JPH09205306A - Microwave circuit element and manufacture thereof - Google Patents

Microwave circuit element and manufacture thereof

Info

Publication number
JPH09205306A
JPH09205306A JP28689396A JP28689396A JPH09205306A JP H09205306 A JPH09205306 A JP H09205306A JP 28689396 A JP28689396 A JP 28689396A JP 28689396 A JP28689396 A JP 28689396A JP H09205306 A JPH09205306 A JP H09205306A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dielectric
strip line
circuit element
dielectric material
microwave circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28689396A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuya Fukai
徹也 深井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Soshin Electric Co Ltd
Original Assignee
Soshin Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Soshin Electric Co Ltd filed Critical Soshin Electric Co Ltd
Priority to JP28689396A priority Critical patent/JPH09205306A/en
Publication of JPH09205306A publication Critical patent/JPH09205306A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent exfolication of a strip line by selecting a dielectric constant of a center dielectric material and an inner dielectric material almost the same and the dielectric constant of each dielectric of the inner dielectric material and an outer dielectric material different so as to make a microwave circuit element small. SOLUTION: A sintered body formed by a plate like center dielectric material 2 on which a strip line of a length of λ/4 is formed on both sides, an inner dielectric material 7 provided on both sides of the center dielectric material 2 and coating at least a strip line 6, and an outer dielectric material 3 provided onto the inner dielectric material 7 through pressing and sintering is provided and an earth electrode 4 and a terminal electrode 5 are formed on an outer information face of the sintered body. Dielectric constants A, B of the center dielectric material 2 and the inner dielectric material 7 are selected nearly the same and dielectric constants B, C of the center dielectric material 2 and the outer dielectric material 3 are selected different. Even when the interval between the strip line 6 and the earth electrode 4 is made barrow, a prescribed impedance is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はマイクロ波回路素子
に係り、特に誘電体にストリップラインを設けて構成し
たマイクロ波回路素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microwave circuit element, and more particularly to a microwave circuit element formed by providing a strip line on a dielectric.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種の回路素子は、ある誘電率
の誘電体にストリップラインを形成し、さらに誘電体を
重ねた上にアース電極を設けて構成している。この場
合、ストリップラインの長さは、対象マイクロ波の波長
をλとしてλ/4長に選ぶ。そして、このλ/4は、誘
電体の誘電率εにより1/(ε1/2 )として定まる。そ
こで、マイクロ波回路素子を小型に形成するには、誘電
率εの大きい誘電体を用いることになる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a circuit element of this type is constructed by forming a strip line on a dielectric material having a certain dielectric constant, and further stacking the dielectric material and providing a ground electrode. In this case, the length of the strip line is selected to be λ / 4 length, where λ is the wavelength of the target microwave. Then, this λ / 4 is determined as 1 / (ε 1/2 ) by the dielectric constant ε of the dielectric. Therefore, in order to form the microwave circuit element in a small size, a dielectric having a large dielectric constant ε is used.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、誘電率
εの大きい誘電体を用いると、ストリップラインのイン
ピーダンスが低くなるのを防ぐために、アース電極との
間隔を広げる必要がある。これには、ストリップライン
上に重ねる誘電体の厚みを大きくする必要があるから、
回路素子の厚みも増す結果となり、誘電率εの大きい誘
電体を用いても、必ずしも小型化が図れないことにな
る。
However, when a dielectric having a large dielectric constant ε is used, it is necessary to widen the distance from the ground electrode in order to prevent the impedance of the strip line from being lowered. To do this, it is necessary to increase the thickness of the dielectric that is stacked on the strip line,
As a result, the thickness of the circuit element also increases, and even if a dielectric having a large dielectric constant ε is used, it is not always possible to reduce the size.

【0004】本発明は上述の点を考慮してなされたもの
で、長さだけでなく厚みも薄くできるマイクロ波回路素
子を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a microwave circuit element which can be made thin not only in length but also in thickness.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明のマイクロ波回路素子は、誘電体基板上に
λ/4長のストリップラインを設け、さらに他の誘電体
を重ね、この他の誘電体上にアース電極を設けてなるマ
イクロ波回路素子において、前記ストリップラインに接
する部分の誘電体と他の部分の誘電体の誘電率とが異な
ること、特に該他の部分の誘電体の誘電率を低くしたこ
とを特徴としている。
In order to achieve the above object, the microwave circuit element of the present invention has a strip line of λ / 4 length provided on a dielectric substrate, and further has another dielectric layer stacked thereon. In a microwave circuit element in which a ground electrode is provided on another dielectric, the dielectric constant of the portion in contact with the strip line and the dielectric constant of the other portion are different, and particularly the dielectric of the other portion. It is characterized by a low dielectric constant.

【0006】上記構成によれば、ストリップラインに接
する誘電体は、ストリップラインの長さを適当に選ぶた
めに有効な誘電率を持った誘電体を用いる。そして、ス
トリップライン上に重ねる誘電体は、回路素子の厚みを
適当に選ぶために有効な誘電率を持った誘電体を用い
る。このように、マイクロ波回路素子におけるストリッ
プラインの長さと回路素子の厚みとを個別に切り離して
それぞれに適当な誘電体を選ぶことにより、マイクロ波
回路素子の小型化が図れる。
According to the above structure, the dielectric material in contact with the strip line has a dielectric constant effective for properly selecting the length of the strip line. As the dielectric to be stacked on the strip line, a dielectric having an effective permittivity for properly selecting the thickness of the circuit element is used. As described above, the length of the strip line and the thickness of the circuit element in the microwave circuit element are individually separated and an appropriate dielectric material is selected for each, so that the microwave circuit element can be downsized.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に基づいて説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0008】まず、図1は方向性結合器の一例を示すも
ので、この方向性結合器1は、平板状の中心誘電体2
と、該中心誘電体2の厚み方向両面に設けられる外側誘
電体3、3とで構成されるもので、その外周面には、ア
ース電極4及び端子電極5が形成されている。両誘電体
2、3は、それぞれ方向性結合器1の性能に応じた所定
の形状、厚さに形成されるもので、中心誘電体2の厚み
方向両面には、互いに重なり合うように所定の形状のス
トリップライン6がそれぞれ形成されている。このスト
リップライン6は、その端部が前記端子電極5に接続さ
れ、前記アース電極4は、端子電極5と絶縁された状態
で、方向性結合器1の略全面に設けられている。
First, FIG. 1 shows an example of a directional coupler. The directional coupler 1 has a flat central dielectric 2
And outer dielectrics 3 and 3 provided on both sides in the thickness direction of the central dielectric 2, and a ground electrode 4 and a terminal electrode 5 are formed on the outer peripheral surface thereof. Both of the dielectrics 2 and 3 are formed in a predetermined shape and thickness according to the performance of the directional coupler 1, and both sides of the central dielectric 2 in the thickness direction have a predetermined shape so as to overlap each other. Strip lines 6 are formed respectively. The strip line 6 has its end connected to the terminal electrode 5, and the ground electrode 4 is provided on substantially the entire surface of the directional coupler 1 while being insulated from the terminal electrode 5.

【0009】そして、図2及び図3に示すように、上記
ストリップライン6に接する部分の誘電体Aと他の部分
の誘電体Bとの誘電率を異なるものとしている。両誘電
体A、Bの誘電率の大小は、方向性結合器1に求められ
る性能や大きさにより適宜設定することができるが、通
常は、誘電体Bの誘電率を、誘電体Aの誘電率よりも小
さくする。
Then, as shown in FIGS. 2 and 3, the dielectric constant of the portion of the dielectric A in contact with the strip line 6 is different from that of the dielectric B of the other portion. The magnitudes of the dielectric constants of the two dielectrics A and B can be appropriately set according to the performance and size required for the directional coupler 1, but normally, the dielectric constant of the dielectric B is set to the dielectric constant of the dielectric A. Make it smaller than the rate.

【0010】すなわち、ストリップライン6に接する部
分の誘電体Aに誘電率の大きいものを使用することによ
り、ストリップライン6の長さを短く形成することがで
き、他の部分の誘電体Bに誘電率の小さいものを使用す
ることにより、アース電極4との間隔を狭くしても所定
のインピーダンスとすることができる。これにより、方
向性結合器1の小型化が図れる。
That is, by using a dielectric having a large dielectric constant as the dielectric A in the portion in contact with the strip line 6, the length of the strip line 6 can be shortened, and the dielectric B in the other portion can be made to have a dielectric constant. By using a material having a small ratio, a predetermined impedance can be obtained even if the distance between the ground electrode 4 and the earth electrode 4 is narrowed. As a result, the directional coupler 1 can be downsized.

【0011】なお、誘電体Aの寸法は、要求される性能
や製造の難易度等により適宜選定することができ、図2
のようにストリップライン6に接する中心部だけとして
もよく、図3のようにシート状のものを積層するように
してもよい。また、上記のように上下にアース電極4を
設けたトリプレート構成の他、下面にのみアース電極を
設けたマイクロストリップライン構成のものにも適用す
ることができる。
The size of the dielectric A can be appropriately selected according to the required performance, the degree of manufacturing difficulty, and the like.
As shown in FIG. 3, only the central portion in contact with the strip line 6 may be provided, or sheet-like products may be stacked as shown in FIG. Further, in addition to the triplate structure in which the ground electrodes 4 are provided on the upper and lower sides as described above, a microstrip line structure in which the ground electrodes are provided only on the lower surface can be applied.

【0012】さらに、前記誘電体A、Bとして、セラミ
ック粉末等の無機材料粉末と有機バインダーとの混合物
からなるグリーンシート基板を用い、これを積層して圧
着状態で焼結し、一体焼成することにより、各誘電体間
に隙間が生じることを防止でき、耐湿性の向上を図れ
る。
Furthermore, as the dielectrics A and B, a green sheet substrate made of a mixture of an inorganic material powder such as ceramic powder and an organic binder is used, which are laminated, sintered under pressure, and integrally fired. As a result, it is possible to prevent a gap from being formed between the dielectrics and improve the moisture resistance.

【0013】[0013]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のマイクロ
波回路素子は、ストリップラインに接する誘電体とこれ
に重ねてアース電極を設けるための誘電体とをそれぞれ
異なる誘電率のものとするようにしたため、所期寸法に
適した誘電体を選ぶことにより所望のマイクロ波回路素
子を構成することができ、λ/4長さのストリップライ
ンを用いた各種方向性結合器の小型化、低価格化を図れ
る。
As described above, in the microwave circuit element of the present invention, the dielectrics in contact with the strip lines and the dielectrics for providing the ground electrode overlying the strips have different dielectric constants. Therefore, it is possible to construct a desired microwave circuit element by selecting a dielectric that is suitable for the desired size, and to reduce the size and cost of various directional couplers using a stripline of λ / 4 length. Can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】方向性結合器の一例を示す分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of a directional coupler.

【図2】本発明の一実施の形態を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の他の実施の形態を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…方向性結合器 2…中心誘電体 3…外側誘電体 4…アース電極 5…端子電極 6…ストリップラ
イン A…ストリップラインに接する部分の誘電体 B…他の部分の誘電体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Directional coupler 2 ... Central dielectric 3 ... Outer dielectric 4 ... Ground electrode 5 ... Terminal electrode 6 ... Stripline A ... Dielectric in a portion in contact with the stripline B ... Dielectric in other portion

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成8年11月28日[Submission date] November 28, 1996

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【書類名】明細書[Document name] Statement

【発明の名称】マイクロ波回路素子及びマイクロ波回路
素子の製造方法
Title: Microwave circuit element and microwave circuit
Element manufacturing method

【特許請求の範囲】[Claims]

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はマイクロ波回路素子
及びその製造方法に係り、特に誘電体にストリップライ
ンを設けて構成したマイクロ波回路素子及びその製造方
に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a microwave circuit device.
And a manufacturing method thereof , in particular, a microwave circuit element constituted by providing a strip line on a dielectric and a manufacturing method thereof
About the law .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種の回路素子は、ある誘電率
の誘電体にストリップラインを形成し、さらに誘電体を
重ねた上にアース電極を設けて構成している。この場
合、ストリップラインの長さは、対象マイクロ波の波長
をλとしてλ/4長に選ぶ。そして、このλ/4長は、
誘電体の誘電率εにより1/(ε1/2 )として定まる。
そこで、マイクロ波回路素子を小型に形成するには、誘
電率εの大きい誘電体を用いることになる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a circuit element of this type is constructed by forming a strip line on a dielectric material having a certain dielectric constant, and further stacking the dielectric material and providing a ground electrode. In this case, the length of the strip line is selected to be λ / 4 length, where λ is the wavelength of the target microwave. And this λ / 4 length is
It is determined as 1 / (ε 1/2 ) by the dielectric constant ε of the dielectric.
Therefore, in order to form the microwave circuit element in a small size, a dielectric having a large dielectric constant ε is used.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、誘電率
εの大きい誘電体を用いると、ストリップラインのイン
ピーダンスが低くなるのを防ぐために、アース電極との
間隔を広げる必要がある。これには、ストリップライン
上に重ねる誘電体の厚みを大きくする必要があるから、
回路素子の厚みも増す結果となり、誘電率εの大きい誘
電体を用いても、必ずしも小型化が図れないことにな
る。
However, when a dielectric having a large dielectric constant ε is used, it is necessary to widen the distance from the ground electrode in order to prevent the impedance of the strip line from being lowered. To do this, it is necessary to increase the thickness of the dielectric that is stacked on the strip line,
As a result, the thickness of the circuit element also increases, and even if a dielectric having a large dielectric constant ε is used, it is not always possible to reduce the size.

【0004】そこで、本出願人は、誘電率の高い誘電体
である中心誘電体と、誘電率の低い外側誘電体を用意
し、そのうち、中心誘電体にストリップラインを形成し
た後、中心誘電体の両面にそれぞれ外側誘電体を配し、
圧着焼成して一つの焼成体とし、更に焼成体の外周面
に、前記ストリップラインに接続される端子電極及びア
ース電極を形成するようにしたマイクロ波回路素子(方
向性結合器)を提案している(実開平2−44408号
公報参照)。
Therefore, the applicant of the present invention has found that a dielectric having a high dielectric constant is used.
A central dielectric and an outer dielectric with a low dielectric constant are available.
Then, form a stripline on the center dielectric.
After that, place outer dielectrics on both sides of the center dielectric,
Pressure bonding firing to make one fired body, and the outer peripheral surface of the fired body
The terminal electrodes and electrodes connected to the strip line.
Microwave circuit element (method
Proposal of a directional coupler (Shokaihei 2-44408)
Gazette).

【0005】この場合、中心誘電体及び外側誘電体は、
その焼成時において、有機バインダー等が飛ばされるこ
とから、いわゆる焼き縮みが生じる。従って、製造上、
中心誘電体とストリップラインは、それぞれ焼き縮みの
度合い(以下、便宜的に焼き縮み率と記す)がほぼ同じ
である材料がそれぞれ選定される。
In this case, the central dielectric and the outer dielectric are
During the firing, organic binder, etc. may be removed.
Therefore, so-called shrinkage occurs. Therefore, in manufacturing,
The central dielectric and stripline are
The degree (hereinafter, referred to as shrinkage rate for convenience) is almost the same.
Are selected respectively.

【0006】しかし、中心誘電体と外側誘電体とをそれ
ぞれ異なる誘電率にする必要から、材料の選定によって
は、中心誘電体と外側誘電体の互いの焼き縮み率が異な
る場合がある。このような場合においては、誘電体の焼
成時に導体であるストリップラインが剥離するという現
象が生じるおそれがある。
However, the central and outer dielectrics are
Since it is necessary to have different dielectric constants,
Are different in the shrinkage rate of the center dielectric and the outer dielectric.
In some cases. In such a case, burn the dielectric
The current situation is that the strip line, which is a conductor, peels off when it is formed.
Elephant may occur.

【0007】本発明は上述の点を考慮してなされたもの
で、マイクロ波回路素子の小型化を図ることができると
共に、ストリップラインの剥離現象を防止することがで
きるマイクロ波回路素子及びマイクロ波回路素子の製造
方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in consideration of the above points , and it is possible to reduce the size of a microwave circuit element.
At the same time, it is possible to prevent the stripping phenomenon of the strip line.
Of microwave circuit elements and microwave circuit elements
The aim is to provide a method .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明に
係るマイクロ波回路素子は、両面にλ/4長のストリッ
プラインが形成された中心誘電体と、前記中心誘電体の
両面側に設けられ、少なくとも前記ストリップラインを
被覆する内側誘電体と、前記内側誘電体上に設けられる
外側誘電体とを具備し、前記中心誘電体、内側誘電体及
び外側誘電体を、それぞれセラミック粉末等の無機材料
粉末と有機バインダーとの混合物からなる材料で板状に
形成し、前記中心誘電体の両面にそれぞれ前記内側誘電
体と前記外側誘電体を積層し、圧着焼成して一つの焼成
体とし、前記焼成体の外周面に前記ストリップラインに
接続される端子電極及びアースパターンを形成し、前記
中心誘電体と前記内側誘電体の各誘電率をほぼ同一と
し、かつ、前記内側誘電体と前記外側誘電体の各誘電率
が異なるようにして構成する。
According to the first aspect of the present invention, there is provided:
Such a microwave circuit element has a strip of λ / 4 length on both sides.
Of the central dielectric having the plines formed thereon,
Provided on both sides, at least the strip line
An inner dielectric to cover and provided on said inner dielectric
An outer dielectric, the central dielectric, the inner dielectric and
And the outer dielectric are each made of an inorganic material such as ceramic powder.
Plate-shaped material made of a mixture of powder and organic binder
Form the inner dielectric on each side of the central dielectric.
Body and the outer dielectric are laminated and pressure-bonded and fired into a single fire
The strip line on the outer peripheral surface of the fired body
Forming a terminal electrode and a ground pattern to be connected,
The dielectric constants of the central dielectric and the inner dielectric are almost the same.
And the dielectric constants of the inner dielectric and the outer dielectric
Are configured differently.

【0009】これにより、まず、中心誘電体と、該中心
誘電体の両面側に設けられる内側誘電体並びに該内側誘
電体の外側に配される外側誘電体とをそれぞれセラミッ
ク粉末等の無機材料粉末と有機バインダーとの混合物か
らなる材料で板状に形成し、前記中心誘電体の両面にそ
れぞれ前記内側誘電体と前記外側誘電体を積層し、圧着
焼成して一つの焼成体としているため、中心誘電体、内
側誘電体及び外側誘電体を一体構造とすることができ、
各誘電体間の隙間の発生を防止することができる。
As a result, first, the center dielectric and the center
An inner dielectric provided on both sides of the dielectric and the inner dielectric
The outer dielectrics that are placed on the outside of the electric
Is it a mixture of inorganic powder such as powder and organic binder?
Is formed into a plate shape on both sides of the central dielectric.
The inner dielectric and the outer dielectric are laminated and crimped, respectively.
Since it is fired into one fired body,
The side dielectric and the outer dielectric can be made into an integral structure,
It is possible to prevent the formation of gaps between the dielectrics.

【0010】しかも、焼成体の外周面に、前記ストリッ
プラインに接続される端子電極及びアース電極を形成す
るようにしているため、部品点数を少なくすることが可
能となり、小型のマイクロ波回路素子とすることができ
る。
In addition, the strip is attached to the outer peripheral surface of the fired body.
Form the terminal and ground electrodes that are connected to the
Therefore, it is possible to reduce the number of parts.
Functioning as a small microwave circuit element
You.

【0011】また、ストリップラインと接する中心誘電
体と内側誘電体の各誘電率をほぼ同一とし、前記内側誘
電体と前記外側誘電体の各誘電率を異なるようにしてい
るため、中心誘電体及び内側誘電体の誘電率を高く、外
側誘電体の誘電率を低くすることが可能となる。その結
果、マイクロ波回路素子の小型化を達成させるために中
心誘電体及び内側誘電体の誘電率を高くしたとしても、
ストリップラインのインピーダンスの低下を招くことが
ないため、ストリップラインとアース電極との間隔、即
ち、外側誘電体の厚みを大きくする必要がなくなり、マ
イクロ波回路素子の小型化をより一層促進させることが
できる。
Also, the central dielectric contacting the strip line
The dielectric constants of the body and the inner dielectric are almost the same, and the inner dielectric
The dielectric constants of the electric body and the outer dielectric are different.
Therefore, the dielectric constant of the center dielectric and the inner dielectric is high, and
It is possible to reduce the dielectric constant of the side dielectric. The result
As a result, in order to achieve miniaturization of microwave circuit elements,
Even if the dielectric constant of the core dielectric and the inner dielectric is increased,
This may cause a drop in stripline impedance.
Since there is no gap between the strip line and the ground electrode,
This eliminates the need to increase the thickness of the outer dielectric,
To further promote miniaturization of microwave circuit elements
it can.

【0012】なお、マイクロ波回路素子の結合度を小さ
くしたい場合は、前記とは逆の設定、即ち、中心誘電体
及び内側誘電体の誘電率を低くし、外側誘電体の誘電率
を高くすればよい。
In addition, the degree of coupling of the microwave circuit element is small.
If you want to increase the setting, the opposite setting, that is, the central dielectric
And lower the dielectric constant of the inner dielectric and lower the dielectric constant of the outer dielectric.
Should be higher.

【0013】また、各誘電体は、その後の焼成時におい
て、有機バインダー等が飛ばされることから、いわゆる
焼き縮みが生じるが、本発明では、導体であるストリッ
プラインが形成される中心誘電体と該ストリップライン
を被覆する内側誘電体を共に焼き縮み率がほぼ同じであ
る材料を選定することができるため、前記焼成時におけ
るストリップラインの剥離現象は発生しなくなる。
Further , each of the dielectrics is exposed to heat during the subsequent firing.
Since the organic binder etc. are blown off,
Although shrinkage occurs, in the present invention, the strip that is a conductor is used.
Central dielectric on which the plane is formed and the strip line
The inner dielectrics that cover the
Since it is possible to select the material to be used,
The stripping phenomenon of the strip line will not occur.

【0014】このように、本発明に係るマイクロ波回路
素子においては、マイクロ波回路素子の小型化を図るこ
とができると共に、ストリップラインの剥離現象を防止
することができる。
Thus, the microwave circuit according to the present invention
As for the device, the microwave circuit device should be downsized.
It is possible to prevent strip line peeling phenomenon
can do.

【0015】次に、請求項2記載の本発明に係るマイク
ロ波回路素子の製造方法は、セラミック粉末等の無機材
料粉末と有機バインダーとの混合物からなる材料で所定
の誘電率を有する板状の中心誘電体と、該中心誘電体と
ほぼ同じ誘電率を有する板状の内側誘電体と、該内側誘
電体と異なる誘電率を有する板状の外側誘電体とをそれ
ぞれ作製する誘電体作製工程と、前記中心誘電体の両面
にλ/4長のストリップラインを形成するストリップラ
イン形成工程と、前記中心誘電体の両面に少なくとも前
記ストリップラインを被覆するように前記内側誘電体を
配置した後、各内側誘電体の端面にそれぞれ前記外側誘
電体を配置して積層体を作製する積層体作製工程と、前
記積層体を圧着焼成して一つの焼成体を作製する焼成体
作製工程と、前記焼成体の外周面に前記ストリップライ
ンに接続される端子電極及びアースパターンを形成する
電極形成工程とを有することを特徴とする。
Next, the microphone according to the present invention according to claim 2
The manufacturing method of the microwave circuit element is made of an inorganic material such as ceramic powder.
Specified with a material consisting of a mixture of powder and organic binder
A plate-shaped central dielectric having a dielectric constant of
A plate-shaped inner dielectric having substantially the same dielectric constant and the inner dielectric
A plate-shaped outer dielectric having a dielectric constant different from that of the electric
Dielectric fabrication process for each, and both sides of the central dielectric
Stripper that forms a λ / 4-length stripline on the
An in-formation step and at least a front surface of both sides of the central dielectric.
The inner dielectric to cover the stripline.
After arranging, the outer surface of each inner dielectric is attached to the outer surface.
A laminate manufacturing step of arranging electric bodies to manufacture a laminate, and
A fired body in which a laminated body is pressure-bonded and fired to produce one fired body
The manufacturing process and the strip line on the outer peripheral surface of the fired body.
The terminal electrode and ground pattern that are connected to the
And an electrode forming step.

【0016】従って、例えば、まず、誘電体作製工程に
て、セラミック粉末等の無機材料粉末と有機バインダー
との混合物からなる材料で板状の中心誘電体及び外側誘
電体がそれぞれ作製され、次のストリップライン形成工
程にて、前記中心誘電体の両面にλ/4長のストリップ
ラインが形成される。その後、積層体作製工程にて、中
心誘電体の両面に少なくとも前記ストリップラインを被
覆するように前記内側誘電体が配置された後、各内側誘
電体の端面にそれぞれ前記外側誘電体が配置されること
により積層体が作製される。その後、焼成体作製工程に
て、前記積層体が圧着焼成されて一つの焼成体が作製さ
れる。この場合、中心誘電体、内側誘電体及び外側誘電
体を一体構造とすることができ、各誘電体間の隙間の発
生を防止することができる。
Therefore, for example, first, in the dielectric manufacturing process,
Inorganic powder such as ceramic powder and organic binder
A material consisting of a mixture of
Each electrical body is manufactured and the next stripline forming process is performed.
Λ / 4 length strips on both sides of the central dielectric
A line is formed. After that, in the laminated body manufacturing process,
At least the stripline is covered on both sides of the dielectric.
After the inner dielectric is placed to cover,
The outer dielectric is disposed on each end face of the electric body.
A laminated body is produced by. After that, in the firing body manufacturing process
Then, the laminated body is pressure-bonded and fired to produce one fired body.
It is. In this case, the central dielectric, the inner dielectric and the outer dielectric
The body can be made into an integral structure, and the gap between each dielectric is generated.
Life can be prevented.

【0017】前記焼成体の作製後、次の電極形成工程に
て、前記焼成体の外周面に前記ストリップラインに接続
される端子電極及びアース電極が形成される。この場
合、部品点数を少なくすることが可能となり、小型のマ
イクロ波回路素子とすることができる。
After the production of the fired body, the next electrode forming step is performed.
Connect to the strip line on the outer peripheral surface of the fired body
A terminal electrode and a ground electrode are formed. This place
In this case, it is possible to reduce the number of parts
It can be a microwave circuit element.

【0018】また、ストリップラインと接する中心誘電
体と内側誘電体の各誘電率をほぼ同一とし、前記内側誘
電体と前記外側誘電体の各誘電率を異なるようにしてい
るため、中心誘電体及び内側誘電体の誘電率を高く、外
側誘電体の誘電率を低くすることが可能となる。その結
果、マイクロ波回路素子の小型化を達成させるために中
心誘電体及び内側誘電体の誘電率を高くしたとしても、
ストリップラインのインピーダンスの低下を招くことが
ないため、ストリップラインとアース電極との間隔、即
ち、外側誘電体の厚みを大きくする必要がなくなり、マ
イクロ波回路素子の小型化をより一層促進させることが
できる。
Also, the central dielectric contacting the strip line
The dielectric constants of the body and the inner dielectric are almost the same, and the inner dielectric
The dielectric constants of the electric body and the outer dielectric are different.
Therefore, the dielectric constant of the center dielectric and the inner dielectric is high, and
It is possible to reduce the dielectric constant of the side dielectric. The result
As a result, in order to achieve miniaturization of microwave circuit elements,
Even if the dielectric constant of the core dielectric and the inner dielectric is increased,
This may cause a drop in stripline impedance.
Since there is no gap between the strip line and the ground electrode,
This eliminates the need to increase the thickness of the outer dielectric,
To further promote miniaturization of microwave circuit elements
it can.

【0019】なお、マイクロ波回路素子の結合度を小さ
くしたい場合は、前記とは逆の設定、即ち、中心誘電体
及び内側誘電体の誘電率を低くし、外側誘電体の誘電率
を高くすればよい。
The degree of coupling of the microwave circuit element is small.
If you want to increase the setting, the opposite setting, that is, the central dielectric
And lower the dielectric constant of the inner dielectric and lower the dielectric constant of the outer dielectric.
Should be higher.

【0020】また、本発明では、導体であるストリップ
ラインが形成される中心誘電体と該ストリップラインを
被覆する内側誘電体を共に焼き縮み率がほぼ同じである
材料を選定することができるため、前記焼成時における
ストリップラインの剥離現象は発生しなくなる。
Further , in the present invention, a strip which is a conductor
The central dielectric on which the line is formed and the strip line
The shrinkage rates of both inner dielectrics are almost the same.
Since the material can be selected,
Stripping of the stripline does not occur.

【0021】このように、本発明に係るマイクロ波回路
素子の製造方法においては、マイクロ波回路素子の小型
化を図ることができると共に、ストリップラインの剥離
現象を防止することができる。
Thus, the microwave circuit according to the present invention
In the device manufacturing method, the size of the microwave circuit device is small.
And strip line stripping
The phenomenon can be prevented.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るマイクロ波回
路素子を方向性結合器に適用した実施の形態例(以下、
単に実施の形態に係るマイクロ波回路素子と記す)を図
1〜図3を参照しながら説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The microwave circuit according to the present invention will be described below.
Example of embodiment in which a path element is applied to a directional coupler (hereinafter,
(Simply referred to as a microwave circuit element according to the embodiment)
This will be described with reference to FIGS.

【0023】本実施の形態に係るマイクロ波回路素子1
は、図1に示すように、両面にλ/4長のストリップラ
イン6が形成された平板状の中心誘電体2と、該中心誘
電体2の両面側に設けられ、少なくとも前記ストリップ
ライン6を被覆する内側誘電体7(図2参照)と、該内
側誘電体7上に設けられる外側誘電体3とが圧着焼成さ
れてなる焼成体とを具備し、該焼成体の外周面にアース
電極4及び端子電極5が形成されて構成されている。
Microwave circuit element 1 according to the present embodiment
As shown in Fig. 1, both sides are λ / 4 length strippers.
A plate-shaped central dielectric 2 having the ins 6 formed thereon, and the central dielectric 2.
Provided on both sides of the electric body 2 and at least the strip
An inner dielectric 7 covering the line 6 (see FIG. 2), and
The outer dielectric 3 provided on the side dielectric 7 is pressed and baked.
And a ground electrode 4 and a terminal electrode 5 are formed on the outer peripheral surface of the fired body .

【0024】具体的には、本実施の形態に係るマイクロ
波回路素子1は、セラミック粉末等の無機材料粉末と有
機バインダーとの混合物からなるグリーンシートにより
形成された結合層となる中心誘電体2と、同じくセラミ
ック粉末等の無機材料粉末と有機バインダーとの混合物
からなるグリーンシートにより形成され、前記中心誘電
体2の両面、特にストリップライン6を被覆するように
設けられる一対の内側誘電体7と、同じくセラミック粉
末等の無機材料粉末と有機バインダーとの混合物からな
るグリーンシートにより形成され、前記各内側誘電体7
上に設けられる外側誘電体3とを具備して構成されてい
る。
Specifically, the micro according to the present embodiment
The wave circuit element 1 has an inorganic material powder such as ceramic powder or the like.
With a green sheet made of a mixture with machine binder
The central dielectric 2 that will be the formed coupling layer and the ceramic
Mixture of inorganic material powder such as powder and organic binder
Is formed by a green sheet consisting of
To cover both sides of body 2, especially stripline 6
A pair of inner dielectrics 7 and ceramic powder
It consists of a mixture of powdered inorganic material powder and organic binder.
Each of the inner dielectrics 7 formed by a green sheet
And an outer dielectric 3 provided thereon
You.

【0025】中心誘電体2、内側誘電体7及び外側誘電
体3は、それぞれマイクロ波回路素子1の性能に応じた
所定の形状、厚さに形成されるもので、中心誘電体2の
厚み方向両面には、互いに重なり合うように所定の形状
のλ/4長のストリップライン6がそれぞれ形成されて
いる。各ストリップライン6は、引出し電極を通じて前
記端子電極5に接続されるように配線形成されている。
Central dielectric 2, inner dielectric 7 and outer dielectric
The body 3 depends on the performance of the microwave circuit element 1, respectively.
It is formed in a predetermined shape and thickness,
Predetermined shape on both sides in the thickness direction so that they overlap each other
Λ / 4 strip lines 6 are formed respectively
I have. Each strip line 6 is connected to the front through the extraction electrode.
The wiring is formed so as to be connected to the terminal electrode 5.

【0026】このように形成された中心誘電体2、2枚
の内側誘電体7及び2枚の外側誘電体3は、まず、2枚
の内側誘電体7が中心誘電体2を間に挟んで積層され、
次いで2枚の外側誘電体3がこれら中心誘電体2と内側
誘電体7からなる積層体を間に挟んで積層されることに
よって全体として5層構造の積層体が作製される。
The central dielectrics 2 and 2 thus formed
The inner dielectric 7 and the two outer dielectrics 3 are
Inner dielectrics 7 are laminated with the central dielectric 2 sandwiched therebetween,
Next, the two outer dielectrics 3 and the central dielectric 2 and the inner
To be laminated with a laminate consisting of the dielectric 7 sandwiched between them.
Therefore, a laminated body having a five-layer structure is produced as a whole.

【0027】そして、この5層構造の積層体は、圧着状
態で焼成されて中心誘電体2、内側誘電体7及び外側誘
電体3が一体化され、一体構造の焼成体とされる。この
ため、中心誘電体2と内側誘電体7と外側誘電体3の各
相互間に隙間が生じることを防止することができ、耐湿
性の向上を図ることができる。
Then, the laminated body of this five-layer structure is in a crimped state.
The central dielectric 2, the inner dielectric 7 and the outer dielectric are fired in the state.
The electric body 3 is integrated into a fired body having an integrated structure. this
Therefore, each of the central dielectric 2, the inner dielectric 7, and the outer dielectric 3 is
It is possible to prevent the formation of gaps between each other,
Performance can be improved.

【0028】そして、前記焼成体の外周面に前記ストリ
ップライン6に接続される端子電極5及びアース電極4
が形成されて、本実施の形態に係るマイクロ波回路素子
1が作製される。前記アース電極4は、端子電極5と絶
縁された状態で、マイクロ波回路素子1の略全面に形成
される。
Then, the stripes are formed on the outer peripheral surface of the fired body.
Terminal electrode 5 and ground electrode 4 connected to the up line 6
And the microwave circuit element according to the present embodiment is formed.
1 is produced. The earth electrode 4 is isolated from the terminal electrode 5.
Formed on almost the entire surface of microwave circuit element 1 in a rimmed state
Is done.

【0029】更に、本実施の形態に係るマイクロ波回路
素子1においては、中心誘電体2と内側誘電体7とは互
いの誘電率A及びBがほぼ同じに設定され、前記内側誘
電体7と外側誘電体3とは互いの誘電率B及びCが異な
るように設定されている。
Further, the microwave circuit according to the present embodiment
In the element 1, the central dielectric 2 and the inner dielectric 7 are mutually
The dielectric constants A and B are set to be almost the same, and
The electric conductor 7 and the outer dielectric 3 have different dielectric constants B and C from each other.
Is set to.

【0030】中心誘電体2、内側誘電体7及び外側誘電
体3の各誘電率A、B及びCの大小関係は、マイクロ波
回路素子1に求められる性能や大きさにより適宜設定す
ることができるが、この例では、外側誘電体3の誘電率
Cを内側誘電体7の誘電率Bよりも小さく設定してあ
る。
Central dielectric 2, inner dielectric 7 and outer dielectric
The relationship between the dielectric constants A, B and C of the body 3 is microwave.
Set appropriately according to the performance and size required for the circuit element 1.
However, in this example, the dielectric constant of the outer dielectric 3 is
C is set smaller than the dielectric constant B of the inner dielectric 7.
You.

【0031】このように設定することにより、中心誘電
体2に誘電率Aの高いものが使用されることから、スト
リップライン6の長さを短く形成することができ、外側
誘電体3に誘電率Cの低いものが使用されることから、
ストリップライン6とアース電極4間の間隔を狭くして
も所定のインピーダンスを得ることができる。このた
め、マイクロ波回路素子1の小型化を図ることができ
る。
By setting in this way, the central dielectric
Since the body 2 having a high dielectric constant A is used,
The length of the lip line 6 can be made short and the outside
Since the dielectric material 3 having a low dielectric constant C is used,
Narrow the distance between the strip line 6 and the ground electrode 4
Can also obtain a predetermined impedance. others
Therefore, the microwave circuit element 1 can be downsized.
You.

【0032】また、セラミック粉末等の無機材料粉末と
有機バインダーとの混合物からなるグリーンシートにて
形成される中心誘電体2、内側誘電体7及び外側誘電体
3は、その後の焼成時において、有機バインダー等が飛
ばされることから、いわゆる焼き縮みが生じるが、本実
施の形態では、導体であるストリップライン6が形成さ
れる中心誘電体2と該ストリップライン6を被覆する内
側誘電体7の各誘電率をほぼ同一に設定するようにして
いるため、これら中心誘電体2及び内側誘電体7として
共に焼き縮み率がほぼ同じである材料を選定することが
でき、前記焼成時におけるストリップライン6の剥離現
象は発生しなくなる。
In addition, an inorganic material powder such as ceramic powder
With a green sheet made of a mixture with an organic binder
Central Dielectric 2, Inner Dielectric 7 and Outer Dielectric Formed
No. 3 shows that the organic binder and the like do not fly during the subsequent firing.
So-called shrinkage occurs due to the fact that
In the embodiment, the strip line 6 which is a conductor is formed.
Of the central dielectric 2 and the strip line 6
Set the dielectric constants of the side dielectrics 7 to be substantially the same.
Therefore, as the central dielectric 2 and the inner dielectric 7,
It is possible to select materials that both have the same shrinkage rate.
It is possible to remove the strip line 6 during the firing.
Elephants will not occur.

【0033】なお、内側誘電体7の寸法は、要求される
性能や製造の難易度等により適宜選定することができ、
図2に示すようにストリップライン6に接する中心部だ
けとしてもよく、図3に示すようにシート状のものを積
層するようにしてもよい。また、上記のように上下にア
ース電極4を設けたトリプレート構成の他、下面にのみ
アース電極4を設けたマイクロストリップライン構成の
ものにも適用することができる。
The size of the inner dielectric 7 is required.
It can be appropriately selected according to the performance and the difficulty of manufacturing,
As shown in FIG. 2, it is the central part that contacts the strip line 6.
It may be used as a tray, and as shown in Fig.
You may make it layer. Also, as described above,
In addition to the triplate configuration with the base electrode 4, only on the lower surface
Of the microstrip line configuration with the ground electrode 4
It can also be applied to things.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の本
発明に係るマイクロ波回路素子によれば、両面にλ/4
長のストリップラインが形成された中心誘電体と、前記
中心誘電体の両面側に設けられ、少なくとも前記ストリ
ップラインを被覆する内側誘電体と、前記内側誘電体上
に設けられる外側誘電体とを具備し、前記中心誘電体、
内側誘電体及び外側誘電体を、それぞれセラミック粉末
等の無機材料粉末と有機バインダーとの混合物からなる
材料で板状に形成し、前記中心誘電体の両面にそれぞれ
前記内側誘電体と前記外側誘電体を積層し、圧着焼成し
て一つの焼成体とし、前記焼成体の外周面に前記ストリ
ップラインに接続される端子電極及びアースパターンを
形成し、前記中心誘電体と前記内側誘電体の各誘電率を
ほぼ同一とし、かつ、前記内側誘電体と前記外側誘電体
の各誘電率が異なるようにしている。
As described above, the book according to claim 1 is described.
According to the microwave circuit element of the present invention, λ / 4 is provided on both surfaces.
A central dielectric having a long stripline formed,
Provided on both sides of the central dielectric, and at least the stripes
An inner dielectric covering the spline and on the inner dielectric
And an outer dielectric provided on the central dielectric,
Ceramic powder for the inner and outer dielectrics
Consisting of a mixture of inorganic material powder such as
Formed in a plate shape with material, on each side of the central dielectric
The inner dielectric and the outer dielectric are laminated and pressure-bonded and fired.
As one fired body, and the strip is attached to the outer peripheral surface of the fired body.
The terminal electrode and ground pattern connected to the
And the respective dielectric constants of the central dielectric and the inner dielectric are formed.
Almost the same, and the inner dielectric and the outer dielectric
Each of the dielectric constants is different.

【0035】そのため、マイクロ波回路素子の小型化を
図ることができると共に、ストリップラインの剥離現象
を防止することができるという効果が達成される。
Therefore, miniaturization of the microwave circuit element is required.
The stripping phenomenon of stripline
The effect that can be prevented is achieved.

【0036】また、請求項2記載の本発明に係るマイク
ロ波回路素子の製造方法によれば、セラミック粉末等の
無機材料粉末と有機バインダーとの混合物からなる材料
で所定の誘電率を有する板状の中心誘電体と、該中心誘
電体とほぼ同じ誘電率を有する板状の内側誘電体と、該
内側誘電体と異なる誘電率を有する板状の外側誘電体を
それぞれ作製する誘電体作製工程と、前記中心誘電体の
両面にλ/4長のストリップラインを形成するストリッ
プライン形成工程と、前記中心誘電体の両面に少なくと
も前記ストリップラインを被覆するように前記内側誘電
体を配置した後、各内側誘電体の端面にそれぞれ前記外
側誘電体を配置して積層体を作製する積層体作製工程
と、前記積層体を圧着焼成して一つの焼成体を作製する
焼成体作製工程と、前記焼成体の外周面に前記ストリッ
プラインに接続される端子電極及びアースパターンを形
成する電極形成工程とを有することを特徴としている。
A microphone according to the present invention as defined in claim 2
According to the method for manufacturing a microwave circuit element, ceramic powder, etc.
Material consisting of a mixture of inorganic material powder and organic binder
A plate-shaped central dielectric having a predetermined dielectric constant with
A plate-shaped inner dielectric having substantially the same dielectric constant as the electric body;
A plate-shaped outer dielectric with a different dielectric constant from the inner dielectric
Each of the dielectric fabrication steps and the central dielectric
Strip for forming λ / 4 length stripline on both sides
Pline formation process and at least on both sides of the central dielectric
Also the inner dielectric to cover the stripline
After arranging the body,
Laminated body manufacturing process for arranging side dielectrics to manufacture a laminated body
Then, the laminated body is pressure-bonded and fired to produce one fired body.
The step of producing the fired body and the strip on the outer peripheral surface of the fired body
Form the terminal electrode and ground pattern connected to the
And a step of forming an electrode.

【0037】そのため、マイクロ波回路素子の小型化を
図ることができると共に、ストリップラインの剥離現象
を防止することができるという効果が達成される。
Therefore, miniaturization of the microwave circuit element is required.
The stripping phenomenon of stripline
The effect that can be prevented is achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】マイクロ波回路素子の一例を示す分解斜視図で
ある。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an example of a microwave circuit element .

【図2】本発明の一実施の形態を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の他の実施の形態を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing another embodiment of the present invention.

【符号の説明】 1…マイクロ波回路素子 2…中心誘電体 3…外側誘電体 4…アース電極 5…端子電極 6…ストリップラ
イン7…内側誘電体
[Explanation of Codes] 1 ... Microwave circuit element 2 ... Central dielectric 3 ... Outer dielectric 4 ... Ground electrode 5 ... Terminal electrode 6 ... Strip line 7 ... Inner dielectric

【手続補正2】[Procedure amendment 2]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図2[Correction target item name] Figure 2

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図2】 [Fig. 2]

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】図面[Document name to be amended] Drawing

【補正対象項目名】図3[Correction target item name] Figure 3

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【図3】 [Figure 3]

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】誘電体基板上にλ/4長のストリップライ
ンを設け、さらに他の誘電体を重ね、この他の誘電体上
にアース電極を設けてなるマイクロ波回路素子におい
て、前記ストリップラインに接する部分の誘電体と他の
部分の誘電体の誘電率とが異なることを特徴とするマイ
クロ波回路素子。
1. A microwave circuit element comprising a dielectric substrate provided with a λ / 4-length strip line, another dielectric layer superposed thereon, and a ground electrode provided on the other dielectric layer, wherein the strip line is provided. A microwave circuit element, wherein the dielectric constant of a portion in contact with the dielectric is different from that of another portion.
【請求項2】前記他の部分の誘電体の誘電率を、前記ス
トリップラインに接する部分の誘電体の誘電率よりも小
さく構成したことを特徴とする請求項1記載のマイクロ
波回路素子。
2. The microwave circuit element according to claim 1, wherein the dielectric constant of the other part is smaller than the dielectric constant of the part in contact with the strip line.
【請求項3】前記誘電体は、セラミック粉末等の無機材
料粉末と有機バインダーとの混合物からなるグリーンシ
ート基板を用い、一体焼成したものであることを特徴と
する請求項1又は2記載のマイクロ波回路素子。
3. The micro according to claim 1, wherein the dielectric is integrally fired using a green sheet substrate made of a mixture of an inorganic material powder such as ceramic powder and an organic binder. Wave circuit element.
JP28689396A 1996-10-29 1996-10-29 Microwave circuit element and manufacture thereof Pending JPH09205306A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28689396A JPH09205306A (en) 1996-10-29 1996-10-29 Microwave circuit element and manufacture thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28689396A JPH09205306A (en) 1996-10-29 1996-10-29 Microwave circuit element and manufacture thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09205306A true JPH09205306A (en) 1997-08-05

Family

ID=17710368

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28689396A Pending JPH09205306A (en) 1996-10-29 1996-10-29 Microwave circuit element and manufacture thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09205306A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6800929B1 (en) 1998-07-14 2004-10-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor device
WO2009153956A1 (en) * 2008-06-17 2009-12-23 パナソニック株式会社 Semiconductor device with a balun
US7663455B2 (en) 2006-05-10 2010-02-16 Tdk Corporation Band-pass filter element and high frequency module
KR101038070B1 (en) * 2010-12-29 2011-06-01 주식회사 이너트론 Wide-band coupler
WO2015068347A1 (en) 2013-11-11 2015-05-14 日本電気株式会社 Article management system
US9941573B2 (en) 2014-03-07 2018-04-10 Nec Corporation Article management system

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5527746A (en) * 1978-08-17 1980-02-28 Nec Corp Directional coupler
JPH0244408B2 (en) * 1984-09-03 1990-10-03 Nippon Denki Kk EKOOKYANSERAGATASOHOKOZOFUKUKI

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5527746A (en) * 1978-08-17 1980-02-28 Nec Corp Directional coupler
JPH0244408B2 (en) * 1984-09-03 1990-10-03 Nippon Denki Kk EKOOKYANSERAGATASOHOKOZOFUKUKI

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6800929B1 (en) 1998-07-14 2004-10-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor device
US7663455B2 (en) 2006-05-10 2010-02-16 Tdk Corporation Band-pass filter element and high frequency module
WO2009153956A1 (en) * 2008-06-17 2009-12-23 パナソニック株式会社 Semiconductor device with a balun
US8575731B2 (en) 2008-06-17 2013-11-05 Panasonic Corporation Semiconductor device with a balun
KR101038070B1 (en) * 2010-12-29 2011-06-01 주식회사 이너트론 Wide-band coupler
WO2015068347A1 (en) 2013-11-11 2015-05-14 日本電気株式会社 Article management system
US9947195B2 (en) 2013-11-11 2018-04-17 Nec Corporation Article management system
US9941573B2 (en) 2014-03-07 2018-04-10 Nec Corporation Article management system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH10144526A (en) Laminated chip inductor
JP2004180032A (en) Dielectric filter
JP3649162B2 (en) Center electrode assembly, non-reciprocal circuit device, communication device, and method of manufacturing center electrode assembly
JPH0356003B2 (en)
JPH09205306A (en) Microwave circuit element and manufacture thereof
JPS6235257B2 (en)
WO1995023438A1 (en) Multilayer dielectric resonator and filter
JPH0115159Y2 (en)
JPH09205307A (en) Directional coupler and manufacture thereof
JP3365287B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JP2936887B2 (en) Manufacturing method of ceramic laminated device
JPH0531311U (en) Microwave circuit element
GB2054267A (en) High capacitance bus bar
WO2003059025A2 (en) Monolithic disc delay line and method for making same
JPH03263310A (en) Manufacture of laminated inductor
JPH04330805A (en) Dielectric triplate strip line resonance circuit and manufacturing method thereof
JPH02153513A (en) Manufacture of fusible laminated electronic parts
JPS5933247B2 (en) Laminated composite parts
JP2001023823A (en) Laminated chip inductor
JPH01114210A (en) Delay line
JPS6235253B2 (en)
JPH05135949A (en) Laminated chip inductor and its manufacture
JPH1127013A (en) Coaxial resonator and its production
JPH053406A (en) Directional coupler and manufacture of the same
JPH05315756A (en) Laminated ceramic board and manufacture thereof