JPH09207051A - Electrostatic capacity type copying sensor supporting mechanism - Google Patents

Electrostatic capacity type copying sensor supporting mechanism

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JPH09207051A
JPH09207051A JP1794096A JP1794096A JPH09207051A JP H09207051 A JPH09207051 A JP H09207051A JP 1794096 A JP1794096 A JP 1794096A JP 1794096 A JP1794096 A JP 1794096A JP H09207051 A JPH09207051 A JP H09207051A
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sensing plate
support mechanism
machining head
sensor
swivel joint
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Yoshiro Sato
善郎 佐藤
Koji Yoshioka
耕治 吉岡
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To relax the generation of an impact due to a rear-end collision between a work and a detecting plate, to stabilize copying operation of a cutting finishing machine, and to move aside an electrostatic capacity type copying sensor support mechanism by a method wherein a sensor part arranged in the vicinity of a machining head is vertically moved or inclined at a given angle in such a manner to match with the surface shape of a work. SOLUTION: A sensor part comprises a guard electrode 7 supported at the side of a machining head 1; a sensing plate C arranged in the vicinity of the machining head 1 by the guard electrode 7; a support mechanism to movably support the sensing plate C arranged in the middle of the guard electrode 7. The support mechanism comprises a vertical movement mechanism 6 to vertically slide a swivel joint 12; and a spring means to hold the sensing plate C at a given angle by exerting a resilient force on the vertical movement mechanism 6.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス切断、プラズ
マ切断、パウダーマーキング等によって鋼板を切断する
切断加工器本体に、静電容量を測定して加工ヘッドと被
加工材間の距離を一定に保つセンサー部を設けた静電容
量式倣いセンサー支持機構に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a cutting machine body for cutting a steel sheet by gas cutting, plasma cutting, powder marking, etc., to measure the electrostatic capacity and to keep the distance between the processing head and the work piece constant. The present invention relates to a capacitance type scanning sensor support mechanism provided with a holding sensor unit.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、加工ヘッドと被加工材の加工面と
の距離を一定に保ちながら鋼板等の切断を行う切断加工
機がある。この切断加工機では、加工ヘッド近傍を取り
囲むようにしてセンサーリングと呼ばれる環状の電極を
設け、この電極と被加工材との間の距離の変化をこれら
の間の静電容量の変化として検知するようにしたセンサ
ー部が設けられている。また、前記センサーリングは、
中心電極線および同軸ケーブルを介して制御部に接続さ
れている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is a cutting machine for cutting a steel plate or the like while keeping a constant distance between a machining head and a machining surface of a workpiece. In this cutting machine, an annular electrode called a sensor ring is provided so as to surround the vicinity of the machining head, and a change in the distance between this electrode and the workpiece is detected as a change in the capacitance between them. The sensor unit thus configured is provided. In addition, the sensor ring,
It is connected to the control unit via the center electrode wire and the coaxial cable.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このような構成のセン
サー部および中心電極線は、電気的および機械的な保護
手段が全く構じられていないため、作業時に接近する人
体やその他の導体、あるいは、切断加工時に発生する熱
などの影響を受け、測定した静電容量の誤差の原因とな
る。このため、制御部が距離を誤って認識し、切断加工
機の倣い動作が不安定なものになっていた。このこと
は、急激な高さ変化や障害物を有する被加工材の切断時
に、加工ヘッドが加工面に追突し、この変化ともなって
センサー部を破損してしまうといった問題をも発生させ
ていた。また、加工ヘッドにあっては、被加工材の厚さ
や切断トーチ先端部の消耗等により切断トーチの交換作
業を頻繁に行う必要があるため、加工ヘッド付近を取り
囲む位置に設けられたセンサー部は、その交換作業の能
率を妨げるものとなっていた。
Since the sensor section and the center electrode wire having such a structure have no electrical and mechanical protection means, the human body and other conductors approaching at the time of work, or However, it is affected by heat generated during cutting and causes an error in the measured capacitance. Therefore, the control unit erroneously recognizes the distance, and the copying operation of the cutting machine becomes unstable. This causes a problem that the processing head collides with the processing surface when the workpiece having a sudden height change or an obstacle is cut, and the sensor portion is damaged due to this change. Further, in the machining head, since it is necessary to frequently replace the cutting torch due to the thickness of the material to be processed and the wear of the tip of the cutting torch, etc., the sensor provided near the machining head is , Which hinders the efficiency of the replacement work.

【0004】本発明では、加工ヘッド近傍に設けられた
センサー部からの感知信号を制御部に伝達する中心電極
線が、切断加工時に接近する被加工材以外の導体および
加工時に発生する熱によって生じる静電容量の測定値の
誤認を防ぐとともに、高さ倣い手段の不使用時には、セ
ンサー部を加工ヘッド近傍の静電容量検知位置から外れ
た待避位置に待避させて、切断トーチの交換作業能率を
向上させることを目的とする。
According to the present invention, the center electrode line for transmitting the sensing signal from the sensor unit provided in the vicinity of the machining head to the control unit is generated by the conductor other than the work material approaching at the time of cutting and heat generated at the time of machining. In addition to preventing erroneous recognition of the measured value of the electrostatic capacity, when the height copying means is not used, the sensor section is retracted to a retracted position near the machining head, away from the electrostatic capacitance detection position, to improve the cutting torch replacement work efficiency. The purpose is to improve.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】被加工材の表面に沿って
移動しながら所定の加工を行う加工ヘッドと、この加工
ヘッドと一体に移動しながら被加工材の表面との距離を
測定するセンサー部と、このセンサー部に測定された距
離に基づいて前記加工ヘッドの高さを制御する制御部と
からなる加工装置において、前記センサー部は、前記加
工ヘッドに一体に設けられた固定部により加工ヘッドの
側部に支持され、内部に電極線が挿通された筒体と、こ
の筒体によって前記加工ヘッドの近傍に支持された感知
板と、前記筒体の途中に設けられて感知板を移動可能に
支持する支持機構とから構成されたことを特徴とするも
のである。
[Means for Solving the Problems] A machining head for performing a predetermined machining while moving along a surface of a work material, and a sensor for measuring a distance between the surface of the work material while moving integrally with the machining head. And a control unit that controls the height of the machining head based on the distance measured by the sensor unit, wherein the sensor unit is machined by a fixed unit integrally provided on the machining head. A cylinder supported on the side of the head and having an electrode wire inserted therein, a sensing plate supported by the cylinder near the processing head, and a sensing plate provided in the middle of the cylinder to move the sensing plate. It is characterized in that it is composed of a support mechanism that supports it as much as possible.

【0006】前記支持機構は、前記感知板に球面を介し
て摺動自在に支持するスイベル継手と、このスイベル継
手を上下方向に摺動自在に支持する上下動機構と、これ
らスイベル継手および上下動機構に弾性力を作用させて
前記感知板を所定の角度に保つばね手段とからなること
を特徴とするものである。また、前記筒体をフレキシブ
ル金属管により構成したことを特徴とするものである。
The support mechanism includes a swivel joint slidably supported on the sensing plate via a spherical surface, a vertical movement mechanism slidably supporting the swivel joint in the vertical direction, and the swivel joint and the vertical movement. It is characterized by comprising spring means for applying an elastic force to the mechanism to keep the sensing plate at a predetermined angle. Further, it is characterized in that the cylindrical body is constituted by a flexible metal tube.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】図1および2は倣いセンサー支持
機構の一実施形態を示すものであって、符号1は加工ヘ
ッドである。この加工ヘッド1は、被加工面2に沿って
移動する移動部3と、この移動部3に支持された加工ヘ
ッド本体4とから構成されている。なお前記加工ヘッド
本体4には、具体的には、ガス切断トーチ、レーザー加
工ヘッド、プラズマ加工装置が用いられていて、前記被
加工面2に対して切断加工などを施すようになってい
る。
1 and 2 show an embodiment of a copy sensor support mechanism, in which reference numeral 1 is a machining head. The processing head 1 is composed of a moving part 3 that moves along the surface 2 to be processed, and a processing head body 4 supported by the moving part 3. A gas cutting torch, a laser processing head, and a plasma processing apparatus are specifically used for the processing head body 4, and the processing surface 2 is subjected to cutting processing and the like.

【0008】前記移動部3には、支持ブラケット5が設
けられており、この支持ブラケット5には、上下動機構
6を介して、支持管7が支持されている。また符号8は
ボルトであって、このボルト8を中心として、支持ブラ
ケット5に対して、上下動機構6および支持管7が回動
することができるようになっている。
A support bracket 5 is provided on the moving portion 3, and a support pipe 7 is supported on the support bracket 5 via a vertical movement mechanism 6. Further, reference numeral 8 is a bolt, and the vertical movement mechanism 6 and the support pipe 7 can rotate with respect to the support bracket 5 around the bolt 8.

【0009】前記支持管7の下端は、球形のスイベルニ
ップル9と一体化されており、このスイベルニップル9
は、これに対応する形状の球面状の凹部を有する分割構
造のスイベル継手部材10により囲まれていて、これら
が互いに摺動することができるようになっている。前記
スイベル継手部材10の外周には雄ネジが設けられてい
て、この雄ネジにスイベルナット11がねじ込まれてい
る。このスイベルナット11は、前記スイベル継手部材
10にねじ込むことにより、スイベル継手部材10を一
体化して前記スイベルニップル9を支持させるようにな
っている。そして、前記スイベルニップル9、スイベル
継手部材10、および、スイベルナット11によってス
イベル継手12が構成されている。また、前記支持管7
が前記上下動機構6に支持されることにより、前記スイ
ベル継手12の全体が軸線方向(図1の上下方向)に移
動自在に支持されている。前記スイベルナット10の下
部には、上部にフランジを有する筒状をなすフランジニ
ップル13が摺動自在に挿入されており、このフランジ
ニップル13の上面と前記スイベルニップル10との間
には、一対の皿ばね14が上下に重ねて設けられてい
て、スイベルニップル10の回転、および、フランジニ
ップル13の上下動により弾性変形するようになってい
る。さらに、前記スイベル継手部材10の上部には、フ
ランジ15を介して圧縮ばね16が設けられていて、前
記支持ブラケット5に対する支持管7の移動により弾性
変形するようになっている。
The lower end of the support tube 7 is integrated with a spherical swivel nipple 9.
Is surrounded by a swivel joint member 10 having a divided structure having a spherical concave portion having a shape corresponding to this, and these can slide with respect to each other. A male screw is provided on the outer circumference of the swivel joint member 10, and a swivel nut 11 is screwed into the male screw. The swivel nut 11 is adapted to support the swivel nipple 9 by screwing it into the swivel joint member 10 to integrate the swivel joint member 10. The swivel nipple 9, the swivel joint member 10, and the swivel nut 11 constitute a swivel joint 12. In addition, the support tube 7
Is supported by the vertical movement mechanism 6, so that the entire swivel joint 12 is movably supported in the axial direction (vertical direction in FIG. 1). In the lower part of the swivel nut 10, a cylindrical flange nipple 13 having a flange on the upper part is slidably inserted, and between the upper surface of the flange nipple 13 and the swivel nipple 10, a pair of The disc springs 14 are provided one above the other and are elastically deformed by the rotation of the swivel nipple 10 and the vertical movement of the flange nipple 13. Further, a compression spring 16 is provided on the upper part of the swivel joint member 10 via a flange 15 so as to be elastically deformed by the movement of the support pipe 7 with respect to the support bracket 5.

【0010】前記フランジニップル13には、上側感知
板17と下側感知板18とから構成されている感知板C
を支持する感知板支持パイプ19が取り付けられてい
る。前記上側感知板17は、ほぼ前記加工ヘッド4を中
心とする環状をなし、その下部には、同一の平面形状を
有する下側感知板18が設けられている。これらの感知
板のうち、下側感知板18は被加工面2と向き合うこと
により、被加工面2との間の静電容量が変化する電極と
して機能し、また、上側感知板17は、前記下側感知板
18を保護する機能を果たしている。前記上下の検知板
の17、18の間には、絶縁板20、20が介在してい
て、両者を電気的に絶縁し、これらは、ボルト21によ
って一体に結合されている。また図2の左側の一方の絶
縁板20は、さらに下側感知板18と感知板接続パイプ
19とを電気的に絶縁している。前記下側感知板18に
は、感知電極線22が接続されている。この感知電極線
22は、絶縁管23を介して絶縁されて前記感知板支持
パイプ19および支持管7内を配線され、図示しない制
御部に接続されている。なお絶縁管23は、例えばセラ
ミックにより構成されており、製作の容易さ、あるいは
取扱いの容易さを考慮して、長手方向に分割した構造と
することが望ましい。
The flange nipple 13 has a sensing plate C composed of an upper sensing plate 17 and a lower sensing plate 18.
A sensing plate support pipe 19 for supporting the is attached. The upper sensing plate 17 has an annular shape with the machining head 4 as a center, and a lower sensing plate 18 having the same planar shape is provided below the upper sensing plate 17. Among these sensing plates, the lower sensing plate 18 functions as an electrode whose capacitance between the lower sensing plate 18 and the surface 2 to be machined changes, and the upper sensing plate 17 is It serves to protect the lower sensing plate 18. Insulating plates 20 and 20 are interposed between the upper and lower detection plates 17 and 18 to electrically insulate them from each other, and these are integrally connected by a bolt 21. Further, one insulating plate 20 on the left side of FIG. 2 further electrically insulates the lower sensing plate 18 and the sensing plate connecting pipe 19. A sensing electrode wire 22 is connected to the lower sensing plate 18. The sensing electrode wire 22 is insulated through an insulating tube 23, wired inside the sensing plate support pipe 19 and the support tube 7, and connected to a controller (not shown). The insulating tube 23 is made of, for example, ceramic, and it is desirable that the insulating tube 23 has a structure divided in the longitudinal direction in consideration of easiness of manufacturing or handling.

【0011】次に、本実施形態の作用について説明す
る。通常の制御においては、感知板Cと被加工材2の表
面との間隔が表面との間の静電容量の変化として検出さ
れ、この検出された間隔によって加工ヘッド1を制御し
て上下動させることにより、図1中、実線で示した状態
でこの表面との間の間隔を一定に保つ加工が行われる。
これに対し、被加工材2の表面形状の予期しない変化に
より、感知板Cが被加工材2の平面に接触した場合は、
接触面による該感知板Cの下からの押圧に連動してフラ
ンジニップル13が下から押圧される。感知板Cを上下
方向に移動することにより被加工材2との接触が回避可
能な場合には該フランジニップル13が自在継手9に設
けられたスイベル継手部材11を上方向に摺動させるこ
とによってフランジ15を介して圧縮ばね16が下から
圧縮される。
Next, the operation of the present embodiment will be described. In normal control, the distance between the sensing plate C and the surface of the workpiece 2 is detected as a change in capacitance between the surface, and the processing head 1 is controlled to move up and down according to the detected distance. As a result, in the state shown by the solid line in FIG. 1, processing for maintaining a constant distance from this surface is performed.
On the other hand, when the sensing plate C contacts the flat surface of the work material 2 due to an unexpected change in the surface shape of the work material 2,
The flange nipple 13 is pressed from below in conjunction with the pressing of the sensing plate C from below by the contact surface. When the contact with the workpiece 2 can be avoided by moving the sensing plate C in the vertical direction, the flange nipple 13 slides the swivel joint member 11 provided on the universal joint 9 in the upward direction. The compression spring 16 is compressed from below via the flange 15.

【0012】また、感知板Cを傾斜させることにより、
被加工材2との接触が回避可能な場合には、該感知板C
は被加工材2の傾斜角度に沿って傾いたまま、感知板支
持パイプ19を介してフランジニップル13を下から押
圧する。このとき、自在継手12内では、まず、皿ばね
14が傾斜して弾性変形し、これに従ってスイベルニッ
プル9がスイベル継手部材10内を摺動する。該スイベ
ルニップル9は、球面状をなす該スイベル継手部材10
の内面と摺動して、図1の鎖線で示すように自在継手1
2を中心として回動することにより傾斜することができ
る。そして、さらに押し上げられると、この傾斜状態の
まま、下からフランジニップル15を押圧して圧縮ばね
16を弾性変形させながら、支持管7を支持ブラケット
5に対してスライドさせて上方へ移動することができ
る。なお、いずれの場合も、被加工材2との接触が回避
され、下からの押圧が解除されると圧縮ばね16の伸張
によって感知板Cは本来の定位置に押し戻される(下方
向移動)。さらに、加工部の保守点検あるいは、厚板の
切断などのように加工ヘッド1の高さ制御が不要の場合
には、ボルト8を緩め、この軸を中心として、上下動機
構6を支持管7およびこれより下側の部分とともに一体
に回転させて(図1の紙面と直交する方向へ回動させ
て)上方へ待避させればよい。
By tilting the sensing plate C,
When the contact with the workpiece 2 can be avoided, the sensing plate C
Presses the flange nipple 13 from below via the sensing plate support pipe 19 while tilting along the inclination angle of the workpiece 2. At this time, in the universal joint 12, first, the disc spring 14 is inclined and elastically deformed, and accordingly, the swivel nipple 9 slides in the swivel joint member 10. The swivel nipple 9 has a spherical shape.
Sliding with the inner surface of the universal joint 1 as shown by the chain line in FIG.
It can be tilted by rotating about 2. Then, when further pushed up, the support pipe 7 can be slid and moved upward with respect to the support bracket 5 while pressing the flange nipple 15 from below and elastically deforming the compression spring 16 in this inclined state. it can. In any case, contact with the workpiece 2 is avoided, and when the pressing from below is released, the sensing plate C is pushed back to its original fixed position by the expansion of the compression spring 16 (downward movement). Further, when it is not necessary to control the height of the processing head 1 such as maintenance and inspection of the processing section or cutting of a thick plate, the bolt 8 is loosened, and the vertical movement mechanism 6 is supported by the support tube 7 about this axis. Also, it may be rotated integrally with the lower part (rotating in the direction orthogonal to the paper surface of FIG. 1) and retracted upward.

【0013】次いで、図3は本発明の他の実施形態を示
すものである。この実施形態にあっては、前記一実施形
態の自在継手に代えて、フレキシブル金属管30を使用
した基本構成となっている。このフレキシブル金属管3
0は、ステンレスなどの帯鋼をその一方の縁を一部ずつ
オーバラップさせながら螺旋状に成形ししたもので、前
記オーバラップ部が互いに摺動することにより、必要な
屈曲した形状を維持することができるようになってい
る。また、このフレキシブル金属管30の内側には、長
手方向に方向多数のセラミック製短管を並べてなる絶縁
管23が設けられ、絶縁管23内に前記感知電極線22
が挿通されている。
Next, FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, a flexible metal pipe 30 is used in place of the universal joint of the above-described one embodiment. This flexible metal tube 3
Reference numeral 0 denotes a strip steel made of stainless steel or the like, which is formed in a spiral shape while partially overlapping one edge thereof, and the necessary bent shape is maintained by sliding the overlapping portions with each other. Is able to. Further, an insulating tube 23 formed by arranging a plurality of ceramic short tubes in the longitudinal direction is provided inside the flexible metal tube 30, and the sensing electrode wire 22 is provided in the insulating tube 23.
Is inserted.

【0014】また前記フレキシブル金属管30の下端に
は、感知板Cに連結された雄ねじ部材31にねじ込まれ
る雌ねじ部材32が取り付けられていて、これら雄ネジ
部材31および雌ねじ部材32から構成される連結部を
介して前記感知板Cが着脱可能に支持されている。一
方、前記フレキシブル金属管30の上端は、前記コネク
タ33と同様に雄ねじ部材31と雌ねじ部材32とから
構成された連結部を介して支持ブラケット5に着脱可能
に連結されている。
A female screw member 32 screwed into a male screw member 31 connected to the sensing plate C is attached to the lower end of the flexible metal tube 30. The male screw member 31 and the female screw member 32 are connected to each other. The sensing plate C is detachably supported via the section. On the other hand, the upper end of the flexible metal tube 30 is detachably connected to the support bracket 5 via a connecting portion composed of a male screw member 31 and a female screw member 32 like the connector 33.

【0015】この実施形態にあっては、感知板Cに何ら
かの外力が作用した場合にフレキシブル金属管30が種
々に屈曲して、その破損を防止することができる。ま
た、フレキシブル金属管30を必要に応じて屈曲させる
ことにより、感知板Cを加工ヘッド本体4の周囲から待
避させてメインテナンスなどを行うことができる。ま
た、フレキシブル金属管30の屈曲に伴い、その内部の
絶縁管23は、長手方向に方向に多数分割された構造と
なっているため、フレキシブル金属管の30の屈曲状態
に容易に追随することができる。
In this embodiment, when the sensing plate C is subjected to some external force, the flexible metal tube 30 is bent in various ways to prevent the damage. Further, by bending the flexible metal tube 30 as necessary, the sensing plate C can be retracted from the periphery of the processing head body 4 to perform maintenance or the like. In addition, as the flexible metal tube 30 is bent, the insulating tube 23 inside the flexible metal tube 30 is divided into a plurality of parts in the longitudinal direction, so that the bent state of the flexible metal tube 30 can be easily followed. it can.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる静
電容量式倣いセンサー支持機構によれば、被加工材の表
面形状の予期しない変化により、感知板が被加工材と接
触した場合は、接触面の押圧に従って該感知板を上下方
向(加工ヘッドと平行な方向)へ移動させ、あるいは傾
斜させて待避させることができ、感知板と被加工材との
追突による衝撃を緩和し、被加工材の表面形状に沿った
切断加工作業を続行させることが可能となった。
As described above, according to the capacitance type scanning sensor support mechanism of the present invention, when the sensing plate comes into contact with the work piece due to an unexpected change in the surface shape of the work piece, The sensing plate can be moved in the vertical direction (parallel to the processing head) according to the pressure of the contact surface, or can be tilted to be retracted, and the impact due to the rear-end collision between the sensing plate and the workpiece can be mitigated. It became possible to continue the cutting work along the surface shape of the processed material.

【0017】また、感知板に静電容量を感知する電極と
して機能する下側感知板上に同一平面形状をなす上側感
知板を設け、感知信号を制御部に伝達する中心電極線を
ガード電極によって電気的に保護することによって、作
業時に接近する人体やその他の導体あるいは切断加工時
に発生する熱などの影響を受けることなく安定した倣い
動作を行うことが可能となった。
Further, the sensing plate is provided with an upper sensing plate having the same plane shape on the lower sensing plate which functions as an electrode for sensing capacitance, and a center electrode line for transmitting a sensing signal to the control unit is provided by a guard electrode. The electrical protection makes it possible to perform a stable copying operation without being affected by the human body or other conductors approaching during work or heat generated during cutting.

【0018】また、厚板切断の場合のような感知板(セ
ンサー)を使用しない加工の場合、および加工ヘッドの
保守点検作業に際しては、支持軸を中心として感知板お
よびこれを支持する支持管全体を上方へ回転させること
により、センサー部を静電容量検知位置から外れた退避
位置に退避させることが可能となった。
Further, in the case of machining that does not use a sensing plate (sensor) such as in the case of cutting a thick plate, and in the maintenance and inspection work of the machining head, the sensing plate and the entire supporting tube supporting the sensing shaft are centered around the supporting shaft. It is possible to retract the sensor unit to a retracted position that is out of the capacitance detection position by rotating the sensor upward.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の一実施形態にかかる静電容量式倣い
センサー支持機構の側面図である。
FIG. 1 is a side view of a capacitance type scanning sensor support mechanism according to an embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の一実施形態かかる静電容量式倣いセ
ンサー支持機構におけるセンサー部の側断面図である。
FIG. 2 is a side sectional view of a sensor portion in the electrostatic capacity type scanning sensor support mechanism according to the embodiment of the present invention.

【図3】 本発明の他の実施形態にかかる静電容量式倣
いセンサー支持機構におけるセンサー部の部分断面図で
ある。
FIG. 3 is a partial cross-sectional view of a sensor unit in a capacitance type scanning sensor support mechanism according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 加工ヘッド 2 被加工材 3 移動部 4 加工
ヘッド本体、7 支持管 9 スイベルニップル 10
スイベル継手部材 11 スイベルナット 13 フ
ランジニップル 14 皿ばね 16 圧縮ばね
1 Processing Head 2 Workpiece Material 3 Moving Part 4 Processing Head Body, 7 Support Tube 9 Swivel Nipple 10
Swivel joint member 11 Swivel nut 13 Flange nipple 14 Disc spring 16 Compression spring

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被加工材の表面に沿って移動しながら所定
の加工を行う加工ヘッドと、この加工ヘッドと一体に移
動しながら被加工材の表面との距離を測定するセンサー
部と、このセンサー部に測定された距離に基づいて前記
加工ヘッドの高さを制御する制御部とからなる加工装置
において、 前記センサー部は、前記加工ヘッドに一体に設けられた
固定部により加工ヘッドの側部に支持され、内部に電極
線が挿通された筒体と、 この筒体によって前記加工ヘッドの近傍に支持された感
知板と、 前記筒体の途中に設けられて感知板を移動可能に支持す
る支持機構とから構成されたことを特徴とする加工装置
の静電容量式倣いセンサー支持機構。
1. A machining head for performing a predetermined machining while moving along a surface of a workpiece, a sensor section for measuring a distance from the surface of the workpiece while moving integrally with the machining head, In a processing device comprising a control unit that controls the height of the processing head based on a distance measured by a sensor unit, the sensor unit includes a fixing unit integrally provided on the processing head, and a side portion of the processing head. And a sensing plate supported in the vicinity of the machining head by the tubular body, and a sensing plate provided in the middle of the tubular body to movably support the sensing plate. A capacitance type scanning sensor support mechanism for a processing apparatus, which comprises a support mechanism.
【請求項2】前記支持機構は、前記筒体に球面を介して
摺動自在に支持するスイベル継手と、このスイベル継手
を上下方向に摺動自在に支持する上下動機構と、これら
スイベル継手および上下動機構に弾性力を作用させて前
記感知板を所定の角度に保つばね手段とからなることを
特徴とする請求項1に記載の静電容量式倣いセンサー支
持機構。
2. A swivel joint for slidably supporting the cylindrical body through a spherical surface, a vertical movement mechanism for slidably supporting the swivel joint in a vertical direction, and the swivel joint. 2. The electrostatic capacity type scanning sensor support mechanism according to claim 1, further comprising spring means for applying an elastic force to the vertical movement mechanism to keep the sensing plate at a predetermined angle.
【請求項3】前記感知板を支持する筒体をフレキシブル
金属管により構成したことを特徴とする請求項1に記載
の静電容量式倣いセンサー支持機構。
3. The capacitance type scanning sensor support mechanism according to claim 1, wherein the cylindrical body supporting the sensing plate is made of a flexible metal tube.
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