JPH0919131A - Linear drive micromotor - Google Patents

Linear drive micromotor

Info

Publication number
JPH0919131A
JPH0919131A JP18216195A JP18216195A JPH0919131A JP H0919131 A JPH0919131 A JP H0919131A JP 18216195 A JP18216195 A JP 18216195A JP 18216195 A JP18216195 A JP 18216195A JP H0919131 A JPH0919131 A JP H0919131A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotor
stator
peripheral surface
micromotor
linear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18216195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Fujita
博之 藤田
Tetsuhiko Iizuka
哲彦 飯塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Science and Technology Agency
Original Assignee
Research Development Corp of Japan
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Research Development Corp of Japan filed Critical Research Development Corp of Japan
Priority to JP18216195A priority Critical patent/JPH0919131A/en
Publication of JPH0919131A publication Critical patent/JPH0919131A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Linear Motors (AREA)

Abstract

PURPOSE: To take out a high driving power in the linear direction with large displacement by threading the outer circumference of rotor and the inner circumference of stator such that they mate each other. CONSTITUTION: Similarly to a wobble motor, the rotor 11 turns by an angle corresponding to the difference between the inner circumference of stator 12 and the outer circumference of rotor 11 upon finishing a cycle of excitation of the stator 12. During that period, the rotor 11 and stator 12 are mated through the external thread 11a and internal thread 12a. Consequently, the rotor 11 is shifted axially by one pitch of thread per single revolution. Since the r.p.m. of rotor 11 is low as compared with the excitation of stator 12 and the rotor is decelerated through the thread, the reduction ratio is increased significantly. Consequently, a high power is applied to the rotor 11 in the axial direction.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、マイクロメカニズム用
の駆動源として用いられるマイクロモータに関するもの
で、特に、ワブルモータの原理を利用して直線方向の駆
動力を取り出すようにしたリニア駆動用マイクロモータ
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a micromotor used as a drive source for a micromechanism, and in particular, a linear drive micromotor adapted to extract a linear driving force by utilizing the principle of a wobble motor. It is about.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、マイクロメカニズムが注目を浴
び、その駆動源として、微小で出力の大きいマイクロモ
ータが求められるようになってきている。そのようなマ
イクロモータについてもいくつかの形式のものが開発さ
れているが、その中の一つに、ワブルモータ(Wobble Mo
tor)がある。ワブルモータは、円筒状のステータ内にそ
れよりやや小径のロータを配置し、そのロータをステー
タの内周面に吸着させて周方向に転動させるようにした
ものである。
2. Description of the Related Art In recent years, a micromechanism has attracted attention, and a micromotor having a large output has been required as a driving source thereof. Several types of such micromotors have been developed, and one of them is a wobble motor.
tor). The wobble motor has a rotor having a diameter slightly smaller than that of a rotor arranged in a cylindrical stator, and the rotor is attracted to the inner peripheral surface of the stator to roll in the circumferential direction.

【0003】そのようなワブルモータの回転原理につい
て説明する。図1に示されているように、ロータ1は円
柱状のもので、その外周面には誘電体の膜2が形成され
ている。一方、ステータ3はロータ1の外径よりやや大
きい内径を有する円筒状のもので、その内周面には複数
の電極4,4,…が周方向に設けられている。それらの
電極4,4,…には、駆動電源5からスイッチング回路
6を介して電圧が印加されるようになっている。
The principle of rotation of such a wobble motor will be described. As shown in FIG. 1, the rotor 1 has a columnar shape, and a dielectric film 2 is formed on the outer peripheral surface thereof. On the other hand, the stator 3 has a cylindrical shape having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the rotor 1, and a plurality of electrodes 4, 4, ... Are provided on the inner peripheral surface thereof in the circumferential direction. A voltage is applied to the electrodes 4, 4, ... From the driving power source 5 through the switching circuit 6.

【0004】このように構成されたワブルモータにおい
ては、ロータ1をアース電位としておき、電極4,4,
…のいずれかに電圧を印加すると、ロータ1は、静電吸
着力により、電圧が印加された電極4の位置でステータ
3の内周面に吸着する。したがって、スイッチング回路
6により電極4,4,…に周方向に順に電圧を印加して
いくと、図2に示されているように、ロータ1はステー
タ3の内周面に沿って転がりながら公転をする。ロータ
1上の1点aについて見ると、ロータ1が一周公転した
とき、その点aは、元の位置から角度αだけ移動する。
すなわち、ロータ1は、1回の公転で角度αだけ自転す
ることになる。その角度αは、ロータ1の外径をr、ス
テータ3の内径をRとすると、 α=(R−r)/r となる。
In the wobble motor thus constructed, the rotor 1 is set to the ground potential and the electrodes 4, 4,
When a voltage is applied to any of the ..., The rotor 1 is attracted to the inner peripheral surface of the stator 3 at the position of the electrode 4 to which the voltage is applied by the electrostatic attraction force. Therefore, when a voltage is sequentially applied to the electrodes 4, 4, ... In the circumferential direction by the switching circuit 6, the rotor 1 revolves while rolling along the inner peripheral surface of the stator 3 as shown in FIG. do. Looking at one point a on the rotor 1, when the rotor 1 revolves once, the point a moves from the original position by an angle α.
That is, the rotor 1 rotates about the angle α in one revolution. When the outer diameter of the rotor 1 is r and the inner diameter of the stator 3 is R, the angle α is α = (R−r) / r.

【0005】このようにして、ロータ1とステータ3と
の間に働く吸引力がロータ1の回転力に変換される。こ
のようなワブルモータは、構造が単純でありながら、減
速機構を内蔵しているために低速で高トルクが得られる
という特徴がある。
In this way, the suction force acting between the rotor 1 and the stator 3 is converted into the rotational force of the rotor 1. Although such a wobble motor has a simple structure, it has a characteristic that a high speed can be obtained at a low speed because it has a built-in reduction mechanism.

【0006】このようなワブルモータを用いる場合、従
来は、そのロータの回転をそのまま回転力として取り出
すようにしていた。
When such a wobble motor is used, conventionally, the rotation of the rotor is directly extracted as a rotational force.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワブル
モータの場合には、そのロータは偏心した運動をするこ
とになる。そのために、ロータの回転を被動部に伝えよ
うとすると、その間に等速ジョイント等の特別な機構を
介在させることが必要となる。マイクロスケールの環境
下では摩擦による影響が著しく大きくなるので、そのよ
うな機構を介してロータの回転を効率よく被動部に伝達
させるようにすることは難しい。
However, in the case of a wobble motor, the rotor thereof moves eccentrically. Therefore, when trying to transmit the rotation of the rotor to the driven part, it is necessary to interpose a special mechanism such as a constant velocity joint between them. In a microscale environment, the influence of friction becomes significantly large, so it is difficult to efficiently transmit the rotation of the rotor to the driven part through such a mechanism.

【0008】一方、マイクロメカニズムにおいては、回
転駆動力よりも直線方向の駆動力が求められることの方
が多い。そのような場合、従来のワブルモータでは、ロ
ータの回転運動を直線運動に変換する機構が更に必要と
なり、その伝動効率が著しく低下する。直線方向の駆動
力を直接発生するマイクロリニアアクチュエータなども
開発されているが、そのようなアクチュエータの場合に
は、可動部がサスペンションによって支えられているの
で、その変位が数十μmに限られるという問題がある。
On the other hand, in the micromechanism, the driving force in the linear direction is often required rather than the rotational driving force. In such a case, in the conventional wobble motor, a mechanism for converting the rotational movement of the rotor into a linear movement is further required, and its transmission efficiency is significantly reduced. Micro linear actuators that directly generate driving force in the linear direction have also been developed, but in the case of such actuators, the displacement is limited to several tens of μm because the movable part is supported by the suspension. There's a problem.

【0009】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たものであって、その目的は、直線方向の大きな駆動力
を大きな変位で取り出すことのできるリニア駆動用マイ
クロモータを提供することである。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a linear driving micromotor capable of extracting a large driving force in a linear direction with a large displacement. .

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明では、ワブル機構を構成するロータとステー
タとに、互いに噛み合うねじを形成するようにしてい
る。すなわち、本発明によるリニア駆動用マイクロモー
タは、軸状のロータと、そのロータの外径より大径の円
筒状内周面を有し、そのロータの外周に配置されるステ
ータと、前記ロータをステータの内周面に吸着させて周
方向に転動させる駆動手段と、からなり、それらロータ
の外周面及びステータの内周面に、互いに噛み合うねじ
が形成されていることを特徴としている。逆に、ロータ
を円筒状、ステータをそのロータの内径より小径の円柱
状として、それらロータの内周面及びステータの外周面
に互いに噛み合うねじを形成するようにしてもよい。
To achieve this object, in the present invention, the rotor and the stator constituting the wobble mechanism are formed with screws that mesh with each other. That is, the linear drive micromotor according to the present invention includes a shaft-shaped rotor, a cylindrical inner peripheral surface having a diameter larger than the outer diameter of the rotor, and a stator arranged on the outer periphery of the rotor, and the rotor. Drive means for adsorbing to the inner peripheral surface of the stator and rolling in the circumferential direction, and screws that mesh with each other are formed on the outer peripheral surface of the rotor and the inner peripheral surface of the stator. On the contrary, the rotor may be cylindrical, and the stator may be cylindrical with a diameter smaller than the inner diameter of the rotor, and screws that mesh with each other may be formed on the inner peripheral surface of the rotor and the outer peripheral surface of the stator.

【0011】[0011]

【作用】このように構成することにより、従来のワブル
モータと同様にしてロータを回転させると、ねじによっ
てその回転運動が軸方向のリニア変位に変換される。し
たがって、ベアリング等を介してロータの先端を被動部
材の端面に摺接させておけば、その被動部材は直線方向
に駆動されることになる。その場合、ロータとステータ
とは転がりによる接触をするので、その間の摩擦は小さ
い。また、ワブルモータによる高トルクに加えて、ねじ
により増力されるので、大きな駆動力を得ることができ
る。そして、ねじの長さだけ変位させることができるの
で、軸方向の変位量が制約されることもない。
With this structure, when the rotor is rotated in the same manner as the conventional wobble motor, the rotational movement of the rotor is converted by the screw into a linear displacement in the axial direction. Therefore, if the tip of the rotor is brought into sliding contact with the end surface of the driven member via a bearing or the like, the driven member will be driven in the linear direction. In that case, since the rotor and the stator make rolling contact, friction between them is small. Further, in addition to the high torque of the wobble motor, the force is increased by the screw, so that a large driving force can be obtained. Since the screw can be displaced by the length of the screw, the displacement in the axial direction is not restricted.

【0012】[0012]

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図中、図3〜7は本発明によるリニア駆動用マイク
ロモータの一実施例を示すもので、図3はその平面図で
あり、図4はその縦断面図である。また、図5及び図6
はそれらの要部の拡大図、図7はその駆動手段である駆
動回路の回路図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 3 to 7 show an embodiment of a linear driving micromotor according to the present invention, FIG. 3 is a plan view thereof, and FIG. 4 is a longitudinal sectional view thereof. 5 and 6
FIG. 7 is an enlarged view of the essential parts thereof, and FIG. 7 is a circuit diagram of a drive circuit which is the drive means thereof.

【0013】図3及び4から明らかなように、このリニ
ア駆動用マイクロモータ10は、ロータ11とステータ
12とによって構成されている。ロータ11は、例えば
直径が約1mm、長さが20mmの、細くて長い軸状のもの
で、鉄からなり、その上端部外周面には雄ねじ11aが
形成されている。また、ステータ12は、コイルC1,
C2,C3,C4の上下両端に、先細に形成された幅約
2.5mm、厚さ約2mmの鉄製角柱を取り付けて形成され
る4組の磁極S1,S2,S3,S4を放射状に配置し
たもので、それらの磁極はリング状の銅製フレーム13
によって一体的に固定されている。図5,6に示されて
いるように、各磁極S1,S2,S3,S4の先端は円
弧状の曲面に形成されており、それらが集合することに
よって円筒面が形成されるようになっている。そして、
その内面に雌ねじ12aが形成されている。ロータ11
の雄ねじ11aとステータ12の雌ねじ12aとは互い
に噛み合う形状とされているが、その間のギャップは通
常のねじより大きくされている。すなわち、ステータ1
2の内径はロータ11の外径よりやや大きくされてい
る。
As is apparent from FIGS. 3 and 4, the linear driving micromotor 10 is composed of a rotor 11 and a stator 12. The rotor 11 is, for example, a thin and long shaft-shaped member having a diameter of about 1 mm and a length of 20 mm, is made of iron, and has an external thread 11a formed on the outer peripheral surface of the upper end portion thereof. Further, the stator 12 includes the coils C1,
Four sets of magnetic poles S1, S2, S3, and S4 formed by attaching tapered iron prisms having a width of about 2.5 mm and a thickness of about 2 mm are radially arranged on the upper and lower ends of C2, C3, and C4, respectively. The magnetic poles of which are ring-shaped copper frames 13
Is fixed integrally. As shown in FIGS. 5 and 6, the tips of the magnetic poles S1, S2, S3 and S4 are formed into arcuate curved surfaces, and when they are assembled, a cylindrical surface is formed. There is. And
A female screw 12a is formed on the inner surface thereof. Rotor 11
The male screw 11a and the female screw 12a of the stator 12 are shaped to engage with each other, but the gap between them is made larger than that of a normal screw. That is, the stator 1
The inner diameter of 2 is slightly larger than the outer diameter of the rotor 11.

【0014】ステータ12のコイルC1,C2,C3,
C4には、図7に示されている駆動回路15によって電
流が供給されるようになっている。その駆動回路15
は、一対のハイレベル信号を4個のオア回路16,1
6,…の各入力部に順にシフトして供給するシフト回路
17から構成されている。そのシフトは、クロック回路
18からクロック信号が出力されるたびに行われる。そ
して、いずれかのオア回路16にハイレベル信号が入力
されると、それに対応するコイルに増幅器19を介して
電源20から電流が供給される。したがって、各コイル
C1,C2,C3,C4に順に電流が供給され、それに
よってステータ12の各磁極S1,S2,S3,S4が
励磁される。励磁の順序は、(S1)→(S1及びS
2)→(S2)→(S2及びS3)→(S3)→…とな
る。このようにして、ステータ12の励磁の状態は、駆
動回路15にクロック信号が入力されるたびに推移して
いき、8回クロックを与えると一周する。
The coils C1, C2, C3 of the stator 12
A current is supplied to C4 by the drive circuit 15 shown in FIG. The drive circuit 15
Is a pair of high level signals for the four OR circuits 16 and 1
.. is composed of a shift circuit 17 which is sequentially shifted and supplied to each of the input sections. The shift is performed every time the clock signal is output from the clock circuit 18. When a high level signal is input to any of the OR circuits 16, a current is supplied from the power supply 20 to the corresponding coil via the amplifier 19. Therefore, a current is sequentially supplied to the coils C1, C2, C3, C4, whereby the magnetic poles S1, S2, S3, S4 of the stator 12 are excited. The order of excitation is (S1) → (S1 and S
2) → (S2) → (S2 and S3) → (S3) → ... In this way, the excited state of the stator 12 changes each time a clock signal is input to the drive circuit 15, and completes a cycle when a clock is applied eight times.

【0015】次に、このように構成されたリニア駆動用
マイクロモータ10の作用について説明する。いま、駆
動回路15によりステータ12の磁極S1を励磁したと
すると、鉄製のロータ11は磁気吸着力によってその磁
極S1に引き付けられる。次いで、磁極S1及びS2が
励磁されることにより、ロータ11はそれらの磁極S
1,S2間の中間位置に引き付けられる。そして、磁極
S1の励磁が停止され、磁極S2のみの励磁となること
により、ロータ11は磁極S2に引き付けられる。この
ようにして、ロータ11はステータ12の内周面に沿っ
て転がりながら周方向に移動する。その結果、前述のワ
ブルモータと同様に、ステータ12の励磁が一周したと
き、ロータ11は、ステータ12の内周とロータ11の
外周との差に応じた角度だけ自転することになる。
Next, the operation of the linear driving micromotor 10 thus constructed will be described. Now, assuming that the magnetic pole S1 of the stator 12 is excited by the drive circuit 15, the iron rotor 11 is attracted to the magnetic pole S1 by the magnetic attraction force. Then, the magnetic poles S1 and S2 are excited to cause the rotor 11 to
It is attracted to an intermediate position between 1 and S2. Then, the excitation of the magnetic pole S1 is stopped and only the magnetic pole S2 is excited, so that the rotor 11 is attracted to the magnetic pole S2. In this way, the rotor 11 moves in the circumferential direction while rolling along the inner peripheral surface of the stator 12. As a result, similarly to the above-mentioned wobble motor, when the excitation of the stator 12 makes one round, the rotor 11 rotates by an angle corresponding to the difference between the inner circumference of the stator 12 and the outer circumference of the rotor 11.

【0016】この間において、ロータ11とステータ1
2とは、雄ねじ11aと雌ねじ12aとによって互いに
係合している。したがって、ロータ11が自転すると、
そのロータ11は軸方向に移動する。その移動量は、ロ
ータ11の1回転につきねじ1ピッチ分である。すなわ
ち、ステータ12の励磁に比べると、ロータ11の回転
数が小さくなる上に、ねじによって更に減速されるの
で、その減速比は極めて大きくなる。その結果、ロータ
11には大きな軸方向の力が加えられることになる。
During this time, the rotor 11 and the stator 1
2 are engaged with each other by a male screw 11a and a female screw 12a. Therefore, when the rotor 11 rotates,
The rotor 11 moves in the axial direction. The amount of movement is one screw pitch per one rotation of the rotor 11. That is, as compared with the excitation of the stator 12, the rotation speed of the rotor 11 becomes smaller and the speed is further reduced by the screw, so that the reduction ratio becomes extremely large. As a result, a large axial force is applied to the rotor 11.

【0017】こうして、このマイクロモータ10によ
り、軸方向の大きな駆動力を得ることができる。その場
合、ロータ11とステータ12とは転がりによる接触を
しているので、その間の摩擦は小さい。したがって、マ
イクロスケールの環境下においても、摩擦の影響を受け
ることは少ない。また、ワブルモータを利用することに
より、そのロータ11を単純な軸状のものとすることが
できる。したがって、そのロータ11に形成されるねじ
11aは十分に長くすることができる。そして、このマ
イクロモータ10のリニア変位量はロータ11のねじ部
の長さのみによって制約されるので、そのねじ11aを
長くすることにより、極めて大きなリニア変位を得るこ
とができる。
Thus, the micromotor 10 can obtain a large axial driving force. In that case, since the rotor 11 and the stator 12 are in contact with each other by rolling, friction between them is small. Therefore, even in a microscale environment, it is unlikely to be affected by friction. Further, by using a wobble motor, the rotor 11 can be made to have a simple shaft shape. Therefore, the screw 11a formed on the rotor 11 can be made sufficiently long. Since the amount of linear displacement of the micromotor 10 is limited only by the length of the screw portion of the rotor 11, it is possible to obtain an extremely large linear displacement by lengthening the screw 11a.

【0018】さらに、ロータ11とステータ12とがね
じ係合することにより、ステータ12の励磁を停止した
ときにも、ロータ11はその位置で保持される。したが
って、軸方向の負荷が機械的に支えられるという利点も
ある。
Further, since the rotor 11 and the stator 12 are screw-engaged with each other, the rotor 11 is held at that position even when the excitation of the stator 12 is stopped. Therefore, there is also an advantage that the axial load can be mechanically supported.

【0019】このようなリニア駆動用マイクロモータ1
0を実際に試作して実験をしたところ、良好に駆動する
ことが確かめられ、ロータ11の直径を1mm、ロータ1
1とステータ12との間のギャップを40〜100μ
m、それらのねじ11a,12aのピッチを0.25mm
としたとき、軸方向の最大速度5mm/s、最大発生力45
mNが得られた。
Such a linear drive micromotor 1
0 was actually prototyped and tested, and it was confirmed that it was driven well, and the diameter of the rotor 11 was 1 mm and the rotor 1
The gap between the stator 1 and the stator 12 is 40 to 100 μ.
m, the pitch of those screws 11a and 12a is 0.25 mm
, The maximum speed in the axial direction is 5 mm / s, and the maximum generated force is 45
mN was obtained.

【0020】図8及び図9は、本発明によるリニア駆動
用マイクロモータの異なる実施例を示す平面図及び縦断
面図である。このマイクロモータ20の場合には、ロー
タ21が円筒状で、ステータ22がそのロータ21の内
部に配置される円柱状のものとされている。そのステー
タ22も、上記実施例と同様に4組の磁極S1,S2,
S3,S4によって構成され、それらの磁極が順に励磁
されるようになっている。そのロータ21の内周面及び
ステータ22の外周面には互いに噛み合うねじ21a,
22aが形成されている。
8 and 9 are a plan view and a vertical sectional view showing different embodiments of the linear driving micromotor according to the present invention. In the case of this micromotor 20, the rotor 21 has a cylindrical shape, and the stator 22 has a cylindrical shape arranged inside the rotor 21. The stator 22 also has four pairs of magnetic poles S1, S2, as in the above embodiment.
It is composed of S3 and S4, and their magnetic poles are sequentially excited. On the inner peripheral surface of the rotor 21 and the outer peripheral surface of the stator 22, screws 21a that mesh with each other,
22a are formed.

【0021】このように構成されたマイクロモータ20
においても、ステータ22の磁極S1,S2,S3,S
4を周方向に順に励磁していくと、ロータ21がそれら
の磁極に順に引き付けられて回転し、ねじによって軸方
向に変位する。すなわち、ロータ21とステータ22と
の間に働く吸引力がワブル機構によってロータ21の回
転運動に変換され、その回転運動がねじによって軸方向
のリニア変位へと変換される。したがって、前述の実施
例と同様の作用効果を得ることができる。また、この実
施例のマイクロモータ20の場合には、ステータ22が
小さくまとめられるので、よりコンパクト化することが
できるという利点もある。
The micromotor 20 constructed in this way
Also in the magnetic poles S1, S2, S3, S of the stator 22
When 4 is sequentially excited in the circumferential direction, the rotor 21 is attracted to those magnetic poles in order and rotates, and is axially displaced by the screw. That is, the suction force acting between the rotor 21 and the stator 22 is converted into the rotational movement of the rotor 21 by the wobble mechanism, and the rotational movement is converted into the linear displacement in the axial direction by the screw. Therefore, it is possible to obtain the same effect as that of the above-described embodiment. Further, in the case of the micromotor 20 of this embodiment, since the stator 22 is made small, there is an advantage that it can be made more compact.

【0022】なお、以上の実施例においては、ロータ1
1あるいは21をステータ12,22に吸着させて転動
させる駆動手段として磁気吸着機構を用いる例について
説明したが、その駆動手段としては、図1で説明したよ
うなワブルモータに用いられている静電吸着機構を採用
することもできる。そのようにすれば、マイクロモータ
のより小型化を図ることも可能と考えられる。
In the above embodiment, the rotor 1
An example in which a magnetic attraction mechanism is used as a drive unit that causes 1 or 21 to be attracted to the stators 12 and 22 and rolls has been described. The drive unit is the electrostatic device used in the wobble motor described in FIG. An adsorption mechanism can also be adopted. By doing so, it is considered possible to further reduce the size of the micromotor.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ワブルモータのロータ及びステータに互いに
噛み合うねじを形成するようにしているので、ロータの
軸方向の変位を直接取り出すことができ、高出力のリニ
ア駆動用マイクロモータを得ることができる。また、そ
のねじの長さを長くすることによって軸方向の変位量を
大きくすることができるので、リニア変位の大きいマイ
クロモータとすることができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the rotor and the stator of the wobble motor are formed with the screws that mesh with each other, so that the axial displacement of the rotor can be directly taken out. A high-output linear driving micromotor can be obtained. Further, since the axial displacement can be increased by increasing the length of the screw, a micromotor with a large linear displacement can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明において利用するワブルモータの構成図
である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a wobble motor used in the present invention.

【図2】そのワブルモータの作動原理を説明するための
説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the operating principle of the wobble motor.

【図3】本発明によるリニア駆動用マイクロモータの一
実施例を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing an embodiment of a linear driving micromotor according to the present invention.

【図4】そのマイクロモータの縦断面図である。FIG. 4 is a vertical sectional view of the micromotor.

【図5】そのマイクロモータの要部の拡大平面図であ
る。
FIG. 5 is an enlarged plan view of a main part of the micromotor.

【図6】そのマイクロモータの要部の拡大縦断面図であ
る。
FIG. 6 is an enlarged vertical sectional view of a main part of the micromotor.

【図7】そのマイクロモータの駆動回路を示す回路図で
ある。
FIG. 7 is a circuit diagram showing a drive circuit of the micromotor.

【図8】本発明によるリニア駆動用マイクロモータの他
の実施例を示す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing another embodiment of the linear driving micromotor according to the present invention.

【図9】図8のマイクロモータの縦断面図である。9 is a vertical cross-sectional view of the micromotor of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,20 リニア駆動用マイクロモータ 11,21 ロータ 11a,21a ねじ 12,22 ステータ 12a,22a ねじ 15 駆動回路(駆動手段) 10, 20 Linear drive micromotor 11, 21 Rotor 11a, 21a Screw 12, 22 Stator 12a, 22a Screw 15 Drive circuit (drive means)

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 軸状のロータと、そのロータの外径より
大径の円筒状内周面を有し、そのロータの外周に配置さ
れるステータと、前記ロータをステータの内周面に吸着
させて周方向に転動させる駆動手段と、からなり、 前記ロータの外周面及びステータの内周面に、互いに噛
み合うねじが形成されていることを特徴とする、 リニア駆動用マイクロモータ。
1. A stator having a shaft-shaped rotor and a cylindrical inner peripheral surface having a diameter larger than the outer diameter of the rotor, the stator being arranged on the outer periphery of the rotor, and the rotor being attracted to the inner peripheral surface of the stator. A linear drive micromotor, characterized in that screws that mesh with each other are formed on the outer peripheral surface of the rotor and the inner peripheral surface of the stator.
【請求項2】 円筒状のロータと、そのロータの内径よ
り小径の円柱状外周面を有し、そのロータの内側に配置
されるステータと、前記ロータをステータの外周面に吸
着させて周方向に転動させる駆動手段と、からなり、 前記ロータの内周面及びステータの外周面に、互いに噛
み合うねじが形成されていることを特徴とする、 リニア駆動用マイクロモータ。
2. A rotor having a cylindrical shape, a cylindrical outer peripheral surface having a diameter smaller than the inner diameter of the rotor, and a stator disposed inside the rotor, and the rotor is attracted to the outer peripheral surface of the stator to form a circumferential direction. And a drive means for rolling the motor into a linear drive micromotor, wherein the inner peripheral surface of the rotor and the outer peripheral surface of the stator are formed with screws that mesh with each other.
JP18216195A 1995-06-26 1995-06-26 Linear drive micromotor Pending JPH0919131A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18216195A JPH0919131A (en) 1995-06-26 1995-06-26 Linear drive micromotor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18216195A JPH0919131A (en) 1995-06-26 1995-06-26 Linear drive micromotor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0919131A true JPH0919131A (en) 1997-01-17

Family

ID=16113428

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18216195A Pending JPH0919131A (en) 1995-06-26 1995-06-26 Linear drive micromotor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0919131A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6799483B2 (en) 2001-05-15 2004-10-05 Patrick Andreas Petri Method and mechanism for converting vibration induced rotation into translational motion
US7170214B2 (en) 2003-09-08 2007-01-30 New Scale Technologies, Inc. Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor
US7309943B2 (en) 2003-09-08 2007-12-18 New Scale Technologies, Inc. Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor
US7339306B2 (en) 2003-09-08 2008-03-04 New Scale Technologies Inc. Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor
JP2008312310A (en) * 2007-06-13 2008-12-25 Kikuchiseisakusho Co Ltd Cycloid motor

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6799483B2 (en) 2001-05-15 2004-10-05 Patrick Andreas Petri Method and mechanism for converting vibration induced rotation into translational motion
US7170214B2 (en) 2003-09-08 2007-01-30 New Scale Technologies, Inc. Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor
US7309943B2 (en) 2003-09-08 2007-12-18 New Scale Technologies, Inc. Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor
US7339306B2 (en) 2003-09-08 2008-03-04 New Scale Technologies Inc. Mechanism comprised of ultrasonic lead screw motor
JP2008312310A (en) * 2007-06-13 2008-12-25 Kikuchiseisakusho Co Ltd Cycloid motor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4142119A (en) Rotary electric device
JP5292541B2 (en) Rotating linear motion combined action actuator
US2982872A (en) Electric motor
EA013829B1 (en) Electric motor generator
JP2004180430A (en) Electric machine adjusting its rotor axial direction by using reverse torque
KR100302241B1 (en) Motor
KR100443737B1 (en) Stepping motor
US4943747A (en) Brushless unequal poles controlled electric motor
US1862356A (en) Electric motor
JPH0919131A (en) Linear drive micromotor
CN108736675B (en) Moving-coil type unipolar permanent magnet rotary linear motor
JP2007166776A (en) Ultrasonic actuator and its driving method
JP3420685B2 (en) Electromagnetic wobble motor
JP2002054706A (en) Continuously variable transmission
KR20030046763A (en) Stepping motor
JP2002325418A (en) Electric motor
KR100453660B1 (en) Step motor
JPH06105532A (en) Direct-acting type actuator for applicating wobble motor
KR100455262B1 (en) Step motor
JPS6331462A (en) Stepping motor
JP6424554B2 (en) Straight rolling conversion device
KR20220098457A (en) Motor
JP2004194470A (en) Revolutionary actuator
JP3159335B2 (en) Spiral type variable air gap motor
GB2330011A (en) Rolling rotor motor