JPH09166528A - Sample container of x-ray device - Google Patents

Sample container of x-ray device

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JPH09166528A
JPH09166528A JP7347776A JP34777695A JPH09166528A JP H09166528 A JPH09166528 A JP H09166528A JP 7347776 A JP7347776 A JP 7347776A JP 34777695 A JP34777695 A JP 34777695A JP H09166528 A JPH09166528 A JP H09166528A
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JP
Japan
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ray
sample
casing
material layer
storage container
Prior art date
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Application number
JP7347776A
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Japanese (ja)
Inventor
Osamu Akutsu
修 阿久津
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Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
Original Assignee
Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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Publication date
Application filed by Rigaku Denki Co Ltd, Rigaku Corp filed Critical Rigaku Denki Co Ltd
Priority to JP7347776A priority Critical patent/JPH09166528A/en
Publication of JPH09166528A publication Critical patent/JPH09166528A/en
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  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the damping factor of X-ray passing through a sample container. SOLUTION: The sample container of an X-ray device comprises a casing 9 surrounding a sample 3, and an X-ray passing window 44 provided in the casing 9 for passing an X-ray. The X-ray passing window 44 includes an opening 39 formed on the casing 9 and a shielding member 41 for shielding the opening 39. The shielding member 41 has a stacking structure where aluminum is evaporated on a base material layer formed by polyimide and a thermal reflecting material is stacked thereon, and the thermal reflecting material layer is pressed by a band 42 to be positioned on the inner surface side of the casing 9. Though aluminum has low X-ray transmittance, the layer thickness is decreased and further the base material layer is formed by a polyimide having a high X-ray transmittance, thereby, the damping factor of X-ray passing through the X-ray passing window 44 can be remarkably reduced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線が照射される
試料を高温状態、ガス環境状態、真空状態等といった各
種の状態に置くためにその試料を格納するX線装置の試
料格納容器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample storage container of an X-ray apparatus for storing a sample irradiated with X-rays in various states such as a high temperature state, a gas environment state and a vacuum state. .

【0002】[0002]

【従来の技術】X線回折装置等といったX線装置では、
試料にX線を照射したときにその試料で回折するX線を
X線検出器によって検出する。このX線装置において、
高温状態下での試料の挙動を観察したい場合がある。ま
た、ヘリウム等といった不活性ガスによって試料の回り
をガス置換する場合がある。さらに、試料の酸化を防止
する等の理由により試料を真空状態に置く場合がある。
2. Description of the Related Art In an X-ray device such as an X-ray diffraction device,
When the sample is irradiated with X-rays, X-rays diffracted by the sample are detected by an X-ray detector. In this X-ray device,
Sometimes it is desired to observe the behavior of the sample under high temperature conditions. In addition, an inert gas such as helium may replace gas around the sample. Furthermore, the sample may be placed in a vacuum state for reasons such as preventing oxidation of the sample.

【0003】上記の各種条件を満足させるためには、ヒ
ータを内蔵し、ガス導入系を備え、さらに真空排気系を
備えた試料格納容器に試料を収納し、その状態で試料格
納容器の外部から試料へX線を照射してX線回折測定を
行う。この種の試料格納容器は予めX線通過窓を有して
おり、X線はそのX線通過窓を通って試料格納容器の内
部へ導入される。
In order to satisfy the above-mentioned various conditions, a heater is built in, a gas introduction system is provided, and a sample is stored in a sample storage container equipped with a vacuum exhaust system. X-ray diffraction measurement is performed by irradiating the sample with X-rays. This type of sample storage container has an X-ray passage window in advance, and X-rays are introduced into the inside of the sample storage container through the X-ray passage window.

【0004】従来のX線通過窓は、図8に示すように、
支柱110によって左右に仕切られた開口119を遮蔽
部材111で覆うことによって形成されていた。遮蔽部
材111は、通常、アルミニウム箔によって形成されて
いた。符号112は、図9に示すような形状のリブであ
って、開口119を横切るようにその周縁にロー付けさ
れる。支柱110やリブ112は、ケーシング109の
内部が真空状態に排気されたときに、遮蔽部材111が
ケーシング109の内部へ吸引されて変形することを防
ぐために設けられるものである。アルミニウム箔は比較
的撓み易い材料であるので、それが変形するのを防ぐた
めには支柱110やリブ112が必要であった。
A conventional X-ray passage window is as shown in FIG.
It was formed by covering the opening 119 partitioned by the support 110 to the left and right with the shielding member 111. The shielding member 111 was usually formed of aluminum foil. Reference numeral 112 denotes a rib having a shape as shown in FIG. 9, which is brazed to the peripheral edge so as to cross the opening 119. The columns 110 and the ribs 112 are provided to prevent the shielding member 111 from being sucked into the casing 109 and deformed when the inside of the casing 109 is evacuated to a vacuum state. Since the aluminum foil is a material that is relatively flexible, the columns 110 and the ribs 112 were necessary to prevent the aluminum foil from being deformed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来、
遮蔽部材111として用いられていたアルミニウム箔
は、機械的な強度を高く維持しなければならない関係
上、その厚さをかなり厚くしなければならず、その結
果、この遮蔽部材111を通過するX線の強度が大きく
減衰するという問題があった。具体的には、減衰率が約
55%であった。また、支柱110やリブ112を設け
た所でX線の通過が阻止され、その結果、X線の減衰率
がさらに一層大きくなるおそれがあった。X線通過窓を
通過するX線の減衰率が高くなればなる程、ケーシング
109の中に格納される試料に照射されるX線の強度が
小さくなるので、X線測定の測定精度が悪くなる。本発
明は、上記の問題に鑑みてなされたものであって、試料
格納容器を通過するX線の減衰率を低減することを目的
とする。
However, conventionally,
The aluminum foil used as the shielding member 111 has to have a considerably large thickness in order to maintain high mechanical strength, and as a result, X-rays passing through this shielding member 111. However, there was a problem that the intensity of the was greatly attenuated. Specifically, the attenuation rate was about 55%. Further, the passage of X-rays is blocked at the place where the columns 110 and the ribs 112 are provided, and as a result, the attenuation rate of X-rays may be further increased. The higher the attenuation rate of the X-rays passing through the X-ray passage window, the smaller the intensity of the X-rays that irradiate the sample stored in the casing 109, and thus the measurement accuracy of the X-ray measurement deteriorates. . The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to reduce the attenuation rate of X-rays passing through a sample storage container.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明に係るX線装置の
試料格納容器は、試料を包囲するケーシングと、そのケ
ーシングに設けられていてX線を通過させるX線通過窓
とを有する試料格納容器である。X線通過窓は、ケーシ
ングに形成される開口と、その開口を遮蔽する遮蔽部材
とを有する。遮蔽部材は基材層及びそれに積層された熱
反射材料層を有する積層材料によって形成される。そし
て遮蔽部材は、その熱反射材料層がケーシングの内面側
に位置するようにして、ケーシングに装着される。
A sample storage container of an X-ray apparatus according to the present invention includes a sample enclosing a sample and a sample storage window provided in the casing for passing X-rays. It is a container. The X-ray passage window has an opening formed in the casing and a shielding member that shields the opening. The shielding member is formed of a laminated material having a base material layer and a heat reflection material layer laminated on the base material layer. The shielding member is attached to the casing so that the heat reflection material layer is located on the inner surface side of the casing.

【0007】基材層は、専ら、遮蔽部材が変形しないよ
うに機械的強度を維持する。また、熱反射材料層は、ケ
ーシング内部の熱を反射することにより、熱が外部へ漏
れ出ることを防止する。熱反射材料層は機械的強度を維
持するという作用を発揮する必要がないので、その厚さ
は非常に薄くできる。熱反射材料層は一般にX線を通過
し難い材料によって形成されることが多いが、その層の
厚さを薄くできるということは、その分だけX線の減衰
率を小さくできるということである。
The base material layer maintains the mechanical strength exclusively so that the shielding member is not deformed. The heat-reflecting material layer reflects the heat inside the casing to prevent the heat from leaking to the outside. Since the heat-reflecting material layer does not need to exert the function of maintaining mechanical strength, its thickness can be made very thin. The heat-reflecting material layer is generally formed of a material that does not easily pass X-rays, and the fact that the thickness of the layer can be made thin means that the X-ray attenuation rate can be reduced accordingly.

【0008】基材層は、機械的な強度を維持することが
主な役割であり、その他の性質は自由に選択できる。従
って、断熱作用は低いがX線透過率は高いという材料を
用いることができる。このように、X線透過率の高い材
料を基材層として用いれば、X線通過窓を通過するX線
の減衰率をさらに一層低減できる。
The main role of the base layer is to maintain mechanical strength, and other properties can be freely selected. Therefore, a material having a low adiabatic effect but a high X-ray transmittance can be used. Thus, if a material having a high X-ray transmittance is used as the base material layer, the attenuation rate of X-rays passing through the X-ray passage window can be further reduced.

【0009】このようなX線透過率の高い基材層は、例
えば、ポリイミドフィルムによって形成できる。このポ
リイミドフィルムは、例えば、商品名カプトン(東レ・
デュポン株式会社製)として提供されるフィルムによっ
て実現できる。この基材層は、透明でも非透明でも良い
が、遮蔽部材の内部に熱がこもってしまうことを防ぐた
めには、この基材層を透明な材料によって形成するのが
望ましい。ポリイミドフィルムは、通常、透明であるの
で、この点からも基材層として適している。
The base material layer having such a high X-ray transmittance can be formed of, for example, a polyimide film. This polyimide film is, for example, the product name Kapton (Toray
It can be realized by a film provided by DuPont Co., Ltd.). The base material layer may be transparent or non-transparent, but it is desirable to form the base material layer with a transparent material in order to prevent heat from being trapped inside the shielding member. Since the polyimide film is usually transparent, it is suitable as a base material layer also from this point.

【0010】熱反射材料としては、アルミニウム、金、
銀等のように、熱を反射できしかも融点の高い材料を用
いることができる。
As the heat reflecting material, aluminum, gold,
A material such as silver that can reflect heat and has a high melting point can be used.

【0011】本発明者の実験によれば、透明なポリイミ
ドフィルム(商品名カプトン)を基材層とし、これにア
ルミニウムを蒸着して熱反射材料層を形成して積層フィ
ルムを形成し、これをX線通過窓の遮蔽部材として用い
たところ、単一のアルミニウム箔によって遮蔽部材を形
成していた従来の試料格納容器においてX線減衰率が約
55%であったものが、そのX線減衰率が約7%程度ま
でに著しく低減されることがわかった。
According to an experiment by the present inventor, a transparent polyimide film (trade name Kapton) is used as a base material layer, aluminum is vapor-deposited on the base material layer to form a heat reflection material layer, and a laminated film is formed. When used as a shielding member for an X-ray passage window, the X-ray attenuation rate was about 55% in the conventional sample storage container in which the shielding member was formed of a single aluminum foil. Was significantly reduced to about 7%.

【0012】本発明のように遮蔽部材を積層フィルムに
よって構成すれば、基材層を適宜に選択することによ
り、例えばポリイミドフィルムを選択することにより、
高温状態でも高い機械的強度を得ることができる。ま
た、X線を通過させるためにケーシングに形成した開口
の周縁に遮蔽部材を接着すれば、ケーシングの内部が真
空状態になっても遮蔽部材がケーシングの内部に引き込
まれて変形することを防止できる。以上の結果、本発明
によれば、図8に示す従来例のように支柱110やリブ
112を用いて遮蔽部材111を補強する必要が無くな
り、X線通過用の開口を仕切りの無い単一形状の穴とす
ることができる。こうすれば、該部を通過するX線の進
行が支柱110やリブ112によって阻止されるといっ
た事態が解消されるので、X線の減衰率をさらに一層低
減できる。
If the shielding member is made of a laminated film as in the present invention, by appropriately selecting the base material layer, for example, by selecting a polyimide film,
High mechanical strength can be obtained even at high temperatures. Further, if the shielding member is adhered to the periphery of the opening formed in the casing for passing the X-rays, it is possible to prevent the shielding member from being drawn into the casing and deformed even if the inside of the casing is in a vacuum state. . As a result, according to the present invention, it becomes unnecessary to reinforce the shielding member 111 by using the columns 110 and the ribs 112 as in the conventional example shown in FIG. 8, and the opening for X-ray passage does not have a single shape. It can be a hole. By doing so, the situation in which the progress of the X-rays passing through the portion is blocked by the support columns 110 and the ribs 112 is eliminated, so that the attenuation rate of the X-rays can be further reduced.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】図6は、本発明に係る試料格納容
器をX線装置としてのX線回折装置に設置した場合を模
式的に示している。このX線回折装置は、X線源F、ゴ
ニオメータ1及びX線検出器2を有している。X線源F
は、例えば、フィラメント及びターゲットを有し、フィ
ラメントに通電して該フィラメントから熱電子を発生
し、その熱電子を高速でターゲットに衝突させて該ター
ゲットからX線を放射する。
FIG. 6 schematically shows a case in which the sample storage container according to the present invention is installed in an X-ray diffraction apparatus as an X-ray apparatus. This X-ray diffraction apparatus has an X-ray source F, a goniometer 1, and an X-ray detector 2. X-ray source F
Has a filament and a target, for example, energizes the filament to generate thermoelectrons from the filament, causes the thermoelectrons to collide with the target at high speed, and radiates X-rays from the target.

【0014】ゴニオメータ1は、測定対象である試料3
を支持する。またゴニオメータ1は、試料3のX線入射
面を通る回転中心軸線Lを中心として試料3を所定の角
速度で間欠的又は連続的に回転、いわゆるθ回転させ、
同時に、X線検出器2をθ回転の2倍の角速度で同じ方
向へ回転、いわゆる2θ回転させる。θ回転及び2θ回
転の各回転軌跡が含まれる面が水平面であるようなゴニ
オメータは一般に横型ゴニオメータと呼ばれ、その面が
垂直面であるようなゴニオメータは縦型ゴニオメータ、
試料水平型ゴニオメータ等と呼ばれる。
The goniometer 1 is a sample 3 to be measured.
I support. Further, the goniometer 1 rotates the sample 3 intermittently or continuously at a predetermined angular velocity around the rotation center axis line L passing through the X-ray incident surface of the sample 3, so-called θ rotation,
At the same time, the X-ray detector 2 is rotated in the same direction at an angular velocity twice the θ rotation, that is, the so-called 2θ rotation. A goniometer in which the plane containing the rotation trajectories of θ rotation and 2θ rotation is a horizontal plane is generally called a horizontal goniometer, and a goniometer in which that plane is a vertical plane is a vertical goniometer.
It is called a sample horizontal type goniometer.

【0015】θ回転する試料3にX線を照射するとき、
そのX線と試料3の結晶格子面との間でブラッグの回折
条件が満足されると、その結晶格子面でX線の回折が生
じる。この回折X線はX線検出器2によって検出され、
この検出結果に基づいて、回折X線の回折角度とX線強
度との関係が求められる。そしてこの関係から、試料3
についての各種特性が判定される。
When irradiating X-rays on the sample 3 rotating by θ,
When the Bragg diffraction condition is satisfied between the X-ray and the crystal lattice plane of the sample 3, X-ray diffraction occurs on the crystal lattice plane. This diffracted X-ray is detected by the X-ray detector 2,
Based on the detection result, the relationship between the diffraction angle of the diffracted X-ray and the X-ray intensity is obtained. And from this relationship, sample 3
Various properties of the are determined.

【0016】試料3は、ゴニオメータ1の上に固定され
た試料格納容器4の内部に収納されている。この試料格
納容器4は、試料3を高温で真空の状態に保持すること
及び必要に応じて試料3のまわりをヘリウムその他の不
活性ガス等でガス置換することを目的として使用され
る。高温状態に保持するのは、高温下での試料の挙動を
観察するためである。また、真空状態に維持するのは、
主に高温状態に置かれたときの試料の酸化を防止するた
めである。
The sample 3 is stored inside a sample storage container 4 fixed on the goniometer 1. The sample storage container 4 is used for the purpose of maintaining the sample 3 in a vacuum state at a high temperature and, if necessary, performing gas replacement around the sample 3 with helium or another inert gas. The reason why the sample is kept at a high temperature is to observe the behavior of the sample at a high temperature. Also, maintaining a vacuum state is
This is mainly to prevent oxidation of the sample when placed in a high temperature state.

【0017】試料格納容器4は、図1に示すように、ゴ
ニオメータ1の上に固定されるケーシング基台5と、ケ
ーシング基台5の上に固定された円筒状のケーシング側
壁6と、ネジ7によってケーシング側壁6の上に固定さ
れたケーシング対基部壁8とを有する。これらのケーシ
ング基台5、ケーシング側壁6及びケーシング対基部壁
8は、軽くて熱を伝え難い材料、例えばアルミニウム等
によって形成され、そして互いに気密に組み付けられる
ことによって試料3を包囲するケーシング9を構成して
いる。
As shown in FIG. 1, the sample storage container 4 has a casing base 5 fixed on the goniometer 1, a cylindrical casing side wall 6 fixed on the casing base 5, and a screw 7. A casing-pair base wall 8 fixed on the casing side wall 6. The casing base 5, the casing side wall 6, and the casing-pair base wall 8 are made of a material that is light and difficult to transfer heat, such as aluminum, and are hermetically assembled to each other to form a casing 9 that surrounds the sample 3. doing.

【0018】ケーシング基台5の取付用ベース13の内
部、ケーシング側壁6の内部及びケーシング対基部壁8
の各部の内部には冷却液通路10が形成され、冷却液導
入口15を通して導入される冷却液、例えば冷却水がそ
れらの通路10を流れてケーシング9の全体を冷却し
て、そのケーシング10が高温になるのを防止する。ま
た、ケーシング側壁6のX線通過用開口39と反対側の
面にガス導入口20が設けられ、必要に応じて、不活性
ガス例えばヘリウムガス等がこのガス導入口20を通し
てケーシング9の内部へ導入され、これにより、試料3
のまわりがガス置換される。
Inside the mounting base 13 of the casing base 5, inside the casing side wall 6 and casing-to-base wall 8
A cooling liquid passage 10 is formed inside each of the parts, and a cooling liquid, for example, cooling water introduced through the cooling liquid introduction port 15 flows through these passages 10 to cool the entire casing 9, and the casing 10 is Prevents high temperature. Further, a gas introduction port 20 is provided on the surface of the casing side wall 6 opposite to the X-ray passage opening 39, and if necessary, an inert gas such as helium gas is introduced into the casing 9 through the gas introduction port 20. Introduced, which allows sample 3
Is replaced with gas.

【0019】ケーシング基台5は、ゴニオメータ1に固
定される固定ベース11と、その固定ベース11の上に
左右方向へ滑り移動可能に配置された可動ベース12
と、可動ベース12の上に固定された取付用ベース13
とによって構成されている。ケーシング側壁6は取付用
ベース13の上に固定される。可動ベース12の適所に
は軸受14によって回転自在にしかし軸方向移動不能に
支持された駆動軸16が貫通して設けられ、その駆動軸
16の先端に形成したネジ16aが固定ベース11に固
定したネジ17に噛み合っている。
The casing base 5 has a fixed base 11 fixed to the goniometer 1 and a movable base 12 arranged on the fixed base 11 so as to be slidable in the left-right direction.
And a mounting base 13 fixed on the movable base 12.
And is constituted by. The casing side wall 6 is fixed on the mounting base 13. A drive shaft 16 rotatably supported by a bearing 14 so as not to move in the axial direction is penetratingly provided at an appropriate position of the movable base 12, and a screw 16a formed at the tip of the drive shaft 16 is fixed to the fixed base 11. It meshes with the screw 17.

【0020】駆動軸16の中間部分に固定したギヤ18
は、可動ベース12から延びるブラケット19上に固定
されたモータ21の出力軸21aに噛み合う。また、駆
動軸16の後端には、駆動軸16の回転角度位置を検出
するためのホイール22が固定され、そのホイール22
を検知する光センサ23が配設される。モータ21が作
動すると駆動軸16が回転し、このとき、ネジ16aと
ネジ17との噛み合いの働きにより可動ベース12が左
右へ平行移動する。この平行移動により、試料3の位置
を調整する。なお、モータ21の出力軸21aはツマミ
24を回すことによって手動で回すことができ、これに
より、可動ベース12の位置を調節できる。
A gear 18 fixed to the middle portion of the drive shaft 16
Engages with an output shaft 21a of a motor 21 fixed on a bracket 19 extending from the movable base 12. A wheel 22 for detecting the rotational angle position of the drive shaft 16 is fixed to the rear end of the drive shaft 16.
An optical sensor 23 for detecting is detected. When the motor 21 operates, the drive shaft 16 rotates, and at this time, the movable base 12 moves in parallel to the left and right due to the engagement of the screw 16a and the screw 17. The position of the sample 3 is adjusted by this parallel movement. The output shaft 21a of the motor 21 can be manually turned by turning the knob 24, whereby the position of the movable base 12 can be adjusted.

【0021】ケーシング対基部壁8の中心部には、軸受
26によって円筒状の排気口25が試料3の回転中心軸
線Lを中心として回転自在に、しかし軸方向移動不能に
設けられる。ゴム製のOリング28は排気口25のまわ
りの気密を保持する。排気口25の先端にネジ結合され
たツマミ29を緩めて取り外し、それに代えて排気用ホ
ース31を接続すれば、その排気用ホース31を通して
ケーシング9の内部を排気して該部を真空状態にするこ
とができる。
A cylindrical exhaust port 25 is provided in the center of the casing-to-base wall 8 by a bearing 26 so as to be rotatable about the rotation center axis L of the sample 3 but not axially movable. The rubber O-ring 28 maintains airtightness around the exhaust port 25. When the knob 29 screwed to the tip of the exhaust port 25 is loosened and removed, and an exhaust hose 31 is connected instead of the knob 29, the inside of the casing 9 is exhausted through the exhaust hose 31 to bring the part into a vacuum state. be able to.

【0022】取付用ベース13の中心部には円盤状の取
付板32が固定され、その取付板32の上に炉体ユニッ
ト33がネジその他の締結具によって固定される。ま
た、炉体ユニット33は、綿状のアルミナをほぼ円筒形
状に成形して作られた保温筒34によってその全体が覆
われている。この保温筒34によって試料3が一定温度
に保持される。図5に示すように、ケーシング側壁6の
内周面の適所に係止片36及び受け板37が設けられ
る。一方、保温筒34の上端部に角穴リング部材38が
設けられる。保温筒34をケーシング側壁6の内部へ挿
入すると、係止片36が角穴リング部材38の中へ入り
込み、さらに保温筒34の下端部が受け板37によって
受けられる。
A disc-shaped mounting plate 32 is fixed to the center of the mounting base 13, and a furnace unit 33 is fixed on the mounting plate 32 by screws or other fasteners. Further, the entire furnace body unit 33 is covered with a heat insulating cylinder 34 formed by molding cotton-like alumina into a substantially cylindrical shape. The sample 3 is kept at a constant temperature by the heat insulating cylinder 34. As shown in FIG. 5, a locking piece 36 and a receiving plate 37 are provided at appropriate positions on the inner peripheral surface of the casing side wall 6. On the other hand, a square hole ring member 38 is provided at the upper end of the heat retaining cylinder 34. When the heat retaining cylinder 34 is inserted into the casing side wall 6, the locking piece 36 enters the square hole ring member 38, and the lower end of the heat retaining cylinder 34 is received by the receiving plate 37.

【0023】このように、係止片36と角穴リング部材
38との嵌合によって保温筒34をケーシング側壁6の
内部に固定支持するようにしたので、ゴニオメータ1の
動きに従って試料格納容器4が動く場合でも、保温筒3
4がケーシング9の内部で位置ズレや不安定に動くこと
がなくなり、よって、試料3を常に安定に保持できる。
また、ケーシング9を水平面上に固定する場合はもとよ
り、ケーシング9を垂直面上に固定する場合、すなわち
ケーシング9が水平方向に支持される場合でも、保温筒
34をケーシング9に対する一定位置に安定して支持で
きる。つまり、本実施形態の試料格納容器4は、試料格
納容器4の取付面が水平面である横型ゴニオメータ及び
その取付面が垂直面である縦型ゴニオメータのいずれに
も問題なく使用できる。
As described above, since the heat retaining tube 34 is fixedly supported inside the casing side wall 6 by fitting the locking piece 36 and the square hole ring member 38, the sample storage container 4 is moved in accordance with the movement of the goniometer 1. Insulation tube 3 even when moving
The position of the sample 4 does not shift or move unstablely inside the casing 9, so that the sample 3 can always be stably held.
Further, not only when the casing 9 is fixed on the horizontal surface, but also when the casing 9 is fixed on the vertical surface, that is, when the casing 9 is supported in the horizontal direction, the heat insulating cylinder 34 is stabilized at a fixed position with respect to the casing 9. Can be supported. That is, the sample storage container 4 of the present embodiment can be used without problems for both a horizontal goniometer whose mounting surface is a horizontal surface and a vertical goniometer whose mounting surface is a vertical surface.

【0024】図4に示すように、ケーシング側壁6の円
周方向の所定角度範囲、例えばほぼ180°の角度範囲
にわたって長穴状の開口39が形成され、この開口39
の全面が遮蔽部材41によって覆われて外部から遮蔽さ
れ、さらにその遮蔽部材41の上下がリング状のバンド
42によってケーシング側壁6へ押し付けられる。こう
して、開口39及びそれを覆う遮蔽部材41によってX
線を通過させるためのX線通過窓44が構成される。ま
た望ましくは、開口39の上下周縁に接着部材43を設
け、これらの接着部材によって遮蔽部材41をケーシン
グ側壁6に接着する。接着部材43としては、両面粘着
テープ、接着剤等を用いることができる。このように遮
蔽部材41をケーシング側壁6に接着することにより、
ケーシング9の内部が真空状態になったときでも、遮蔽
部材41が内部へずれ込むように変形することを防止で
きる。
As shown in FIG. 4, an elongated hole-shaped opening 39 is formed over a predetermined angular range in the circumferential direction of the casing side wall 6, for example, an angular range of about 180 °.
Is covered with a shielding member 41 to be shielded from the outside, and the upper and lower sides of the shielding member 41 are pressed against the casing side wall 6 by a ring-shaped band 42. Thus, the opening 39 and the shielding member 41 covering the opening 39 allow X
An X-ray passing window 44 for passing a ray is configured. Desirably, adhesive members 43 are provided on the upper and lower peripheral edges of the opening 39, and the shielding member 41 is adhered to the casing side wall 6 by these adhesive members. As the adhesive member 43, a double-sided adhesive tape, an adhesive or the like can be used. By adhering the shielding member 41 to the casing side wall 6 in this way,
Even when the inside of the casing 9 is in a vacuum state, the shielding member 41 can be prevented from being deformed so as to slip inward.

【0025】遮蔽部材41は、図7に示すように、透明
のポリイミドフィルム、例えばカプトン(商品名、東レ
・デュポン株式会社製)によって形成された基材層41
aにアルミニウムを蒸着して熱反射材料層41bを積層
することによって、積層フィルムとして形成されてい
る。また、この遮蔽部材41は、熱反射材料層41bが
ケーシング9の内面を向くように接着部材43によって
ケーシング側壁6に接着される。
As shown in FIG. 7, the shielding member 41 is a base material layer 41 formed of a transparent polyimide film, for example, Kapton (trade name, manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.).
It is formed as a laminated film by depositing aluminum on a and laminating the heat reflection material layer 41b. The shielding member 41 is adhered to the casing side wall 6 by the adhesive member 43 so that the heat reflection material layer 41b faces the inner surface of the casing 9.

【0026】基材層41aとして用いられるポリイミド
フィルムは、低温から高温の広い温度範囲内において、
通気性が無く、しかもケーシング9の内部の真空を維持
できる程度に機械的強度を有しており、さらに、アルミ
ニウムに比べて格段にX線透過率が高い。また、熱反射
材料層41bとして用いられるアルミニウムは、ケーシ
ング9の内部の熱を反射することによりそれが外部へ逃
げることを防止する。アルミニウムそれ自体はX線を透
過し難いが、本実施形態ではそれを蒸着によって非常に
薄くしてあるので、遮蔽部材41を通過するX線の減衰
量は非常に小さい。
The polyimide film used as the base material layer 41a has a wide temperature range from low temperature to high temperature.
It has no air permeability and has mechanical strength to the extent that the vacuum inside the casing 9 can be maintained, and has a significantly higher X-ray transmittance than aluminum. The aluminum used as the heat-reflecting material layer 41b reflects the heat inside the casing 9 to prevent it from escaping to the outside. Although aluminum itself does not easily transmit X-rays, in the present embodiment, since it is made extremely thin by vapor deposition, the amount of attenuation of X-rays passing through the shielding member 41 is very small.

【0027】図6において、X線源Fから放射されたX
線は、基材層及び熱反射材料層から成る2層構造の遮蔽
部材を含むX線通過窓44を通して試料格納容器4の内
部へ導入されて試料3へ照射され、さらに試料3で発生
した回折X線はX線通過窓44を通して試料格納容器4
の外部へ取り出されてX線検出器2によって検出され
る。図4に示すように、開口39は円周方向に長いがそ
の内部には支柱やリブは設けられていない。つまり、開
口39は、仕切の無い単一形状の穴として形成されてい
る。仮に、その開口39のどこかに支柱やリブが設けら
れていると、その支柱等がX線の通過の邪魔になって、
試料に入射するX線及び試料で回折したX線の強度を減
衰させるおそれがある。これに対し、そのような支柱等
が無い本実施形態によれば、試料3のθ回転及びX線検
出器2の2θ回転に関する広い角度範囲にわたってX線
の減衰を確実に防止できる。
In FIG. 6, X emitted from the X-ray source F
The rays are introduced into the inside of the sample storage container 4 through the X-ray passing window 44 including a shield member having a two-layer structure composed of the base material layer and the heat reflection material layer, and are irradiated to the sample 3, and further the diffraction generated in the sample 3 is generated. The X-rays pass through the X-ray passing window 44 and the sample storage container 4
To the outside and detected by the X-ray detector 2. As shown in FIG. 4, the opening 39 is long in the circumferential direction, but no columns or ribs are provided therein. That is, the opening 39 is formed as a single-shaped hole having no partition. If a column or a rib is provided somewhere in the opening 39, the column or the like interferes with the passage of X-rays.
There is a risk of attenuating the intensity of the X-rays incident on the sample and the X-rays diffracted by the sample. On the other hand, according to the present embodiment having no such columns, it is possible to surely prevent X-ray attenuation over a wide angle range regarding the θ rotation of the sample 3 and the 2θ rotation of the X-ray detector 2.

【0028】ケーシング9の内部に配設される炉体ユニ
ット33は、例えば図2に示すように、円盤状の基台4
6と、その基台46の上に配置した円筒状の外管47
と、試料容器48を支持する試料支持柱49と、試料支
持柱49の下部であって試料支持柱49と外管47との
間に配設された円筒状の内管52とを有している。図3
に示すように、測定対象である試料3は試料容器48の
中に詰め込まれ、さらにその試料容器48は、試料支持
柱49の支持枠49aの中に差し込まれる。
The furnace body unit 33 disposed inside the casing 9 is, for example, as shown in FIG.
6 and a cylindrical outer tube 47 arranged on the base 46 thereof.
A sample support column 49 that supports the sample container 48, and a cylindrical inner tube 52 disposed below the sample support column 49 and between the sample support column 49 and the outer tube 47. There is. FIG.
As shown in FIG. 5, the sample 3 to be measured is packed in the sample container 48, and the sample container 48 is further inserted in the support frame 49 a of the sample support column 49.

【0029】試料支持柱49の下端円柱部にはネジ49
bが形成されており、そのネジ部49bは、内管52、
外管47の底部47a、円筒状カラー51、そして基台
46を通して基台46の反対側へ突出し、その突出した
部分がナット53によって基台46の底面に締め付けら
れる。外管47の上端は円盤状の蓋54によって外部か
ら遮蔽される。こうして、試料3が試料支持柱49の所
定位置に置かれ、さらにその試料支持柱49の全体が外
管47の内部に収納される。また、試料3を収容した炉
体ユニット33を、図1において、ケーシング9内の取
付板32に固定すれば、試料3を試料格納容器4の内部
の所定位置に置くことができる。
A screw 49 is attached to the lower end cylindrical portion of the sample support column 49.
b is formed, and the threaded portion 49b is formed by the inner tube 52,
The bottom portion 47 a of the outer tube 47, the cylindrical collar 51, and the base 46 project through the base 46 to the opposite side, and the protruding portion is fastened to the bottom surface of the base 46 by the nut 53. The upper end of the outer tube 47 is shielded from the outside by the disk-shaped lid 54. In this way, the sample 3 is placed at a predetermined position on the sample support column 49, and the entire sample support column 49 is housed inside the outer tube 47. Further, by fixing the furnace body unit 33 containing the sample 3 to the mounting plate 32 in the casing 9 in FIG. 1, the sample 3 can be placed at a predetermined position inside the sample storage container 4.

【0030】図3において、外管47の円周方向の適宜
の角度幅、例えば180°の角度幅にわたってX線通過
用の長穴55が形成されている。そして、1本の発熱線
56aが外管47の外面及び内面の両面にわたって縦方
向すなわち軸線方向に巻き回されている。発熱線56a
は、外管47に対して縦方向に巻かれるので、長穴55
の中に張り出すことが無く、よって、試料3の前面は長
穴55によって大きく開放される。従って、試料3へ入
射するX線及び試料3で回折したX線は、外管47や発
熱線56a等に邪魔されて減衰することがない。
In FIG. 3, an elongated hole 55 for X-ray passage is formed over an appropriate angular width of the outer tube 47 in the circumferential direction, for example, an angular width of 180 °. A single heating wire 56a is wound in the longitudinal direction, that is, the axial direction, on both the outer surface and the inner surface of the outer tube 47. Heating wire 56a
Is wound in the vertical direction with respect to the outer tube 47, so that the slot 55
Therefore, the front surface of the sample 3 is largely opened by the elongated hole 55. Therefore, the X-rays incident on the sample 3 and the X-rays diffracted by the sample 3 are not attenuated by being hindered by the outer tube 47, the heating line 56a, and the like.

【0031】試料支持柱49のほぼ全面には発熱線56
bが横方向に巻き回されている。また、内管52の外周
面にも発熱線56cが横方向すなわち円周方向に巻き回
されている。各発熱線56a,56b及び56cは、例
えば、白金などによって形成される。各発熱線は通電さ
れることによって発熱し、試料3を前面及び背面の両面
から加熱する。
A heating wire 56 is provided on almost the entire surface of the sample support column 49.
b is wound in the lateral direction. A heating wire 56c is also wound around the outer peripheral surface of the inner tube 52 in the lateral direction, that is, in the circumferential direction. Each of the heating wires 56a, 56b and 56c is formed of, for example, platinum. Each heating wire generates heat when energized, and heats the sample 3 from both front and back surfaces.

【0032】以下、上記構成より成るX線格納容器4及
びそれを用いたX線回折装置についてそれらの動作を説
明する。まず、図3に示すようにして試料3を炉体ユニ
ット33の中に装着し、その炉体ユニット33を図1に
示すようにケーシング9の中に入れて固定する。このと
き、ケーシング9に関しては、ケーシング側壁6がケー
シング基台5に取り付けられた状態であって、ケーシン
グ対基部壁8はまだケーシング側壁6の先端に取り付け
られていない。つまり、ケーシング9の先端は開放端で
あり、その開放端から炉体ユニット33が挿入される。
The operation of the X-ray storage container 4 having the above structure and the X-ray diffraction apparatus using the same will be described below. First, the sample 3 is mounted in the furnace body unit 33 as shown in FIG. 3, and the furnace body unit 33 is put and fixed in the casing 9 as shown in FIG. At this time, as for the casing 9, the casing side wall 6 is attached to the casing base 5, and the casing-to-base wall 8 is not yet attached to the tip of the casing side wall 6. That is, the tip of the casing 9 is an open end, and the furnace body unit 33 is inserted from the open end.

【0033】その後、図5に示すように、保温筒34を
ケーシング側壁6の内部へ挿入し、さらに角穴リング部
材38と係止片36とをしっかりと嵌合させてその保温
筒34を安定状態に支持する。保温筒34は、その下端
部が受け板37によって受けられるので常に安定した状
態に置かれる。そしてその後、ケーシング対基部壁8を
ケーシング側壁6の先端に置いてネジ7によって固定
し、さらに排気口25の先端に排気用ホース31を接続
する。図示されていないが、排気用ホース31の他端に
は、真空ポンプ等といった排気装置が接続されている。
Thereafter, as shown in FIG. 5, the heat insulation cylinder 34 is inserted into the inside of the casing side wall 6, and the square hole ring member 38 and the locking piece 36 are firmly fitted to stabilize the heat insulation cylinder 34. Support the state. Since the lower end portion of the heat insulating cylinder 34 is received by the receiving plate 37, it is always placed in a stable state. After that, the casing-to-base wall 8 is placed on the tip of the casing side wall 6 and fixed by the screw 7, and the exhaust hose 31 is connected to the tip of the exhaust port 25. Although not shown, an exhaust device such as a vacuum pump is connected to the other end of the exhaust hose 31.

【0034】こうしてX線格納容器4の中の所定位置に
試料3が置かれた後、そのX線格納容器4をX線回折装
置のゴニオメータ1の上に固定する。そして、排気用ホ
ース31を通してケーシング9の内部を排気し、各発熱
線56a,56b,56c(図2参照)に通電して試料
3を加熱し、さらに冷却液導入口15を通して冷却液を
導入してケーシング9を冷却する。また、必要に応じ
て、ガス導入口20を通してケーシング9の内部へガス
を導入する。ケーシング9の内部の試料3のまわりが希
望の高温に、しかも真空状態に設定されると、X線回折
測定が開始される。
After the sample 3 is placed at a predetermined position in the X-ray container 4, the X-ray container 4 is fixed on the goniometer 1 of the X-ray diffraction apparatus. Then, the inside of the casing 9 is exhausted through the exhaust hose 31, the heating wires 56a, 56b, 56c (see FIG. 2) are energized to heat the sample 3, and the cooling liquid is introduced through the cooling liquid inlet 15. To cool the casing 9. Further, gas is introduced into the inside of the casing 9 through the gas introduction port 20 as needed. When the temperature around the sample 3 inside the casing 9 is set to a desired high temperature and a vacuum state is set, the X-ray diffraction measurement is started.

【0035】すなわち、モータ21を作動して試料3を
X線光学的に見て適切な位置に置くことを含んで、X線
源FからX線検出器2に至る間のX線光学通路上に配設
される各種のX線光学要素の光学的な位置を適切な位置
に設定する。その後、図6において、ゴニオメータ1に
よって試料3をθ回転させ、同時にX線検出器2をその
2倍の角速度で2θ回転させながら、X線源Fから放射
されるX線を試料3へ照射し、試料3で回折X線が発生
するとき、その回折X線をX線検出器2によって検出す
る。こうしてX線回折測定が行われるとき、ケーシング
9は試料3のθ回転と一体に回転するが、ケーシング9
の対基部壁8に設けた排気口25は、試料3の回転中心
軸線Lを中心とする円筒形状に形成され、しかもその軸
線Lを中心として回転自在になっているので、ケーシン
グ9が回転しても排気口25及びそれに連結した排気用
ホース31は回転することなく常に同じ位置に静止す
る。これにより、排気用ホース31の連れ回り旋回移動
やねじれ等を防止できる。
That is, on the X-ray optical path from the X-ray source F to the X-ray detector 2, including placing the sample 3 at an appropriate position in terms of X-ray optics by operating the motor 21. The optical positions of various X-ray optical elements arranged in the above are set to appropriate positions. After that, in FIG. 6, the sample 3 is rotated by θ by the goniometer 1, and at the same time, the X-ray detector 2 irradiates the sample 3 with X-rays emitted from the X-ray source F while rotating the X-ray detector 2 by 2θ at an angular velocity twice as high. When diffracted X-rays are generated in the sample 3, the diffracted X-rays are detected by the X-ray detector 2. When the X-ray diffraction measurement is performed in this way, the casing 9 rotates integrally with the θ rotation of the sample 3,
The exhaust port 25 provided in the counter base wall 8 is formed in a cylindrical shape around the rotation center axis L of the sample 3 and is rotatable about the axis L, so that the casing 9 rotates. However, the exhaust port 25 and the exhaust hose 31 connected to the exhaust port 25 always remain in the same position without rotating. This can prevent the exhaust hose 31 from rotating around and twisting.

【0036】また、本実施形態では図7に示すように、
ポリイミドフィルムから成る基材層41aと、それに積
層されたアルミニウムから成る熱反射材料層41bとに
よって遮蔽部材41を構成し、さらに熱反射材料層41
bをケーシング9の内面側に位置させたので、ケーシン
グ9の外部へ熱が漏れ出ることを熱反射材料層41bの
熱反射によって確実に阻止でき、しかも熱反射材料層4
1bの厚さをできる限り薄くすることによって、遮蔽部
材41を通過するX線の減衰率を著しく低減できる。こ
れにより、図1において、試料3へ強度の強いX線を照
射でき、しかも試料3からの回折X線を減衰させること
なくケーシング9の外部へ取り出すことができる。
In this embodiment, as shown in FIG.
The shielding member 41 is composed of a base material layer 41a made of a polyimide film and a heat reflecting material layer 41b made of aluminum laminated on the base material layer 41a.
Since b is located on the inner surface side of the casing 9, it is possible to reliably prevent heat from leaking to the outside of the casing 9 by the heat reflection of the heat reflection material layer 41b, and moreover, the heat reflection material layer 4b.
By making the thickness of 1b as thin as possible, the attenuation rate of X-rays passing through the shielding member 41 can be significantly reduced. As a result, in FIG. 1, the sample 3 can be irradiated with a strong X-ray, and the diffracted X-ray from the sample 3 can be taken out of the casing 9 without being attenuated.

【0037】以上、好ましい実施形態をあげて本発明を
説明したが、本発明はその実施形態に限定されるもので
はなく、請求の範囲に記載した技術的範囲内で種々に改
変できる。例えば、本発明は、X線回折装置に限られ
ず、X線が照射される試料をケーシングによって格納す
る必要がある任意のX線装置に適用できる。また、X線
通過窓に関する構造以外の構造、例えば、ケーシング9
の構造や炉体ユニット33の構造等に関しては、図示し
た構造以外の任意の構造とすることができる。
Although the present invention has been described above with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to the embodiments and can be variously modified within the technical scope described in the claims. For example, the present invention is not limited to X-ray diffractometers, but can be applied to any X-ray device that requires a casing to store a sample to be irradiated with X-rays. Further, a structure other than the structure related to the X-ray passage window, for example, the casing 9
With respect to the structure of No. 1 and the structure of the furnace unit 33, any structure other than the illustrated structure can be used.

【0038】また、基材層41aは、ポリイミドフィル
ムによって形成するのが望ましいが、真空状態を維持で
きる程度に機械的強度が強く、しかもアルミニウムなど
に比べてX線の透過率が高い材料でありさえすれば、他
の任意の材料を用いて形成することもできる。また熱反
射材料層41bは、アルミニウム以外に金、銀等によっ
て形成することもできる。
The base material layer 41a is preferably formed of a polyimide film, but is a material having a high mechanical strength to the extent that a vacuum state can be maintained and having a higher X-ray transmittance than aluminum or the like. It is also possible to use other arbitrary materials as long as they are provided. The heat-reflecting material layer 41b can also be formed of gold, silver or the like other than aluminum.

【0039】[0039]

【発明の効果】請求項1記載のX線装置の試料格納容器
によれば、基材層によって遮蔽部材の機械的な強度を確
保し、同時に、ケーシングの外部へ熱が漏れ出ることを
熱反射材料層によって確実に阻止できる。そして、熱反
射材料層の厚さをできる限り薄くすることにより、遮蔽
部材を単層のアルミニウム箔によって厚く形成した従来
品に比べて、遮蔽部材を通過するX線の減衰率を格段に
低減できる。これにより、強度の強いX線を試料に照射
でき、さらに試料で回折したX線を減衰させることなく
X線検出器まで導くことができる。
According to the sample storage container of the X-ray apparatus of the first aspect, the mechanical strength of the shielding member is ensured by the base material layer, and at the same time, the heat reflection that heat leaks to the outside of the casing. It can be reliably blocked by the material layer. Then, by making the thickness of the heat-reflecting material layer as thin as possible, the attenuation rate of X-rays passing through the shielding member can be remarkably reduced as compared with the conventional product in which the shielding member is made thick with a single layer of aluminum foil. . This makes it possible to irradiate the sample with high-intensity X-rays, and further to guide the X-rays diffracted by the sample to the X-ray detector without attenuating.

【0040】請求項2及び請求項3記載のX線装置の試
料格納容器によれば、熱反射材料層を非常に薄く、しか
も均一な厚さに形成できる。そしてさらに、広い温度範
囲内で遮蔽部材に大きな機械的強度及び高いX線透過率
を付与できる。
According to the sample storage container of the X-ray apparatus of the second and third aspects, the heat-reflecting material layer can be formed very thin and uniform in thickness. Furthermore, it is possible to impart high mechanical strength and high X-ray transmittance to the shielding member within a wide temperature range.

【0041】請求項4記載のX線装置の試料格納容器に
よれば、遮蔽部材の内部に熱がこもることを防止でき
る。
According to the sample storage container of the X-ray apparatus of the fourth aspect, it is possible to prevent heat from staying inside the shielding member.

【0042】請求項5記載のX線装置の試料格納容器に
よれば、X線通過用の開口の中に支柱やリブ等を配設し
ないので、回折角度2θが広い角度範囲にわたる場合で
も、死角を生じること無く各回折角度において回折X線
を検出できる。
According to the sample storage container of the X-ray apparatus of the fifth aspect, since no support pillars or ribs are provided in the X-ray passage opening, the dead angle is large even when the diffraction angle 2θ is wide. The diffracted X-ray can be detected at each diffraction angle without causing

【0043】[0043]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る試料格納容器の一実施形態を示す
正面断面図である。
FIG. 1 is a front sectional view showing an embodiment of a sample storage container according to the present invention.

【図2】図1の要部、特に炉体ユニットの一例を示す正
面断面図である。
FIG. 2 is a front sectional view showing an example of a main part of FIG. 1, particularly a furnace body unit.

【図3】図2に示す炉体ユニットの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the furnace unit shown in FIG.

【図4】図1に示す試料格納容器の要部、特にX線通過
窓の構造を示す分解斜視図である。
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a main part of the sample storage container shown in FIG. 1, particularly a structure of an X-ray passage window.

【図5】図1に示す試料格納容器の要部、特に保温筒の
支持構造を示す分解斜視図である。
5 is an exploded perspective view showing a main part of the sample storage container shown in FIG. 1, particularly a support structure for a heat retaining cylinder.

【図6】本発明に係る試料格納容器をX線回折装置に装
着した様子を概略的に示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view schematically showing how the sample storage container according to the present invention is attached to an X-ray diffraction apparatus.

【図7】X線通過窓の断面構造を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing a sectional structure of an X-ray passing window.

【図8】従来の試料格納容器の一例を示す分解斜視図で
ある。
FIG. 8 is an exploded perspective view showing an example of a conventional sample storage container.

【図9】図8の従来品に用いられるリブを示す斜視図で
ある。
9 is a perspective view showing a rib used in the conventional product of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ゴニオメータ 2 X線検出器 3 試料 4 試料格納容器 5 ケーシング基台 6 ケーシング側壁 8 ケーシング対基部壁 9 ケーシング 10 冷却液通路 11 固定ベース 12 可動ベース 13 取付用ベース 15 冷却液導入口 20 ガス導入口 25 排気口 29 ツマミ 31 排気用ホース 33 炉体ユニット 34 保温筒 36 係止片 37 受け板 38 リング部材 39 X線通過用開口 41 遮蔽部材 41a 基材層 41b 熱反射材料層 43 接着部材 44 X線通過窓 F X線源 L 試料の回転中心軸線 1 Goniometer 2 X-ray detector 3 Sample 4 Sample storage container 5 Casing base 6 Casing side wall 8 Casing side wall 9 Casing 10 Coolant passage 11 Fixed base 12 Movable base 13 Mounting base 15 Coolant inlet 20 Gas inlet 25 Exhaust Port 29 Knob 31 Exhaust Hose 33 Furnace Unit 34 Heat Retaining Tube 36 Locking Piece 37 Retaining Plate 38 Ring Member 39 X-Ray Passing Opening 41 Shielding Member 41a Base Material Layer 41b Heat Reflecting Material Layer 43 Adhesive Member 44 X-ray Passing window F X-ray source L Sample rotation center axis

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 試料を包囲するケーシングと、そのケー
シングに設けられていてX線を通過させるX線通過窓と
を有するX線装置の試料格納容器において、 X線通過窓は、ケーシングに形成される開口と、その開
口を遮蔽する遮蔽部材とを有しており、 その遮蔽部材は基材層及びそれに積層された熱反射材料
層を有する積層材料によって形成され、そしてその熱反
射材料層がケーシングの内面側に位置することを特徴と
するX線装置の試料格納容器。
1. A sample storage container of an X-ray apparatus, comprising: a casing enclosing a sample; and an X-ray passage window provided in the casing for passing X-rays. The X-ray passage window is formed in the casing. And a shielding member that shields the opening, the shielding member being formed of a laminated material having a base material layer and a heat reflecting material layer laminated thereon, and the heat reflecting material layer being a casing. A sample storage container for an X-ray apparatus, which is located on the inner surface side of the.
【請求項2】 請求項1記載のX線装置の試料格納容器
において、基材層はポリイミドフィルムによって構成さ
れることを特徴とする試料格納容器。
2. The sample storage container of the X-ray apparatus according to claim 1, wherein the base material layer is made of a polyimide film.
【請求項3】 請求項1又は請求項2記載のX線装置の
試料格納容器において、熱反射材料はアルミニウムであ
ることを特徴とする試料格納容器。
3. The sample storage container of the X-ray apparatus according to claim 1 or 2, wherein the heat-reflecting material is aluminum.
【請求項4】 請求項1から請求項3のうちの少なくと
もいずれか1つに記載のX線装置の試料格納容器におい
て、基材層は透明であることを特徴とする試料格納容
器。
4. The sample storage container of the X-ray apparatus according to claim 1, wherein the base material layer is transparent.
【請求項5】 請求項1から請求項4のうちの少なくと
もいずれか1つに記載のX線装置の試料格納容器におい
て、開口は仕切りの無い単一形状の穴であり、遮蔽部材
はその開口周縁に接着されることを特徴とする試料格納
容器。
5. The sample storage container of the X-ray apparatus according to claim 1, wherein the opening is a single hole without a partition, and the shielding member has the opening. A sample storage container characterized in that it is adhered to the periphery.
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