 movably installed along the fixed magnetic field portion 74. A traveling table 72 provided with a movable magnetic field portion 75 is configured to move on a traveling rail 71 arranged along 74 while being supported by a traveling block 76.

【0004】そして、このリニアモータの走行テーブル
72の位置を検出する手段として、リニアスケール機構
8あるいはラック・ピニオン機構9とロータリーエンコ
ーダ3との組み合わせが用いれる。なお、図15では説
明の便宜上から両位置検出手段を一つのリニアモータに
設けた図を示している。
A combination of the linear scale mechanism 8 or the rack and pinion mechanism 9 and the rotary encoder 3 is used as means for detecting the position of the traveling table 72 of the linear motor. Note that FIG. 15 shows a diagram in which both position detecting means are provided in one linear motor for convenience of explanation.

【0005】リニアスケール機構8においては、走行レ
ール71に沿って金属スケール等のスケール材81を配
置し、該スケール材81を走行テーブル72側に設けた
検出器82で検出して位置検出を行っている。また、ラ
ック・ピニオン機構9とロータリーエンコーダ3とを組
み合わせた機構では、走行レール71に沿ってラック9
1を配置し、該ラック91と噛み合うピニオン92を走
行テーブル72側に設けてラック・ピニオン機構9を構
成し、該ピニオン92の回転量をロータリーエンコーダ
3で検出して位置検出を行っている。
In the linear scale mechanism 8, a scale material 81 such as a metal scale is arranged along the traveling rail 71, and the detector 82 provided on the traveling table 72 side detects the scale material 81 to detect the position. ing. Further, in the mechanism in which the rack and pinion mechanism 9 and the rotary encoder 3 are combined, the rack 9 is moved along the traveling rail 71.
The rack and pinion mechanism 9 is constructed by disposing the pinion 1 on the traveling table 72 side and engaging with the rack 91, and the rotary encoder 3 detects the amount of rotation of the pinion 92 to detect the position.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来のリニアモータの
位置検出機構では、走行軸の走行ストロークが長くなる
とそれに合わせて位置検出のための機構本体と長くなる
ため、位置検出機構の管理,調整が必要になるという問
題点がある。
In the conventional position detecting mechanism for a linear motor, when the traveling stroke of the traveling shaft becomes longer, the mechanism main body for detecting the position becomes longer accordingly, so that the position detecting mechanism can be managed and adjusted. There is a problem that it becomes necessary.

【0007】例えば、リニアスケールの場合において、
金属スケール等のスケール部材は一体物で形成されてい
るため、単位長の長さを持つ単位ユニットを複数個結合
して所定長のストロークを形成しているが、走行軸のよ
うにユニット単位に分割して設置位置に搬送し結合する
ことができない。また、仮にスケール部材を分割した場
合には、分割したユニットの結合部分においてスケール
部材相互の継ぎ目誤差を所定誤差内に収めるよう管理す
る必要があり、困難な作業となる。また、スケール部材
と検出器の測定ヘッドとの間のギャップが所定距離とな
るようギャップ管理を行う必要があり、面倒な調整を要
することになる。
For example, in the case of a linear scale,
Since the scale member such as a metal scale is integrally formed, a plurality of unit units each having a unit length are combined to form a stroke of a predetermined length. It cannot be divided and transported to the installation position and combined. Further, if the scale member is divided, it is necessary to manage the joint error between the scale members within the predetermined error in the connecting portion of the divided units, which is a difficult task. In addition, it is necessary to manage the gap so that the gap between the scale member and the measuring head of the detector is a predetermined distance, which requires troublesome adjustment.

【0008】また、スケール部材が油やゴミ等で汚染さ
れた場合には、位置情報の精度が低下するおそれがあ
る。また、ラック・ピニオン機構とパルスエンコーダと
を組み合わせた位置検出機構では、単位ユニットを結合
して所定のストロークの走行軸を構成する場合には、複
数個のラックを継ぎ足して使用するためラックの設置時
に継ぎ目のピッチを管理する必要がある。
Further, when the scale member is contaminated with oil, dust, etc., the accuracy of the position information may deteriorate. In addition, in a position detection mechanism that combines a rack and pinion mechanism and a pulse encoder, when unit units are combined to form a traveling shaft with a predetermined stroke, multiple racks are added to the rack for installation. Sometimes it is necessary to control the pitch of the seams.

【0009】また、ラック・ピニオン機構はその機構上
バックラッシュが存在するため、該バックラッシュによ
る検出誤差に対する対処が必要となり、また、ラックに
ゴミ等が付着した場合には位置検出に誤りが生じるおそ
れがある。さらに、ラックとピニオン間の潤滑を定期的
に管理する必要がある。また、リニアスケールおよびラ
ック・ピニオン機構とパルスエンコーダとの組み合わせ
のいずれの位置検出機構においても、ストロークの長大
化に伴って配設するスケール部材やラックが長くなって
価格が高価となるという問題点がある。
Further, since the rack and pinion mechanism has a backlash due to its mechanism, it is necessary to deal with a detection error due to the backlash, and if dust or the like adheres to the rack, an error in position detection occurs. There is a risk. In addition, the lubrication between the rack and pinion needs to be managed on a regular basis. In addition, in any position detection mechanism that is a combination of a linear scale, a rack and pinion mechanism, and a pulse encoder, the scale member and the rack to be arranged become long and the price becomes expensive due to the lengthening of the stroke. There is.

【0010】そこで、本発明は前記した従来の問題点を
解決して、走行軸の走行ストロークが長くなった場合で
も、位置検出機構の管理,調整が容易とすることができ
るリニアモータ走行軸の位置検出機構を提供することを
目的とする。
In view of the above, the present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and enables the management and adjustment of the position detection mechanism to be facilitated even when the traveling stroke of the traveling shaft becomes long. An object is to provide a position detection mechanism.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、リニアモータ
駆動機構によって移動部を走行軸に沿って移動させるリ
ニアモータ走行軸において、少なくとも移動部と走行軸
の固定側との間に所定の張力で張られたワイヤと、ワイ
ヤとの相対的変位量を検出するロータリーエンコーダと
を備えることによって位置検出機構を構成し、ロータリ
ーエンコーダによって移動部の走行軸に沿った移動量を
検出し位置検出を行うことができる。
According to the present invention, in a linear motor traveling shaft for moving a traveling portion along a traveling shaft by a linear motor drive mechanism, a predetermined tension is at least provided between the traveling portion and the fixed side of the traveling shaft. A position detection mechanism is configured by including a wire stretched with a wire and a rotary encoder that detects the relative displacement amount of the wire, and the rotary encoder detects the amount of movement along the traveling axis of the moving portion to detect the position. It can be carried out.

【0012】リニアモータ駆動機構は、走行軸に沿って
配置された固定側と走行軸に沿って移動する移動部とを
備え、固定磁界と移動磁界との間に発生する磁力の吸引
あるいは反発によって移動部を駆動する駆動機構であ
り、リニアモータ走行軸はこのリニアモータ駆動機構に
よる移動部の移動によって走行テーブル等を走行させ
る。
The linear motor drive mechanism is provided with a fixed side arranged along the traveling axis and a moving section moving along the traveling axis, and attracts or repels the magnetic force generated between the fixed magnetic field and the moving magnetic field. The linear motor drive shaft is a drive mechanism that drives the moving unit, and the linear motor drive mechanism moves the moving unit to move the traveling table or the like.

【0013】位置検出機構は、移動部と走行軸の固定側
との間に所定の張力で張られたワイヤと、ワイヤとの相
対的変位量を検出するロータリーエンコーダとを備え、
移動部が移動すると、ワイヤ自体が移動したり、固定し
たワイヤに対して移動部が移動する。この移動量は移動
部の移動量に対応している。ロータリーエンコーダはワ
イヤとロータリーエンコーダとの相対的移動量を検出す
る検出手段であり、これによって、ワイヤ自体の移動量
やワイヤに対する移動部の移動量を検出する。したがっ
て、ロータリーエンコーダの検出量によって、移動部の
移動量を求めることができる。
The position detecting mechanism includes a wire stretched with a predetermined tension between the moving part and the fixed side of the traveling shaft, and a rotary encoder for detecting a relative displacement amount of the wire.
When the moving unit moves, the wire itself moves or the moving unit moves with respect to the fixed wire. This movement amount corresponds to the movement amount of the moving unit. The rotary encoder is a detection unit that detects the relative movement amount of the wire and the rotary encoder, and detects the movement amount of the wire itself or the movement amount of the moving portion with respect to the wire. Therefore, the amount of movement of the moving unit can be obtained from the amount of detection of the rotary encoder.

【0014】ワイヤは少なくとも移動部と走行軸の固定
側との間に張られるものであり、移動部を介して走行軸
の両側の固定端間に張る構成とすることもできる。ま
た、ワイヤに張力を与える機構はワイヤ巻取り機構とす
ることができ、巻取りバネによって一方向のトルクが付
与されたワイヤドラムにより構成することができる。
The wire is stretched at least between the moving portion and the fixed side of the traveling shaft, and may be stretched between the fixed ends on both sides of the traveling shaft via the moving portion. Further, the mechanism for applying tension to the wire can be a wire winding mechanism, and can be configured by a wire drum to which torque in one direction is applied by a winding spring.

【0015】ワイヤの取り付け位置は、例えば、ワイヤ
の一端を移動部に固定し、ワイヤの他端を走行軸の固定
側に固定したロータリーエンコーダに取り付ける構成と
したり、ワイヤの一端を走行軸の固定側に固定し、ワイ
ヤの他端を移動部に固定したロータリーエンコーダに取
り付ける構成としたり、ワイヤの一端を走行軸の固定側
に固定し、ワイヤの他端を走行軸の固定側に固定したロ
ータリーエンコーダに取り付け、ワイヤの中間部が移動
部を通過するよう取り付ける構成としたり、ワイヤの一
端を移動部に固定し、ワイヤの他端を走行軸の一方の固
定側に固定したロータリーエンコーダを介して他方の固
定側に固定する構成としたり、ワイヤの一端を移動部の
一方に固定し、ワイヤの他端を走行軸の一方の固定側に
固定したロータリーエンコーダを介して移動部の他方に
固定する構成としたり、ワイヤの一端を移動部の一方に
固定し、ワイヤの他端を走行軸の一方の固定側に固定し
た第1のロータリーエンコーダと走行軸の他方の固定側
に固定した第2のロータリーエンコーダを介して移動部
の他方に固定する構成としたり、ワイヤの一端を走行軸
の一方の固定側に固定し、移動部に設けたロータリーエ
ンコーダを介して走行軸の他方の固定側に固定する構成
とすることができる。
The mounting position of the wire is, for example, such that one end of the wire is fixed to the moving part and the other end of the wire is mounted to a rotary encoder fixed to the fixed side of the traveling shaft, or one end of the wire is fixed to the traveling shaft. Fixed to the rotary encoder with the other end of the wire fixed to the moving part, or with one end of the wire fixed to the fixed side of the traveling shaft and the other end of the wire fixed to the fixed side of the traveling shaft. It is attached to the encoder so that the middle part of the wire passes through the moving part, or one end of the wire is fixed to the moving part and the other end of the wire is fixed to one fixed side of the traveling shaft via a rotary encoder. A rotary structure in which the wire is fixed to the other fixed side, or one end of the wire is fixed to one of the moving parts and the other end of the wire is fixed to one fixed side of the traveling shaft. The first rotary encoder and the traveling shaft, which are configured to be fixed to the other of the moving units via an encoder, or one end of the wire is fixed to one of the moving units and the other end of the wire is fixed to one fixed side of the traveling shaft. The second rotary encoder fixed to the other fixed side of the moving part is fixed to the other side of the moving part, or one end of the wire is fixed to one fixed side of the traveling shaft, and the rotary encoder provided in the moving part is fixed. It can be configured to be fixed to the other fixed side of the traveling shaft via the.

【0016】また、ワイヤの一端を走行軸の一方の固定
側に固定し、移動部に設けたロータリーエンコーダを介
して走行軸の他方の固定側に固定する構成では、ワイヤ
をロータリーエンコーダに少なくとも一回巻回すること
によって、ワイヤの移動をロータリーエンコーダに伝達
したり、また、ワイヤをロータリーエンコーダに圧接す
ることによって、ワイヤに張力を付与するとともにワイ
ヤの移動をロータリーエンコーダに伝達することができ
る。
Further, in the structure in which one end of the wire is fixed to one fixed side of the traveling shaft and is fixed to the other fixed side of the traveling shaft via the rotary encoder provided in the moving portion, at least one wire is attached to the rotary encoder. By winding the wire, movement of the wire can be transmitted to the rotary encoder, and by pressing the wire to the rotary encoder, tension can be applied to the wire and movement of the wire can be transmitted to the rotary encoder.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。図1は本発明のリニアモ
ータ走行軸の位置検出機構の第1の実施の形態を説明す
る概略斜視図であり、図2は第1の実施の形態の機構配
置を説明するための平面図である。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating a first embodiment of a position detecting mechanism for a linear motor traveling shaft according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view for explaining a mechanism arrangement of the first embodiment. is there.

【0018】図1,2において、リニアモータ走行軸
は、端部がストッパ73で固定された走行レール71と
該走行レール71に沿って走行ブロック76により移動
可能に支持された走行テーブル72とを備え、走行レー
ル71に沿って配置された固定磁界部74と走行テーブ
ル72に設けられた移動磁界部75とによってリニアモ
ータ7が構成されている。固定磁界部74は例えば複数
個のマグネットをつなぎあわせて形成することができ、
また、移動磁界部75はコイルにより形成することがで
きる。そして、固定磁界部74と移動磁界部75が形成
する磁界によって形成される吸引力あるいは反発力を利
用して走行テーブル72の移動を行う。なお、このリニ
アモータの機構およびその作用については周知であるた
め、ここでは詳細な説明を省略する。
In FIGS. 1 and 2, the linear motor traveling shaft includes a traveling rail 71 having an end fixed by a stopper 73 and a traveling table 72 movably supported by a traveling block 76 along the traveling rail 71. The linear motor 7 includes the fixed magnetic field portion 74 arranged along the traveling rail 71 and the moving magnetic field portion 75 provided on the traveling table 72. The fixed magnetic field portion 74 can be formed by connecting a plurality of magnets, for example,
The moving magnetic field portion 75 can be formed by a coil. Then, the traveling table 72 is moved using the attractive force or repulsive force formed by the magnetic fields formed by the fixed magnetic field portion 74 and the moving magnetic field portion 75. Since the mechanism of the linear motor and its operation are well known, detailed description thereof will be omitted here.

【0019】前記リニアモータ走行軸において、走行テ
ーブル72の位置を検出する位置検出機構はワイヤ2と
ロータリーエンコーダ3とを備えており、ワイヤ2の一
端を移動部である走行テーブル72の固定し、他端を走
行軸の固定側であるストッパ73に固定したロータリー
エンコーダ3に取り付けた構成とし、走行軸の固定側に
設けたワイヤ巻取り機4(図1には示していない)によ
ってワイヤ2をロータリーエンコーダ3側に牽引して張
力を与えるものである。ワイヤ巻取り機4は、例えばワ
イヤ2を所定トルクで巻回して、繰り出したワイヤ2に
所定の張力を付与する。また、ロータリーエンコーダ3
はワイヤ2との相対変位量を検出する。
On the linear motor traveling shaft, the position detecting mechanism for detecting the position of the traveling table 72 is provided with the wire 2 and the rotary encoder 3. One end of the wire 2 is fixed to the traveling table 72 which is a moving portion, The other end is attached to the rotary encoder 3 fixed to the stopper 73 which is the fixed side of the traveling shaft, and the wire 2 is wound by the wire winder 4 (not shown in FIG. 1) provided on the fixed side of the traveling shaft. The tension is applied by pulling the rotary encoder 3 side. The wire winding machine 4 winds the wire 2 with a predetermined torque, for example, and applies a predetermined tension to the unwound wire 2. In addition, the rotary encoder 3
Detects the relative displacement with respect to the wire 2.

【0020】したがって、ワイヤ2は走行テーブル72
とロータリーエンコーダ3との間で張設され、走行テー
ブル72が移動するとその移動量に対応してワイヤ巻取
り機4から繰り出し、あるいはワイヤ巻取り機4に巻き
取られる。繰り出されたワイヤ2あるいは巻取られるワ
イヤ2はロータリーエンコーダ3を通過するため、その
繰り出し量あるいは巻取り量はロータリーエンコーダ3
によって測定される。ワイヤ2はワイヤ巻取り機4によ
って常に張られた状態に維持されているため、走行テー
ブル72の移動量とロータリーエンコーダ3に対するワ
イヤ2の相対変位量は一対一に対応している。そこで、
ロータリーエンコーダ3によってワイヤ2との相対変位
量を検出すると、この検出した変位量から走行テーブル
72の移動量を検出することができ、さらに走行テーブ
ル72の走行軸上での位置検出を行うことができる。
Therefore, the wire 2 is attached to the traveling table 72.
It is stretched between the rotary encoder 3 and the rotary encoder 3, and when the traveling table 72 moves, it is unwound from the wire winder 4 or wound by the wire winder 4 in accordance with the movement amount. The unwound wire 2 or the wound wire 2 passes through the rotary encoder 3. Therefore, the unwound amount or the wound amount is determined by the rotary encoder 3.
Is measured by Since the wire 2 is always kept in a stretched state by the wire winder 4, the moving amount of the traveling table 72 and the relative displacement amount of the wire 2 with respect to the rotary encoder 3 correspond to each other in a one-to-one relationship. Therefore,
When the relative displacement amount with respect to the wire 2 is detected by the rotary encoder 3, the movement amount of the traveling table 72 can be detected from the detected displacement amount, and the position of the traveling table 72 on the traveling axis can be detected. it can.

【0021】また、走行テーブル72の移動量はワイヤ
2の移動量によって検出することができ、該ワイヤ2の
敷設は走行レールや固定磁界部74の継ぎ部分に影響さ
れることなく行うことができる。
The amount of movement of the traveling table 72 can be detected by the amount of movement of the wire 2, and the laying of the wire 2 can be performed without being affected by the joint of the traveling rail and the fixed magnetic field portion 74. .

【0022】次に、本発明のリニアモータ走行軸の第2
の実施の形態について説明する。図3は本発明の第2の
実施の形態を説明する概略斜視図であり、図4は第2の
実施の形態の機構配置を説明するための平面図である。
図3,4において、リニアモータ走行軸の構成は、前記
図1,2の第2の実施の形態で示したものと同様である
ためここでの説明は省略する。
Next, the second linear motor traveling shaft of the present invention will be described.
An embodiment will be described. FIG. 3 is a schematic perspective view for explaining the second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the second embodiment.
In FIGS. 3 and 4, the configuration of the linear motor traveling shaft is the same as that shown in the second embodiment of FIGS. 1 and 2, and the description thereof is omitted here.

【0023】リニアモータ走行軸において、走行テーブ
ル72の位置を検出する位置検出機構は、ワイヤ2とロ
ータリーエンコーダ3とを備えており、ワイヤ2の一端
を走行軸の固定側であるストッパ73に固定し、ワイヤ
2の他端を移動部である走行テーブル72に固定したロ
ータリーエンコーダ3に取り付けた構成とし、走行テー
ブル72に設けたワイヤ巻取り機4によってワイヤ2を
ロータリーエンコーダ3側に牽引して張力を与えるもの
である。また、ロータリーエンコーダ3はワイヤ2との
相対変位量を検出する。
In the linear motor traveling shaft, the position detecting mechanism for detecting the position of the traveling table 72 includes the wire 2 and the rotary encoder 3, and one end of the wire 2 is fixed to the stopper 73 which is the fixed side of the traveling shaft. Then, the other end of the wire 2 is attached to the rotary encoder 3 fixed to the traveling table 72 which is a moving part, and the wire 2 is pulled by the wire winding machine 4 provided on the traveling table 72 toward the rotary encoder 3 side. It gives tension. Further, the rotary encoder 3 detects the amount of relative displacement with the wire 2.

【0024】第1の実施の形態の位置検出機構では、ロ
ータリーエンコーダ3を固定側のストッパ73に設置す
る構成であるのに対して、第2の実施の形態の位置検出
機構は、ロータリーエンコーダ3を走行テーブル72側
に設置する点で相違する。なお、ワイヤ2,ロータリー
エンコーダ3,およびワイヤ巻取り機4の個々の構成は
前記第1の実施の形態に使用したものと同様のものを用
いることができる。
In the position detecting mechanism of the first embodiment, the rotary encoder 3 is installed on the fixed side stopper 73, whereas the position detecting mechanism of the second embodiment has the rotary encoder 3. Is different in that it is installed on the traveling table 72 side. The wires 2, the rotary encoder 3, and the wire winder 4 may have the same configurations as those used in the first embodiment.

【0025】第2の実施の形態の位置検出機構による作
用は、ほぼ第1の実施の形態の位置検出機構と同様であ
る。走行テーブル72が移動すると、この移動に応じて
ワイヤ2が移動する。走行テーブル72の移動量とロー
タリーエンコーダ3に対するワイヤ2の相対変位量は対
応しているため、ロータリーエンコーダ3によってワイ
ヤ2との相対変位量を検出すると、この検出した変位量
から走行テーブル72の移動量を検出することができ、
さらに走行テーブル72の走行軸上での位置検出を行う
ことができる。また、第1の実施の形態と同様に、走行
テーブル72の移動量はワイヤ2の移動量によって検出
することができ、該ワイヤ2の敷設は走行レールや固定
磁界部74の継ぎ部分に影響されることなく行うことが
できる。
The operation of the position detecting mechanism of the second embodiment is almost the same as that of the position detecting mechanism of the first embodiment. When the traveling table 72 moves, the wire 2 moves according to this movement. Since the moving amount of the traveling table 72 and the relative displacement amount of the wire 2 with respect to the rotary encoder 3 correspond to each other, when the relative displacement amount with the wire 2 is detected by the rotary encoder 3, the traveling table 72 moves from the detected displacement amount. Quantity can be detected,
Further, the position of the traveling table 72 on the traveling axis can be detected. Further, similarly to the first embodiment, the movement amount of the traveling table 72 can be detected by the movement amount of the wire 2, and the laying of the wire 2 is influenced by the joint portion of the traveling rail and the fixed magnetic field portion 74. Can be done without

【0026】なお、ロータリーエンコーダ3で検出した
検出信号は、移動磁界部75への供給線と同様の経路を
通って走行軸の外部に取り出すことができる。次に、本
発明のリニアモータ走行軸の第3の実施の形態について
説明する。図5は第3の実施の形態の機構配置を説明す
るための平面図である。
The detection signal detected by the rotary encoder 3 can be taken out of the traveling axis through the same route as the supply line to the moving magnetic field section 75. Next, a third embodiment of the linear motor traveling shaft of the present invention will be described. FIG. 5 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the third embodiment.

【0027】図5において、リニアモータ走行軸の構成
は、前記第1,2の実施の形態で示したものと同様であ
るためここでの説明は省略する。リニアモータ走行軸に
おいて、走行テーブル72の位置を検出する位置検出機
構は、ワイヤ2とロータリーエンコーダ3とを備えてお
り、ワイヤ2の一端を走行軸の固定側であるストッパ7
3に固定し、また、ワイヤ2の他端を同じ側のストッパ
73に固定したロータリーエンコーダ3に取り付け、ワ
イヤ2の中間部を移動部である走行テーブル72を通過
する構成とし、同じくストッパ73に設けたワイヤ巻取
り機4によってワイヤ2をロータリーエンコーダ3側に
牽引して張力を与えるものである。走行テーブル72に
プーリー51を取り付け、該プーリー51にワイヤ2の
中間部を掛けることよって、走行テーブル72とストッ
パ73との間にワイヤを張設する。また、ロータリーエ
ンコーダ3はワイヤ2との相対変位量を検出する。
In FIG. 5, the configuration of the linear motor traveling shaft is the same as that shown in the first and second embodiments, and the description thereof is omitted here. In the linear motor traveling shaft, the position detecting mechanism for detecting the position of the traveling table 72 includes a wire 2 and a rotary encoder 3, and one end of the wire 2 is a stopper 7 that is a fixed side of the traveling shaft.
3, the other end of the wire 2 is attached to the rotary encoder 3 which is fixed to the stopper 73 on the same side, and the intermediate portion of the wire 2 passes through the traveling table 72 which is the moving portion. The wire winding machine 4 provided pulls the wire 2 toward the rotary encoder 3 to apply tension. The pulley 51 is attached to the traveling table 72, and the intermediate portion of the wire 2 is hung on the pulley 51 to stretch the wire between the traveling table 72 and the stopper 73. Further, the rotary encoder 3 detects the amount of relative displacement with the wire 2.

【0028】第1,2の実施の形態の位置検出機構で
は、走行テーブル72とストッパ73との間の1か所に
ワイヤ2を張設する構成であるのに対して、第3の実施
の形態の位置検出機構は、走行テーブル72とストッパ
73との間の2か所にワイヤ2を張設する点で相違す
る。なお、ワイヤ2,ロータリーエンコーダ3,および
ワイヤ巻取り機4の個々の構成は前記第1,2の実施の
形態に使用したものと同様のものを用いることができ
る。
In the position detecting mechanism of the first and second embodiments, the wire 2 is stretched at one place between the traveling table 72 and the stopper 73, whereas the position detecting mechanism of the third embodiment is arranged. The position detection mechanism of the embodiment is different in that the wire 2 is stretched at two positions between the traveling table 72 and the stopper 73. The wires 2, the rotary encoder 3, and the wire winder 4 may have the same configurations as those used in the first and second embodiments.

【0029】第3の実施の形態の位置検出機構におい
て、走行テーブル72の移動とともにプーリー51が移
動すると、この移動に応じてワイヤ2が移動する。ワイ
ヤ2の一端はストッパ73に固定されているため、ワイ
ヤ2の他端におけるワイヤ巻取り機4では、走行テーブ
ル72の移動量の2倍の長さのワイヤの繰り出しあるい
は巻取りが行われる。したがって、ロータリーエンコー
ダ3によってワイヤ2との相対変位量を検出すると、こ
の検出した変位量は走行テーブル72の移動量の2倍の
量を検出することになる。さらに走行テーブル72の走
行軸上での位置検出を行うことができる。したがって、
変位量に対して測定量を2倍とすることができ、測定精
度を向上させることができる。また、第1,2の実施の
形態と同様に、走行テーブル72の移動量はワイヤ2の
移動量によって検出することができ、該ワイヤ2の敷設
は走行レールや固定磁界部74の継ぎ部分に影響される
ことなく行うことができる。
In the position detecting mechanism of the third embodiment, when the traveling table 72 moves and the pulley 51 moves, the wire 2 moves in accordance with this movement. Since one end of the wire 2 is fixed to the stopper 73, the wire winding machine 4 at the other end of the wire 2 feeds or winds a wire having a length twice the moving amount of the traveling table 72. Therefore, when the relative displacement amount with respect to the wire 2 is detected by the rotary encoder 3, the detected displacement amount is twice the movement amount of the traveling table 72. Further, the position of the traveling table 72 on the traveling axis can be detected. Therefore,
The measurement amount can be doubled with respect to the displacement amount, and the measurement accuracy can be improved. Further, similarly to the first and second embodiments, the movement amount of the traveling table 72 can be detected by the movement amount of the wire 2, and the laying of the wire 2 is performed at the joint portion of the traveling rail or the fixed magnetic field portion 74. It can be done without being affected.

【0030】次に、本発明のリニアモータ走行軸の第4
の実施の形態について説明する。図6は第4の実施の形
態の機構配置を説明するための平面図である。図6にお
いて、リニアモータ走行軸の構成は、前記第1,2,3
の実施の形態で示したものと同様であるためここでの説
明は省略する。
Next, the fourth embodiment of the linear motor traveling shaft of the present invention
An embodiment will be described. FIG. 6 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the fourth embodiment. In FIG. 6, the configuration of the linear motor traveling shaft is as follows:
Since it is the same as that shown in the embodiment, description thereof will be omitted here.

【0031】リニアモータ走行軸において、走行テーブ
ル72の位置を検出する位置検出機構は、ワイヤ2とロ
ータリーエンコーダ3とを備えており、ワイヤ2の一端
を走行テーブル72に固定し、また、ワイヤ2の他端を
走行軸の一方の固定側のストッパに固定したロータリー
エンコーダ3を介して他方の固定側のストッパに固定す
る構成とし、他方の固定側のストッパに設けたワイヤ巻
取り機4によってワイヤ2を牽引して張力を与えるもの
である。ワイヤ2の中間部分を一方の固定側のストッパ
に固定したロータリーエンコーダ3に掛けることよっ
て、走行テーブル72とストッパとの間にワイヤを張設
する。また、ロータリーエンコーダ3はワイヤ2との相
対変位量を検出する。
The position detecting mechanism for detecting the position of the traveling table 72 on the traveling axis of the linear motor comprises a wire 2 and a rotary encoder 3. One end of the wire 2 is fixed to the traveling table 72, and the wire 2 is fixed. The other end is fixed to the stopper on the other fixed side via the rotary encoder 3 fixed to the stopper on the one fixed side of the traveling shaft, and the wire winding machine 4 provided on the stopper on the other fixed side It pulls 2 to give tension. The intermediate portion of the wire 2 is hung on the rotary encoder 3 fixed to one stopper on the fixed side, so that the wire is stretched between the traveling table 72 and the stopper. Further, the rotary encoder 3 detects the amount of relative displacement with the wire 2.

【0032】第1,2の実施の形態の位置検出機構で
は、走行テーブル72とストッパ73との間の1カ所に
ワイヤ2を張設する構成であるのに対して、第4の実施
の形態の位置検出機構は、ロータリーエンコーダ3を介
して走行テーブルとストッパとの間および両ストッパ間
の2か所にワイヤ2を張設する点で相違する。なお、ワ
イヤ2,ロータリーエンコーダ3,およびワイヤ巻取り
機4の個々の構成は前記第1,2,3の実施の形態に使
用したものと同様のものを用いることができる。
In the position detecting mechanism of the first and second embodiments, the wire 2 is stretched at one position between the traveling table 72 and the stopper 73, whereas the position detecting mechanism of the fourth embodiment is arranged. The position detection mechanism is different in that the wire 2 is stretched between the traveling table and the stopper via the rotary encoder 3 and in two places between the stoppers. The wires 2, the rotary encoder 3, and the wire winder 4 may have the same configurations as those used in the first, second, and third embodiments.

【0033】第4の実施の形態の位置検出機構におい
て、ワイヤ巻取り機4による巻取りによって、両ストッ
パ間に張られたワイヤ2には張力が与えられ、さらに、
ロータリーエンコーダ3を介して走行テーブル72とス
トッパ間に張られたワイヤ2に張力が与えられる。
In the position detecting mechanism of the fourth embodiment, the wire 2 stretched between both stoppers is given a tension by the winding by the wire winding machine 4, and further,
Tension is applied to the wire 2 stretched between the traveling table 72 and the stopper via the rotary encoder 3.

【0034】走行テーブル72が移動すると、ワイヤ2
はロータリーエンコーダ3を介してワイヤ巻取り機4か
らの繰り出し、あるいは巻取りが行われる。このとき、
ロータリーエンコーダ3は、ワイヤ2の移動量を検出
し、さらに走行テーブル72の走行軸上での位置検出を
行う。また、第1,2,3の実施の形態と同様に、走行
テーブル72の移動量はワイヤ2の移動量によって検出
することができ、該ワイヤ2の敷設は走行レールや固定
磁界部74の継ぎ部分に影響されることなく行うことが
できる。
When the traveling table 72 moves, the wire 2
Is fed from the wire winder 4 or wound via the rotary encoder 3. At this time,
The rotary encoder 3 detects the amount of movement of the wire 2 and further detects the position of the traveling table 72 on the traveling axis. Further, similarly to the first, second, and third embodiments, the movement amount of the traveling table 72 can be detected by the movement amount of the wire 2, and the laying of the wire 2 is performed by connecting the traveling rail and the fixed magnetic field portion 74. It can be done without being affected by parts.

【0035】次に、本発明のリニアモータ走行軸の第5
の実施の形態について説明する。図7は第5の実施の形
態の機構配置を説明するための平面図である。図7にお
いて、リニアモータ走行軸の構成は、前記第1〜4の実
施の形態で示したものと同様であるためここでの説明は
省略する。
Next, the fifth embodiment of the linear motor traveling shaft of the present invention will be described.
An embodiment will be described. FIG. 7 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the fifth embodiment. In FIG. 7, the configuration of the linear motor traveling shaft is the same as that shown in the first to fourth embodiments, and the description thereof is omitted here.

【0036】リニアモータ走行軸において、走行テーブ
ル72の位置を検出する位置検出機構は、ワイヤ2とロ
ータリーエンコーダ3とを備えており、ワイヤ2の一端
を走行テーブル72に固定し、ワイヤ2の他端を走行軸
の一方の固定側のストッパに固定したロータリーエンコ
ーダ3を介し、さらに他方の固定側のストッパに取り付
けたプーリー52を介して走行テーブル72の他方に固
定する構成とし、走行テーブル72に設けたワイヤ巻取
り機(図示していない)あるいはロータリーエンコーダ
3またはプーリー52に取り付けた牽引装置(図示して
いていない)によってワイヤ2を牽引して張力を与える
ものである。ワイヤ2の一方の中間部分をロータリーエ
ンコーダ3に掛け、ワイヤ2の他方の中間部分をプーリ
ー52に掛けることよって、走行テーブル72とストッ
パとの間にワイヤ2を張設する。また、ロータリーエン
コーダ3はワイヤ2との相対変位量を検出する。
The position detection mechanism for detecting the position of the traveling table 72 on the linear motor traveling shaft is provided with the wire 2 and the rotary encoder 3. One end of the wire 2 is fixed to the traveling table 72 and the other of the wires 2 is fixed. The end is fixed to the other side of the traveling table 72 via the rotary encoder 3 fixed to one fixed side stopper of the traveling shaft, and further to the other side of the traveling table 72 via the pulley 52 attached to the other fixed side stopper. The wire 2 is pulled by a wire winder (not shown) provided or a pulling device (not shown) attached to the rotary encoder 3 or the pulley 52 to apply tension. The wire 2 is stretched between the traveling table 72 and the stopper by hooking one middle part of the wire 2 on the rotary encoder 3 and hooking the other middle part of the wire 2 on the pulley 52. Further, the rotary encoder 3 detects the amount of relative displacement with the wire 2.

【0037】第1,2の実施の形態の位置検出機構で
は、走行テーブル72とストッパ73との間の1か所に
ワイヤ2を張設する構成であるのに対して、第5の実施
の形態の位置検出機構は、ロータリーエンコーダ3およ
びプーリー52を介して走行テーブルとストッパとの間
および両ストッパ間の3か所にワイヤ2を張設する点で
相違する。なお、ワイヤ2,ロータリーエンコーダ3,
およびワイヤ巻取り機4の個々の構成は前記第1〜4の
実施の形態に使用したものと同様のものを用いることが
できる。
In the position detecting mechanism of the first and second embodiments, the wire 2 is stretched at one position between the traveling table 72 and the stopper 73, while the fifth embodiment is arranged. The position detecting mechanism of the embodiment is different in that the wire 2 is stretched between the traveling table and the stopper via the rotary encoder 3 and the pulley 52 and in three places between the stoppers. In addition, the wire 2, the rotary encoder 3,
The individual configurations of the wire winder 4 can be the same as those used in the first to fourth embodiments.

【0038】第5の実施の形態の位置検出機構におい
て、ワイヤ巻取り機によって張力を与える場合には、ワ
イヤ巻取り機による巻取りトルクによって両ストッパ間
およびストッパと走行テーブルとの間に張られたワイヤ
2に張力が与えられる。そして、走行テーブル72が移
動すると、ワイヤ2は張られた状態でロータリーエンコ
ーダ3およびプーリー52を介してワイヤ巻取り機から
の繰り出し、あるいは巻取りが行われる。
In the position detecting mechanism of the fifth embodiment, when tension is applied by the wire winding machine, the tension is applied between both stoppers and between the stopper and the traveling table by the winding torque of the wire winding machine. The wire 2 is tensioned. When the traveling table 72 moves, the wire 2 is stretched or wound from the wire winding machine via the rotary encoder 3 and the pulley 52 while being stretched.

【0039】また、牽引装置によって張力を与える場合
には、ロータリーエンコーダ3およびまたはプーリー5
2を図示しない牽引装置により図7の両外側に牽引する
ことによってワイヤ2に張力が与えられる。そして、走
行テーブル72が移動すると、ワイヤ2は張られた状態
のままロータリーエンコーダ3およびプーリー52を介
してトラック状の軌跡を描いて移動する。
When the tension is applied by the traction device, the rotary encoder 3 and / or the pulley 5 are used.
The wire 2 is tensioned by pulling the wire 2 to both outer sides in FIG. 7 by a pulling device (not shown). Then, when the traveling table 72 moves, the wire 2 moves while drawing a track-shaped trajectory via the rotary encoder 3 and the pulley 52 while being stretched.

【0040】このとき、ロータリーエンコーダ3は、ワ
イヤ2の移動量を検出し、さらに走行テーブル72の走
行軸上での位置検出を行う。また、第1〜4の実施の形
態と同様に、走行テーブル72の移動量はワイヤ2の移
動量によって検出することができ、該ワイヤ2の敷設は
走行レールや固定磁界部の継ぎ部分に影響されることな
く行うことができる。
At this time, the rotary encoder 3 detects the amount of movement of the wire 2 and further detects the position of the traveling table 72 on the traveling axis. Further, similarly to the first to fourth embodiments, the movement amount of the traveling table 72 can be detected by the movement amount of the wire 2, and the laying of the wire 2 affects the traveling rail and the joint portion of the fixed magnetic field portion. Can be done without being done.

【0041】なお、ワイヤに張力を与える牽引装置は、
ロータリーエンコーダ側あるいはプーリー側の何れか一
方の側あるいは両方の側に設けることができ、何れか一
方の側に設けた場合には、他方の側は走行軸に対して固
定する。次に、本発明のリニアモータ走行軸の第6の実
施の形態について説明する。図8は第6の実施の形態の
機構配置を説明するための平面図である。
The pulling device for applying tension to the wire is
It can be provided on either or both sides of the rotary encoder side or the pulley side, and when it is provided on either side, the other side is fixed to the traveling shaft. Next, a sixth embodiment of the linear motor traveling shaft of the present invention will be described. FIG. 8 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the sixth embodiment.

【0042】図8において、リニアモータ走行軸の構成
は、前記第1〜5の実施の形態で示したものと同様であ
るためここでの説明は省略する。リニアモータ走行軸に
おいて、走行テーブル72の位置を検出する位置検出機
構は、ワイヤ2とロータリーエンコーダ3とを備えてお
り、ワイヤ2の一端を走行テーブル72に固定し、ワイ
ヤ2の他端を走行軸の一方の固定側のストッパに固定し
た第1ロータリーエンコーダ31を介し、さらに他方の
固定側のストッパに取り付けた第1ロータリーエンコー
ダ32を介して走行テーブル72の他方に固定する構成
とし、走行テーブル72に設けたワイヤ巻取り機(図示
していない)あるいは第1,第2ロータリーエンコーダ
31,32に取り付けた牽引装置(図示していていな
い)によってワイヤ2を牽引して張力を与えるものであ
る。ワイヤ2の一方の中間部分を第1ロータリーエンコ
ーダ31に掛け、ワイヤ2の他方の中間部分を第2ロー
タリーエンコーダ32に掛けることよって、走行テーブ
ル72とストッパとの間にワイヤ2を張設する。また、
ロータリーエンコーダ3はワイヤ2との相対変位量を検
出する。
In FIG. 8, the structure of the linear motor traveling shaft is the same as that shown in the first to fifth embodiments, and the description thereof is omitted here. The position detection mechanism that detects the position of the travel table 72 on the linear motor travel shaft includes the wire 2 and the rotary encoder 3. One end of the wire 2 is fixed to the travel table 72 and the other end of the wire 2 travels. The first rotary encoder 31 fixed to one stopper on one fixed side of the shaft and the first rotary encoder 32 attached to the other stopper on the other fixed side are fixed to the other traveling table 72. A wire winder (not shown) provided at 72 or a pulling device (not shown) attached to the first and second rotary encoders 31 and 32 pulls the wire 2 to apply tension. . The wire 2 is stretched between the traveling table 72 and the stopper by hooking one intermediate portion of the wire 2 on the first rotary encoder 31 and hooking the other intermediate portion of the wire 2 on the second rotary encoder 32. Also,
The rotary encoder 3 detects the amount of relative displacement with the wire 2.

【0043】第6の実施の形態の位置検出機構は、第1
ロータリーエンコーダ31,第2ロータリーエンコーダ
32を介して走行テーブルとストッパとの間および両ス
トッパ間の3か所にワイヤ2を張設する点で、前記第5
の実施の形態は共通している。なお、ワイヤ2,ロータ
リーエンコーダ3,およびワイヤ巻取り機4の個々の構
成は前記第1〜5の実施の形態に使用したものと同様の
ものを用いることができる。
The position detecting mechanism of the sixth embodiment is the first
The wire 5 is stretched between the traveling table and the stopper and between the stoppers via the rotary encoder 31 and the second rotary encoder 32.
The embodiments are common. The wires 2, the rotary encoder 3, and the wire winder 4 may have the same configurations as those used in the first to fifth embodiments.

【0044】第6の実施の形態の位置検出機構において
張力を与える手段は、第5の実施の形態と共通している
ためここでは説明を省略する。そして、走行テーブル7
2が移動すると、ワイヤ2は張られた状態のまま第1ロ
ータリーエンコーダ31,および第2ロータリーエンコ
ーダ32を介してトラック状の軌跡を描いて移動する。
The means for applying tension in the position detecting mechanism of the sixth embodiment is common to that of the fifth embodiment, and therefore its explanation is omitted here. And the traveling table 7
When the wire 2 moves, the wire 2 moves while drawing a track-shaped locus via the first rotary encoder 31 and the second rotary encoder 32 while being stretched.

【0045】このとき、第1ロータリーエンコーダ3
1,および第2ロータリーエンコーダ32は共に同じワ
イヤ2の移動量を検出し、該2つの測定値の平均値によ
りワイヤ2の移動量を求めることができる。さらに、こ
の測定した移動量によって走行テーブル72の走行軸上
での位置検出を行う。この実施の形態ではワイヤ2の移
動量を2つのロータリーエンコーダによって測定し平均
値を得る構成とすることによって、測定誤差を減少させ
ることができる。
At this time, the first rotary encoder 3
Both the first and second rotary encoders 32 can detect the movement amount of the same wire 2 and can obtain the movement amount of the wire 2 by the average value of the two measured values. Further, the position of the traveling table 72 on the traveling axis is detected based on the measured movement amount. In this embodiment, the measurement error can be reduced by adopting a configuration in which the moving amount of the wire 2 is measured by two rotary encoders and an average value is obtained.

【0046】また、第1〜5の実施の形態と同様に、走
行テーブル72の移動量はワイヤ2の移動量によって検
出することができ、該ワイヤ2の敷設は走行レールや固
定磁界部の継ぎ部分に影響されることなく行うことがで
きる。
Further, similarly to the first to fifth embodiments, the moving amount of the traveling table 72 can be detected by the moving amount of the wire 2, and the laying of the wire 2 is performed by connecting the traveling rail and the fixed magnetic field portion. It can be done without being affected by parts.

【0047】次に、本発明のリニアモータ走行軸の第7
の実施の形態について説明する。図9は第7の実施の形
態の機構配置を説明するための平面図であり、図11は
第7の実施の形態を説明するための一部断面を含む斜視
図であり、図12は第7の実施の形態のワイヤ状態を説
明するための図である。図9において、リニアモータ走
行軸の構成は、前記第1〜6の実施の形態で示したもの
と同様であるためここでの説明は省略する。
Next, the seventh embodiment of the linear motor traveling shaft of the present invention will be described.
An embodiment will be described. FIG. 9 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the seventh embodiment, FIG. 11 is a perspective view including a partial cross section for explaining the seventh embodiment, and FIG. It is a figure for demonstrating the wire state of 7th Embodiment. In FIG. 9, the configuration of the linear motor traveling shaft is the same as that shown in the first to sixth embodiments, and the description thereof is omitted here.

【0048】リニアモータ走行軸において、走行テーブ
ル72の位置を検出する位置検出機構は、ワイヤ2とロ
ータリーエンコーダ3とを備えており、図9および図1
1に示すように、ワイヤ2の一端を走行軸の一方の固定
側のストッパに固定し、図12(a)に示すように走行
テーブル72に設けたロータリーエンコーダ3にワイヤ
2を巻回し、ワイヤ2の他端を走行軸の他方の固定側の
ストッパに固定する構成とし、固定側のストッパに設け
たワイヤ巻取り機(図示していない)によってワイヤ2
を牽引して張力を与えるものである。また、ロータリー
エンコーダ3はワイヤ2との相対変位量を検出する。な
お、ワイヤ2,ロータリーエンコーダ3,およびワイヤ
巻取り機の個々の構成は前記第1〜6の実施の形態に使
用したものと同様のものを用いることができる。
The position detecting mechanism for detecting the position of the traveling table 72 on the linear motor traveling shaft is equipped with the wire 2 and the rotary encoder 3 and is shown in FIGS.
As shown in FIG. 1, one end of the wire 2 is fixed to a stopper on one fixed side of the traveling shaft, and the wire 2 is wound around the rotary encoder 3 provided on the traveling table 72 as shown in FIG. The other end of the wire 2 is fixed to the other fixed side stopper of the traveling shaft, and the wire 2 is wound by a wire winder (not shown) provided on the fixed side stopper
Is tow and give tension. Further, the rotary encoder 3 detects the amount of relative displacement with the wire 2. The individual configurations of the wire 2, the rotary encoder 3, and the wire winder can be the same as those used in the first to sixth embodiments.

【0049】第7の実施の形態の位置検出機構におい
て、走行テーブル72が移動すると、ワイヤ2は張られ
た状態でロータリーエンコーダ3の回転部分を巻回しな
がら移動し、ワイヤ巻取り機からの繰り出し、あるいは
巻取りが行われる。
In the position detecting mechanism of the seventh embodiment, when the traveling table 72 moves, the wire 2 moves while winding the rotating portion of the rotary encoder 3 while being stretched, and is fed from the wire winding machine. Or, it is wound up.

【0050】このとき、ロータリーエンコーダ3は、ワ
イヤ2の移動量を検出し、さらに走行テーブル72の走
行軸上での位置検出を行う。また、第1〜6の実施の形
態と同様に、走行テーブル72の移動量はワイヤ2の移
動量によって検出することができ、該ワイヤ2の敷設は
走行レールや固定磁界部の継ぎ部分に影響されることな
く行うことができる。
At this time, the rotary encoder 3 detects the amount of movement of the wire 2 and further detects the position of the traveling table 72 on the traveling axis. Further, similarly to the first to sixth embodiments, the movement amount of the traveling table 72 can be detected by the movement amount of the wire 2, and the laying of the wire 2 affects the joint portion of the traveling rail and the fixed magnetic field portion. Can be done without being done.

【0051】次に、本発明のリニアモータ走行軸の第8
の実施の形態について説明する。図10は第8の実施の
形態の機構配置を説明するための平面図であり、図11
は第8の実施の形態を説明するための一部断面を含む斜
視図であり、図12は第8の実施の形態のワイヤ状態を
説明するための図である。図10において、リニアモー
タ走行軸の構成は、前記第1〜7の実施の形態で示した
ものと同様であるためここでの説明は省略する。
Next, the eighth embodiment of the linear motor traveling shaft of the present invention
An embodiment will be described. FIG. 10 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the eighth embodiment, and FIG.
Is a perspective view including a partial cross section for explaining the eighth embodiment, and FIG. 12 is a view for explaining a wire state of the eighth embodiment. In FIG. 10, the configuration of the linear motor traveling shaft is the same as that shown in the first to seventh embodiments, and the description thereof is omitted here.

【0052】リニアモータ走行軸において、走行テーブ
ル72の位置を検出する位置検出機構は、ワイヤ2とロ
ータリーエンコーダ3とを備えており、図10および図
11に示すように、ワイヤ2の一端を走行軸の一方の固
定側のストッパに固定し、図12(b)に示すように走
行テーブル72に設けたロータリーエンコーダ3にワイ
ヤ2を圧接し、ワイヤ2の他端を走行軸の他方の固定側
のストッパに固定する構成とし、固定側のストッパに設
けたワイヤ巻取り機(図示していない)によってワイヤ
2を牽引して張力を与えるものである。また、ロータリ
ーエンコーダ3はワイヤ2との相対変位量を検出する。
なお、ワイヤ2,ロータリーエンコーダ3,およびワイ
ヤ巻取り機の個々の構成は前記第1〜7の実施の形態に
使用したものと同様のものを用いることができる。
On the linear motor traveling shaft, the position detecting mechanism for detecting the position of the traveling table 72 is equipped with the wire 2 and the rotary encoder 3. As shown in FIG. 10 and FIG. It is fixed to one stopper on the fixed side of the shaft, the wire 2 is pressed against the rotary encoder 3 provided on the traveling table 72 as shown in FIG. 12B, and the other end of the wire 2 is fixed to the other fixed side of the traveling shaft. In this configuration, the wire 2 is pulled by a wire winding machine (not shown) provided on the fixed stopper to give tension. Further, the rotary encoder 3 detects the amount of relative displacement with the wire 2.
The wires 2, the rotary encoder 3, and the wire winding machine may have the same configurations as those used in the first to seventh embodiments.

【0053】第8の実施の形態の位置検出機構におい
て、走行テーブル72が移動すると、ワイヤ2は張られ
た状態でロータリーエンコーダ3の回転部分を押しなが
ら移動し、ワイヤ巻取り機からの繰り出し、あるいは巻
取りが行われる。
In the position detecting mechanism of the eighth embodiment, when the traveling table 72 is moved, the wire 2 is moved while pushing the rotating portion of the rotary encoder 3 in a stretched state, and is fed from the wire winding machine. Alternatively, winding is performed.

【0054】このとき、ロータリーエンコーダ3は、ワ
イヤ2の移動に応じて回転して移動量を検出し、さらに
走行テーブル72の走行軸上での位置検出を行う。ま
た、第1〜7の実施の形態と同様に、走行テーブル72
の移動量はワイヤ2の移動量によって検出することがで
き、該ワイヤ2の敷設は走行レールや固定磁界部の継ぎ
部分に影響されることなく行うことができる。
At this time, the rotary encoder 3 rotates according to the movement of the wire 2 to detect the movement amount, and further detects the position of the traveling table 72 on the traveling axis. In addition, as in the first to seventh embodiments, the traveling table 72
The amount of movement of the wire 2 can be detected by the amount of movement of the wire 2, and the wire 2 can be laid without being affected by the running rail or the joint portion of the fixed magnetic field portion.

【0055】なお、前記第1〜第8の実施の形態におい
て、ロータリーエンコーダは例えばパルスコーダにより
構成するができ、この場合には変位量はパルス数によっ
て出力される。次に、前記実施の形態に適用することが
できるワイヤ巻取り機およびロータリーエンコーダの構
成について図13,図14を用いて説明する。
In the first to eighth embodiments, the rotary encoder can be constituted by, for example, a pulse coder, and in this case, the displacement amount is output by the number of pulses. Next, the configurations of the wire winder and the rotary encoder applicable to the above-described embodiment will be described with reference to FIGS. 13 and 14.

【0056】図13はロータリーエンコーダ3とワイヤ
巻取り機4とを結合した構成である。ワイヤ巻取り機4
は、ケース41内にワイヤ2を巻回するワイヤドラム4
3と該ワイヤグラム43にトルクを与える巻取りバネ4
2とを同軸上に配置し、該軸をベアリング44およびベ
アリングナット45によって回転支持している。ワイヤ
ドラム43から繰り出されるワイヤ2は、プーリー47
等のガイドを介して取り出される。巻取りバネ42はワ
イヤ2をワイヤドラム43に巻き取る方向にトルクを付
与している。
FIG. 13 shows a structure in which the rotary encoder 3 and the wire winding machine 4 are combined. Wire winder 4
Is a wire drum 4 for winding the wire 2 in the case 41.
3 and a winding spring 4 for applying a torque to the wiregram 43
2 are arranged coaxially, and the shaft is rotatably supported by a bearing 44 and a bearing nut 45. The wire 2 fed from the wire drum 43 is transferred to the pulley 47.
Etc. is taken out through the guide. The take-up spring 42 applies torque in the direction in which the wire 2 is wound around the wire drum 43.

【0057】ワイヤ巻取り機4の軸とロータリーエンコ
ーダ3の軸は、オルダム継ぎ手46等を介して接続さ
れ、ワイヤドラム43の回転はロータリーエンコーダ3
に伝達される。ロータリーエンコーダ3は、ワイヤ巻取
り機4の軸の回転量を測定することによってワイヤ2の
移動量を検出する。
The shaft of the wire winder 4 and the shaft of the rotary encoder 3 are connected via an Oldham coupling 46 or the like, and the rotation of the wire drum 43 is controlled by the rotary encoder 3.
Is transmitted to The rotary encoder 3 detects the amount of movement of the wire 2 by measuring the amount of rotation of the shaft of the wire winder 4.

【0058】また、図14はロータリーエンコーダ3と
ワイヤ巻取り機4とを分離した構成である。ワイヤ巻取
り機4は、第2ケース412内にワイヤ2を巻回するワ
イヤドラム43と該ワイヤグラム43にトルクを与える
巻取りバネ42とを同軸上に配置し、第2ケース412
に対して回転支持している。一方、第1ケース411に
は、ベアリング44およびベアリングナット45により
プーリー5が回転可能に支持され、オルダム継ぎ手46
を介してロータリーエンコーダ3と接続されている。
Further, FIG. 14 shows a structure in which the rotary encoder 3 and the wire winding machine 4 are separated. The wire winding machine 4 has a wire drum 43 that winds the wire 2 and a winding spring 42 that applies a torque to the wiregram 43, which are coaxially arranged in the second case 412.
It is supported against rotation. On the other hand, in the first case 411, the pulley 5 is rotatably supported by the bearing 44 and the bearing nut 45, and the Oldham joint 46
Is connected to the rotary encoder 3 via.

【0059】ワイヤ巻取り機4のワイヤドラム43から
繰り出されたワイヤ2は、プーリー5を介して走行テー
ブル等に向かって取り出される。巻取りバネ42はワイ
ヤ2をワイヤドラム43に巻き取る方向にトルクを付与
している。
The wire 2 unwound from the wire drum 43 of the wire winder 4 is taken out toward the traveling table or the like via the pulley 5. The take-up spring 42 applies torque in the direction in which the wire 2 is wound around the wire drum 43.

【0060】ワイヤ2がワイヤ巻取り機4のワイヤドラ
ム43に巻き取られたり、あるいは繰り出されると、ワ
イヤ2の移動に伴ってプーリー5が回転する。ロータリ
ーエンコーダ3は、プーリー5の回転量を測定すること
によってワイヤ2の移動量を検出する。
When the wire 2 is wound around or reeled out by the wire drum 43 of the wire winder 4, the pulley 5 rotates as the wire 2 moves. The rotary encoder 3 detects the amount of movement of the wire 2 by measuring the amount of rotation of the pulley 5.

【0061】本発明の実施の形態によれば、リニアモー
タ走行軸のストロークが長大化した場合においても、ワ
イヤの長さを長くするだけで対応することができ、価格
の増加を抑えることができる。また、走行軸をユニット
の結合によって構成する場合であっても、走行軸の設置
場所においてユニットと位置検出機構との間の位置調整
を必要とせず、設置のための工数を削減することができ
る。
According to the embodiment of the present invention, even when the stroke of the linear motor traveling shaft is lengthened, it can be dealt with only by increasing the length of the wire, and the increase in price can be suppressed. . Further, even when the traveling shaft is configured by connecting the units, it is not necessary to adjust the position between the unit and the position detection mechanism at the location where the traveling shaft is installed, and the man-hours for installation can be reduced. .

【0062】[0062]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
走行軸の走行ストロークが長くなった場合でも、位置検
出機構の管理,調整が容易とすることができるリニアモ
ータ走行軸の位置検出機構を提供することができる。
As described above, according to the present invention,
It is possible to provide a position detection mechanism for a linear motor traveling shaft that can easily manage and adjust the position detection mechanism even when the traveling stroke of the traveling shaft becomes long.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のリニアモータ走行軸の位置検出機構の
第1の実施の形態を説明する概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view illustrating a first embodiment of a position detection mechanism for a linear motor traveling shaft of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施の形態の機構配置を説明す
るための平面図である。
FIG. 2 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2の実施の形態を説明する概略斜視
図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view illustrating a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施の形態の機構配置を説明す
るための平面図である。
FIG. 4 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施の形態の機構配置を説明す
るための平面図である。
FIG. 5 is a plan view for explaining a mechanism arrangement according to a third embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第4の実施の形態の機構配置を説明す
るための平面図である。
FIG. 6 is a plan view for explaining a mechanism arrangement according to a fourth embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第5の実施の形態の機構配置を説明す
るための平面図である。
FIG. 7 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the fifth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第6の実施の形態の機構配置を説明す
るための平面図である。
FIG. 8 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the sixth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第7の実施の形態の機構配置を説明す
るための平面図である。
FIG. 9 is a plan view for explaining the mechanism arrangement of the seventh embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第8の実施の形態の機構配置を説明
するための平面図である。
FIG. 10 is a plan view for explaining a mechanism arrangement according to an eighth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第7,8の実施の形態を説明するた
めの一部断面を含む斜視図である。
FIG. 11 is a perspective view including a partial cross section for explaining seventh and eighth embodiments of the present invention.

【図12】本発明の第7,8の実施の形態のワイヤ状態
を説明するための図である。
FIG. 12 is a diagram for explaining wire states of the seventh and eighth embodiments of the present invention.

【図13】ワイヤ巻取り機およびロータリーエンコーダ
の構成図である。
FIG. 13 is a configuration diagram of a wire winder and a rotary encoder.

【図14】ワイヤ巻取り機およびロータリーエンコーダ
の構成図である。
FIG. 14 is a configuration diagram of a wire winder and a rotary encoder.

【図15】従来のリニアモータに設ける位置検出手段を
説明するための概略図である。
FIG. 15 is a schematic diagram for explaining position detecting means provided in a conventional linear motor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 位置検出機構 2 ワイヤ 3,31,32 ロータリーエンコーダ 4 ワイヤ巻取り機 5,51,52,53 プーリー 7 リニアモータ 8 リニアスケール機構 41,411,412 ケース 42 巻取りバネ 43 ワイヤドラム 44 ベアリング 45 ベアリングナット 46 オルダム継ぎ手 71 走行レール 72 走行テーブル 73 ストッパ 74 固定磁界部 75 移動磁界部 76 走行ブロック 1 Position Detection Mechanism 2 Wires 3, 31, 32 Rotary Encoder 4 Wire Winder 5, 51, 52, 53 Pulley 7 Linear Motor 8 Linear Scale Mechanism 41, 411, 412 Case 42 Winding Spring 43 Wire Drum 44 Bearing 45 Bearing Nut 46 Oldham coupling 71 Traveling rail 72 Traveling table 73 Stopper 74 Fixed magnetic field part 75 Moving magnetic field part 76 Traveling block

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 リニアモータ駆動機構によって移動部を
走行軸に沿って移動させるリニアモータ走行軸におい
て、少なくとも移動部と走行軸の固定側との間に所定の
張力で張られたワイヤと、前記ワイヤとの相対的変位量
を検出するロータリーエンコーダとを備え、前記ロータ
リーエンコーダによって移動部の走行軸に沿った移動量
を検出し位置検出を行うことを特徴とするリニアモータ
走行軸の位置検出機構。
1. A linear motor traveling shaft for moving a moving portion along a traveling shaft by a linear motor drive mechanism, and a wire stretched with a predetermined tension between at least the moving portion and a fixed side of the traveling shaft, A linear encoder for detecting a relative displacement amount with respect to the wire, wherein the rotary encoder detects the amount of movement of the moving portion along the traveling axis to perform position detection. .
【請求項2】 前記張力はワイヤ巻取り機構により与え
られることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ走
行軸の位置検出機構。
2. The position detecting mechanism for a linear motor traveling shaft according to claim 1, wherein the tension is applied by a wire winding mechanism.
【請求項3】 前記ワイヤの一端を移動部に固定し、ワ
イヤの他端を走行軸の固定側に固定したロータリーエン
コーダに取り付けたことを特徴とする請求項1,又は2
記載のリニアモータ走行軸の位置検出機構。
3. The rotary encoder, wherein one end of the wire is fixed to a moving part and the other end of the wire is fixed to a fixed side of a traveling shaft.
The linear motor traveling shaft position detection mechanism described.
【請求項4】 前記ワイヤの一端を走行軸の固定側に固
定し、ワイヤの他端を移動部に固定したロータリーエン
コーダに取り付けたことを特徴とする請求項1,又は2
記載のリニアモータ走行軸の位置検出機構。
4. The rotary encoder, wherein one end of the wire is fixed to a fixed side of a traveling shaft, and the other end of the wire is fixed to a moving portion.
The linear motor traveling shaft position detection mechanism described.
【請求項5】 前記ワイヤの一端を走行軸の固定側に固
定し、ワイヤの他端を走行軸の固定側に固定したロータ
リーエンコーダに取り付け、ワイヤの中間部が移動部を
通過するよう取り付けたことを特徴とする請求項1,又
は2記載のリニアモータ走行軸の位置検出機構。
5. A rotary encoder having one end of the wire fixed to a fixed side of the traveling shaft and the other end of the wire fixed to a fixed side of the traveling shaft, the middle part of the wire passing through a moving part. The position detecting mechanism for the linear motor traveling shaft according to claim 1 or 2.
【請求項6】 前記ワイヤの一端を移動部に固定し、ワ
イヤの他端を走行軸の一方の固定側に固定したロータリ
ーエンコーダを介して他方の固定側に固定したことを特
徴とする請求項1,又は2記載のリニアモータ走行軸の
位置検出機構。
6. The one end of the wire is fixed to a moving part, and the other end of the wire is fixed to the other fixed side through a rotary encoder fixed to one fixed side of the traveling shaft. 1. A position detecting mechanism for a linear motor traveling shaft according to 1 or 2.
【請求項7】 前記ワイヤの一端を移動部の一方に固定
し、ワイヤの他端を走行軸の一方の固定側に固定したロ
ータリーエンコーダを介して移動部の他方に固定したこ
とを特徴とする請求項1,又は2記載のリニアモータ走
行軸の位置検出機構。
7. One end of the wire is fixed to one of the moving parts, and the other end of the wire is fixed to the other of the moving parts via a rotary encoder fixed to one fixed side of the traveling shaft. The position detecting mechanism for the linear motor traveling shaft according to claim 1 or 2.
【請求項8】 前記ワイヤの一端を移動部の一方に固定
し、ワイヤの他端を走行軸の一方の固定側に固定した第
1のロータリーエンコーダと走行軸の他方の固定側に固
定した第2のロータリーエンコーダを介して移動部の他
方に固定したことを特徴とする請求項1,又は2記載の
リニアモータ走行軸の位置検出機構。
8. A first rotary encoder having one end of the wire fixed to one of the moving portions and the other end of the wire fixed to one fixed side of the traveling shaft, and a first rotary encoder fixed to the other fixed side of the traveling shaft. The position detecting mechanism of the linear motor traveling shaft according to claim 1, wherein the position detecting mechanism is fixed to the other of the moving parts via a rotary encoder of 2.
【請求項9】 前記ワイヤの一端を走行軸の一方の固定
側に固定し、移動部に設けたロータリーエンコーダを介
して走行軸の他方の固定側に固定したことを特徴とする
請求項1,又は2記載のリニアモータ走行軸の位置検出
機構。
9. The wire according to claim 1, wherein one end of the wire is fixed to one fixed side of the traveling shaft, and is fixed to the other fixed side of the traveling shaft via a rotary encoder provided in a moving portion. Alternatively, the position detecting mechanism of the linear motor traveling shaft according to the item 2.
【請求項10】 前記ワイヤはロータリーエンコーダに
少なくとも一回巻回することを特徴とする請求項9記載
のリニアモータ走行軸の位置検出機構。
10. The position detecting mechanism for a linear motor traveling shaft according to claim 9, wherein the wire is wound around a rotary encoder at least once.
【請求項11】 前記ワイヤはロータリーエンコーダと
圧接することを特徴とする請求項9記載のリニアモータ
走行軸の位置検出機構。
11. The position detecting mechanism for a linear motor traveling shaft according to claim 9, wherein the wire is in pressure contact with a rotary encoder.
【請求項12】 前記ワイヤ巻取り機構は、巻取りバネ
によって一方向のトルクが付与されたワイヤドラムを備
えたことを特徴とする請求項2記載のリニアモータ走行
軸の位置検出機構。
12. The position detecting mechanism for a linear motor traveling shaft according to claim 2, wherein the wire winding mechanism includes a wire drum to which torque in one direction is applied by a winding spring.
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